JP2001063069A - インクジェットプリンター用の印刷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】インクジェットプリンター用の印刷装置、特
に、連続インクジェット法により作動するようなものに
適した高精度で再現性のよい個々のノズル孔を得る。 【解決手段】電気伝導性のインク１１は、圧力下でジェ
ット流１２として、及び／又は、多数の個々のジェット
孔を通って液滴形成され、インクの電位とは反対の別の
電位を有した個々の荷電電極１５近くに誘導されて通過
する。このような印刷装置は、非電気伝導性材料又は半
導体、例えば珪素から成る、少なくとも１つの実質的に
平面状のプレート１６が、一つ一つのインクジェット流
又はインク滴１３のそれぞれに対応した、反対へ通り抜
け誘導する多数の個別の通路を有していることを特徴と
する。プレートは、ノズルプレートとして設けられるこ
とができ、この下側位置には、荷電プレートとして別に
設けられたプレートが固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１の上位概
念の特徴を有するインクジェットプリンター用の印刷装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の印刷装置は、ＥＰ０７０９１９
８Ａ２から公知であり、この場合インクジェット(Tinte
nstrahls) の形成に関しては、液滴製造器(Tropfenerze
uger) しか示唆されておらず、最終的にはインクジェッ
トまたはインク滴はそれから個々の相互に独立した荷電
プレート(Ladeplatten) に供給され、そのそばを通り抜
ける。この荷電プレートは、狭い面を下にして立てられ
た横断面の厚いプレートから成り、これには導体が設け
られており、電気的な接続を通してそれぞれ個別に配列
された電位源と電荷発生器の形で接続している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、インクジェ
ットまたはインク滴の形成に関して簡単でコスト的に有
利であり、その再現性のよい正確な寸法とその個々の相
互の間隔をもって高い精度で再現性のよい個々のノズル
孔(Duesenoeffnungen)の製作を可能にする、冒頭に述べ
た種類の印刷装置を提供するという課題に基づくもので
ある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この課題は、請求項１の
特徴による本発明に従う冒頭に述べた種類の印刷装置に
よって解決される。電気的非伝導性の材料または半導体
から成る少なくとも一つの実質的に平面状のプレートに
よって、形状および寸法に関して再現性よく正確に、か
つコスト的に有利にノズル孔を製作できる。さらに有利
なことは、そのようなプレートは実際上熱膨張性を持た
ず、そのため熱蒸気噴射に対して敏感でないことであ
る。さらに有利なことは、また例えば公知のエッチング
技術を使って、極めて微細な構造を簡単に、かつコスト
的に有利に形成できることである。本発明により、個々
のノズル孔の間隔を互いにそれぞれ再現性よく正確に実
現することも可能となる。

【０００５】他の特別の発明の特徴および形態について
は、従属項から明らかとなる。

【０００６】本発明のさらなる詳細および長所を、下記
の説明で明らかにするが、反複を避けるためにここでは
省略する。

【０００７】請求項の完全な表現は、前記のように単に
不必要な反復を避けるために再現せず、その代わりに請
求項への関連付けを示すだけとするが、それによってこ
の請求項の特徴はいずれも、この状態にあるものとし
て、明確に、かつ発明を本質的に表されるものと思われ
る。この場合、前記および下記の説明で言及されるすべ
ての特徴も、図面から得られる唯一の特徴も、それが特
に指摘されず、また特に請求項に言及されない場合で
も、本発明のさらなる構成要素である。

【０００８】

【発明の実施の形態】後記の図面に示した実施例に基づ
いて本発明を更に詳しく説明する。即ち、図１は、第１
の実施例によるインクジェットプリンター用の印刷装置
の一部分の透視図であり、図２は、図１の線II−IIに沿
う垂直断面図であり、図３は、第２の実施例の図２のそ
れにほぼ対応する垂直断面図であり、図４は、第３の実
施例による印刷装置の一部分の透視図であり、図５は、
図４による印刷装置の一部分の図２のそれにほぼ対応す
る垂直断面図であり、図６〜１０は、それぞれ第４、第
５、第６、第７または第８の実施例による印刷装置の図
５のそれにほぼ対応する垂直断面図である。

