JP2001012455A - Dynamic pressure bearing with identification groove - Google Patents

Dynamic pressure bearing with identification groove

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JP2001012455A
JP2001012455A JP11185259A JP18525999A JP2001012455A JP 2001012455 A JP2001012455 A JP 2001012455A JP 11185259 A JP11185259 A JP 11185259A JP 18525999 A JP18525999 A JP 18525999A JP 2001012455 A JP2001012455 A JP 2001012455A
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JP
Japan
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groove
dynamic pressure
deep
generating
grooves
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Application number
JP11185259A
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Japanese (ja)
Inventor
Makoto Otsuki
誠 大槻
Osamu Komura
修 小村
Kaoru Murabe
馨 村部
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bearing of excellent identifying performance permitting easy identification of groove items by visually checking dynamic pressure generating grooves. SOLUTION: A deep groove 3 bored deeper than a dynamic pressure generating groove 2 is formed at the bottom face of the dynamic pressure generating groove 2, partitioning its angular parts with sharp edges. The deep groove 3 is provided in plural intermittent or continuous streak form, and a large number of characteristic identification patterns formed by the deep grooves 3 can be provided by a combination formed by varying the repetition pitch and streak layout pattern, and these identification patterns are allotted every item of the grooves 2 and used for visual identification. In the case of forming the dynamic pressure generating grooves 2 by plural time scanning of laser beam irradiation, the beam moving pitch is made the overlap pitch of beam diameters to permit the deep grooves 3 to be formed simultaneously with the formation of the grooves 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクな
どのような小型の記憶機器や、バーコードリーダなどに
供されるスピンドルモーターの動圧軸受に関するもので
あり、特にその動圧軸受に設けられた動圧発生用の溝を
識別する識別手段を有する動圧軸受に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dynamic pressure bearing for a spindle motor used for a small storage device such as a hard disk, a bar code reader, and the like. The present invention relates to a dynamic bearing having identification means for identifying a groove for generating a dynamic pressure.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハードディスクなどのような小型の記憶
機器や、バーコードリーダなどに供されるスピンドルモ
ーターに使用する動圧軸受においては、剛性、浮上力、
あるいはモーターとのマッチング、などがその重要な特
性として挙げられる。この内、浮上力に関しては、動圧
を発生させるために軸受に刻まれる一般にスパイラル状
をした溝の数、幅、大きさ、傾き、深さなどによって、
その軸受の浮上性能が変化することが知られている。し
たがって、組立てられたスピンドルモータが所定の浮上
力を発揮するためには、その軸受部に所定の溝が加工さ
れた部材が組み込まれていることが必須であり、このこ
とは、個別溝加工における精度管理が重要であると同時
に、溝加工後の軸受部材ロット管理を厳しくし、必要な
諸元を有する軸受部材が、誤りなく組み込まれるように
することが重要であることを意味している。
2. Description of the Related Art In a dynamic pressure bearing used for a small storage device such as a hard disk or a spindle motor provided for a bar code reader, rigidity, levitation force, etc.
Alternatively, matching with a motor is an important characteristic. Of these, the levitation force depends on the number, width, size, inclination, depth, etc. of the generally spiral grooves carved in the bearing to generate dynamic pressure.
It is known that the floating performance of the bearing changes. Therefore, in order for the assembled spindle motor to exhibit a predetermined levitation force, it is essential that a member in which a predetermined groove is processed is incorporated in its bearing portion, which is a problem in processing an individual groove. This means that it is important not only to control the accuracy but also to strictly control the lot of the bearing member after the groove processing so that a bearing member having necessary specifications can be incorporated without error.

【0003】製品の区分管理には、バーコード、識別用
タグ、マーキング塗布など、既に各種技術が知られ、用
いられている。しかし一般に知られるこれら方法では、
個別構成品単位の識別はできても、その構成品が内部に
組み込まれた後になってその特定構成品の識別に利用す
ることは困難な場合が多い。本発明の対称である軸受の
動圧を発生させる部材にも同様な問題がある。
Various technologies such as bar codes, identification tags, and marking application are already known and used for product category management. But with these commonly known methods,
Even though individual component units can be identified, it is often difficult to use them for identification of the specific component after the component has been incorporated therein. There is a similar problem in the member for generating dynamic pressure of the bearing which is symmetrical in the present invention.

【0004】図4は、従来技術による動圧を発生させる
スラスト板を示したもので、このスラスト板21には上
述のように、一般に、軸受中心に対して一定の傾斜を設
けたスパイラル状の溝が複数設けられ、この面と対向す
る他の軸受部材との間での相対回転により、そのスパイ
ラル状溝の作用で空気などの気体もしくはオイルなどの
流体を両部材間に導通させ、それによって発生する動圧
を利用してその部材間を非接触状態に保つものである。
この際、例えばこの動圧発生用のスパイラル溝22の深
さとして、図4(a)のA−A断面である同図(b)に示
すdが約0.2μmから5μmのものが使用されている
が、この範囲の中で微妙な深さ変化が設けられた溝深さ
のそれぞれを、組立時もしくは組立て後に目視によって
識別、区分するのは極めて困難な、もしくは不可能なこ
とである。溝深さに限らず、溝の数、幅、形状、傾きな
どにおいても、それを瞬時に目視により識別することは
困難なことが多い。
FIG. 4 shows a thrust plate for generating a dynamic pressure according to the prior art. As described above, this thrust plate 21 is generally formed in a spiral shape having a constant inclination with respect to the center of the bearing as described above. A plurality of grooves are provided, and by the relative rotation between this surface and another bearing member opposed thereto, the action of the spiral groove allows a gas such as air or a fluid such as oil to conduct between the two members, thereby Utilizing the generated dynamic pressure, the members are kept in a non-contact state.
At this time, for example, as the depth of the spiral groove 22 for generating the dynamic pressure, the depth d of about 0.2 μm to 5 μm shown in FIG. However, it is extremely difficult or impossible to visually identify and divide each of the groove depths provided with a delicate depth change in this range at the time of assembling or after assembling. Not only the groove depth but also the number, width, shape, inclination, and the like of the grooves, it is often difficult to instantaneously identify them visually.

