JP2001001288A - Work holding mechanism - Google Patents

Work holding mechanism

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JP2001001288A
JP2001001288A JP17561999A JP17561999A JP2001001288A JP 2001001288 A JP2001001288 A JP 2001001288A JP 17561999 A JP17561999 A JP 17561999A JP 17561999 A JP17561999 A JP 17561999A JP 2001001288 A JP2001001288 A JP 2001001288A
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JP
Japan
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work
hole
chuck
surface plate
chucks
Prior art date
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JP17561999A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Shibazaki
信行 柴崎
Hiroshi Yashiki
博 屋鋪
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SpeedFam Co Ltd
Original Assignee
SpeedFam Co Ltd
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Publication date
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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a work or a surface of a surface plate from being damaged in opening/closing a chuck, and to reduce generation of defective products attributable to generation of damages. SOLUTION: In a work holding mechanism 1 having a chuck 2 which is inserted in a hole 11 in a work 10 to hold the work 10 from the inside diameter side during the holding work, a hole 6 which is larger in diameter than the hole 11 in the work 10 and deep so that the chuck 2 inserted in the hole 11 in the work 10 can be smoothly opened/closed without being brought into contact with other portions of a lower surface plate 5, is provided in a part corresponding to the hole 11 in the work 10 on the lower surface plate 5 on which the work 10 is placed. When the work 10 is carried to a specified position on the lower surface plate 5, or carried out from a specified position on the lower surface plate 5, a tip part of the chuck 2 inserted in the hole 11 in the work 10 is located in the hole 6 of the lower surface plate 5, the chuck 2 is opened in this condition, and a back side of the chuck 2 is abutted on an inner circumferential surface of the hole 11 in the work 10 to hold the work 10.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明はワークの掴持機構
に関し、特に、磁気ディスク用アルミ基板等を研削する
研削機等のワーク搬送装置に用いられるワーク掴持機構
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work holding mechanism, and more particularly to a work holding mechanism used in a work transfer device such as a grinder for grinding an aluminum substrate for a magnetic disk or the like.

【0002】[0002]

【従来技術およびその問題点】磁気ディスク用アルミ基
板等のワークの表面を研磨する研削機には種々のタイプ
のものがあり、例えば、回転可能に設けられる下定盤2
5と、下定盤25の上方に回転可能かつ上下方向に移動
可能に設けられる上定盤(図示せず)と、下定盤25の
中心部に回転可能に設けられるドライバ(図示せず)
と、ドライバの外周側に回転可能に設けられる太陽ギア
(図示せず)と、下定盤25の外周側に回転可能に設け
られるインターナルギア(図示せず)と、太陽ギアとイ
ンターナルギアに噛合して下定盤25上を自転、公転す
るとともに、複数箇所にワーク10を保持する孔を有す
るキャリヤ(図示せず)とを具えた研削機が市場に提供
されている(図3、図4参照)。
2. Description of the Related Art There are various types of grinders for polishing the surface of a work such as an aluminum substrate for a magnetic disk, for example, a lower platen 2 rotatably provided.
5, an upper stool (not shown) rotatably provided above the lower stool 25 and movable vertically, and a driver (not shown) rotatably provided at the center of the lower stool 25
A sun gear (not shown) rotatably provided on the outer peripheral side of the driver, an internal gear (not shown) rotatably provided on the outer peripheral side of the lower stool 25, and mesh with the sun gear and the internal gear. A grinder equipped with a carrier (not shown) that rotates and revolves on the lower platen 25 and has holes for holding the workpiece 10 at a plurality of locations is provided on the market (see FIGS. 3 and 4). .

【0003】そして、このような研削機にはワーク搬送
装置(図示せず)が連設されている。ワーク搬送装置
は、搬送ステーションと研削機との間、及び搬出ステー
ションと研削機との間に設けられるものであって、ワー
ク10を水平方向に移動、位置決めする水平移動機構
(図示せず)と、上下方向に移動、位置決めする上下移
動機構(図示せず)とを具えており、各ワーク搬送装置
にはそれぞれ図3及び図4に示すようなワーク掴持機構
21が取り付けられるようになっている。
A work transfer device (not shown) is connected to such a grinding machine. The work transfer device is provided between the transfer station and the grinding machine and between the unloading station and the grinder, and includes a horizontal movement mechanism (not shown) for moving and positioning the work 10 in the horizontal direction. , A vertical moving mechanism (not shown) for moving and positioning in the vertical direction, and a work gripping mechanism 21 as shown in FIGS. 3 and 4 is attached to each work transfer device. I have.

