JP2000304550A - 第1の発振器を第2の発振器に整合マッチングするための方法及び装置並びにヨーレート−センサ - Google Patents
第1の発振器を第2の発振器に整合マッチングするための方法及び装置並びにヨーレート−センサInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高められた精度及び低くされたエラーのもと
で信号の評価を可能にする方法及び装置を提供すること
及びそのような点で改善されたヨーレート−センサを提
供すること。 【解決手段】 第1の発振器(10)を第2の発振器
(20)に整合マッチングするための方法及び装置が提
案される。ここで、発振器の応答特性カーブを求めるた
め使用される。応答特性の差に依存して、第2発振器に
対しての第1発振器の整合マッチングが実施される。振
幅補正のため、出力信号と応答特性カーブの和の商形成
が行われる。本発明の方法及び装置を殊にヨーレート−
センサにおいて使用し得る。
で信号の評価を可能にする方法及び装置を提供すること
及びそのような点で改善されたヨーレート−センサを提
供すること。 【解決手段】 第1の発振器(10)を第2の発振器
(20)に整合マッチングするための方法及び装置が提
案される。ここで、発振器の応答特性カーブを求めるた
め使用される。応答特性の差に依存して、第2発振器に
対しての第1発振器の整合マッチングが実施される。振
幅補正のため、出力信号と応答特性カーブの和の商形成
が行われる。本発明の方法及び装置を殊にヨーレート−
センサにおいて使用し得る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、第1の発振器を第
2の発振器に整合マッチングするための方法及び装置並
びにヨーレート−センサ並びにその方法ないし装置を使
用するヨーレート−センサに関する。
2の発振器に整合マッチングするための方法及び装置並
びにヨーレート−センサ並びにその方法ないし装置を使
用するヨーレート−センサに関する。
【0002】
【従来の技術】振幅エラー、位相エラー等を考慮すべく
複数の発振器の振動信号の評価のため検出された信号を
数値的に処理する種々の方法及び装置が公知である。こ
のために、例えば、DE−OS19653020に記載
されているような信号評価方法が使用される。例えばコ
リオリ効果を利用するヨーレート−センサが車両におけ
る車両ダイナミック特性制御のためシステムに関連して
一般に公知である。前述のヨーレート−センサは、それ
自体通常の手法で、1つ又は複数の1つ又は複数のマス
質量体から成り、前記の1つ又は複数のマス質量体は、
電気的回路にて生ぜしめられた電圧により機械的振動へ
励振される。機械的励振は、1つ又は複数の加速度セン
サに作用し、これらの加速度センサは、振動質量に作用
するコリオリ加速度を測定する。励振―及び加速度信号
から、適当な評価回路を用いてシステムのヨーレートを
求め得る。
複数の発振器の振動信号の評価のため検出された信号を
数値的に処理する種々の方法及び装置が公知である。こ
のために、例えば、DE−OS19653020に記載
されているような信号評価方法が使用される。例えばコ
リオリ効果を利用するヨーレート−センサが車両におけ
る車両ダイナミック特性制御のためシステムに関連して
一般に公知である。前述のヨーレート−センサは、それ
自体通常の手法で、1つ又は複数の1つ又は複数のマス
質量体から成り、前記の1つ又は複数のマス質量体は、
電気的回路にて生ぜしめられた電圧により機械的振動へ
励振される。機械的励振は、1つ又は複数の加速度セン
サに作用し、これらの加速度センサは、振動質量に作用
するコリオリ加速度を測定する。励振―及び加速度信号
から、適当な評価回路を用いてシステムのヨーレートを
求め得る。
【0003】1つ又は複数の加速度センサに供給される
付加的電気的テスト信号は、任意の生ぜしめられる付加
的加速度をセンサへ作用させるために用いられ得る。そ
れにより、例えば、加速度センサ及び後置接続の評価回
路の特性についての情報を取得できる。従って、エラ
ー、殊に系統的エラーを識別することも可能である。こ
のことは特に重要である、それというのは、コリオリ効
果を評価するヨーレート−センサを、系統的エラーを有
し、この系統的エラーの測定信号の影響が評価手段の適
当な選定により最小化されねばならない。可及的に遠く
離れた発振器周波数が選定される訳は、共振のQによる
振幅エラー及び位相エラーができるだけわずかとなり、
加速度信号への振動信号の電気的クロストークが位相信
号適正化により抑圧され得るようにするためである。感
度損失に基づく周波数間隔を過度に大に選定摺るわけに
はゆかないので、益々所定の残留誤差が残る。
付加的電気的テスト信号は、任意の生ぜしめられる付加
的加速度をセンサへ作用させるために用いられ得る。そ
れにより、例えば、加速度センサ及び後置接続の評価回
路の特性についての情報を取得できる。従って、エラ
ー、殊に系統的エラーを識別することも可能である。こ
のことは特に重要である、それというのは、コリオリ効
果を評価するヨーレート−センサを、系統的エラーを有
し、この系統的エラーの測定信号の影響が評価手段の適
