JP2001046849A

JP2001046849A - 自吸式微細気泡発生装置

Info

Publication number: JP2001046849A
Application number: JP11223740A
Authority: JP
Inventors: Ryuichi Nakanishi; 隆一中西; Kenzo Hosonaka; 建三細中
Original assignee: Sumitomo Seika Chemicals Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Seika Chemicals Co Ltd
Priority date: 1999-08-06
Filing date: 1999-08-06
Publication date: 2001-02-20
Also published as: KR20010049997A; TW476662B; SG83220A1; KR100372940B1

Abstract

(57)【要約】【課題】給気管の開放端とロータとの間隔を厳密な精度
で調節する必要なく、一定の負圧を安定して発生させる
ことのできる自吸式微細気泡発生装置を提供する。【解決手段】本発明の自吸式微細気泡発生装置１は、液
槽２と、この液槽内の液中に導入され、かつ下向きの開
放端４を有する給気管３と、この給気管の開放端の下方
に所定のすきまを介して配置されたロータ５とを備え、
このロータの高速回転によって給気管の開放端から気体
を吸引するとともにこうして吸引された気体を微細気泡
として液中に分散させる自吸式微細気泡発生装置であっ
て、ロータは、少なくとも上部が開放する中空円筒２２
と、中心部材２１と、中空円筒の内部において放射状に
配置された複数の羽根２３とを備え、直立状の中心軸線
を中心として高速回転するように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、液体中に導入し
た気体をロータの回転によって微細気泡として分散さ
せ、それにより良好な気液接触を行なうための微細気泡
発生装置に関し、より詳しくは、気体の導入をロータの
回転によって発生する負圧を利用して行なう自吸式微細
気泡発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】微細気泡発生装置としては、たとえば、
特開昭５６−１３３０１８号公報に見られるような、い
わゆる押し込み式の微細気泡発生装置と、たとえば、特
開昭６１−３５９３２号公報に見られるような、いわゆ
る自吸式の微細気泡発生装置とが代表的である。

【０００３】押し込み式の微細気泡発生装置は、液槽中
で回転するロータとして、上部が閉じ、下部が開放した
中空円筒体を用い、このロータ内に気体を強制送入する
ように構成されている。ロータ内に強制送入された気体
は、ロータの開放下部から溢れ出る際にロータの回転に
よって細かく砕かれ、微細気泡として液体中に分散させ
られる。

【０００４】一方、自吸式微細気泡発生装置は、下向き
の開放端を有する給気管を液槽中に導入するとともに、
給気管の開放端の下方に直立中心軸を中心として回転す
るロータを配置した基本構成を備える。特開昭６１−３
５９３２号公報に示されたものにおいては、ロータは、
上蓋によって上端が閉じられた円筒体の形態を備え、上
蓋の上面には放射状に配置した複数の羽根が、円筒体の
側面にはロータ軸線と平行な複数の畝がそれぞれ設けら
れて構成されている。また、ロータは、給気管の内部に
挿入された回転軸の下端に連結され、液槽の上部に配置
した駆動部によって回転駆動させられるようになってい
る。

【０００５】ロータが回転すると、給気管の開放端とロ
ータとの間の領域に存在する液体に放射状の流れが生ま
れ、この流れによって発生する負圧が給気管内の気体を
吸引するとともに、こうして吸引された気体が高速回転
するロータの羽根や畝によってくだかれて微細気泡とな
り、放射状の流れにのって液槽中に分散させられる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような自吸式の微
細気泡発生装置は、気体を強制送入するための構成が不
要となり、それ故に腐食性の有害ガス等を液体中で処理
することが容易となる点で優れているが、なお次のよう
な問題がある。

【０００７】すなわち、ロータの回転によって適正負圧
を発生させて給気管から気体を効率的に吸引するために
必要な給気管開放端とロータとの間のすきまが厳密に規
定され、許容される誤差範囲がきわめて小さい。すなわ
ち、上記のすきまが所定の寸法からわずかでもずれる
と、適正な負圧が発生しなくなってしまうか、または負
圧の発生状態が不安定となる。実際には、所定すきまに
対して許容される誤差は、±０．５ｍｍ程度であるとい
われている。

【０００８】このような問題は、給気管の開放下端とロ
ータの上面との間の空間において、ロータ上面中心部か
らの液体の放射状流れと、この流れを形成するためのロ
ータ上面中心部への周囲液体の導入との双方の流れを形
成する必要があるため、ロータ上面上での液体の流れの
状態が複雑となり、定常的な適正負圧を得るのが困難と
なるためと考えられる。

