JP2000315310A - Information recording medium and slider for recording and reproducing information - Google Patents
Information recording medium and slider for recording and reproducing informationInfo
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- JP2000315310A JP2000315310A JP26564099A JP26564099A JP2000315310A JP 2000315310 A JP2000315310 A JP 2000315310A JP 26564099 A JP26564099 A JP 26564099A JP 26564099 A JP26564099 A JP 26564099A JP 2000315310 A JP2000315310 A JP 2000315310A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体及び
情報記録再生用スライダに関する。更に詳しくは、本発
明は、情報を磁気的に記録及び再生するに際して、記録
/再生特性を向上させた情報記録媒体及びその媒体への
情報の記録及び再生に適した情報記録再生用スライダに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information recording medium and an information recording / reproducing slider. More specifically, the present invention relates to an information recording medium having improved recording / reproducing characteristics when information is magnetically recorded and reproduced, and an information recording / reproducing slider suitable for recording and reproducing information on and from the medium.
【0002】[0002]
【従来の技術】情報記録媒体として、DVDのような光
記録媒体や、HDDのような磁気記録媒体が知られ、一
般に普及している。更に、情報の記録密度を高めること
が望まれている観点から、光記録媒体及び磁気記録媒体
の利点を組み合わせた光磁気記録(MO)媒体も研究さ
れている。2. Description of the Related Art As information recording media, optical recording media such as DVDs and magnetic recording media such as HDDs are known and widely used. Further, from the viewpoint that it is desired to increase the recording density of information, a magneto-optical recording (MO) medium combining the advantages of an optical recording medium and a magnetic recording medium has been studied.
【0003】上記記録媒体の内、磁気記録媒体及び光磁
気記録媒体の磁性体に記録された情報を磁気的に検出す
る情報再生方式によれば、研究が進んだ結果、超高密度
に記録することが可能となり、現在では、10Gビット
/(インチ)2を超える高密度記録の可能性が示される
ようになった。ところで、上記磁性体としては、通常、
磁化容易軸を面内方向に有する例えばCo77Cr15Pt
6Ta2のような多結晶の磁性体が使用されているAccording to an information reproducing method of magnetically detecting information recorded on magnetic materials of a magnetic recording medium and a magneto-optical recording medium among the above-mentioned recording media, as a result of research, recording is performed at an ultra-high density. Nowadays, the possibility of high-density recording exceeding 10 Gbit / (inch) 2 has been shown. By the way, as the magnetic material, usually,
For example, Co 77 Cr 15 Pt having an easy axis of magnetization in the in-plane direction
Polycrystalline magnetic material such as 6 Ta 2 is used
【0004】更に、磁気記録媒体の磁性体として、希土
類遷移金属アモルファス合金からなる垂直磁化膜を使用
した例が、特開昭58−165306号公報に記載され
ている。また、この希土類遷移金属アモルファス合金
は、光磁気記録媒体の磁性体としても利用されており、
近年、磁気特性を異ならせた希土類遷移金属アモルファ
ス合金膜の積層体を有する光磁気記録媒体が、特開平5
−217226号公報、特開平5−325283号公
報、特開昭63−302448号公報等に記載されてい
る。Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-165306 discloses an example in which a perpendicular magnetic film made of a rare earth transition metal amorphous alloy is used as a magnetic material of a magnetic recording medium. Further, this rare earth transition metal amorphous alloy is also used as a magnetic material of a magneto-optical recording medium,
In recent years, a magneto-optical recording medium having a laminate of a rare earth transition metal amorphous alloy film having different magnetic properties has been disclosed in
JP-A-217226, JP-A-5-325283, JP-A-63-302448 and the like.
【0005】この内、特に特開昭63−302448号
公報では、希土類金属磁気モーメントが遷移金属磁気モ
ーメントより大きくなる、いわゆる希土類金属(RE)
リッチ膜と、遷移金属磁気モーメントが希土類金属モー
メントより大きくなる、いわゆる遷移金属(TM)リッ
チ膜とを交換結合させた積層体を有する光磁気記録媒体
が記載されている。[0005] Of these, in JP-A-63-302448, in particular, the rare earth metal (RE) in which the rare earth metal magnetic moment is larger than the transition metal magnetic moment is disclosed.
A magneto-optical recording medium having a laminate in which a rich film and a transition metal (TM) rich film in which a transition metal magnetic moment is larger than a rare earth metal moment is exchange-coupled is described.
【0006】より具体的には、TMリッチ膜にカー回転
力が大きなTbFeCo膜を使用し、REリッチ膜に大
きなシグナルレベル(√R・θ:Rは反射率、θはカー
回転角)を得ることができるTbFeCo膜を使用し、
両膜を交換結合させた光磁気記録媒体が記載されてい
る。この媒体では、ノズルレベルの上昇が抑制されるた
め大きなSNRが得られること、書き込みエネルギーを
小さくできること等がその効果として記載されている。
つまり、この公報記載の媒体は、MOのような媒体とし
て使用した場合、大きな磁気光学効果を得ながら、記録
ノイズを低減することができると考えられる。More specifically, a TbFeCo film having a large Kerr rotation force is used for a TM-rich film, and a large signal level (ΔR · θ: R is a reflectance, θ is a Kerr rotation angle) is obtained for a RE-rich film. Using a TbFeCo film that can
A magneto-optical recording medium in which both films are exchange-coupled is described. In this medium, it is described that the increase in the nozzle level is suppressed so that a large SNR can be obtained and the writing energy can be reduced.
That is, when the medium described in this publication is used as a medium such as an MO, it is considered that recording noise can be reduced while obtaining a large magneto-optical effect.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】記録密度をさらに向上
させるためには、情報記録媒体に生じるノイズをさらに
低減することが必要となる。そのためには、磁性粒(結
晶粒)の粒径を10nm程度にしなければならない。と
ころが、上記多結晶の磁性体は、結晶粒の粒径を10n
m程度にした場合、生じる磁区(記録ビット)が、特に
結晶粒の界面で、熱的に不安定となる。このことは、逆
に情報記録媒体にノイズを発生させたり、記録された情
報が消える等の問題を生じる。特に、このような磁性粒
の微細化は温度上昇(通常、使用時のドライブ内の温度
は65℃程度になる)に伴って、保磁力が低下するとい
う問題を生じる。In order to further improve the recording density, it is necessary to further reduce the noise generated on the information recording medium. For that purpose, the particle size of the magnetic grains (crystal grains) must be about 10 nm. However, the polycrystalline magnetic material has a grain size of 10 n.
When the distance is set to about m, magnetic domains (recording bits) generated become thermally unstable, particularly at the interface between crystal grains. This in turn causes problems such as generating noise on the information recording medium and erasing the recorded information. In particular, such a reduction in the size of the magnetic grains causes a problem that the coercive force decreases with an increase in temperature (usually, the temperature in the drive during use becomes about 65 ° C.).
【0008】また、上記特開昭63−302448号公
報に記載された媒体は、磁束を再生する方式に適当であ
るとはいえなかった。例えば、上記公報の実施例1に
は、Hc=2kOe(膜厚=20nm)の磁性膜とHc
=10kOe(膜厚=60nm)の磁性膜との積層体か
らなる媒体が記載されているが、この媒体の保磁力は通
常の磁気ヘッドで記録することができる保磁力より非常
に大きいため、記録することが困難であるという問題が
ある。更に、一般に媒体の磁化は磁気ヘッドで検出しう
る程度に大きい必要がある。上記公報の媒体の場合、H
c=2kOeの磁性膜は比較的磁化が大きく、Hc=1
0kOeの磁性膜は比較的磁化が小さいと推測される。
全磁化は媒体を構成する磁性膜の磁化の足し合わせにな
るが、上記公報の媒体は、磁化の大きい膜が薄いため全
磁化は非常に小さくなり磁束を外部に出さないので、磁
気ヘッドでの検出が困難であるという問題もある。Further, the medium described in the above-mentioned JP-A-63-302448 is not suitable for a system for reproducing magnetic flux. For example, in Example 1 of the above publication, a magnetic film of Hc = 2 kOe (film thickness = 20 nm)
A medium composed of a laminated body with a magnetic film having a thickness of 10 kOe (film thickness = 60 nm) is described. However, the coercive force of this medium is much larger than the coercive force that can be recorded by a normal magnetic head. There is a problem that it is difficult to do. Further, the magnetization of the medium generally needs to be large enough to be detected by a magnetic head. In the case of the medium of the above publication,
The magnetic film of c = 2 kOe has relatively large magnetization, and Hc = 1
It is assumed that the 0 kOe magnetic film has relatively small magnetization.
The total magnetization is the sum of the magnetizations of the magnetic films constituting the medium.However, in the medium of the above publication, since the film having a large magnetization is thin, the total magnetization is very small and no magnetic flux is output to the outside. There is also a problem that detection is difficult.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】かくして本発明によれ
ば、Raが0.1〜1.5nm又は周期が10〜40n
mの凹凸を有する基体上に、記録された情報を磁気的に
再生しうる希土類遷移金属のアモルファス合金を主成分
とする情報記録膜を備えてなる第1の情報記録媒体が提
供される。According to the present invention, Ra is 0.1 to 1.5 nm or the period is 10 to 40 n.
A first information recording medium comprising an information recording film mainly composed of an amorphous alloy of a rare earth transition metal capable of magnetically reproducing recorded information on a substrate having m irregularities is provided.
【0010】また、本発明によれば、記録された情報を
磁気的に再生しうる交換結合多層膜からなる情報記録膜
を備え、交換結合多層膜が、室温から65℃付近までの
温度領域において保磁力が実質的に変化せず、55Gaus
sμm以上の残留磁束密度×膜厚積(tBr)を有し、
遷移金属リッチの希土類遷移金属アモルファス合金層と
希土類リッチの希土類遷移金属アモルファス合金層とを
少なくとも含む第2の情報記録媒体が提供される。According to the present invention, there is further provided an information recording film comprising an exchange-coupling multilayer film capable of magnetically reproducing recorded information, wherein the exchange-coupling multilayer film is formed in a temperature range from room temperature to about 65 ° C. The coercive force does not substantially change, and 55 Gauss
having a residual magnetic flux density × film thickness product (tBr) of s μm or more;
A second information recording medium including at least a transition metal-rich rare earth transition metal amorphous alloy layer and a rare earth rich rare earth transition metal amorphous alloy layer is provided.
【0011】更に、本発明によれば、上記情報記録媒体
に情報を記録及び再生する際に使用される情報記録再生
用スライダであって、スライダが一体化された光照射手
段、記録ヘッド及び磁気再生ヘッドを備え、光照射手段
が、情報の記録及び再生方向に対して、記録ヘッド及び
磁気再生ヘッドより前に光照射手段が位置することを特
徴とする情報記録再生用スライダが提供される。Further, according to the present invention, there is provided an information recording / reproducing slider used for recording and reproducing information on and from the information recording medium, wherein the light irradiating means, the recording head, and the magnetic element having the slider integrated therewith. An information recording / reproducing slider is provided, comprising a reproducing head, wherein the light irradiating means is positioned before the recording head and the magnetic reproducing head in the recording and reproducing directions of information.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1の情報記録媒
体を説明する。本発明の発明者は、磁気的記録再生方法
が可能な方式で超高密度記録を実現するために、磁気異
方性が大きく、結晶粒を持たない希土類遷移金属のアモ
ルファス合金を情報記録媒膜に使用することについて検
討した。このアモルファス合金は、膜内部における交換
結合力が強いことが知られている。そのため、現在の記
録再生装置に使用されている薄膜コイルを用いた記録ヘ
ッドでは、ヘッド寸法が大きく、十分な磁界を発生する
ことが困難なため、微小記録マークを形成することが難
しいと考えられてきた。また、交換結合力を小さくする
と保磁力も小さくなるという性質を有するため、記録マ
ークの安定性が悪くなると考えられてきた。そのため情
報記録媒体に、アモルファス合金を使用することは一般
的ではなかった。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a first information recording medium according to the present invention will be described. In order to realize ultra-high-density recording by a method capable of magnetic recording / reproducing, the inventor of the present invention has proposed an amorphous alloy of a rare earth transition metal having a large magnetic anisotropy and no crystal grains to form an information recording medium film. We considered about using it. It is known that this amorphous alloy has a strong exchange coupling force inside the film. Therefore, it is considered that a recording head using a thin film coil used in a current recording / reproducing apparatus has a large head size and it is difficult to generate a sufficient magnetic field, so that it is difficult to form a minute recording mark. Have been. Further, it has been considered that the stability of the recording mark is deteriorated because the coercive force is reduced when the exchange coupling force is reduced. Therefore, it has not been common to use an amorphous alloy for an information recording medium.