【0005】パレットを使用したロット管理のような技
術もあるが、しかし、この方法を用いる場合でも、例え
ば他の軸受部材の寸法精度によっては、深さほか諸元の
異なるスラスト板を選択使用する、という調整工程を経
ることもあるため、異なる諸元の部品が混入する可能性
が高いという問題がある。
There is a technique such as lot management using a pallet. However, even in the case of using this method, depending on the dimensional accuracy of other bearing members, for example, a thrust plate having different depths and other specifications is selectively used. In some cases, there is a problem that components having different specifications are likely to be mixed.

【0006】個別部品としての前記溝諸元の異なるスラ
スト板21を区別するためには、その裏面に大き目の識
別マークなどを付することもできるが、それが例えばス
ピンドルモータに組み込まれた後には利用することがで
きない。
In order to distinguish the thrust plates 21 having different groove specifications as individual components, a large identification mark or the like can be attached to the back surface thereof. Not available.

【0007】図5は、前記のようなスラスト板21が、
例えばスピンドルモータの軸受部として組み込まれた後
の状態の一例を示したものである。図において、21は
前記動圧発生用のスパイラル溝22が設けられたスラス
ト板で、このスラスト板21はハウジング23に組み込
まれている。このハウジング23にはスリーブ24が固
定され、このスリーブ24には固定側ラジアル軸受26
が取り付けられ、そしてこのスリーブ24に嵌装される
シャフト27には、回転側ラジアル軸受28が所定の間
隙を設けて前記固定側ラジアル軸受26に対向して取り
付けられている。また前記シャフト27には図面上でそ
の下端面に回転側スラスト軸受29が取り付けられ、前
記スラスト板21と所定の間隙を設けて対向している。
FIG. 5 shows that the thrust plate 21 as described above is
For example, this shows an example of a state after being incorporated as a bearing portion of a spindle motor. In the figure, reference numeral 21 denotes a thrust plate provided with a spiral groove 22 for generating the dynamic pressure. The thrust plate 21 is incorporated in a housing 23. A sleeve 24 is fixed to the housing 23, and a fixed radial bearing 26 is fixed to the sleeve 24.
The rotating side radial bearing 28 is attached to the shaft 27 fitted to the sleeve 24 so as to face the fixed side radial bearing 26 with a predetermined gap. A rotation-side thrust bearing 29 is attached to the lower end surface of the shaft 27 in the drawing, and is opposed to the thrust plate 21 with a predetermined gap.

【0008】前記のように構成された動圧軸受を持つス
ピンドルモータの動作は、前記スリーブに固定されたス
テータ31のコイルに電圧が印加されると、シャフト2
7に固定されたロータハブ30のロータ磁石32との間
に回転駆動力が発生し、これによってロータハブ30及
びシャフト27が回転し、この回転によって、ラジアル
動圧部26、28間、及びスラスト動圧部21−29間
に動圧が発生し、これによって前記回転が非接触状態と
なって、抵抗の少ない安定した回転を実現するものであ
る。
The operation of the spindle motor having the above-structured dynamic bearing is such that when a voltage is applied to the coil of the stator 31 fixed to the sleeve, the shaft 2
A rotational driving force is generated between the rotor hub 30 and the rotor magnet 32 fixed to the rotor 7, whereby the rotor hub 30 and the shaft 27 are rotated. A dynamic pressure is generated between the parts 21-29, whereby the rotation is brought into a non-contact state, thereby realizing stable rotation with low resistance.

【0009】この状態において、図に示すように、スピ
ンドルモータに組み込まれた後のスラスト板21は、シ
ャフト27ほかの回転部材を取り除いたとしても、前記
動圧発生用のスパイラル溝22が加工されているその上
面のみが外部から確認できるだけである。この面は動圧
発生のための摺動面で、精度上極めて重要であることか
ら、裏面に設けるような目立つ識別標識を施すことが困
難であり、また逆に動圧発生に影響のない僅かな識別標
識では、その識別が困難となる。
In this state, as shown in the figure, the spiral groove 22 for generating the dynamic pressure is formed on the thrust plate 21 after being assembled into the spindle motor, even if the shaft 27 and other rotating members are removed. Only its upper surface can be confirmed from the outside. This surface is a sliding surface for generating dynamic pressure, and is extremely important in terms of accuracy. Therefore, it is difficult to provide a conspicuous identification mark provided on the back surface, and on the contrary, a slight Such identification marks make it difficult to identify them.

