JP2001004563A

JP2001004563A - Ｘ線分析装置のソーラースリット装置

Info

Publication number: JP2001004563A
Application number: JP11177385A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Fujinawa; 剛藤縄; Hitoshi Okanda; 等大神田
Original assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Priority date: 1999-06-23
Filing date: 1999-06-23
Publication date: 2001-01-12

Abstract

(57)【要約】【課題】ソーラースリット装置の開き角を連続的に可
変にして、ソーラースリット装置を交換することなく任
意の開き角を容易に得る。【解決手段】ソーラースリット装置１０のフレーム１
２は概略平行六面体である。このフレーム１２の内部
に、複数のブレード１４が互いに平行になるように等間
隔で配置されている。Ｘ線ビームは矢印１６の方向から
入射し、ソーラースリット装置１０を通過する。その際
に、Ｘ線ビームの発散角が制限される。このようなソー
ラースリット装置１０において、フレーム１２を平行ク
ランク機構で構成して、この平行六面体を変形可能にす
る。そして、内部のブレード１４がフレームの変形に追
従して、互いに平行を保ったままで移動できるようにす
れば、隣り合うブレード１４の間隙を変更することが可
能になる。すなわち、ソーラースリットの開き角を変更
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線分析装置のＸ
線ビームの経路上に配置されてＸ線ビームの発散角を制
限するソーラースリット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線分析装置のソーラースリットは、そ
の使用目的に応じて各種の開き角のものが使われてい
る。Ｘ線回折装置を例にして説明すれば、ソーラースリ
ットの開き角を大きくすると、回折Ｘ線の強度はそれほ
ど低下しないが、分解能が悪くなる。逆に、開き角を小
さくすれば、回折Ｘ線の分解能は向上するが、強度が低
下する。また、集中法のＸ線回折装置で使用する縦発散
制限用のソーラスリットの場合には、上述の性質に加え
て、ソーラースリットの開き角を大きくすると、回折ピ
ークのプロファイルの対称性が悪くなり（非対称性がき
つくなり）、開き角を小さくすれば、対称性が良好にな
る。したがって、分析目的に応じて、最適な開き角のソ
ーラースリットを選択している。

【０００３】従来、同一のＸ線分析装置において、開き
角の異なるソーラースリットを使い分けようとすれば、
それまで使用していたソーラースリットを取り外して別
のソーラースリットを取り付けなければならない。この
ような交換作業は煩わしいものである。また、複数のソ
ーラースリットをどこかに保管しておいて常に取り出せ
るように管理しておかなければならない。

【０００４】このような問題を解決するために、開き角
の異なる複数個のソーラースリットを簡単に交換できる
ようにしたソーラースリット装置が知られている（特公
平２−０４２０５号公報、特開平７−５５７３２号公
報、特開平１０−３８８２３号公報、及び特開平１０−
２２７８９８号公報）。これらの公知技術は、開き角の
異なる複数個のソーラースリットをＸ線経路に対して垂
直な方向に並列に配置しておいて、これらのソーラース
リットをＸ線経路と垂直な方向に移動させることで、所
望の開き角のソーラースリットだけをＸ線経路上に配置
できるようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の交換式
のソーラースリット装置は次のような欠点がある。開き
角の異なる複数のソーラースリットを並列に配置する場
合、配置個数はせいぜい数個程度が限度であるから、数
個程度の開き角の中から所望のものを選択するしかな
い。したがって、任意の開き角を得ることはできない。
また、数個のソーラースリットを並列に配置する場合、
その占有スペースは相当大きくなってしまう。

【０００６】本発明は上述の問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的は、任意の開き角を選択で
きるソーラースリット装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のソーラースリッ
ト装置は開き角を連続的に変化させることができるもの
である。これにより、任意の開き角を得ることができ
る。したがって、例えば集中法のＸ線回折装置のソーラ
ースリット装置として使う場合に、回折角度に応じてソ
ーラースリットの開き角を連続的に変化させることも可
能になる。

