JP2000321232A - Composite membrane for gas sensor, gas sensor, and method for manufacturing composite membrane for gas sensor - Google Patents

Composite membrane for gas sensor, gas sensor, and method for manufacturing composite membrane for gas sensor

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JP2000321232A
JP2000321232A JP11130572A JP13057299A JP2000321232A JP 2000321232 A JP2000321232 A JP 2000321232A JP 11130572 A JP11130572 A JP 11130572A JP 13057299 A JP13057299 A JP 13057299A JP 2000321232 A JP2000321232 A JP 2000321232A
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composite
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the concentration of carbon dioxide continuously accurately in the vicinity of room temperature. SOLUTION: A composite membrane for a gas sensor includes a conductive polymer 1 such as base-type polyaniline(PAn) and an insulating polymer 2 such as polyvinylalcohol(PVA) as material. Base-type PAn is obtained by subjecting a powder of polyanthranilic acid(PANA) to heat treatment at a predetermined temperature for a predetermined time. The base-type PAn is dissolved in dimethyl sulfoxide(DMSO) and then mixed with a PVA/DMSO solution to create a composite solution. Then the composite solution is cast into a micro platinum comb electrode formed on a glass substrate, and a solvent is removed by vacuum drying to obtain a gas sensor. In this gas sensor, HCO3 is created by the reaction between CO2 gas and water held by PVA, and the created HCO3 is captured in the base-type PAn as a dopant to change the electric conductivity of a composite membrane.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、CO2ガスの濃度
を検出するガスセンサ用複合膜、ガスセンサ及びガスセ
ンサ用複合膜の製造方法に関する。
The present invention relates to a composite film for a gas sensor for detecting the concentration of CO 2 gas, a gas sensor, and a method for producing the composite film for a gas sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、気密空間の環境保全、温室での植
物栽培、環境問題に関連した大気中の濃度監視などの多
くの分野で、炭酸ガスを連続して計測する必要性が高く
なってきている。炭酸ガス濃度を測定するには通常、C
2センサが用いられる。CO2センサは、大気中の炭酸
ガスを吸着可能な材料の電気伝導度の変化により、炭酸
ガス濃度を測定する。
2. Description of the Related Art Recently, there is an increasing need to continuously measure carbon dioxide gas in many fields such as environmental protection of airtight spaces, plant cultivation in greenhouses, and monitoring of atmospheric concentration related to environmental problems. ing. To measure the concentration of carbon dioxide, C
An O 2 sensor is used. The CO 2 sensor measures the concentration of carbon dioxide by changing the electrical conductivity of a material capable of adsorbing carbon dioxide in the atmosphere.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
CO2センサのほとんどは、400℃以上の測定条件を必要
としており、室温付近で炭酸ガス濃度を(特に、連続的
に)精度よく測定することは困難であった。本発明は、
以上の点に鑑み、特に室温付近で炭酸ガス濃度を精度よ
く、広いダイナミックレンジで、且つ、連続して測定す
ることができるガスセンサ用複合膜、ガスセンサ及びガ
スセンサ用複合膜の製造方法を提供することを目的とす
る。
However, most of the conventional CO 2 sensors require measurement conditions of 400 ° C. or higher, and are required to accurately (particularly, continuously) measure the carbon dioxide concentration near room temperature. Was difficult. The present invention
In view of the above, it is an object of the present invention to provide a composite film for a gas sensor, a gas sensor, and a method for manufacturing a composite film for a gas sensor, which can accurately measure a carbon dioxide concentration particularly at around room temperature with a wide dynamic range and continuously. With the goal.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の第1の解決手段によると、炭酸水素イ
オン(HCO3 -)をドーパントとして取り込み可能な導
電性ポリマーと、吸湿性で水を保持可能な絶縁性ポリマ
ーとを含み、炭酸ガス(CO2)と前記絶縁性ポリマー
により保持される水分子との反応によりHCO3 -が生成
され、前記導電性ポリマーによるHCO3 -の取り込み量
により電気伝導度が変化するようにしたガスセンサ用複
合膜を提供する。本発明では、絶縁性ポリマーが保持し
ている水とCO2ガスとの解離平衡により生成されたH
CO3 -を導電性ポリマーに取り込む。HCO3 -の取り込
み量に応じて複合膜の電気伝導度が変化するため、電気
伝導度の値を測定することにより、CO2ガスの濃度を
測定できる。
To solve the problems described above SUMMARY OF THE INVENTION According to the first aspect of the present invention, bicarbonate ion (HCO 3 -) and conductive polymer can take in as a dopant, hygroscopic in and a water can be retained for insulating polymer, by reaction with water molecules that are retained by the insulating polymer and carbon dioxide (CO 2) HCO 3 - is produced, by HCO 3 wherein the conductive polymer - the Provided is a composite film for a gas sensor in which the electric conductivity changes according to the amount of intake. In the present invention, H generated by dissociation equilibrium between water and CO 2 gas held by the insulating polymer is used.
CO 3 - incorporated into the conductive polymer. HCO 3 - to change the electrical conductivity of the composite membrane according to uptake, by measuring the value of electric conductivity, can measure the concentration of CO 2 gas.

