JP2001051269A - Production of liquid crystal display device - Google Patents

Production of liquid crystal display device

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JP2001051269A
JP2001051269A JP11227460A JP22746099A JP2001051269A JP 2001051269 A JP2001051269 A JP 2001051269A JP 11227460 A JP11227460 A JP 11227460A JP 22746099 A JP22746099 A JP 22746099A JP 2001051269 A JP2001051269 A JP 2001051269A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To further simplify a production process when a substrate with a reflecting layer having light scattering functions is used as one of substrates. SOLUTION: An acrylic organic insulating film 17 is formed on a substrate 5 as the 1st one of a pair of substrates constituting a liquid crystal display device, and drops of a photoresist 18 are discharged from an ink jet head 10 on the acrylic organic insulating film 17 to form a pattern of the photoresist 18. The acrylic organic insulating film 17 is etched using the pattern as a mask, the photoresist 18 is removed, and protrusions 20 comprising the acrylic organic insulating film 17 are left on the substrate 5. Corners of the protrusions 20 are rounded off by heat treatment, and a reflecting electrode is formed on the protrusions 20.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造方法に関し、特に、液晶層を挟持する一対の基板のう
ちの一方に反射層が設けられた反射型液晶表示装置の製
造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a method of manufacturing a reflection type liquid crystal display device in which a reflection layer is provided on one of a pair of substrates sandwiching a liquid crystal layer. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の反射型液晶表示装置においては、
太陽光や照明光などの外光を反射させるための反射板
を、液晶層を挟持する一対の基板、偏光板等で構成され
る液晶パネルの外面(表示面と反対側の面)に外付けし
ていた。ところが、この構造の場合、視差が大きくな
り、画像が2重に映る等の視認性上の問題があった。そ
こで、アルミニウム等の反射率の高い金属からなる反射
層もしくは画素電極を兼ねた反射層(以下、これを反射
電極という)を液晶パネルの一方の基板上に作り込む反
射層内蔵パネルが提案され、既に実用化されている。し
かしながら、この反射層内蔵パネルにおいても、ただ単
に鏡面状の反射層を設けただけでは、表示画面に使用者
の顔や照明などが映る、いわゆる映り込みと呼ばれる現
象が発生し、視認性が悪くなってしまう。このため、反
射層の表面に凹凸を形成することによって光を散乱さ
せ、映り込みを防止する対策が採られている。
2. Description of the Related Art In a conventional reflection type liquid crystal display device,
A reflector for reflecting external light such as sunlight or illumination light is externally attached to the outer surface of the liquid crystal panel (the surface opposite to the display surface) including a pair of substrates sandwiching the liquid crystal layer, a polarizing plate, and the like. Was. However, in the case of this structure, there is a problem in visibility such that a parallax becomes large and an image is reflected twice. Therefore, a reflective layer built-in panel in which a reflective layer made of a metal having high reflectivity such as aluminum or a reflective layer also serving as a pixel electrode (hereinafter, referred to as a reflective electrode) is formed on one substrate of a liquid crystal panel has been proposed. It has already been put to practical use. However, even in this reflective layer built-in panel, simply providing a mirror-like reflective layer causes a phenomenon called so-called glare, in which a user's face or illumination is reflected on a display screen, resulting in poor visibility. turn into. For this reason, measures have been taken to prevent uneven reflection by scattering light by forming irregularities on the surface of the reflective layer.

【0003】図7は、従来の光散乱機能を有する反射層
を備えた基板の製造プロセスを示す工程断面図である。
FIG. 7 is a process sectional view showing a conventional manufacturing process of a substrate provided with a reflective layer having a light scattering function.

【0004】まず図7(a)に示すように、基板100
上に有機系絶縁膜101を形成する。次に、図7(b)
に示すように、有機系絶縁膜101上にフォトレジスト
102を塗布する。次に、図7(c)に示すように、数
十μm程度の微細なパターンを有するフォトマスク10
3を用いて紫外光による露光を行ってフォトレジスト1
02を感光させ、現像を行うことにより図7(d)に示
すようなレジストパターン104を形成する。次に、図
7(e)に示すように、レジストパターン104をマス
クとして有機系絶縁膜101のウェットエッチングを行
い、エッチング後、レジストパターン104を剥離する
と、図7(f)に示すように、パターニングされた有機
系絶縁膜101からなる凸部105が形成される。次
に、図7(g)に示すように、同様の有機系絶縁膜から
なるオーバーコート膜106で全面を覆うことにより曲
面状の凹凸が形成される。ここでは、凸部105の上を
オーバーコート膜106で覆うことにより曲面状の凹凸
を形成したが、この方法に代えて、有機系絶縁膜101
が熱可塑性を有するものであれば、凸部形成後に熱処理
を施すことによって凸部105の角をだれさせて丸め、
曲面状の凹凸を形成することもできる。図示を省略する
が、最後に曲面状の凹凸に沿ってアルミニウム膜を成膜
することにより反射層を形成する。
[0004] First, as shown in FIG.
An organic insulating film 101 is formed thereon. Next, FIG.
As shown in (1), a photoresist 102 is applied on the organic insulating film 101. Next, as shown in FIG. 7C, a photomask 10 having a fine pattern of about several tens μm is formed.
Exposure to ultraviolet light is carried out using
02 is exposed and developed to form a resist pattern 104 as shown in FIG. 7D. Next, as shown in FIG. 7E, the organic insulating film 101 is wet-etched using the resist pattern 104 as a mask, and after the etching, the resist pattern 104 is peeled off. As shown in FIG. The projection 105 made of the patterned organic insulating film 101 is formed. Next, as shown in FIG. 7 (g), the entire surface is covered with an overcoat film 106 made of a similar organic insulating film, so that curved unevenness is formed. Here, the convex portions 105 are covered with the overcoat film 106 to form curved unevenness. However, instead of this method, the organic insulating film 101 is used.
Is a thermoplastic, if subjected to a heat treatment after the formation of the convex portion, the corner of the convex portion 105 is rounded,
Curved unevenness can also be formed. Although not shown, a reflective layer is formed by finally forming an aluminum film along the curved unevenness.

