JP2001042526A - Photosensitive resin composition and production of photosensitive element, photosensitive laminated body and flexible printed circuit board using same - Google Patents

Photosensitive resin composition and production of photosensitive element, photosensitive laminated body and flexible printed circuit board using same

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JP2001042526A
JP2001042526A JP11216744A JP21674499A JP2001042526A JP 2001042526 A JP2001042526 A JP 2001042526A JP 11216744 A JP11216744 A JP 11216744A JP 21674499 A JP21674499 A JP 21674499A JP 2001042526 A JP2001042526 A JP 2001042526A
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photosensitive
meth
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勝則 土屋
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive resin composition excellent in flame retardance, flexibility, soldering heat resistance, solvent resistance and washing resistance, having good sensitivity and resolution and capable of easily forming a fine pattern of a flexible hear resistance protective film and to produce a photosensitive element, a photosensitive laminated body and a flexible printed circuit board. SOLUTION: A photosensitive resin composition containing (a) a binder polymer containing tribromopheyl (meth)acrylate as a copolymerizable component, (b) a bisphenol A type (meth)acrylate compound, (c) a photopolymerization initiator, (d) an amino resin and (e) an aromatic phosphoric ester compound is applied on a support and dried to form the objective photosensitive element. A layer of the photosensitive resin composition is disposed on the surface of a substrate for a flexible printed circuit board to obtain the objective photosensitive laminated body. This photosensitive laminated body is imagewise irradiated with active light, the exposed part is photo-cured and the unexposed part is removed by development to form a resist pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成
物、これを用いた感光性エレメント、感光性積層体及び
フレキシブルプリント配線板の製造法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive element using the same, a photosensitive laminate, and a method for producing a flexible printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線板の製造には、従来より液
状又はフィルム状の感光性樹脂組成物が用いられてい
る。例えば、銅箔を絶縁基板上に積層した銅張積層板の
銅箔をエッチングする目的で使用するエッチングレジス
ト、配線の形成されたプリント配線板のはんだ付け位置
限定及び保護の目的で使用するソルダーレジストなどが
挙げられる。
2. Description of the Related Art In the manufacture of printed wiring boards, liquid or film-shaped photosensitive resin compositions have been conventionally used. For example, an etching resist used for etching the copper foil of a copper-clad laminate obtained by laminating a copper foil on an insulating substrate, and a solder resist used for limiting and protecting the soldering position of a printed wiring board on which wiring is formed. And the like.

【0003】プリント配線板には、カメラなどの小型機
器に折り曲げて組み込むことができる。一般にフレキシ
ブルプリント配線板と呼ばれるフィルム状のプリント配
線板がある。このフレキシブルプリント配線板にはんだ
付けによって部品を実装し、ソルダーレジストによって
保護する。この目的のために接着剤付きのポリイミドフ
ィルムを所定の型に打ち抜いたものを積層したり、耐熱
性の材料で構成された印刷インクを印刷して用いられて
きた。前者をカバーレイ、後者をカバーコートと呼んで
いる。
[0003] A printed wiring board can be folded and incorporated into a small device such as a camera. There is a film-shaped printed wiring board generally called a flexible printed wiring board. Components are mounted on the flexible printed wiring board by soldering and protected by a solder resist. For this purpose, a polyimide film with an adhesive stamped into a predetermined mold has been laminated or printed with a printing ink composed of a heat-resistant material. The former is called coverlay and the latter is called covercoat.

【0004】このカバーレイ及びカバーコートは、はん
だ付け後の配線の保護膜も兼ねており、部品実装時のは
んだ耐熱性、はんだ付け後の耐洗浄液性、絶縁性、基板
組み込み時の折り曲げでクラックが入らない可とう性が
必要である。現在、接着剤付きポリイミドフィルムを打
ち抜いて形成されるカバーレイはこれらの特性を満足し
ており最も多く使用されているが、型抜きに高価な金型
が必要で、打ち抜いたフィルムを人手で位置合わせ、貼
り合わせするために高コストになり、また、微細パター
ンの形成が困難であるという問題がある。
[0004] The coverlay and the cover coat also serve as a protective film for wiring after soldering, and have solder heat resistance at the time of component mounting, cleaning liquid resistance after soldering, insulation, and cracking at the time of board assembly. It is necessary to have flexibility that does not enter. At present, coverlays formed by stamping a polyimide film with an adhesive satisfy these characteristics and are used most often.However, expensive molds are required for stamping, and the stamped film is manually positioned. There is a problem that the cost is high due to the bonding and bonding, and that it is difficult to form a fine pattern.

【0005】これらの問題解決のために、特開平7−2
07211号公報、特開平8−134390号公報、特
開平9−5997号公報等によって、液状の感光性レジ
ストが提案されているが、液状感光性レジストは有機溶
剤による環境汚染、膜厚のばらつき、印刷性付与ための
充填剤により十分な可とう性がない等の問題がある。ま
た、特開平5−254064号公報、特開平7−278
492号公報等によって、フィルムタイプの感光性カバ
ーレイも提案されているが、ポリアミド酸層上に感光性
レジスト層を設けた2層構造の感光性カバーレイの場合
は解像度が低い等の問題がある。
To solve these problems, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-2
No. 07221, JP-A-8-134390, JP-A-9-5997, etc., a liquid photosensitive resist has been proposed. However, the liquid photosensitive resist is environmentally contaminated by an organic solvent, a variation in film thickness, There are problems such as insufficient flexibility due to the filler for imparting printability. Also, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. H5-254064 and H7-278
No. 492, etc., a film-type photosensitive coverlay has also been proposed. However, in the case of a two-layer photosensitive coverlay in which a photosensitive resist layer is provided on a polyamic acid layer, there are problems such as low resolution. is there.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】請求項1記載の発明
は、難燃性、可とう性、はんだ耐熱性、耐溶剤性及び耐
洗浄性が優れ、かつ感度及び解像度が良好であり、可と
う性耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる感
光性樹脂組成物を提供するものである。請求項2記載の
発明は、請求項1記載の発明の効果を奏し、さらに難燃
性が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微細パターンを容易
に形成できる感光性樹脂組成物を提供するものである。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の発明の効
果を奏し、さらに難燃性が優れ、可とう性耐熱保護被膜
の微細パターンを容易に形成できる感光性樹脂組成物を
提供するものである。
The invention according to claim 1 is excellent in flame retardancy, flexibility, solder heat resistance, solvent resistance and washing resistance, and has good sensitivity and resolution. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of easily forming a fine pattern of a heat-resistant protective coating. The invention according to claim 2 provides a photosensitive resin composition that exhibits the effects of the invention according to claim 1, has excellent flame retardancy, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. is there.
The invention according to claim 3 provides the photosensitive resin composition which exhibits the effects of the invention according to claim 1 or 2, furthermore has excellent flame retardancy, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. Things.

【0007】請求項4記載の発明は、請求項1、2又は
3記載の発明の効果を奏し、さらに難燃性、感度及び解
像度が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微細パターンを容
易に形成できる感光性樹脂組成物を提供するものであ
る。請求項5記載の発明は、請求項1、2、3又は4記
載の発明の効果を奏し、さらに難燃性が優れ、可とう性
耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる感光性
樹脂組成物を提供するものである。請求項6記載の発明
は、請求項1、2、3、4又は5記載の発明の効果を奏
し、さらに可とう性が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微
細パターンを容易に形成できる感光性樹脂組成物を提供
するものである。
The invention described in claim 4 has the effects of the invention described in claim 1, 2 or 3, and has excellent flame retardancy, sensitivity and resolution, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. The present invention provides a photosensitive resin composition that can be used. The invention according to claim 5 has the effect of the invention according to claims 1, 2, 3 or 4, and furthermore has excellent flame retardancy and is capable of easily forming a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. It provides things. The invention according to claim 6 has the effects of the invention according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, and furthermore has excellent flexibility and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. The present invention provides a resin composition.

【0008】請求項7記載の発明は、請求項6記載の発
明の効果を奏し、さらに感度が優れ、可とう性耐熱保護
被膜の微細パターンを容易に形成できる感光性樹脂組成
物を提供するものである。請求項8記載の発明は、請求
項1、2、3、4、5、6又は7記載の発明の効果を奏
し、さらに難燃性が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微細
パターンを容易に形成できる感光性樹脂組成物を提供す
るものである。請求項9記載の発明は、請求項1、2、
3、4、5、6、7又は8記載の発明の効果を奏し、さ
らに難燃性が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微細パター
ンを容易に形成できる感光性樹脂組成物を提供するもの
である。
[0008] The invention of claim 7 provides the photosensitive resin composition which exhibits the effects of the invention of claim 6 and has excellent sensitivity and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. It is. The invention according to claim 8 has the effects of the invention according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, or 7, furthermore, has excellent flame retardancy and facilitates formation of a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. The present invention provides a photosensitive resin composition that can be formed. The ninth aspect of the present invention provides the first and second aspects.
The present invention provides a photosensitive resin composition exhibiting the effects of the invention described in 3, 4, 5, 6, 7, or 8, and further having excellent flame retardancy and capable of easily forming a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. is there.

【0009】請求項10記載の発明は、請求項9記載の
発明の効果を奏し、さらに難燃性が優れ、可とう性耐熱
保護被膜の微細パターンを容易に形成できる感光性樹脂
組成物を提供するものである。請求項11記載の発明
は、請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9又は1
0記載の発明の効果を奏し、さらに可とう性が優れ、可
とう性耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる
感光性樹脂組成物を提供するものである。
The invention of claim 10 provides the photosensitive resin composition which has the effects of the invention of claim 9 and has excellent flame retardancy and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. Is what you do. The invention according to claim 11 is the invention according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 or 1.
The present invention provides a photosensitive resin composition which exhibits the effects of the invention described in Item 0, has excellent flexibility, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film.

【0010】請求項12記載の発明は、難燃性、可とう
性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、耐洗浄性、生産性及び作
業性が優れ、かつ感度及び解像度が良好であり、可とう
性耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる感光
性エレメントを提供するものである。請求項13記載の
発明は、難燃性、可とう性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、
耐洗浄性、生産性及び作業性が優れ、かつ感度及び解像
度が良好であり、可とう性耐熱保護被膜の微細パターン
を容易に形成できる感光性積層体を提供するものであ
る。請求項14記載の発明は、難燃性、可とう性、はん
だ耐熱性、耐溶剤性、耐洗浄性、生産性及び作業性が優
れ、かつ感度及び解像度が良好であり、可とう性耐熱保
護被膜の微細パターンの形成に極めて有用なレジストパ
ターンが形成されたフレキシブルプリント配線板の製造
法を提供するものである。
The twelfth aspect of the present invention is excellent in flame retardancy, flexibility, solder heat resistance, solvent resistance, washing resistance, productivity and workability, and good sensitivity and resolution. An object of the present invention is to provide a photosensitive element capable of easily forming a fine pattern of a heat-resistant protective coating. The invention according to claim 13 is flame retardant, flexible, solder heat resistant, solvent resistant,
An object of the present invention is to provide a photosensitive laminate having excellent washing resistance, productivity and workability, excellent sensitivity and resolution, and capable of easily forming a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. The invention according to claim 14 is excellent in flame resistance, flexibility, solder heat resistance, solvent resistance, washing resistance, productivity and workability, and has good sensitivity and resolution, and flexible heat resistance protection. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a flexible printed wiring board on which a resist pattern extremely useful for forming a fine pattern of a film is formed.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、(a)トリブ
ロモフェニル(メタ)アクリレートを共重合成分とする
バインダーポリマー、(b)ビスフェノールA系(メ
タ)アクリレート化合物、(c)光重合開始剤、(d)
アミノ樹脂及び(e)芳香族リン酸エステル化合物を含
有してなる感光性樹脂組成物に関する。また、本発明
は、(a)バインダーポリマーが、トリブロモフェニル
(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸及びその他
のビニルモノマーを共重合成分とするバインダーポリマ
ーである前記感光性樹脂組成物に関する。
The present invention comprises (a) a binder polymer having tribromophenyl (meth) acrylate as a copolymer component, (b) a bisphenol A (meth) acrylate compound, and (c) photopolymerization initiation. Agent, (d)
The present invention relates to a photosensitive resin composition containing an amino resin and (e) an aromatic phosphate compound. The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein (a) the binder polymer is a binder polymer containing tribromophenyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and another vinyl monomer as a copolymer component.