【0005】また、本発明では、導電性ポリマーとし
て、HCO3 -をドーピングすると導電性に変化する材
料、例えば、塩基型ポリアニリン又はその誘導体を用い
ることができる。塩基型ポリアニリン自体は絶縁性であ
るが、HCO3 -がドーピングされると、導電体に変化す
る。また、本発明では、絶縁性ポリマーとして、吸湿性
に優れるポリビニルアルコール、ポリビニルピロリド
ン、及びポリアクリル酸を用いることができる。なお、
導電性ポリマーと絶縁性ポリマーとの重量比を例えば、
略1:6にすると、複合膜を導電性にすることができ
る。
[0005] In the present invention, a material that changes conductivity when HCO 3 - is doped, for example, a basic polyaniline or a derivative thereof can be used as the conductive polymer. The basic polyaniline itself is insulative, but changes into a conductor when HCO 3 - is doped. In the present invention, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, and polyacrylic acid, which have excellent hygroscopicity, can be used as the insulating polymer. In addition,
For example, the weight ratio of the conductive polymer and the insulating polymer,
When the ratio is approximately 1: 6, the composite film can be made conductive.

【0006】本発明の第2の解決手段によると、このよ
うなガスセンサ用複合膜と、前記ガスセンサ用複合膜に
形成された1対の電極とを備えたガスセンサを提供す
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a gas sensor comprising such a composite film for a gas sensor and a pair of electrodes formed on the composite film for a gas sensor.

【0007】さらに、本発明の第3の解決手段による
と、所定の温度及び時間で熱処理することによりポリア
ントラニル酸からカルボン酸(−COOH)を除去して
導電性ポリマーを生成する第1工程と、前記導電性ポリ
マーを所定の溶媒に溶解した後、絶縁性ポリマーを含む
溶液と混合して複合溶液を生成する第2工程と、前記複
合溶液を基板にキャストした後、乾燥処理により溶媒を
除去する第3工程とを含むガスセンサ用複合膜の製造方
法を提供する。
Further, according to a third solution of the present invention, a first step of removing a carboxylic acid (—COOH) from polyanthranilic acid by heat treatment at a predetermined temperature and time to form a conductive polymer; A second step of dissolving the conductive polymer in a predetermined solvent, and then mixing the resultant with a solution containing an insulating polymer to form a composite solution; and, after casting the composite solution on a substrate, removing the solvent by a drying treatment. A method of manufacturing a composite film for a gas sensor, the method comprising:

【0008】また、前記第1工程においては、ポリアン
トラニル酸の粉末を所定の温度及び時間で熱処理するこ
とによりカルボン酸(−COOH)を除去して塩基型ポ
リアニリン又はその誘導体を生成することができる。さ
らに、前記第3工程において、前記複合溶液を基板にキ
ャストする前又は後に、該基板に電極を形成するように
してもよい。
[0008] In the first step, the carboxylic acid (-COOH) is removed by heat-treating the polyanthranilic acid powder at a predetermined temperature and time to produce a basic polyaniline or a derivative thereof. . Further, in the third step, before or after the composite solution is cast on a substrate, an electrode may be formed on the substrate.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るガスセンサ用
複合膜、ガスセンサ及びガスセンサ用複合膜の製造方法
について、図面を参照しながら具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A composite membrane for a gas sensor, a gas sensor, and a method for manufacturing a composite membrane for a gas sensor according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【0010】図1は、本発明に係るガスセンサ用複合膜
を模式的に示した図である。図1の複合膜は、導電性ポ
リマー1及び絶縁性ポリマー2を材料として含む。この
ような複合膜は、CO2ガスの濃度により複合膜の電気
伝導度が変化するような特性を有する。したがって、図
1の複合膜に電極を形成して電気伝導度を測定すること
により、雰囲気中のCO2ガスの濃度を測定可能なガス
センサが得られる。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a composite film for a gas sensor according to the present invention. 1 includes a conductive polymer 1 and an insulating polymer 2 as materials. Such a composite film has such characteristics that the electrical conductivity of the composite film changes depending on the concentration of CO 2 gas. Therefore, a gas sensor capable of measuring the concentration of CO 2 gas in the atmosphere can be obtained by forming an electrode on the composite film of FIG. 1 and measuring the electric conductivity.

【0011】導電性ポリマー1としては、例えば、塩基
型ポリアニリン(PAn)又はその誘導体を用いること
ができる。導電性ポリマー1の材料としては、ポリアニ
リンのようなイオン性ポリマー、ポリピロールなどの複
素環ポリマーや、ポリパラフェニレンなどのポリフェニ
レン系ポリマー等適宜のものを用いることができる。具
体的な材料名としては、例えば、ポリピロール、ポリパ
ラフェニレン、ポリチオフェン、ポリペリナフタレンな
どが考えられる。なお、複合膜を形成するためには導電
性ポリマー1を溶媒に溶解させる必要があるので、導電
性ポリマー1としては、溶解性に優れるものが望まし
い。
As the conductive polymer 1, for example, basic polyaniline (PAn) or a derivative thereof can be used. As the material of the conductive polymer 1, an appropriate material such as an ionic polymer such as polyaniline, a heterocyclic polymer such as polypyrrole, or a polyphenylene-based polymer such as polyparaphenylene can be used. Specific examples of the material name include polypyrrole, polyparaphenylene, polythiophene, and polyperinaphthalene. In order to form a composite film, it is necessary to dissolve the conductive polymer 1 in a solvent, and therefore, the conductive polymer 1 preferably has excellent solubility.

