JP2000315421A - Copper conductive paste - Google Patents

Copper conductive paste

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JP2000315421A
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Shuji Matsumoto
修次 松本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide copper conductive paste having low specific resistance of a conductor capable of being sintered at not higher than 700 deg.C and securing sufficient adhesive strength to an insulator. SOLUTION: This copper conductive paste contains at least one of copper powder and copper oxide powder, and organic vehicle. A thermal decomposition temperature of resin in the organic vehicle of the paste in nitrogen is set 200-350 deg.C. With this composition, sintering density is improved in sintering at not higher than 700 deg.C, sufficient adhesive strength after heat aging is secured. Thus, excellent effects such as not only improved yields of products but also greatly improved reliability can be provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックなどの
絶縁体に塗布・焼成して、銅導電体パターンを形成する
ために用いる、銅導電性ペーストに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a copper conductive paste used for forming a copper conductor pattern by coating and firing on an insulator such as ceramic.

【0002】[0002]

【従来の技術】セラミック、ガラスなどの絶縁性基板上
に、スクリーン印刷や直接描画法などでAg−Pd系導
電性ペーストを所定のパターンで塗布し焼成すること
で、導電体パターンを形成する技術は、厚膜技術として
広く用いられている。最近、このような厚膜技術におい
て、従来のAg−Pd系導電性ペーストに代わって銅導
電性ペーストが用いられる傾向にある。これは、銅導電
体は抵抗が低く耐マイグレーション性に優れており、微
細回路の配線パターンの形成が可能なためである。
2. Description of the Related Art A technique for forming a conductor pattern by applying a predetermined pattern of an Ag-Pd-based conductive paste on an insulating substrate such as ceramic or glass by screen printing or a direct drawing method and firing the paste. Is widely used as a thick film technology. Recently, in such a thick film technique, a copper conductive paste has tended to be used instead of the conventional Ag-Pd-based conductive paste. This is because the copper conductor has low resistance and excellent migration resistance, and can form a wiring pattern of a fine circuit.

【0003】一般に、この銅導電性ペーストは、銅粉末
または酸化銅粉末を、必要に応じてガラスフリットとと
もに、有機ビビクル中に分散させてなるものである。銅
粉末または酸化銅粉末は、非酸化性雰囲気中で焼成する
ことにより、焼結して厚膜の導電体を形成する。なお、
ガラスフリットは、この導電体の基板への接着強度を向
上させる作用がある。また、有機ビヒクルは、これら銅
または酸化銅の粉末を基板へ塗布可能とするための有機
液体媒体であり、溶剤中に樹脂を溶解させたものであ
る。
Generally, this copper conductive paste is obtained by dispersing copper powder or copper oxide powder in an organic vehicle together with glass frit as required. The copper powder or the copper oxide powder is sintered in a non-oxidizing atmosphere to form a thick-film conductor. In addition,
The glass frit has an effect of improving the adhesive strength of the conductor to the substrate. The organic vehicle is an organic liquid medium that enables the copper or copper oxide powder to be applied to a substrate, and is obtained by dissolving a resin in a solvent.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述のとおり、銅導電
性ペーストは、その有機ビヒクル中に樹脂を含有する。
そして、銅導電性ペーストは、絶縁性基板などに塗布し
た後、窒素ガス中などの非酸化性雰囲気中で焼成される
ものである。この焼成温度が900℃前後の比較的高温
の場合は、有機ビビクル中の樹脂は十分に分解・飛散
し、かつ、ペースト中の銅原子には十分な駆動力が与え
られるため、緻密な焼成膜が得られる。
As described above, the copper conductive paste contains a resin in its organic vehicle.
The copper conductive paste is applied to an insulating substrate or the like and then fired in a non-oxidizing atmosphere such as a nitrogen gas. When the firing temperature is relatively high, around 900 ° C., the resin in the organic vehicle is sufficiently decomposed and scattered, and the copper atoms in the paste are given a sufficient driving force, so that a dense fired film is obtained. Is obtained.

