JP2000323506A - プラスチックモールド開封方法 - Google Patents
プラスチックモールド開封方法Info
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- JP2000323506A JP2000323506A JP2000069137A JP2000069137A JP2000323506A JP 2000323506 A JP2000323506 A JP 2000323506A JP 2000069137 A JP2000069137 A JP 2000069137A JP 2000069137 A JP2000069137 A JP 2000069137A JP 2000323506 A JP2000323506 A JP 2000323506A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 種々のモールド材に対応できるプラスチック
モールド開封方法を提供する。 【解決手段】 二種類以上の薬液ビン３、５から二種類
以上の薬液が自動的に適宜比率で所望の量だけ取り出し
て混合するか、或いは前記二種類以上の薬液を自動的に
単独で所望の量だけ取り出される。その後、前記混合さ
れた薬液、或いは単独の薬液が所定の温度に加熱され、
ついで、この加熱された薬液がサンプルＰＭに噴射され
ることにより、プラスチックによりモールドされたサン
プルＰＭの一部が自動的に、かつ容易に開封される。
モールド開封方法を提供する。 【解決手段】 二種類以上の薬液ビン３、５から二種類
以上の薬液が自動的に適宜比率で所望の量だけ取り出し
て混合するか、或いは前記二種類以上の薬液を自動的に
単独で所望の量だけ取り出される。その後、前記混合さ
れた薬液、或いは単独の薬液が所定の温度に加熱され、
ついで、この加熱された薬液がサンプルＰＭに噴射され
ることにより、プラスチックによりモールドされたサン
プルＰＭの一部が自動的に、かつ容易に開封される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プラスチックで
封止された半導体チップ、コンデンサー、ハイブリッド
ＩＣ等のプラスチックモールドの一部を溶解除去し、不
良解析時の検査や品質チェックに使用するためのプラス
チックモールド開封方法に関するものである。
封止された半導体チップ、コンデンサー、ハイブリッド
ＩＣ等のプラスチックモールドの一部を溶解除去し、不
良解析時の検査や品質チェックに使用するためのプラス
チックモールド開封方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、プラスチックで封止された半
導体チップ、コンデンサー、ハイブリッドＩＣ等のプラ
スチックモールドされたサンプルの一部を、薬液により
溶解除去して露出させるプラスチックモールド開封装置
が知られている。
導体チップ、コンデンサー、ハイブリッドＩＣ等のプラ
スチックモールドされたサンプルの一部を、薬液により
溶解除去して露出させるプラスチックモールド開封装置
が知られている。
【０００３】このプラスチックモールド開封装置におい
ては、従来より硝酸を用いてサンプルの開封処理を行う
ものがある。この硝酸を用いる場合には、ＩＣ回路に使
用されているアルミ材を腐食させることがないため、優
良な開封結果が選られる。
ては、従来より硝酸を用いてサンプルの開封処理を行う
ものがある。この硝酸を用いる場合には、ＩＣ回路に使
用されているアルミ材を腐食させることがないため、優
良な開封結果が選られる。
【０００４】ところが、最近のプラスチックモールドに
おいては、硝酸では溶解できないものが急激に増加して
おり、このようなサンプルに対しては主に高温に加熱さ
れた濃硫酸が使用されるようになってきた。このような
濃硫酸を使用するプラスチックモールド開封装置では、
加熱された濃硫酸をプラスチックモールド開封装置の開
封処理部に供給して、サンプルの開封部に噴射して開封
するものである。
おいては、硝酸では溶解できないものが急激に増加して
おり、このようなサンプルに対しては主に高温に加熱さ
れた濃硫酸が使用されるようになってきた。このような
濃硫酸を使用するプラスチックモールド開封装置では、
加熱された濃硫酸をプラスチックモールド開封装置の開
封処理部に供給して、サンプルの開封部に噴射して開封
するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の技術にあっては、硫酸を使用しているため、こ