【0012】また、本発明は、(a)バインダーポリマ
ーが、トリブロモフェニル(メタ)アクリレートを全共
重合成分の総量に対して、3〜65重量%含有するバイ
ンダーポリマーである前記感光性樹脂組成物に関する。
また、本発明は、(a)バインダーポリマーが、アルカ
リ水溶液に可溶又は膨潤可能であり、酸価が65〜30
0mgKOH/gのバインダーポリマーである前記感光性樹脂
組成物に関する。また、本発明は、(a)バインダーポ
リマーの重量平均分子量が20,000〜300,00
0である前記感光性樹脂組成物に関する。
The present invention also relates to the above photosensitive resin composition, wherein (a) the binder polymer is a binder polymer containing 3 to 65% by weight of tribromophenyl (meth) acrylate based on the total amount of all copolymerized components. About things.
In the present invention, (a) the binder polymer is soluble or swellable in an alkaline aqueous solution, and has an acid value of 65 to 30.
The present invention relates to the photosensitive resin composition, which is a binder polymer of 0 mgKOH / g. In addition, the present invention relates to (a) a binder polymer having a weight average molecular weight of 20,000 to 300,000.
0 relates to the photosensitive resin composition.

【0013】また、本発明は、(b)ビスフェノールA
系(メタ)アクリレート化合物が、一般式(1)
The present invention also relates to (b) bisphenol A
The system (meth) acrylate compound has the general formula (1)

【化3】 (式中R1及びR2は各々独立して水素原子又はメチル基
を示し、Y1及びY2は各々独立に炭素数2〜6のアルキ
レン基を示し、p及びqはp+qが4〜40となるよう
に選ばれる正の整数である)で表される化合物である前
記感光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、一般式
(1)中、p+qが4〜15である前記感光性樹脂組成
物に関する。また、本発明は、(d)アミノ樹脂が、メ
ラミン樹脂である前記感光性樹脂組成物に関する。
Embedded image (Wherein R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, Y 1 and Y 2 each independently represent an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and p and q are such that p + q is 4 to 40) Which is a positive integer selected so as to obtain the above photosensitive resin composition. Further, the present invention relates to the photosensitive resin composition, wherein p + q is 4 to 15 in the general formula (1). Further, the present invention relates to the photosensitive resin composition, wherein (d) the amino resin is a melamine resin.

【0014】また、本発明は、(e)芳香族リン酸エス
テル化合物が、一般式(2)
Further, the present invention provides a method wherein (e) the aromatic phosphate compound is represented by the general formula (2):

【化4】 (式中R3は、有機基を示し、Z1、Z2、Z3及びZ4
各々独立にハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル
基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜1
4のアリール基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、メル
カプト基、アリル基、炭素数1〜10のアルキルメルカ
プト基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基、アル
キル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、ア
ルキル基の炭素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜2
0のアルコキシ基又は複素環を含む基を示し、a、b、
c及びdは各々独立に0〜5の整数である)で表される
化合物である前記感光性樹脂組成物に関する。
Embedded image (Wherein R 3 represents an organic group, and Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 each independently represent a halogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, Number 6-1
4 aryl groups, amino groups, nitro groups, cyano groups, mercapto groups, allyl groups, alkylmercapto groups having 1 to 10 carbon atoms, hydroxyalkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms A carboxyalkyl group, an acyl group having 1 to 10 carbon atoms in an alkyl group, and 1 to 2 carbon atoms
0 represents an alkoxy group or a group containing a heterocyclic ring, a, b,
c and d are each independently an integer of 0 to 5).

【0015】また、本発明は、一般式(2)中、R3
ジヒドロキシベンゼンから2個のヒドロキシル基を除い
た2価の残基又は2,2−ジ(p−ヒドロキシフェニ
ル)プロパンから2個のヒドロキシル基を除いた2価の
残基である前記感光性樹脂組成物に関する。また、本発
明は、さらに(f)ペンタメチレンカーボネート単位か
らなる繰り返し単位(A)及びヘキサメチレンカーボネ
ート単位からなる繰り返し単位(B)を有し、これら繰
り返し単位のモル比A:Bが9:1〜1:9であるコポ
リカーボネート、イソホロンジイソシアネート及びヒド
ロキシエチル(メタ)アクリレートの反応物を含有する
前記感光性樹脂組成物に関する。
Further, the present invention provides a compound represented by the formula (2) wherein R 3 is a divalent residue obtained by removing two hydroxyl groups from dihydroxybenzene or 2,2-di (p-hydroxyphenyl) propane. The present invention relates to the above-mentioned photosensitive resin composition, which is a divalent residue excluding hydroxyl groups. The present invention further comprises (f) a repeating unit (A) composed of pentamethylene carbonate units and a repeating unit (B) composed of hexamethylene carbonate units, and the molar ratio A: B of these repeating units is 9: 1. The present invention relates to the photosensitive resin composition containing a reactant of copolycarbonate, isophorone diisocyanate and hydroxyethyl (meth) acrylate in a ratio of 1: 9.

【0016】また、本発明は、前記感光性樹脂組成物
を、支持体上に塗布、乾燥し、感光性樹脂組成物の層を
形成してなる感光性エレメントに関する。また、本発明
は、フレキシブルプリント配線板用基板の表面に前記感
光性樹脂組成物の層を有する感光性積層体に関する。ま
た、本発明は、前記感光性積層体に活性光線を画像状に
照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除
去してレジストパターンを形成することを特徴とするフ
レキシブルプリント配線板の製造法に関する。
The present invention also relates to a photosensitive element obtained by applying the above-mentioned photosensitive resin composition on a support and drying it to form a layer of the photosensitive resin composition. The present invention also relates to a photosensitive laminate having a layer of the photosensitive resin composition on a surface of a substrate for a flexible printed wiring board. Further, the present invention provides a flexible printed wiring, comprising irradiating the photosensitive laminate with an actinic ray in an image form, light-curing an exposed portion, and removing an unexposed portion by development to form a resist pattern. The present invention relates to a method for manufacturing a board.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。なお、本発明における(メタ)アクリル酸とは、
アクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、
(メタ)アクリレートとは、アクリレート及びそれに対
応するメタクリレートを意味する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail. In the present invention, the (meth) acrylic acid is
Means acrylic acid and its corresponding methacrylic acid,
(Meth) acrylate means acrylate and its corresponding methacrylate.

【0018】本発明の、感光性樹脂組成物は、(a)ト
リブロモフェニル(メタ)アクリレートを共重合成分と
するバインダーポリマー、(b)ビスフェノールA系
(メタ)アクリレート化合物、(c)光重合開始剤、
(d)アミノ樹脂及び(e)芳香族リン酸エステル化合
物を含有してなる必要がある。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises (a) a binder polymer having tribromophenyl (meth) acrylate as a copolymer component, (b) a bisphenol A (meth) acrylate compound, and (c) photopolymerization. Initiator,
It must contain (d) an amino resin and (e) an aromatic phosphate compound.

【0019】上記(a)トリブロモフェニル(メタ)ア
クリレートを共重合成分とするバインダーポリマーとし
ては、トリブロモフェニル(メタ)アクリレートを共重
合成分とすれば特に制限はなく、例えば、トリブロモフ
ェニル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸及び
その他のビニルモノマーとを共重合して得られるバイン
ダーポリマー等が挙げられる。
The binder polymer (a) containing tribromophenyl (meth) acrylate as a copolymer component is not particularly limited as long as tribromophenyl (meth) acrylate is used as a copolymer component. Binder polymers obtained by copolymerizing (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other vinyl monomers are exemplified.

【0020】上記トリブロモフェニル(メタ)アクリレ
ートとしては、例えば、トリブロモフェニルアクリレー
ト、トリブロモフェニルメタクリレート等が挙げられる
が、トリブロモフェニルアクリレートであることが好ま
しい。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使
用される。上記(メタ)アクリル酸としては、例えば、
アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられ、メタクリル酸
であることが好ましい。これらは単独で又は2種類以上
を組み合わせて使用される。
Examples of the above-mentioned tribromophenyl (meth) acrylate include tribromophenyl acrylate and tribromophenyl methacrylate. Tribromophenyl acrylate is preferred. These are used alone or in combination of two or more. As the (meth) acrylic acid, for example,
Acrylic acid, methacrylic acid and the like can be mentioned, and methacrylic acid is preferable. These are used alone or in combination of two or more.

【0021】上記その他のビニルモノマーとしては、例
えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)ア
クリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエ
ステル等の(メタ)アクリル酸のアルキルエステル、
(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、(メ
タ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メ
タ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メ
タ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、スチレ
ン、α−スチレン、ビニルトルエン、N−ビニルピロリ
ドン、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、アク
リルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等
が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合
わせて使用される。
Examples of the other vinyl monomers include alkyl (meth) acrylates such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate and butyl (meth) acrylate;
2-ethylhexyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, styrene, α-styrene, vinyltoluene, N- Vinylpyrrolidone, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, acrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0022】前記トリブロモフェニル(メタ)アクリレ
ートの共重合量は、共重合成分の総量に対して、3〜6
5重量%であることが好ましく、30〜50重量%であ
ることがより好ましい。この共重合量が3重量%未満で
は難燃性が低下する傾向があり、65重量%を超えると
難燃性が得られるが、硬化させたカバーレイの耐折性が
低下する傾向がある。前記(メタ)アクリル酸の共重合
量は、共重合成分の総量に対して、10〜45重量%で
あることが好ましく、15〜35重量%であることがよ
り好ましい。この共重合量が10重量%未満では現像時
間が長くなり作業性が低下する傾向があり、45重量%
を超えると密着性が低下する傾向がある。前記その他の
ビニルモノマーの共重合量は、共重合成分の総量に対し
て、25〜87重量%であることが好ましく、30〜5
5重量%であることがより好ましい。この共重合量が2
5重量%未満では可とう性が低下する傾向があり、87
重量%を超えると難燃性及び現像性が低下する傾向があ
る。
The amount of the tribromophenyl (meth) acrylate to be copolymerized is 3 to 6 with respect to the total amount of the copolymerized components.
The content is preferably 5% by weight, more preferably 30 to 50% by weight. If the copolymerization amount is less than 3% by weight, the flame retardancy tends to decrease, and if it exceeds 65% by weight, the flame retardancy is obtained, but the cured coverlay tends to have low folding resistance. The copolymerization amount of the (meth) acrylic acid is preferably 10 to 45% by weight, more preferably 15 to 35% by weight, based on the total amount of the copolymerization components. If the copolymerization amount is less than 10% by weight, the development time tends to be long, and the workability tends to decrease.
If it exceeds, the adhesiveness tends to decrease. The copolymerization amount of the other vinyl monomer is preferably 25 to 87% by weight based on the total amount of the copolymerization components, and is 30 to 5% by weight.
More preferably, it is 5% by weight. When the copolymerization amount is 2
If the amount is less than 5% by weight, the flexibility tends to decrease.
If the content exceeds 10% by weight, flame retardancy and developability tend to decrease.