【0013】しかしながら、発明者は、希土類遷移金属
のアモルファス合金を情報記録膜として用いた情報記録
媒体の記録特性と、情報記録膜の構造等を詳細に調べた
ところ、情報記録膜下の基体に適当な凹凸を形成すれ
ば、図1に示すように、磁性膜内部に適当なコラム構造
が形成されることを意外にも見い出した。図1中、1は
基板、2は下地層、3は情報記録膜をそれぞれ示す。更
に、このコラム構造を有する情報記録膜は、従来の磁気
ヘッドでも微小記録マークを形成でき、また大きな再生
信号を得られることも見い出し本発明に至った。However, the inventor has examined in detail the recording characteristics of an information recording medium using an amorphous alloy of a rare earth transition metal as an information recording film, the structure of the information recording film, and the like. It has been surprisingly found that, as shown in FIG. 1, an appropriate column structure is formed inside the magnetic film if appropriate unevenness is formed. In FIG. 1, 1 indicates a substrate, 2 indicates an underlayer, and 3 indicates an information recording film. Furthermore, it has been found that the information recording film having the column structure can form a minute recording mark even with a conventional magnetic head, and that a large reproduction signal can be obtained.
【0014】まず、本発明の情報記録媒体は、少なくと
も基体と、その上に位置する情報記録膜とからなる。基
体は、所定のRa又は周期の凹凸が形成されていさえす
れば、当該分野で公知の基体をいずれも使用することが
できる。具体的には、基体としては、ガラス、セラミッ
クス、チタン、シリコン、カーボン等の基板に凹凸を形
成したもの、基板上に凹凸を有する下地層が形成された
基体等が挙げられる。なお、下地層を形成する場合は、
基板にポリカーボネートのような樹脂基板を使用するこ
とができる。First, the information recording medium of the present invention comprises at least a base and an information recording film located thereon. As the substrate, any substrate known in the art can be used as long as irregularities having a predetermined Ra or period are formed. Specifically, examples of the substrate include a substrate made of glass, ceramics, titanium, silicon, carbon, or the like having irregularities, and a substrate having a base layer having irregularities formed on the substrate. When forming an underlayer,
A resin substrate such as polycarbonate can be used as the substrate.
【0015】基板への凹凸の形成方法としては、塩酸の
ような酸中に基板を浸漬し、所定の粒径の研磨剤(例え
ば、Al2O3、SiC、SiO)を用いて研磨する、い
わゆるメカノケミカルポリッシング法が挙げられる。下
地層の凹凸は、下地層の形成と同時に形成しても、下地
層を形成した後、別工程で形成してもよい。下地層の形
成と同時に凹凸を形成する場合、例えばスパッタ法によ
り、積層するにつれて層の表面の凹凸が自己的に所定形
状になるような材料を選択する必要がある。そのような
材料として、NiP、NiB、CrMo等の合金、C
r、Ti等の金属が挙げられる。凹凸を下地層の形成と
別工程で行う場合、下地層の材料は特に限定されない。
また、下地層に凹凸を形成する方法としては、例えばメ
カノケミカルポリッシング法が挙げられる。この内、製
造工程を短縮するために、凹凸を下地層と同時に形成す
ることが好ましい。なお、スパッタ法で形成されたNi
P膜は、その粒径が小さいという特長がある。As a method of forming irregularities on the substrate, the substrate is immersed in an acid such as hydrochloric acid, and polished with an abrasive having a predetermined particle size (eg, Al 2 O 3 , SiC, SiO). A so-called mechanochemical polishing method can be used. The unevenness of the underlayer may be formed simultaneously with the formation of the underlayer, or may be formed in another step after the formation of the underlayer. When the unevenness is formed simultaneously with the formation of the underlayer, it is necessary to select a material such that the unevenness on the surface of the layer becomes a predetermined shape as the layers are stacked, for example, by a sputtering method. Such materials include alloys such as NiP, NiB, CrMo, C
metals such as r and Ti. When the unevenness is performed in a step different from the formation of the underlayer, the material of the underlayer is not particularly limited.
In addition, as a method of forming irregularities on the underlayer, for example, a mechanochemical polishing method can be used. Among them, it is preferable to form the concavities and convexities simultaneously with the base layer in order to shorten the manufacturing process. In addition, Ni formed by the sputtering method
The P film has a feature that its particle size is small.
【0016】下地層にNiPを使用する場合、その組成
は特に限定されない。例えば、代表的な組成として、N
i:P=4:1、3:1、2:1や5:4のものが存在
する。ただし、過剰にNiがリッチな膜にすると、Ni
が析出して、下地層が強磁性体となるという問題があ
る。強磁性体となった場合、情報記録膜と静電気的な相
互作用が起こり、記録/再生磁界に影響を与えるという
問題が生じる恐れがある。そのためNiPの組成は、N
i:P=4〜2:1が好ましい。また、CrMoは通
常、Cr:Mo=90:10程度のものが使用される。
凹凸の具体的な形状は、Raが0.1〜1.5nm又は
周期が10〜40nmである。When NiP is used for the underlayer, its composition is not particularly limited. For example, a typical composition is N
There are i: P = 4: 1, 3: 1, 2: 1 and 5: 4. However, if the film is excessively rich in Ni, Ni
Is deposited, and the underlayer becomes a ferromagnetic material. In the case of a ferromagnetic material, there is a possibility that an electrostatic interaction occurs with the information recording film, thereby affecting the recording / reproducing magnetic field. Therefore, the composition of NiP is N
i: P = 4 to 2: 1 is preferable. In addition, CrMo generally has a Cr: Mo ratio of about 90:10.
The specific shape of the unevenness is Ra of 0.1 to 1.5 nm or a period of 10 to 40 nm.
【0017】ここで、Raが0.1nmより小さい場
合、情報記録膜内にコラム構造が形成されにくいので好
ましくない。Raが1.5nmより大きい場合、1つの
コラムのサイズが大きくなりノイズを生じやすくなるの
で好ましくない。より好ましいRaは、0.2〜1.2
nmである。Raは下地層の厚さを厚くすれば大きく、
薄くすれば小さくすることができる。なお、本明細書に
おいて、RaはJIS表面粗さ(B0601)に準拠し
て求めた値である。具体的には、粗さ曲線からその中心
線の方向に測定長さLの部分を抜き取り、この抜き取り
部分の中心線をX軸、縦倍率の方向をY軸、粗さ曲線を
y=f(x)で表したとき、以下の式によって求められ
る値をnmで表したものを意味する。Here, it is not preferable that Ra is smaller than 0.1 nm because a column structure is hardly formed in the information recording film. If Ra is larger than 1.5 nm, the size of one column becomes large and noise is likely to occur, which is not preferable. More preferred Ra is 0.2 to 1.2.
nm. Ra increases as the thickness of the underlayer increases,
It can be made smaller by making it thinner. In this specification, Ra is a value obtained based on JIS surface roughness (B0601). Specifically, a portion of the measurement length L is extracted from the roughness curve in the direction of the center line, the center line of the extracted portion is the X axis, the longitudinal magnification direction is the Y axis, and the roughness curve is y = f ( When expressed by x), it means a value obtained by the following equation expressed in nm.
【0018】[0018]
【数1】 (Equation 1)
【0019】また、周期が10nmより小さい場合、コ
ラム構造が形成されにくいので好ましくない。周期が4
0nmより大きい場合、コラム構造が大きくなるので好
ましくない。より好ましい周期は、15〜25nmであ
る。周期は、スパッタ法で下地層を形成する場合、投入
電力を調整することにより制御することができ、投入電
力を上げれば周期が大きくなり、下げれば小さくなる。
なお、下地層の厚さは、7〜75nmであることが好ま
しい。厚さが7nmより小さい場合、コラム構造が形成
されにくいので好ましくない。厚さが75nmより大き
い場合、コラムのグレインサイズが大きすぎるので好ま
しくない。On the other hand, if the period is smaller than 10 nm, it is difficult to form a column structure, which is not preferable. Period 4
If it is larger than 0 nm, the column structure becomes large, which is not preferable. A more preferred period is 15 to 25 nm. The cycle can be controlled by adjusting the input power when the underlayer is formed by the sputtering method. The cycle increases as the input power increases and decreases as the input power decreases.
In addition, the thickness of the underlayer is preferably 7 to 75 nm. If the thickness is smaller than 7 nm, it is not preferable because a column structure is hardly formed. When the thickness is larger than 75 nm, the grain size of the column is too large, which is not preferable.
【0020】上記の凹凸を有する基体上に、記録された
情報を磁気的に再生しうる希土類遷移金属のアモルファ
ス合金を主成分とする情報記録膜が形成される。ここ
で、本発明に使用することができる希土類遷移金属のア
モルファス合金としては、例えば、TbFe、TbFe
Cr、TbFeCo、DyFeCo、GdCo、GdF
e、TbCo、GdTbFe、GdTbFeCo、Gd
DyFeCo等が挙げられる。これら合金の組成は、所
望する保磁力及び飽和磁化になるように適宜設定され
る。これら合金の内、TbCo、TbFe、TbFeC
r、TbFeCo、DyFeCoが好ましい。An information recording film mainly composed of an amorphous alloy of a rare earth transition metal capable of magnetically reproducing recorded information is formed on the substrate having the irregularities. Here, amorphous alloys of rare earth transition metals that can be used in the present invention include, for example, TbFe, TbFe
Cr, TbFeCo, DyFeCo, GdCo, GdF
e, TbCo, GdTbFe, GdTbFeCo, Gd
DyFeCo and the like. The compositions of these alloys are appropriately set so as to obtain desired coercive force and saturation magnetization. Among these alloys, TbCo, TbFe, TbFeC
r, TbFeCo and DyFeCo are preferred.
【0021】情報記録膜の厚さは、20〜50nmであ
ることが好ましい。更に、本発明の情報記録膜は、相互
間の磁気の交換結合を利用した2層以上の複数層からな
っていてもよい。例えば、2層からなる場合、上記希土
類遷移金属のアモルファス合金からなる情報記録膜下に
磁化反転補助層を設けてもよい。磁化反転補助層を設け
ることで、記録マークを安定化することができる。更
に、情報の記録と再生を分離して記録層と再生層を有し
ていてもよい。このように分離することにより、記録と
再生に適した保磁力と飽和磁化になるようにそれぞれの
膜の組成を設定することができる。The thickness of the information recording film is preferably 20 to 50 nm. Furthermore, the information recording film of the present invention may be composed of two or more layers using magnetic exchange coupling between them. For example, in the case of two layers, a magnetization reversal auxiliary layer may be provided below the information recording film made of the amorphous alloy of the rare earth transition metal. By providing the magnetization reversal auxiliary layer, the recording mark can be stabilized. Further, a recording layer and a reproduction layer may be provided separately for recording and reproduction of information. By separating in this way, the composition of each film can be set so that the coercive force and the saturation magnetization are suitable for recording and reproduction.
【0022】磁化反転補助層は、垂直磁化膜でも面内磁
化膜でもよい。垂直磁化膜としては、上記アモルファス
合金以外にも、CoCrTaのような結晶系の合金も使
用することができる。面内磁化膜としては、GdFeC
o、GdFe等が挙げられる。磁化反転補助層の厚さ
は、2〜10nmであることが好ましい。記録層と再生
層は、上記アモルファス合金を使用することができる。
具体的な組み合わせとしては、TbFe/TbFeC
o、TbFe/DyFeCo、TbCo/TbFeCo
等が挙げられる。記録層と再生層の厚さは、それぞれ2
0〜40nm及び5〜20nmであることが好ましい。
情報記録膜の形成方法は、特に限定されず、公知の方法
をいずれも使用することができる。公知の方法の内、ス
パッタ法を使用して形成することが好ましい。The magnetization reversal auxiliary layer may be a perpendicular magnetization film or an in-plane magnetization film. As the perpendicular magnetization film, a crystalline alloy such as CoCrTa can be used in addition to the amorphous alloy. GdFeC as the in-plane magnetized film
o, GdFe and the like. The thickness of the magnetization reversal auxiliary layer is preferably from 2 to 10 nm. The above-mentioned amorphous alloy can be used for the recording layer and the reproducing layer.
As a specific combination, TbFe / TbFeC
o, TbFe / DyFeCo, TbCo / TbFeCo
And the like. The thickness of the recording layer and the thickness of the reproducing layer are 2
It is preferably 0 to 40 nm and 5 to 20 nm.