【０００９】図１には、インクジェットプリンター、特
に連続インクジェット法によって作動するインクジェッ
トプリンター用の印刷装置の一部分１０が示されてい
る。この種のインクジェットプリンターおよびこれらの
ための印刷装置は原則的に公知であり、例えばＥＰ０７
０９１９８Ａ２に示され、記載されているが、これにつ
いては不必要な繰り返しを避けるため省略する。このよ
うな印刷装置においては、電気伝導性インク１１が加圧
下にジェット流(Strahl)１２として、そのあと多数の個
別のノズル孔１４を通って液滴１３が生成され、インク
１１が流れ過ぎる際にインク１１の電位と異なる電位
（例えば＋７０ボルトの直流）を与える個々の荷電電極
(Ladeelektroden)１５の近くに誘導されて通過する。こ
の場合、流出物として流れるインク１１はアース電位を
有している。この電位は、これに代わって入れ替えるこ
ともできる。

【００１０】インクが、液滴製造器から出て個々の荷電
プレートのそばを通り抜けることは公知である（ＥＰ０
７０９１９８Ａ２）。個々の荷電プレートは荷電電極を
形成し、それぞれ対応する電線を経て配列された電位源
と接続している。この電位源は、荷電プレートごとに電
荷発生器を形成している。インクが流出物として動く限
り、それはアース電位の状態にある。それぞれの荷電プ
レートに、並列された電荷発生器から荷電信号が送られ
るとすぐに、これはインク流の中に張力を発生させる。
インク流の滴が分離するとき、その電荷は保存される。
印刷モードにおいて、それぞれの荷電プレートは、印刷
には使用されるべきでないインク滴に電荷を誘導する。
そのような滴が形成された瞬間に、荷電プレートには正
の電気パルスが発生し、これが荷電プレートの通過の際
に形成される場合には、滴には負の電荷が誘導される。
電荷はインク滴にだけ保存され、それは一定の時点にジ
ェット流１２から分離する。荷電していない滴１３は印
刷のために選定されて、真っ直ぐなコースで基体に到達
する。荷電した滴は印刷のために選定されず、他の方向
に向けられ回収される。

【００１１】図１および２の印刷装置の特殊性は、それ
ぞれ電気的に非伝導性の材料または半導体、例えば珪素
から成る少なくとも一つの実質的に平面状のプレート１
６および第二のプレート１７があり、それぞれ個々のイ
ンク流およびインク滴のための個別の横に並んだ通路(D
urchlaesse) １８および１９を有する。この二つのプレ
ートのうち、図１および２において上方に位置するプレ
ート１６は、ノズルプレートを形成し、その下に位置す
る第二のプレート１７はこの第一の実施例では荷電プレ
ートを形成している。両方のプレート１６、１７は互い
に向かい合った平面で重なっており、例えば貼り合わせ
られるか、またはその他の方法で相互に固く結合され
る。それぞれの通路１８および１９は、互いに一直線に
並んでいる。図１および２には示されていないが、プレ
ート１６、１７は形態に応じて例えば１００個の通路、
またはもっと多く２００個の通路を有し、その場合プレ
ート１６の通路１８はすべて同じように作られており、
例えば約０．２ｍｍの等間隔で相互に配列されている。
プレート１７に関しては通路１９がそれに対応する。上
側のプレート１６は、完全にまたは少なくともその個々
の通路１８の範囲に一つの電気伝導性層を有している
が、これは図１および２には示されていない。プレート
１６のこの電気伝導性層または電気伝導性の個々の通路
は、例えば図に示されるアース電位２０と接続してい
る。

【００１２】第二のプレート１７は、少なくともその通
路１９の範囲に２１で示す電気伝導性層を有しており、
これは通路１９毎に配列されたそれぞれの導体通路(Lei
terbahn)２２〜２９を通じてそれぞれ配列された電位源
３０〜３７に接続されて、それぞれ電荷発生器を形成し
ている。層２１と導体通路２２〜２９はプレート１７内
で集積され、例えばプレート１７内でエッチングされ
る。例えばプレート１７が電位源３０〜３７またはその
他の制御装置をこの荷電プレートとして働くプレート１
７の制御のために、例えば集積チップの形で集積できる
ことはこれ以上示さない。また、その他の電子構成要素
もプレート１７内および／またはプレート１６内にチッ
プの形で集積できる。さらに、それぞれのプレート、例
えばノズルプレートとして働く上方のプレート１６が少
なくとも加工された、特にエッチングされた室をインク
１１のための貯蔵槽として有してもよいこともこれ以上
示さない。図１及び２によれば、ノズルプレートとして
働く上方のプレート１６は一体化されている。それに対
し、変更された実施例では、このプレート１６は二つの
互いに貼り合わせた珪素プレートから形成されており、
この際、珪素プレートの後方にインク流１２を噴射する
圧力を発生させるための圧電振動子(Piezoschwinger)を
組み込むことができる。