【0004】ワーク掴持機構21は、水平方向に開閉自
在に設けられる一対の棒状のチャック22、22と、チ
ャック22、22を開閉させるシリンダ等の開閉部材2
4とを具えたものであって、開閉部材24を作動させて
チャック22、22を開閉させることでワーク10を掴
持又は非掴持することができるものである。
The work gripping mechanism 21 includes a pair of bar-shaped chucks 22, 22 provided to be freely openable and closable in a horizontal direction, and an opening and closing member 2 such as a cylinder for opening and closing the chucks 22, 22.
The work 10 can be gripped or not gripped by operating the opening / closing member 24 to open and close the chucks 22 and 22.

【0005】そして、上記のような構成のワーク掴持機
構21を具えたワーク搬送装置によってワーク10を下
定盤25上の所定の位置(キャリヤの孔内)に搬送する
には、水平移動機構によってワーク掴持機構21を水平
方向に移動させて搬入ステーションの基台の上方に位置
させ、上下移動機構によってワーク掴持機構21を下降
させて、基台上に位置している加工前のワーク10の中
心部の孔11内にチャック22、22を挿入し、この状
態で開閉部材24を作動させてチャック22、22を開
いてチャック22、22の背面側をワーク10の孔11
の内周面に当接させ、ワーク10を掴持する。
In order to transfer the work 10 to a predetermined position (in the hole of the carrier) on the lower platen 25 by the work transfer device provided with the work holding mechanism 21 having the above-described structure, a horizontal moving mechanism is used. The work gripping mechanism 21 is moved in the horizontal direction to be positioned above the base of the loading station, and the work gripping mechanism 21 is lowered by the up-and-down movement mechanism, so that the unprocessed work 10 positioned on the base is moved. The chucks 22 and 22 are inserted into the hole 11 at the center of the work, and in this state, the opening and closing member 24 is operated to open the chucks 22 and 22 so that the back side of the chucks 22 and 22
And grip the work 10.

【0006】そして、上下移動機構によってワーク掴持
機構21を上昇させるとともに、水平移動機構によって
ワーク掴持機構21を水平方向に移動させて研削機の下
定盤25の上方の所定の位置に位置し、上下移動機構に
よってワーク掴持機構21を下降させて下定盤25上の
所定位置(キャリヤの孔内)にワーク10を供給し、開
閉部材24を作動させてチャック22、22を閉じてチ
ャック22、22の背面側をワーク10の孔11の内周
面から離間させてワーク10を離し、上下移動機構によ
ってワーク掴持機構21を上昇させてチャック22、2
2をワーク10の孔11内から抜き、水平移動機構によ
ってワーク掴持機構21を水平方向に移動させて搬入ス
テーションに位置させ、次の加工前のワーク10を掴持
するためにその位置に待機させる。
Then, the work gripping mechanism 21 is raised by the vertical movement mechanism, and the work gripping mechanism 21 is horizontally moved by the horizontal movement mechanism to be positioned at a predetermined position above the lower platen 25 of the grinding machine. The workpiece 10 is supplied to a predetermined position (in the hole of the carrier) on the lower stool 25 by operating the opening / closing member 24 to close the chucks 22 and 22 to lower the chucks 22. , 22 are separated from the inner peripheral surface of the hole 11 of the work 10 to separate the work 10, and the work gripping mechanism 21 is raised by the up-down movement mechanism, and the chucks 22, 2 are moved.
2 is pulled out of the hole 11 of the work 10, the work gripping mechanism 21 is moved in the horizontal direction by the horizontal movement mechanism and is positioned at the loading station, and stands by at that position in order to grip the work 10 before the next processing. Let it.

【0007】そして、研削機を作動させて下定盤25と
上定盤との間でキャリヤを自転、公転させてキャリヤに
保持したワーク10の表面の研削を行い、研削が終了し
た後に、搬出ステーションに位置しているワーク掴持機
構21を水平移動機構によって水平方向に移動させて研
削機の下定盤25の上方の所定の位置に位置させ、上下
移動機構によってワーク掴持機構21を下降させてキャ
リヤの孔内に位置しているワーク10の孔11内にチャ
ック22、22を挿入し、開閉部材24を作動させてチ
ャック22、22を開いてチャック22、22の背面側
をワーク10の孔11の内周面に当接させ、ワーク10
を掴持する。
Then, the grinding machine is operated to rotate and revolve the carrier between the lower platen 25 and the upper platen to grind the surface of the work 10 held on the carrier. Is moved in the horizontal direction by the horizontal moving mechanism to be positioned at a predetermined position above the lower platen 25 of the grinding machine, and the work gripping mechanism 21 is lowered by the vertical moving mechanism. The chucks 22, 22 are inserted into the holes 11 of the work 10 located in the holes of the carrier, and the opening and closing members 24 are operated to open the chucks 22, 22 so that the back sides of the chucks 22, 22 are placed in the holes of the work 10. 11 is brought into contact with the inner peripheral surface of
Grab it.

