JP2000352629A - Optical fiber with lens - Google Patents

Optical fiber with lens

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JP2000352629A
JP2000352629A JP11165715A JP16571599A JP2000352629A JP 2000352629 A JP2000352629 A JP 2000352629A JP 11165715 A JP11165715 A JP 11165715A JP 16571599 A JP16571599 A JP 16571599A JP 2000352629 A JP2000352629 A JP 2000352629A
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高伸 山▲崎▼
Takashi Shigematsu
孝 繁松
Kenji Suzuki
健司 鈴木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an optical fiber superior in coupling efficiency with a laser beam and capable of coarse alignment with ease while the direction of a lens part is observed for the semiconductor laser, by forming in the core the lens part which is a projected line orthogonally crossing the optical axis of the core and which has a partially circular cross section in the orthogonal plane perpendicular to the longitudinal direction of the projected line. SOLUTION: The optical fiber 1 with a lens is provided with a core 1a and a clad 1b and, in a diametrical direction in the core 1a and the clad 1b parts of the fiber end face 1c, a lens part 1d consisting of a projected line orthogonally crossing the optical axis of the core 1a is formed. The lens part 1d is used for the purpose of circularly converging the elliptically shaped laser beam by sharply refracting in the major axis direction by the far field pattern emitted from a semiconductor laser. Accordingly, the lens part 1d is formed at least in the core 1a. In addition, the lens part 1d is formed so that its cross sectional shape in an orthogonal plane perpendicular to the longitudinal direction of the lens part 1d constitutes essentially a part of a circle including a part of ellipse, hyperbola, etc.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、端面にレンズ部が
設けられ、光通信等に用いられるレンズ付き光ファイバ
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber with a lens provided with a lens portion on an end face and used for optical communication and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信システムに用いられる発光素子モ
ジュールは、光源である半導体レーザ(以下、「LD」
という)、光ファイバ及びレンズを備えている。前記レ
ンズは、LDから出射されるレーザ光を光ファイバのコ
ア端面に効率良く集光させるために使用される。このと
き、発光素子モジュールは、高い光結合効率を得るため
に、LD,光ファイバ及びレンズの間で光軸合わせ、即
ち、調心を行い、光結合パワーが最大となる位置で相互
に固定される。
2. Description of the Related Art A light emitting element module used in an optical communication system includes a semiconductor laser (hereinafter referred to as an "LD") as a light source.
), An optical fiber and a lens. The lens is used for efficiently condensing the laser light emitted from the LD on the core end face of the optical fiber. At this time, in order to obtain high optical coupling efficiency, the light emitting element modules perform optical axis alignment, that is, alignment, between the LD, the optical fiber, and the lens, and are mutually fixed at a position where the optical coupling power is maximized. You.

【0003】このような発光素子モジュールとして、例
えば、端部にレンズ部となる球状突起部を形成した先球
光ファイバを受発光素子の作用面と光結合させた光モジ
ュールが提案されている(特開平6−324236号公
報)。上記光モジュールは、球状突起部(レンズ部)の
外側に、前記球状突起部より突出する外周縁部が形成さ
れ、LDの出射端面の周囲に外周縁部を当接させること
で、球状突起部とLDとの短時間における安定した粗調
心を達成している。そして、球状突起部とLDとを粗調
心した後、精密調心によって球状突起部とLDとの光伝
送方向における最終位置を求め、その位置で先球光ファ
イバとLDとを相互に固定している。このとき、先球光
ファイバは、球状突起部の円周方向における方向依存性
がないので、円周方向における位置調整は不要である。
[0003] As such a light emitting element module, for example, an optical module in which a spherical optical fiber having a spherical projection serving as a lens portion at an end portion is optically coupled to a working surface of a light receiving and emitting element has been proposed (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-157556). JP-A-6-324236). In the optical module, an outer peripheral edge protruding from the spherical projection is formed outside the spherical projection (lens), and the outer peripheral edge is brought into contact with the periphery of the emission end face of the LD to thereby provide a spherical projection. And LD achieve a stable coarse alignment in a short time. Then, after the spherical projection and the LD are roughly aligned, the final position in the light transmission direction between the spherical projection and the LD is obtained by precision alignment, and the spherical optical fiber and the LD are fixed to each other at that position. ing. At this time, since the spherical optical fiber has no direction dependency in the circumferential direction of the spherical projection, position adjustment in the circumferential direction is unnecessary.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、LDは、出
射されるレーザ光のファーフィールドパターンが楕円形
状であるのに対して、光ファイバは、レーザ光が入射す
るコアの断面形状が円形である。このため、LDと光フ
ァイバとを光結合させる発光素子モジュールにおいて
は、LDから出射されたレーザ光を光ファイバのコアに
低いロスの下に高効率で結合させるためには、レーザ光
をファーフィールドパターンにおいて短径方向よりも長
径方向において強く屈折させる非球面レンズが必要であ
る。即ち、楕円形状のレーザ光は、前記非球面レンズを
通過すると、ファーフィールドパターンが楕円形状から
円形に集束し、光ファイバのコアに高効率で結合するか
らである。
By the way, in the LD, the far field pattern of the emitted laser light is elliptical, whereas in the optical fiber, the cross section of the core on which the laser light enters is circular. . For this reason, in a light emitting device module that optically couples an LD with an optical fiber, in order to couple the laser light emitted from the LD to the core of the optical fiber with low loss and high efficiency, the laser light must be far-field coupled. An aspheric lens that refracts the pattern more strongly in the major axis direction than in the minor axis direction is required. That is, when the elliptical laser light passes through the aspherical lens, the far field pattern is focused from the elliptical shape to a circular shape, and is coupled to the core of the optical fiber with high efficiency.

