JP2000508473A - 電子モジュールを噴霧冷却するための装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本装置は第１の層（１２）および該第１の層（１２）に対向する第２の層（１４）を有する板状部材（１０）を含む。第１の流体分配導管（２８）が前記第１の層（１２）に配置されかつ第２の流体分配導管（２８）が前記第２の層（１４）に配置される。第１の開口（３６）を有する第１のノズルハウジングが前記第１の流体分配導管（２８）に配置されかつ第２の開口（３６）を有する第２のノズルハウジング（３０）が前記第２の流体分配導管（２８）に配置される。

Description

【発明の詳細な説明】 電子モジュールを噴霧冷却するための 装置および方法 この出願は、本発明と同じ譲渡人に譲渡された、１９９６年４月１０日出願の 、同時係属の米国特許出願シリアル番号ＴＢＡ、代理人整理番号ＣＥ０３０１５ Ｒ、に関連している。 発明の分野 この発明は一般的には電子モジュールの冷却に関し、かつ、より特定的には、 電子モジュールを噴霧冷却する（ｓｐｒａｙ−ｃｏｏｌｉｎｇ）ための装置およ び方法に関する。 発明の背景 マルチチップモジュールのような電子モジュール、電力増幅器のような電子ハ イブリッドアセンブリ、およびフィルタのような受動部品は通常の動作の間に冷 却を必要とする熱源を含んでいる可能性がある。しばしば、電子モジュールはプ リント回路基板のような基板上に配置され、かつバーサ・モジュール・ヨーロッ パ（Ｖｅｒｓａ Ｍｏｄｕｌｅ Ｅｕｒｏｐｅ：ＶＭＥ）ケージまたは電子工業 会 （ＥＩＡ）のサブラックのようなラック型ハウジングで動作する。 一般に、電子モジュールおよびそれらの関連する部品は自然のまたは強制的な 空気対流によって冷却され、これは空気の比較的貧弱な熱容量および熱伝達係数 のため、電子モジュールを通って、あるいは該モジュールに取り付けられた重い ヒートシンクを通って大きな容積の空気を移動させることを必要とする。ラック 型ハウジングにおいては、空気冷却は電子モジュールの間に広い空間を生じる結 果となり、これはハウジングが非常に大きくなるようにする。さらに、空気冷却 プロセスは望ましくない音響的ノイズまたは、ほこりのような、他の汚染物を電 子モジュール内に導入することがある。 蒸発噴霧冷却（ｅｖａｐｏｒａｔｉｖｅ ｓｐｒａｙ ｃｏｏｌｉｎｇ）は霧 状にした流体の飛沫を直接電子モジュールのような熱源の表面上に噴霧すること を特徴とする。液体の飛沫がモジュールの表面上に衝突したとき、液体の薄膜が モジュールを覆い、かつ熱は主としてモジュールの表面からの液体の蒸発によっ て除去される。 蒸発噴霧冷却は数多くの電子製品の熱除去の好ましい方法であるが、電子モジ ュールのためのハウジングは電子モジュールを噴霧冷却する目的のためにしばし ば再設計されなければならない。 したがって、伝統的なラック型のハウジング内に統合で きる電子モジュールを噴霧冷却するための装置および方法が必要である。 発明の概要 本発明の一態様によれば、前述の必要性は第１の層および該第１の層に対向す る第２の層を有するプレートまたは板状部材（ｐｌａｔｅ）を含む電子モジュー ルを噴霧冷却するための装置によって対処される。第１の流体分配導管（ｆｌｕ ｉｄ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｎｇ ｃｏｎｄｕｉｔ）が前記第１の層に配置され かつ第２の流体分配導管が前記第２の層に配置される。第１の開口を有する第１ のノズルハウジングが前記第１の流体分配導管に配置されかつ第２の開口を有す る第２のノズルハウジングが前記第２の流体分配導管に配置される。 本発明の他の態様によれば、電子モジュールを噴霧冷却するための装置は第１ の層および第２の層を有するプレートを含み、前記第１の層は第１の内部面およ び第１の外部面を有しかつ前記第２の層は第２の内部面および第２の外部面を有 する。第１の流体分配導管が前記第１の内部面に形成されかつ第２の流体分配導 管が前記第２の内部面に形成されかつ実質的に前記第１の流体分配導管と整列さ れてマニホルドまたは多岐管（ｍａｎｉｆｏｌｄ）を形成する。