JP2000328268A - Etching treating agent for copper and copper alloy - Google Patents
Etching treating agent for copper and copper alloyInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、銅表面および銅合
金表面の除錆、表面粗化を行うエッチング処理剤に関す
るものであり、特に銅および銅合金と半田が共存するプ
リント基板における銅回路部の表面処理剤として好適で
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an etching agent for removing rust and roughening a copper surface and a copper alloy surface, and more particularly to a copper circuit portion in a printed circuit board in which copper, a copper alloy and solder coexist. It is suitable as a surface treatment agent.
【0002】[0002]
【従来の技術】プリント配線板の製造において、エッチ
ングレジスト、ソルダーレジスト等の密着性の向上、あ
るいは電子部品実装時の半田付け性向上などを目的とし
て、銅表面を化学的に研磨するマイクロエッチングと呼
ばれる処理が行われている。このマイクロエッチング処
理には、通常硫酸と過酸化水素を主成分とする水溶液、
あるいは過硫酸塩を主成分とする水溶液が使用されてい
る。硫酸と過酸化水素を用いる表面処理方法は、特公昭
53−32340号、特開平3−140481号、特開
平5−295365号公報に記載されており、過硫酸塩
を用いた表面処理方法は、特公昭61−435号公報に
記載されている。また近年、狭リードピッチのQFP等
の電子部品をプリント基板に実装するため、一部のラン
ドにあらかじめ半田を供給する方法が行われている。こ
のようにあらかじめ半田が供給されている基板は、一般
的に半田プリコート基板と呼ばれ、銅と半田が共存した
基板である。銅と半田が共存した基板のエッチング処理
剤は、特開平9−293954号公報に記載されてい
る。2. Description of the Related Art In the manufacture of printed wiring boards, micro-etching for chemically polishing a copper surface has been proposed for the purpose of improving the adhesion of an etching resist, a solder resist or the like, or improving the solderability when mounting electronic components. A called process is being performed. This micro-etching process usually involves an aqueous solution mainly composed of sulfuric acid and hydrogen peroxide,
Alternatively, an aqueous solution containing a persulfate as a main component is used. Surface treatment methods using sulfuric acid and hydrogen peroxide are described in JP-B-53-32340, JP-A-3-140481, and JP-A-5-295365. It is described in JP-B-61-435. In recent years, in order to mount an electronic component such as a QFP having a narrow lead pitch on a printed circuit board, a method of supplying solder to some lands in advance has been performed. Such a board to which solder has been supplied in advance is generally called a solder precoat board, and is a board in which copper and solder coexist. An etching agent for a substrate in which copper and solder coexist is described in JP-A-9-293954.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】硫酸と過酸化水素、ま
たは過硫酸塩を主成分とするマイクロエッチング剤は、
銅をエッチングする速度が速いなどの利点があるもの
の、以下に示した欠点を有する。エッチング後の水洗が
不十分であり、マイクロエッチング液が基板に残存した
場合、回路が腐食し最悪の場合は回路が断線する。 銅と半田が共存する基板を処理した場合、半田表面が
変色する。 処理液が強酸性であるため、取り扱いには十分な注意
が必要である。The microetching agent containing sulfuric acid and hydrogen peroxide or persulfate as main components is
Although it has advantages such as a high etching rate of copper, it has the following disadvantages. If the washing after the etching is insufficient and the microetching solution remains on the substrate, the circuit is corroded, and in the worst case, the circuit is disconnected. When a substrate in which copper and solder coexist is processed, the surface of the solder is discolored. Since the treatment liquid is strongly acidic, sufficient care must be taken in handling.