【0005】上記構成の基板を液晶パネルの下側基板に
用いた場合、上側基板、液晶層を透過してきた光は反射
層の表面で反射するが、その際、反射層の表面に凹凸が
あるために反射光が散乱し、表示画面上の映り込みを防
止することができる。
When the substrate having the above structure is used as a lower substrate of a liquid crystal panel, light transmitted through the upper substrate and the liquid crystal layer is reflected on the surface of the reflective layer. At this time, the surface of the reflective layer has irregularities. Therefore, reflected light is scattered, and reflection on the display screen can be prevented.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、上記
光散乱機能を有する反射層を備えた基板の製造工程にお
いては、反射層表面に凹凸を付与するために有機系絶縁
膜の凸部を形成するが、この凸部の形成に際してレジス
ト塗布、露光、現像といった通常のフォトリソグラフィ
ー工程が必要であった。このフォトリソグラフィー工程
の存在により、製造プロセス全体の工程数が多くなる、
製品の納期が長くなる、また、フォトマスクの使用も相
俟って製造コストが高騰する、等の不具合が生じてい
た。
As described above, in the manufacturing process of the substrate provided with the reflection layer having the light scattering function, the projections of the organic insulating film are formed in order to provide the surface of the reflection layer with irregularities. In order to form the projections, ordinary photolithography steps such as resist application, exposure, and development were required. Due to the presence of this photolithography step, the number of steps in the entire manufacturing process increases,
Problems such as a long delivery time of the product and an increase in manufacturing cost due to the use of a photomask have occurred.

【0007】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、光散乱機能を有する反射層を備え
た基板を一方の基板とする液晶表示装置の製造方法にお
いて、製造プロセスをより簡略化することができ、工期
の短縮、製造コストの低減等に寄与できる液晶表示装置
の製造方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is directed to a method of manufacturing a liquid crystal display device in which a substrate having a reflective layer having a light scattering function is used as one substrate. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device, which can be further simplified and contributes to shortening of a construction period, reduction of a manufacturing cost, and the like.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の液晶表示装置の製造方法は、対向配置さ
れた一対の基板とこれら基板間に挟持された液晶層とを
少なくとも備え、一対の基板のうちの一方の基板上に反
射層が設けられた液晶表示装置の製造方法であって、一
方の基板上に凸部形成用の膜を形成する工程と、凸部形
成用膜上にインクジェット用ヘッドから多数の樹脂の液
滴を吐出させる工程と、樹脂の液滴を固化させる工程
と、固化後の多数の樹脂片をマスクとして凸部形成用膜
をエッチングする工程と、エッチング後に残った多数の
樹脂片を除去して凸部形成用膜からなる凸部を残存させ
る工程と、この凸部を基にして基板上面に光を散乱させ
るための曲面状の凹凸を形成する工程とを有することを
特徴とするものである。
In order to achieve the above-mentioned object, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises at least a pair of substrates opposed to each other and a liquid crystal layer sandwiched between these substrates. A method for manufacturing a liquid crystal display device in which a reflective layer is provided on one of a pair of substrates, comprising: forming a film for forming a convex portion on one of the substrates; A step of ejecting a large number of resin droplets from an ink-jet head, a step of solidifying the resin droplets, a step of etching the projection-forming film using a large number of solidified resin pieces as a mask, and an etching step. A step of removing a large number of resin pieces left behind to leave a convex portion made of a film for forming a convex portion, and a step of forming curved unevenness for scattering light on the upper surface of the substrate based on the convex portion. And characterized by having .

【0009】液晶表示装置の製造方法、特に反射層を形
成する側の基板の製造方法において、従来はレジスト塗
布、露光、現像工程等を有する半導体製造プロセスでご
く一般的なフォトリソグラフィー技術を用いてレジスト
パターンを形成し、このレジストパターンを基に光散乱
用の凸部を形成していた。それに対して、本発明者は、
インクジェットプリンタ用のヘッドを用いて基板上に微
細な樹脂の液滴を吐出させると、光散乱用凸部に適した
寸法の微細なパターン(樹脂片)が形成できることを見
いだした。すなわち、インクジェットプリンタ用ヘッド
から微細な樹脂の液滴を吐出させ、これを固化させただ
けで従来のフォトリソグラフィー工程における現像処理
が終わった状態と同様になる。以下は従来法と同様にし
て、この微細パターンをマスクとして凸部形成用膜のエ
ッチングを行えばよい。つまり、本発明の方法によれ
ば、光散乱用凸部の形成に際してフォトリソグラフィー
工程が不要になるため、フォトリソグラフィー工程に伴
う製品の納期の長期化、製造コストの高騰等の問題を解
消することができる。
In a method of manufacturing a liquid crystal display device, in particular, a method of manufacturing a substrate on which a reflective layer is to be formed, a photolithography technique generally used in a semiconductor manufacturing process including a resist coating, exposure, developing step and the like is conventionally used. A resist pattern was formed, and a light scattering projection was formed based on the resist pattern. In contrast, the present inventor
It has been found that when a fine resin droplet is ejected onto a substrate using an ink jet printer head, a fine pattern (resin piece) having a size suitable for the light scattering projection can be formed. That is, a state in which the developing process in the conventional photolithography process is completed only by discharging fine resin droplets from the ink jet printer head and solidifying the droplets. Thereafter, in the same manner as in the conventional method, the film for forming a convex portion may be etched using the fine pattern as a mask. In other words, according to the method of the present invention, a photolithography step is not required when forming the light scattering projections, so that problems such as a prolonged delivery time of a product and a rise in manufacturing costs accompanying the photolithography step can be solved. Can be.

【0010】また、前記凸部形成用膜の膜厚は0.5μ
mないし3μmの範囲とすることが望ましい。
The thickness of the film for forming the convex portion is 0.5 μm.
It is desirable that the thickness be in the range of m to 3 μm.

【0011】その理由は、凸部形成用膜の膜厚を0.5
μm未満とした場合、形成される凸部の高さが低すぎて
光の散乱効果が低下し、映り込みが防止できない。逆に
膜厚が3μmを超えると、表面の凹凸が大きくなり過
ぎ、セルギャップがばらつくことになるため、液晶パネ
ルとしての光学特性(コントラスト等)が低下する、ロ
ーツイストドメイン、ストライプドメイン等の配向乱れ
が生じる、といった問題が生じるからである。
The reason is that the film thickness of the projection-forming film is 0.5
If it is less than μm, the height of the formed convex portion is too low, and the light scattering effect is reduced, and reflection cannot be prevented. Conversely, if the film thickness exceeds 3 μm, the unevenness of the surface becomes too large and the cell gap varies, so that the optical characteristics (contrast and the like) of the liquid crystal panel are reduced, and the orientation of the rotwist domain, stripe domain, etc. This is because there is a problem that disturbance occurs.

