JP2001062286A - Method and device for manufacturing alternate adsorption membrane - Google Patents
Method and device for manufacturing alternate adsorption membraneInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、交互吸着膜の製造
方法および製造装置に関するものであり、特に、各種電
子機器のディスプレイ用の発光素子、種々のセンサやフ
ィルタなどを量産する際に利用可能な技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film, and more particularly to a method and apparatus for mass-producing light emitting elements for displays of various electronic devices, various sensors and filters, and the like. Technology.
【０００２】[0002]
【従来の技術】複合有機薄膜を作成する方法として、交
互吸着（Layer-by-Layer Electrostatic Self-Assembl
y）を利用した方法は、１９９２年にＧ．デッカーらに
よって発表された（Decher.G, Hong.J.D. and J.Schmi
t: Thin Solid Films, 210/211, p.831(1992)）。この
方法では、正の電解質ポリマー（カチオン）の水溶液
と、負の電解質ポリマー（アニオン）の水溶液とを別々
の容器に用意し、これらの容器に、初期表面電荷を与え
た基板（被成膜材料）を交互に浸すことにより、基板上
に多層構造を有する複合有機超薄膜（交互吸着膜）が得
られる。たとえば、被成膜材料としてガラス基板を用い
た場合、このガラス基板の表面を親水処理して表面にＯ
Ｈ−基を導入して、初期表面電荷として負の電荷を与え
る。そして、この表面が負に帯電した基板を、正の電解
質ポリマー水溶液に浸せば、クーロン力により、少なく
とも表面電荷が中和されるまで正の電解質ポリマーが表
面に吸着し、１層の超薄膜が形成される。こうして形成
された超薄膜の表面部分は、正に帯電していることにな
る。そこで、今度はこの基板を負の電解質ポリマー水溶
液に浸せば、クーロン力により負の電解質ポリマーが吸
着し、１層の超薄膜が形成されることになる。このよう
にして、基板を２つの容器に交互に浸すことにより、正
の電解質ポリマーからなる超薄膜層と負の電解質ポリマ
ーからなる超薄膜層とを交互に成膜することができ、多
層構造をもった複合有機薄膜を形成することができる。2. Description of the Related Art As a method of forming a composite organic thin film, a layer-by-layer electrostatic self-assembly method is used.
The method using y) was described in 1992 by G. (Decher.G, Hong.JD and J.Schmi
t: Thin Solid Films, 210/211, p.831 (1992)). In this method, an aqueous solution of a positive electrolyte polymer (cation) and an aqueous solution of a negative electrolyte polymer (anion) are prepared in separate containers, and a substrate (film-forming material) having an initial surface charge is provided in these containers. ) Are alternately immersed to obtain a composite organic ultrathin film (alternate adsorption film) having a multilayer structure on the substrate. For example, when a glass substrate is used as a material for forming a film, the surface of the glass substrate is subjected to a hydrophilic treatment, and
An H - group is introduced to give a negative charge as the initial surface charge. Then, if the substrate whose surface is negatively charged is immersed in a positive electrolyte polymer aqueous solution, the Coulomb force causes the positive electrolyte polymer to be adsorbed on the surface at least until the surface charge is neutralized, and a one-layer ultrathin film is formed. It is formed. The surface portion of the ultra-thin film thus formed is positively charged. Then, when the substrate is immersed in a negative electrolyte polymer aqueous solution, the negative electrolyte polymer is adsorbed by Coulomb force, and a single-layer ultrathin film is formed. In this way, by alternately immersing the substrate in the two containers, an ultra-thin layer made of a positive electrolyte polymer and an ultra-thin layer made of a negative electrolyte polymer can be alternately formed, and the multilayer structure can be formed. Thus, a composite organic thin film can be formed.
【０００３】最近では、Ｍ．Ｆ．ルブナーらによって、
この交互吸着膜の製造を自動化する技術が発表されてお
り（A.C.Fon, O.Onitsuka, M.Ferreira, B.R. Hsieh an
d M.F.Rubner: J. Appl. Phys. 79(10) 15 May 1996
）、交互吸着膜の自動製造装置の構成が提案されてい
る。この装置を用いれば、被成膜材料となる基板がロボ
ットアームにより２つの水槽に交互に浸されるので、基
板上に交互吸着膜が自動的に成膜される。Recently, M.S. F. By Rubner et al.
Technologies for automating the production of this alternating adsorption membrane have been announced (ACFon, O. Onitsuka, M. Ferreira, BR Hsieh an
d MFRubner: J. Appl. Phys. 79 (10) 15 May 1996
), There has been proposed a configuration of an automatic manufacturing apparatus for an alternate adsorption film. When this apparatus is used, the substrate to be a film-forming material is alternately immersed in the two water tanks by the robot arm, so that the alternate adsorption film is automatically formed on the substrate.
【０００４】こうして作成された交互吸着膜は、有機Ｅ
Ｌ（Electro-Luminescence) 素子をはじめとする種々の
電子デバイスへの利用が期待されており、更に、表面に
交互吸着膜を形成することにより親水性を制御すること
が可能になるため、コンタクトレンズ表面へのコーティ
ング技術への応用や生体関連材料への応用も注目を集め
ている。また、交互吸着膜は、煙草の煙など、特定の粒
子を選択的に吸着する性質を有している。この吸着特性
を利用して、特願平１１−０７７５５３号明細書には、
粒子センサを実現する技術が開示されており、特願平１
１−０７７５５４号明細書には、フィルタを実現する技
術が開示されている。[0004] The alternately adsorbed film thus formed is composed of organic E
It is expected to be used for various electronic devices such as L (Electro-Luminescence) element, and furthermore, it becomes possible to control the hydrophilicity by forming an alternately adsorbed film on the surface. Application to surface coating technology and biomaterials are also attracting attention. Further, the alternate adsorption film has a property of selectively adsorbing specific particles such as cigarette smoke. Utilizing this adsorption property, Japanese Patent Application No. 11-077553 discloses that
A technology for realizing a particle sensor has been disclosed.
1-0775554 discloses a technology for realizing a filter.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述した交互吸着膜の
成膜技術は、現段階ではまだ実用化の域に達しておら
ず、電子デバイス、粒子センサ、フィルタなど、交互吸
着膜を利用した製品を商業的に生産するためには、解決
すべき課題が残されている。上述したように、交互吸着
の方法を利用して複合有機薄膜を作成する手法は、１９
９２年に発表されたばかりの技術であり、交互吸着膜の
製造は実験室レベルで行われているにすぎない。商業的
利用に向けて解決すべき課題の１つは、正確な膜厚制御
を可能にすることである。この課題についての解決方法
のひとつが、特願平１０−２６７２８６号明細書および
当該出願に基づく優先権主張を伴って１９９９年８月１
８日に日本国特許庁を受理官庁としてなされた国際出願
明細書に開示されている。この方法では、水晶振動子を
利用することにより、正確な膜厚制御が可能になる。一
方、商業的利用に向けて解決すべきもう１つの課題は、
量産化を可能にし、製造コストを低減することである。
前掲明細書に開示された技術によれば、ロボットアーム
を用いて被成膜材料を各水槽に交互に浸す処理を自動化
することが可能であるが、フィルタなどの用途に利用す
る交互吸着膜を、リーズナブルなコストで量産するには
まだまだ不十分である。たとえば、従来の製造方法によ
り１ｍ四方の大きさの交互吸着膜を製造する場合、少な
くとも１ｍ四方の水槽と、この水槽内から被成膜材料を
高さ２ｍ程度吊りあげることができるロボットアームが
必要になり、非常に大掛かりな装置を用いた大掛かりな
作業が必要になる。The above-described technique for forming an alternately adsorbed film has not yet reached practical use at the present stage, and products using the alternately adsorbed film, such as electronic devices, particle sensors, and filters, have not been developed yet. There are still problems to be solved for commercial production of. As described above, the method of forming a composite organic thin film using the alternate adsorption method is as follows.
This technology was just announced in 1992, and the production of the alternating adsorption film is performed only at the laboratory level. One of the issues to be solved for commercial use is to enable accurate film thickness control. One of the solutions to this problem is disclosed in Japanese Patent Application No. 10-267286 and August 1, 1999, with a priority claim based on that application.
It is disclosed in the international application specification filed on August 8 with the Japan Patent Office as the receiving Office. In this method, accurate film thickness control becomes possible by using a quartz oscillator. On the other hand, another problem to be solved for commercial use is
The objective is to enable mass production and reduce manufacturing costs.
According to the technology disclosed in the above-mentioned specification, it is possible to automate the process of alternately immersing a film-forming material in each water tank using a robot arm. It is not enough to mass-produce at a reasonable cost. For example, when manufacturing a 1 m square alternately adsorbing film by a conventional manufacturing method, at least a 1 m square water tank and a robot arm capable of suspending a film-forming material from the inside of the water tank at a height of about 2 m are required. And a large-scale operation using a very large-scale device is required.
【０００６】そこで本発明は、量産化に適した交互吸着
膜の製造方法および製造装置を提供することを目的とす
る。Accordingly, an object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film suitable for mass production.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】(1) 本発明の第１の態
様は、正の荷電粒子を含む溶液と負の荷電粒子を含む溶
液とに被成膜材料を交互に複数回浸すことにより、多層
構造を有する交互吸着膜を製造する交互吸着膜の製造方
法において、一方の荷電粒子を含む溶液を収容した第１
の溶液槽と、他方の荷電粒子を含む溶液を収容した第２
の溶液槽と、を用意し、第１の溶液槽内から直接または
他の槽を介して間接的に第２の溶液槽内へと進み、この
第２の溶液槽から直接または他の槽を介して間接的に再
び第１の溶液槽内へと戻る循環路を定義し、環状の被成
膜材料をこの循環路に沿って配置し、この循環路に沿っ
て回転させることにより、環状の被成膜材料の表面に交
互吸着膜を形成させるようにしたものである。Means for Solving the Problems (1) A first aspect of the present invention is to alternately immerse a film-forming material in a solution containing positive charged particles and a solution containing negative charged particles a plurality of times. A method for producing an alternate adsorption film having a multilayer structure, wherein a first solution containing a solution containing one charged particle is contained.
And a second solution tank containing a solution containing charged particles of the other type.
And a solution tank is prepared and proceeds directly from the first solution tank or indirectly through another tank into the second solution tank, and directly or from the second solution tank to another tank. A circulation path which indirectly returns to the first solution tank via the second solution tank, the annular film-forming material is arranged along the circulation path, and is rotated along the circulation path to form an annular film. An alternate adsorption film is formed on the surface of the film-forming material.