【0005】但し、前記非球面レンズは、光軸に対して
回転対称ではない。このため、上記発光素子モジュール
においては、LDから出射されるレーザ光に対し、非球
面レンズを光軸回りに回転させて最適位置に調整する必
要がある。従って、上記公報に開示された光モジュール
は、レーザ光と先球光ファイバとの結合効率の点で満足
すべきものではない。
However, the aspheric lens is not rotationally symmetric with respect to the optical axis. For this reason, in the light emitting element module, it is necessary to rotate the aspherical lens around the optical axis to adjust the laser light emitted from the LD to an optimum position. Therefore, the optical module disclosed in the above publication is not satisfactory in terms of the coupling efficiency between the laser light and the spherical optical fiber.

【0006】しかも、上記光モジュールは、球状突起部
を単に非球面レンズに置き換えたとしても、その周囲に
外周縁部が形成されている。このため、上記光モジュー
ルは、製造に際してLDに対して外周縁部を当接させる
と、外周縁部に邪魔されて非球面レンズを外部から見る
ことができず、LDに対する非球面レンズの向きがわか
らない。
Moreover, in the above optical module, even if the spherical projection is simply replaced with an aspheric lens, an outer peripheral edge is formed around the periphery. For this reason, in the optical module, when the outer peripheral edge is brought into contact with the LD at the time of manufacturing, the aspherical lens cannot be seen from the outside because it is obstructed by the outer peripheral edge, and the orientation of the aspherical lens with respect to the LD is changed. do not know.

【0007】従って、上記光モジュールの製造において
は、レーザ光に対する非球面レンズの光軸回りの位置を
粗調芯することが難しく、安定した粗調心ができないう
え、粗調心に長時間を要するという問題があった。本発
明は上記の点に鑑みてなされたもので、レーザ光との結
合効率に優れ、LDに対するレンズ部の向きを観察しな
がら簡単に粗調心をすることが可能なレンズ付き光ファ
イバを提供することを目的とする。
Therefore, in the manufacture of the optical module, it is difficult to coarsely align the position of the aspherical lens around the optical axis with respect to the laser beam, so that a stable coarse alignment cannot be performed. There was a problem of cost. The present invention has been made in view of the above points, and provides an optical fiber with a lens having excellent coupling efficiency with a laser beam and capable of easily performing coarse alignment while observing the direction of a lens unit with respect to an LD. The purpose is to do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明においては上記目
的を達成するため、光ファイバ端面の少なくともコア部
分に、前記コアの光軸と直交する突条で、かつ、該突条
の長手方向と直交する面における断面形状が実質的な円
の一部であるレンズ部が形成されている構成としたので
ある。
According to the present invention, in order to achieve the above object, at least a core portion of an end face of an optical fiber is provided with a ridge orthogonal to an optical axis of the core and a longitudinal direction of the ridge. This is a configuration in which a lens portion having a cross-sectional shape in a plane orthogonal to a part of a substantial circle is formed.

【0009】好ましくは、前記レンズ部の周囲には、前
記レンズ部よりも僅かに突出すると共に、前記レンズ部
を観察する観察部を形成し、端面が平面に形成された位
置決め壁を設ける。ここで、本明細書の特許請求の範囲
で使用する「断面形状が実質的な円の一部」とは、レン
ズ部となる突条の断面形状が円,楕円等の一部あるいは
双曲線や非球面の一部等であることを言うものとし、以
下の説明においても上記意味で使用する。
Preferably, around the lens portion, an observation portion for slightly observing the lens portion and observing the lens portion is formed, and a positioning wall having a flat end surface is provided. Here, "a cross-sectional shape is a part of a substantially circular" used in the claims of the present specification means that the cross-sectional shape of a ridge serving as a lens part is a part of a circle, an ellipse, or a hyperbola or non-circular shape. It refers to a part of a spherical surface or the like, and is used in the following meaning in the following description.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明のレンズ付き光ファ
イバに係る一実施形態を図1乃至図15に基づいて詳細
に説明する。レンズ付き光ファイバ1は、図1に示すよ
うに、コア1aとクラッド1bとを有し、ファイバ端面
1cのコア1a及びクラッド1bの部分に、コア1aの
光軸と直交する突条からなるレンズ部1dが直径方向に
形成されている。レンズ部1dは、LDから出射された
ファーフィールドパターンが楕円形状のレーザ光を、長
径方向において強く屈折させることで円形に集束させる
ために使用される。従って、レンズ部1dは、図2に示
すように、少なくともコア1aの部分に形成する。そし
て、レンズ部1dは、上記機能を発揮させるために、レ
ンズ部1dの長手方向と直交する面における断面形状
が、円,楕円等の一部あるいは双曲線や非球面の一部
等、実質的な円の一部となるように形成する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of an optical fiber with a lens according to the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the optical fiber with a lens 1 has a core 1a and a clad 1b, and a lens formed of a ridge perpendicular to the optical axis of the core 1a on the core 1a and the clad 1b of the fiber end face 1c. The portion 1d is formed in the diameter direction. The lens unit 1d is used to strongly refract laser light having an elliptical far-field pattern emitted from the LD in the major axis direction to converge it into a circular shape. Therefore, as shown in FIG. 2, the lens portion 1d is formed at least in the portion of the core 1a. In order to exert the above function, the lens portion 1d has a substantially rectangular cross section on a surface orthogonal to the longitudinal direction of the lens portion 1d, such as a part of a circle, an ellipse, or a part of a hyperbola or an aspheric surface. Formed to be part of a circle.

