JP2001042248A - Optical scanner - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、プリンタやスキ
ャナなど画像の記録や読取りを行なう画像処理装置に具
備され、レーザー光など光ビームを走査対象に対して照
射して走査する光走査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scanning device provided in an image processing apparatus for recording and reading an image, such as a printer and a scanner, for irradiating a scanning object with a light beam such as a laser beam for scanning.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の光走査装置の構造の概略
を、図９ないし図11に示してある。図９は特開平６−８
３９９８号公報に記載されたバーコード読取り装置等に
採用されるレーザ走査光学装置で、走査するための光ビ
ームを照射する光源である光素子１と、モータ２によっ
て回転する多面鏡３とから構成されている。光素子１か
ら発せられた光ビームは回転する多面鏡３の一面に入射
するようになっており、この面で反射されて走査対象４
を照射する。そして、多面鏡３の連続的な回転によって
反射方向が連続的に変化し、光ビームは走査対象４を走
査することになる。この場合、走査方向は多面鏡３の回
転方向に応じた一方向のみとなる。また、多面鏡３を構
成するそれぞれの反射鏡3aを回転軸3bに対して適宜に傾
けることにより、走査対象４を二次元で走査することが
できる。2. Description of the Related Art The structure of a conventional optical scanning device of this type is schematically shown in FIGS. FIG.
A laser scanning optical device employed in a bar code reader described in Japanese Patent No. 3998, which comprises an optical element 1 as a light source for irradiating a light beam for scanning and a polygon mirror 3 rotated by a motor 2. Have been. The light beam emitted from the optical element 1 is incident on one surface of the rotating polygon mirror 3, and is reflected by this surface to be scanned 4
Is irradiated. Then, the reflection direction changes continuously due to the continuous rotation of the polygon mirror 3, and the light beam scans the scanning object 4. In this case, the scanning direction is only one direction corresponding to the rotation direction of the polygon mirror 3. Further, by appropriately tilting each of the reflecting mirrors 3a constituting the polygon mirror 3 with respect to the rotation axis 3b, the scanning object 4 can be scanned two-dimensionally.
【０００３】図10は特開平１−１８２８２２号公報に記
載されたビーム走査装置などが採用するもので、光源で
ある光素子１は反射鏡５を光ビームで照射する。反射鏡
５は光ビームを走査対象４に向けて反射する。反射鏡５
はその一対の対辺で弾性材からなるヒンジ部６を介して
それぞれ圧電素子7a、7bの変位面に連繋されて指示され
ている。これら圧電素子7a、7bは半周期ずれて振動する
ようにしてあり、これらの圧電素子7a、7bの振動によっ
て反射鏡５が周期的に傾くようにしてある。このため、
光素子１から発せられた光ビームの反射鏡５における反
射角度は扇形状に変化し、この反射方向の変化によって
走査対象４が走査される。なお、この場合の光走査は往
復運動で行なわれる。FIG. 10 shows a configuration in which a beam scanning device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-182822 is adopted, and an optical element 1 as a light source irradiates a reflecting mirror 5 with a light beam. The reflecting mirror 5 reflects the light beam toward the scanning target 4. Reflector 5
Are indicated by being connected to the displacement surfaces of the piezoelectric elements 7a and 7b via hinge portions 6 made of an elastic material on the pair of opposite sides. The piezoelectric elements 7a and 7b are vibrated with a shift of a half cycle, and the reflection mirror 5 is periodically tilted by the vibration of the piezoelectric elements 7a and 7b. For this reason,
The reflection angle of the light beam emitted from the optical element 1 on the reflecting mirror 5 changes into a fan shape, and the scanning object 4 is scanned by the change in the reflection direction. The optical scanning in this case is performed in a reciprocating motion.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の光走査装置では、次のような問題がある。However, the above-described conventional optical scanning device has the following problems.