The method for forming the information recording film is not particularly limited, and any known method can be used. It is preferable to form by using a sputtering method among known methods.
【0023】本発明の情報記録媒体は、更に基板保護層
(例えばSiN、SiO)、表面保護層(例えばSi
N、SiO)、スライダの滑り性を向上させるためのカ
ーボン層等の通常情報記録媒体を構成する層を有してい
てもよい。なお、基板保護層は基板と情報記録膜との間
(下地層がある場合は、下地層と情報記録膜との間)、
表面保護層は情報記録膜の上、カーボン層は磁気記録媒
体の最上層に、それぞれ一般的に位置する。The information recording medium of the present invention further comprises a substrate protective layer (eg, SiN, SiO) and a surface protective layer (eg, SiN
N, SiO), and a layer constituting a normal information recording medium, such as a carbon layer for improving the sliding property of the slider. The substrate protective layer is provided between the substrate and the information recording film (if the underlayer is present, between the underlayer and the information recording film).
The surface protective layer is generally located on the information recording film, and the carbon layer is generally located on the uppermost layer of the magnetic recording medium.
【0024】本発明の情報記録媒体によれば、基体上に
凹凸を形成しない場合より、SNRを100%以上向上
させることができ、オーバーライト特性を400%以上
向上することができる。これは、基体の凹凸に由来する
情報記録膜内部のコラム構造により、微小記録マークを
安定に形成できるためであると考えられる。また、本発
明の情報記録媒体は、磁気記録媒体として使用でき、更
に光磁気記録媒体としても使用することができる。According to the information recording medium of the present invention, the SNR can be improved by 100% or more and the overwrite characteristics can be improved by 400% or more as compared with the case where no irregularities are formed on the substrate. This is considered to be because minute recording marks can be stably formed by the column structure inside the information recording film due to the unevenness of the base. Further, the information recording medium of the present invention can be used as a magnetic recording medium, and can also be used as a magneto-optical recording medium.
【0025】本発明の情報記録媒体を光磁気記録媒体に
使用すれば、例えば0.1〜2.5μmのトラック幅及
び0.1〜2μmの磁化反転部の幅のような微細記録マ
ークで情報を記録することができ、この情報を公知の磁
気再生ヘッドでも再生することができる。When the information recording medium of the present invention is used for a magneto-optical recording medium, information can be recorded with fine recording marks such as a track width of 0.1 to 2.5 μm and a width of a magnetization switching portion of 0.1 to 2 μm. Can be recorded, and this information can be reproduced by a known magnetic reproducing head.
【0026】以下、本発明の第2の情報記録媒体を説明
する。一般的に情報記録媒体に使用されているCoCr
TaPtからなる面内磁化膜の保磁力は、室温で3kO
eであるが、65℃程度になると2.4kOe程度まで
低下する。また、CoCrPtからなる垂直磁化膜の保
磁力は、室温で3kOeであるが、65℃程度になると
2.4kOe程度まで低下する。そのため、これら磁化
膜は、室温から65℃程度で安定に使用することが困難
であった。Hereinafter, a second information recording medium of the present invention will be described. CoCr commonly used for information recording media
The coercive force of the in-plane magnetized film made of TaPt is 3 kO at room temperature.
e, but it drops to about 2.4 kOe at about 65 ° C. The coercive force of the perpendicular magnetization film made of CoCrPt is 3 kOe at room temperature, but drops to about 2.4 kOe at about 65 ° C. Therefore, it has been difficult to use these magnetic films stably at room temperature to about 65 ° C.
【0027】そこで、本発明の発明者は、希土類遷移金
属アモルファス合金膜を用いて、温度に対して保磁力が
変化しない情報記録媒体を得ることができるかどうか検
討した。希土類遷移金属アモルファス合金膜のうち、希
土類元素がTbやDyの場合には、特に大きな垂直磁気
異方性を有することが知られている。Therefore, the inventor of the present invention examined whether an information recording medium whose coercive force does not change with temperature can be obtained by using a rare earth transition metal amorphous alloy film. It is known that when the rare earth element is Tb or Dy in the rare earth transition metal amorphous alloy film, it has particularly large perpendicular magnetic anisotropy.
【0028】具体的には合金膜がTbFeの場合、図7
に示すようにTbの組成が約23%付近において、飽和
磁化の値がゼロとなるいわゆる補償組成が存在する。本
明細書では、この補償組成よりTbが多い領域(すなわ
ち、遷移金属が少ない領域)を希土類(RE)リッチ、
この補償組成よりTbが少ない領域(すなわち、遷移金
属が多い領域)を遷移金属(TM)リッチと称する。図
7中、aは垂直磁気異方性の範囲、bは面内磁気異方性
の範囲を示している。Specifically, when the alloy film is TbFe, FIG.
As shown in FIG. 7, when the composition of Tb is about 23%, there is a so-called compensation composition in which the value of the saturation magnetization becomes zero. In this specification, a region where Tb is higher than this compensating composition (that is, a region where the transition metal is low) is a rare earth (RE) rich,
A region where Tb is smaller than the compensating composition (that is, a region where the transition metal is large) is called transition metal (TM) rich. In FIG. 7, a indicates the range of perpendicular magnetic anisotropy, and b indicates the range of in-plane magnetic anisotropy.
【0029】この図7では、飽和磁化の値しか示してい
ないが、飽和磁化の値が最小になる組成において、保磁
力は無限大を示し、そこからずれると保磁力は小さくな
る。この現象は、組成を温度に置き換えても同様であ
る。つまり、本発明の発明者は、遷移金属リッチの希土
類遷移金属アモルファス合金層が、温度上昇に伴って、
保磁力が低下するが、飽和磁化の値は若干増加するこ
と、一方、希土類リッチの希土類遷移金属アモルファス
合金層が、温度上昇に伴って、保磁力は増大するが、飽
和磁化の値は減少するという知見から、両者を交換結合
させ、飽和磁化を所定の値に設定した交換結合多層膜に
より、室温から65℃付近までの温度領域おいて、保磁
力と飽和磁化の値をほぼ一定に保つことができ、その結
果安定した情報の記録再生を行いうる第2の情報記録媒
体を見いだした。Although FIG. 7 shows only the value of the saturation magnetization, the coercive force shows infinity in a composition in which the value of the saturation magnetization is minimum, and the coercive force decreases when the composition deviates therefrom. This phenomenon is the same even when the composition is replaced with temperature. In other words, the inventor of the present invention, the transition metal rich rare earth transition metal amorphous alloy layer, with the temperature rise,
The coercive force decreases, but the value of the saturation magnetization increases slightly.On the other hand, the rare-earth-rich rare earth transition metal amorphous alloy layer increases in coercive force with an increase in temperature, but the value of the saturation magnetization decreases. From the knowledge that the two are exchange-coupled, the coercive force and the saturation magnetization are kept almost constant in the temperature range from room temperature to around 65 ° C. by the exchange coupling multilayer film in which the saturation magnetization is set to a predetermined value. As a result, a second information recording medium capable of stably recording and reproducing information has been found.
【0030】まず、希土類遷移金属アモルファス合金層
としては、例えば、TbFe、TbFeCr、TbFe
Co、DyFeCo、GdCo、GdFe、TbCo、
GdTbFe、GdTbFeCo、GdDyFeCo等
が挙げられる。この内、合金層は少なくともTb又はD
yを含むことが好ましい。特に、これら合金の内、Tb
Co、TbFe、TbFeCr、TbFeCo、DyF
eCoが好ましい。First, as the rare earth transition metal amorphous alloy layer, for example, TbFe, TbFeCr, TbFe
Co, DyFeCo, GdCo, GdFe, TbCo,
GdTbFe, GdTbFeCo, GdDyFeCo and the like can be mentioned. Among these, at least Tb or D
It is preferable to include y. In particular, of these alloys, Tb
Co, TbFe, TbFeCr, TbFeCo, DyF
eCo is preferred.
【0031】遷移金属リッチの希土類遷移金属アモルフ
ァス合金層と希土類リッチの希土類遷移金属アモルファ
ス合金層は、記録された情報を磁気的に再生することが
でき、室温から65℃付近までの温度領域において保磁
力が実質的に変化せず、55Gaussμm以上のtBrを
有するように組成及び材質が適宜選択される。具体的
な、遷移金属リッチの希土類遷移金属アモルファス合金
層と希土類リッチの希土類遷移金属アモルファス合金層
の組み合わせとしては、例えば、TbxCo1-xの場合、 14≦x≦22と25≦x≦35の組み合わせ(数値は
モル%、以下同じ) TbxFe1-xの場合、 14≦x≦23と25≦x≦34の組み合わせ Tbx(FeCr)1-xの場合、 15≦x≦24と26≦x≦36の組み合わせ Tbx(FeCo)1-xの場合、 14≦x≦23と25≦x≦34の組み合わせ Dyx(FeCo)1-xの場合 16≦x≦22と24≦x≦33の組み合わせ が挙げられる。The transition metal-rich rare earth transition metal amorphous alloy layer and the rare earth rich rare earth transition metal amorphous alloy layer can reproduce recorded information magnetically and can be maintained in a temperature range from room temperature to about 65 ° C. The composition and material are appropriately selected so that the magnetic force does not substantially change and the tBr is 55 Gauss μm or more. Specifically, as a combination of a transition metal rich rare earth transition metal amorphous alloy layer and a rare earth rich rare earth transition metal amorphous alloy layer, for example, in the case of Tb x Co 1-x , 14 ≦ x ≦ 22 and 25 ≦ x ≦ 35 combinations (numerical values are mol%, the same applies hereinafter) For Tb x Fe 1-x , a combination of 14 ≦ x ≦ 23 and 25 ≦ x ≦ 34 For Tb x (FeCr) 1-x , 15 ≦ x ≦ 24 In the case of Tb x (FeCo) 1-x , the combination of 14 ≦ x ≦ 23 and 25 ≦ x ≦ 34 In the case of Dy x (FeCo) 1-x 16 ≦ x ≦ 22 and 24 ≦ Combinations of x ≦ 33 are mentioned.
【0032】遷移金属リッチの希土類遷移金属アモルフ
ァス合金層と希土類リッチの希土類遷移金属アモルファ
ス合金層の厚さは、使用する合金層の種類により相違す
るが、5〜45nm及び5〜45nmの範囲であること
が好ましい。また、合金層の形成方法は、特に限定され
ず、公知の方法をいずれも使用することができる。公知
の方法の内、スパッタ法を使用して形成することが好ま
しい。なお、tBrが50Gaussμmより小さい場合、
SNRが低下し情報の記録及び再生が困難となる。より
好ましいtBrは、57〜135Gaussμmの範囲であ
る。The thicknesses of the transition metal rich rare earth transition metal amorphous alloy layer and the rare earth rich rare earth transition metal amorphous alloy layer are in the range of 5 to 45 nm and 5 to 45 nm, depending on the type of alloy layer used. Is preferred. The method for forming the alloy layer is not particularly limited, and any known method can be used. It is preferable to form by using a sputtering method among known methods. When tBr is smaller than 50 Gauss μm,
The SNR is reduced, making it difficult to record and reproduce information. A more preferred tBr is in the range of 57 to 135 Gauss μm.
【0033】上記2層の合金層は、通常基体上に形成さ
れる。ここで、遷移金属リッチの希土類遷移金属アモル
ファス合金層と希土類リッチの希土類遷移金属アモルフ
ァス合金層とは、どちら側が基体に面していてもよい。
基体には、上記第1の情報記録媒体のように、所定のR
a又は周期の凹凸が形成されていることが好ましい。具
体的に使用できる基体、基体上への凹凸の形成方法は上
記第1の情報記録媒体と同様である。The above two alloy layers are usually formed on a substrate. Here, either side of the transition metal rich rare earth transition metal amorphous alloy layer and the rare earth rich rare earth transition metal amorphous alloy layer may face the base.
As in the first information recording medium, a predetermined R
It is preferable that a or periodic irregularities are formed. A substrate that can be used specifically and a method of forming irregularities on the substrate are the same as those of the first information recording medium.
【0034】また、上記第1の情報記録媒体のように、
磁化反転補助層を基板と合金層の間に、基板保護層を基
板と合金層の間(磁化反転補助層が形成されている場合
は外装と基板と間)に、表面保護層を最上層に設けても
よい。また、本発明の第2の情報記録媒体は、第1の情
報記録媒体と同様、磁気記録媒体として使用でき、更に
光磁気記録媒体としても使用することができる。Further, as in the first information recording medium,
The magnetization reversal auxiliary layer is between the substrate and the alloy layer, the substrate protective layer is between the substrate and the alloy layer (if the magnetization reversal auxiliary layer is formed, between the exterior and the substrate), and the surface protective layer is the uppermost layer. It may be provided. Further, the second information recording medium of the present invention can be used as a magnetic recording medium as well as the first information recording medium, and can also be used as a magneto-optical recording medium.
