JP2000314650A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン性液体のための気体／液体検出器であって、
容量型センサとキャパシタンス検出器とを有し、
前記容量型センサは、第１及び第２の電極、及びデバイ素子を含み、
該デバイ素子は、液体と接触している電極群の部分に隣り合って前記液体中に形成され、各々が分路導体を有するデバイコンデンサを含み、前記分路導体は印加電圧が増加するにつれて指数関数的に増大するコンダクタンスを有し、前記第１電極と隣接した前記デバイ素子と前記第２電極と隣接した前記デバイ素子とは液体によって直列に接続され、少なくとも前記第１電極と隣接した前記デバイ素子は、該デバイ素子を有しない電極群間のキャパシタンスより大きいキャパシタンスを有するようにされ、
前記キャパシタンス検出器は、前記容量型センサに接続されて、前記第１及び第２の電極間に交流電圧を印加することによってキャパシタンスを測定し、測定の際に印加される交流電圧は、前記第１の電極と隣接するデバイ素子が優勢的に容量性ではなくなる電圧を下回る振幅を有するように選択されることを特徴とする気体／液体検出器。
【請求項２】
前記第１及び第２の電極の各々は、相互接続要素と、該相互接続要素から延びる細長のフィンガ群を有し、前記第１の電極の前記フィンガ群は、前記第２の電極のフィンガ群に対して差し込まれた構造を有することを特徴とする、請求項１に記載の気体／液体検出器。
【請求項３】
前記第１の電極は、前記液体との接触状態が変化される場所に配置され、前記第２の電極は、前記液体の接触状態が維持される場所に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の気体／液体検出器。
【請求項４】
前記第２の電極は、仕事関数が小さな材料で、前記液体と実質的にオーム接触を実現できる材料から成ることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の気体／液体検出器。
【請求項５】
イオン性液体からガスを除去するための気体除去装置であって、
境界を有し、気体のバブルを集める構造を含むバブル捕獲チャンバーと、
請求項１から４のいずれかに記載の気体／液体検出器であって、容量型センサを構成する前記第１及び第２の電極の少なくとも一つが、前記バブル捕獲チャンバー内に該バブル捕獲チャンバーの前記境界にそろった形状を有するものとされ、前記キャパシタンス検出器は、前記バブル捕獲チャンバー内に集められた気体のバブルが、所定の寸法まで成長し少なくとも前記容量型センサの一部に重なるようになったときに、状態を変化させる出力信号を生成するようにされた気体／液体検出器と、
前記バブル捕獲チャンバーに結合し、前記容量型検出器の出力信号に対して応答して、該バブル捕獲チャンバーから気体のバブルを取り出すよう動作するバブル除去システムとを有することを特徴とする気体除去装置。
【請求項６】
イオン性液体の圧力を決定する圧力センサであって、
圧力を介して液体と相関し、前記液体の圧力で液体表面の位置が定まるようにした圧力対位置コンバータと、
請求項１から請求項４のいずれかに記載の気体／液体検出器とを有し、
前記容量型センサの前記第１及び第２の電極の少なくとも一つは、前記圧力対位置コンバータ内で前記液体に接触するように置かれ、
前記液体に接触する前記容量型センサの前記第１及び第２の電極の少なくとも一つの一部の領域は、前記液体の表面位置に依存するようにされることを特徴とする圧力センサ。