【０００８】このソーラースリット装置は、平行クラン
ク機構で結合された概略平行六面体のフレームの内部
に、複数のブレードを互いに平行になるように等間隔に
配置して構成することができる。複数のブレードの両端
は、平行クランク機構の１対のクランク部材に対して回
動可能に連結されている。あるいは、複数のブレードの
両端は、平行クランク機構の１対のクランク部材に対し
てスライド可能に挿入されている。そして、平行クラン
ク機構のクランク部材が静止節に対してなす角度を変化
させることで、隣り合うブレードの間隙を変化させ、も
ってソーラースリットの開き角を変えることができる。
平行クランク機構の動作平面は、前記Ｘ線ビームの経路
に平行であってもよいし、垂直であってもよい。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳しく説明する。図１は、本発明の連続可変
ソーラースリット装置の原理を示す斜視図である。図１
（Ａ）において、ソーラースリット装置１０のフレーム
１２は概略平行六面体である。このフレーム１２の内部
に、複数のブレード１４が互いに平行になるように等間
隔で配置されている。Ｘ線ビームは矢印１６の方向から
入射し、ソーラースリット装置１０を通過する。その際
に、Ｘ線ビームの発散角が制限される。

【００１０】このようなソーラースリット装置１０にお
いて、フレーム１２を平行クランク機構で構成して、こ
の平行六面体を変形可能にする。そして、内部のブレー
ド１４がフレームの変形に追従して、互いに平行を保っ
たままで移動できるようにすれば、隣り合うブレード１
４の間隙を変更することが可能になる。すなわち、ソー
ラースリットの開き角を変更できる。

【００１１】まず、ソーラースリットの開き角について
図２を参照して説明する。Ｘ線１８の進行方向（図２の
左側から右側に向かう方向）に沿って測ったブレード１
４の長さをＬ、隣り合うブレード１４の間の間隙をｔと
すると、ソーラースリットの開き角φは、φ＝２×arct
an(ｔ/Ｌ)となる。この開き角φは、ソーラースリット
を通過するＸ線ビームが取り得る最大の発散角に等し
い。換言すれば、このソーラースリットを用いることに
より、Ｘ線ビームの発散角を開き角φ以下に制限するこ
とができる。長さＬを長くすればするほど、また、間隙
ｔを小さくすればするほど、開き角φは小さくなる。

【００１２】図１に戻って、図１（Ａ）の状態のソーラ
ースリット装置１０に対して、図１（Ｂ）に示すよう
に、そのフレーム１２の上面が下面に対して矢印２０の
方向（Ｘ線の進行方向と平行な方向）に移動するように
フレーム１２を変形させたと仮定する。そうすると、平
行六面体のフレーム１２の上面と下面の間の距離が狭く
なり、隣り合うブレード１４の間隙も狭くなる。これに
より、図２の間隙ｔが小さくなり（各ブレード１４の長
さＬはそのまま）、図１（Ａ）の状態よりもソーラース
リットの開き角が小さくなる。フレーム１２の変形割合
を連続的に変化させればソーラースリットの開き角も連
続的に変化することになる。ところで、図１（Ｂ）の矢
印２０の方向にフレーム１２を変形させると、Ｘ線が通
過する開口幅Ｗは常に一定になるので、十分な開口幅を
確保したい場合に好都合である。

【００１３】図１（Ｃ）はフレーム１２の上面を下面に
対して矢印２２の方向（Ｘ線の進行方向と垂直な方向）
に移動させてフレーム１２を変形させる場合を示してい
る。このように変形させても、開き角を変えることがで
きる。このような方向にフレーム１２を変形させると、
ソーラースリット装置のＸ線進行方向の寸法Ｄが常に一
定になるので、Ｘ線進行方向の装置寸法に余裕がない場
合や、Ｘ線源と試料とをできるだけ近づけたい場合など
に好都合である。

【００１４】図１（Ｂ）では、フレームを構成する平行
クランク機構の動作平面がＸ線ビームの経路に平行であ
ると言うことができ、図１（Ｃ）では、フレームを構成
する平行クランク機構の動作平面がＸ線ビームの経路に
垂直であると言うことができる。