【００１３】ノズルプレートとして働く上方のプレート
１６は、少なくともインク１１と接触に至る通路１８を
有してアース電荷２０をもち、一方、別の荷電プレート
として働くプレート１７の通路１９の部分にある電気伝
導性層２１は、別の電位、例えば正電位にあり、それぞ
れ図示していない制御装置で制御するように配置された
電位源３０〜３７で、例えば＋７０ボルトの直流で制御
される。

【００１４】特に図２から明らかなように、荷電プレー
トとして形成されたプレート１７の中の通路１９はノズ
ルプレートとして形成されたプレート１６の通路１８よ
り直径が大きい。通路部分での通路１９の直径は、通路
部分の通路１８の直径の例えば二倍である。この他の寸
法比もまた、本発明の範囲内にある。

【００１５】ノズルプレートとして形成されたプレート
１６の通路１８は、出口に向かって、すなわち図２で下
に向かってだんだん先細りになった円錐台の形をしてお
り、この円錐台状の部分は３８で示されている。最後に
出口の所で円筒状の出口３９が続いており、これが通路
の横断面を決める。

【００１６】荷電プレートとして形成されたもう一つの
プレート１７の通路１９は、円筒状部分４０を有し、そ
れに続いて出口の方向に、すなわち図２で下方に向かっ
て逆に円筒状に拡がった部分４１を有する。この通路１
９では、通路の断面は円筒状部分４０の直径によって形
成されている。

【００１７】それぞれのプレート１６、１７の通路１
８、１９は、エッチングによって製作される。

【００１８】プレート１６においてノズルプレートの形
で存在する電気伝導性層または導体通路は、図示されて
いないが、電導性の材料の蒸着によりエッチング法で製
作する。また、荷電プレートの形の他のプレート１７で
は、電気伝導性層２１および導体通路２２〜２９も電導
性材料の蒸着によりエッチング法で製作する。

【００１９】それぞれのプレート１６、１７は、約０．
４ｍｍの断面の厚さを有するか、その代わりにもう少し
大きい断面でもよい。

【００２０】図３に示す第２の実施例は、二つのプレー
ト１６、１７の代わりに、電気的に非伝導性の材料また
は半導体、例えば珪素から作られた一つの一体化された
プレート５０があり、ノズルプレートと荷電プレートが
一体化されている点で、図１および２による第一の実施
例と異なる。図によってインク１１はアース電位２０に
あることが示されている。その代わりにそれぞれの通路
１９の部分に、または全プレート５０の上に一つの電気
伝導性層２１を設け、それにそれぞれの導体通路２２を
接続してもよい。必要な場合、それぞれの通路１９の下
方の拡がった好ましくは円筒状部分５１を電気伝導性層
２１’でコーティングし、これを導体通路２２’と接続
してもよい。

【００２１】印刷装置の部分１０の上記の形態は種々の
長所を有する。プレート１６、１７および５０の材料の
形によって、この印刷装置の部分は、万が一の破損や焼
却破壊の危険性がなく、溶剤を含むインク１１にも適す
る。プレート１６、１７および５０は、コスト的に有利
に、かつ高い精度で問題なく製造することができる。こ
れは例えば０．４ｍｍという寸法のオーダーの個々の通
路１８、１９の形と寸法にも、また例えば０．２ｍｍと
いう寸法のオーダーのその相互の間隔にも適用される。
上記の通路１８、１９の特殊な形はエッチングによって
高い精度で再現性よく製作できる。また有利なのは、荷
電電子工学の全制御がプレート１６、１７、５０内の一
つのチップに集積できる点である。プレート１６、１７
は極めて加工性がよく、高い硬さに基づいて高い強度を
もっている。さらに有利なのは、プレート１６、１７が
実際上熱膨張を示さないことである。上記の材料の形に
よって微細ないし超微細な構造をエッチング法で製作で
きる。なかでも、プレート１６の個々の通路１８および
プレート１７の通路１９の相互の正確で再現性のある間
隔がこれに当たる。正確で再現性のある寸法の保持のも
とに孔の間隔をかなり小さくすること、例えば１０μｍ
の間隔にまですることが、本発明によって可能となる。
さらに有利なのは、上記の印刷装置のための必要スペー
スが小さいことである。