【0012】絶縁性ポリマー2としては、例えば、次式
(I)に示すポリビニルアルコール(PVA)、次式(I
I)に示すポリアクリル酸(PAA)、次式(III)に示
すポリビニルピロリドン(PVP)等を用いることがで
きる。なお、絶縁性ポリマー2としては、これらに限定
されず、絶縁性で、吸湿性及び溶解性のあるポリマーを
適宜用いることができる。
Examples of the insulating polymer 2 include polyvinyl alcohol (PVA) represented by the following formula (I) and the following formula (I)
Polyacrylic acid (PAA) shown in I), polyvinylpyrrolidone (PVP) shown in the following formula (III), and the like can be used. The insulating polymer 2 is not limited to these, and an insulating, hygroscopic, and soluble polymer can be used as appropriate.

【化1】 Embedded image

【0013】以下の実施の形態では、複合膜の材料の一
例として、塩基型PAn及びPVAを用いる場合につい
て説明するが、他の導電性ポリマー1及び絶縁性ポリマ
ー2の材料を適宜用いてもよい。
In the following embodiments, the case where basic PAn and PVA are used as an example of the material of the composite film will be described. However, other materials of the conductive polymer 1 and the insulating polymer 2 may be appropriately used. .

【0014】図2は、ガスセンサ及びガスセンサ用複合
膜の製造方法についての説明図である。以下、この図を
用いてガスセンサ複合膜の製法を説明する。なお、材料
の量、温度、時間等は、適宜設定することができる。
FIG. 2 is an explanatory view of a method of manufacturing a gas sensor and a composite film for a gas sensor. Hereinafter, the manufacturing method of the gas sensor composite film will be described with reference to this drawing. The amount, temperature, time, and the like of the material can be set as appropriate.

【0015】ポリアントラニル酸(PANA)は、自己
ドープポリアニリンの一つとして知られており、ポリア
ニリン(PAn)と同様に、化学重合法により調製され
る。具体的には、次式(IV)に示すモノマーのアントラ
ニル酸50mMを含む硫酸水溶液(200mL)中に、
酸化剤として0.2M過硫酸アンモニウム[(NH4)2S
2O8](100mL)を加え、48時間室温で撹拌した。
[0015] Polyanthranilic acid (PANA) is known as one of self-doped polyanilines, and is prepared by a chemical polymerization method, similarly to polyaniline (PAN). Specifically, in a sulfuric acid aqueous solution (200 mL) containing 50 mM of anthranilic acid, a monomer represented by the following formula (IV),
0.2 M ammonium persulfate [(NH 4 ) 2 S
2 O 8 ] (100 mL) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 48 hours.

【化2】 Embedded image

【0016】さらに、ろ過及び洗浄の後、真空乾燥して
次式(V)に示すPANA粉末を得た(ステップS
1)。
Further, after filtration and washing, vacuum drying was performed to obtain a PANA powder represented by the following formula (V) (Step S):
1).

【化3】 Embedded image

【0017】次に、PANA粉末を、ヘリウム雰囲気下
で所定温度及び所定時間(例えば、250℃で2h又は
280℃で2h又は280℃で8h)で熱処理して脱カ
ルボン酸(−4CO2)した(ステップS2)。以上の
処理により、次式(VI)で示す塩基型ポリアニリン(P
An)が得られた。
Next, the PANA powder is heat-treated in a helium atmosphere at a predetermined temperature and a predetermined time (for example, 250 ° C. for 2 hours, 280 ° C. for 2 hours, or 280 ° C. for 8 hours) to decarboxylate (-4CO 2 ). (Step S2). By the above treatment, the basic polyaniline (P) represented by the following formula (VI)
An) was obtained.

【化4】 Embedded image

【0018】ステップS2でPAnが得られると、次
に、PAnをジメチルスルホキジド(DMSO)に溶解
した後、これを、式(I)で示されたポリビニルアルコ
ール(PVA)のDMSO溶液に混合して複合溶液を生
成する(ステップS3)。なお、複合溶液中のPAnと
PVAとの重量比は、1:6程度が望ましい。この程度
に重量比を設定すると、複合溶液から生成される複合膜
は、絶縁性から導電性に移行する。
When PAn is obtained in step S2, the PAn is then dissolved in dimethyl sulfoxide (DMSO) and mixed with a solution of polyvinyl alcohol (PVA) of formula (I) in DMSO. To generate a composite solution (step S3). The weight ratio between PAn and PVA in the composite solution is preferably about 1: 6. When the weight ratio is set to this extent, the composite film formed from the composite solution shifts from insulating to conductive.

【0019】つぎに、複合溶液を、図2に示すように、
ガラス等の基板11上に形成された微小白金くし型等の
電極12にキャストした後、真空乾燥により溶媒を除去
してガスセンサ複合膜及びガスセンサ10を作製する
(ステップS4)。基板11及び電極12は、適宜の材
料及び形状を用いることができる。なお、電極12は、
複合溶液をキャスティングした後に形成しても良い。作
製されたガスセンサ10に、ガルバノスタット(定電流
装置)等の測定装置14を利用して、直流二端子法等に
より電気伝導度、電流又は電圧を測定することで、CO
2ガス濃度を測定することができる。
Next, as shown in FIG.
After casting on a fine platinum comb-shaped electrode 12 formed on a substrate 11 such as glass, the solvent is removed by vacuum drying to produce the gas sensor composite film and the gas sensor 10 (step S4). The substrate 11 and the electrode 12 can be made of appropriate materials and shapes. In addition, the electrode 12
It may be formed after casting the composite solution. By using a measuring device 14 such as a galvanostat (constant current device) to measure the electrical conductivity, current or voltage of the produced gas sensor 10 by a DC two-terminal method or the like, CO 2
2. Gas concentration can be measured.

