JP2001005182A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JP2001005182A
JP2001005182A JP11176000A JP17600099A JP2001005182A JP 2001005182 A JP2001005182 A JP 2001005182A JP 11176000 A JP11176000 A JP 11176000A JP 17600099 A JP17600099 A JP 17600099A JP 2001005182 A JP2001005182 A JP 2001005182A
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photosensitive resin
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悦夫 大川戸
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive resin composition having thermoplasticity, high adhesive power to a metallic conductor and high elongation and capable of exhibiting heat resistance, workability, etc., by blending a polyamic acid having specified repeating units and a specified logarithmic viscosity with a specified acrylamide compound, etc., in a specified ratio. SOLUTION: A polyamic acid having repeating units of the formula and 0.3 to 1.0 dl/g logarithmic viscosity is blended with 10 to 100 pts.wt. (meth) acrylate compound containing an alcoholic hydroxyl group and having >=3 photopolymerizable C-C unsaturated double bonds, 5 to 100 pts.wt. polyalkylene glycol di(meth)acrylate compound and 5 to 50 pts.wt. acrylamide compound of the formula (CH2=C(R1)-CONH)nR2 as essential components, based on 100 pts.wt. polyamic acid, and a photopolymerization initiator is further added as an essential component. In the formula, R1 is H or methyl, R2 is H, CH2 or the like and (n) is 1 or 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はポリアミド酸を主成
分とする感光性樹脂組成物に関する。より詳しくは本発
明は特定の構造を有するポリイミドの前駆体であるポリ
アミド酸に、特定の構造を有する(メタ)アクリレート
化合物、特定の構造を有するアクリルアミド化合物、光
重合開始剤を特定の比率で配合した、アルカリ水溶液で
現像可能な感光性樹脂組成物であり、液状レジストイン
キ組成物、カバーコート剤、多層プリント基板用絶縁膜
に適する。また硬化物は良好な耐熱性、接着性、電気特
性、更には良好な伸び特性を有し、可とう性回路基板等
の製造に最適である。
The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a polyamic acid as a main component. More specifically, the present invention comprises mixing a (meth) acrylate compound having a specific structure, an acrylamide compound having a specific structure, and a photopolymerization initiator in a specific ratio with a polyamic acid which is a precursor of a polyimide having a specific structure. It is a photosensitive resin composition that can be developed with an aqueous alkali solution and is suitable for a liquid resist ink composition, a cover coating agent, and an insulating film for a multilayer printed circuit board. The cured product has good heat resistance, adhesiveness, electrical properties, and good elongation properties, and is most suitable for manufacturing flexible circuit boards and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板は、スクリーン印
刷法でエッチングレジストまたはメッキレジストパター
ンを形成した後、金属箔のエッチングまたはめっきを施
し、所望の導体回路パターンを形成していた。この導体
回路パターンの酸化防止や絶縁性を維持する目的から熱
硬化性の樹脂組成物または光硬化性の樹脂組成物を導体
回路形成時と同様に、スクリーン印刷法を用いて目的と
する形状の皮膜を形成していた。最近では、パターン密
度を高めるために導体回路の微細化が進んでいる。この
ことから導体回路形成時のエッチングまたはめっきレジ
ストもフォト法を用いて形成することが広く用いられて
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a printed wiring board, after forming an etching resist or a plating resist pattern by a screen printing method, a metal foil is etched or plated to form a desired conductor circuit pattern. A thermosetting resin composition or a photocurable resin composition for the purpose of preventing oxidation of the conductor circuit pattern and maintaining insulation is formed in a desired shape by using a screen printing method in the same manner as when forming the conductor circuit. A film was formed. Recently, miniaturization of conductor circuits has been advanced in order to increase the pattern density. For this reason, it is widely used to form an etching or plating resist at the time of forming a conductor circuit by using a photo method.

【0003】フォト法で形成したエッチングまたはめっ
きレジストパターンは、スクリーン印刷法に比べて位置
精度や寸法精度が一段と高まっている。導体回路パター
ンの微細化と位置精度の向上と、更に実装部品の小型
化、ICパッケージのリードのファインピッチ化に依っ
て、ソルダーレジスト皮膜等の絶縁皮膜形成も画像精度
や位置精度の向上を必要とされていた。従って、近年で
は、精度良く皮膜形成ができる方法として上記フォト法
を用いて、ソルダーレジスト皮膜や絶縁皮膜を形成する
方法が広く使用されるようになった。
An etching or plating resist pattern formed by a photo method has a much higher positional accuracy and dimensional accuracy than a screen printing method. Due to miniaturization of conductor circuit patterns and improvement of position accuracy, and further miniaturization of mounted components and fine pitch of IC package leads, formation of insulation films such as solder resist films also requires improvement of image accuracy and position accuracy. And it was. Therefore, in recent years, a method of forming a solder resist film or an insulating film by using the photo method has been widely used as a method for forming a film with high accuracy.

【0004】上記フォト法では、所望の大きさに感光性
樹脂組成物を塗布した後、必要に応じて乾燥して、感光
性皮膜を形成する。この感光性皮膜にネガのフォトマス
クを乗せて、紫外線等の活性光線で、露光焼き付けを行
う。フォトマスクの透明部分を透過した活性光線が感光
性皮膜を硬化させる。未露光部分は、現像で剥離して、
感光性皮膜を除去する。上記フォト法で形成した感光性
皮膜は更に、熱硬化や活性光線で硬化して、ソルダーレ
ジスト皮膜や絶縁皮膜に成るが、形成された画像は、フ
ォトマスクに極めて近い精度で形成できるため、微細な
画像や位置精度を容易に得ることができる。
[0004] In the photo method, a photosensitive resin composition is applied to a desired size, and then dried if necessary to form a photosensitive film. A negative photomask is placed on this photosensitive film, and exposure and printing are performed with actinic rays such as ultraviolet rays. Active light transmitted through the transparent portion of the photomask cures the photosensitive film. Unexposed parts are peeled off by development,
Remove the photosensitive film. The photosensitive film formed by the above photo method is further cured by heat curing or actinic rays to form a solder resist film or an insulating film, but the formed image can be formed with extremely close precision to a photomask. Image and position accuracy can be easily obtained.

【0005】しかしながら、この方法は、後に現像工程
を必要とする。現像では、未露光部の未硬化部分を有機
溶剤で溶解剥離することで除去していた。溶剤は、1,
1,1−トリクロロエタン等の毒性の強い溶剤または可
燃性の溶剤が一般的に使用されていて、作業安全性の面
からアルカリ水溶液を現像液としたフォトソルダ−レジ
ストが望まれていた。そこで、アルカリ水溶液現像型の
フォトソルダ−レジストの研究が近年盛んとなり、幾つ
かの組成物については開示されている。
[0005] However, this method requires a development step later. In the development, the uncured portions of the unexposed portions were removed by dissolution and peeling with an organic solvent. The solvent is 1,
A highly toxic or flammable solvent such as 1,1-trichloroethane is generally used, and a photo solder resist using an aqueous alkali solution as a developing solution has been desired from the viewpoint of work safety. Therefore, research on an aqueous alkaline solution-developing type photo solder-resist has been actively conducted in recent years, and some compositions have been disclosed.