【００２２】図３に示す第２の実施例は、ただ一つのプ
レート５０だけであるので、第一の実施例と比較して、
なお小さい必要スペースとなお少ない費用によって際立
っている。

【００２３】図４および５に示す第３の実施例では、重
複を避けるために上記の実施例の説明を参考にするよう
に、上記の実施例に対応する部分について１００だけ大
きい参照番号を使っている。

【００２４】図４および５の第３の実施例においても、
図３の第２の実施例に対応して、電気的に非伝導性の材
料または半導体、例えば珪素から作られたただ一つの実
質的に平面状のプレート１１６があり、これは個々のイ
ンク流１１２またはインク滴１１３のための多数の横に
並んだ通路１１９を有する。個々の通路１１９は、プレ
ート１１６の全横断面部分の上に拡がっており、この横
断面部分全体にわたって円筒状の断面を示す。プレート
１１６は全体にわたって、または少なくとも個々の通路
１１９の部分に電気伝導性層１２１を有する。この形
で、通路１１９は荷電電極１１５を形成し、それはそれ
ぞれ個々に導体通路１２２〜１２９を介して、配置され
た制御可能な電位源１３０〜１３７と接続している。導
体通路１２２〜１２９はインク１１と接触しないように
配置されている。プレート１１６は同時にノズルプレー
トであり、この場合通路１１９は同時にノズル孔であ
る。プレート１１６は少なくともその通路１１９の部分
で負または正の電位に接続されている。特に図５に示す
ように、導体通路１２２〜１２９はプレート１１６の側
面に配置されており、インク１１１はそのプレートの上
面を流れる。導体通路１２２〜１２９は従って図５にお
いてプレート１１６の下を走る面の上にあり、この面で
電気伝導性層１２１と接続している。この場合におい
て、導体通路１２２〜１２９を介して、個々に配置され
た通路１１９に、通路１１９の制御のための異なる電位
が印加されるような配置とすることができる。

【００２５】この場合、個々の電気伝導性層１２１は、
銀、金あるいはこれに類するものなどの貴金属から形成
されても良い。図５に示されている実施例では、通路１
１９は、その円筒状領域全体に上記層１２１が設けられ
ている。これに反して、他の実施例においては、通路１
１９は、円筒状の部分領域だけに電気伝導性層１２１が
設けられている。この電気伝導性層１２１は、例えば筒
状の環状電極の形態で形成されても良く、この際、図５
に示されるものでは、通路１１９内にあるこのような環
状電極が、もう一方の出口側端部にまで続いている。

【００２６】図６に示されている第４の実施例は、プレ
ート２１６にある通路２１９が、その軸延長の部分領域
だけに、円筒状の横断面を有しており、その位置に、電
気伝導性層２２１（例えば収容された筒状の環状電極の
形態であるもの）が設けられている点で、図５のものと
相違する。この通路２１９は、その円筒状領域の位置で
接続して、そこから放出を行うための、ほぼ円錐台状に
拡がった部分２４１を有しており、この部分には、電気
伝導性層は設けられていない。このようなほぼ円錐台状
に拡がった部分２４１は、インク２１１が放出されるプ
レート２１６の表面に存在している。

【００２７】図７に示されている第５の実施例は、図５
及び図６のものに比べて、プレート３１６が、個々の通
路３１９の領域内において、他の領域よりも大きくなっ
た横断面厚さを有しており、それによってプレート３１
６と一体化し、図７の下側にある面を越えて突出した突
出部３５２が形成されているという特徴によって区別さ
れる。この突出部３５２は、インク３１１が放出される
プレート３１６の表面上に存在している。このようにし
て、通路を有した円筒状であり、しかも、軸延長全体に
渡って電気伝導性層３２１が設けられた通路３１９の軸
方向の長さが大きくなっており、これはまた、収容され
た筒状の環状電極の形態で形成されても良い。