【0010】すなわち、従来の技術では、加工工程にお
いては溝諸元の識別が明示されていたスラスト板であっ
ても、それが組み立てられた後にはその識別表示が見え
なくなり、その後の量産、検査過程で誤組付けが原因で
不具合が発見されたり、あるいは出荷後にその不具合が
判明し、信頼性を損なうなどの問題もあり得た。このた
め、これらの課題を解決できるような技術が要望されて
いたものである。
That is, according to the conventional technique, even if a thrust plate has been clearly identified in the machining process, the identification of the groove is not visible after the thrust plate has been assembled. In the process, there was a problem that a defect was found due to erroneous assembling, or that the defect was found after shipping, thereby impairing reliability. For this reason, a technology that can solve these problems has been demanded.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来の方法がもつ欠点を取り除くために行われたもの
で、溝が設けられた動圧発生部材の摺動面を見るだけ
で、その軸受に組み込まれている動圧発生溝の深さ、
数、幅、大きさ、傾きなど、その溝固有の諸元を、その
溝固有に割り当てられた識別パターンにより目視で容易
に識別、管理することができる簡便な表示方法を提供す
るものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to eliminate the above-mentioned drawbacks of the conventional method, and it is necessary to look only at the sliding surface of a grooved dynamic pressure generating member. , The depth of the dynamic pressure generating groove built into the bearing,
An object of the present invention is to provide a simple display method in which specifications unique to the groove, such as the number, width, size, and inclination, can be easily visually identified and managed by an identification pattern assigned to the groove.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、動圧を発生さ
せる溝の内部に、各溝諸元によって異なる形態の識別可
能な深溝を更に設けることにより、前記課題を解決する
もので、具体的には以下の内容を含む。すなわち、請求
項1に記載の本発明は、所定の間隙を設けて相対回転可
能に対向する2部材からなり、一方の部材の前記対向す
る面には溝が設けられ、前記2部材間の相対回転時に、
前記溝の作用で気体もしくは流体の動圧を発生させるこ
とにより、前記2部材間を非接触状態に保つよう構成さ
れた動圧軸受において、前記溝の底面に、更に深く掘り
こまれた深溝を、前記底面と識別可能なように角部を急
峻なエッジで区画して形成したことを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems by further providing an identifiable deep groove having a different form according to each groove specification inside a groove for generating dynamic pressure. Specifically, it includes the following contents. That is, the present invention according to claim 1 includes two members which are opposed to each other so as to be relatively rotatable with a predetermined gap therebetween, and a groove is provided on the opposed surface of one of the members, and a relative gap between the two members is provided. During rotation,
By generating a dynamic pressure of gas or fluid by the action of the groove, in a dynamic pressure bearing configured to keep the two members in a non-contact state, a deep groove dug deeper on the bottom surface of the groove. , Characterized in that the corners are defined by steep edges so as to be distinguishable from the bottom surface.

【0013】請求項2に記載の本発明にかかる動圧軸受
は、前記深溝が形成された動圧発生溝が、スラスト動圧
軸受を構成するスラスト板に設けられていることを特徴
としている。
A dynamic pressure bearing according to a second aspect of the present invention is characterized in that the dynamic pressure generating groove in which the deep groove is formed is provided on a thrust plate constituting a thrust dynamic pressure bearing.

【0014】請求項3に記載の本発明にかかる動圧軸受
は、前記深溝の数は単数、もしくは複数のいずれか、前
記深溝の連続形態は点状、断続する筋状、もしくは連続
する筋状のいずれかから選択され、前記深溝の形状は直
線状、曲線状、円状、もしくはこられの組合せのいずれ
かから選択され、そして前記深溝の分布は、同心円状、
渦巻状、平行状、放射状のいずれかから選択されること
を特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the dynamic pressure bearing according to the present invention, the number of the deep grooves is singular or plural, and the continuous form of the deep grooves is a dot, an intermittent streak, or a continuous streak. Wherein the shape of the deep groove is selected from linear, curved, circular, or any combination thereof, and the distribution of the deep groove is concentric,
It is characterized by being selected from spiral, parallel, and radial.

【0015】請求項4に記載の本発明にかかる動圧軸受
は、前記深溝が連続する筋状の深溝であって、それが1
つの動圧発生用の溝の中に複数繰り返して設けられるも
のである場合において、その複数の深溝の繰り返しピッ
チをP、そのピッチPの内に含まれる前記深溝の幅をW
としたとき、W/Pが、0.4以下であることを特徴と
している。
According to a fourth aspect of the present invention, in the dynamic pressure bearing according to the present invention, the deep groove is a continuous streak-shaped deep groove, wherein
When a plurality of grooves are repeatedly provided in one dynamic pressure generating groove, the repetition pitch of the plurality of deep grooves is P, and the width of the deep groove included in the pitch P is W
Where W / P is 0.4 or less.

【0016】請求項5に記載の本発明にかかる動圧軸受
は、前記深溝が点状、断続する筋状の深溝であって、そ
れが1つの動圧発生用の溝の中に複数繰り返して設けら
れるものである場合において、その1つの動圧発生用の
溝の面積をS、その溝の中に形成された深溝の合計面積
をRとしたとき、R/Sが、0.4以下であることを特
徴としている。
According to a fifth aspect of the present invention, in the dynamic pressure bearing according to the present invention, the deep groove is a dotted or intermittent streak-like deep groove, which is repeatedly formed in one dynamic pressure generating groove. In a case where R / S is 0.4 or less, when the area of one dynamic pressure generating groove is S and the total area of deep grooves formed in the groove is R, It is characterized by having.

【0017】請求項6に記載の本発明にかかる動圧軸受
は、前記動圧を発生させる溝の深さが、0.2μm以上
5μm以下であることを特徴としている。
According to a sixth aspect of the present invention, in the dynamic pressure bearing, the depth of the groove for generating the dynamic pressure is 0.2 μm or more and 5 μm or less.

【0018】請求項7に記載の本発明にかかる動圧軸受
は、前記動圧を発生させる溝を、レーザビーム照射の複
数回スキャニングにより形成する場合において、前記レ
ーザビームの移動ピッチを、前記溝のレーザビーム照射
面におけるそのビーム径の一部がオーバラップするよう
なピッチとすることにより、前記深溝を、前記溝を形成
するのと同時に形成するものであることを特徴としてい
る。
In the dynamic pressure bearing according to the present invention, in the case where the groove for generating the dynamic pressure is formed by scanning the laser beam a plurality of times, the moving pitch of the laser beam may be set to the groove. The deep groove is formed at the same time when the groove is formed by setting the pitch so that a part of the beam diameter on the laser beam irradiation surface overlaps.

