JP2001045761A - High voltage power supply for x-ray source - Google Patents

High voltage power supply for x-ray source

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JP2001045761A
JP2001045761A JP11219773A JP21977399A JP2001045761A JP 2001045761 A JP2001045761 A JP 2001045761A JP 11219773 A JP11219773 A JP 11219773A JP 21977399 A JP21977399 A JP 21977399A JP 2001045761 A JP2001045761 A JP 2001045761A
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JP
Japan
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voltage
power supply
circuit
output
inverter
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JP11219773A
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Japanese (ja)
Inventor
Masatomo Kaino
正知 貝野
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high voltage power supply for X-ray source having high power efficiency and high response in which the load being applied to the power device of an inverter is reduced and ripple of high voltage output is suppressed. SOLUTION: A commercial power supply voltage is converted through a rectifier 6 into a DC voltage which is fed through a regulator 7 to three inverters 11a, 11b, 11c where it is converted into high frequency AC voltage in response to a signal from a drive circuit 8 before being boosted through transformers 9a, 9b, 9c. Cockcroft-Walton circuits 1a, 1b, 1c are connected in series on the secondary and fed with output from the transformers 9a, 9b, 9c, respectively, thus generating a high DC voltage at the output terminal 3c. The output is divided by a dividing resistor 13 and fed back from a detection resistor 13 to a differential amplifier 14. Subsequently, it is subjected to DC chopping by means of a regulator 7 thus stabilizing DC power.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線源用高電圧電
源に係わり、特に、連続出力のX線を用いる工業用X線
検査装置、X線分析装置、X線照射実験装置等の高電圧
電源に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-voltage power supply for an X-ray source, and more particularly to a high-voltage power supply for an industrial X-ray inspection apparatus, an X-ray analysis apparatus, an X-ray irradiation experiment apparatus and the like using continuous output X-rays. Related to voltage power supply.

【0002】[0002]

【従来の技術】X線高電圧装置は、高電圧の発生方法に
より、大別して、変圧式X線高電圧装置、コンデンサ式
X線高電圧装置、インバータ式X線高電圧装置の3種類
に分類される。これらの高電圧装置のうち、比較的小容
量で直流出力が可能なコンデンサ式X線高電圧装置が、
工業用X線検査装置、X線分析装置、X線照射実験装置
等に用いられている。この装置には高電圧の発生方法に
より、倍電圧整流回路とコッククロフト・ウォルトン回
路の2つがあるが、重量軽減の点で有利な多段式のコッ
ククロフト・ウォルトン回路方式が多く採用されてい
る。コッククロフト・ウォルトン回路は、複数のコンデ
ンサを2群に分かち、それぞれn段に接続して縦続回路
を形成する。そして、これら縦続回路の各コンデンサの
接続点の間を順次ダイオードで接続している。また、各
縦続回路の最下段が入力側となり、通常、交流電圧であ
る変圧器が接続されている。そして、最上段の高電圧出
力端子から直流高電圧が出力されるものである。このコ
ッククロフト・ウォルトン回路では、段数nを多くする
ことで、各素子にかかる電圧を低くすることができるた
め、使用できる素子の自由度が高く、パルス用途以外の
連続的なX線発生用に良く用いられる方法である。ま
た、X線管に印加する管電圧は、立ちあがりが高速で脈
動のない波形が理想である。また、X線管に流れる管電
流は透視時は連続、撮影時は短時間で可変であることな
どが要求される。このために、インバータ式のX線高電
圧装置が用いられている。その基本原理は単相または三
相の商用電源電圧を整流して直流電圧に変換し、この直
流電圧をインバータ回路により商用電源よりも高い周波
数の交流に変換して高電圧変圧器で昇圧し、再び整流し
て直流の高電圧をX線管に印加する電力変換方式であ
る。
2. Description of the Related Art X-ray high-voltage devices are roughly classified into three types according to a method of generating a high voltage: a variable-type X-ray high-voltage device, a capacitor-type X-ray high-voltage device, and an inverter-type X-ray high-voltage device. Is done. Among these high-voltage devices, a capacitor-type X-ray high-voltage device capable of outputting a DC with a relatively small capacity,
It is used in industrial X-ray inspection devices, X-ray analysis devices, X-ray irradiation experiment devices, and the like. There are two types of this device, a voltage doubler rectifier circuit and a Cockcroft-Walton circuit, depending on the method of generating a high voltage. Many multi-stage Cockcroft-Walton circuit systems that are advantageous in terms of weight reduction are employed. The Cockcroft-Walton circuit divides a plurality of capacitors into two groups, each of which is connected to n stages to form a cascade circuit. The connection points of the capacitors of these cascade circuits are sequentially connected by diodes. In addition, the lowest stage of each cascade circuit is the input side, and a transformer which is usually an AC voltage is connected. Then, a DC high voltage is output from the high voltage output terminal at the uppermost stage. In this Cockcroft-Walton circuit, since the voltage applied to each element can be reduced by increasing the number n of stages, the degree of freedom of usable elements is high, and it is well suited for continuous X-ray generation other than pulse use. This is the method used. Ideally, the tube voltage applied to the X-ray tube has a fast rising waveform with no pulsation. Further, it is required that the tube current flowing through the X-ray tube be continuous during fluoroscopy and variable in a short time during imaging. For this purpose, an inverter type X-ray high voltage device is used. The basic principle is that a single-phase or three-phase commercial power supply voltage is rectified and converted into a DC voltage, and this DC voltage is converted into an AC having a higher frequency than the commercial power supply by an inverter circuit and boosted by a high-voltage transformer. This is a power conversion method that rectifies again and applies a high DC voltage to the X-ray tube.