当な選定により最小化されねばならない。可及的に遠く
離れた発振器周波数が選定される訳は、共振のQによる
振幅エラー及び位相エラーができるだけわずかとなり、
加速度信号への振動信号の電気的クロストークが位相信
号適正化により抑圧され得るようにするためである。感
度損失に基づく周波数間隔を過度に大に選定摺るわけに
はゆかないので、益々所定の残留誤差が残る。
【0004】ヨーレート−センサの出力信号の評価のた
めアナログ及びデジタルの型式の回路が信号処理のため
使用される。評価回路はヨーレート−センサを求め、さ
らなるセンサないし評価回路の機能性のチェックのため
使用できる。
めアナログ及びデジタルの型式の回路が信号処理のため
使用される。評価回路はヨーレート−センサを求め、さ
らなるセンサないし評価回路の機能性のチェックのため
使用できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題とすると
ころは高められた精度及び低くされたエラーのもとで信
号の評価を可能にする方法及び装置を提供することであ
る。本発明の更なる課題とするとろは、そのような点で
改善されたヨーレート−センサを提供することである。
ころは高められた精度及び低くされたエラーのもとで信
号の評価を可能にする方法及び装置を提供することであ
る。本発明の更なる課題とするとろは、そのような点で
改善されたヨーレート−センサを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記課題は、方法発明に
対しては請求項1の構成要件により解決され、装置発明
に対しては請求項6の構成要件により解決され、ヨーレ
ート−センサの発明に対しては請求項9及び10の構成
要件により解決される。有利な実施形態は、それぞれの
引用請求項に記載されている。
対しては請求項1の構成要件により解決され、装置発明
に対しては請求項6の構成要件により解決され、ヨーレ
ート−センサの発明に対しては請求項9及び10の構成
要件により解決される。有利な実施形態は、それぞれの
引用請求項に記載されている。
【0007】殊に、本発明の方法によれば、第1の発振
器を第2の発振器に整合マッチングするための方法にお
いて、下記のステップを有し、即ち、第2発振器の振動
に対して対称的に周波数シフト及び/又は位相シフトさ
れた2つの信号を発生させること;第1の発振器を、形
成された信号で励振すること;第1発振器の応答特性を
求めること;応答特性から差信号を形成すること;差信
号に依存して第1発振器の周波数及び/又は位相を整合
することの各ステップを有するのである。従って、前記
方法により2つの振動を相互に整合マッチング(“マッ
チング”)でき、その結果例えば、共振時高まり、Qを
所期のように可調整である。
器を第2の発振器に整合マッチングするための方法にお
いて、下記のステップを有し、即ち、第2発振器の振動
に対して対称的に周波数シフト及び/又は位相シフトさ
れた2つの信号を発生させること;第1の発振器を、形
成された信号で励振すること;第1発振器の応答特性を
求めること;応答特性から差信号を形成すること;差信
号に依存して第1発振器の周波数及び/又は位相を整合
することの各ステップを有するのである。従って、前記
方法により2つの振動を相互に整合マッチング(“マッ
チング”)でき、その結果例えば、共振時高まり、Qを
所期のように可調整である。
【0008】有利に、第1及び第2発振器は、1つの振
動体、振動子及び/又は複数の無関係の振動体、振動子
の相異なるモード、例えば直交のモードを有するのであ
る。従って、例えば1つの振動体、振動子をそれの振動
モードに関して2つの自由度を以て整合ないし“マッチ
ング”できる。代替選択的に、方法プロセスは、勿論、
相互に無関係な2つの振動体、振動子にも適用可能であ
り、それも独立の振動方向のもとでも適用可能である。
動体、振動子及び/又は複数の無関係の振動体、振動子
の相異なるモード、例えば直交のモードを有するのであ
る。従って、例えば1つの振動体、振動子をそれの振動
モードに関して2つの自由度を以て整合ないし“マッチ
ング”できる。代替選択的に、方法プロセスは、勿論、
相互に無関係な2つの振動体、振動子にも適用可能であ
り、それも独立の振動方向のもとでも適用可能である。
【0009】特に簡単な手法で、第1発振器の振動の振
幅及び/又は位相を検出することにより、応答特性を求
めることができるのである。前記測定量を特に簡単に例
えば加速度センサ又は類似の手段を用いて求め得る。
幅及び/又は位相を検出することにより、応答特性を求
めることができるのである。前記測定量を特に簡単に例
えば加速度センサ又は類似の手段を用いて求め得る。
【0010】前記測定量は、簡単に、例えば加速度セン
サ又は類似の手段を用いて求めることができる。
サ又は類似の手段を用いて求めることができる。
【0011】第1発振器の整合マッチングは、有利に固
有周波数のシフトにより行われる。固有のシフトをさせ
るための有利な方法は、所謂静電的スタチック正帰還で
あり、ここで振動特性に影響を与える当業者に通有の他
の方法を使用することもできる。
有周波数のシフトにより行われる。固有のシフトをさせ
るための有利な方法は、所謂静電的スタチック正帰還で
