JP2001016037A - Piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric oscillator

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JP2001016037A
JP2001016037A JP11186643A JP18664399A JP2001016037A JP 2001016037 A JP2001016037 A JP 2001016037A JP 11186643 A JP11186643 A JP 11186643A JP 18664399 A JP18664399 A JP 18664399A JP 2001016037 A JP2001016037 A JP 2001016037A
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Japan
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piezoelectric oscillator
electrode
frequency
piezoelectric
package
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JP11186643A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Serizawa
聡 芹沢
Yoshinori Ikusaka
芳則 生坂
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a miniaturized piezoelectric oscillator which can have its output oscillation frequency adjusted accurately, without the need for installing special components. SOLUTION: This piezoelectric oscillator 1 is equipped with a piezoelectric oscillating element 5, a package 11 which stores the piezoelectric oscillating element 5 and has stray capacitance, a frequency adjusting means (having stray capacitance electrode) 17 which adjusts a oscillation frequency fout by making use of the stray capacitance of the package 11, so as to provide a frequency control means VC which controls the oscillation frequency fout according to an applied voltage.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、発振周波数を制御
することができる圧電発振器の改良に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a piezoelectric oscillator capable of controlling an oscillation frequency.

【0002】[0002]

【従来の技術】図11は、従来の圧電発振器101の外
観の一例を示す斜視図である。
2. Description of the Related Art FIG. 11 is a perspective view showing an example of the appearance of a conventional piezoelectric oscillator 101.

【0003】圧電発振器101は、例えば外部からの入
力電圧によって出力する発振周波数が変化する電圧制御
型の水晶発振器(VCXO)である。圧電発振器101
は、その外観上箱状のパッケージ111でなり、その内
部に発振回路139を有する。発振回路139について
は、後述する。パッケージ111は、例えばセラミック
スを材質とし、積層してなるベース22及び、表面11
d側に設けられた図示しない蓋体を有する。圧電発振器
101は、例えばそのパッケージ111の裏面11aに
接地電極GND、制御電圧端子37、電源端子35及び
出力端子33が設けられている。
The piezoelectric oscillator 101 is, for example, a voltage-controlled crystal oscillator (VCXO) whose output oscillation frequency changes according to an external input voltage. Piezoelectric oscillator 101
Consists of a box-shaped package 111 in appearance, and has an oscillation circuit 139 therein. The oscillation circuit 139 will be described later. The package 111 is made of, for example, ceramics, and is formed by stacking a base 22 and a surface 11.
It has a lid (not shown) provided on the d side. The piezoelectric oscillator 101 is provided with a ground electrode GND, a control voltage terminal 37, a power supply terminal 35, and an output terminal 33, for example, on the back surface 11a of the package 111.

【0004】接地電極GND、制御電圧端子37、電源
端子35及び出力端子33は、それぞれ発振回路139
の電極端子(以下、単に「端子」という)であり、パッ
ケージ111の裏面11aにおいてほぼ四隅に設けられ
ている。
A ground electrode GND, a control voltage terminal 37, a power supply terminal 35, and an output terminal 33 are connected to an oscillation circuit 139, respectively.
(Hereinafter, simply referred to as “terminals”), and are provided at substantially four corners on the back surface 11 a of the package 111.

【0005】接地電極GNDは、圧電発振器101にお
いて接地をとるためのものであり、例えば0[V]と設
定されている。出力端子33は、発振回路139が出力
する発振周波数の出力端子である。制御電圧端子37
は、入力する電圧によって出力端子33から出力される
発振周波数を制御するための端子である。電源端子35
は、発振回路139の電源電圧としての後述する図12
の電源電圧Vccを圧電発振器101に入力するための
入力端子である。
The ground electrode GND is used to ground the piezoelectric oscillator 101, and is set to, for example, 0 [V]. The output terminal 33 is an output terminal of the oscillation frequency output by the oscillation circuit 139. Control voltage terminal 37
Is a terminal for controlling the oscillation frequency output from the output terminal 33 according to the input voltage. Power supply terminal 35
FIG. 12 shows the power supply voltage of the oscillation circuit 139 as shown in FIG.
Is an input terminal for inputting the power supply voltage Vcc to the piezoelectric oscillator 101.

【0006】図12は、図11の発振回路139の一例
を示す回路図である。
FIG. 12 is a circuit diagram showing an example of the oscillation circuit 139 of FIG.

【0007】以下の説明において、各素子が接地されて
いるとしている場合には、各素子が図11の接地電極G
NDに接続されていることを示している。
In the following description, when it is assumed that each element is grounded, each element is connected to the ground electrode G of FIG.
ND is connected.

【0008】発振回路139は、例えば第1の抵抗R1
〜第6の抵抗R6、第1のコンデンサC1,第2のコン
デンサC2、第1のトランジスタTR1,第2のトラン
ジスタTR2、定電圧電源Vreg、圧電振動素子5及
びバリアブルキャパシタVCを有する。以下の説明で
は、「バリアブルキャパシタ」を省略して「バリキャッ
プ」という。
The oscillation circuit 139 includes, for example, a first resistor R1
To a sixth resistor R6, a first capacitor C1, a second capacitor C2, a first transistor TR1, a second transistor TR2, a constant voltage power supply Vreg, a piezoelectric vibrating element 5, and a variable capacitor VC. In the following description, “variable capacitor” is abbreviated to “varicap”.

【0009】定電圧電源Vregは、例えば負極が接地
されており、正極が第3の抵抗R3に接続されている。
定電圧電源Vregは、電源端子35から入力される電
源電圧Vccを図示しない所定の安定化回路によってレ
ギュレーションし、定電圧化したものである。第3の抵
抗R3は、第1のトランジスタTR1のベース及び第4
の抵抗R4と接続されており、第1のトランジスタTR
1のベースに電圧を与える。第1のトランジスタTR1
は、エミッタが第2のトランジスタTR2のコレクタに
接続されており、ベースは上述のように接続されてお
り、コレクタは後述するように第1の抵抗R1及び出力
端子33に接続されている。
The constant voltage power supply Vreg has, for example, a negative electrode grounded and a positive electrode connected to the third resistor R3.
The constant voltage power supply Vreg is obtained by regulating the power supply voltage Vcc input from the power supply terminal 35 by a predetermined stabilizing circuit (not shown) to make the voltage constant. The third resistor R3 is connected to the base of the first transistor TR1 and the fourth resistor R3.
And the first transistor TR
1 to the base. First transistor TR1
Has an emitter connected to the collector of the second transistor TR2, a base connected as described above, and a collector connected to the first resistor R1 and the output terminal 33 as described later.

【0010】制御電圧端子37は、第6の抵抗R6と接
続されている。制御電圧端子37は、発振回路139の
発振周波数を制御するための上述の入力電圧を入力する
ための端子である。第6の抵抗R6は、圧電振動素子5
及び一端が接地されているバリキャップVCと接続され
ている。バリキャップVCは、例えば発振回路139が
出力する発振周波数foutを制御するために発振回路
139に設けられたキャパシタである。圧電振動素子5
は、第4の抵抗R4、一端が接地されている第5の抵抗
R5、第1のコンデンサC1の一端及び第2のトランジ
スタTR2のベースと接続されている。第1のコンデン
サC1の他端は、一端が接地されている第2のコンデン
サC2、一端が接地されている第2の抵抗R2及び、第
2のトランジスタTR2のエミッタと接続されている。
The control voltage terminal 37 is connected to a sixth resistor R6. The control voltage terminal 37 is a terminal for inputting the above-described input voltage for controlling the oscillation frequency of the oscillation circuit 139. The sixth resistor R6 is connected to the piezoelectric vibrating element 5
And one end thereof is connected to a grounded varicap VC. The varicap VC is, for example, a capacitor provided in the oscillation circuit 139 for controlling the oscillation frequency fout output from the oscillation circuit 139. Piezoelectric vibration element 5
Is connected to a fourth resistor R4, a fifth resistor R5 having one end grounded, one end of the first capacitor C1, and a base of the second transistor TR2. The other end of the first capacitor C1 is connected to a second capacitor C2 having one end grounded, a second resistor R2 having one end grounded, and an emitter of the second transistor TR2.