【0023】前記(a)トリブロモフェニル(メタ)ア
クリレートを共重合成分とするバインダーポリマーは、
1〜3重量%の炭酸ナトリウム、炭酸カリウム水溶液等
のアルカリ水溶液に可溶又は膨潤可能であることが現像
性、環境保全性の点で好ましい。また、酸価は65〜3
00mgKOH/gであることが好ましく、98〜228mgKOH
/gであることがより好ましい。この酸価が65mgKOH/g
未満では現像時間が遅くなる傾向があり、300mgKOH/
gを超えると光硬化したレジストの耐現像性が低下する
傾向がある。また、重量平均分子量(GPC測定で、ポ
リスチレン換算したもの)は、20,000〜300,
000であることが好ましく、30,000〜150,
000であることがより好ましい。この重量平均分子量
が2,000未満では耐現像液性が低下する傾向があ
り、300,000を超えると現像時間が長くなる傾向
がある。
The binder polymer (a) containing tribromophenyl (meth) acrylate as a copolymer component is as follows:
It is preferable from the viewpoint of developability and environmental preservation that it is soluble or swellable in an aqueous alkali solution such as an aqueous solution of 1 to 3% by weight of sodium carbonate or potassium carbonate. The acid value is 65-3
00 mg KOH / g, preferably 98 to 228 mg KOH
/ g is more preferable. This acid value is 65mgKOH / g
If less than 300 mgKOH /
If it exceeds g, the development resistance of the photocured resist tends to decrease. The weight-average molecular weight (polystyrene conversion by GPC measurement) is 20,000 to 300,
000, preferably 30,000-150,
000 is more preferable. When the weight average molecular weight is less than 2,000, the developer resistance tends to decrease, and when it exceeds 300,000, the development time tends to be long.

【0024】前記(b)ビスフェノールA系(メタ)ア
クリレート化合物としては、ビスフェノール骨格を有す
る(メタ)アクリレート化合物であれば特に制限はな
く、例えば、前記一般式(1)で表される化合物等が挙
げられる。前記一般式(1)中、R1及びR2は各々独立
に水素原子又はメチル基を示し、Y1及びY2は各々独立
に炭素数2〜6のアルキレン基を示す。上記炭素数2〜
6のアルキレン基としては、例えば、エチレン基、プロ
ピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基、イソブチレ
ン基、ペンチレン基、ネオペンチレン基、へキシレン基
等が挙げられ、エチレン基であることが特に好ましい。
The bisphenol A (meth) acrylate compound (b) is not particularly limited as long as it is a (meth) acrylate compound having a bisphenol skeleton. For example, the compound represented by the general formula (1) and the like can be used. No. In the general formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and Y 1 and Y 2 each independently represent an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms. The above carbon number 2
Examples of the alkylene group 6 include an ethylene group, a propylene group, an isopropylene group, a butylene group, an isobutylene group, a pentylene group, a neopentylene group, and a hexylene group, and an ethylene group is particularly preferable.

【0025】上記イソプロピレン基は、−CH(CH3)
CH2−で表される基であり、前記一般式(1)中の−
(Y1−O)−及び−(Y2−O)−において結合方向は、メ
チレン基が酸素と結合している場合とメチレン基が酸素
に結合していない場合の2種があり、1種の結合方向で
もよいし、2種の結合方向が混在してもよい。また、−
(Y1−O)−及び−(Y2−O)−の繰り返し単位がそれぞ
れ2以上の時、2以上のY1及び2以上のY2は、各々同
一でも相違していてもよく、Y1及びY2が2種以上のア
ルキレン基で構成される場合、2種以上の−(Y1−O)
−及び−(Y2−O)−は、ランダムに存在してもよい
し、ブロック的に存在してもよい。
The above isopropylene group is --CH (CH 3 )
CH 2 — is a group represented by the formula (1)
In (Y 1 -O)-and-(Y 2 -O)-, there are two types of bonding directions: a case where the methylene group is bonded to oxygen and a case where the methylene group is not bonded to oxygen. Or two kinds of bonding directions may be mixed. Also,-
When each of the repeating units (Y 1 -O)-and-(Y 2 -O)-is 2 or more, two or more Y 1 and two or more Y 2 may be the same or different; When 1 and Y 2 are composed of two or more types of alkylene groups, two or more types of-(Y 1 -O)
- and - (Y 2 -O) - may exist at random or may be present blockwise.

【0026】一般式(1)中の2個のベンゼン環の置換
可能な位置には1以上の置換基を有していてもよく、2
個以上の置換基を有する場合は、それらは同一でも相違
していてもよい。そのような置換基としては、例えば、
後述の一般式(2)中のZ1として、具体的に例示した
基が挙げられる。前記一般式(1)中p及びqは、p+
qが4〜40となるように選ばれる正の整数であること
が好ましく、p+qが4〜15であることがより好まし
く、5〜13であることが特に好ましい。この数が4未
満では可撓性が低下する傾向があり、40を超えると、
系の親水性が増して現像時の密着性が低下する傾向があ
る。
In the general formula (1), two or more benzene rings may have one or more substituents at substitutable positions,
When it has two or more substituents, they may be the same or different. Such substituents include, for example,
Examples of Z 1 in the general formula (2) described later include the groups specifically exemplified. In the general formula (1), p and q are p +
It is preferable that q is a positive integer selected to be 4 to 40, more preferably p + q is 4 to 15, and particularly preferably 5 to 13. If this number is less than 4, flexibility tends to decrease, and if it exceeds 40,
The hydrophilicity of the system tends to increase, and the adhesion at the time of development tends to decrease.

【0027】前記一般式(1)で表される化合物として
は、例えば、2,2′−ビス(4−(メタ)アクリロキ
シジエトキシフェニル)プロパン、2,2′−ビス(4
−(メタ)アクリロキシテトラエトキシフェニル)プロ
パン、2,2′−ビス(4−(メタ)アクリロキシペン
タエトキシフェニル)プロパン、2,2′−ビス(4−
(メタ)アクリロキシジエトキシオクタプロポキシフェ
ニル)プロパン、2,2′−ビス(4−(メタ)アクリ
ロキシトリエトキシオクタプロポキシフェニル)プロパ
ン等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組
み合わせて使用される。これらの市販品としては、例え
ば、NK−エステルBPE−500(新中村化学工業
(株)製商品名、2,2′−ビス(4−メタクリロキシポ
リエトキシフェニル)プロパン)等が挙げられる。これ
らは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
Examples of the compound represented by the general formula (1) include 2,2'-bis (4- (meth) acryloxydiethoxyphenyl) propane and 2,2'-bis (4
-(Meth) acryloxytetraethoxyphenyl) propane, 2,2'-bis (4- (meth) acryloxypentaethoxyphenyl) propane, 2,2'-bis (4-
(Meth) acryloxydiethoxyoctapropoxyphenyl) propane, 2,2'-bis (4- (meth) acryloxytriethoxyoctapropoxyphenyl) propane and the like. These are used alone or in combination of two or more. As these commercial products, for example, NK-ester BPE-500 (Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
Trade name, 2,2'-bis (4-methacryloxypolyethoxyphenyl) propane) and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0028】前記(c)光重合開始剤としては、例え
ば、置換又は非置換の多核キノン類(2−エチルアント
ラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オクタメチ
ルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、
2,3−ジフェニルアントラキノン等)、α−ケタルド
ニルアルコール類(ベンゾイン、ピバロン等)、エーテ
ル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン類(α−フェ
ニル−ベンゾイン、α,α−ジエトキシアセトフェノン
類)、芳香族ケトン類(ベンゾフェノン、N,N′−テ
トラエチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノンなどの
4,4′−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等)、
チオキサントン類(2−メチルチオキサントン、2,4
−ジエチルチオキサントン、2−クロルチオキサント
ン、2−イソプロピルチオキサントン、2−エチルチオ
キサントン等)、2−メチル−1−[4−(メチルチ
オ)フェニル]−モルホリノプロパン−1−オンなどが
挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わ
せて使用される。
Examples of the photopolymerization initiator (c) include substituted or unsubstituted polynuclear quinones (2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone,
2,3-diphenylanthraquinone, etc.), α-ketaldonyl alcohols (benzoin, pivalone, etc.), ethers, α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloins (α-phenyl-benzoin, α, α-diethoxyacetophenones) ), Aromatic ketones (benzophenone, 4,4'-bisdialkylaminobenzophenone such as N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, etc.),
Thioxanthones (2-methylthioxanthone, 2,4
-Diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, etc.), 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -morpholinopropan-1-one, and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0029】前記(d)アミノ樹脂としては、例えば、
メラミン、尿素、ベンゾグアナミン等のアミノ基含有化
合物にアルデヒドを反応させて得られる初期縮合物が用
いられ、例えば、トリメチロールメラミン、テトラメチ
ロールメラミン、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメ
トキシメチロールメラミン、ヘキサブトキシメチロール
メラミン等のメラミン樹脂などが挙げら、メラミン樹脂
であることが好ましい。これらは単独で又は2種類以上
を組み合わせて使用される。これらの市販品としては、
例えば、サイメル300、サイメル301、サイメル3
03、サイメル325、サイメル350(三井サイテッ
ク株式会社製、商品名)等が挙げられる。
As the amino resin (d), for example,
Melamine, urea, an initial condensate obtained by reacting an aldehyde with an amino group-containing compound such as benzoguanamine is used, for example, trimethylolmelamine, tetramethylolmelamine, hexamethylolmelamine, hexamethoxymethylolmelamine, hexabutoxymethylolmelamine and the like And a melamine resin is preferable. These are used alone or in combination of two or more. These commercial products include:
For example, Cymel 300, Cymel 301, Cymel 3
03, Cymel 325, Cymel 350 (trade name, manufactured by Mitsui Cytec Co., Ltd.).

【0030】前記(e)芳香族リン酸エステル化合物と
しては、例えば、前記一般式(2)で表される化合物等
が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合
わせて使用される。
Examples of the (e) aromatic phosphate compound include compounds represented by the general formula (2). These are used alone or in combination of two or more.

【0031】前記一般式(2)中のR3は、有機基を示
し、ジヒドロキシベンゼンから2個のヒドロキシル基を
除いた2価の残基又は2,2−ジ(p−ヒドロキシフェ
ニル)プロパンから2個のヒドロキシル基を除いた2価
の残基であることが好ましい。前記一般式(2)中のZ
1、Z2、Z3及びZ4は各々独立にハロゲン原子、炭素数
1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキ
ル基、炭素数6〜14のアリール基、アミノ基、ニトロ
基、シアノ基、メルカプト基、アリル基、炭素数1〜1
0のアルキルメルカプト基、炭素数1〜20のヒドロキ
シアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボ
キシアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のアシ
ル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環を含む
基を示し、a、b、c及びdは各々独立に0〜5の整数
である。
R 3 in the general formula (2) represents an organic group, and represents a divalent residue obtained by removing two hydroxyl groups from dihydroxybenzene or 2,2-di (p-hydroxyphenyl) propane. It is preferably a divalent residue excluding two hydroxyl groups. Z in the general formula (2)
1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 are each independently a halogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, an amino group, and a nitro group. , Cyano group, mercapto group, allyl group, having 1 to 1 carbon atoms
0 alkylmercapto group, hydroxyalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, carboxyalkyl group having 1 to 10 carbon atoms in the alkyl group, acyl group having 1 to 10 carbon atoms in the alkyl group, alkoxy having 1 to 20 carbon atoms It shows a group or a group containing a heterocyclic ring, and a, b, c and d are each independently an integer of 0 to 5.

