JPH1152570A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPH1152570A
JPH1152570A JP21080897A JP21080897A JPH1152570A JP H1152570 A JPH1152570 A JP H1152570A JP 21080897 A JP21080897 A JP 21080897A JP 21080897 A JP21080897 A JP 21080897A JP H1152570 A JPH1152570 A JP H1152570A
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JP
Japan
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photosensitive resin
polyamic acid
resin composition
solvent
nitrogen
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JP21080897A
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Japanese (ja)
Inventor
Etsuo Ookawado
悦夫 大川戸
Isao Naruse
功 成瀬
Junsuke Tanaka
淳介 田中
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Mitsui Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Chemicals Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive resin compsn. developable with an aq. alkali soln. and ensuring superior heat resistance, adhesiveness to a conductor, electrical characteristics and flexibility by containing a soln. prepd. by dissolving a polyamic acid having specified repeating units and a specified logarithmic viscosity in a nitrogen-contg. org. solvent. SOLUTION: The photosensitive resin compsn. consists of a soln. prepd. by dissolving a polyamic acid having repeating units represented by formula I and 0.1-2.0 dl/g logarithmic viscosity in a nitrogen-contg. org. solvent, a compd. having a photopolymerizable C-C unsatd. double bond and a photopolymn. initiator. In the formula I, R is one of tetravalent groups represented by formulae II. The polyamic acid is produced by using 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene as an arom. diamine and condensing it with an arom. tetracarboxylic acid dianhydride in an org. solvent. The nitrogen-contg. org. solvent is, e.g. N,N- dimethylformamide or N,N-dimethylacetamide.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ポリアミド酸を主
成分とする感光性樹脂組成物に関し、より詳しくは特定
の構造を有するポリイミドの前駆体であるポリアミド酸
に、光重合可能なC−C不飽和結合を有する化合物、光
重合開始剤を配合せしめることにより、良好な耐熱性、
接着性、電気特性等を有し、特に、プリント配線基板、
可とう性回路基板などの製造に適したアルカリ水溶液で
現像可能な液状レジストインキ組成物、カバーコート
剤、多層プリント基板用絶縁膜に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a polyamic acid as a main component, and more particularly, to a photopolymerizable C-C-C with a polyamic acid which is a precursor of a polyimide having a specific structure. By incorporating a compound having an unsaturated bond and a photopolymerization initiator, good heat resistance,
Has adhesive properties, electrical properties, etc., especially printed wiring boards,
The present invention relates to a liquid resist ink composition, a cover coating agent, and an insulating film for a multilayer printed board which can be developed with an alkaline aqueous solution suitable for manufacturing a flexible circuit board and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板は、スクリーン印
刷法でエッチングレジストあるいは、メッキレジストパ
ターンを形成したレジストパターン形成後、金属箔のエ
ッチング、あるいはめっきを施し、所望の導体回路パタ
ーンを形成していた。この導体回路パターンの酸化防止
や絶縁性を維持する目的から熱硬化性の樹脂組成物、あ
るいは光硬化性の樹脂組成物を導体回路形成時と同様
に、スクリーン印刷法を用いて目的とする形状の皮膜を
形成していた。最近では、パターン密度を高めるために
導体回路の微細化が進んでいる。このことから導体回路
形成時のエッチング、あるいはめっきレジストもフォト
法を用いて形成することが広く用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a printed wiring board is formed by etching or plating a metal foil after forming an etching resist or a plating resist pattern by a screen printing method to form a desired conductor circuit pattern. Was. For the purpose of preventing oxidation of the conductive circuit pattern and maintaining insulation, a thermosetting resin composition or a photocurable resin composition is formed in a desired shape using a screen printing method in the same manner as when forming the conductive circuit. Was formed. Recently, miniaturization of conductor circuits has been advanced in order to increase the pattern density. For this reason, it is widely used to form an etching or plating resist at the time of forming a conductor circuit by using a photo method.

【0003】フォト法で形成したエッチングあるいは、
めっきレジストパターンは、スクリーン印刷法に比べて
位置精度や寸法精度が一段と高まっている。導体回路パ
ターンの微細化と位置精度の向上と、更に実装部品の小
型化、ICパッケージのリードのファインピッチ化に依
って、ソルダーレジスト皮膜等の絶縁皮膜形成も画像精
度や位置精度の向上を必要とされていた。従って、近年
では、精度良く皮膜形成ができる方法として上記フォト
法を用いて、ソルダーレジスト皮膜や絶縁皮膜を形成す
る方法が広く使用されるようになった。
[0003] Etching formed by a photo method or
The positional accuracy and dimensional accuracy of the plating resist pattern are further enhanced as compared with the screen printing method. Due to miniaturization of conductor circuit patterns and improvement of position accuracy, and further miniaturization of mounted components and fine pitch of IC package leads, formation of insulation films such as solder resist films also requires improvement of image accuracy and position accuracy. And it was. Therefore, in recent years, a method of forming a solder resist film or an insulating film by using the photo method has been widely used as a method for forming a film with high accuracy.

【0004】上記フォト法では、所望の大きさに感光性
樹脂組成物を塗布した後、必要に応じて乾燥して、感光
性皮膜を形成する。この感光性皮膜にネガのフォトマス
クを乗せて、紫外線等の活性光線で 露光焼き付けを行
う。フォトマスクの透明部分を透過した活性光線が感光
性皮膜を硬化させる。未硬化部分は、現像で剥離して、
感光性皮膜を除去する。上記フォト法で形成した感光性
皮膜は更に、熱硬化や活性光線で硬化して、ソルダーレ
ジスト皮膜や絶縁皮膜に成るが、形成された画像は、フ
ォトマスクに極めて近い精度で形成できるため、微細な
画像や位置精度を容易に得ることができる。
[0004] In the photo method, a photosensitive resin composition is applied to a desired size, and then dried if necessary to form a photosensitive film. A negative photomask is placed on the photosensitive film and exposed and baked with actinic rays such as ultraviolet rays. Active light transmitted through the transparent portion of the photomask cures the photosensitive film. Uncured parts are peeled off by development,
Remove the photosensitive film. The photosensitive film formed by the above photo method is further cured by heat curing or actinic rays to form a solder resist film or an insulating film, but the formed image can be formed with extremely close precision to a photomask. Image and position accuracy can be easily obtained.

【0005】しかしながら、この方法は、後に現像工程
を必要とする。現像では、未露光部の未硬化部分を有機
溶剤で溶解剥離することで除去していた。溶剤は、1,
1,1−トリクロロエタン等の毒性の強い溶剤あるいは
可燃性の溶剤が一般的に使用されていて、作業安全性の
面からアルカリ水溶液を現像液としたフォトソルダーレ
ジストが望まれていた。そこで、アルカリ水溶液現像型
のフォトソルダーレジストの研究が近年盛んとなり、幾
つかの組成物については開示されている。例えば、特公
昭56−40329公報には、エポキシ樹脂に不飽和モ
ノカルボン酸を付加させ更に多塩基酸無水物を付加させ
て成る反応生成物をベースポリマーとする感光性樹脂組
成物が開示されている。あるいは、特開昭61−243
869公報には、それぞれノボラック型エポキシアクリ
レート等に多塩基酸無水物を付加させた反応生成物をベ
ースポリマーとし、アルカリ水溶液を現像液とするフォ
トソルダーレジスト組成物が開示されている。しかしな
がら、上記の組成物で得られるソルダーレジスト皮膜は
耐熱性、耐溶剤性や耐薬品性において不十分であり、絶
縁性、誘電率に関する特性も十分とはいえない。また、
可とう性に乏しいために、可とう性回路基板には適用で
きない。
[0005] However, this method requires a development step later. In the development, the uncured portions of the unexposed portions were removed by dissolution and peeling with an organic solvent. The solvent is 1,
A highly toxic or flammable solvent such as 1,1-trichloroethane is generally used, and a photo solder resist using an aqueous alkali solution as a developing solution has been desired from the viewpoint of work safety. Therefore, research on an aqueous alkali solution-developing type photo solder resist has been actively conducted in recent years, and some compositions have been disclosed. For example, JP-B-56-40329 discloses a photosensitive resin composition having a reaction product obtained by adding an unsaturated monocarboxylic acid to an epoxy resin and further adding a polybasic acid anhydride as a base polymer. I have. Alternatively, JP-A-61-243
869 discloses a photo solder resist composition in which a reaction product obtained by adding a polybasic anhydride to a novolak type epoxy acrylate or the like is used as a base polymer and an alkaline aqueous solution is used as a developer. However, the solder resist film obtained from the above composition is insufficient in heat resistance, solvent resistance and chemical resistance, and has insufficient insulation and dielectric properties. Also,
Because of its poor flexibility, it cannot be applied to flexible circuit boards.