【0003】図2にX線管19の駆動回路を示す。X線
管19は高真空の絶縁された容器内に電子ビームを放出
する陰極フィラメント16と、その電子衝撃によってX
線を放射する陽極ターゲット15とが設けられ、陰極フ
ィラメント16から電子を放出させるために、陰極フィ
ラメント16に加熱用のフィラメント電源18から電力
が供給される。そして、X線源用高電圧電源17によ
り、陽極ターゲット15と陰極フィラメント16間に、
直流電圧が印加されるものである。陽極ターゲット15
と陰極フィラメント16をアース電位に対して両極を絶
縁したX線管19の容器が使われているが、用途により
陽極接地型、または陰極接地型が使われている。図3に
陰極接地の場合のX線源用高電圧電源の回路図を示す。
この回路は、入力側に設けられたインバータ11の回路
と、出力側に設けられた多段式のコッククロフト・ウォ
ルトン回路1を用いて直流の高電圧を発生するものであ
る。AC入力端10から低電圧の交流を入力し、整流器
6で直流電圧に変換する。この直流電圧はレギュレータ
7を経由し、駆動回路8により駆動されるインバータ1
1により、高い周波数の交流に変換される。そして、変
圧器5で昇圧し、入力端2に高周波の交流を印加し、コ
ッククロフト・ウォルトン回路1で整流器5とコンデン
サ4の縦続回路により直流の高電圧を出力端3に発生す
る。高抵抗の分割抵抗13と出力電圧検出用の検出抵抗
12が出力端3と接地間に接続され、検出抵抗12によ
り出力電位の信号がフィードバックされ、差動増幅器1
4に入力される。その変動分がレギュレータ7に入力さ
れ、DCチョッパによりONの時間とOFFの時間を制
御して、インバータの直流電源とし、平均電力を調整
し、高電圧の出力をレギュレーションする。
FIG. 2 shows a driving circuit of the X-ray tube 19. The X-ray tube 19 is composed of a cathode filament 16 for emitting an electron beam into a high vacuum insulated container, and an X-ray tube 16 by the electron impact.
An anode target 15 for emitting a line is provided, and power is supplied to the cathode filament 16 from a filament power supply 18 for heating to emit electrons from the cathode filament 16. Then, between the anode target 15 and the cathode filament 16 by the high voltage power supply 17 for the X-ray source,
A DC voltage is applied. Anode target 15
An X-ray tube 19 is used in which both the cathode and the cathode filament 16 are insulated from the earth potential with respect to the ground potential. Depending on the application, an anode grounded type or a cathode grounded type is used. FIG. 3 shows a circuit diagram of a high voltage power supply for an X-ray source in the case of cathode grounding.
This circuit uses a circuit of an inverter 11 provided on the input side and a multi-stage Cockcroft-Walton circuit 1 provided on the output side to generate a high DC voltage. A low-voltage alternating current is input from an AC input terminal 10 and converted into a direct-current voltage by the rectifier 6. This DC voltage passes through a regulator 7 and is driven by a drive circuit 8 by an inverter 1.
1 converts it into a high frequency alternating current. Then, the voltage is boosted by the transformer 5, a high-frequency AC is applied to the input terminal 2, and a high DC voltage is generated at the output terminal 3 by the Cockcroft-Walton circuit 1 by the cascade circuit of the rectifier 5 and the capacitor 4. A high-resistance split resistor 13 and a detection resistor 12 for detecting an output voltage are connected between the output terminal 3 and the ground, and a signal of an output potential is fed back by the detection resistor 12 so that the differential amplifier 1
4 is input. The variation is input to the regulator 7, and the ON time and the OFF time are controlled by the DC chopper to be used as a DC power supply of the inverter, the average power is adjusted, and the high voltage output is regulated.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のX線源用高電圧
電源は以上のように構成されているが、通常のコックク
ロフト・ウォルトン回路1は整流器5とコンデンサ4と
から構成される縦続段数nが増加すると、出力電圧は上
昇するが、その一方でnに比例して出力電圧のリップ
ルが増加する。さらに、電圧降下がnに比例し、電力
効率が低下する。しかも、出力の応答性が悪くなるとい
う問題がある。また、大出力のX線を得るためには、イ
ンバータ11やその駆動回路8の発振器に使用するパワ
ー素子が、高耐圧、大電流、高速の高性能な機能を有す
ることが必要になる。そのような素子は、種類が少な
く、高価である。
The conventional high voltage power supply for an X-ray source is constructed as described above. However, the ordinary Cockcroft-Walton circuit 1 has a cascaded stage number n composed of a rectifier 5 and a capacitor 4. Increases, the output voltage increases, while the output voltage ripple increases in proportion to n 2 . Further, the voltage drop is proportional to n 3, decreases power efficiency. In addition, there is a problem that output responsiveness deteriorates. In addition, in order to obtain a high output X-ray, it is necessary that the power element used for the oscillator of the inverter 11 and its drive circuit 8 has a high withstand voltage, a large current, a high speed and a high performance function. Such elements are few and expensive.