【0032】上記残基中のベンゼン環の水素原子は、ハ
ロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜
10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール
基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、ア
リル基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、炭素
数1〜20のヒドロキシアルキル基、アルキル基の炭素
数が1〜10のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭
素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜20のアルコキ
シ基又は複素環を含む基、炭素数1〜3のアルコキシア
ルキル基等の置換基で1個以上置換されてもよい。
The hydrogen atom of the benzene ring in the above residue is a halogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms,
10 cycloalkyl groups, aryl groups having 6 to 14 carbon atoms, amino groups, nitro groups, cyano groups, mercapto groups, allyl groups, alkyl mercapto groups having 1 to 10 carbon atoms, hydroxyalkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, A carboxyalkyl group having 1 to 10 carbon atoms in an alkyl group, an acyl group having 1 to 10 carbon atoms in the alkyl group, a group containing an alkoxy group or heterocycle having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxyalkyl having 1 to 3 carbon atoms One or more substituents such as a group may be substituted.

【0033】上記ハロゲン原子としては、例えば、フッ
素、塩素、臭素、ヨウ素、アスタチン等が挙げられる。
前記炭素数1〜20のアルキル基としては、例えば、メ
チル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、
n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペン
チル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル
基、デシル基、ウンデシル基、トリデシル基、テトラデ
シル基、ペンタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル
基、イコシル基等が挙げられる。前記炭素数3〜10の
シクロアルキル基としては、例えば、シクロプロピル
基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシ
ル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等が挙げら
れる。
Examples of the halogen atom include fluorine, chlorine, bromine, iodine and astatine.
Examples of the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group,
n-butyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, nonyl, decyl, undecyl, tridecyl, tetradecyl, pentadecyl, octadecyl, nonadecyl And an icosyl group. Examples of the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, and a cyclooctyl group.

【0034】前記炭素数6〜14のアリール基として
は、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、ビフ
ェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル
基等が挙げられ、ハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基、
シアノ基、メルカプト基、アリル基、炭素数1〜20の
アルキル基等で置換されていてもよい。前記炭素数1〜
10のアルキルメルカプト基としては、例えば、メチル
メルカプト基、エチルメルカプト基、プロピルメルカプ
ト基等が挙げられる。前記炭素数1〜20のヒドロキシ
アルキル基としては、例えば、ヒドロキシメチル基、ヒ
ドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシ
イソプロピル基、ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
Examples of the aryl group having 6 to 14 carbon atoms include a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a biphenyl group, a naphthyl group, an anthryl group and a phenanthryl group. ,
It may be substituted with a cyano group, a mercapto group, an allyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or the like. The carbon number 1
Examples of the alkyl mercapto group of No. 10 include a methyl mercapto group, an ethyl mercapto group, and a propyl mercapto group. Examples of the hydroxyalkyl group having 1 to 20 carbon atoms include a hydroxymethyl group, a hydroxyethyl group, a hydroxypropyl group, a hydroxyisopropyl group, and a hydroxybutyl group.

【0035】前記アルキル基の炭素数が1〜10のカル
ボキシアルキル基としては、例えば、カルボキシメチル
基、カルボキシエチル基、カルボキシプロピル基、カル
ボキシブチル基等が挙げられる。前記アルキル基の炭素
数が1〜10のアシル基としては、例えば、ホルミル
基、アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、イソブ
チリル基、バレリル基、イソバレリル基、ピバロイル基
等が挙げられる。前記炭素数1〜20のアルコキシ基と
しては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ
基、ブトキシ基等が挙げられる。前記複素環を含む基と
しては、例えば、フリル基、チエニル基、ピロリル基、
チアゾリル基、インドリル基、キノリル基等が挙げられ
る。
Examples of the carboxyalkyl group having 1 to 10 carbon atoms in the alkyl group include a carboxymethyl group, a carboxyethyl group, a carboxypropyl group and a carboxybutyl group. Examples of the acyl group having 1 to 10 carbon atoms in the alkyl group include a formyl group, an acetyl group, a propionyl group, a butyryl group, an isobutyryl group, a valeryl group, an isovaleryl group, and a pivaloyl group. Examples of the alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, and a butoxy group. Examples of the group containing a heterocyclic ring include a furyl group, a thienyl group, a pyrrolyl group,
Examples include a thiazolyl group, an indolyl group, and a quinolyl group.

【0036】製造容易性、入手容易性等の見地から、一
般式(3)
From the viewpoints of ease of production and availability, the general formula (3)

【化5】 (式中、R3は前記一般式(2)におけるR3と同意義で
あり、R4及びR5は各々独立して水素原子又は炭素数1
〜4のアルキル基を示す)で表される芳香族リン酸エス
テル化合物であることが好ましい。
Embedded image (Wherein, R 3 has the same meaning as R 3 in Formula (2), and R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a carbon atom
To 4) are preferred.

【0037】上記一般式(3)中のR4及びR5は各々独
立して水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示す。
炭素数1〜4のアルキル基としては、例えば、メチル
基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチ
ル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基が挙げられる
が、入手容易性の見地からメチル基が好ましい。難燃
性、耐折性、耐加水分解性、耐電食性等の見地からは、
4及びR5の少なくとも一方が炭素数1〜4のアルキル
基であることがより好ましい。
R 4 and R 5 in the general formula (3) each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group, from the viewpoint of availability. A methyl group is preferred. From the viewpoints of flame retardancy, folding resistance, hydrolysis resistance, electrolytic corrosion resistance, etc.,
More preferably, at least one of R 4 and R 5 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

【0038】(e)成分として用いられる一般式(3)
で表される芳香族リン酸エステルとしては、例えば、R
3が2,2′−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパン
から2個のヒドロキシ基を除いた2価の残基であり、R
4がメチル基及びR5が水素原子である化合物、R3
2,2′−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパンから
2個のヒドロキシル基を除いた2価の残基であり、R4
及びR5がメチル基である化合物、R3がm−ジヒドロキ
シベンゼンから2個のヒドロキシル基を除いた2価の残
基であり、R4がメチル基及びR5が水素原子である化合
物、R3がm−ヒドロキシベンゼンから2個のヒドロキ
シル基を除いた2価の残基であり、R4及びR5がメチル
基である化合物等が挙げられる。これらの(e)成分と
して用いられる一般式(2)で表される芳香族リン酸エ
ステルは、大八化学工業(株)から商品名PX200、C
R−747等として入手可能である。
General formula (3) used as component (e)
Examples of the aromatic phosphate represented by
3 is a divalent residue obtained by removing two hydroxy groups from 2,2'-di (p-hydroxyphenyl) propane;
4 Compounds methyl group and R 5 is a hydrogen atom, a divalent residue obtained by removing R 3 is 2,2-di (p- hydroxyphenyl) two hydroxyl groups from propane, R 4
A compound wherein R 5 is a methyl group; a compound wherein R 3 is a divalent residue obtained by removing two hydroxyl groups from m-dihydroxybenzene; R 4 is a methyl group and R 5 is a hydrogen atom; 3 is a divalent residue obtained by removing two hydroxyl groups from m-hydroxybenzene, and a compound in which R 4 and R 5 are methyl groups. The aromatic phosphate ester represented by the general formula (2) used as the component (e) can be obtained from Daihachi Chemical Industry Co., Ltd. under the trade names PX200, C
It is available as R-747 and the like.

【0039】また、本発明の感光性樹脂組成物は、必要
に応じて、さらに(f)ペンタメチレンカーボネート単
位からなる繰り返し単位(A)及びヘキサメチレンカー
ボネート単位からなる繰り返し単位(B)を有し、これ
ら繰り返し単位のモル比A:Bが9:1〜1:9である
コポリカーボネート、イソホロンジイソシアネート及び
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートの反応物を含有
する。
The photosensitive resin composition of the present invention may further comprise (f) a repeating unit (A) composed of pentamethylene carbonate units and a repeating unit (B) composed of hexamethylene carbonate units, if necessary. And a reactant of copolycarbonate, isophorone diisocyanate and hydroxyethyl (meth) acrylate in which the molar ratio A: B of these repeating units is from 9: 1 to 1: 9.

【0040】上記コポリカーボネートは、例えば、所定
のポリオールを分子量を調整しながらホスゲン等と反応
させることにより合成することができる。このコポリカ
ーボネートは通常、数平均分子量が600〜1000で
あることが好ましく、700〜900であることがより
好ましい。このコポリカーボネートの上記モル比
(A):(B)が上記範囲をはずれると、ゲル化するこ
とがあり、好ましくない。上記コポリカーボネートの上
記モル比(A):(B)は、9:1〜1:9であること
が好ましく、8:2〜2:8であることがより好まし
く、5:5であることが特に好ましい。
The above copolycarbonate can be synthesized, for example, by reacting a predetermined polyol with phosgene while adjusting the molecular weight. Generally, the copolycarbonate preferably has a number average molecular weight of 600 to 1,000, and more preferably 700 to 900. If the molar ratio (A) :( B) of this copolycarbonate is out of the above range, gelation may occur, which is not preferable. The molar ratio (A) :( B) of the copolycarbonate is preferably 9: 1 to 1: 9, more preferably 8: 2 to 2: 8, and preferably 5: 5. Particularly preferred.

【0041】上記コポリカーボネートに、例えば、イソ
ホロンジイソシアネート及びヒドロキシエチル(メタ)
アクリレートを反応させることにより、(f)成分を得
ることができる。この反応におけるイソホロンジイソシ
アネートの使用量は、通常、コポリカーボネートの使用
モル量より若干過剰量とする。この反応は、通常、以下
のようにして行われる。コポリカーボネート及び若干過
剰量のイソホロンジイソシアネートを混合し、ジブチル
スズジラウレート等の触媒を加え、60〜120℃で反
応させる。次いで、合成されたウレタンオリゴマーの末
端イソシアネート基にヒドロキシ(メタ)アクリレート
を反応させる。この反応は、パラメトキシフェノール及
びジ−t−ブチル−ヒドロキシ−トルエンなどの存在下
で、ウレタンオリゴマー1モルに対して、2〜2.4モ
ルのヒドロキシエチル(メタ)アクリレートを60〜9
0℃で反応させて行われる。例えば赤外線吸収スペクト
ルでイソシアネート基の消失を確認させることにより、
反応の終点を確認する。
The above copolycarbonates may be added, for example, with isophorone diisocyanate and hydroxyethyl (meth)
By reacting the acrylate, the component (f) can be obtained. The amount of isophorone diisocyanate used in this reaction is usually slightly larger than the molar amount of copolycarbonate used. This reaction is generally performed as follows. The copolycarbonate and a slight excess of isophorone diisocyanate are mixed, a catalyst such as dibutyltin dilaurate is added, and the mixture is reacted at 60 to 120 ° C. Next, hydroxy (meth) acrylate is reacted with the terminal isocyanate group of the synthesized urethane oligomer. This reaction is carried out in the presence of paramethoxyphenol and di-tert-butyl-hydroxy-toluene in a proportion of 2 to 2.4 mol of hydroxyethyl (meth) acrylate to 60 to 9 mol per mol of urethane oligomer.
The reaction is performed at 0 ° C. For example, by confirming the disappearance of the isocyanate group in the infrared absorption spectrum,
Check the end point of the reaction.

【0042】前記(f)成分としては、例えば、共栄社
化学製のウレタンアクリレートオリゴマーUF−800
1、UF−8002、UF−8003等が市販されてお
り、特にUF−8003が好ましい。これからはいずれ
もメチルエチルケトン溶液である。これらは単独で又は
2種類以上を組み合わせて使用される。
As the component (f), for example, urethane acrylate oligomer UF-800 manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.
1, UF-8002, UF-8003 and the like are commercially available, and UF-8003 is particularly preferred. From now on, all are methyl ethyl ketone solutions. These are used alone or in combination of two or more.