【0006】また、ポリイミド前駆体であるポリアミド
酸を加熱処理することによって得られるポリイミドが、
その優れた耐熱性、誘電特性から、ICの保護膜、層間
絶縁膜として使用されており、さらに、露光、現像によ
り直接パターンが形成できる感光性ポリイミド前駆体が
提案されている。(特開昭60−228537公報、特
公昭59−52822号公報)しかしながら、これらの
感光性ポリイミドは、現像に有機溶剤が使用されてお
り、作業安全の観点から、アルカリ水溶液で現像できる
感光性ポリイミドが望まれている。また、上記感光性ポ
リイミドは、銅箔等の導体との接着力が不十分であり、
十分な接着力を得るためには、導体表面を粗化するなど
の、なんらかの処理が必要であった。
A polyimide obtained by heat-treating a polyamic acid as a polyimide precursor is
Due to their excellent heat resistance and dielectric properties, photosensitive polyimide precursors that have been used as protective films and interlayer insulating films for ICs and that can directly form patterns by exposure and development have been proposed. However, these photosensitive polyimides use an organic solvent for development, and are photosensitive polyimides which can be developed with an aqueous alkali solution from the viewpoint of work safety. Is desired. In addition, the photosensitive polyimide has an insufficient adhesive force with a conductor such as a copper foil,
In order to obtain a sufficient adhesive strength, some treatment such as roughening the conductor surface was required.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】水酸化ナトリウム水溶
液、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液で現像す
ることができるとともに、露光による画像の焼き付け時
に十分に硬化した皮膜を得ることができ、現像後の熱処
理によるイミド化後の皮膜特性として、優れた耐熱性、
導体との接着性、電気特性、可とう性を発現する感光性
樹脂組成物やフォトソルダーレジスト、可とう性回路基
板のカバーコート剤に適した感光性樹脂組成物を提供す
ることである。これらの感光性皮膜により耐熱、耐酸化
性、電気絶縁特性に優れた金属加工製品を提供すること
である。
SUMMARY OF THE INVENTION In addition to being able to be developed with an aqueous alkali solution such as an aqueous sodium hydroxide solution or an aqueous sodium carbonate solution, a sufficiently hardened film can be obtained at the time of printing an image by exposure. Excellent heat resistance as film properties after imidization by
An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition and a photo solder resist exhibiting adhesiveness to a conductor, electrical characteristics, and flexibility, and a photosensitive resin composition suitable for a cover coat agent for a flexible circuit board. An object of the present invention is to provide a metal processed product excellent in heat resistance, oxidation resistance, and electrical insulation properties by using these photosensitive films.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、 (請求項1) (A)下記構造式(1)That is, the present invention provides: (Claim 1) (A) The following structural formula (1)

【0009】[0009]

【化3】 (式中、Rは構造式(2)Embedded image (Wherein R is a structural formula (2)

【0010】[0010]

【化4】 からなる群より選ばれる四価の基である。)で表される
繰り返し単位を有し、それの対数粘度(N,N−ジメチ
ルアセトアミド溶媒、濃度0.5g/100ml−溶
媒、35°で測定)が0.1〜2.0dl/gであるポ
リアミド酸を含チッ素系有機溶媒に溶解した溶液と、
(B)光重合可能なC−C不飽和2重結合を有する化合
物と、(C)光重合開始剤とから成る感光性樹脂組成
物。 (請求項2) 含チッ素系有機溶媒が、含チッソ系有機
溶媒100部に対し、10〜1000部のグリコールエ
ーテル系有機溶媒を更に含むものである請求項1に記載
の感光性樹脂組成物。 (請求項3) 有機フィラー、無機フィラー又は顔料を
更に配合せしめたことを特徴とする請求項1又は2に記
載の感光性樹脂組成物。 (請求項4) 請求項1、2又は3に記載の感光性樹脂
組成物を金属、プラスチック、セラミックに塗布乾燥し
て形成した感光性皮膜を有する加工品。を提供するもの
である。
Embedded image And a tetravalent group selected from the group consisting of ) Having a logarithmic viscosity (N, N-dimethylacetamide solvent, concentration 0.5 g / 100 ml-solvent, measured at 35 °) of 0.1 to 2.0 dl / g. A solution in which polyamic acid is dissolved in a nitrogen-containing organic solvent,
A photosensitive resin composition comprising (B) a compound having a photopolymerizable CC unsaturated double bond and (C) a photopolymerization initiator. (Claim 2) The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the nitrogen-containing organic solvent further contains 10 to 1,000 parts of a glycol ether-based organic solvent based on 100 parts of the nitrogen-containing organic solvent. (Claim 3) The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, further comprising an organic filler, an inorganic filler or a pigment. (Claim 4) A processed product having a photosensitive film formed by applying and drying the photosensitive resin composition according to claim 1, 2 or 3 on a metal, plastic or ceramic. Is provided.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明に用いるポリアミド酸、す
なわち、前記の構造式(1)で表される繰り返し単位を
有する重合体は、芳香族ジアミンとして1、3−ビス
(3−アミノフェノキシ)ベンゼンを使用し、有機溶媒
中、これと芳香族テトラカルボン酸二無水物とを縮合さ
せて製造することができる(特開昭61−143477
に記載)。上記の芳香族テトラカルボン酸二無水物とし
ては、構造式(3)
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The polyamic acid used in the present invention, that is, the polymer having a repeating unit represented by the above structural formula (1) is 1,3-bis (3-aminophenoxy) as an aromatic diamine. It can be produced by using benzene and condensing it with an aromatic tetracarboxylic dianhydride in an organic solvent (JP-A-61-143377).
Described). As the above aromatic tetracarboxylic dianhydride, the structural formula (3)

【0012】[0012]

【化5】 (式中、Rは前記構造式(2)からなる群より選ばれる
四価の基である。)で表されるものである。
Embedded image (Wherein, R is a tetravalent group selected from the group consisting of the structural formulas (2)).

【0013】具体的には、3,3' ,4,4' −ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3' ,4,4
' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビ
ス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水
物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二
無水物、及び2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボ
ン酸二無水物が挙げられる。これらは、単独でも、又は
2種以上混合して用いられる。
[0013] Specifically, 3,3 ', 4,4' - benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4
' -Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride and 2,3,6 , 7-Naphthalenetetracarboxylic dianhydride. These may be used alone or in combination of two or more.

【0014】上記の縮合反応において、反応温度は通常
10〜60℃、好ましくは20〜50℃であり、圧力は
特に限定されず、常圧で十分行うことができる。反応時
間は、使用する芳香族テトラカルボン酸二無水物や有機
溶媒の種類、及び反応温度により異なるが、通常、ポリ
アミド酸の生成が完了するに十分な時間、すなわち4〜
24時間である。
In the above condensation reaction, the reaction temperature is usually from 10 to 60 ° C., preferably from 20 to 50 ° C., and the pressure is not particularly limited, and the reaction can be carried out at normal pressure. The reaction time varies depending on the type of the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the organic solvent to be used, and the reaction temperature, but usually, a time sufficient for completing the generation of the polyamic acid, that is, from 4 to
24 hours.