【0008】そして、上下移動機構によってワーク掴持
機構21を上昇させるとともに、水平移動機構によって
ワーク掴持機構21を水平方向に移動させて搬出ステー
ションの基台の上方に位置させ、上下移動機構によって
ワーク掴持機構21を下降させてワーク10を基台上に
載置し、開閉部材24を作動させてチャック22、22
を閉じてチャック22、22の背面側をワーク10の孔
11の内周面から離間させてワーク10を離し、上下移
動機構によってワーク掴持機構21を上昇させてチャッ
ク22、22をワーク10の孔11内から抜き、次の加
工済みのワーク10を掴持するためにその位置に待機さ
せる。
The work gripping mechanism 21 is raised by the vertical movement mechanism, and the work gripping mechanism 21 is moved horizontally by the horizontal movement mechanism to be positioned above the base of the unloading station. The work gripping mechanism 21 is lowered to place the work 10 on the base, and the opening / closing member 24 is operated to operate the chucks 22, 22.
Is closed, the back side of the chucks 22, 22 is separated from the inner peripheral surface of the hole 11 of the work 10, the work 10 is separated, and the work gripping mechanism 21 is raised by the up-down movement mechanism to move the chucks 22, 22 to the work 10. It is pulled out from the hole 11 and is held at that position to grasp the next processed work 10.

【0009】このようにして、加工前のワーク10を下
定盤25上の所定の位置(キャリヤの孔内)に連続して
供給することができるとともに、加工済みのワーク10
を下定盤25上の所定の位置(キャリアの孔内)から連
続して取り出すことができるものである。
In this manner, the workpiece 10 before processing can be continuously supplied to a predetermined position (in the hole of the carrier) on the lower platen 25, and the processed workpiece 10
Can be continuously taken out from a predetermined position on the lower platen 25 (in the hole of the carrier).

【0010】しかしながら、上記のような構成の従来の
ワーク掴持機構21にあっては、チャック22、22を
ワーク10の孔11内に挿入して開閉部材24を作動さ
せてチャック22、22を開く場合に、チャック22、
22の背面側の下端部が鋭角に形成されているため、そ
の部分でワーク10の孔11の内周面に傷を付けてしま
ったり、下定盤25の表面に傷を付けてしまうことがあ
り、その傷に起因して不良品が発生することがある。
However, in the conventional work gripping mechanism 21 having the above structure, the chucks 22, 22 are inserted into the holes 11 of the work 10, and the opening / closing member 24 is operated to move the chucks 22, 22. When opening, the chuck 22,
Since the lower end on the rear side of the base 22 is formed at an acute angle, the inner peripheral surface of the hole 11 of the work 10 may be damaged at that part, or the surface of the lower platen 25 may be damaged. Defective products may be generated due to the scratches.

【0011】また、ワーク10の加工開始時におけるキ
ャリアの孔の位置、又はワークの加工終了時におけるキ
ャリアの孔の位置にワーク掴持機構21のチャック2
2、22を一致させるセッティング(チャック22、2
2の芯出し、チャック22、22の傾きの調整、チャッ
ク22、22と下定盤25上との距離の調整等)を行う
際、下定盤25の表面上においてチャック22、22を
開閉させる作業を数回繰り返し行うため、その開閉作業
中にチャック22、22の尖っている部分で下定盤25
の表面に傷を付けてしまうことがあり、その傷に起因し
て不良品が発生することがある。
The chuck 2 of the workpiece gripping mechanism 21 is located at the position of the hole of the carrier at the start of the processing of the work 10 or at the position of the hole of the carrier at the end of the processing of the work.
Settings to match 2, 22 (chuck 22, 2,
2, centering of the chucks 22, adjustment of the inclination of the chucks 22, 22, adjustment of the distance between the chucks 22, 22 and the lower platen 25, etc.), the operation of opening and closing the chucks 22, 22 on the surface of the lower platen 25. During the opening / closing operation, the lower platen 25 is sharpened by the sharp portions of the chucks 22, 22.
May be scratched on the surface, and defective products may be generated due to the scratches.

【0012】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、チャックのセッティン
グ時に定盤上でチャックを開閉させても定盤の表面に傷
が付く虞れがなく、また、ワークを定盤上のキャリヤの
孔内に供給する際又は定盤上のキャリヤの孔内から取り
出す際に、定盤上でチャックを開閉させてもワークの内
周面及び定盤の表面に傷が付く虞れがなく、傷の発生に
起因して不良品が発生することがなく、歩留りを向上さ
せることができるワーク掴持機構を提供することを目的
とするものである。
The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and there is no fear that the surface of the surface plate will be damaged even if the chuck is opened and closed on the surface plate at the time of setting the chuck. In addition, when the work is supplied into the hole of the carrier on the surface plate or taken out from the hole of the carrier on the surface plate, the inner peripheral surface of the work and the surface of the surface plate can be opened and closed by opening and closing the chuck on the surface plate. It is an object of the present invention to provide a workpiece gripping mechanism that can improve the yield without causing any fear of scratching the surface and without causing defective products due to the occurrence of scratches.