【0006】例えば、特公昭56−40329公報に
は、エポキシ樹脂に不飽和モノカルボン酸を付加させ更
に多塩基酸無水物を付加させて成る反応生成物をベ−ス
ポリマ−とする感光性樹脂組成物が開示されている。特
開昭61−243869公報には、それぞれノボラック
型エポキシアクリレ−ト等に多塩基酸無水物を付加させ
た反応生成物をベ−スポリマ−とし、アルカリ水溶液を
現像液とするフォトソルダ−レジスト組成物が開示され
ている。しかしながら、上記の組成物で得られるソルダ
−レジスト皮膜は耐熱性、耐溶剤性や耐薬品性において
不十分であり、絶縁性、誘電率に関する特性も十分とは
いえない。また、可とう性に乏しいために、可とう性回
路基板には適用できない。
For example, JP-B-56-40329 discloses a photosensitive resin composition in which a reaction product obtained by adding an unsaturated monocarboxylic acid to an epoxy resin and further adding a polybasic acid anhydride is used as a base polymer. Is disclosed. JP-A-61-243869 discloses a photo solder resist using a reaction product obtained by adding a polybasic acid anhydride to a novolak type epoxy acrylate or the like as a base polymer and using an alkaline aqueous solution as a developer. A composition is disclosed. However, the solder-resist film obtained from the above composition is insufficient in heat resistance, solvent resistance and chemical resistance, and its properties relating to insulation and dielectric constant are not sufficient. In addition, because of its poor flexibility, it cannot be applied to flexible circuit boards.

【0007】また、ポリイミド前駆体であるポリアミド
酸を加熱処理することによって得られるポリイミドが、
その優れた耐熱性、誘電特性から、ICの保護膜、層間
絶縁膜として使用されており、さらに、露光、現像によ
り直接パターンが形成できる感光性ポリイミド前駆体が
提案されている(特開昭60−228537公報、特開
昭59−52822号公報)。
Further, polyimide obtained by heat-treating a polyamic acid as a polyimide precursor is
Due to its excellent heat resistance and dielectric properties, a photosensitive polyimide precursor which has been used as a protective film and an interlayer insulating film for ICs and which can directly form a pattern by exposure and development has been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-1985). -22837, JP-A-59-52822).

【0008】しかしながら、これらの感光性ポリイミド
は、現像に有機溶剤が使用されており、作業安全の観点
から、アルカリ水溶液で現像できる感光性ポリイミドが
望まれている。また、上記感光性ポリイミドは、銅箔等
の導体との接着力が不十分であり、十分な接着力を得る
ためには、導体表面を粗化するなどの、なんらかの処理
が必要である。更には、可とう性回路基板に適用できる
だけの十分な硬化皮膜の伸びにも欠ける。
However, these photosensitive polyimides use an organic solvent for development, and from the viewpoint of work safety, a photosensitive polyimide which can be developed with an alkaline aqueous solution is desired. Further, the photosensitive polyimide has an insufficient adhesive force to a conductor such as a copper foil, and in order to obtain a sufficient adhesive force, some treatment such as roughening the surface of the conductor is required. Further, the cured film lacks sufficient elongation that can be applied to a flexible circuit board.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、水酸
化ナトリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカ
リ水溶液で現像することができるとともに、露光による
画像の焼き付け時に十分に硬化した皮膜を得ることがで
き、現像後の熱処理によるイミド化後の皮膜特性とし
て、優れた耐熱性、導体との接着性、電気特性、更には
良好な伸び特性により、可とう性を発現し、フォトソル
ダーレジスト、可とう性回路基板のカバーコート剤に適
した感光性樹脂組成物を提供することである。また、こ
れらの感光性皮膜により耐熱、耐酸化性、電気絶縁特性
に優れた金属加工品を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a film which can be developed with an aqueous alkali solution such as an aqueous sodium hydroxide solution or an aqueous sodium carbonate solution and which has been sufficiently cured during printing of an image by exposure. As a film property after imidization by heat treatment after development, it exhibits excellent heat resistance, adhesiveness to conductors, electrical properties, and even good elongation properties, and exhibits flexibility, photo solder resist, flexible It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition suitable for a cover coating agent for a flexible circuit board. Another object of the present invention is to provide a metal processed product excellent in heat resistance, oxidation resistance, and electrical insulation properties by using these photosensitive films.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、
(1)(A)下記式(1)
That is, the present invention provides:
(1) (A) The following formula (1)

【化3】 で表される繰り返し単位を有し、それの対数粘度(N,
N−ジメチルアセトアミド溶媒、濃度0.5g/100
ml、35℃で測定)が0.3〜1.0dl/gである
ポリアミド酸100重量部に対して、(B)アルコール
性水酸基を含有し、少なくとも3つ以上の光重合可能な
C−C不飽和2重結合を有する(メタ)アクリレート化
合物10〜100重量部と、C)ポリアルキレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート化合物5〜100重量部
と、(D)下記式(2)
Embedded image And a logarithmic viscosity (N,
N-dimethylacetamide solvent, concentration 0.5 g / 100
(B) at least 3 or more photopolymerizable C-Cs containing (B) an alcoholic hydroxyl group with respect to 100 parts by weight of a polyamic acid having a concentration of 0.3 to 1.0 dl / g). 10 to 100 parts by weight of a (meth) acrylate compound having an unsaturated double bond, 5 to 100 parts by weight of C) a polyalkylene glycol di (meth) acrylate compound, and (D) the following formula (2)

【0011】[0011]

【化4】 (式中R1は、水素原子またはメチル基を表し、R2は水
素原子、CH2またはCH2OHを表し、nは1又は2で
ある。)で表されるアクリルアミド化合物5〜50重量
部と、(E)光重合開始剤を必須成分として配合せしめ
た感光性樹脂組成物、(2)(1)に記載の感光性樹脂
組成物を、含チッソ有機溶剤100部に対し、10〜1
000部のグリコールエーテル系有機溶剤を含む混合溶
剤で希釈してなる感光性樹脂組成物、および(3)硬化
後の皮膜の伸び率が20%以上であることを特徴とする
(1)または(2)に記載の感光性樹脂組成物、および
(4)(1)〜(3)に記載の感光性樹脂組成物を金
属、プラスチックまたはセラミックに塗布乾燥して形成
してなる感光性皮膜を有する加工品、を提供するもので
ある。
Embedded image (Wherein R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents a hydrogen atom, CH 2 or CH 2 OH, and n is 1 or 2) 5 to 50 parts by weight of the acrylamide compound And (E) a photosensitive resin composition prepared by mixing a photopolymerization initiator as an essential component, and (2) the photosensitive resin composition according to (1) in an amount of 10 to 1 based on 100 parts of a nitrogen-containing organic solvent.
(1) or (1) wherein the photosensitive resin composition is diluted with a mixed solvent containing 000 parts of a glycol ether-based organic solvent, and (3) the film has an elongation of at least 20% after curing. It has a photosensitive resin composition according to 2) and a photosensitive film formed by applying and drying the photosensitive resin composition according to (4) (1) to (3) on metal, plastic or ceramic. Processed goods.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明に用いるポリアミド酸、す
なわち、前記式(1)で表される繰り返し単位を有する
重合体は、芳香族ジアミンとして1,3−ビス(3−ア
ミノフェノキシ)ベンゼンを使用し、また芳香族二酸無
水物として3,3' −4,4' −ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物を使用する。これらを、有機溶剤中、縮
合させて製造することができる(特開昭61−1434
77号公報に記載)。 上記の縮合反応において、反応
温度は通常10〜60℃、好ましくは20〜50℃であ
り、圧力は特に限定されず、常圧で十分行うことができ
る。反応時間は、使用する有機溶剤の種類、及び反応温
度によりことなるが、通常、ポリアミド酸の生成が完了
するに十分な時間、すなわち4〜24時間である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The polyamic acid used in the present invention, that is, the polymer having a repeating unit represented by the above formula (1), comprises 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene as an aromatic diamine. And 3,3′-4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride as an aromatic dianhydride. These can be produced by condensing them in an organic solvent (JP-A-61-1434).
No. 77). In the above condensation reaction, the reaction temperature is usually from 10 to 60 ° C, preferably from 20 to 50 ° C, and the pressure is not particularly limited, and the reaction can be carried out at normal pressure. The reaction time varies depending on the type of the organic solvent used and the reaction temperature, but is usually a time sufficient for completing the generation of the polyamic acid, that is, 4 to 24 hours.