【0012】前記凸部形成用膜の材料としては、有機系
絶縁膜を用いることができる。この有機系絶縁膜は熱可
塑性を有することが望ましい。具体的には、有機系絶縁
膜としてアクリル系樹脂膜を用いることができる。
An organic insulating film can be used as a material of the film for forming the projections. This organic insulating film desirably has thermoplasticity. Specifically, an acrylic resin film can be used as the organic insulating film.

【0013】基板上に凸部形成用膜からなる凸部を形成
した後、この凸部を基に光散乱用の曲面状の凹凸を形成
する方法には、以下の2つの方法が考えられる。一つ
は、例えばアクリル系樹脂のように熱可塑性を有する膜
を凸部形成用膜の材料に用いた場合、凸部形成用膜から
なる凸部が表面に形成された基板を熱処理することによ
って、凸部の角をだれさせて丸め、曲面状の凹凸を形成
することができる。
After forming a projection made of a projection-forming film on a substrate, the following two methods are conceivable as a method for forming curved unevenness for light scattering based on the projection. One is that, when a film having thermoplasticity such as an acrylic resin is used as a material of a film for forming a convex portion, a substrate having a convex portion formed of the film for forming a convex portion is subjected to a heat treatment. In addition, the corners of the convex portion may be rounded to form curved surface irregularities.

【0014】他の一つは、凸部形成用膜からなる凸部の
上方を含む基板上の全面をオーバーコート膜で覆うこと
によって、曲面状の凹凸を形成することができる。後者
の方法の場合、凸部形成用膜の材料は熱可塑性を有する
ものに限らない。またこの場合、オーバーコート膜の膜
厚を0.5μmないし6μmの範囲とする必要があり、
さらには凸部形成用膜の膜厚の1倍ないし1.5倍の範
囲とすることが望ましい。
In the other, curved surfaces can be formed by covering the entire surface of the substrate including the upper part of the projections formed of the projection forming film with an overcoat film. In the latter method, the material of the projection-forming film is not limited to a thermoplastic material. In this case, the thickness of the overcoat film needs to be in the range of 0.5 μm to 6 μm.
Further, it is desirable that the thickness be in the range of 1 to 1.5 times the film thickness of the projection forming film.

【0015】その理由は、オーバーコート膜の膜厚を凸
部形成用膜の膜厚の1倍未満とした場合、凸部の角が充
分に丸くならないために光の散乱効果が低下し、逆に
1.5倍を超えると、凹凸が平坦化され過ぎるために光
の散乱効果が低下し、ともに映り込みが防止できないか
らである。
The reason is that, when the thickness of the overcoat film is less than one time the thickness of the film for forming the convex portions, the corners of the convex portions are not sufficiently rounded, so that the light scattering effect is reduced. If the ratio is more than 1.5 times, the unevenness is excessively flattened, and the light scattering effect is reduced.

【0016】前記インクジェット用ヘッドから吐出させ
る樹脂として、具体的にはフォトレジストを用いること
ができる。その場合、フォトレジストの液滴1滴分の吐
出量を1ナノccないし100ナノccの範囲とするこ
とが望ましい。
As the resin discharged from the inkjet head, specifically, a photoresist can be used. In that case, it is desirable that the discharge amount of one droplet of the photoresist be in the range of 1 nanocc to 100 nanocc.

【0017】その理由は、現状のインクジェット技術で
は1ナノcc未満の吐出量の制御は困難だからである。
また、吐出量が100ナノccを超えると、凹凸の径が
大きくなり過ぎ、そのパターンが視認されてしまうから
である。吐出後のレジストの径で言えば、30μm以下
とすることが望ましい。
The reason is that it is difficult to control the discharge amount of less than 1 nano cc with the current inkjet technology.
On the other hand, if the ejection amount exceeds 100 nanocc, the diameter of the unevenness becomes too large, and the pattern is visually recognized. In terms of the diameter of the resist after ejection, it is desirable that the diameter be 30 μm or less.

【0018】また、インクジェット用ヘッドから吐出さ
せる樹脂の各液滴の吐出量をできるだけランダムに近い
状態でばらつかせることが望ましい。同様に、樹脂の液
滴間の間隔もできるだけランダムに近い状態でばらつか
せることが望ましい。
Further, it is desirable that the ejection amount of each droplet of resin ejected from the ink jet head be varied in a state as nearly random as possible. Similarly, it is desirable that the distance between the resin droplets is also varied in a state that is as random as possible.

【0019】その理由は、樹脂の各液滴の吐出量、すな
わち吐出させた樹脂の径が一定であったり、液滴間の間
隔が一定だったりすると、画面を見たときにモアレ模様
が発生してしまい、視認性が低下するからである。
The reason is that when the discharge amount of each resin droplet, that is, the diameter of the discharged resin is constant or the interval between the droplets is constant, a moire pattern is generated when the screen is viewed. This is because the visibility is reduced.

【0020】反射層に関しては、曲面状の凹凸の上方に
反射層をなす金属膜を形成してもよいし、反射層をなす
金属膜の上方に曲面状の凹凸を形成してもよい。
Regarding the reflective layer, a metal film forming a reflective layer may be formed above the curved unevenness, or a curved unevenness may be formed above the metal film forming the reflective layer.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】[第1の実施の形態]以下、本発
明の第1の実施の形態を図1ないし図5を参照して説明
する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [First Embodiment] A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0022】図1は本実施の形態の方法により製造され
る液晶表示装置1の構成を示す断面図であり、本実施の
形態はパッシブマトリックスSTN(Super Twisted Ne
matic)型液晶表示装置の例であり、液晶パネル部2、
光学補償フィルム3、偏光板4等からなる周知の構成と
なっている。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a liquid crystal display device 1 manufactured by the method of the present embodiment. In this embodiment, a passive matrix STN (Super Twisted Nematic) is used.
matic) type liquid crystal display device.
It has a known configuration including an optical compensation film 3, a polarizing plate 4, and the like.