【０００８】(2) 本発明の第２の態様は、上述の第１
の態様に係る交互吸着膜の製造方法において、被成膜材
料の表面に付着した溶液を洗浄するための第１のリンス
浴槽および第２のリンス浴槽を用意し、第１の溶液槽
内、第１のリンス浴槽内、第２の溶液槽内、第２のリン
ス浴槽内と順に進み、再び第１の溶液槽内へと戻る循環
路を定義するようにしたものである。(2) A second aspect of the present invention is the above-mentioned first aspect.
In the method for manufacturing an alternate adsorption film according to the aspect, a first rinsing bath and a second rinsing bath for cleaning a solution attached to the surface of the film-forming material are prepared. In this case, a circulation path is defined which proceeds in the order of the first rinsing bath, the second solution bath, and the second rinsing bath, and returns to the first solution bath again.
【０００９】(3) 本発明の第３の態様は、正の荷電粒
子を含む溶液と負の荷電粒子を含む溶液とに被成膜材料
を交互に複数回浸すことにより、多層構造を有する交互
吸着膜を製造する交互吸着膜の製造装置において、一方
の荷電粒子を含む溶液を収容するための第１の溶液槽
と、他方の荷電粒子を含む溶液を収容するための第２の
溶液槽と、第１の溶液槽内から直接または他の槽を介し
て間接的に第２の溶液槽内へと進み、この第２の溶液槽
から直接または他の槽を介して間接的に再び第１の溶液
槽内へと戻る循環路に沿って、環状の被成膜材料の各部
を搬送することにより、環状の被成膜材料を循環路に沿
って回転させる搬送装置と、を設けるようにしたもので
ある。(3) In a third aspect of the present invention, a film-forming material is alternately immersed a plurality of times in a solution containing positively charged particles and a solution containing negatively charged particles to form an alternating film having a multilayer structure. In an apparatus for manufacturing an alternating adsorption film for producing an adsorption film, a first solution tank for containing a solution containing one charged particle, and a second solution tank for containing a solution containing the other charged particle, From the first solution tank directly or indirectly via another tank into the second solution tank, and from the second solution tank directly or indirectly again via the other tank to the first solution tank again. And a transfer device that rotates the annular film-forming material along the circulation path by conveying each part of the annular film-forming material along the circulation path returning to the inside of the solution tank. Things.
【００１０】(4) 本発明の第４の態様は、上述の第３
の態様に係る交互吸着膜の製造装置において、被成膜材
料の表面に付着した溶液を洗浄するための第１のリンス
浴槽および第２のリンス浴槽を更に設け、搬送装置が、
第１の溶液槽内、第１のリンス浴槽内、第２の溶液槽
内、第２のリンス浴槽内と順に進み、再び第１の溶液槽
内へと戻る循環路に沿って、環状の被成膜材料を搬送す
るようにしたものである。(4) The fourth aspect of the present invention is the above-described third aspect.
In the apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to the aspect, a first rinsing bath and a second rinsing bath for cleaning the solution attached to the surface of the film-forming material are further provided, and the transfer device is provided.
An annular cover is formed along a circulation path that advances in the order of the first solution tank, the first rinsing bath, the second solution tank, and the second rinsing bath, and returns to the first solution tank again. The film forming material is transported.
【００１１】(5) 本発明の第５の態様は、上述の第４
の態様に係る交互吸着膜の製造装置において、第１の溶
液槽、第１のリンス浴槽、第２の溶液槽、第２のリンス
浴槽のうちの少なくとも１つの槽を、物理的に分離した
複数の個別槽によって構成し、搬送装置が、複数の個別
槽内を順に進むような循環路に沿って、環状の被成膜材
料を搬送するようにしたものである。(5) The fifth aspect of the present invention relates to the above-described fourth aspect.
In the apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to the aspect, at least one of the first solution tank, the first rinsing bath, the second solution tank, and the second rinsing bath is physically separated from each other. The transport device transports an annular film-forming material along a circulation path that sequentially advances in a plurality of individual vessels.
【００１２】(6) 本発明の第６の態様は、上述の第５
の態様に係る交互吸着膜の製造装置において、循環路に
沿って合計Ｎ段の物理的に分離した槽を設けるように
し、第１段目〜第（Ｎ−１）段目の槽を順次隣接配置
し、これらの上方または下方位置に第Ｎ段目の槽を配置
するようにしたものである。(6) The sixth aspect of the present invention is the above-mentioned fifth aspect.
In the apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to the embodiment, a total of N physically separated tanks are provided along the circulation path, and the first to (N-1) th tanks are sequentially adjacent to each other. The N-th tank is arranged above or below these tanks.
【００１３】(7) 本発明の第７の態様は、正の荷電粒
子を含む溶液と負の荷電粒子を含む溶液とに被成膜材料
を交互に複数回浸すことにより、多層構造を有する交互
吸着膜を製造する交互吸着膜の製造装置において、複数
Ｎ個の槽と、第１の槽から第Ｎの槽に至るまで、この複
数Ｎ個の各槽内を順次通り、再び第１の槽内へと戻る循
環路に沿って、環状の被成膜材料の各部を搬送すること
により、環状の被成膜材料を循環路に沿って回転させる
搬送装置と、を設けるようにしたものである。(7) According to a seventh aspect of the present invention, a film-forming material is alternately immersed in a solution containing positively charged particles and a solution containing negatively charged particles a plurality of times, thereby forming a multilayered structure. In the apparatus for manufacturing an alternate adsorption film for producing an adsorption film, a plurality of N tanks and a plurality of N tanks are sequentially passed through the N tanks from the first tank to the Nth tank. A transport device that rotates the annular film-forming material along the circulation path by transporting each part of the annular film-forming material along a circulation path that returns to the inside. .
【００１４】(8) 本発明の第８の態様は、上述の第３
〜第７の態様に係る交互吸着膜の製造装置において、搬
送装置が、各槽内に設けられた槽内ローラと、槽外の循
環路上に設けられた槽外ローラと、を有し、環状の被成
膜材料を各ローラによって搬送する機能を果たすように
したものである。(8) The eighth aspect of the present invention is directed to the third aspect described above.
In the apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to any one of the first to seventh aspects, the transport device includes an in-tank roller provided in each of the tanks, and an out-of-tank roller provided on a circulation path outside the tank. The function of transporting the film-forming material by the respective rollers is achieved.
【００１５】(9) 本発明の第９の態様は、上述の第８
の態様に係る交互吸着膜の製造装置において、搬送装置
に、槽内ローラの上下方向に関する位置を調整する機構
を付加するようにしたものである。(9) The ninth aspect of the present invention is the above-mentioned eighth aspect.
In the apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to the aspect, a mechanism for adjusting the position of the in-tank roller in the vertical direction is added to the transport device.
【００１６】(10) 本発明の第１０の態様は、上述の
第８の態様に係る交互吸着膜の製造装置において、各ロ
ーラのうち、環状の被成膜材料の第１の面に接触するロ
ーラが、ほぼ周面全体が被成膜材料に接触する構造をな
し、環状の被成膜材料の第２の面に接触するローラが、
被成膜材料の搬送用部分のみに接触する構造をなすよう
にしたものである。(10) According to a tenth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing an alternately attracted film according to the above-described eighth aspect, of the respective rollers, the first surface of the annular film-forming material is brought into contact. The roller has a structure in which substantially the entire peripheral surface is in contact with the film-forming material, and the roller in contact with the second surface of the annular film-forming material is:
The structure is such that the film-forming material comes into contact only with the transfer portion.
【００１７】(11) 本発明の第１１の態様は、上述の第
３〜第１０の態様に係る交互吸着膜の製造装置におい
て、ロール状の被成膜材料を保持するロール保持部と、
このロール保持部に保持された被成膜材料の一端を循環
路へと導く導入路と、を設け、この導入路上に、被成膜
材料の表面に初期電荷を与えるための放電装置を設ける
ようにしたものである。(11) According to an eleventh aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film according to the third to tenth aspects, a roll holding section for holding a roll-shaped material to be deposited is provided;
An introduction path for guiding one end of the film-forming material held by the roll holding unit to the circulation path, and a discharge device for providing an initial charge to the surface of the film-forming material is provided on the introduction path. It was made.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示する実施形態
に基いて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments.
【００１９】§１．交互吸着膜の一般的な製造方法 図１は、一般的な交互吸着膜の製造原理を示す概念図で
ある。ここでは、被成膜材料として、たとえばガラスや
シリコンなどの基板１０を用意し、その表面に交互吸着
膜を形成する基本原理を示す。まず、第１の槽２０に、
正の電解質ポリマー（カチオン）の水溶液を用意し、第
２の槽３０に、負の電解質ポリマー（アニオン）の水溶
液を用意する。そして、被成膜材料となる基板１０の表
面を親水処理して表面にＯＨ−基を導入して、初期表面
電荷として負の電荷を与える。図２(a) は、このように
して、基板１０の表面が負に帯電した状態を示す概念図
である。続いて、この負に帯電した基板１０を第１の槽
２０内に入れると、基板１０の表面に正の電解質ポリマ
ーが接触し、クーロン力により吸着することになる。図
２(b) は、正の電解質ポリマーが吸着した状態を示す概
念図である。ここで、この基板１０を第２の槽３０内に
入れると、今度は、基板１０の表面に負の電解質ポリマ
ーが接触し、クーロン力により吸着することになる。図
２(c) は、負の電解質ポリマーが吸着した状態を示す概
念図である。このように、基板１０を第１の槽２０と第
２の槽３０とに交互に浸漬させてゆけば、基板１０の表
面には、正の電界質ポリマーからなる層と負の電解質ポ
リマーからなる層とが交互に成膜されてゆくことにな
り、最終的に多層構造をもった交互吸着膜が形成され
る。 §1. General Manufacturing Method of Alternating Adsorption Film FIG. 1 is a conceptual diagram showing the manufacturing principle of a general alternating adsorption film. Here, a basic principle of preparing a substrate 10 of, for example, glass or silicon as a material to be formed and forming an alternately adsorbing film on the surface thereof will be described. First, in the first tank 20,
An aqueous solution of a positive electrolyte polymer (cation) is prepared, and an aqueous solution of a negative electrolyte polymer (anion) is prepared in the second tank 30. Then, the surface of the substrate 10 to be a film-forming material is subjected to a hydrophilic treatment to introduce an OH - group into the surface, thereby giving a negative charge as an initial surface charge. FIG. 2A is a conceptual diagram showing a state where the surface of the substrate 10 is negatively charged. Subsequently, when the negatively charged substrate 10 is put into the first tank 20, the positive electrolyte polymer comes into contact with the surface of the substrate 10 and is adsorbed by Coulomb force. FIG. 2B is a conceptual diagram showing a state where the positive electrolyte polymer is adsorbed. Here, when the substrate 10 is placed in the second tank 30, the negative electrolyte polymer comes into contact with the surface of the substrate 10 and is adsorbed by Coulomb force. FIG. 2C is a conceptual diagram showing a state where the negative electrolyte polymer is adsorbed. As described above, if the substrate 10 is alternately immersed in the first tank 20 and the second tank 30, the surface of the substrate 10 is formed of a layer made of a positive electrolyte polymer and a layer made of a negative electrolyte polymer. The layers are alternately formed, and an alternately adsorbed film having a multilayer structure is finally formed.