【０００５】図９に示す光走査装置は、多面鏡３をモー
タによって回転させる構造であるから、構造が複雑とな
ってしまう。また、光素子１から発せられた光ビームを
反射鏡3aの物理的角度を変更することによって光路の変
更をしているため、光素子１は反射鏡3aの角度の変位の
範囲外に設置しなければならず、光素子１から多面鏡
３、該多面鏡３から走査対象４との間に適宜な距離を必
要とする。このため、装置を大型化してしまうおそれが
ある。The optical scanning device shown in FIG. 9 has a structure in which the polygon mirror 3 is rotated by a motor, so that the structure becomes complicated. Further, since the optical path of the light beam emitted from the optical element 1 is changed by changing the physical angle of the reflecting mirror 3a, the optical element 1 is installed outside the range of the angular displacement of the reflecting mirror 3a. A proper distance is required between the optical element 1 and the polygon mirror 3, and between the polygon mirror 3 and the scanning target 4. For this reason, there is a possibility that the device will be enlarged.
【０００６】また、図10に示す光走査装置も、光素子１
から発せられた光ビームを反射鏡５の物理的角度の変更
によって走査対象４に入射するようにしてあるから、装
置の小型化を図りにくい。The optical scanning device shown in FIG.
Since the light beam emitted from the light source is incident on the scanning target 4 by changing the physical angle of the reflecting mirror 5, it is difficult to reduce the size of the apparatus.
【０００７】そこで、この発明は、構造を簡単にして、
画像処理装置などの小型化を図ることができる光走査装
置を提供することを目的としている。Therefore, the present invention provides a simple structure,
It is an object of the present invention to provide an optical scanning device capable of reducing the size of an image processing device or the like.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めの技術的手段として、この発明に係る光走査装置は、
光源から発せられる光ビームを走査対象に照射して該走
査対象を該光ビームによって走査する光走査装置におい
て、走査対象の走査面に対向した位置に光源を設け、前
記光源と走査対象との間に光屈折手段を設け、前記光屈
折手段の縁部を振動手段に連繋させ、前記光屈折手段を
揺動させながら前記光ビームを透過させて該透過光を走
査対象に照射して走査することを特徴としている。As a technical means for achieving the above object, an optical scanning device according to the present invention comprises:
In an optical scanning device that irradiates a light beam emitted from a light source to a scanning target and scans the scanning target with the light beam, a light source is provided at a position facing a scanning surface of the scanning target, and a light source is provided between the light source and the scanning target. The light refraction means is provided, the edge of the light refraction means is connected to a vibration means, and the light beam is transmitted while the light refraction means is oscillated, and the transmitted light is irradiated on a scanning target to perform scanning. It is characterized by.
【０００９】光源から発せられた光ビームは前記光屈折
手段を透過する際にその照射方向が屈折されて変更さ
れ、該光屈折手段から出射した光ビームは前記走査対象
に入射する。この光屈折手段を前記振動手段によって周
期的に振動させれば、出射した光ビームが走査対象を走
査する。そして、この構成によれば、光源と光屈折手段
と走査対象とを直線上に配置することとができるから、
装置を小型化することができる。When the light beam emitted from the light source passes through the light refracting means, the irradiation direction thereof is refracted and changed, and the light beam emitted from the light refracting means enters the scanning object. If this light refracting means is vibrated periodically by the vibrating means, the emitted light beam scans the object to be scanned. According to this configuration, the light source, the light refracting means, and the scanning target can be arranged on a straight line,
The device can be downsized.
【００１０】また、請求項２の発明に係る光走査装置
は、前記光屈折手段を略矩形形状に形成し、その一対の
対辺の辺縁を前記振動手段に連繋させたことを特徴とし
ている。The optical scanning device according to the second aspect of the present invention is characterized in that the light refracting means is formed in a substantially rectangular shape, and the pair of opposite sides are connected to the vibrating means.
【００１１】すなわち、光屈折手段は対辺を結ぶ直線を
含む面内で揺動することになり、走査対象を光ビームが
一次元的に走査することになる。That is, the light refracting means swings in a plane including a straight line connecting the opposite sides, and the light beam scans the object to be scanned one-dimensionally.