【0013】本発明において、上記のように得られるポ
リアミド酸の対数粘度は0.3〜1.0dl/gの範囲
であることが必要である。ここで、対数粘度とは次の数
式(1)
In the present invention, the logarithmic viscosity of the polyamic acid obtained as described above must be in the range of 0.3 to 1.0 dl / g. Here, the logarithmic viscosity is represented by the following equation (1).

【数1】 (式中、lnは自然対数、ηは溶媒のN,N−ジメチル
アセトアミド100m中にポリアミド酸0.5gを溶か
した溶液の35℃で測定した粘度、η0は該溶媒の35
℃で測定した粘度、及びCは該溶媒100ml当たりポ
リアミド酸のgで表された重合体の溶液濃度である。)
で算出した値である。
(Equation 1) (In the formula, ln is a natural logarithm, η is a viscosity measured at 35 ° C. of a solution of 0.5 g of polyamic acid in 100 m of N, N-dimethylacetamide as a solvent, and η0 is 35 of the solvent.
Viscosity, measured in ° C., and C is the solution concentration of the polymer in grams of polyamic acid per 100 ml of the solvent. )
It is the value calculated in.

【0014】このポリアミド酸の対数粘度が0.3dl
/g未満では、ポリアミド酸の重合度が小さく、現像
時、露光部の塗膜が十分な強度を得られない。一方、こ
の対数粘度が1.0dl/gを越えると、ポリアミド酸
の重合度が余りにも大きくなり、現像時、未露光部が溶
解不良となる。この対数粘度は、芳香族ジアミンと芳香
族二酸無水物のモル比を変えることにより、任意に調整
できる。
The logarithmic viscosity of this polyamic acid is 0.3 dl.
If it is less than / g, the degree of polymerization of the polyamic acid is small, and during development, the coating film on the exposed portion cannot obtain sufficient strength. On the other hand, if the logarithmic viscosity exceeds 1.0 dl / g, the degree of polymerization of the polyamic acid becomes too large, and undeveloped portions become poorly dissolved during development. The logarithmic viscosity can be arbitrarily adjusted by changing the molar ratio between the aromatic diamine and the aromatic dianhydride.

【0015】本発明に用いる溶剤は、含チッソ系有機溶
剤である。含チッソ系有機溶剤としては、N,N−ジメ
チルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N
−メチルー2−ピロリドン、1,3−ジメチルー2−イ
ミダゾリジノン等が挙げられる。本発明では、含チッソ
系有機溶剤とグリコールエーテル系有機溶剤を併用する
ことが好ましい。グリコールエーテル系有機溶剤として
は、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレング
リコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、トリ
エチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレング
リコールジエチルエーテル等が挙げられる。含チッソ系
有機溶剤またはグリコールエーテル系有機溶剤は2種以
上混合して使用することもできる。より好ましくは、上
記含チッソ系有機溶剤とグリコールエーテル系有機溶剤
の混合割合は、含チッソ系有機溶剤100重量部に対し
グリコールエーテル系有機溶剤が10重量部〜1000
重量部、更に好ましくは、20重量部〜500重量部の
範囲である。グリコールエーテル系有機溶剤の量が10
重量部未満では、アルカリ現像の際に、塗膜にクラック
が生じる。また、グリコールエーテル系有機溶剤の量が
1000重量部を越えると、ポリアミド酸の溶解が困難
になり好ましくない。
The solvent used in the present invention is a nitrogen-containing organic solvent. Examples of the nitrogen-containing organic solvent include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N
-Methyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone and the like. In the present invention, it is preferable to use a nitrogen-containing organic solvent and a glycol ether-based organic solvent in combination. Examples of the glycol ether-based organic solvent include ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol diethyl ether, and the like. The nitrogen-containing organic solvent or the glycol ether-based organic solvent may be used as a mixture of two or more kinds. More preferably, the mixing ratio of the above-mentioned nitrogen-containing organic solvent and glycol ether-based organic solvent is such that the glycol ether-based organic solvent is 10 parts by weight to 1000 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the nitrogen-containing organic solvent.
Parts by weight, more preferably in the range of 20 to 500 parts by weight. When the amount of the glycol ether organic solvent is 10
If the amount is less than parts by weight, cracks occur in the coating film during alkali development. On the other hand, if the amount of the glycol ether-based organic solvent exceeds 1000 parts by weight, it is difficult to dissolve the polyamic acid, which is not preferable.

【0016】本発明に用いる、アルコール性水酸基を含
有し、少なくても3つ以上の光重合可能なC−C不飽和
2重結合を有する(メタ)アクリレート化合物として
は、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエ
リスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタメタアクリレート等が挙げられるが、該ポリアミド
酸との相溶性、また露光時の硬化性、更には、現像時の
アルカリ水溶液への未露光部の溶解性から、ペンタエリ
スリトールトリアクリレートが最も好ましい。
The (meth) acrylate compounds having an alcoholic hydroxyl group and having at least three or more photopolymerizable CC unsaturated double bonds for use in the present invention include pentaerythritol triacrylate and pentaerythritol triacrylate. Erythritol trimethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, and the like, include compatibility with the polyamic acid, curability at the time of exposure, and further, unexposed to an aqueous alkali solution at the time of development. Due to the solubility of the pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol triacrylate is most preferred.

【0017】上記(メタ)アクリレート化合物の配合量
は、該ポリアミド酸100重量部に対して10〜100
重量部である。10重量部未満では、露光後の皮膜が十
分に硬化せず、またアルカリ現像の際に、未露光部が完
全に溶解せず現像残りを生じる。100重量部を越える
と、該ポリアミド酸との相溶性が低下し、塗布、乾燥後
に皮膜が白化する場合がある。更に、露光部の可とう性
を損ない、露光後の皮膜の伸び率が著しく低下する。本
発明に用いる、ポリアルキレングリコールジ(メタ)ア
クリレート化合物としては、つぎの式、式(3)〜式
(8)で示される化合物が挙げられる。
The amount of the (meth) acrylate compound is 10 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyamic acid.
Parts by weight. If the amount is less than 10 parts by weight, the film after exposure is not sufficiently cured, and the unexposed portion is not completely dissolved during alkali development, resulting in development residue. If it exceeds 100 parts by weight, the compatibility with the polyamic acid may be reduced, and the coating may be whitened after coating and drying. Further, the flexibility of the exposed portion is impaired, and the elongation of the film after exposure is significantly reduced. Examples of the polyalkylene glycol di (meth) acrylate compound used in the present invention include compounds represented by the following formulas, and formulas (3) to (8).

【0018】[0018]

【化5】 (式中、nは2〜12である。)Embedded image (In the formula, n is 2 to 12.)

