JP2000306275A - Method and device for sticking optical disk - Google Patents

Method and device for sticking optical disk

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JP2000306275A
JP2000306275A JP11109077A JP10907799A JP2000306275A JP 2000306275 A JP2000306275 A JP 2000306275A JP 11109077 A JP11109077 A JP 11109077A JP 10907799 A JP10907799 A JP 10907799A JP 2000306275 A JP2000306275 A JP 2000306275A
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disks
pressure
air
liquid adhesive
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Masahiko Kotoyori
正彦 琴寄
Koji Yamaguchi
鉱二 山口
Hironobu Nishimura
西村  博信
Yutaka Matsumoto
豊 松本
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Origin Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stuck disk having fair appearance and uniform in the thickness of the inside part. SOLUTION: Two disks 1 are overlapped by way of a liquid adhesive 2, this liquid adhesive 2 is spread on a prescribed region by the high-speed spinning of the disks 1 and the disks 1 are stuck together. In the high-speed spinning, pressing force in the inward direction of the disks 1 is applied to the liquid adhesive 2 between the disks 1 by applying force which presses the upper disk downward and the liquid adhesive 2 is spread on the prescribed region while preventing the transfer of the surface of the inside part of the liquid adhesive 2 toward the outside by centrifugal force in the high-speed spinning.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】 本発明は、光ディスクの製造方
法および装置の内、2枚のディスクを貼り合わせて1枚
の光ディスクを作る貼り合わせ方法および装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing one optical disk by bonding two disks to each other among methods and apparatuses for manufacturing an optical disk.

【0002】[0002]

【従来技術】 従来の光ディスクの貼り合わせ方法およ
び装置で、特に液体状の接着剤を介してディスクを重ね
合わせた後、ディスクを高速回転させて接着剤を所定領
域に広げる際に、高速回転時に接着剤の内周部分の表面
が遠心力によって外周側へ移動されるのを防止するもの
としては、例えば図11に示すようなものがあった。
2. Description of the Related Art In a conventional optical disk laminating method and apparatus, particularly after laminating disks through a liquid adhesive, when the disk is rotated at a high speed and the adhesive is spread over a predetermined area, a high speed rotation is required. FIG. 11 shows an example of a device that prevents the surface of the inner peripheral portion of the adhesive from being moved to the outer peripheral side by centrifugal force.

【0003】 図11に従って従来例の構造を説明す
る。まず、接着剤を遠心力により広げるため、ディスク
を載置して高速回転させるための回転ステージ50があ
り、その中心部にはディスクの中心穴にはまるピン状部
材51が備えられる。このピン状部材51の垂直面には
複数の吸引穴52が均一な間隔で形成され、流路53を
介して、図示しない真空源に接続される。また、回転ス
テ―ジ台50のディスクを載置する平面には吸着穴54
が形成され、図示しない真空源と接続される。ここで吸
着穴54が接続される真空源は、流路53が接続される
真空源とは異なる場合が多く、一般に流路53に接続さ
れる真空源の方が圧力が高く、大気圧に近い。
A structure of a conventional example will be described with reference to FIG. First, in order to spread the adhesive by centrifugal force, there is a rotation stage 50 for mounting and rotating the disc at a high speed, and a pin-shaped member 51 which fits in the center hole of the disc is provided at the center. A plurality of suction holes 52 are formed on the vertical surface of the pin-shaped member 51 at uniform intervals, and are connected to a vacuum source (not shown) via a flow path 53. A suction hole 54 is provided on a plane of the rotary stage table 50 on which the disk is placed.
Is formed and connected to a vacuum source (not shown). Here, the vacuum source to which the suction hole 54 is connected is often different from the vacuum source to which the flow path 53 is connected. Generally, the vacuum source connected to the flow path 53 has a higher pressure and is close to the atmospheric pressure. .

【0004】 次に、図11の従来例の動作を説明す
る。図示しない搬送装置によって、貼り合わされる2枚
のディスク1が液体状接着剤2を介して重ね合わされた
状態で回転ステージ50上に載置された後、吸着穴54
に接続される図示しない真空源が作動し、下側ディスク
4が吸着保持される。その後、流路53に接続される図
示しない真空源が作動し、接着剤2をディスク内周方向
に吸引する。
Next, the operation of the conventional example shown in FIG. 11 will be described. After the two disks 1 to be bonded are placed on the rotary stage 50 in a state of being superimposed via the liquid adhesive 2 by a transport device (not shown), the suction holes 54
, A vacuum source (not shown) is operated, and the lower disk 4 is held by suction. Thereafter, a vacuum source (not shown) connected to the flow path 53 operates to suck the adhesive 2 in the disk inner circumferential direction.

【0005】 液体状接着剤2の内周部分の表面6が所
定の位置に到達した後、回転ステージ50が高速回転を
開始し、液体状接着剤2を所要の範囲に広げる。この高
速回転の間、流路53に接続される図示しない真空源は
作動し続け、表面6が遠心力によってディスク外周方向
へ移動されるのを防ぐ。
After the surface 6 of the inner peripheral portion of the liquid adhesive 2 reaches a predetermined position, the rotating stage 50 starts rotating at a high speed, and spreads the liquid adhesive 2 to a required range. During this high-speed rotation, the vacuum source (not shown) connected to the flow path 53 continues to operate, preventing the surface 6 from being moved toward the outer periphery of the disk by centrifugal force.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、この
ような従来のものにあっては下記のような問題点があっ
た。
However, such a conventional device has the following problems.

【0007】 ここで使用される液体状接着剤2がディ
スク1の中心穴にかかると、接着剤硬化後に中心穴の大
きさが所定のものより小さくなり、かついびつになって
しまう。上記中心穴全周に渡って接着剤がかかるように
したとしても、接着剤硬化後に、中心穴の所定の寸法、
形状を正確に維持することは不可能である。このような
状態になると、貼り合わされたディスクは、読み取り装
置による正常な信号読み取りが困難になる。したがっ
て、ディスク間の液体状接着剤の内周部分の表面6を中
心穴に到達する前に、適正な位置で止める必要がある
が、ここに従来のものの問題点がある。
When the liquid adhesive 2 used here is applied to the center hole of the disk 1, the size of the center hole becomes smaller than a predetermined size after the adhesive is cured, and the center hole becomes distorted. Even if the adhesive is applied over the entire circumference of the center hole, after the adhesive is cured, the predetermined size of the center hole,
It is impossible to maintain the shape exactly. In such a state, it becomes difficult for the bonded disk to normally read signals by the reading device. Therefore, it is necessary to stop the surface 6 of the inner peripheral portion of the liquid adhesive between the discs at an appropriate position before reaching the center hole, but this has a problem of the conventional one.

【0008】 従来例では、貼り合わされる2枚のディ
スク1間の接着剤を直接吸引するが、気体の流動を伴う
ため、接着剤に作用する吸引力を内周部分の表面6の全
周に渡って均一にすることが困難で、上記表面6の移動
速度にばらつきが生じやすい。また吸引による上記表面
6の移動速度が速いこともあって、図12に示すように
上記表面6をきれいな円形を保ったまま適正な位置に止
めることが難しく、貼り合わされたディスクの内周部分
の外観が汚くなりやすい。
In the conventional example, the adhesive between the two disks 1 to be bonded is directly sucked. However, since the gas flows, the suction force acting on the adhesive is applied to the entire surface 6 of the inner peripheral portion. It is difficult to make the entire surface uniform, and the moving speed of the surface 6 tends to vary. In addition, since the moving speed of the surface 6 due to suction is high, it is difficult to stop the surface 6 at an appropriate position while maintaining a clean circular shape as shown in FIG. Appearance tends to be dirty.