【0019】請求項8に記載の本発明にかかる動圧軸受
は、前記動圧を発生させる溝が形成された後に、前記深
溝がレーザー照射などの追加の工程により形成されたも
のであることを特徴としている。
The dynamic pressure bearing according to the present invention as set forth in claim 8, wherein the deep groove is formed by an additional step such as laser irradiation after the groove for generating the dynamic pressure is formed. Features.

【0020】そして、請求項9に記載の本発明にかかる
動圧軸受は、前記動圧を発生させる溝が形成される部材
の材質が、セラミックスであることを特徴としている。
A dynamic pressure bearing according to a ninth aspect of the present invention is characterized in that the material of the member in which the groove for generating the dynamic pressure is formed is ceramics.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる動圧軸受の
実施の形態につき、図面を参照して説明する。図1は、
本発明の第1の実施の形態にかかる溝加工を施した動圧
スラスト板を示したものである。上記の通り、スラスト
板には一般に、円周方向に対して一定の傾斜を設けたス
パイラル状の溝が複数設けられ、その溝の作用により空
気などの気体、あるいはオイルなどの流体を回転部材と
固定部材間に導通させ、そのとき発生する動圧を利用し
てその部材間を非接触状態に保つものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a dynamic pressure bearing according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG.
FIG. 2 shows a dynamic pressure thrust plate on which grooves are formed according to the first embodiment of the present invention. As described above, the thrust plate is generally provided with a plurality of spiral grooves having a constant inclination with respect to the circumferential direction, and the action of the grooves allows a gas such as air, or a fluid such as oil to rotate with the rotating member. Conduction is made between the fixed members, and the members are kept in a non-contact state by utilizing dynamic pressure generated at that time.

【0022】図において、1はスラスト板、2はそのス
ラスト板1に設けられたスパイラル溝、3は深溝で、こ
の深溝3は前記スパイラル溝2の底面に設けられた更に
深い溝で、スラスト板1上にある複数のスパイラル溝全
体を通して同心円の筋状に掘り込まれている。
In the drawing, 1 is a thrust plate, 2 is a spiral groove provided on the thrust plate 1, 3 is a deep groove, and this deep groove 3 is a deeper groove provided on the bottom surface of the spiral groove 2. It is dug in a concentric streak through the plurality of spiral grooves on 1.

【0023】スラスト板1の表面にスパイラル溝2を加
工する方法の1つに、レーザ加工がある。この方法は、
スラスト板1上の加工すべきスパイラル溝部にのみスリ
ット状の隙間が設けられたマスキングを被せ、その上か
らレーザビームを照射することにより、前記マスキング
隙間部にあるスラスト板1表面の材料を選択的に除去
し、その部分のみを掘り下げて溝2を形成するものであ
る。この方法による溝加工は、一回のビーム照射で一定
の深さを加工することができ、通常は同一位置に複数回
照射し、所定深さの溝になるまで段階的に形成する。ま
た、この加工をするときのビームの幅は約0.2−1.
0mm程であり、したがって前記スパイラル溝を加工す
るにはビームの照射位置を移動させて複数回スキャニン
グして完成させる。なお、一般にこの動圧発生用の溝深
さ(図4(b)のdで示す深さ)は、前述のように0.
2μmから5μmであることが動圧発生に適している。
One of the methods for processing the spiral groove 2 on the surface of the thrust plate 1 is laser processing. This method
The spiral groove portion to be processed on the thrust plate 1 is covered with a mask provided with a slit-shaped gap only, and a laser beam is irradiated thereon, thereby selectively selecting the material of the surface of the thrust plate 1 in the masking gap portion. The groove 2 is formed by digging down only that portion. In the groove processing by this method, a certain depth can be processed by one beam irradiation. Usually, the same position is irradiated a plurality of times, and the groove is formed stepwise until a groove having a predetermined depth is obtained. The width of the beam for this processing is about 0.2-1.
Therefore, to process the spiral groove, the beam irradiation position is moved and scanning is performed a plurality of times to complete the spiral groove. In general, the depth of the groove for generating dynamic pressure (depth indicated by d in FIG. 4B) is set to 0.1 as described above.
A thickness of 2 μm to 5 μm is suitable for generating a dynamic pressure.

【0024】そして、前記深溝3は、上述のようにして
形成された溝2の底面に、更に深く掘り込まれた深溝が
形成されたものであるが、本実施の形態の利点は、上記
のようなビーム照射による溝2の加工の際に、それを前
記深溝3の加工にそのまま利用し、両者を同時に加工で
きる点にある。すなわち、スパイラル溝幅全体を加工す
るためにビーム位置を移動させる際、その加工面上に照
射されるビーム径を、例えば前記移動の前後で20%重
なるようなピッチで移動するものとする。仮にビーム径
を1mmとすれば、上記方法によって前記重複部分0.
2mm幅の所は2回のビーム照射を受けることとなり、
他のビーム加工部分に対して2倍の深さの溝が形成され
ることになる。そして、本実施の形態に示すような同心
円状に分布する筋状の深溝は、前記レーザビーム照射位
置の移動を同心円状に動かすことにより、容易に形成す
ることができる。すなわち、上記のような手段を用いれ
ば、前記識別用の深溝を、それ自身のための工程を追加
することなく従来の動圧発生溝の形成工程における僅か
な調整のみで容易に形成することができ、極めて有利で
ある
The deep groove 3 is formed by forming a deeper groove deeper in the bottom of the groove 2 formed as described above. The advantage of this embodiment is that In processing the groove 2 by such beam irradiation, the groove 2 can be used as it is for the processing of the deep groove 3 and both can be processed simultaneously. That is, when the beam position is moved in order to machine the entire spiral groove width, the beam diameter applied to the machined surface is moved at a pitch that overlaps, for example, by 20% before and after the movement. Assuming that the beam diameter is 1 mm, the overlapping portion.
2 mm width will receive two beam irradiations,
A groove having a depth twice as large as that of the other beam processing portions will be formed. The concentric deep grooves as shown in this embodiment can be easily formed by moving the laser beam irradiation position concentrically. That is, by using the above-described means, the deep groove for identification can be easily formed by only a slight adjustment in the conventional dynamic pressure generating groove forming process without adding a process for itself. Can be very advantageous