第１のノズルが 前記第１の流体分配導管に配置される。第１のノズルは第１のリセプタクル端部 および第１の噴霧端 部を有する。第１の噴霧端部は第１の開口を有する。第１のリセプタクル端部は 前記第１の流体分配導管と連通しかつ前記第１の噴霧端部は前記第１の外部面と 連通している。第２のノズルが前記第２の流体分配導管に配置される。第２のノ ズルは第２のリセプタクル端部および第２の噴霧端部を有する。第２の噴霧端部 は第２の開口を有する。第２のリセプタクル端部は前記第２の流体分配導管と連 通しかつ前記第２の噴霧端部は前記第２の外部面と連通している。第１のリセプ タクル端部は前記第１の流体分配導管から流体を受け、前記第１の噴霧端部は該 流体を霧状にしかつ霧状にされた流体を前記第１の開口を通して放出する。第２ のリセプタクル端部は前記第２の流体分配導管から流体を受け、かつ前記第２の 噴霧端部は該流体を霧状にしかつ前記第２の開口を通して霧状にされた流体を放 出する。 本発明のさらに別の態様によれば、電子モジュールを噴霧冷却するための方法 は第１の層および第２の層を有するプレートを提供する段階を含み、前記第１の 層は第１の流体分配導管を有しかつ前記第２の層は第２の流体分配導管を有し、 前記方法はさらに前記第１の流体分配導管に配置された第１のノズルによって流 体を受ける段階を含み、前記第１のノズルは第１の開口を有し、前記方法はさら に前記流体を前記第２の流体分配導管に配置された第２のノズルによって受ける 段階を有し、前記第２のノズルは第２の開口を有し、前記方法はさらに前記第１ の開口を介して前 記流体を放出する段階、および前記第２の開口を介して前記流体を放出する段階 を備えている。 本発明の利点は実例によって示されかつ述べられた本発明の好ましい実施形態 の以下の説明から当業者に容易に明かになるであろう。理解されるように、本発 明は他のおよび異なる実施形態をとることが可能であり、かつその細部は種々の 点において変更または修正可能である。したがって、図面および説明は例示的な 性質のものと考えられるべきであり、かつ制限的なものと考えられるべきではな い。 図面の簡単な説明 図１は、本発明の好ましい実施形態に係わる電子モジュールを噴霧冷却するた めの装置の部分的斜視図である。 図２は、図１に示された装置の展開斜視図である。 図３は、本発明の好ましい実施形態に係わるノズルハウジングを図解する、図 ２における線３−３に沿って描かれた装置の断面図である。 図４は、２つのプリント回路基板上の電子モジュールを同時に冷却するための 動作方法を示す、図１および図２に示された装置の斜視図である。 図５は、図１〜図４に示された装置のためのラック型ハウジングおよび閉ルー プ流体流れを示す。 好ましい実施形態の詳細な説明 次に図面に移ると、同じ参照数字は同じ要素を示しており、図１は本発明の好 ましい実施形態に係わる電子モジュールを噴霧冷却するための装置の部分的斜視 図である。図示の如く、該装置は実質的に方形であるプレートまたは板状部材１ ０を含む。しかしながら、プレート１０は任意の所望の形状にすることができ、 かつ任意の適切な材料、例えば、プラスチックまたはアルミニウムのような金属 で構成することができる。 プレート１０は第１の層１２および第２の層１４を有する。図２に示されるよ うに、第１の層１２および第２の層１４は別個の部品（ｐｉｅｃｅｓ）とするこ とができ、これらは種々の方法および材料を使用していっしょに固定することが できる。例えば、ねじのような留め金具、柔軟なまたはよくなじむガスケット（ ｃｏｍｐｌｉａｎｔ ｇａｓｋｅｔｓ）、接合（ｂｏｕｄｉｎｇ）、超音波溶接 、はんだ付けまたはろう付け（ｂｒａｚｉｎｇ）を使用することができる。ある いは、プレート１０は単一の部品として形成することができ、例えば気体幇助射 出成形（ｇａｓ−ａｓｓｉｓｔ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｍｏｌｄｉｎｇ）を使用 して、例えば、モールドプロセスの間に内部ボイドまたは欠如部（後に説明する ）を形成することができる。 