【0011】電源端子35は、第1の抵抗R1とも接続
されている。電源端子35は、電源電圧Vccを発振回
路139に供給するための端子である。第1の抵抗R1
は、出力端子33及び第1のトランジスタTR1のエミ
ッタと接続されている。
The power terminal 35 is also connected to the first resistor R1. The power supply terminal 35 is a terminal for supplying a power supply voltage Vcc to the oscillation circuit 139. First resistor R1
Is connected to the output terminal 33 and the emitter of the first transistor TR1.

【0012】従来の圧電発振器101において、出力端
子33から出力される発振周波数foutを制御するに
は、上述のバリキャップVC等の例えば受動部品が用い
られていた。このバリキャップVCは、可変容量ダイオ
ードともいい、このダイオードの両端に逆電圧をかける
とその電圧によって電極間容量が変化するものである。
従って、圧電発振器101は、バリキャップVCを発振
回路139に設けることで、印加する電圧によって発振
周波数を制御することができる。このような構成によっ
て、圧電発振器101は、出力端子33から出力する発
振周波数foutを調整していた。
In the conventional piezoelectric oscillator 101, for controlling the oscillation frequency fout output from the output terminal 33, for example, a passive component such as the above-described varicap VC has been used. The varicap VC is also called a variable capacitance diode. When a reverse voltage is applied to both ends of the diode, the capacitance between the electrodes changes according to the voltage.
Therefore, in the piezoelectric oscillator 101, by providing the varicap VC in the oscillation circuit 139, the oscillation frequency can be controlled by the applied voltage. With such a configuration, the piezoelectric oscillator 101 adjusts the oscillation frequency fout output from the output terminal 33.

【0013】ところが、圧電発振器101のパッケージ
11には、通常、発振回路139を構成する配線等によ
って予期しない浮遊容量が生じている。従って、圧電発
振器101は、上述のようなバリキャップVCを発振回
路139に設けても出力端子33から出力する発振周波
数foutが所定の印加電圧に対して所望の値とならな
い場合があった。
However, unexpected stray capacitance usually occurs in the package 11 of the piezoelectric oscillator 101 due to wiring and the like constituting the oscillation circuit 139. Therefore, in the piezoelectric oscillator 101, even if the varicap VC is provided in the oscillation circuit 139, the oscillation frequency fout output from the output terminal 33 may not be a desired value for a predetermined applied voltage.

【0014】このような場合に、圧電発振器101が出
力する発振周波数foutを調整する第1の方法として
は、以下のようなものがあった。
In such a case, a first method for adjusting the oscillation frequency fout output from the piezoelectric oscillator 101 is as follows.

【0015】発振回路139には、固定された値のチッ
プコンデンサと呼ばれる第3のコンデンサC3及び第4
のコンデンサC4を、それぞれ例えば図13のようにバ
リキャップVCに対して並列又は、図14のようにバリ
キャップVCに対して直列となるように設けていた。つ
まり、各圧電発振器101は、その出力端子33からの
発振周波数foutが所定の印加電圧に対して正確に所
望の値となるように、チップコンデンサがバリキャップ
VC近傍に設けられていた。
The oscillation circuit 139 includes a third capacitor C3 called a chip capacitor having a fixed value and a fourth capacitor C3.
Are provided in parallel with, for example, the varicap VC as shown in FIG. 13 or in series with the varicap VC as shown in FIG. That is, in each piezoelectric oscillator 101, the chip capacitor is provided in the vicinity of the varicap VC so that the oscillation frequency fout from the output terminal 33 becomes exactly a desired value for a predetermined applied voltage.

【0016】また、圧電発振器101が出力する発振周
波数foutを調整する第2の方法としては、トリミン
グコンデンサを使用するものがあった。このトリミング
コンデンサとは、上述のような静電容量が固定値のチッ
プコンデンサの代わりに設けた可変容量コンデンサであ
る。トリミングコンデンサは、コンデンサを構成する電
極の一部をトリミングして面積を減少させることでその
静電容量を調整することができる。
As a second method of adjusting the oscillation frequency fout output from the piezoelectric oscillator 101, there has been a method using a trimming capacitor. The trimming capacitor is a variable capacitor provided in place of the chip capacitor having a fixed capacitance as described above. The capacitance of the trimming capacitor can be adjusted by trimming a part of the electrode constituting the capacitor to reduce the area.

【0017】トリミングコンデンサの一例としては、図
15のように圧電発振器101の表面11dに設けられ
たトリミング部品125や、図17のように圧電発振器
101の表面11dと図18に示す積層面111aに設
けられたトリミング電極126がある。
As an example of a trimming capacitor, a trimming component 125 provided on the surface 11d of the piezoelectric oscillator 101 as shown in FIG. 15 or a surface 11d of the piezoelectric oscillator 101 and the laminated surface 111a shown in FIG. There is a trimming electrode 126 provided.

【0018】図15のトリミング部品125は、図16
のように例えばレーザによってその電極125aの一部
をトリミングして、電極125aの面積を変更して静電
容量を調整する。一方、図17のトリミング電極は、図
18のように積層されており、図17のレーザ切断部1
24がトリミングされることで、トリミング電極126
の静電容量を調整していた。
The trimming part 125 shown in FIG.
As described above, a part of the electrode 125a is trimmed by a laser, for example, and the area of the electrode 125a is changed to adjust the capacitance. On the other hand, the trimming electrodes of FIG. 17 are stacked as shown in FIG.
24 is trimmed, so that the trimming electrode 126 is trimmed.
Was adjusted.

【0019】このようにして、トリミングコンデンサを
設けた圧電発振器101は、出力する発振周波数を調整
することができた。
Thus, the output oscillation frequency of the piezoelectric oscillator 101 provided with the trimming capacitor could be adjusted.

【0020】また、圧電発振器101が出力する発振周
波数foutを調整する第3の方法としては、上述のト
リミングコンデンサとは逆に所定の調整用コンデンサを
構成する電極の面積を増加させることでその静電容量を
調整する方法である。具体的には、例えばパッケージ1
11に積層されたり、その表面に設けられた分割された
調整用コンデンサ同士をワイヤボンディング等で接続す
ることによって実現していた。従って、調整用コンデン
サを設けた圧電発振器101は、出力する発振周波数f
outを所定の印加電圧に対して所望の周波数とするこ
とができた。
As a third method of adjusting the oscillation frequency fout output from the piezoelectric oscillator 101, the static area is increased by increasing the area of an electrode constituting a predetermined adjusting capacitor, contrary to the above-described trimming capacitor. This is a method of adjusting the capacitance. Specifically, for example, package 1
This is realized by connecting the divided adjustment capacitors, which are stacked on the surface of the capacitor 11 or provided on the surface thereof, by wire bonding or the like. Therefore, the piezoelectric oscillator 101 provided with the adjusting capacitor outputs the oscillation frequency f
out could be set to a desired frequency for a predetermined applied voltage.

【0021】[0021]

【発明が解決しようとする課題】ところが、バリキャッ
プVCは、各製品間でその静電容量特性のばらつきが多
いという問題点があった。
However, the varicap VC has a problem that the capacitance characteristics of the varicap VC vary widely between products.

【0022】図19は、バリキャップVCの静電容量の
ばらつき特性の一例を示す図である。
FIG. 19 is a diagram showing an example of a variation characteristic of the capacitance of the varicap VC.

【0023】図19では、縦軸がバリキャップVCの容
量を示しており、図中のA〜Gは、そのばらつきの区分
を示している。一方、横軸は、各容量でのバリキャップ
VCの数nを示している。図19を参照すると、バリキ
ャップVCは、区分D近傍のものが多いが、区分Aや区
分Gに属するようなものも散見され、その電気特性にば
らつきがある。
In FIG. 19, the vertical axis indicates the capacity of the varicap VC, and A to G in the figure indicate the categories of the variations. On the other hand, the horizontal axis indicates the number n of the varicaps VC in each capacity. Referring to FIG. 19, although many varicaps are in the vicinity of the section D, some varicaps belong to the section A and the section G, and their electric characteristics vary.