【0013】[0013]

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、中心部に孔を有するワークを定盤
上の所定の位置に搬送する際、又は定盤上の所定の位置
から搬出する際に掴持するワーク掴持機構であって、掴
持の際にワークの孔内に挿入されて先端部がワークの下
面から突出し、この状態で開くことにより背面側がワー
クの孔の内周面に当接するチャックを有し、ワークが載
置される定盤上のワークの孔に対応する部分にワークの
孔よりも大径の孔を設け、ワークを定盤上の所定の位置
に搬送する際、又は定盤上の所定の位置から搬出する際
に、ワークの孔内に挿入されるチャックの先端部を定盤
の孔内に位置させ、この状態でチャックを開くことによ
りチャックの背面側をワークの孔の内周面に当接させる
ように構成した手段を採用したものである。また、前記
チャックの背面側の前記ワークの孔の内周面に当接する
部分に、他の部分よりも一段低い段部を設けた手段を採
用したものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a method for transferring a work having a hole in the center to a predetermined position on a surface plate, This is a workpiece gripping mechanism that grips when unloading from a position, and is inserted into the hole of the workpiece at the time of gripping, and the tip protrudes from the lower surface of the workpiece. The chuck has a chuck in contact with the inner peripheral surface of the work, and a hole having a larger diameter than the work hole is provided in a portion corresponding to the work hole on the work surface on which the work is mounted. When transporting to the position, or when unloading from a predetermined position on the surface plate, the tip of the chuck inserted into the hole of the work is located in the hole of the surface plate, and by opening the chuck in this state A hand configured so that the back side of the chuck is in contact with the inner peripheral surface of the hole in the work. One in which was adopted. Further, a means is provided in which a step portion which is one step lower than other portions is provided in a portion which is in contact with the inner peripheral surface of the hole of the work on the back side of the chuck.

【0014】[0014]

【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、ワークの孔内にチャックを挿入してチャックを開
くと、チャックの背面側がワークの孔の内周面に当接し
てワークが掴持される。そして、この状態でチャックと
一体にワークを定盤上の所定の位置に移動させるととも
に、チャックと一体にワークを下降させて定盤上にワー
クを載置させると、チャックの先端部が定盤の孔内に挿
入される。そして、この状態でチャックを閉じることに
よりチャックの背面側がワークの孔の内周面から離間
し、ワークの掴持状態が解除される。そして、チャック
をワークの孔から抜き、その後定盤上でワークの加工を
行い、ワークの加工が終了した後に、チャックをワーク
の孔内に再び挿入してその先端部を定盤の孔内に挿入
し、この状態でチャックを開くと、チャックの背面側が
ワークの孔の内周面に当接してワークが掴持される。そ
して、チャックと一体にワークを定盤上から移動させる
ことにより、加工が終了したワークが定盤上から搬出さ
れることになる。
According to the present invention, when the chuck is inserted into the hole of the work and the chuck is opened, the back side of the chuck contacts the inner peripheral surface of the hole of the work and the work is grasped. Be held. Then, in this state, the work is moved to a predetermined position on the surface plate integrally with the chuck, and the work is lowered integrally with the chuck to place the work on the surface plate. Is inserted into the hole. Then, by closing the chuck in this state, the back side of the chuck is separated from the inner peripheral surface of the hole of the work, and the gripping state of the work is released. Then, remove the chuck from the hole in the work, process the work on the surface plate, and after finishing the work, insert the chuck again into the hole in the work and insert the tip into the hole in the surface plate. When the chuck is inserted and the chuck is opened in this state, the back side of the chuck contacts the inner peripheral surface of the hole of the work, and the work is gripped. Then, by moving the work from the surface plate integrally with the chuck, the processed work is carried out from the surface plate.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図1及び図2には、この発明
によるワーク掴持機構の一実施の形態が示されていて、
この実施の形態に示すワーク掴持機構1は、磁気ディス
ク用アルミ基板等の円板状のワークの表面を研磨する研
削機に連設されるワーク搬送装置に取り付けられるもの
であって、水平方向に開閉自在に設けられる一対の棒状
のチャック2、2と、チャック2、2を開閉させるシリ
ンダ等の開閉部材4とを具えている。
Embodiments of the present invention shown in the drawings will be described below. 1 and 2 show an embodiment of a work gripping mechanism according to the present invention.
The work holding mechanism 1 shown in this embodiment is attached to a work transfer device connected to a grinding machine for polishing the surface of a disk-shaped work such as an aluminum substrate for a magnetic disk, and is mounted in a horizontal direction. And a pair of bar-shaped chucks 2 and 2 provided to be freely openable and closable, and an opening and closing member 4 such as a cylinder for opening and closing the chucks 2 and 2.