【0011】このとき、レンズ部1dは、例えば、図3
(a)に示すように、開口2aに双曲線形状の突起部2
bが形成された金属マスク2を用いて形成される。即
ち、鏡面にカットした光ファイバFの端面に図3(a)
に示す金属マスク2を配置し、突起部2bの頂点が光フ
ァイバFのコア中心を通るように、金属マスク2を図中
矢印方向に往復動させながら、光ファイバFの端面にド
ライエッチングを施して形成する。金属マスク2は、例
えば、ニッケル等が使用され、以下に説明する他の実施
形態においても同様である。
At this time, the lens unit 1d is, for example, as shown in FIG.
As shown in FIG. 2A, a hyperbolic projection 2 is formed in the opening 2a.
b is formed using the metal mask 2 on which is formed. That is, the end face of the optical fiber F cut into a mirror surface is shown in FIG.
Is dry-etched on the end face of the optical fiber F while reciprocating the metal mask 2 in the direction of the arrow in the figure so that the apex of the projection 2b passes through the center of the core of the optical fiber F. Formed. The metal mask 2 is made of, for example, nickel or the like, and is the same in other embodiments described below.

【0012】また、レンズ部1dは、図3(b)に示す
ように、光ファイバF端面のコア中心に光ファイバFと
実質的に同一のエッチング速度を有する石英ガラス製の
線材3を配置し、同様にドライエッチングを施して形成
することができる。このとき、光ファイバFは、図4
(a)に示すように石英ガラス製の線材3を配置するこ
とで、端面が図4(b)に点線で示すようにエッチング
され、図1に示すファイバ端面1cにレンズ部1dが形
成されたレンズ付き光ファイバ1に加工される。ここ
で、石英ガラス製の線材は、以下に説明する他の実施形
態においても同じ素材のものを使用する。
As shown in FIG. 3 (b), the lens portion 1d has a quartz glass wire 3 having substantially the same etching rate as the optical fiber F disposed at the center of the core of the optical fiber F end face. Similarly, it can be formed by performing dry etching. At this time, the optical fiber F
By arranging the wire 3 made of quartz glass as shown in (a), the end face was etched as shown by the dotted line in FIG. 4 (b), and the lens portion 1d was formed on the fiber end face 1c shown in FIG. It is processed into an optical fiber 1 with a lens. Here, the same material as the quartz glass wire is used in other embodiments described below.

【0013】ここで、ドライエッチングの手段として
は、プラズマエッチング,スパッタエッチング,イオン
ビームエッチング,中性ビームエッチング等を使用する
ことができる。このようにしてファイバ端面1cにレン
ズ部1dが形成されたレンズ付き光ファイバ1は、図5
に示すように、LDキャリア5に載置されたLD6の出
射面6aと対向配置し、出射されるレーザ光のファーフ
ィールドパターンにおける長径と直交するようにレンズ
部1dを位置決めしながら、レンズ部1dを出射面6a
に当接させ、LDと粗調心した状態で突き合わされる。
従って、レンズ付き光ファイバ1は、レーザ光との結合
効率に優れているうえ、レンズ部1dを見ながらLD6
に対して位置決めすることができるので、LD6に対す
る粗調心を短時間、かつ、容易に行うことができる。
Here, as a means of dry etching, plasma etching, sputter etching, ion beam etching, neutral beam etching or the like can be used. The optical fiber with lens 1 in which the lens portion 1d is formed on the fiber end face 1c in this manner is the one shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the lens unit 1d is disposed so as to face the emission surface 6a of the LD 6 placed on the LD carrier 5, and positions the lens unit 1d so as to be orthogonal to the long diameter of the emitted laser light in the far field pattern. Outgoing surface 6a
And the LD is abutted against the LD in a roughly aligned state.
Therefore, the optical fiber with lens 1 is excellent in the coupling efficiency with the laser light, and the LD 6 while looking at the lens portion 1d.
, Coarse alignment with respect to the LD 6 can be easily performed in a short time.

【0014】ここで、レンズ付き光ファイバは、図6に
示すレンズ付き光ファイバ8のように、コア8aとクラ
ッド8bとを有し、ファイバ端面のコア8a及びクラッ
ド8bの部分に、コア8aの光軸と直交する突条からな
り、断面形状が、円,楕円の一部あるいは双曲線や非球
面の一部等、実質的な円の一部となるレンズ部8dが直
径方向に形成されると共に、レンズ部8dの両側に位置
決め壁8eが形成されていてもよい。
Here, the optical fiber with a lens has a core 8a and a cladding 8b like the optical fiber with a lens 8 shown in FIG. 6, and the core 8a and the cladding 8b on the fiber end face are provided with the core 8a. A lens portion 8d is formed in the diametric direction, which is formed of a ridge perpendicular to the optical axis, and has a sectional shape that is a part of a substantial circle such as a part of a circle or an ellipse or a part of a hyperbola or aspheric surface. The positioning walls 8e may be formed on both sides of the lens portion 8d.