【００１２】また、請求項３の発明に係る光走査装置
は、前記光屈折手段を略矩形形状に形成し、その全ての
辺縁を前記振動手段に連繋させたことを特徴としてい
る。The optical scanning device according to the third aspect of the present invention is characterized in that the light refracting means is formed in a substantially rectangular shape, and all edges thereof are connected to the vibration means.
【００１３】すなわち、光屈折手段は二対の対辺を結ぶ
２本の直線を含む面内で揺動して三次元的に駆動される
ことになり、走査対象を光ビームが二次元的に走査する
ことになる。That is, the light refracting means swings in a plane including two straight lines connecting two pairs of opposite sides and is driven three-dimensionally, and the light beam scans the object to be scanned two-dimensionally. Will do.
【００１４】また、請求項４の発明に係る光走査装置
は、前記光屈折手段と前記振動手段とをヒンジ部を介し
て連繋させたことを特徴としている。The optical scanning device according to a fourth aspect of the invention is characterized in that the light refracting means and the vibration means are connected via a hinge.
【００１５】ヒンジ部を介在させることにより振動手段
の動作を安定させて、確実に光屈折手段に伝達すること
ができる。By interposing the hinge portion, the operation of the vibration means can be stabilized and transmitted to the light refraction means reliably.
【００１６】また、請求項５の発明に係る光走査装置
は、前記光屈折手段はプリズム型に成形したことを特徴
とし、請求項６の発明に係る光走査装置は、前記振動手
段に圧電素子を用いたことを特徴としている。The optical scanning device according to a fifth aspect of the present invention is characterized in that the light refracting means is formed in a prism shape. It is characterized by using.
【００１７】また、請求項７及び請求項８は、上述した
光走査装置を複数台並設し、それぞれの光走査装置の走
査範囲を隣接させたことと、それぞれの光走査装置の走
査範囲を重畳させたことをそれぞれ特徴としている。According to a seventh and an eighth aspect of the present invention, a plurality of the above-described optical scanning devices are arranged side by side, and the scanning ranges of the respective optical scanning devices are adjacent to each other. Each is characterized by being superimposed.
【００１８】すなわち、複数台の光走査装置の走査範囲
を隣接させることにより走査線の延長や走査範囲の拡大
を図ることができる。また、複数台の光走査装置の走査
範囲を重畳させることにより、三原色を同一部分に重ね
合わせることができ、走査対象の走査面にカラー画像を
描くことができる。That is, by making the scanning ranges of the plurality of optical scanning devices adjacent to each other, it is possible to extend the scanning lines and enlarge the scanning range. In addition, by overlapping the scanning ranges of the plurality of optical scanning devices, the three primary colors can be overlapped on the same portion, and a color image can be drawn on the scanning surface to be scanned.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、図示した好ましい実施の形
態に基づいて、この発明に係る光走査装置を具体的に説
明する。図１はこの光走査装置10を光路を含む面で切断
した断面図で、半導体レーザ素子あるいは単一に近い光
ビームを発生させる光素子11が、例えばセラミック等の
剛性の高い絶縁材からなるシャーシ12に固定されて設け
られている。この光素子11を中央にして適宜距離を隔て
た位置に一対の振動手段としての圧電部材13a 、13b が
シャーシ12に固定されている。この圧電部材13a 、13b
に、シリコン等の弾性材からなるヒンジ部14a 、14b を
介して、ガラスまたはダイヤモンド等を素材とした高光
屈折体15が支持されている。また、前記光素子11が単一
波長のレーザ光を発する場合には、日本電気株式会社製
人工フォトニック結晶を使用することができる。そし
て、この高光屈折体15を挟んで光素子11の反対側に走査
対象16を位置させる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an optical scanning device according to the present invention will be specifically described based on preferred embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of the optical scanning device 10 cut along a plane including an optical path. A semiconductor laser element or an optical element 11 for generating a nearly single light beam is a chassis made of a rigid insulating material such as ceramic. It is fixed to 12 and provided. Piezoelectric members 13a and 13b as a pair of vibrating means are fixed to the chassis 12 at positions appropriately spaced from the optical element 11 as a center. These piezoelectric members 13a, 13b
Further, a high light refracting body 15 made of glass or diamond is supported via hinge portions 14a and 14b made of an elastic material such as silicon. When the optical element 11 emits a single-wavelength laser beam, an artificial photonic crystal manufactured by NEC Corporation can be used. Then, the scanning target 16 is positioned on the opposite side of the optical element 11 with the high light refractor 15 interposed therebetween.