【0016】研削機には種々のタイプのものがあり、こ
の実施の形態においては、回転可能に設けられる下定盤
5と、下定盤5の上方に回転可能かつ上下方向に移動可
能に設けられる上定盤(図示せず)と、下定盤5の中心
部に回転可能に設けられるドライバ(図示せず)と、ド
ライバの外周側に回転可能に設けられる太陽ギア(図示
せず)と、下定盤5の外周側に回転可能に設けられるイ
ンターナルギア(図示せず)と、太陽ギアとインターナ
ルギアに噛合して下定盤上を自転、公転するとともに、
複数箇所にワークを保持する孔を有するキャリヤ(図示
せず)とを具えた研削機を用いている。
There are various types of grinding machines. In this embodiment, a lower platen 5 is provided rotatably, and a lower platen 5 is provided above the lower platen 5 so as to be rotatable and vertically movable. A surface plate (not shown), a driver (not shown) rotatably provided at the center of the lower surface plate 5, a sun gear (not shown) rotatably provided on the outer peripheral side of the driver, and a lower surface plate An internal gear (not shown) rotatably provided on the outer peripheral side of 5, and meshes with a sun gear and an internal gear to rotate and revolve on a lower platen,
A grinder equipped with a carrier (not shown) having holes for holding a work at a plurality of locations is used.

【0017】ワーク搬送装置(図示せず)は、搬送ステ
ーションと研削機との間、及び搬出ステーションと研削
機との間に設けられるものであって、ワーク掴持機構1
を水平方向に移動、位置決めする水平移動機構(図示せ
ず)と、上下方向に移動、位置決めする上下移動機構
(図示せず)とを具えており、各ワーク搬送装置にそれ
ぞれこの実施の形態のワーク掴持機構1が取り付けられ
るようになっている。
The work transfer device (not shown) is provided between the transfer station and the grinding machine and between the unloading station and the grinder.
A horizontal moving mechanism (not shown) for moving and positioning the object in the horizontal direction, and a vertical moving mechanism (not shown) for moving and positioning the object in the vertical direction. The work gripping mechanism 1 is attached.

【0018】ワーク掴持機構1のチャック2の背面側に
は他の部分よりも一段低い段部3が設けられ、チャック
2を開いた際にこの段部3の底面がワーク10の中心部
に設けた孔11の内周面に当接することで、ワーク10
が掴持されるようになっている。
On the back side of the chuck 2 of the work gripping mechanism 1, there is provided a stepped portion 3 which is one step lower than other portions. When the chuck 2 is opened, the bottom surface of the stepped portion 3 is located at the center of the work 10. By contacting the inner peripheral surface of the hole 11 provided, the work 10
Is to be grasped.

【0019】ワーク10が載置される下定盤5上のワー
ク10の孔11に対応する部分には、すなわち、加工開
始時のキャリヤの孔(又は加工終了時のキャリヤの孔)
に対応する下定盤5上のワーク10の孔11に対応する
部分には、ワーク10の孔11よりも大径で、かつ、ワ
ーク10の孔11内に挿入したチャック2、2が下端部
をワーク10の下面から突出させた状態で、下定盤の他
の部分に触れることなくスムーズに開閉できるような深
さの孔6がそれぞれ設けられている。
The portion corresponding to the hole 11 of the work 10 on the lower stool 5 on which the work 10 is placed, that is, the hole of the carrier at the start of processing (or the hole of the carrier at the end of processing).
In the portion corresponding to the hole 11 of the work 10 on the lower surface plate 5 corresponding to the above, the chucks 2 and 2 having a larger diameter than the hole 11 of the work 10 and inserted into the hole 11 of the work 10 have lower ends. Holes 6 are provided with a depth such that they can be smoothly opened and closed without touching other parts of the lower platen in a state where they protrude from the lower surface of the work 10.

【0020】そして、上記のように構成したワーク掴持
機構1を取り付けたワーク搬送装置によって加工前のワ
ーク10を下定盤5上の所定の位置に搬送する(キャリ
ヤの孔内に搬送する)には、ワーク搬送装置を搬入ステ
ーションの基台の上方に位置し、上下移動機構によって
ワーク掴持機構1を下降させて基台上のワーク10の孔
11内にチャック2、2を挿入し、開閉部材4を作動さ
せてチャック2、2を開いてチャック2、2の背面側の
段部3、3の底面をワーク10の孔11の内周面に当接
させ、ワーク10を掴持する。
Then, the workpiece 10 before processing is transported to a predetermined position on the lower platen 5 (transported into the hole of the carrier) by the workpiece transporting device equipped with the workpiece gripping mechanism 1 configured as described above. The work transfer device is located above the base of the loading station, the work holding mechanism 1 is lowered by the vertical movement mechanism, the chucks 2 and 2 are inserted into the holes 11 of the work 10 on the base, and opened and closed. The member 4 is operated to open the chucks 2, 2, and the bottom surfaces of the steps 3, 3 on the back side of the chucks 2, 2 are brought into contact with the inner peripheral surface of the hole 11 of the work 10, thereby gripping the work 10.