【0004】回路の腐食を防ぐ表面処理剤が、特開平6
−287774号公報に記載されている。しかしなが
ら、銅をエッチングする速度が遅いため処理に時間を要
し、生産性に欠けるという問題がある。銅と半田が共存
する基板の表面処理剤が、特開平9−293954号公
報に記載されているが、これも銅をエッチングする速度
が遅いため、同様の問題があった。本発明は、処理後の
水洗が不十分な場合でも回路を腐食せず、断線等のトラ
ブルを回避し、さらに銅と半田が共存する基板を処理し
ても、半田が変色することなく銅表面のみをエッチング
し、且つ銅のエッチング速度を高め、且つ作業環境を改
善することができる表面処理剤を提供することを目的と
する。A surface treatment agent for preventing circuit corrosion is disclosed in
-287774. However, there is a problem that processing is time-consuming due to the low etching rate of copper, and the productivity is lacking. A surface treating agent for a substrate in which copper and solder coexist is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-293954. However, this also has a similar problem because the etching speed of copper is low. The present invention does not corrode the circuit even if the water washing after processing is insufficient, avoids troubles such as disconnection, and furthermore, even when processing a board in which copper and solder coexist, the solder surface does not discolor. An object of the present invention is to provide a surface treatment agent capable of etching only copper, increasing the etching rate of copper, and improving the working environment.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の目
的を達成するために種々の試験を重ねた結果、コンプレ
クサン化合物の第二鉄錯体、ハロゲンイオン及びイミダ
ゾール化合物、あるいはコンプレクサン化合物の第二鉄
錯体とハロゲンイオンまたはイミダゾール化合物のいず
れかを必須成分として含む水溶液からなり、溶液のpH
を5〜8の範囲に調整したことを特徴とする銅および銅
合金のエッチング処理剤を使用することにより、所期の
目的を達成できることを見出し、本発明を完成した。The present inventors have conducted various tests to achieve the above object, and as a result, have found that a ferric complex of a complexan compound, a halogen ion and an imidazole compound, or a complexan compound. Consisting of an aqueous solution containing a ferric complex of the formula (I) and either a halogen ion or an imidazole compound as essential components,
It was found that the intended purpose can be achieved by using an etching agent for copper and a copper alloy characterized by adjusting the ratio to a range of 5 to 8, and completed the present invention.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】本発明に用いるコンプレクサン化
合物の第二鉄錯体は、金属銅などを酸化するための酸化
剤として作用するものである。本発明において、酸化作
用を有する種々の第二鉄錯体のなかでもコンプレクサン
化合物の第二鉄錯体を用いることにより、銅及び銅合金
に対する表面処理剤として良好なエッチング速度を発現
することができる。前記コンプレクサン化合物の第二鉄
錯体のうち、第二鉄イオンを供給するのに好適な鉄化合
物としては、塩化鉄(III)、臭化鉄(III)、沃
化鉄(III)、硫酸鉄(III)、硫酸アンモニウム
鉄(III)、硝酸鉄(III)、クエン酸鉄(II
I)、クエン酸鉄(III)アンモニウム、過塩素酸鉄
(III)、2−エチルヘキサン鉄(III)等が挙げ
られる。前記第二鉄イオンを供給する鉄化合物は2種類
以上を併用してもよい。第二鉄イオンを供給する鉄化合
物の含有量は、第二鉄イオンに換算して0.1〜20%
が好ましい。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The ferric complex of a complexan compound used in the present invention acts as an oxidizing agent for oxidizing metallic copper and the like. In the present invention, by using a ferric complex of a complexan compound among various ferric complexes having an oxidizing action, a good etching rate can be exhibited as a surface treatment agent for copper and a copper alloy. Among the ferric complexes of the complexan compounds, iron compounds suitable for supplying ferric ions include iron (III) chloride, iron (III) bromide, iron (III) iodide, and iron sulfate (III), iron (III) ammonium sulfate, iron (III) nitrate, iron (II) citrate
I), ammonium iron (III) citrate, iron (III) perchlorate, iron (III) 2-ethylhexane and the like. Two or more iron compounds for supplying the ferric ion may be used in combination. The content of the iron compound that supplies ferric ion is 0.1 to 20% in terms of ferric ion.
Is preferred.
【0007】コンプレクサン化合物の第二鉄錯体のう
ち、コンプレクサン化合物はpH5〜8の水溶液中で第
二鉄イオンと錯体を形成することにより銅及び銅合金に
対する酸化剤として作用し、またコンプレクサン化合物
の第二鉄錯体により酸化された金属銅を溶解し、コンプ
レクサン化合物の銅錯体として安定に可溶化させるため
に用いられるものである。前記コンプレクサン化合物の
代表的なものとしては、イミノ二酢酸、ニトリロ三酢
酸、エチレンジアミン4酢酸、ジエチレントリアミン五
酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、1,2−ジアミ
ノシクロヘキサン四酢酸、グリコールエーテルジアミン
四酢酸、N,N−ビス(2−ヒドロキシベンジル)エチ
レンジアミン二酢酸、エチレンジアミン二プロピオン
酸、エチレンジアミン二酢酸、ジアミノプロパノール四
酢酸、ヘキサメチレンジアミン四酢酸、ヒドロキシエチ
ルイミノ二酢酸、ジアミノプロパン四酢酸、ニトリロ三
プロピオン酸、エチレンジアミンテトラキスメチレンホ
スホン酸、ニトリロトリスメチレンホスホン酸等とこれ
らの塩類が挙げられる。前記コンプレクサン化合物は2
種類以上を併用してもよい。コンプレクサン化合物の含
有量は、第二鉄イオン(モル濃度)に対して1〜10倍
モルの割合が好ましい。[0007] Among the ferric complexes of the complexan compound, the complexan compound acts as an oxidizing agent for copper and copper alloys by forming a complex with ferric ion in an aqueous solution having a pH of 5 to 8; It is used for dissolving copper metal oxidized by a ferric complex of a compound and stably solubilizing it as a copper complex of a complexan compound. Representative examples of the complexan compound include iminodiacetic acid, nitrilotriacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, triethylenetetraminehexaacetic acid, 1,2-diaminocyclohexanetetraacetic acid, glycol ether diaminetetraacetic acid, N , N-bis (2-hydroxybenzyl) ethylenediaminediacetic acid, ethylenediaminedipropionic acid, ethylenediaminediacetic acid, diaminopropanoltetraacetic acid, hexamethylenediaminetetraacetic acid, hydroxyethyliminodiacetic acid, diaminopropanetetraacetic acid, nitrilotripropionic acid, Examples thereof include ethylenediaminetetrakismethylenephosphonic acid, nitrilotrismethylenephosphonic acid, and salts thereof. The complexan compound is 2
More than one type may be used in combination. The content of the complexan compound is preferably 1 to 10 moles per 1 mole of the ferric ion (molar concentration).