の硫酸が水分を含むとＩＣ回路に接触した時点で回路に
使用されているアルミ材を腐食させてしまうという問題
がある。さらに、硫酸はそれ自体が強い吸水性を持ち、
開封処理の際に大気に触れると大気中の水分を吸収して
しまうという問題がある。
な従来の技術にあっては、硫酸を使用しているため、こ
の硫酸が水分を含むとＩＣ回路に接触した時点で回路に
使用されているアルミ材を腐食させてしまうという問題
がある。さらに、硫酸はそれ自体が強い吸水性を持ち、
開封処理の際に大気に触れると大気中の水分を吸収して
しまうという問題がある。
【０００６】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、種々のモールド材に
対応できるプラスチックモールド開封方法を提供するこ
とにある。
術に着目してなされたものであり、種々のモールド材に
対応できるプラスチックモールド開封方法を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１によるこの発明のプラスチックモールド
開封方法は、プラスチックによりモールドされたサンプ
ルに薬液を噴射し溶解せしめて開封するためのプラスチ
ックモールド開封方法であって、二種類以上の薬液ビン
から二種類以上の薬液を適宜比率で所望の量だけ取り出
して混合するか、或いは前記二種類以上の薬液を単独で
所望の量だけ取り出した後、前記混合された薬液、或い
は単独の薬液を所定の温度に加熱し、ついで、この加熱
された薬液をサンプルに噴射して自動的にサンプルの一
部を開封せしめることを特徴とするものである。
めに、請求項１によるこの発明のプラスチックモールド
開封方法は、プラスチックによりモールドされたサンプ
ルに薬液を噴射し溶解せしめて開封するためのプラスチ
ックモールド開封方法であって、二種類以上の薬液ビン
から二種類以上の薬液を適宜比率で所望の量だけ取り出
して混合するか、或いは前記二種類以上の薬液を単独で
所望の量だけ取り出した後、前記混合された薬液、或い
は単独の薬液を所定の温度に加熱し、ついで、この加熱
された薬液をサンプルに噴射して自動的にサンプルの一
部を開封せしめることを特徴とするものである。
【０００８】従って、二種類以上の薬液ビンから二種類
以上の薬液が適宜比率で所望の量だけ取り出して混合す
るか、或いは前記二種類以上の薬液を単独で所望の量だ
け取り出される。その後、前記混合された薬液、或いは
単独の薬液が所定の温度に加熱され、ついで、この加熱
された薬液がサンプルに自動的に噴射されることによ
り、プラスチックによりモールドされたサンプルの一部
が自動的に、かつ容易に開封される。
以上の薬液が適宜比率で所望の量だけ取り出して混合す
るか、或いは前記二種類以上の薬液を単独で所望の量だ
け取り出される。その後、前記混合された薬液、或いは
単独の薬液が所定の温度に加熱され、ついで、この加熱
された薬液がサンプルに自動的に噴射されることによ
り、プラスチックによりモールドされたサンプルの一部
が自動的に、かつ容易に開封される。
【０００９】請求項２によるこの発明のプラスチックモ
ールド開封方法は、請求項１記載のプラスチックモール
ド開封方法において、前記二種類以上の薬液ビンから取
り出された二種類以上の薬液を自動的に適宜比率で所望
の量だけ受液器に供給して混合するか、或いは前記二種
類以上の薬液を自動的に単独で所望の量だけ受液器に供
給した後、前記混合された薬液、或いは単独の薬液を所
定の温度に加熱せしめることを特徴とするものである。
ールド開封方法は、請求項１記載のプラスチックモール
ド開封方法において、前記二種類以上の薬液ビンから取
り出された二種類以上の薬液を自動的に適宜比率で所望
の量だけ受液器に供給して混合するか、或いは前記二種
類以上の薬液を自動的に単独で所望の量だけ受液器に供
給した後、前記混合された薬液、或いは単独の薬液を所
定の温度に加熱せしめることを特徴とするものである。
【００１０】従って、前記二種類以上の薬液ビンから取
り出された二種類以上の薬液が自動的に適宜比率で所望
の量だけ受液器に供給して混合されたり、或いは前記二
種類以上の薬液が自動的に単独で所望の量だけ受液器に
供給された後、前記混合された薬液、或いは単独の薬液
が所定の温度に加熱されることにより、予め設定された
量だけの薬液が薬液ビンから取り出されると共にサンプ
ルへ自動的にかつ確実に噴射される。
り出された二種類以上の薬液が自動的に適宜比率で所望
の量だけ受液器に供給して混合されたり、或いは前記二
種類以上の薬液が自動的に単独で所望の量だけ受液器に
供給された後、前記混合された薬液、或いは単独の薬液