あり、ここで振動特性に影響を与える当業者に通有の他
の方法を使用することもできる。
【0012】更に、本発明の方法プロセスは、閉ループ
制御方法、手段として使用され、ここで、閉ループ制御
手段の形成のため、当該方法プロセスの繰り返しが行わ
れる。従って付加的に温度変化を考慮し、他のパラメー
タを補償する永久的一致(“マッチング”)を達成でき
る、それというのは、振動は常に自動的に整合マッチン
グせしめられるからである。
制御方法、手段として使用され、ここで、閉ループ制御
手段の形成のため、当該方法プロセスの繰り返しが行わ
れる。従って付加的に温度変化を考慮し、他のパラメー
タを補償する永久的一致(“マッチング”)を達成でき
る、それというのは、振動は常に自動的に整合マッチン
グせしめられるからである。
【0013】本発明によれば、第1の発振器を第2の発
振器に整合マッチングするための装置において、下記の
構成要素を有し、即ち;第2発振器の振動に対して対称
的に周波数シフト及び/又は位相シフトされた2つの信
号を発生させる装置を有する。更に、前記装置は、形成
された信号への第1発振器の応答特性を求める差信号を
形成する装置を有し、形成された差信号に依存して第1
発振器の周波数及び/又は位相を整合する制御装置を有
するのである。殊に前記制御装置は、有利に、2つの発
振器の振動の永久的整合マッチングを確保する制御装置
として使用することもできる。
振器に整合マッチングするための装置において、下記の
構成要素を有し、即ち;第2発振器の振動に対して対称
的に周波数シフト及び/又は位相シフトされた2つの信
号を発生させる装置を有する。更に、前記装置は、形成
された信号への第1発振器の応答特性を求める差信号を
形成する装置を有し、形成された差信号に依存して第1
発振器の周波数及び/又は位相を整合する制御装置を有
するのである。殊に前記制御装置は、有利に、2つの発
振器の振動の永久的整合マッチングを確保する制御装置
として使用することもできる。
【0014】有利には、本発明の装置は1つの振動体、
振動子の相異なる、殊に直交のモードのものを以て、な
いし複数の振動体、振動子に対して、そして任意の配向
のもとで使用可能である。
振動子の相異なる、殊に直交のモードのものを以て、な
いし複数の振動体、振動子に対して、そして任意の配向
のもとで使用可能である。
【0015】本発明の更なる実施形態によれば開ルー
プ、ないし、閉ループ制御装置は、第1発振器の振動特
性を特に簡単に整合調整し得るため静電的スタチック正
帰還装置を有し、それにより、2つの振動の“マッチン
グ”は、簡単に電気信号の印加により可能になる。勿
論、振動特性に影響を与える他の装置も亦、本発明の装
置に対して使用可能である、例えば、付加的ばね等の負
荷接続も可能である。
プ、ないし、閉ループ制御装置は、第1発振器の振動特
性を特に簡単に整合調整し得るため静電的スタチック正
帰還装置を有し、それにより、2つの振動の“マッチン
グ”は、簡単に電気信号の印加により可能になる。勿
論、振動特性に影響を与える他の装置も亦、本発明の装
置に対して使用可能である、例えば、付加的ばね等の負
荷接続も可能である。
【0016】本発明のヨーレート−センサの特徴とする
ところは、第1の発振器を第2の発振器に整合マッチン
グするための方法を実施し、又は第1の発振器を第2の
発振器に整合マッチングするための装置を具備すること
にある。
ところは、第1の発振器を第2の発振器に整合マッチン
グするための方法を実施し、又は第1の発振器を第2の
発振器に整合マッチングするための装置を具備すること
にある。
【0017】次に、本発明を、図示の実施例に即して説
明する。
明する。
【0018】
【実施例】第1のブロックダイヤグラムには、第2の発
振器20が示してあり、この第2の発振器20は、1つ
の振動体、振動子の1つの振動モードのもの、又は個個
の振動体、振動子であり得る。前記第2の発振器は、公
知のヨーレート−センサにおけるように振動的に励振さ
れ、ここで、それの固有周波数はfoである。この周波
数はfoは、装置12にて入力として使用され、前記装
置12は、図示の実施例では周波数発生器として構成さ
れ2つのテスト信号を生成する。それらのテスト信号
は、第2の発振器の振動に対して対称的に±100Hz
ずれている。そのようにして生成されたテスト信号によ
り、第1の発振器10が励振される。図示の実施例では
第1発振器10は、装置11内に設けられており、この
装置11は、形成された信号への発振器の応答特性を検
出し、それから差信号を形成する。前記差信号は、適当
な電子的回路の使用下で制御器16に供給され、この制
御器16は、適当な手段を介して発振器10の振動特性
に影響を及ぼす。2つの発振器10,20が定常的振動
状態におかれると直ちに、差信号がもはや生ぜず、その
結果出力信号は、安定した評価条件のもとで使用され得
る。従って、ヨーレート−センサの2つの振動モードを
自動的に相互に整合マッチングさせ得る。このことによ
り、コリオリ力に対する安定した評価条件が得られる。
検出モードないし第1の発振器は精確にそれの固有周波
数のもとで作動されるので、共振時の高まりに相応して
感度増大が起こる。つまり、高いQを達成できる。従っ