【0008】前記コンプレクサン化合物の第二鉄錯体
は、鉄錯体として添加してもよく、また第二鉄イオン源
とコンプレクサン化合物を個別に添加し、水溶液中でコ
ンプレクサン化合物の第二鉄錯体を生成させてもよい。The ferric complex of the complexan compound may be added as an iron complex, or the ferric ion source and the complexan compound may be added separately, and the ferric complex of the complexan compound may be added in an aqueous solution. May be generated.
【0009】本発明に用いられるイミダゾール化合物
は、コンプレクサン化合物の第二鉄錯体の銅及び銅合金
に対する酸化力を高め、また酸化された金属銅を溶解す
るために用いるものである。前記イミダゾール化合物の
代表的なものとしては、イミダゾール、2−メチルイミ
ダゾ−ル、2,4−ジメチルイミダゾール、2−エチル
イミダゾ−ル、2−エチル−4−メチルイミダゾ−ル、
2−プロピルイミダゾールなどが挙げられる。前記イミ
ダゾール化合物は2種類以上を併用してもよい。イミダ
ゾール化合物の含有量は0.01〜20%が好ましい。The imidazole compound used in the present invention is used to increase the oxidizing power of the ferric complex of the complexan compound to copper and copper alloy and to dissolve oxidized metallic copper. Representative examples of the imidazole compound include imidazole, 2-methylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole,
2-propylimidazole and the like. Two or more imidazole compounds may be used in combination. The content of the imidazole compound is preferably 0.01 to 20%.
【0010】本発明に用いられるハロゲンイオンは、コ
ンプレクサン化合物の第二鉄錯体の銅及び銅合金に対す
る酸化力を高め、また酸化された金属銅を溶解するため
に用いられるものである。前記ハロゲンイオンを供給す
るのに好適な化合物として、弗化ナトリウム、弗化カリ
ウム、塩化ナトリウム、塩化カルシウム、塩化カリウ
ム、塩化アンモニウム、塩化バリウム、塩化鉄、塩化
銅、塩化亜鉛、臭化カリウム、臭化アンモニウム、臭化
バリウム、臭化銅、臭化鉄、沃化ナトリウム、沃化カリ
ウム、沃化アンモニウム、沃化カルシウム、及び溶液中
でハロゲンイオンを解離しうる化合物が挙げられる。前
記ハロゲンイオンを供給する化合物は2種類以上を併用
してもよい。ハロゲンイオンを供給する化合物の含有量
は、ハロゲンイオンに換算して、0.001〜20%が
好ましい。The halogen ion used in the present invention is used for increasing the oxidizing power of the ferric complex of the complexan compound to copper and copper alloy and for dissolving oxidized metallic copper. Compounds suitable for supplying the halogen ions include sodium fluoride, potassium fluoride, sodium chloride, calcium chloride, potassium chloride, ammonium chloride, barium chloride, iron chloride, copper chloride, zinc chloride, potassium bromide, and odor. Examples include ammonium iodide, barium bromide, copper bromide, iron bromide, sodium iodide, potassium iodide, ammonium iodide, calcium iodide, and compounds capable of dissociating halogen ions in a solution. Two or more compounds that supply the halogen ions may be used in combination. The content of the compound that supplies a halogen ion is preferably 0.001 to 20% in terms of a halogen ion.