【0043】本発明における(a)成分の配合量は、
(a)成分、(b)成分及び(f)成分の総量100重
量部に対して、30〜70重量部であることが好まし
く、35〜50重量部であることがよりが好ましい。こ
の配合量が30重量部未満ではアルカリ現像性の低下
や、感光性エレメントとした場合感光性樹脂組成物層が
柔らかくなりフィルム端部からしみ出しなどの問題が生
ずる傾向があり、70重量部を超えると感度の低下やは
んだ耐熱性の低下が起こる傾向がある。
The amount of the component (a) in the present invention is as follows:
The amount is preferably 30 to 70 parts by weight, more preferably 35 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of the components (a), (b) and (f). When the compounding amount is less than 30 parts by weight, there is a tendency that the alkali developability is reduced, and when the photosensitive element is used, the photosensitive resin composition layer is softened and problems such as exudation from the end of the film tend to occur. If it exceeds, the sensitivity and the solder heat resistance tend to decrease.

【0044】本発明における(b)成分の配合量は、
(a)成分の総量100重量部に対して、10〜100
重量部であることが好ましく、30〜60重量部である
ことがより好ましい。この配合量が10重量部未満では
はんだ付け後の可撓性が不十分となる傾向があり、10
0重量部を超えると可撓性が低下する傾向がある。
The amount of the component (b) in the present invention is as follows:
10 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of component (a)
Parts by weight, more preferably 30 to 60 parts by weight. If the amount is less than 10 parts by weight, the flexibility after soldering tends to be insufficient.
If the amount exceeds 0 parts by weight, flexibility tends to decrease.

【0045】本発明における(c)成分の配合量は、
(a)成分の総量100重量部に対して、0.1〜20
重量部であることが好ましく、0.1〜10重量部であ
ることがより好ましい。この配合量が0.1重量部未満
では感度が不十分となる傾向があり、20重量部を超え
るとパターン形状が悪くなる傾向がある。
The amount of the component (c) in the present invention is as follows:
(A) 0.1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the component.
It is preferably 0.1 parts by weight, more preferably 0.1 to 10 parts by weight. If the amount is less than 0.1 part by weight, the sensitivity tends to be insufficient, and if it exceeds 20 parts by weight, the pattern shape tends to be poor.

【0046】本発明における(d)成分の配合量は、
(a)成分の総量100重量部に対して、3〜20重量
部であることが好ましく、5〜15重量部であることが
より好ましい。この配合量が3重量部未満でははんだ耐
熱性、難燃性が不十分となる傾向があり、20重量部を
超えると可撓性が低下する傾向がある。
The amount of the component (d) in the present invention is as follows:
The amount is preferably from 3 to 20 parts by weight, more preferably from 5 to 15 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total amount of the component (a). If the amount is less than 3 parts by weight, solder heat resistance and flame retardancy tend to be insufficient, and if it exceeds 20 parts by weight, flexibility tends to decrease.

【0047】本発明における(e)成分の配合量は、
(a)成分の総量100重量部に対して、15〜150
重量部とすることが好ましく、30〜130重量部とす
ることがより好ましい。この配合量が15重量部未満で
は、難燃性が低下する傾向があり、150重量部を超え
るとタックが増加して作業性が増加する傾向がある。
In the present invention, the amount of the component (e) is
(A) 15 to 150 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components.
It is preferable to set it as a weight part, and it is more preferable that it is 30-130 weight part. If the amount is less than 15 parts by weight, the flame retardancy tends to decrease. If the amount exceeds 150 parts by weight, the tack tends to increase and the workability tends to increase.

【0048】本発明において必要に応じて使用する
(e)成分の配合量は、(a)成分の総量100重量部
に対して、20〜120重量部であることが好ましく、
30〜100重量部であることがより好ましい。この配
合量が20重量部未満では可撓性が不十分となる傾向が
あり、120重量部を超えると現像性が低下する傾向が
ある。
The amount of the component (e) used as required in the present invention is preferably 20 to 120 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the component (a).
More preferably, it is 30 to 100 parts by weight. If the amount is less than 20 parts by weight, flexibility tends to be insufficient, and if it exceeds 120 parts by weight, developability tends to decrease.

【0049】また、本発明の感光性樹脂組成物には、必
要に応じて、マラカイトグリーン、ビクトリアピュアブ
ルー等の染料、トリブロモフェニルスルホン、ロイコク
リスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、p
−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、
消泡剤、難燃剤、安定剤、2−アミノ−5−メルカプト
−1,3,5−チアジアゾール等の密着性付与剤、レベ
リング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージン
グ剤、熱架橋剤などを(a)成分及び(b)成分の総量
100重量部に対して各々0.01〜20重量部程度含
有することができる。これらは、単独で又は2種類以上
を組み合わせて使用される。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain a dye such as malachite green or Victoria Pure Blue, a photochromic agent such as tribromophenylsulfone or leucocrystal violet, a thermochromic inhibitor, if necessary. p
-Plasticizers such as toluenesulfonamide, pigments, fillers,
Antifoaming agent, flame retardant, stabilizer, adhesion promoter such as 2-amino-5-mercapto-1,3,5-thiadiazole, leveling agent, release accelerator, antioxidant, fragrance, imaging agent, thermal crosslinking An agent or the like can be contained in an amount of about 0.01 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (a) and (b). These are used alone or in combination of two or more.

【0050】本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ
て、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチル
ケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエ
ン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤
に溶解して固形分30〜60重量%程度の溶液として塗
布することができる。また、本発明の感光性樹脂組成物
は、特に制限はないが、金属面、例えば、銅、銅系合
金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、
好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金の表面上に、液状レ
ジストとして塗布して乾燥後、必要に応じて保護フィル
ムを被覆して用いるか、感光性エレメントの形態で用い
られることが好ましい。
If necessary, the photosensitive resin composition of the present invention may contain a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether or the like. And a solution having a solid content of about 30 to 60% by weight. Further, the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but a metal surface, for example, copper, a copper-based alloy, nickel, chromium, iron, an iron-based alloy such as stainless steel,
Preferably, it is applied as a liquid resist on the surface of copper, a copper-based alloy, or an iron-based alloy, dried and then coated with a protective film, if necessary, or used in the form of a photosensitive element.

【0051】また、感光性樹脂組成物の層の厚さは、用
途により異なるが、乾燥後の厚みで1〜100μmであ
ることが好ましく、20〜60μmであることがより好
ましい。1μm未満では工業的に塗工困難な傾向があ
り、100μmを超える場合では本発明の効果が小さ
く、また感度が不十分となる傾向がある。液状レジスト
に保護フィルムを被覆して用いる場合は、保護フィルム
として、ポリエチレン、ポリプロピレン等の不活性なポ
リオレフィンフィルム等が用いられるが、感光性樹脂組
成物の層からの剥離性の見地から、ポリエチレンフィル
ムが好ましい。
The thickness of the layer of the photosensitive resin composition varies depending on the application, but is preferably from 1 to 100 μm, more preferably from 20 to 60 μm, after drying. If it is less than 1 μm, coating tends to be industrially difficult, and if it exceeds 100 μm, the effect of the present invention tends to be small and sensitivity tends to be insufficient. When using a liquid resist coated with a protective film, an inert polyolefin film such as polyethylene or polypropylene is used as the protective film.From the viewpoint of the peelability from the photosensitive resin composition layer, the polyethylene film is used. Is preferred.

【0052】上記感光性エレメントは、支持体として、
ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエ
チレン、ポリエステル等からなる重合体フィルム上に感
光性樹脂組成物を塗布、乾燥することにより得られる。
上記塗布は、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコ
ータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等
の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、80
〜150℃、5〜30分程度で行うことができる。これ
らの重合体フィルムは、後に感光性樹脂組成物の層から
除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となる
ような表面処理が施されたものであったり、材質であっ
たりしてはならない。これらの重合体フィルムの厚さ
は、1〜100μmとすることが好ましく、1〜30μ
mとすることがより好ましい。この厚さが1μm未満の
場合、機械的強度が低下し、塗工時に重合体フィルムが
破れるなどの問題が発生する傾向があり、30μmを超
えると解像度が低下し、価格が高くなる傾向がある。ま
た、これらの重合体フィルムの一つは感光性樹脂組成物
の層の支持フィルムとして、他の一つは感光性樹脂組成
物の保護フィルムとして感光性樹脂組成物の層の両面に
積層してもよい。
The photosensitive element is used as a support
It can be obtained by applying and drying a photosensitive resin composition on a polymer film made of polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, polyester or the like.
The coating can be performed by a known method such as a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, and a bar coater. In addition, drying is 80
It can be performed at about 150 ° C. for about 5 to 30 minutes. Since these polymer films must be removable later from the layer of the photosensitive resin composition, they may have been subjected to a surface treatment that makes removal impossible, or may be a material. Not be. The thickness of these polymer films is preferably 1 to 100 μm, and 1 to 30 μm.
m is more preferable. If the thickness is less than 1 μm, the mechanical strength tends to decrease, and problems such as breakage of the polymer film during coating tend to occur. If the thickness exceeds 30 μm, the resolution tends to decrease and the price tends to increase. . In addition, one of these polymer films is laminated on both sides of the photosensitive resin composition layer as a protective film of the photosensitive resin composition, and the other is used as a support film of the photosensitive resin composition layer. Is also good.

【0053】このようにして得られる感光性樹脂組成物
の層と重合体フィルムとの2層からなる本発明の感光性
エレメントは、そのまま又は感光性樹脂組成物の層の他
の面に保護フィルムをさらに積層してロール状に巻きと
って貯蔵される。
The photosensitive element of the present invention comprising the two layers of the photosensitive resin composition layer and the polymer film thus obtained can be used as it is or on the other surface of the photosensitive resin composition layer on a protective film. Are further laminated, wound up in a roll shape, and stored.

【0054】上記感光性エレメントを用いてレジストパ
ターンを製造するに際しては、前記の保護フィルムが存
在している場合には、保護フィルムを除去後、感光性樹
脂組成物の層を加熱しながら回路形成用基板に圧着する
ことにより積層し、感光性積層体を得る方法などが挙げ
られ、密着性及び追従性の見地から減圧下で積層するこ
とが好ましい。積層される表面は、通常金属面である
が、特に制限はない。感光性樹脂組成物の層の加熱温度
は70〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は、
1×105〜1×106Paとすることが好ましく、4×1
3Pa以下の減圧とすることが好ましいが、これらの条
件には特に制限はない。また、感光性樹脂組成物の層を
前記のように70〜130℃に加熱すれば、予め回路形
成用基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性
をさらに向上させるために、回路形成用基板の予熱処理
を行うこともできる。
In producing a resist pattern using the photosensitive element, if the above-mentioned protective film is present, the protective film is removed and a circuit is formed while heating the layer of the photosensitive resin composition. And a method of obtaining a photosensitive laminated body by pressure bonding to a substrate for use. From the viewpoint of adhesiveness and followability, it is preferable to laminate under reduced pressure. The surface to be laminated is usually a metal surface, but is not particularly limited. The heating temperature of the layer of the photosensitive resin composition is preferably from 70 to 130 ° C.,
It is preferably 1 × 10 5 to 1 × 10 6 Pa, and 4 × 1
The pressure is preferably reduced to 0 3 Pa or less, but there is no particular limitation on these conditions. In addition, if the layer of the photosensitive resin composition is heated to 70 to 130 ° C. as described above, it is not necessary to pre-heat the circuit forming substrate in advance, but in order to further improve the lamination property, the circuit forming substrate is formed. A pre-heat treatment of the substrate for use can also be performed.