【００２８】図８に示されている第６の実施例は、通路
４１９が、プレート４１６の横断面領域全体に渡って円
筒状の横断面を有してはいるが、円筒状の部分領域上だ
けしか、電気伝導性層４２１が設けられておらず、この
ようにしてそれぞれ荷電電極４１５が形成されている点
において、図５に示されているものとは異なっている。
これらは、環状電極として形成することができ、これは
通路４１９内に含まれており、この際、この環は、通路
４１９の軸方向の出口側末端まで達している。それぞれ
の環は、この場合、長方形状の環横断面を有していても
良い。しかしながら、上述の全ての実施例の場合も同様
であるように、この実施例においても、この環はその他
の環横断面、例えば円形状、多角形状、欠円状、又はこ
れに類する形に形成された環横断面であってもよいこと
を意味している。図８では、この環状電極４２１の軸方
向長さが、各通路４１９の軸方向長さの、ほぼ半分の長
さであり、この際、図８中の環状電極の下端は、プレー
ト４１９のその位置にある表面と強制的に接続されてい
る。インク４１１が放出されるこの表面上において、こ
の層４２１は、それぞれの導体通路４２２、４２３と連
結している。

【００２９】図９に示されている第７の実施例では、ノ
ズルプレート５１６にある通路５１９が、図６と同様
に、その軸延長の部分領域上にだけ、それぞれの円筒状
の横断面を有している。インク５１１が放出されるプレ
ート５１６の上面には、そこから放出を行うために先細
りになった、ほぼ円錐台状の入口５３８をそれぞれが存
在しており、当該入口の末端部の位置に、そこから下方
に向かって更に円筒状部分５３９が接続している。それ
ぞれの通路５１９の下側領域には、荷電電極５１５がそ
れぞれ設けられており、この荷電電極は、環状電極とし
て形成することができる。この環状電極は、通路５１９
内に存在する環により形成されており、この環は、通路
５１９の軸方向の出口側末端まで達している。この環
は、この場合、欠円状の環横断面(kreissegmentfoermig
en Ringquerschnitt) を有している。しかしながら、こ
の代わりに、この環横断面は、円形、長方形、多角形又
はこれに類するものであっても良い。又、この際、イン
クが放出されるプレート５１６の表面上には環状電極が
存在している。この通路５１９は、少なくとも出口領域
において、ｐ−又はｎ−付与する付与表面(Dotierflaec
he) を有していても良く、これは、荷電電極５１５とし
て用いられる。

【００３０】図１０における実施例は、他の全ての実施
例とは、プレート６１６にある貫通した円筒状の通路６
１９は変わらないが、荷電電極６１５を形成している環
状電極のそれぞれが平坦な環として形成されており、こ
の電極が、プレート６１６のインク６１１を放出する
側、即ち、図１０中の下へ続いている下面に配置されて
いる点で相違している。ここでは、各荷電電極６１５
が、並列された導体通路６２２、６２３と接続してお
り、この通路も同様にプレート６１６の下面に続いてい
る。又、ここでは、一体化したプレート６１６が、ノズ
ルプレートと荷電プレートとで形成されており、この
際、このようにして一体化した構成物としては、すでに
始めに詳細を明らかにした、図３〜図９に示される他の
実施例に挙げられているものも適している。

【００３１】

【発明の効果】本発明の印刷装置によれば、インクジェ
ットまたはインク滴の形成に関して簡単でコスト的に有
利であり、その再現性のよい正確な寸法とその個々の相
互の間隔をもって高い精度で再現性のよい個々のノズル
孔の製作が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例によるインクジェットプリンター
用の印刷装置の一部分の透視図である。

【図２】図１の線II−IIに沿う垂直断面図である。

【図３】第２の実施例の図２のそれにほぼ対応する垂直
断面図である。

【図４】第３の実施例による印刷装置の一部分の透視図
である。

【図５】図４による印刷装置の一部分の、図２のそれに
ほぼ対応する垂直断面図である。

【図６】図６は、第４の実施例による印刷装置の図５の
それにほぼ対応する垂直断面図である。

【図７】図７は、第５の実施例による印刷装置の図５の
それにほぼ対応する垂直断面図である。

【図８】図８は、第６の実施例による印刷装置の図５の
それにほぼ対応する垂直断面図である。

【図９】図９は、第７の実施例による印刷装置の図５の
それにほぼ対応する垂直断面図である。

【図１０】図１０は、第８の実施例による印刷装置の図
５のそれにほぼ対応する垂直断面図である。

【符号の説明】

11;111;211;311;411;511;611 インク 12;112;212;312;412;512;612 インクジェット流 13;113;213;313;413;513;613 インク滴 15;115;215;315;415;515;615 荷電電極 16,17;50;116;216;316;416;516;616 プレート 18;19;119;219;319;419;519;619 通路 21;21‘;121;221;321;421 電気伝導性層 22-29;122-129;222,223;322,323;422,423;522,523;622,
623 導体通路 30-37;130-137 電位源 38 ほぼ円錐台状に先細りになった部分 39 出口 40 円筒状部分 41, 241 ほぼ円錐台状に拡がった部分 352 突出部 538 ほぼ円錐台状の入口 539 円筒状部分