【0011】本発明に用いられる有機酸は、コンプレク
サン化合物の第二鉄錯体により酸化された金属銅を溶解
させるために用いるものである。前記有機酸の代表的な
ものとしては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草
酸、ヘプタン酸、カプリル酸、カプリン酸、ラウリン
酸、グリコール酸、乳酸、クロロ酢酸、アクリル酸、シ
ュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン
酸、マレイン酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、安息香
酸、パラニトロ安息香酸、フタル酸、サリチル酸、ピク
リン酸、グリシン、アラニン、没食子酸などが挙げられ
る。前記有機酸の含有量は、0.1〜30%が好まし
い。The organic acid used in the present invention is used for dissolving metallic copper oxidized by a ferric complex of a complexan compound. Representative organic acids include formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, heptanoic acid, caprylic acid, capric acid, lauric acid, glycolic acid, lactic acid, chloroacetic acid, acrylic acid, oxalic acid, malonic acid Acids, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, maleic acid, malic acid, tartaric acid, citric acid, benzoic acid, paranitrobenzoic acid, phthalic acid, salicylic acid, picric acid, glycine, alanine, gallic acid and the like. The content of the organic acid is preferably 0.1 to 30%.
【0012】本発明に用いられる錯化剤は、エッチング
により溶解した銅イオンを安定に可溶化させるためのも
のである。前記錯化剤としては、例えば、ブチルアミ
ン、ジブチルアミン、トリエチルアミンなどの脂肪族ア
ミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、ト
リエタノールアミンなどのアルカノールアミン、グリシ
ン、アラニンなどのアミノ酸などが挙げられる。錯化剤
の含有量は、1〜20%が好ましい。The complexing agent used in the present invention is for stably solubilizing copper ions dissolved by etching. Examples of the complexing agent include aliphatic amines such as butylamine, dibutylamine and triethylamine, alkanolamines such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and amino acids such as glycine and alanine. The content of the complexing agent is preferably 1 to 20%.
【0013】本発明に用いられる添加剤は、エッチング
による銅外観を良好にするために用いられる。前記添加
剤は、界面活性剤、高分子化合物等である。界面活性剤
としては、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレー
ト等のノニオン系界面活性剤、ラウリン酸ナトリウム等
のアニオン系界面活性剤、塩化トリメチルベンジルアン
モニウム等のカチオン系界面活性剤が挙げられる。高分
子化合物としては、ポリエチレングリコール、ポリビニ
ルアルコール、ポリビニルピロリドン、ゼラチン、可溶
性デンプン等が挙げられる。添加剤の含有量は、0.0
01〜10%が好ましい。The additives used in the present invention are used to improve the appearance of copper by etching. The additive is a surfactant, a polymer compound, or the like. Examples of the surfactant include a nonionic surfactant such as polyoxyethylene sorbitan monolaurate, an anionic surfactant such as sodium laurate, and a cationic surfactant such as trimethylbenzylammonium chloride. Examples of the polymer compound include polyethylene glycol, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, gelatin, and soluble starch. The content of the additive is 0.0
01 to 10% is preferred.
【0014】以上の成分からなる本発明の表面処理剤
は、水酸化ナトリウム、アンモニア、前記有機酸等の添
加により、pH5〜8(20℃)の水溶液に調整して使
用すべきである。The surface treating agent of the present invention comprising the above components should be used after adjusting to an aqueous solution having a pH of 5 to 8 (20 ° C.) by adding sodium hydroxide, ammonia, the above-mentioned organic acid and the like.
【0015】本発明の表面処理剤の使用方法としては、
被処理基板をスプレーで吹き付ける方法および、被処理
基板を表面処理剤中に浸漬する方法が好適である。浸漬
する場合は、エッチングにより液中に生成した第一鉄イ
オンを第二鉄イオンに酸化するために、バブリングなど
により空気の吹き込みを行うことが好ましい。The method of using the surface treating agent of the present invention includes:
A method of spraying the substrate to be processed by a spray and a method of immersing the substrate to be processed in a surface treatment agent are preferable. In the case of immersion, air is preferably blown by bubbling or the like in order to oxidize ferrous ions generated in the liquid by etching into ferric ions.
【0016】[0016]
【実施例】以下、実施例および比較例によって本発明を
詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限され
るものではない。EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples.