【0035】本発明の第1及び第2の情報記録媒体を磁
気記録媒体として使用する場合、この媒体に情報を記録
及び再生する記録再生装置としては、特に限定されず、
公知の装置をいずれも使用することができる。例えば、
情報再生装置は、少なくとも磁気ヘッドを備えたスライ
ダを有している。磁気ヘッドは情報記録媒体へ情報を記
録及び/又は再生するものである。ここで、磁気ヘッド
は、記録ヘッドと磁気再生ヘッドのように記録と再生の
ヘッドを別々に備えていてもよい。なお、記録ヘッドに
高速転送磁界反転が可能な、磁気ディスク用薄膜コイル
を用いることで、転送レートを劣化させることなく、高
密度記録が可能となる。When the first and second information recording media of the present invention are used as magnetic recording media, the recording and reproducing apparatus for recording and reproducing information on and from this medium is not particularly limited.
Any known device can be used. For example,
The information reproducing apparatus has at least a slider provided with a magnetic head. The magnetic head records and / or reproduces information on an information recording medium. Here, the magnetic head may include separate recording and reproducing heads, such as a recording head and a magnetic reproducing head. By using a thin film coil for a magnetic disk capable of high-speed transfer magnetic field reversal for the recording head, high-density recording can be performed without deteriorating the transfer rate.
【0036】また、本発明の第1及び第2の情報記録媒
体を光磁気記録媒体として使用する場合、この媒体に情
報を記録及び再生する記録再生装置は、例えば磁気ヘッ
ドを備えたスライダ、光照射手段を有している。ここ
で、光照射手段は、情報記録媒体に光を照射することに
より、照射部の温度を上昇させ、それにより情報の記録
及び再生を容易にすると共に、記録マークを更に微小に
する役割を果たす。照射される光は、例えば、レーザか
ら生じる光を使用することが好ましい。When the first and second information recording media of the present invention are used as a magneto-optical recording medium, a recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information on / from this medium includes, for example, a slider having a magnetic head, It has irradiation means. Here, the light irradiation unit irradiates the information recording medium with light, thereby raising the temperature of the irradiation unit, thereby facilitating recording and reproduction of information, and playing a role of further miniaturizing the recording mark. . As the light to be irradiated, for example, light generated from a laser is preferably used.
【0037】上記光照射手段を有する記録再生装置の構
成の一例を図2に示す。なお、以下では、光照射手段を
レーザー光照射手段として説明するが、本発明では、レ
ーザー光に限定されず、種々の光を使用することができ
る。図中、Aは情報記録媒体、4はレーザー光照射手
段、6はスライダを含む磁気ヘッド部である。FIG. 2 shows an example of the configuration of a recording / reproducing apparatus having the above-mentioned light irradiation means. In the following, the light irradiating means will be described as a laser light irradiating means, but the present invention is not limited to laser light, and various lights can be used. In the figure, A is an information recording medium, 4 is a laser beam irradiation means, and 6 is a magnetic head unit including a slider.
【0038】レーザー光照射手段4は、光がレーザー光
の場合、レーザー光を出射するレーザ41、レーザー光
を平行光にするコリメータレンズ42、レーザー光を透
過又は反射するスプリッタ43、対物レンズ44が情報
記録媒体Aに向かって順に配置されている。更に、スプ
リッタ43の反射側には、レーザー光の偏向面を回転さ
せる1/2波長板45、レーザー光を水平成分と垂直成
分に分離する偏光ビームスプリッタ46がこの順に配置
されている。スプリッタ43の出力側には、水平成分と
垂直成分の出力光をそれぞれ集光する集光レンズ47と
49が配置され、それらの出力側には光検出器48と5
0がそれぞれ配置されている。光検出器48と50に
は、これらから得られる検出信号の差を求めてこれを増
幅する増幅器51が接続されており、増幅器51からの
信号はスイッチ部の切換え端子65に出力されるように
なっている。When the light is laser light, the laser light irradiation means 4 includes a laser 41 for emitting laser light, a collimator lens 42 for converting the laser light into parallel light, a splitter 43 for transmitting or reflecting the laser light, and an objective lens 44. They are arranged in order toward the information recording medium A. Further, on the reflection side of the splitter 43, a half-wave plate 45 for rotating the deflecting surface of the laser light and a polarization beam splitter 46 for separating the laser light into a horizontal component and a vertical component are arranged in this order. At the output side of the splitter 43, condensing lenses 47 and 49 for condensing the output light of the horizontal component and the vertical component respectively are arranged.
0 are respectively arranged. The photodetectors 48 and 50 are connected to an amplifier 51 which obtains a difference between detection signals obtained therefrom and amplifies the difference, so that a signal from the amplifier 51 is output to a switching terminal 65 of a switch unit. Has become.
【0039】磁気ヘッド部6は、磁気ヘッドを備えたス
ライダ61で検出された、磁化方向に対応する電気信号
が入力され、増幅される増幅回路62、増幅された信号
が入力され波形整形するための積分回路63を備えてい
る。積分回路63からの信号は切換え端子66へ出力さ
れる。切換え端子65と66に出力された信号のいずれ
かは、スイッチ部の共通端子67の切換えにより復調回
路64へ入力され、復調されて信号として出力される。The magnetic head unit 6 receives an electric signal corresponding to the magnetization direction detected by the slider 61 having the magnetic head and inputs the amplified signal. The amplified circuit 62 receives the amplified signal and shapes the waveform. Is provided. The signal from the integrating circuit 63 is output to the switching terminal 66. Either of the signals output to the switching terminals 65 and 66 is input to the demodulation circuit 64 by switching the common terminal 67 of the switch unit, and is demodulated and output as a signal.
【0040】図2の記録再生装置によれば、レーザー光
照射手段4から情報記録媒体Aにレーザー光を照射する
ことにより照射部の温度を昇温して情報を記録及び/又
は再生しやすい状態にし、昇温した領域に磁気ヘッドで
情報を記録及び/又は再生することができる。この情報
の記録及び/又は再生の概念図を図3に示す。図3中、
11は昇温領域、12は磁気ヘッド、13はトラックピ
ッチを意味する。具体的には、記録時にレーザー光を照
射することによって情報記録膜の保磁力が小さくなり、
記録用電流を小さくすることができる。更には、室温で
保磁力の大きな媒体に記録することが可能となる。一
方、再生時にレーザー光を照射することによって情報記
録膜の磁化の値が大きくなり、再生信号を大きくするこ
とができる。According to the recording / reproducing apparatus shown in FIG. 2, the information recording medium A is irradiated with laser light from the laser light irradiating means 4 to raise the temperature of the irradiating portion so that information can be easily recorded and / or reproduced. Then, information can be recorded and / or reproduced with the magnetic head in the region where the temperature has increased. FIG. 3 shows a conceptual diagram of recording and / or reproduction of this information. In FIG.
Reference numeral 11 denotes a temperature rising area, 12 denotes a magnetic head, and 13 denotes a track pitch. Specifically, by irradiating a laser beam during recording, the coercive force of the information recording film is reduced,
The recording current can be reduced. Furthermore, it is possible to record on a medium having a large coercive force at room temperature. On the other hand, by irradiating a laser beam during reproduction, the value of the magnetization of the information recording film is increased, and the reproduction signal can be increased.
【0041】更に、本発明では、光磁気記録媒体に情報
を記録及び/又は再生するために使用される情報記録再
生用スライダであって、スライダが一体化されたレーザ
ー光照射手段、記録ヘッド及び磁気再生ヘッドを備え、
レーザー光照射手段が、情報の記録及び再生方向に対し
て、記録ヘッド及び磁気再生ヘッドより前にレーザー光
照射手段が位置する情報記録再生用スライダも提供され
る。Further, according to the present invention, there is provided an information recording / reproducing slider used for recording and / or reproducing information on a magneto-optical recording medium, wherein the slider is integrated with a laser beam irradiating means, a recording head and a recording head. Equipped with a magnetic reproducing head,
There is also provided an information recording / reproducing slider in which the laser light irradiating means is located before the recording head and the magnetic reproducing head in the recording and reproducing directions of the information.
【0042】上記スライダは、例えば図4に示すような
構成を有している。図4中、21はスライダ、22はス
ライダ支持手段(例えば、バネ)、23はレーザー光照
射手段(例えば、光ファイバー)である。更に、スライ
ダの要部断面図を図5及び6に示す。図5及び6中、3
1は記録ヘッド、32は磁気再生ヘッド、33はレーザ
ー光照射手段である。図5と6は、レーザー光照射手
段、記録ヘッド及び磁気再生ヘッドが一体化されてお
り、情報の記録及び再生方向(図の矢印方向)に対し
て、記録ヘッド及び磁気再生ヘッドより前にレーザー光
照射手段が位置している。これは、昇温された温度分布
は後ろに流れるため、記録ヘッド及び磁気再生ヘッドを
レーザー光照射手段より後側に配置することにより効率
よく情報の記録及び/又は再生を行うことができるから
である。また、一体化されているため、レーザー光照射
手段が分離されている従来の装置と比べて、高速シーク
が可能である。図5と6は、記録ヘッドと磁気再生ヘッ
ドの配置が異なっている。また、レーザー光による昇温
から記録ヘッドと磁気再生ヘッドの劣下を防ぐために、
放熱層をスライダの下面(媒体側)に設けてもよい。放
熱層はアルミニウムや銅等の熱伝導がよいものを使用す
ることが好ましい。The slider has, for example, a configuration as shown in FIG. In FIG. 4, 21 is a slider, 22 is a slider supporting means (for example, a spring), and 23 is a laser beam irradiation means (for example, an optical fiber). FIGS. 5 and 6 are cross-sectional views of the main part of the slider. 5 and 6, 3
1 is a recording head, 32 is a magnetic reproducing head, and 33 is a laser beam irradiation means. FIGS. 5 and 6 show that the laser beam irradiation means, the recording head and the magnetic reproducing head are integrated, and that the laser is positioned before the recording head and the magnetic reproducing head in the information recording and reproducing direction (the direction of the arrow in the figure). Light irradiation means is located. This is because the increased temperature distribution flows backward, so that the recording and / or reproduction of information can be performed efficiently by arranging the recording head and the magnetic reproducing head behind the laser beam irradiation means. is there. In addition, since they are integrated, a high-speed seek can be performed as compared with a conventional apparatus in which a laser beam irradiation unit is separated. 5 and 6 differ in the arrangement of the recording head and the magnetic reproducing head. Also, to prevent the recording head and magnetic reproducing head from deteriorating from the temperature rise by the laser beam,
The heat radiation layer may be provided on the lower surface (media side) of the slider. It is preferable to use a heat radiation layer having good heat conductivity, such as aluminum or copper.
【0043】なお、上記記録再生装置は、レーザー光照
射手段として、例えばAlTiC基板上にLiNbO3
をコアとし、SiO2系ガラスをクラッドとする光導波
路を形成し、その上に公知の手段で記録ヘッド及び磁気
再生ヘッドを形成することにより作製することができ
る。In the recording / reproducing apparatus, as a laser beam irradiation means, for example, LiNbO 3 is formed on an AlTiC substrate.
Is formed as a core, an optical waveguide having a cladding of SiO 2 -based glass is formed, and a recording head and a magnetic reproducing head are formed thereon by a known means.
【0044】[0044]
【実施例】次に本発明の具体的形態を実施例により説明
するが、これらの実施例により本発明は何ら制限を受け
るものでない。 (実施例1)Ra<0.05nmのガラス基板(以下、
スーパーフラット基板と称する)上に、膜厚を0〜1.
5nmの間で変動させたNi3Pからなる下地層、2n
mのSiNxからなる基板保護層、50nmのアモルフ
ァス合金のTb15Fe85からなる情報記録膜(磁性
膜)、3nmのSiNxからなる表面保護層及び記録・
再生ヘッドの滑り性を向上させるための3nmのC(カ
ーボン)層をこの順でスパッタ法により積層して情報記
録媒体を形成した。具体的には、以下の如き条件で各層
を形成した。EXAMPLES Next, specific embodiments of the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited by these examples. (Example 1) A glass substrate having Ra <0.05 nm (hereinafter, referred to as a glass substrate)
The film thickness is set to 0 to 1.
