JP2001033396A - Image input apparatus - Google Patents
Image input apparatusInfo
- Publication number
- JP2001033396A JP2001033396A JP11202572A JP20257299A JP2001033396A JP 2001033396 A JP2001033396 A JP 2001033396A JP 11202572 A JP11202572 A JP 11202572A JP 20257299 A JP20257299 A JP 20257299A JP 2001033396 A JP2001033396 A JP 2001033396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- imaging
- light
- distribution
- imaged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ラインセンサカメ
ラを用いて被撮像体の欠陥検査を行う欠陥検査装置に適
用され、被撮像体における欠陥とその背景のコントラス
トを強調するための画像入力装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is applied to a defect inspection apparatus for performing a defect inspection of an object using a line sensor camera, and an image input device for enhancing the contrast between the defect in the object and its background. It is about.
【０００２】ラインセンサカメラを用いて被撮像体の欠
陥検査を行う欠陥検査装置においては、被撮像体表面を
照らす照明装置、その被撮像体の像を結像させる結像レ
ンズ、及びラインセンサカメラがその画像入力装置とし
て作用している。図６は欠陥検査装置の概略構成を示す
側面図である。欠陥検査装置１００は、被撮像体であ
る、例えばシート状の光沢フィルム３０がローラ４０に
より図面右方向に移送されているときに、その凹凸など
の欠陥を検出するものであり、光沢フィルム３０の表面
を照明する照明装置１０Ｂと、この照明装置１０Ｂによ
り照らされた光沢フィルム３０上の照明領域を撮像する
ラインセンサカメラ２０と、ラインセンサカメラ２０の
前面に設けられて、入力画像を結像させる結像レンズ５
０とを備えて構成され、照明装置１０Ｂ、結像レンズ、
ラインセンサカメラ２０が画像入力装置として用いられ
ている。2. Description of the Related Art In a defect inspection apparatus for performing a defect inspection of an object using a line sensor camera, an illumination device for illuminating the surface of the object, an imaging lens for forming an image of the object, and a line sensor camera Functions as the image input device. FIG. 6 is a side view showing a schematic configuration of the defect inspection apparatus. The defect inspection apparatus 100 detects a defect such as unevenness when a glossy film 30, which is an object to be imaged, for example, a sheet-like glossy film 30 is transported by a roller 40 to the right in the drawing. An illuminating device 10B for illuminating the surface, a line sensor camera 20 for capturing an illumination area on the glossy film 30 illuminated by the illuminating device 10B, and a front surface of the line sensor camera 20 for forming an input image. Imaging lens 5
0, the illumination device 10B, the imaging lens,
The line sensor camera 20 is used as an image input device.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た、単に照明装置１０Ｂと結像レンズ５０により構成さ
れる画像入力装置では、対象となる欠陥及びその背景に
よっては、欠陥信号と背景信号とのコントラストが小さ
くなり、欠陥を認識できない場合があった。However, in the above-described image input apparatus constituted simply by the illumination device 10B and the imaging lens 50, the contrast between the defect signal and the background signal depends on the target defect and its background. In some cases, the defect could not be recognized.
【０００４】そこで、本発明は、かかる従来の課題を解
決し、欠陥信号と背景信号とのコントラストを強調する
ことにより、欠陥を見落とす恐れを軽減することができ
る画像入力装置を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an image input apparatus which solves such a conventional problem and enhances the contrast between a defect signal and a background signal to reduce the risk of overlooking a defect. And
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る画像入力装置は、被撮像体を照らす
照明装置と、前記被撮像体と前記照明装置の間に配置さ
れ、前記照明装置の照明光の分布を所定の分布に調整す
る照明配位調整器と、前記被撮像体の画像入力位置の像
を生成するための結像レンズと、前記被撮像体と前記結
像レンズの間に設けられ、前記結像レンズに入射する入
射光の分布を前記照明配位調整器と協働して調整し、前
記被撮像体の背景に対する欠陥のコントラストを高める
入射光配位調整器と、結像した像の強度を電気信号に変
換するラインセンサカメラとを備えてなるものである。In order to solve the above-mentioned problems, an image input apparatus according to the present invention is provided with an illumination device for illuminating an object to be imaged, and an illumination device disposed between the object and the illumination device. An illumination configuration adjuster that adjusts a distribution of illumination light of a lighting device to a predetermined distribution; an imaging lens for generating an image of an image input position of the imaging target; the imaging target; and the imaging lens An incident light coordinator that adjusts the distribution of incident light incident on the imaging lens in cooperation with the illumination coordinator, and enhances the contrast of defects with respect to the background of the imaging object. And a line sensor camera that converts the intensity of the formed image into an electric signal.