【００２０】前記高光屈折体15は、図１に示すように、
断面略直角三角形に形成されたプリズム型としてあり、
その斜辺が上側となるように直角の部分の辺縁と他の辺
縁とが前記圧電部材13a 、13b に連繋している。As shown in FIG. 1, the high light refraction body 15
There is a prism type formed in a substantially right-angled triangle in cross section,
The edge of the right-angled portion and the other edge are connected to the piezoelectric members 13a and 13b so that the oblique side is on the upper side.
【００２１】以上により構成された光走査装置10の作用
を、以下に説明する。The operation of the optical scanning device 10 configured as described above will be described below.
【００２２】図１に示すように、光素子11から発せられ
た光ビームＢは高光屈折体15を透過する際に屈折して、
同図上一点鎖線で示す光路Ｂを介して走査対象６を照射
する。前記圧電部材13a 、13b は半周期をずらして振動
させるようにしてあり、このため高光屈折体15のヒンジ
部14a 、14b との連繋部が交互に上下し、該高光屈折体
15は天秤状に振動することになり、即ち図２において点
Ｐを中心として揺動することになる。As shown in FIG. 1, the light beam B emitted from the optical element 11 is refracted when passing through the high light refractor 15 and
The object 6 to be scanned is irradiated through an optical path B indicated by a dashed line in FIG. The piezoelectric members 13a and 13b are oscillated with a shift of a half cycle. Therefore, the connecting portions of the high photorefractive body 15 with the hinge portions 14a and 14b alternately move up and down, and
15 oscillates like a balance, that is, oscillates about the point P in FIG.
【００２３】図２は高光屈折体15が揺動した場合の光ビ
ームＢの光路を示す図である。前記圧電部材13b が収縮
し、圧電部材13a が伸長した場合には、ヒンジ部14b 側
の辺縁が下降しヒンジ部14a 側の辺縁が上昇することに
より光素子11から発せられて高光屈折体15を透過して屈
折した光ビームＢは図２上破線で示す光路ｂ1 を介して
走査対象16に入射する。また、圧電部材13b が伸長して
圧電部材13a が収縮した場合には、光ビームＢは同図上
一点鎖線で示す光路ｂ2 を介して走査対象16に入射する
ことになる。このため、圧電部材13a 、13b の振動の一
周期で、走査対象16に対する入射部は点ｃ1 から点ｃ2
まで直線的に移動することになり、この移動によって該
走査対象16が走査される。なお、図２上実線で示す光路
ｂ0 は圧電部材13a 、13b が等しい長さにある状態の場
合のものを示している。すなわち、圧電部材13a 、13b
を振動させることにより光ビームＢが往復直線運動を行
なって走査対象16を走査することになる。FIG. 2 is a diagram showing an optical path of the light beam B when the high light refraction body 15 swings. When the piezoelectric member 13b contracts and the piezoelectric member 13a expands, the edge on the hinge portion 14b side is lowered and the edge on the hinge portion 14a side is raised, so that the light is emitted from the optical element 11 and the high photorefractive material is emitted. light beam B refracted through the 15 is incident on the scanned object 16 through the light path b 1 shown in FIG. 2 above the broken line. Further, when the piezoelectric element 13b is piezoelectric member 13a extends contracts, the light beam B to be incident on the scanned object 16 through the light path b 2 shown by the one-dot chain line diagram similar. Therefore, the piezoelectric member 13a, in one period of oscillation of 13b, the point of incidence section from point c 1 for the scanned object 16 c 2
The scanning target 16 is scanned by this movement. The optical path b 0 indicated by a solid line in FIG. 2 indicates a case where the piezoelectric members 13a and 13b are in the same length. That is, the piezoelectric members 13a, 13b
By vibrating, the light beam B performs a reciprocating linear motion to scan the scanning target 16.