【００１５】次に、ソーラースリット装置を使用するＸ
線回折装置の構成例を説明する。図３は第１の構成例の
斜視図であり、図４はその平面図である。この構成例は
集中法のＸ線回折装置である。Ｘ線源２４を出たＸ線
は、入射側の縦発散制限用のソーラースリット装置２６
を通過し、発散スリット２８を通過して、試料３０に照
射される。試料３０で回折したＸ線は、散乱スリット３
２と反射側の縦発散制限用のソーラースリット装置３４
と受光スリット３６とを通過して、Ｘ線検出装置３８で
検出される。この構成例では、試料の入射側と反射側の
両方に縦発散制限用のソーラースリット装置２６、３４
を設けている。この縦発散制限用のソーラースリット装
置は、主として、アンブレラ効果と呼ばれる回折Ｘ線の
非対称な広がり（回折プロファイルの低角側が広角側よ
りも広がる）を抑制する目的で使用される。

【００１６】ここで、縦発散制限と横発散制限について
説明する。Ｘ線回折装置を例にとって説明すると、試料
への入射Ｘ線と試料からの回折Ｘ線とを含む平面（回折
平面）を考え、この回折平面内でのＸ線ビームの発散を
横発散と呼んでいる。また、回折平面に垂直な平面内で
のＸ線ビームの発散を縦発散と呼んでいる。Ｘ線回折装
置以外のＸ線分析装置でも、Ｘ線光学系を含む平面内で
の発散を横発散、それに垂直な平面内での発散を縦発散
と考えればよい。

【００１７】図５はソーラースリット装置を使用するＸ
線回折装置の第２の構成例の平面図である。この構成例
は平行ビーム法のＸ線回折装置である。Ｘ線源２４を出
たＸ線は入射側の横発散制限用のソーラースリット装置
４０を通過して横方向の発散角が制限され（すなわち平
行ビームとなり）、試料３０に照射される。試料３０で
回折したＸ線は、反射側の横発散制限用のソーラースリ
ット装置４２を通過して、Ｘ線検出器３８で検出され
る。この横発散制限用のソーラースリット装置は、回折
Ｘ線の角度分解能を確保する目的で使用される。

【００１８】図６はソーラースリット装置を使用するＸ
線回折装置の第３の構成例の平面図である。この構成例
も平行ビーム法のＸ線回折装置である。Ｘ線源２４を出
たＸ線は、焦点スリット（Focal Slit）４４を通過し
て、反射面が多層薄膜で形成された放物線モノクロメー
タ４６に入射し、平行化かつ単色化される。モノクロメ
ータ４６で反射して平行ビームになったＸ線は、入射側
の縦発散制限用のソーラースリット装置２６と幅制限ス
リット４８とを通過して、試料３０に照射される。試料
３０で回折したＸ線は、反射側の横発散制限用のソーラ
ースリット装置４２と反射側の縦発散制限用のソーラー
スリット装置３４とを通過してＸ線検出器３８で検出さ
れる。

【００１９】上述の三種類のＸ線回折装置の構成例で使
用しているいずれのソーラースリット装置に対しても、
本発明の連続可変のソーラースリット装置を使うことが
できる。

【００２０】次に、本発明のソーラースリット装置の具
体的な構成例を説明する。図８は本発明のソーラースリ
ット装置の第１の実施形態の斜視図であり、図９はその
正面図、図１０は図９のＡ−Ａ線断面図である。このソ
ーラースリット装置は概略平行六面体のフレームを備え
ている。ここで言う「平行六面体」とは、３対の平行な
フレーム面（６個のフレーム面）から成るものを指して
おり、その場合のフレーム面と呼んでいるものは、仮想
的な平面を指していて、実際の平板で構成されていても
よいし、開口している面であっても構わない。

【００２１】図８において、概略平行六面体のフレーム
は、平行に対向する連結板５０及び静止板５２と、それ
らの間をつなぐ互いに平行な第１クランク板５４及び第
２クランク板５６とからなる。第１クランク板５４の上
端は連結板５０の一端にシャフト５１（図９と図１０も
参照）によって回転可能に連結されており、第１クラン
ク板５４の下端は静止板５２の一端にシャフト５３（図
９と図１０も参照）によって回転可能に連結されてい
る。また、第２クランク板５６の上端は連結板５０の他
端にシャフト５５によって回転可能に連結されており、
第２クランク板５６の下端は静止板５２の他端にシャフ
ト５７によって回転可能に連結されている。連結板５０
と静止板５２とで１対の平行なフレーム面を構成し、第
１クランク板５４と第２クランク板５６とで別の１対の
平行なフレーム面を構成している。さらに、連結板５０
と静止板５２と第１クランク板５４と第２クランク板５
６のうちの、図面の手前側の各側縁によって、仮想的な
フレーム面が構成され、同様に、図面の奥側の各側縁に
よって、別の仮想的なフレーム面が構成されている。こ
のようにして、６個のフレーム面からなる平行六面体が
構成されている。