【0021】そして、上下移動機構によってワーク掴持
機構1を上昇させるとともに、水平移動機構によってワ
ーク掴持機構1を水平方向に移動させて研削機の下定盤
5の上方の所定の位置に位置させ、上下移動機構によっ
てワーク掴持機構1を下降させて下定盤5上の所定の位
置(キャリヤの孔内)にワーク10を供給し、開閉部材
4を作動させてチャック2、2を閉じてチャック2、2
の背面側をワーク10の孔11の内周面から離間させて
ワーク10を離し、上下移動機構によってワーク掴持機
構1を上昇させてチャック2、2をワーク10の孔11
内から抜き、水平移動機構によってワーク掴持機構1を
搬入ステーションに戻し、次の加工前のワーク10を掴
持するためにその位置に待機させる。
Then, the work gripping mechanism 1 is raised by the vertical movement mechanism, and the work gripping mechanism 1 is moved in the horizontal direction by the horizontal movement mechanism to be positioned at a predetermined position above the lower platen 5 of the grinding machine. Then, the work gripping mechanism 1 is lowered by the vertical moving mechanism to supply the work 10 to a predetermined position (in the hole of the carrier) on the lower platen 5, and the opening / closing member 4 is operated to close the chucks 2 and 2 so that the chucks are closed. Two, two
The work 10 is separated by moving the back side of the work 10 away from the inner peripheral surface of the hole 11 of the work 10, the work gripping mechanism 1 is raised by a vertical movement mechanism, and the chucks 2, 2 are moved to the holes 11 of the work 10.
The workpiece is taken out from the inside, and the workpiece holding mechanism 1 is returned to the loading station by the horizontal movement mechanism, and is held at that position to hold the workpiece 10 before the next processing.

【0022】そして、研削機を作動させて下定盤5と上
定盤との間でキャリヤを自転、公転させてキャリヤの孔
内に保持したワーク10の表面の研削を行い、研削が終
了した後に、搬出ステーションに位置しているワーク掴
持機構1を水平移動機構によって水平方向に移動させて
研削機の下定盤5の上方の所定の位置に位置させ、上下
移動機構によってワーク掴持機構1を下降させてキャリ
ヤの孔内に位置しているワーク10の孔11内にチャッ
ク2、2を挿入してその下端部を下定盤5上の孔6内に
位置させ、この状態で開閉部材4を作動させてチャック
2、2を開いてチャック2、2の背面側の段部3、3の
底面をワーク10の孔11の内周面に当接させ、ワーク
10を掴持する。
Then, the grinding machine is operated to rotate and revolve the carrier between the lower surface plate 5 and the upper surface plate to grind the surface of the work 10 held in the hole of the carrier. Then, the workpiece gripping mechanism 1 located at the unloading station is moved in the horizontal direction by the horizontal moving mechanism to be positioned at a predetermined position above the lower platen 5 of the grinding machine, and the workpiece gripping mechanism 1 is moved by the vertical moving mechanism. The chucks 2 and 2 are inserted into the holes 11 of the work 10 located in the holes of the carrier by lowering them, and the lower ends thereof are positioned in the holes 6 on the lower platen 5. When the chucks 2 and 2 are opened, the bottom surfaces of the steps 3 and 3 on the back side of the chucks 2 and 2 are brought into contact with the inner peripheral surface of the hole 11 of the work 10 to grip the work 10.

【0023】そして、上下移動機構によってワーク掴持
機構1を上昇させるとともに、水平移動機構によってワ
ーク掴持機構1を水平方向に移動させて搬出ステーショ
ンの基台の上方の所定の位置に位置させ、上下移動機構
によってワーク掴持機構1を下降させてワーク10を基
台上に載置し、開閉部材4を作動させてチャック2、2
を閉じてチャック2、2の背面側をワーク10の孔11
の内周面から離間させてワーク10を離し、上下移動機
構によってワーク掴持機構1を上昇させてチャック2、
2をワーク10の孔11内から抜き、次の加工済みのワ
ーク10を掴持するためにその位置に待機させる。
Then, the work gripping mechanism 1 is raised by the vertical movement mechanism, and the work gripping mechanism 1 is moved horizontally by the horizontal movement mechanism to be positioned at a predetermined position above the base of the unloading station. The work gripping mechanism 1 is lowered by the up-down movement mechanism, the work 10 is placed on the base, and the opening / closing member 4 is operated to operate the chucks 2, 2.
Is closed, and the back side of the chucks 2 and 2 is
The workpiece 10 is separated from the inner peripheral surface of the chuck, and the workpiece gripping mechanism 1 is raised by the up-down moving mechanism, so that the chuck 2,
2 is pulled out from the hole 11 of the work 10 and is held at that position to hold the next processed work 10.