【0009】 また、貼り合わせ時の上記表面6の形状
の乱れにより、貼り合わされたディスクの、記録領域の
内周部分における接着層厚さの乱れを生じやすい。これ
は例えばDVD(デジタル・バーサタイル・ディスク)
の内、片面2層読み取りディスクにおいては、信号読み
取りエラー発生につながり、大きな問題となる。
In addition, due to the disorder of the shape of the surface 6 at the time of bonding, the thickness of the adhesive layer at the inner peripheral portion of the recording area of the bonded disc is likely to be disordered. This is for example DVD (Digital Versatile Disc)
Of these, a single-sided, dual-layer reading disk leads to a signal reading error, which is a serious problem.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】 この課題を解決するた
めに、本発明に係る方法では、液体状接着剤を介して2
枚のディスクを重ね合わせた後、ディスクを高速回転さ
せて上記液体状接着剤を所定領域に広げる光ディスクの
貼り合わせ方法において、上記2枚のディスクを高速回
転させる際に、その上側ディスクを下向きに押す力をか
けることにより上記ディスク間の液体状接着剤をディス
ク内周方向へ押す力を働かせ、高速回転時の遠心力によ
り上記液体状接着剤の内周部分の表面が外周側へ移動さ
れることなく、所定内周領域に広げることができる光デ
ィスクの貼り合わせ方法を提案するものである。
Means for Solving the Problems In order to solve this problem, the method according to the present invention employs a liquid adhesive through a liquid adhesive.
After the two disks are superimposed, in a method of laminating the optical disks to rotate the disks at a high speed and spread the liquid adhesive in a predetermined area, when rotating the two disks at a high speed, the upper disk is turned downward. By applying a pushing force, a force is applied to push the liquid adhesive between the disks in the inner circumferential direction of the disks, and the surface of the inner circumferential portion of the liquid adhesive is moved to the outer circumferential side by centrifugal force during high-speed rotation. The present invention proposes a method for bonding optical disks that can be extended to a predetermined inner peripheral area without any problem.

【0011】 第2の手段として、請求項1において、
上記液体状接着剤を介して重ね合わされた2枚の上記デ
ィスクの高速回転時に、これらディスクの中心穴からそ
れらディスクの間隔よりも狭い吸気口を通して吸気する
ことによって、2枚の上記ディスクの間の圧力を大気圧
より低くし、その上側ディスクを下向きに押す力を作用
させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法を提
案するものである。
As a second means, in claim 1,
At the time of high-speed rotation of the two disks superimposed via the liquid adhesive, air is sucked from the center hole of the disks through an air inlet smaller than the distance between the disks, whereby the space between the two disks is reduced. The present invention proposes an optical disk bonding method characterized in that the pressure is made lower than the atmospheric pressure and a force is applied to push the upper disk downward.

【0012】 第3の手段として、請求項1又は請求項
2において、上記下側ディスクを吸着保持する吸着保持
面と上記下側ディスクとの間に形成される溝空間の圧力
が、上記下側ディスクの吸着開始から該下側ディスクが
上記吸着保持されるまでほとんど低下しないように、上
記溝空間が大気圧に通じていることを特徴とする光ディ
スク貼り合わせ方法を提案するものである。
As a third means, in claim 1 or claim 2, the pressure of a groove space formed between the suction holding surface for sucking and holding the lower disk and the lower disk is reduced by the lower side. The present invention proposes an optical disk laminating method characterized in that the groove space communicates with the atmospheric pressure so that the lower disk hardly lowers from the start of disk suction until the lower disk is held by suction.

【0013】 第4の手段として、請求項1ないし請求
項3のいずれかにおいて、2枚の上記ディスクの間の圧
力を、それらディスクの回転数の変化に応じて変化させ
ることを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法を提案す
るものである。
[0013] As a fourth means, an optical disk according to any one of claims 1 to 3, wherein a pressure between the two disks is changed in accordance with a change in the number of rotations of the disks. It proposes a bonding method.

【0014】 第5の手段として、請求項1ないし請求
項4のいずれかにおいて、2枚の上記ディスクの間の圧
力を、上記吸気口からの吸気量を変えることによって変
化させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法を
提案するものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the pressure between the two disks is changed by changing the amount of intake air from the intake port. An optical disc bonding method is proposed.

【0015】 第6の手段として、請求項5において、
上記吸気口からの吸気量をディスク回転数に応じて変化
させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法を提
案する。
As a sixth means, in claim 5,
An optical disk laminating method characterized by changing the amount of intake air from the intake port according to the disk rotation speed is proposed.

【0016】 第7の手段として、請求項5又は請求項
6において、ベンチュリ作用を利用して上記吸気口から
の吸気量をディスクの回転数に応じて変化させることを
特徴とする光ディスク貼り合わせ方法を提案するもので
ある。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the optical disk bonding method according to the fifth or sixth aspect, wherein the amount of intake air from the intake port is changed according to the number of rotations of the disk using a venturi effect. Is proposed.

【0017】 第8の手段として、請求項5ないし請求
項7のいずれかにおいて、上記吸気口からの吸気量を、
接着剤温度または周囲温度の変化に応じて変化させるこ
とを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法を提案するも
のである。
According to an eighth aspect, in any one of the fifth to seventh aspects, the amount of intake air from the intake port is
The present invention proposes an optical disk laminating method characterized by changing the temperature according to a change in the temperature of the adhesive or the ambient temperature.

【0018】 第9の手段として、請求項6又は請求項
7において、上記吸気口からの吸気量をディスクの回転
数に応じて変化させると共に、その吸気量の変化の勾
配、又は上限値を接着剤の温度又は周囲温度に応じて変
化させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法を
提案するものである。
As a ninth means, in claim 6 or claim 7, the amount of intake from the intake port is changed according to the number of rotations of the disk, and the gradient of the change in the amount of intake or the upper limit value is adhered. The present invention proposes an optical disk laminating method characterized by changing the temperature according to the temperature of the agent or the ambient temperature.

【0019】 さらに、本発明に係る装置では、液体状
接着剤を介して2枚のディスクを重ね合わせた後、回転
ステージに吸着保持させて高速回転させ、上記ディスク
間の上記液体状接着剤を所定領域に広げる光ディスクの
貼り合わせ装置において、ディスクを高速回転させる際
に、上記上側ディスクを下向きに押す力を働かせる機構
を備えることにより、上記液体状接着剤を上記ディスク
間のディスク内周方向へ押す力を付与し、高速回転時の
遠心力により、上記液体状接着剤の内周部分の表面がデ
ィスク外周方向へ移動されることなく、所定領域に広げ
られることを特徴とする光ディスクの貼り合わせ装置を
提案するものである。
Further, in the apparatus according to the present invention, after the two disks are overlapped with each other via the liquid adhesive, the two disks are sucked and held on a rotating stage and rotated at high speed to remove the liquid adhesive between the disks. In an optical disc bonding apparatus that spreads over a predetermined area, by providing a mechanism that exerts a force that pushes the upper disk downward when rotating the disk at a high speed, the liquid adhesive is moved in the disk inner circumferential direction between the disks. A method of laminating optical disks, wherein a pressing force is applied and a surface of an inner peripheral portion of the liquid adhesive is spread to a predetermined area without being moved in a disk outer peripheral direction by a centrifugal force during high-speed rotation. A device is proposed.