て、分解能を著しく改善でき、ここで、温度変化及び老
化効果を自動的に再制御でき、この再制御のため、閉ル
ープ、開ループ制御回路により振動を相互に整合マッチ
ングするのである。
振器20が示してあり、この第2の発振器20は、1つ
の振動体、振動子の1つの振動モードのもの、又は個個
の振動体、振動子であり得る。前記第2の発振器は、公
知のヨーレート−センサにおけるように振動的に励振さ
れ、ここで、それの固有周波数はfoである。この周波
数はfoは、装置12にて入力として使用され、前記装
置12は、図示の実施例では周波数発生器として構成さ
れ2つのテスト信号を生成する。それらのテスト信号
は、第2の発振器の振動に対して対称的に±100Hz
ずれている。そのようにして生成されたテスト信号によ
り、第1の発振器10が励振される。図示の実施例では
第1発振器10は、装置11内に設けられており、この
装置11は、形成された信号への発振器の応答特性を検
出し、それから差信号を形成する。前記差信号は、適当
な電子的回路の使用下で制御器16に供給され、この制
御器16は、適当な手段を介して発振器10の振動特性
に影響を及ぼす。2つの発振器10,20が定常的振動
状態におかれると直ちに、差信号がもはや生ぜず、その
結果出力信号は、安定した評価条件のもとで使用され得
る。従って、ヨーレート−センサの2つの振動モードを
自動的に相互に整合マッチングさせ得る。このことによ
り、コリオリ力に対する安定した評価条件が得られる。
検出モードないし第1の発振器は精確にそれの固有周波
数のもとで作動されるので、共振時の高まりに相応して
感度増大が起こる。つまり、高いQを達成できる。従っ
て、分解能を著しく改善でき、ここで、温度変化及び老
化効果を自動的に再制御でき、この再制御のため、閉ル
ープ、開ループ制御回路により振動を相互に整合マッチ
ングするのである。
【0019】図2のブロックダイヤグラムでは、付加的
に、位相エラーを考慮するテスト信号応答の振幅の評価
が示されている。ここでは、それぞれのもとのテスト信
号に対し、90°位相ずれしているテスト信号との更な
る乗算が実施される。両結果信号は、幾何学的に加算さ
れ、それにより、テスト信号応答の実際の振幅について
の情報が得られる。指摘されるべきことには、図2に示
すブロックダイヤグラムを図1に示す実施例と組み合わ
せ結合することができる。
に、位相エラーを考慮するテスト信号応答の振幅の評価
が示されている。ここでは、それぞれのもとのテスト信
号に対し、90°位相ずれしているテスト信号との更な
る乗算が実施される。両結果信号は、幾何学的に加算さ
れ、それにより、テスト信号応答の実際の振幅について
の情報が得られる。指摘されるべきことには、図2に示
すブロックダイヤグラムを図1に示す実施例と組み合わ
せ結合することができる。
【0020】代替選択的に、図2に示すブロックダイヤ
グラムにより、テスト信号応答と第2発振器との間の位
相差の評価により、検出回路又は第1の発振器の共振周
波数を制御することができる。 第2発振器の位相ずれ
は、それの共振点において、丁度90度である。ヨーレ
ート−センサに対する検出モードは、位相に関して今度
はテスト信号応答から差信号を求め、類似の手法で第1
発振器10の整合マッチングを行わせる。従って、第1
発振器10は、次のような状態生起まで離調される、即
ち、位相ずれの差の大きさが同じになるまで、換言すれ
ば、差信号がもはや生じなくなるまで、離調される。
グラムにより、テスト信号応答と第2発振器との間の位
相差の評価により、検出回路又は第1の発振器の共振周
波数を制御することができる。 第2発振器の位相ずれ
は、それの共振点において、丁度90度である。ヨーレ
ート−センサに対する検出モードは、位相に関して今度
はテスト信号応答から差信号を求め、類似の手法で第1
発振器10の整合マッチングを行わせる。従って、第1
発振器10は、次のような状態生起まで離調される、即
ち、位相ずれの差の大きさが同じになるまで、換言すれ
ば、差信号がもはや生じなくなるまで、離調される。
【0021】図3は、それにより、感度補正を実施でき
る更なる実施例のブロックダイヤグラムを示す。前記実
施例では、両テスト信号応答の和から、共振時高まりに
ついての情報が得られる。今や出力―有効信号と和信号
との商を形成し、それにより、有効出力信号の感度を規
準化し得る、換言すれば、検出回路の回路の良さ、Qに
無関係に規準化し得る。
る更なる実施例のブロックダイヤグラムを示す。前記実
施例では、両テスト信号応答の和から、共振時高まりに
ついての情報が得られる。今や出力―有効信号と和信号
との商を形成し、それにより、有効出力信号の感度を規
準化し得る、換言すれば、検出回路の回路の良さ、Qに
無関係に規準化し得る。
【0022】図4は、静電的スタチック正帰還の動作原
理を略示し、この静電的スタチック正帰還は、第1の発
振器を整合マッチングするため、殊に、当該の発振器が
機械的発振器である場合、第1の発振器を整合マッチン
グするため使用し得るものである。振動体、振動子の周
波数は、一般に、所謂静電的スタチック正帰還により減
衰され得る。静電的スタチック正帰還は、次のような場
合に得られる、即ち、容量微分―測定形装置に直流電圧
が加わる(このことは簡単なコンデンサについても成立