【0015】本発明において、上記のように得られるポ
リアミド酸の対数粘度は0.1〜2.0dl/gの範囲
であることが必要である。 ここで、対数粘度とは次の
数式(1)
In the present invention, the logarithmic viscosity of the polyamic acid obtained as described above needs to be in the range of 0.1 to 2.0 dl / g. Here, the logarithmic viscosity is represented by the following equation (1).

【0016】[0016]

【数1】 対数粘度=ln(η/η0 )/C (1) (式中、lnは自然対数、ηは溶媒のN,N−ジメチル
アセトアミド100ml中にポリアミド酸0.5gを溶
かした溶液の35℃で測定した粘度、η0 は該溶媒の3
5℃で測定した粘度、及びCは該溶媒100ml当たり
ポリアミド酸のgで表された重合体の溶液濃度であ
る。)で算出した値である。
Logarithmic viscosity = ln (η / η 0 ) / C (1) (where, ln is a natural logarithm, and η is a solution obtained by dissolving 0.5 g of polyamic acid in 100 ml of N, N-dimethylacetamide as a solvent. the viscosity measured at 35 ° C. of, eta 0 3 of the solvent
The viscosity, measured at 5 ° C., and C is the solution concentration of the polymer in g of polyamic acid per 100 ml of the solvent. ).

【0017】このポリアミド酸の対数粘度が0.1dl
/g未満では、ポリアミド酸の重合度が小さく、現像
時、露光部の塗膜が十分な強度を得られない。一方、こ
の対数粘度が2.0dl/gを越えると、ポリアミド酸
の重合度が余りにも大きくなり、現像時、未露光部が溶
解不良となる。この対数粘度は、例えばテトラカルボン
酸二無水物と芳香族ジアミンのモル比を変えることによ
り、任意に調整できる。本発明に用いる溶媒は、含チッ
ソ系有機溶媒である。含チッソ系有機溶媒としては、
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセ
トアミド、N−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメ
チル−2−イミダゾリジノン等が挙げられる。
The logarithmic viscosity of this polyamic acid is 0.1 dl.
If it is less than / g, the degree of polymerization of the polyamic acid is small, and during development, the coating film on the exposed portion cannot obtain sufficient strength. On the other hand, if the logarithmic viscosity exceeds 2.0 dl / g, the degree of polymerization of the polyamic acid becomes too large, and undeveloped portions become poorly dissolved during development. The logarithmic viscosity can be arbitrarily adjusted, for example, by changing the molar ratio of tetracarboxylic dianhydride to aromatic diamine. The solvent used in the present invention is a nitrogen-containing organic solvent. As a nitrogen-containing organic solvent,
N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone and the like.

【0018】本発明では、含チッソ系有機溶媒とグリコ
ールエーテル系有機溶媒を併用することが好ましい。グ
リコールエーテル系有機溶媒としては、エチレングリコ
ールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエ
チレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールメチルエチルエーテル、トリエチレングリコールジ
メチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエー
テル等が挙げられる。
In the present invention, it is preferable to use a nitrogen-containing organic solvent and a glycol ether-based organic solvent in combination. Examples of the glycol ether-based organic solvent include ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol diethyl ether, and the like.

【0019】含チッソ系有機溶媒またはグリコールエー
テル系有機溶媒は2種以上混合して使用することもでき
る。より好ましくは、上記含チッソ系有機溶媒とグリコ
ールエーテル系有機溶媒の混合割合は、含チッソ系有機
溶媒100重量部に対しグリコールエーテル系有機溶媒
が10重量部〜1000重量部、更に好ましくは、20
重量部〜500重量部の範囲である。グリコールエーテ
ル系有機溶媒の量が10重量部未満では、アルカリ現像
の際に、塗膜にクラックが生じる。また、グリコールエ
ーテル系有機溶媒の量が1000重量部を越えると、ポ
リアミド酸の溶解が困難になり好ましくない。
The nitrogen-containing organic solvent or glycol ether-based organic solvent may be used as a mixture of two or more kinds. More preferably, the mixing ratio of the nitrogen-containing organic solvent and the glycol ether-based organic solvent is such that the glycol ether-based organic solvent is 10 parts by weight to 1000 parts by weight, more preferably 20 parts by weight, per 100 parts by weight of the nitrogen-containing organic solvent.
It is in the range of parts by weight to 500 parts by weight. If the amount of the glycol ether-based organic solvent is less than 10 parts by weight, cracks occur in the coating film during alkali development. On the other hand, if the amount of the glycol ether-based organic solvent exceeds 1000 parts by weight, it becomes difficult to dissolve the polyamic acid, which is not preferable.

【0020】本発明に用いる光重合可能なC−C不飽和
2重結合を有する化合物は公知のアクリレート化合物や
メタクリレート化合物やアリレート化合物等である。上
記アクリレート化合物は以下に分類できる。 (イ)構造分類(原料、生成物などから分類) アルキルアクリレート類、アルキルアミノアクリレート
類、ヒドロキシルアルキルアクリレート類、オリゴエス
テルアクリレート類、ポリエステルアクリレート類、オ
リゴエーテルアクリレート類、ポリエーテルアクリレー
ト類、エポキシアクリレート類等、 (ロ)官能基数分類(官能基アクリロイル基の数から分
類) 1官能アクリレート類、2官能アクリレート類、3官能
アクリレート類から多官能アクリレート類、 (ハ)アミノ基分類(アミノ基の有無による分類) アミノ系アクリレート類、非アミノ系アクリレート類。
The compound having a photopolymerizable C--C unsaturated double bond used in the present invention is a known acrylate compound, methacrylate compound or allylate compound. The acrylate compounds can be classified as follows. (A) Structural classification (classified from raw materials, products, etc.) Alkyl acrylates, alkylamino acrylates, hydroxylalkyl acrylates, oligoester acrylates, polyester acrylates, oligoether acrylates, polyether acrylates, epoxy acrylates (B) Classification of the number of functional groups (classified from the number of acryloyl groups) Monofunctional acrylates, difunctional acrylates, trifunctional acrylates to polyfunctional acrylates, (c) amino group classification (depending on the presence or absence of amino groups) Classification) Amino acrylates, non-amino acrylates.

【0021】具体的には、アルキルアクリレート類とし
てエチルアクリレート、ブチルアクリレート、2−エチ
ルヘキシルアクリレート等。アルキルアミノアクリレー
ト類としてジメチルアミノエチルアクリレート、ジエチ
ルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノメチルア
クリレート、ジエチルアミノメチルアクリレート、ジア
クリレートとジエチルアミンの付加物、トリメチロール
プロパントリアクリレートとジエチルアミンの付加物、
ヒドロキシアルキルアクリレート類としてヒドロキシエ
チルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、
ヒドロキシブチルアクリレート等。オリゴエステルアク
リレート類としてKAYARAD MANDA、KAY
ARAD R526、等。ポリエステルアクリレート類
としてポリエチレングリコールアジペート・2モルアク
リル酸の縮合物、ポリジエチレングリコールアジペート
・2モルアクリル酸の縮合物、ポリ1、4ブタンジオー
ルアジペート・2モルアクリル酸の縮合物、ポリネオペ
ンチルグリコールアジペート・2モルアクリル酸の縮合
物等。オリゴエーテルアクリレート類としてジエチレン
グリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジ
アクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレー
ト、トリプロピレングリコールジアクリレート類。ポリ
エーテルアクリレート類としてポリエチレングリコール
ジアクリレート、ポリプルピレングリコールジアクリレ
ート、ポリテトラメチレンエーテルグリコールジアクリ
レート等。エポキシアクリレート類としてビスフェノー
ルFジグリシジルエーテル・2モルアクリル酸付加物、
ビスフェノールAジグリシジルエーテル・2モルアクリ
ル酸付加物、ビスフェノールSジグリシジルエーテル・
2モルアクリル酸付加物、ノボラックエポキシとアクリ
ル酸付加物、クレゾールノボラックエポキシとアクリル
酸付加物等。
Specifically, alkyl acrylates such as ethyl acrylate, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate and the like. As alkylaminoacrylates, dimethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl acrylate, dimethylaminomethyl acrylate, diethylaminomethyl acrylate, an adduct of diacrylate and diethylamine, an adduct of trimethylolpropane triacrylate and diethylamine,
Hydroxyethyl acrylates, hydroxypropyl acrylates as hydroxyalkyl acrylates,
Hydroxybutyl acrylate and the like. KAYARAD MANDA, KAY as oligoester acrylates
ARAD R526, etc. Polyester acrylates such as polyethylene glycol adipate / 2 mol acrylic acid condensate, polydiethylene glycol adipate / 2 mol acrylic acid condensate, poly 1,4 butanediol adipate / 2 mol acrylic acid condensate, polyneopentyl glycol adipate Condensates of 2 molar acrylic acid, etc. Examples of oligoether acrylates include diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, dipropylene glycol diacrylate, and tripropylene glycol diacrylate. Polyether acrylates include polyethylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, polytetramethylene ether glycol diacrylate, and the like. Bisphenol F diglycidyl ether / 2 mol acrylic acid adduct as epoxy acrylates,
Bisphenol A diglycidyl ether 2 mol acrylic acid adduct, bisphenol S diglycidyl ether
2 mol acrylic acid adduct, novolak epoxy and acrylic acid adduct, cresol novolak epoxy and acrylic acid adduct, etc.