【0020】 第2の装置として、請求項10において
液体状接着剤を介して重ね合わされた2枚のディスクの
中心穴にはまるピン状部材の側面に吸気口を設け、該吸
気口を高速回転前の2枚の上記ディスク同士の間隔より
も狭く、かつ高速回転前の2枚の上記ディスクの間に位
置するように設定し、高速回転時に、2枚の上記ディス
クの内周面と上記ピン状部材との隙間から上記吸気口に
流入する気流によって、2枚の上記ディスクの間の圧力
を大気圧よりも低くし、上記上側ディスクを下向きに押
す力を働かせることを特徴とする光ディスク貼り合わせ
装置を提案するものである。
As a second device, an intake port is provided on a side surface of a pin-shaped member that fits into a center hole of two disks superposed via a liquid adhesive in claim 10, and the intake port is rotated at a high speed. The distance between the two disks is smaller than the distance between the two disks, and the disk is located between the two disks before high-speed rotation. An optical disc bonding apparatus characterized in that a pressure between two of said discs is made lower than the atmospheric pressure by an air flow flowing into said intake port from a gap with a member, and a force for pushing said upper disc downward is exerted. Is proposed.

【0021】 第3の装置として、請求項10又は請求
項11において、2枚の上記ディスクの中心穴にはまる
上記ピン状部材と、上記下側ディスクを吸着保持する上
記回転ステージとの間の空間を常に大気圧状態にある部
分と通気口で連結し、上記下側ディスクの吸着開始から
上記下側ディスクが上記回転ステージに密着するまで間
のに生じる真空漏れによる上記空間の圧力低下を、上記
通気口から空気を流入させることで防止することを特徴
とする光ディスク貼り合わせ装置を提案するものであ
る。
A third device according to claim 10 or 11, wherein a space between the pin-like member that fits in the center hole of the two disks and the rotary stage that sucks and holds the lower disk. Is always connected to the part which is in the atmospheric pressure state by a vent, and the pressure drop of the space due to the vacuum leak generated from the start of the suction of the lower disk to the close contact of the lower disk with the rotating stage, The present invention proposes an optical disk bonding apparatus characterized in that air is prevented from flowing in through a vent hole.

【0022】 第4の装置として、請求項10ないし請
求項12のいずれかにおいて、2枚の上記ディスクの間
の圧力を、上記ディスクの回転数の変化に応じて変化さ
せる機構を備えたことを特徴とする光ディスク貼り合わ
せ装置を提案するものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the tenth to twelfth aspects, a mechanism for changing a pressure between the two disks according to a change in the number of rotations of the disks is provided. The present invention proposes an optical disk laminating apparatus having a feature.

【0023】 第5の装置として、請求項11ないし請
求項13のいずれかにおいて、2枚の上記ディスクの間
の圧力を、上記吸気口からの吸気量を変えることによっ
て変化させる機構を備えたことを特徴とする光ディスク
貼り合わせ装置を提案するものである。
A fifth device according to any one of claims 11 to 13, further comprising a mechanism for changing a pressure between the two disks by changing an amount of intake air from the intake port. The present invention proposes an optical disc bonding apparatus characterized by the following.

【0024】 第6の装置として、請求項14におい
て、上記吸気口からの配管に電圧制御形又は電流制御形
の真空減圧弁を装備すると共に、上記ディスクの回転数
に応じて設定真空圧力を変化させることにより、上記吸
気口からの吸気量を上記ディスクの回転数に応じて変化
させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置を提
案するものである。
As a sixth device, in claim 14, a pipe from the suction port is provided with a voltage control type or current control type vacuum pressure reducing valve, and the set vacuum pressure is changed according to the rotation speed of the disk. The present invention proposes an optical disk laminating apparatus characterized in that the amount of intake air from the intake port is changed according to the number of rotations of the disk.

【0025】 第7の装置として、請求項14におい
て、上記吸気口からの配管にベンチュリ作用を利用した
真空発生器を装備すると共に、上記真空発生器への空気
供給配管に電圧制御形又は電流制御形の減圧弁を装備
し、上記ディスクの回転数に応じて設定空気圧力を変化
させることにより、上記吸気口からの吸気量を上記ディ
スクの回転数に応じて変化させることを特徴とする光デ
ィスク貼り合わせ装置を提案するものである。
As a seventh device, in claim 14, a vacuum generator utilizing a venturi action is provided in a pipe from the intake port, and a voltage control type or current control is provided in an air supply pipe to the vacuum generator. An optical disc sticker, comprising a pressure reducing valve of a shape, and changing the set air pressure in accordance with the rotation speed of the disk, thereby changing the amount of intake air from the intake port in accordance with the rotation speed of the disk. It proposes a matching device.

【0026】 第8の装置として、請求項14ないし請
求項16のいずれかにおいて、上記吸気口からの吸気量
を、接着剤温度または周囲温度の変化に応じて変化させ
ることを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置を提案す
るものである。
An eighth device according to any one of claims 14 to 16, wherein the amount of intake air from the intake port is changed according to a change in an adhesive temperature or an ambient temperature. It proposes a matching device.

【0027】 第9の装置として、請求項15又は請求
項16において、上記吸気口からの吸気量を上記ディス
クの回転数に応じて変化させると共に、その吸気量の変
化の勾配又は上限値を接着剤温度または周囲温度に応じ
て変化させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ装
置を提案するものである。
According to a ninth device, in claim 15 or claim 16, the amount of intake from the intake port is changed according to the rotation speed of the disk, and the gradient or upper limit of the change in the amount of intake is adhered. The present invention proposes an optical disk bonding apparatus characterized in that the optical disk bonding apparatus is changed according to the temperature of the agent or the ambient temperature.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】 まず、本発明の原理について説
明する。本発明では、上記液体状接着剤をディスクの内
周方向へ押すのに、大気圧が貼り合わされる上側ディス
クを下向きに押す力を利用しているため、上記接着剤の
内周部分の表面を、これを直接吸引する場合に比べて均
一に移動させやすい。なぜなら、上側ディスクを吸引保
持した状態で貼り合わされる2枚のディスクの間の空間
の圧力を低くする方法をとれば、この空間では空気の流
動がほとんど無く、空間内の圧力が均一になるため、上
側ディスクが下向きに押す力を均一することが可能にな
るからである。
First, the principle of the present invention will be described. In the present invention, since the liquid adhesive is pressed in the inner circumferential direction of the disk by using a force that pushes the upper disk, to which the atmospheric pressure is bonded, downward, the surface of the inner circumferential portion of the adhesive is pressed. It is easier to move it evenly than when directly sucking it. This is because if the method of reducing the pressure in the space between the two disks bonded together while holding the upper disk by suction is adopted, there is almost no air flow in this space, and the pressure in the space becomes uniform. This is because it is possible to equalize the pressing force of the upper disk in the downward direction.