【0020】つぎに、本発明に係るガスセンサ用複合膜
がCO2を吸収する原理について説明する。図3に、ガ
スセンサ用複合膜によるCO2の吸収についての説明図
を示す。ガスセンサ用複合膜中のPVA(絶縁性ポリマ
ー2)は、吸湿性が高いため、複合膜中にはかなりの水
(H2O)分子が含まれている。このH2O分子とCO2
ガスとの解離平衡により、次式(VII)のように、炭酸水
素イオン(HCO3 -)が生成される。
Next, the principle of absorbing CO 2 by the composite film for a gas sensor according to the present invention will be described. FIG. 3 is a diagram illustrating the absorption of CO 2 by the composite membrane for a gas sensor. Since PVA (insulating polymer 2) in the composite film for a gas sensor has high hygroscopicity, considerable water (H 2 O) molecules are contained in the composite film. This H 2 O molecule and CO 2
By dissociation equilibrium with the gas, hydrogen carbonate ions (HCO 3 ) are generated as in the following formula (VII).

【化5】 Embedded image

【0021】このHCO3 -は、複合膜中の塩基型PAn
(導電性ポリマー1)にドーピングされる。より詳しく
は、図示のように、HCO3 -は、塩基型PAn中のN+
イオンと結合する。このような結合は、複合膜中に空の
サイト(N原子)が多いほど、起こりやすくなり、HC
3 -とN+イオンとの結合が多く起こるほど、CO2ガス
への応答感度も高くなる。上述したように、PANAを
280℃で8hで熱処理すると、空のサイトを数多くも
った塩基型PAnが生成されるため、CO2を効率よく
吸着することができる。なお、塩基型PAnは、本来は
絶縁性であるが、HCO3 -をドープすることにより導電
性に変化する。すなわち、塩基型PAnを含む複合膜に
HCO3 -をドープすると、電気伝導度が変化する。した
がって、複合膜の電気伝導度を測定することで、CO2
ガスの濃度を精度よく測定できる。
This HCO 3 - is used as a base type PAn in the composite membrane.
(Conductive polymer 1) is doped. More specifically, as shown, HCO 3 is N + in basic PAn.
Combines with ions. Such binding is more likely to occur as the number of empty sites (N atoms) in the composite membrane increases, and HC
The more bonds between O 3 and N + ions occur, the higher the response sensitivity to CO 2 gas. As described above, when PANA is heat-treated at 280 ° C. for 8 hours, a base-type PAn having many empty sites is generated, so that CO 2 can be adsorbed efficiently. The basic PAn is originally insulating, but changes to a conductive state by doping with HCO 3 . That is, when HCO 3 is doped into a composite film containing basic PAn, the electric conductivity changes. Therefore, by measuring the electrical conductivity of the composite membrane, CO 2
Gas concentration can be measured accurately.

【0022】つぎに、本発明に係るガスセンサ用複合膜
及びガスセンサの特性について説明する。なお、特性を
調べるにあたり、一例として、ガスセンサを、真空系に
連結したCO2ガス濃度と湿度が調製可能な測定セルに
設置して、測定を行った。
Next, the characteristics of the composite film for a gas sensor and the gas sensor according to the present invention will be described. In examining the characteristics, as an example, a gas sensor was installed in a measurement cell connected to a vacuum system and capable of adjusting the CO 2 gas concentration and humidity, and measurement was performed.

【0023】図4は、PANA粉末の熱処理条件と電気
伝導度との関係を示す図である。図示のように、熱処理
温度が高いほど、また熱処理時間が長いほど、電気伝導
度は低くなる。これは、熱処理温度が高くて熱処理時間
が長いほど、PANAからの脱カルボン酸化が促進する
ためと考えられる。
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the heat treatment conditions of the PANA powder and the electrical conductivity. As shown, the higher the heat treatment temperature and the longer the heat treatment time, the lower the electric conductivity. This is probably because the higher the heat treatment temperature and the longer the heat treatment time, the more the decarboxylation from PANA is promoted.

【0024】図5に、PANAのフーリエ変換赤外吸収
スペクトル図(FTIR(Fourier Transformation Infr
a Red)吸収スペクトル図)を示す。この図は、図2のス
テップS2でPANAを熱処理したときのFTIR吸収
スペクトル図であり、図示の横軸は波数(cm-1)、縦軸
は透過率(a.u.)を表している。図中の波形aは熱処理
を行わなかった場合の未熱処理試料のスペクトル、波形
bは250℃で2hの熱処理を行った場合のスペクト
ル、波形cは280℃で8hの熱処理を行った場合のス
ペクトルである。
FIG. 5 shows a Fourier transform infrared absorption spectrum (FTIR) of PANA.
a Red) absorption spectrum. This diagram is an FTIR absorption spectrum diagram when the PANA is heat-treated in step S2 in FIG. 2, where the horizontal axis indicates the wave number (cm -1 ) and the vertical axis indicates the transmittance (au). The waveform a in the figure is the spectrum of the unheated sample without heat treatment, the waveform b is the spectrum when heat treatment is performed at 250 ° C. for 2 hours, and the waveform c is the spectrum when heat treatment is performed at 280 ° C. for 8 hours. It is.

