JP2000304574A5

JP2000304574A5 -

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Publication number: JP2000304574A5
Application number: JP1999109463A
Authority: JP
Filing date: 1999-04-16
Publication date: 2006-06-15
Anticipated expiration: 2019-04-16

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子よりの光束を受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、該エンコーダのスケール上に形成した２つ以上の検出信号を発生させるためのマーク部を有し、該２つ以上の検出信号を用いて原点情報を有する少なくとも１つのパルス信号の立上り位置と立下り位置を決定することを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
発光素子よりの光束をスケール上に投射して受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、該エンコーダのスケール上に形成した原点信号生成マークより２つ以上の信号を検出し、該２つ以上の検出信号から原点情報を有する信号としての該エンコーダのインクリメンタル信号と略同じパルス幅のパルス信号を作ることを特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
該２つ以上の検出信号の差動信号より前記原点情報を有する信号を形成し、該信号と該インクリメンタル信号の論理和を取って原点信号を生成することを特徴とする請求項１又は２記載のエンコーダ。
【請求項４】
該原点信号生成マークが特定間隔だけずらした２つ以上のマークで構成され、該マークの各々からの信号を独立に検出することが可能な受光素子を該マークの数に応じて複数個設けることを特徴とする請求項２又は３記載のエンコーダ。
【請求項５】
該原点信号生成マークに投射する光束が複数個の光束で構成され、該複数個の光束の各々からの信号を独立に検出する受光素子を光束の数に応じて複数個設けることを特徴とする請求項２又は３記載のエンコーダ。
【請求項６】
該原点信号生成マークが特定間隔だけずらした２つ以上のマークで構成されるとともに、該原点信号生成マークに投射する光束が複数個の光束で構成され、該マークと該複数個の光束の組み合わせによって生じる予め定めた数の信号を独立に検出することが可能な複数個の受光素子を設けたことを特徴とする請求項２又は３記載のエンコーダ。
【請求項７】
発光素子からの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号を発生させる格子の周期をＰとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークをずれ量がＰ／６である２つのスリットで構成するとともに、該２つのスリットに該発光素子より単一のスリット状光束を照射し、該２つのスリットから生成される２つの検出信号を用いて原点情報を与える信号の立上り及び立下りを決定することを特徴とするエンコーダ。
【請求項８】
発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号を発生させる格子の周期をＰとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークを単一のスリットで構成するとともに、該スリットに該発光素子よりずれ量がＰ／６である２つのスリット状光束を照射し、該２つの光束から生成される２つの検出信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴とするエンコーダ。
【請求項９】
発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号の周期をＰｂとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークを、ずれ量がＸ・Ｐｂに相当する２つのスリットで構成されるのを一つの群とした時、ずれ量Ｌを持つ２つの群よりなる４つのスリットで構成するとともに、該４つのスリットに該発光素子より１つのスリット状光束を照射し、該４つのスリットから生成される４つの検出信号の差動信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴とするエンコーダ。
【請求項１０】
該ずれ量Ｘ・Ｐｂが
０．５Ｐｂ＜Ｘ・Ｐｂ＜１．５Ｐｂ
であることを特徴とする請求項９記載のエンコーダ。
【請求項１１】
発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号の周期をＰｂとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークを、ずれ量がＸ・Ｐｂに相当する２つのスリットで構成されるのを一つの群とした時、ずれ量Ｌを持つ２つの群よりなる４つのスリットで構成するとともに、該４つのスリットに該発光素子よりずれ量δＰを持つ２つのスリット状光束を各群に対応するように照射し、該４つのスリットから生成される４つの検出信号の差動信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴とするエンコーダ。
【請求項１２】
該ずれ量Ｘ・Ｐｂが
０．５Ｐｂ＜Ｘ・Ｐｂ＜１．５Ｐｂ
であることを特徴とする請求項１１記載のエンコーダ。
【請求項１３】
発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号を発生させる格子の周期をＰとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークをずれ量がＰ／６の２つのスリットで構成される群と群間のずれがＬの２つの群よりなる４つのスリットで構成するとともに、該４つのスリットに該発光素子より単一のスリット状光束を照射し、該４つのスリットから生成される４つの検出信号の差動信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴とするエンコーダ。
【請求項１４】
発光素子よりの光束をスケール上に照射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、該エンコーダ上の原点信号生成マークを２つの回折レンズで構成するとともに該発光素子よりほぼ平行な光束を照射し、該２つの回折レンズから得られる２つの集光光束を、各集光光束毎に空間的に離れた２組の２分割受光素子で検出し、該スケールの移動によって生じる該２組の２分割素子の差動信号から該インクリメンタル信号の原点信号位置領域を特定することを特徴とするエンコーダ。
【請求項１５】
該差動信号と該インクリメンタル信号の論理和を取ることによって、該原点信号を作ることを特徴とする請求項１４記載のエンコーダ。
【請求項１６】
該スケール上の回折レンズが透明基板上に凹凸状の位相格子構造の上に反射膜が付けられた構造を有することを特徴とする請求項１４又は１５記載の反射型エンコーダ。
【請求項１７】
該スケール上の回折レンズが透明基板上に凹凸状の位相格子構造を有することを特徴とする請求項１４又は１５記載の透過型エンコーダ。
【請求項１８】
スケールに４つ以上の変化信号を発生させる為の原点信号生成マークを有することを特徴とするエンコーダ。
【請求項１９】
スケール上の原点信号生成マークから４つ以上の変化信号を得る為のマーク検出手段を有することを特徴とするロータリーエンコーダ。 [Claims]
[Claim 1]
In an encoder that obtains an incremental signal by detecting a luminous flux from a light emitting element by a light receiving element, the encoder has a mark portion for generating two or more detection signals formed on the scale of the encoder, and the two or more. An encoder characterized by determining a rising position and a falling position of at least one pulse signal having origin information using a detection signal.
2.
In an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it with a light receiving element, two or more signals are detected from an origin signal generation mark formed on the scale of the encoder, and the second One or more encoders, characterized in that to produce a pulse signal of the incremental signal and Hobodo Ji pulse width of said encoder from the detected signal as a signal having origin information.
3.
The first or second aspect of claim 1 or 2, wherein a signal having the origin information is formed from the differential signals of the two or more detection signals, and the origin signal is generated by ORing the signal and the incremental signal. Encoder.
4.
The origin signal generation mark is composed of two or more marks shifted by a specific interval, and a plurality of light receiving elements capable of independently detecting signals from each of the marks are provided according to the number of the marks. The encoder according to claim 2 or 3.
5.
The luminous flux projected on the origin signal generation mark is composed of a plurality of luminous fluxes, and a plurality of light receiving elements for independently detecting signals from each of the plurality of luminous fluxes are provided according to the number of luminous fluxes. The encoder according to claim 2 or 3.
6.