フロントページの続き (72)発明者 アンデルス ベルントソン スイス国、ツェーハー‐8260 シュタイン アム ライン、ラートハウスプラッツ 29 (72)発明者 ツェリハ デミルプラク ドイツ連邦共和国、デー‐78467 コンス タンツ、ビュク‐グルデン‐シュトラーセ 28 (72)発明者 マルチン ロイポルト ドイツ連邦共和国、デー‐78351 ボート マン、カイゼルプラッツ 85

Claims (38)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットプリンター用の印刷装
   置、特に、連続インクジェット法により作動するものに
   適した印刷装置で、この際、電気伝導性のインクが、圧
   力下でジェット流として、及び／又は、多数の個々のノ
   ズル孔を通って液滴形成され、前記インクの電位とは反
   対の別の電位を有した個々の荷電電極近くに誘導されて
   通過するものにおいて、非電気伝導性材料又は半導体か
   ら成る、少なくとも１つの実質的に平面状のプレート(1
   6,17;50;116;216;316;416;516;616)が、一つ一つのイン
   クジェット流(12;112;212;312;412;512;612)又はインク
   滴(13;113;213;313;413;513;613)のそれぞれに対応し
   た、反対へ通り抜け誘導する多数の個別の通路(18;19;1
   19;219;319;419;519;619) を有していることを特徴とす
   るインクジェットプリンター用の印刷装置。
2. 【請求項２】 前記プレート(16,17;50;116;216;316;41
   6;516;616)が、全体に、又は少なくとも個別の通路(19;
   119;219;319;419;519;619)の領域に、電気伝導性層(21;
   21‘;121;221;321;421)を有していることを特徴とする
   請求項１に記載の印刷装置。
3. 【請求項３】 前記電気伝導性層(21;21‘;121;221;32
   1;421)を有した通路(19;119;219;319;419;519;619)が、
   少なくとも、それぞれの荷電電極(15;115;215;315;415;
   515;615)の部分領域上に形成されており、当該荷電電極
   のそれぞれが個々に、導体通路(22-29;122-129;222,22
   3;322,323;422,423;522,523;622,623) を経て、それぞ
   れ並列的で制御可能な電位源(30-37;130-137) に接続さ
   れていることを特徴とする請求項２に記載の印刷装置。
4. 【請求項４】 前記導体通路(22-29;122-129;222,223;3
   22,323;422,423;522,523;622,623) が、これらがインク
   (11;111;211;311;411;511;611)と接触しないようにして
   配置されていることを特徴とする請求項３に記載の印刷
   装置。
5. 【請求項５】 非電気伝導性材料又は半導体から成るプ
   レート(50;116;216;316;416;516;616)が設けられてお
   り、当該プレートの通路(19;119;219;319;419;519;619)
   がノズル孔として形成されており、ノズルプレートとし
   て形造られていることを特徴とする請求項１〜４のいず
   れか１項に記載の印刷装置。
6. 【請求項６】 前記ノズルプレートが、少なくとも、そ
   の通路(19;119;219;319;419;519;619)の領域において、
   マイナス又はプラス‐電位に接続されていることを特徴
   とする請求項５に記載の印刷装置。
7. 【請求項７】 前記導体通路(22-29;122-129;222,223;3
   22,323;422,423;522,523;622,623) が、前記プレート(1
   16;216;316;416;516;616) 、特にノズルプレートの表面
   上、特に前記インク(11;111;211;311;411;511;611)と相
   対する上面、例えばその場所の表面上に配置されてお
   り、当該導体通路が、これら表面上で前記電気伝導性層
   (121;221;321;421) に接続していることを特徴とする請
   求項３〜５のいずれか１項に記載の印刷装置。
8. 【請求項８】 前記の個別の通路(19;119;219;319;419;
   519;619)がそれぞれ、当該通路(19;119;219;319;419;51
   9;619)を制御するために異なる印加電位を有した、個別
   の導体通路(22-29;122-129;222,223;322,323;422,423;5
   22,523;622,623)を有していることを特徴とする請求項
   １〜７のいずれか１項に記載の印刷装置。
9. 【請求項９】 ノズルプレートとして形成されたプレー
   ト(116;216;316;416;516;616) に存在する前記通路(11