【0025】波形aに見られる波数1690 cm-1と1450 cm
-1の吸収は、−COOHのC=OとC−Oの伸縮振動に
起因する。また、波数1570 cm-1と1380 cm-1の吸収は、
解離型−COO-の対称及び非対称振動に帰属される。
一方、波数1600 cm-1、1500 cm-1及び1250 cm-1の吸収
は、化学的に合成したPAnの一般的なスペクトルにも
見られ、それぞれ、ポリマー骨格中のキノン(Q)、ベ
ンゼン(B)ユニットの環伸縮振動とC−N伸縮振動に
帰属される。また、上述した2種のカルボキシル基(−
COOH、−COO-)による4本の吸収ピークはいず
れも、熱処理温度が高くなるほど、また熱処理時間が長
くなるほど、分解脱離により減少する。例えば、波形c
では、上述した4本の吸収ピークはほとんど消失し、ほ
ぼポリマー主鎖のみに起因したスペクトルになる。つま
り、PANAからカルボン酸(−COOH)が脱離し、
塩基型のPAnを生じたことを示す。
Wave numbers 1690 cm -1 and 1450 cm seen in waveform a
The absorption of -1 is caused by the stretching vibration of C = O and -CO of -COOH. Also, the absorption at wave numbers 1570 cm -1 and 1380 cm -1 is
It is attributed to the symmetric and asymmetric vibrations of the dissociated -COO-.
On the other hand, absorptions at wave numbers of 1600 cm -1 , 1500 cm -1 and 1250 cm -1 are also found in the general spectrum of chemically synthesized PAn, and quinone (Q) and benzene ( B) It is attributed to the ring stretching vibration and the CN stretching vibration of the unit. Further, the above-mentioned two carboxyl groups (-
COOH, -COO - none 4 absorption peaks of this is due to), as the heat treatment temperature becomes higher, and as the heat treatment time becomes longer, decreasing the decomposition desorption. For example, waveform c
In this case, the four absorption peaks described above almost disappear, and the spectrum becomes almost due to only the polymer main chain. That is, carboxylic acid (—COOH) is eliminated from PANA,
This indicates that a base type PAn was generated.

【0026】図6は、PANAを熱処理する過程で化学
式が変化する様子を示す説明図である。同図に示すよう
に、熱処理温度が250℃の場合には、PANAからカ
ルボキシル基(−COOH)が脱離し、熱処理温度を2
80℃まで上げると、さらにカルボキシル基(−COO
-)が脱離し、その温度で8h熱処理を継続すると、さ
らに自己ドープしたカルボキシル基(−COO-)が脱
離して、最終的に塩基型PAnが得られる。
FIG. 6 is an explanatory view showing how the chemical formula changes during the heat treatment of PANA. As shown in the figure, when the heat treatment temperature is 250 ° C., the carboxyl group (—COOH) is eliminated from PANA, and the heat treatment temperature is reduced to 2 ° C.
When the temperature was raised to 80 ° C, the carboxyl group (-COO)
-) is eliminated, when continued 8h heat treatment at that temperature for additional self-doping carboxyl group (-COO -) is eliminated, eventually base form PAn is obtained.

【0027】図7は、それぞれ異なる温度及び時間でP
ANAを熱処理して形成された複数の複合膜のそれぞれ
について、CO2ガス濃度に対する電気伝導度の変化を
プロットした図である。図中の三角プロットは250℃
で2hの熱処理を行った場合、四角プロットは280℃
で2hの熱処理を行った場合、黒丸プロットは280℃
で8hの熱処理を行った場合の測定結果を示している。
なお、熱処理を行わなかった場合は、CO2ガス濃度に
対する電気伝導度の変化は、ほとんど見られない。
FIG. 7 shows that P at different temperatures and times.
FIG. 6 is a diagram in which a change in electrical conductivity with respect to a CO 2 gas concentration is plotted for each of a plurality of composite films formed by heat-treating ANA. The triangle plot in the figure is 250 ° C
When heat treatment was performed for 2 hours at 280 ° C.
When the heat treatment is performed for 2 hours at 280 ° C.
3 shows the measurement results when the heat treatment was performed for 8 hours.
When the heat treatment was not performed, there was almost no change in the electrical conductivity with respect to the CO 2 gas concentration.

【0028】図示のように、PANAの熱処理温度が高
く、かつ熱処理時間が長くなるにつれて、複合膜のCO
2ガスに対する応答感度が高くなる結果が得られた。具
体的には、280℃で8h熱処理したPANAとPVA
との複合膜の電気伝導度は、50〜104ppmまでのガス
濃度に対して、5.95×10-5から6.04×10 -3
Scm-1まで2桁にわたる直線的な変化を示した。CO2
ガス濃度がゼロの場合の複合膜の電気伝導度の湿度依存
性は、0〜100%RHまではほとんど見られない(5
×10-5Scm-1)。
As shown, the heat treatment temperature of PANA is high.
And the heat treatment time becomes longer, the CO
TwoThe result showed that the response sensitivity to gas became higher. Ingredient
Physically, PANA and PVA heat-treated at 280 ° C for 8 hours
And the electrical conductivity of the composite film is 50 to 10FourGas up to ppm
5.95 × 10 with respect to concentration-FiveFrom 6.04 × 10 -3
Scm-1Up to two orders of magnitude. COTwo
Humidity dependence of electrical conductivity of composite membranes at zero gas concentration
Sex is hardly seen from 0 to 100% RH (5
× 10-FiveScm-1).

