JP2001033233A - Test method for tubular and bar-like object to be tested - Google Patents
Test method for tubular and bar-like object to be testedInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、製造ライン上で実
施することができる管状および棒状被検査物の検査方法
に関し、さらに詳しくは、被検査物の外径寸法の径大ま
たは径小のような異常(以下、「外径寸法異常」とい
う)、若しくは穴明き、折れ込み、しわ、突起等の異常
(以下、「外径形状異常」と総称する)からなる「外径
異常」を検出する管状および棒状被検査物の検査方法に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of inspecting a tubular or rod-shaped inspection object which can be carried out on a production line, and more particularly, to a method for inspecting an inspection object having a large or small outside diameter. Abnormalities (hereinafter referred to as "outside diameter abnormalities") or "outside diameter abnormalities" including abnormalities such as perforations, breaks, wrinkles, and protrusions (hereinafter collectively referred to as "outer diameter shape abnormalities"). The present invention relates to a method for inspecting a tubular or rod-shaped inspection object.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から鋼材の外面異常を検出する検査
方法としては、鋼板等の被検査面が平坦なものに関して
数多く開発がなされ、種々の成果を達成している。これ
に対し、鋼管、ビレットまたは棒鋼のように被検査面が
曲率を有する管状および棒状被検査物の検査では、外径
異常があっても異常と検出せず、または外径正常部を異
常と検出するような誤検出が多発し、検出精度に限界が
ある。一方、管状および棒状被検査物の外径異常を表面
検査で検出する場合には、製造ラインとは別個の表面検
査ラインを設けなければならず、生産効率の阻害要因と
なっている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an inspection method for detecting an abnormality of an outer surface of a steel material, many inspection methods such as a steel plate having a flat surface to be inspected have been developed, and various results have been achieved. On the other hand, in the inspection of tubular and rod-shaped inspection objects such as steel pipes, billets or steel bars whose surfaces to be inspected have a curvature, even if there is an abnormality in the outer diameter, it is not detected as abnormal, or the normal outer diameter part is regarded as abnormal. There are many erroneous detections, and the detection accuracy is limited. On the other hand, in the case of detecting an outer diameter abnormality of a tubular or rod-shaped inspection object by surface inspection, a surface inspection line separate from a production line must be provided, which is a hindrance to production efficiency.
【0003】このような状況に対応するため、被検査面
が曲率を有する鋼材の検査方法についても多くの検討が
なされ、検査方法について提案がなされるようになって
いる。例えば、特開平4-303702号公報では、搬送ロール
やコーティングロールを被検査材とする検査方法および
検査装置について提案がなされている。具体的には、軸
線を中心として被検査ロールを回転させ、非接触式の距
離センサをロールの軸線と平行に移動させて、ロール表
面からの距離を連続的に検出し、ロール表面からの距離
の検出値、ロールが回転した角度、さらには距離センサ
の移動量によって、被検査ロールの表面疵の有無、発生
位置および真円度等を検査する方法である。In order to cope with such a situation, many studies have been made on an inspection method for a steel material having a surface to be inspected having a curvature, and an inspection method has been proposed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-303702 proposes an inspection method and an inspection apparatus using a transport roll or a coating roll as a material to be inspected. Specifically, the roll to be inspected is rotated around an axis, and a non-contact type distance sensor is moved in parallel with the axis of the roll to continuously detect a distance from the roll surface, and a distance from the roll surface. Is a method for inspecting the presence / absence of a surface flaw, the occurrence position, the roundness, and the like of the inspected roll based on the detected value of the roll, the angle at which the roll is rotated, and the moving amount of the distance sensor.
【0004】しかしながら、提案された方法では、軸線
を中心として被検査ロールを回転させる設備を設けなけ
ればならず、しかも、被検査ロールを回転させる際にロ
ールに揺れや振動が発生する場合には、距離センサによ
る検出ができなくなることから、これらを保証できる回
転装置を設置することになると、多大な設備投資を必要
とする。However, in the proposed method, it is necessary to provide equipment for rotating the roll to be inspected about the axis, and when the roll is shaken or vibrated when the roll to be inspected is rotated. In addition, since it becomes impossible to perform detection by the distance sensor, a large equipment investment is required when a rotating device capable of guaranteeing these is installed.
【0005】さらに、被検査材の条件に応じて、検出対
象とする外径異常の条件、例えば検出サイズを変更する
ことができないため、この方法をオンラインに適用して
も、検出対象とされなかった穴明き、折れ込み等の外径
異常部に、後続する電磁気探傷装置などの接触式探傷で
探触子が落ち込むか、または引っ掛かることによって、
設備破損が発生するという事態が起こり得る。[0005] Further, since it is not possible to change the condition of the outer diameter abnormality to be detected, for example, the detected size, according to the condition of the material to be inspected, even if this method is applied online, it is not detected. The probe is dropped or caught by the contact type flaw detection such as the electromagnetic flaw detection equipment, etc.
A situation where equipment damage occurs may occur.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の管状
および棒状被検査物の外径異常の検査における問題点に
鑑みてなされたものであり、被検査面が曲率を有する被
検査物であっても、しかも検査段階で被検査物に揺れや
振動が発生する場合であっても、被検査物の全長にわた
って外径異常をオンラインで検出できる管状および棒状
被検査物の検査方法を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems in the conventional inspection of the outer diameter of a tubular or rod-shaped inspection object, and is directed to an inspection object whose inspection surface has a curvature. Provided is a method for inspecting a tubular or rod-shaped inspection object capable of detecting an outer diameter abnormality online over the entire length of the inspection object even when the inspection object shakes or vibrates at the inspection stage. It is intended to be.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決するため、被検査面が曲率を有する、管状およ
び棒状被検査物の検査方法について種々検討した結果、
検出手段として非接触式距離計を用い、この非接触式距
離計を被検査物の搬送状況に応じて動作させることによ
って、被検査物の外形異常をオンラインで検出すること
が可能であることを明らかにした。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have conducted various studies on a method of inspecting a tubular or rod-like inspected object having a surface to be inspected having a curvature.