【0029】 それに加えて、次のような作用の効果も
ある。図1は本実施例のを示す図であり、図1の詳細な
説明は後で記述するとして、図1を用いて上記の作用を
説明する。貼り合わされる2枚のディスク1の間で液体
状接着剤2よりも内側の空間の圧力が大気圧より低くな
ると、2枚のディスク1の内の上側ディスク3の形状が
若干下向きに凸状になるため、下側ディスク4が吸着保
持されて平坦であることも加えて、上記2枚のディスク
1の間の隙間が、内周部分に行くほど狭くなる作用が生
じる。
In addition to the above, there are the following effects. FIG. 1 is a diagram showing the present embodiment, and the detailed operation of FIG. 1 will be described later, and the above operation will be described with reference to FIG. When the pressure in the space inside the liquid adhesive 2 between the two disks 1 to be bonded becomes lower than the atmospheric pressure, the shape of the upper disk 3 of the two disks 1 becomes slightly convex. Therefore, in addition to the fact that the lower disk 4 is sucked and held and is flat, the gap between the two disks 1 becomes narrower toward the inner peripheral portion.

【0030】 上方より見たときの液体状接着剤2の拡
がり状態を図4に示す。上側ディスク3に押されて液体
状接着剤2の外周部分の表面5がディスク間をディスク
外周方向に移動するため、液体状接着剤2の厚みが時間
の経過と共に薄くなって行く作用も併せて生じる。この
二つの作用の相乗効果で、液体状接着剤2の内周部分の
表面6のディスク内周方向への移動速度は、時間の経過
と共にゆっくりになって行く。
FIG. 4 shows the spread state of the liquid adhesive 2 when viewed from above. Since the surface 5 of the outer peripheral portion of the liquid adhesive 2 is pushed by the upper disk 3 and moves between the disks in the outer peripheral direction of the disk, the thickness of the liquid adhesive 2 decreases with time. Occurs. Due to the synergistic effect of these two actions, the moving speed of the surface 6 of the inner peripheral portion of the liquid adhesive 2 in the inner peripheral direction of the disk gradually decreases with time.

【0031】 このことが、上記内周部分の表面6を所
定の位置に止めることを容易にする。なぜなら、上記内
周部分の表面6の移動速度が次第にゆっくりになるの
で、ディスクの高速回転を起動するタイミングに充分な
マージンができ、何らかの理由で上記内周部分の表面6
の所定の位置への到達時間が若干変動したとしても支障
が生じないからである。
This facilitates stopping the surface 6 of the inner peripheral portion at a predetermined position. Because the moving speed of the surface 6 of the inner peripheral portion gradually becomes slower, a sufficient margin is provided for the timing of starting the high-speed rotation of the disk.
This is because no problem occurs even if the arrival time at the predetermined position slightly fluctuates.

【0032】 さらに加えて言うと、本発明では下側デ
ィスク4の吸着保持開始時の若干の真空漏れが、2枚の
ディスク1の間の空間の圧力を乱す作用を抑えることが
できる。
In addition, according to the present invention, a slight vacuum leak at the start of suction holding of the lower disk 4 can suppress the effect of disturbing the pressure in the space between the two disks 1.

【0033】 また本発明では、上記内周部分の表面6
に作用する遠心力に応じて、上側ディスク3による下向
きのが押付力が設定できるので、高速回転中も内周部分
の表面6の位置を安定して維持できる。
In the present invention, the inner peripheral surface 6
According to the centrifugal force acting on the upper disk 3, the downward pressing force by the upper disk 3 can be set, so that the position of the surface 6 of the inner peripheral portion can be stably maintained even during high-speed rotation.

【0034】 さら本発明では、液体状接着剤2自身や
周囲の温度の変化に伴う接着剤2の粘度変化に応じて上
記下向きの押付力を制御できるため、この粘度変化によ
って、上記内周部分の表面6を止める位置が違ってくる
のを防ぐことができる。
Further, in the present invention, the downward pressing force can be controlled in accordance with a change in the viscosity of the adhesive 2 due to a change in the temperature of the liquid adhesive 2 itself or the surrounding temperature. It can be prevented that the position for stopping the front surface 6 of the vehicle becomes different.

【0035】 以上により、本発明によれば、上記液体
状接着剤の内周部分の表面を、所定の位置に比較的正確
に止めることが可能なので、それができないことによる
悪影響を排除できる。
As described above, according to the present invention, the surface of the inner peripheral portion of the liquid adhesive can be relatively accurately stopped at a predetermined position.

【0036】 以下、図1に戻って本発明に係る第1の
実施例について説明する。まず図1の構成を説明する。
2枚のディスク1は、その間に液体状接着剤2を介して
上側ディスク3と下側ディスク4とが重ねられた状態で
維持される。液体状接着剤2の外周側の表面5および接
着剤2の内周側の表面6は、上方から見てきれいな円形
状になっている。2枚の被貼り合わせディスク1は、そ
のような状態で回転ステージ7上に載せられている。
Hereinafter, returning to FIG. 1, the first embodiment according to the present invention will be described. First, the configuration of FIG. 1 will be described.
The two disks 1 are maintained in a state where the upper disk 3 and the lower disk 4 are overlapped with the liquid adhesive 2 therebetween. The outer peripheral surface 5 of the liquid adhesive 2 and the inner peripheral surface 6 of the adhesive 2 have a clean circular shape when viewed from above. The two discs 1 to be bonded are mounted on the rotary stage 7 in such a state.

【0037】 回転ステージ7は、ディスクを載置する
平面部8とディスクの中心穴にはまるピン状部材9から
なり、載置されるディスク1の中心と同心で回転でき
る。この平面部8の内周部分には下側ディスク4を吸着
するための吸着穴10があけられており、図示しない第
1の真空源に接続される。また、吸着穴10の外側には
逃げ溝11が形成されるが、これは、ディスク表面には
ディスクを集積保管する際にディスク同士が貼り付いて
しまうことを防ぐための環状の突起が形成されているこ
とが多く、それとの干渉を防ぐためである。この逃げ溝
11には通気口12が形成され、吸着穴10からの真空
漏れによって逃げ溝11内が負圧になり、下側ディスク
4が回転ステージ7に貼り付いてしまうことを防いでい
る。
The rotary stage 7 includes a flat portion 8 on which the disk is mounted and a pin-shaped member 9 that fits in the center hole of the disk, and can rotate concentrically with the center of the disk 1 on which the disk is mounted. A suction hole 10 for sucking the lower disk 4 is formed in an inner peripheral portion of the flat portion 8, and is connected to a first vacuum source (not shown). A relief groove 11 is formed outside the suction hole 10, and is formed with an annular projection on the surface of the disk to prevent the disks from sticking together when the disks are accumulated and stored. In many cases, to prevent interference with it. A vent hole 12 is formed in the escape groove 11 to prevent a negative pressure inside the escape groove 11 due to a vacuum leak from the suction hole 10 and prevent the lower disk 4 from sticking to the rotary stage 7.

【0038】 平面部8とピン状部材9が交わる部分に
は、下側ディスク4の中心穴の縁に不可避的に形成され
てしまうバリを逃げるための逃げ溝13が形成されてい
る。
An escape groove 13 is formed in a portion where the flat portion 8 and the pin-shaped member 9 intersect to escape a burr formed inevitably at the edge of the center hole of the lower disk 4.