【００２０】もっとも、図２に示す概念図は、原理を説
明するために単純化したモデルを示すものであり、実際
には、図３あるいは図４に示す概念図に近い状態で薄膜
形成が行われるものと思われる。図３は、２回目の浸漬
処理（第１の槽２０から基板１０を取り出し、第２の槽
３０に浸したときの処理）における吸着状態を示す概念
図である。基板１０の表面には、既に、１回目の浸漬処
理によって、正の電解質ポリマーからなる第１層目の薄
膜Ａ１が形成されており、この薄膜Ａ１によって作用す
るクーロン力により、第２の槽３０内の負の電解質ポリ
マーｂが表面に吸着することになる。基板１０を第２の
槽３０内に一定時間浸漬させておけば、第２の槽３０内
の負の電解質ポリマーｂが次々と表面に吸着し、第２層
目の薄膜Ｂ２が形成されることになる。ただし、ある程
度の時間が経過して、負の電解質ポリマーｂからなる第
２層目の薄膜Ｂ２が厚くなってくると、もはや薄膜Ａ１
によるクーロン力は作用しなくなり、その時点で吸着は
飽和点を迎えることになる。However, the conceptual diagram shown in FIG. 2 shows a simplified model for explaining the principle. In practice, thin film formation is performed in a state close to the conceptual diagram shown in FIG. 3 or FIG. It seems to be done. FIG. 3 is a conceptual diagram showing a suction state in the second immersion processing (processing when the substrate 10 is taken out of the first tank 20 and immersed in the second tank 30). On the surface of the substrate 10, a first-layer thin film A1 made of a positive electrolyte polymer is already formed by the first immersion treatment, and the second tank 30 is formed by the Coulomb force acting by the thin film A1. The negative electrolyte polymer “b” is adsorbed on the surface. If the substrate 10 is immersed in the second tank 30 for a certain period of time, the negative electrolyte polymer b in the second tank 30 is successively adsorbed on the surface, and the second thin film B2 is formed. become. However, after a certain period of time has elapsed, when the second thin film B2 made of the negative electrolyte polymer b becomes thicker, the thin film A1 is no longer formed.
The Coulomb force is no longer applied, at which point the adsorption reaches the saturation point.
【００２１】なお、この吸着処理に用いる電解質ポリマ
ーの濃度やｐＨ値、吸着時間などの条件によって、ポリ
マー分子内のセグメント間のクーロン力による反発が大
きくなったり小さくなったり変化するため、分子の充填
密度は、これらの条件に左右されることになる。したが
って、これらの条件の設定次第によって、非常に薄い膜
を形成することも、比較的厚い膜を形成することも可能
になる。The repulsion due to the Coulomb force between the segments in the polymer molecule increases or decreases depending on conditions such as the concentration, pH value, and adsorption time of the electrolyte polymer used in the adsorption treatment. Density will depend on these conditions. Therefore, depending on the setting of these conditions, it is possible to form a very thin film or a relatively thick film.
【００２２】図４は、このような浸漬処理を合計６回行
ったときに形成される交互吸着膜の構造を示す概念図で
ある。ここで、奇数番目の層を構成する薄膜Ａ１，Ａ
３，Ａ５は、正の電解質ポリマーからなる層であり、偶
数番目の層を構成する薄膜Ｂ２，Ｂ４，Ｂ６は、負の電
解質ポリマーからなる層である。これら各層の厚みは、
浸漬処理の時間によって制御することが可能である。上
述したように、ある程度の厚みに達すると、電気的中和
によりクーロン力が作用しなくなるため吸着は飽和点を
迎えることになるが、この飽和点に至るまでは、浸漬時
間が長ければ長いほど膜厚は厚くなる。FIG. 4 is a conceptual diagram showing the structure of the alternately adsorbed film formed when such immersion treatment is performed six times in total. Here, the thin films A1, A constituting the odd-numbered layers
3, A5 are layers made of a positive electrolyte polymer, and the thin films B2, B4, B6 constituting even-numbered layers are layers made of a negative electrolyte polymer. The thickness of each of these layers is
It can be controlled by the time of the immersion treatment. As described above, when a certain thickness is reached, the Coulomb force does not act due to electrical neutralization, so adsorption will reach a saturation point, but until reaching this saturation point, the longer the immersion time, the longer the immersion time The film thickness increases.
【００２３】結局、このようにして形成された交互吸着
膜は、正の電荷をもった第１の帯電膜Ａ１，Ａ３，Ａ５
と、負の電荷をもった第２の帯電膜Ｂ２，Ｂ４，Ｂ６
と、を基板１０上に交互に吸着させてなる膜ということ
ができる。しかも、図３あるいは図４の概念図からわか
るように、各帯電膜は、クーロン力やファン・デル・ワ
ールス力のような分子間力によって互いに結び付いた多
数のポリマーからなる自己組織化膜（Self-Assembly Fi
lm）を構成しているため、本質的に内部に空洞構造を有
している。別言すれば、各帯電膜は、多孔質膜あるいは
繊維質膜を形成していることになり、その内部には、匂
いの素となるような分子、イオン、煙の粒子などが侵入
可能な空洞構造が形成されており、これらの粒子に対し
て高い吸着特性を有する。この吸着特性を利用すれば、
交互吸着膜を粒子センサやフィルタなどとして利用する
ことが可能になる。As a result, the alternately attracted films formed in this way are the first charged films A1, A3, A5 having a positive charge.
And the second charged films B2, B4, B6 having negative charges
Are alternately adsorbed on the substrate 10. Moreover, as can be seen from the conceptual diagrams of FIG. 3 and FIG. 4, each charged film is a self-assembled film (Self-assembled film) composed of a large number of polymers linked to each other by an intermolecular force such as Coulomb force or Van der Waals force. -Assembly Fi
lm), it essentially has a hollow structure inside. In other words, each charged film forms a porous film or a fibrous film, into which molecules, ions, smoke particles, etc. that can be odorants can enter. A hollow structure is formed and has high adsorption characteristics for these particles. By using this adsorption property,
The alternating adsorption film can be used as a particle sensor, a filter, or the like.
【００２４】なお、上述の基本原理では、各槽に、正お
よび負の電解質ポリマー水溶液を用意し、基板１０を交
互に浸漬させる例を示したが、各槽に用意する液は必ず
しも電解質ポリマー水溶液である必要はない。電解質ポ
リマーの代わりに電解質モノマーを用いることも可能で
あり、水溶液の代わりに有機溶媒を用いた溶液を用いる
ことも可能である。あるいは、フェライト微粒子や金属
錯体微粒子などを帯電させた状態で分散させた溶液を用
いることも可能である（詳細は、前掲国際出願明細書を
参照）。要するに、正の荷電粒子を含む溶液と負の荷電
粒子を含む溶液とに、被成膜材料を交互に複数回浸すこ
とにより、多層構造を有する交互吸着膜を形成すること
が可能になる。In the above-described basic principle, an example is shown in which positive and negative electrolytic polymer aqueous solutions are prepared in each tank and the substrate 10 is alternately immersed. However, the liquid prepared in each tank is not necessarily an electrolytic polymer aqueous solution. Need not be. An electrolyte monomer may be used instead of the electrolyte polymer, and a solution using an organic solvent may be used instead of the aqueous solution. Alternatively, it is also possible to use a solution in which ferrite fine particles, metal complex fine particles, and the like are dispersed in a charged state (for details, see the above-mentioned International Application Specification). In short, by alternately immersing the film-forming material a plurality of times in the solution containing the positively charged particles and the solution containing the negatively charged particles, it is possible to form an alternating adsorption film having a multilayer structure.
【００２５】§２．本発明に係る交互吸着膜の製造方法
および製造装置 交互吸着膜は、図１に示すように、被成膜材料となる基
板１０を、２つの槽２０，３０に交互に浸すことにより
作成することができる。しかしながら、基板１０を交互
に移し替えることにより膜生成を行う方法は、交互吸着
膜を商業的に量産する上では、あまり効率的な方法とは
言えない。本発明に係る交互吸着膜の製造方法の要点
は、基板１０の代わりに、環状の被成膜材料を用いる点
にある。たとえば、ロール状の繊維を被成膜材料として
用いるのであれば、まず、このロール状の繊維を所定の
長さだけ引き出して切断することにより、細長い帯状の
被成膜材料を作成する。そして、その両端を接合するこ
とにより全体を環状にする。この環状の被成膜材料の一
部分を槽２０内に浸し、別な一部分を槽３０内に浸した
状態にし、その状態で、被成膜材料を回転駆動させれ
ば、被成膜材料の個々の部分は、槽２０と槽３０とに交
互に浸されることになるので、表面に交互吸着膜が形成
されることになる。もっとも、被成膜材料を槽２０から
槽３０へと、あるいは槽３０から槽２０へと、直接移動
させると、各槽内の溶液が徐々に混じってしまうことに
なるので、実用上は、被成膜材料の表面に付着した溶液
を洗浄するためのリンス浴槽を中間に設けるようにする
のが好ましい。 §2. Method for producing alternate adsorption film according to the present invention
As shown in FIG. 1, the alternate adsorption film of the manufacturing apparatus can be formed by alternately immersing a substrate 10 as a material to be formed into two tanks 20 and 30. However, the method of forming a film by alternately transferring the substrates 10 is not a very efficient method for commercial mass production of the alternately adsorbed film. The essential point of the method for manufacturing an alternate adsorption film according to the present invention resides in that an annular film-forming material is used instead of the substrate 10. For example, if a roll-shaped fiber is used as the film-forming material, first, the roll-shaped fiber is drawn out by a predetermined length and cut to form an elongated strip-shaped film-forming material. And the whole is made annular by joining both ends. A part of this annular film-forming material is immersed in the tank 20 and another part is immersed in the tank 30. In this state, if the film-forming material is rotationally driven, each of the film-forming materials is Is alternately immersed in the tank 20 and the tank 30, so that an alternate adsorption film is formed on the surface. However, if the material to be deposited is directly moved from the tank 20 to the tank 30 or from the tank 30 to the tank 20, the solution in each tank gradually mixes. It is preferable to provide an intermediate rinse bath for cleaning the solution attached to the surface of the film forming material.