By using a non-contact type distance meter as the detection means and operating this non-contact type distance meter according to the transport status of the object to be inspected, it is possible to detect the external shape abnormality of the object to be inspected online. Revealed.
【0008】そして、この方法によれば、検査員の目視
検査に依存していた表面検査作業の自動化による労力軽
減に効果があるでけでなく、さらに設置する非接触式距
離計の数、被検査材の回転速度、搬送速度に応じて、検
出すべき外径異常部の条件を変更することによって、検
出精度を調整できることを知見した。[0008] According to this method, not only is the effect of reducing the labor by automating the surface inspection work relying on the visual inspection of the inspector, but also the number of non-contact type distance meters to be installed, It has been found that the detection accuracy can be adjusted by changing the conditions of the outer diameter abnormal portion to be detected according to the rotation speed and the transport speed of the inspection material.
【0009】本発明は、このような検討に基づいてなさ
れたものであり、下記(1)〜(5)の検査方法を要旨として
いる。The present invention has been made based on such studies, and has the following inspection methods (1) to (5).
【0010】(1) 回転しながら直進する管状および棒状
被検査物の検査に際し、この被検査物の中心軸に垂直な
面に中心軸から同距離で、かつ被検査物の円周方向に1
個または2個以上の非接触式距離計を固定して設置し、
前記非接触式距離計で被検査物の外表面までの距離を被
検査物の全長にわたり連続して測定し、測定された変位
量に基づいて、被検査物の外径異常を検出することを特
徴とする管状および棒状被検査物の検査方法である(以
下、「第1の検査方法」という)。(1) When inspecting a tubular or rod-shaped inspection object which is rotating and traveling straight, the inspection object is placed on a plane perpendicular to the central axis of the inspection object at the same distance from the central axis and in the circumferential direction of the inspection object.
Fixedly install two or more non-contact type distance meters,
The distance to the outer surface of the object to be inspected is continuously measured over the entire length of the object to be inspected by the non-contact type distance meter, and the outer diameter abnormality of the object to be inspected is detected based on the measured displacement. This is a characteristic inspection method for a tubular and rod-shaped inspection object (hereinafter, referred to as a “first inspection method”).
【0011】(2) 静止している管状および棒状被検査物
の検査に際し、この被検査物の中心軸に垂直な面に中心
軸から同距離で、かつ被検査物の円周方向に1個または
2個以上の非接触式距離計を設置し、前記非接触式距離
計を回転させながら被検査物の長さ方向へ移動させ、被
検査物の外表面までの距離を被検査物の全長にわたり連
続して測定し、測定された変位量に基づいて、被検査物
の外径異常を検出することを特徴とする管状および棒状
被検査物の検査方法である(以下、「第2の検査方法」
という)。(2) When inspecting a stationary tubular or rod-shaped inspection object, one object is placed on a plane perpendicular to the central axis of the inspection object at the same distance from the central axis and in the circumferential direction of the inspection object. Or, install two or more non-contact type distance meters, move the non-contact type distance meter in the length direction of the inspection object while rotating the distance measurement device, and determine the distance to the outer surface of the inspection object by the total length of the inspection object. This is a method for inspecting a tubular or rod-shaped object to be inspected, which continuously measures the diameter of the object to be inspected based on the measured amount of displacement. Method"
).
【0012】(3) 直進する管状および棒状被検査物の検
査に際し、この被検査物の中心軸に垂直な面に中心軸か
ら同距離で、かつ被検査物の円周方向に1個または2個
以上の非接触式距離計を設置し、前記非接触式距離計を
回転させ、被検査物の外表面までの距離を連続して測定
し、測定された変位量に基づいて、被検査物の外径異常
を検出することを特徴とする管状および棒状被検査物の
検査方法である(以下、「第3の検査方法」という)。(3) When inspecting a tubular or rod-like inspection object that moves straight, one or two pieces are placed on a plane perpendicular to the central axis of the inspection object at the same distance from the central axis and in the circumferential direction of the inspection object. More than one non-contact type distance meter is installed, the non-contact type distance meter is rotated, the distance to the outer surface of the inspection object is continuously measured, and based on the measured displacement, the inspection object This is a method for inspecting a tubular or rod-shaped inspection object, which is characterized by detecting an outer diameter abnormality (hereinafter, referred to as a “third inspection method”).
【0013】(4) 回転する管状および棒状被検査物の検
査に際し、この被検査物の中心軸に垂直な面に中心軸か
ら同距離で、かつ被検査物の円周方向に1個または2個
以上の非接触式距離計を設置し、前記非接触式距離計を
被検査物の長さ方向に移動させ、被検査物の外表面まで
の距離を被検査物の全長にわたり連続して測定し、測定
された変位量に基づいて、被検査物の外径異常を検出す
ることを特徴とする管状および棒状被検査物の検査方法
である(以下、「第4の検査方法」という)。(4) When inspecting a rotating tubular or rod-shaped inspection object, one or two pieces are placed on a plane perpendicular to the central axis of the inspection object at the same distance from the central axis and in the circumferential direction of the inspection object. More than one non-contact type distance meter is installed, the non-contact type distance meter is moved in the length direction of the test object, and the distance to the outer surface of the test object is continuously measured over the entire length of the test object. This is a method for inspecting a tubular or rod-shaped inspected object, which detects an outer diameter abnormality of the inspected object based on the measured displacement amount (hereinafter, referred to as a “fourth inspection method”).