つ)ようにするのである。容量微分―測定形装置はプレ
ート22,24及びその間に振動質量体10を有するプ
レート形コンデンサにより形成される。測定に際して、
振動質量体と、プレート形コンデンサ22,24の個個
のプレートとの間に生じる容量が求められる。振動質量
体10は、図示の実施例では、ばね26に懸架されてお
り、このばね26は、ばね定数kを有する。系の剛性全
体は、機械的及び静電的スタチック剛性の和により定ま
る。静電的スタチック剛性は、振動体、振動子10の変
位に従っての静電的スタチック力の微分に相応する。静
電的スタチック正帰還により系を一層ハード硬又はソフ
ト軟に形成できる、それというのは、2つのプレート
は、公知のように異なるポテンシャル電位で引き合うか
らである。正帰還係数は下記の関係式により与えられ
る。
理を略示し、この静電的スタチック正帰還は、第1の発
振器を整合マッチングするため、殊に、当該の発振器が
機械的発振器である場合、第1の発振器を整合マッチン
グするため使用し得るものである。振動体、振動子の周
波数は、一般に、所謂静電的スタチック正帰還により減
衰され得る。静電的スタチック正帰還は、次のような場
合に得られる、即ち、容量微分―測定形装置に直流電圧
が加わる(このことは簡単なコンデンサについても成立
つ)ようにするのである。容量微分―測定形装置はプレ
ート22,24及びその間に振動質量体10を有するプ
レート形コンデンサにより形成される。測定に際して、
振動質量体と、プレート形コンデンサ22,24の個個
のプレートとの間に生じる容量が求められる。振動質量
体10は、図示の実施例では、ばね26に懸架されてお
り、このばね26は、ばね定数kを有する。系の剛性全
体は、機械的及び静電的スタチック剛性の和により定ま
る。静電的スタチック剛性は、振動体、振動子10の変
位に従っての静電的スタチック力の微分に相応する。静
電的スタチック正帰還により系を一層ハード硬又はソフ
ト軟に形成できる、それというのは、2つのプレート
は、公知のように異なるポテンシャル電位で引き合うか
らである。正帰還係数は下記の関係式により与えられ
る。
【0023】
【数1】
【0024】ここでAは、プレートの面積、Xは変位、
Uは電圧、dgapは、コンデンサの板間隔である。上記
の関係式から第1発振器ないし検出モードの共振周波数
に対する関係式を次のように求め得る:
Uは電圧、dgapは、コンデンサの板間隔である。上記
の関係式から第1発振器ないし検出モードの共振周波数
に対する関係式を次のように求め得る:
【0025】
【数2】
【0026】静電的スタチック正帰還に対して代替選択
的に、第1発振器を、所謂閉ループ作動により整合マッ
チングすることができ、ここで、それについては、それ
以上詳述する必要はない、それというのは、当該のプロ
セスは、振動論の分野の当業者には周知のことであるか
らである。
的に、第1発振器を、所謂閉ループ作動により整合マッ
チングすることができ、ここで、それについては、それ
以上詳述する必要はない、それというのは、当該のプロ
セスは、振動論の分野の当業者には周知のことであるか
らである。
【0027】本発明の装置及び方法並びに本発明の装置
及び方法を使用するヨーレート−センサを、図5に示す
ボーデ線図を用いて一層良好に理解できる。図5の上方
部分において、第1発振器の振動特性がプロットしてあ
る。プロットしてあるのは、テスト信号の周波数に依存
しての応答特性の振幅である。破線で示すのは、本発明
の方法の実施前に生じている第1発振器の共振分布特性
である。第1発振器がテスト信号で励振されると、即
ち、foに隣接する周波数で励振されると、応答信号の
2つの異なった大きさの振幅が生じる。それらの2つの
応答信号から1つの差を形成し、この差信号に依存して
検出周波数のずれを生じさせると、共振周波数特性カー
ブが得られ、この共振周波数特性カーブは、実線として
示されている。従って、第1発振器は次のように整合マ
ッチングされる、即ち、それの共振周波数がfoと一致
するように整合マッチングされる。この状態において、
両テスト周波数における応答信号の振幅は、相対応し、
その結果差信号が形成されない。このことは、そこにて
一致状態が存在している定常的振動の状態を表わしてい
る。従来技術と異なって、従来ヨーレート−センサにお
いてなされたような検出モードを発振器周波数からでき
るだけ離して設定する必要はもはやない。寧ろ、共振時
高まりによる振幅エラー及び位相エラーは、もはや生じ
ない、それというのは、当該の定常的振動状態が、永続
的制御により維持されるからである。
及び方法を使用するヨーレート−センサを、図5に示す
ボーデ線図を用いて一層良好に理解できる。図5の上方
部分において、第1発振器の振動特性がプロットしてあ
る。プロットしてあるのは、テスト信号の周波数に依存
しての応答特性の振幅である。破線で示すのは、本発明
の方法の実施前に生じている第1発振器の共振分布特性
である。第1発振器がテスト信号で励振されると、即
ち、foに隣接する周波数で励振されると、応答信号の
2つの異なった大きさの振幅が生じる。それらの2つの
応答信号から1つの差を形成し、この差信号に依存して
検出周波数のずれを生じさせると、共振周波数特性カー