【0019】[0019]

【化6】 (式中、nは2〜12である。)Embedded image (In the formula, n is 2 to 12.)

【0020】[0020]

【化7】 (式中、nは2〜12である。)Embedded image (In the formula, n is 2 to 12.)

【0021】[0021]

【化8】 (式中、nは2〜12である。)Embedded image (In the formula, n is 2 to 12.)

【0022】[0022]

【化9】 (式中、nは2〜12である。)Embedded image (In the formula, n is 2 to 12.)

【0023】[0023]

【化10】 (式中、nは2〜12である。) 上記ポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート
化合物の配合量は、該ポリアミド酸に対して5〜100
重量部である。5重量部未満では、露光部の可とう性が
十分でなく、露光後の皮膜の伸び率が低下する。100
重量部を越えると、耐熱性が著しく損なわれる。本発明
に用いる、つぎの式(2)
Embedded image (In the formula, n is 2 to 12.) The blending amount of the polyalkylene glycol di (meth) acrylate compound is 5 to 100 with respect to the polyamic acid.
Parts by weight. If the amount is less than 5 parts by weight, the flexibility of the exposed portion is not sufficient, and the elongation of the film after exposure is reduced. 100
If the amount is more than the weight part, heat resistance is remarkably impaired. The following equation (2) used in the present invention:

【0024】[0024]

【化11】 (式中R1は、水素原子またはメチル基を表し、R2は水
素原子、CH2またはCH2OHを表し、nは1又は2で
ある。)で表されるアクリルアミド化合物としては、ア
クリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアク
リルアミド、N−メチロールメタクリルアミド、メチレ
ンビスアクリルアミド、メチレンビスメタクリルアミド
等が挙げられ、これらを単独もしくは2種以上混合して
使用できる。
Embedded image (Wherein R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents a hydrogen atom, CH 2 or CH 2 OH, and n is 1 or 2). Methacrylamide, N-methylolacrylamide, N-methylolmethacrylamide, methylenebisacrylamide, methylenebismethacrylamide and the like can be used, and these can be used alone or as a mixture of two or more.

【0025】上記アクリルアミド化合物を、該ポリアミ
ド酸に対して5〜50重量部配合することにより、該ポ
リアミド酸とアクリレート化合物の相溶性が向上すると
同時に、露光時の硬化性が向上し、低露光量での硬化が
可能となり、解像性の向上も期待できる。5重量部未満
では、硬化性が十分ではなく、50重量部を越えると析
出が起こり、良好な皮膜が得られない。
By blending the acrylamide compound in an amount of 5 to 50 parts by weight with respect to the polyamic acid, the compatibility between the polyamic acid and the acrylate compound is improved, and at the same time, the curability at the time of exposure is improved, and Curing is possible, and improvement in resolution can be expected. If it is less than 5 parts by weight, the curability is not sufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, precipitation occurs, and a good film cannot be obtained.

【0026】本発明に用いる光重合開始剤は公知のもの
であり、具体的にはベンゾフェノン、ミヒラーケトン、
ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインブ
チルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2,2
−ジメトキシー2−フェニルアセトフェノン、2−ヒド
ロキシ2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシー
2−メチルプロピオフェノン、2−ヒドロキシー4−イ
ソプロピルー2−メチルプロピオフェノン、2−エチル
アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、ジエ
チルチオキサントン、クロルチオキサントン、ベンジ
ル、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロ
ヘキシルフェニルケトン、ベンゾイル安息香酸、2−メ
チルー1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリ
ノプロパン−1−オン、2,4,6トリメチルベンゾイ
ルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
The photopolymerization initiator used in the present invention is a known one. Specifically, benzophenone, Michler's ketone,
Benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin butyl ether, benzoin isobutyl ether, 2,2
-Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-hydroxy-4-isopropyl-2-methylpropiophenone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone , Diethylthioxanthone, chlorothioxanthone, benzyl, benzyldimethylketal, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, benzoylbenzoic acid, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2,4,6 Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and the like.

【0027】さらにベンゾインとエチレンオキサイドの
等モル付加物や、2倍モル付加物から4倍モル付加物、
ベンゾインとプロピレンオキサイドの等モル付加物や2
倍モル付加物から4倍モル付加物、αーアリルベンゾイ
ン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンとエ
チレンオキサイドの等モル付加物、2倍モル付加物から
4倍モル付加物、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトンとプロピレンオキサイドの等モル付加物、2倍
モル付加物から4倍モル付加物、ベンゾイル安息香酸と
エチレングリコール等モル反応物、ベンゾイル安息香酸
とプロピレングリコール等モル反応物、ヒドロキシベン
ゾフェノンとエチレンオキサイドの等モル付加物、2倍
モル付加物から4倍モル付加物、ヒドロキシベンゾフェ
ノンとプロピレンオキサイドの等モル付加物、2倍モル
付加物、4倍モル付加物、4−(2−ヒドロキシエトキ
シ)フェニルー(2−ヒドロキシー2−プロピル)ケト
ン、4−(2−アクロオキシエトキシ)−フェニルー
(2−ヒドロキシー2−プロピル)ケトン、4−(2−
ヒドロキシエトキシ)フェニルー(2−ヒドロキシー2
−プロピル)ケトンとエチレンオキサイドの等モル付加
物、2倍モル付加物から4倍モル付加物、4−(2−ヒ
ドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシー2−
プロピル)ケトンとプロピレンオキサイドの等モル付加
物、2倍モル付加物から4倍モル付加物、1−(4−イ
ソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシー2−メチルプ
ロパンー1−オン、1−(4−デシルフェニル)−2−
ヒドロキシー2−メチルプロパンー1−オン等が挙げら
れる。これらは1種または2種以上混合して使用する。
また公知光重合開始助剤を併用してもよい。これら光重
合開始助剤として具体的には、トリエタノールアミン、
ジエタノールアミン、エタノールアミン、トリプロパノ
ールアミン、ジプロパノールアミン、プロパノールアミ
ン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチル
アミノ安息香酸イソアミル等が挙げられる。上記光重合
開始助剤は1種または2種以上混合して使用する。上記
光重合開始剤の感光性樹脂組成物の固形分総量に対する
配合量は0.1wt%〜20wt%、より好ましくは
1.0wt%〜10wt%である。
Further, an equimolar addition product of benzoin and ethylene oxide, a 2-fold to 4-fold molar addition product,
Equimolar addition of benzoin and propylene oxide or 2
4-fold molar adduct to 4-fold molar adduct, α-allylbenzoin, equimolar adduct of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone and ethylene oxide, 2-fold molar adduct to 4-fold molar adduct, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone Equimolar addition product of propylene oxide, 2-fold to 4-fold mole addition product, benzoylbenzoic acid and ethylene glycol equimolar reactant, benzoylbenzoic acid and propylene glycol equimolar reactant, hydroxybenzophenone and ethylene oxide equimolar Adduct, 2-fold to 4-fold molar addition, equimolar addition of hydroxybenzophenone and propylene oxide, 2-fold molar addition, 4-fold molar addition, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2- Hydroxy-2-propyl) ketone, 4- (2-a) B oxy ethoxy) - phenyl-(2-hydroxy-2-propyl) ketone, 4- (2-
Hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2
-Propyl) ketone and ethylene oxide equimolar adduct, 2-fold to 4-fold molar adduct, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-
Propyl) ketone and propylene oxide equimolar adduct, 2-fold to 4-fold molar adduct, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4- Decylphenyl) -2-
And hydroxy-2-methylpropan-1-one. These may be used alone or in combination of two or more.
A known photopolymerization initiation aid may be used in combination. As these photopolymerization initiation aids, specifically, triethanolamine,
Examples thereof include diethanolamine, ethanolamine, tripropanolamine, dipropanolamine, propanolamine, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, and isoamyl 4-dimethylaminobenzoate. The photopolymerization initiation aid is used alone or in combination of two or more. The blending amount of the photopolymerization initiator with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition is 0.1 wt% to 20 wt%, more preferably 1.0 wt% to 10 wt%.