【0022】1官能アクリレート類としてフェノキシエ
チルアクリレート、ノニルフェノキシエチルアクリレー
ト、フェノキシプロピルアクリレート、ノニルフェノキ
シプロピルアクリレート等。2官能アクリレート類とし
てジエチレングリコールジアクリレート、ネオペンチル
グリコールジアクリレート、ブチレングリコールジアク
リレート、ヘキサメチレングリコールジアクリレート
等。3官能アクリレート類としてトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レート、グリセリントリアクリレート等。多官能アクリ
レート類としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレ
ート、KAYARAD DCP30、ノボラックエポキ
シとアクリル酸の付加物、クレゾールノボラックエポキ
シとアクリル酸の付加物等。
Monofunctional acrylates such as phenoxyethyl acrylate, nonylphenoxyethyl acrylate, phenoxypropyl acrylate, nonylphenoxypropyl acrylate and the like. Examples of bifunctional acrylates include diethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, butylene glycol diacrylate, and hexamethylene glycol diacrylate. Trifunctional acrylates such as trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and glycerin triacrylate. Examples of polyfunctional acrylates include dipentaerythritol hexaacrylate, KAYARAD DCP30, an adduct of novolak epoxy and acrylic acid, and an adduct of cresol novolak epoxy and acrylic acid.

【0023】アミノ系アクリレート類としてジメチルア
ミノエチルアクリレート、ジエチルアミノエチルアクリ
レート、ジメチルアミノメチルアクリレート、ジエチル
アミノメチルアクリレート、トリメチロールプロパント
リアクリレート・モノエタノールアミンの1モルから2
モル付加物、2官能アクリレートとアルキルアミン(C
1 からC6 の炭素数)の等モル付加物、3官能アクリレ
ートとアルキルアミン(C1 からC6 の炭素数)の等モ
ルから2倍モル付加物、4官能アクリレートとアルキル
アミン(C1 からC6 の炭素数)の等モルから3倍モル
付加物、アロニックスM215、アロニックスM315
等。
As amino acrylates, dimethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl acrylate, dimethylaminomethyl acrylate, diethylaminomethyl acrylate, trimethylolpropane triacrylate / monoethanolamine from 1 mol to 2 mol
Molar adduct, bifunctional acrylate and alkylamine (C
Equimolar adduct from 1 carbon number of C 6), 3 2-fold molar adduct equimolar functional acrylates and alkyl amine (carbon number of from C 1 C 6), from 4-functional acrylates and alkyl amine (C 1 Equimolar to 3 times molar adduct of (C 6 carbon number), Aronix M215, Aronix M315
etc.

【0024】非アミノ系アクリレートとしてノニルフェ
ノキシプロピルアクリレート、エチレングリコールジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペン
タエリスリトールヘキサアクリレート、クレゾールノボ
ラックエポキシとアクリル酸の付加物等が挙げられる。
これらは1種または2種以上混合して使用する。また前
記メタクリレート化合物は上記アクリレート化合物をメ
タクリレートに置換した化合物である。
Non-amino acrylates include nonylphenoxypropyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and adducts of cresol novolak epoxy with acrylic acid.
These may be used alone or in combination of two or more. The methacrylate compound is a compound obtained by substituting the acrylate compound with methacrylate.

【0025】またアリレート化合物としてはごく代表的
に例えばフェニルアリレート、ノニルフェノキシアリレ
ート、ジエチレングリコールジアリレート、トリメチロ
ールプロパントリアリレート、ペンタエリスリトールテ
トラアリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアリレ
ート、トリメチロールプロパンジアリルエーテルとアリ
ルアルコールとイソホロンジイソシアネートの反応物、
ペンタエリスリトールトリアリルエーテルとアリルアル
コールとイソホロンジイソシアネートの反応物等の化合
物が挙げられる。
Very typical arylate compounds include, for example, phenylarylate, nonylphenoxyarylate, diethylene glycol diallylate, trimethylolpropane triarylate, pentaerythritol tetraarylate, dipentaerythritol hexaarylate, trimethylolpropane diallyl ether and allyl alcohol. A reactant of isophorone diisocyanate,
Compounds such as a reaction product of pentaerythritol triallyl ether, allyl alcohol, and isophorone diisocyanate are exemplified.

【0026】さらにポリエン・チオール系の化合物も挙
げられる。上記化合物の感光性樹脂組成物の固形分総量
に対する割合は、上記化合物の性状にもよるが4.5w
t%〜99wt%、より好ましくは5wt%〜90wt
%である。
Further, a polyene / thiol compound may be used. The ratio of the compound to the total solid content of the photosensitive resin composition depends on the properties of the compound, but is 4.5 w.
t% to 99 wt%, more preferably 5 wt% to 90 wt%
%.

【0027】本発明で用いる光重合開始剤は公知のもの
であり、具体的にはベンゾフェノン、ミヒラーケトン、
ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインブ
チルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2,2
−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒド
ロキシ2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−
2−メチルプロピオフェノン、2−ヒドロキシ−4−イ
ソプロピル−2−メチルプロピオフェノン、2−エチル
アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、ジエ
チルチオキサントン、クロルチオキサントン、ベンジ
ル、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロ
ヘキシルフェニルケトン、ベンゾイル安息香酸、2−メ
チル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリ
ノープロパン−1−オン、2,4,6トリメチルベンゾ
イルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
The photopolymerization initiator used in the present invention is a known one, and specifically, benzophenone, Michler's ketone,
Benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin butyl ether, benzoin isobutyl ether, 2,2
-Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-
2-methylpropiophenone, 2-hydroxy-4-isopropyl-2-methylpropiophenone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone, benzyl, benzyldimethylketal, 1-hydroxycyclohexyl Examples include phenyl ketone, benzoylbenzoic acid, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, and 2,4,6 trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.