が所定の温度に加熱されることにより、予め設定された
量だけの薬液が薬液ビンから取り出されると共にサンプ
ルへ自動的にかつ確実に噴射される。
【００１１】請求項３によるこの発明のプラスチックモ
ールド開封方法は、請求項１または２記載のプラスチッ
クモールド開封方法において、前記混合された薬液、或
いは単独の薬液を、サンプルに噴射せしめる直前にて所
定の温度に加熱せしめることを特徴とするものである。
ールド開封方法は、請求項１または２記載のプラスチッ
クモールド開封方法において、前記混合された薬液、或
いは単独の薬液を、サンプルに噴射せしめる直前にて所
定の温度に加熱せしめることを特徴とするものである。
【００１２】従って、所定の温度に加熱された薬液がサ
ンプルに噴射されるので、サンプルの一部を容易かつ確
実に開封される。
ンプルに噴射されるので、サンプルの一部を容易かつ確
実に開封される。
【００１３】請求項４によるこの発明のプラスチックモ
ールド開封方法は、請求項１、２または３記載のプラス
チックモールド開封方法において、前記二種類以上の薬
液が、少なくとも硝酸と硫酸であることを特徴とするも
のである。
ールド開封方法は、請求項１、２または３記載のプラス
チックモールド開封方法において、前記二種類以上の薬
液が、少なくとも硝酸と硫酸であることを特徴とするも
のである。
【００１４】従って、硝酸と硫酸が使用されることによ
り、サンプルの一部をより一層容易かつ確実に開封され
る。
り、サンプルの一部をより一層容易かつ確実に開封され
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。
面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】図１には、この発明に係るプラスチックモ
ールド開封装置１が示されている。このプラスチックモ
ールド開封装置１では、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）が入った第一
の薬液ビンである硫酸ビン３と、硝酸（ＨＮＯ3）が入
った第二の薬液ビンである硝酸ビン５を有している。こ
の硫酸ビン３および硝酸ビン５のイン側に入る配管７、
９は、各々チェックバルブ１１、１３を介して不活性ガ
スの一例である窒素ガス（Ｎ2）供給用の配管１５に接
続されている。
ールド開封装置１が示されている。このプラスチックモ
ールド開封装置１では、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）が入った第一
の薬液ビンである硫酸ビン３と、硝酸（ＨＮＯ3）が入
った第二の薬液ビンである硝酸ビン５を有している。こ
の硫酸ビン３および硝酸ビン５のイン側に入る配管７、
９は、各々チェックバルブ１１、１３を介して不活性ガ
スの一例である窒素ガス（Ｎ2）供給用の配管１５に接
続されている。
【００１７】硫酸ビン３および硝酸ビン５のアウト側
は、各々切換えバルブである電磁バルブ１７、１９を有
する配管２１、２３により、配管２５を介して第一の薬
液供給手段としての第一の定量ポンプ２７に接続されて
いる。この第一の定量ポンプ２７は、一定量の薬品を吸
入するためのものである。なお、前記配管２５は、電磁
バルブ２９を介して配管３１により窒素ガス（Ｎ2）供
給用の配管３３に接続されている。
は、各々切換えバルブである電磁バルブ１７、１９を有
する配管２１、２３により、配管２５を介して第一の薬
液供給手段としての第一の定量ポンプ２７に接続されて
いる。この第一の定量ポンプ２７は、一定量の薬品を吸
入するためのものである。なお、前記配管２５は、電磁
バルブ２９を介して配管３１により窒素ガス（Ｎ2）供
給用の配管３３に接続されている。
【００１８】第一の定量ポンプ２７は、配管３５により
受液器３７のイン側に接続されており、一定量の薬品を
一旦受液器３７に貯蔵する。この受液器３７のアウト側
は、配管３９により第二の薬液供給手段としての第二の
定量ポンプ４１に接続されている。また、受液器３７に
は液面検知器４３を備えた配管４５が接続されており、
さらに受液器３７には流量調整器４７を有する配管４９
が接続されている。この配管４９の先端には、窒素ガス
を供給するための不活性ガス供給手段の一例としての窒
素ガス供給手段５１が接続されている。
受液器３７のイン側に接続されており、一定量の薬品を
一旦受液器３７に貯蔵する。この受液器３７のアウト側
は、配管３９により第二の薬液供給手段としての第二の
定量ポンプ４１に接続されている。また、受液器３７に
は液面検知器４３を備えた配管４５が接続されており、