【００２６】図５は、本発明の一実施形態に係る交互吸
着膜の製造装置の正断面図である。この装置は、底部プ
レート１１０、中間プレート１２０、上部プレート１３
０なる３つのプレートによって支持されている。底部プ
レート１１０と中間プレート１２０との間には、側壁１
４１，１４２が形成されており、下部収容部が形成され
ている。同様に、中間プレート１２０と上部プレート１
３０との間には、側壁１４３，１４４が形成されてお
り、上部収容部が形成されている。下部収容部には、水
槽群１５０が配置されており、上部収容部には、水槽１
６０が配置されている。ここで、水槽１６０は物理的に
単一の水槽から構成されているが、水槽群１５０は、物
理的に分離した５つの水槽１５１〜１５５によって構成
されている。図には、各水槽内に液が入れられた状態が
示されている。FIG. 5 is a front sectional view of an apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to one embodiment of the present invention. The device comprises a bottom plate 110, an intermediate plate 120, a top plate 13
0 are supported by three plates. Between the bottom plate 110 and the intermediate plate 120, the side wall 1
41 and 142 are formed, and a lower housing portion is formed. Similarly, the intermediate plate 120 and the upper plate 1
Side walls 143 and 144 are formed between the upper housing 30 and the upper housing 30. A water tank group 150 is arranged in the lower housing, and a water tank 1 is mounted in the upper housing.
60 are arranged. Here, the water tank 160 is physically constituted by a single water tank, but the water tank group 150 is constituted by five physically separated water tanks 151 to 155. The figure shows a state where the liquid is put in each water tank.
【００２７】この装置の各部には、図示のとおり、多数
のローラＲ１〜Ｒ１９が配置されている。各ローラの回
転軸は、紙面に垂直な方向を向いており、この回転軸の
両端は、各プレートおよび側壁から構成されるフレーム
部によって支持されている。なお、図が繁雑になるのを
避けるため、ここでは、各回転軸を支持する構成要素は
図示を省略してある。これらのローラのうち、ローラＲ
４，Ｒ６，Ｒ８，Ｒ１０，Ｒ１２は、それぞれ水槽１５
１，１５２，１５３，１５４，１５５の内部に配置され
た槽内ローラであり、ローラＲ１６，Ｒ１７は、水槽１
６０の内部に配置された槽内ローラである。残りのロー
ラは、いずれも水槽の外部に配置された槽外ローラであ
る。なお、槽内ローラＲ４，Ｒ６，Ｒ８，Ｒ１０，Ｒ１
２については、それぞれ水槽内において上下方向に関す
る位置を調整する機構が備わっており、水槽内の任意の
深さ位置に固定することが可能である。図における破線
の矢印は、各槽内ローラＲ４，Ｒ６，Ｒ８，Ｒ１０，Ｒ
１２の上下の移動範囲を示している。As shown, a number of rollers R1 to R19 are arranged in each part of the apparatus. The rotation axis of each roller is oriented in a direction perpendicular to the plane of the paper, and both ends of the rotation axis are supported by a frame section composed of each plate and a side wall. Note that, in order to avoid complicating the drawing, components that support each rotating shaft are not illustrated here. Of these rollers, roller R
4, R6, R8, R10, and R12 each have a water tank 15
1, 152, 153, 154, 155 are rollers inside the tank, and rollers R16, R17 are
60 is a roller in the tank arranged inside 60. The remaining rollers are all outside-tank rollers arranged outside the water tank. The rollers R4, R6, R8, R10, R1 in the tank
Regarding 2, each has a mechanism for adjusting the position in the vertical direction in the water tank, and can be fixed at an arbitrary depth position in the water tank. Dashed arrows in the figure indicate rollers R4, R6, R8, R10, R in each tank.
12 shows a vertical movement range.
【００２８】ローラＲ２〜Ｒ１８は、１つの循環路を形
成する位置に配置されている。すなわち、この装置で
は、水槽１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１
６０と順に進み、再び水槽１５１へと戻る循環路が形成
されており、ローラＲ２〜Ｒ１８は、この循環路上に配
置されている。環状の被成膜材料は、この循環路に沿っ
て配置され、回転駆動されることになる。図５において
実線で示されている被成膜材料Ｓは、この循環路に沿っ
て配置された環状の被成膜材料を示している。別言すれ
ば、この環状の被成膜材料Ｓを示す実線は、循環路その
ものを示していることになる。なお、ローラＲ１９は、
図示されていないモータによって回転駆動される駆動ロ
ーラとなっており、循環路上に配置された環状の被成膜
材料Ｓのうち、ローラＲ１８，Ｒ１９によって挟まれた
部分は、駆動ローラＲ１９の回転によって図の下方へと
送り出されることになり、環状の被成膜材料Ｓは、全体
として、図において時計回りの方向に回転駆動される。The rollers R2 to R18 are arranged at positions forming one circulation path. That is, in this apparatus, the water tanks 151, 152, 153, 154, 155, 1
A circulation path that proceeds in the order of 60 and returns to the water tank 151 is formed, and the rollers R2 to R18 are arranged on this circulation path. The annular film-forming material is arranged along the circulation path and is driven to rotate. The film-forming material S shown by a solid line in FIG. 5 indicates an annular film-forming material arranged along the circulation path. In other words, the solid line indicating the annular film-forming material S indicates the circulation path itself. The roller R19 is
The driving roller is driven by a motor (not shown), and a portion of the annular film-forming material S disposed on the circulation path, which is sandwiched between the rollers R18 and R19, is rotated by the driving roller R19. As a result, the annular film-forming material S is driven to rotate clockwise in the figure as a whole.
【００２９】上部プレート１３０の右端下面には、ロー
ル状の被成膜材料を保持するロール保持部１７０が設け
られている。このロール保持部１７０に保持されたロー
ル状の被成膜材料Ｓ′の一端は、ローラＲ１を介してロ
ーラＲ２へと導かれる。ローラＲ１は、このように、ロ
ール保持部１７０に保持された被成膜材料Ｓ′を循環路
へと導く導入路を形成する機能を果たす。図では、この
導入路を一点鎖線で示してある。なお、この導入路の途
中には、被成膜材料Ｓ′の表面に初期電荷を与えるため
の放電装置１８０が設けられている。On the lower surface of the right end of the upper plate 130, a roll holder 170 for holding a roll-shaped material to be deposited is provided. One end of the roll-shaped film-forming material S ′ held by the roll holding section 170 is guided to the roller R2 via the roller R1. The roller R1 has a function of forming an introduction path for guiding the film-forming material S ′ held by the roll holding section 170 to the circulation path. In the figure, this introduction path is indicated by a chain line. In the middle of the introduction path, there is provided a discharge device 180 for giving an initial charge to the surface of the film-forming material S '.
【００３０】さて、この装置を用いた交互吸着膜の製造
プロセスは次のとおりである。まず、各水槽に所定の液
を用意する。この装置では、水槽１５１は、正（または
負）の荷電粒子を含む溶液を収容するための第１の溶液
槽として用いられ、水槽１５４は、負（または正）の荷
電粒子を含む溶液を収容するための第２の溶液槽として
用いられる。また、水槽１５２，１５３は、被成膜材料
の表面に付着した水槽１５１内の溶液を洗浄するための
第１のリンス浴槽として用いられ、水槽１５５，１６０
は、被成膜材料の表面に付着した水槽１５４内の溶液を
洗浄するための第２のリンス浴槽として用いられる。各
水槽に用意する液として、具体例を示しておくと、たと
えば、第１の溶液槽１５１内に、正の電解質ポリマーと
して、ポリアリルアミン塩酸塩（poly-allylaminehydro
chloride：略称ＰＡＨ：分子量＝５５０００）を用意
し、第２の溶液槽１５４内に、負の電解質ポリマーとし
て、ポリアクリル酸（poly-acrylic acid ：略称ＰＡ
Ａ：分子量＝９００００）を用意し（いずれも、１０
−２mol/ｌの濃度の水溶液）、各リンス浴槽１５２，１
５３，１５５，１６０内に、１８ＭΩ・ｃｍ以上の超純
水を用意する。Now, the manufacturing process of the alternate adsorption film using this apparatus is as follows. First, a predetermined liquid is prepared in each water tank. In this device, the water tank 151 is used as a first solution tank for containing a solution containing positive (or negative) charged particles, and the water tank 154 contains a solution containing negative (or positive) charged particles. Used as a second solution tank. The water tanks 152 and 153 are used as first rinsing baths for cleaning the solution in the water tank 151 attached to the surface of the film-forming material.
Is used as a second rinsing bath for cleaning the solution in the water tank 154 attached to the surface of the film-forming material. As a specific example of the liquid prepared in each water tank, for example, a poly-allylamine hydrochloride (poly-allylamine hydrochloride) as a positive electrolyte polymer in the first solution tank 151 is shown.
chloride: abbreviated PAH: molecular weight = 55000) and prepared in the second solution tank 154 as poly-acrylic acid (abbreviated as PA) as a negative electrolyte polymer.
A: molecular weight = 90000) (all 10
-2 mol / l aqueous solution), each rinsing bath 152,1
Ultrapure water of 18 MΩ · cm or more is prepared in 53, 155, 160.