【0015】各位置決め壁8eは、レンズ付き光ファイ
バ8をLDと突き合わせるときに、突き合わせ方向にお
ける位置決めを容易に行うためのもので、レンズ部8d
よりも僅かに突出し、両端でレンズ部8dとの間にレン
ズ部8dの向きを観察する隙間状の観察部8fを形成
し、端面が平面に形成されている。このとき、レンズ部
8d及び位置決め壁8eは、レンズ付き光ファイバ1の
レンズ部1dと同様に、例えば、図7に示すように、開
口9aに楕円形状の突起部9bが形成された金属マスク
9を用いて形成される。即ち、鏡面にカットした光ファ
イバFの端面に図7に示す金属マスク9を配置し、突起
部9bの頂点が光ファイバFのコア中心を通るように、
金属マスク9を図中矢印方向に往復動させながら、光フ
ァイバFの端面にドライエッチングを施して形成する。
Each positioning wall 8e is used for easily positioning the optical fiber with lens 8 in the butting direction when the optical fiber with lens 8 is butted with the LD.
A gap-shaped observation portion 8f that projects slightly more than that of the lens portion 8d at both ends to observe the direction of the lens portion 8d is formed, and the end face is formed flat. At this time, the lens portion 8d and the positioning wall 8e are, like the lens portion 1d of the optical fiber with lens 1, for example, as shown in FIG. 7, a metal mask 9 having an opening 9a formed with an elliptical projection 9b. It is formed by using. That is, the metal mask 9 shown in FIG. 7 is disposed on the end surface of the optical fiber F cut into a mirror surface, and the apex of the projection 9b passes through the center of the core of the optical fiber F.
The end face of the optical fiber F is formed by dry etching while the metal mask 9 is reciprocated in the direction of the arrow in the figure.

【0016】従って、レンズ付き光ファイバ8は、各位
置決め壁8eによって突き合わせ方向の位置を位置決め
されてLDと突き合わされ、レンズ部8dと位置決め壁
8eとの間に形成された観察部8fによってレンズ部8
dの向きを観察しながらLDに対して粗調心される。こ
のため、レンズ付き光ファイバ8は、レンズ付き光ファ
イバ1と同様に、レーザ光との結合効率に優れているう
え、観察部8fによってレンズ部8dの向きを見ながら
LDに対して位置決めすることができるので、LDに対
する粗調心を短時間、かつ、容易に行うことができる。
Accordingly, the optical fiber with lens 8 is positioned in the abutting direction by the respective positioning walls 8e and abuts against the LD, and the lens section 8f is formed by the observation section 8f formed between the lens section 8d and the positioning wall 8e. 8
The coarse alignment is performed on the LD while observing the direction of d. For this reason, the optical fiber with a lens 8 is excellent in coupling efficiency with laser light similarly to the optical fiber with a lens 1 and is positioned with respect to the LD while observing the direction of the lens unit 8d by the observation unit 8f. Therefore, coarse alignment with respect to the LD can be easily performed in a short time.

【0017】以下、断面形状が、円,楕円の一部あるい
は双曲線や非球面の一部等、実質的な円の一部となるよ
うに形成されたレンズ部単独あるいは当該レンズ部と位
置決め壁とを有し、レンズ付き光ファイバ1やレンズ付
き光ファイバ8と同様の効果を発揮することができるレ
ンズ付き光ファイバの変形例について説明する。先ず、
図8(a)に示すレンズ付き光ファイバ10のように、
コア10aとクラッド10bとを有し、ファイバ端面の
コア10a及びクラッド10bの部分に、コア10aの
光軸と直交する突条からなるレンズ部10dが凹溝10
eを介して直径方向に形成されると共に、レンズ部10
dの両側に位置決め壁10fが形成されていてもよい。
そして、レンズ付き光ファイバ10は、各凹溝10eの
両端のレンズ部10dと位置決め壁10fとの隙間が、
LDに対して粗調心するときの観察部10gとなる。
In the following, a lens part alone or a lens part and a positioning wall formed so that the cross-sectional shape becomes a part of a substantial circle such as a part of a circle or an ellipse or a part of a hyperbola or an aspherical surface. A modification of the optical fiber with a lens, which has the same effect as the optical fiber with a lens 1 and the optical fiber with a lens 8, will be described. First,
As in the optical fiber with lens 10 shown in FIG.
A lens portion 10d having a core 10a and a clad 10b, and having a ridge perpendicular to the optical axis of the core 10a is formed in a groove 10
e and is formed in the diameter direction through
Positioning walls 10f may be formed on both sides of d.
The optical fiber with lens 10 has a gap between the lens portions 10d at both ends of each concave groove 10e and the positioning wall 10f.
This is the observation unit 10g when performing coarse alignment with respect to the LD.

【0018】このとき、レンズ部10d,凹溝10e及
び位置決め壁10fは、図8(b)に示すように、鏡面
にカットした光ファイバFの端面に、中央に長手状の開
口11aが形成され、開口11aの中央に長手方向に跨
るように石英ガラス製の線材11bを固定した金属マス
ク11を配置し、ドライエッチングを施して形成する。
At this time, the lens portion 10d, the concave groove 10e, and the positioning wall 10f have, as shown in FIG. 8B, an elongated opening 11a formed at the center on the end surface of the optical fiber F cut into a mirror surface. A metal mask 11 to which a wire rod 11b made of quartz glass is fixed is disposed at the center of the opening 11a so as to extend in the longitudinal direction, and is formed by dry etching.

