JP2001034916A - Composite thin film magnetic head and storage comprising the same - Google Patents

Composite thin film magnetic head and storage comprising the same

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JP2001034916A
JP2001034916A JP20666299A JP20666299A JP2001034916A JP 2001034916 A JP2001034916 A JP 2001034916A JP 20666299 A JP20666299 A JP 20666299A JP 20666299 A JP20666299 A JP 20666299A JP 2001034916 A JP2001034916 A JP 2001034916A
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JP
Japan
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magnetic
shield layer
magnetic shield
film
magnetic head
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JP20666299A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayoshi Kagawa
昌慶 香川
Harunobu Saito
治信 斉藤
Shuichi Kojima
修一 小島
Koji Okazaki
幸司 岡崎
Kenji Ishikake
賢治 石掛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the so-called popcorn noise which is a spike-like random noise component appearing in a reproduction output immediately after a recording operation by forming an upper magnetic shielding layer comprising a first magnetic shielding layer, with a thickness in a specific range, close to a magneto-resistance effect sensor for reproduction and a second magnetic shielding layer deposited onto the first magnetic shielding layer. SOLUTION: An upper magnetic shielding layer 16 is composed of a portion (underlying film) 16a (first magnetic shielding layer) close to an MR sensor section 14 and the other portion (upper magnetic shielding layer portion) 16b (second magnetic shielding layer) than the underlying film 16a of the upper magnetic shielding layer 16, and the thickness of the underlying film 16a is in the range from 0.1 μm to 1.0 μm. Permalloy containing nickel(Ni) and iron as its main components is used as the underlying film 16a, and the underlying film 16a is deposited by sputtering to achieve a desired thickness and magnetostriction constant. It is desirable that the composition of Ni in the underlying film 16a is in the range from 81.5% to 85% and the magnetostriction constant of the underlying film 16a is in the range from 0 to -5×10-6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置等
に用いる記録用磁気ヘッドと再生用磁気ヘッドを複合し
た複合型薄膜磁気ヘッド及びそれを用いた記憶装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite thin-film magnetic head in which a recording magnetic head and a reproducing magnetic head are combined for use in a magnetic disk drive or the like, and a storage device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置等の記録密度の
高密度化に伴い記録再生兼用のインダクティブ型磁気ヘ
ッドに替り、記録動作を従来のインダクティブ型磁気ヘ
ッドを用い、記録の読み出しを磁気抵抗効果(MR)セ
ンサを用いて行う記録再生複合型薄膜磁気ヘッド(以
下、MRヘッドと略す)が用いられるようになってき
た。
2. Description of the Related Art In recent years, with the increase in the recording density of magnetic disk devices and the like, the recording operation has been replaced with an inductive type magnetic head for both recording and reproduction. A combined read / write thin-film magnetic head (hereinafter abbreviated as MR head) using an (MR) sensor has been used.

【0003】磁気記録媒体に記録されたデータを読み取
るために、MRヘッドの磁気抵抗効果センサ部分は、2
つの磁気シールド層の間に配置される必要がある。これ
らの磁気シールド層は下部シールド層及び上部シールド
層兼下部磁気コアと呼ばれている。米国特許第4639
806号公報には、2つの磁気シールド層の間に配置さ
れた磁気抵抗効果センサ部を含むMRヘッドが開示され
ている。更に同公報には、磁気シールド層の材料とし
て、NiZn(ニッケル・亜鉛)フェライト、MnZn
(マンガン・亜鉛)フェライト、一般にセンダストと呼
称されるFeAlSi(鉄・アルミニウム・シリコン)
系合金、及び一般にパーマロイと呼称されるNiFe
(ニッケル・鉄)系合金等の高い透磁率を持つ磁性材料
で作られることが開示されている。
In order to read data recorded on a magnetic recording medium, the magnetoresistive sensor portion of the MR head has two
It must be arranged between two magnetic shield layers. These magnetic shield layers are called a lower shield layer, an upper shield layer and a lower magnetic core. US Patent No. 4639
No. 806 discloses an MR head including a magnetoresistive sensor portion disposed between two magnetic shield layers. Further, the same publication discloses that NiZn (nickel / zinc) ferrite, MnZn
(Manganese / zinc) ferrite, FeAlSi (iron / aluminum / silicon) commonly called sendust
Alloys and NiFe commonly called permalloy
It is disclosed that it is made of a magnetic material having a high magnetic permeability, such as a (nickel / iron) alloy.