Underlayer made of Ni 3 P varied between 5 nm, 2n
m, a substrate protection layer made of SiNx, an information recording film (magnetic film) made of 50 nm amorphous alloy Tb 15 Fe 85, a surface protection layer made of 3 nm SiNx, and
An information recording medium was formed by laminating a 3 nm C (carbon) layer for improving the slipperiness of the reproducing head by sputtering in this order. Specifically, each layer was formed under the following conditions.
【0045】 磁性膜−スパッタガス:Ar スパッタガス圧:0.5Pa 投入電力:1KW 下地層−スパッタガス:Ar スパッタガス圧:2Pa 投入電力:1KW 基板保護層及び表面保護層−スパッタガス:Ar及びN2 (ガス混合比Ar/N2=7/3) スパッタガス圧:0.3Pa 投入電力:0.8KW C層−スパッタガス:Ar スパッタガス圧:0.5Pa 投入電力:0.9KW 得られた情報記録媒体の磁性膜は垂直磁化を示し、保磁
力は約1kOeであった。Magnetic film—sputter gas: Ar Sputter gas pressure: 0.5 Pa Input power: 1 kW Underlayer—sputter gas: Ar Sputter gas pressure: 2 Pa Input power: 1 kW Substrate protective layer and surface protective layer—sputter gas: Ar and N 2 (gas mixture ratio Ar / N 2 = 7/3) Sputter gas pressure: 0.3 Pa Input power: 0.8 kW C layer-sputter gas: Ar Sputter gas pressure: 0.5 Pa Input power: 0.9 kW The magnetic film of the information recording medium showed perpendicular magnetization, and the coercive force was about 1 kOe.
【0046】この情報記録媒体を、 回転数:4500rpm 磁気ヘッド:ライト幅−2.0μm、再生幅−1.5μ
m、再生−MRヘッド 浮上量−30nm の条件で、200kfci(マーク長:0.127μm
に相当)を記録した時のSNRと、70kfci(マー
ク長:0.36μmに相当)を記録した後、400kf
ci(0.064μmに相当)でオーバーライトした際
の70kfciに相当する周波数の消し残り成分の特性
(O/W特性)を測定した。また、下地層上のRaも測定
した。結果を以下に記載する。This information recording medium was rotated at a rotational speed of 4500 rpm. Magnetic head: write width -2.0 μm, reproduction width -1.5 μm
m, reproduction-MR head, flying height: -30 nm, 200 kfci (mark length: 0.127 μm
Is recorded, and after recording 70 kfci (corresponding to a mark length of 0.36 μm), 400 kf
The characteristic (O / W characteristic) of the residual component at the frequency corresponding to 70 kfci when overwriting with ci (equivalent to 0.064 μm) was measured. Ra on the underlayer was also measured. The results are described below.
【0047】 下地層の膜厚(nm) 0, 8 , 10, 20, 30, 40, 50, 60, 75, 80 Ra(nm) 0.05,0.10,0.15,0.23,0.55,0.73,0.90,1.20,1.50,1.70 SNR(dB) 11.5,14.2,15.8,18.9,21.2,22.0,22.2,18.9,16.2,12.8 O/W(dB) -10, -26, -38, -42, -42, -43, -43, -42, -35, -12Underlayer film thickness (nm) 0, 8, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 75, 80 Ra (nm) 0.05, 0.10, 0.15, 0.23, 0.55, 0.73, 0.90, 1.20, 1.50,1.70 SNR (dB) 11.5,14.2,15.8,18.9,21.2,22.0,22.2,18.9,16.2,12.8 O / W (dB) -10, -26, -38, -42, -42, -43, -43, -42, -35, -12
【0048】まず、下地層を形成しない場合、磁気ヘッ
ドに60mAの電流を流して約3KOeの磁界を印加し
たが、磁性膜に正確な1μmのマークを記録することはで
きなかった。これは、磁性体内部での交換結合力が大き
いため、磁化が一方向に向きやすいためと思われる。従
って、Raが小さい場合、磁性膜に磁気ヘッドで正確に
マークを形成することは難しいことが分かった。これに
対して、下地層のRaを大きくするとSNR及びO/W
特性を向上させることが可能であった。特に、Raが
0.1〜1.5nmの範囲でSNR及びO/W特性の向
上が顕著であった。First, when the underlayer was not formed, a current of 60 mA was applied to the magnetic head to apply a magnetic field of about 3 KOe. However, an accurate 1 μm mark could not be recorded on the magnetic film. This is presumably because the exchange coupling force inside the magnetic material is large and the magnetization tends to be oriented in one direction. Therefore, it was found that when Ra was small, it was difficult to form a mark on a magnetic film accurately with a magnetic head. On the other hand, when Ra of the underlayer is increased, SNR and O / W
It was possible to improve the characteristics. In particular, when Ra was in the range of 0.1 to 1.5 nm, the SNR and O / W characteristics were significantly improved.
【0049】SNR及びO/W特性が向上する理由は、
希土類遷移金属アモルファス層からなる磁性膜に記録さ
れた情報を磁気的に再生する方式において、磁性膜を形
成する下地に適度の凹凸を形成すれば、磁性体内の交換
結合力が、情報を正確に記録/再生しうる程度に低下す
るためであると考えられる。The reason why the SNR and O / W characteristics are improved is as follows.
In a system that magnetically reproduces information recorded on a magnetic film composed of a rare-earth transition metal amorphous layer, if the base under which the magnetic film is formed is formed with appropriate irregularities, the exchange coupling force in the magnetic material can accurately read the information. It is considered that this is because the recording / reproduction is reduced to an extent that recording / reproduction is possible.
【0050】(実施例2)実施例1では、下地層のRa
に対するSNR及びO/W特性について調べたが、ここ
では、ガラス基板へ直接凹凸を形成し、SNR及びO/
W特性を調べた。実施例1で用いたスーパーフラット基
板を塩酸に浸したのち、メカノケミカルポリッシングを
施すことによって、基板上に種々のRaを形成すること
以外は、実施例1と同様にして情報記録媒体を形成し
た。実施例1と同様にして、Raに対するSNR及びO
/W特性を測定した。結果を以下に記載する。 Ra(nm) 0.05,0.15,0.23,0.55,0.73,0.90 SNR(dB) 11.5,15.4,17.9,21.7,22.5,22.1 O/W(dB) -10, -23, -39, -41, -43, -42 上記結果から、基板に凹凸を形成することで、実施例1
と同様の結果を得ることができた。(Embodiment 2) In the first embodiment, the Ra
The SNR and O / W characteristics were examined for the SNR and O / W characteristics.
The W characteristics were examined. An information recording medium was formed in the same manner as in Example 1 except that the superflat substrate used in Example 1 was immersed in hydrochloric acid, and then subjected to mechanochemical polishing to form various Ras on the substrate. . In the same manner as in Example 1, SNR and O
/ W characteristics were measured. The results are described below. Ra (nm) 0.05,0.15,0.23,0.55,0.73,0.90 SNR (dB) 11.5,15.4,17.9,21.7,22.5,22.1 O / W (dB) -10, -23, -39, -41, -43 , -42 From the above results, by forming irregularities on the substrate,
The same result as was obtained.
【0051】(実施例3)現在、磁気記録媒体には、磁
性膜としてCoCrPtTa系(例えば、Co77Cr15
Pt6Ta2)の結晶性の磁性体が多用されている。この
内、Crは磁性粒子を孤立化(磁性結晶粒を物理的に引
き離す)を促進するために用いられている。希土類遷移
金属アモルファス合金においても、磁性膜の化学的な安
定性を向上させるためにCrを添加することが試みられ
たことがある。この場合、Crは磁性体に均一に分散さ
れること、さらには膜構造がアモルファスであることか
ら結晶性の磁気記録媒体におけるCrのような働きは一
般にはしないと考えられてきた。そこで、実施例3では
下地層に適当な凹凸がついた下地に対してTbFeにC
rを添加した場合の記録再生特性を調べた。Embodiment 3 At present, a magnetic recording medium has a CoCrPtTa-based (for example, Co 77 Cr 15 ) as a magnetic film.
A crystalline magnetic material of Pt 6 Ta 2 ) is frequently used. Among them, Cr is used to promote isolation of magnetic particles (physical separation of magnetic crystal grains). There have been attempts to add Cr to rare earth transition metal amorphous alloys in order to improve the chemical stability of the magnetic film. In this case, it has been considered that Cr does not generally function like a crystalline magnetic recording medium because Cr is uniformly dispersed in a magnetic material and the film structure is amorphous. Therefore, in the third embodiment, TbFe has C
The recording / reproducing characteristics when r was added were examined.
【0052】具体的には、磁性膜に(Tb15Fe85)
100-xCrxを使用し、下地層に30nmのNiP(Ra
0.55)を使用すること以外は、実施例1と同様にし
て情報記録媒体を形成し、xに対するSNRの変化を測
定した。SNRは実施例1と同様にして測定した。結果
を以下に記載する。 Cr量(atom%) 0, 3, 7, 9, 12 SNR 21.2,22.0,22.5, 23.1,23.2 上記結果から、アモルファス合金にCrのような非磁性
元素を添加するとSNRを更に向上させることができる
ことが分かった。Specifically, (Tb 15 Fe 85 ) is added to the magnetic film.
100-x using Cr x, 30 nm of NiP the underlayer (Ra
An information recording medium was formed in the same manner as in Example 1 except that 0.55) was used, and the change in SNR with respect to x was measured. The SNR was measured in the same manner as in Example 1. The results are described below. Cr content (atom%) 0, 3, 7, 9, 12 SNR 21.2, 22.0, 22.5, 23.1, 23.2 From the above results, it can be seen that adding a nonmagnetic element such as Cr to the amorphous alloy can further improve the SNR. I understood.
【0053】(実施例4)上記実施例では、TbFeを
主成分とする希土類遷移金属のアモルファス合金につい
て検討を行ったが、実施例4では、異なる合金について
検討を行った。具体的には、磁性膜にTb15Fe85-xC
oxを使用すること以外は、実施例3と同様にして情報
記録媒体を形成し、xに対するSNRの変化を測定し
た。SNRは実施例1と同様にして測定した。結果を以
下に記載する。 Co量(atom%) 0, 10, 20, 30, 35 SNR 21.2,22.0,23.0,24.2,24.5 上記結果から、アモルファス合金にCoを添加するとS
NRを更に向上させることができることが分かった。こ
れは磁性膜の飽和磁化の値が大きくなることで、再生信
号が増大するためであると考えられる。(Embodiment 4) In the above embodiment, an amorphous alloy of a rare earth transition metal containing TbFe as a main component was examined. In Embodiment 4, a different alloy was examined. Specifically, the magnetic film is made of Tb 15 Fe 85-x C
except using o x, the same procedure as in Example 3 to form an information recording medium was measured SNR changes in relative x. The SNR was measured in the same manner as in Example 1. The results are described below. Co amount (atom%) 0, 10, 20, 30, 35 SNR 21.2, 22.0, 23.0, 24.2, 24.5 From the above results, when Co is added to the amorphous alloy, S
It was found that NR could be further improved. It is considered that this is because the value of the saturation magnetization of the magnetic film is increased and the reproduction signal is increased.
【0054】(実施例5)更に異なる合金膜であるRE
リッチのDyFeCoについて検討行った。なお、Dy
FeCoはTbFeより垂直磁気異方性は小さいが、飽
和磁化の値が大きいことからより大きな信号を得られる
可能性がある。さらに、REリッチにすることによっ
て、環境温度が上昇した場合でも保磁力が増大するの
で、対温度対策には優れていると考えられる。(Embodiment 5) A different alloy film, RE
A study was made on rich DyFeCo. Dy
Although FeCo has a smaller perpendicular magnetic anisotropy than TbFe, a larger signal may be obtained due to a larger saturation magnetization value. Further, by making the RE rich, the coercive force increases even when the environmental temperature rises, so that it is considered to be excellent in measures against temperature.
【0055】具体的には、磁性膜にREリッチのDy25
Fe45Co30を使用すること以外は、実施例3と同様に
して情報記録媒体を形成した。この磁性膜の保磁力は約
2KOeであり、保磁力が無限大になる補償温度は約1
30℃である。また、200KfciにおけるSNRは
24.5dBであった。この結果は、実施例4のTb 15
Fe55Co30と同程度であった。More specifically, RE-rich Dy is added to the magnetic film.twenty five
Fe45Co30As in Example 3, except that
Thus, an information recording medium was formed. The coercive force of this magnetic film is about
2 KOe, and the compensation temperature at which the coercive force becomes infinite is about 1
30 ° C. Also, the SNR at 200 Kfci is
It was 24.5 dB. This result is similar to Tb of Example 4. 15
Fe55Co30Was about the same.