【０００９】いずれにしても、上記した構成の自吸式微
細気泡発生装置では、装置の各部構成の高い精度、組み
立て精度が求められる上に、厳密な調整精度が求めら
れ、製造コスト、メインテナンスコストの双方がアップ
することになる。

【００１０】上記した特開昭６１−３５９３２号公報に
示されているもののように、ロータの回転軸を給気管に
挿入し、このロータを液槽の上部に配置した駆動部によ
って駆動する構成の場合には、回転軸ないしロータと、
給気管とをユニット化して組み立てておくことができる
ため、給気管とロータとの間の精度を確保することは比
較的容易である。しかしながら、ロータを液槽の下部に
配置した駆動部によって駆動する構成の場合（本願の図
１参照）には、給気管とロータとを液槽に対して別個に
組み立てざるをえないため、上記のような精度を確保す
ることは至難である。

【００１１】この発明は、上記した事情のもとで考え出
されたものであって、給気管とロータとの間のすきまに
求められる精度を緩和し、組み立ておよび調整を容易化
することができるとともに、動作をより安定化すること
ができる自吸式微細気泡発生装置を提供することをその
課題とする。

【００１２】

【発明の開示】上記の課題を解決するため、この発明で
は、次の各技術的手段を採用した。

【００１３】すなわち、この発明によって提供される自
吸式微細気泡発生装置は、液槽と、この液槽内の液中に
導入され、かつ下向きの開放端を有する給気管と、この
給気管の開放端の下方に所定のすきまを介して配置され
たロータとを備え、このロータの高速回転によって給気
管の開放端から気体を吸引するとともにこうして吸引さ
れた気体を微細気泡として液中に分散させる自吸式微細
気泡発生装置であって、ロータは、少なくとも上部が開
放する中空円筒と、中心部材と、中空円筒の内部におい
て放射状に配置された複数の羽根とを備え、直立状の中
心軸線を中心として高速回転するように構成されている
ことを特徴としている。好ましい実施の形態において
は、中空円筒は、上部と下部とがともに開放している。
なお、中空円筒の下部を閉じる場合には、たとえば円筒
側面下部に周囲液体導入口を開口させておく必要があ
る。

【００１４】ロータが回転すると、複数の羽根が遠心ポ
ンプのような作用をし、給気管とロータとの間の領域に
放射状の流れを形成する。放射状流れの中心部には、周
囲液体が中空円筒の内部を通って供給される。同時に、
放射状流れの中心部の静圧が低下し、これによって給気
管内の気体が放射状流れの中心部に吸引導入される。こ
うして導入された気体は、高速回転する羽根によって砕
かれ、あるいは、高速回転する羽根の裏面側に生じる渦
によって砕かれ、微細気泡となって放射状流れにのり、
液槽中に分散させられる。

【００１５】羽根は、ロータの中心軸線を含む平面に一
致するように配置されていてもよいし、ロータの中心軸
線を含む平面に対し、上端がロータの回転方向前方に傾
斜するようにねじられていてもよい。ねじれを与える場
合、このねじれ角は、好ましくは４５度以内とされる。

【００１６】羽根のねじれ角の程度は、給気管とロータ
との間の領域に発生させられる負圧に関係する。ねじれ
角を０度から次第に大きくしてゆくにしたがい、発生す
る負圧は増大傾向となる。前述のように羽根によって発
生させられる放射状流れの中心部には、中空円筒の内部
を通って周囲液体が導入されるが、この周囲液体の導入
もまた、放射状流れの中心部の負圧が関与する。周囲液
体があまりに円滑に導入されると、給気管内の負圧を高
めることができず、気体供給が不十分となる。羽根に上
記のようなねじれを与えておくと、この羽根は、給気管
とロータとの間の領域に放射状流れを形成する遠心ポン
プとしての機能に加えて、中空円筒内の液体を下向きに
押し下げようとする機能を併せ発揮する。これにより、
中空円筒内を上昇する液体流れが適度に抑制され、給気
管内の負圧が十分な大きさに維持されて、給気管からの
気体供給が円滑に行なわれる。このとき、中空円筒内の
液体は、羽根のねじれによって押し下げられようとする
圧力に逆らって放射状流れの中心部に向かって流れるこ
とになる。