【0023】液晶パネル部2は、例えばガラス基板等か
らなる第1の基板5と第2の基板6(一対の基板)とが
対向配置され、その間に液晶層7が挟持されている。第
1の基板5の第2の基板6と対向する対向面上に、アル
ミニウム膜等の高反射率の金属膜からなる反射電極8
(反射層)が直線状に並行して複数形成されている。こ
の反射電極8の表面には曲面状の凹凸が形成されている
が、この部分についての詳細は製造方法の説明のところ
で後述する。
In the liquid crystal panel section 2, a first substrate 5 and a second substrate 6 (a pair of substrates) made of, for example, a glass substrate are arranged to face each other, and a liquid crystal layer 7 is sandwiched therebetween. On a facing surface of the first substrate 5 facing the second substrate 6, a reflective electrode 8 made of a metal film having a high reflectivity such as an aluminum film.
A plurality of (reflection layers) are formed in parallel in a straight line. Curved unevenness is formed on the surface of the reflective electrode 8, and details of this portion will be described later in the description of the manufacturing method.

【0024】一方、第2の基板6の第1の基板5と対向
する対向面上には、例えば樹脂ブラックレジスト等から
なる遮光膜9が格子状に形成され、遮光膜9間にはR
(赤)、G(緑)、B(青)の3原色に対応するカラー
フィルター層12が形成されている。カラーフィルター
層12を覆うようにオーバーコート膜13が形成され、
オーバーコート膜13上には、ITO(Indium Tin Oxi
de)等の透明導電膜からなる対向電極14が直線状に並
行して複数形成されている。これら第1の基板5上の反
射電極8と第2の基板6上の対向電極14とは互いに交
差して格子状となるように配置されている。したがっ
て、反射電極8表面で外光が反射されると同時に、光が
散乱されるようになっている。
On the other hand, a light-shielding film 9 made of, for example, a resin black resist or the like is formed in a grid pattern on a surface of the second substrate 6 facing the first substrate 5.
Color filter layers 12 corresponding to the three primary colors (red), G (green), and B (blue) are formed. An overcoat film 13 is formed so as to cover the color filter layer 12,
On the overcoat film 13, ITO (Indium Tin Oxi
A plurality of opposing electrodes 14 made of a transparent conductive film such as de) are formed in parallel in a straight line. The reflective electrode 8 on the first substrate 5 and the opposing electrode 14 on the second substrate 6 are arranged so as to intersect each other and form a grid. Therefore, light is scattered at the same time as external light is reflected on the surface of the reflective electrode 8.

【0025】第1の基板5および第2の基板6の液晶表
示領域に対応する範囲は、反射電極8上および対向電極
14上の部分も含めて配向膜(図示せず)で覆われてい
る。さらに、第1の基板5と第2の基板6との間には、
所定の径を有する複数のギャップ材(図示せず)が分散
して配置され、それにより液晶パネルのセルギャップが
例えば5.2μmで一定に保たれている。また、第1の
基板5および第2の基板6の対向面の縁部にはシール材
16が配置され、シール材16により封止された第1の
基板5と第2の基板6との間にツイスト角240°のS
TN型液晶が封入されて液晶層7が形成され、液晶パネ
ル部2が構成されている。
The area corresponding to the liquid crystal display area of the first substrate 5 and the second substrate 6 is covered with an alignment film (not shown) including the portions on the reflective electrode 8 and the counter electrode 14. . Further, between the first substrate 5 and the second substrate 6,
A plurality of gap members (not shown) having a predetermined diameter are dispersedly arranged, so that the cell gap of the liquid crystal panel is kept constant at, for example, 5.2 μm. In addition, a sealing material 16 is disposed at an edge of the opposing surface of the first substrate 5 and the second substrate 6, and the space between the first substrate 5 and the second substrate 6 sealed by the sealing material 16 is provided. S with 240 ° twist angle
The liquid crystal layer 7 is formed by enclosing the TN type liquid crystal, and the liquid crystal panel unit 2 is configured.

【0026】次に、光散乱機能を有する反射電極を備え
た第1の基板の製造方法について説明する。図2は、そ
の製造プロセスを示す工程断面図である。
Next, a method for manufacturing the first substrate provided with the reflective electrode having a light scattering function will be described. FIG. 2 is a process sectional view showing the manufacturing process.

【0027】まず図2(a)に示すように、第1の基板
5となるガラス基板を用意し、その基板上にアクリル系
有機絶縁膜17(凸部形成用膜)を成膜する。この時、
アクリル系有機絶縁膜17の膜厚は0.5μm〜3μm
程度とすることが好ましい。次に、図2(b)に示すよ
うに、インクジェット用ヘッド10を用いてアクリル系
有機絶縁膜17上にフォトレジスト18(樹脂)の液滴
を多数吐出させる。
First, as shown in FIG. 2A, a glass substrate serving as the first substrate 5 is prepared, and an acrylic organic insulating film 17 (a film for forming a convex portion) is formed on the glass substrate. At this time,
The thickness of the acrylic organic insulating film 17 is 0.5 μm to 3 μm.
It is preferable to set the degree. Next, as shown in FIG. 2B, a large number of droplets of a photoresist 18 (resin) are discharged onto the acrylic organic insulating film 17 using the inkjet head 10.

【0028】ここで用いるインクジェット用ヘッド10
の構造の一例を図3および図4に示す。当該インクジェ
ット用ヘッド10は、図3に示すように、例えばステン
レス製のノズルプレート11と振動板13とを備え、両
者は仕切部材(リザーバプレート)15を介して接合さ
れている。ノズルプレート11と振動板13との間に
は、仕切部材15によって複数の空間19と液溜まり2
1とが形成されている。各空間19と液溜まり21の内
部はフォトレジストで満たされており、各空間19と液
溜まり21とは供給口23を介して連通している。さら
に、ノズルプレート11には、空間19からフォトレジ
ストを噴射するためのノズル孔25が設けられている。
一方、振動板13には液溜まり21にフォトレジストを
供給するための孔27が形成されている。
The ink jet head 10 used here
3 and 4 show an example of the structure of FIG. As shown in FIG. 3, the inkjet head 10 includes a nozzle plate 11 made of, for example, stainless steel and a vibration plate 13, and both are joined via a partition member (reservoir plate) 15. Between the nozzle plate 11 and the vibration plate 13, a plurality of spaces 19 and the liquid pool 2 are separated by a partition member 15.
1 are formed. Each space 19 and the inside of the liquid pool 21 are filled with a photoresist, and each space 19 and the liquid pool 21 communicate with each other through a supply port 23. Further, the nozzle plate 11 is provided with a nozzle hole 25 for jetting a photoresist from the space 19.
On the other hand, a hole 27 for supplying a photoresist to the liquid reservoir 21 is formed in the vibration plate 13.