   9;219;319;419;519;619) が、少なくとも、その軸延長
   の部分領域上に、円筒状の横断面を有していることを特
   徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の印刷装
   置。
10. 【請求項１０】 前記通路(119;319;419;619) が、前記
    プレート(116;316;416;616) の横断面領域全体に渡る円
    筒状の横断面を有していることを特徴とする請求項９に
    記載の印刷装置。
11. 【請求項１１】 前記プレート(216) の部分横断面領域
    に渡る前記通路(219) が、円筒状の横断面であり、しか
    も、当該円筒状領域に接続して、そこから放出を行うた
    めの、ほぼ円錐台状に拡がった部分(241) を有している
    ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の
    印刷装置。
12. 【請求項１２】 前記プレート(516) の部分領域に渡る
    前記通路(519) が、円筒状の横断面であり、しかも、そ
    こから放出を行うために先細りになった、ほぼ円錐台状
    の入口(538) を有しており、当該入口の末端部の位置に
    円筒状部分(539)が接続されていることを特徴とする請
    求項１〜９のいずれか１項に記載の印刷装置。
13. 【請求項１３】 前記プレート(316) が、前記通路(31
    9) の領域内において、他の領域よりも大きくなった横
    断面厚さを有しており、それによって形成された或る表
    面上に突出した突出部(352) を有していることを特徴と
    する請求項９又は１０のいずれか１項に記載の印刷装
    置。
14. 【請求項１４】 そこから放出を行うための、ほぼ円錐
    台状に拡がった部分(241) 又は、前記プレート(316) の
    或る表面上に突出した突出部(352) が、前記プレート(2
    16;316) の表面上に設けられており、当該部分から前記
    インク(211;311)が放出されることを特徴とする請求項
    １２又は１３に記載の印刷装置。
15. 【請求項１５】 前記の電気伝導性層(21;21‘;121;22
    1;321;421)及び／又は前記導体通路(22-29;122-129;22
    2,223;322,323;422,423;522,523;622,623) が、銀又は
    金などの貴金属から形成されていることを特徴とする請
    求項１〜１４のいずれか１項に記載の印刷装置。
16. 【請求項１６】 前記通路(19;119;219;319;419)が、少
    なくとも、前記の電気伝導性層(21‘;121;221;321;421)
    を有した円筒状部分領域上に設けられていることを特
    徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載の印刷装
    置。
17. 【請求項１７】 前記プレート(16,17;50;116;216;316;
    416;516;616)が、珪素から形成されていることを特徴と
    する請求項１〜１６のいずれか１項に記載の印刷装置。
18. 【請求項１８】 前記の荷電電極(415;515;615) のそれ
    ぞれが、環状電極として形成されていることを特徴とす
    る請求項３〜１７のいずれか１項に記載の印刷装置。
19. 【請求項１９】 前記環状電極が、通路(419;519) 内に
    存在する環から形成されていることを特徴とする請求項
    １８に記載の印刷装置。
20. 【請求項２０】 前記の環が、前記通路(419;519) の軸
    方向の出口側末端まで達していることを特徴とする請求
    項１９に記載の印刷装置。
21. 【請求項２１】 前記の環が、円筒状又は多角形状又は
    欠円状の環横断面を有していることを特徴とする請求項
    １９又は２０に記載の印刷装置。
22. 【請求項２２】 前記環状電極が、前記プレート(416;5
    16;616) 、特にノズルプレートの、前記インク(411;51
    1;611) が放出される表面上に配置されていることを特
    徴とする請求項１８〜２１のいずれか１項に記載の印刷
    装置。
23. 【請求項２３】 前記環状電極が、平らな環として形成
    されていることを特徴とする請求項２２に記載の印刷装
    置。
24. 【請求項２４】 前記通路(519) が、少なくとも出口領
    域において、ｐ−又はｎ−付与する付与表面を有してお
    り、当該表面が、荷電電極(515) として用いられること
    を特徴とする請求項３〜２３のいずれか１項に記載の印
    刷装置。
25. 【請求項２５】 珪素などの半導体又は、電気的に非伝
    導性の材料から成る、更に別のプレート(17)が少なくと
    も１つ設けられており、その通路(19)が、電気伝導性層