【００１７】この発明のその他の特徴および利点は、以
下に行なう詳細な説明から、より明らかとなろう。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好ましい実施形
態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。

【００１９】図１は、この発明の自吸式微細気泡発生装
置１の一実施形態の概略構成を示している。この微細気
泡発生装置１は、排ガス中の有害物質を水に吸収させて
処理するように構成されたものである。液槽２には、液
体としての水が貯留または循環させられている。この液
槽２は、基本的には天井板９によって密閉されている。
天井板９には、給気管３がつり下げ状に支持されてお
り、この給気管は、液槽内を垂直状に下方に延出してそ
の下端部が下向きに開放させられている。この給気管３
はまた、図示しない半導体製造装置等のガス排出部８等
に導通させられている。液槽２内の下部には、給気管３
の開放端４に所定のすきまを介して対向するようにし
て、ロータ５が垂直状の回転軸６を中心として高速回転
するように配置されている。回転軸６は、軸封装置７を
介して液槽２の外部に延出させられ、液槽２の下方に配
置した駆動装置８によって、たとえば１，０００〜２，
０００ｒｐｍで高速回転させられる。図中、符号１０
は、処理ガス出口を示す。

【００２０】ロータ５の第１の実施形態を図２(a) およ
び(b) に示す。このロータ５は、ボス状の中心部材２
１、この中心部材２１を囲むように同軸状に配置された
中空円筒２２、この中空円筒２２の内部上方において、
半径方向内方端が中心部材２１の外壁に、半径方向外方
端が中空円筒の内壁にそれぞれ連結され、かつ平面視に
おいて放射状に配置された複数枚、たとえば３〜８枚の
板状の羽根２３、および、中空円筒の内部下方におい
て、中心部材２１と中空円筒２２をつなぐ補強部材２４
を備えて構成されている。この実施形態において、羽根
２３は、ロータ５の中心軸線２５を含む平面と一致させ
られており、また、各羽根２３の上端は、中空円筒２２
の上端と一致させられている。補強部材２４には上下方
向に貫通する孔２６が形成されており、したがって、こ
のロータ５は、上下方向に液体流通が可能である。そし
て、中心部材２１には駆動部によって回転させられる軸
６が挿入固定され、これにより、このロータ５は垂直軸
を中心として高速回転させられる。

【００２１】ロータ５の第２の実施形態を図３(a) およ
び(b) に示す。図２(a) および(b)に示した第１の実施
形態に対する相違は、羽根２３が、その上端がロータの
回転方向前方に傾斜するようにしてねじられている点で
ある。このねじれ角は、好ましくは4５度以内、たとえ
ば30度に設定される。

【００２２】ロータ５が回転すると、複数の羽根２３が
遠心ポンプのような作用をし、給気管３とロータ５との
間の領域に放射状の流れを形成する。放射状流れの中心
部には、周囲液体が中空円筒２２の内部を通って供給さ
れる。同時に、放射状流れの中心部の静圧が低下して負
圧となり、これによって給気管３内の気体が放射状流れ
の中心部に導入される。こうして導入された気体は、高
速回転する羽根２３によって砕かれ、あるいは、高速回
転する羽根の裏面側に生じる渦によって砕かれ、微細気
泡となって放射状流れにのり、液槽中に分散させられ
る。

【００２３】上記したロータ５の各実施形態において
は、いずれも、羽根２３の上端と中空円筒２２の上端と
が一致させられているが、羽根２３の上端が中空円筒の
上端から延出するようにしてもよいし、やや没入するよ
うにしてもよい。いずれにしても、羽根２３は、給気管
３の開放端４とロータ５との間に液体の放射状流れを形
成する遠心ポンプとしての機能を発揮するために、中空
円筒２２の内部における上部に配置することが必要であ
る。上述したように、羽根２３の上方延出量を増やす
と、この遠心ポンプとしての機能が強化される。

【００２４】また、図３(a) および(b) に示す第２の実
施形態のように羽根２３にねじれ角を与えると、この羽
根２３は、ロータ５の回転によって中空円筒内の液体を
下方に圧し下げようとする作用、換言すると、中空円筒
内を通って放射状流れの中心に向かおうとする液体の流
れを抑制する作用を発揮し、これによって、給気管３内
部が負圧状態に維持されて、放射状流れへの気体供給が
適正に継続される。