さらに受液器３７には流量調整器４７を有する配管４９
が接続されている。この配管４９の先端には、窒素ガス
を供給するための不活性ガス供給手段の一例としての窒
素ガス供給手段５１が接続されている。
【００１９】前記第二の定量ポンプ４１には加熱手段の
一例である熱交換器５３が接続されており、前記第二の
定量ポンプ４１により供給された薬液を所定の温度に加
熱する。この熱交換器５３には排液ビン５５が接続され
ており、熱交換器５３の中央に載置されたサンプルＰＭ
のモールド材を溶解した排液を回収している。
一例である熱交換器５３が接続されており、前記第二の
定量ポンプ４１により供給された薬液を所定の温度に加
熱する。この熱交換器５３には排液ビン５５が接続され
ており、熱交換器５３の中央に載置されたサンプルＰＭ
のモールド材を溶解した排液を回収している。
【００２０】なお、前記熱交換器５３の内部は配管が螺
旋状に形成されており、その先端に薬液を噴射する薬液
噴射部としてのノズル５６を備えているいるものを使用
しているが、既に公知（例えば特公平５−６５０１４号
公報参照）のものなので詳細な説明は省略する。
旋状に形成されており、その先端に薬液を噴射する薬液
噴射部としてのノズル５６を備えているいるものを使用
しているが、既に公知（例えば特公平５−６５０１４号
公報参照）のものなので詳細な説明は省略する。
【００２１】前記熱交換器５３の上には、プラスチック
モールドされたサンプルＰＭの開封面を下向きにして載
置するブロック５７が設けられており、このブロック５
７の中央には薬液を噴射するための孔５９が設けられて
いる。
モールドされたサンプルＰＭの開封面を下向きにして載
置するブロック５７が設けられており、このブロック５
７の中央には薬液を噴射するための孔５９が設けられて
いる。
【００２２】前記熱交換器５３の上方には前記サンプル
ＰＭを押さえるためのサンプル押え６１が設けられてお
り、電磁切換えバルブ６３で作動するエアーシリンダ６
５により昇降自在となっている。
ＰＭを押さえるためのサンプル押え６１が設けられてお
り、電磁切換えバルブ６３で作動するエアーシリンダ６
５により昇降自在となっている。
【００２３】前記サンプル押え６１には、サンプルＰＭ
に吹き付けられた薬液が飛び散らないようにサンプルカ
バー６７が取り付けられている。なお、前記ブロック５
７の周縁部にはサンプルカバー６７を下降させた時に内
部を密閉すべく、シール材６９が設けられている。ま
た、熱交換器５３の内部に窒素ガスを供給する配管７１
および電磁バルブ７３が設けられている。熱交換器５３
と排液ビン５５とは配管７５で接続されている。
に吹き付けられた薬液が飛び散らないようにサンプルカ
バー６７が取り付けられている。なお、前記ブロック５
７の周縁部にはサンプルカバー６７を下降させた時に内
部を密閉すべく、シール材６９が設けられている。ま
た、熱交換器５３の内部に窒素ガスを供給する配管７１
および電磁バルブ７３が設けられている。熱交換器５３
と排液ビン５５とは配管７５で接続されている。
【００２４】次に、図２〜図４を参照して、プラスチッ
クモールドの開封動作について説明する。
クモールドの開封動作について説明する。
【００２５】図２を参照するに、第一の定量ポンプ２７
により、硫酸ビン３のみまたは硝酸ビン５のみ、あるい
は硫酸ビン３および硝酸ビン５の両方から一定量の薬液
を吸入して、受液器３７に送って溜める。この時、電磁
バルブ１７、１９の切換えにより、硝酸のみ取り出す場
合、硫酸のみ取り出す場合、硝酸と硫酸を所定の割合で
混ぜ合わせて取り出す場合を選択することができる。
により、硫酸ビン３のみまたは硝酸ビン５のみ、あるい
は硫酸ビン３および硝酸ビン５の両方から一定量の薬液
を吸入して、受液器３７に送って溜める。この時、電磁
バルブ１７、１９の切換えにより、硝酸のみ取り出す場
合、硫酸のみ取り出す場合、硝酸と硫酸を所定の割合で
混ぜ合わせて取り出す場合を選択することができる。
【００２６】前述したように、硝酸のみを用いてプラス
チックモールドの開封を行うことは、ＩＣ回路に使用さ
れているアルミ材を腐食させることがないので良い開封
結果が得られるが、最近モールドに使用されている材質
によっては溶解できない場合が増加してきた。また、硫
酸のみを用いる場合には、硝酸のみでは溶解できないモ
ールド材でも溶解できるが、硫酸中に水分が含まれると
アルミ材を腐食させてしまう性質を有する。このため、
硝酸と硫酸を混ぜて使用することが行われるようになっ
てきた。この場合には、硝酸のみでは溶解しないモール
ド材でも溶解させることができる場合があり、開封結果