【００３１】なお、ここに示す実施形態では、リンス浴
槽をそれぞれ２段階ずつ用意してあるが、これはリンス
効果をより高めるためである。たとえば、水槽１５１内
を通過することにより付着したポリアリルアミン塩酸塩
の溶液は、第１段階のリンス浴槽１５２を通過すること
により一応除去されるが、次第に、第１段階のリンス浴
槽１５２内のポリアリルアミン塩酸塩濃度は高まってく
るため、第１段階のリンス浴槽１５２を通過させるだけ
では、被成膜材料に付着したポリアリルアミン塩酸塩を
完全に除去することは困難になってくる。図示の装置で
は、残留していたポリアリルアミン塩酸塩の溶液は、第
２段階のリンス浴槽１５３を通過することにより、更に
除去されることになる。もちろん、より多段のリンス浴
槽を設けることにより、付着溶液の除去をより確実にす
ることが可能である。In the embodiment shown here, the rinsing bath is provided in two stages, respectively, in order to further enhance the rinsing effect. For example, the solution of polyallylamine hydrochloride attached by passing through the water bath 151 is temporarily removed by passing through the first-stage rinsing bath 152, but gradually the polyallylamine hydrochloride solution in the first-stage rinsing bath 152 is gradually removed. Since the concentration of allylamine hydrochloride increases, it is difficult to completely remove polyallylamine hydrochloride attached to the film-forming material only by passing through the first-stage rinsing bath 152. In the illustrated apparatus, the remaining solution of polyallylamine hydrochloride is further removed by passing through the second-stage rinsing bath 153. Of course, by providing more rinsing baths, it is possible to more reliably remove the adhering solution.
【００３２】こうして、各槽内に所定の液が準備できた
ら、ロール保持部１７０に、被成膜材料となるロール状
材料をセットする。たとえば、交互吸着膜を利用したフ
ィルタを作成するのであれば、ガラス繊維からなるロー
ル状材料をセットすればよい。このロール状材料の一端
を引き出し、ローラＲ１，Ｒ２，Ｒ３を経て、水槽１５
１内に入れ、ローラＲ４の下方を通して水槽１５１から
引き上げる。続いて、ローラＲ５の上方を通して、水槽
１５２内に入れ、ローラＲ６の下方を通して水槽１５２
から引き上げる。以下、同様にして、循環路に沿って各
水槽１５３，１５４，１５５，１６０内に入れてゆき、
ローラＲ１８，Ｒ１９間を通して再びローラＲ２の位置
までもってくる。ここで、ロール保持部１７０から引き
出されているロール状材料を切断し、両端を接合（たと
えば、接着剤で接合したり、縫合したりすればよい）す
ることにより環状の被成膜材料Ｓを形成する。この環状
の被成膜材料Ｓは、循環路に配置された状態になる。When a predetermined liquid is prepared in each tank in this way, a roll-shaped material to be a film-forming material is set in the roll holding section 170. For example, if a filter using an alternate adsorption film is to be prepared, a roll-shaped material made of glass fiber may be set. One end of this roll-shaped material is pulled out, passed through rollers R1, R2, R3,
1 and lifted out of the water tank 151 under the roller R4. Subsequently, the water tank 152 passes through above the roller R5 into the water tank 152, and passes under the roller R6.
Pull up from. Hereinafter, in the same manner, the water is introduced into each of the water tanks 153, 154, 155, and 160 along the circulation path,
The roller R2 is again brought to the position of the roller R2 through the space between the rollers R18 and R19. Here, the roll-shaped material S pulled out from the roll holding unit 170 is cut, and both ends are joined (for example, it is sufficient to join or stitch together with an adhesive) to form the annular film-forming material S. Form. This annular film-forming material S is placed in the circulation path.
【００３３】以上で、準備は完了である。この状態で、
駆動ローラＲ１９を回転駆動させれば、環状の被成膜材
料Ｓは、循環路に沿って図の時計回りに回転することに
なる。この回転運動により、被成膜材料Ｓの各部分は、
水槽１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１６０
を経て、再び水槽１５１へと巡回するように搬送される
ことになる。こうして、被成膜材料Ｓの表面には、一巡
によって２層からなる累積層が形成される。たとえば、
図４に示すような６層からなる累積層を形成するには、
合計３巡するように回転駆動させればよい。このよう
に、環状の被成膜材料を一度セットしてしまえば、これ
を回転駆動させるだけの処理で、多層からなる累積層を
次々と形成してゆくことができる点が、本発明の特徴で
ある。一般に、フィルタなどの用途に用いる交互吸着膜
の場合、１００層以上の累積層を形成するのが好まし
い。本発明に係る装置を用いれば、５０巡回させる処理
により、１００層の累積層を形成することができ、作業
効率は極めて高くなる。こうして、必要な厚みをもった
交互吸着膜が形成できたら、環状の被成膜材料Ｓの一部
を切断して各ローラから外せばよい。With the above, the preparation is completed. In this state,
If the drive roller R19 is driven to rotate, the annular film-forming material S rotates clockwise in the figure along the circulation path. Due to this rotation, each part of the film-forming material S is
Water tanks 151, 152, 153, 154, 155, 160
After that, it is transported so as to go around to the water tank 151 again. Thus, a cumulative layer consisting of two layers is formed on the surface of the film-forming material S in one round. For example,
To form a six-layer cumulative layer as shown in FIG.
What is necessary is just to rotationally drive so that three rounds may be made in total. As described above, once the annular film-forming material has been set, the accumulated layer composed of multiple layers can be formed one after another by a process of simply rotating and driving the material. It is. Generally, in the case of an alternate adsorption film used for applications such as a filter, it is preferable to form 100 or more cumulative layers. When the apparatus according to the present invention is used, 100 cumulative layers can be formed by the process of making 50 rounds, and the working efficiency is extremely high. In this manner, when an alternately attracted film having a required thickness can be formed, a part of the annular film-forming material S may be cut and removed from each roller.
【００３４】図示の実施形態に係る装置の場合、循環路
の総距離は１０ｍ程度になる。そこで、幅１ｍのロール
状ガラス繊維（厚み約０．５ｍｍ）をロール保持部１７
０にセットし、ここからガラス繊維の布地を導入路およ
び循環路に沿って１０ｍほど引き出して、幅１ｍ、長さ
１０ｍの帯状の被成膜材料を用意し、その両端を縫合す
ることにより環状の被成膜材料Ｓを作成するようにし
た。そして、約４５分で循環路を一巡するような速度
で、駆動ローラＲ１９をゆっくりと回転駆動させ、合計
で５０巡回させることにより、環状の被成膜材料Ｓの表
面に１００層からなる交互吸着膜を形成した（上述した
ように、第１の溶液槽１５１内には、正の電解質ポリマ
ーとしてポリアリルアミン塩酸塩が用意され、第２の溶
液槽１５４内には、負の電解質ポリマーとして、ポリア
クリル酸が用意されている）。このようにして、表面に
交互吸着膜が形成された被成膜材料（ガラス繊維）を適
当な大きさに切断し、これを８枚重ねることによりフィ
ルタを作成した結果、煙草の煙の粒子を効果的に吸着す
ることができるフィルタを得ることができた。In the case of the apparatus according to the illustrated embodiment, the total distance of the circulation path is about 10 m. Therefore, a roll-shaped glass fiber (about 0.5 mm thick) having a width of 1 m is rolled into the roll holding section 17.
Set it to 0, pull out the glass fiber fabric about 10m along the introduction path and the circulation path from this, prepare a strip-shaped film-forming material having a width of 1m and a length of 10m, and stitch both ends of the material to form a ring. Is formed. Then, the drive roller R19 is slowly rotated and driven at a speed such that it makes a round of the circulation path in about 45 minutes, so that the drive roller R19 makes a total of 50 rounds to alternately adsorb 100 layers on the surface of the annular film-forming material S. A film was formed (as described above, polyallylamine hydrochloride was prepared as a positive electrolyte polymer in the first solution tank 151, and polyallylamine was prepared as a negative electrolyte polymer in the second solution tank 154. Acrylic acid is available). In this manner, the film-forming material (glass fiber) having the alternately adsorbed film formed on the surface is cut into an appropriate size, and eight filters are stacked to form a filter. A filter that can be effectively adsorbed was obtained.
【００３５】なお、前述したように、槽内ローラＲ４，
Ｒ６，Ｒ８，Ｒ１０，Ｒ１２は、それぞれ水槽内におい
て上下方向に関する位置を調整することができる。これ
により、各槽内における被成膜材料の浸漬時間を調整す
ることが可能になる。すなわち、槽内ローラを深い位置
に設定すれば、それだけ浸漬時間を長くすることがで
き、槽内ローラを浅い位置に設定すれば、それだけ浸漬
時間を短くすることができる。このように、本発明に係
る装置では、環状の被成膜材料Ｓの搬送速度が一定であ
ったとしても、槽内ローラの上下位置を調整することに
より、個々の槽内の浸漬時間を個別に調整することがで
きるので、交互吸着膜の奇数番目の層の厚み、偶数番目
の層の厚み、あるいはリンス効果の程度、を任意に設定
することができるようになる。As described above, the roller R4 in the tank,
Each of R6, R8, R10, and R12 can adjust the position in the vertical direction in the water tank. This makes it possible to adjust the immersion time of the film-forming material in each tank. That is, if the roller in the tank is set at a deep position, the immersion time can be lengthened accordingly, and if the roller in the tank is set at a shallow position, the immersion time can be shortened accordingly. As described above, in the apparatus according to the present invention, even when the transport speed of the annular film-forming material S is constant, the immersion time in each tank is individually adjusted by adjusting the vertical position of the roller in the tank. Therefore, the thickness of the odd-numbered layer, the thickness of the even-numbered layer, or the degree of the rinsing effect of the alternate adsorption film can be arbitrarily set.