【0028】さらにベンゾインとエチレンオキサイドの
等モル付加物や、2倍モル付加物から4倍モル付加物、
ベンゾインとプロピレンオキサイドの等モル付加物や2
倍モル付加物から4倍モル付加物、αアリルベンゾイ
ン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンとエ
チレンオキサイドの等モル付加物、2倍モル付加物から
4倍モル付加物、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトンとプロピレンオキサイドの等モル付加物、2倍
モル付加物から4倍モル付加物、ベンゾイル安息香酸と
エチレングリコール等モル反応物、ベンゾイル安息香酸
とプロピレングリコール等モル反応物、ヒドロキシベン
ゾフェノンとエチレンオキサイドの等モル付加物、2倍
モル付加物から4倍モル付加物、ヒドロキシベンゾフェ
ノンとプロピレンオキサイドの等モル付加物、2倍モル
付加物、4倍モル付加物、4−(2−ヒドロキシエトキ
シ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケト
ン、4−(2−アクロオキシエトキシ)−フェニル−
(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、4−(2−
ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2
−プロピル)ケトンとエチレンオキサイドの等モル付加
物、2倍モル付加物から4倍モル付加物、4−(2−ヒ
ドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−
プロピル)ケトンとプロピレンオキサイドの等モル付加
物、2倍モル付加物から4倍モル付加物、1−(4−イ
ソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプ
ロパン−1−オン、1−(4−デシルフェニル)−2−
ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン等が挙げら
れる。これらは1種または2種以上混合して使用する。
Further, an equimolar addition product of benzoin and ethylene oxide, a 2-fold to 4-fold molar addition product,
Equimolar addition of benzoin and propylene oxide or 2
4-fold molar adduct to 4-fold molar adduct, α-allylbenzoin, equimolar adduct of 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone and ethylene oxide, 2-fold molar adduct to 4-fold molar adduct, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone and propylene Equimolar adduct of oxide, 2-fold to 4-fold molar adduct, benzoylbenzoic acid and ethylene glycol equimolar reactant, benzoylbenzoic acid and propylene glycol equimolar reactant, hydroxybenzophenone and ethylene oxide equimolar addition , A 2-fold to 4-fold molar addition product, an equimolar addition product of hydroxybenzophenone and propylene oxide, a 2-fold molar addition product, a 4-fold molar addition product, and 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2- Hydroxy-2-propyl) ketone, 4- (2-act Oxy ethoxy) - phenyl -
(2-hydroxy-2-propyl) ketone, 4- (2-
(Hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2
-Propyl) ketone and ethylene oxide equimolar adduct, 2-fold to 4-fold molar adduct, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-
Propyl) ketone and propylene oxide equimolar adduct, 2-fold to 4-fold molar adduct, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4 -Decylphenyl) -2-
And hydroxy-2-methylpropan-1-one. These may be used alone or in combination of two or more.

【0029】また公知光重合開始助剤を併用してもよ
い。これら光重合開始助剤として具体的には、トリエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、エタノールアミ
ン、トリプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、
プロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル等が挙げら
れる。上記光重合開始助剤は1種または2種以上混合し
て使用する。上記光重合開始剤の感光性樹脂組成物の固
形分総量に対する割合は0.1wt%〜20wt%、よ
り好ましくは0.15wt%〜15wt%である。
A known photopolymerization initiation aid may be used in combination. Specific examples of these photopolymerization initiation aids include triethanolamine, diethanolamine, ethanolamine, tripropanolamine, dipropanolamine,
Examples thereof include propanolamine, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, and isoamyl 4-dimethylaminobenzoate. The photopolymerization initiation aid is used alone or in combination of two or more. The ratio of the photopolymerization initiator to the total solid content of the photosensitive resin composition is 0.1 wt% to 20 wt%, and more preferably 0.15 wt% to 15 wt%.

【0030】本発明で用いるフィラーは有機フィラーあ
るいは無機フィラーである。有機フィラーとしては、エ
ポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、アクリル樹脂、
フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、テフロン樹脂、ポリ
エチレン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂等の
樹脂を使用する溶剤に不要となるまで高分子化し微粒子
化したタイプあるいは、架橋し微粒子化したタイプのフ
ィラーである。無機フィラーとしては、アルミナ、シリ
カ、マグネシア、フェライトなどの金属酸化物の微粒
子、あるいはタルク、マイカ、カオリン、ゼオライトな
どの桂酸塩類、硫酸バリウム、炭酸カルシウムなどの微
粒子を使用する。上記フィラーは1種または2種以上を
混合して使用する。
The filler used in the present invention is an organic filler or an inorganic filler. As the organic filler, epoxy resin, melamine resin, urea resin, acrylic resin,
It is a filler of a type in which a solvent such as a phenol resin, a polyimide resin, a Teflon resin, a polyethylene resin, a polyester resin, and a polyamide resin is polymerized into fine particles until it is no longer required, or is a cross-linked fine particle type. As the inorganic filler, metal oxide fine particles such as alumina, silica, magnesia, and ferrite, or silicates such as talc, mica, kaolin, and zeolite, and fine particles such as barium sulfate and calcium carbonate are used. The filler is used alone or in combination of two or more.

【0031】上記フィラーは、好ましくは、平均粒径が
10μm 以下の微粒子であり、より好ましくは5μm 以
下の微粒子である。また、微粒子の比表面積は、100
2 /g以下であり、好ましくは60m2/g以下であ
る。微粒子の比表面積が100m2 /gを越えると均一
な混合分散が困難となり好ましくない。フィラーの添加
量は、感光性樹脂組成物の固形分総量に対し80重量%
以下であり、好ましくは50重量%以下である。80重
量%を越えると感光性皮膜や絶縁性皮膜の形成が困難と
なり好ましくない。
The filler is preferably fine particles having an average particle size of 10 μm or less, more preferably 5 μm or less. The specific surface area of the fine particles is 100
m 2 / g or less, preferably 60 m 2 / g or less. If the specific surface area of the fine particles exceeds 100 m 2 / g, uniform mixing and dispersion becomes difficult, which is not preferable. The amount of the filler added is 80% by weight based on the total solid content of the photosensitive resin composition.
Or less, preferably 50% by weight or less. If it exceeds 80% by weight, it is difficult to form a photosensitive film or an insulating film, which is not preferable.

【0032】本発明で用いる顔料は公知のフタロシアニ
ンブルー、フタロシアニングリーン、酸化チタン等の着
色顔料である。前記フィラーと顔料と感光性樹脂と有機
溶媒等を混合する際は、フィラーや顔料が樹脂組成物中
に、均一に分散することが好ましい。分散は公知の方法
で行うことができ、例えば、ボールミル、ロールミル、
ミジアミル等のせん断力の強い分散装置を用いて、分散
混合の良好な感光性樹脂組成物を得ることができる。更
に、分散混合を良好に行うために、湿潤剤、分散剤、シ
ランカップリング剤、チタンカップリング剤、消泡剤等
を添加することもできる。
The pigment used in the present invention is a known coloring pigment such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, and titanium oxide. When mixing the filler, the pigment, the photosensitive resin, the organic solvent, and the like, it is preferable that the filler and the pigment are uniformly dispersed in the resin composition. Dispersion can be performed by a known method, for example, ball mill, roll mill,
A photosensitive resin composition having good dispersion and mixing can be obtained by using a dispersing device having a strong shearing force such as a medium mill. Further, in order to perform good dispersion mixing, a wetting agent, a dispersant, a silane coupling agent, a titanium coupling agent, an antifoaming agent and the like can be added.

【0033】このようにして、感光性樹脂組成物を得る
ことができるが、これらの感光性樹脂組成物を使用し
て、金属や金属積層板の表面にソルダーレジスト皮膜や
絶縁皮膜を形成する方法は、既に公知のロールコーター
やスクリーン塗布、バーコーター等を用いて容易に塗布
することができる。塗布した感光性樹脂組成物は、有機
溶媒を揮発させることで感光性皮膜となるが、乾燥も公
知の方法でよく、例えば、熱風乾燥機や遠赤外線、近赤
外線等の乾燥機を用いて50〜150℃で10〜60分
乾燥することで感光性皮膜を形成することができる。感
光性皮膜の膜厚は、5〜200μm が適当で、好ましく
は15〜100μmである。膜厚が5μm に満たない
と、絶縁信頼性が乏しく、200μm を越えると露光感
度の低下を招き、現像時間がかかるので好ましくない。
In this way, a photosensitive resin composition can be obtained. A method for forming a solder resist film or an insulating film on the surface of a metal or a metal laminate using these photosensitive resin compositions. Can be easily applied using a known roll coater, screen coating, bar coater or the like. The applied photosensitive resin composition becomes a photosensitive film by volatilizing the organic solvent, and drying may be performed by a known method, for example, using a hot air dryer, a far infrared ray, a near infrared ray dryer, or the like. A photosensitive film can be formed by drying at ~ 150 ° C for 10-60 minutes. The thickness of the photosensitive film is suitably from 5 to 200 μm, preferably from 15 to 100 μm. If the film thickness is less than 5 μm, the insulation reliability is poor, and if it exceeds 200 μm, the exposure sensitivity is lowered and the development time is undesirably long.