【0019】また、図9(a)に示すレンズ付き光ファ
イバ12のように、コア12aとクラッド12bとを有
し、ファイバ端面のコア12a及びクラッド12bの部
分に、コア12aの光軸と直交する突条からなるレンズ
部12dが直径方向に形成されると共に、レンズ部12
dを囲む周囲に凹溝12eを介して位置決め壁12fが
形成されていてもよい。そして、レンズ付き光ファイバ
12は、各凹溝12e端部のレンズ部12dと位置決め
壁12fとの隙間が、LDに対して粗調心するときの観
察部12gとなる。
Further, like the optical fiber with lens 12 shown in FIG. 9A, it has a core 12a and a clad 12b, and the optical axis of the core 12a is orthogonal to the core 12a and the clad 12b on the fiber end face. A lens portion 12d formed of a projecting ridge is formed in the diameter direction, and the lens portion 12d
A positioning wall 12f may be formed around the periphery of d through a concave groove 12e. Then, in the optical fiber with lens 12, the gap between the lens portion 12 d at the end of each concave groove 12 e and the positioning wall 12 f becomes the observation portion 12 g when the center is roughly aligned with the LD.

【0020】この場合、レンズ部12d,凹溝12e及
び位置決め壁12fは、図9(b)に示すように、鏡面
にカットした光ファイバFの端面に、中央に位置決め壁
12fの形状に対応した長手状の開口13aが形成さ
れ、開口13aの中央に長手方向に跨るように石英ガラ
ス製の線材13bを固定した金属マスク13を配置し、
ドライエッチングを施して形成する。
In this case, as shown in FIG. 9B, the lens portion 12d, the concave groove 12e, and the positioning wall 12f correspond to the end face of the optical fiber F cut into a mirror surface and the shape of the positioning wall 12f at the center. An elongated opening 13a is formed, and a metal mask 13 to which a quartz glass wire 13b is fixed is disposed at the center of the opening 13a so as to extend in the longitudinal direction,
It is formed by performing dry etching.

【0021】更に、図10(a)に示すレンズ付き光フ
ァイバ14のように、コア14aとクラッド14bとを
有し、ファイバ端面のコア14a及びクラッド14bの
部分に、コア14aの光軸と直交する突条からなるレン
ズ部14dが直径方向に形成されると共に、レンズ部1
4dを囲む周囲に凹溝14eを介して馬蹄形状の位置決
め壁14fが形成されていてもよい。このとき、レンズ
付き光ファイバ14は、各凹溝14e端部のレンズ部1
4dと位置決め壁14fとの隙間が、LDに対して粗調
心するときの観察部14gとなる。
Further, like the optical fiber with lens 14 shown in FIG. 10A, the optical fiber has a core 14a and a clad 14b, and the optical axis of the core 14a is orthogonal to the core 14a and the clad 14b on the fiber end face. A lens portion 14d made of a ridge is formed in the diameter direction, and the lens portion 1d is formed.
A horseshoe-shaped positioning wall 14f may be formed around the periphery surrounding 4d via a concave groove 14e. At this time, the optical fiber with lens 14 is connected to the lens portion 1 at the end of each groove 14e.
The gap between the positioning wall 4d and the positioning wall 14f becomes the observation unit 14g when performing coarse alignment with respect to the LD.

【0022】レンズ部14d,凹溝14e及び位置決め
壁14fは、図10(b)に示す金属マスク15を用
い、光ファイバFの端面にドライエッチングを施して形
成する。金属マスク15は、位置決め壁14fの形状に
対応した鍵穴状の開口15aが中央に形成され、開口1
5aの中央に長手方向に跨るように石英ガラス製の線材
15bが固定されている。
The lens portion 14d, the concave groove 14e, and the positioning wall 14f are formed by performing dry etching on the end face of the optical fiber F using a metal mask 15 shown in FIG. In the metal mask 15, a keyhole-shaped opening 15a corresponding to the shape of the positioning wall 14f is formed at the center.
A quartz glass wire 15b is fixed to the center of 5a so as to extend in the longitudinal direction.

【0023】一方、レンズ付き光ファイバは、図11
(a)に示すレンズ付き光ファイバ16のように、コア
16aとクラッド16bとを有し、ファイバ端面16c
のコア16a及びクラッド16bの部分に、突条からな
るレンズ部16dを形成した構成としてもよい。このと
き、レンズ部16dは、コア16aの光軸と直交し、図
12(a)に示すように外周側が幅広、図12(b)に
示すようにコア16aの部分が幅狭で、かつ、断面形状
が、円,楕円,双曲線等の一部あるいは非球面の一部
等、実質的な円の一部となるように形成されている。
On the other hand, the optical fiber with a lens is shown in FIG.
As in the optical fiber 16 with a lens shown in (a), it has a core 16a and a clad 16b, and has a fiber end face 16c.
A configuration in which a lens portion 16d made of a ridge is formed in the portion of the core 16a and the cladding 16b of the above. At this time, the lens portion 16d is orthogonal to the optical axis of the core 16a, the outer peripheral side is wide as shown in FIG. 12A, the core 16a is narrow as shown in FIG. The cross-sectional shape is formed to be a part of a substantial circle such as a part of a circle, an ellipse, a hyperbola, or a part of an aspheric surface.

【0024】このとき、レンズ部16dは、図11
(b)に示すように、三角形の突出片17a,18aを
有する2枚の金属マスク17,18を、突出片17a,
18aの頂点が光ファイバFのコア中心を通るように突
き合わせて光ファイバFの端面上に配置し、図中矢印方
向に往復動させながら、光ファイバFの端面にドライエ
ッチングを施して形成する。
At this time, the lens section 16d is
As shown in (b), two metal masks 17 and 18 having triangular projecting pieces 17a and 18a are attached to the projecting pieces 17a and 17a.
The end of the optical fiber F is formed by performing dry etching on the end surface of the optical fiber F while reciprocating in the direction of the arrow in FIG.