【0005】しかしながら、熱により特性が影響を受け
やすい、たとえば抵抗体などが絶縁性基板上にある場合
は、銅導電性ペーストを、たとえば700℃以下の低温
で焼成する必要がある。この場合、有機ビヒクル中の樹
脂の分解温度が高いと、焼成後の膜中に樹脂分が残留し
焼結を阻害する。そして、焼成温度が低温であるため、
十分な拡散駆動力を与えることができず、緻密な焼成膜
を得ることができない。このため、セラミックなどの絶
縁体に、銅導電性ペーストを塗布・焼成して導電体を形
成した場合、導電体の比抵抗が高くなり、導電体の絶縁
体に対する十分な接着強度が得られず、特に熱エージン
グ後における接着強度の低下が起こる結果、得られる製
品の歩留りが低下し、信頼性に欠けるという問題点を有
していた。
However, when characteristics are easily affected by heat, for example, when a resistor or the like is on an insulating substrate, it is necessary to fire the copper conductive paste at a low temperature of, for example, 700 ° C. or less. In this case, if the decomposition temperature of the resin in the organic vehicle is high, the resin component remains in the fired film and inhibits sintering. And since the firing temperature is low,
A sufficient diffusion driving force cannot be given, and a dense fired film cannot be obtained. For this reason, when a conductor is formed by applying and baking a copper conductive paste to an insulator such as a ceramic, the specific resistance of the conductor increases, and a sufficient adhesive strength of the conductor to the insulator cannot be obtained. In particular, as a result of the decrease in the adhesive strength after heat aging, the yield of the obtained product is reduced, and there is a problem that the reliability is lacking.

【0006】そこで、本発明の目的は、上記問題点を解
決して、導電体の比抵抗が低く、絶縁体に対して十分な
接着強度を確保することができる、700℃以下で焼成
可能な、銅導電性ペーストを提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a conductor having a low specific resistance and a sufficient adhesive strength to an insulator. To provide a copper conductive paste.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の銅導電性ペーストは、銅粉末および酸化銅
粉末から選ばれる少なくとも1種と、有機ビヒクルとを
含有する銅導電性ペーストにおいて、該有機ビヒクル中
の樹脂の窒素中における熱分解温度が200〜350℃
であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a copper conductive paste of the present invention is a copper conductive paste containing at least one selected from copper powder and copper oxide powder, and an organic vehicle. The thermal decomposition temperature of the resin in the organic vehicle in nitrogen is 200 to 350 ° C.
It is characterized by being.

【0008】また、前記銅導電性ペーストは、700℃
以下で焼成されることを特徴とする。
[0008] The copper conductive paste is heated to 700 ° C.
It is characterized by being fired below.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明の銅導電性ペーストは、銅
粉末および/または酸化銅粉末が有機ビヒクルに分散さ
れたものであって、この有機ビヒクル中の樹脂の窒素中
での熱分解温度が200〜350℃の範囲内にある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The copper conductive paste of the present invention is obtained by dispersing copper powder and / or copper oxide powder in an organic vehicle, and has a thermal decomposition temperature of resin in the organic vehicle in nitrogen. Is in the range of 200 to 350 ° C.

【0010】このように、銅導電性ペースト中に含まれ
る樹脂が、200〜350℃と焼成時の早い段階で分解
するため、700℃以下の温度で焼成したときに残留し
て焼結の阻害とならず、焼結密度が上昇することによっ
て、導電体の抵抗を下げ、熱エージング後の接着強度低
下を抑えることができる。
As described above, since the resin contained in the copper conductive paste is decomposed at a temperature of 200 to 350 ° C. at an early stage of firing, the resin remains when fired at a temperature of 700 ° C. or less and inhibits sintering. In addition, the increase in the sintering density can reduce the resistance of the conductor and suppress the decrease in the adhesive strength after thermal aging.