【0039】 ピン状部材9の直径はディスク中心穴よ
りも0.03mmから0.1mm程度小さく設定されて
おり、その端面には溝状の吸気口14が形成され、流路
15を介して図示しない第2の真空源に接続される。図
2は吸気口14の位置の断面を上方から見た図である
が、ピン状部材9はこの部分で、三つの柱状の支持部で
上下が連結されていて、それ以外は空間となっている。
したがって、吸気口は360°にわたって開いており、
流路15にも均一で充分な断面積で接続している。また
吸気口14は、接着剤2を介して重ねられた上側ディス
ク3と下側ディスク4の、高速回転前の間隔よりも幅が
狭く、かつ上記2枚のディスクの間に位置するように配
置される。
The diameter of the pin-shaped member 9 is set to be smaller than the center hole of the disc by about 0.03 mm to 0.1 mm, and a groove-shaped intake port 14 is formed on the end face thereof. Not connected to a second vacuum source. FIG. 2 is a view of the cross section at the position of the intake port 14 as viewed from above. The pin-shaped member 9 is connected to the upper and lower portions by three pillar-shaped support portions at this portion, and otherwise serves as a space. I have.
Therefore, the inlet is open for 360 °,
The channel 15 is also connected with a uniform and sufficient cross-sectional area. The intake port 14 is arranged so as to be narrower than the space between the upper disk 3 and the lower disk 4 stacked via the adhesive 2 before the high-speed rotation, and to be located between the two disks. Is done.

【0040】 次に本実施例の動作を説明する。先ず、
図示しない搬送装置によって、2枚のディスク1が、そ
の間に接着剤2を介して重ねられた状態で回転ステージ
7上に載置されると、図示しない第1の真空源が作動し
て、吸着穴10内の圧力を下げ、下側ディスク4を吸着
固定する。
Next, the operation of this embodiment will be described. First,
When the two discs 1 are placed on the rotary stage 7 in a state of being stacked with the adhesive 2 therebetween between them by a transport device (not shown), the first vacuum source (not shown) is operated, and the suction is performed. The pressure in the hole 10 is reduced, and the lower disk 4 is fixed by suction.

【0041】 次に、図示しない第2の真空源が作動
し、流路15を介して吸気口14から空気を吸い込む。
このとき、液体状接着剤2と上側ディスク3および下側
ディスク4、ピン状部材9で囲まれた空間17の圧力が
大気圧より低くなり、上側ディスク3を下向きに押す力
が発生する。図3は、このときのピン状部材の部分を拡
大して示した図である。またこのとき、液体状接着剤2
は、それの持つ粘性により直ぐには広がらないので、接
着剤2を支点として上側ディスク3が下向きに若干凸状
の形になる。
Next, a second vacuum source (not shown) is operated, and air is sucked in from the intake port 14 through the flow path 15.
At this time, the pressure in the space 17 surrounded by the liquid adhesive 2, the upper disk 3, the lower disk 4, and the pin-shaped member 9 becomes lower than the atmospheric pressure, and a force to push the upper disk 3 downward is generated. FIG. 3 is an enlarged view of the pin-shaped member at this time. At this time, the liquid adhesive 2
Does not spread immediately due to its viscosity, so that the upper disk 3 becomes slightly convex downward with the adhesive 2 as a fulcrum.

【0042】 上記のような状態で、接着剤2が上側デ
ィスク3に押されて広がる状態を、上方から見た図が図
4である。ディスク表面で押されるから、接着剤2はデ
ィスク外周方向にも広がる。また上記のように、上側デ
ィスク3が若干下向きに凸状の形をしていることから、
上記原理内容について説明したように接着剤2の内周部
分の表面6の移動速度は時間の経過と共にゆっくりにな
って行く。この内周部分の表面6が所定の位置に到達し
たら、回転ステージ7が高速回転を開始し、接着剤2を
ディスク上の所定の領域全体に広げるが、上記の内周部
分の表面6の移動速度が時間の経過と共にゆっくりにな
っていくことにより、高速回転の起動タイミングに充分
なマージンが得られる。
FIG. 4 shows a state in which the adhesive 2 is pushed by the upper disk 3 and spreads in the above state, as viewed from above. Since the adhesive is pushed on the disk surface, the adhesive 2 spreads also in the disk outer peripheral direction. Also, as described above, since the upper disk 3 has a slightly downwardly convex shape,
As described above, the moving speed of the surface 6 of the inner peripheral portion of the adhesive 2 becomes slow over time. When the surface 6 of the inner peripheral portion reaches a predetermined position, the rotating stage 7 starts rotating at a high speed, and the adhesive 2 spreads over the entire predetermined region on the disk. As the speed decreases over time, a sufficient margin can be obtained for the start timing of the high-speed rotation.

【0043】次に図5に回転ステージ20の第2の実施
例を示す。図5は、単純化して見やすくするため、回転
ステージ20の中心部のみ記載した図であり、その断面
構造を図6に示す。この実施例では、図1に示した第1
の実施例に加えて、逃げ溝13と逃げ溝11を結ぶ流路
21を備え、回転ステージ20が下側ディスク4を吸着
開始する際に、その下側ディスク表面が回転ステージ2
0の吸着面に密着する直前の真空漏れにより、逃げ溝1
3内の圧力が下がってしまうのを防ぐ。
Next, FIG. 5 shows a second embodiment of the rotary stage 20. FIG. 5 is a diagram showing only the central portion of the rotary stage 20 for simplification and easy viewing, and FIG. 6 shows a cross-sectional structure thereof. In this embodiment, the first type shown in FIG.
In addition to the embodiment described above, a flow path 21 connecting the escape groove 13 and the escape groove 11 is provided, and when the rotation stage 20 starts sucking the lower disk 4, the surface of the lower disk is rotated by the rotation stage 2.
Evacuation groove 1
3 prevents the pressure in 3 from dropping.

【0044】さらに、図7に回転ステージ20の第3の
実施例を示す。図7も、図5と同様に回転ステージ22
の中心部のみを記載した図で、この断面形状を図8に示
す。この第3の実施例では、図5に示す第2の実施例と
同様、逃げ溝13と逃げ溝11を結ぶ流路23を備え、
同様の効果をもたらす。この第3の実施例では、上記流
路23の上を逃げ溝11にかからない程度の径のラバー
24で封止している。したがって、2枚のディスク1は
ラバー24上に載置され、ラバー24を貫通する吸着穴
11を通しての真空吸引で吸着保持される。このラバー
24は摩擦係数が高いので、高速回転時のディスクの滑
り防止に効果的である。また、この第3の実施例では、
ラバー24の厚みにより、回転ステージ22の平面部の
内、逃げ溝11よりも外側の平面部が低くなるから、下
側ディスク4の下面との間に隙間ができ、これにより、
図1における通気口12を廃止できる。下側ディスクの
下面に接触しない回転ステージ22の平面部は、高速回
転時に飛び散る接着剤の液滴の付着を防ぐ防滴板として
作用する。この実施例は、比較的反りの小さい被貼り合
わせディスクの場合に有効で、記録領域に接触しないこ
とあって高品位な貼り合わせが可能である。なお、図1
のように平面部をすべてディスク面に密着させ、通気口
12を設けてもよい。
FIG. 7 shows a third embodiment of the rotary stage 20. FIG. 7 also shows the rotary stage 22 as in FIG.
FIG. 8 shows only the central portion of FIG. In the third embodiment, similarly to the second embodiment shown in FIG. 5, a flow path 23 connecting the escape groove 13 and the escape groove 11 is provided.
Similar effects are obtained. In the third embodiment, the flow path 23 is sealed with a rubber 24 having a diameter that does not cover the escape groove 11. Therefore, the two disks 1 are placed on the rubber 24 and are suction-held by vacuum suction through the suction holes 11 passing through the rubber 24. Since the rubber 24 has a high coefficient of friction, it is effective in preventing the disk from slipping during high-speed rotation. In the third embodiment,
Due to the thickness of the rubber 24, of the flat portion of the rotary stage 22, the flat portion outside the relief groove 11 becomes lower, so that a gap is formed between the flat portion and the lower surface of the lower disk 4.
The vent 12 in FIG. 1 can be eliminated. The flat portion of the rotary stage 22, which does not contact the lower surface of the lower disk, acts as a drip-proof plate for preventing adhesion of the adhesive droplets splashing during high-speed rotation. This embodiment is effective for a bonded disk having a relatively small warpage, and high-quality bonding can be performed without contacting the recording area. FIG.
The air holes 12 may be provided by bringing all of the flat portions into close contact with the disk surface as described above.