【００２４】図３に示す実施形態は、走査対象を二次元
的に走査する場合に適した構造とした光走査装置20であ
る。絶縁材料からなるシャーシ21には略正方形の角部と
なる位置に４つの圧電部材22a 、22b 、23a 、23b が固
定されており、これら圧電部材22、23に、底面が略正方
形に形成された高光屈折体24が、その各辺縁の中央部で
ヒンジ部25a 、25b 、26a 、を介して連繋して支持され
ている。そして、底面の対角線の交点をシャーシ21に投
影した位置に光源である光素子27が固定されている。The embodiment shown in FIG. 3 is an optical scanning device 20 having a structure suitable for two-dimensionally scanning an object to be scanned. Four piezoelectric members 22a, 22b, 23a, and 23b are fixed to the chassis 21 made of an insulating material at substantially square corners, and the bottom surfaces of the piezoelectric members 22 and 23 are formed to be substantially square. The high light refracting body 24 is supported at the center of each edge by being connected via hinge portions 25a, 25b, 26a. An optical element 27 as a light source is fixed at a position where the intersection of the diagonal line on the bottom surface is projected on the chassis 21.
【００２５】前記高光屈折体24は、底面の各角部から立
ち上がった辺縁の長さを、一方の一対の対角位置にある
ものを等しくし、他方の一対の対角位置にあるもののう
ちの一方を最も長く他方を最も短くしてある。すなわ
ち、高光屈折体24の上部は、一の角部が最も上位に位置
し、これと対角位置にある角部が最も下位に位置し、他
の角部はこれら角部の中間の高さ位置にあり、最大の傾
斜方向は圧電部材22a 、22b を結ぶ直線に対して略４５
度の角度をなす方向としてある。The high light refracting body 24 has the same length of the edge rising from each corner of the bottom surface at one pair of diagonal positions, and at the other pair of diagonal positions. One is the longest and the other the shortest. That is, in the upper part of the high light refractor 24, one corner is located at the highest position, the corner at the diagonal position is located at the lowest position, and the other corners are at an intermediate height between these corners. Position, and the maximum inclination direction is approximately 45 degrees with respect to the straight line connecting the piezoelectric members
The direction is in degrees.
【００２６】この図３に示す実施形態に係る光走査装置
20によれば、前記圧電部材22a 、22b 、23a 、23b の振
動の周期を適宜にずらすことにより高光屈折体24は三次
元的に駆動され、これを透過した光ビームで走査対象を
二次元的に走査することができる。The optical scanning device according to the embodiment shown in FIG.
According to 20, the high photorefractive body 24 is driven three-dimensionally by appropriately shifting the vibration period of the piezoelectric members 22a, 22b, 23a, 23b, and the scanning object is two-dimensionally driven by the light beam transmitted therethrough. Can be scanned.
【００２７】図４に示す実施形態は、図１または図３に
示す実施形態に係る光走査装置10（20）を制御装置31に
よって制御するよう構成としたもので、この制御装置31
によって光素子11、27を点滅させると共に、この点滅を
圧電部材13、22、23の振動に同期させる。また、図示し
ない受光素子もこの点滅に同期させて動作させ、走査対
象16で反射された光ビームを受光するようにする。The embodiment shown in FIG. 4 is configured such that the optical scanning device 10 (20) according to the embodiment shown in FIG. 1 or FIG.