【0005】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、装置に使用するパワー素子1個当たり
の負荷が少なくて、出力電圧のリップルが少なく、電力
効率の良い、しかも応答性の良いX線源用高電圧電源を
提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and has a small load per power element used in the device, a small output voltage ripple, a high power efficiency, and a high response. It is an object of the present invention to provide a high-voltage power supply for an X-ray source with good performance.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のX線源用高電圧電源は、複数のコンデンサ
をn段に直列接続した縦続回路を並列に接続し、前記縦
続回路のコンデンサの接続点を順次ダイオードで接続す
ると共に、最下段に交流電源を接続し、最上段と最下段
との間を直流電圧の出力端子としたコッククロフト・ウ
ォルトン回路を用いたX線源用高電圧電源において、コ
ッククロフト・ウォルトン回路とそれを駆動するインバ
ータ回路及び変圧器とから構成される高電圧発生回路を
複数個設け、その高電圧発生回路を直列に接続したもの
である。
In order to achieve the above object, a high voltage power supply for an X-ray source according to the present invention comprises a cascade circuit in which a plurality of capacitors are connected in series in n stages. The connection points of the capacitors are sequentially connected with diodes, an AC power supply is connected to the lowest stage, and a DC voltage output terminal is provided between the top and bottom stages for a X-ray source using a Cockcroft-Walton circuit. In a voltage power supply, a plurality of high voltage generating circuits each including a Cockcroft-Walton circuit, an inverter circuit for driving the circuit, and a transformer are provided, and the high voltage generating circuits are connected in series.