The origin signal generation mark is composed of two or more marks shifted by a specific interval, and the luminous flux projected on the origin signal generation mark is composed of a plurality of luminous fluxes, and a combination of the mark and the plurality of luminous fluxes. The encoder according to claim 2 or 3, wherein a plurality of light receiving elements capable of independently detecting a predetermined number of signals generated by the above are provided.
7.
In an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it with a light receiving element, when the period of the lattice that generates the incremental signal is P, the origin signal formed on the scale of the encoder. The generation mark is composed of two slits having a deviation amount of P / 6, and the two slits are irradiated with a single slit-shaped luminous flux from the light emitting element, and two detection signals generated from the two slits. An encoder characterized by determining the rise and fall of a signal that gives origin information using.
8.
In an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it with a light receiving element, when the period of the lattice that generates the incremental signal is P, the origin signal formed on the scale of the encoder. The generation mark is composed of a single slit, and the slit is irradiated with two slit-shaped light fluxes having a deviation amount of P / 6 from the light emitting element, and two detection signals generated from the two light fluxes are used. An encoder characterized by determining the rise and fall of a signal having origin information.
9.
In an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it with a light receiving element, when the period of the incremental signal is Pb, an origin signal generation mark formed on the scale of the encoder is used. When one group is composed of two slits having a deviation amount corresponding to XPb, it is composed of four slits consisting of two groups having a deviation amount L, and the four slits emit light. An encoder characterized by irradiating one slit-shaped luminous flux from an element and determining the rise and fall of a signal having origin information using the differential signals of four detection signals generated from the four slits.
10.
The deviation amount X / Pb is 0.5Pb <X / Pb <1.5Pb
9. The encoder according to claim 9.
11.
In an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it with a light receiving element, when the period of the incremental signal is Pb, an origin signal generation mark formed on the scale of the encoder is formed. When one group is composed of two slits having a deviation amount corresponding to XPb, it is composed of four slits consisting of two groups having a deviation amount L, and the four slits emit light. Two slit-shaped luminous fluxes having a deviation amount δP from the element are irradiated so as to correspond to each group, and the rising edge of the signal having the origin information and the rising edge of the signal having the origin information are used by using the differential signals of the four detection signals generated from the four slits. An encoder characterized by determining a fall.
12.
The deviation amount X / Pb is 0.5Pb <X / Pb <1.5Pb
11. The encoder according to claim 11.
13.
In an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it with a light receiving element, when the period of the lattice that generates the incremental signal is P, the origin signal formed on the scale of the encoder. The generated mark is composed of a group consisting of two slits having a deviation amount of P / 6 and four slits having a deviation amount of L between the groups, and the four slits are single from the light emitting element. An encoder characterized by irradiating a slit-shaped luminous flux of the above and determining a rising edge and a falling edge of a signal having origin information by using differential signals of four detection signals generated from the four slits.
14.
In an encoder that obtains an incremental signal by irradiating a light flux from a light emitting element on a scale and detecting it with a light receiving element, the origin signal generation mark on the encoder is composed of two diffractive lenses and is substantially parallel to the light emitting element. The light flux is irradiated, and the two focused light fluxes obtained from the two diffractive lenses are detected by two sets of two-split light receiving elements that are spatially separated for each focused light flux, and the 2 is generated by the movement of the scale. An encoder characterized in that the origin signal position region of the incremental signal is specified from the differential signal of a set of two divided elements.
15.
The encoder according to claim 14 , wherein the origin signal is created by ORing the differential signal and the incremental signal.
16.
The reflective encoder according to claim 14 or 15, wherein the diffractive lens on the scale has a structure in which a reflective film is attached on a concave-convex phase lattice structure on a transparent substrate.
17.
The transmissive encoder according to claim 14 or 15, wherein the diffractive lens on the scale has a concave-convex phase lattice structure on a transparent substrate.
18.
An encoder characterized by having an origin signal generation mark for generating four or more change signals on the scale.
19.
A rotary encoder characterized by having a mark detecting means for obtaining four or more change signals from the origin signal generation mark on the scale.