This causes the optical elements 11 and 27 to blink, and synchronizes the blinking with the vibration of the piezoelectric members 13, 22 and 23. Also, a light receiving element (not shown) is operated in synchronization with the blinking so as to receive the light beam reflected by the scanning target 16.
【００２８】この実施形態によれば、走査対象16上の任
意の位置に光ビームを照射することができると共に、照
射された走査線上の任意の情報を得ることができる。こ
のとき、図１に示す光走査装置10と制御装置31を組み合
わせた場合には、一次元の走査線上における任意の位置
の情報を得ることができ、図３に示す光走査装置20と制
御装置31とを組み合わせた場合には、二次元の走査範囲
内における任意の位置の情報を得ることができる。According to this embodiment, it is possible to irradiate an arbitrary position on the scanning target 16 with a light beam and to obtain arbitrary information on the irradiated scanning line. At this time, when the optical scanning device 10 and the control device 31 shown in FIG. 1 are combined, information of an arbitrary position on a one-dimensional scanning line can be obtained, and the optical scanning device 20 and the control device 31 shown in FIG. When 31 is combined, it is possible to obtain information on an arbitrary position within a two-dimensional scanning range.
【００２９】図５に示す実施形態では、光走査装置10
（20）と走査対象の間に結像レンズ32を介在させた構成
としたもので、光ビームの拡散を防ぎ、また色収差を補
償し、さらに走査の際の分解性能を向上させることがで
きる。In the embodiment shown in FIG.
With the configuration in which the imaging lens 32 is interposed between (20) and the object to be scanned, diffusion of the light beam can be prevented, chromatic aberration can be compensated, and resolution performance during scanning can be improved.
【００３０】さらに、図６に示すように、図５に示す実
施形態の前記光走査装置10（20）に制御装置33を接続し
て構成することもできる。すなわち、走査対象16の任意
の位置に光ビームを照射できると共に、結像レンズ32を
介在させることにより、走査対象16を走査する際の分解
性能を向上させることができ、また走査対象16の面上に
描画した画像のコントラストを向上させることができ
る。Further, as shown in FIG. 6, a control device 33 can be connected to the optical scanning device 10 (20) of the embodiment shown in FIG. That is, a light beam can be irradiated to an arbitrary position of the scanning target 16, and the resolution performance when scanning the scanning target 16 can be improved by interposing the imaging lens 32, and the surface of the scanning target 16 can be improved. The contrast of the image drawn above can be improved.
【００３１】また、図７に示す実施形態は、複数の光走
査装置10（20）を並列に配し、それぞれの走査範囲を隣
接させると共に、それぞれを制御装置34によって制御す
るよう構成したものである。この構成によれば、走査線
の延長や走査範囲の拡大を図ることができる。In the embodiment shown in FIG. 7, a plurality of optical scanning devices 10 (20) are arranged in parallel, their scanning ranges are adjacent to each other, and each is controlled by a control device 34. is there. According to this configuration, it is possible to extend the scanning line and extend the scanning range.
【００３２】また、図８に示す実施形態は、３台の光走
査装置10（20）を、これらの走査位置が略同一となるよ
うに配設し、それぞれを制御装置35によって制御するよ
うに構成したものである。そして、これら光走査装置10
（20）の光素子11（27）をそれぞれ光の三原色のうちの
一つの単波長とし、それぞれの高光屈折体15（24）をそ
の光の波長に合せたものとしてある。In the embodiment shown in FIG. 8, the three optical scanning devices 10 (20) are arranged so that their scanning positions are substantially the same, and each is controlled by the control device 35. It is composed. These optical scanning devices 10
Each of the optical elements 11 (27) of (20) has a single wavelength of one of the three primary colors of light, and each of the high light refractors 15 (24) is adapted to the wavelength of the light.