【0007】本発明のX線源用高電圧電源は上記のよう
に構成されており、インバータ回路による変圧器を入力
とした、コッククロフト・ウォルトン回路からなる高電
圧発生回路を、複数個設けて、直列に接続したものであ
るため、コッククロフト・ウォルトン回路の整流器5と
コンデンサ4とから構成される縦続段数nが少なくな
り、リップルが減少し、電力効率が良くなり、応答性も
向上する。また、インバータが複数個になり、パワー素
子1個当たりの負荷が減少するため、小容量で高速の素
子を用いることができ、インバータ周波数の高速化がで
き、低リップルで小型化を図ることができる。
The high-voltage power supply for an X-ray source according to the present invention is configured as described above, and is provided with a plurality of high-voltage generating circuits composed of a Cockcroft-Walton circuit to which a transformer by an inverter circuit is input. Since they are connected in series, the number n of cascade stages composed of the rectifier 5 and the capacitor 4 in the Cockcroft-Walton circuit is reduced, ripples are reduced, power efficiency is improved, and responsiveness is improved. In addition, since a plurality of inverters are used and the load per power element is reduced, a small-capacity and high-speed element can be used, the inverter frequency can be increased, and the ripple and the size can be reduced. it can.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明のX線源用高電圧電源の一
実施例を図1を参照しながら説明する。図1は、本発明
のX線源用高電圧電源のブロック構成図を示す。インバ
ータ11aと変圧器9aとコッククロフト・ウォルトン
回路1aとから構成される高電圧回路と、インバータ1
1bと変圧器9bとコッククロフト・ウォルトン回路1
bとから構成される高電圧回路と、インバータ11cと
変圧器9cとコッククロフト・ウォルトン回路1cとか
ら構成される高電圧回路と、交流の商用電源から直流電
圧に変換する整流器6と、出力電圧を分割抵抗13で分
割し、その一部を検出抵抗器12からフィードバックし
て差動増幅器14で変動値をとらえ、直流電圧をDCチ
ョッピングするレギュレータ7と、インバータ11a、
11b、11cを駆動して高周波を発生させる駆動回路
8とから構成されている。そして、コッククロフト・ウ
ォルトン回路1a、1b、1cと、それを駆動するイン
バータ回路11a、11b、11c及び変圧器9a、9
b、9cとから構成される3個の高電圧発生回路を直列
に接続したものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of a high voltage power supply for an X-ray source according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows a block diagram of a high-voltage power supply for an X-ray source according to the present invention. A high-voltage circuit including an inverter 11a, a transformer 9a, and a Cockcroft-Walton circuit 1a;
1b, transformer 9b, and Cockcroft-Walton circuit 1
b, a high voltage circuit including an inverter 11c, a transformer 9c, and a Cockcroft-Walton circuit 1c, a rectifier 6 for converting an AC commercial power supply to a DC voltage, and an output voltage The voltage is divided by the dividing resistor 13, a part of which is fed back from the detecting resistor 12, the fluctuation value is captured by the differential amplifier 14, and the DC voltage is DC chopped by the regulator 7 and the inverter 11a.
And a driving circuit 8 that drives 11b and 11c to generate a high frequency. Then, the Cockcroft-Walton circuits 1a, 1b, 1c, the inverter circuits 11a, 11b, 11c for driving the circuits, and the transformers 9a, 9
b, 9c are connected in series with three high-voltage generating circuits.