請求項１の発明のエンコーダは、発光素子よりの光束を受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、該エンコーダのスケール上に形成した２つ以上の検出信号を発生させるためのマーク部を有し、該２つ以上の検出信号を用いて原点情報を有する少なくとも１つのパルス信号の立上り位置と立下り位置を決定することを特徴としている。 The encoder according to claim 1 is an encoder that obtains an incremental signal by detecting a light flux from a light emitting element with a light receiving element, and is a mark portion for generating two or more detection signals formed on the scale of the encoder. The feature is that the rising position and falling position of at least one pulse signal having origin information are determined by using the two or more detection signals.

請求項２の発明のエンコーダは、発光素子よりの光束をスケール上に投射して受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、該エンコーダのスケール上に形成した原点信号生成マークより２つ以上の信号を検出し、該２つ以上の検出信号から原点情報を有する信号としての該エンコーダのインクリメンタル信号と略同じパルス幅のパルス信号を作ることを特徴としている。 The encoder of the invention of claim 2 is an encoder that obtains an incremental signal by projecting a light beam from a light emitting element onto a scale and detecting it by a light receiving element, and has two origin signal generation marks formed on the scale of the encoder. It is characterized in that the above signals are detected and a pulse signal having substantially the same pulse width as the incremental signal of the encoder as a signal having origin information is created from the two or more detection signals.

請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、該２つ以上の検出信号の差動信号より前記原点情報を有する信号を形成し、該信号と該インクリメンタル信号の論理和を取って原点信号を生成することを特徴としている。 In the invention of claim 1 or 2, the invention of claim 3 forms a signal having the origin information from the differential signals of the two or more detection signals, and takes the logical sum of the signal and the incremental signal. It is characterized by generating an origin signal.

請求項４の発明は、請求項２又は３の発明において、該原点信号生成マークが特定間隔だけずらした２つ以上のマークで構成され、該マークの各々からの信号を独立に検出することが可能な受光素子を該マークの数に応じて複数個設けることを特徴としている。 The invention of claim 4 is the invention of claim 2 or 3, wherein the origin signal generation mark is composed of two or more marks shifted by a specific interval, and signals from each of the marks can be detected independently. It is characterized in that a plurality of possible light receiving elements are provided according to the number of the marks.