【0024】このようにして、加工前のワーク10を下
定盤5上の所定の位置(キャリヤの孔内)に連続して供
給することができるとともに、加工済みのワーク10を
下定盤5上の所定の位置(キャリヤの孔内)から連続し
て取り出すことができるものである。
In this manner, the work 10 before processing can be continuously supplied to a predetermined position (in the hole of the carrier) on the lower surface plate 5, and the processed work 10 can be supplied on the lower surface plate 5. It can be taken out continuously from a predetermined position (in the hole of the carrier).

【0025】上記のように構成したこの実施の形態によ
るワーク掴持機構1にあっては、ワーク10が載置され
る下定盤5上のワーク10の孔11に対応する部分に、
すなわち、加工開始時のキャリヤの孔(又は加工終了時
のキャリヤの孔)に対応する下定盤5上のワーク10の
孔11に対応する部分に、ワーク10の孔11よりも大
径で、かつ、ワーク10の孔11内に挿入したチャック
2、2がその下端部をワーク10の下面から突出させた
状態で、下定盤5の他の部分に接触することなくスムー
ズに開閉できるような深さの孔6を設けたので、ワーク
10を下定盤5上の所定の位置(キャリヤの孔内)に搬
送する場合、又はワーク10を下定盤5上の所定の位置
(キャリヤの孔内)から搬出する場合に、チャック2、
2を開閉させてもチャック2、2によってワーク10の
内周面に傷を付けたり、下定盤5の表面に傷を付けたり
するようなことはなくなる。
In the work gripping mechanism 1 according to this embodiment configured as described above, a portion corresponding to the hole 11 of the work 10 on the lower platen 5 on which the work 10 is placed is provided.
That is, a portion of the lower platen 5 corresponding to the hole 11 of the work 10 corresponding to the hole of the carrier at the start of processing (or the hole of the carrier at the end of processing) has a larger diameter than the hole 11 of the work 10, and The chucks 2, 2 inserted into the holes 11 of the work 10 have such a depth that the lower ends thereof protrude from the lower surface of the work 10, and can be smoothly opened and closed without contacting other parts of the lower platen 5. Is provided, the workpiece 10 is conveyed to a predetermined position on the lower surface plate 5 (in the hole of the carrier), or the work 10 is unloaded from a predetermined position on the lower surface plate 5 (in the hole of the carrier). When doing, chuck 2,
Even if the chuck 2 is opened and closed, the chucks 2 and 2 do not damage the inner peripheral surface of the work 10 or damage the surface of the lower platen 5.

【0026】また、ワーク10の加工開始時における下
定盤5上の所定の位置(キャリヤの孔の位置)、又はワ
ーク10の加工終了時における下定盤5上の所定の位置
(キャリヤの孔の位置)にワーク掴持機構1のチャック
2、2を一致させるセッティング(チャック2、2の芯
出し、チャック2、2の傾きの調整、チャック2、2と
下定盤5上との距離の調整等)を行う際、下定盤5の表
面上においてチャック2、2を開閉させる作業を数回繰
り返し行っても、その開閉作業中にチャック2、2で下
定盤5の表面に傷を付けてしまうこともなくなる。
A predetermined position on the lower surface plate 5 (the position of the hole of the carrier) at the start of the processing of the work 10 or a predetermined position on the lower surface plate 5 at the end of the processing of the work 10 (the position of the hole of the carrier). ) To set the chucks 2 and 2 of the work holding mechanism 1 to coincide with each other (centering of the chucks 2 and 2, adjustment of the inclination of the chucks 2 and 2, adjustment of the distance between the chucks 2 and 2 and the lower platen 5, etc.) When performing the operation of opening and closing the chucks 2 and 2 on the surface of the lower surface plate 5 several times, the surface of the lower surface plate 5 may be damaged by the chucks 2 and 2 during the opening and closing operation. Disappears.

【0027】なお、前記の説明においては、この実施の
形態によるワーク掴持機構1を研削機のワーク搬送装置
に用いたが、これ以外の機械(ポリッシング機等)に用
いても良いのは勿論のことである。
In the above description, the work gripping mechanism 1 according to this embodiment is used for a work transfer device of a grinding machine, but it is needless to say that the work holding mechanism 1 may be used for other machines (such as a polishing machine). That is.