【０００６】また、本発明は、上記画像入力装置におい
て、被撮像体面に対する照明光の入射角度をα、被撮像
体面からの光の出射角度をθとした場合に、前記照明装
置の撮像点から見た光強度分布をＩ0（α）、前記照明
配位調整器の撮像点から見た透過率分布をＭ（α）、撮
像点における背景部の光学的特性をｆB（α，θ）、撮
像点における欠陥の光学的特性をｆD（α，θ）、前記
入射光配位調整器の透過率をＴ（θ）とすると、 ＶD＝∫Ｔ（θ）・ＦD（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆD（α，θ） ＶB＝∫Ｔ（θ）・ＦB（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆB（α，θ） で表される、ＶD，ＶBの値に基づいて、前記照明配位調
整器の透過率分布及び前記入射光配位調整器の透過率を
定めるようにしたものである。例えば、ＶD／ＶBの値を
大きくすることでコントラストを強調するようにしたも
のである。Further, the present invention provides the image input device, wherein the incident angle of the illumination light to the object surface is α, and the light emission angle from the object surface is θ, The observed light intensity distribution is I 0 (α), the transmittance distribution of the illumination configuration adjuster viewed from the imaging point is M (α), and the optical characteristic of the background at the imaging point is f B (α, θ). If the optical characteristics of the defect at the imaging point are f D (α, θ) and the transmittance of the incident light coordinator is T (θ), V D = ∫T (θ) · F D (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M ( α) I 0 (α) f D (α, θ) V B = ∫T (θ) · F B (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M (α) Based on the values of V D and V B represented by I 0 (α) f B (α, θ), the transmittance distribution of the illumination coordinator and the transmittance of the incident light coordinator are calculated. As determined It is intended. For example, the contrast is enhanced by increasing the value of V D / V B.
【０００７】このような構成によれば、被撮像体におけ
る欠陥と背景とのコントラストを強調することができ、
欠陥を見落とす恐れが軽減され、欠陥検査の信頼性を高
めることができる。According to such a configuration, the contrast between the defect in the object to be imaged and the background can be enhanced,
The risk of overlooking defects is reduced, and the reliability of defect inspection can be increased.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】図１は本発明の全体外観構成を示
す斜視図である。図１において、１は被撮像体である検
査対象物、２は照明装置、３は照明装置２と検査対象物
１の間における、照明装置前面に置かれた照明配位調整
器としての照明配位調整板、４は撮像領域である画像入
力位置、５は後述の結像レンズの前面に設けられた入射
項配位調整器としての入射光配位調整板、６は結像レン
ズ、７はラインセンサカメラである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a perspective view showing the overall appearance of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an inspection object which is an object to be imaged, 2 denotes an illumination device, and 3 denotes an illumination arrangement between the illumination device 2 and the inspection object 1 as an illumination configuration adjuster placed on the front surface of the illumination device. Position adjustment plate, 4 is an image input position which is an imaging area, 5 is an incident light position adjustment plate as an incident term position adjuster provided on the front surface of an imaging lens described later, 6 is an imaging lens, and 7 is an imaging lens. It is a line sensor camera.
【０００９】本発明の概要を、図２を用いて説明する。
図２は入射光強度と反射光強度の関係を示す図であり、
８は反射光ビームを概念的に示している。先ず、光源の
点Ｏから見た光強度分布をＩ0（α）とする。光源の前
に設置される照明配位調整板の点Ｏから見た透過率分布
をＭ（α）とすると、点Ｏで観測される光の強度分布Ｉ
（α）は次式となる。An outline of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between incident light intensity and reflected light intensity.