【0028】該感光性樹脂組成物を使用して、金属、金
属積層板やセラミック板の表面にソルダーレジスト皮膜
や絶縁皮膜を形成する方法は、既に公知のロールコータ
ーやスクリーン塗布、バーコーター等を用いて容易に塗
布することができる。塗布した感光性樹脂組成物は、有
機溶剤を揮発させることで感光性皮膜となるが、乾燥も
公知の方法でよく、例えば、熱風乾燥機や遠赤外線、近
赤外線等の乾燥機を用いて50〜150℃で10から6
0分乾燥することで感光性皮膜を形成することができ
る。感光性皮膜の膜厚は、5〜200μm が適当で、好
ましくは15〜100μm である。膜厚が5μm に満た
ないと、絶縁信頼性が乏しく、200μmを越えると露
光感度の低下を招き、現像時間がかかるので好ましくな
い。 また、本発明の感光性樹脂組成物は、ソルダーレ
ジスト皮膜や絶縁皮膜の形成材料となるばかりでなく、
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等の無色
透明なフィルムに塗布乾燥することで、感光性フィルム
を得ることができる。上記感光性フィルムは、上記した
膜厚10〜100μm のフィルムに、リバースロールコ
ーターやグラビアロールコーター、コンマコーター、カ
ーテンコーター等の、公知の方法で塗布することができ
る。乾燥は、熱風乾燥や遠赤外線、近赤外線を用いた乾
燥機で温度50〜120℃で乾燥でき、より好ましくは
60〜100℃で10〜60分乾燥することにより、感
光性フィルムを得ることができる。この際の感光性樹脂
組成物の膜厚は、5〜200μm であり、より好ましく
は15〜100μm である。膜厚が5μm に満たない
と、絶縁信頼性に欠け、200μmを越えると露光感度
の低下を招き、現像に時間がかかるので好ましくない。
A method of forming a solder resist film or an insulating film on the surface of a metal, a metal laminate plate or a ceramic plate using the photosensitive resin composition includes a known roll coater, screen coating, bar coater and the like. It can be easily applied using. The applied photosensitive resin composition becomes a photosensitive film by volatilizing an organic solvent, and drying may be performed by a known method, for example, using a hot air dryer, a far infrared ray, a near infrared ray dryer, or the like. 10 to 6 at ~ 150 ° C
By drying for 0 minutes, a photosensitive film can be formed. The thickness of the photosensitive film is suitably from 5 to 200 μm, preferably from 15 to 100 μm. If the film thickness is less than 5 μm, the insulation reliability is poor, and if it exceeds 200 μm, the exposure sensitivity is lowered and the development time is undesirably long. Further, the photosensitive resin composition of the present invention is not only a material for forming a solder resist film or an insulating film,
A photosensitive film can be obtained by coating and drying a colorless and transparent film such as polyethylene, polypropylene, and polyester. The photosensitive film can be applied to the above-mentioned film having a thickness of 10 to 100 μm by a known method such as a reverse roll coater, a gravure roll coater, a comma coater, and a curtain coater. Drying can be performed at a temperature of 50 to 120 ° C. using a dryer using hot air drying or far-infrared rays or near-infrared rays, and more preferably by drying at 60 to 100 ° C. for 10 to 60 minutes to obtain a photosensitive film. it can. At this time, the thickness of the photosensitive resin composition is from 5 to 200 μm, and more preferably from 15 to 100 μm. If the film thickness is less than 5 μm, the insulation reliability is poor, and if it exceeds 200 μm, the exposure sensitivity is lowered and development takes a long time, which is not preferable.

【0029】なお、上記感光性フィルムを用いて、ソル
ダーレジスト皮膜や絶縁皮膜を得るには、平板プレスや
ロールプレス等の公知の方法により、40〜150℃に
加熱しながら、98kPa〜490kPa(1〜5Kg
f/cm2)で熱圧着することで感光性皮膜を金属板、
金属積層板やセラミック板の表面に形成することができ
る。 このようにして、感光性皮膜は、通常のフォトマ
スクを用いて露光される。この際に使用される活性光線
としては、例えば、紫外線、電子線、X線等が挙げられ
るが、これらの中でより好ましくは紫外線であり、その
光源としては、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高
圧水銀灯、ハロゲンランプ等が挙げられる。露光後、現
像液を使用して現像を行う際には、浸漬法やスプレー法
を用いることができる。現像液としては、水酸化ナトリ
ウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液
が使用される。現像後は、希塩酸、希硫酸等の酸性水溶
液でリンスすることが望ましい。現像によって得られた
パターンは、その後、加熱処理することによって、ポリ
イミドのパターンに変換される。加熱処理は、150〜
450℃の温度のもとで、0.1〜5時間、連続的また
は段階的に行われる。
In order to obtain a solder resist film or an insulating film using the above-mentioned photosensitive film, a known method such as a flat plate press or a roll press may be used while heating the film to 40 to 150 ° C. while heating at 98 to 490 kPa (1 kPa). ~ 5Kg
f / cm 2 ) by thermocompression bonding to form a photosensitive film on a metal plate,
It can be formed on the surface of a metal laminate or ceramic plate. In this way, the photosensitive film is exposed using a normal photomask. The actinic rays used at this time include, for example, ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like, and among these, ultraviolet rays are more preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, An ultra-high pressure mercury lamp, a halogen lamp and the like can be mentioned. After the exposure, when performing development using a developer, an immersion method or a spray method can be used. As the developing solution, an aqueous alkaline solution such as an aqueous sodium hydroxide solution and an aqueous sodium carbonate solution is used. After development, it is desirable to rinse with an acidic aqueous solution such as dilute hydrochloric acid or dilute sulfuric acid. The pattern obtained by the development is then converted into a polyimide pattern by heat treatment. Heat treatment is 150 ~
It is performed continuously or stepwise at a temperature of 450 ° C. for 0.1 to 5 hours.

【0030】[0030]

【実施例】以下、実施例および比較例により本発明を具
体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもので
はない。
EXAMPLES The present invention will be described below in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.