【００２５】また、各実施形態に係るロータ５は、図１
に示されるように液槽２の下部に配置した駆動部９に連
結して回転駆動するほか、液槽上部に配置した駆動部に
よって回転駆動するようにしてもよい。この場合、駆動
部によって回転させられる軸を垂直状の給気管３の内部
を通すようにして設け、この回転軸６の下端部にロータ
５を取り付ければよい。

【００２６】ロータの材質は特に限定されないが、耐酸
性、耐アルカリ性、耐薬品性、ならびに加工の容易性等
を考慮すると、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプ
ロピレン等のプラスチックスを用いるのが好適である。
また中空円筒の高さは直径の０．２〜２．０倍、好まし
くは０．４〜１．２倍とする。中心軸を通る平面を含む
羽根の高さ寸法は、中空円筒の高さ寸法の０．１〜０．
８とすると好ましく、また、中空円筒の直径は、給気管
の液中における開放端の直径の０．３〜３．０倍、好ま
しくは１．０〜３．０倍とする。この場合、開放端の周
囲に円形、鍔状に平板を設けてもよい。

【００２７】

【実施例１】図２（ａ）、（ｂ）に示した実施形態に準
拠して、直径１３２ｍｍ（内径１２６ｍｍ）、高さ７１
ｍｍの上部、下部が開口した、塩化ビニル製中空円筒の
内部に、板状（２５ｍｍ×３９ｍｍ）の塩化ビニル製羽
根６枚を、中心軸を通る平面と一致するように取付け
た。羽根の上端と中空円筒の上端とを一致するように
し、このように構成して得られたロータの中心部材（塩
化ビニル製）に直径２２ｍｍの軸（ステンレス鋼製）を
固定した。

【００２８】一方、内径４００ｍｍ、高さ８２５ｍｍの
透明塩化ビニル製の液槽底面に軸封装置を設け、上記軸
を軸封装置を介して、液槽下方にある駆動装置に連結し
た。液槽底面からの高さ１２５ｍｍに上面が位置するよ
うにロータを配置し、ロータの上面と給気管の開放端と
の間隔（すきま）が１０ｍｍ〜４０ｍｍの間で可変とさ
れるように、ロータの直上に給気管を取付けた。このと
き、給気管の直径（内径）は６０ｍｍとし、その開放端
には外径１３５ｍｍの平板を外向フランジ状に取付け
た。

【００２９】上記のように構成した自吸式微細気泡発生
装置により、気体として窒素ガスを用い、液体として水
を用いた場合、安定して微細気泡が発生する条件を求め
た。すなわち、インバータ方式でロータの回転数を変化
させ、各回転数において、ロータの上面と給気管の開放
端とのすきまを変化させ、各回転数における負圧（吸込
み圧）、発生した負圧の振れ巾（安定性）等を測定し
た。負圧は、給気管に負圧測定用のノズルを設け、ノズ
ルとＵ字管を接続し、Ｕ字管中の水頭を読むことにより
測定した。なお、回転数は、５０Ｈｚにおいて１４８０
ｒｐｍ、５５Ｈｚにおいて１６３０ｒｐｍ、６０Ｈｚに
おいて１７８０ｒｐｍであった。

【００３０】得られた結果を図４に示す。図４（ａ）に
すきまと最大吸込み水頭の関係を示す。すきまが１０ｍ
ｍより小であると、若干の正圧が発生するが、以後すき
まが大きくなると共に負圧が発生し、１５ｍｍから２
９．５ｍｍの範囲に亘って各回転数で負圧が発生してい
ることが明らかである。図４（ｂ）は、上記最大吸込み
水頭が得られたときの振れ巾を示す。例えば、１７８０
ｒｐｍの場合、すきま２６．５ｍｍで最大吸込み水頭を
示すが、２６．５ｍｍよりも大きくなると、その振れ巾
も急に大きくなるため、安定した負圧を得るという点に
おいては好ましくない。したがって、本実施例における
条件で適応可能なすきまとして１７．４ｍｍから２６．
５ｍｍの範囲という結果が得られた。また、すきまが２
６．５ｍｍの時、１７８０ｒｐｍでの窒素ガスの吸込み
量は１００ｄｍ³／分であった。

【００３１】

【実施例２】図３（ａ）、（ｂ）に示した実施形態に準
拠して、直径１３２ｍｍ（内径１２６ｍｍ）、高さ７１
ｍｍの上部、下部が開口した、塩化ビニル製中空円筒の
内部に、板状（２５ｍｍ×３９ｍｍ）の塩化ビニル製羽
根６枚をねじれ角３０度で取付けた。羽根の上端は、中
空円筒の上端と一致するようにし、このようにして得ら
れたロータの中心部材に直径２２ｍｍの軸（ステンレス
鋼製）を固定した。