【0004】また、特開昭59−90222号公報には
アモルファス磁性膜をMRヘッドの磁気シールド層とす
ることが示されており、特にアモルファス磁性膜として
CoNbZr(コバルト・ニオブ・ジルコニウム)合金
を用いて、透磁率及び飽和磁束密度のいずれもが従来の
シールド層材料に比べ優れた特性を持つことが開示され
ている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-90222 discloses that an amorphous magnetic film is used as a magnetic shield layer of an MR head. It is disclosed that both the magnetic permeability and the saturation magnetic flux density have characteristics superior to those of the conventional shield layer material.

【0005】従来の記録再生兼用のインダクティブ型磁
気ヘッドでは、記録動作を行った直後に再生出力を測定
すると、しばしば通称ポップコーンノイズ、又はライト
後ノイズと呼ばれるスパイク状のランダムなノイズ成分
が現れことがある。これは記録時と再生時に同じ磁気コ
アを使用するため、記録磁界で大きく動かされた磁気コ
アの磁気モーメントが元の状態に戻る前に、ある準安定
な状態になり、そこから元の状態へある時間的な遅れを
持って戻る際にこのようなノイズが現れると理解されて
いる。
In a conventional inductive magnetic head for both recording and reproduction, when the reproduction output is measured immediately after the recording operation, a spike-like random noise component often called popcorn noise or post-write noise often appears. is there. Since the same magnetic core is used for recording and reproduction, the magnetic moment of the magnetic core largely moved by the recording magnetic field becomes a metastable state before returning to the original state, and then returns to the original state. It is understood that such noise appears when returning with a certain time delay.

【0006】従来の記録再生兼用のインダクティブ型磁
気ヘッドでは、磁気コアのプロセス中にかかる応力及び
磁気コアの磁気特性をコントロールすることにより、例
えば、Fe(鉄)とNi(ニッケル)の組成を変えた
り、不純物を入れたりすることにより、このようなポッ
プコーンノイズの発生を抑制している。
In a conventional inductive magnetic head for both recording and reproduction, the stress applied during the process of the magnetic core and the magnetic characteristics of the magnetic core are controlled to change the composition of Fe (iron) and Ni (nickel), for example. The generation of such popcorn noise is suppressed by adding impurities or adding impurities.

【0007】記録再生複合型薄膜磁気ヘッドでは記録用
のインダクティブ型磁気ヘッドと再生用の磁気抵抗効果
(MR)センサとにわかれているため、記録用磁気ヘッ
ドに相当する上部磁気シールド、記録用上部磁気コアの
磁気特性を記録再生兼用のインダクティブ型磁気ヘッド
と同様に磁歪定数を含めた磁気特性をコントロールする
ことにより、ポップコーンノイズの発生を抑制できると
考えられていた。
In the combined read / write thin film magnetic head, an inductive magnetic head for recording and a magnetoresistive (MR) sensor for reproduction are divided into an upper magnetic shield corresponding to the magnetic head for recording and an upper magnetic recording head. It has been considered that the generation of popcorn noise can be suppressed by controlling the magnetic characteristics of the magnetic core, including the magnetostriction constant, as in the inductive type magnetic head for both recording and reproduction.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、本発明者等の
調査、研究によって、上部磁気シールドのさらにMRセ
ンサーに近い部分の領域の磁気的な不安定性がこのよう
なポップコーンノイズの発生源になっていることが明ら
かとなった。従って、必ずしも上部磁気シールド全体の
磁気特性をコントロールすることだけではこのようなポ
ップコーンノイズの発生を抑制できないことが分かっ
た。
However, according to the investigation and research conducted by the present inventors, the magnetic instability in the area of the upper magnetic shield which is closer to the MR sensor is a source of such popcorn noise. It became clear that. Therefore, it has been found that the generation of such popcorn noise cannot be suppressed only by controlling the magnetic characteristics of the entire upper magnetic shield.