【0011】なお、導電性ペースト中の樹脂の分解温度
が200℃より低いと、ペーストを塗布した後の乾燥中
に樹脂が分解し、乾燥塗膜の強度が十分に得られず、焼
成までの取り扱い時に、配線パターンが損傷する場合が
ある。一方、有機ビヒクル中の樹脂の分解温度が350
℃より高いと、樹脂分が残留し、700℃以下の低温焼
成においては焼成膜が十分に緻密化できない。したがっ
て、有機ビヒクル中の樹脂の分解温度は200〜350
℃の範囲が好ましい。
When the decomposition temperature of the resin in the conductive paste is lower than 200 ° C., the resin is decomposed during drying after the paste is applied, and the strength of the dried coating film cannot be sufficiently obtained. The wiring pattern may be damaged during handling. On the other hand, the decomposition temperature of the resin in the organic vehicle is 350
If the temperature is higher than 0 ° C, the resin component remains, and the fired film cannot be sufficiently densified at a low temperature of 700 ° C or lower. Therefore, the decomposition temperature of the resin in the organic vehicle is 200-350.
C. is preferred.

【0012】そして、用いる樹脂としては、たとえばエ
チルセルロース樹脂、ポリビニルアルコール、アクリル
系樹脂などが挙げられるが、樹脂の種類で特に限定され
るものではなく、その樹脂の窒素中における熱分解温度
が200〜350℃の範囲内にあることが必要である。
The resin used includes, for example, ethyl cellulose resin, polyvinyl alcohol, and acrylic resin. However, the type of the resin is not particularly limited, and the thermal decomposition temperature of the resin in nitrogen is 200 to 200. It must be in the range of 350 ° C.

【0013】また、溶剤としては、たとえば、テルピネ
オール、各種グリコール類、各種セロソルブ類、酢酸エ
ステル類などが挙げられるが、特に限定されるものでは
ない。樹脂の種類、塗布方法などとの兼ね合いで、適宜
選択して用いることができる。
Examples of the solvent include, but are not particularly limited to, terpineol, various glycols, various cellosolves, and acetates. It can be appropriately selected and used depending on the type of the resin, the coating method, and the like.

【0014】また、銅粉末または酸化銅粉末としては、
公知の各種銅粉が使用可能である。粉末の製造方法、形
状などに制限はないが、粒径はペースト化の容易性また
は印刷適性の点から、1〜10μmの銅または酸化銅の
粉末を用いるのが好ましい。
Further, as the copper powder or copper oxide powder,
Various known copper powders can be used. Although there is no limitation on the method for producing the powder, the shape, and the like, it is preferable to use a copper or copper oxide powder having a particle diameter of 1 to 10 μm from the viewpoint of ease of pasting or printability.

【0015】さらに、本発明の銅導電性ペーストは、塗
布・焼成後の基板への接着強度を上げるために、ガラス
フリットを加えた銅導電性ペーストとすることができ
る。この場合のガラスフリットとしては、特に限定され
るのもではなく、例えば、ホウケイ酸塩系や、ホウケイ
酸亜鉛系のガラスなどを適宜用いることができる。
Further, the copper conductive paste of the present invention can be a copper conductive paste to which glass frit is added in order to increase the adhesive strength to the substrate after coating and firing. The glass frit in this case is not particularly limited, and for example, borosilicate-based glass, zinc borosilicate-based glass, or the like can be used as appropriate.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明に係る銅導電性ペーストの実施
例を説明する。まず、導電性ペーストの有機ビヒクルの
1成分を構成する樹脂として、窒素中における熱分解温
度が異なる表1に示す5種類の樹脂を用意した。表1に
おいて、*印を付したものは、本発明の範囲外のもので
ある。
EXAMPLES Examples of the copper conductive paste according to the present invention will be described below. First, as a resin constituting one component of the organic vehicle of the conductive paste, five kinds of resins shown in Table 1 having different thermal decomposition temperatures in nitrogen were prepared. In Table 1, those marked with * are out of the scope of the present invention.

【0017】[0017]

【表1】 次に、ペースト組成として、銅粉末76重量%、酸化銅
粉末3重量%、ガラスフリット7重量%、有機ビヒクル
14重量%になるように秤量し、混練して銅導電性ペー
ストを作製した。なお、銅粉末としては平均粒径2μm
のものを、酸化銅粉末としては平均粒径1μmのものを
用いた。ガラスフリットとしては平均粒径3μmのホウ
ケイ酸鉛系のものを用いた。また、有機ビヒクルは表1
に示それぞれの樹脂をテルピネオール系溶剤またはアル
コール系溶剤で溶解したものを用いた。
[Table 1] Next, a copper conductive paste was prepared by weighing and kneading the paste composition so as to be 76% by weight of copper powder, 3% by weight of copper oxide powder, 7% by weight of glass frit, and 14% by weight of organic vehicle. The average particle size of the copper powder is 2 μm.
And a copper oxide powder having an average particle diameter of 1 μm. As the glass frit, a lead borosilicate glass material having an average particle size of 3 μm was used. Table 1 shows the organic vehicles.
Each of the resins shown in Table 1 was dissolved in a terpineol-based solvent or an alcohol-based solvent.