【0029】また、図4に示すように、振動板13の空
間19に対向する面と反対側の面上には圧電素子29が
接合されている。この圧電素子29は一対の電極31の
間に位置し、通電すると圧電素子29が外側に突出する
ように撓曲し、同時に圧電素子29が接合されている振
動板13も一体となって外側に撓曲する。これによって
空間19の容積が増大する。したがって、空間19内に
増大した容積分に相当するフォトレジストが液溜まり2
1から供給口23を介して流入する。次に、圧電素子2
9への通電を解除すると、圧電素子29と振動板13は
ともに元の形状に戻る。これにより、空間19も元の容
積に戻るため、空間19内部のフォトレジストの圧力が
上昇し、ノズル孔25から基板に向けてフォトレジスト
が噴出される。
As shown in FIG. 4, a piezoelectric element 29 is joined to the surface of the diaphragm 13 opposite to the surface facing the space 19. The piezoelectric element 29 is located between the pair of electrodes 31, and when energized, the piezoelectric element 29 bends so as to protrude outward, and at the same time, the diaphragm 13 to which the piezoelectric element 29 is joined is also integrated and outward. Bend. This increases the volume of the space 19. Therefore, the photoresist corresponding to the increased volume in the space 19 is accumulated in the liquid pool 2.
1 flows through the supply port 23. Next, the piezoelectric element 2
When the energization to 9 is released, both the piezoelectric element 29 and the diaphragm 13 return to their original shapes. As a result, the space 19 also returns to the original volume, so that the pressure of the photoresist inside the space 19 increases, and the photoresist is ejected from the nozzle holes 25 toward the substrate.

【0030】このフォトレジスト18を吐出させる工程
では、インクジェット用ヘッド10の動作を適切に制御
することにより、フォトレジスト18の液滴1滴分の吐
出量を1ナノccないし100ナノccの範囲内に設定
することが望ましい。さらに、フォトレジスト18の液
滴の吐出量をできるだけランダムに近い状態でばらつか
せることが望ましい。同様に、フォトレジスト18の液
滴間の間隔もできるだけランダムに近い状態でばらつか
せることが望ましい。
In the step of discharging the photoresist 18, by appropriately controlling the operation of the ink jet head 10, the discharge amount of one droplet of the photoresist 18 is set within a range of 1 nano cc to 100 nano cc. It is desirable to set to. Further, it is desirable that the ejection amount of the droplets of the photoresist 18 be varied in a state as random as possible. Similarly, it is desirable that the intervals between the droplets of the photoresist 18 be varied in a state that is as random as possible.

【0031】図5は、フォトレジストの液滴1滴分の吐
出量と液滴の径との関係を調べたものである。ここで用
いたフォトレジストは、JSR社製NN550である。
吐出量が1ナノccの時、レジスト径は約6μmとな
り、その後吐出量を増加させるにつれてレジスト径は大
きくなり、吐出量が100ナノccの時、レジスト径は
約28μmとなる。レジスト径を変えて反射層を形成し
た基板を実際に作製し、光の散乱効果を評価したとこ
ろ、レジスト径が30μm以下であれば、凹凸のパター
ンが視認されることなく、充分な散乱効果が得られるこ
とがわかった。また、現状のインクジェット技術では吐
出量が1ナノcc以下の制御は困難である。このことか
ら、フォトレジストの液滴1滴分の吐出量は、1ナノc
cないし100ナノccの範囲内とするのが好ましいこ
とがわかる。
FIG. 5 shows the relationship between the discharge amount of one droplet of photoresist and the diameter of the droplet. The photoresist used here is NN550 manufactured by JSR Corporation.
When the discharge amount is 1 nano cc, the resist diameter becomes about 6 μm. Thereafter, as the discharge amount is increased, the resist diameter increases, and when the discharge amount is 100 nano cc, the resist diameter becomes about 28 μm. When a substrate on which a reflective layer was formed by changing the resist diameter was actually manufactured and the light scattering effect was evaluated, if the resist diameter was 30 μm or less, the pattern of irregularities was not visually recognized, and a sufficient scattering effect was obtained. It turned out to be obtained. In addition, it is difficult to control the discharge amount to 1 nano cc or less with the current inkjet technology. From this, the ejection amount of one photoresist droplet is 1 nano c
It can be seen that it is preferable to be in the range of c to 100 nanocc.

【0032】次に、温度120℃、時間10分の条件で
フォトレジスト18の焼成を行う。この焼成によってフ
ォトレジスト18中の溶剤が揮発し、フォトレジスト1
8が硬化して次のエッチングに対する耐性が強くなる。
焼成温度は60℃〜140℃程度の範囲でよい。次に、
図2(c)に示すように、フォトレジスト18をマスク
としてアクリル系有機絶縁膜17のウェットエッチング
を行う。
Next, the photoresist 18 is baked under the conditions of a temperature of 120 ° C. and a time of 10 minutes. The solvent in the photoresist 18 volatilizes by this baking, and the photoresist 1
8 hardens, and the resistance to the next etching increases.
The firing temperature may be in the range of about 60C to 140C. next,
As shown in FIG. 2C, the acrylic organic insulating film 17 is wet-etched using the photoresist 18 as a mask.

【0033】次に、図2(d)に示すように、フォトレ
ジスト18を剥離すると、第1の基板5上にアクリル系
有機絶縁膜17からなる凸部20のみが残存する。次
に、凸部20が形成された第1の基板5を温度200℃
で2時間、焼成する。焼成前の凸部20は図2(d)に
示したような角張った形状をしているが、アクリル系有
機絶縁膜17が熱可塑性を有しているので、この焼成に
より角がだれて丸くなり、凸部20は図2(e)に示す
ような形状(符号20’とする)となる。焼成温度は1
50℃〜200℃程度の範囲でよく、焼成時間は30分
以上あればよい。次に、図2(f)に示すように、凸部
20’を覆うように基板全面に反射電極形成用膜となる
アルミニウム膜22を成膜し、これをパターニングする
ことにより反射電極8を形成する。最後に、図示しない
配向膜を形成することにより一方の基板が完成する。
Next, as shown in FIG. 2D, when the photoresist 18 is peeled off, only the projections 20 made of the acrylic organic insulating film 17 remain on the first substrate 5. Next, the first substrate 5 on which the convex portions 20 are formed is heated to a temperature of 200 ° C.
For 2 hours. The protrusions 20 before firing have an angular shape as shown in FIG. 2D, but since the acrylic organic insulating film 17 has thermoplasticity, the firing causes the corners to be rounded and rounded. Thus, the convex portion 20 has a shape as shown in FIG. Firing temperature is 1
The temperature may be in the range of about 50 ° C to 200 ° C, and the firing time may be 30 minutes or more. Next, as shown in FIG. 2F, an aluminum film 22 serving as a reflective electrode forming film is formed on the entire surface of the substrate so as to cover the protrusions 20 ′, and the reflective electrode 8 is formed by patterning the aluminum film 22. I do. Finally, an alignment film (not shown) is formed to complete one of the substrates.