【0014】(5) 上記第1〜第4の検査方法において、
非接触式距離計を2個以上設ける場合に、非接触式距離
計は管状および棒状被検査物を挟んで対向配置され、こ
の非接触式距離計で被検査物の外表面までの距離を連続
して測定し、対向する非接触式距離計で測定した変位
量、若しくは配置した全ての非接触式距離計で測定した
変位量を用いて換算することにより、被検査材の揺れや
振動の影響を受けることなくその外径異常を検出するよ
うにするのが望ましい。(5) In the first to fourth inspection methods,
When two or more non-contact type distance meters are provided, the non-contact type distance meters are arranged to face each other with the tubular and rod-shaped test object interposed therebetween, and the distance to the outer surface of the test object is continuously measured by the non-contact type distance meter. Measurement and then convert using the displacement measured by the facing non-contact distance meter or the displacement measured by all of the non-contact distance meters arranged, to determine the effect of shaking or vibration of the test object. It is desirable to detect the abnormality of the outer diameter without receiving it.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】図1は、本発明の第1〜第4の検
査方法で採用されている非接触式距離計の配置状況を示
す平面図である。同図に示すように、管状被検査物1の
検査に際し、この被検査物の中心軸3に垂直な同一面
に、その中心軸3からの距離が同じであり、同時に被検
査物1の円周方向に均等に配置されるように、所定個数
の非接触式距離計2が設置されている。図1では、円周
方向に8個の非接触式距離計2がピッチ角度45°で均等
に配置されている。FIG. 1 is a plan view showing an arrangement of a non-contact type distance meter employed in first to fourth inspection methods according to the present invention. As shown in the figure, when inspecting the tubular specimen 1, the same plane perpendicular to the central axis 3 of the specimen has the same distance from the central axis 3, and at the same time, the circle of the specimen 1 A predetermined number of non-contact type distance meters 2 are installed so as to be evenly arranged in the circumferential direction. In FIG. 1, eight non-contact type distance meters 2 are uniformly arranged at a pitch angle of 45 ° in the circumferential direction.
【0016】本発明の第1〜第4の検査方法で採用され
ている非接触式距離計は、後述の実施例でも採用してい
るように、レーザ式変位センサが多用されているが、そ
の他に、渦電流式変位センサや超音波式変位センサが採
用できる。そして、本発明の検査方法では、被検査材の
搬送動作に応じて、非接触式距離計を測定作動させるこ
とに特徴がある。As the non-contact type distance meter employed in the first to fourth inspection methods of the present invention, a laser displacement sensor is frequently used as employed in the embodiments described later. In addition, an eddy current displacement sensor or an ultrasonic displacement sensor can be adopted. Further, the inspection method of the present invention is characterized in that the non-contact type distance meter is operated for measurement in accordance with the transport operation of the material to be inspected.
【0017】図2は、第1の検査方法で採用される非接
触式距離計の配置と管状被検査物の移動方向を説明する
斜視図である。第1の検査方法では、図中の矢印で示し
ように、回転しながら直進する管状被検査物1が検査対
象となり、非接触式距離計2は被検査物の円周方向に設
置される。そして、管状被検査物1の全長にわたり、被
検査物の外表面までの距離を連続して測定するには、非
接触式距離計2を固定して設置できる。すなわち、図2
に示すように、管状被検査物1の回転と直進を組み合わ
せた、スパイラル方向への搬送動作によって、非接触式
距離計2の測定点(点線で示す)が管状被検査物1の全
長、全面に及ぶからである。FIG. 2 is a perspective view illustrating the arrangement of the non-contact type distance meter employed in the first inspection method and the moving direction of the tubular inspection object. In the first inspection method, as shown by an arrow in the drawing, a tubular inspection object 1 that moves straight while rotating is to be inspected, and a non-contact type distance meter 2 is installed in a circumferential direction of the inspection object. In order to continuously measure the distance to the outer surface of the test object over the entire length of the tubular test object 1, the non-contact type distance meter 2 can be fixedly installed. That is, FIG.
As shown in (1), the measurement point (indicated by a dotted line) of the non-contact type distance meter 2 is set to the entire length and the entire surface of the tubular test object 1 by the transport operation in the spiral direction in which the rotation and the straight movement of the tubular test object 1 are combined. Because it extends to
【0018】そして、非接触式距離計2を用いて被検査
物1の外表面までの距離を連続して測定し、測定された
変位量に基づいて、被検査物1の外径異常を検出する。
後述する図7は、実施例で検出した外径異常を例示する
ものであり、同図(a)は外径寸法異常を、(b)は穴明き、
(c)は折れ込み、しわの外径形状異常を示している。図
7から分かるように、管状被検査物の穴明き、折れ込
み、しわ等の外径形状異常部は、その部分を非接触式距
離計の測定点が通過する際に、測定される変位量が変化
することから検出され、一方、径小また径大の外形寸法
異常は、非接触式距離計が測定した変位量と予め設定し
た基準線との対比によって検出される。本発明の検査方
法では、しきい値と基準線を適切に設定することによ
り、オンラインでの検査が可能になる。Then, the distance to the outer surface of the inspection object 1 is continuously measured using the non-contact type distance meter 2, and an abnormality in the outer diameter of the inspection object 1 is detected based on the measured displacement amount. I do.
FIG. 7, which will be described later, exemplifies an outer diameter abnormality detected in the embodiment, and FIG. 7A shows an outer diameter dimension abnormality, and FIG.