ブが得られ、この共振周波数特性カーブは、実線として
示されている。従って、第1発振器は次のように整合マ
ッチングされる、即ち、それの共振周波数がfoと一致
するように整合マッチングされる。この状態において、
両テスト周波数における応答信号の振幅は、相対応し、
その結果差信号が形成されない。このことは、そこにて
一致状態が存在している定常的振動の状態を表わしてい
る。従来技術と異なって、従来ヨーレート−センサにお
いてなされたような検出モードを発振器周波数からでき
るだけ離して設定する必要はもはやない。寧ろ、共振時
高まりによる振幅エラー及び位相エラーは、もはや生じ
ない、それというのは、当該の定常的振動状態が、永続
的制御により維持されるからである。
【0028】振幅に依拠しての評価に類似して、本発明
の装置及び方法が、図5の下方部分に示すように、第1
発振器の位相の評価に立脚してもよい。
の装置及び方法が、図5の下方部分に示すように、第1
発振器の位相の評価に立脚してもよい。
【0029】図6には、感度補正を表すボード線図を示
す。図2の場合において説明されたように、両テスト信
号応答の加算により共振周波数についての情報を得るこ
とができる。和信号と有効出力信号との商を形成する
と、有効信号の感度が検出回路の良さQに無関係にな
り、その結果全体的に振幅周波数ダイヤグラムにおい
て、比較的エラーの少ない特性カーブが生じる。
す。図2の場合において説明されたように、両テスト信
号応答の加算により共振周波数についての情報を得るこ
とができる。和信号と有効出力信号との商を形成する
と、有効信号の感度が検出回路の良さQに無関係にな
り、その結果全体的に振幅周波数ダイヤグラムにおい
て、比較的エラーの少ない特性カーブが生じる。
【0030】要するに、本発明の解決手段により、従来
の見解、解釈―これによれば、振幅エラー及び位相エラ
ーに基づき2つの周波数の隣接配置が回避されていた−
と異なって共振周波数を利用できる。感度エラーは共振
周波数での作動により完全に補償され得、その結果、本
発明の手段により一層良好な応答性を有し、更に、有効
信号の一層簡単な評価を可能にするヨーレート−センサ
を実現可能である。付言すべきことには、本発明はアナ
ログ信号プロセッサでもデジタル信号プロセッサでも実
現可能である。
の見解、解釈―これによれば、振幅エラー及び位相エラ
ーに基づき2つの周波数の隣接配置が回避されていた−
と異なって共振周波数を利用できる。感度エラーは共振
周波数での作動により完全に補償され得、その結果、本
発明の手段により一層良好な応答性を有し、更に、有効
信号の一層簡単な評価を可能にするヨーレート−センサ
を実現可能である。付言すべきことには、本発明はアナ
ログ信号プロセッサでもデジタル信号プロセッサでも実
現可能である。
【0031】
【発明の効果】本発明によれば、高められた精度及び低
くされたエラーのもとで信号の評価を可能にする方法及
び装置を提供することができ、また、そのような点で改
善されたヨーレート−センサを実現することができると
いう効果が奏される。
くされたエラーのもとで信号の評価を可能にする方法及
び装置を提供することができ、また、そのような点で改
善されたヨーレート−センサを実現することができると
いう効果が奏される。
【図1】本発明のヨーレート−センサの第1実施例のブ
ロックダイヤグラムを表す図。
ロックダイヤグラムを表す図。
【図2】本発明のヨーレート−センサの第2実施例の一
部を示すブロックダイヤグラムを表す図。
部を示すブロックダイヤグラムを表す図。
【図3】感度補正付きの本発明の更なる有利な実施例の
ブロックダイヤグラムを表す図。
ブロックダイヤグラムを表す図。
【図4】本発明の装置ないし本発明のヨーレート−セン
サの有利な実施例の一部としての発振器の振幅特性カー
ブに影響を及ぼすための装置の概念図。
サの有利な実施例の一部としての発振器の振幅特性カー
ブに影響を及ぼすための装置の概念図。
【図5】本発明の装置ないし本発明のヨーレート−セン
サの説明のためのボード線図。
サの説明のためのボード線図。
【図6】本発明の方法の説明のためのさらなるボーデ線
図。
図。
10 発振器、振動質量 11 装置 12 装置 16 制御器 20 発振器 22 板コンデンサ 24 板コンデンサ 26 ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヨハネス アルツナー ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン ビス マルクシュトラーセ 116/5 (72)発明者 ラインハルト ノイル ドイツ連邦共和国 シユツツトガルト ピ ルゼナー シュトラーセ 21 (72)発明者 ゲオルク ビショピンク ドイツ連邦共和国 プリーツハウゼン ヴ ァッカーシュタインヴェーク 1 (72)発明者 カルステン フンク アメリカ合衆国 カリフォルニア マウン テン ヴュー エルドラ ドライヴ 71 (72)発明者 マルクス ルッツ アメリカ合衆国 パロ アルト ミランダ 4009
Claims (12)
- 【請求項1】 第1の発振器を第2の発振器に整合マッ
チングするための方法において、下記のステップを有