8 conceptually shows a reflected light beam. First, the light intensity distribution viewed from the point O of the light source is defined as I 0 (α). Let M (α) be the transmittance distribution of the illumination configuration adjustment plate installed in front of the light source as viewed from point O, and the intensity distribution I of light observed at point O
(Α) is given by the following equation.
【００１０】 Ｉ（α）＝Ｉ0（α）・Ｍ（α） （１）I (α) = I 0 (α) · M (α) (1)
【００１１】点Ｏにおける背景部の反射特性をｆ
B（α，θ）（α方向から入射した光束がθ方向に反射
される反射率）とすると、θ方向の反射光分布Ｆ
B（θ）は、次式となる。The reflection characteristic of the background portion at point O is represented by f
B (α, θ) (reflectance of light flux incident in the α direction reflected in the θ direction), the reflected light distribution F in the θ direction
B (θ) is given by the following equation.
【００１２】 ＦB（θ）＝∫Ｉ（α）・ｆB（α，θ）ｄα （２）F B (θ) = ∫I (α) · f B (α, θ) dα (2)
【００１３】点Ｏにおける欠陥部の反射特性をｆ
D（α，θ）とすると、その反射光分布ＦD（θ）は次式
となる。The reflection characteristic of the defective portion at point O is represented by f
If D (α, θ), the reflected light distribution F D (θ) is given by the following equation.
【００１４】 ＦD（θ）＝∫Ｉ（α）・ｆD（α，θ）ｄα （３）F D (θ) = ∫I (α) · f D (α, θ) dα (3)
【００１５】さらに、カメラ手前に設置する入射光配位
調整板の透過率をＴ（θ）とすると、欠陥及び背景の結
像面における光強度は、それぞれ次式で表される。Further, assuming that the transmittance of the incident light alignment adjusting plate installed in front of the camera is T (θ), the light intensity on the image plane of the defect and the background is expressed by the following equations, respectively.
【００１６】 ＶD＝∫Ｔ（θ）・ＦD（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆD（α，θ） ＶB＝∫Ｔ（θ）・ＦB（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆB（α，θ）[0016] V D = ∫T (θ) · F D (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M (α) I 0 (α) f D (α, θ) V B = ∫T (θ) · F B (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M (α) I 0 (α) f B (α, θ)
【００１７】したがって、コントラストの強調を行うに
は、ＶD／ＶBが大きくなるように、Ｔ（θ）、Ｍ（α）
を調整すればよい。そのためには、ｆD（α，θ）、ｆB
（α，θ）が既知であれば良い。Therefore, in order to enhance the contrast, T (θ) and M (α) are set so that V D / V B becomes large.
Can be adjusted. For that purpose, f D (α, θ), f B
It is sufficient that (α, θ) is known.
【００１８】そこで、光源分布を図３（ａ）のように矩
形状に仮定し、欠陥及び背景の反射特性ｆD（α，
θ）、ｆB（α，θ）を次式で表す。また、Ｍ（α）を
図３（ｂ）のように定義する。Therefore, assuming that the light source distribution is rectangular as shown in FIG. 3A, the reflection characteristics f D (α,
θ) and f B (α, θ) are represented by the following equations. Further, M (α) is defined as shown in FIG.
【００１９】 ｆD（α，θ）＝１／（２αD） α−ΔαD≦θ≦α＋ΔαD ＝０ 上記θ範囲以外F D (α, θ) = 1 / (2α D ) α−Δα D ≦ θ ≦ α + Δα D = 0 Other than the above θ range
【００２０】 ｆB（α，θ）１／（２αB） α−ΔαB≦θ≦α＋ΔαB ＝０ 上記θ範囲以外F B (α, θ) 1 / (2α B ) α−Δα B ≦ θ ≦ α + Δα B = 0 Other than the above θ range
【００２１】 Ｍ（α）＝１ α１≦α3≦α≦α4≦α2 M (α) = 1 α1 ≦ α 3 ≦ α ≦ α 4 ≦ α 2
【００２２】したがって、このときｆD（α，θ）、ｆB
（α，θ）をα3≦α≦α4の区間で見ると、図４のよう
になる。そこで、ＶD／ＶBを最大にするＴ(θ)は、図４
における、θ1≦θ≦θ2の区間であることがわかるの
で、Ｔ（θ）を次式、すなわち図５のようにとればよ
い。Therefore, at this time, f D (α, θ), f B
FIG. 4 shows (α, θ) in the section of α 3 ≦ α ≦ α 4 . Therefore, T (θ) for maximizing V D / V B is shown in FIG.