【0009】整流器6は、商用周波数の交流電圧を直流
電圧に変換するもので、低電圧直流回路として用いられ
る。容量の小さいものでは電池でも良い。レギュレータ
7は、サイリスタなどを用いてその点弧位相を変化させ
ることにより直流出力電圧を制御するもので、変換(D
C−DC変換)というよりも直流電力の制御をするもの
である。通常、DCチョッパーと呼ばれている。上記直
流電圧をDCチョッピングして、ONの時間とOFFの
時間を制御し、インバータ11a、11b、11cの直
流電源とし、平均電力を調整し直流出力を制御するもの
である。インバータ11a、11b、11cは、電力の
変換と制御をオン・オフスイッチング動作で行う電力用
半導体デバイス、例えば、バイポーラパワートランジス
タ、パワーMOSFET、IGBTなどを用いて、駆動
回路8からの信号に応じて高速にスイッチングすること
により、上記直流電力から高周波への電力変換を行うも
のである。変圧器9a、9b、9cは、インバータ11
a、11b、11cにより直流から高周波に変換された
高周波電圧を2次側に昇圧するものである。周波数が高
くなると、損失は増大し温度が上昇して、絶縁耐力の低
下につながるが、最近インバータ式X線高電圧装置用の
高電圧変圧器が、医用診断装置分野でも一般に使用さ
れ、損失の少ない構造で新素材を用い、絶縁耐力も高い
ものが広く使われている。さらに、本構成の回路では、
上段の変圧器9cになるにしたがって、変圧器9Cの絶
縁耐圧が要求されるが、図2に示すX線管19の陰極フ
ィラメント16に電圧を供給するためのフィラメント電
源18は、高絶縁耐力の変圧器が使われており、同様の
技術が、本構成の回路用の変圧器9cに用いることがで
きる。コッククラフト・ウォルトン回路1a、1b、1
cは、コッククラフト・ウォルトン回路1aの出力端3
aが、コッククラフト・ウォルトン回路1bの初段に接
続され、その出力端3bは、コッククラフト・ウォルト
ン回路1cの初段に接続され、その出力端3cが、本X
線源用高電圧電源の最終出力端となる。このように3段
に設けられた高電圧発生回路が、直列に接続されて高電
圧が発生する。出力端3cに発生した高電圧は、分割抵
抗13を介して、その一部の電圧が検出抵抗12から検
出されて、差動増幅器14にフィードバックされる。差
動増幅器14で電圧値が比較され差分が増幅され、その
信号がレギュレータ7に入力される。レギュレータ7
は、その出力電圧の変動値をとらえ、整流器6で整流さ
れた直流電圧をDCチョッピングし制御する。それによ
り直流電力を制御し、インバータ11a、11b、11
c、変圧器9a、9b、9c、コッククラフト・ウォル
トン回路1a、1b、1cを介して高電圧出力を安定さ
せる。
The rectifier 6 converts an AC voltage having a commercial frequency into a DC voltage, and is used as a low-voltage DC circuit. If the capacity is small, a battery may be used. The regulator 7 controls the DC output voltage by changing its firing phase using a thyristor or the like.
It controls DC power rather than (C-DC conversion). Usually, it is called a DC chopper. The DC voltage is DC chopped to control the ON time and the OFF time, and is used as a DC power supply for the inverters 11a, 11b, and 11c to adjust the average power and control the DC output. The inverters 11a, 11b, and 11c use power semiconductor devices that perform power conversion and control by on / off switching operations, for example, bipolar power transistors, power MOSFETs, IGBTs, and the like, in response to signals from the drive circuit 8. By performing high-speed switching, power conversion from the DC power to a high frequency is performed. The transformers 9a, 9b, 9c are connected to the inverter 11
The high-frequency voltage converted from direct current to high frequency by a, 11b, and 11c is boosted to the secondary side. As the frequency increases, the loss increases and the temperature rises, leading to a decrease in the dielectric strength. However, recently, a high-voltage transformer for an inverter-type X-ray high-voltage device is generally used also in the field of medical diagnostic equipment, and the loss of the loss is reduced. New materials with a small structure and high dielectric strength are widely used. Furthermore, in the circuit of this configuration,
As the transformer 9c in the upper stage becomes higher, the withstand voltage of the transformer 9C is required. However, the filament power supply 18 for supplying a voltage to the cathode filament 16 of the X-ray tube 19 shown in FIG. A transformer is used, and a similar technique can be used for the circuit transformer 9c of this configuration. Cockcraft Walton circuits 1a, 1b, 1
c is the output terminal 3 of the cock craft Walton circuit 1a
a is connected to the first stage of the Cockcraft-Walton circuit 1b, its output terminal 3b is connected to the first stage of the Cockcraft-Walton circuit 1c, and its output terminal 3c is
This is the final output terminal of the source high voltage power supply. Thus, the high voltage generating circuits provided in three stages are connected in series to generate a high voltage. A part of the high voltage generated at the output terminal 3 c is detected by the detection resistor 12 via the divisional resistor 13 and fed back to the differential amplifier 14. The differential amplifier 14 compares the voltage values and amplifies the difference, and the signal is input to the regulator 7. Regulator 7
Captures the fluctuation value of the output voltage and performs DC chopping on the DC voltage rectified by the rectifier 6 to control the DC voltage. Thereby, the DC power is controlled, and the inverters 11a, 11b, 11
c, stabilize the high voltage output via the transformers 9a, 9b, 9c and the Cockcraft-Walton circuits 1a, 1b, 1c.