【0025】このような加工の結果生ずる深溝3は、動
圧を発生させるための溝部分であるスパイラル溝2との
境界に当たる角部において、そのエッジが急峻であるた
め、光を当てることによりこの境界筋部を目視によって
も容易に識別することが可能になる。これは、深溝3の
部分が深いために暗く見え、これによってスパイラル溝
2底面にある深溝3のエッジ部が線状に光って浮き上が
って見えるからである。
Since the deep groove 3 formed as a result of such processing has a sharp edge at a corner which is a boundary with the spiral groove 2 which is a groove portion for generating dynamic pressure, light is applied to the corner. The boundary muscle can be easily identified by visual inspection. This is because the portion of the deep groove 3 looks dark because it is deep, and the edge of the deep groove 3 on the bottom surface of the spiral groove 2 appears linearly and rises.

【0026】前述の通り、動圧軸受の浮上力は、動圧発
生溝の深さによって変化する。図2(a)は、図1に示
すような、スラスト板1の表面に形成された溝2と、そ
の溝2の底面に形成された同心円の筋状の深溝3を模式
的に示したものである。図2(b)は、図2(a)のA
−A断面を示したもので、このA−A断面は、同心円状
に配列した深溝3に直交するスラスト板1の軸心を通る
断面である。
As described above, the floating force of the dynamic pressure bearing changes depending on the depth of the dynamic pressure generating groove. FIG. 2A schematically shows a groove 2 formed on the surface of the thrust plate 1 and a concentric striped deep groove 3 formed on the bottom surface of the groove 2 as shown in FIG. It is. FIG. 2 (b) is a view of A in FIG. 2 (a).
This is a cross section taken along the axis of the thrust plate 1 orthogonal to the deep grooves 3 arranged concentrically.

【0027】前記のような深溝部3を設けることによる
軸受の浮上力への影響につき、発明者らが行った実験に
よれば、図2(b)において、筋状の深溝3が設けられ
るピッチをP、その中に含まれる溝部の幅をWとする
と、W/Pが0.4以下であれば、深溝を設けることに
よる浮上力への影響は、ほとんど無視できるものである
ことが判明した。このことから、例えばW/Pを0.
1、すなわち深溝部3の幅比率を非常に小さくしたもの
と、W/Pを0.4、すなわち深溝部3の幅比率を高目
にしたものとの2種類設けても、光を当てればこの両者
の間をも目視により識別することができる。
According to an experiment conducted by the inventors regarding the influence of the provision of the deep groove portion 3 on the levitation force of the bearing, according to an experiment conducted by the present inventors, in FIG. Where P is the width of the groove included therein and W is 0.4 or less, it has been found that if W / P is 0.4 or less, the effect of the deep groove on the levitation force can be almost ignored. . From this, for example, W / P is set to 0.
Even if two types are provided, i.e., one in which the width ratio of the deep groove portion 3 is very small, and one in which the W / P is 0.4, that is, the width ratio of the deep groove portion 3 is made high, The space between the two can also be visually identified.

【0028】なお、本実施の形態では、同心円状に複数
の筋状の深溝3を設けるものとしているが、同心円状の
代りに渦巻状に設けることもできる。また、深溝3の数
は、必ずしも複数でなくても、例えば動圧発生用のスパ
イラル状溝1の概略中央部分を通る一本のみが設けられ
ていても、それが識別できるものであればよい。また、
これにより、一本のみの場合と、複数の場合とを区別し
て設け、識別の種類を増やすこともできる。
In this embodiment, a plurality of stripe-shaped deep grooves 3 are provided concentrically, but they may be provided spirally instead of concentrically. Further, the number of the deep grooves 3 is not necessarily plural, and for example, even if only one passing through the approximate center portion of the spiral groove 1 for generating dynamic pressure is provided, it is sufficient if it can be identified. . Also,
This makes it possible to distinguish between a single case and a plurality of cases, thereby increasing the types of identification.

【0029】次に、本発明にかかる動圧軸受の第2の実
施の形態につき、図面を参照して説明する。図3は、本
実施の形態にかかるスラスト板を示したもので、図にお
いて、11はスラスト板、12はそのスラスト板11に
設けられたスパイラル状の動圧発生溝、13はそのスパ
イラル状の溝12の底面に更に深く掘り下げて設けられ
た深溝で、この深溝13は前記スラスト板11上にある
複数のスパイラル状の溝12全体を通して平行な直線状
に掘りこまれている。
Next, a dynamic pressure bearing according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 shows a thrust plate according to the present embodiment. In the figure, reference numeral 11 denotes a thrust plate, 12 denotes a spiral dynamic pressure generating groove provided in the thrust plate 11, and 13 denotes a spiral dynamic pressure generation groove. The deep groove 13 is dug deeper into the bottom surface of the groove 12, and the deep groove 13 is dug in a parallel straight line through the plurality of spiral grooves 12 on the thrust plate 11.