【0017】〔実施例1〜5〕表1に示す成分を混合
し、pH7に調整して表面処理剤を調製した。縦140
mm、横100mm、厚さ1.6mm、穴径0.8mm
のスルホール1000穴を有する基板を用意した。この
基板の片面をソルダーレジストで覆った後、前記表面処
理剤に40℃で1分間浸漬した。次に、この基板を水洗
を行わないで230℃で5分間加熱し、85℃、85%
RHの恒温恒湿槽中に30日間放置してスルホール内の
抵抗を測定することによりスルホール断線の発生率を調
べた。結果を表1に示す。縦70mm、横50mm、厚
さ1.6mmの半田−銅混載基板を前記表面処理剤に4
0℃で1分間浸漬し、半田表面の変色、銅のエッチング
速度を調べた。結果を表1に示す。Examples 1 to 5 The components shown in Table 1 were mixed and adjusted to pH 7 to prepare a surface treating agent. Height 140
mm, width 100mm, thickness 1.6mm, hole diameter 0.8mm
A substrate having 1,000 through holes was prepared. After covering one surface of the substrate with a solder resist, the substrate was immersed in the surface treatment agent at 40 ° C. for 1 minute. Next, this substrate was heated at 230 ° C. for 5 minutes without being washed with water, and was heated at 85 ° C. and 85%
The rate of occurrence of disconnection of the through-hole was determined by measuring the resistance in the through-hole after being left in a constant temperature and humidity chamber of RH for 30 days. Table 1 shows the results. A solder-copper mixed board having a length of 70 mm, a width of 50 mm, and a thickness of 1.6 mm was added to the surface treatment agent by 4
It was immersed at 0 ° C. for 1 minute, and the discoloration of the solder surface and the etching rate of copper were examined. Table 1 shows the results.
【0018】〔比較例1〜3〕表1に示す成分を混合
し、表面処理剤を調製した。実施例1と同様にして、評
価を行った。結果を表1に示す。Comparative Examples 1 to 3 The components shown in Table 1 were mixed to prepare a surface treating agent. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.
【0019】〔比較例4〕表1に示す成分を混合し、p
H6.5に調整した。実施例1と同様にして、評価を行
った。結果を表1に示す。Comparative Example 4 The components shown in Table 1 were mixed, and p
Adjusted to H6.5. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.
【0020】[0020]
【表1】 [Table 1]
【0021】[0021]
【発明の効果】本発明のエッチング処理剤は、処理後の
水洗が不十分な場合においても回路を腐食する惧れがな
い。また、半田を処理してもその表面がほとんど変色せ
ず、銅−半田混載基板に好適な表面処理剤である。さら
に、処理液のpHを5〜8の中性領域に調整してあるた
め、作業環境を飛躍的に改善することができる。The etching treatment agent of the present invention has no fear of corroding the circuit even when the washing after treatment is insufficient. Further, even when the solder is processed, the surface thereof hardly discolors, and is a surface treatment agent suitable for a copper-solder mixed board. Further, since the pH of the processing solution is adjusted to a neutral range of 5 to 8, the working environment can be dramatically improved.
Claims (2)
ロゲンイオン及びイミダゾール化合物、あるいはコンプ
レクサン化合物の第二鉄錯体とハロゲンイオンまたはイ
ミダゾール化合物のいずれかを必須成分として含む水溶
液からなり、溶液のpHを5〜8の範囲に調整したこと
を特徴とする銅および銅合金のエッチング処理剤。1. An aqueous solution comprising a ferric complex of a complexan compound, a halogen ion and an imidazole compound, or an aqueous solution containing a ferric complex of a complexan compound and either a halogen ion or an imidazole compound as essential components. Was adjusted to the range of 5 to 8, and an etching treatment agent for copper and a copper alloy.
ロゲンイオン及びイミダゾール化合物、あるいはコンプ
レクサン化合物の第二鉄錯体とハロゲンイオンまたはイ
ミダゾール化合物のいずれかを必須成分として含む水溶
液に、有機酸、錯化剤、界面活性剤及び高分子化合物の
いずれか1種あるいはそれ以上を添加し、溶液のpHを
5〜8の範囲に調整したことを特徴とする銅および銅合
金の表面処理剤。2. An aqueous solution containing a ferric complex of a complexan compound, a halogen ion and an imidazole compound, or a ferric complex of a complexan compound and either a halogen ion or an imidazole compound as an essential component, an organic acid or a complex. A surface treating agent for copper and copper alloys, wherein one or more of an agent, a surfactant and a polymer compound are added to adjust the pH of the solution to a range of 5 to 8.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11132518A JP2000328268A (en) | 1999-05-13 | 1999-05-13 | Etching treating agent for copper and copper alloy |
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JP (1) | JP2000328268A (en) |
Cited By (4)
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-
1999
- 1999-05-13 JP JP11132518A patent/JP2000328268A/en active Pending
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