【0055】このようにして感光性樹脂組成物の層の積
層が完了した感光性積層体は、アートワークと呼ばれる
ネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線が画像状
に照射される。この際、感光性積層体上に存在する重合
体フィルムが透明の場合には、そのまま、活性光線を照
射してもよく、また、不透明の場合には、当然除去する
必要がある。感光性樹脂組成物の層の保護という点から
は、重合体フィルムは透明で、この重合体フィルムを残
存させたまま、それを通して、活性光線を照射すること
が好ましい。活性光線の光源としては、公知の光源、例
えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水
銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に
放射するものが用いられる。また、写真用フラッド電
球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用い
られる。感光性樹脂組成物の層に含まれる光重合開始剤
の感受性は、通常紫外線領域において最大であるので、
その場合は、活性光線の光源に紫外線を有効に放射する
べきものを使用することが好ましい。
The photosensitive laminate in which the layering of the photosensitive resin composition is completed in this way is irradiated with actinic rays imagewise through a negative or positive mask pattern called an artwork. At this time, when the polymer film present on the photosensitive laminate is transparent, the active light beam may be irradiated as it is, and when it is opaque, it is necessary to remove it naturally. From the viewpoint of protecting the layer of the photosensitive resin composition, the polymer film is transparent, and it is preferable to irradiate the active film through the polymer film while leaving the polymer film remaining. As a light source of the actinic ray, a known light source, for example, a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like that effectively emits ultraviolet rays is used. In addition, those that effectively emit visible light, such as a flood light bulb for photography and a sun lamp, are also used. Since the sensitivity of the photopolymerization initiator contained in the layer of the photosensitive resin composition is usually maximum in the ultraviolet region,
In this case, it is preferable to use an active light source that effectively emits ultraviolet rays.

【0056】次いで、露光後、感光性積層体の感光性樹
脂組成物の層上に支持体が存在している場合には、支持
体を除去した後、アルカリ性水溶液等の現像液を用い
て、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スク
ラッピング等の公知の方法により未露光部を除去して現
像し、レジストパターンを製造する。現像液としては、
アルカリ性水溶液等の安全かつ安定であり、操作性が良
好なものが用いられる。上記アルカリ性水溶液の塩基と
しては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの
水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、
カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等
の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等
のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロ
リン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用
いられる。
Next, after the exposure, if a support is present on the layer of the photosensitive resin composition of the photosensitive laminate, the support is removed and then a developing solution such as an aqueous alkaline solution is used. For example, the unexposed portion is removed and developed by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, and scraping to develop a resist pattern. As a developer,
A safe and stable one having good operability, such as an alkaline aqueous solution, is used. As the base of the alkaline aqueous solution, for example, lithium, alkali hydroxide such as sodium or potassium hydroxide, lithium, sodium,
Examples thereof include alkali carbonates such as potassium or ammonium carbonate or bicarbonate, alkali metal phosphates such as potassium phosphate and sodium phosphate, and alkali metal pyrophosphates such as sodium pyrophosphate and potassium pyrophosphate.

【0057】また、現像に用いるアルカリ性水溶液とし
ては、0.1〜5重量%炭酸ナトリウムの希薄溶液、
0.1〜5重量%炭酸カリウムの希薄溶液、0.1〜5
重量%水酸化ナトリウムの希薄溶液、0.1〜5重量%
四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。また、現
像に用いるアルカリ性水溶液のpHは9〜11の範囲とす
ることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物の層
の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶
液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるため
の少量の有機溶剤等を混入させてもよい。現像の方式に
は、ディップ方式、スプレー方式等があり、高圧スプレ
ー方式が解像度向上のためには最も適している。
The alkaline aqueous solution used for development includes a dilute solution of 0.1 to 5% by weight of sodium carbonate,
Dilute solution of 0.1-5% by weight potassium carbonate, 0.1-5%
Weight% dilute solution of sodium hydroxide, 0.1-5% by weight
A dilute solution of sodium tetraborate or the like is preferred. The pH of the alkaline aqueous solution used for development is preferably in the range of 9 to 11, and the temperature is adjusted in accordance with the developability of the photosensitive resin composition layer. A surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for promoting development, and the like may be mixed in the alkaline aqueous solution. Development methods include a dip method and a spray method, and a high-pressure spray method is most suitable for improving resolution.

【0058】現像後、はんだ耐熱性、耐薬品性等を向上
させる目的で、高圧水銀ランプによる紫外線照射や加熱
を行うことが好ましい。紫外線の照射量は0.2〜10
J/cm2程度が一般的に用いられ、この照射の際60〜1
50℃の熱を伴うことがより好ましい。加熱は100〜
170℃程度の範囲で15〜90分程行われる。これら
紫外線の照射と加熱の順はどちらが先でもよい。このよ
うにしてカバーレイが形成されたフレキシブルプリント
配線板は、その後、はんだ付け等によってLSI、ダイ
オード、トランジスタ、モノリシックIC、VLSI等
の部品を実装し、実装基板とされ、これがカメラ機器等
の小型機器などへ装着される。
After development, it is preferable to perform ultraviolet irradiation or heating by a high-pressure mercury lamp for the purpose of improving solder heat resistance, chemical resistance and the like. UV irradiation dose is 0.2 to 10
J / cm 2 is generally used.
More preferably with 50 ° C. heat. Heating is 100 ~
This is performed at a temperature of about 170 ° C. for about 15 to 90 minutes. Either the irradiation of the ultraviolet rays or the heating may be performed first. The flexible printed wiring board on which the coverlay is formed in this manner is then mounted with components such as LSI, diode, transistor, monolithic IC, and VLSI by soldering or the like, and is used as a mounting board, which is a small-sized camera device or the like. Attached to equipment.

【0059】[0059]

【実施例】〔バインダポリマの合成〕メチルセロソルブ
70g及びトルエン 50gの混合物を窒素雰囲気下
で300ミリリットルのセパラブルフラスコに入れ撹拌
しながら80℃に加温した。30分保温後、トリブロモ
フェニルアクリレート 50g、メタクリル酸 22
g、メタクリル酸メチル 25g、アクリル酸メチル
1g、アクリル酸テトラヒドロフルフリル 1g、トル
エン 24g、アゾビスイソブチロニトリル 0.2g
を混合した溶液を3時間でセパラブルフラスコ内に滴
下、反応させた。次いで、メチルセロソルブ 10g、
トルエン 10gの混合物を加えて、3時間保温後、ア
ゾビスイソブチロニトリル 0.4gをメチルセロソル
ブ 10g及びトルエン 10gに溶解した溶液を加
え、更に4時間保温した。その後、冷却し、バインダー
ポリマー溶液A(固形分、35重量%)を得た。得られ
たポリマーの重量平均分子量を表1に示す。
EXAMPLES [Synthesis of Binder Polymer] A mixture of 70 g of methyl cellosolve and 50 g of toluene was placed in a 300 ml separable flask under a nitrogen atmosphere and heated to 80 ° C. while stirring. After keeping it warm for 30 minutes, 50 g of tribromophenyl acrylate, 22 methacrylic acid
g, methyl methacrylate 25 g, methyl acrylate
1 g, tetrahydrofurfuryl acrylate 1 g, toluene 24 g, azobisisobutyronitrile 0.2 g
Was dropped into the separable flask for 3 hours to cause a reaction. Then, 10 g of methyl cellosolve,
After adding a mixture of 10 g of toluene and keeping the temperature for 3 hours, a solution prepared by dissolving 0.4 g of azobisisobutyronitrile in 10 g of methyl cellosolve and 10 g of toluene was added, and the temperature was further kept for 4 hours. Thereafter, the mixture was cooled to obtain a binder polymer solution A (solid content, 35% by weight). Table 1 shows the weight average molecular weight of the obtained polymer.

【0060】表1に示したバインダーポリマー溶液B、
C、D及びEについて共重合量及び共重合成分を変更し
た以外は、バインダーポリマー溶液Aと同一の合成方法
で合成した。得られたポリマーの重量平均分子量を表1
に示す。
The binder polymer solution B shown in Table 1
The synthesis was performed in the same manner as the binder polymer solution A except that the amounts of copolymerization and the components of C, D and E were changed. Table 1 shows the weight average molecular weight of the obtained polymer.
Shown in

【0061】[0061]

【表1】 [Table 1]

【0062】実施例1〜3及び比較例1〜4 表2に示す材料を配合し溶液を得た。Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4 The materials shown in Table 2 were blended to obtain solutions.

【0063】[0063]

【表2】 [Table 2]

【0064】この溶液に表3に示す成分(a)、
(b)、(d)、(e)及び(f)を配合して感光性樹
脂組成物の溶液を調整した。表3中の配合量の単位は重
量部(固形分)を表す。
The component (a) shown in Table 3 was added to this solution.
(B), (d), (e) and (f) were blended to prepare a solution of the photosensitive resin composition. The unit of the amount in Table 3 represents parts by weight (solid content).

【0065】[0065]

【表3】 [Table 3]

【0066】得られた感光性樹脂組成物の溶液を20μ
mの厚さのポリエチレンテレフタレートフィルム上に均
一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾
燥して溶剤を除去した。感光性樹脂組成物層の乾燥後の
厚さは、50μmであった。感光性樹脂組成物層の上に
は、さらに厚さ約25μmのポリエチレンフィルムを保
護フィルムとして貼り合わせ、本発明の感光性エレメン
トを得た。
The solution of the photosensitive resin composition obtained was
The resulting solution was uniformly coated on a polyethylene terephthalate film having a thickness of m and dried with a hot air convection dryer at 100 ° C. for 10 minutes to remove the solvent. The thickness of the photosensitive resin composition layer after drying was 50 μm. A polyethylene film having a thickness of about 25 μm was further adhered on the photosensitive resin composition layer as a protective film to obtain a photosensitive element of the present invention.

【0067】得られた感光性エレメントの感光特性、レ
ジストの形成後のはんだ耐熱性、耐折性及び難燃性につ
いて下記の方法で評価し、結果を表4に示す。
The photosensitive characteristics of the obtained photosensitive element, solder heat resistance after forming the resist, folding resistance and flame retardancy were evaluated by the following methods, and the results are shown in Table 4.

【0068】(1)感光特性 35μm厚の銅箔をポリイミド基材に積層したフレキシ
ブルプリント板用基板(ニッカン工業(株)製、商品名F
30VC125RC11)の銅表面に砥粒ブラシで研磨
し、水洗後、乾燥した。このフレキシブルプリント板用
基板上に連続式真空ラミネータ(日立化成工業(株)製、
商品名VLM−1型)を用いて、ヒートシュー温度10
0℃、ラミネート速度1.0m/s、気圧4,000Pa以
下、圧着圧力2.94×105Paで前記感光性エレメン
トをポリエチレンフィルムを剥がしながら積層した。
(1) Photosensitive Characteristics A substrate for a flexible printed board in which a 35 μm thick copper foil is laminated on a polyimide substrate (trade name: F, manufactured by Nickan Kogyo Co., Ltd.)
The copper surface of 30VC125RC11) was polished with an abrasive brush, washed with water and dried. A continuous vacuum laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
Using the product name VLM-1), heat shoe temperature 10
The photosensitive element was laminated at 0 ° C., a laminating speed of 1.0 m / s, a pressure of 4,000 Pa or less, and a pressure of 2.94 × 10 5 Pa while peeling off the polyethylene film.

【0069】次に、室温で1時間以上放置したあと得ら
れた試料のポリエチレンテレフタレートフィルムの上か
ら、コダックステップタブレットNo.2(イーストマン
コダック(株)製、21段ステップタブレット)を密着さ
せ、(株)オーク製作所製HMW−201GX型露光機を
使用して所定量露光し、さらに30℃で1重量%炭酸ナ
トリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部分を
除去した。ステップタブレット段数8段を得るために必
要な露光量を感度とした。
Next, Kodak Step Tablet No. 2 (manufactured by Eastman Kodak Co., Ltd., 21-step step tablet) was adhered onto the polyethylene terephthalate film of the sample obtained after being left at room temperature for 1 hour or more. A predetermined amount of light was exposed using an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., and unexposed portions were removed by spraying a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. The sensitivity was defined as the amount of exposure necessary to obtain eight step tablets.