【0009】本発明の目的は、上述した問題点を解決
し、記録動作を行った直後に再生出力に現れる通称ポッ
プコーンノイズと呼ばれるスパイク状のランダムなノイ
ズ成分を低減した複合型薄膜磁気ヘッド及びそれを用い
た記憶装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and to reduce a spike-like random noise component called popcorn noise which appears in a reproduced output immediately after performing a recording operation, and a composite thin-film magnetic head therefor. And a storage device using the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては上部磁気シールドのMRセンサー
に近い部分の領域の磁気的な不安定性を無くしている。
本発明は上述した目的を達成するため、上部磁気シール
ドを2層とし、MRセンサーに近い部分の磁気特性をポ
ップコーンノイズが減少するようにコントロールするこ
とによってポップコーンノイズを抑制する。
In order to achieve the above object, the present invention eliminates magnetic instability in the area of the upper magnetic shield near the MR sensor.
In order to achieve the above object, the present invention suppresses popcorn noise by using two layers of upper magnetic shields and controlling the magnetic characteristics of a portion near the MR sensor so that popcorn noise is reduced.

【0011】本発明では、記録再生分離型複合型薄膜磁
気ヘッドの上部磁気シールド層を2層とし、そのMRセ
ンサーに近い側の膜厚、組成、磁気特性を適正化するこ
とによって、記録動作を行った時の磁界で大きく動かさ
れた上部磁気シールドの磁気モーメントが元の状態に戻
る祭に時間的な遅れを持たないようにすることによっ
て、通称ポップコーンノイズと呼ばれる記録動作直後に
再生波形に現れるスパイク状のランダムなノイズ成分を
抑制した磁気ヘッドを提供することができる。
According to the present invention, the recording operation is performed by making the upper magnetic shield layer of the read / write separated composite type thin film magnetic head two layers and optimizing the film thickness, composition, and magnetic characteristics on the side near the MR sensor. The magnetic moment of the upper magnetic shield, which is greatly moved by the magnetic field when it is performed, does not have a time delay in the festival that returns to the original state, so that it appears in the reproduced waveform immediately after the recording operation commonly called popcorn noise A magnetic head in which spike-like random noise components are suppressed can be provided.

【0012】本発明の目的を達成するために、本発明に
よる複合型薄膜磁気ヘッドは、下部磁気シールド層、再
生用磁気抵抗効果センサー、上部磁気シールド層、記録
用上部磁気コア及び記録動作用砺磁コイルからなる複合
型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁気シールド層を
前記再生用磁気抵抗効果センサーに近い第1の磁気シー
ルド層と前記第1の磁気シールド層に成膜された第2の
磁気シールド層のから構成し、前記第1磁気シールド層
の厚さを0.1μm〜1.0μmとすることを特徴とす
る。
In order to achieve the object of the present invention, a composite thin-film magnetic head according to the present invention comprises a lower magnetic shield layer, a magnetoresistive sensor for reproduction, an upper magnetic shield layer, an upper magnetic core for recording, and a recording operation. In a composite type thin film magnetic head comprising a magnetic coil, the upper magnetic shield layer is formed on a first magnetic shield layer close to the reproducing magnetoresistive sensor and a second magnetic shield formed on the first magnetic shield layer. And wherein the first magnetic shield layer has a thickness of 0.1 μm to 1.0 μm.

【0013】前記第1の磁気シールド層にニッケル及び
鉄を主成分とするパーマロイを用い、前記第1の磁気シ
ールド層をスパッタリング法を用いて成膜し、所望の組
成、磁歪定数を得ると好適である。また、前記第1の磁
気シールド層にニッケル及び鉄を主成分とするパーマロ
イを用い、そのニッケルの組成が81.5%〜85%の
範囲とすると好適である。
It is preferable that the first magnetic shield layer is made of permalloy containing nickel and iron as main components and the first magnetic shield layer is formed by a sputtering method to obtain a desired composition and magnetostriction constant. It is. Further, it is preferable that permalloy containing nickel and iron as main components is used for the first magnetic shield layer, and the nickel composition is in the range of 81.5% to 85%.