【0010】本X線源用高電圧電源は、図1に示すよう
に、高電圧発生回路を複数個(図ではn=3組)設け、
それを直列接続することで高電圧を得るものである。例
えば図3の通常のコッククラフト・ウォルトン回路1で
9段(n=9)で高圧を発生していたとする。本方式で
は、図1に示すように、各組のコッククラフト・ウォル
トン回路1a、1b、1cを3段にし、それを3組用い
るとすると、発生できる電圧は、図3と同じ9段分であ
るが、リップル、電力効率、および応答性などの特性
は、コッククロフト・ウォルトン回路3段分の特性とな
るため、大幅に性能が向上する。また、インバータ11
が複数個になることで、インバータ11内のパワーデバ
イスにかかる負荷が少なくなるため、より小容量・高速
の素子が使えるようになる。つまり、インバータ11の
周波数を高くすることができるので、さらに、低リップ
ル、高応答性、小型化を図ることができる。
As shown in FIG. 1, the present high voltage power supply for X-ray sources is provided with a plurality of high voltage generating circuits (n = 3 sets in the figure).
A high voltage is obtained by connecting them in series. For example, it is assumed that a high pressure is generated in nine stages (n = 9) in the ordinary cock craft / Walton circuit 1 in FIG. In this method, as shown in FIG. 1, if each set of Cockcraft-Walton circuits 1a, 1b, and 1c is made into three stages and three sets are used, the voltage that can be generated is nine stages as in FIG. However, characteristics such as ripple, power efficiency, and responsiveness are characteristics of three stages of Cockcroft-Walton circuits, so that performance is greatly improved. In addition, the inverter 11
, The load on the power device in the inverter 11 is reduced, so that a smaller capacity and higher speed element can be used. That is, since the frequency of the inverter 11 can be increased, low ripple, high responsiveness, and downsizing can be further achieved.

【0011】上記の実施例では複数個に高電圧発生回路
を分けて、直列に接続して、各段のリップルを低減して
いるが、さらに、複数個ある各インバータ11a、11
b、11cの駆動回路8からの発振位相をずらすこと
で、各高電圧発生回路から発生するリップル成分を打ち
消すことができる。これによりさらにリップルを低減す
ることができる。
In the above embodiment, a plurality of high voltage generating circuits are divided and connected in series to reduce ripples in each stage.
By shifting the oscillation phases of the b and 11c from the drive circuit 8, the ripple components generated from each of the high voltage generation circuits can be canceled. Thereby, the ripple can be further reduced.