【0024】従って、上述の第1の方法では、特性の異
なる1つ1つのバリキャップVCに対して各々特性を測
定し、その測定値に基づいて選別したチップコンデンサ
を圧電発振器101に設けなければならなかった。ま
た、第1の方法を応用して、各区分毎に容量別に区分さ
れたチップコンデンサをバリキャップVCの静電容量特
性に応じて圧電発振器101に設けようとした場合に
は、非常に手間がかかっていた。
Therefore, in the first method described above, the characteristics are measured for each of the varicaps VC having different characteristics, and chip capacitors selected based on the measured values must be provided in the piezoelectric oscillator 101. did not become. In addition, when the first method is applied to provide the chip capacitors classified according to the capacitance in each section to the piezoelectric oscillator 101 in accordance with the capacitance characteristics of the varicap VC, it is extremely troublesome. It was hanging.

【0025】図20は、バリキャップVCの静電容量の
ばらつき特性の一例を示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing an example of a variation characteristic of the capacitance of the varicap VC.

【0026】図20は、「制御電圧Vco[V]−発振
周波数f(fout)特性」を示す。具体的には、縦軸
が出力端子33から出力される発振周波数f(fou
t)の変化量△f/f[ppm]を示し、横軸が図11
の制御電圧端子37から入力される制御電圧Vco
[V]を示している。従って、図20は、制御電圧端子
37の電圧Vcoに対する発振周波数foutのずれを
示している。図20には、2本の所定の規格線が示され
ており、バリキャップVCの静電容量の特性が規格内で
あるか否かは、「制御電圧Vco[V]−発振周波数f
(fout)特性」が2本の所定の規格線の間に入るか
否かで判別できるようになっている。
FIG. 20 shows "control voltage Vco [V] -oscillation frequency f (fout) characteristics". Specifically, the vertical axis represents the oscillation frequency f (fou) output from the output terminal 33.
t) indicates the amount of change Δf / f [ppm], and the horizontal axis is shown in FIG.
Control voltage Vco input from the control voltage terminal 37
[V] is shown. Therefore, FIG. 20 shows a deviation of the oscillation frequency fout from the voltage Vco of the control voltage terminal 37. FIG. 20 shows two predetermined standard lines. Whether or not the characteristics of the capacitance of the varicap VC is within the standard is determined by “control voltage Vco [V] −oscillation frequency f
(Fout) characteristic ”can be determined based on whether or not it falls between two predetermined standard lines.

【0027】従来、図20のようなバリキャップVCの
静電容量のばらつき特性を考慮し、第1の方法を応用し
て、バリキャップVCに合わせてチップコンデンサを分
類して発振回路139に設けようとすることは、非常に
手間がかかっていた。
Conventionally, chip capacitors are classified according to the varicap VC and provided in the oscillation circuit 139 by applying the first method in consideration of the variation characteristics of the capacitance of the varicap VC as shown in FIG. Attempting to do so was very time-consuming.

【0028】また、第2の方法及び第3の方法では、そ
れぞれ図15のトリミング部品125及び、図17のト
リミング電極126が経時変化等を引き起こし、それら
電気特性が変化する虞れがあった。さらに、図18のよ
うに、積層されることで形成されてなるパッケージ11
1は、その積層間にトリミング電極126が設けられる
と厚さが厚くなるばかりでなく、そのトリミング電極1
26等が他の部品に電気的に接続されなければならなか
った。このため、圧電発振器101は、パッケージ11
1の厚さが厚くなり、小型化を図ることができなかっ
た。
In the second method and the third method, the trimming component 125 shown in FIG. 15 and the trimming electrode 126 shown in FIG. 17 may change with time, and their electrical characteristics may change. Further, as shown in FIG. 18, the package 11 formed by stacking
When the trimming electrode 126 is provided between the laminations, not only does the thickness increase, but also the trimming electrode 1
26, etc. had to be electrically connected to other parts. For this reason, the piezoelectric oscillator 101
1 was too thick and could not be miniaturized.

【0029】本発明の目的は、上記課題を解消して、特
別な部品を設けることなく、出力する発振周波数を正確
に調整することができるとともに小型化を図ることがで
きる圧電発振器を提供することである。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a piezoelectric oscillator capable of accurately adjusting an output oscillation frequency without providing special components and achieving downsizing. It is.

【0030】[0030]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、圧電
振動素子と、前記圧電振動素子を収納すると共に、浮遊
容量を有するパッケージと、前記パッケージの前記浮遊
容量を利用して発振周波数を調整するための周波数調整
手段と、印加電圧に応じて前記発振周波数を制御するた
めの周波数制御手段とを備えることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibrating element, a package accommodating the piezoelectric vibrating element and having a stray capacitance, and an oscillation frequency utilizing the stray capacitance of the package. It is characterized by comprising frequency adjusting means for adjusting, and frequency controlling means for controlling the oscillation frequency according to an applied voltage.

【0031】この請求項1の構成によれば、パッケージ
は、圧電振動素子を収納すると共に、予め浮遊容量を有
する。この圧電振動素子の発振周波数は、パッケージの
浮遊容量の影響を受ける。この圧電発振器においては、
周波数調整手段が、パッケージに生じた浮遊容量を利用
して発振周波数を調整する。従って、圧電発振器は、特
別な部品を設けることなく、正確に発振周波数を調整す
ることができる。また、圧電発振器は、特別な部品を設
ける必要がないので小型化を図ることができる。
According to the structure of the first aspect, the package houses the piezoelectric vibrating element and has a floating capacitance in advance. The oscillation frequency of the piezoelectric vibration element is affected by the stray capacitance of the package. In this piezoelectric oscillator,
Frequency adjusting means adjusts the oscillation frequency using the stray capacitance generated in the package. Therefore, the piezoelectric oscillator can accurately adjust the oscillation frequency without providing any special parts. Further, the piezoelectric oscillator does not need to be provided with any special parts, so that the size can be reduced.

【0032】請求項2の発明は、請求項1の構成におい
て、前記周波数調整手段は、前記パッケージに設けられ
た電極であり、前記電極の面積を変更して前記浮遊容量
を調整することを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the frequency adjusting means is an electrode provided on the package, and adjusts the stray capacitance by changing an area of the electrode. And

【0033】この請求項2の構成によれば、この周波数
調整手段は、パッケージに設けられた電極の面積を変更
することで、パッケージに生ずる浮遊容量を変更するこ
とができる。発振周波数は、パッケージに生ずる浮遊容
量に影響されるため、この浮遊容量を適切に調整するこ
とで、圧電発振器は、出力する発振周波数を正確に調整
することができる。
According to the configuration of the second aspect, the frequency adjusting means can change the stray capacitance generated in the package by changing the area of the electrode provided on the package. Since the oscillation frequency is affected by the stray capacitance generated in the package, by appropriately adjusting the stray capacitance, the piezoelectric oscillator can accurately adjust the output oscillation frequency.

【0034】請求項3の発明は、請求項2の構成におい
て、前記パッケージには、前記周波数調整手段の少なく
とも一部を包囲するシールド層が設けられていることを
特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the second aspect, the package is provided with a shield layer surrounding at least a part of the frequency adjusting means.

【0035】この請求項3の構成によれば、圧電発振器
は、圧電振動素子が発生するノイズを外部に漏らさない
ようにすると共に外部からのノイズの影響を防止するこ
とができる。
According to the configuration of the third aspect, the piezoelectric oscillator can prevent the noise generated by the piezoelectric vibrating element from leaking to the outside and can prevent the influence of the noise from the outside.

【0036】請求項4の発明は、請求項2又は3のいず
れかの構成において、前記周波数調整手段は、複数の電
極と、前記複数の電極同士を接続するためのものであっ
て前記パッケージの外部に露出する接続部とを有するこ
とを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration of the second or third aspect, the frequency adjusting means is for connecting a plurality of electrodes and the plurality of electrodes, and A connection portion exposed to the outside.

【0037】この請求項4の構成によれば、周波数調整
手段は、発振周波数を調整する際に、複数の電極を接続
する接続部を切り離すことによって周波数調整手段を構
成する電極の面積が変更される。これにより、周波数調
整手段は、パッケージに生じさせる浮遊容量を調整する
ことができる。従って、圧電発振器は、発振周波数を正
確に調整することができる。
According to the configuration of the fourth aspect, when adjusting the oscillation frequency, the frequency adjusting means changes the area of the electrodes constituting the frequency adjusting means by disconnecting the connecting portion connecting the plurality of electrodes. You. Thereby, the frequency adjusting means can adjust the stray capacitance generated in the package. Therefore, the piezoelectric oscillator can accurately adjust the oscillation frequency.