【0031】〔合成例1〕 (ポリアミド酸PA1) 反応器(攪拌機、還流冷却器および窒素導入管付き)
中、窒素雰囲気下、N,N−ジメチルアセトアミド13
5g、ジエチレングリコールジメチルエーテル135g
に1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン5
3.29g(0.1825モル)を溶解し、これを攪拌
しながら、3,3' −4,4' −ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物53.214g(0.1810モル)を
乾燥固体のまま少量ずつ添加した。この間、反応器の温
度を25〜30℃に保ち、添加後20時間、窒素雰囲気
下で攪拌を継続し、固形分30%のポリアミド酸を得
た。このポリアミド酸の対数粘度を表1に示す。
[Synthesis Example 1] (Polyamide acid PA1) Reactor (with stirrer, reflux condenser and nitrogen inlet tube)
Medium, under nitrogen atmosphere, N, N-dimethylacetamide 13
5 g, 135 g of diethylene glycol dimethyl ether
1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene 5
While dissolving 3.29 g (0.1825 mol), 53.214 g (0.1810 mol) of 3,3′-4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was dried while stirring as a dry solid. It was added in small portions. During this period, the temperature of the reactor was maintained at 25 to 30 ° C, and stirring was continued under a nitrogen atmosphere for 20 hours after the addition to obtain a polyamic acid having a solid content of 30%. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0032】〔合成例2〕 (ポリアミド酸PA2) 合成例1の3,3' −4,4' −ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物のかわりに、ピロメリット酸二無水物を
用いた以外は、合成例1と全く同様に操作し、ポリアミ
ド酸を得た。このポリアミド酸の対数粘度を表1に示
す。
[Synthesis Example 2] (Polyamic acid PA2) Pyromellitic dianhydride was used in place of 3,3'-4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride in Synthesis Example 1, except that By operating exactly as in Synthesis Example 1, a polyamic acid was obtained. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0033】〔合成例3〕 (ポリアミド酸PA3) 合成例1の1,3ービス(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼンのかわりに、4,4' −ジアミノジフェニルエーテ
ルを用いた以外は、合成例1と全く同様に操作し、ポリ
アミド酸を得た。このポリアミド酸の対数粘度を表1に
示す。
[Synthesis Example 3] (Polyamide acid PA3) Except for using 4,4′-diaminodiphenyl ether in place of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene in Synthesis Example 1, it was completely the same as in Synthesis Example 1. The same operation was performed to obtain a polyamic acid. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0034】〔合成例4〜5〕 (ポリアミド酸PA4
〜5) 合成例1の3,3' −4,4' −ビフェニルテトラカル
ボン酸二無水物の量を44.1g(0.15モル)(P
A4)または、53.655g(0.1825モル)
(PA5)に変える以外は、合成例1と全く同様に操作
し、2種ポリアミド酸を得た。このポリアミド酸の対数
粘度を表1に示す。
[Synthesis Examples 4 and 5] (Polyamic acid PA4
~ 5) The amount of 3,3'-4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride in Synthesis Example 1 was 44.1 g (0.15 mol) (P
A4) or 53.655 g (0.1825 mol)
Except for changing to (PA5), the same operation as in Synthesis Example 1 was performed to obtain two kinds of polyamic acids. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0035】〔合成例6〕 (ポリアミド酸PA6) 合成例1の有機溶剤全量をN,N−ジメチルアセトアミ
ド270gに変えた以外は、合成例1と全く同様に操作
し、ポリアミド酸を得た。このポリアミド酸の対数粘度
を表1に示す。
[Synthesis Example 6] (Polyamide acid PA6) A polyamic acid was obtained in exactly the same manner as in Synthesis example 1 except that the total amount of the organic solvent in Synthesis example 1 was changed to 270 g of N, N-dimethylacetamide. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0036】[0036]

【表1】 上記合成例で示したポリアミド酸を用い、本発明の感光
性樹脂組成物の実施例を以下に示す。
[Table 1] Examples of the photosensitive resin composition of the present invention using the polyamic acid shown in the above synthesis examples are shown below.

【0037】 〔実施例1〕 配合量(重量部) 合成例1 ポリアミド酸(PA1) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート (東亜合成社製 アロニックスM−305) 24 テトラエチレングリコールジアクリレート (東亜合成社製 アロニックスM−240) 3 メチレンビスアクリルアミド (東京化成社製) 3 IRUGACURE907 (チバガイギー社製 以下IGC907と略す) 4 カヤキュアー DETX (日本化薬製 以下DETXと略す) 1 Example 1 Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 1 Polyamic acid (PA1) 200 Pentaerythritol triacrylate (Aronix M-305 manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 24 Tetraethylene glycol diacrylate (Aronix M manufactured by Toagosei Co. -240) 3 Methylene bisacrylamide (Tokyo Kasei Co., Ltd.) 3 IRUGACURE907 (Ciba Geigy Co., Ltd .; hereinafter abbreviated as IGC907)

【0038】 〔実施例2〕 配合量(重量部) 合成例1 ポリアミド酸(PA1) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 6 テトラエチレングリコールジアクリレート 21 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 Example 2 Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 1 Polyamic acid (PA1) 200 Pentaerythritol triacrylate 6 Tetraethylene glycol diacrylate 21 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0039】 〔比較例1〕 配合量(重量部) 合成例2 ポリアミド酸(PA2) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 24 テトラエチレングリコールジアクリレート 3 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 [Comparative Example 1] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 2 Polyamic acid (PA2) 200 Pentaerythritol triacrylate 24 Tetraethylene glycol diacrylate 3 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0040】 〔比較例2〕 配合量(重量部) 合成例3 ポリアミド酸(PA3) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 24 テトラエチレングリコールジアクリレート 3 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 [Comparative Example 2] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 3 Polyamic acid (PA3) 200 Pentaerythritol triacrylate 24 Tetraethylene glycol diacrylate 3 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0041】 〔比較例3〕 配合量(重量部) 合成例4 ポリアミド酸(PA4) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 24 テトラエチレングリコールジアクリレート 3 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 [Comparative Example 3] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 4 Polyamic acid (PA4) 200 Pentaerythritol triacrylate 24 Tetraethylene glycol diacrylate 3 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0042】 〔比較例4〕 配合量(重量部) 合成例5 ポリアミド酸(PA5) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 24 テトラエチレングリコールジアクリレート 3 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 [Comparative Example 4] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 5 Polyamic acid (PA5) 200 Pentaerythritol triacrylate 24 Tetraethylene glycol diacrylate 3 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0043】 〔比較例5〕 配合量(重量部) 合成例6 ポリアミド酸(PA6) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 24 テトラエチレングリコールジアクリレート 3 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 Comparative Example 5 Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 6 Polyamic acid (PA6) 200 Pentaerythritol triacrylate 24 Tetraethylene glycol diacrylate 3 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0044】 〔比較例6〕 配合量(重量部) 合成例1 ポリアミド酸(PA1) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 27 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 Comparative Example 6 Compounding Amount (Parts by Weight) Synthesis Example 1 Polyamic Acid (PA1) 200 Pentaerythritol Triacrylate 27 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0045】 〔比較例7〕 配合量(重量部) 合成例1 ポリアミド酸(PA1) 200 テトラエチレングリコールジアクリレート 27 メチレンビスアクリルアミド 3 IGC907 4 DETX 1 [Comparative Example 7] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 1 Polyamic acid (PA1) 200 Tetraethylene glycol diacrylate 27 Methylenebisacrylamide 3 IGC907 4 DETX 1

【0046】 〔比較例8〕 配合量(重量部) 合成例1 ポリアミド酸(PA1) 200 ペンタエリスリトールトリアクリレート 15 テトラエチレングリコールジアクリレート 15 IGC907 4 DETX 1 上記の感光性樹脂組成物を調整して、導体回路パターン
を描いたプリント配線板に、ドクターブレードを用い均
一に塗布した。その後、80℃で40分間乾燥して、試
験用のサンプルを作成した。また、厚み1mmの金属板
および1オンスの銅箔光沢面に塗布乾燥して、テストサ
ンプルとした。乾燥した塗布膜厚は、導体回路上および
金属板上および銅箔光沢面上で20〜25μm の感光性
皮膜が得られるよう調整した。
Comparative Example 8 Compounding Amount (parts by weight) Synthesis Example 1 Polyamic acid (PA1) 200 Pentaerythritol triacrylate 15 Tetraethylene glycol diacrylate 15 IGC907 4 DETX 1 The above photosensitive resin composition was prepared. The printed circuit board on which the conductive circuit pattern was drawn was uniformly applied using a doctor blade. Then, it dried at 80 degreeC for 40 minutes, and produced the sample for a test. A test sample was obtained by coating and drying a 1 mm thick metal plate and a 1 oz. Copper foil glossy surface. The dried coating film thickness was adjusted so that a photosensitive film having a thickness of 20 to 25 μm was obtained on the conductive circuit, the metal plate, and the glossy surface of the copper foil.