【００３３】この実施形態によれば、三原色を同一部分
に重ね合わせることにより、走査対象16の走査面にカラ
ー画像を描くことができる。According to this embodiment, a color image can be drawn on the scanning surface of the scanning target 16 by overlapping the three primary colors on the same portion.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る光
走査装置によれば、反射鏡を備える必要がなく、光素子
と光屈折手段、走査対象とを直線的に配することができ
るので、光走査装置を小型化し、この光走査装置が組み
込まれた画像処理装置を小型化することができる。As described above, according to the optical scanning device of the present invention, it is not necessary to provide a reflecting mirror, and the optical element, the light refracting means, and the object to be scanned can be arranged linearly. The optical scanning device can be downsized, and the image processing device incorporating the optical scanning device can be downsized.
【００３５】また、請求項２の発明に係る光走査装置に
よれば、単一の光屈折手段を一対の圧電部材の振動によ
る変位を利用して駆動するため、電気的に制御すること
ができ、走査線上を高速で駆動することができる。According to the optical scanning device of the second aspect of the present invention, the single light refracting means is driven by utilizing the displacement caused by the vibration of the pair of piezoelectric members, so that it can be electrically controlled. , Can be driven at high speed on the scanning line.
【００３６】また、請求項３の発明に係る光走査装置に
よれば、単一の光屈折手段を二対の圧電部材の振動によ
る変位を利用して駆動するため、電気的に制御すること
ができ、走査範囲内を高速で駆動することができる。According to the optical scanning device of the third aspect of the present invention, since the single light refracting means is driven by using the displacement caused by the vibration of the two pairs of piezoelectric members, it can be electrically controlled. It is possible to drive at high speed within the scanning range.
【００３７】また、請求項４の発明に係る光走査装置に
よれば、ヒンジ部によって光屈折手段を支持しているか
ら、該光屈折手段を振動手段の動作に確実に追従させて
駆動することができると共に、光屈折手段を安定して駆
動させることができる。According to the optical scanning device of the fourth aspect of the present invention, since the light refracting means is supported by the hinge portion, the light refracting means can be driven to reliably follow the operation of the vibration means. And the light refraction means can be driven stably.
【図１】この発明の第１実施形態に係る光走査装置の概
略構造を示す図で、中央部縦断面図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic structure of an optical scanning device according to a first embodiment of the present invention, and is a longitudinal sectional view at a central portion.
【図２】第１実施形態に係る光走査装置の動作を説明す
るための断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an operation of the optical scanning device according to the first embodiment.
【図３】第２実施形態に係る光走査装置の概略構造を示
す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a schematic structure of an optical scanning device according to a second embodiment.
【図４】第３実施形態に係る光走査装置の構成を説明す
る図で、第１、第２実施形態の改良に係るものである。FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to a third embodiment, and relates to an improvement of the first and second embodiments.
【図５】第４実施形態に係る光走査装置の構成を説明す
る図で、第１、第２実施形態の改良に係るものである。FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to a fourth embodiment, and relates to an improvement of the first and second embodiments.
【図６】第５実施形態に係る光走査装置の構成を説明す
る図で、第４実施形態の改良に係るものである。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to a fifth embodiment, and relates to an improvement of the fourth embodiment.
【図７】第６実施形態に係る光走査装置の構成を説明す
る図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to a sixth embodiment.
【図８】第７実施形態に係る光走査装置の構成を説明す
る図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to a seventh embodiment.
【図９】従来の光走査装置の概略構成を示す斜視図であ
る。FIG. 9 is a perspective view showing a schematic configuration of a conventional optical scanning device.
【図１０】従来の他の構成による光走査装置の概略を示
す図である。FIG. 10 is a diagram schematically showing an optical scanning device having another conventional configuration.