図２に示されるように、第１の層１２が第２の層１４から分離されたとき、第 １の層１２は内側面または内部面１６および外側面または外部面１８を有するこ とが分かる。 同様に、第２の層１４は内側面または内部面２０および外側面または外部面２２ を有する。 少なくとも１つの流体分配導管２８が第１の層１２の内部面１６にかつ第２の 層１４の内部面２０に配置されている。第１および第２の層１２，１４の外部面 １８，２２上に突出部２９を生じる結果となる、数多くの流体分配導管２８が、 それぞれ、図２に示されている。第１の層１２の内側面１６における流体分配導 管２８はみぞ（ｇｒｏｏｖｅｓ）とすることができ、該みぞは図示の如く、これ もまたみぞとすることができる、第２の層１４の内側面２０における流体分配導 管と実質的に整列されており、それによってプレート１０内で多岐管またはマニ ホルドが形成されるようになる。しかしながら、内側面１６における特定の流体 分配導管２８は内側面２０における対応する流体分配導管２８と整列される必要 はない。流体分配導管２８は任意の断面形状とすることができる。円錐形、方形 または円形の断面形状が好ましい。 流体入口ポート２３は、図２に示されるように、層１２，１４と一体的に形成 することができる。あるいは、流体入口ポート２３は、例えばバーブを有する取 付部品（ｂａｒｂｅｄ ｆｉｔｔｉｎｇ）を使用して、プレート１０に別個に結 合することができる。 少なくとも１つのノズルハウジング３０が少なくとも１つの流体分配導管２８ に配置される。図３は図２の線３− ３に沿った断面図であり、第１の層１２における１つのノズルハウジング３０を 示している。ノズルハウジング３０は流体分配導管２８と連通するリセプタクル 端または端部（ｒｅｃｅｐｔａｃｌｅ ｅｎｄ）３２を有する。ノズルハウジン グ３０の噴霧端または端部（ｓｐｒａｙ ｅｎｄ）３４は少なくとも部分的に第 １の層１２の外部面１８と連通しており、かつ開口３６を含む。開口３６は好ま しくは直径で０．１５ｍｍのオーダである。 各々のノズルハウジング３０はノズル２６を受けるような寸法とされ、該ノズ ル２６は、図３に示されるように、旋回形または渦巻形プレート（スワールプレ ート：ｓｗｉｒｌ ｐｌａｔｅ）またはインサート（ｉｎｓｅｒｔ）とすること ができる。ノズル２６は、例えば、圧入（ｐｒｅｓｓ−ｆｉｔｔｉｎｇ）、はん だ付け（ｓｏｌｄｅｒｉｎｇ）あるいは接着または接合（ｂｏｎｄｉｎｇ）によ ってノズルハウジング３０に固定することができる。あるいは、ノズル２６は流 体分配導管２８に一体的に形成することができる。 ノズル２６は好ましくはシンプレクスまたは単一圧力旋回噴霧器（ｓｉｍｐｌ ｅｘ ｐｒｅｓｓｕｒｅ−ｓｗｉｒｌ ａｔｏｍｉｚｅｒｓ）のような小型噴霧 器であり、これらはほぼ０．３ｍｍの高さであり、かつ任意の適切な材料で製作 することができる。適切な材料の例は真鍮またはステンレススチールのような金 属材料である。単一圧力旋 回噴霧器は、ここに参照のため導入される、ティルトン（Ｔｉｌｔｏｎ）他への 米国特許第５，２２０，８０４号に詳細に述べられており、かつアメリカ合衆国 、ワシントン、コルトン、に位置するイソサーマル・システムズ・リサーチ・イ ンコーポレイテッド（Ｉｓｏｔｈｅｒｍａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｒｅｓｅａｒｃ ｈ，Ｉｎｃ．）から商業的に入手可能である。 図４は、２つのプリント回路基板４５上の電子モジュールを同時に冷却するた めの、プレート１０の動作の様式を示す。図１〜図４を総合的に参照すると、プ レート１０の第１の層１２および第２の層１４における流体分配導管２８は流体 入口ポート２３を介して冷却剤流体を受け、かつ該流体を流体分配導管２８に配 置された数多くのノズル２６のリセプタクル端部３２へと供給する。図４には第 １の層１２の内部面１６に形成された流体分配導管２８（図では見えない）によ って生じる第１の層１２の外部面１８の上の突出部２９が見られる。 