【0014】また、前記第1の磁気シールド層にニッケ
ル及び鉄を主成分とするパーマロイを用い、その磁歪定
数を0〜−5×10-6の範囲にすると好適である。本発
明の目的を達成するために、本発明による記憶装置は、
下部磁気シールド層、再生用磁気抵抗効果センサー、上
部磁気シールド層、記録用上部磁気コア及び記録動作用
砺磁コイルとを備え、前記上部磁気シールド層を前記再
生用磁気抵抗効果センサーに近い第1の磁気シールド層
と前記第1の磁気シールド層に成膜された第2の磁気シ
ールド層から構成し、前記第1の磁気シールド層の厚さ
を0.1μm〜1.0μmとする複合型薄膜磁気ヘッド
を用い、前記複合型磁気ヘッドによって、情報を磁気デ
ィスクに記憶させることを特徴とする。
It is preferable that permalloy containing nickel and iron as main components is used for the first magnetic shield layer, and the magnetostriction constant is in the range of 0 to −5 × 10 −6 . In order to achieve the object of the present invention, a storage device according to the present invention comprises:
A lower magnetic shield layer, a magnetoresistive sensor for reproduction, an upper magnetic shield layer, an upper magnetic core for recording, and a magnetic coil for recording operation, wherein the upper magnetic shield layer is a first magnetic layer close to the magnetoresistive sensor for reproduction. And a second magnetic shield layer formed on the first magnetic shield layer, wherein the thickness of the first magnetic shield layer is 0.1 μm to 1.0 μm. A magnetic head is used, and information is stored on a magnetic disk by the composite magnetic head.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明による複合型薄膜磁
気ヘッド及びそれを用いた記憶装置の実施の形態に付い
て、実施例を用い、図面を参照して説明する。図1は本
発明に係わる記録再生複合型薄膜磁気ヘッドの一実施例
を示す一部断面斜視図である。図1はヘッドを斜め上方
向から見た鳥瞰図であり、複合型薄膜磁気ヘッドは、基
板10、ベース膜層11、下部磁気シールド層12、絶
縁層13、MRセンサー部14、ハードバイアス層2
0、電極層15、上部磁気シールド層16、有機絶縁膜
層17、励磁用コイル18、書込用上部磁気コア19等
から構成される。なお、ハードバイアス層20は、例え
ば永久磁石で構成されており、MRセンサ部14の磁化
の方向を一定にする。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a composite thin-film magnetic head according to the present invention and a storage device using the same. FIG. 1 is a perspective view, partly in section, showing one embodiment of a combined read / write thin film magnetic head according to the present invention. FIG. 1 is a bird's-eye view of the head viewed obliquely from above. The composite thin-film magnetic head has a substrate 10, a base film layer 11, a lower magnetic shield layer 12, an insulating layer 13, an MR sensor unit 14, and a hard bias layer 2.
0, an electrode layer 15, an upper magnetic shield layer 16, an organic insulating film layer 17, an exciting coil 18, an upper magnetic core 19 for writing, and the like. The hard bias layer 20 is made of, for example, a permanent magnet and makes the direction of magnetization of the MR sensor unit 14 constant.

【0016】図1において、従来の磁気ヘッドと異なる
点は、上部磁気シールド層16をMRセンサーに近い部
分16a(以下下地膜16aと言う。)と他の部分16
b(以下、上部磁気シールド層部分16bと言う)の2
層に分けたことである。現在では、上部磁気シールド層
部分16bにはパーマロイ合金が多く使用されている。
MR、GMRヘッドに対してこのパーマロイ膜を成膜す
る場合、めっきにて成膜するのが一般的になっている。
In FIG. 1, the difference from the conventional magnetic head is that the upper magnetic shield layer 16 has a portion 16a close to the MR sensor (hereinafter referred to as a base film 16a) and other portions 16.
b (hereinafter referred to as the upper magnetic shield layer portion 16b)
It is divided into layers. At present, a permalloy alloy is often used for the upper magnetic shield layer portion 16b.
When this permalloy film is formed on an MR or GMR head, it is general to form the film by plating.