【００３６】また、図示の実施形態の装置では、水槽１
５１，１５２，１５３，１５４，１５５までは、水槽群
１５０として下部収容部に配置され、最後の水槽１６０
が上部収容部に配置されているが、このような構成は、
環状の被成膜材料Ｓが空気に触れる時間をできるだけ少
なくすることができるので好ましい。本願発明者が行っ
た実験によると、交互吸着膜の形成過程で膜の表面が空
気に触れ、膜表面が乾燥してしまうと、高品質の交互吸
着膜を作成することができなくなる。したがって、循環
路に沿って回転中の被成膜材料は、できるだけ空気に触
れさせないようにした方が都合がよい。図示の例では、
下部収容部に５つの水槽１５１〜１５５が設けられ、被
成膜材料は図の右から左へと搬送されることになるが、
水槽１５５を経た後、被成膜材料を左から右へと戻す必
要がある。この左から右への帰路として、上部収容部に
設けられた水槽１６０内の経路をとるようにしたため、
全循環路において空気に触れる時間を低減させることが
できる。もちろん、帰路としての水槽を、水槽群１５０
の下方に設けるようにしてもかまわない。要するに、循
環路に沿って合計Ｎ段の物理的に分離した槽が設けられ
ていた場合、第１段目〜第（Ｎ−１）段目の槽を順次隣
接配置し、これらの上方または下方位置に第Ｎ段目の槽
を配置することにより、全循環路における空気に触れる
時間を低減させることができる。In the apparatus of the illustrated embodiment, the water tank 1
51, 152, 153, 154, and 155 are arranged in the lower housing as a tank group 150, and the last tank 160
Is located in the upper housing, but such a configuration
This is preferable because the time during which the annular material S is exposed to air can be reduced as much as possible. According to an experiment conducted by the inventor of the present application, when the surface of the film comes into contact with air in the process of forming the alternately adsorbed film and the film surface is dried, a high quality alternately adsorbed film cannot be formed. Therefore, it is more convenient to keep the film-forming material rotating along the circulation path from contacting air as much as possible. In the example shown,
Five water tanks 151 to 155 are provided in the lower housing section, and the film-forming material is transported from right to left in the drawing.
After passing through the water tank 155, it is necessary to return the film-forming material from left to right. As a return route from left to right, the route in the water tank 160 provided in the upper housing portion is taken,
It is possible to reduce the time of contact with air in the entire circuit. Of course, the water tank as a return route is
May be provided below. In short, when a total of N physically separated tanks are provided along the circulation path, the first to (N-1) th tanks are sequentially arranged adjacent to each other and above or below these tanks. By arranging the N-th tank at the position, it is possible to reduce the time of contact with air in the entire circulation path.
【００３７】ここに示す実施形態では、２種類の構造を
もったローラが用いられている。すなわち、各ローラの
うち、環状の被成膜材料Ｓの第１の面（この例では、内
側面）に接触するローラ、たとえば、ローラＲ１は、図
６に示すように、ほぼ周面全体が被成膜材料に接触する
円柱状の構造を有している。これに対し、環状の被成膜
材料Ｓの第２の面（この例では、外側面）に接触するロ
ーラ、たとえば、ローラＲ３は、図７に示すように、被
成膜材料Ｓの搬送用部分のみ（図示の例では、両端の部
分）に接触する構造を有している。このように、２種類
の構造をもったローラを用いることにより、交互吸着膜
の破壊を防ぐことができる。すなわち、原理的には、環
状の被成膜材料の内側／外側の両面に交互吸着膜が形成
されることになるが、せっかく吸着膜が形成されたとし
ても、ローラと機械的な接触が生じると、膜が剥離した
り、破壊されたりしてしまう。図６に示すローラＲ１の
場合は、その周面全体が被成膜材料に接触するため、環
状の被成膜材料に十分な張力を与えることができ、皺が
よるようなことを防ぐことはできるが、吸着膜との接触
により膜は剥離したり、破壊されたりする可能性があ
る。これに対し、図７に示すローラＲ３の場合は、搬送
用部分（この例では両端部分）のみが被成膜材料上の吸
着膜に接触するだけであり、中央の主要部は膜に非接触
の状態が保たれる。結局、上述した２種類の構造をもっ
たローラを併用することにより、被成膜材料の外側面の
中央部分に形成された膜は品質が維持されることにな
る。In the embodiment shown here, rollers having two types of structures are used. That is, among the rollers, the roller that contacts the first surface (in this example, the inner surface) of the annular film-forming material S, for example, the roller R1 has substantially the entire peripheral surface as shown in FIG. It has a columnar structure that comes into contact with the material to be formed. On the other hand, as shown in FIG. 7, a roller that contacts the second surface (outer surface in this example) of the annular film-forming material S, such as a roller R3, is used to transport the film-forming material S. It has a structure that contacts only the portions (in the illustrated example, both end portions). As described above, by using the rollers having the two types of structures, it is possible to prevent the alternate adsorption film from being broken. That is, in principle, alternately adsorbing films are formed on both inner and outer surfaces of the annular film-forming material, but even if the adsorbing film is formed, mechanical contact with the roller occurs. Then, the film is peeled or broken. In the case of the roller R1 shown in FIG. 6, since the entire peripheral surface is in contact with the film-forming material, sufficient tension can be applied to the annular film-forming material, and it is possible to prevent wrinkles from occurring. Although it is possible, the film may be peeled or broken by contact with the adsorption film. On the other hand, in the case of the roller R3 shown in FIG. 7, only the transfer portion (in this example, both end portions) comes into contact only with the adsorbed film on the film-forming material, and the central main portion does not contact the film. Is maintained. As a result, the quality of the film formed on the central portion of the outer surface of the film-forming material can be maintained by using the rollers having the two types of structures described above in combination.
【００３８】通常、フィルタやセンサなどでは、被成膜
材料の片面だけに交互吸着膜が形成されていれば十分で
あるので、上述した２種類の構造をもったローラを用い
て、少なくとも被成膜材料の外側面の中央部分に高品質
の交互吸着膜が形成されていれば、実用上支障は生じな
い。結局、上述した２種類の構造をもったローラを用い
ることにより、被成膜材料に皺がよることを防ぎつつ、
一方の面の主要部にローラが機械的に接触することを防
ぐごとができるようになるのである。Usually, it is sufficient for a filter or a sensor to have an alternately adsorbed film formed on only one surface of a material to be formed. Therefore, at least the film is formed using the rollers having the above two types of structures. If a high-quality alternate adsorption film is formed at the center of the outer surface of the film material, practically no trouble occurs. After all, by using the rollers having the two types of structures described above, while preventing the material to be film-formed from wrinkling,
This makes it possible to prevent the roller from mechanically contacting the main part of one surface.
【００３９】最後に、放電装置１８０の機能について述
べておく。§１で述べたように、交互吸着膜の第１層目
を形成するためには、予め、被成膜材料の表面に初期電
荷を与えておく必要がある。たとえば、図２(a) に示す
例では、基板１０の表面に負の初期電荷が与えられてお
り、この初期電荷に基づくクーロン力により、図２(b)
に示すように第１層目の膜が吸着することになる。この
ような初期電荷は、通常、化学的な前処理によって与え
ることができる。たとえば、ガラス繊維を被成膜材料と
して用いる場合、このガラス繊維を、エタノールで洗浄
後、たとえば、１重量パーセントの水酸化カリウムのエ
タノール溶液に１日漬けておき、再びエタノールで洗浄
し、更に純水で洗浄して乾燥させれば、ガラス繊維を構
成するファイバ表面を親水処理することができ、かつ、
ＯＨ−基の導入により表面を負に帯電させることができ
る。Finally, the function of the discharge device 180 will be described. As described in §1, in order to form the first layer of the alternately adsorbing film, it is necessary to apply an initial charge to the surface of the film-forming material in advance. For example, in the example shown in FIG. 2A, a negative initial charge is given to the surface of the substrate 10, and the Coulomb force based on the initial charge causes the negative initial charge shown in FIG.
As shown in (1), the film of the first layer is adsorbed. Such an initial charge can usually be provided by a chemical pretreatment. For example, when glass fiber is used as a material for forming a film, the glass fiber is washed with ethanol, soaked in, for example, an ethanol solution of 1% by weight of potassium hydroxide for one day, washed again with ethanol, and further purified with ethanol. If washed with water and dried, the fiber surface constituting the glass fiber can be hydrophilically treated, and
The surface can be negatively charged by the introduction of OH - groups.
【００４０】放電装置１８０は、このような化学的な処
理に代えて、物理的な処理により初期電荷を与える機能
を果たす。図８は、放電装置１８０の拡大正断面図であ
る。放電装置１８０には、右側ブロック部１８１と左側
ブロック部１８２とが設けられており、両ブロック部１
８１，１８２の間には空隙が形成されている。ロール保
持部１７０に保持されたロール状の被成膜材料Ｓ′から
引き出された一端は、この空隙を通される。図８に示さ
れているように、右側ブロック部１８１の空隙面には、
針状電極１８３が多数形成されており、左側ブロック部
１８２の空隙面には、この針状電極１８３に対向する平
板電極１８４が形成されている。両電極１８３，１８４
間に所定の電圧を印加すると、被成膜材料Ｓ′を貫通し
てコロナ放電が生じ、このコロナ放電により被成膜材料
Ｓ′が負に帯電することになる。結局、ロール保持部１
７０から引き出された被成膜材料Ｓ′に対して、循環路
へと向かう導入路上において、表面に初期電荷を与える
ための放電処理が行われることになる。このような放電
装置１８０を利用すれば、初期電荷を与えるための化学
的な前処理は不要になる。The discharge device 180 has a function of giving initial charges by physical processing instead of such chemical processing. FIG. 8 is an enlarged front sectional view of the discharge device 180. The discharge device 180 is provided with a right block 181 and a left block 182.
A gap is formed between 81 and 182. One end drawn from the roll-shaped film-forming target material S 'held by the roll holding section 170 passes through this gap. As shown in FIG. 8, the gap surface of the right block portion 181 includes
A large number of needle electrodes 183 are formed, and a flat plate electrode 184 facing the needle electrodes 183 is formed on the gap surface of the left block portion 182. Both electrodes 183, 184
When a predetermined voltage is applied during this time, a corona discharge occurs through the film-forming material S ', and the film-forming material S' is negatively charged by the corona discharge. After all, the roll holding unit 1
A discharge process for giving an initial charge to the surface is performed on the film-forming material S 'drawn out from the surface on the introduction path toward the circulation path. The use of such a discharge device 180 eliminates the need for a chemical pretreatment for providing an initial charge.