も硝酸のみの場合と硫酸のみの場合の中間的なものとな
る。従って、ケース・バイ・ケースで硝酸および硫酸の
比率を考慮して、受液器３７に取り出す。
チックモールドの開封を行うことは、ＩＣ回路に使用さ
れているアルミ材を腐食させることがないので良い開封
結果が得られるが、最近モールドに使用されている材質
によっては溶解できない場合が増加してきた。また、硫
酸のみを用いる場合には、硝酸のみでは溶解できないモ
ールド材でも溶解できるが、硫酸中に水分が含まれると
アルミ材を腐食させてしまう性質を有する。このため、
硝酸と硫酸を混ぜて使用することが行われるようになっ
てきた。この場合には、硝酸のみでは溶解しないモール
ド材でも溶解させることができる場合があり、開封結果
も硝酸のみの場合と硫酸のみの場合の中間的なものとな
る。従って、ケース・バイ・ケースで硝酸および硫酸の
比率を考慮して、受液器３７に取り出す。
【００２７】図３を参照するに、受液器３７への送液が
終了すると電磁バルブ１７、１９を閉じて電磁バルブ２
９を開き、第一の定量ポンプ２７のイン側から窒素ガス
を導入する。これにより、配管２５、３５の内部および
第一の定量ポンプ２７の内部に残っている薬液を完全に
受液器３７に追い出す。
終了すると電磁バルブ１７、１９を閉じて電磁バルブ２
９を開き、第一の定量ポンプ２７のイン側から窒素ガス
を導入する。これにより、配管２５、３５の内部および
第一の定量ポンプ２７の内部に残っている薬液を完全に
受液器３７に追い出す。
【００２８】図４を参照するに、受液器３７の内部に溜
められた薬液を、第二の定量ポンプ４１により熱交換器
５３に送り、所定の温度まで加熱する。熱交換器５３の
ブロック５７の上面において開封面を下向きにセットさ
れたサンプルＰＭの上から、エアーシリンダ６５により
サンプルカバー６７を下降させると共にサンプル押え６
１によりサンプルＰＭを押さえ、加熱された薬液をノズ
ル５６からサンプルＰＭの下面に向かって噴射してプラ
スチックモールドを溶解させる。排液は、配管７５を介
して排液ビン５５に回収される。
められた薬液を、第二の定量ポンプ４１により熱交換器
５３に送り、所定の温度まで加熱する。熱交換器５３の
ブロック５７の上面において開封面を下向きにセットさ
れたサンプルＰＭの上から、エアーシリンダ６５により
サンプルカバー６７を下降させると共にサンプル押え６
１によりサンプルＰＭを押さえ、加熱された薬液をノズ
ル５６からサンプルＰＭの下面に向かって噴射してプラ
スチックモールドを溶解させる。排液は、配管７５を介
して排液ビン５５に回収される。
【００２９】熱交換器５３への送液が完了したら、電磁
バルブ７３を開いて窒素ガスを熱交換器５３内へ送っ
て、熱交換器５３の内部に残っている薬液を追い出す。
バルブ７３を開いて窒素ガスを熱交換器５３内へ送っ
て、熱交換器５３の内部に残っている薬液を追い出す。
【００３０】以上の結果から、サンプルＰＭのプラスチ
ックモールドを溶解する際に、プラスチックモールドの
材質に応じて硝酸のみの使用、硫酸のみの使用、硝酸と
硫酸を所定の割合で混ぜた混液の使用を選択することが
できるので、最良の開封処理を行うことができる。
ックモールドを溶解する際に、プラスチックモールドの
材質に応じて硝酸のみの使用、硫酸のみの使用、硝酸と
硫酸を所定の割合で混ぜた混液の使用を選択することが
できるので、最良の開封処理を行うことができる。
【００３１】また、この時、第一の定量ポンプ２７によ
り硝酸や硫酸等の薬液を一定量取り出した後にサンプル
に噴射させているので、一定の割合で混合させた混液を
使用することができ、安定した開封処理を行うことがで
きる。
り硝酸や硫酸等の薬液を一定量取り出した後にサンプル
に噴射させているので、一定の割合で混合させた混液を
使用することができ、安定した開封処理を行うことがで
きる。
【００３２】また、第一の定量ポンプ２７や配管７、２
１、３５等の内部を大気から遮断して不活性ガスである
窒素ガスにより充填しているので、吸湿性の強い硫酸を
使用する場合でも大気に触れさせて大気中の水分を吸収
するのを防止できる。これにより、従来よりいわれてい
る様な、硫酸を用いるとＩＣに使用されているアルミ材
を腐食させてしまうということを防止することができ、
種々のプラスチックモールド材の溶解を行うことができ
る。
１、３５等の内部を大気から遮断して不活性ガスである
窒素ガスにより充填しているので、吸湿性の強い硫酸を
使用する場合でも大気に触れさせて大気中の水分を吸収
するのを防止できる。これにより、従来よりいわれてい
る様な、硫酸を用いるとＩＣに使用されているアルミ材