【0017】めっき法にて、上部磁気シールド層16b
を成膜する際、導電用の下地膜16aには種々の金属が
用いられるが、最近ではめっき膜と同様のパーマロイ合
金を用いるのが一般的でありスパッタリング法にて形成
される。このとき上部磁気シールド層部分16bに対す
る下地膜16aの磁気的な効果をできるだけ減らすため
に、この下地膜16aは0.1μm未満の膜厚で形成さ
れることが多い。
The upper magnetic shield layer 16b is formed by plating.
When forming a film, various metals are used for the conductive base film 16a, but recently, a permalloy alloy similar to the plating film is generally used, and is formed by a sputtering method. At this time, in order to reduce the magnetic effect of the underlying film 16a on the upper magnetic shield layer portion 16b as much as possible, the underlying film 16a is often formed with a thickness of less than 0.1 μm.

【0018】本発明では、これとは逆に下地膜16aの
厚みを0.1μm以上とし、膜組成の制御性に優れるス
パッタリング法を用いてMRセンサー近傍の膜組成を制
御することによって、MRセンサー近傍のシールド層の
磁気的な不安定性をなくし、安定な記録再生分離型複合
型薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
In the present invention, on the contrary, the thickness of the base film 16a is set to 0.1 μm or more, and the film composition in the vicinity of the MR sensor is controlled by using a sputtering method excellent in controllability of the film composition. It is possible to provide a stable recording / reproducing separation type composite thin film magnetic head by eliminating the magnetic instability of the nearby shield layer.

【0019】ポップコーンノイズを減少するにはMRセ
ンサー近傍の磁気シールド層、特に下地膜16aと上部
磁気シールド層部分16bの磁歪定数を安定にする必要
がある。下地膜16aが0.1μm未満の場合、磁歪定
数は上部磁気シールド層部分16bによって決まるが、
下地膜16aを0.1μm以上にすると、下地膜16a
の影響が強くなるため、下地膜16aの組成を制御する
ことによって、磁歪定数を制御することが出来る。ま
た、下地膜自体を厚くしてシールド全体をスパッタリン
グ法によって形成する場合、成膜時の温度上昇その他の
問題から、厚くできても1μm程度が限界である。従っ
て、本実施例においては、下地膜16aを0.1μm〜
1μmとし、スパッタリング法によって、下地膜16a
の組成を制御する。
In order to reduce the popcorn noise, it is necessary to stabilize the magnetostriction constant of the magnetic shield layer near the MR sensor, especially the underlayer 16a and the upper magnetic shield layer portion 16b. When the thickness of the underlayer 16a is less than 0.1 μm, the magnetostriction constant is determined by the upper magnetic shield layer portion 16b.
When the thickness of the base film 16a is 0.1 μm or more, the base film 16a
, The magnetostriction constant can be controlled by controlling the composition of the base film 16a. Further, when the entire shield is formed by a sputtering method by increasing the thickness of the base film itself, the thickness is limited to about 1 μm even if the thickness can be increased due to a rise in temperature during film formation and other problems. Therefore, in this embodiment, the thickness of the base film 16a is set to 0.1 μm to
1 μm, and the base film 16a is formed by sputtering.
To control the composition of

【0020】図2はパーマロイ下地膜のNi組成とポッ
プコーンノイズの発生率を示す特性図である。図におい
て、横軸に下地膜のNi組成の重量%NiWPを示し、
縦軸にポップコーンノイズの発生率PGを示す。このグ
ラフは下地膜の厚さを0.3μmとし、Niの重量パー
セントを変えた磁気ヘッドを製造し、このヘッドで、書
込みと読み出しを予め定められた回数を繰り返して、そ
の中に何回ノイズが発生したかをチェックすることによ
って、発生率を計算した。
FIG. 2 is a characteristic diagram showing the Ni composition of the permalloy base film and the generation rate of popcorn noise. In the figure, the abscissa indicates the weight% NiWP of the Ni composition of the underlayer,
The vertical axis shows the popcorn noise occurrence rate PG. This graph shows that a magnetic head in which the thickness of the underlayer is 0.3 μm and the weight percentage of Ni is changed is manufactured, and writing and reading are repeated a predetermined number of times with this head. The occurrence rate was calculated by checking whether or not the occurrence occurred.