【0038】請求項5の発明は、請求項1から4のいず
れかの構成において、前記周波数調整手段は、前記圧電
振動素子を含む電子回路の配線の一部であることを特徴
とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the frequency adjusting means is a part of a wiring of an electronic circuit including the piezoelectric vibrating element.

【0039】この請求項5の構成によれば、周波数調整
手段は、配線の一部とされている。従って、周波数調整
手段は配線の一部であり、圧電発振器は、特別な部品と
して周波数調整手段を設ける必要がないので、小型化を
図ることができる。
According to this configuration, the frequency adjusting means is a part of the wiring. Therefore, the frequency adjusting means is a part of the wiring, and the piezoelectric oscillator does not need to be provided with the frequency adjusting means as a special component, so that the size can be reduced.

【0040】請求項6の発明は、請求項5の構成におい
て、前記周波数調整手段は、前記圧電振動素子と、前記
周波数制御手段との間に設けられていることを特徴とす
る。
According to a sixth aspect of the present invention, in the configuration of the fifth aspect, the frequency adjustment means is provided between the piezoelectric vibration element and the frequency control means.

【0041】この請求項6の構成によれば、周波数調整
手段は、圧電振動素子と周波数制御手段との間の配線に
よって構成されている。従って、周波数調整手段の電極
の面積が変更されると、容量が変化し、発振周波数は効
果的な影響を受けるが、圧電振動素子以外の部分は影響
を受けない。
According to the configuration of claim 6, the frequency adjusting means is constituted by wiring between the piezoelectric vibrating element and the frequency control means. Therefore, when the area of the electrode of the frequency adjusting means is changed, the capacitance changes, and the oscillation frequency is effectively affected, but portions other than the piezoelectric vibration element are not affected.

【0042】請求項7の発明は、請求項2から6のいず
れかの構成において、前記周波数調整手段は、単極であ
ることを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, in any one of the second to sixth aspects, the frequency adjusting means is a single pole.

【0043】この請求項7の構成によれば、周波数調整
手段は、対になる電極を特に設けない。従って、圧電発
振器は小型化される。
According to the configuration of the seventh aspect, the frequency adjusting means does not particularly have the paired electrodes. Therefore, the size of the piezoelectric oscillator is reduced.

【0044】請求項8の発明は、請求項1から7のいず
れかの構成において、前記周波数制御手段が、バリキャ
ップを有することを特徴とする。
According to an eighth aspect of the invention, in any one of the first to seventh aspects, the frequency control means has a varicap.

【0045】この請求項8の構成によれば、圧電発振器
は、周波数調整手段を有するので、特性ばらつきがある
バリキャップを周波数制御手段に用いても、発振周波数
が所定の印加電圧に対して正確に所望の値となるように
することができる。
According to the eighth aspect of the present invention, since the piezoelectric oscillator has the frequency adjusting means, the oscillation frequency can be accurately adjusted for a predetermined applied voltage even if a varicap having characteristic variations is used for the frequency control means. To a desired value.

【0046】[0046]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を図面に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0047】以下の説明において「浮遊容量」とは、例
えば電子部品の配線等間で、電子部品のパッケージに発
生する静電容量をいう。以下の説明では、「電子部品」
を単に「部品」という。
In the following description, the term “floating capacitance” refers to a capacitance generated in a package of an electronic component, for example, between wirings of the electronic component. In the following description, "electronic components"
Are simply referred to as “parts”.

【0048】第1実施形態 図1は、本発明の第1実施形態としての圧電発振器1の
外観の一例を示す斜視図である。
First Embodiment FIG. 1 is a perspective view showing an example of the appearance of a piezoelectric oscillator 1 according to a first embodiment of the present invention.

【0049】圧電発振器1は、例えば外部からの入力電
圧によって出力する発振周波数が変化する電圧制御型の
水晶発振器(VCXO)である。圧電発振器1は、その
外観上箱状のパッケージ11でなり、その内部に発振回
路39を有する。発振回路39については、後述する。
パッケージ11は、例えばセラミックスを材質とし、積
層してなるベース22及び、表面11d側に設けられた
図示しない蓋体を有する。圧電発振器1は、例えばその
パッケージ11の裏面11aに接地電極GND、制御電
圧端子37、電源端子35及び出力端子33が設けられ
ている。
The piezoelectric oscillator 1 is, for example, a voltage-controlled crystal oscillator (VCXO) whose output oscillation frequency changes according to an external input voltage. The piezoelectric oscillator 1 is a box-shaped package 11 in appearance, and has an oscillation circuit 39 inside. The oscillation circuit 39 will be described later.
The package 11 has a base 22 made of, for example, ceramics and laminated, and a lid (not shown) provided on the surface 11d side. The piezoelectric oscillator 1 is provided with a ground electrode GND, a control voltage terminal 37, a power supply terminal 35, and an output terminal 33, for example, on the back surface 11a of the package 11.

【0050】接地電極GND、制御電圧端子37、電源
端子35及び出力端子33は、それぞれ発振回路39の
電極端子(以下、単に「端子」という)であり、パッケ
ージ11の裏面11aにおいてほぼ四隅に設けられてい
る。接地電極GND、制御電圧端子37、電源端子35
及び出力端子33は、発振回路39の所定ヶ所へ電気的
に接続される。
The ground electrode GND, the control voltage terminal 37, the power supply terminal 35, and the output terminal 33 are electrode terminals (hereinafter simply referred to as "terminals") of the oscillation circuit 39, and are provided at substantially four corners on the back surface 11a of the package 11. Have been. Ground electrode GND, control voltage terminal 37, power supply terminal 35
The output terminal 33 is electrically connected to a predetermined portion of the oscillation circuit 39.

【0051】接地電極GNDは、圧電発振器1において
接地をとるためのものであり、例えば0[V]と設定さ
れている。出力端子33は、発振回路39が出力する発
振周波数の出力端子である。制御電圧端子37は、入力
する電圧(印加電圧)を調整することで出力端子33か
ら出力される発振周波数を制御するための端子である。
電源端子35は、発振回路39の電源電圧としての後述
する図4の電源電圧Vccを圧電発振器1に入力するた
めの入力端子である。
The ground electrode GND is for grounding the piezoelectric oscillator 1, and is set to, for example, 0 [V]. The output terminal 33 is an output terminal of the oscillation frequency output by the oscillation circuit 39. The control voltage terminal 37 is a terminal for controlling the oscillation frequency output from the output terminal 33 by adjusting the input voltage (applied voltage).
The power supply terminal 35 is an input terminal for inputting a power supply voltage Vcc of FIG. 4 described later as a power supply voltage of the oscillation circuit 39 to the piezoelectric oscillator 1.

【0052】図2は、図1の圧電発振器1の裏面11a
の構成例を示す平面図である。
FIG. 2 shows the back surface 11a of the piezoelectric oscillator 1 shown in FIG.
It is a top view showing the example of composition of.

【0053】圧電発振器1は、例えば裏面11aに浮遊
容量調整電極17(周波数調整手段)が設けられてい
る。浮遊容量調整電極17は、例えば圧電発振器1の裏
面11aにおいて四隅に設けられた各端子33、35、
37及びGNDで囲まれる領域内にほぼ配置されてい
る。浮遊容量調整電極17は、例えば少なくとも1つの
電極、好ましくは複数の電極としての第1の電極17a
(周波数調整手段)、第2の電極17b(周波数調整手
段)及び第3の電極17c(周波数調整手段)並びに、
これらの電極17a〜17cをそれぞれ接続するための
少なくとも1つのトリミング部21(周波数調整手段、
接続部)を有する。
The piezoelectric oscillator 1 is provided with, for example, a stray capacitance adjusting electrode 17 (frequency adjusting means) on the back surface 11a. The floating capacitance adjusting electrode 17 includes, for example, terminals 33 and 35 provided at four corners on the back surface 11 a of the piezoelectric oscillator 1.
37 and in a region surrounded by GND. The stray capacitance adjusting electrode 17 is, for example, at least one electrode, preferably a first electrode 17a as a plurality of electrodes.
(Frequency adjusting means), the second electrode 17b (frequency adjusting means) and the third electrode 17c (frequency adjusting means),
At least one trimming unit 21 (frequency adjusting means, for connecting these electrodes 17a to 17c, respectively)
Connection part).