【００４１】以上、本発明を図示する実施形態に基づい
て説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるもの
ではなく、この他にも種々の形態で実施可能である。特
に、図５に示す装置における各水槽の配置や、ローラの
位置などは、設計上任意に変更することができるもので
ある。また、上述の例では、被成膜材料としてガラス繊
維を用いているが、被成膜材料としては、交互吸着膜を
形成する基材として適した材料であれば、どのようなも
のを用いてもかまわない。たとえば、ポリエステル、ナ
イロン、アクリル、絹、毛などの繊維は、フィルタを作
成するための被成膜材料として最適である。この他、ポ
リプロピレン、ポリウレタン、ポリスチレンなども被成
膜材料として適しており、これらの材料は、特に、放電
装置１８０による放電処理（１５ｋＶ〜３０ｋＶ程度の
高電圧を印加すればよい）により容易に初期電荷を与え
ることが可能である。もちろん、市販のエレクトレット
フィルター材料をそのまま被成膜材料として利用するこ
とも可能である。この場合、既に初期電荷が与えられた
状態となっているので、初期電荷を与えるための特別な
前処理は不要になる。また、金属シートや金属メッシュ
などの導電性材料を被成膜材料として利用することも可
能であるが、この場合、放電装置１８０を利用すること
はできないので、化学的な前処理により初期電荷を与え
る必要がある。たとえば、アルミニウムのメッシュであ
れば、１規定の塩酸に５分ほど浸しておくだけで、表面
に負の初期電荷を与えることができる。As described above, the present invention has been described based on the illustrated embodiments. However, the present invention is not limited to this embodiment, and can be implemented in various other forms. In particular, the arrangement of each water tank and the position of the rollers in the apparatus shown in FIG. 5 can be arbitrarily changed in design. In the above-described example, glass fiber is used as a material for forming a film. However, as a material for forming a film, any material may be used as long as it is a material suitable as a base material for forming an alternate adsorption film. It doesn't matter. For example, fibers such as polyester, nylon, acrylic, silk, and wool are most suitable as a material for forming a film for producing a filter. In addition, polypropylene, polyurethane, polystyrene, and the like are also suitable as a material for forming a film, and these materials can be easily initialized particularly by a discharge treatment using a discharge device 180 (a high voltage of about 15 kV to 30 kV may be applied). It is possible to provide a charge. Of course, a commercially available electret filter material can be used as it is as a film-forming material. In this case, since the initial charge has already been given, no special preprocessing for giving the initial charge is required. It is also possible to use a conductive material such as a metal sheet or a metal mesh as a material for forming a film, but in this case, since the discharge device 180 cannot be used, the initial charge is reduced by a chemical pretreatment. Need to give. For example, in the case of an aluminum mesh, a negative initial charge can be given to the surface only by immersing it in 1N hydrochloric acid for about 5 minutes.
【００４２】上述の実施形態では、正の荷電粒子を含む
溶液と、負の荷電粒子を含む溶液と、をそれぞれ一種類
ずつ用意して交互吸着膜を形成しているが、正の荷電粒
子を含む溶液を複数種類、あるいは負の荷電粒子を含む
溶液を複数種類用意して交互吸着膜を形成する場合に
も、本発明は適用可能である。たとえば、正の荷電粒子
を含む溶液として、溶液Ｐ１，Ｐ２の２種類を用意し、
負の荷電粒子を含む溶液として溶液Ｎを用意した場合で
あれば、第１の槽に溶液Ｐ１、第２の槽に溶液Ｎ、第３
の槽に溶液Ｐ２、第４の槽に溶液Ｎを収容し、第１の槽
から第４の槽に至るまで、この４つの各槽内を順次通
り、再び第１の槽内へと戻る循環路に沿って、環状の被
成膜材料を回転駆動させればよい（実用上は、各溶液槽
間にそれぞれリンス浴槽を設けるのが好ましい）。この
場合、被成膜材料上には、Ｐ１，Ｎ，Ｐ２，Ｎ，……と
いう層構成からなる交互吸着膜が形成される。もちろ
ん、負の荷電粒子を含む溶液も、溶液Ｎ１，Ｎ２の２種
類を用意するようにし、第１の槽に溶液Ｐ１、第２の槽
に溶液Ｎ１、第３の槽に溶液Ｐ２、第４の槽に溶液Ｎ２
を収容すれば、被成膜材料上には、Ｐ１，Ｎ１，Ｐ２，
Ｎ２，……という層構成からなる交互吸着膜が形成され
る。また、同極性の荷電粒子を含む溶液槽内を連続して
通すことも可能である。たとえば、正の荷電粒子を含む
溶液として、溶液Ｐ１，Ｐ２の２種類を用意し、負の荷
電粒子を含む溶液として溶液Ｎを用意した場合、第１の
槽に溶液Ｐ１、第２の槽に溶液Ｐ２、第３の槽に溶液Ｎ
を収容し、第１の槽から第３の槽に至るまで、この３つ
の各槽内を順次通り、再び第１の槽内へと戻る循環路に
沿って環状の被成膜材料を回転駆動させれば、被成膜材
料上には、Ｐ１，Ｐ２，Ｎ……という層構成からなる交
互吸着膜が形成される。もっとも、この場合、溶液Ｐ１
内の正の荷電粒子からなる層の厚みが大きくなりすぎる
と、溶液Ｐ２内の正の荷電粒子が吸着しなくなってしま
うので、各層の厚みは適当に設定する必要がある。この
他、成膜工程の途中段階において、ある特定の溶液を別
な溶液に入れ替える作業を行うようにすれば、途中から
成膜成分の異なる交互吸着膜を形成することも可能にな
る。In the above-described embodiment, a solution containing positively charged particles and a solution containing negatively charged particles are prepared one by one to form an alternately adsorbed film. The present invention is also applicable to a case where a plurality of types of solutions containing negative charged particles or a plurality of types of solutions containing negatively charged particles are prepared to form an alternate adsorption film. For example, as a solution containing positive charged particles, two types of solutions P1 and P2 are prepared,
If the solution N is prepared as a solution containing negative charged particles, the solution P1 in the first tank, the solution N in the second tank,
The solution P2 is stored in the first tank, the solution N is stored in the fourth tank, and the circulation from the first tank to the fourth tank sequentially returns through the four tanks and back into the first tank. What is necessary is just to rotationally drive the annular film-forming material along the path (in practice, it is preferable to provide a rinsing bath between each solution bath). In this case, an alternate adsorption film having a layer configuration of P1, N, P2, N,... Is formed on the film-forming material. Of course, two types of solutions containing negative charged particles are also prepared, ie, solutions N1 and N2, the solution P1 in the first tank, the solution N1 in the second tank, the solution P2 in the third tank, and the fourth solution. Solution N2 in the tank
Is accommodated, P1, N1, P2,
An alternate adsorption film having a layer structure of N2,... Is formed. It is also possible to continuously pass through a solution tank containing charged particles of the same polarity. For example, when two types of solutions P1 and P2 are prepared as a solution containing positively charged particles, and a solution N is prepared as a solution containing negatively charged particles, the solution P1 is placed in the first tank and the solution P1 is placed in the second tank. Solution P2, solution N in third tank
From the first tank to the third tank, and sequentially rotates through the three tanks, and rotationally drives the annular film-forming material along a circulation path returning to the first tank again. By doing so, an alternate adsorption film having a layer structure of P1, P2, N... Is formed on the film-forming material. However, in this case, the solution P1
If the thickness of the layer composed of the positively charged particles in the inside becomes too large, the positively charged particles in the solution P2 will not be adsorbed. Therefore, it is necessary to appropriately set the thickness of each layer. In addition, if an operation of replacing a specific solution with another solution is performed in the middle of the film forming process, it is possible to form an alternately adsorbed film having different film forming components in the middle.
【００４３】[0043]
【発明の効果】以上のとおり本発明に係る交互吸着膜の
製造方法および製造装置によれば、環状の被成膜材料を
回転駆動させることにより異なる水槽間への交互搬送を
行うようにしたため、量産に適した交互吸着膜の製造が
可能になる。As described above, according to the method and the apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film according to the present invention, the annular film-forming material is rotated and driven to alternately transport between different water tanks. It becomes possible to manufacture an alternate adsorption film suitable for mass production.
【図１】一般的な交互吸着膜の製造原理を示す概念図で
ある。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a manufacturing principle of a general alternating adsorption film.
【図２】図１に示す製造原理に基いて、基板１０表面に
電解質ポリマーが吸着する様子を示す概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram showing how an electrolyte polymer is adsorbed on the surface of a substrate 10 based on the manufacturing principle shown in FIG.
【図３】図１に示す製造原理に基く２回目の浸漬処理に
おけるより具体的な吸着状態を示す概念図である。FIG. 3 is a conceptual diagram showing a more specific adsorption state in a second dipping process based on the manufacturing principle shown in FIG.
【図４】図３に示す浸漬処理を合計６回行ったときに形
成される交互吸着膜の構造を示す概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram showing a structure of an alternate adsorption film formed when the immersion treatment shown in FIG. 3 is performed six times in total.
【図５】本発明の一実施形態に係る交互吸着膜の製造装
置の正断面図である。FIG. 5 is a front sectional view of an apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to an embodiment of the present invention.
【図６】図５に示す装置に用いられている第１のタイプ
のローラを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a first type of roller used in the apparatus shown in FIG. 5;
【図７】図５に示す装置に用いられている第２のタイプ
のローラを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a second type of roller used in the apparatus shown in FIG. 5;
【図８】図５に示す装置に用いられている放電装置１８
０の詳細構造を示す正断面図である。FIG. 8 shows a discharge device 18 used in the device shown in FIG.
It is a front sectional view showing the detailed structure of No. 0.