し、即ち、 第2発振器(20)の振動に対して対称的に周波数シフ
ト及び/又は位相シフトされた2つの信号を生成するこ
と;第1の発振器(10)を、生成された信号で励振す
ること;第1発振器(10)の応答特性を求めること;
応答特性から差信号を形成すること;差信号に依存して
第1発振器(10)の周波数及び/又は位相を整合する
ことの各ステップを有することを特徴とする第1の発振
器を第2の発振器に整合マッチングするための方法。 - 【請求項2】 第1及び第2発振器(10,20)は、
1つの振動体、振動子の相異なるモード、例えば直交の
モードのもの、及び/又は複数の無関係の振動体、振動
子であるようにしたことを特徴とする請求項1記載の方
法。 - 【請求項3】 応答特性を求めるため、第1発振器(1
0)の振動の振幅及び/又は位相を検出することを特徴
とする請求項1又は2記載の方法。 - 【請求項4】 振幅補正のため、有効出力信号と応答特
性の和との商を形成することを特徴とする請求項1から
3までのうちいずれか1項記載の方法。 - 【請求項5】 第1発振器の整合マッチングを行うステ
ップは、固有周波数のシフト、例えば、静電的スタチッ
ク正帰還を用いての固有周波数のシフトを含むことを特
徴とする請求項1から4までのうちいずれか1項記載の
方法。 - 【請求項6】 当該方法を繰り返し実施する更なるステ
ップを有することを特徴とする請求項1から5までのう
ちいずれか1項記載の方法。 - 【請求項7】 第1の発振器(10)を第2の発振器
(20)に整合マッチングするための装置において、 下記の構成要素を有し、即ち;第2発振器(20)の振
動に対して対称的に周波数シフト及び/又は位相シフト
された2つの信号を生成する装置(12)を有し、 生成された信号への第1発振器(10)の応答特性を求
め、そして、差信号を形成する装置(11)を有し、 差信号に依存して第1発振器(10)の周波数及び/又
は位相を整合調整する制御装置を有することを特徴とす
る第1の発振器を第2の発振器に整合マッチングするた
めの装置。 - 【請求項8】 第1及び第2発振器(10,20)は、
1つの振動体、振動子の相異なるモード、例えば直交の
モードのもの、及び/又は複数の無関係の振動体、振動
子であるように構成されていることを特徴とする請求項
7記載の装置。 - 【請求項9】 制御装置は、静電的スタチック正帰還結
合(Mitkopplung)装置を有することを特徴とする請求
項7又は8記載の装置。 - 【請求項10】 振幅補正のため出力信号と応答特性の
和との商形成を行うことを特徴とする請求項7から9ま
でのうちいずれか1項記載の装置。 - 【請求項11】 信号処理装置を有するヨーレート−セ
ンサであって、前記信号処理装置は、2つの発振器の検
出された振動から1つのヨーレートを求める当該のヨー
レート−センサにおいて、 請求項7から10までのうちいずれか1記載の装置が設
けられていることを特徴とするヨーレート−センサ。 - 【請求項12】 信号処理装置を有するヨーレート−セ
ンサであって、前記信号処理装置は、2つの発振器の検
出された振動から1つのヨーレートを求める当該のヨー
レート−センサにおいて、 当該の信号処理装置は、請求項1から6までのうちいず
れか1記載の方法を実施するように構成されていること
を特徴とするヨーレート−センサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19910415.8 | 1999-03-10 | ||
DE19910415A DE19910415B4 (de) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Verfahren und Vorrichtung zum Abstimmen eines ersten Oszillators mit einem zweiten Oszillator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000304550A true JP2000304550A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=7900292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000063778A Pending JP2000304550A (ja) | 1999-03-10 | 2000-03-08 | 第1の発振器を第2の発振器に整合マッチングするための方法及び装置並びにヨーレート−センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6654424B1 (ja) |
JP (1) | JP2000304550A (ja) |