【0030】スラスト板にスパイラル溝を設ける別の方
法としてショットブラスト法がある。この方法では、先
の実施の形態同様にマスキングしたスラスト板11の外
部から、アルミナ粒などの微粒子を高速で吹き付けるこ
とにより、前記マスキングの隙間部にあるスラスト板1
1表面上の材料を選択的に除去し、その部分のみを掘り
下げて溝を形成するものである。本実施の形態では、こ
のようにして加工されたスパイラル溝12に対し、更に
その溝12の底面にレーザビームを直線状に、かつ所定
ピッチずつ平行移動して照射することにより、前記スラ
スト板11の表面上に設けられた全ての溝12内に、複
数列の平行な筋状の深溝13を形成したものである。
Another method for providing spiral grooves in the thrust plate is a shot blast method. In this method, fine particles such as alumina particles are sprayed from the outside of the thrust plate 11 masked in the same manner as in the previous embodiment at a high speed, so that the thrust plate 1 in the gap portion of the masking is sprayed.
The material on one surface is selectively removed, and only that portion is dug down to form a groove. In the present embodiment, the spiral groove 12 processed in this manner is further irradiated with a laser beam in a straight line and at a predetermined pitch in parallel with the bottom surface of the spiral groove 12, whereby the thrust plate 11 is irradiated. A plurality of parallel rows of deep grooves 13 are formed in all the grooves 12 provided on the surface of the substrate.

【0031】このような深溝加工においては、照射する
レーザビーム径を絞ることにより非常に幅狭の深溝13
も加工可能であることから、先の実施の形態で説明した
のと同様に、深溝13のピッチをP、その中に含まれる
溝部の幅をWとしたとき、両者の関係において、例えば
W/Pを0.1(幅比率小)と0.4(幅比率大)との
2種類を設ければ、この2つの間においても識別が可能
となる。
In such a deep groove processing, a very narrow deep groove 13 is formed by reducing the diameter of a laser beam to be irradiated.
Since the pitch of the deep groove 13 is set to P and the width of the groove included therein is set to W, as described in the above embodiment, for example, W / P between 0.1 (small width ratio) and 0.4 (large width ratio)
If two types are provided, it is possible to distinguish between the two.

【0032】なお、先の実施の形態を含めて、ビーム加
工法に対して同心円状の深溝を、ブラスト法に対して平
行の深溝をそれぞれ設けるものとしたが、これらの組合
せは勿論任意である。上記2つの実施の形態によって
も、深溝幅2種類、深溝の並び2種類(同心円状、及び
平行)及び深溝無しを含めた組合せにより、既に5種類
の異なる溝の識別パターンを設けることができ、これら
の間を目視により識別が可能となる。この他にも、先の
実施の形態で説明した、単数・複数の組合せや、例えば
深溝の方向を放射状にしたり、あるいはビームを波形に
倣い移動して深溝を波形の筋とすることなどにより、目
視による識別の種類を増加させることは極めて容易であ
る。
In addition to the above embodiments, the concentric deep groove is provided for the beam machining method and the deep groove is provided for the blast method in parallel. However, these combinations are of course optional. . According to the above two embodiments, five types of different groove identification patterns can already be provided by a combination including two types of deep grooves, two types of deep grooves (concentric and parallel), and no deep grooves. The space between them can be visually identified. In addition to this, as described in the above embodiment, singular / plural combinations, for example, by making the direction of the deep groove radial, or by moving the beam following the waveform to make the deep groove a streak of the waveform, It is very easy to increase the types of visual identification.

【0033】なお、前記スパイラル溝の加工には、この
他にもエッチングや放電加工による方法などがあり、こ
れら他の方法によっても、あるいはこれらを組み合わせ
ることによっても、前記深溝の加工は可能であり、また
その筋の形状は、例えば放電加工のようなパターンを用
いる方法によれば、任意に決めることもできる。
There are other methods for processing the spiral groove, such as etching and electrical discharge machining, and the deep groove can be processed by these other methods or by combining them. The shape of the streaks can be arbitrarily determined according to a method using a pattern such as electric discharge machining.

【0034】また、実施の形態2のような、ブラスト法
に限らず、まず動圧発生用の溝を形成した後に、追加の
手段、例えばビーム照射によって深溝を形成する場合に
は、その深溝は実施の形態1のような連続する筋状のも
のに限定されることなく、例えば点状、破線状、千鳥模
様状などの断続するものも形成可能となり、更に多くの
異なる認識パターンを設けることができる。これらを利
用することにより、より多くの種類の動圧溝諸元の識別
用に、これら認識パターンを割り当てることが可能にな
る。
In addition to the blast method as in the second embodiment, when a groove for generating dynamic pressure is first formed and then a deep groove is formed by additional means, for example, beam irradiation, the deep groove is The present invention is not limited to the continuous streak-like pattern as in the first embodiment. For example, a discontinuous pattern such as a dot pattern, a broken line pattern, and a staggered pattern can be formed, and more different recognition patterns can be provided. it can. By utilizing these, it becomes possible to assign these recognition patterns for identifying more types of dynamic pressure groove specifications.

【0035】前述の同様な考え方により、深溝が例えば
点状、破線状、千鳥模様状などの断続するものとしたと
きは、1つの動圧発生用の溝の面積をS、その1つの溝
の内部に形成される深溝部の合計の面積をRとしたと
き、R/Sが0.4以下であれば、この深溝を設けるこ
とによる動圧部の浮上力への影響は、ほとんど無視する
ことができる。
When the deep groove is intermittent, for example, in the shape of a dot, a broken line, or a staggered pattern, based on the same concept as described above, the area of one groove for generating a dynamic pressure is S, and the area of one groove for generating the dynamic pressure is S. Assuming that the total area of the deep grooves formed inside is R, if R / S is 0.4 or less, the influence of the provision of the deep grooves on the floating force of the dynamic pressure portion is almost ignored. Can be.