【0021】この図2によると、Ni組成が81.5%
以下になるとポップコーンノイズの発生率が急激に高く
なることがわかる。また、Ni組成を85%以上にする
とポップコーンノイズではなく、波形変動、バルクハウ
ゼンノイズ等の不安定要因が表れてくることがわかって
いる。従って、下地膜16aのNi組成は82%〜85
%の間で制御することが望ましい。
According to FIG. 2, the Ni composition is 81.5%
It can be seen that the popcorn noise occurrence rate sharply rises below. It is also known that when the Ni composition is set to 85% or more, not popcorn noise but unstable factors such as waveform fluctuation and Barkhausen noise appear. Therefore, the Ni composition of the base film 16a is 82% to 85%.
It is desirable to control between%.

【0022】図3は下地膜の磁歪定数に対するポップコ
ーンノイズの不良率を示す特性図である。図において、
横軸には下地膜の磁歪定数MD(×10-6)を表わし、
縦軸はポップコーンノイズの発生率PG(%)を示す。
パーマロイの組成と磁歪定数には密接な関係が有り、N
i組成が増加すると磁歪定数は、負の方向、Ni組成が
減少すると磁歪定数は正の方向に移動する。従って、磁
歪定数で見ると0〜−5×10-6の範囲でポップコーン
ノイズの発生率は安定しているように見える このように、下地膜の磁歪定数が異なる時に上部磁気シ
ールド層部分16aで何が起こっているのかを調べるた
めに、上部磁気シールド層部分16aの表面のKerr
効果による磁区構造観察を行った。その結果を光学顕微
鏡を用いて写真を撮り、その写真を模式化して示したの
が、図4である。図4は上部磁気シールド層部分の磁区
構造を示す図であり、図4(a)は本発明による磁気抵
抗効果型磁気ヘッドを用いた場合の磁区構造を示す図で
あり、図4(b)は従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドを
用いた場合の磁区構造を示す図である。図4(a)のサ
ンプルでは磁歪定数が適正な範囲に入っており、特に磁
区構造に大きな乱れは見られないが、図4(b)のサン
プルでは、磁歪定数が適正範囲を外れており、一部分に
磁区構造の乱れ40a、40bが生じているのがわか
る。このような磁区構造の乱れ40a、40bによっ
て、記録動作を行った場合、上部磁気シールド層部分1
6bの磁気モーメントが記録時の磁界によって大きく動
かされ、元の状態に戻る祭に時間的な遅れを持ち、ポッ
プコーンノイズと呼ばれるスパイク状のランダムなノイ
ズが発生するのを理解することができる。
FIG. 3 is a characteristic diagram showing the percentage of defective popcorn noise with respect to the magnetostriction constant of the underlying film. In the figure,
The horizontal axis represents the magnetostriction constant MD (× 10 −6 ) of the underlayer,
The vertical axis indicates the popcorn noise occurrence rate PG (%).
There is a close relationship between the composition of permalloy and the magnetostriction constant.
When the i composition increases, the magnetostriction constant moves in a negative direction, and when the Ni composition decreases, the magnetostriction constant moves in a positive direction. Therefore, when viewed in terms of the magnetostriction constant, the popcorn noise generation rate appears to be stable in the range of 0 to −5 × 10 −6. Thus, when the magnetostriction constant of the base film is different, the upper magnetic shield layer portion 16a has In order to find out what is happening, the Kerr on the surface of the upper magnetic shield layer portion 16a
The magnetic domain structure was observed by the effect. The result was photographed using an optical microscope, and the photograph is schematically shown in FIG. FIG. 4 is a diagram showing a magnetic domain structure in an upper magnetic shield layer portion, and FIG. 4A is a diagram showing a magnetic domain structure when a magnetoresistive effect type magnetic head according to the present invention is used, and FIG. FIG. 3 is a diagram showing a magnetic domain structure when a conventional magnetoresistive head is used. In the sample of FIG. 4A, the magnetostriction constant is within an appropriate range, and no particular disturbance is observed in the magnetic domain structure. However, in the sample of FIG. 4B, the magnetostriction constant is out of the appropriate range. It can be seen that the magnetic domain structure disturbances 40a and 40b are generated in a part. When a recording operation is performed due to such disturbances 40a and 40b of the magnetic domain structure, the upper magnetic shield layer portion 1
It can be understood that the magnetic moment of 6b is largely moved by the magnetic field at the time of recording, and has a time delay in the festival of returning to the original state, generating a spike-like random noise called popcorn noise.