【0054】第1の電極17a、第2の電極17b及び
第3の電極17cは、それぞれ例えば平板状の電極であ
り、裏面11aにおいて互いに重ならないように設けら
れている。
Each of the first electrode 17a, the second electrode 17b, and the third electrode 17c is, for example, a plate-like electrode, and is provided on the back surface 11a so as not to overlap with each other.

【0055】これらのトリミング部21は、それぞれ例
えばレーザ光によってトリミングすることができる。ト
リミング部21がトリミングされると、浮遊容量調整電
極17は、その電極面積が減少するのでパッケージ11
に生じる浮遊容量が変更される。トリミング部21に
は、端子31が設けられている。端子31は、後述する
図4の圧電振動素子5、第6の抵抗R6及びバリキャッ
プVCに接続されている。
Each of these trimming sections 21 can be trimmed by, for example, a laser beam. When the trimming portion 21 is trimmed, the floating capacitor adjusting electrode 17 has a reduced electrode area, and thus the package 11
Is changed. The trimming unit 21 is provided with a terminal 31. The terminal 31 is connected to a piezoelectric vibrating element 5, a sixth resistor R6, and a varicap VC described later with reference to FIG.

【0056】浮遊容量調整電極17は、発振周波数には
影響を与えるが、好ましくはそれ以外の素子の動作には
影響を与えない配線に接続されている。具体的な配置例
については、後述する。
The stray capacitance adjusting electrode 17 affects the oscillation frequency but is preferably connected to a wiring which does not affect the operation of the other elements. A specific arrangement example will be described later.

【0057】図3は、図2の圧電発振器1のA−A’断
面の一例を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing an example of a section taken along line AA ′ of the piezoelectric oscillator 1 of FIG.

【0058】圧電発振器1は、概略的にはパッケージ1
1、圧電振動素子5、IC(Integrated C
ircuit)3等を有する。
The piezoelectric oscillator 1 is generally a package 1
1. Piezoelectric vibration element 5, IC (Integrated C)
ircuit) 3 and the like.

【0059】パッケージ11は、積層されたベース22
及び蓋体15を有する。
The package 11 includes a laminated base 22
And a lid 15.

【0060】ベース22は、積層される際にその内部に
凹部が形成されている。この凹部の底には、例えばベー
ス22の所定の端子に対してワイヤ等によって接続され
たIC3が設けられている。IC3の上部は、圧電振動
素子5が覆っており、圧電振動素子5の一端が接続電極
27に、例えば導電性接着剤を用いて電気的に接続され
ると共に固定されている。蓋体15は、これら圧電振動
素子5やIC3等を密封するようにベース22に固定さ
れている。従って、圧電振動素子5等は、空間部22a
内部に配置されていることになる。ベース22は、例え
ばアルミナ等のセラミックを材質とする。蓋体15は、
例えばアルミナ等のセラミックの線膨張係数に近いコバ
ールや42アロイ等の金属あるいはアルミナ等のセラミ
ックを材質としている。
When the base 22 is laminated, a concave portion is formed therein. At the bottom of the concave portion, for example, an IC 3 connected to a predetermined terminal of the base 22 by a wire or the like is provided. The upper portion of the IC 3 is covered with the piezoelectric vibrating element 5, and one end of the piezoelectric vibrating element 5 is electrically connected and fixed to the connection electrode 27 using, for example, a conductive adhesive. The lid 15 is fixed to the base 22 so as to seal the piezoelectric vibrating element 5, the IC 3, and the like. Therefore, the piezoelectric vibrating element 5 and the like
It will be located inside. The base 22 is made of a ceramic material such as alumina. The lid 15 is
For example, metal such as Kovar or 42 alloy having a coefficient of linear expansion close to that of ceramic such as alumina or ceramic such as alumina is used.

【0061】圧電振動素子5は、例えば水晶を材質とす
る振動素子である。圧電振動素子5は、印加される駆動
電圧によって所定の振動数(発振周波数)で振動する。
The piezoelectric vibrating element 5 is, for example, a vibrating element made of quartz. The piezoelectric vibration element 5 vibrates at a predetermined frequency (oscillation frequency) by the applied driving voltage.

【0062】浮遊容量調整電極17は、接続電極27と
接続されており、例えば絶縁材でなるコーティング19
によってほぼ覆われている。従って、浮遊容量調整電極
17は、外部から絶縁されることになる。但し、浮遊容
量調整電極17のトリミング部21近傍には、コーティ
ング19が設けられていない。これは、後述するように
浮遊容量調整電極17の電極面積を変更する際にレーザ
光によってトリミング部21をトリミングしやすくする
ためである。
The stray capacitance adjusting electrode 17 is connected to the connection electrode 27, for example, a coating 19 made of an insulating material.
Almost covered by. Therefore, the floating capacitance adjusting electrode 17 is insulated from the outside. However, the coating 19 is not provided near the trimming portion 21 of the stray capacitance adjusting electrode 17. This is to make it easier to trim the trimming portion 21 with laser light when changing the electrode area of the stray capacitance adjusting electrode 17 as described later.

【0063】図4は、図1の発振回路39の一例を示す
回路図である。
FIG. 4 is a circuit diagram showing an example of the oscillation circuit 39 of FIG.

【0064】以下の説明において、各素子が接地されて
いるとしている場合には、各素子が図1の接地電極GN
Dに接続されていることを示している。
In the following description, when each element is grounded, each element is connected to the ground electrode GN of FIG.
D is connected.

【0065】発振回路39は、例えば第1の抵抗R1〜
第6の抵抗R6、第1のコンデンサC1,第2のコンデ
ンサC2、第5のコンデンサC5、第1のトランジスタ
TR1,第2のトランジスタTR2、定電圧電源Vre
g、圧電振動素子5及びバリキャップVCを有する。
The oscillation circuit 39 includes, for example, first resistors R1 to R1.
Sixth resistor R6, first capacitor C1, second capacitor C2, fifth capacitor C5, first transistor TR1, second transistor TR2, constant voltage power supply Vre
g, a piezoelectric vibrating element 5 and a varicap VC.

【0066】定電圧電源Vregは、例えば負極が接地
されており、正極が第3の抵抗R3に接続されている。
定電圧電源Vregは、電源端子35から入力される電
源電圧Vccを図示しない所定の安定化回路によってレ
ギュレーションし、定電圧化したものである。第3の抵
抗R3は、第5のコンデンサC5、第1のトランジスタ
TR1のベース及び第4の抵抗R4と接続されており、
第1のトランジスタTR1のベースに電圧を与える。第
1のトランジスタTR1は、エミッタが第2のトランジ
スタTR2のコレクタに接続されており、ベースは上述
のように接続されており、コレクタは後述するように第
1の抵抗R1及び出力端子33に接続されている。
The constant voltage power supply Vreg has, for example, a negative electrode grounded and a positive electrode connected to the third resistor R3.
The constant voltage power supply Vreg is obtained by regulating the power supply voltage Vcc input from the power supply terminal 35 by a predetermined stabilizing circuit (not shown) to make the voltage constant. The third resistor R3 is connected to the fifth capacitor C5, the base of the first transistor TR1, and the fourth resistor R4,
A voltage is applied to the base of the first transistor TR1. The first transistor TR1 has an emitter connected to the collector of the second transistor TR2, a base connected as described above, and a collector connected to the first resistor R1 and the output terminal 33 as described later. Have been.