【0018】その後、これら銅導電性ペーストをアルミ
ナ基板上にスクリーン印刷法によって塗布し150℃で
10分間乾燥させた。さらに、窒素雰囲気中で最高温度
600℃で1時間焼成することにより、膜厚12μmの
銅導電体を形成した。
Thereafter, these copper conductive pastes were applied on an alumina substrate by a screen printing method and dried at 150 ° C. for 10 minutes. Further, by baking at a maximum temperature of 600 ° C. for 1 hour in a nitrogen atmosphere, a copper conductor having a thickness of 12 μm was formed.

【0019】次に、得られた導電体について、導体抵
抗、基板に対する初期および熱エージング後の接着強度
を測定した。その結果を表2に示す。なお、表2の試料
番号は表1の試料番号と対応しており、*印を付したも
のは、本発明の範囲外のものである。
Next, with respect to the obtained conductor, the conductor resistance and the adhesive strength to the substrate at the initial stage and after the heat aging were measured. Table 2 shows the results. The sample numbers in Table 2 correspond to the sample numbers in Table 1, and those marked with * are outside the scope of the present invention.

【0020】なお、導体抵抗(mΩ/□)は、長さ
(L)及び幅(W)が100:1の寸法関係(L/W=
100/1)を有する導電体パターンの2点間の抵抗値
を4端子法により測定し求めたものである。また、接着
強度(Kgf)は、銅導電性ペーストの焼成により形成
された導電体にリード線をはんだ付けして接続した後、
このリード線を引張ることによって求めた値である。す
なわち、235℃に温度調整されたAg入りのSn−P
b共晶はんだ中に2mm×2mmの大きさを有する導電
体を5秒間浸漬し、その後この導電体に直径0.8mm
の錫めっき銅線をはんだ付けした後、この錫めっき銅線
を引張り試験機によって20cm/分の速度で引張るこ
とによって、接着強度を測定した。
The conductor resistance (mΩ / □) has a dimensional relationship (L / W = 100) in which the length (L) and the width (W) are 100: 1.
It is obtained by measuring the resistance value between two points of the conductor pattern having the ratio of 100/1) by a four-terminal method. The adhesive strength (Kgf) is determined by soldering a lead wire to a conductor formed by sintering a copper conductive paste.
This value is obtained by pulling the lead wire. That is, Sn-P containing Ag whose temperature was adjusted to 235 ° C.
b. A conductor having a size of 2 mm × 2 mm was immersed in the eutectic solder for 5 seconds, and then the conductor was immersed in a 0.8 mm diameter.
After soldering the tin-plated copper wire, the tensile strength was measured by pulling the tin-plated copper wire at a speed of 20 cm / min using a tensile tester.

【0021】また、はんだ付け直後の接着強度を初期接
着強度として測定する一方、150℃の温度で1000
時間放置の熱エージング処理を施した後の接着強度を、
熱エージング後の接着強度として測定した。
The adhesive strength immediately after soldering is measured as the initial adhesive strength, while the adhesive strength at 150 ° C. is 1000
Adhesive strength after heat aging treatment
It was measured as the adhesive strength after heat aging.

【0022】そして、得られた各特性値の良否判定は、
導体抵抗については3.5mΩ/□以下を良とし、3.
5mΩ/□を超える場合を否とした。また、接着強度に
ついては、初期は3.0Kgf以上を良とし、3.0Kgf
未満を否とした。熱エージング後は1.0Kgf以上を
良とし、1.0Kgf未満を否とした。
The quality of each of the obtained characteristic values is determined as follows.
The conductor resistance should be 3.5 mΩ / □ or less.
The case where it exceeded 5 mΩ / □ was judged as not. Regarding the adhesive strength, 3.0 Kgf or more is considered good at the initial stage, and 3.0 Kgf is considered.
Less than or equal to negative. After thermal aging, 1.0 kgf or more was regarded as good, and less than 1.0 kgf was regarded as bad.