It can be seen that the section of θ 1 ≦ θ ≦ θ 2 is satisfied, so T (θ) may be obtained by the following equation, that is, as shown in FIG.
【００２３】 Ｔ（θ）＝１ θ1≦θ≦θ2 Ｔ（θ）＝０ 上記θ範囲外T (θ) = 1 θ 1 ≦ θ ≦ θ 2 T (θ) = 0 Outside the above θ range
【００２４】 ＶD＝∫Ｔ（θ）・ＦD（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆD（α，θ） ＝∫ｄθ∫Ｉ0・１／（２αD）ｄα ＝（θ2−θ1）・Ｉ0・１／（２αD）・（α4−α3）V D = ∫T (θ) · F D (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M (α) I 0 (α) f D (α, θ) = ∫dθ∫I 0 · 1 / (2α D ) dα = (θ 2 −θ 1 ) · I 0 · 1 / (2α D ) · (α 4 −α 3 )
【００２５】同様に、 ＶB＝∫Ｔ（θ）・ＦB（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆB（α，θ） ＝（θ2−θ1）・Ｉ0・１／（２αB）・（α4−α3）[0025] Similarly, V B = ∫T (θ) · F B (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M (α) I 0 (α) f B (α, θ) = (θ 2 -θ 1 ) · I 0 · 1 / (2α B ) · (α 4 −α 3 )
【００２６】したがって、このとき、欠陥信号と背景信
号との比である、Ｓ／Ｎは、ＶD／ＶB＝（αD／αB）と
なる。Therefore, at this time, S / N, which is the ratio between the defect signal and the background signal, is V D / V B = (α D / α B ).
【００２７】なお、上述した実施の形態は、被撮像体に
照明光を照射し、その反射光をカメラに入力させる反射
型の画像入力装置について説明したが、本発明は、被撮
像体を透過した照明光をカメラに入力させる透過型につ
いても適用できることは言うまでもない。In the above-described embodiment, the reflection type image input device for irradiating the object to be illuminated with the illumination light and inputting the reflected light to the camera has been described. It goes without saying that the present invention can also be applied to a transmission type in which the obtained illumination light is input to a camera.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は、被撮像体を照らす照明装置と、前記被撮像体と前記
照明装置の間に配置され、前記照明装置の照明光の分布
を所定の分布に調整する照明配位調整器と、前記被撮像
体の画像入力位置の像を生成するための結像レンズと、
前記被撮像体と前記結像レンズの間に設けられ、前記結
像レンズに入射する入射光の分布を前記照明配位調整器
と協働して調整し、前記被撮像体の背景に対する欠陥の
コントラストを高める入射光配位調整器と、結像した像
の強度を電気信号に変換するラインセンサカメラとを備
えてなるため、被撮像体における欠陥と背景とのコント
ラストを強調することができ、欠陥を見落とす恐れが軽
減され、欠陥検査の信頼性を高めることができるという
効果を奏する。As is apparent from the above description, the present invention provides an illuminating device for illuminating an object to be imaged and a distribution of illuminating light of the illuminating device arranged between the object and the illuminating device. An illumination configuration adjuster that adjusts to a predetermined distribution; and an imaging lens for generating an image of an image input position of the imaging target,
The image forming apparatus is provided between the imaging object and the imaging lens, and adjusts a distribution of incident light incident on the imaging lens in cooperation with the illumination configuration adjuster, and detects a defect with respect to a background of the imaging object. Includes an incident light coordinator that increases the contrast and a line sensor camera that converts the intensity of the formed image into an electric signal, so that the contrast between the defect in the object to be imaged and the background can be enhanced, This has the effect of reducing the risk of overlooking a defect and increasing the reliability of defect inspection.