ノズル２６の噴霧端部３４は前記流体を霧状にしかつ霧状にした流体４３を、 好ましくは外部面１８および２２に対して垂直の角度で、開口３６を通して放出 する。あるいは、霧状にされた流体４３は外部面１８および２２に対して小さな 角度で放出することもできる。霧状にされた流体４３は、とりわけ、マルチチッ プモジュール、電子ハイブリッドアセンブリまたは受動部品のような電子モジュ ール を含むことができる、２つのプリント回路基板４５上に実質的に同時に噴霧され る。 前記冷却剤流体は好ましくは３Ｍ社のフルオリナート（Ｆｌｕｏｒｉｎｅｒｔ^TM ）誘電体流体、オーダ番号ＦＣ−７２、のような誘電体流体とすることができ るが、他の適切な誘電体流体とすることもでき、そのような流体はよく知られか つ広く入手可能である。例えば、３Ｍ社のフルオリナート（Ｆｌｕｏｒｉｎｅｒ ｔ^TM）誘電体流体と同様のパーフルオロカーボン（ｐｅｒｆｌｕｏｒｏｃａｒｂ ｏｎ）流体はオーシモン・ガルデン（Ａｕｓｉｍｏｎｔ Ｇａｌｄｅｎ^(R)）か ら入手可能である。 毎平方センチメートルあたり３００ワットまでの電力密度を有する電子モジュ ールはプレート１０の一方の側１２，１４によって効果的に冷却される。電子モ ジュールから直接熱を除去することは該モジュールおよびそれらに関連する部品 の動作温度を低下させることを助け、熱変動および関連する熱応力の大幅な低減 により信頼性を増大する。 図５は、図１〜図４に示された装置のためのラック型ハウジングおよび閉ルー プ流体流れを示す。任意の所望の寸法の実質的に方形のチェンバを規定する、シ ャシー６０は、例えば、バーサ・モジュール・ヨーロッパ（ＶＭＥ）ラック型ハ ウジングとすることができる。シャシー６０は任意の適切な材料、例えばプラス チックまたはアルミニュームのような金属、で構成できかつ複数のチェンバを生 成する ために仕切ることができる。 シャシー６０の１つの可能な構成においては、２つの側部、内側側部６１およ び外側側部６３、を有する頭部壁６２は、これもまた内側側部６５および外側側 部６７を有する底部壁６６に対向している。数多くのガイド６８が頭部壁６２の 内側側部６１にかつ底部壁６６の内側側部６５に形成されている。頭部壁６２上 のガイド６８は底部壁６６上のガイド６８と実質的に整列している。ガイド６８ は任意選択的に電子モジュールのための電気的相互接続を提供する。 本発明の好ましい実施形態においては、電子モジュールを支持するプリント回 路基板４５のような装置は対のガイド６８の間に固定される。プレート１０もま たガイド６８によって位置決めされ、好ましくはプリント回路基板４５の間に挟 まれ、それによって２つのプリント回路基板４５上の電子モジュールがプレート １０の両方の層１２，１４から放出された霧状の流体４３によって同時に冷却さ れるようになる。 図５に示されるように、霧状にされた流体４３は２つのプリント回路基板４５ 上に実質的に同様の方法で衝突する。しかしながら、内側面１６に配置された流 体分配導管２８におけるノズル２６の配置は内側面２０に形成された流体分配導 管２８におけるノズル２６の配置と異ならせて、噴霧冷却される特定の回路基板 ４５の特定の冷却要件に対処 するようにすることができる。したがって、例えば、プレート１０の第１の層１ ２は第１の回路基板の頭部領域に噴霧し、一方プレート１０の第２の層１４は第 ２の回路基板の底部領域に噴霧することができる。 空気冷却されるラック型のハウジングに存在する可能性のある電子モジュール の間の大きなスペースの制約はここで説明された噴霧冷却ブレート１０を使用す る場合には本質的に存在しないものとすることができる。プレート１０は事実上 モジュールに取り付けられた部品（図示せず）の高さが許容するのと同じだけ電 子モジュールの表面に近く配置することができ、結果として小型のモジュールパ ッケージングを可能にし、それはシャシー６０内の間隔は主として、空気の容積 の要件ではなく、部品の高さによって決定できるからである。熱が大きな面積に わたり、例えば、大きなヒートシンクにわたり拡散される場合に最も効率的であ る、空気冷却と異なり、噴霧冷却は熱集中を可能にしまたは助長し、これは低減 されたパッケージ容積および重量に寄与する他の要因である。 