【0047】次に、所望のフォトマスクを用いて3kw
の超高圧水銀灯にて、感光性皮膜に500mj/cm2
の光量が照射できるように露光した。露光した感光性皮
膜を1.0wt%の水酸化ナトリウム水溶液で30℃に
調節した現像液に50秒間浸漬して現像を行った。実施
例1〜2および比較例1〜2、6〜7では、未露光部は
容易に現像液で剥離され所望の画像が得られた。なお比
較例3では露光部が現像液に全て溶解し画像が得られな
かった。比較例4では未露光部が現像液に溶解せず、画
像を得ることができなかった。比較例5および8では、
所望の画像が得られたものの、塗膜にクラックを生じ
た。実施例1〜2および比較例1〜2、6〜7を250
℃、10分間加熱処理することにより、塗膜をポリイミ
ドに変換せしめた。上記のポリイミドに変換せしめたテ
ストサンプルを、以下の方法を用い各評価を行った。 評価1:鉛筆硬度試験は、(JIS K−5405)に
記載の方法で行った。 評価2:クロスカット後の密着性は、(JIS K−5
405)に記載の方法で行った。 評価3:耐溶剤性試験は、(JIS K−5405)に
記載のクロスカットを入れた後、室温のアセトンに12
時間浸漬し、碁盤目の残量を測定した。 評価4:耐薬品性試験は、(JIS K−5405)に
記載のクロスカットを入れた後、60℃の10wt%の
塩酸水溶液に12時間浸漬し、碁盤目の残量を測定し
た。 評価5:耐薬品性試験は、(JIS K−5405)に
記載のクロスカットを入れた後、60℃の10wt%の
水酸化ナトリウム水溶液に12時間浸漬し、碁盤目の残
量を測定した。 評価6:感光性皮膜でソルダーレジストパターンを形成
した銅箔積層板を、60℃−95%RHの環境下で10
0時間放置した。このサンプルを280℃で溶融したは
んだに20秒間浸漬して銅箔とソルダーレジスト皮膜の
剥離や膨れの有無を確認した。 評価7:0.2mm銅板上に形成したテストサンプルに
おいて、90°の角度の折り曲げ試験を行い、皮膜のク
ラックの有無を確認した。 評価8:1オンス、圧延銅箔光沢面上に形成したテスト
サンプルにおいて、その後、銅箔を2mm幅にエッチン
グし、皮膜と二mm幅銅箔とを、角度90°で引き剥が
した時の強度をPeel強度(Kg/cm)で示した。 評価9:1オンス、圧延銅箔光沢面上に形成したテスト
サンプルにおいて、その後、銅箔を全面エッチングし皮
膜のみのテストサンプルを作成した。これを幅15m
m、長さ150mmの試験片に切断し、引っ張り伸度試
験を行った時の皮膜の伸び率(%)を示した。
Next, 3 kW using a desired photomask
500 mj / cm 2 on the photosensitive film with an ultra-high pressure mercury lamp
Exposure was performed so that the amount of light could be irradiated. The exposed photosensitive film was immersed in a developer adjusted to 30 ° C. with a 1.0 wt% aqueous solution of sodium hydroxide for 50 seconds to perform development. In Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 and 6 and 7, the unexposed portions were easily peeled off with the developer to obtain desired images. In Comparative Example 3, the exposed portion was completely dissolved in the developing solution, and no image was obtained. In Comparative Example 4, the unexposed portion did not dissolve in the developer, and no image could be obtained. In Comparative Examples 5 and 8,
Although the desired image was obtained, the coating film cracked. Examples 1-2 and Comparative Examples 1-2, 6-7 were subjected to 250
The coating was converted to polyimide by heating at 10 ° C. for 10 minutes. Each of the test samples converted into the above polyimide was evaluated by the following methods. Evaluation 1: The pencil hardness test was performed by the method described in (JIS K-5405). Evaluation 2: Adhesion after cross cut was determined according to (JIS K-5)
405). Evaluation 3: In the solvent resistance test, after a cross cut described in (JIS K-5405) was inserted, 12
After immersion for a time, the remaining amount of the grid was measured. Evaluation 4: In the chemical resistance test, after a cross cut described in (JIS K-5405) was inserted, the sample was immersed in a 10% by weight hydrochloric acid aqueous solution at 60 ° C. for 12 hours, and the remaining amount of the grid was measured. Evaluation 5: In the chemical resistance test, after a cross cut described in (JIS K-5405) was inserted, the sample was immersed in a 10% by weight aqueous sodium hydroxide solution at 60 ° C. for 12 hours, and the remaining amount of the grid was measured. Evaluation 6: A copper foil laminated plate having a solder resist pattern formed of a photosensitive film was subjected to a test under an environment of 60 ° C. and 95% RH for 10 days.
Left for 0 hours. This sample was immersed in a solder melted at 280 ° C. for 20 seconds, and the presence or absence of peeling or blistering of the copper foil and the solder resist film was confirmed. Evaluation 7: A test sample formed on a 0.2 mm copper plate was subjected to a bending test at an angle of 90 ° to confirm the presence or absence of cracks in the coating. Evaluation 8: 1 oz. In a test sample formed on a glossy surface of a rolled copper foil, the copper foil was etched to a width of 2 mm, and the film and the 2 mm-wide copper foil were peeled off at an angle of 90 °. Was shown by Peel strength (Kg / cm). Evaluation 9: 1 oz. On a test sample formed on a glossy surface of a rolled copper foil, the entire surface of the copper foil was etched to prepare a test sample having only a film. This is 15m wide
m, a test piece having a length of 150 mm was cut and subjected to a tensile elongation test to show the elongation (%) of the film.

【0048】実施例1〜2および比較例1〜8の評価結
果を表2に示す。この評価結果から、実施例1〜2にお
いては、アルカリ水溶液で現像することが可能で導体と
の接着性、屈曲性、耐薬品性、皮膜の伸び性に優れ、さ
らに、はんだ耐熱性で剥離や膨れが発生しない。比較例
1においては、皮膜の伸び率が著しく低かった。比較例
2においては、導体との接着性が十分ではない。比較例
6においては、皮膜の伸び率が低かった。比較例7にお
いては、耐熱性が低く、はんだ浸漬後に剥離を生じた。
Table 2 shows the evaluation results of Examples 1-2 and Comparative Examples 1-8. From the evaluation results, in Examples 1 and 2, it is possible to develop with an alkaline aqueous solution, and has excellent adhesiveness with a conductor, flexibility, chemical resistance, and film elongation. No swelling occurs. In Comparative Example 1, the elongation of the film was extremely low. In Comparative Example 2, the adhesion to the conductor was not sufficient. In Comparative Example 6, the elongation of the film was low. In Comparative Example 7, heat resistance was low, and peeling occurred after immersion in the solder.