【0036】なお、上記各実施の形態は、動圧スラスト
板のスパイラル溝に関するものとしているが、必要であ
ればラジアル動圧の動圧部材についても同様に適用が可
能である。すなわち、例えばラジアル動圧発生用の溝が
設けられた動圧軸受シャフトの溝深さを区別するため、
その溝の中に深溝部を設け、その溝幅、方向などを識別
用に利用することができる。ラジアル動圧部において設
けられる溝には、スパイラル状の外にもへリングボーン
状、軸方向に平行な直線状のものなどが知られており、
これらの溝にも同様に適用可能である。
Although each of the above embodiments relates to a spiral groove of a dynamic pressure thrust plate, the present invention can be similarly applied to a radial dynamic pressure dynamic pressure member if necessary. That is, for example, in order to distinguish the groove depth of the dynamic pressure bearing shaft provided with a groove for radial dynamic pressure generation,
A deep groove portion is provided in the groove, and the groove width, direction, and the like can be used for identification. In the groove provided in the radial dynamic pressure part, in addition to the spiral shape, a herringbone shape, a linear shape parallel to the axial direction, etc. are known,
The same applies to these grooves.

【0037】また、前記各動圧発生部材の材質として
は、ステンレス鋼なども用いられているが、信頼性、耐
久性の観点からは、剛性が高く、耐摩耗性に優れたセラ
ミックスとすることが好ましい。
As the material of each of the dynamic pressure generating members, stainless steel or the like is used. From the viewpoint of reliability and durability, ceramics having high rigidity and excellent wear resistance are used. Is preferred.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明にかかる深溝が設けられた動圧発
生溝を備えた軸受部材を使用することにより、その部材
がスピンドルモータなどに組み込まれた後においても、
その溝の諸元を容易に識別することができ、誤った組付
けによる軸受浮上力不良の問題や、製品信頼性の低下を
事前に回避することができる。深溝は動圧を発生させる
摺動面の目視チェックにより、容易に認識が可能であ
る。
By using the bearing member provided with the dynamic pressure generating groove provided with the deep groove according to the present invention, even after the member is incorporated in a spindle motor or the like,
The specifications of the groove can be easily identified, and the problem of bearing levitation force failure due to erroneous assembly and a decrease in product reliability can be avoided in advance. The deep groove can be easily recognized by a visual check of the sliding surface that generates the dynamic pressure.

【0039】本発明にかかる識別用の深溝は、レーザビ
ーム照射などの従来技術を用いて容易に形成することが
でき、特に動圧発生溝そのものをレーザ加工で形成する
場合においては、そのレーザビーム照射位置を移動する
際に、照射の一部をオーバラップさせることで前記深溝
を同時に形成することができて有利である。
The deep groove for identification according to the present invention can be easily formed by using a conventional technique such as laser beam irradiation. In particular, when the dynamic pressure generating groove itself is formed by laser processing, the laser beam Advantageously, when moving the irradiation position, the deep groove can be formed simultaneously by overlapping a part of the irradiation.

【0040】また、本発明にかかる識別用の深溝は、そ
の幅、深溝の筋状形状を各種組み合わせることが可能
で、これらのパターンの異なる深溝を、微妙に諸元の異
なる多数の動圧発生溝にそれぞれ割り当てることによ
り、その溝諸元を目視により、容易に識別することがで
きる。
Further, the deep groove for identification according to the present invention can be combined in various ways with the width and the streak shape of the deep groove. By allocating to each groove, the specifications of the groove can be easily identified visually.

【0041】更に、本発明にかかる深溝を持つ動圧発生
溝を、セラミックス製の軸受部材に設けることにより、
溝諸元の識別が容易で、かつ耐久性の優れた軸受を提供
することができる。
Further, by providing a dynamic pressure generating groove having a deep groove according to the present invention in a ceramic bearing member,
It is possible to provide a bearing that is easy to identify groove specifications and has excellent durability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態にかかる識別溝付き動圧
軸受のスラスト板の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a thrust plate of a dynamic pressure bearing with an identification groove according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図1に示すスラスト板の識別溝の諸元を示す
説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing specifications of an identification groove of the thrust plate shown in FIG.

【図3】 本発明の他の実施の形態にかかる識別溝付き
動圧軸受のスラスト板の斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of a thrust plate of a hydrodynamic bearing with an identification groove according to another embodiment of the present invention.

【図4】 従来技術による動圧軸受のスラスト板の動圧
発生溝を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing a dynamic pressure generating groove of a thrust plate of a conventional dynamic pressure bearing.

【図5】 図4のスラスト板を組み込んだスピンドルモ
ータの断面図である。
FIG. 5 is a sectional view of a spindle motor incorporating the thrust plate of FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 動圧軸受スラスト板 2 動圧発生用スパイラル溝 3 識別用深溝 11 動圧軸受スラスト板 12 動圧発生用スパイラル溝 13 識別用深溝 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dynamic pressure bearing thrust plate 2 Spiral groove for generating dynamic pressure 3 Deep groove for identification 11 Dynamic pressure bearing thrust plate 12 Spiral groove for generating dynamic pressure 13 Deep groove for identification

フロントページの続き (72)発明者 村部 馨 兵庫県伊丹市昆陽北一丁目1番1号 住友 電気工業株式会社伊丹製作所内 Fターム(参考) 3J011 AA04 AA20 BA08 CA03 DA02Continued on the front page (72) Inventor Kaoru Murabe 1-1-1, Koyokita-Kita, Itami-shi, Hyogo Sumitomo Electric Industries, Ltd. Itami Works F-term (reference) 3J011 AA04 AA20 BA08 CA03 DA02