【0028】[0028]

【発明の効果】この発明は前記のように構成したことに
より、ワークが載置される定盤上のワークの孔に対応す
る部分には、ワークの孔よりも大径の孔が設けられるこ
とになるので、ワークを定盤上の所定の位置に搬送する
際、又は定盤上の所定の位置から搬出する際に、ワーク
の孔内に挿入したチャックの先端部を定盤上の孔内に位
置させた状態でチャックを開閉させることができること
になる。したがって、チャックを開閉させる際にワーク
に傷を付けたり、定盤の表面に傷を付けたりするような
ことがなくなるので、傷の発生に起因する不良品をなく
すことができ、歩留りを向上させることができることに
なる。また、チャックの背面側に他の部分よりも一段低
い段部を設けて、その段部の底面をワークの孔の内周面
に当接させるようにしたので、ワークの搬送を定盤上に
搬送する際、又はワークを定盤上から搬出する際、ワー
クを確実に掴持することができ、搬送、搬出の途中でワ
ークが落下するような事故を防ぐことができることにな
る。
According to the present invention, a hole having a diameter larger than that of the work is provided in a portion corresponding to the hole of the work on the surface plate on which the work is placed. When transporting a work to a predetermined position on the surface plate or unloading the work from a predetermined position on the surface plate, the tip of the chuck inserted into the hole of the work In this state, the chuck can be opened and closed. Therefore, when the chuck is opened and closed, the work is not damaged, and the surface of the surface plate is not damaged, so that defective products due to the generation of the damage can be eliminated and the yield can be improved. You can do it. In addition, a step that is one step lower than the other parts is provided on the back side of the chuck, and the bottom surface of the step is brought into contact with the inner peripheral surface of the hole of the work. When transporting or unloading the work from the surface plate, the work can be reliably grasped, and an accident such as dropping of the work during the transfer or unloading can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明によるワーク掴持機構の一実施の形態
を示した概略図であって、ワークの掴持状態を示した説
明図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of a work gripping mechanism according to the present invention, and is an explanatory view showing a state of gripping a work.

【図2】図1に示すもののワークの非掴持状態を示した
説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing a non-grasping state of a work shown in FIG.

【図3】従来のワーク掴持機構の一例を示した概略図で
あって、ワークの掴持状態を示した説明図である。
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of a conventional work gripping mechanism, and is an explanatory diagram illustrating a gripping state of a work.

【図4】図3に示すもののワークの非掴持状態を示した
説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing a non-grasping state of the work shown in FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、21……ワーク掴持機構 2、22……チャック 3……段部 4、24……開閉部材 5、25……下定盤 6、11……孔 10……ワーク 1, 21 Work gripping mechanism 2, 22 Chuck 3, Step 4, 24 Opening / closing member 5, 25 Lower platen 6, 11, Hole 10 Work

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中心部に孔を有するワークを定盤上の所
定の位置に搬送する際、又は定盤上の所定の位置から搬
出する際に掴持するワーク掴持機構であって、掴持の際
にワークの孔内に挿入されて先端部がワークの下面から
突出し、この状態で開くことにより背面側がワークの孔
の内周面に当接するチャックを有し、ワークが載置され
る定盤上のワークの孔に対応する部分にワークの孔より
も大径の孔を設け、ワークを定盤上の所定の位置に搬送
する際、又は定盤上の所定の位置から搬出する際に、ワ
ークの孔内に挿入されるチャックの先端部を定盤の孔内
に位置させ、この状態でチャックを開くことによりチャ
ックの背面側をワークの孔の内周面に当接させるように
構成したことを特徴とするワーク掴持機構。
1. A workpiece gripping mechanism for gripping a workpiece having a hole in the center thereof when transporting the workpiece to a predetermined position on a surface plate or unloading the workpiece from a predetermined position on the surface plate. At the time of holding, the tip is protruded from the lower surface of the work by being inserted into the hole of the work, and by opening in this state, the back side has a chuck abutting on the inner peripheral surface of the hole of the work, and the work is placed thereon A hole with a larger diameter than the hole of the work is provided in the part corresponding to the hole of the work on the surface plate, and when transferring the work to the predetermined position on the surface plate, or when unloading from the predetermined position on the surface plate Then, the tip of the chuck to be inserted into the hole of the work is positioned in the hole of the platen, and the chuck is opened in this state so that the back side of the chuck is brought into contact with the inner peripheral surface of the hole of the work. A workpiece gripping mechanism characterized by comprising.
【請求項2】 前記チャックの背面側の前記ワークの孔
の内周面に当接する部分に、他の部分よりも一段低い段
部を設けた請求項1記載のワーク掴持機構。
2. The work gripping mechanism according to claim 1, wherein a step which is lower by one step than other parts is provided at a portion of the back side of the chuck which comes into contact with an inner peripheral surface of the hole of the work.
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