【0034】なお、第2の基板6の製造方法、すなわ
ち、カラーフィルター形成、対向電極形成、配向膜形成
等の工程は、従来法と何ら変わらないため、説明を省略
する。
The method of manufacturing the second substrate 6, that is, the steps of forming a color filter, forming a counter electrode, forming an alignment film, and the like are not different from those of the conventional method, and a description thereof will be omitted.

【0035】本実施の形態の液晶表示装置1の製造方法
によれば、インクジェットプリンタ用ヘッド10を用い
てフォトレジスト18の液滴を吐出させることにより凸
部形成用のレジストパターンを形成することができ、従
来用いていたフォトリソグラフィー工程が不要になるた
め、フォトリソグラフィー工程に伴う製品の納期の長期
化、製造コストの高騰等の問題を解消することができ
る。また、アクリル系有機絶縁膜17の膜厚、インクジ
ェット用ヘッド10からのフォトレジスト18の吐出
量、吐出間隔等の製造条件を最適化することによって、
充分な光散乱効果を得て映り込みを確実に防止し、しか
も、コントラストの低下、配向乱れ、モアレ模様等の視
認性上の問題が生じることのない反射型液晶表示装置を
実現することができる。
According to the manufacturing method of the liquid crystal display device 1 of the present embodiment, the resist pattern for forming the convex portion can be formed by discharging the droplets of the photoresist 18 using the ink jet printer head 10. This eliminates the need for the conventional photolithography process, so that problems such as a longer product delivery time and a higher production cost due to the photolithography process can be solved. In addition, by optimizing the manufacturing conditions such as the thickness of the acrylic organic insulating film 17, the discharge amount of the photoresist 18 from the inkjet head 10, the discharge interval, and the like,
It is possible to realize a reflective liquid crystal display device in which a sufficient light scattering effect is obtained to reliably prevent glare, and which does not cause a problem in visibility such as a decrease in contrast, alignment disorder, and moire pattern. .

【0036】[第2の実施の形態]以下、本発明の第2
の実施の形態を図6を参照して説明する。
[Second Embodiment] Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described.
The embodiment will be described with reference to FIG.

【0037】本実施の形態の液晶表示装置の構成は第1
の実施の形態と同一であり、本実施の形態が第1の実施
の形態と異なる点は、第1の基板の製造方法のみであ
る。したがって、以下では液晶表示装置の構成の説明は
省略し、第1の基板の製造方法のみについて説明する。
図6は第1の基板の製造プロセスを示す工程断面図であ
るが、図2と同じ構成要素には同一の符号を付す。
The structure of the liquid crystal display of this embodiment is the first
This embodiment is the same as the first embodiment, and the present embodiment is different from the first embodiment only in the method of manufacturing the first substrate. Therefore, the description of the configuration of the liquid crystal display device will be omitted below, and only the method of manufacturing the first substrate will be described.
FIG. 6 is a process sectional view showing the manufacturing process of the first substrate, and the same components as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

【0038】まず図6(a)に示すように、第1の基板
5上に膜厚0.5μm〜3μm程度の第1のアクリル系
有機絶縁膜17(凸部形成用膜)を成膜する。次に、図
6(b)に示すように、インクジェット用ヘッド10を
用いて第1のアクリル系有機絶縁膜17上にフォトレジ
スト18(樹脂)の液滴を吐出させる。この時、フォト
レジスト18の液滴1滴分の吐出量を1ナノccないし
100ナノccの範囲内に設定し、さらにフォトレジス
ト18の吐出量をばらつかせ、液滴間隔もばらつかせる
ことが望ましい。次に、フォトレジスト18の焼成を行
った後、図6(c)に示すように、フォトレジスト18
をマスクとして第1のアクリル系有機絶縁膜17のウェ
ットエッチングを行う。次に、図6(d)に示すよう
に、フォトレジスト18を剥離すると、第1の基板5上
に第1のアクリル系有機絶縁膜17からなる凸部20の
みが残存する。以上の工程は第1の実施の形態と同様で
ある。
First, as shown in FIG. 6A, a first acrylic organic insulating film 17 (film for forming convex portions) having a film thickness of about 0.5 μm to 3 μm is formed on the first substrate 5. . Next, as shown in FIG. 6B, droplets of a photoresist 18 (resin) are discharged onto the first acrylic-based organic insulating film 17 using the inkjet head 10. At this time, the discharge amount of one droplet of the photoresist 18 is set in the range of 1 nano cc to 100 nano cc, and the discharge amount of the photoresist 18 is further varied, and the droplet interval is also varied. Is desirable. Next, after baking the photoresist 18, as shown in FIG.
Is used as a mask to perform wet etching of the first acrylic organic insulating film 17. Next, as shown in FIG. 6D, when the photoresist 18 is peeled off, only the protrusions 20 made of the first acrylic organic insulating film 17 remain on the first substrate 5. The above steps are the same as in the first embodiment.

【0039】次に、図6(e)に示すように、第1のア
クリル系有機絶縁膜17からなる凸部20を覆うように
第1の基板5全面に第2のアクリル系有機絶縁膜24
(オーバーコート膜)を形成する。第2のアクリル系有
機絶縁膜24の膜厚は、充分な光散乱効果を得るために
0.5μm〜6μmの範囲とする必要があり、さらには
第1のアクリル系有機絶縁膜17の膜厚の1倍〜1.5
倍の範囲とすることが望ましい。第1のアクリル系有機
絶縁膜17からなる凸部20上に第2のアクリル系有機
絶縁膜24を形成したことで、第2のアクリル系有機絶
縁膜24の表面は曲面状の凹凸が形成された状態とな
る。次に、図6(f)に示すように、第2のアクリル系
有機絶縁膜24上に反射電極形成用膜となるアルミニウ
ム膜22を成膜し、これをパターニングすることにより
反射電極8を形成する。最後に、図示しない配向膜を形
成することにより第1の基板5が完成する。
Next, as shown in FIG. 6E, a second acrylic organic insulating film 24 is formed on the entire surface of the first substrate 5 so as to cover the projections 20 made of the first acrylic organic insulating film 17.
(Overcoat film) is formed. The thickness of the second acrylic organic insulating film 24 needs to be in the range of 0.5 μm to 6 μm in order to obtain a sufficient light scattering effect, and further, the thickness of the first acrylic organic insulating film 17 1 time to 1.5
It is desirable to make the range twice as large. Since the second acrylic organic insulating film 24 is formed on the projections 20 made of the first acrylic organic insulating film 17, the surface of the second acrylic organic insulating film 24 has curved irregularities. State. Next, as shown in FIG. 6F, an aluminum film 22 serving as a reflective electrode forming film is formed on the second acrylic organic insulating film 24, and the reflective electrode 8 is formed by patterning the aluminum film 22. I do. Finally, the first substrate 5 is completed by forming an alignment film (not shown).