【0056】次に、Dy25Fe45Co30とTb15Fe55
Co30の温度上昇に対するSNRの変化を測定した。具
体的には、実施例1と同様にして情報を記録し、所定温
度に情報記録媒体を加熱し、室温に戻した時のSNRを
測定した。結果を以下に記載する。 加熱温度(℃) 20, 40, 50, 60, 70, 80 Tb15Fe55Co30 24.2, 24.2, 24.0, 23.5, 23.2, 22.9 Dy25Fe45Co30 24.5, 24.5, 24.4, 24.4, 24.4, 24.4 以上の結果より、REリッチな磁化膜は温度上昇に対し
て非常に有効であることが分かった。Next, Dy 25 Fe 45 Co 30 and Tb 15 Fe 55
The change in SNR with respect to the temperature rise of Co 30 was measured. Specifically, information was recorded in the same manner as in Example 1, and the SNR when the information recording medium was heated to a predetermined temperature and returned to room temperature was measured. The results are described below. Heating temperature (° C) 20, 40, 50, 60, 70, 80 Tb 15 Fe 55 Co 30 24.2, 24.2, 24.0, 23.5, 23.2, 22.9 Dy 25 Fe 45 Co 30 24.5, 24.5, 24.4, 24.4, 24.4, 24.4 From the above results, it was found that the RE-rich magnetic film was very effective against the temperature rise.
【0057】(実施例6)実施例6では、磁気特性の異
なる磁性膜を交換結合させた場合の記録再生特性を調べ
た。具体的には、下地層側から15nmのTbFeと3
5nmのTbFeCoの積層体からなる磁性膜を使用す
ること以外は、実施例3と同様にして情報記録媒体を形
成した。なお、TbFeはほぼ補償組成を有し、磁化は
小さいが保磁力が大きいTb22Fe78とし、TbFeC
oは保磁力は小さいが飽和磁化の値が大きくなるよう
に、 Tb12Fe50Co38とした(前者は記録層とし
て、後者は再生層としての役割を主に果たす)。Example 6 In Example 6, recording / reproducing characteristics when magnetic films having different magnetic characteristics were exchange-coupled were examined. Specifically, 15 nm of TbFe and 3
An information recording medium was formed in the same manner as in Example 3, except that a magnetic film made of a 5 nm TbFeCo laminate was used. Note that TbFe has a substantially compensating composition, Tb 22 Fe 78 having a small magnetization but a large coercive force, and TbFeC
o is Tb 12 Fe 50 Co 38 so that the coercive force is small but the value of the saturation magnetization is large (the former mainly plays a role as a recording layer, and the latter mainly plays a role as a reproducing layer).
【0058】得られた情報記録媒体のSNRを実施例1
と同様にして測定したところ、24.6であり、実施例
4のTbFeCo単層膜に比べて良好であった。更に、
下地層側からTb24Fe76とDy22Fe45Co33の積層
体を交換結合させること以外は、上記と同様にして形成
した情報記録媒体のSNRは25.1dBであり、上記
TbFeとTbFeCoの積層体の場合と同じく、実施
例5のDy25Fe45Co30単相膜に比べて良好であっ
た。以上から、磁気記録媒体でも希土類遷移金属アモル
ファス合金を交換結合させることによって、単層膜では
得られないSNR特性が得られることが分かった。The SNR of the obtained information recording medium was determined in Example 1.
The measured value was 24.6, which was better than that of the TbFeCo single-layer film of Example 4. Furthermore,
The SNR of the information recording medium formed in the same manner as described above except that the laminate of Tb 24 Fe 76 and Dy 22 Fe 45 Co 33 was exchange-coupled from the underlayer side was 25.1 dB, and the TbFe and TbFeCo As in the case of the laminate, the results were better than the Dy 25 Fe 45 Co 30 single-phase film of Example 5. From the above, it was found that, even in a magnetic recording medium, SNR characteristics that cannot be obtained with a single-layer film can be obtained by exchange-coupling a rare-earth transition metal amorphous alloy.
【0059】(実施例7)実施例7では、垂直磁化膜と
面内磁化膜を交換結合させた場合の記録再生特性を調べ
た。具体的には、下地層側から15nmのGdFeCo
(面内磁化膜)と35nmのDyFeCo(垂直磁化
膜)の積層体を交換結合させること以外は、実施例3と
同様にして情報記録媒体を形成した。なお、GdFeC
oには、REリッチで、膜面に対して垂直方向に磁界を
印加した場合、約3kOeで磁化が飽和し、保磁力がほ
とんどないGd35Fe50Co15を用いた。また、DyF
eCoには、Dy25Fe45Co30を使用した。得られた
情報記録媒体に200Kfciの情報を、30mAの記
録電流で記録した場合、25.5dBの十分高いSNR
を得ることができた。Example 7 In Example 7, the recording / reproducing characteristics when the perpendicular magnetization film and the in-plane magnetization film were exchange-coupled were examined. Specifically, GdFeCo of 15 nm from the underlayer side
An information recording medium was formed in the same manner as in Example 3, except that a laminate of (in-plane magnetic film) and 35 nm of DyFeCo (perpendicular magnetic film) was exchange-coupled. Note that GdFeC
For o, Gd 35 Fe 50 Co 15 , which is RE-rich and whose magnetization is saturated at about 3 kOe and has almost no coercive force when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface, is used. Also, DyF
Dy 25 Fe 45 Co 30 was used for eCo. When information of 200 Kfci is recorded on the obtained information recording medium at a recording current of 30 mA, a sufficiently high SNR of 25.5 dB is obtained.
Could be obtained.
【0060】一方、面内磁化膜を形成しないこと(即
ち、磁性膜がDyFeCoのみかなること)以外は、上
記と同様にして形成した情報記録媒体は、200Kfc
iの情報を記録する際に、25dB程度のSNRを得る
のに必要な記録電流は50mAであった。上記から、面
内磁化膜を磁化反転補助層として付加することによって
磁化反転が助けられ、記録磁界感度が改善されることが
分かった。On the other hand, except that the in-plane magnetized film is not formed (that is, the magnetic film can only be made of DyFeCo), the information recording medium formed in the same manner as described above has a capacity of 200 Kfc.
When recording the information of i, the recording current required to obtain an SNR of about 25 dB was 50 mA. From the above, it was found that the addition of the in-plane magnetized film as the magnetization reversal auxiliary layer assisted the magnetization reversal and improved the recording magnetic field sensitivity.
【0061】(実施例8)実施例6と7の構成を組み合
わせた情報記録媒体、即ち、保磁力が大きく飽和磁化の
小さい層と、保磁力が小さいが飽和磁化が大きい層と、
磁化反転補助層(再生層/記録層/磁化反転補助層)か
らなる磁性膜を作成した。具体的には、下地層側から1
0nmのGd35Fe50Co15、10nmのTb24Fe76
及び35nmのDy22Fe45Co33の積層体を磁性膜と
して使用すること以外は、実施例3と同様にして情報記
録媒体を形成した。この情報記録媒体は、30mAの電
流で、200Kfciの信号に対して、25.7dBの
SNRを得ることができた。この結果により、再生層/
記録層/磁化反転補助層という構成は、SNRを更に向
上させることが分かった。(Embodiment 8) An information recording medium combining the configurations of Embodiments 6 and 7, that is, a layer having a large coercive force and a small saturation magnetization, a layer having a small coercive force but a large saturation magnetization,
A magnetic film composed of a magnetization reversal auxiliary layer (reproducing layer / recording layer / magnetization reversal auxiliary layer) was formed. Specifically, 1 from the underlayer side
0 nm Gd 35 Fe 50 Co 15 , 10 nm Tb 24 Fe 76
And except that used as a magnetic film stack of 35nm of Dy 22 Fe 45 Co 33 was formed an information recording medium in the same manner as in Example 3. This information recording medium was able to obtain an SNR of 25.7 dB for a signal of 200 Kfci at a current of 30 mA. According to this result, the reproduction layer /
It has been found that the configuration of the recording layer / the magnetization reversal auxiliary layer further improves the SNR.
【0062】(実施例9)これまでは、同一条件で磁性
膜を形成してきたが、磁性膜のスパッタ条件によって、
下地層の凹凸の大きさ(つまりRa)が若干変わること
がある。実施例9では、磁性膜形成の条件の内、スパッ
タガス圧を変更して情報記録媒体を形成した。具体的に
は、スパッタガス圧を1.0Paにすること以外は実施
例1と同様にして、情報記録媒体を作成した。得られた
情報記録媒体のSNRを実施例1と同様にして測定し
た。結果を実施例1の結果と合わせて以下に示す。 下地層の膜厚(nm) 0, 10, 20, 30, 40, 50 SNR(dB) 11.5, 15.8, 18.9, 21.2, 22.0, 22.2(0.5Paの場合) SNR(dB) 11.5, 17.5, 19.2, 22.2, 23.0, 23.2(1.0Paの場合) つまり、記録特性は、磁性膜の下地のRaに対して一意
的にきまるものではないが、SNRを改善する上では、
下地層の凹凸が誘発する磁性膜の内部の膜構造が非常に
重要であることが分かった。(Embodiment 9) Up to now, the magnetic film has been formed under the same conditions.
The size (ie, Ra) of the unevenness of the underlayer may slightly change. In Example 9, the information recording medium was formed by changing the sputtering gas pressure among the conditions for forming the magnetic film. Specifically, an information recording medium was prepared in the same manner as in Example 1 except that the sputtering gas pressure was changed to 1.0 Pa. The SNR of the obtained information recording medium was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown below together with the results of Example 1. Underlayer thickness (nm) 0, 10, 20, 30, 40, 50 SNR (dB) 11.5, 15.8, 18.9, 21.2, 22.0, 22.2 (at 0.5 Pa) SNR (dB) 11.5, 17.5, 19.2, 22.2, 23.0, 23.2 (in the case of 1.0 Pa) In other words, the recording characteristics are not uniquely determined with respect to the Ra of the magnetic film, but in order to improve the SNR,
It has been found that the film structure inside the magnetic film, which is induced by the unevenness of the underlayer, is very important.
【0063】(実施例10)実施例10では、下地層の
凹凸周期に対するSNRを調べた。具体的には、下地層
(NiP層)の形成時の投入電力を変えることによって
凹凸のRaをほぼ一定にして、凹凸の周期を変更するこ
と以外は、実施例1と同様にして情報記録媒体を形成し
た。得られた情報記録媒体のSNRを実施例1と同様に
して測定した。結果を以下に示す。 投入電力(KW):0.4, 0.7, 1, 1.4, 2.1,2.9 凹凸周期(nm):6, 10, 20, 30, 40, 50 SNR(dB) :12.0,16.3,18.9,19.2,17.5,12.4 以上のことから、下地層上の凹凸の周期を増減させるこ
とにより、その上に形成される磁性膜のコラム構造の周
期も増減するが、情報の記録には10〜40nmの周期
が適することが分かった。Example 10 In Example 10, the SNR with respect to the unevenness period of the underlayer was examined. More specifically, the information recording medium is the same as in the first embodiment except that the Ra of the irregularities is made substantially constant by changing the input power at the time of forming the underlayer (NiP layer) and the period of the irregularities is changed. Was formed. The SNR of the obtained information recording medium was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown below. Input power (KW): 0.4, 0.7, 1, 1.4, 2.1, 2.9 Uneven period (nm): 6, 10, 20, 30, 40, 50 SNR (dB): 12.0, 16.3, 18.9, 19.2, 17.5, 12.4 From the above, although the period of the column structure of the magnetic film formed thereon is increased / decreased by increasing / decreasing the period of the unevenness on the underlayer, a period of 10 to 40 nm is suitable for recording information. Do you get it.
【0064】(実施例11)実施例1〜10では、室温
で再生したが、昇温することによって磁化膜の磁化を大
きくすることが可能な場合がある。特に、希土類遷移金
属アモルファス合金の場合、温度に対する磁気特性を巧
妙に変化させることが可能である。そこで、実施例11
では、実施例7で用いた交換結合したTb24Fe76/D
y 22Fe45Co33からなる磁性膜に、温度変化を外部か
ら与えることによって、Tb24Fe76の磁化を大きくし
て、結果的に大きな再生信号をえる再生を行った。(Example 11) In Examples 1 to 10, room temperature
However, when the temperature rises, the magnetization of the magnetized film increases.