【0025】また、レンズ付き光ファイバは、図13
(a)に示すレンズ付き光ファイバ20のように、コア
20aとクラッド20bとを有し、ファイバ端面のコア
20a及びクラッド20bの部分に、突条からなるレン
ズ部20dを直径方向に形成すると共に、レンズ部20
dを囲む3個所に凹溝20eを介して位置決め壁20f
を形成した構成としてもよい。このとき、レンズ付き光
ファイバ20は、各凹溝20e端部の隙間が、LDに対
して粗調心するときの観察部20gとなる。
FIG. 13 shows an optical fiber with a lens.
Like the optical fiber with a lens 20 shown in (a), the optical fiber has a core 20a and a clad 20b, and a lens portion 20d made of a ridge is formed in a diameter direction on the core 20a and the clad 20b on the fiber end face. , Lens unit 20
d at three locations surrounding the positioning wall 20f through the concave groove 20e.
May be formed. At this time, in the optical fiber with lens 20, the gap at the end of each groove 20 e becomes the observation portion 20 g when the center is roughly aligned with the LD.

【0026】ここで、レンズ部20d,凹溝20e及び
位置決め壁20fは、図13(b)に示す金属マスク2
1を用い、光ファイバFの端面にドライエッチングを施
して形成する。金属マスク21は、凹溝20eの形状に
対応したY字形のスリット21aが中央に形成され、ス
リット20aの中央に長手方向に跨るように石英ガラス
製の線材20bが固定されている。金属マスク21は、
線材20bがコア上に位置するように配置して光ファイ
バFをエッチングする。
Here, the lens portion 20d, the concave groove 20e, and the positioning wall 20f are formed by the metal mask 2 shown in FIG.
1, the end face of the optical fiber F is formed by dry etching. In the metal mask 21, a Y-shaped slit 21a corresponding to the shape of the concave groove 20e is formed at the center, and a quartz glass wire 20b is fixed to the center of the slit 20a so as to extend in the longitudinal direction. The metal mask 21
The optical fiber F is etched by disposing the wire 20b on the core.

【0027】更に、レンズ付き光ファイバは、図14
(a)に示すレンズ付き光ファイバ22のように、コア
22aとクラッド22bとを有し、ファイバ端面のコア
22a及びクラッド22bの部分に、突条からなるレン
ズ部22dを直径方向に形成し、レンズ部22dの両側
に凹溝22eを、レンズ部22dの両端に位置決め壁2
2fを、それぞれ形成した構成としてもよい。このと
き、レンズ付き光ファイバ22は、各凹溝22e端部の
隙間が、LDに対して粗調心するときの観察部となる。
FIG. 14 shows an optical fiber with a lens.
As in the optical fiber 22 with a lens shown in (a), a core 22a and a clad 22b are provided, and a lens portion 22d made of a ridge is formed in a diameter direction on the core 22a and the clad 22b on the fiber end surface, Concave grooves 22e are provided on both sides of the lens portion 22d, and the positioning walls 2 are provided on both ends of the lens portion 22d.
2f may be formed respectively. At this time, the optical fiber with lens 22 serves as an observation unit when the gap at the end of each concave groove 22e is roughly aligned with the LD.

【0028】ここで、レンズ部22d,凹溝22e及び
位置決め壁22fは、図14(b)に示す金属マスク2
3を用い、光ファイバFの端面にドライエッチングを施
して形成する。金属マスク23は、凹溝22eの形状に
対応した矩形状の開口23aが中央に形成され、開口2
3aの長手方向中央に、開口23aを跨るように石英ガ
ラス製の線材23bが固定されている。金属マスク23
は、線材23bがコア上に位置するように配置して光フ
ァイバFをエッチングする。
Here, the lens portion 22d, the concave groove 22e and the positioning wall 22f are formed by the metal mask 2 shown in FIG.
3, the end face of the optical fiber F is formed by dry etching. In the metal mask 23, a rectangular opening 23a corresponding to the shape of the concave groove 22e is formed at the center, and the opening 2a is formed.
A wire 23b made of quartz glass is fixed at the center in the longitudinal direction of 3a so as to straddle the opening 23a. Metal mask 23
Is arranged so that the wire 23b is located on the core, and the optical fiber F is etched.

【0029】上記のように本発明のレンズ付き光ファイ
バは、光ファイバの端面に突条からなるレンズ部が形成
され、必要に応じてレンズ部の廻りに位置決め壁が設け
られている。このとき、レンズ付き光ファイバは、形成
するレンズ部や位置決め壁の形状は上記のものに限定さ
れるものではなく、本発明の目的に合致し、金属マスク
を用いて形成することができれば、種々の形状のものが
ある。
As described above, in the optical fiber with a lens of the present invention, a lens portion composed of a ridge is formed on the end face of the optical fiber, and a positioning wall is provided around the lens portion as necessary. At this time, in the optical fiber with a lens, the shapes of the lens portion and the positioning wall to be formed are not limited to those described above, and various shapes may be used as long as they can be formed using a metal mask in accordance with the object of the present invention. There is a shape.