【0040】すなわち、本実施の形態と第1の実施の形
態とでは凸部20の角を丸める方法が異なり、第1の実
施の形態が熱処理を用いて凸部20の角をだれさせる方
法を採っていたのに対し、本実施の形態では凸部20を
さらにもう1層の膜で覆う方法を採った。本実施の形態
においても、第1のアクリル系有機絶縁膜17の膜厚、
インクジェットの条件に加えて第2のアクリル系有機絶
縁膜24の膜厚を最適化することによって、映り込みを
確実に防止し視認性に優れた反射型液晶表示装置が得ら
れる、という第1の実施の形態と同様の効果を奏するこ
とができる。
That is, the method of rounding the corners of the projections 20 is different between the present embodiment and the first embodiment. The first embodiment employs a method of shaping the corners of the projections 20 using heat treatment. On the other hand, in the present embodiment, a method is employed in which the convex portion 20 is further covered with another film. Also in the present embodiment, the thickness of the first acrylic organic insulating film 17
By optimizing the film thickness of the second acrylic-based organic insulating film 24 in addition to the inkjet conditions, a reflection-type liquid crystal display device that reliably prevents reflection and has excellent visibility can be obtained. The same effect as the embodiment can be obtained.

【0041】なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態
に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲において種々の変更を加えることが可能である。例
えば上記実施の形態では凸部形成用の膜としてアクリル
系有機絶縁膜を用いたが、これに限ることなく、ポリイ
ミド系有機絶縁膜などを用いることもできる。また、ア
クリル系有機絶縁膜の上に反射電極を形成して反射電極
の表面に凹凸を形成する例を挙げたが、これとは逆に、
平坦な反射電極の上にアクリル系有機絶縁膜による凹凸
を形成する構成でもよい。この場合でも、アクリル系有
機絶縁膜表面の凹凸で光が散乱し、同様な効果を得るこ
とができる。また、第2の実施の形態においては、アク
リル系有機絶縁膜による凸部を同一材料のアクリル系有
機絶縁膜でオーバーコートする構成を採用したため、当
然ながら膜同士のなじみが良くて好ましいが、凸部を形
成するための膜とオーバーコートのための膜は必ずしも
同一材料である必要はない。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above-described embodiment, an acrylic organic insulating film is used as the film for forming the projections. However, the present invention is not limited to this, and a polyimide organic insulating film or the like can be used. In addition, an example was given in which a reflective electrode was formed on an acrylic organic insulating film to form irregularities on the surface of the reflective electrode.
A configuration in which unevenness is formed by an acrylic organic insulating film on a flat reflective electrode may be employed. Even in this case, light is scattered by the unevenness on the surface of the acrylic organic insulating film, and the same effect can be obtained. Further, in the second embodiment, a configuration in which the convex portion formed of the acrylic organic insulating film is overcoated with the acrylic organic insulating film of the same material is employed. The film for forming the part and the film for the overcoat need not necessarily be the same material.

【0042】その他、上記実施の形態で述べた製造工程
上の具体的な条件等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が
可能なことは勿論である。さらに、本発明の製造方法
は、STN型液晶表示装置に限らず、TFD(Thin Fil
m Diode)型液晶表示装置、TFT(Thin Film Transis
tor)型液晶表示装置等にも適用が可能である。
In addition, the specific conditions in the manufacturing process described in the above embodiment are merely examples, and it is needless to say that the conditions can be appropriately changed. Furthermore, the manufacturing method of the present invention is not limited to the STN-type liquid crystal display device, but can be applied to a TFD (Thin Fil
m Diode) liquid crystal display, TFT (Thin Film Transis)
It is also applicable to tor) type liquid crystal display devices and the like.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、映り込みが生じることのない視認性に優れた反
射型液晶表示装置が得られ、光散乱用凸部の形成に際し
てフォトリソグラフィー工程が不要になるため、製造プ
ロセスが簡略化でき、製品の納期の短縮化、製造コスト
の低減に寄与することができる。
As described in detail above, according to the present invention, a reflection type liquid crystal display device having excellent visibility without reflection is obtained. Since the lithography step is not required, the manufacturing process can be simplified, which contributes to shortening the delivery time of the product and reducing the manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態の製造方法により得られ
る液晶表示装置の構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device obtained by a manufacturing method according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の第1の実施の形態の製造方法を示す
工程断面図である。
FIG. 2 is a process sectional view illustrating the manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 本方法に用いられるインクジェット用ヘッド
の構成例を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view illustrating a configuration example of an inkjet head used in the present method.

【図4】 図3に示すインクジェット用ヘッドのノズル
部分の断面図である。
4 is a cross-sectional view of a nozzle portion of the inkjet head shown in FIG.

【図5】 インクジェット用ヘッドを用いた場合のフォ
トレジストの吐出量とレジストの径との関係を示すグラ
フである。
FIG. 5 is a graph showing a relationship between a photoresist discharge amount and a resist diameter when an inkjet head is used.

【図6】 本発明の第2の実施の形態の製造方法を示す
工程断面図である。
FIG. 6 is a process sectional view illustrating the manufacturing method in the second embodiment of the present invention.