を腐食させてしまうということを防止することができ、
種々のプラスチックモールド材の溶解を行うことができ
る。
【００３３】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実施
の形態においては、薬液として硝酸および硫酸を使用
し、不活性ガスとして窒素ガスを使用したが、これ以外
の薬液等にも使用することができる。
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実施
の形態においては、薬液として硝酸および硫酸を使用
し、不活性ガスとして窒素ガスを使用したが、これ以外
の薬液等にも使用することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よるプラスチックモールド開封方法では、二種類以上の
薬液ビンから二種類以上の薬液が適宜比率で所望の量だ
け取り出して混合するか、或いは前記二種類以上の薬液
を単独で所望の量だけ取り出される。その後、前記混合
された薬液、或いは単独の薬液が所定の温度に加熱さ
れ、ついで、この加熱された薬液がサンプルに自動的に
噴射されることにより、プラスチックによりモールドさ
れたサンプルの一部を自動的に、かつ容易に開封せしめ
ることができる。
よるプラスチックモールド開封方法では、二種類以上の
薬液ビンから二種類以上の薬液が適宜比率で所望の量だ
け取り出して混合するか、或いは前記二種類以上の薬液
を単独で所望の量だけ取り出される。その後、前記混合
された薬液、或いは単独の薬液が所定の温度に加熱さ
れ、ついで、この加熱された薬液がサンプルに自動的に
噴射されることにより、プラスチックによりモールドさ
れたサンプルの一部を自動的に、かつ容易に開封せしめ
ることができる。
【００３５】請求項２によるこの発明のプラスチックモ
ールド開封方法では、前記二種類以上の薬液ビンから取
り出された二種類以上の薬液が自動的に適宜比率で所望
の量だけ受液器に供給して混合されたり、或いは前記二
種類以上の薬液が自動的に単独で所望の量だけ受液器に
供給された後、前記混合された薬液、或いは単独の薬液
が所定の温度に加熱されることにより、予め設定された
量だけの薬液を薬液ビンから取り出すことができると共
にサンプルへ自動的にかつ確実に噴射せしめることがで
きる。
ールド開封方法では、前記二種類以上の薬液ビンから取
り出された二種類以上の薬液が自動的に適宜比率で所望
の量だけ受液器に供給して混合されたり、或いは前記二
種類以上の薬液が自動的に単独で所望の量だけ受液器に
供給された後、前記混合された薬液、或いは単独の薬液
が所定の温度に加熱されることにより、予め設定された
量だけの薬液を薬液ビンから取り出すことができると共
にサンプルへ自動的にかつ確実に噴射せしめることがで
きる。
【００３６】請求項３によるこの発明のプラスチックモ
ールド開封方法では、所定の温度に加熱された薬液をサ
ンプルに噴射せしめることができので、サンプルの一部
を容易かつ確実に開封せしめることができる。
ールド開封方法では、所定の温度に加熱された薬液をサ
ンプルに噴射せしめることができので、サンプルの一部
を容易かつ確実に開封せしめることができる。
【００３７】請求項４によるこの発明のプラスチックモ
ールド開封方法では、硝酸と硫酸を使用することができ
ることにより、サンプルの一部をより一層容易かつ確実
に開封せしめることができる。
ールド開封方法では、硝酸と硫酸を使用することができ
ることにより、サンプルの一部をより一層容易かつ確実
に開封せしめることができる。
【図１】この発明に係るプラスチックモールド開封装置
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図２】図１記載のプラスチックモールド開封装置を用
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
【図３】図１記載のプラスチックモールド開封装置を用
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
【図４】図１記載のプラスチックモールド開封装置を用
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
１ プラスチックモールド開封装置 ３ 硫酸ビン（薬液ビン） ５ 硝酸ビン（薬液ビン） ９ 配管 １７、１９ 電磁バルブ（切換えバルブ） ２７ 第一の定量ポンプ（第一の薬液供給手段） ３７ 受液器 ４１ 第二の定量ポンプ（第二の薬液供給手段） ５１ 窒素ガス供給手段（不活性ガス供給手段） ５３ 熱交換器（加熱手段） ５６ ノズル（薬液噴射部） ＰＭ サンプル