【0023】[0023]

【表2】 表2から明らかなように、試料番号1〜3の本発明の範
囲内の銅導電性ペーストからなる導電体は、本発明の範
囲外と比較して、導体抵抗が2.5mΩ/□以下と低
く、焼結密度が向上していることがわかる。また、接着
強度については、本発明の範囲内の銅導電性ペーストか
らなる厚膜導電体は、初期で3.5Kgf以上と、本発
明の範囲外と比較して強く、熱エージング後も1.5K
gfを保ち、接着強度の低下による信頼性の低下も抑え
られている。
[Table 2] As is clear from Table 2, the conductors made of the copper conductive pastes within the scope of the present invention of Sample Nos. 1 to 3 have conductor resistances of 2.5 mΩ / □ or less as compared with those outside the scope of the present invention. It can be seen that the density is low and the sintering density is improved. Regarding the adhesive strength, the thick film conductor made of the copper conductive paste within the range of the present invention is 3.5 kgf or more at the initial stage, which is stronger than that outside the range of the present invention. 5K
gf, and a decrease in reliability due to a decrease in adhesive strength is also suppressed.

【0024】以上、実施例の説明においては、アルミナ
基板上に銅導電性ペーストを塗布し焼成した場合を示し
たが、本発明はこれのみに限定されるものではない。す
なわち、その他の絶縁性基板、たとえば低温焼結ガラス
セラミックス基板用に用いても同様の効果を得ることが
できる。また、銅導電性ペースト中にガラスフリットを
含有しない場合においても、基板に対する接着強度はガ
ラスフリットを含有した場合と比較して劣るものの、同
様に焼結密度が向上し導体抵抗を下げるという効果を得
ることができる。
In the above description, the case where the copper conductive paste is applied and baked on the alumina substrate has been described, but the present invention is not limited to this. That is, the same effect can be obtained even when used for other insulating substrates, for example, low-temperature sintered glass ceramic substrates. In addition, even when the copper conductive paste does not contain glass frit, although the adhesive strength to the substrate is inferior to the case where glass frit is contained, the effect of similarly increasing the sintering density and lowering the conductor resistance is obtained. Obtainable.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
銅導電性ペーストにおいては、有機ビヒクル中に含まれ
る樹脂の窒素中における熱分解温度が200〜350℃
であることとしている。その結果、700℃以下の焼成
においても焼結密度が向上し、熱エージング後における
十分な接着強度を確保することが可能となり、製品の歩
留り率の向上のみならず、信頼性の大幅な向上を図るこ
とができるという優れた効果を得ることができる。
As is apparent from the above description, in the copper conductive paste of the present invention, the thermal decomposition temperature of the resin contained in the organic vehicle in nitrogen is 200 to 350 ° C.
It is to be. As a result, the sintering density is improved even in firing at 700 ° C. or less, and it is possible to secure sufficient adhesive strength after heat aging, and not only the yield rate of products but also the reliability is greatly improved. An excellent effect that it can be achieved can be obtained.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 銅粉末および酸化銅粉末から選ばれる少
なくとも1種と、有機ビヒクルとを含有する銅導電性ペ
ーストにおいて、該有機ビヒクル中の樹脂の窒素中にお
ける熱分解温度が200〜350℃であることを特徴と
する、銅導電性ペースト。
1. A copper conductive paste containing at least one selected from copper powder and copper oxide powder and an organic vehicle, wherein the resin in the organic vehicle has a thermal decomposition temperature in nitrogen of 200 to 350 ° C. A copper conductive paste, comprising:
【請求項2】 前記銅導電性ペーストは、700℃以下
で焼成されることを特徴とする、請求項1に記載の銅導
電性ペースト。
2. The copper conductive paste according to claim 1, wherein the copper conductive paste is fired at 700 ° C. or lower.
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