【００２２】そして、連結板５０と静止板５２と第１ク
ランク板５４と第２クランク板５６とによって平行クラ
ンク機構（四節リンク機構の一種）が構成されている。
この平行クランク機構は、第１クランク板５４が駆動
節、第２クランク板５６が従動節、静止板５２が静止節
となり、二つのクランク板５４が互いに平行な状態を保
ったまま揺動できる。

【００２３】第１クランク板５２の片側の側縁にはピン
５８が固定されていて、このピン５８は、歯車６０に形
成された溝６１に噛み合っている。歯車６０の回転中心
は第１クランク板５４の回転中心（すなわちシャフト５
３）と同一直線上にある。パルスモータ６４の回転運動
は歯車６２を介して歯車６０に伝達されるようになって
いる。歯車６０が図８において時計方向に回転すると、
ピン５８が歯車６０によって動かされ、このピン５８に
固定された第１クランク板５４がシャフト５３の回りを
時計方向に回転する。これにより、平行クランク機構が
変形する。パルスモータ６４のパルス数を制御すること
により、第１クランク板５４の傾斜角度を制御すること
ができる。

【００２４】図９に示すように第１クランク板５４には
大きな開口６６が形成されていて、この開口６６の両側
に多くの溝６８が縦方向に等間隔に形成されている。そ
して、各ブレード７０の幅方向の両端が両側の溝６８に
よってスライド可能に（図９の紙面に垂直な方向にスラ
イド可能に）支持されている。第２クランク板５６にも
同様の溝が形成されていてブレード７０がスライド可能
に支持されている。図１０に示すように、各ブレード７
０は第１クランク板５４と第２クランク板５６とで支持
されていて、これらのクランク板５４、５６に対して図
１０の左右方向にスライド可能である。また、ブレード
７０がスライドし過ぎてクランク板５４、５６から抜け
落ちないようにするために、ブレード７０のスライド方
向の両端付近には抜け止め片７２が固定されている。抜
け止め片７２は、第１クランク板５４及び第２クランク
板５６よりも外側に来るようにブレード７０上に固定さ
れている。

【００２５】図１０において、Ｘ線ビームは矢印１６の
方向からソーラースリット装置１０に入射し、ブレード
７０によって発散角が制限されて、右方向に出て行く。

【００２６】図１１は、図１０の状態から第１クランク
板５４を傾斜させてソーラースリット装置のフレームを
変形させた状態を示している。第１クランク板５４は、
静止板５２に対して垂直な状態から、角度αだけ傾斜し
ている。平行クランク機構の働きにより、第２クランク
板５６も第１クランク板５４ど同様に角度αだけ傾斜す
る。連結板５０は静止板５２に対して右方向に移動し、
同時に、連結板５０と静止板５２との距離が小さくな
る。二つのクランク板５４、５６にスライド可能に挿入
されているブレード７０は、クランク板５４、５６の動
きに追従して右方向に移動し、かつ、隣り合うブレード
７０の間隙ｔも狭くなる。第１クランク板５４が静止板
５２に対して垂直な状態におけるブレード間隙をｔ₀と
すると、第１クランク板５４が角度αだけ傾斜したとき
のブレード間隙ｔは、ｔ＝ｔ₀cosαとなる。ブレードの
長さＬは変わらないので、ソーラースリット装置の開き
角φは、ブレード間隙ｔが小さくなった分だけ小さくな
る。

【００２７】ブレードの具体例を説明すると、ブレード
７０の長さＬ（Ｘ線の進行方向に沿った寸法）を５０ｍ
ｍにして、最大の開き角φ₀を１０度に設定するには、
ブレード７０の最大間隙ｔ₀を、ｔ₀＝Ｌ・tan(φ₀/２)
＝４．３７４ｍｍにする。また、ブレード７０の長さＬ
を１００ｍｍにして、最大の開き角φ₀を１０度に設定
するには、最大間隙ｔ₀を８．７４９ｍｍにする。