【0012】[0012]

【発明の効果】本発明のX線源用高電圧電源は上記のよ
うに構成されており、インバータ回路と変圧器とコック
クロフト・ウォルトン回路からなる複数個の高電圧発生
回路を直列に接続して高電圧を発生しているので、各高
電圧発生回路の縦続段数nが少なくてすみ、リップルが
減少し、電力効率が良くなり、応答性も向上する。さら
に、複数個のインバータを使用して駆動回路を分割して
いるので、インバータ回路及びその駆動回路のパワー素
子1個当たりの負荷が減少し、小容量で高速の素子を用
いることができ、インバータ周波数の高速化でリップル
を低くした小型なX線源用高電圧電源を製作することが
できる。
The high-voltage power supply for an X-ray source according to the present invention is constructed as described above, and is constituted by connecting a plurality of high-voltage generating circuits comprising an inverter circuit, a transformer and a Cockcroft-Walton circuit in series. Since a high voltage is generated, the number n of cascade stages of each high voltage generating circuit can be reduced, ripples are reduced, power efficiency is improved, and responsiveness is improved. Further, since the driving circuit is divided by using a plurality of inverters, the load per power element of the inverter circuit and the driving circuit is reduced, and a small-capacity, high-speed element can be used. A small high-voltage power supply for an X-ray source with reduced ripple due to higher frequency can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のX線源用高電圧電源の一実施例を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a high-voltage power supply for an X-ray source according to the present invention.

【図2】 X線管の高電圧回路を説明するための図であ
る。
FIG. 2 is a diagram for explaining a high-voltage circuit of an X-ray tube.

【図3】 従来のコッククロフト・ウォルトン回路を用
いた高電圧電源回路を説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining a conventional high-voltage power supply circuit using a Cockcroft-Walton circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1a、1b、1c…コッククロフト・ウォルトン回
路 2…入力端 3…出力端 3a…出力端 3b…出力端 3c…出力端 4…コンデンサ 5…整流器 6…整流器 7…レギュレータ 8…駆動回路 9…変圧器 9a…変圧器 9b…変圧器 9c…変圧器 10…AC入力端 11…インバー
タ 11a…インバータ 11b…インバ
ータ 11c…インバータ 12…検出抵抗 13…分割抵抗 14…差動増幅
器 15…陽極ターゲット 16…陰極フィ
ラメント 17…X線源用高電圧電源 18…フィラメ
ント電源 19…X線管
1, 1a, 1b, 1c: Cockcroft-Walton circuit 2: Input terminal 3: Output terminal 3a: Output terminal 3b: Output terminal 3c: Output terminal 4: Capacitor 5: Rectifier 6: Rectifier 7: Regulator 8: Drive circuit 9: Transformer 9a ... Transformer 9b ... Transformer 9c ... Transformer 10 ... AC input terminal 11 ... Inverter 11a ... Inverter 11b ... Inverter 11c ... Inverter 12 ... Detection resistor 13 ... Division resistor 14 ... Differential amplifier 15 ... Anode target 16 ... Cathode filament 17 High-voltage power supply for X-ray source 18 Filament power supply 19 X-ray tube

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数のコンデンサをn段に直列接続した縦
続回路を並列に接続し、前記縦続回路のコンデンサの接
続点を順次ダイオードで接続すると共に、最下段に交流
電源を接続し、最上段と最下段との間を直流電圧の出力
端子としたコッククロフト・ウォルトン回路を用いたX
線源用高電圧電源において、コッククロフト・ウォルト
ン回路とそれを駆動するインバータ回路及び変圧器とか
ら構成される高電圧発生回路を複数個設け、その高電圧
発生回路を直列に接続したことを特徴とするX線源用高
電圧電源。
1. A cascade circuit in which a plurality of capacitors are connected in series in n stages are connected in parallel, connection points of the capacitors of the cascade circuit are sequentially connected by diodes, an AC power supply is connected to a lowermost stage, and an uppermost stage is connected. X using a Cockcroft-Walton circuit with a DC voltage output terminal between
In a high-voltage power supply for a source, a plurality of high-voltage generating circuits each including a Cockcroft-Walton circuit, an inverter circuit for driving the circuit, and a transformer are provided, and the high-voltage generating circuits are connected in series. High-voltage power supply for X-ray sources.
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