【0029】図8は、ガスセンサの電気伝導度の湿度依
存性を示す図である。図中の横軸はCO2ガスの濃度
(ppm)、縦軸は電気伝導度(Scm-1)であり、図中
の白丸プロットは湿度が30%RHのときの電気伝導
度、菱形プロットは湿度が50%RHのときの電気伝導
度、三角プロットは湿度が70%RHのときの電気伝導
度を示している。図示のように、湿度が低いほど、電気
伝導度の変化が大きく、ガスセンサとしての感度が高い
ことがわかる。
FIG. 8 is a diagram showing the humidity dependence of the electric conductivity of the gas sensor. The horizontal axis in the figure is the concentration of CO 2 gas (ppm), the vertical axis is the electric conductivity (Scm −1 ), the open circle plot in the figure is the electric conductivity when the humidity is 30% RH, and the rhombic plot is The electric conductivity when the humidity is 50% RH, and the triangular plot shows the electric conductivity when the humidity is 70% RH. As shown in the drawing, it can be seen that the lower the humidity, the greater the change in electrical conductivity and the higher the sensitivity as a gas sensor.

【0030】一方、図9は、ガスセンサについての湿度
と電気伝導度との関係を示す図であり、横軸は湿度(%
RH)、縦軸は電気伝導度(Scm-1)である。図9
(A)は、一定湿度を調整する際に通常の水(若干CO
2を溶解している)を用いた場合、図9(B)は、一定
湿度を調整する際に通常の水とCO2を完全に脱ガスし
た水とを用いた場合の比較を、それぞれ示す。
FIG. 9 is a graph showing the relationship between the humidity and the electric conductivity of the gas sensor. The horizontal axis represents the humidity (%).
RH), and the vertical axis indicates electric conductivity (Scm -1 ). FIG.
(A) shows that ordinary water (slightly CO
When using dissolved 2), FIG. 9 (B), a comparison of the case of using the water completely degassed ordinary water and CO 2 when adjusting the constant humidity, respectively .

【0031】図9(A)では、白丸プロットは複合膜の
雰囲気を加湿して測定した場合、黒丸プロットはそれを
除湿して測定した場合の測定結果を示す。ここでは、P
ANAを280℃で8h熱処理し、ある湿度を与えるた
めに通常の水(CO2が若干溶解している)を用いた場
合を示している。この複合膜の電気伝導度の湿度依存性
は、0〜40%RHまでは、ほとんどみられず(5×1
-5Scm-1)、40%以上から湿度と共に上昇し、95
%では3×10-3Scm-1であった。これは、通常の水の
中に若干溶解しているCO2の影響である。そこで、一
定の湿度を与える際に用いた水からCO2を脱ガスした
水を用いて、図9(A)と同様のような測定を行い、通
常の水を用いた場合と比較した。
In FIG. 9A, a white circle plot shows a measurement result when the atmosphere of the composite film is humidified, and a black circle plot shows a measurement result when the atmosphere is dehumidified. Here, P
The figure shows a case where ANA is heat-treated at 280 ° C. for 8 hours, and ordinary water (in which CO 2 is slightly dissolved) is used to give a certain humidity. The humidity dependence of the electrical conductivity of this composite membrane is hardly observed from 0 to 40% RH (5 × 1
0 -5 Scm -1 ), rising from 40% or more with humidity to 95%
% Was 3 × 10 −3 Scm −1 . This is due to the effect of the CO 2 being slightly dissolved in normal water. Therefore, the same measurement as in FIG. 9A was performed using water in which CO 2 was degassed from water used when applying a constant humidity, and compared with the case where normal water was used.

【0032】図9(B)では、白丸プロットと黒丸プロ
ットは、CO2を脱ガスした水を用いた水を用いて湿度
を変えて電気伝導度を測定したものである。一方、白三
角プロット、黒三角プロット、白四角プロット及び黒四
角プロットは通常の水を用いた場合の測定結果をそれぞ
れ示している。なお、白丸プロット、白三角プロット、
白四角プロットは、複合膜の雰囲気を加湿して測定した
場合であり、黒丸プロット、黒三角プロット、黒四角プ
ロットは、それを除湿して測定した場合である。また、
白三角プロットと黒三角プロットは、PANAを熱処理
しなかった場合であり、白丸プロット、黒丸プロット、
白四角プロット及び黒四角プロットは、PANAを28
0℃で8h熱処理した場合である。
In FIG. 9B, open circle plots and black circle plots are obtained by measuring electric conductivity while changing humidity using water using CO 2 degassed water. On the other hand, open triangle plots, closed triangle plots, open square plots, and closed square plots respectively show measurement results when ordinary water is used. In addition, open circle plot, open triangle plot,
White square plots are obtained when the atmosphere of the composite film is humidified and measured, and black circle plots, black triangle plots, and black square plots are obtained when the atmosphere is dehumidified and measured. Also,
Open triangle plots and solid triangle plots are obtained when PANA was not heat-treated.
The white and black square plots indicate that PANA was 28.
This is the case where heat treatment was performed at 0 ° C. for 8 hours.