【００２８】図１２は本発明のソーラースリット装置の
第２の実施形態の正面図であり、図１３は図１２のＡ−
Ａ線断面図である。このソーラースリット装置も概略平
行六面体のフレームを備えており、このフレームが変形
することでブレード間隙が変化する。この第２の実施形
態が、図８の第１の実施形態と異なる点は、ブレード７
０ａが二つのクランク板にヒンジ結合されていることで
ある。図１３において、このソーラースリット装置の概
略平行六面体のフレームは、平行に対向する連結板５０
ａ及び静止板５２ａと、それらの間をつなぐ互いに平行
な第１クランク板５４ａ及び第２クランク板５６ａとか
らなる。第１クランク板５４ａの上端は連結板５０ａの
一端にヒンジ７４によって回転可能に連結されており、
第１クランク板５４ａの下端は静止板５２ａの一端にヒ
ンジ７５によって回転可能に連結されている。また、第
２クランク板５６ａの上端は連結板５０ａの他端にヒン
ジ７６によって回転可能に連結されており、第２クラン
ク板５６ａの下端は静止板５２ａの他端にヒンジ７７に
よって回転可能に連結されている。さらに、各ブレード
７０ａは、その両端がヒンジ７８、７９によって第１ク
ランク板５４ａと第２クランク板５６ａに回転可能に連
結されている。

【００２９】図１２に示すように、第１クランク板５４
ａにはＸ線が通過するための開口６６ａが形成されてい
る。第２クランク板５６ａ（図１３を参照）にも同様の
開口が形成されている。図１３において、Ｘ線ビームは
矢印１６の方向からソーラースリット装置に入り、ブレ
ード７０ａによって発散角が制限されて、右方向に出て
行く。図１４は、図１３の状態から第１クランク板５４
ａを傾斜させてソーラースリット装置のフレームを変形
させた状態を示している。図１１に示す場合と同様に、
第１クランク板５４ａが角度αだけ傾斜することによ
り、隣り合うブレード７０ａの間隙ｔは狭くなる。

【００３０】図７は回折Ｘ線のプロファイルを示すグラ
フであり、ソーラースリットの開き角を変えることによ
ってアンブレラ効果を抑制できることを示している。横
軸は試料からの回折Ｘ線の回折角度２θ（入射Ｘ線に対
する回折Ｘ線の角度）であり、右側が広角側、左側が低
角側である。縦軸は回折Ｘ線の検出強度である。このグ
ラフは、図６に示すＸ線回折装置で測定したものであ
る。曲線８０は、図６の装置において、入射側と反射側
の縦発散制限用のソーラースリット装置２６、３４を取
り除いた状態で回折Ｘ線を測定したものである。この曲
線８０は、回折Ｘ線の強度は大きいが、回折ピークの広
がりも大きくなっている。特に、広角側よりも低角側に
回折プロファイルが大きく広がっている（アンブレラ効
果が顕著に現れている）のがよく分かる。曲線８２は、
入射側と反射側に縦発散制限用のソーラースリット装置
２６、３４を挿入して、それらの開き角を５度に設定し
て、回折Ｘ線を測定したものである。曲線８０と比較し
て、回折プロファイルがシャープになり（角度分解能が
向上し）、アンブレラ効果も少なくなっている。曲線８
４は二つのソーラースリット装置２６、３４の開き角を
２．５度に設定して、回折Ｘ線を測定したものである。
回折プロファイルの角度分解能はさらに向上し、アンブ
レラ効果は全く見られなくなっている。ただし、回折ピ
ークの強度は小さくなる。

【００３１】次に、入射角θとソーラースリットの開き
角φの最適な関係について説明する。図４の集中法のＸ
線回折装置の光学系において、試料に対するＸ線の入射
角をθ、入射Ｘ線に対する回折Ｘ線の角度を２θとす
る。また、入射側及び反射側の縦発散制限用のソーラー
スリット装置２６、３４の開き角をφとする。集中法に
よる粉末Ｘ線回折法において、回折ピークの強度（回折
ピークの積分強度）はさまざまな因子に影響されるが、
その中に、入射角θに依存するものとして、ローレンツ
因子と偏光因子がよく知られている。ローレンツ因子
は、１/(sin²θ・cosθ) で表わされる。また、偏光因
子は、(１＋cos²２θ)/２で表わされる。さらに、モ
ノクロメータを使う場合は、偏光因子中にモノクロメー
タ因子Ｍが入って、偏光因子は (１＋Ｍ・cos²２θ)/
２となる。モノクロメータ因子Ｍは、完全モノクロメ
ータの場合はＭ＝｜cos２θ_m｜となり、モザイクモノク
ロメータの場合はＭ＝cos²２θ_mとなる。ここで、θ_mは
モノクロメータ結晶の分光角度である。