請求項５の発明は、請求項２又は３の発明において、該原点信号生成マークに投射する光束が複数個の光束で構成され、該複数個の光束の各々からの信号を独立に検出する受光素子を光束の数に応じて複数個設けることを特徴としている。 According to the invention of claim 5, in the invention of claim 2 or 3, the light flux projected on the origin signal generation mark is composed of a plurality of light fluxes, and the light receiving light for independently detecting the signal from each of the plurality of light fluxes. It is characterized in that a plurality of elements are provided according to the number of luminous fluxes.

請求項６の発明は、請求項２又は３の発明において、該原点信号生成マークが特定間隔だけずらした２つ以上のマークで構成されるとともに、該原点信号生成マークに投射する光束が複数個の光束で構成され、該マークと該複数個の光束の組み合わせによって生じる予め定めた数の信号を独立に検出することが可能な複数個の受光素子を設けたことを特徴としている。 The invention of claim 6 is the invention of claim 2 or 3, wherein the origin signal generation mark is composed of two or more marks shifted by a specific interval, and a plurality of luminous fluxes projected on the origin signal generation mark. It is characterized in that a plurality of light receiving elements are provided, which are composed of the light fluxes of the above and can independently detect a predetermined number of signals generated by the combination of the mark and the plurality of light fluxes.

請求項７の発明のエンコーダは、発光素子からの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号を発生させる格子の周期をＰとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークをずれ量がＰ／６である２つのスリットで構成するとともに、該２つのスリットに該発光素子より単一のスリット状光束を照射し、該２つのスリットから生成される２つの検出信号を用いて原点情報を与える信号の立上り及び立下りを決定することを特徴としている。 The encoder of the invention of claim 7 is an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element on a scale and detecting it by a light receiving element. The origin signal generation mark formed on the scale of the encoder is composed of two slits having a deviation amount of P / 6, and the two slits are irradiated with a single slit-shaped luminous flux from the light emitting element, and the two slits are irradiated. It is characterized in that the rising edge and the falling edge of the signal giving the origin information are determined by using the two detection signals generated from the slit.

請求項８の発明のエンコーダは、発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号を発生させる格子の周期をＰとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークを単一のスリットで構成するとともに、該スリットに該発光素子よりずれ量がＰ／６である２つのスリット状光束を照射し、該２つの光束から生成される２つの検出信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴としている。 The encoder of the invention of claim 8 is an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element on a scale and detecting it by a light receiving element. The origin signal generation mark formed on the scale of the encoder is composed of a single slit, and the slit is irradiated with two slit-shaped light fluxes having a deviation amount of P / 6 from the light emitting element, and the two light fluxes are used. It is characterized in that the rising edge and the falling edge of a signal having origin information are determined by using two generated detection signals.

請求項９の発明のエンコーダは、発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号の周期をＰｂとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークを、ずれ量がＸ・Ｐｂに相当する２つのスリットで構成されるのを一つの群とした時、ずれ量Ｌを持つ２つの群よりなる４つのスリットで構成するとともに、該４つのスリットに該発光素子より１つのスリット状光束を照射し、該４つのスリットから生成される４つの検出信号の差動信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴としている。 The encoder of the invention of claim 9 is an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it by a light receiving element. When the period of the incremental signal is Pb, the encoder is on the scale of the encoder. When the origin signal generation mark formed in 1 is composed of two slits having a deviation amount corresponding to X and Pb as one group, it is composed of four slits consisting of two groups having a deviation amount L. At the same time, the four slits are irradiated with one slit-shaped luminous flux from the light emitting element, and the rising and falling edges of the signal having the origin information are measured by using the differential signals of the four detection signals generated from the four slits. It is characterized by deciding.

請求項１０の発明は、請求項９の発明において、該ずれ量Ｘ・Ｐｂが
０．５Ｐｂ＜Ｘ・Ｐｂ＜１．５Ｐｂ
であることを特徴としている。 The invention of claim 10 is the invention of claim 9, wherein the deviation amount X · Pb is 0.5 Pb <X · Pb <1.5 Pb.
It is characterized by being.