【0067】制御電圧端子37は、第6の抵抗R6と接
続されている。制御電圧端子37は、発振回路39の発
振周波数を制御するための上述の入力電圧を入力するた
めの端子である。第6の抵抗R6は、圧電振動素子5及
び一端が接地されているバリキャップVCと接続されて
いる。バリキャップVCは、例えば発振周波数fout
を制御するために発振回路39に設けられたキャパシタ
である。圧電振動素子5は、第4の抵抗R4、一端が接
地されている第5の抵抗R5、第1のコンデンサC1の
一端及び第2のトランジスタTR2のベースと接続され
ている。第1のコンデンサC1の他端は、一端が接地さ
れている第2のコンデンサC2、一端が接地されている
第2の抵抗R2及び、第2のトランジスタTR2のエミ
ッタと接続されている。
The control voltage terminal 37 is connected to the sixth resistor R6. The control voltage terminal 37 is a terminal for inputting the above-described input voltage for controlling the oscillation frequency of the oscillation circuit 39. The sixth resistor R6 is connected to the piezoelectric vibrating element 5 and a varicap VC whose one end is grounded. The varicap VC has, for example, an oscillation frequency fout
Is a capacitor provided in the oscillation circuit 39 for controlling the power supply. The piezoelectric vibration element 5 is connected to the fourth resistor R4, a fifth resistor R5 having one end grounded, one end of the first capacitor C1, and the base of the second transistor TR2. The other end of the first capacitor C1 is connected to a second capacitor C2 having one end grounded, a second resistor R2 having one end grounded, and an emitter of the second transistor TR2.

【0068】電源端子35は、第1の抵抗R1とも接続
されている。電源端子35は、電源電圧Vccを発振回
路39に供給するための端子である。第1の抵抗R1
は、出力端子33及び第1のトランジスタTR1のコレ
クタと接続されている。
The power supply terminal 35 is also connected to the first resistor R1. The power supply terminal 35 is a terminal for supplying a power supply voltage Vcc to the oscillation circuit 39. First resistor R1
Is connected to the output terminal 33 and the collector of the first transistor TR1.

【0069】圧電発振器1において特徴的なことは、浮
遊容量調整電極17が、例えば第6の抵抗R6、圧電振
動素子5及びバリキャップVC(周波数制御手段)と接
続されていることである。
A feature of the piezoelectric oscillator 1 is that the stray capacitance adjusting electrode 17 is connected to, for example, the sixth resistor R6, the piezoelectric vibrating element 5, and the varicap VC (frequency control means).

【0070】浮遊容量調整電極17を構成する電極は、
例えば圧電振動素子5とバリキャップVCの間の配線の
一部で構成されている。従って、浮遊容量調整電極17
は、発振回路39の配線の一部であるので、圧電発振器
1は、特別な部品を設ける必要がなく、小型化を図るこ
とができる。
The electrodes constituting the stray capacitance adjusting electrode 17 are as follows.
For example, it is constituted by a part of the wiring between the piezoelectric vibration element 5 and the varicap VC. Therefore, the stray capacitance adjusting electrode 17
Is a part of the wiring of the oscillation circuit 39, so that the piezoelectric oscillator 1 does not need to be provided with special components, and can be downsized.

【0071】よって、浮遊容量調整電極17は、例えば
圧電振動素子5とバリキャップVCとの間に設けられて
いることになる。このような構成とすることにより、浮
遊容量調整電極17は、発振回路39において、発振周
波数foutには効果的な影響を与えるが、それ以外の
部品等の動作に対しては影響を与えなくすることができ
る。
Therefore, the stray capacitance adjusting electrode 17 is provided, for example, between the piezoelectric vibrating element 5 and the varicap VC. With such a configuration, the stray capacitance adjusting electrode 17 effectively affects the oscillation frequency fout in the oscillation circuit 39, but does not affect the operation of other components and the like. be able to.

【0072】ここで、浮遊容量調整電極17を構成する
電極は、例えば対となる電極を有しない単極である。従
って、浮遊容量調整電極17は、対となる電極を有する
必要がないので、圧電発振器1は、特別な部品を設ける
必要がなく、小型化を図ることができる。
Here, the electrode constituting the stray capacitance adjusting electrode 17 is, for example, a single electrode having no paired electrode. Therefore, the stray capacitance adjusting electrode 17 does not need to have a paired electrode, so that the piezoelectric oscillator 1 does not need to be provided with special components, and can be downsized.

【0073】圧電発振器1は、以上のような構成であ
り、次に図1〜6を参照しながら圧電発振器1が圧電振
動素子5が出力する発振周波数foutを調整する手順
について説明する。
The procedure for adjusting the oscillation frequency fout output from the piezoelectric vibrating element 5 by the piezoelectric oscillator 1 will now be described with reference to FIGS.

【0074】図5は、図1の圧電発振器1が出力する発
振周波数foutを調整するための調整システム41の
一例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an example of an adjustment system 41 for adjusting the oscillation frequency fout output from the piezoelectric oscillator 1 of FIG.

【0075】図6は、図5の調整システム41によって
発振周波数foutが調整される圧電発振器1の様子を
示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a state of the piezoelectric oscillator 1 whose oscillation frequency fout is adjusted by the adjustment system 41 of FIG.

【0076】この調整システム41は、概略的にはコン
ピュータ30及びインターフェース装置43等を備え
る。
The adjustment system 41 generally includes the computer 30 and the interface device 43.

【0077】コンピュータ30は、インターフェース装
置43と信号線29によって接続されている。コンピュ
ータ30は、インターフェース装置43を制御するため
のものである。インターフェース装置43は、例えばコ
ンピュータ30の制御によって図6のレーザ装置49を
制御している。インターフェース装置43は、例えばレ
ーザ装置制御線45によって図6のレーザ装置49と接
続されており、出力信号線46が図6の出力端子33と
接続されていると共に、制御電圧信号線47が図6の制
御電圧端子37と接続されている。
The computer 30 is connected to the interface device 43 via the signal line 29. The computer 30 is for controlling the interface device 43. The interface device 43 controls the laser device 49 of FIG. The interface device 43 is connected to the laser device 49 of FIG. 6 by, for example, a laser device control line 45, the output signal line 46 is connected to the output terminal 33 of FIG. 6, and the control voltage signal line 47 is connected to the output terminal 33 of FIG. Is connected to the control voltage terminal 37 of

【0078】圧電発振器1は、例えば接地端子GNDが
接地されており、電源端子35に電源電圧Vccが供給
されている。
In the piezoelectric oscillator 1, for example, a ground terminal GND is grounded, and a power supply voltage Vcc is supplied to a power supply terminal 35.

【0079】コンピュータ30は、インターフェース装
置43を制御して所定の電圧の制御電圧Vcoを制御信
号線47を介して制御電圧端子37に入力する。圧電発
振器1は、このような制御電圧Vcoに対して予め設定
された出力としての発振周波数foutを出力端子33
に出力する。パッケージ11には、例えば内蔵する発振
回路39の配線等の影響によって浮遊容量が生じてい
る。この浮遊容量の値は、圧電発振器1の設計時にはそ
の容量が予測できないので、出力端子33に出力された
発振周波数foutは、圧電発振器1を設計した際の所
望の値とは多少異なってしまう。
The computer 30 controls the interface device 43 to input a control voltage Vco of a predetermined voltage to the control voltage terminal 37 via the control signal line 47. The piezoelectric oscillator 1 outputs an oscillation frequency fout as an output preset for such a control voltage Vco to an output terminal 33.
Output to The package 11 has a stray capacitance due to, for example, the wiring of the built-in oscillation circuit 39. Since the value of the stray capacitance cannot be predicted when the piezoelectric oscillator 1 is designed, the oscillation frequency fout output to the output terminal 33 is slightly different from a desired value when the piezoelectric oscillator 1 is designed.

【0080】ここで、コンピュータ30は、例えば図6
のレーザ装置49を制御してその誤差に応じて、レーザ
装置49によってトリミング部21をトリミングさせ
る。浮遊容量調整電極17は、例えば所定のトリミング
部21がトリミングされ、例えば電極17a〜17cの
内の少なくとも1枚について切り離される。浮遊容量調
整電極17は、その電極面積が減少することで、パッケ
ージ11に生じた浮遊容量が変更される。浮遊容量調整
電極17は、図4のように圧電振動素子5に直結されて
いるので、発振周波数foutに影響を及ぼす。
Here, the computer 30 is, for example, shown in FIG.
Is controlled, and the trimming section 21 is trimmed by the laser device 49 in accordance with the error. The stray capacitance adjusting electrode 17 is trimmed, for example, at a predetermined trimming portion 21 and, for example, at least one of the electrodes 17a to 17c is cut off. The stray capacitance generated in the package 11 is changed by reducing the electrode area of the stray capacitance adjusting electrode 17. Since the stray capacitance adjusting electrode 17 is directly connected to the piezoelectric vibration element 5 as shown in FIG. 4, it affects the oscillation frequency fout.