【0070】また、フォトツール(コダックステップタ
ブレットNo.2、ライン/スペース(μm)=30/3
0〜250/250(解像度)及びライン/スペース
(μm)=30/400〜250/400(密着性)の
ネガパターンを有するフォトツール)を、得られた試料
のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から密着さ
せ、ステップタブレット段数8段を得られる露光量で露
光し、現像したときに矩形のレジスト形状が得られる最
も小さい解像度パターンのライン/スペースの値を解像
度とした。
A photo tool (Kodak Step Tablet No. 2, line / space (μm) = 30/3)
A photo tool having a negative pattern of 0 to 250/250 (resolution) and line / space (μm) = 30/400 to 250/400 (adhesion)) is brought into close contact with the polyethylene terephthalate film of the obtained sample. The exposure was carried out at an exposure amount capable of obtaining eight steps of step tablets, and the line / space value of the smallest resolution pattern capable of obtaining a rectangular resist shape when developed was defined as the resolution.

【0071】(2)はんだ耐熱性 上記(1)と同様に、フレキシブルプリント板用基板に
感光性エレメントを積層した試料のポリエチレンテレフ
タレートフィルムの上から試験用ネガマスクを密着さ
せ、ステップタブレット段数8段を得られる露光量で露
光した。常温で1時間放置した後、試料のポリエチレン
テレフタレートフィルムを剥がし、30℃で1重量%炭
酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより未露光部
分を除去して現像した後、80℃で10分間乾燥した。
次いで、東芝電材(株)製東芝紫外線照射装置を使用し
て、1J/cm2の紫外線照射を行い、さらに150℃で4
5分間加熱を行い、カバーレイを形成したフレキシブル
プリント板を得た。
(2) Solder heat resistance In the same manner as in (1) above, a test negative mask was brought into close contact with the polyethylene terephthalate film of the sample in which the photosensitive element was laminated on the flexible printed board substrate, and the number of step tablets was eight. Exposure was performed at the obtained exposure amount. After leaving at room temperature for 1 hour, the polyethylene terephthalate film of the sample was peeled off, unexposed portions were removed by spraying a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C., and then developed, and then dried at 80 ° C. for 10 minutes.
Next, using a Toshiba UV irradiator manufactured by Toshiba Electric Materials Co., Ltd., UV irradiation of 1 J / cm 2 was performed.
Heating was performed for 5 minutes to obtain a flexible printed board on which a coverlay was formed.

【0072】次いで、ロジン系フラックスMH−820
V(タムラ化研(株)製)を塗布した後、260℃のはん
だ浴中に30秒間浸漬してはんだ付け処理を行った。こ
のような操作の後、カバーレイのクラック発生状況、基
板からのカバーレイの浮きや剥がれの状況を目視で次の
基準で評価した。 良好:クラック、浮き及び剥がれが発生しないもの 不良:クラック、浮き及び剥がれが発生したもの
Next, a rosin flux MH-820 was used.
After applying V (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), it was immersed in a solder bath at 260 ° C. for 30 seconds to perform a soldering treatment. After such an operation, the occurrence of cracks in the coverlay and the situation of floating and peeling of the coverlay from the substrate were visually evaluated according to the following criteria. Good: No cracks, lifting and peeling occurred. Bad: Cracks, lifting and peeling occurred.

【0073】(3)耐溶剤性 上記(2)と同様の操作でカバーレイを形成したフレキ
シブルプリント板を室温でメチルエチルケトン及びイソ
プロピルアルコール中に10分間浸漬した後、基板から
のカバーレイの浮き及び剥がれの状況を目視で下記の基
準で評価した。 良好:浮き及び剥がれが発生しないもの 不良:浮き又は剥がれが発生したもの
(3) Solvent resistance The flexible printed circuit board on which the coverlay was formed by the same operation as in (2) above was immersed in methyl ethyl ketone and isopropyl alcohol for 10 minutes at room temperature, and then the coverlay was lifted off and peeled from the substrate. Was visually evaluated according to the following criteria. Good: No lifting or peeling occurred Bad: Lifting or peeling occurred

【0074】(4)耐折性 (2)と同様の操作で得たフレキシブルプリント板用基
板上にカバーレイを形成し、はんだ付け処理を行った試
料をはぜ折りで180°折り曲げ、折り曲げた際のカバ
ーレイのクラックの発生状況を目視で下記の基準で評価
した。 良好:クラックが発生しないもの 不良:クラックが発生したもの
(4) Folding resistance A coverlay was formed on the substrate for a flexible printed board obtained by the same operation as in (2), and the sample subjected to the soldering treatment was bent 180 ° by bending and bending. The occurrence of cracks in the coverlay was visually evaluated according to the following criteria. Good: No cracks occurred. Bad: Cracks occurred.

【0075】(5)難燃性 フレキシブルプリント板用基板(ニッカン工業(株)製、
商品名F30VC125RC11)の銅箔をエッチング
で除去した接着剤付きポリイミド基材に、真空ラミネー
タ(日立化成工業(株)製、商品名VLM−1型)を用い
て、ヒートシュー温度120℃、ラミネート速度1.0
m/s、気圧4,000Pa以下、圧着圧力2.94×105
Pa(3kgf/cm2)で前記感光性エレメントをポリエチレ
ンフィルムを剥がしながら積層し、ステップタブレット
段数8段が得られるように露光した。常温で1時間放置
した後、試料のポリエチレンテレフタレートフィルムを
剥がし、30℃で1重量%炭酸ナトリウム水溶液をスプ
レーすることにより未露光部分を除去して現像した後、
80℃で10分間乾燥した。次いで、東芝電材(株)製東
芝紫外線照射装置を利用して、1J/cm2の紫外線照射を
行い、さらに150℃で45分間加熱処理を行い、難燃
性評価の基板を作製した。この評価基板を米国のUnderw
riters Laboratories Inc.(以下ULと略す)の高分子
材料の難燃性試験規格UL94に準拠した装置、方法
(VTM法)に従って難燃性を評価した。結果を表4に
示す。
(5) Flame-retardant substrate for flexible printed board (manufactured by Nickan Industry Co., Ltd.)
Using a vacuum laminator (trade name: VLM-1 type, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), a heat shoe temperature of 120 ° C. and a laminating speed were applied to the polyimide base material with the adhesive obtained by etching the copper foil of trade name F30VC125RC11). 1.0
m / s, atmospheric pressure 4,000 Pa or less, pressure bonding pressure 2.94 × 10 5
The photosensitive element was laminated at a pressure of Pa (3 kgf / cm 2 ) while peeling off the polyethylene film, and exposed so that the number of step tablets was 8 steps. After leaving at room temperature for 1 hour, the polyethylene terephthalate film of the sample was peeled off, and an unexposed portion was removed by spraying a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C., followed by development.
Dry at 80 ° C. for 10 minutes. Next, using a Toshiba UV irradiator manufactured by Toshiba Electric Materials Co., Ltd., UV irradiation at 1 J / cm 2 was performed, and a heat treatment was further performed at 150 ° C. for 45 minutes to prepare a substrate for evaluation of flame retardancy. This evaluation board is used by Underw
The flame retardancy was evaluated according to the apparatus and method (VTM method) based on the flame retardancy test standard UL94 of polymer materials of riters Laboratories Inc. (hereinafter abbreviated as UL). Table 4 shows the results.

【0076】[0076]

【表4】 [Table 4]

【0077】表4から明らかなように、本発明の感光性
樹脂組成物及び感光性エレメントを用いることによっ
て、はんだ耐熱性及び耐折性が良好でかつ、難燃性が9
4VTM−1(UL規格)又は94VTM−0(UL規
格)であるフレキシブルプリント配線板用カバーレイが
得られる。
As is evident from Table 4, the use of the photosensitive resin composition and the photosensitive element of the present invention makes it possible to obtain good solder heat resistance and folding resistance and a flame retardancy of 9%.
A coverlay for a flexible printed wiring board which is 4VTM-1 (UL standard) or 94VTM-0 (UL standard) is obtained.

【0078】[0078]

【発明の効果】請求項1記載の感光性樹脂組成物は、難
燃性、可とう性、はんだ耐熱性、耐溶剤性及び耐洗浄性
が優れ、かつ感度及び解像度が良好であり、可とう性耐
熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる。請求項
2記載の感光性樹脂組成物は、請求項1記載の発明の効
果を奏し、さらに難燃性が優れ、可とう性耐熱保護被膜
の微細パターンを容易に形成できる。請求項3記載の感
光性樹脂組成物は、請求項1又は2記載の発明の効果を
奏し、さらに難燃性が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微
細パターンを容易に形成できる。
The photosensitive resin composition according to the first aspect is excellent in flame retardancy, flexibility, solder heat resistance, solvent resistance and washing resistance, and has good sensitivity and resolution. A fine pattern of the heat-resistant protective film can be easily formed. The photosensitive resin composition according to the second aspect has the effects of the invention according to the first aspect, further has excellent flame retardancy, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. The photosensitive resin composition according to the third aspect exhibits the effects of the invention according to the first or second aspect, further has excellent flame retardancy, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film.

【0079】請求項4記載の感光性樹脂組成物は、請求
項1、2又は3記載の発明の効果を奏し、さらに難燃
性、感度及び解像度が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微
細パターンを容易に形成できる。請求項5記載の感光性
樹脂組成物は、請求項1、2、3又は4記載の発明の効
果を奏し、さらに難燃性が優れ、可とう性耐熱保護被膜
の微細パターンを容易に形成できる。請求項6記載の感
光性樹脂組成物は、請求項1、2、3、4又は5記載の
発明の効果を奏し、さらに可とう性が優れ、可とう性耐
熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる。
The photosensitive resin composition according to the fourth aspect has the effects of the invention according to the first, second or third aspect, and furthermore has excellent flame retardancy, sensitivity and resolution, and a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. Can be easily formed. The photosensitive resin composition according to the fifth aspect has the effects of the invention according to the first, second, third or fourth aspect, further has excellent flame retardancy, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. . The photosensitive resin composition according to the sixth aspect has the effects of the invention according to the first, second, third, fourth, or fifth aspect, further has excellent flexibility, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. Can be formed.

【0080】請求項7記載の感光性樹脂組成物は、請求
項6記載の発明の効果を奏し、さらに感度が優れ、可と
う性耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成できる。
請求項8記載の感光性樹脂組成物は、請求項1、2、
3、4、5、6又は7記載の発明の効果を奏し、さらに
難燃性が優れ、可とう性耐熱保護被膜の微細パターンを
容易に形成できる。請求項9記載の感光性樹脂組成物
は、請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載の発
明の効果を奏し、さらに難燃性が優れ、可とう性耐熱保
護被膜の微細パターンを容易に形成できる。
The photosensitive resin composition according to the seventh aspect has the effects of the invention according to the sixth aspect, is further excellent in sensitivity, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film.
The photosensitive resin composition according to claim 8 is characterized in that:
The effects of the invention described in 3, 4, 5, 6, or 7 are exhibited, and further, the flame retardancy is excellent, and the fine pattern of the flexible heat-resistant protective film can be easily formed. The photosensitive resin composition according to the ninth aspect has the effects of the invention according to the first, second, third, fourth, fifth, sixth, seventh, and eighth aspects, and further has excellent flame retardancy and a flexible heat-resistant protective coating. Can be easily formed.