再び図５を参照すると、シャシー６０のための閉ループ流体流れの１つの例が 示されている。流体供給菅５２が流体入口ポート２３に取り付けられ、プレート １０内の流体分配導管２８によって形成される導管（ｃｏｎｄｕｉｔｓ）への冷 却剤流体の流れを提供する。あるいは、流体供給用の貯蔵器（図示せず）が頭部 壁６２の外側側部６３の周辺 または外辺部に取り付けられかつ密閉されて冷却剤流体をプレート１０に提供す ることができる。さらに別の方法として、流体の後部面またはバックプレーン（ ｆｌｕｉｄ ｂａｃｋｐｌａｎｅ）（図示せず）がシャシー６０に結合されて冷 却剤をプレート１０に供給することができる。 流体放出貯蔵器４８が底部壁６６の外側側部６７に取り付けられかつ密閉され る。流体放出貯蔵器４８はシャシー６０から除去された流体を集めかつ排出する 。流体は好ましくは底部壁６６における開口（図示せず）を介してシャシー６０ から、重力によって助けられて、シャシー６０を退出する。もちろん、さらにシ ャシー６０を密閉して冷却剤流体のリークを低減することが望ましい。 流体供給菅５２に結合された、流体ポンプ５０が流体流を提供する。チューブ ５４によってポンプ５０に接続されかつチューブ５６によって流体放出貯蔵器４ ８に接続された、凝縮器（ｃｏｎｄｅｎｓｅｒ）５３は流体放出貯蔵器４８から 流体を受けとる。凝縮器５３は該流体から熱を排除し、それを主として液相に戻 す。ファン５８が使用されて凝縮器５３の冷却容量または能力を拡張する。冷却 された液体は凝縮器５３から流体ポンプ５０に供給される。したがって、冷却剤 流体の閉ループ流れが形成される。システムの任意のポイントにおいて前記冷却 剤流体は蒸気、液体、または蒸気と液体の混合物であってよいことが理解される であろう。 冷却剤の流れを提供するための任意の伝統的な手段を本発明の説明した実施形 態と組み合わせて使用できることが考えられる。さらに、１つより多くのシャシ ー６０を冷却剤の単一の供給源に接続できること、および、例えば冗長性のため に、１つまたはそれ以上の冷却剤の供給源を単一のシャシー６０に接続できるこ とが考えられる。 流体ポンプ５０、凝縮器５３およびファン５８の寸法は熱除去および流量（ｆ ｌｏｗ−ｒａｔｅ）の要件に基づき選択されるべきである。例えば、典型的な閉 ループ流体流れは５００〜１，０００ワットの熱放散に対して毎分５００〜１， ０００ミリリットルである。種々の寸法のポンプおよび凝縮器アセンブリは前述 のイソサーマル・システムズ・リサーチ・インコーポレイテッドから入手可能で あり、かつ受入れ可能な配管（ｔｕｂｉｎｇ）および付属品（ｆｉｔｔｉｎｇｓ ）はアメリカ合衆国、イリノイ州、バーノン・ヒルズのコール−パーマー（Ｃｏ ｌｅ−Ｐａｒｍｅｒ）から入手することができる。 ここで説明された閉ループ流体流システムは数多くの利点を有する。例えば、 それは現存するラック型のハウジングに容易に改装することができる。また、前 記システムは多数の流体配管の管理または個々の噴霧ノズルの配置を必要としな い。その結果、回路がさらに集積されかつプリント回路基板上の電子モジュール の上のおよび間の物理的スペースが低減されて熱密度（ｈｅａｔ ｄｅｎｓｉｔ ｙ） が増大しても、上で説明された装置に関連する流体伝達および放出システムは複 雑さが増大することはない。 前記システムはまた好適なサービス可能性を備えて設計されている。例えば、 噴霧冷却システムの修復はシャシー６０からプレート１０を除去するのと同様に 簡単であり、かつ典型的には数多くの流体ラインを切断しかつ再配置することを 必要としない。同様に、前記システム設計は個々の噴霧冷却される電子モジュー ルへの妨げられることのないアクセスを可能にし、モジュールの点検および修復 をさらに容易にする。 説明された実施形態は通常動作の間に冷却される電子モジュールを示している が、本発明は電子モジュールの通常動作の間の冷却に限定されるものではなく、 例えば、電子モジュールまたは該モジュールに含まれる電子回路装置の試験およ び評価に適用することも可能なことが理解される。 