(c) shows an abnormality in the outer diameter shape of the fold and wrinkles. As can be seen from FIG. 7, an abnormal portion of the outer diameter shape such as a hole, a fold, a wrinkle, or the like of the tubular test object is displaced when a measurement point of the non-contact type distance meter passes the portion. The change in the amount is detected from the change, while the small or large external dimension abnormality is detected by comparing the displacement measured by the non-contact type distance meter with a preset reference line. According to the inspection method of the present invention, an on-line inspection can be performed by appropriately setting the threshold value and the reference line.
【0019】第2の検査方法では、静止している管状お
よび棒状被検査物が対象となる。この場合には、被検査
物の全長、全面にわたって連続測定するために、非接触
式距離計は回転させながら被検査物の長さ方向へ移動さ
せる。これにより、被検査物の全長にわたって、外表面
までの距離を連続して測定できることになる。第2の検
査方法は、製造ラインのみでなく、オフラインでの検査
を想定したものであり、被検査材に発生する揺れや振動
を考慮する必要がない。In the second inspection method, a stationary tubular or rod-shaped inspection object is targeted. In this case, the non-contact type distance meter is moved in the length direction of the inspection object while rotating in order to continuously measure the entire length and the entire surface of the inspection object. Thus, the distance to the outer surface can be continuously measured over the entire length of the inspection object. The second inspection method is intended for off-line inspection as well as the production line, and does not need to consider the shaking or vibration generated in the inspection material.
【0020】第3の検査方法は、直進する管状および棒
状被検査物が対象となり、製造オンライン上であるが、
被検査材が回転することなく、直進ローラー等で搬送さ
れる場合を想定している。この場合には、非接触式距離
計を所定位置に設置され、その位置で被検査物の中心軸
の周りを回転することによって、被検査物の全長、全面
にわたって、連続して測定することが可能になる。The third inspection method is directed to a tubular and rod-shaped inspection object which goes straight, and is manufactured on-line.
It is assumed that the material to be inspected is conveyed by a straight traveling roller or the like without rotating. In this case, the non-contact type distance meter is installed at a predetermined position, and by rotating around the central axis of the inspected object at that position, it is possible to continuously measure over the entire length and entire surface of the inspected object. Will be possible.
【0021】第4の検査方法は、回転する管状および棒
状被検査物が対象とされ、オフラインでの検査が想定さ
れる。この場合には、非接触式距離計を被検査物の長さ
方向に移動させ、被検査物の外表面までの距離を、被検
査物の全長、全面にわたって連続測定する。The fourth inspection method is intended for rotating tubular and rod-shaped inspection objects, and is assumed to be an off-line inspection. In this case, the non-contact type distance meter is moved in the length direction of the inspection object, and the distance to the outer surface of the inspection object is continuously measured over the entire length and the entire surface of the inspection object.
【0022】図3は、検査中の被検査物に揺れや振動が
発生した場合での非接触式距離計による測定状況を示し
ている。検査中に揺れや振動が発生することによって、
初期位置の被検査材1から、揺れや振動後の被検査材
1’と変動するので、非接触式距離計2によって測定さ
れる変位量には、揺れや振動による変動量Lが加わるこ
とになる。このため、被検査材1表面の僅かな折れ込
み、しわ、突起については、個別の非接触式距離計2の
測定値からだけでは、識別することが困難になる。FIG. 3 shows a state of measurement by a non-contact type distance meter when an object under inspection undergoes shaking or vibration. Due to shaking and vibration during the inspection,
Since the test material 1 at the initial position fluctuates from the test material 1 ′ after shaking or vibration, the displacement L measured by the non-contact type distance meter 2 is accompanied by a fluctuation L due to shaking or vibration. Become. For this reason, it is difficult to identify slight folds, wrinkles, and protrusions on the surface of the inspection target material 1 only from the measured values of the individual non-contact type distance meters 2.
【0023】上記の場合には、図4に示すように、非接
触式距離計A〜Hを管状および棒状被検査物を挟んで対
向配置させる。すなわち、図4では、A−B、C−D、
E−FおよびG−Hの4組の対向配置が構成される。こ
の非接触式距離計で被検査物の外表面までの距離を測定
して、揺れや振動による変動量Lを含んだ測定値とし
て、S1〜S8を得る。その後、対向する非接触式距離計の
測定値S1-S2、S3-S4、S5-S6、S7-S8または、設置した全
ての非接触式距離計の測定値S1〜S8を用いて被検査物に
揺れや振動量を換算すればよい。In the above case, as shown in FIG. 4, the non-contact type distance meters A to H are arranged to face each other with the tubular and rod-shaped test objects interposed therebetween. That is, in FIG. 4, AB, CD,
Four sets of opposed arrangements of EF and GH are configured. The distance to the outer surface of the inspection object is measured by the non-contact type distance meter, and S1 to S8 are obtained as measurement values including the fluctuation amount L due to shaking or vibration. Then, using the measured values S1-S2, S3-S4, S5-S6, S7-S8 of the facing non-contact type distance meter or the measured values S1-S8 of all installed non-contact type distance meters, What is necessary is just to convert the amount of shaking and vibration.
【0024】具体的な換算要領としては、対向配置され
る非接触式距離計の測定値を用いて換算する場合には、
非接触式距離計A−Bの測定値を用いて、S=S1+S2と
換算する。また、設置した全ての非接触式距離計の測定
値を用いて換算する場合には、S=S1+S2+・・・+S6
+S7+S8と換算すればよい。このような操作をすること
によって、被検査物の揺れや振動の影響を受けることな
く、外径異常を正確に検出することができる。As a specific conversion procedure, when the conversion is performed using the measured values of the non-contact type distance meter arranged opposite to each other,
Using the measured value of the non-contact type distance meter AB, S = S1 + S2. When converting using the measured values of all the installed non-contact type distance meters, S = S1 + S2 + ... + S6
It can be converted to + S7 + S8. By performing such an operation, the outer diameter abnormality can be accurately detected without being affected by the shaking or vibration of the inspection object.