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の間隙を設けて相対回転可能に対向
する2部材からなり、一方の部材の前記対向面には溝が
設けられ、前記2部材間の相対回転時に、前記溝におけ
る気体もしくは流体動圧発生作用により、前記2部材間
を非接触状態に保つよう構成された動圧軸受において、 前記動圧発生用溝の底面に、その底面との識別が可能な
ように角部を急峻なエッジで区画して更に深く掘りこま
れた深溝を形成したことを特徴とする動圧軸受。
1. A member comprising two members opposed to each other so as to be relatively rotatable with a predetermined gap therebetween, and a groove is provided in the opposed surface of one member, and when the two members are relatively rotated, gas or gas in the groove is provided. In the hydrodynamic bearing configured to keep the two members in a non-contact state by a fluid dynamic pressure generating action, a corner portion is steeply formed on a bottom surface of the dynamic pressure generating groove so as to be distinguishable from the bottom surface. A hydrodynamic bearing characterized by forming a deep groove dug deeper by partitioning by a sharp edge.
【請求項2】 前記深溝が形成された動圧発生溝が、ス
ラスト動圧軸受を構成するスラスト板に設けられている
ことを特徴とする、請求項1に記載の動圧軸受。
2. The dynamic pressure bearing according to claim 1, wherein the dynamic pressure generating groove in which the deep groove is formed is provided in a thrust plate constituting a thrust dynamic pressure bearing.
【請求項3】 前記深溝の数は、単数もしくは複数が選
択され、前記深溝の連続形態は、点状、断続する筋状、
もしくは連続する筋状のいずれかから選択され、前記深
溝の形状は、直線状、曲線状、円状、もしくはこれらの
組合せのいずれかから選択され、そして前記深溝の分布
は、同心円状、渦巻状、平行状、放射状のいずれかから
選択されることを特徴とする、請求項1もしくは請求項
2に記載の動圧軸受。
3. The number of the deep grooves is selected singly or plurally, and the continuous forms of the deep grooves are dot-like, intermittent streak-like,
Or selected from any of continuous streaks, the shape of the deep groove is selected from linear, curved, circular, or any combination thereof, and the distribution of the deep groove is concentric, spiral The dynamic pressure bearing according to claim 1, wherein the dynamic pressure bearing is selected from one of a parallel shape, a parallel shape, and a radial shape.
【請求項4】 前記深溝が連続する筋状の深溝であっ
て、1つの前記動圧発生用溝の底面に複数の連続する筋
状の深溝が設けられるものである場合において、その複
数の深溝の繰り返しピッチをP、そのピッチPの内に含
まれる前記深溝の幅をWとしたとき、W/Pが、0.4
以下であることを特徴とする、請求項1もしくは請求項
3に記載の動圧軸受。
4. In the case where the deep groove is a continuous streak-like deep groove, and a plurality of continuous streak-like deep grooves are provided on the bottom surface of one dynamic pressure generation groove, the plurality of deep grooves are provided. Is P, and the width of the deep groove included in the pitch P is W, W / P is 0.4
The dynamic pressure bearing according to claim 1 or 3, wherein:
【請求項5】 前記深溝が点状、断続する筋状の深溝で
あって、それが1つの前記動圧発生用溝の底面に複数設
けられるものである場合において、その1つの動圧発生
用溝の底面の面積をS、その動圧発生用溝の底面に占め
る深溝部分の合計面積をRとしたとき、R/Sが、0.
4以下であることを特徴とする、請求項1もしくは請求
項3に記載の動圧軸受。
5. In the case where the deep groove is a point-like or intermittent streak-like deep groove, and a plurality of such grooves are provided on the bottom surface of one dynamic pressure generating groove, the one dynamic pressure generating groove is provided. Assuming that the area of the bottom surface of the groove is S and the total area of the deep groove portion occupying the bottom surface of the groove for generating dynamic pressure is R, R / S is equal to 0.1.
The dynamic pressure bearing according to claim 1 or 3, wherein the number is 4 or less.
【請求項6】 前記動圧発生用の溝の深さが、動圧に適
する0.2μm以上5μm以下であることを特徴とす
る、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の動圧軸
受。
6. The dynamic pressure according to claim 1, wherein a depth of the groove for generating dynamic pressure is not less than 0.2 μm and not more than 5 μm suitable for dynamic pressure. bearing.
【請求項7】 前記動圧発生用の溝を、レーザビーム照
射の複数回スキャニングにより形成する場合において、
前記レーザビームの移動ピッチを、前記溝のレーザビー
ム照射面におけるレーザビーム径の一部がオーバラップ
するピッチとすることにより、前記深溝を前記溝形成と
同時に形成するものであることを特徴とする、請求項1
ないし請求項4のいずれかに記載の動圧軸受。
7. When forming the groove for generating dynamic pressure by scanning a plurality of times by laser beam irradiation,
The deep groove is formed simultaneously with the formation of the groove by setting the movement pitch of the laser beam to a pitch at which a part of the laser beam diameter on the laser beam irradiation surface of the groove overlaps. , Claim 1
The dynamic pressure bearing according to claim 4.
【請求項8】 前記動圧を発生させる溝が形成された後
に、前記深溝が形成されるものであることを特徴とす
る、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の動圧軸
受。
8. The dynamic pressure bearing according to claim 1, wherein the deep groove is formed after the groove for generating the dynamic pressure is formed.
【請求項9】 前記動圧を発生させる溝が形成される部
材の材質が、セラミックスであることを特徴とする、請
求項1ないし請求項8のいずれかに記載の動圧軸受。
9. The dynamic pressure bearing according to claim 1, wherein a material of a member in which the groove for generating the dynamic pressure is formed is ceramics.
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