【0030】例えば、図15(a)に示すレンズ付き光
ファイバ24のように、コア24aとクラッド24bと
を有し、ファイバ端面のコア24a及びクラッド24b
の部分に、突条からなるレンズ部24dを直径方向に形
成し、レンズ部24dに沿って及びレンズ部24dの形
成方向と直交する方向に凹溝24eを形成すると共に、
凹溝24eによって分割された4個所に位置決め壁24
fを、それぞれ形成した構成としてもよい。このとき、
レンズ付き光ファイバ24は、各凹溝24e端部の隙間
が、LDに対して粗調心するときの観察部となる。
For example, as shown in FIG. 15A, an optical fiber 24 with a lens has a core 24a and a clad 24b.
In the part, a lens portion 24d formed of a ridge is formed in the diameter direction, and a concave groove 24e is formed along the lens portion 24d and in a direction perpendicular to the forming direction of the lens portion 24d,
The positioning walls 24 are formed at four locations divided by the concave grooves 24e.
f may be formed respectively. At this time,
The optical fiber with a lens 24 serves as an observation unit when the gap at the end of each concave groove 24e is roughly aligned with the LD.

【0031】また、図15(b)〜(d)に示すレンズ
付き光ファイバ26,28,30のように、コア26
a,28a,30aとクラッド26b,28b,30b
とを有し、ファイバ端面のコア26a,28a,30a
及びクラッド26b,28b,30bの部分に、突条か
らなるレンズ部26d,28d,30dを直径方向に形
成し、レンズ部26d,28d,30dの周囲に凹溝2
6e,28e,30eを介して複数の位置決め壁26
f,28f,30fを、それぞれ形成した構成としても
よい。このとき、レンズ付き光ファイバ26,28,3
0は、各凹溝26e,28e,30e端部の隙間が、L
Dに対して粗調心するときの観察部となる。
Also, as shown in the optical fibers 26, 28, and 30 with lenses shown in FIGS.
a, 28a, 30a and claddings 26b, 28b, 30b
And the cores 26a, 28a, 30a of the fiber end faces.
In the clad portions 26b, 28b, 30b, lens portions 26d, 28d, 30d formed of ridges are formed in the diameter direction, and the concave grooves 2 are formed around the lens portions 26d, 28d, 30d.
6e, 28e, 30e, a plurality of positioning walls 26.
f, 28f, and 30f may be formed respectively. At this time, the optical fibers with lenses 26, 28, 3
0 indicates that the gap at the end of each of the grooves 26e, 28e, 30e is L
This is an observation unit when coarse alignment is performed with respect to D.

【0032】[0032]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、レーザ光との
結合効率に優れ、LDに対するレンズ部の向きを観察し
ながら簡単に粗調心をすることが可能なレンズ付き光フ
ァイバを提供することができる。請求項2の発明によれ
ば、粗調心に先立ってレンズ付き光ファイバをLDと突
き合わせるときに、突き合わせ方向における位置決めを
容易に行うことができる。
According to the first aspect of the present invention, there is provided an optical fiber with a lens which has excellent coupling efficiency with a laser beam and can easily perform coarse alignment while observing the direction of a lens portion with respect to an LD. can do. According to the second aspect of the invention, when the optical fiber with the lens is abutted against the LD prior to the coarse alignment, the positioning in the abutting direction can be easily performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のレンズ付き光ファイバの斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view of an optical fiber with a lens according to the present invention.

【図2】図1のレンズ付き光ファイバの正面図である。FIG. 2 is a front view of the optical fiber with a lens shown in FIG. 1;

【図3】図1のレンズ付き光ファイバにレンズ部を形成
する際に用いる金属マスクの正面図(a)及び石英ガラ
ス製の線材と光ファイバとの配置を示す斜視図(b)で
ある。
3A is a front view of a metal mask used when forming a lens portion on the optical fiber with a lens of FIG. 1; FIG. 3B is a perspective view showing an arrangement of a quartz glass wire and an optical fiber;

【図4】光ファイバに石英ガラス製の線材を配置した側
面図(a)及び光ファイバにドライエッチングを施した
後の状態を示す側面図(b)である。
FIG. 4 is a side view (a) in which a quartz glass wire is disposed on an optical fiber and a side view (b) showing a state after performing dry etching on the optical fiber.

【図5】図1のレンズ付き光ファイバをLDと突き合わ
せて粗調心する状態を説明する斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view illustrating a state in which the optical fiber with a lens of FIG.

【図6】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態
を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing another embodiment of the optical fiber with a lens of the present invention.

【図7】図6のレンズ付き光ファイバにレンズ部及び位
置決め壁を形成する際に用いる金属マスクの正面図であ
る。
FIG. 7 is a front view of a metal mask used when forming a lens portion and a positioning wall on the optical fiber with a lens of FIG. 6;

【図8】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実施
形態を示す斜視図(a)及びレンズ部,凹溝及び位置決
め壁の形成に用いる金属マスクの正面図(b)である。
FIG. 8 is a perspective view (a) showing still another embodiment of the optical fiber with a lens of the present invention, and a front view (b) of a metal mask used for forming a lens portion, a concave groove and a positioning wall.

【図9】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形態
を示す斜視図(a)及びレンズ部,凹溝及び位置決め壁
の形成に用いる金属マスクの正面図(b)である。
FIG. 9 is a perspective view (a) showing another embodiment of the optical fiber with a lens of the present invention, and a front view (b) of a metal mask used for forming a lens portion, a concave groove and a positioning wall.