【0033】図9(B)と図9(A)とを比較すると明
らかなように、一定の湿度を与える際に用いた水からC
2を脱ガスした場合には、湿度によらず、低い一定の
電気伝導度(3×10-5Scm-1)が得られた。すなわ
ち、塩基型PAnの電気伝導度は湿度に依存せず、CO
2のみに応答することが分かる。
As is clear from a comparison between FIG. 9B and FIG. 9A, C
When O 2 was degassed, a low and constant electric conductivity (3 × 10 −5 Scm −1 ) was obtained regardless of humidity. That is, the electric conductivity of the basic PAn does not depend on the humidity,
It turns out that it responds only to 2 .

【0034】図10は、ガスセンサの応答性を示す図で
あり、横軸は時間、縦軸は電流である。同図は、ガスセ
ンサに対して、CO2とH2Oの混合ガスを断続的に供給
した場合に、ガスセンサで検出される電流の変化を示し
ている。図中の上矢印はガスの供給開始時刻、下矢印は
ガスの供給停止時刻を表している。ガスの供給を開始し
てから平衡値の90%の電流が流れるまでに29秒かか
り、また、ガスの供給を停止してからガスセンサに流れ
る電流がゼロになるまでに60秒かかった。図10から
わかるように、本発明のガスセンサ用複合膜は、断続的
にガスを供給した場合でも、応答性よくCO2ガスの濃
度を測定することができる。すなわち、本発明のガスセ
ンサ用複合膜は、CO2ガスの測定を連続的に行って
も、精度良く測定することができる。
FIG. 10 is a diagram showing the response of the gas sensor. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents current. This figure shows a change in current detected by the gas sensor when a mixed gas of CO 2 and H 2 O is intermittently supplied to the gas sensor. In the figure, the upper arrow indicates the gas supply start time, and the lower arrow indicates the gas supply stop time. It took 29 seconds from the start of the gas supply until a current of 90% of the equilibrium value flowed, and it took 60 seconds from the stop of the gas supply until the current flowing to the gas sensor became zero. As can be seen from FIG. 10, the composite membrane for a gas sensor of the present invention can measure the concentration of the CO 2 gas with good responsiveness even when the gas is intermittently supplied. In other words, the composite membrane for a gas sensor of the present invention can accurately measure the CO 2 gas even if the measurement is continuously performed.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明では、以上のように、例えば、C
2ガスとPVAが保持している水との反応によりHC
3 -を生成し、生成されたHCO3 -をドーパントとして
塩基型PAnに取り込んで複合膜の電気伝導度を変化さ
せる。そのため、本発明によると、ガスセンサ複合膜の
電気伝導度を測定することにより、CO2ガスの濃度を
精度よく測定することができる。特に、本発明による
と、室温でCO2ガスの濃度を精度よく測定でき、ま
た、CO2ガスの濃度測定を長時間にわたり連続的に行
うことができる。
According to the present invention, as described above, for example, C
The reaction between O 2 gas and water held by PVA causes HC
O 3 is generated, and the generated HCO 3 is taken into a basic PAn as a dopant to change the electrical conductivity of the composite film. Therefore, according to the present invention, the concentration of the CO 2 gas can be accurately measured by measuring the electric conductivity of the gas sensor composite film. In particular, according to the present invention, at room temperature the concentration of CO 2 gas can be accurately measured and the concentration measurement of the CO 2 gas can carried out continuously for a long time.

【0036】また、本発明によると、熱処理温度と熱処
理時間を適正値に設定することにより、CO2ガス濃度
に対する複合膜の電気伝導度の変化の度合いを大きくす
ることができ、ガスセンサの感度を向上できる。また、
塩基型PAnの電気伝導度は、CO2が存在しなけれ
ば、湿度に依存せず一定である。したがって、高湿度あ
るいは低湿度条件においてもCO2ガス濃度を高い精度
で測定することができる。
Further, according to the present invention, by setting the heat treatment temperature and the heat treatment time to appropriate values, the degree of change in the electrical conductivity of the composite film with respect to the CO 2 gas concentration can be increased, and the sensitivity of the gas sensor can be increased. Can be improved. Also,
The electric conductivity of the basic PAn is constant irrespective of humidity if no CO 2 is present. Therefore, the CO 2 gas concentration can be measured with high accuracy even under high or low humidity conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るガスセンサ用複合膜を模式的に示
した図。
FIG. 1 is a view schematically showing a composite film for a gas sensor according to the present invention.

【図2】ガスセンサ及びガスセンサ用複合膜の製造方法
についての説明図。
FIG. 2 is a diagram illustrating a method for manufacturing a gas sensor and a composite film for a gas sensor.

【図3】HCO3 -が塩基型ポリアニリン中のN+イオン
と結合する様子を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a state in which HCO 3 binds to N + ions in a basic polyaniline.

【図4】PANA粉末の熱処理温度と電気伝導度との関
係を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a heat treatment temperature and electric conductivity of PANA powder.

【図5】PANAのFTIR吸収スペクトル図。FIG. 5 is an FTIR absorption spectrum of PANA.

【図6】PANAを熱処理する過程で化学式が変化する
様子を示す説明図。
FIG. 6 is an explanatory view showing a state in which a chemical formula changes in the process of heat-treating PANA.