【0034】また、本発明の感光性樹脂組成物は、ソル
ダーレジスト皮膜や絶縁皮膜の形成材料となるばかりで
なく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等
の無色透明なフィルムに塗布乾燥することで、感光性フ
ィルムを得ることができる。上記感光性フィルムは、上
記した膜厚10〜100μm のフィルムに、リバースロ
ールコーターやグラビアロールコーター、コンマコータ
ー、カーテンコーター等の、公知の方法で塗布すること
ができる。乾燥は、熱風乾燥や遠赤外線、近赤外線を用
いた乾燥機で温度50〜120℃で乾燥でき、より好ま
しくは60〜100℃で10〜60分乾燥することによ
り、感光性フィルムを得ることができる。この際の感光
性樹脂組成物の膜厚は、5〜200μm であり、より好
ましくは15〜100μm である。膜厚が5μm に満た
ないと、絶縁信頼性に欠け、200μm を越えると露光
感度の低下を招き、現像に時間がかかるので好ましくな
い。
The photosensitive resin composition of the present invention can be used not only as a material for forming a solder resist film or an insulating film, but also by applying it to a colorless and transparent film such as polyethylene, polypropylene and polyester and drying it. A film can be obtained. The photosensitive film can be applied to the above-mentioned film having a thickness of 10 to 100 μm by a known method such as a reverse roll coater, a gravure roll coater, a comma coater, and a curtain coater. Drying can be performed at a temperature of 50 to 120 ° C. using a dryer using hot air drying or far-infrared rays or near-infrared rays, and more preferably by drying at 60 to 100 ° C. for 10 to 60 minutes to obtain a photosensitive film. it can. At this time, the thickness of the photosensitive resin composition is from 5 to 200 μm, and more preferably from 15 to 100 μm. If the film thickness is less than 5 μm, insulation reliability is poor, and if it exceeds 200 μm, exposure sensitivity is lowered and development takes time, which is not preferable.

【0035】なお、上記感光性フィルムを用いて、ソル
ダーレジスト皮膜や絶縁皮膜を得るには、平板プレスや
ロールプレス等の公知の方法により、40〜150℃に
加熱しながら、1〜5Kgf/cm2 で熱圧着すること
で感光性皮膜を金属板や金属積層板の表面に形成するこ
とができる。
In order to obtain a solder resist film or an insulating film using the photosensitive film, a known method such as a flat plate press or a roll press may be used while heating the film to 40 to 150 ° C. while heating to 1 to 5 kgf / cm. By performing thermocompression bonding in step 2 , a photosensitive film can be formed on the surface of a metal plate or a metal laminate.

【0036】このようにして、感光性皮膜は、通常のフ
ォトマスクを用いて露光される。この際に使用される活
性光線としては、例えば、紫外線、電子線、X線等が挙
げられるが、これらの中でより好ましくは紫外線であ
り、その光源としては、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ等が挙げられる。露
光後、現像液を使用して現像を行う際には、浸漬法やス
プレー法を用いることができる。現像液としては、水酸
化ナトリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカ
リ水溶液が使用される。現像後は、希塩酸、希硫酸等の
酸性水溶液でリンスすることが望ましい。現像によって
得られたパターンは、その後、加熱処理することによっ
て、ポリイミドのパターンに変換される。加熱処理は、
150〜450℃の温度のもとで、0.1〜5時間、連
続的または段階的に行われる。
In this manner, the photosensitive film is exposed using a usual photomask. The actinic rays used at this time include, for example, ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like, and among these, ultraviolet rays are more preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, An ultra-high pressure mercury lamp, a halogen lamp and the like can be mentioned. After the exposure, when performing development using a developer, an immersion method or a spray method can be used. As the developing solution, an aqueous alkaline solution such as an aqueous sodium hydroxide solution and an aqueous sodium carbonate solution is used. After development, it is desirable to rinse with an acidic aqueous solution such as dilute hydrochloric acid or dilute sulfuric acid. The pattern obtained by the development is then converted into a polyimide pattern by heat treatment. The heat treatment is
It is performed continuously or stepwise at a temperature of 150 to 450 ° C. for 0.1 to 5 hours.

【0037】[0037]

【実施例】以下、実施例および比較例により本発明を具
体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもので
はない。 〔合成例1〕 (ポリアミド酸PA1) 反応器(撹拌機、還流冷却器および窒素導入管付き)
中、窒素雰囲気下、N,N−ジメチルアセトアミド13
5g、ジエチレングリコールジメチルエーテル135g
に1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン5
3.29g(0.1825モル)を溶解し、これを撹拌
しながら、3,3' ,4,4' −ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物58.282g(0.1810モ
ル)を乾燥固体のまま少量ずつ添加した。この間、反応
器の温度を25〜30℃に保ち、添加後20時間、窒素
雰囲気下で撹拌を継続し、固形分30%のポリアミド酸
を得た。このポリアミド酸の対数粘度を表1に示す。
EXAMPLES The present invention will be described below in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto. [Synthesis Example 1] (Polyamic acid PA1) Reactor (with stirrer, reflux condenser and nitrogen inlet tube)
Medium, under nitrogen atmosphere, N, N-dimethylacetamide 13
5 g, 135 g of diethylene glycol dimethyl ether
1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene 5
Was dissolved 3.29 g (0.1825 mol) while stirring it, 3,3 ', 4,4' - benzophenone tetracarboxylic dianhydride 58.282g of (0.1810 mol) remains dry solids It was added in small portions. During this time, the temperature of the reactor was maintained at 25 to 30 ° C., and stirring was continued under a nitrogen atmosphere for 20 hours after the addition to obtain a polyamic acid having a solid content of 30%. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0038】〔合成例2〜5〕 (ポリアミド酸PA2
〜5) 合成例1の3,3' ,4,4' −ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物のかわりに、表1に記載の化合物を
用いた以外は、合成例1と全く同様に操作し、4種類の
ポリアミド酸を得た。これらのポリアミド酸の対数粘度
を表1に示す。
[Synthesis Examples 2 to 5] (Polyamic acid PA2
5) 3,3 Synthesis Example 1 ', 4,4' - instead of benzophenone tetracarboxylic dianhydride, except for using the compound described in Table 1, exactly the same procedure as in Synthesis Example 1, Four types of polyamic acids were obtained. Table 1 shows the logarithmic viscosities of these polyamic acids.

【0039】〔合成例6〜7〕 (ポリアミド酸PA6
〜7) 合成例1の3,3' ,4,4' −ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物の量を32.2g(0.10モル)
(PA6)または、58.765g(0.1825モ
ル)(PA7)に変える以外、全く同様に操作し、2種
のポリアミド酸を得た。これらのポリアミド酸の対数粘
度を表1に示す。
[Synthesis Examples 6 and 7] (Polyamic acid PA6
To 7) 3,3 Synthesis Example 1 ', 4,4' - the amount of benzophenonetetracarboxylic dianhydride 32.2 g (0.10 mol)
The same operation was carried out except that (PA6) or 58.765 g (0.1825 mol) (PA7) was used, to obtain two kinds of polyamic acids. Table 1 shows the logarithmic viscosities of these polyamic acids.