【0081】この状態で、コンピュータ30は、出力端
子33から出力されている発振周波数foutを計測す
る。圧電発振器1が所望の発振周波数foutを出力し
た場合には、調整システム41は調整を終える。
In this state, the computer 30 measures the oscillation frequency fout output from the output terminal 33. When the piezoelectric oscillator 1 outputs the desired oscillation frequency fout, the adjustment system 41 ends the adjustment.

【0082】従って、圧電発振器1は、従来用いられて
いたような調整用チップコンデンサ等の特別な部品を発
振回路39に設けなくても、バリキャップVCの特性に
合わせて、出力する発振周波数foutを正確に調整す
ることができる。
Therefore, the piezoelectric oscillator 1 can output the oscillation frequency fout in accordance with the characteristics of the varicap VC without providing special components such as a conventionally used chip capacitor for adjustment in the oscillation circuit 39. Can be adjusted accurately.

【0083】第2実施形態 図7は、本発明の第2実施形態としての圧電発振器1a
の外観の一例を示す斜視図である。図8は、図7の圧電
発振器1aを裏面11a側から見た場合の一例を示す平
面図である。図9は、図7の圧電発振器1aを側面から
見た場合の一例を示す断面図である。
Second Embodiment FIG. 7 shows a piezoelectric oscillator 1a according to a second embodiment of the present invention.
It is a perspective view which shows an example of the external appearance of. FIG. 8 is a plan view showing an example when the piezoelectric oscillator 1a of FIG. 7 is viewed from the back surface 11a side. FIG. 9 is a sectional view showing an example of the piezoelectric oscillator 1a of FIG. 7 when viewed from the side.

【0084】本発明の第2実施形態としての圧電発振器
1aでは、図1〜6において第1実施形態としての圧電
発振器1とほぼ同じ構成であり、ほぼ同じ調整方法であ
るから、異なる点についてのみ説明する。
The piezoelectric oscillator 1a according to the second embodiment of the present invention has substantially the same configuration as that of the piezoelectric oscillator 1 according to the first embodiment in FIGS. explain.

【0085】圧電発振器1aは、その外観上、裏面11
aに少なくとも1つのトリミング部21a(周波数調整
手段、接続部)が設けられている。トリミング部21a
は、例えば図8のように電極17d、電極17e、電極
17g及び電極17hをそれぞれ接続しており、例えば
図9のようにベース22におけるIC3よりさらに下層
に設けられている。トリミング部21aは、パッケージ
11に内蔵された浮遊容量調整電極17fとしての電極
17d,電極17e,電極17g及び電極17hとを、
トリミング部21aから伸びる所定の配線を介して接続
している。トリミング部21aは、例えば図9のように
パッケージ11の外部に露出している。
The piezoelectric oscillator 1a has an outer surface 11
a is provided with at least one trimming unit 21a (frequency adjusting means, connection unit). Trimming unit 21a
For example, as shown in FIG. 8, the electrode 17d, the electrode 17e, the electrode 17g, and the electrode 17h are connected to each other, and for example, as shown in FIG. The trimming portion 21a is provided with the electrodes 17d, 17e, 17g, and 17h serving as the stray capacitance adjusting electrodes 17f built in the package 11,
The connection is made via predetermined wiring extending from the trimming portion 21a. The trimming portion 21a is exposed outside the package 11, for example, as shown in FIG.

【0086】圧電発振器1aの発振周波数foutが調
整される際には、上述の調整システム41によって、必
要があれば少なくとも1つのトリミング部21aがトリ
ミングされる。これにより、圧電発振器1aのパッケー
ジ11に生ずる浮遊容量が変更され、圧電発振器1aが
出力する発振周波数foutが調整される。
When the oscillation frequency fout of the piezoelectric oscillator 1a is adjusted, at least one trimming section 21a is trimmed by the adjustment system 41 if necessary. Thereby, the stray capacitance generated in the package 11 of the piezoelectric oscillator 1a is changed, and the oscillation frequency fout output from the piezoelectric oscillator 1a is adjusted.

【0087】このような構成によれば、圧電発振器1a
は、第1実施形態の効果に加えてさらに、浮遊容量調整
電極17fが外部に露出していないので、第1実施形態
では必要とする絶縁コーティングを必要としない。
According to such a configuration, the piezoelectric oscillator 1a
In addition to the effects of the first embodiment, the stray capacitance adjusting electrode 17f is not exposed to the outside, so that the first embodiment does not require the required insulating coating.

【0088】第3実施形態 図10は、本発明の第3実施形態としての圧電発振器1
bを側面から見た場合の断面の一例を示す断面図であ
る。
Third Embodiment FIG. 10 shows a piezoelectric oscillator 1 according to a third embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows an example of the cross section when b is seen from a side surface.

【0089】本発明の第3実施形態としての圧電発振器
1bでは、図1〜6において第1実施形態としての圧電
発振器1及び、図7〜9において第2実施形態としての
圧電発振器1aとほぼ同じ構成であり、ほぼ同じ調整方
法であるから、異なる点についてのみ説明する。
The piezoelectric oscillator 1b according to the third embodiment of the present invention is substantially the same as the piezoelectric oscillator 1 according to the first embodiment in FIGS. 1 to 6 and the piezoelectric oscillator 1a according to the second embodiment in FIGS. Since the configuration is the same and the adjustment methods are almost the same, only different points will be described.

【0090】圧電発振器1bにおいて特徴的なことは、
第2実施形態としての圧電発振器1aのベース22にシ
ールド層23が設けられていることである。シールド層
23は、好ましくは例えば浮遊容量調整電極17fの少
なくとも一部を包囲するようにベース22を有するパッ
ケージ11に設けられている。
The characteristic features of the piezoelectric oscillator 1b are as follows.
The second embodiment is that a shield layer 23 is provided on a base 22 of the piezoelectric oscillator 1a according to the second embodiment. The shield layer 23 is preferably provided in the package 11 having the base 22 so as to surround at least a part of the stray capacitance adjusting electrode 17f, for example.

【0091】このような構成によれば、圧電発振器1b
は、第2実施形態の効果に加えて、さらに圧電振動素子
5が発生するノイズをパッケージ11外部に漏らさない
ようにすると共に外部からのノイズの影響を防止するこ
とができる。
According to such a configuration, the piezoelectric oscillator 1b
In addition to the effects of the second embodiment, it is possible to prevent the noise generated by the piezoelectric vibrating element 5 from leaking to the outside of the package 11 and to prevent the influence of external noise.

【0092】本発明は、上記実施の形態に限定されず、
特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うこ
とができる。
The present invention is not limited to the above embodiment,
Various changes can be made without departing from the scope of the claims.

【0093】上述の説明では、圧電発振器1、1a及び
1bは、それぞれ例えば浮遊容量調整電極17、17f
を構成する電極の面積を減少させて浮遊容量調整電極1
7を調整し、出力端子33からの発振周波数foutを
調整している。これに対して、圧電発振器は、それぞれ
例えば分割された分割電極を有する浮遊容量調整電極の
分割電極同士を、例えばワイヤーボンディング,はんだ
あるいは導電性接着剤等によって接続することで浮遊容
量調整電極の面積を変更し、出力する発振周波数fou
tを調整するような形態でも良い。
In the above description, the piezoelectric oscillators 1, 1a and 1b are, for example, stray capacitance adjusting electrodes 17, 17f, respectively.
Capacitance adjusting electrode 1 by reducing the area of the electrode constituting
7, the oscillation frequency fout from the output terminal 33 is adjusted. On the other hand, the piezoelectric oscillator has an area of the floating capacitance adjustment electrode by connecting the divided electrodes of the floating capacitance adjustment electrode having, for example, divided electrodes by wire bonding, solder, conductive adhesive, or the like. And output oscillation frequency fou
A form in which t is adjusted may be used.