請求項１１の発明のエンコーダは、発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号の周期をＰｂとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークを、ずれ量がＸ・Ｐｂに相当する２つのスリットで構成されるのを一つの群とした時、ずれ量Ｌを持つ２つの群よりなる４つのスリットで構成するとともに、該４つのスリットに該発光素子よりずれ量δＰを持つ２つのスリット状光束を各群に対応するように照射し、該４つのスリットから生成される４つの検出信号の差動信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴としている。 The encoder of the invention of claim 11 is an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it by a light receiving element. When the period of the incremental signal is Pb, the encoder is on the scale. When the origin signal generation mark formed in 1 is composed of two slits having a deviation amount corresponding to X and Pb as one group, it is composed of four slits consisting of two groups having a deviation amount L. At the same time, the four slits are irradiated with two slit-shaped luminous fluxes having a deviation amount δP from the light emitting element so as to correspond to each group, and the differential signals of the four detection signals generated from the four slits are used. It is characterized in that the rising edge and the falling edge of the signal having the origin information are determined.

請求項１２の発明は、請求項１１の発明において、該ずれ量Ｘ・Ｐｂが
０．５Ｐｂ＜Ｘ・Ｐｂ＜１．５Ｐｂ
であることを特徴としている。 The invention of claim 12 is the invention of claim 11, wherein the deviation amount X · Pb is 0.5 Pb <X · Pb <1.5 Pb.
It is characterized by being.

請求項１３の発明のエンコーダは、発光素子よりの光束をスケール上に投射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、インクリメンタル信号を発生させる格子の周期をＰとした時、該エンコーダのスケール上に形成する原点信号生成マークをずれ量がＰ／６の２つのスリットで構成される群と群間のずれがＬの２つの群よりなる４つのスリットで構成するとともに、該４つのスリットに該発光素子より単一のスリット状光束を照射し、該４つのスリットから生成される４つの検出信号の差動信号を用いて原点情報を有する信号の立上り及び立下りを決定することを特徴としている。 The encoder according to claim 13 is an encoder that obtains an incremental signal by projecting a luminous flux from a light emitting element onto a scale and detecting it with a light receiving element. The origin signal generation mark formed on the scale of the encoder is composed of a group consisting of two slits having a deviation amount of P / 6 and four slits having a deviation amount of L between the groups. Irradiating one slit with a single slit-shaped luminous flux from the light emitting element, and determining the rise and fall of a signal having origin information using the differential signals of the four detection signals generated from the four slits. It is characterized by.

請求項１４の発明のエンコーダは、発光素子よりの光束をスケール上に照射し、受光素子により検出することによりインクリメンタル信号を得るエンコーダにおいて、該エンコーダ上の原点信号生成マークを２つの回折レンズで構成するとともに該発光素子よりほぼ平行な光束を照射し、該２つの回折レンズから得られる２つの集光光束を、各集光光束毎に空間的に離れた２組の２分割受光素子で検出し、該スケールの移動によって生じる該２組の２分割素子の差動信号から該インクリメンタル信号の原点信号位置領域を特定することを特徴としている。 The encoder according to claim 14 is an encoder that obtains an incremental signal by irradiating a scale with a luminous flux from a light emitting element and detecting it with a light receiving element, and the origin signal generation mark on the encoder is composed of two diffractive lenses. At the same time, the luminous flux is irradiated substantially parallel to the light emitting element, and the two focused light fluxes obtained from the two diffractive lenses are detected by two sets of two sets of light receiving elements that are spatially separated for each focused light flux. It is characterized in that the origin signal position region of the incremental signal is specified from the differential signal of the two sets of two-divided elements generated by the movement of the scale.

請求項１５の発明は、請求項１４の発明において、該差動信号と該インクリメンタル信号の論理和を取ることによって、該原点信号を作ることを特徴としている。 The invention of claim 15 is characterized in that, in the invention of claim 14, the origin signal is created by ORing the differential signal and the incremental signal.

請求項１６の発明は、請求項１４又は１５の発明において、該スケール上の回折レンズが透明基板上に凹凸状の位相格子構造の上に反射膜が付けられた構造を有することを特徴としている。 The invention of claim 16 is characterized in that, in the invention of claim 14 or 15, the diffractive lens on the scale has a structure in which a reflective film is attached on a concave-convex phase lattice structure on a transparent substrate. ..

請求項１７の発明は、請求項１４又は１５の発明において、該スケール上の回折レンズが透明基板上に凹凸状の位相格子構造を有することを特徴としている。 The invention of claim 17 is characterized in that, in the invention of claim 14 or 15, the diffractive lens on the scale has a concavo-convex phase lattice structure on a transparent substrate.