In some cases, it is possible to be criticized. In particular, rare earth transition gold
In the case of amorphous alloys, the magnetic properties
It can be changed strangely. Therefore, Embodiment 11
Then, the exchange-coupled Tb used in Example 7 was used.twenty fourFe76/ D
y twenty twoFe45Co33Temperature changes on the magnetic film made of
By giving Tbtwenty fourFe76Increase the magnetization of
As a result, reproduction was performed to obtain a large reproduction signal.
【0065】この実施例では図2に示す記録再生装置を
使用した。図2では、再生時の温度上昇の手段として、
ほとんど絞ることのない照射直径約15μmのレーザー
光を用い、レーザー光が照射された領域では温度が全体
として上昇する。レーザー光のパワーを変化させたとこ
ろ、パワー変化に対して次のようなSNRの変化が認め
られた。これは、200Kfciの情報を記録した場合
の値である。 照射パワー(mW) 0, 5, 10, 15, 20 SNR(dB) 25.1,25.5, 26.1, 26.6, 25.5 以上から、磁性膜を加熱することによりSNRを更に向
上させることができた。なお、20mWでSNRが低下
しているのは、記録された信号が消え始めたからであ
る。In this embodiment, the recording / reproducing apparatus shown in FIG. 2 was used. In FIG. 2, as means for increasing the temperature during regeneration,
A laser beam having an irradiation diameter of about 15 μm, which is hardly squeezed, is used, and the temperature rises as a whole in a region irradiated with the laser beam. When the power of the laser beam was changed, the following SNR changes were observed with respect to the power change. This is a value when 200 Kfci information is recorded. Irradiation power (mW) 0, 5, 10, 15, 20 SNR (dB) 25.1, 25.5, 26.1, 26.6, 25.5 From above, it was possible to further improve the SNR by heating the magnetic film. The reason why the SNR is lowered at 20 mW is that the recorded signal starts to disappear.
【0066】(実施例12)実施例11では記録ヘッド
及び再生ヘッドと、レーザー光照射手段が別の構成から
なる記録再生装置を使用したが、実施例12では、記録
ヘッド、再生ヘッド及びレーザー光照射手段を一体で備
えた記録再生装置を使用した。より具体的には、レーザ
ー光照射手段は、レーザー光発生装置と光導波路からな
り、記録及び再生方向に対して、記録ヘッド及び再生ヘ
ッドより前に位置している。このような記録再生装置
は、レーザー光出射位置、記録ヘッド及び再生ヘッドの
位置が相対的に変化しない。(Embodiment 12) In Embodiment 11, a recording / reproducing apparatus having a recording head and a reproducing head and a laser beam irradiating means having different structures was used. In Embodiment 12, a recording head, a reproducing head and a laser beam were used. A recording / reproducing apparatus integrally provided with irradiation means was used. More specifically, the laser light irradiation means includes a laser light generator and an optical waveguide, and is located before the recording head and the reproducing head in the recording and reproducing directions. In such a recording / reproducing apparatus, the laser beam emitting position and the positions of the recording head and the reproducing head do not relatively change.
【0067】上記記録再生装置と実施例11の情報記録
媒体を用いて、情報の再生を行った。 照射パワー(mW) 0, 2, 4, 7, 10 SNR(dB) 25.1,25.5,26.1,26.6,25.5 実施例11とほぼ同様なSNRが得られているが、この実
施例ではレーザー光が絞り込まれているため照射パワー
を相対的に低くすることができた。なお、レーザー光の
照射直径は0.5μmとした。Information was reproduced using the recording / reproducing apparatus and the information recording medium of the eleventh embodiment. Irradiation power (mW) 0, 2, 4, 7, 10 SNR (dB) 25.1, 25.5, 26.1, 26.6, 25.5 SNR almost similar to that of Example 11 was obtained, but in this example, laser light was narrowed down. As a result, the irradiation power could be relatively reduced. The irradiation diameter of the laser beam was 0.5 μm.
【0068】(実施例13)まず、基板上に、厚さ20
nmのSiN膜、Tb16Fe84からなる磁性膜(TMリ
ッチ)又はTb28Fe72からなる磁性膜(REリッ
チ)、厚さ20nmのSiN膜を順に作製することによ
り2種類の情報記録媒体を得、それぞれの磁気特性を調
べた。なお、磁性膜は、公知のマグネトロンスパッタ装
置を用いて、各組成を有するターゲットをスパッタガス
(Ar)圧:0.5Pa、スパッタレート30nm/m
という条件で作製した。磁性膜がTb16Fe84からなる
場合、室温での保磁力は3kOeであり、65℃での保
磁力は2kOeであり、飽和磁化は200emu/cc
であった。磁性膜がTb28Fe72からなる場合、室温で
の保磁力は3kOeであり、65℃での保磁力は4kO
eであり、飽和磁化は150emu/ccであった。(Embodiment 13) First, a substrate having a thickness of 20
By forming a SiN film having a thickness of 20 nm, a magnetic film made of Tb 16 Fe 84 (TM rich) or a magnetic film made of Tb 28 Fe 72 (RE rich), and a SiN film having a thickness of 20 nm, two types of information recording media can be obtained. Then, the respective magnetic characteristics were examined. The magnetic film was formed by using a known magnetron sputtering apparatus and sputtering a target having each composition to a sputtering gas (Ar) pressure of 0.5 Pa and a sputtering rate of 30 nm / m.
It was manufactured under the conditions described below. When the magnetic film is made of Tb 16 Fe 84 , the coercive force at room temperature is 3 kOe, the coercive force at 65 ° C. is 2 kOe, and the saturation magnetization is 200 emu / cc.
Met. When the magnetic film is made of Tb 28 Fe 72 , the coercive force at room temperature is 3 kOe, and the coercive force at 65 ° C. is 4 kOe.
e, and the saturation magnetization was 150 emu / cc.
【0069】次に、図8に示すように、上記2種の磁性
膜を連続して積層した。具体的には、基板1上に、20
nmのSiN膜、10nmのNiP膜、2nmのC膜か
らなる下地層2をこの順で形成した。更に、C膜上に、
12nmのTb28Fe72からなる磁性膜7、32nmの
Tb16Fe84からなる磁性膜8を連続して形成した。こ
の後、7nmのSiNからなる保護層9、3nmのCか
らなる固体潤滑層(図示せず)をこの順で形成すること
により、両磁性膜が交換結合した情報記録媒体を得た 得られた情報記録媒体の室温での保磁力は約2.7kO
eであり、tBrは58Gaussμmであり、65℃
での保磁力は4kOeであり、tBrは60Gauss
μmであった。Next, as shown in FIG. 8, the two kinds of magnetic films were successively laminated. Specifically, on the substrate 1, 20
An underlayer 2 composed of a 10 nm SiN film, a 10 nm NiP film, and a 2 nm C film was formed in this order. Furthermore, on the C film,
A magnetic film 7 made of 12 nm Tb 28 Fe 72 and a magnetic film 8 made of 32 nm Tb 16 Fe 84 were continuously formed. Thereafter, a protective layer 9 made of 7 nm SiN and a solid lubricating layer (not shown) made of 3 nm C were formed in this order to obtain an information recording medium in which both magnetic films were exchange-coupled. The coercive force of the information recording medium at room temperature is about 2.7 kO.
e, tBr is 58 Gauss μm, 65 ° C.
Is 4 kOe, and tBr is 60 Gauss.
μm.
【0070】上記情報記録媒体を実際の磁気ディスクド
ライブで以下のように記録再生することにより評価し
た。約25℃に保った恒温恒湿槽に磁気ディスクドライ
ブを設置して、マージ型GMRで記録再生したところ、
記録電流Iwを約15mAにすることで信号振幅は飽和
し、O/W(20Kfciの上に240Kfciを記
録)特性も−40dBという良好な値を示した。また、
240KfciにおけるSNRも21dBという値を示
した。The above-mentioned information recording medium was evaluated by recording and reproducing as follows using an actual magnetic disk drive. When a magnetic disk drive was installed in a thermo-hygrostat kept at about 25 ° C and recorded and reproduced by a merge type GMR,
By setting the recording current Iw to about 15 mA, the signal amplitude was saturated, and the O / W (recording 240 Kfci over 20 Kfci) characteristic showed a good value of -40 dB. Also,
The SNR at 240 Kfci also showed a value of 21 dB.
【0071】恒温恒湿槽を65℃に保った場合も同一の
マージ型GMRで記録再生したところ、Iwを約17m
Aにすることで信号振幅は飽和し、O/W特性も−38
dBという良好な値を示した。また、240Kfciに
おけるSNRも21.3dBという値を示した。更に、
室温及び65℃で記録した信号は2時間後も何ら変化す
ることなく、記録直後のSNRを保つことが可能であっ
た。Even when the temperature and humidity chamber was kept at 65 ° C., when recording and reproduction were performed by the same merge type GMR, Iw was about 17 m.
By setting to A, the signal amplitude is saturated and the O / W characteristic is also -38.
It showed a good value of dB. The SNR at 240 Kfci also showed a value of 21.3 dB. Furthermore,
The signal recorded at room temperature and at 65 ° C. was able to maintain the SNR immediately after recording without any change even after 2 hours.
【0072】(実施例14)TMリッチ膜としてTbF
eCo膜を用いて、REリッチ膜としてDyFeCo膜
を用いた。具体的には、Tb15Fe75Co10膜(Hc=
2.7kOe、Ms=200emu/cc、膜厚40n
m)とDy29Fe61Co10膜(Hc=2.5kOe、M
s=130emu/cc、膜厚10nm)を用いること
以外は、実施例13と同様にして情報記録媒体を得た。
この情報記録媒体の室温での保磁力は約3.1kOeで
あり、tBrは84Gaussμmであった。また、4
0℃での保磁力は3.2kOeであり、65℃での保磁
力は4kOeであった。(Example 14) TbF was used as a TM-rich film.
A DyFeCo film was used as an RE-rich film using an eCo film. Specifically, a Tb 15 Fe 75 Co 10 film (Hc =
2.7kOe, Ms = 200emu / cc, film thickness 40n
m) and a Dy 29 Fe 61 Co 10 film (Hc = 2.5 kOe, M
An information recording medium was obtained in the same manner as in Example 13, except that s = 130 emu / cc, and a film thickness of 10 nm.
The coercive force of this information recording medium at room temperature was about 3.1 kOe, and tBr was 84 Gauss μm. Also, 4
The coercive force at 0 ° C. was 3.2 kOe, and the coercive force at 65 ° C. was 4 kOe.
【0073】従って、この媒体に磁気記録するために
は、室温でも65℃でも3.4kOe程度の磁界があれ
ば十分であり、記録された情報も消滅することはなかっ
た。更に、実施例13と同様の磁気ディスクドライブで
記録特性とデータの安定性を調べたところ、O/Wは−
38dBで良好であり、240Kfciで22dBのS
NRが得られた。更には、記録後から2時間経過した時
のSNRは22dBであり、信号は劣化しなかった。Accordingly, for magnetic recording on this medium, a magnetic field of about 3.4 kOe was sufficient at room temperature and 65 ° C., and the recorded information did not disappear. Further, when the recording characteristics and data stability were examined using the same magnetic disk drive as in Example 13, the O / W was-
Good at 38 dB, 22 dB S at 240 Kfci
NR was obtained. Furthermore, the SNR at the time when two hours had elapsed after recording was 22 dB, and the signal did not deteriorate.
【0074】(実施例15)TMリッチ膜としてDy20
Fe50Co30膜(膜厚20nm)を用いて、REリッチ
膜としてTb28Fe60Co12膜(膜厚40nm)とを用
いること以外は、実施例13と同様にして情報記録媒体
を得た。この情報記録媒体の室温での保磁力は約2.7
kOeであり、tBrは72Gaussμmであった。
また、40℃での保磁力は2.9kOeであり、65℃
での保磁力は3.1kOeであった。更には、記録後か
ら2時間経過した時のSNRは20.8dBであり、信
号はわずかしか劣化しなかった。(Embodiment 15) Dy 20 as a TM-rich film
An information recording medium was obtained in the same manner as in Example 13, except that a Fe 50 Co 30 film (film thickness: 20 nm) was used and a Tb 28 Fe 60 Co 12 film (film thickness: 40 nm) was used as the RE-rich film. . The coercive force at room temperature of this information recording medium is about 2.7.
kOe and tBr was 72 Gauss μm.
The coercive force at 40 ° C. is 2.9 kOe,
Was 3.1 kOe. Furthermore, the SNR when 2 hours had elapsed after recording was 20.8 dB, and the signal was only slightly degraded.