【0045】 図9は、この貼り合わせシステムの実施
例を示す図である。回転ステージ7は、スピンドル25
によって回転自在に保持され、軸継手26を介して接続
されるモータ27により回転駆動される。回転ステージ
7の周囲には、高速回転時に飛び散る接着剤の液滴を捕
集するカップ部材28が配される。スピンドル25の内
部には図示しない封止機構が装備され、回転部分の流路
に接続される固定配管が取り出される。具体的には図1
における吸着穴10に接続される配管29が配され、図
示しない第1の真空源に接続される。また、図1におけ
る流路15に接続される配管30が配される。この配管
30は中間に電圧制御形真空減圧弁31を介して、図示
しない第2の真空源に接続される。この電圧制御形真空
減圧弁は入力される電圧値に応じて2次側の真空圧力を
変化させられるもので、電流制御形のものを使用しても
よい。
FIG. 9 is a diagram showing an embodiment of the bonding system. The rotary stage 7 includes a spindle 25
, And is rotatably driven by a motor 27 connected via a shaft coupling 26. Around the rotation stage 7, a cup member 28 for collecting the droplets of the adhesive scattered at the time of high-speed rotation is arranged. A sealing mechanism (not shown) is provided inside the spindle 25, and a fixed pipe connected to the flow path of the rotating part is taken out. Specifically, FIG.
A pipe 29 connected to the suction hole 10 is disposed and connected to a first vacuum source (not shown). Further, a pipe 30 connected to the flow path 15 in FIG. 1 is provided. This pipe 30 is connected to a second vacuum source (not shown) via a voltage-controlled vacuum pressure reducing valve 31 in the middle. This voltage control type vacuum pressure reducing valve can change the vacuum pressure on the secondary side according to the input voltage value, and may be a current control type.

【0046】 また、カップ部材28の近傍に、周囲温
度を測定する温度センサー32が装備される。さらに、
回転ステージ7の前段の処理ステージにて下側ディスク
4へ液体状接着剤2を吐出する接着剤吐出装置33の接
着剤配管中には接を着剤温度測定用の温度センサー34
が装備される。これら温度センサー32、34の温度検
出信号は、それぞれ変換器35、36を介して主制御装
置37へ供給される。
Further, a temperature sensor 32 for measuring an ambient temperature is provided near the cup member 28. further,
A temperature sensor 34 for measuring an adhesive temperature is provided in an adhesive pipe of an adhesive ejection device 33 for ejecting the liquid adhesive 2 to the lower disk 4 at a processing stage preceding the rotation stage 7.
Will be equipped. The temperature detection signals of these temperature sensors 32 and 34 are supplied to main controller 37 via converters 35 and 36, respectively.

【0047】 この主制御装置37からは、モータ制御
装置38と減圧弁制御装置39へ制御信号を送り、上記
温度検出信号の値に応じて、回転ステージ7の回転数を
決めるモータ27の回転数と図1における吸気口14か
らの吸気量を常に適正な値になるように制御する。な
お、上記装置の周囲環境温度が安定している場合には、
上記の温度センサー32、34のどちらか、または両方
を省いてもよい。
The main controller 37 sends control signals to the motor controller 38 and the pressure reducing valve controller 39 to determine the number of rotations of the rotary stage 7 according to the value of the temperature detection signal. And the intake air amount from the intake port 14 in FIG. 1 is always controlled to an appropriate value. When the ambient temperature of the above device is stable,
Either or both of the above temperature sensors 32 and 34 may be omitted.

【0048】 図10は、この貼り合わせシステムの別
の実施例を示す図である。この実施例は、図1における
流路15に接続される配管30をベチュリ形真空発生器
40に接続したものである。このベンチュリ形真空発生
器40は、流路を空気が高速で流れる際に圧力が下がる
作用を利用したもので、この真空発生器40には配管4
1が取付けられて図示しない圧縮空気源に接続され、配
管41の中間に電圧制御形減圧弁42が装備される。真
空発生器40へ入力される空気圧力に応じて、配管30
内の真空圧力が制御できるので、図9に示した実施例と
実質的に同様の制御ができる。また、図9に示した実施
例と同様に、電圧制御形減圧弁42は電流制御形でもよ
く、また温度センサー32、34のどちらか、または両
方を省いてよい。この図10に示す第5の実施例は、複
数の真空源が用意できない場合に有効である。
FIG. 10 is a diagram showing another embodiment of the bonding system. In this embodiment, a pipe 30 connected to the flow path 15 in FIG. 1 is connected to a Veturi vacuum generator 40. The venturi-type vacuum generator 40 utilizes the function of reducing the pressure when air flows through the flow path at a high speed.
1 is connected to a compressed air source (not shown), and a voltage-controlled pressure reducing valve 42 is provided in the middle of a pipe 41. Depending on the air pressure input to the vacuum generator 40, the piping 30
Since the inside vacuum pressure can be controlled, the control can be substantially the same as the embodiment shown in FIG. As in the embodiment shown in FIG. 9, the voltage control type pressure reducing valve 42 may be a current control type, and one or both of the temperature sensors 32 and 34 may be omitted. The fifth embodiment shown in FIG. 10 is effective when a plurality of vacuum sources cannot be prepared.

【0049】[0049]

【発明の効果】 以上述べたように、本発明では上記接
着剤の内周部分の表面をきれいな円形状に保ったまま接
着剤を所定の領域に広げることができるので、外観がき
れいで、かつ内周部分の膜厚が均一な貼り合わせディス
クを得ることができる。
As described above, according to the present invention, the adhesive can be spread over a predetermined area while keeping the surface of the inner peripheral portion of the adhesive in a clean circular shape. It is possible to obtain a bonded disc having a uniform thickness at the inner peripheral portion.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明に係る第1の実施例の構造を示す図で
ある。
FIG. 1 is a diagram showing a structure of a first embodiment according to the present invention.

【図2】 本発明に係る第1の実施例の一部分の構造を
示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a partial structure of a first embodiment according to the present invention.

【図3】 本発明に係る第1の実施例の作用を説明する
ための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment according to the present invention.

【図4】 本発明に係る第1の実施例の作用を説明する
ための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment according to the present invention.

【図5】 本発明に係る第2の実施例の構造を示す図で
ある。
FIG. 5 is a diagram showing a structure of a second embodiment according to the present invention.

【図6】 本発明に係る第3の実施例の構造を示す図で
ある。
FIG. 6 is a diagram showing a structure of a third embodiment according to the present invention.

【図7】 本発明に係る第4の実施例の構造を示す図で
ある。
FIG. 7 is a diagram showing a structure of a fourth embodiment according to the present invention.

【図8】 本発明に係る第5の実施例の構造を示す図で
ある。
FIG. 8 is a diagram showing a structure of a fifth embodiment according to the present invention.