【００３２】ローレンツ因子と偏光因子をまとめて、両
者の積をローレンツ偏光因子と呼んでいる。回折ピーク
の強度はこのローレンツ偏光因子に比例するので、回折
ピークの強度は入射角θに依存することになる。したが
って、回折角度２θの異なる複数の回折ピークの強度を
互いに比較するには、ローレンツ偏光因子で強度を補正
する必要がある。そこで、粉末Ｘ線回折法において、こ
のローレンツ偏光因子による補正分を、可変ソーラース
リット装置の開き角で補正することが考えられる。すな
わち、ローレンツ偏光因子の逆数に比例するようにソー
ラースリット装置の開き角φを変化させれば、得られる
回折ピークの強度は、ローレンツ偏光因子で補正された
強度で測定されることになり、回折角度２θの異なる複
数の回折ピークの強度をそのまま比較することが可能に
なる。また、開き角を一定にした従来のソーラースリッ
ト装置ではデバイ環を取り込む大きさが小さかった高角
度の回折角度においても、上述のようにソーラースリッ
トの開き角を変化させれば、強い回折強度で測定が可能
になる。

【００３３】図１５はローレンツ因子とローレンツ偏光
因子の角度依存性を示したグラフである。横軸は回折角
度２θ、縦軸は補正係数（ローレンツ因子とローレンツ
偏光因子の値）である。なお、このグラフでは、ローレ
ンツ因子及びローレンツ偏光因子について、その最小値
が１になるように規格化してある。規格化したローレン
ツ偏光因子を用いてソーラースリットの開き角φを制御
するには、次のようになる。規格化したローレンツ偏光
因子をＫとすると、ソーラースリットの開き角φは、最
大の開き角φ₀を用いて、φ＝φ₀/Ｋとなるように制
御する。すなわち、規格化したローレンツ偏光因子Ｋが
１に等しい回折角度のところでは、縦発散制限用のソー
ラースリットの開き角を最大のφ₀に設定し、それより
も回折角度が小さくなっても大きくなってもソーラース
リットの開き角φを小さくしていく。

【００３４】次に、図８のソーラースリット装置を用い
て開き角φを制御することを考えると、図１１の傾斜角
αを次のように制御すればよい。まず、ブレード間隙ｔ
は、開き角φを用いて、ｔ＝Ｌtan(φ/２) と表わすこ
とができる。さらに、ブレード間隙ｔと傾斜角αとは、
α＝arccos(ｔ/ｔ₀) の関係がある。これらの関係をま
とめると、傾斜角αは、α＝arccos(Ｌtan(φ/２)/ｔ₀)
というように開き角φの関数になる。一方で、開き角
φは、上述のように、規格化したローレンツ偏光因子Ｋ
を用いて、φ＝φ₀/Ｋとなるように制御する必要があ
るから、最終的に、傾斜角αは、規格化されたローレン
ツ偏光因子Ｋの関数として、α＝arccos(Ｌtan(φ₀/２
Ｋ)/ｔ₀) となるように制御すればよい。ここで、最大
開き角φ₀は、φ₀＝２×arctan(ｔ₀/Ｌ) である。ｔ₀
とＬは定数であるから、ソーラースリット装置の傾斜角
αは、規格化されたローレンツ偏光因子Ｋ（入射角θの
関数）だけに依存して変化することになる。このような
入射角θと傾斜角αとの関係をソーラースリット装置の
傾斜角αを制御する装置（図８のパルスモータ６４を制
御する装置）に記憶させておけば、入射角θに応じてソ
ーラースリットの開き角φを最適に制御できる。

【００３５】図６の平行ビーム法のＸ線回折装置におい
ても、縦発散制限用のソーラースリット装置２６、３４
については、上述の集中法の場合と同様にローレンツ偏
光因子の逆数に比例するようにソーラースリットの開き
角φを変化させればよい。