【0023】以上のことから明らかなように、下地膜1
6aの膜厚を0.1μm〜1.0μmとすることによっ
て、下地膜16aの組成を制御してポップコーンノイズ
を減少させることができる。この下地膜16aの成膜に
スパッタリング法を採用することによって、下地膜16
aのNi組成をより正確にコントロールすることが出来
る。本発明の実施例においては、このNi組成は81.
5%〜85%とすると好適であることが分かった。ま
た、本発明の実施例においては、磁歪定数を0〜5×1
-6とすると好適であることが分かった。
As is apparent from the above, the base film 1
By setting the thickness of the film 6a to 0.1 μm to 1.0 μm, the composition of the base film 16a can be controlled to reduce popcorn noise. By adopting a sputtering method for forming the base film 16a, the base film 16a is formed.
The Ni composition of a can be controlled more accurately. In the embodiment of the present invention, the Ni composition is 81.
It has been found that a range of 5% to 85% is preferable. In the embodiment of the present invention, the magnetostriction constant is set to 0 to 5 × 1.
It has been found that a value of 0 -6 is preferable.

【0024】本発明においては、上述した複合型薄膜磁
気ヘッドを磁気ディスク装置などの記憶装置に採用する
ことによって、ポップコーンノイズが減少した記憶装置
を得ることが出来る。
In the present invention, a storage device with reduced popcorn noise can be obtained by employing the above-described composite thin film magnetic head in a storage device such as a magnetic disk device.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、通称ポ
ップコーンノイズと呼ばれる記録動作直後に再生波形に
現れるスパイク状のランダムなノイズ成分を抑制した磁
気ヘッド及びそれを用いた記憶装置を得ることができ
る。
As described above, according to the present invention, a magnetic head which suppresses spike-like random noise components appearing in a reproduced waveform immediately after a recording operation, which is generally called popcorn noise, and a storage device using the same are obtained. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係わる記録再生複合型薄膜磁気ヘッド
の一実施例を示す一部断面斜視図である。
FIG. 1 is a partially sectional perspective view showing an embodiment of a combined read / write thin film magnetic head according to the present invention.

【図2】パーマロイ下地膜のNi組成とポップコーンノ
イズの発生率を示す特性図である。
FIG. 2 is a characteristic diagram showing a Ni composition of a permalloy base film and an occurrence rate of popcorn noise.

【図3】下地膜の磁歪定数に対するポップコーンノイズ
の不良率を示す特性図である。
FIG. 3 is a characteristic diagram illustrating a defect rate of popcorn noise with respect to a magnetostriction constant of a base film.

【図4】上部磁気シールド層部分の磁区構造を示す図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing a magnetic domain structure in an upper magnetic shield layer portion.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…基板、11…ベース膜層、12…下部磁気シール
ド層、13…絶縁層、14…MRセンサー部、15…ハ
ードバイアス層及び電極層、16…上部磁気シールド
層、16a…上部磁気シールド層のMRセンサー部に近
い側の部分(下地膜)、16b…上部磁気シールド層の
部分16a以外の部分(上部磁気シールド層部分)、1
7…有機絶縁膜層、18…励磁用コイル、19…書込用
上部磁気コア。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Substrate, 11 ... Base film layer, 12 ... Lower magnetic shield layer, 13 ... Insulating layer, 14 ... MR sensor part, 15 ... Hard bias layer and electrode layer, 16 ... Upper magnetic shield layer, 16a ... Upper magnetic shield layer Of the side close to the MR sensor section (underlying film), 16b... Other than the upper magnetic shield layer section 16a (upper magnetic shield layer section), 1
7: Organic insulating film layer, 18: Exciting coil, 19: Upper magnetic core for writing.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 修一 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 岡崎 幸司 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 石掛 賢治 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 Fターム(参考) 5D034 BA21 BB02 BB09 BB12 CA04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shuichi Kojima 2880 Kozu, Kozuhara-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Hitachi, Ltd.Storage Systems Division (72) Koji Okazaki 2880 Kozu, Kozu, Odawara-shi, Kanagawa Storage Hitachi, Ltd. Within System Division (72) Inventor Kenji Ishikake 2880 Kozu, Odawara-shi, Kanagawa Prefecture F-term within Storage Systems Division, Hitachi, Ltd. 5D034 BA21 BB02 BB09 BB12 CA04