【００３２】上述の実施例１の場合と同様に、内径４０
０ｍｍ、高さ８２５ｍｍの透明塩化ビニル製の液槽底面
に軸封装置を設け、上記軸を軸封装置を介して、液槽下
方にある駆動装置に連結した。液槽底面からの高さ１２
５ｍｍに上面が位置するようにロータを配置し、ロータ
の上面と給気管の開放端との間隔（すきま）が１０ｍｍ
〜４０ｍｍの間で可変とされるように、ロータの直上に
給気管を取付けた。このとき、給気管の直径（内径）は
６０ｍｍとし、その開放端には外径１３５ｍｍの平板を
外向フランジ状に取付けた。

【００３３】上記のように構成した自吸式微細気泡発生
装置により、気体として窒素ガスを用い、液体として水
を用いた場合、安定して微細気泡が発生する条件を実施
例１と同様にして求めた。得られた結果を図５（ａ）、
（ｂ）に示す。図５（ａ）から羽根に角度３０度のねじ
れを与えた場合、すきまが１０ｍｍから３１．７ｍｍま
での広い範囲で、各回転数において、すきまが大きくな
ると共に吸込み圧は増大し、２５ｍｍから３１．７ｍｍ
の範囲で最大となることが明らかである。また、最大吸
込み水頭も、ねじれのない場合に比べて大きい。なお、
すきまが２４．５ｍｍで１７８０ｒｐｍでの窒素ガスの
吸込み量は１２０ｄｍ³／分であった。

【００３４】一方、吸込み水頭の振れ巾（ΔH（ｍｍH
₂O））に関しては、回転数が低い場合、図５（ｂ）に示
すように、すきまが１０ｍｍで１３８ｍｍH₂Oを示した
が、以後、すきまが大きくなると共に安定し、すきまが
１１．８ｍｍから大きくなると、１００ｍｍH₂O以下と
なり実用的に使用可能となる。以上の結果から、本実施
例における条件で適応可能なすきまとして１１．８ｍｍ
から３１．７ｍｍの範囲という結果が得られた。

【００３５】

【比較例１】本発明のロータと、従来から用いられてい
るロータとの比較実験を行った。図６は、公知のロータ
の概略構成を示している。すなわち、上部、下部が閉じ
られた円筒７１（直径、１２０ｍｍ）の上部７２（上
蓋）に、板状の羽根７３を１０枚、放射状に固定し、ま
た円筒の外周側面には、中心軸に平行に20ケの畝７４を
設けた公知のロータを用いて実施例１と同様にして実験
を行った。インバータ方式でロータの回転数を変化さ
せ、各回転数において、ロータの上面と開放端との間隔
（すきま）を種々変化させ、それらと負圧（吸込み圧）
の関係、発生した負圧の振れ巾（安定性）等をみた。

【００３６】実施例１と同様にして、内径４００ｍｍ、
高さ８２５ｍｍの透明塩化ビニル製の液槽底部に前記公
知のロータを配置した。このロータの上面が、液槽底面
からの高さ１２５ｍｍに位置するようにし、実施例１と
同様、その直上に、給気管の開放端との間隔（すきま）
が０ｍｍ〜１０ｍｍの間で可変とされるように給気管を
取付けた。このとき、給気管の直径（内径）は６０ｍｍ
とし、その開放端には外径１３５ｍｍの平板を外向フラ
ンジ状に取付けた。実施例１と同様に、上記のように構
成した自吸式微細気泡発生装置を用いて、窒素ガスを気
体とし、水を液体として、安定して微細気泡が発生する
条件を求めた。すなわち、５０Ｈｚ、５５Ｈｚ、６０Ｈ
ｚの各回転数の場合において、開放端とロータとのすき
まを変化させ、負圧（吸込み圧）、発生した負圧の振れ
巾（安定性）等をみた。

【００３７】得られた結果を図７に示す。図７（ａ）
は、各回転数におけるすきまと最大吸込み水頭の関係を
示す。図７（ｂ）は、最大吸込み水頭が得られた時の吸
込み圧の振れ巾を示す。図７（ａ）、（ｂ）から明らか
なように、公知のロータを用いた場合、最大吸込み水頭
が得られるすきまの範囲は４ｍｍから５ｍｍと非常に狭
く、最大吸込み水頭も小さい。すきまがこの範囲から外
れると逆に正圧が発生するため、実用的な使用には非常
な困難が伴うことが明らかである。