【0025】図5は、本発明の検査方法における信号処
理系のブロック図を示している。上記図4の非接触式距
離計A〜Hによって測定されたの変位データはアナログ
であるが、A/D変換器を通して、記録装置に記録し、記
録された全ての変位データS1〜S8を、演算処理部によっ
て換算して、その結果を出力する。換算して出力された
変位データを用いることによって、検査中の被検査物に
揺れや振動が発生した場合でも、外径異常を検出するこ
とができる。FIG. 5 is a block diagram of a signal processing system in the inspection method of the present invention. Although the displacement data measured by the non-contact type distance meters A to H in FIG. 4 is analog, it is recorded on a recording device through an A / D converter, and all the recorded displacement data S1 to S8 are The result is converted by the arithmetic processing unit and the result is output. By using the converted and output displacement data, it is possible to detect an outer diameter abnormality even when the inspection object under inspection undergoes shaking or vibration.
【0026】図6は、非接触式距離計の測定点を示すた
めに、管状および棒状被検査物を展開した図である。図
中の点線は、被検査材1の表面を走査する測定点を示し
ているが、この点線間の距離Dは非接触式距離計の配置
数、被検査材の回転速度および搬送速度によって調整す
ることができる。すなわち、非接触式距離計の配置数を
増やし、被検査材の回転速度を高め、若しくは搬送速度
を低めることによって、点線間の距離を狭めて、検出感
度を高めることができる。したがって、これらの調整に
より、検出すべき外径異常の大きさを変更することがで
き、例えば、接触式探傷装置の探触子が引っ掛からない
大きさの外径異常が検出できるように調整することで、
前述のような探触子が被検査材の外径異常部に引っ掛っ
て発生する設備破損を未然に防止することができる。FIG. 6 is an expanded view of a tubular and rod-shaped test object to show measurement points of the non-contact type distance meter. The dotted line in the figure indicates a measurement point for scanning the surface of the material 1 to be inspected, and the distance D between the dotted lines is adjusted by the number of non-contact type distance meters, the rotation speed and the transport speed of the material to be inspected. can do. That is, by increasing the number of non-contact type distance meters, increasing the rotation speed of the test object, or decreasing the transport speed, the distance between the dotted lines can be reduced, and the detection sensitivity can be increased. Therefore, the size of the outer diameter abnormality to be detected can be changed by these adjustments. For example, the adjustment is performed so that the outer diameter abnormality of a size that does not catch the probe of the contact flaw detector can be detected. so,
It is possible to prevent equipment damage caused by the probe as described above being caught by the outer diameter abnormal portion of the material to be inspected.
【0027】[0027]
【実施例】本発明の効果を、実施例に基づいて説明す
る。実施例では、被検査材として管状物(鋼管)を使用
して、前記図2に示すように、スパイラル方向に搬送さ
れる被検査材に対して、中心軸に垂直な面に中心軸から
同距離で、かつ被検査物の円周方向に等ピッチ間隔で8
個の非接触式距離計を設置した。次いで、非接触式距離
計から管状被検査材までの距離を連続して測定した。そ
のときの測定条件は、次の表1の通りである。EXAMPLES The effects of the present invention will be described based on examples. In the embodiment, a tubular object (steel pipe) is used as a material to be inspected, and as shown in FIG. 2, the material to be inspected conveyed in a spiral direction is placed on a plane perpendicular to the central axis from the central axis. 8 at equal intervals in the circumferential direction of the object to be inspected
We installed two non-contact type distance meters. Next, the distance from the non-contact type distance meter to the tubular inspection material was continuously measured. The measurement conditions at that time are as shown in Table 1 below.
【0028】[0028]
【表1】 [Table 1]
【0029】上記レーザ式変位センサーで測定された変
位データは、前記図5に示すように、A/D変換器を通し
て記録装置に記録し、記録された8個のセンサ全ての変
位データを演算処理部によって換算して、その結果を出
力した。As shown in FIG. 5, the displacement data measured by the laser displacement sensor is recorded in a recording device through an A / D converter, and the recorded displacement data of all eight sensors is processed. The result was output after conversion by the division.
【0030】図7は、実施例で検出された管状被検査材
(鋼管外径:280mm)での外径異常を例示する図である
が、同図(a)は径小、径大の外形寸法異常を示し、(b)、
(c)は外径形状異常のうち穴明きおよび折れ込み、しわ
を示している。FIG. 7 is a diagram illustrating an example of an outer diameter abnormality in a tubular inspection material (steel tube outer diameter: 280 mm) detected in the embodiment. FIG. Indicate abnormal dimensions, (b),
(c) shows perforations, breaks, and wrinkles among the abnormalities in the outer diameter shape.
【0031】まず、外径異常の検出に際しては、外形寸
法、真円度で設計仕様通りの管状被検査材で、かつ被検
査材に揺れや振動が無い理想的な状態にて測定した場合
に得られる測定データを基準線として求める。この基準
線に対する出力された測定データである変位量の誤差に
基づいて、外径異常の有無を判別する。図7(a)の外径
寸法異常を示すチャ−トでは、鋼管が径大異常である場
合には、各々の非接触レーザ式距離計で測定した変位量
は、基準線のそれよりも小さくなり、径小異常の場合に
は、逆に基準線のそれよりも大きくなる。First, when detecting an outer diameter abnormality, a tubular inspection material having outer dimensions and roundness according to design specifications is measured in an ideal state where the inspection material has no shaking or vibration. The obtained measurement data is obtained as a reference line. The presence or absence of an outer diameter abnormality is determined based on the error of the displacement amount that is the output measurement data with respect to the reference line. In the chart of FIG. 7 (a) showing an abnormal outer diameter, when the steel pipe has an abnormally large diameter, the displacement measured by each non-contact laser type distance meter is smaller than that of the reference line. In the case of a small diameter abnormality, on the contrary, it becomes larger than that of the reference line.