請求項１８の発明のエンコーダは、スケールに４つ以上の変化信号を発生させる為の原点信号生成マークを有することを特徴としている。 The encoder of the invention of claim 18 is characterized by having an origin signal generation mark for generating four or more change signals on the scale.

請求項１９の発明のエンコーダは、スケール上の原点信号生成マークから４つ以上の変化信号を得る為のマーク検出手段を有することを特徴としている。 The encoder of the invention of claim 19 is characterized by having a mark detecting means for obtaining four or more change signals from the origin signal generation mark on the scale.

インクリメンタル信号の検出は不図示の検出系により特開平２−９３３２４と同様の原理で取り出され、図８に示す様に格子ピッチＰの１／４ピッチの正弦波のインクリメンタル信号（位置変位信号）Ｂとなる。図８の位置変位信号Ｂから矩型波信号を作ると図７のＡ信号となり、Ａ信号とこれと同等のパルス幅であるＺ信号で論理和を取り、これを改めて原点信号をすると、矩型波信号となったインクリメンタル信号と原点信号の同期を取ることができる。 The detection of the incremental signal is taken out by a detection system (not shown) on the same principle as JP-A-2-93324, and as shown in FIG. 8, an incremental signal (positional displacement signal) of a sine wave having a grid pitch P of 1/4 pitch. It becomes B. When a rectangular wave signal is created from the position displacement signal B in FIG. 8, it becomes the A signal in FIG. 7, and when the logical sum is taken with the A signal and the Z signal having a pulse width equivalent to this, and this is used as the origin signal again, it becomes rectangular. The incremental signal that has become a type wave signal and the origin signal can be synchronized.

インクリメンタル信号（位置変位信号）は不図示の検出系により特開平２−９３３２４と同様の公知の原理で取り出され、図８に示す格子ピッチＰの１／４ピッチの正弦波のインクリメンタルＢとなり、図７の矩型波のＡ信号を生成する。Ａ信号とＺ信号で論理和を取り、これを改めて原点信号とすると、矩型波信号となったインクリメンタル信号と原点信号の同期を取ることができる。 The incremental signal (positional displacement signal) is extracted by a detection system (not shown) by a known principle similar to that of JP-A-2-93324, and becomes an incremental B of a sine wave having a pitch of 1/4 of the lattice pitch P shown in FIG. The A signal of the rectangular wave of FIG. 7 is generated. If the A signal and the Z signal are ORed and this is used as the origin signal again, the incremental signal that has become a rectangular wave signal and the origin signal can be synchronized.

インクリメンタル信号は不図示の検出系により特開平２−９３３２４と同様の原理で取り出され、図３５に示す様に格子ピッチＰの１／４ピッチの正弦波のインクリメンタル信号Ｂとなる。インクリメンタル信号Ｂから矩型波信号を作ると図３４にある矩型の部分がＰ／８のＡ信号となり、Ａ信号とＺ信号で論理和を取り、これを改めて原点信号とすると、矩型波信号となったインクリメンタル信号と原点信号の同期を取ることができる。 Incremental signal is taken out by the same principle as Hei 2-9332 4 by the detection system (not shown), the incremental signal B of a sine wave of 1/4 the pitch of the grating pitch P as shown in FIG. 35. When a rectangular wave signal is created from the incremental signal B, the rectangular part in FIG. 34 becomes the A signal of P / 8, and if the logical sum is taken between the A signal and the Z signal and this is used as the origin signal again, the rectangular wave The incremental signal that became the signal and the origin signal can be synchronized.

【０１３８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のエンコーダでは基本的に２つ以上の検出信号を利用してパルス信号を決定するので、原点情報を有する信号の両エッジの再現性が良く、微細信号も形成し易いという特徴がある。 [0138]
【Effect of the invention】
As described above, since the encoder of the present invention basically determines the pulse signal by using two or more detection signals, the reproducibility of both edges of the signal having the origin information is good, and a fine signal is also formed. It has the characteristic of being easy.

又、本発明によれば、この様な原点情報を有する信号を形成するのに適した構成のエンコーダが実現できる。 Further , according to the present invention, it is possible to realize an encoder having a configuration suitable for forming a signal having such origin information.

又、本発明によれば、この様な原点情報を有する信号を形成するのに適した構成のロータリーエンコーダが実現できる。 Further, according to the present invention, it is possible to realize a rotary encoder having a configuration suitable for forming a signal having such origin information.