    (21)を有しており、そのそれぞれが、個別の導体通路(2
    2-29) 上にて、それぞれ個別に配置された電位源(30-3
    7) と接続され、しかも、ノズルプレート(16)の電位と
    は反対の電位、例えばプラス‐電位を有していることを
    特徴とする請求項１〜２４のいずれか１項に記載の印刷
    装置。
26. 【請求項２６】 前記の少なくとも２つのプレート(16,
    17) が重なり合っており、その個別の通路(18,19) がそ
    れぞれ互いに直線上に配置されていることを特徴とする
    請求項２５に記載の印刷装置。
27. 【請求項２７】 ノズルプレートとしてのプレート(16)
    と、個別の荷電電極(15)を有した荷電プレートとして
    の、少なくとも１つの更に別のプレート(17)とが形成さ
    れていることを特徴とする請求項２５又は２６に記載の
    印刷装置。
28. 【請求項２８】 荷電プレートとして形成された前記プ
    レート(17)の通路(19)が、ノズルプレートとして形成さ
    れたもう一方の前記プレート(16)の通路(18)よりも、直
    径の点において大きく、例えば２倍大きいことを特徴と
    する請求項２５〜２７のいずれか１項に記載の印刷装
    置。
29. 【請求項２９】 ノズルプレートとして形成された前記
    プレート(16)の通路(18)が、そこから放出を行うため
    に、ほぼ円錐台状に（部分38）先細りになっていること
    を特徴とする請求項２５〜２８のいずれか１項に記載の
    印刷装置。
30. 【請求項３０】 前記通路(18)の、ほぼ円錐台状に先細
    りになった部分(38)の出口側に、円筒状の出口(39)が接
    続されていることを特徴とする請求項２９に記載の印刷
    装置。
31. 【請求項３１】 荷電プレートとして形成されたもう一
    方の前記プレート(17)における通路(19)が、円筒状部分
    (40)と、それに接続し、排出方向に対向したほぼ円錐台
    状に拡がった部分(41)とを有していることを特徴とする
    請求項２５〜３０のいずれか１項に記載の印刷装置。
32. 【請求項３２】 前記の各プレート(16,17;50;116;216;
    316;416;516;616)の前記通路(18,19;119;219;319;419;5
    19;619) が、エッチングによって製造されていることを
    特徴とする請求項１〜３１のいずれか１項に記載の印刷
    装置。
33. 【請求項３３】 前記電気伝導性層(21;21‘;121;221;3
    21;421)及び／又は前記導体通路(22-29;122-129;222,22
    3;322,323;422,423;522,523;622,623) が、前記プレー
    ト上への電気伝導性材料の蒸着及びエッチング方法によ
    って製造されることを特徴とする請求項１〜３２のいず
    れか１項に記載の印刷装置。
34. 【請求項３４】 ノズルプレートと荷電プレートが一つ
    になった、一体化プレート(50;116;216;316;416;516;61
    6)が設けられていることを特徴とする請求項１〜３３の
    いずれか１項に記載の印刷装置。
35. 【請求項３５】 前記の各プレート(16,17;50;116;216;
    316;416;516;616)が、約０．４ｍｍ以上の横断面厚みを
    有していることを特徴とする請求項１〜３４のいずれか
    １項に記載の印刷装置。
36. 【請求項３６】 前記のプレート(16,17;50;116;216;31
    6;416;516;616)が、集積チップの形態である電気制御機
    構を少なくとも１つ有しており、当該機構が、前記通路
    (19;119;219;319;419)を制御するために用いられること
    を特徴とする請求項１〜３５のいずれか１項に記載の印
    刷装置。
37. 【請求項３７】 前記のプレート(16,17;50;116;216;31
    6;416;516;616)が、前記インク(11;111;211;311;411;51
    1;611)のための貯蔵場所として、少なくとも１つの加工
    された、特にエッチング加工された室を有していること
    を特徴とする請求項１〜３６のいずれか１項に記載の印
    刷装置。
38. 【請求項３８】 ノズルプレートとして形成された前記
    プレート(16,17;50;116;216;316;416;516;616)を形成す
    るために、少なくとも２枚のプレートが貼り合わされて
    おり、しかも、後ろ側にあるプレート上において、前記
    インクジェット流(12;112;212;312;412;512;612)を噴射
    する圧力を発生させるための圧電振動子が組み込まれて
    いることを特徴とする請求項１〜３７のいずれか１項に
    記載の印刷装置。