【図7】 本発明の液晶表示装置の製造方法の一例を示
す工程断面図である。
FIG. 7 is a process sectional view illustrating an example of the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液晶表示装置 5 第1の基板 6 第2の基板 7 液晶層 8 反射電極(反射層) 10 インクジェット用ヘッド 17 (第1の)アクリル系有機絶縁膜(凸部形成用
膜) 18 フォトレジスト(樹脂) 20,20’凸部 22 アルミニウム膜(金属膜) 24 第2のアクリル系有機絶縁膜(オーバーコート
膜)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal display device 5 1st board | substrate 6 2nd board | substrate 7 Liquid crystal layer 8 Reflection electrode (reflection layer) 10 Inkjet head 17 (1st) acrylic organic insulating film (film for convex part formation) 18 Photoresist ( Resin) 20, 20 'convex portion 22 Aluminum film (metal film) 24 Second acrylic organic insulating film (overcoat film)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H090 HA05 HB07X HC01 HC12 HD06 KA08 LA05 2H091 FA02Y FA14Y FA31Y FC22 FC26 GA02 GA07 GA16 HA10 LA12 LA21 5G435 AA00 AA17 BB12 BB16 CC12 EE33 FF00 FF03 FF05 FF13 GG12 HH12 KK05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H090 HA05 HB07X HC01 HC12 HD06 KA08 LA05 2H091 FA02Y FA14Y FA31Y FC22 FC26 GA02 GA07 GA16 HA10 LA12 LA21 5G435 AA00 AA17 BB12 BB16 CC12 EE33 FF00 FF03 FF05 GG12 H05

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 対向配置された一対の基板とこれら基板
間に挟持された液晶層とを少なくとも備え、前記一対の
基板のうちの一方の基板上に反射層が設けられた液晶表
示装置の製造方法であって、前記一方の基板上に凸部形
成用の膜を形成する工程と、該凸部形成用膜上にインク
ジェット用ヘッドから多数の樹脂の液滴を吐出させる工
程と、該樹脂の液滴を固化させる工程と、固化後の多数
の樹脂片をマスクとして前記凸部形成用膜をエッチング
する工程と、エッチング後に残った多数の樹脂片を除去
して前記凸部形成用膜からなる凸部を残存させる工程
と、該凸部を基にして基板上面に光を散乱させるための
曲面状の凹凸を形成する工程とを有することを特徴とす
る液晶表示装置の製造方法。
1. Production of a liquid crystal display device comprising at least a pair of substrates arranged opposite to each other and a liquid crystal layer sandwiched between these substrates, wherein a reflective layer is provided on one of the pair of substrates. A method of forming a film for forming a convex portion on the one substrate, a step of discharging a large number of resin droplets from an inkjet head on the film for forming a convex portion, A step of solidifying the droplets, a step of etching the film for forming a convex portion using a large number of resin pieces after solidification as a mask, and a film for forming a convex portion by removing a large number of resin pieces remaining after the etching. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a step of leaving a convex portion; and a step of forming curved unevenness for scattering light on the upper surface of a substrate based on the convex portion.
【請求項2】 前記凸部形成用膜の膜厚を0.5μmな
いし3μmの範囲とすることを特徴とする請求項1に記
載の液晶表示装置の製造方法。
2. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the film thickness of the projection forming film is in a range of 0.5 μm to 3 μm.
【請求項3】 前記凸部形成用膜として有機系絶縁膜を
用いることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶
表示装置の製造方法。
3. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein an organic insulating film is used as the projection forming film.
【請求項4】 前記有機系絶縁膜が熱可塑性を有するこ
とを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置の製造方
法。
4. The method according to claim 3, wherein the organic insulating film has thermoplasticity.
【請求項5】 前記有機系絶縁膜としてアクリル系樹脂
膜を用いることを特徴とする請求項4に記載の液晶表示
装置の製造方法。
5. The method according to claim 4, wherein an acrylic resin film is used as the organic insulating film.
【請求項6】 前記凸部形成用膜からなる凸部が形成さ
れた基板を熱処理することにより前記凸部の角をだれさ
せて前記曲面状の凹凸を形成することを特徴とする請求
項4または5に記載の液晶表示装置の製造方法。
6. The curved surface irregularities are formed by heat-treating the substrate on which the convex portions formed of the convex portion forming film are formed, so that the corners of the convex portions are distorted. 6. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to item 5.
【請求項7】 前記凸部形成用膜からなる凸部の上方を
含む基板上の全面をオーバーコート膜で覆うことにより
前記曲面状の凹凸を形成することを特徴とする請求項1
ないし5のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方
法。
7. The curved surface irregularities are formed by covering an entire surface of a substrate including an upper part of the convex portion formed of the film for forming a convex portion with an overcoat film.
6. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to any one of items 5 to 5.
【請求項8】 前記オーバーコート膜の膜厚を0.5μ
mないし6μmの範囲とすることを特徴とする請求項7
に記載の液晶表示装置の製造方法。
8. The overcoat film having a thickness of 0.5 μm
8. The range of m to 6 μm.
3. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to item 1.
【請求項9】 前記オーバーコート膜の膜厚を前記凸部
形成用膜の膜厚の1倍ないし1.5倍の範囲とすること
を特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置の製造方
法。
9. The liquid crystal display device according to claim 8, wherein the thickness of the overcoat film is in a range of 1 to 1.5 times the thickness of the projection forming film. Method.
【請求項10】 前記インクジェット用ヘッドから吐出
させる樹脂としてフォトレジストを用いることを特徴と
する請求項1ないし9のいずれか一項に記載の液晶表示
装置の製造方法。
10. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a photoresist is used as a resin discharged from the inkjet head.
【請求項11】 前記フォトレジストの液滴1滴分の吐
出量を1ナノccないし100ナノccの範囲とするこ
とを特徴とする請求項10に記載の液晶表示装置の製造
方法。
11. The method according to claim 10, wherein a discharge amount of one droplet of the photoresist is in a range of 1 nano cc to 100 nano cc.
【請求項12】 前記インクジェット用ヘッドから吐出
させる樹脂の各液滴の吐出量をばらつかせることを特徴
とする請求項1ないし11のいずれか一項に記載の液晶
表示装置の製造方法。
12. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the ejection amount of each droplet of the resin ejected from the inkjet head is varied.
【請求項13】 前記インクジェット用ヘッドから吐出
させる樹脂の液滴間の間隔をばらつかせることを特徴と
する請求項1ないし12のいずれか一項に記載の液晶表
示装置の製造方法。
13. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein an interval between resin droplets ejected from said inkjet head is varied.
【請求項14】 前記曲面状の凹凸の上方に、前記反射
層をなす金属膜を形成することを特徴とする請求項1な
いし13のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方
法。
14. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a metal film serving as the reflection layer is formed above the curved unevenness.
【請求項15】 前記反射層をなす金属膜の上方に、前
記曲面状の凹凸を形成することを特徴とする請求項1な
いし13のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方
法。
15. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the curved unevenness is formed above a metal film forming the reflection layer.
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