【００３６】横発散制限のソーラースリット装置（例え
ば図５の装置のソーラースリット装置４０、４２や図６
の装置のソーラースリット装置４２）については、回折
Ｘ線の強度と分解能との兼ね合いを考慮して、分析目的
に応じて適切な開き角を選択すればよい。すなわち、ソ
ーラースリットの開き角を大きくすると、回折Ｘ線の強
度は強くなるが、角度分解能は悪くなり、逆に、開き角
を小さくすれば、回折Ｘ線の角度分解能は向上するが、
強度が低下する。強度と角度分解能のどちらを重視する
かは分析目的に応じて異なってくる。

【００３７】

【発明の効果】本発明のソーラースリット装置は開き角
を連続的に変化させることができるようにしたので、ソ
ーラースリット装置を交換することなく、任意の開き角
を容易に得ることができる。したがって、試料に対する
Ｘ線の入射角に応じてソーラースリットの開き角を連続
的に変化させることも可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のソーラースリット装置の原理を示す斜
視図である。

【図２】ソーラースリット装置の開き角を説明する説明
図である

【図３】ソーラースリット装置を使用するＸ線回折装置
の第１の構成例を示す斜視図である。

【図４】図３のＸ線回折装置の平面図である。

【図５】ソーラースリット装置を使用するＸ線回折装置
の第２の構成例の平面図である。

【図６】ソーラースリット装置を使用するＸ線回折装置
の第３の構成例の平面図である。

【図７】ソーラースリットの開き角を変えることによっ
てアンブレラ効果を抑制できることを示す回折Ｘ線の測
定結果のグラフである。

【図８】本発明のソーラースリット装置の第１の実施形
態の斜視図である。

【図９】図８のソーラースリット装置の正面図である。

【図１０】図９のＡ−Ａ線断面図である。

【図１１】図１０に示す状態からフレームを変形させた
状態を示す断面図である。

【図１２】本発明のソーラースリット装置の第２の実施
形態の正面図である。

【図１３】図１２のＡ−Ａ線断面図である。

【図１４】図１３に示す状態からフレームを変形させた
状態を示す断面図である。

【図１５】ローレンツ因子とローレンツ偏光因子を示し
たグラフである。

【符号の説明】

１０ソーラースリット装置１２フレーム１４ブレード５０連結板５２静止板５４第１クランク板５６第２クランク板７０ブレード

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｘ線分析装置のＸ線ビームの経路上に配
置されてＸ線ビームの発散角を制限するソーラースリッ
ト装置において、開き角を連続的に変化させることので
きるソーラースリット装置。
【請求項２】請求項１に記載のソーラースリット装置
において、前記Ｘ線分析装置が集中法のＸ線回折装置で
あり、回折角度に応じてソーラースリットの開き角が変
化することを特徴とするソーラースリット装置。
【請求項３】請求項１に記載のソーラースリット装置
において、平行クランク機構で構成された概略平行六面
体のフレームの内部に、複数のブレードが互いに平行に
なるように等間隔で配置されていて、これらのブレード
の両端が前記平行クランク機構の１対のクランク部材に
対して回動可能に連結されており、前記クランク部材が
平行クランク機構の静止節に対してなす角度が変化する
ことによって、隣り合うブレードの間隙が変化し、もっ
てソーラースリットの開き角が変化することを特徴とす
るソーラースリット装置。
【請求項４】請求項１に記載のソーラースリット装置
において、平行クランク機構で構成された概略平行六面
体のフレームの内部に、複数のブレードが互いに平行に
なるように等間隔で配置されていて、前記ブレードの両
端が前記平行クランク機構の１対のクランク部材に対し
てスライド可能に挿入されており、前記クランク部材が
平行クランク機構の静止節に対してなす角度が変化する
ことによって、隣り合うブレードの間隙が変化し、もっ
てソーラースリットの開き角が変化することを特徴とす
るソーラースリット装置。
【請求項５】請求項３または４に記載のソーラースリ
ット装置において、前記平行クランク機構の動作平面が
前記Ｘ線ビームの経路に平行であることを特徴とするソ
ーラースリット装置。
【請求項６】請求項３または４に記載のソーラースリ
ット装置において、前記平行クランク機構の動作平面が
前記Ｘ線ビームの経路に垂直であることを特徴とするソ
ーラースリット装置。