【0032】図7(b)に示す穴明き検出の場合には、レ
ーザ式変位センサーが異常部を通過する際に、その測定
値が増加し、所定の測定範囲を超え、全8個のレーザ式
変位センサーの測定値の総和(S=S1+S2+・・・+S6
+S7+S8)も、異常部で増加することになる。そのた
め、予めしきい値を設けておき、これを超える場合を穴
明きと判定することによって、穴明き異常を検出するこ
とができる。In the case of perforation detection shown in FIG. 7 (b), when the laser displacement sensor passes through an abnormal part, its measured value increases, exceeds a predetermined measurement range, and a total of eight Sum of the measured values of the laser displacement sensor (S = S1 + S2 + ... + S6
+ S7 + S8) also increases at the abnormal part. For this reason, a threshold value is set in advance, and a case where the threshold value is exceeded is determined as a hole, whereby a hole abnormality can be detected.
【0033】図7(c)に示す折れ込み、しわの検出の場
合も、レーザ式変位センサーが異常部を通過する際に、
その測定値は折れ込み、しわの無い正常部に比べて異常
部の深さに応じて増加する。したがって、検出したい異
常部の探さ(突起を検出する場合には突起部の高さ)に
応じてしきい値を設定することにより、レーザ式変位セ
ンサーの測定値の総和から、折れ込み、しわの異常を検
出することができる。In the case of detecting a fold or a wrinkle as shown in FIG. 7C, when the laser displacement sensor passes through the abnormal portion,
The measured value increases in accordance with the depth of the abnormal part as compared with a normal part without folds and wrinkles. Therefore, by setting the threshold value in accordance with the search for the abnormal part to be detected (the height of the projection part when detecting the projection), the sum of the measured values of the laser type displacement sensor can be used to determine whether there is a fold or wrinkle. Abnormality can be detected.
【0034】上述の要領に基づいて異常部検出を行っ
て、穴明き、折れ込みについて寸法を実測した結果、穴
明きは直径で95mm以上の欠陥検出が可能で、折れ込み、
しわでは、被検査材軸方向160mm、円周方法20mm、深さ1
0mm以上の検出が可能であることが明らかになった。The abnormal portion was detected based on the above-described procedure, and the dimensions of the perforations and breaks were actually measured. As a result, the perforations were able to detect defects with a diameter of 95 mm or more.
For wrinkles, 160 mm in the axial direction of the material to be inspected, 20 mm in the circumferential direction, 1 depth
It became clear that detection of 0 mm or more was possible.
【0035】さらに、変位センサーを円周方向に増設す
ることによって、より小さな穴明き、より小さな折れ込
み、しわが検出可能になることを確認している。これに
より、製造ラインでの検査に際して、必要に応じた外径
異常の検出感度の設定が可能になり、検査作業に後続す
る接触式探傷装置で探触子が被検査材の穴部に落ち込む
等の設備破損を未然に防止することができる。Further, it has been confirmed that by increasing the number of displacement sensors in the circumferential direction, it is possible to detect smaller holes, smaller breaks, and wrinkles. This makes it possible to set the detection sensitivity of the outer diameter abnormality as required during inspection on the production line, and the probe falls into the hole of the material to be inspected by the contact-type flaw detector following the inspection work. Equipment damage can be prevented beforehand.
【0036】[0036]
【発明の効果】本発明の管状および棒状被検査物の検査
方法によれば、被検査面が曲率を有する被検査物であ
り、揺れや振動が発生する場合であっても、被検査物の
全長にわたって、いかなる外径異常をも精度良くオンラ
インで検出することができる。これにより、検査員の目
視検査に依存していた外面検査作業の自動化による労力
軽減が図れ、さらに必要に応じた外径異常の検出感度の
設定が可能になるので、例えば、検査作業に後続する接
触式探傷装置での探触子の破損や設備トラブルを未然に
防止することができる。According to the method for inspecting a tubular or rod-like inspected object of the present invention, the inspected surface is an inspected object having a curvature, and even if shaking or vibration occurs, the inspected object can be inspected. Any outer diameter abnormality can be accurately detected online over the entire length. Thereby, the labor can be reduced by automating the outer surface inspection work that has been dependent on the visual inspection of the inspector, and the detection sensitivity of the outer diameter abnormality can be set as necessary. It is possible to prevent damage to the probe and equipment troubles in the contact flaw detector.
【図1】本発明の第1〜第4の検査方法で採用されてい
る非接触式距離計の配置状況を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an arrangement of a non-contact type distance meter adopted in first to fourth inspection methods of the present invention.
【図2】第1の検査方法で採用される非接触式距離計の
配置と管状被検査物の移動方向を説明する斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view for explaining an arrangement of a non-contact type distance meter employed in a first inspection method and a moving direction of a tubular inspection object.
【図3】検査中の被検査物に揺れや振動が発生した場合
での非接触式距離計による測定状況を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a measurement state by a non-contact type distance meter when a shaking or vibration occurs in an inspection object under inspection.
【図4】検査中の被検査物に揺れや振動が発生した場合
にその影響を除去するための換算操作を説明する図であ
る。FIG. 4 is a diagram for explaining a conversion operation for removing the influence of shaking or vibration occurring in the inspection object under inspection.
【図5】本発明の検査方法における信号処理系のブロッ
ク図を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a block diagram of a signal processing system in the inspection method of the present invention.
【図6】非接触式距離計の測定点を示すために、管状お
よび棒状被検査物を展開した図である。FIG. 6 is an expanded view of a tubular and rod-shaped test object to show measurement points of the non-contact type distance meter.