【図10】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実
施形態を示す斜視図(a)及びレンズ部,凹溝及び位置
決め壁の形成に用いる金属マスクの正面図(b)であ
る。
FIG. 10 is a perspective view (a) showing still another embodiment of the optical fiber with a lens of the present invention, and a front view (b) of a metal mask used for forming a lens portion, a concave groove and a positioning wall.

【図11】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形
態を示す斜視図(a)及びレンズ部の形成に用いる2枚
の金属マスクを組み合わせた状態を示す正面図(b)で
ある。
FIG. 11 is a perspective view (a) showing another embodiment of the optical fiber with a lens of the present invention, and a front view (b) showing a state where two metal masks used for forming a lens portion are combined.

【図12】図11(a)のレンズ付き光ファイバのレン
ズ部を、光ファイバの外周側で切断した断面図(a)及
びコアの部分で切断した断面図(b)である。
12A is a cross-sectional view of the lens portion of the optical fiber with a lens of FIG. 11A cut on the outer peripheral side of the optical fiber, and FIG.

【図13】本発明のレンズ付き光ファイバの更に他の実
施形態を示す斜視図(a)及びレンズ部及び位置決め壁
の形成に用いる金属マスクの正面図(b)である。
FIG. 13 is a perspective view (a) showing still another embodiment of the optical fiber with a lens of the present invention, and a front view (b) of a metal mask used for forming a lens portion and a positioning wall.

【図14】本発明のレンズ付き光ファイバの他の実施形
態を示す斜視図(a)及びレンズ部及び位置決め壁の形
成に用いる金属マスクの正面図(b)である。
FIG. 14 is a perspective view (a) showing another embodiment of the optical fiber with a lens of the present invention, and a front view (b) of a metal mask used for forming a lens portion and a positioning wall.

【図15】本発明のレンズ付き光ファイバに形成される
レンズ部及び位置決め壁の他の種々の変形例を示す斜視
図である。
FIG. 15 is a perspective view showing various other modifications of the lens portion and the positioning wall formed on the optical fiber with a lens according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レンズ付き光ファイバ 1a コア 1b クラッド 1c ファイバ端面 1d レンズ部 2 金属マスク 3 線材(石英ガラス製の) 8 レンズ付き光ファイバ 8a コア 8b クラッド 8d レンズ部 8e 位置決め壁 9 金属マスク 10,12 レンズ付き光ファイバ 10a,12a コア 10b,12b クラッド 10d,12d レンズ部 10f,12f 位置決め壁 11,13 金属マスク 14,16 レンズ付き光ファイバ 14a,16a コア 14b,16b クラッド 14d,16d レンズ部 14f 位置決め壁 15,17,18 金属マスク 20,22 レンズ付き光ファイバ 20a,22a コア 20b,22b クラッド 20d,22d レンズ部 20f,22f 位置決め壁 21,23 金属マスク 24,26 レンズ付き光ファイバ 24a,26a コア 24b,26b クラッド 24d,26d レンズ部 24f,26f 位置決め壁 28,30 レンズ付き光ファイバ 28a,30a コア 28b,30b クラッド 28d,30d レンズ部 28f,30f 位置決め壁 Reference Signs List 1 optical fiber with lens 1a core 1b clad 1c fiber end face 1d lens part 2 metal mask 3 wire rod (made of quartz glass) 8 optical fiber with lens 8a core 8b clad 8d lens part 8e positioning wall 9 metal mask 10,12 light with lens Fiber 10a, 12a Core 10b, 12b Cladding 10d, 12d Lens 10f, 12f Positioning wall 11, 13 Metal mask 14, 16 Optical fiber with lens 14a, 16a Core 14b, 16b Cladding 14d, 16d Lens 14f Positioning wall 15, 17 , 18 Metal mask 20, 22 Optical fiber with lens 20a, 22a Core 20b, 22b Cladding 20d, 22d Lens part 20f, 22f Positioning wall 21, 23 Metal mask 24, 26 Optical fiber with lens 2 4a, 26a Core 24b, 26b Cladding 24d, 26d Lens part 24f, 26f Positioning wall 28, 30 Optical fiber with lens 28a, 30a Core 28b, 30b Cladding 28d, 30d Lens part 28f, 30f Positioning wall

フロントページの続き (72)発明者 繁松 孝 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 鈴木 健司 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 Fターム(参考) 2H050 AC03 AC87 Continuing on the front page (72) Inventor Takashi Shigematsu 2-6-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Furukawa Electric Co., Ltd. (72) Inventor Kenji Suzuki 2-6-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Furukawa Electric Industrial Co., Ltd. F term (reference) 2H050 AC03 AC87

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ファイバ端面の少なくともコア部分
に、前記コアの光軸と直交する突条で、かつ、該突条の
長手方向と直交する面における断面形状が実質的な円の
一部であるレンズ部が形成されていることを特徴とする
レンズ付き光ファイバ。
At least a core portion of an end face of an optical fiber has a ridge perpendicular to an optical axis of the core, and a cross-sectional shape of a surface perpendicular to a longitudinal direction of the ridge is a part of a substantial circle. An optical fiber with a lens, wherein a certain lens portion is formed.
【請求項2】 前記レンズ部の周囲には、前記レンズ部
よりも僅かに突出すると共に、前記レンズ部を観察する
観察部を形成し、端面が平面に形成された位置決め壁が
設けられている、請求項1のレンズ付き光ファイバ。
2. A positioning wall, which projects slightly beyond the lens part, forms an observation part for observing the lens part, and has a flat end face around the lens part. The optical fiber with a lens according to claim 1.
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