【図１】本発明の全体外観構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the overall external configuration of the present invention.
【図２】入射光強度と反射光強度の関係を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing a relationship between incident light intensity and reflected light intensity.
【図３】（ａ）は光源の点Ｏから見た光強度分布Ｉ
0（α）の一例を示す図、（ｂ）は光源の前に設置され
る照明配位調整板の点Ｏから見た透過率分布Ｍ（α）の
一例を示す図である。FIG. 3A is a light intensity distribution I viewed from a point O of a light source.
FIG. 2B is a diagram illustrating an example of 0 (α), and FIG. 2B is a diagram illustrating an example of a transmittance distribution M (α) as viewed from a point O of an illumination coordination plate installed in front of a light source.
【図４】欠陥及び背景の反射特性ｆD（α，θ）、ｆ
B（α，θ）をα3≦α≦α4の区間で見た場合を示す図
である。FIG. 4 shows the reflection characteristics f D (α, θ) and f of the defect and the background.
FIG. 9 is a diagram illustrating a case where B (α, θ) is viewed in a section of α 3 ≦ α ≦ α 4 .
【図５】入射光配位調整板の透過率Ｔ（θ）の一例を示
す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a transmittance T (θ) of an incident light alignment adjustment plate.
【図６】従来の画像入力装置を示す外観構成図である。FIG. 6 is an external configuration diagram showing a conventional image input device.
１ 検査対象物 ２ 照明装置 ３ 照明配位調整板 ４ 画像入力位置 ５ 入射光配位調整板 ６ 結像レンズ ７ ラインセンサカメラ Ｉ0（α） 光源の点Ｏから見た光強度分布 M（α） 光源の前に設置される照明配位調整板の点Ｏ
から見た透過率分布 ｆD（α，θ） 欠陥の反射特性 ｆB（α，θ） 背景の反射特性 T（θ） 入射光配位調整板の透過率DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection object 2 Illumination device 3 Illumination arrangement adjustment plate 4 Image input position 5 Incident light arrangement adjustment plate 6 Imaging lens 7 Line sensor camera I 0 (α) Light intensity distribution M (α) viewed from point O of light source ) Point O of the lighting coordination plate installed in front of the light source
From the perspective f D (α, θ) Reflection characteristics of defects f B (α, θ) Reflection characteristics of background T (θ) Transmittance of incident light coordination plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松延 広幸 神奈川県川崎市幸区堀川町66番２ 東芝エ ンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA32 AB07 BB01 CA03 CB01 CB02 CB05 DA07 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyuki Matsunobu 66-2 Horikawa-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture F-term (reference) 2G051 AA32 AB07 BB01 CA03 CB01 CB02 CB05 DA07
Claims (2)
像体と前記照明装置の間に配置され、前記照明装置の照
明光の分布を所定の分布に調整する照明配位調整器と、
前記被撮像体の画像入力位置の像を生成するための結像
レンズと、前記被撮像体と前記結像レンズの間に設けら
れ、前記結像レンズに入射する入射光の分布を前記照明
配位調整器と協働して調整し、前記被撮像体の背景に対
する欠陥のコントラストを高める入射光配位調整器と、
結像した像の強度を電気信号に変換するラインセンサカ
メラとを備えてなる画像入力装置。An illumination device for illuminating an object to be imaged, an illumination configuration adjuster disposed between the object to be imaged and the illumination device, for adjusting a distribution of illumination light of the illumination device to a predetermined distribution,
An imaging lens for generating an image at an image input position of the imaging object; and an illumination system provided between the imaging object and the imaging lens, for distributing incident light incident on the imaging lens. An incident light alignment adjuster that adjusts in cooperation with a position adjuster to increase the contrast of a defect with respect to the background of the imaging target;
An image input device comprising: a line sensor camera that converts the intensity of a formed image into an electric signal.