【図7】実施例で検出された管状被検査材(鋼管外径:
280mm)での外径異常を例示する図である。FIG. 7 shows a tubular inspection material (steel tube outer diameter:
It is a figure which illustrates the outer diameter abnormality at 280 mm).
1:被検査材、 2:非接触式距離計 3:中心軸 1: Inspection material 2: Non-contact distance meter 3: Central axis
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA26 AA48 AA49 AA51 BB06 BB08 BB15 BB16 DD14 FF09 FF11 GG04 HH04 JJ05 JJ16 MM03 MM04 PP22 QQ00 2F069 AA39 AA56 AA60 AA63 BB36 CC05 CC06 DD01 DD16 DD30 EE03 EE09 GG04 GG07 GG52 GG58 GG62 HH09 HH30 JJ06 JJ10 JJ13 JJ17 NN12 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page F term (reference) 2F065 AA26 AA48 AA49 AA51 BB06 BB08 BB15 BB16 DD14 FF09 FF11 GG04 HH04 JJ05 JJ16 MM03 MM04 PP22 QQ00 2F069 AA39 AA56 AA60 AA63 BB36 GG16 GG03 GG16 DD03 HH09 HH30 JJ06 JJ10 JJ13 JJ17 NN12
Claims (5)
査物の検査に際し、この被検査物の中心軸に垂直な面に
中心軸から同距離で、かつ被検査物の円周方向に1個ま
たは2個以上の非接触式距離計を固定して設置し、前記
非接触式距離計で被検査物の外表面までの距離を被検査
物の全長にわたり連続して測定し、測定された変位量に
基づいて、被検査物の外径異常を検出することを特徴と
する管状および棒状被検査物の検査方法。When inspecting a tubular or rod-shaped inspection object which travels straight while rotating, one surface is perpendicular to the central axis of the inspection object, at the same distance from the central axis, and one in the circumferential direction of the inspection object. Alternatively, two or more non-contact type distance meters are fixed and installed, and the distance to the outer surface of the object is continuously measured by the non-contact type distance meter over the entire length of the object, and the measured displacement is measured. A method for inspecting a tubular or rod-like inspected object, comprising detecting an outer diameter abnormality of the inspected object based on the amount.
査に際し、この被検査物の中心軸に垂直な面に中心軸か
ら同距離で、かつ被検査物の円周方向に1個または2個
以上の非接触式距離計を設置し、前記非接触式距離計を
回転させながら被検査物の長さ方向へ移動させ、被検査
物の外表面までの距離を被検査物の全長にわたり連続し
て測定し、測定された変位量に基づいて、被検査物の外
径異常を検出することを特徴とする管状および棒状被検
査物の検査方法。2. A method for inspecting a stationary tubular or rod-shaped test object, wherein one or more test pieces are arranged on a plane perpendicular to the central axis of the test object at the same distance from the central axis and in a circumferential direction of the test object. Install two or more non-contact type distance meters, move the non-contact type distance meter in the length direction of the test object while rotating, and move the distance to the outer surface of the test object over the entire length of the test object. A method for inspecting a tubular or rod-like inspected object, comprising continuously measuring and detecting an outer diameter abnormality of the inspected object based on the measured displacement amount.
際し、この被検査物の中心軸に垂直な面に中心軸から同
距離で、かつ被検査物の円周方向に1個または2個以上
の非接触式距離計を設置し、前記非接触式距離計を回転
させ、被検査物の外表面までの距離を連続して測定し、
測定された変位量に基づいて、被検査物の外径異常を検
出することを特徴とする管状および棒状被検査物の検査
方法。3. When inspecting a tubular or rod-like inspection object that moves straight, one or two pieces are placed on a plane perpendicular to the central axis of the inspection object at the same distance from the central axis and in the circumferential direction of the inspection object. Install the above non-contact type distance meter, rotate the non-contact type distance meter, continuously measure the distance to the outer surface of the inspection object,
A method for inspecting a tubular or rod-shaped test object, comprising detecting an outer diameter abnormality of the test object based on the measured displacement amount.
際し、この被検査物の中心軸に垂直な面に中心軸から同
距離で、かつ被検査物の円周方向に1個または2個以上
の非接触式距離計を設置し、前記非接触式距離計を被検
査物の長さ方向に移動させ、被検査物の外表面までの距
離を被検査物の全長にわたり連続して測定し、測定され
た変位量に基づいて、被検査物の外径異常を検出するこ
とを特徴とする管状および棒状被検査物の検査方法。4. When inspecting a rotating tubular or rod-shaped test object, one or two pieces are placed on a plane perpendicular to the central axis of the test object at the same distance from the central axis and in the circumferential direction of the test object. Install the above non-contact type distance meter, move the non-contact type distance meter in the length direction of the test object, continuously measure the distance to the outer surface of the test object over the entire length of the test object. A method for inspecting a tubular or rod-like inspected object, comprising detecting an outer diameter abnormality of the inspected object based on the measured displacement amount.
合に、非接触式距離計は管状および棒状被検査物を挟ん
で対向配置され、この非接触式距離計で被検査物の外表
面までの距離を連続して測定し、対向する非接触式距離
計で測定した変位量、若しくは配置した全ての非接触式
距離計で測定した変位量を用いて換算することにより、
被検査材の揺れや振動の影響を受けることなくその外径
異常を検出することを特徴とする請求項1〜4のいずれ
かに記載の管状および棒状被検査物の検査方法。5. When two or more non-contact type distance meters are provided, the non-contact type distance meters are arranged to face each other with a tubular and rod-shaped object to be inspected therebetween. By continuously measuring the distance to the outer surface and converting using the displacement measured by the opposed non-contact distance meter or the displacement measured by all the arranged non-contact distance meters,
The method for inspecting a tubular or rod-shaped inspection object according to any one of claims 1 to 4, wherein an abnormality in the outer diameter is detected without being affected by shaking or vibration of the inspection object.