【0040】〔合成例8〕 (ポリアミド酸PA8) 合成例1の有機溶媒全量をN,N−ジメチルアセトアミ
ド270gに変えた以外は、全く同様に操作し、ポリア
ミド酸を得た。このポリアミド酸の対数粘度を表1に示
す。
[Synthesis Example 8] (Polyamide acid PA8) A polyamic acid was obtained in exactly the same manner as in Synthesis Example 1, except that the total amount of the organic solvent was changed to 270 g of N, N-dimethylacetamide. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0041】〔合成例9〕 (ポリアミド酸PA9) 合成例1の1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベン
ゼンを4,4' −ジアミノジフェニルエーテルに変えた
以外は、全く同様に操作し、ポリアミド酸を得た。この
ポリアミド酸の対数粘度を表1に示す。
[0041] [Synthesis Example 9] (polyamic acid PA9) of 1,3-bis Synthesis Example 1 (3-aminophenoxy) 4,4 benzene '- except for changing the diaminodiphenyl ether is operated exactly like, polyamide The acid was obtained. Table 1 shows the logarithmic viscosity of the polyamic acid.

【0042】[0042]

【表1】 *1) 1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼ
ン *2) 3,3' −4,4' −ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物 *3) 3,3' −4,4' −ビフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物 *4) 2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)プロパン二無水物 *5) ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホ
ン二無水物 *6) 2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸
二無水物 *7) 4,4' −ジアミノジフェニルエーテル
[Table 1] * 1) 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene * 2) 3,3 '4,4' - benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride * 3) 3,3 '4,4' - biphenyltetracarboxylic Carboxylic acid dianhydride * 4) 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride * 5) bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride * 6) 2,3 6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride * 7) 4,4 '- diaminodiphenyl ether

【0043】上記合成例で示したポリアミド酸を用い、
本発明の感光性樹脂組成物の実施例を以下に示す。 〔実施例1〕 配合量(重量部) 合成例1 ポリアミド酸(PA1) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IRUGACURE907 (チバガイギー社製 以下IGC907と略す) 6 カヤキュアー DETX (日本化薬製 以下DETXと略す) 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4
Using the polyamic acid shown in the above synthesis example,
Examples of the photosensitive resin composition of the present invention are shown below. [Example 1] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 1 Polyamic acid (PA1) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IRUGACURE907 (manufactured by Ciba-Geigy Corp., hereinafter abbreviated as IGC907) 6 Kayacure DETX (manufactured by Nippon Kayaku, abbreviated as DETX) 2 N , N-dimethylacetamide 4

【0044】 〔実施例2〕 配合量(重量部) 合成例2 ポリアミド酸(PA2) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 Example 2 Amount (parts by weight) Synthesis Example 2 Polyamic acid (PA2) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-dimethylacetamide 4

【0045】 〔実施例3〕 配合量(重量部) 合成例3 ポリアミド酸(PA3) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 Example 3 Amount (parts by weight) Synthesis Example 3 Polyamic acid (PA3) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-dimethylacetamide 4

【0046】 〔実施例4〕 配合量(重量部) 合成例4 ポリアミド酸(PA4) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 Example 4 Amount (parts by weight) Synthesis Example 4 Polyamic acid (PA4) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-dimethylacetamide 4

【0047】 〔実施例5〕 配合量(重量部) 合成例5 ポリアミド酸(PA5) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 Example 5 Compounding Amount (Parts by Weight) Synthesis Example 5 Polyamic Acid (PA5) 220 Pentaerythritol Triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-Dimethylacetamide 4

【0048】 〔実施例6〕 配合量(重量部) 合成例1 ポリアミド酸(PA1) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 硫酸バリウム(B−34 堺化学製) 30 アエロジル#300(日本アエロジル製) 3 フタロシアニングリーン 0.6 N,N−ジメチルアセトアミド 8 Example 6 Amount (parts by weight) Synthesis Example 1 Polyamic acid (PA1) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 Barium sulfate (B-34 manufactured by Sakai Chemical) 30 Aerosil # 300 (produced by Nippon Aerosil) ) 3 Phthalocyanine green 0.6 N, N-dimethylacetamide 8

【0049】 〔比較例1〕 配合量(重量部) 合成例6 ポリアミド酸(PA6) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 [Comparative Example 1] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 6 Polyamic acid (PA6) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-dimethylacetamide 4

【0050】 〔比較例2〕 配合量(重量部) 合成例7 ポリアミド酸(PA7) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 [Comparative Example 2] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 7 Polyamic acid (PA7) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-dimethylacetamide 4

【0051】 〔比較例3〕 配合量(重量部) 合成例8 ポリアミド酸(PA8) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 [Comparative Example 3] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 8 Polyamic acid (PA8) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-dimethylacetamide 4

【0052】 〔比較例4〕 配合量(重量部) 合成例9 ポリアミド酸(PA9) 220 ペンタエリスリトールトリアクリレート 25 IGC907 6 DETX 2 N,N−ジメチルアセトアミド 4 [Comparative Example 4] Compounding amount (parts by weight) Synthesis Example 9 Polyamic acid (PA9) 220 Pentaerythritol triacrylate 25 IGC907 6 DETX 2 N, N-dimethylacetamide 4

【0053】上記の感光製樹脂組成物を調整して、導体
回路パターンを描いたプリント配線板に、ドクターブレ
ードを用い均一に塗布した。その後、80℃で40分間
乾燥して、試験用のサンプルを作成した。また、厚み1
mmの金属板および1オンスの銅箔光沢面に塗布乾燥し
て、テストサンプルとした。乾燥した塗布膜厚は、導体
回路上および金属板上および銅箔光沢面上で20〜25
μm の感光性皮膜が得られるよう調整した。次に、所望
のフォトマスクを用いて3kwの超高圧水銀灯にて、感
光性皮膜に500mj/cm2 の光量が照射できるよう
に露光した。
The above photosensitive resin composition was prepared and uniformly applied to a printed wiring board on which a conductor circuit pattern was drawn, using a doctor blade. Then, it dried at 80 degreeC for 40 minutes, and produced the sample for a test. In addition, thickness 1
The test sample was applied to a 1 mm-thick metal plate and a 1-oz copper foil glossy surface and dried. The dried coating film thickness is 20 to 25 on a conductive circuit, a metal plate and a copper foil glossy surface.
It was adjusted to obtain a photosensitive film of μm. Next, the photosensitive film was exposed to light with a light intensity of 500 mj / cm 2 by using a desired photomask with an ultrahigh-pressure mercury lamp of 3 kW.

【0054】露光した感光性皮膜を1.0wt%の水酸
化ナトリウム水溶液で30℃に調節した現像液に50秒
間浸漬して現像を行った。実施例1〜6および比較例9
では、未露光部は容易に現像液で剥離され所望の画像が
得られた。なお比較例1では露光部が現像液に全て溶解
し画像が得られなかった。比較例2では未露光部が現像
液に溶解せず、画像を得ることができなかった。比較例
3では所望の画像が得られたものの、塗膜にクラックを
生じた。 比較例4においては、所望の画像を得られた
ものの、加熱処理によるイミド化後、銅箔光沢面との接
着力が著しく劣り、実用性に乏しい。実施例1〜6およ
び比較例3を、250℃、10分間加熱処理することに
より、塗膜をポリイミドに変換せしめた。
The exposed photosensitive film was immersed in a developing solution adjusted to 30 ° C. with a 1.0 wt% aqueous sodium hydroxide solution for 50 seconds to perform development. Examples 1 to 6 and Comparative Example 9
In, the unexposed portion was easily peeled off with a developer to obtain a desired image. In Comparative Example 1, the exposed portion was completely dissolved in the developer and no image was obtained. In Comparative Example 2, the unexposed portion did not dissolve in the developer, and no image could be obtained. In Comparative Example 3, although a desired image was obtained, cracks occurred in the coating film. In Comparative Example 4, although the desired image was obtained, the adhesion to the glossy copper foil surface after imidization by heat treatment was extremely poor, and the practicality was poor. Examples 1 to 6 and Comparative Example 3 were heated at 250 ° C. for 10 minutes to convert the coating film to polyimide.