α、被撮像体面からの光の出射角度をθとした場合に、
前記照明装置の撮像点から見た光強度分布をＩ
0（α）、前記照明配位調整器の撮像点から見た透過率
分布をＭ（α）、撮像点における背景部の光学的特性を
ｆB（α，θ）、撮像点における欠陥の光学的特性をｆD
（α，θ）、前記入射光配位調整器の透過率をＴ（θ）
とすると、 ＶD＝∫Ｔ（θ）・ＦD（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆD（α，θ） ＶB＝∫Ｔ（θ）・ＦB（θ）ｄθ ＝∫∫ｄθｄαＴ（θ）Ｍ（α）Ｉ0（α）ｆB（α，θ） で表される、ＶD，ＶBの値に基づいて、前記照明配位調
整器の透過率分布及び前記入射光配位調整器の透過率を
定めるようにした請求項１に記載の画像入力装置。2. When the incident angle of the illumination light with respect to the imaging target surface is α, and the emission angle of light from the imaging target surface is θ,
The light intensity distribution viewed from the imaging point of the illumination device is represented by I
0 (α), the transmittance distribution of the illumination configuration adjuster as viewed from the imaging point is M (α), the optical characteristic of the background portion at the imaging point is f B (α, θ), Characteristic is f D
(Α, θ), the transmittance of the incident light coordinator is T (θ)
When, V D = ∫T (θ) · F D (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M (α) I 0 (α) f D (α, θ) V B = ∫T (θ) · F B (θ) dθ = ∫∫dθdαT (θ) M (α) I 0 (α) f B (α, θ) where V D and V B are used to adjust the illumination configuration. 2. The image input device according to claim 1, wherein a transmittance distribution of the device and a transmittance of the incident light alignment controller are determined.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11202572A JP2001033396A (en) | 1999-07-16 | 1999-07-16 | Image input apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11202572A JP2001033396A (en) | 1999-07-16 | 1999-07-16 | Image input apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001033396A true JP2001033396A (en) | 2001-02-09 |
Family
ID=16459726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11202572A Pending JP2001033396A (en) | 1999-07-16 | 1999-07-16 | Image input apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001033396A (en) |
-
1999
- 1999-07-16 JP JP11202572A patent/JP2001033396A/en active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100958478B1 (en) | Projection display | |
| JP2006242886A (en) | Surface defect inspecting apparatus | |
| KR102082204B1 (en) | Apparatus for inspecting curved surface of cover glass | |
| JPH08334319A (en) | Method for measuring bending rate of bent plate glass | |
| JPS6118937A (en) | Lighting device of industrial telecamera | |
| JP2006349576A (en) | Lighting system for visual inspection by reflected light and transmitted light | |
| JP2001033396A (en) | Image input apparatus | |
| JPH10274515A (en) | Curved surface inspection method and camera unit for inspection | |
| JPH05264448A (en) | Smoothness measuring apparatus for coated surface | |
| US6952293B2 (en) | Document backing surface for show-through and artifact reduction | |
| JP2000121574A (en) | Flaw inspection apparatus for steel plate | |
| JP2756765B2 (en) | Document imaging devices such as copying machines | |
| JP2559763Y2 (en) | Lighting equipment for inspection | |
| JP2004246098A (en) | Painting and calligraphic work imaging apparatus | |
| JP3507171B2 (en) | Lenticular lens sheet defect inspection method | |
| JP3263043B2 (en) | Illumination device for line sensor and defect detection device using the same | |
| JPS6342617Y2 (en) | ||
| JPH10267637A (en) | Surface defect inspection device | |
| JPS6235067Y2 (en) | ||
| JPH077605A (en) | Picture reader | |
| JP3191491B2 (en) | Photo printing equipment | |
| JP2002125095A (en) | Image pickup device | |
| JP2521366B2 (en) | Illumination optics | |
| JPS6287947A (en) | Image pickup device | |
| JPH07203290A (en) | Indirect lighting device for web monitor system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060706 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060706 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061020 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090129 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090707 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090902 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100302 |