【0075】(実施例16)下地層としてのNiP膜の
凹凸の周期を以下のように変えること以外は実施例13
と同様にして情報記録媒体を得た。凹凸の周期は、スパ
ッタ投入電力を変えることにより調整した。また、磁性
膜のtBrは実施例13と同じ58Gaussμmとし
た。得られた情報記録媒体の240KfciにおけるS
NRを測定した。結果を以下に示す。 投入電力(kW): 0.4, 0.7, 1.0, 1.4, 2.1, 2.9 凹凸周期(nm): 6, 10, 20, 30, 40, 50 SNR(dB) :15.0, 19.4, 21.0, 21.3, 21.2, 15.4 凹凸の周期が10〜40nm程度の場合、更に好ましい
SNRが得られることがわかった。(Embodiment 16) An embodiment 13 except that the period of the unevenness of the NiP film as the underlayer is changed as follows.
An information recording medium was obtained in the same manner as described above. The period of the irregularities was adjusted by changing the power supplied to the sputter. The tBr of the magnetic film was 58 Gauss μm, which was the same as in Example 13. S at 240 Kfci of the obtained information recording medium
The NR was measured. The results are shown below. Input power (kW): 0.4, 0.7, 1.0, 1.4, 2.1, 2.9 Uneven period (nm): 6, 10, 20, 30, 40, 50 SNR (dB): 15.0, 19.4, 21.0, 21.3, 21.2, 15.4 It was found that a more favorable SNR was obtained when the period of the irregularities was about 10 to 40 nm.
【0076】(実施例17)下地層としてのNiP膜の
凹凸のRaを以下のように変えること以外は実施例13
と同様にして情報記録媒体を得た。凹凸のRaは、Ni
Pの膜厚を変えることにより調整した。また、磁性膜の
tBrは実施例13と同じ58Gaussμmとした。
得られた情報記録媒体の240KfciにおけるSNR
及びO/Wを測定した。結果を以下に示す。 NiPの膜厚(nm): 0, 8, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80 Ra(nm) :0.05,0.10,0.15,0.23,0.55,0.73,0.90,1.20,1.50,1.70 SNR(dB) :14.5,19.2,21.0,21.3,21.2,22.0,21.5,19.0,18.3,12.8 O/W(dB) :-10, -32, -40, -41 -41, -40, -43, -42, -35, -12 Raが0.1〜1.5nm程度の場合、更に好ましいS
NRが得られることがわかった。(Embodiment 17) Embodiment 13 except that the Ra of the unevenness of the NiP film as the underlayer is changed as follows.
An information recording medium was obtained in the same manner as described above. Ra of unevenness is Ni
It was adjusted by changing the thickness of P. The tBr of the magnetic film was 58 Gauss μm, which was the same as in Example 13.
SNR of obtained information recording medium at 240 Kfci
And O / W were measured. The results are shown below. NiP film thickness (nm): 0, 8, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80 Ra (nm): 0.05, 0.10, 0.15, 0.23, 0.55, 0.73, 0.90, 1.20, 1.50, 1.70 SNR (dB): 14.5,19.2,21.0,21.3,21.2,22.0,21.5,19.0,18.3,12.8 O / W (dB): -10, -32, -40, -41 -41, -40,- 43, -42, -35, -12 When Ra is about 0.1 to 1.5 nm, more preferable S
It was found that NR was obtained.
【0077】(実施例18)TbFeCo膜とDyFe
Co膜の膜厚を以下のように変化させること以外は実施
例14と同様にして情報記録媒体を得た。得られた情報
記録媒体のSNR及びtBrを測定した。結果を以下に
示す。 TbFeCo(nm) : 90, 80, 60, 50, 40, 30, 29, 27, 25, 20, 20, 20 DyFeCo(nm) : 10, 10, 10, 10, 10, 10, 10, 10, 10, 10, 25, 27 tBr(Gaussμm):210,184,134,109, 59, 57, 56, 52, 46, 33, 27, 6 SNR(dB) : 19, 21, 22, 23, 22, 22, 21, 16, 14, 10, 5, 1 tBrが55Gaussμm以上の場合、好ましいSN
Rが得られることがわかった。更に、57〜134Ga
ussμmの範囲がより好ましいことがわかった。(Embodiment 18) TbFeCo film and DyFe
An information recording medium was obtained in the same manner as in Example 14, except that the thickness of the Co film was changed as follows. The SNR and tBr of the obtained information recording medium were measured. The results are shown below. TbFeCo (nm): 90, 80, 60, 50, 40, 30, 29, 27, 25, 20, 20, 20 DyFeCo (nm): 10, 10, 10, 10, 10, 10, 10, 10, 10 , 10, 25, 27 tBr (Gaussμm): 210,184,134,109, 59, 57, 56, 52, 46, 33, 27, 6 SNR (dB): 19, 21, 22, 23, 22, 22, 21, 16, 14 , 10, 5, 1, 1 When tBr is 55 Gauss μm or more, preferable SN
It was found that R was obtained. Furthermore, 57 to 134 Ga
It was found that the range of uss μm was more preferable.
【0078】[0078]
【発明の効果】本発明の情報記録媒体は、微小記録マー
クを安定して超高密度で記録することができ、記録され
た情報を既存の磁気再生ヘッドを使用して再生すること
ができる。According to the information recording medium of the present invention, minute recording marks can be stably recorded at an ultra-high density, and the recorded information can be reproduced using an existing magnetic reproducing head.
【図1】本発明の情報記録媒体の概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of an information recording medium of the present invention.
【図2】記録再生装置の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a recording / reproducing apparatus.
【図3】情報の記録及び/又は再生の概念を示す平面図
である。FIG. 3 is a plan view showing the concept of recording and / or reproducing information.
【図4】本発明の情報記録再生用スライダの概略構成図
である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an information recording / reproducing slider of the present invention.
【図5】本発明のスライダの要部を拡大した概略断面図
である。FIG. 5 is an enlarged schematic sectional view of a main part of the slider of the present invention.
【図6】本発明のスライダの要部を拡大した概略断面図
である。FIG. 6 is an enlarged schematic sectional view of a main part of the slider of the present invention.
【図7】TbFeのTb量に対する磁化の変化を示すグ
ラフである。FIG. 7 is a graph showing a change in magnetization with respect to the amount of Tb in TbFe.
【図8】本発明の実施例13の情報記録媒体の概略断面
図である。FIG. 8 is a schematic sectional view of an information recording medium according to Embodiment 13 of the present invention.
1 基板 2 下地層 3 情報記録膜 4、23、33 レーザー光照射手段 6 磁気ヘッド部 7、8 磁性膜 9 保護層 11 昇温領域 12 磁気ヘッド 13 トラックピッチ 21、61 スライダ 22 スライダ支持手段 31 記録ヘッド 32 磁気再生ヘッド 41 レーザ 42 コリメータレンズ 43 スプリッタ 44 対物レンズ 45 1/2波長板45 46 偏向ビームスプリッタ 47、49 集光レンズ 48、50 光検出器 51 増幅器 62 増幅回路 63 積分回路 64 復調回路 65、66 切換え端子 67 共通端子 A 情報記録媒体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Underlayer 3 Information recording film 4, 23, 33 Laser light irradiation means 6 Magnetic head part 7, 8 Magnetic film 9 Protective layer 11 Heating area 12 Magnetic head 13 Track pitch 21, 61 Slider 22 Slider support means 31 Recording Head 32 Magnetic reproduction head 41 Laser 42 Collimator lens 43 Splitter 44 Objective lens 45 1/2 wavelength plate 45 46 Deflection beam splitter 47, 49 Condensing lens 48, 50 Photodetector 51 Amplifier 62 Amplifier circuit 63 Integration circuit 64 Demodulation circuit 65 , 66 Switching terminal 67 Common terminal A Information recording medium
Claims (6)
る基体上に、記録された情報を磁気的に再生しうる希土
類遷移金属のアモルファス合金を主成分とする情報記録
膜を備えてなる情報記録媒体。An information recording film mainly composed of an amorphous alloy of a rare earth transition metal capable of magnetically reproducing recorded information is provided on a substrate having irregularities of Ra of 0.1 to 1.5 nm. Information recording medium.
体上に、記録された情報を磁気的に再生しうる希土類遷
移金属のアモルファス合金を主成分とする情報記録膜を
備えてなる情報記録媒体。2. An information recording medium comprising an information recording film mainly composed of a rare earth transition metal amorphous alloy capable of magnetically reproducing recorded information on a substrate having irregularities having a period of 10 to 40 nm. .
換結合多層膜からなる情報記録膜を備え、交換結合多層
膜が、室温から65℃付近までの温度領域において保磁
力が実質的に変化せず、55Gaussμm以上の残留磁束
密度×膜厚積を有し、遷移金属リッチの希土類遷移金属
アモルファス合金層と希土類リッチの希土類遷移金属ア
モルファス合金層とを少なくとも含む情報記録媒体。3. An information recording film comprising an exchange coupling multilayer film capable of magnetically reproducing recorded information, wherein the exchange coupling multilayer film has a coercive force substantially in a temperature range from room temperature to around 65 ° C. An information recording medium that does not change, has a residual magnetic flux density × film thickness of 55 Gauss μm or more, and includes at least a transition metal rich rare earth transition metal amorphous alloy layer and a rare earth rich rare earth transition metal amorphous alloy layer.
5nmの凹凸、周期が10〜40nmの凹凸又は前記2
つの条件を満たす凹凸を有する基体上に形成されている
請求項3に記載の情報記録媒体。4. An exchange-coupled multilayer film having a Ra of 0.1 to 1.
5 nm unevenness, a period of 10 to 40 nm unevenness or 2
4. The information recording medium according to claim 3, wherein the information recording medium is formed on a substrate having irregularities satisfying the following two conditions.
ファス合金層と希土類リッチの希土類遷移金属アモルフ
ァス合金層が、少なくともTb又はDyを含む請求項3
又は4に記載の情報記録媒体。5. The transition metal rich rare earth transition metal amorphous alloy layer and the rare earth rich rare earth transition metal amorphous alloy layer contain at least Tb or Dy.
Or the information recording medium according to 4.
録媒体に情報の記録及び再生する際に使用される情報記
録再生用スライダであって、スライダが一体化された光
照射手段、記録ヘッド及び磁気再生ヘッドを備え、光照
射手段が、情報の記録及び再生方向に対して、記録ヘッ
ド及び磁気再生ヘッドより前に光照射手段が位置するこ
とを特徴とする情報記録再生用スライダ。6. An information recording / reproducing slider used when recording and reproducing information on / from the information recording medium according to claim 1, wherein the slider is an integrated light irradiator. An information recording / reproducing slider comprising a recording head and a magnetic reproducing head, wherein the light irradiating means is positioned before the recording head and the magnetic reproducing head in the recording and reproducing directions of the information.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1416481A2 (en) * | 2002-10-08 | 2004-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium, method of manufacturing magneto-optical recording medium, method of recording on magneto-optical recording medium, and method of reproduction from magneto-optical recording medium |
WO2004068485A1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Fujitsu Limited | Magnetooptic recording medium and method for producing the same |
US7038873B2 (en) | 2003-03-20 | 2006-05-02 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium having a specific relation of coercive force HC and residual magnetization MR in perpendicular direction to substrate surface |
WO2006126419A1 (en) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium, method for manufacturing such magnetic recording medium, and recording/reproducing method for magnetic recording medium |
US7357996B2 (en) | 2002-12-25 | 2008-04-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium, magnetic recording device, and method of manufacturing magnetic recording medium |
-
1999
- 1999-09-20 JP JP26564099A patent/JP2000315310A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1416481A2 (en) * | 2002-10-08 | 2004-05-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium, method of manufacturing magneto-optical recording medium, method of recording on magneto-optical recording medium, and method of reproduction from magneto-optical recording medium |
EP1416481A3 (en) * | 2002-10-08 | 2008-01-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium, method of manufacturing magneto-optical recording medium, method of recording on magneto-optical recording medium, and method of reproduction from magneto-optical recording medium |
US7357996B2 (en) | 2002-12-25 | 2008-04-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium, magnetic recording device, and method of manufacturing magnetic recording medium |
WO2004068485A1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Fujitsu Limited | Magnetooptic recording medium and method for producing the same |
US7038873B2 (en) | 2003-03-20 | 2006-05-02 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium having a specific relation of coercive force HC and residual magnetization MR in perpendicular direction to substrate surface |
WO2006126419A1 (en) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium, method for manufacturing such magnetic recording medium, and recording/reproducing method for magnetic recording medium |
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