１０…基板 ２０…第１の溶液槽 ３０…第２の溶液槽 １１０…底部プレート １２０…中間プレート １３０…上部プレート １４１〜１４４…側壁 １５０…水槽群 １５１…第１の溶液槽 １５２…第１のリンス浴用の第１段目の槽 １５３…第１のリンス浴用の第２段目の槽 １５４…第２の溶液槽 １５５…第２のリンス浴用の第１段目の槽 １６０…第２のリンス浴用の第２段目の槽 １７０…ロール保持部 １８０…放電装置 １８１…右側ブロック部 １８２…左側ブロック部 １８３…針状電極 １８４…平板電極 Ａ１，Ａ３，Ａ５…正の電解質ポリマーからなる薄膜 Ｂ２，Ｂ４，Ｂ６…負の電解質ポリマーからなる薄膜 ｂ…負の電解質ポリマー Ｒ１〜Ｒ１９…ローラ Ｓ…環状の被成膜材料（実線：循環路に相当） Ｓ′…導入途中の被成膜材料（一点鎖線：導入路に相
当）DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Substrate 20 ... 1st solution tank 30 ... 2nd solution tank 110 ... Bottom plate 120 ... Intermediate plate 130 ... Top plate 141-144 ... Side wall 150 ... Water tank group 151 ... 1st solution tank 152 ... 1st First-stage tank for rinsing bath 153: Second-stage tank for first rinsing bath 154: Second solution tank 155: First-stage tank for second rinsing bath 160: Second rinsing Second bath for bath 170 Roll holding section 180 Discharge device 181 Right block section 182 Left block section 183 Needle electrode 184 Flat plate electrode A1, A3, A5 Thin film made of positive electrolyte polymer B2 , B4, B6: a thin film composed of a negative electrolyte polymer b: a negative electrolyte polymer R1 to R19: a roller S: an annular film-forming material (solid line: corresponding to a circulation path) S ': a film-forming material being introduced (Dotted line: equivalent to the introduction path)
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｇ０２Ｃ 7/04 Ｇ０２Ｃ 7/04 Ｇ０２Ｂ 1/10 Ｚ Ｆターム(参考） 2H006 BC05 2K009 BB02 BB13 BB14 BB24 BB25 BB27 CC02 CC21 CC24 DD02 DD06 DD08 DD09 EE00 EE02 4D075 AB01 AB32 AB41 AB43 AB56 AE03 BB20Z BB65X DA04 DC19 DC22 EA06 4F042 AA06 AA22 CA01 DD45 DF23 DF26 ED03 4G075 AA25 BB04 EC23 ED06 ED09 FA12 FA16 FB06 FB12 FC02Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) G02B 1/10 G02C 7/04 G02C 7/04 G02B 1/10 Z F term (reference) 2H006 BC05 2K009 BB02 BB13 BB14 BB24 BB25 BB27 CC02 CC21 CC24 DD02 DD06 DD08 DD09 EE00 EE02 4D075 AB01 AB32 AB41 AB43 AB56 AE03 BB20Z BB65X DA04 DC19 DC22 EA06 4F042 AA06 AA22 CA01 DD45 DF23 DF26 ED03 4G075 AA25 BB04 EC23 FA12 ED06 ED09
Claims (11)
を含む溶液とに被成膜材料を交互に複数回浸すことによ
り、多層構造を有する交互吸着膜を製造する方法におい
て、 一方の荷電粒子を含む溶液を収容した第１の溶液槽と、
他方の荷電粒子を含む溶液を収容した第２の溶液槽と、
を用意し、前記第１の溶液槽内から直接または他の槽を
介して間接的に前記第２の溶液槽内へと進み、前記第２
の溶液槽から直接または他の槽を介して間接的に再び前
記第１の溶液槽内へと戻る循環路を定義し、環状の被成
膜材料を前記循環路に沿って配置し、前記環状の被成膜
材料を前記循環路に沿って回転させることにより、前記
環状の被成膜材料の表面に交互吸着膜を形成させること
を特徴とする交互吸着膜の製造方法。1. A method for producing an alternately adsorbed film having a multilayer structure by alternately immersing a film-forming material in a solution containing positively charged particles and a solution containing negatively charged particles a plurality of times. A first solution tank containing a solution containing charged particles,
A second solution tank containing a solution containing the other charged particles,
And proceeds directly from the first solution tank to the second solution tank directly or indirectly through another tank to form the second solution tank.
Defining a circulation path directly or indirectly again through another tank from the solution tank to the first solution tank, arranging an annular film-forming material along the circulation path, Rotating the film-forming material along the circulation path to form an alternately-adsorbing film on the surface of the annular film-forming material.
において、 被成膜材料の表面に付着した溶液を洗浄するための第１
のリンス浴槽および第２のリンス浴槽を用意し、第１の
溶液槽内、第１のリンス浴槽内、第２の溶液槽内、第２
のリンス浴槽内と順に進み、再び前記第１の溶液槽内へ
と戻る循環路を定義することを特徴とする交互吸着膜の
製造方法。2. The method for manufacturing an alternately adsorbed film according to claim 1, wherein a first solution for cleaning a solution adhered to a surface of the film-forming material is formed.
A first rinsing bath, a first rinsing bath, a second rinsing bath, and a second rinsing bath.
Wherein a circulation path is defined which goes in order to the inside of the rinsing bath and returns to the first solution tank again.
を含む溶液とに被成膜材料を交互に複数回浸すことによ
り、多層構造を有する交互吸着膜を製造する装置であっ
て、 一方の荷電粒子を含む溶液を収容するための第１の溶液
槽と、 他方の荷電粒子を含む溶液を収容するための第２の溶液
槽と、 前記第１の溶液槽内から直接または他の槽を介して間接
的に前記第２の溶液槽内へと進み、前記第２の溶液槽か
ら直接または他の槽を介して間接的に再び前記第１の溶
液槽内へと戻る循環路に沿って、環状の被成膜材料の各
部を搬送することにより、前記環状の被成膜材料を前記
循環路に沿って回転させる搬送装置と、 を備えることを特徴とする交互吸着膜の製造装置。3. An apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film having a multilayer structure by alternately immersing a film-forming material a plurality of times in a solution containing positively charged particles and a solution containing negatively charged particles, A first solution tank for containing a solution containing one charged particle; a second solution tank for containing a solution containing the other charged particle; and a direct or other solution from inside the first solution tank. A circulation path indirectly proceeds into the second solution tank via a tank, and returns from the second solution tank directly or indirectly through another tank to the first solution tank again. A transport device for rotating the annular film-forming material along the circulation path by transporting each part of the annular film-forming material along the same. .
において、 被成膜材料の表面に付着した溶液を洗浄するための第１
のリンス浴槽および第２のリンス浴槽を更に備え、 搬送装置が、第１の溶液槽内、第１のリンス浴槽内、第
２の溶液槽内、第２のリンス浴槽内と順に進み、再び前
記第１の溶液槽内へと戻る循環路に沿って、環状の被成
膜材料を搬送することを特徴とする交互吸着膜の製造装
置。4. The apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film according to claim 3, wherein a first solution for cleaning a solution attached to a surface of the film-forming material is provided.
Further comprising a rinsing bath and a second rinsing bath, wherein the transfer device advances in the order of the first solution bath, the first rinsing bath, the second solution bath, and the second rinsing bath, and again An apparatus for manufacturing an alternate adsorption film, wherein an annular film-forming material is transported along a circulation path returning to a first solution tank.
において、 第１の溶液槽、第１のリンス浴槽、第２の溶液槽、第２
のリンス浴槽のうちの少なくとも１つの槽を、物理的に
分離した複数の個別槽によって構成し、 搬送装置が、複数の個別槽内を順に進むような循環路に
沿って、環状の被成膜材料を搬送することを特徴とする
交互吸着膜の製造装置。5. The apparatus for manufacturing an alternate adsorption film according to claim 4, wherein the first solution tank, the first rinsing bath, the second solution tank, and the second solution tank.
At least one of the rinsing baths is formed of a plurality of physically separated individual baths, and the transfer device is arranged along a circulation path that sequentially advances through the plurality of individual baths. An apparatus for manufacturing an alternate adsorption film, which transports a material.
において、 循環路に沿って合計Ｎ段の物理的に分離した槽が設けら
れており、第１段目〜第（Ｎ−１）段目の槽を順次隣接
配置し、これらの上方または下方位置に第Ｎ段目の槽を
配置したことを特徴とする交互吸着膜の製造装置。6. The apparatus for producing an alternate adsorption film according to claim 5, wherein a total of N physically separated tanks are provided along the circulation path, and the first to (N−1) th tanks are provided. 3.) An apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film, characterized in that the tanks of the stage are sequentially arranged adjacent to each other, and the tank of the Nth stage is arranged above or below the tanks.
を含む溶液とに被成膜材料を交互に複数回浸すことによ
り、多層構造を有する交互吸着膜を製造する装置であっ
て、 複数Ｎ個の槽と、 第１の槽から第Ｎの槽に至るまで前記Ｎ個の各槽内を順
次通り、再び前記第１の槽内へと戻る循環路に沿って、
環状の被成膜材料の各部を搬送することにより、前記環
状の被成膜材料を前記循環路に沿って回転させる搬送装
置と、 を備えることを特徴とする交互吸着膜の製造装置。7. An apparatus for producing an alternately adsorbed film having a multilayer structure by alternately immersing a film-forming material a plurality of times in a solution containing positively charged particles and a solution containing negatively charged particles, A plurality of N tanks, and sequentially along each of the N tanks from the first tank to the Nth tank, along a circulation path returning to the first tank again,
A transport device for rotating the annular film-forming material along the circulation path by transporting each part of the annular film-forming material;
着膜の製造装置において、 搬送装置が、各槽内に設けられた槽内ローラと、槽外の
循環路上に設けられた槽外ローラと、を有し、環状の被
成膜材料を前記各ローラによって搬送する機能を果たす
ことを特徴とする交互吸着膜の製造装置。8. The apparatus for producing an alternately adsorbed film according to claim 3, wherein the transfer device includes a roller in a tank provided in each tank and a tank provided on a circulation path outside the tank. And an outer roller, wherein a function of transporting the annular film-forming material by the respective rollers is achieved.
において、 搬送装置が、槽内ローラの上下方向に関する位置を調整
する機構を有することを特徴とする交互吸着膜の製造装
置。9. The manufacturing apparatus for an alternate adsorption film according to claim 8, wherein the transport device has a mechanism for adjusting a position of the roller in the tank in the vertical direction.
置において、 各ローラのうち、環状の被成膜材料の第１の面に接触す
るローラは、ほぼ周面全体が被成膜材料に接触する構造
をなし、環状の被成膜材料の第２の面に接触するローラ
は、被成膜材料の搬送用部分のみに接触する構造をなす
ことを特徴とする交互吸着膜の製造装置。10. The apparatus for manufacturing an alternately attracted film according to claim 9, wherein, of the rollers, the roller that contacts the first surface of the annular film-forming material has substantially the entire peripheral surface. Wherein the roller that contacts the second surface of the annular film-forming material has a structure that contacts only the portion for transporting the film-forming material. .
互吸着膜の製造装置において、 ロール状の被成膜材料を保持するロール保持部と、この
ロール保持部に保持された被成膜材料の一端を循環路へ
と導く導入路と、が設けられており、前記導入路上に、
被成膜材料の表面に初期電荷を与えるための放電装置が
設けられていることを特徴とする交互吸着膜の製造装
置。11. The apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film according to claim 3, wherein a roll holding section for holding a roll-shaped film-forming material, and a film formation held by the roll holding section. An introduction path for guiding one end of the material to the circulation path, and on the introduction path,
An apparatus for manufacturing an alternately adsorbed film, comprising a discharge device for providing an initial charge to a surface of a film-forming material.
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