【図9】 本発明に係るディスク貼り合わせシステムの
一実施例を説明するための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining an embodiment of a disk bonding system according to the present invention.

【図10】本発明に係るディスク貼り合わせシステムの
別の実施例を説明するための図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining another embodiment of the disk bonding system according to the present invention.

【図11】 従来の光ディスク貼り合わせ装置の一例を
示す図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating an example of a conventional optical disc bonding apparatus.

【図12】 従来例の問題点を説明するための図であ
る。
FIG. 12 is a diagram for explaining a problem of the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・貼り合わされる2枚のディスク 2・・・
液体状接着剤 3・・・上側ディスク 4・・・下側ディ
スク 5・・・接着剤外周部分の表面 6・・・接着剤内
周部分の表面 7・・・回転ステージ 8・・・平面部 9・・・ピン状部材 10・・・吸着穴 11・・・逃げ溝 12・・・通気口 13・・・逃げ溝 14・・・吸気口 15・・・流路 16・・・支持部 17・・・空間 20・・・回転ステージ 21・・・流路 22・・・回転ステージ 23・・・流路 24・・・ラバー 25・・・スピンド
ル 26・・・軸継手 27・・・モータ 28・・・カップ部
材 29・・・配管 30・・・配管 31・・・電圧制御形真空減圧弁 32・・・温度セン
サー 33・・・接着剤吐出装置 34・・・温度セン
サー 35・・・変換器 36・・・変換器 37・・・主制御装置 38・・・モータ制
御装置 39・・・減圧弁制御装置 40・・・ベンチュ
リ形真空発生器 41・・・配管 50・・・回転ステージ 51・・・ピン状部
材 52・・・吸引穴 53・・・流路 54・・・吸着穴
1 ... two discs to be bonded 2 ...
Liquid adhesive 3 ・ ・ ・ Upper disk 4 ・ ・ ・ Lower disk 5 ・ ・ ・ Surface of adhesive outer peripheral part 6 ・ ・ ・ Surface of adhesive inner peripheral part 7 ・ ・ ・ Rotating stage 8 ・ ・ ・ Planar part 9 ... Pin-shaped member 10 ... Suction hole 11 ... Escape groove 12 ... Vent hole 13 ... Escape groove 14 ... Intake port 15 ... Flow path 16 ... Support part 17 ... space 20 ... rotary stage 21 ... flow path 22 ... rotary stage 23 ... flow path 24 ... rubber 25 ... spindle 26 ... shaft coupling 27 ... motor 28 ... Cup member 29 ... Piping 30 ... Piping 31 ... Voltage control type vacuum pressure reducing valve 32 ... Temperature sensor 33 ... Adhesive discharge device 34 ... Temperature sensor 35 ... Conversion Unit 36 ・ ・ ・ Converter 37 ・ ・ ・ Main control unit 38 ・ ・ ・ Motor control unit Placement 39 ・ ・ ・ Reducing valve control device 40 ・ ・ ・ Venturi type vacuum generator 41 ・ ・ ・ Piping 50 ・ ・ ・ Rotating stage 51 ・ ・ ・ Pin-shaped member 52 ・ ・ ・ Suction hole 53 ・ ・ ・ Flow path 54 ・..Suction holes

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 豊 東京都豊島区高田1丁目18番1号 オリジ ン電気株式会社内 Fターム(参考) 4J040 JA01 MB05 NA21 PA25 PA28 PA33 PA35 PB04 PB08 PB11 5D121 AA07 FF01 FF11 FF18  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Yutaka Matsumoto 1-18-1 Takada, Toshima-ku, Tokyo Origin Electric Co., Ltd. F-term (reference) 4J040 JA01 MB05 NA21 PA25 PA28 PA33 PA35 PB04 PB08 PB11 5D121 AA07 FF01 FF11 FF18