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】下部磁気シールド層、再生用磁気抵抗効果
センサー、上部磁気シールド層、記録用上部磁気コア及
び記録動作用砺磁コイルからなる複合型薄膜磁気ヘッド
において、前記上部磁気シールド層を前記再生用磁気抵
抗効果センサーに近い第1の磁気シールド層と前記第1
の磁気シールド層に成膜された第2の磁気シールド層か
ら構成し、前記第1磁気シールド層の厚さを0.1μm
〜1.0μmとすることを特徴とする複合型薄膜磁気ヘ
ッド。
1. A composite thin-film magnetic head comprising a lower magnetic shield layer, a magnetoresistive sensor for reproduction, an upper magnetic shield layer, an upper magnetic core for recording, and a magnetic coil for recording operation, wherein the upper magnetic shield layer is A first magnetic shield layer close to the magnetoresistive sensor for reproduction;
And a second magnetic shield layer formed on the magnetic shield layer having a thickness of 0.1 μm.
A composite thin-film magnetic head having a thickness of 1.0 to 1.0 μm.
【請求項2】請求項1記載の複合型薄膜磁気ヘッドにお
いて、前記第1の磁気シールド層にニッケル及び鉄を主
成分とするパーマロイを用い、前記第1の磁気シールド
層をスパッタリング法を用いて成膜し、所望の組成、磁
歪定数を得ることを特徴とした複合型薄膜磁気ヘッド。
2. A composite thin-film magnetic head according to claim 1, wherein said first magnetic shield layer is made of permalloy containing nickel and iron as main components, and said first magnetic shield layer is formed by sputtering. A composite type thin film magnetic head characterized in that a desired composition and magnetostriction constant are obtained by forming a film.
【請求項3】請求項1記載の複合型薄膜磁気ヘッドにお
いて、前記第1の磁気シールド層にニッケル及び鉄を主
成分とするパーマロイを用い、そのニッケルの組成を8
1.5%〜85%の範囲とすることを特徴とする複合型
薄膜磁気ヘッド。
3. The composite thin-film magnetic head according to claim 1, wherein the first magnetic shield layer is made of permalloy containing nickel and iron as main components, and has a nickel composition of 8%.
A composite thin-film magnetic head having a range of 1.5% to 85%.
【請求項4】請求項1記載の複合型薄膜磁気ヘッドにお
いて、前記第1の磁気シールド層にニッケル及び鉄を主
成分とするパーマロイを用い、その磁歪定数を0〜−5
×10-6の範囲にすることを特徴とする複合型薄膜磁気
ヘッド。
4. A composite thin film magnetic head according to claim 1, wherein said first magnetic shield layer is made of permalloy containing nickel and iron as main components, and has a magnetostriction constant of 0 to -5.
A composite thin-film magnetic head characterized by being in the range of × 10 -6 .
【請求項5】下部磁気シールド層、再生用磁気抵抗効果
センサー、上部磁気シールド層、記録用上部磁気コア及
び記録動作用砺磁コイルとを備え、前記上部磁気シール
ド層を前記再生用磁気抵抗効果センサーに近い第1の磁
気シールド層と前記第1の磁気シールド層に成膜された
第2の磁気シールド層から構成し、前記第1の磁気シー
ルド層の厚さを0.1μm〜1.0μmとする複合型薄
膜磁気ヘッドを用い、前記複合型磁気ヘッドによって、
情報を磁気ディスクに記憶させることを特徴とする記憶
装置。
5. A magnetoresistive effect for reproduction comprising a lower magnetic shield layer, a magnetoresistive sensor for reproduction, an upper magnetic shield layer, an upper magnetic core for recording, and a magnetic coil for recording operation. A first magnetic shield layer close to the sensor; and a second magnetic shield layer formed on the first magnetic shield layer, wherein the thickness of the first magnetic shield layer is 0.1 μm to 1.0 μm. Using a composite thin film magnetic head to be, by the composite magnetic head,
A storage device for storing information on a magnetic disk.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7061726B2 (en) 2003-05-09 2006-06-13 Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. Thin film magnetic head

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