10 光走査装置 11 光素子 12 シャーシ 13a、13b 圧電部材 14a、14b ヒンジ部 15 高光屈折体 16 走査対象 20 光走査装置 21 シャーシ 22a、22b、23a、23b 圧電部材 24 高光屈折体 25a、25b、26a、26b ヒンジ部 27 光素子 31 制御装置 32 結像レンズ 33 制御装置 34 制御装置 35 制御装置 10 Optical scanning device 11 Optical element 12 Chassis 13a, 13b Piezoelectric member 14a, 14b Hinge part 15 High light refractor 16 Scan target 20 Optical scanning device 21 Chassis 22a, 22b, 23a, 23b Piezoelectric member 24 High light refractor 25a, 25b, 26a , 26b Hinge part 27 Optical element 31 Control device 32 Imaging lens 33 Control device 34 Control device 35 Control device
Claims (8)
に照射して該走査対象を該光ビームによって走査する光
走査装置において、 走査対象の走査面に対向した位置に光源を設け、 前記光源と走査対象との間に光屈折手段を設け、 前記光屈折手段の縁部を振動手段に連繋させ、 前記光屈折手段を揺動させながら前記光ビームを透過さ
せて該透過光を走査対象に照射して走査することを特徴
とする光走査装置。An optical scanning device that irradiates a light beam emitted from a light source onto a scanning target and scans the scanning target with the light beam, wherein a light source is provided at a position facing a scanning surface of the scanning target. A light refracting means is provided between the object to be scanned and the edge of the light refracting means is connected to a vibrating means. The light beam is transmitted while oscillating the light refracting means to irradiate the transmitted light with the transmitted light. An optical scanning device characterized in that scanning is performed.
その一対の対辺の辺縁を前記振動手段に連繋させたこと
を特徴とする光走査装置。2. The light refracting means is formed in a substantially rectangular shape.
An optical scanning device wherein the edges of the pair of opposite sides are connected to the vibration means.
その全ての辺縁を前記振動手段に連繋させたことを特徴
とする光走査装置。3. The light refracting means is formed in a substantially rectangular shape.
An optical scanning device wherein all edges are connected to the vibration means.
ジ部を介して連繋させたことを特徴とする請求項１ない
し請求３のいずれかに記載の光走査装置。4. The optical scanning device according to claim 1, wherein the light refracting means and the vibration means are connected via a hinge.
ことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに
記載の光走査装置。5. An optical scanning device according to claim 1, wherein said light refracting means is formed in a prism shape.
特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の
光走査装置。6. The optical scanning device according to claim 1, wherein a piezoelectric element is used as said vibration means.
装置を複数台並設し、それぞれの光走査装置の走査範囲
を隣接させたことを特徴とする光走査装置。7. An optical scanning device, comprising a plurality of optical scanning devices according to claim 1 arranged side by side, and a scanning range of each optical scanning device being adjacent to each other.
装置を複数台並設し、それぞれの光走査装置の走査範囲
を重畳させたことを特徴とする光走査装置。8. An optical scanning device comprising a plurality of optical scanning devices according to claim 1 arranged side by side, and a scanning range of each optical scanning device being superimposed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11214992A JP2001042248A (en) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | Optical scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11214992A JP2001042248A (en) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | Optical scanner |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001042248A true JP2001042248A (en) | 2001-02-16 |
Family
ID=16664917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11214992A Withdrawn JP2001042248A (en) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | Optical scanner |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001042248A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004024859A1 (en) * | 2004-05-19 | 2005-12-15 | Diehl Bgt Defence Gmbh & Co. Kg | Optical arrangement for a seeker head |
| US7272272B2 (en) | 2002-10-01 | 2007-09-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical deflector based on photonic bandgap structure |
| JP2009050005A (en) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Itt Manufacturing Enterprises Inc | Method and apparatus for steering and stabilizing radio-frequency beam using photonic crystal structure |
| CN102981245A (en) * | 2012-12-25 | 2013-03-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Two-dimensional transmissive fast reflecting mirror |
-
1999
- 1999-07-29 JP JP11214992A patent/JP2001042248A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
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| JP2009050005A (en) * | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Itt Manufacturing Enterprises Inc | Method and apparatus for steering and stabilizing radio-frequency beam using photonic crystal structure |
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