【0094】[0094]

【発明の効果】この発明によれば、特別な部品を設ける
ことなく、出力する発振周波数を正確に調整することが
できるとともに小型化を図ることができる。
According to the present invention, the output oscillation frequency can be accurately adjusted without special components, and the size can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1実施形態としての圧電発振器の
外観の一例を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of the appearance of a piezoelectric oscillator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1の圧電発振器の裏面の構成例を示す平面
図。
FIG. 2 is a plan view showing a configuration example of the back surface of the piezoelectric oscillator of FIG. 1;

【図3】 図2の圧電発振器1のA−A’断面の一例を
示す断面図。
FIG. 3 is a sectional view showing an example of the AA ′ section of the piezoelectric oscillator 1 of FIG. 2;

【図4】 図1の発振回路の一例を示す回路図。FIG. 4 is a circuit diagram illustrating an example of the oscillation circuit of FIG. 1;

【図5】 図1の圧電発振器が出力する発振周波数を調
整するための調整システムの一例を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing an example of an adjustment system for adjusting the oscillation frequency output from the piezoelectric oscillator of FIG.

【図6】 図5の調整システムによって発振周波数が調
整される圧電発振器の様子を示す斜視図。
FIG. 6 is a perspective view showing a state of a piezoelectric oscillator whose oscillation frequency is adjusted by the adjustment system of FIG. 5;

【図7】 本発明の第2実施形態としての圧電発振器の
外観の一例を示す斜視図。
FIG. 7 is a perspective view showing an example of the appearance of a piezoelectric oscillator according to a second embodiment of the invention.

【図8】 図7の圧電発振器を裏面側から見た場合の一
例を示す平面図。
FIG. 8 is a plan view showing an example when the piezoelectric oscillator of FIG. 7 is viewed from the back side.

【図9】 図7の圧電発振器を側面から見た場合の一例
を示す断面図。
9 is a cross-sectional view illustrating an example of the piezoelectric oscillator of FIG. 7 when viewed from a side.

【図10】 本発明の第3実施形態としての圧電発振器
を側面から見た場合の断面の一例を示す断面図。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a cross section when a piezoelectric oscillator according to a third embodiment of the present invention is viewed from a side.

【図11】 従来の圧電発振器の外観の一例を示す斜視
図。
FIG. 11 is a perspective view showing an example of the appearance of a conventional piezoelectric oscillator.

【図12】 図11の発振回路の一例を示す回路図。FIG. 12 is a circuit diagram illustrating an example of the oscillation circuit of FIG. 11;

【図13】 図11の発振回路の一例を示す回路図。FIG. 13 is a circuit diagram illustrating an example of the oscillation circuit of FIG. 11;

【図14】 図11の発振回路の一例を示す回路図。FIG. 14 is a circuit diagram illustrating an example of the oscillation circuit of FIG. 11;

【図15】 従来の圧電発振器の外観の一例を示す斜視
図。
FIG. 15 is a perspective view showing an example of the appearance of a conventional piezoelectric oscillator.

【図16】 図15の圧電発振器の部分的な断面の一例
を示す断面図。
16 is a sectional view showing an example of a partial section of the piezoelectric oscillator shown in FIG. 15;

【図17】 従来の圧電発振器の外観の一例を示す斜視
図。
FIG. 17 is a perspective view showing an example of the appearance of a conventional piezoelectric oscillator.

【図18】 図17の圧電発振器の部分的な断面の一例
を示す断面図。
FIG. 18 is a sectional view showing an example of a partial section of the piezoelectric oscillator shown in FIG. 17;

【図19】 バリキャップの静電容量のばらつきの一例
を示す図。
FIG. 19 is a diagram showing an example of variation in capacitance of a varicap.

【図20】 バリキャップの静電容量のばらつきにより
「制御電圧Vco[V]−発振周波数f(fout)特
性」がばらつくことを示す図。
FIG. 20 is a diagram showing that “control voltage Vco [V] -oscillation frequency f (fout) characteristic” varies due to variation in the capacitance of the varicap.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 圧電発振器 1a 圧電発振器 1b 圧電発振器 5 圧電振動素子 11 パッケージ 17 浮遊容量調整電極(周波数調整手段) 17a 電極(複数の電極) 17b 電極(複数の電極) 17c 電極(複数の電極) 17d 電極(複数の電極) 17e 電極(複数の電極) 17f 浮遊容量調整電極(周波数調整手段) 17g 電極(複数の電極) 17h 電極(複数の電極) 21 トリミング部(周波数調整手段、接続部) 21a トリミング部(周波数調整手段、接続部) 23 シールド層 39 発振回路(電子回路) fout 発振周波数 VC バリキャップ(周波数制御手段) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piezoelectric oscillator 1a Piezoelectric oscillator 1b Piezoelectric oscillator 5 Piezoelectric vibrating element 11 Package 17 Floating capacitance adjustment electrode (frequency adjustment means) 17a Electrode (multiple electrodes) 17b Electrode (multiple electrodes) 17c Electrode (multiple electrodes) 17d Electrode (multiple) 17e Electrode (plural electrodes) 17f Floating capacitance adjusting electrode (frequency adjusting means) 17g Electrode (plural electrodes) 17h Electrode (plural electrodes) 21 Trimming part (frequency adjusting means, connecting part) 21a Trimming part (frequency Adjustment means, connection part) 23 Shield layer 39 Oscillation circuit (electronic circuit) fout Oscillation frequency VC Varicap (frequency control means)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5J079 AA04 BA12 BA13 DA11 DA13 FA13 FA14 FA21 FB11 GA03 HA07 HA09 HA14 HA15 HA24 HA25 HA28 HA29 5J108 AA02 BB02 CC04 EE03 EE07 GG03 KK02 KK04 KK05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5J079 AA04 BA12 BA13 DA11 DA13 FA13 FA14 FA21 FB11 GA03 HA07 HA09 HA14 HA15 HA24 HA25 HA28 HA29 5J108 AA02 BB02 CC04 EE03 EE07 GG03 KK02 KK04 KK05

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電振動素子と、 前記圧電振動素子を収納すると共に、浮遊容量を有する
パッケージと、 前記パッケージの前記浮遊容量を利用して発振周波数を
調整するための周波数調整手段と、 印加電圧に応じて前記発振周波数を制御するための周波
数制御手段とを備えることを特徴とする圧電発振器。
1. A piezoelectric vibrating element, a package accommodating the piezoelectric vibrating element and having a stray capacitance, frequency adjusting means for adjusting an oscillation frequency using the stray capacitance of the package, and an applied voltage. And a frequency control means for controlling the oscillation frequency according to the following.
【請求項2】 前記周波数調整手段は、前記パッケージ
に設けられた電極であり、前記電極の面積を変更して前
記浮遊容量を調整することを特徴とする請求項1に記載
の圧電発振器。
2. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the frequency adjusting means is an electrode provided on the package, and adjusts the stray capacitance by changing an area of the electrode.
【請求項3】 前記パッケージには、前記周波数調整手
段の少なくとも一部を包囲するシールド層が設けられて
いることを特徴とする請求項2に記載の圧電発振器。
3. The piezoelectric oscillator according to claim 2, wherein the package is provided with a shield layer surrounding at least a part of the frequency adjusting unit.
【請求項4】 前記周波数調整手段は、 複数の電極と、 前記複数の電極同士を接続するためのものであって前記
パッケージの外部に露出する接続部とを有することを特
徴とする請求項2又は3のいずれかに記載の圧電発振
器。
4. The frequency adjusting means has a plurality of electrodes and a connecting portion for connecting the plurality of electrodes to each other and exposed to the outside of the package. Or the piezoelectric oscillator according to any one of 3.
【請求項5】 前記周波数調整手段は、前記圧電振動素
子を含む電子回路の配線の一部であることを特徴とする
請求項1から4のいずれかに記載の圧電発振器。
5. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the frequency adjusting unit is a part of a wiring of an electronic circuit including the piezoelectric vibrating element.
【請求項6】 前記周波数調整手段は、前記圧電振動素
子と、前記周波数制御手段との間に設けられていること
を特徴とする請求項5に記載の圧電発振器。
6. The piezoelectric oscillator according to claim 5, wherein said frequency adjusting means is provided between said piezoelectric vibration element and said frequency control means.
【請求項7】 前記周波数調整手段は、単極であること
を特徴とする請求項2から6のいずれかに記載の圧電発
振器。
7. The piezoelectric oscillator according to claim 2, wherein said frequency adjusting means is a single pole.
【請求項8】 前記周波数制御手段が、バリキャップを
有することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記
載の圧電発振器。
8. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein said frequency control means has a varicap.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2014046716A (en) * 2012-08-29 2014-03-17 Denso Corp Electronic device

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