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---|---|
JP (1) | JP2001033233A (en) |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102252644A (en) * | 2010-04-29 | 2011-11-23 | 霍梅尔-埃塔米克有限公司 | Method for determining helical structure |
CN103376070A (en) * | 2012-04-30 | 2013-10-30 | Sms米尔股份有限公司 | Method of and apparatus for 3-D imaging a pipe |
JP5465795B1 (en) * | 2013-01-15 | 2014-04-09 | 中国電力株式会社 | Outside diameter measuring device |
JP5939477B1 (en) * | 2015-03-31 | 2016-06-22 | 株式会社東京精密 | Shape measuring device |
JP2016118551A (en) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 中央発條株式会社 | Shape measurement method of coil spring and shape measurement device |
JP2016118550A (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 中央発條株式会社 | Shape measurement method and shape measurement device for coil spring |
WO2016158530A1 (en) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社東京精密 | Shape measurement device |
JP2016194519A (en) * | 2016-05-19 | 2016-11-17 | 株式会社東京精密 | Shape measuring device and shape measurement method |
JP2017181224A (en) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | Jfeスチール株式会社 | Method and device for measuring circularity of welded steel tube |
JP2018165688A (en) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 株式会社東京精密 | Shape measurement device and shape measurement method |
JP2019002719A (en) * | 2017-06-13 | 2019-01-10 | 株式会社キーエンス | Confocal displacement measuring system |
JPWO2019220674A1 (en) * | 2018-05-18 | 2020-12-10 | 三菱電機株式会社 | Heat transfer tube inspection device, heat transfer tube inspection method and program |
WO2021059429A1 (en) * | 2019-09-26 | 2021-04-01 | 大和鋼管工業株式会社 | Measurement device and measurement system |
CN112781487A (en) * | 2020-12-24 | 2021-05-11 | 浙江工业大学 | Device for detecting surface flatness of circular tube |
JP2022514406A (en) * | 2018-12-19 | 2022-02-10 | ヴァーダーグ パイプ テクノロジー リミテッド | How to inspect pipe joints for use in undersea pipelines |
JP2022131043A (en) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | 株式会社日立ビルシステム | Wire rope inspection method and inspection system |
US11852594B2 (en) | 2018-04-13 | 2023-12-26 | Maillefer S.A. | Surface scanner, an arrangement and a method for surface defect detection of a cable |
-
1999
- 1999-07-23 JP JP11209458A patent/JP2001033233A/en active Pending
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102252644A (en) * | 2010-04-29 | 2011-11-23 | 霍梅尔-埃塔米克有限公司 | Method for determining helical structure |
CN103376070B (en) * | 2012-04-30 | 2016-11-23 | Sms米尔股份有限公司 | The apparatus and method detected for the 3D of pipeline |
CN103376070A (en) * | 2012-04-30 | 2013-10-30 | Sms米尔股份有限公司 | Method of and apparatus for 3-D imaging a pipe |
JP2013231723A (en) * | 2012-04-30 | 2013-11-14 | Sms Meer Gmbh | Device and method for 3d detection of tube |
US9057601B2 (en) | 2012-04-30 | 2015-06-16 | Sms Meer Gmbh | Method of and apparatus for 3-D imaging a pipe |
JP5465795B1 (en) * | 2013-01-15 | 2014-04-09 | 中国電力株式会社 | Outside diameter measuring device |
JP2016118551A (en) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 中央発條株式会社 | Shape measurement method of coil spring and shape measurement device |
JP2016118550A (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 中央発條株式会社 | Shape measurement method and shape measurement device for coil spring |
JP5939477B1 (en) * | 2015-03-31 | 2016-06-22 | 株式会社東京精密 | Shape measuring device |
WO2016158530A1 (en) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社東京精密 | Shape measurement device |
EP3264027A4 (en) * | 2015-03-31 | 2018-09-12 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Shape measurement device |
JP2017181224A (en) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | Jfeスチール株式会社 | Method and device for measuring circularity of welded steel tube |
JP2016194519A (en) * | 2016-05-19 | 2016-11-17 | 株式会社東京精密 | Shape measuring device and shape measurement method |
JP2018165688A (en) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 株式会社東京精密 | Shape measurement device and shape measurement method |
JP2019002719A (en) * | 2017-06-13 | 2019-01-10 | 株式会社キーエンス | Confocal displacement measuring system |
US11852594B2 (en) | 2018-04-13 | 2023-12-26 | Maillefer S.A. | Surface scanner, an arrangement and a method for surface defect detection of a cable |
JPWO2019220674A1 (en) * | 2018-05-18 | 2020-12-10 | 三菱電機株式会社 | Heat transfer tube inspection device, heat transfer tube inspection method and program |
JP2022514406A (en) * | 2018-12-19 | 2022-02-10 | ヴァーダーグ パイプ テクノロジー リミテッド | How to inspect pipe joints for use in undersea pipelines |
WO2021059429A1 (en) * | 2019-09-26 | 2021-04-01 | 大和鋼管工業株式会社 | Measurement device and measurement system |
CN112781487A (en) * | 2020-12-24 | 2021-05-11 | 浙江工业大学 | Device for detecting surface flatness of circular tube |
JP2022131043A (en) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | 株式会社日立ビルシステム | Wire rope inspection method and inspection system |
JP7403490B2 (en) | 2021-02-26 | 2023-12-22 | 株式会社日立ビルシステム | Wire rope inspection method and inspection system |
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