【0049】[0049]

【表2】 [Table 2]

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明による感光性樹脂組成物からなる
絶縁皮膜およびソルダーレジスト皮膜は、表2からも分
かるように、アルカリ水溶液で現像することができる。
またポリアミド酸を主成分とすることで、このポリアミ
ド酸に対応するポリイミド自体が有する、優れた耐熱
性、加工性、電気特性、可とう性を発現させることがで
き、プリント配線板の絶縁皮膜形成材料に最適である。
また、該ポリアミド酸は特定の構造を有することにより
熱可塑性を示し、金属箔等の導体に対して、強い接着力
を持ち、更には特定の(メタ)アクリレート化合物、特
定のアクリルアミド化合物を配合することにより、良好
な皮膜の伸び性を持つことから、多層プリント配線板の
層間絶縁材料、可とう性回路基板のカバーコート材料と
して、優れた性能が期待できる。
As can be seen from Table 2, the insulating film and the solder resist film comprising the photosensitive resin composition according to the present invention can be developed with an aqueous alkali solution.
In addition, by using a polyamic acid as a main component, the polyimide itself corresponding to the polyamic acid can exhibit excellent heat resistance, workability, electrical characteristics, and flexibility, and form an insulating film on a printed wiring board. Ideal for materials.
Further, the polyamic acid exhibits thermoplasticity by having a specific structure, has a strong adhesive force to a conductor such as a metal foil, and further contains a specific (meth) acrylate compound and a specific acrylamide compound. As a result, since the film has good elongation properties, excellent performance can be expected as an interlayer insulating material for a multilayer printed wiring board and a cover coat material for a flexible circuit board.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08J 3/09 CEY C08J 3/09 CEY 4J043 CFG CFG 5E314 C08K 5/06 C08K 5/06 5/3445 5/3445 C08L 79/08 C08L 79/08 A G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 503 503 7/028 7/028 H05K 3/28 H05K 3/28 D Fターム(参考) 2H025 AA00 AA02 AA09 AA10 AA14 AA20 AB15 AC01 AD01 BC13 BC15 BC43 BC65 BC82 BJ00 CA00 CB25 CB41 CC03 FA17 FA39 4F070 AA55 AC38 AC44 AC45 AC47 AC66 AE08 AE28 AE30 CA12 CB03 CB11 4J002 CH052 CM041 ED028 ED038 EE037 EE047 EE057 EH076 EP016 EP018 EU028 EU118 EV037 EV307 EW147 FD207 FD208 GP03 4J011 AA05 PA97 PC02 PC08 QA06 QA18 QA23 QA34 QB16 SA14 SA16 SA19 SA20 SA22 SA29 SA32 SA34 SA42 SA54 SA61 SA63 SA64 SA84 UA01 UA03 UA04 VA01 VA05 WA01 4J027 AC03 AC04 AC06 BA14 BA19 BA26 BA28 CA07 CA09 CB10 CC05 CC06 CC08 CD10 4J043 PA02 PA19 QB15 QB26 QB31 RA06 SA06 SB01 TA14 TA22 TB01 UA132 UA141 UB131 UB402 VA022 VA042 VA071 VA081 XA16 XA18 XB02 ZA02 ZA12 ZA33 ZB22 5E314 AA27 AA36 CC06 FF05 FF19 GG08 GG11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C08J 3/09 CEY C08J 3/09 CEY 4J043 CFG CFG 5E314 C08K 5/06 C08K 5/06 5/3445 5 / 3445 C08L 79/08 C08L 79/08 A G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 503 503 7/028 7/028 H05K 3/28 H05K 3/28 DF term (reference) 2H025 AA00 AA02 AA09 AA10 AA14 AA20 AB15 AC01 AD01 BC13 BC15 BC43 BC65 BC82 BJ00 CA00 CB25 CB41 CC03 FA17 FA39 4F070 AA55 AC38 AC44 AC45 AC47 AC66 AE08 AE28 AE30 CA12 CB03 CB11 4J002 CH052 CM041 ED028 ED038 EE037 EE047 EE057 EH076 EPEE071E0307 EE057 EH076 EP1203E PC08 QA06 QA18 QA23 QA34 QB16 SA14 SA16 SA19 SA20 SA22 SA29 SA32 SA34 SA42 SA54 SA61 SA63 SA64 SA84 UA01 UA03 UA04 VA01 VA05 WA01 4J027 AC03 AC04 AC06 BA14 BA19 BA26 BA28 CA07 CA09 CB10 CC05 CC06 CC08 CD10 4J043 PA02 PA19 QB15 QB26 QB31 RA06 SA06 SB01 TA14 TA22 TB01 UA132 XA12 VA12 XA12 VA02 XA12 VA02 XA12 XA ZA33 ZB22 5E314 AA27 AA36 CC06 FF05 FF19 GG08 GG11

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(A)下記式(1) 【化1】 で表される繰り返し単位を有し、その対数粘度(N,N
−ジメチルアセトアミド溶媒、濃度0.5g/100m
l、35℃で測定)が0.3〜1.0dl/gであるポ
リアミド酸100重量部に対して、(B)アルコール性
水酸基を含有し、少なくとも3つ以上の光重合可能なC
−C不飽和2重結合を有する(メタ)アクリレート化合
物10〜100重量部と、(C)ポリアルキレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート化合物5〜100重量部
と、(D)下記式(2) 【化2】 (式中R1は、水素原子またはメチル基を表し、R2は水
素原子、CH2またはCH2OHを表し、nは1又は2で
ある。)で表されるアクリルアミド化合物5〜50重量
部と、(E)光重合開始剤を必須成分として配合した感
光性樹脂組成物。
(A) The following formula (1): Having a logarithmic viscosity (N, N
-Dimethylacetamide solvent, concentration 0.5 g / 100 m
(B, measured at 35 ° C.) of 100 to 100 parts by weight of a polyamic acid having a concentration of 0.3 to 1.0 dl / g, containing (B) an alcoholic hydroxyl group and at least three or more photopolymerizable Cs.
(C) 10 to 100 parts by weight of a (meth) acrylate compound having an unsaturated double bond, (C) 5 to 100 parts by weight of a polyalkylene glycol di (meth) acrylate compound, and (D) the following formula (2): 2] (Wherein R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents a hydrogen atom, CH 2 or CH 2 OH, and n is 1 or 2) 5 to 50 parts by weight of the acrylamide compound And (E) a photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator as an essential component.
【請求項2】 請求項1に記載の感光性樹脂組成物を、
含チッソ有機溶剤100部に対し、10〜1000部の
グリコールエーテル系有機溶剤を含む混合溶剤で希釈し
てなる感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1,
A photosensitive resin composition obtained by diluting a mixed solvent containing 10 to 1000 parts of a glycol ether-based organic solvent with respect to 100 parts of a nitrogen-containing organic solvent.
【請求項3】 硬化後の皮膜の伸び率が20%以上であ
ることを特徴とする、請求項1または2に記載の感光性
樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the cured film has an elongation of 20% or more.
【請求項4】 請求項1〜3に記載の感光性樹脂組成物
を金属、プラスチックまたはセラミックに塗布乾燥して
形成してなる感光性皮膜を有する加工品。
4. A processed product having a photosensitive film formed by applying and drying the photosensitive resin composition according to claim 1 on a metal, plastic or ceramic.
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