【図7】CO2ガス濃度に対する電気伝導度の変化をプ
ロットした図。
FIG. 7 is a diagram plotting a change in electric conductivity with respect to a CO 2 gas concentration.

【図8】ガスセンサの電気伝導度の湿度依存性を示す
図。
FIG. 8 is a diagram showing humidity dependency of electric conductivity of a gas sensor.

【図9】ガスセンサの湿度と電気伝導度との関係を示す
図。
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between humidity and electric conductivity of a gas sensor.

【図10】ガスセンサの応答性を示す図。FIG. 10 is a diagram showing responsiveness of a gas sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 導電性ポリマー 2 絶縁性ポリマー 10 ガスセンサ 11 基板 12 電極 14 測定装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conductive polymer 2 Insulating polymer 10 Gas sensor 11 Substrate 12 Electrode 14 Measuring device

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】炭酸水素イオン(HCO3 -)をドーパント
として取り込み可能な導電性ポリマーと、 吸湿性で水を保持可能な絶縁性ポリマーとを含み、 炭酸ガス(CO2)と前記絶縁性ポリマーにより保持さ
れる水分子との反応によりHCO3 -が生成され、前記導
電性ポリマーによるHCO3 -の取り込み量により電気伝
導度が変化するようにしたガスセンサ用複合膜。
1. A carbon dioxide gas (CO 2 ) comprising a conductive polymer capable of taking in hydrogen carbonate ions (HCO 3 ) as a dopant, and an insulating polymer capable of retaining water and absorbing water. A composite membrane for a gas sensor, wherein HCO 3 is generated by a reaction with water molecules held by the polymer, and the electric conductivity changes according to the amount of HCO 3 − taken up by the conductive polymer.
【請求項2】前記導電性ポリマーは、熱処理したポリア
ントラニル酸、塩基型ポリアニリン又はその誘導体のい
ずれかであることを特徴とする請求項1に記載のガスセ
ンサ用複合膜。
2. The composite film for a gas sensor according to claim 1, wherein the conductive polymer is one of heat-treated polyanthranilic acid, basic polyaniline, and a derivative thereof.
【請求項3】前記導電性ポリマーは、HCO3 -を取り込
む前は絶縁性であり、HCO3 -を取り込むと導電性に変
化することを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセ
ンサ用複合膜。
Wherein said conductive polymer, HCO 3 - is the insulative before capturing, HCO 3 - complex for gas sensor according to claim 1 or 2, characterized in that changes to incorporate the electrically conductive film.
【請求項4】前記絶縁性ポリマーは、ポリビニルアルコ
ール、ポリビニルピロリドン、及びポリアクリル酸のい
ずれかであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれ
かに記載のガスセンサ用複合膜。
4. The composite film for a gas sensor according to claim 1, wherein the insulating polymer is any one of polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, and polyacrylic acid.
【請求項5】前記導電性ポリマーと前記絶縁性ポリマー
との重量比は、1:6程度であることを特徴とする請求
項1乃至4のいずれかに記載のガスセンサ用複合膜。
5. The composite film for a gas sensor according to claim 1, wherein a weight ratio of the conductive polymer to the insulating polymer is about 1: 6.
【請求項6】請求項1乃至5のいずれかに記載のガスセ
ンサ用複合膜と、 前記ガスセンサ用複合膜に形成された1対の電極とを備
えたガスセンサ。
6. A gas sensor comprising: the gas sensor composite film according to claim 1; and a pair of electrodes formed on the gas sensor composite film.
【請求項7】所定の温度及び時間で熱処理することによ
りカルボン酸(−COOH)を除去して導電性ポリマー
を生成する第1工程と、 前記導電性ポリマーを所定の溶媒に溶解した後、絶縁性
ポリマーを含む溶液と混合して複合溶液を生成する第2
工程と、 前記複合溶液を基板にキャストした後、乾燥処理により
溶媒を除去する第3工程とを含むガスセンサ用複合膜の
製造方法。
7. A first step of removing a carboxylic acid (—COOH) by performing a heat treatment at a predetermined temperature and time to form a conductive polymer; and dissolving the conductive polymer in a predetermined solvent, Second to form a composite solution by mixing with a solution containing a conductive polymer
A method for producing a composite film for a gas sensor, comprising: a step of, after casting the composite solution on a substrate, removing a solvent by a drying treatment.
【請求項8】前記第1工程において、ポリアントラニル
酸の粉末を所定の温度及び時間で熱処理することにより
カルボン酸を除去して塩基型ポリアニリン又はその誘導
体を生成することを特徴とする請求項7に記載のガスセ
ンサ用複合膜の製造方法。
8. The method according to claim 7, wherein in the first step, the polyanthranilic acid powder is heat-treated at a predetermined temperature and for a predetermined time to remove the carboxylic acid to produce a basic polyaniline or a derivative thereof. 3. The method for producing a composite film for a gas sensor according to 1.).
【請求項9】前記第3工程において、前記複合溶液を基
板にキャストする前又は後に、該基板に電極を形成する
ようにしたことを特徴とする請求項7又は8に記載のガ
スセンサ用複合膜の製造方法。
9. The composite film for a gas sensor according to claim 7, wherein an electrode is formed on the substrate before or after casting the composite solution on the substrate in the third step. Manufacturing method.
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