【0055】上記のポリイミドに変換せしめたテストサ
ンプルを、以下の方法を用い各評価を行った。 評価1:鉛筆硬度試験は、(JIS K−5405)に
記載の方法で行った。 評価2:クロスカット後の密着性は、(JIS K−5
405)に記載の方法で行った。 評価3:耐溶剤性試験は、JIS K−5405に記載
のクロスカットを入れた後、室温のアセトンに12時間
浸漬し、碁盤目の残量を測定した。 評価4:耐薬品性試験は、JIS K−5405に記載
のクロスカットを入れた後、60℃の10wt%の塩酸
水溶液に12時間浸漬し、碁盤目の残量を測定した。 評価5:耐薬品性試験は、JIS K−5405に記載
のクロスカットを入れた後、60℃の10wt%の水酸
化ナトリウム水溶液に12時間浸漬し、碁盤目の残量を
測定した。 評価6:感光性皮膜でソルダーレジストパターンを形成
した銅箔積層板を、60℃−95%RHの環境下で10
0時間放置した。このサンプルを280℃で溶融したは
んだに20秒間浸漬して銅箔とソルダーレジスト皮膜の
剥離や膨れの有無を確認した。 評価7:0.2mm銅板上に形成したテストサンプルに
おいて、90°の角度の折り曲げ試験を行い、皮膜のク
ラックの有無を確認した。 評価8:1オンス、圧延銅箔光沢面上に形成したテスト
サンプルにおいて、その後、銅箔を2mm幅にエッチン
グし、皮膜と2mm幅銅箔とを、角度90°で引き剥が
した時の強度をPeel強度(Kg/cm)で示した。
Each of the test samples converted into the above polyimide was evaluated by the following methods. Evaluation 1: The pencil hardness test was performed by the method described in (JIS K-5405). Evaluation 2: Adhesion after cross cut was determined according to (JIS K-5)
405). Evaluation 3: In the solvent resistance test, after a cross cut described in JIS K-5405 was inserted, the sample was immersed in acetone at room temperature for 12 hours, and the remaining amount in a grid was measured. Evaluation 4: In the chemical resistance test, after a cross cut described in JIS K-5405 was inserted, the sample was immersed in a 10 wt% hydrochloric acid aqueous solution at 60 ° C. for 12 hours, and the remaining amount in a grid was measured. Evaluation 5: In the chemical resistance test, after a cross cut described in JIS K-5405 was inserted, the sample was immersed in a 10% by weight aqueous solution of sodium hydroxide at 60 ° C. for 12 hours, and the remaining amount of the grid was measured. Evaluation 6: A copper foil laminated plate having a solder resist pattern formed of a photosensitive film was subjected to a test under an environment of 60 ° C. and 95% RH for 10 days.
Left for 0 hours. This sample was immersed in a solder melted at 280 ° C. for 20 seconds, and the presence or absence of peeling or blistering of the copper foil and the solder resist film was confirmed. Evaluation 7: A test sample formed on a 0.2 mm copper plate was subjected to a bending test at an angle of 90 ° to check for cracks in the coating. Evaluation 8: 1 oz. In a test sample formed on a rolled copper foil glossy surface, the copper foil was then etched to a width of 2 mm, and the strength when the coating and the 2 mm width copper foil were peeled off at an angle of 90 ° was evaluated. It was shown in Peel strength (Kg / cm).

【0056】実施例1〜6および比較例1〜4の評価結
果を表2に示す。この評価結果から、実施例1〜6にお
いては、アルカリ水溶液で現像することが可能で導体と
の接着性、屈曲性、耐薬品性に優れ、さらに、はんだ耐
熱性で剥離や膨れが発生しにくい点が特徴である。
Table 2 shows the evaluation results of Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 4. From this evaluation result, in Examples 1 to 6, it is possible to develop with an alkaline aqueous solution and has excellent adhesiveness with a conductor, flexibility, and chemical resistance, and furthermore, it is difficult to cause peeling or swelling due to solder heat resistance. The feature is the point.

【0057】[0057]

【表2】 [Table 2]

【0058】[0058]

【発明の効果】実施例および比較例にて説明したよう
に、本発明による感光性樹脂組成物からなる絶縁皮膜お
よびソルダーレジスト皮膜は、表2からも分かるよう
に、アルカリ水溶液で現像することができる。またポリ
アミド酸を主成分とすることで、このポリアミド酸に対
応するポリイミド自体が有する、優れた耐熱性、加工
性、電気特性、可とう性を発現させることができ、プリ
ント配線板の絶縁皮膜形成材料、可とう性回路基板のカ
バーコート材料に最適である。更に、該ポリアミド酸は
特定の構造を有することで熱可塑性を示し、金属箔等の
導体に対して、強い接着力を持つことから、多層プリン
ト配線板の層間絶縁材料として優れた性能が期待でき
る。
As described in Examples and Comparative Examples, the insulating film and the solder resist film made of the photosensitive resin composition according to the present invention can be developed with an alkaline aqueous solution, as can be seen from Table 2. it can. In addition, by using a polyamic acid as a main component, the polyimide itself corresponding to the polyamic acid can exhibit excellent heat resistance, workability, electrical characteristics, and flexibility, and form an insulating film on a printed wiring board. Ideal for materials and cover coat materials for flexible circuit boards. Further, the polyamic acid exhibits thermoplasticity by having a specific structure, and has a strong adhesive force to a conductor such as a metal foil, so that excellent performance can be expected as an interlayer insulating material of a multilayer printed wiring board. .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 7/027 502 7/027 502 7/038 504 7/038 504 H05K 3/06 H05K 3/06 H 3/18 3/18 D 3/28 3/28 D 3/46 3/46 T ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 7/027 502 7/027 502 7/038 504 7/038 504 H05K 3/06 H05K 3 / 06 H 3/18 3/18 D 3/28 3/28 D 3/46 3/46 T

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)下記構造式(1) 【化1】 (式中、Rは構造式(2) 【化2】 からなる群より選ばれる四価の基である。)で表される
繰り返し単位を有し、それの対数粘度(N,N−ジメチ
ルアセトアミド溶媒、濃度0.5g/100ml−溶
媒、35°で測定)が0.1〜2.0dl/gであるポ
リアミド酸を含チッ素系有機溶媒に溶解した溶液と、
(B)光重合可能なC−C不飽和2重結合を有する化合
物と、(C)光重合開始剤とから成る感光性樹脂組成
物。
(A) The following structural formula (1) (Wherein R is a structural formula (2) And a tetravalent group selected from the group consisting of ) Having a logarithmic viscosity (N, N-dimethylacetamide solvent, concentration 0.5 g / 100 ml-solvent, measured at 35 °) of 0.1 to 2.0 dl / g. A solution in which polyamic acid is dissolved in a nitrogen-containing organic solvent,
A photosensitive resin composition comprising (B) a compound having a photopolymerizable CC unsaturated double bond and (C) a photopolymerization initiator.
【請求項2】 含チッ素系有機溶媒が、含チッソ系有機
溶媒100部に対し、10〜1000部のグリコールエ
ーテル系有機溶媒を更に含むものである請求項1に記載
の感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the nitrogen-containing organic solvent further contains 10 to 1000 parts of a glycol ether-based organic solvent based on 100 parts of the nitrogen-containing organic solvent.
【請求項3】 有機フィラー、無機フィラー又は顔料を
更に配合せしめたことを特徴とする請求項1又は2に記
載の感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising an organic filler, an inorganic filler or a pigment.
【請求項4】 請求項1、2又は3に記載の感光性樹脂
組成物を金属、プラスチック、セラミックに塗布乾燥し
て形成した感光性皮膜を有する加工品。
4. A processed product having a photosensitive film formed by applying and drying the photosensitive resin composition according to claim 1, 2 or 3 on a metal, plastic or ceramic.
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