Claims (4)
- 【請求項１】 プラスチックによりモールドされたサン
プルに薬液を噴射し溶解せしめて開封するためのプラス
チックモールド開封方法であって、二種類以上の薬液ビ
ンから二種類以上の薬液を適宜比率で所望の量だけ取り
出して混合するか、或いは前記二種類以上の薬液を単独
で所望の量だけ取り出した後、前記混合された薬液、或
いは単独の薬液を所定の温度に加熱し、ついで、この加
熱された薬液をサンプルに噴射して自動的にサンプルの
一部を開封せしめることを特徴とするプラスチックモー
ルド開封方法。 - 【請求項２】 前記二種類以上の薬液ビンから取り出さ
れた二種類以上の薬液を自動的に適宜比率で所望の量だ
け受液器に供給して混合するか、或いは前記二種類以上
の薬液を単独で所望の量だけ受液器に供給した後、前記
混合された薬液、或いは単独の薬液を自動的に所定の温
度に加熱せしめることを特徴とする請求項１記載のプラ
スチックモールド開封方法。 - 【請求項３】 前記混合された薬液、或いは単独の薬液
を、サンプルに噴射せしめる直前にて所定の温度に加熱
せしめることを特徴とする請求項１または２記載のプラ
スチックモールド開封方法。 - 【請求項４】 前記二種類以上の薬液が、少なくとも硝
酸と硫酸であること、を特徴とする請求項１、２または
３記載のプラスチックモールド開封方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000069137A JP2000323506A (ja) | 2000-01-01 | 2000-03-13 | プラスチックモールド開封方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000069137A JP2000323506A (ja) | 2000-01-01 | 2000-03-13 | プラスチックモールド開封方法 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14448598A Division JP3340675B2 (ja) | 1998-05-26 | 1998-05-26 | プラスチックモールド開封装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000323506A true JP2000323506A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=18588081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000069137A Pending JP2000323506A (ja) | 2000-01-01 | 2000-03-13 | プラスチックモールド開封方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000323506A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009069577A1 (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | モールド除去方法 |
| JP2011187517A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Nippon Scientific Co Ltd | プラスチックモールドされた半導体集積回路の開封装置及びプラスチックモールドされた半導体集積回路の開封方法 |
-
2000
- 2000-03-13 JP JP2000069137A patent/JP2000323506A/ja active Pending
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| JP5137088B2 (ja) * | 2007-11-26 | 2013-02-06 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | モールド除去方法 |
| KR101254377B1 (ko) | 2007-11-26 | 2013-04-12 | 내셔날 인스티튜트 오브 어드밴스드 인더스트리얼 사이언스 앤드 테크놀로지 | 몰드 제거 방법 |
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