【0081】請求項10記載の感光性樹脂組成物は、請
求項9記載の発明の効果を奏し、さらに難燃性が優れ、
可とう性耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成でき
る。請求項11記載の感光性樹脂組成物は、請求項1、
2、3、4、5、6、7、8、9又は10記載の発明の
効果を奏し、さらに可とう性が優れ、可とう性耐熱保護
被膜の微細パターンを容易に形成できる。
The photosensitive resin composition according to the tenth aspect has the effects of the invention according to the ninth aspect, and further has excellent flame retardancy,
A fine pattern of a flexible heat-resistant protective film can be easily formed. The photosensitive resin composition according to claim 11,
The effects of the invention described in 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 or 10 are exhibited, the flexibility is excellent, and the fine pattern of the flexible heat-resistant protective film can be easily formed.

【0082】請求項12記載の感光性エレメントは、難
燃性、可とう性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、耐洗浄性、
生産性及び作業性が優れ、かつ感度及び解像度が良好で
あり、可とう性耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形
成できる。請求項13記載の感光性積層体は、難燃性、
可とう性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、耐洗浄性、生産性
及び作業性が優れ、かつ感度及び解像度が良好であり、
可とう性耐熱保護被膜の微細パターンを容易に形成でき
る。請求項14記載のフレキシブルプリント配線板の製
造法は、難燃性、可とう性、はんだ耐熱性、耐溶剤性、
耐洗浄性、生産性及び作業性が優れ、かつ感度及び解像
度が良好であり、可とう性耐熱保護被膜の微細パターン
の形成に極めて有用なレジストパターンが形成できる。
The photosensitive element according to the twelfth aspect has flame retardancy, flexibility, solder heat resistance, solvent resistance, washing resistance,
It is excellent in productivity and workability, good in sensitivity and resolution, and can easily form a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film. The photosensitive laminate according to claim 13 is flame-retardant,
Flexibility, solder heat resistance, solvent resistance, washing resistance, excellent productivity and workability, and good sensitivity and resolution,
A fine pattern of a flexible heat-resistant protective film can be easily formed. The method for producing a flexible printed wiring board according to claim 14, wherein the flame-retardant, flexible, solder heat-resistant, solvent-resistant,
A resist pattern which is excellent in washing resistance, productivity and workability, has good sensitivity and resolution, and is extremely useful for forming a fine pattern of a flexible heat-resistant protective film can be formed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08K 5/107 C08K 5/107 5E314 5/521 5/521 C08L 33/16 C08L 33/16 61/20 61/20 61/28 61/28 75/16 75/16 G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 7/027 502 7/027 502 H05K 3/28 H05K 3/28 D (72)発明者 土屋 勝則 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎事業所内 (72)発明者 笹原 直樹 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎事業所内 Fターム(参考) 2H025 AA00 AA01 AA02 AA06 AA10 AA13 AB15 AC01 AD01 BC13 BC43 BC65 BC66 BC81 BC83 CB13 CB14 CB41 CB55 CC05 CC17 CC20 4J002 BG081 CC163 CC183 CC193 CH052 CK054 EE038 EE058 EH076 EU187 EV238 EV308 EW049 FD208 GP03 4J011 PA46 PA69 PA85 PA95 PB29 PC02 QB16 QB24 SA06 SA21 SA25 SA32 SA34 SA63 SA64 SA75 UA01 4J027 AA02 AC03 AC04 AC06 AG12 AG24 CA25 CA27 CA34 CA35 CA36 CC05 CD10 4J100 AB02Q AB04Q AJ02R AL03Q AL04Q AL08P AL08Q AL09Q AM02Q AM15Q AQ08Q BA31Q BB03P BC43P BC53Q CA05 DA01 DA29 JA37 5E314 AA27 AA33 CC01 DD06 DD07 FF06 GG10 GG14 GG26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) C08K 5/107 C08K 5/107 5E314 5/521 5/521 C08L 33/16 C08L 33/16 61/20 61 / 20 61/28 61/28 75/16 75/16 G03F 7/004 501 G03F 7/004 501 7/027 502 7/027 502 H05K 3/28 H05K 3/28 D (72) Inventor Katsunori Tsuchiya Ibaraki 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Office (72) Inventor Naoki Sasahara 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Office F-term (reference) 2H025 AA00 AA01 AA02 AA06 AA10 AA13 AB15 AC01 AD01 BC13 BC43 BC65 BC66 BC81 BC83 CB13 CB14 CB41 CB55 CC05 CC17 CC20 4J002 BG081 CC163 CC183 CC193 CH052 CK054 EE038 EE058 EH076 EU187 EV238 EV308 EW 308 308 GP03 4J011 PA46 PA69 PA85 PA95 PB29 PC02 QB16 QB24 SA06 SA21 SA25 SA32 SA34 SA63 SA64 SA75 UA01 4J027 AA02 AC03 AC04 AC06 AG12 AG24 CA25 CA27 CA34 CA35 CA36 CC05 CD10 4J100 AB02Q AB04Q AJ02R AL03Q AL04QAL08 BC08 A08Q08A08Q08P DA01 DA29 JA37 5E314 AA27 AA33 CC01 DD06 DD07 FF06 GG10 GG14 GG26

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)トリブロモフェニル(メタ)アク
リレートを共重合成分とするバインダーポリマー、
(b)ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合
物、(c)光重合開始剤、(d)アミノ樹脂及び(e)
芳香族リン酸エステル化合物を含有してなる感光性樹脂
組成物。
1. A binder polymer comprising (a) tribromophenyl (meth) acrylate as a copolymer component,
(B) bisphenol A (meth) acrylate compound, (c) photopolymerization initiator, (d) amino resin, and (e)
A photosensitive resin composition containing an aromatic phosphate compound.
【請求項2】 (a)バインダーポリマーが、トリブロ
モフェニル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸
及びその他のビニルモノマーを共重合成分とするバイン
ダーポリマーである請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein (a) the binder polymer is a binder polymer containing tribromophenyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and another vinyl monomer as a copolymer component. .
【請求項3】 (a)バインダーポリマーが、トリブロ
モフェニル(メタ)アクリレートを全共重合成分の総量
に対して、3〜65重量%含有するバインダーポリマー
である請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive material according to claim 1, wherein (a) the binder polymer is a binder polymer containing 3 to 65% by weight of tribromophenyl (meth) acrylate based on the total amount of all copolymerized components. Resin composition.
【請求項4】 (a)バインダーポリマーが、アルカリ
水溶液に可溶又は膨潤可能であり、酸価が65〜300
mgKOH/gのバインダーポリマーである請求項1、2又は
3記載の感光性樹脂組成物。
4. The binder polymer (a) is soluble or swellable in an aqueous alkali solution and has an acid value of 65 to 300.
4. The photosensitive resin composition according to claim 1, which is a binder polymer of mgKOH / g.
【請求項5】 (a)バインダーポリマーの重量平均分
子量が20,000〜300,000である請求項1、
2、3又は4記載の感光性樹脂組成物。
5. The method according to claim 1, wherein (a) the binder polymer has a weight average molecular weight of 20,000 to 300,000.
5. The photosensitive resin composition according to 2, 3 or 4.
【請求項6】 (b)ビスフェノールA系(メタ)アク
リレート化合物が、一般式(1) 【化1】 (式中R1及びR2は各々独立して水素原子又はメチル基
を示し、Y1及びY2は各々独立に炭素数2〜6のアルキ
レン基を示し、p及びqはp+qが4〜40となるよう
に選ばれる正の整数である)で表される化合物である請
求項1、2、3、4又は5記載の感光性樹脂組成物。
6. A compound (b) comprising a bisphenol A (meth) acrylate compound represented by the general formula (1): (Wherein R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, Y 1 and Y 2 each independently represent an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and p and q are such that p + q is 4 to 40) The photosensitive resin composition according to claim 1, 2, 3, 4, or 5, which is a compound represented by the following formula:
【請求項7】 一般式(1)中、p+qが4〜15であ
る請求項6記載の感光性樹脂組成物。
7. The photosensitive resin composition according to claim 6, wherein p + q is 4 to 15 in the general formula (1).
【請求項8】 (d)アミノ樹脂が、メラミン樹脂であ
る請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の感光性樹
脂組成物。
8. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein (d) the amino resin is a melamine resin.
【請求項9】 (e)芳香族リン酸エステル化合物が、
一般式(2) 【化2】 (式中R3は、有機基を示し、Z1、Z2、Z3及びZ4
各々独立にハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル
基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜1
4のアリール基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、メル
カプト基、アリル基、炭素数1〜10のアルキルメルカ
プト基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基、アル
キル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、ア
ルキル基の炭素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜2
0のアルコキシ基又は複素環を含む基を示し、a、b、
c及びdは各々独立に0〜5の整数である)で表される
化合物である請求項1、2、3、4、5、6、7又は8
記載の感光性樹脂組成物。
9. The (e) aromatic phosphate compound is
General formula (2) (Wherein R 3 represents an organic group, and Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 each independently represent a halogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, Number 6-1
4 aryl groups, amino groups, nitro groups, cyano groups, mercapto groups, allyl groups, alkylmercapto groups having 1 to 10 carbon atoms, hydroxyalkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, and alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms A carboxyalkyl group, an acyl group having 1 to 10 carbon atoms in an alkyl group, and 1 to 2 carbon atoms
0 represents an alkoxy group or a group containing a heterocyclic ring, a, b,
c and d are each independently an integer of 0 to 5).
The photosensitive resin composition as described in the above.
【請求項10】 一般式(2)中、R3がジヒドロキシ
ベンゼンから2個のヒドロキシル基を除いた2価の残基
又は2,2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパンか
ら2個のヒドロキシル基を除いた2価の残基である請求
項9記載の感光性樹脂組成物。
10. In the general formula (2), R 3 is a divalent residue obtained by removing two hydroxyl groups from dihydroxybenzene or two hydroxyl groups from 2,2-di (p-hydroxyphenyl) propane. The photosensitive resin composition according to claim 9, which is a divalent residue excluding
【請求項11】 さらに(f)ペンタメチレンカーボネ
ート単位からなる繰り返し単位(A)及びヘキサメチレ
ンカーボネート単位からなる繰り返し単位(B)を有
し、これら繰り返し単位のモル比A:Bが9:1〜1:
9であるコポリカーボネート、イソホロンジイソシアネ
ート及びヒドロキシエチル(メタ)アクリレートの反応
物を含有する請求項1、2、3、4、5、6、7、8、
9又は10記載の感光性樹脂組成物。
11. It further comprises (f) a repeating unit (A) consisting of pentamethylene carbonate units and a repeating unit (B) consisting of hexamethylene carbonate units, and the molar ratio A: B of these repeating units is 9: 1 to 1: 1. 1:
9. A reaction product of a copolycarbonate, isophorone diisocyanate and hydroxyethyl (meth) acrylate, which is 9, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8,
11. The photosensitive resin composition according to 9 or 10.
【請求項12】 請求項1、2、3、4、5、6、7、
8、9、10又は11記載の感光性樹脂組成物を、支持
体上に塗布、乾燥し、感光性樹脂組成物の層を形成して
なる感光性エレメント。
12. The method of claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7,
A photosensitive element comprising the photosensitive resin composition according to 8, 9, 10 or 11, which is coated on a support and dried to form a layer of the photosensitive resin composition.
【請求項13】 フレキシブルプリント配線板用基板の
表面に請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、1
0又は11記載の感光性樹脂組成物の層を有する感光性
積層体。
13. The flexible printed wiring board substrate according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 1, or 1.
12. A photosensitive laminate having a layer of the photosensitive resin composition according to 0 or 11.
【請求項14】 請求項13記載の感光性積層体に活性
光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部
を現像により除去してレジストパターンを形成すること
を特徴とするフレキシブルプリント配線板の製造法。
14. A resist pattern is formed by irradiating the photosensitive laminate according to claim 13 with actinic rays in an image form, light-curing an exposed portion, and removing an unexposed portion by development. Manufacturing method for flexible printed wiring boards.
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