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液体状接着剤を介して2枚のディスクを
重ね合わせた後、該ディスクを高速回転させて上記液体
状接着剤を所定領域に広げる光ディスクの貼り合わせ方
法において、 上記2枚のディスクを高速回転させる際に、その上側デ
ィスクを下向きに押す力をかけることにより上記ディス
ク間の液体状接着剤をディスク内周方向へ押す力を働か
せ、高速回転時の遠心力により上記液体状接着剤の内周
部分の表面が外周側へ移動されることなく、所定内周領
域に広げることができる光ディスクの貼り合わせ方法。
1. A method for laminating two disks via a liquid adhesive, and then rotating the disks at a high speed to spread the liquid adhesive over a predetermined area. When rotating the disk at a high speed, a force is applied to push the upper disk downward, thereby exerting a force to push the liquid adhesive between the disks in the inner circumferential direction of the disk. An optical disc bonding method capable of spreading a predetermined inner peripheral area without moving the surface of the inner peripheral part of the agent to the outer peripheral side.
【請求項2】 請求項1において、 上記液体状接着剤を介して重ね合わされた2枚の上記デ
ィスクの高速回転時に、これらディスクの中心穴からそ
れらディスクの間隔よりも狭い吸気口を通して吸気する
ことによって、2枚の上記ディスクの間の圧力を大気圧
より低くし、その上側ディスクを下向きに押す力を作用
させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
2. The method according to claim 1, wherein when the two disks superposed via the liquid adhesive are rotated at a high speed, air is sucked from a center hole of the disks through an air inlet smaller than the distance between the disks. A pressure between the two disks is made lower than the atmospheric pressure, and a force is applied to push the upper disk downward.
【請求項3】 請求項1又は請求項2において、 上記下側ディスクを吸着保持する吸着保持面と上記下側
ディスクとの間に形成される溝空間の圧力が、上記下側
ディスクの吸着開始から該下側ディスクが上記吸着保持
されるまでほとんど低下しないように、上記溝空間が大
気圧空間に通じていることを特徴とする光ディスク貼り
合わせ方法。
3. The suction of the lower disk according to claim 1, wherein a pressure of a groove space formed between the lower disk and the suction holding surface for suction holding the lower disk starts suction of the lower disk. Wherein the groove space communicates with the atmospheric pressure space so that the lower disk hardly drops until the lower disk is sucked and held.
【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれかにお
いて、 2枚の上記ディスクの間の圧力を、それらディスクの回
転数の変化に応じて変化させることを特徴とする光ディ
スク貼り合わせ方法。
4. The optical disk bonding method according to claim 1, wherein a pressure between the two disks is changed in accordance with a change in the number of rotations of the disks.
【請求項5】 請求項1ないし請求項4のいずれかにお
いて、 2枚の上記ディスクの間の圧力を、上記吸気口からの吸
気量を変えることによって変化させることを特徴とする
光ディスク貼り合わせ方法。
5. The method of laminating optical disks according to claim 1, wherein a pressure between the two disks is changed by changing an amount of intake air from the intake port. .
【請求項6】 請求項5において、 上記吸気口からの吸気量をディスク回転数に応じて変化
させることを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
6. The optical disk bonding method according to claim 5, wherein the amount of air taken from the air inlet is changed according to the number of rotations of the disk.
【請求項7】 請求項5又は請求項6において、 ベンチュリ作用を利用して上記吸気口からの吸気量をデ
ィスクの回転数に応じて変化させることを特徴とする光
ディスク貼り合わせ方法。
7. The method of laminating optical disks according to claim 5, wherein the amount of intake air from the intake port is changed in accordance with the number of rotations of the disk using a venturi action.
【請求項8】 請求項5ないし請求項7のいずれかにお
いて、 上記吸気口からの吸気量を、接着剤温度または周囲温度
の変化に応じて変化させることを特徴とする光ディスク
貼り合わせ方法。
8. The method for bonding optical disks according to claim 5, wherein the amount of intake air from the intake port is changed according to a change in an adhesive temperature or an ambient temperature.
【請求項9】 請求項6又は請求項7において、 上記吸気口からの吸気量をディスクの回転数に応じて変
化させると共に、その吸気量の変化の勾配、又は上限値
を接着剤の温度又は周囲温度に応じて変化させることを
特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
9. The method according to claim 6, wherein the amount of intake air from the intake port is changed in accordance with the number of rotations of the disk, and the gradient of the change in the amount of intake air or the upper limit is set to the temperature or the temperature of the adhesive. An optical disk laminating method characterized by changing according to an ambient temperature.
【請求項10】 液体状接着剤を介して2枚のディスク
を重ね合わせた後、回転ステージに吸着保持させて高速
回転させ、上記ディスク間の上記液体状接着剤を所定領
域に広げる光ディスクの貼り合わせ装置において、 上記ディスクを高速回転させる際に、上記上側ディスク
を下向きに押す力を働かせる機構を備えることにより、
上記液体状接着剤を上記ディスク間のディスク内周方向
へ押す力を付与し、高速回転時の遠心力により、上記液
体状接着剤の内周部分の表面がディスク外周方向へ移動
されることなく、所定領域に広げられることを特徴とす
る光ディスクの貼り合わせ装置。
10. After the two disks are overlapped with each other via a liquid adhesive, the optical disk is adhered and held on a rotating stage and rotated at a high speed to spread the liquid adhesive between the disks to a predetermined area. In the aligning device, by providing a mechanism for exerting a force to push the upper disk downward when rotating the disk at high speed,
A force is applied to push the liquid adhesive between the disks in the inner circumferential direction of the disks, and the surface of the inner circumferential portion of the liquid adhesive is not moved in the outer circumferential direction of the disks by centrifugal force during high-speed rotation. An optical disc bonding apparatus, which is spread over a predetermined area.
【請求項11】 請求項10において液体状接着剤を介
して重ね合わされた2枚のディスクの中心穴にはまるピ
ン状部材の側面に吸気口を設け、 該吸気口を高速回転前の2枚の上記ディスク同士の間隔
よりも狭く、かつ高速回転前の2枚の上記ディスクの間
に位置するように設定し、 高速回転時に、2枚の上記ディスクの内周面と上記ピン
状部材との隙間から上記吸気口に流入する気流によっ
て、2枚の上記ディスクの間の圧力を大気圧よりも低く
し、上記上側ディスクを下向きに押す力を働かせること
を特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。
11. A suction port is provided on a side surface of a pin-shaped member that fits into a center hole of two disks superposed via a liquid adhesive according to claim 10, wherein the two suction ports are not rotated at high speed. The distance between the two disks is set to be smaller than the distance between the disks and between the two disks before high-speed rotation, and the gap between the inner peripheral surface of the two disks and the pin-shaped member during high-speed rotation An optical disk bonding apparatus characterized in that the pressure between the two disks is made lower than the atmospheric pressure by an airflow flowing from the air disk into the intake port, and a force is applied to push the upper disk downward.
【請求項12】 請求項10又は請求項11において、 2枚の上記ディスクの中心穴にはまる上記ピン状部材
と、上記下側ディスクを吸着保持する上記回転ステージ
との間の空間を常に大気圧状態にある部分と通気口で連
結し、 上記下側ディスクの吸着開始から上記下側ディスクが上
記回転ステージに密着するまで間に生じる真空漏れによ
る上記空間の圧力低下を、上記通気口から空気を流入さ
せることで防止することを特徴とする光ディスク貼り合
わせ装置。
12. The space between the pin-shaped member that fits in the center hole of the two disks and the rotary stage that sucks and holds the lower disk, according to claim 10 or 11, The part in the state is connected by a vent, and a pressure drop in the space due to a vacuum leak that occurs from the start of suction of the lower disk to the close contact of the lower disk with the rotary stage is reduced by air from the vent. An optical disc laminating apparatus characterized in that it is prevented by flowing the optical disc.
【請求項13】 請求項10ないし請求項12のいずれ
かにおいて、 2枚の上記ディスクの間の圧力を、上記ディスクの回転
数の変化に応じて変化させる機構を備えたことを特徴と
する光ディスク貼り合わせ装置。
13. The optical disk according to claim 10, further comprising a mechanism for changing a pressure between the two disks in accordance with a change in the number of rotations of the disk. Laminating device.
【請求項14】 請求項11ないし請求項13のいずれ
かにおいて、 2枚の上記ディスクの間の圧力を、上記吸気口からの吸
気量を変えることによって変化させる機構を備えたこと
を特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。
14. A mechanism according to claim 11, further comprising a mechanism for changing a pressure between the two disks by changing an amount of intake air from the intake port. Optical disc bonding device.
【請求項15】 請求項14において、 上記吸気口からの配管に電圧制御形又は電流制御形の真
空減圧弁を装備すると共に、上記ディスクの回転数に応
じて設定真空圧力を変化させることで、上記吸気口から
の吸気量を上記ディスクの回転数に応じて変化させるこ
とを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。
15. The method according to claim 14, wherein a voltage control type or a current control type vacuum pressure reducing valve is provided in a pipe from the intake port, and a set vacuum pressure is changed according to a rotation speed of the disk. An optical disk laminating apparatus, wherein an amount of intake air from the intake port is changed according to a rotation speed of the disk.
【請求項16】 請求項14において、 上記吸気口からの配管にベンチュリ作用を利用した真空
発生器を装備すると共に、上記真空発生器への空気供給
配管に電圧制御形又は電流制御形の減圧弁を装備し、 上記ディスクの回転数に応じて設定空気圧力を変化させ
ることにより上記吸気口からの吸気量を上記ディスクの
回転数に応じて変化させることを特徴とする光ディスク
貼り合わせ装置。
16. The pressure reducing valve according to claim 14, further comprising a vacuum generator utilizing a Venturi action in a pipe from the intake port, and a voltage control type or a current control type in an air supply pipe to the vacuum generator. An optical disc bonding apparatus, comprising: changing a set air pressure according to a rotation speed of the disk so as to change an intake amount from the intake port according to the rotation speed of the disk.
【請求項17】 請求項14ないし請求項16のいずれ
かにおいて、 上記吸気口からの吸気量を、接着剤温度または周囲温度
の変化に応じて変化させることを特徴とする光ディスク
貼り合わせ装置。
17. The optical disk bonding apparatus according to claim 14, wherein the amount of air taken from the air inlet is changed according to a change in an adhesive temperature or an ambient temperature.
【請求項18】 請求項15又は請求項16において、 上記吸気口からの吸気量を上記ディスクの回転数に応じ
て変化させると共に、その吸気量の変化の勾配又は上限
値を接着剤温度または周囲温度に応じて変化させること
を特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。
18. The method according to claim 15, wherein the amount of intake air from the intake port is changed in accordance with the number of rotations of the disk, and a gradient or an upper limit value of the change in the amount of intake air is changed to an adhesive temperature or an ambient temperature. An optical disc laminating apparatus characterized by changing according to temperature.
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