【００３８】

【発明の効果】以上述べたように、自吸式微細気泡発生
装置のロータを、少なくとも上部が開口された中空円筒
の内部において、複数枚の羽根を半径方向に放射状に固
定した構造のものを用いることによって、液中における
給気管の開放端とロータの上部との間隔（すきま）を厳
密に調整する必要なく、安定して大きな負圧（最大吸込
み水頭）を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の自吸式微細気泡発生装置を示す概略図
である。

【図２】本発明の自吸式微細気泡発生装置に使用される
ロータの一実施形態を示す平面図（ａ）および断面図
（ｂ）である。

【図３】本発明の自吸式微細気泡発生装置に使用される
ロータの他の実施形態を示す平面図（ａ）および断面図
（ｂ）である。

【図４】本発明の実施例１において得られた結果を示す
グラフである。

【図５】本発明の実施例２において得られた結果を示す
グラフである。

【図６】比較例１において用いられた公知のロータを示
す概略図である。

【図７】比較例１において得られた結果を示すグラフで
ある。

【符号の説明】

２液槽３給気管４開放端５ロータ６回転軸８駆動部２１中心部材２２中空円筒２３羽根２４補強部材７１上部、下部が閉じられた円筒７３羽根７４畝

【手続補正書】

【提出日】平成１２年７月２１日（２０００．７．２
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３４】一方、吸込み水頭の振れ巾（ΔH（ｍｍH
₂O））に関しては、回転数が高い場合、図５（ｂ）に示
すように、すきまが１０ｍｍで１３８ｍｍH₂Oを示した
が、以後、すきまが大きくなると共に安定し、すきまが
１１．８ｍｍから大きくなると、１００ｍｍH₂O以下と
なり実用的に使用可能となる。以上の結果から、本実施
例における条件で適応可能なすきまとして１１．８ｍｍ
から３１．７ｍｍの範囲という結果が得られた。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液槽と、この液槽内の液中に導入され、
かつ下向きの開放端を有する給気管と、この給気管の開
放端の下方に所定のすきまを介して配置されたロータと
を備え、このロータの高速回転によって給気管の開放端
から気体を吸引するとともにこうして吸引された気体を
微細気泡として液中に分散させる自吸式微細気泡発生装
置であって、ロータは、少なくとも上部が開放する中空円筒と、中心
部材と、中空円筒の内部において放射状に配置された複
数の羽根とを備え、直立状の中心軸線を中心として高速
回転するように構成されていることを特徴とする、自吸
式微細気泡発生装置。
【請求項２】中空円筒は、上部と下部とがともに開放
している、請求項１に記載の自吸式微細気泡発生装置。
【請求項３】羽根は、板状である、請求項１または２
に記載の自吸式微細気泡発生装置。
【請求項４】羽根は、その外方端が中空円筒の内壁
に、内方端が中心部材の外壁に、それぞれ連結固定され
ている、請求項１ないし３のいずれかに記載の自吸式微
細気泡発生装置。
【請求項５】羽根は、ロータの中心軸線を含む平面に
一致するように配置されている、請求項１ないし４のい
ずれかに記載の自吸式微細気泡発生装置。
【請求項６】羽根は、ロータの中心軸線を含む平面に
対し、上端がロータの回転方向前方に傾斜するようにね
じられている、請求項１ないし４のいずれかに記載の自
吸式微細気泡発生装置。
【請求項７】羽根のねじれ角は４５度以内である、請
求項６に記載の自吸式微細気泡発生装置。
【請求項８】羽根は、その上端が中空円筒の上端とほ
ぼ一致させられている、請求項１ないし４のいずれかに
記載の自吸式微細気泡発生装置。
【請求項９】羽根は、その上端部が中空円筒の上端か
らさらに上方に延出させられている、請求項１ないし４
のいずれかに記載の自吸式微細気泡発生装置。
【請求項１０】ロータは、液槽の下方に設けられた駆
動部によって高速回転させられる、請求項１に記載の自
吸式微細気泡発生装置。
【請求項１１】ロータは、液槽の上方に設けられた駆
動部によって高速回転させられる、請求項１に記載の自
吸式微細気泡発生装置。