さらに、密閉および／または固定が必要とされる場合は、数多くの方法および 材料を使用できることが理解されるであろう。例えば、ねじのような留め具、柔 軟なまたはよくなじむガスケット、超音波溶接、ろう付け、半田付け、またはス ェージング（ｓｗａｇｉｎｇ）を使用することができる。 さらに、本発明の他のおよびさらに他の形式も添付の請求の範囲およびそれら の等価物の精神および範囲から離れることなく考案することが可能なことが理解 され、かつこ の発明はどのような形式であっても上で説明された特定の実施形態に限定される ものではなく、以下の請求の範囲およびそれらの等価物によってのみ支配される ことが理解されるであろう。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 プレス・ミヌー ディー アメリカ合衆国イリノイ州 60173、シャ ンバーグ、オークモント・レーン 402

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．電子モジュールを噴霧冷却するための装置であって、 第１の層および該第１の層に対向する第２の層を有する板状部材、 前記第１の層に配置された第１の流体分配導管、 前記第２の層に配置された第２の流体分配導管、 第１の開口を有する第１のノズルハウジングであって、該第１のノズルハウジ ングは前記第１の流体分配導管に配置されているもの、そして 第２の開口を有する第２のノズルハウジングであって、該第２のノズルハウジ ングは前記第２の流体分配導管に配置されているもの、 を具備する電子モジュールを噴霧冷却するための装置。 ２．さらに、前記板状部材に配置された流体入口ポートを具備する、請求項１ に記載の装置。 ３．前記流体入口ポートは流体を前記第１および第２の導管に供給する、請求 項２に記載の装置。 ４．前記板状部材は第１の回路基板および第２の回路基板の間に配置されてい る、請求項３に記載の装置。 ５．前記板状部材はバーサ・モジュール・ヨーロッパ（ＶＭＥ）ケージである 、請求項４に記載の装置。 ６．前記第１のノズルハウジングに第１のノズルが配置されている、請求項４ に記載の装置。 ７．前記第１のノズルはステンレス・スチールから成る、請求項６に記載の装 置。 ８．前記第１のノズルは前記流体を霧状にしかつ該霧状にされた流体を前記第 １の開口を通して放出する、請求項６に記載の装置。 ９．前記霧状にされた流体は前記第１の層に対し実質的に垂直の角度でかつ前 記第１の回路基板へと放出される、請求項８に記載の装置。 １０．電子モジュールを噴霧冷却するための装置であって、 第１の層および第２の層を有する板状部材であって、前記第１の層は第１の内 側面および第１の外側面を有しかつ前記第２の層は第２の内側面および第２の外 側面を有するもの、 前記第１の内側面に形成された第１の流体分配導管、 前記第２の内側面に形成されかつ実質的に前記第１の流体分配導管に整列され てマニホルドを形成する第２の流体分配導管、 前記第１の流体分配導管（２８）に配置された第１のノズルであって、該第１ のノズルは第１のリセプタクル端部および第１の噴霧端部を有し、前記第１の噴 霧端部は第１の開口を有し、前記第１のリセプタクル端部は前記第１の流体分配 導管と連通しかつ前記第１の噴霧端部は前記第１の外部面と連通しているもの、 そして 前記第２の流体分配導管（２８）に配置された第２のノズルであって、該第２ のノズルは第２のリセプタクル端部および第２の噴霧端部を有し、該第２の噴霧 端部は第２の開口を有し、前記第２のリセプタクル端部は前記第２の流体分配導 管と連通しかつ前記第２の噴霧端部は前記第２の外部面と連通しているもの、 を具備し、前記第１のリセプタクル端部は前記第１の流体分配導管から流体を 受け、前記第１の噴霧端部は前記流体を霧状にしかつ霧状にした流体を前記第１ の開口を通して放出し、そして前記第２のリセプタクル端部は前記第２の流体分 配導管から流体を受け、前記第２のスプレー端部は流体を霧状にしかつ霧状にし た流体を前記第２の開口を通して放出する、 電子モジュールを噴霧冷却するための装置。