DE (1) | DE19910415B4 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005345476A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Robert Bosch Gmbh | 周波数トラッキングによる回転レートセンサ |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19939998A1 (de) | 1999-08-24 | 2001-03-01 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Vorspannungserzeugung für einen schwingenden Drehratensensor |
DE10248734B4 (de) | 2002-10-18 | 2004-10-28 | Litef Gmbh | Verfahren zur elektronischen Abstimmung der Ausleseschwingungsfrequenz eines Corioliskreisels |
DE10248733B4 (de) * | 2002-10-18 | 2004-10-28 | Litef Gmbh | Verfahren zur elektronischen Abstimmung der Ausleseschwingungsfrequenz eines Corioliskreisels |
DE10248736B4 (de) * | 2002-10-18 | 2005-02-03 | Litef Gmbh | Verfahren zur Ermittlung eines Nullpunktfehlers eines Corioliskreisels |
DE10248735B4 (de) * | 2002-10-18 | 2004-10-28 | Litef Gmbh | Verfahren zur elektronischen Abstimmung der Ausleseschwingungsfrequenz eines Corioliskreisels |
US6993969B2 (en) * | 2003-03-27 | 2006-02-07 | Denso Corporation | Vibration type of micro gyro sensor |
DE10317159B4 (de) | 2003-04-14 | 2007-10-11 | Litef Gmbh | Verfahren zur Kompensation eines Nullpunktfehlers in einem Corioliskreisel |
DE10321962B4 (de) * | 2003-05-15 | 2005-08-18 | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Simulieren einer Drehrate und Verwendung von simulierten Drehraten zur initialen Kalibrierung von Drehratensensoren oder zur In-Betrieb-Nachkalibrierung von Drehratensensoren |
DE102005004775A1 (de) * | 2005-02-01 | 2006-08-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensor mit Selbsttest |
DE102007059857A1 (de) | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung mehrkanaliger Beschleunigungssensoren |
US8151641B2 (en) | 2009-05-21 | 2012-04-10 | Analog Devices, Inc. | Mode-matching apparatus and method for micromachined inertial sensors |
US8266961B2 (en) | 2009-08-04 | 2012-09-18 | Analog Devices, Inc. | Inertial sensors with reduced sensitivity to quadrature errors and micromachining inaccuracies |
US8783103B2 (en) * | 2009-08-21 | 2014-07-22 | Analog Devices, Inc. | Offset detection and compensation for micromachined inertial sensors |
US8701459B2 (en) * | 2009-10-20 | 2014-04-22 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for calibrating MEMS inertial sensors |
US9446354B2 (en) | 2010-08-25 | 2016-09-20 | Repligen Corporation | Device, system and process for modification or concentration of cell-depleted fluid |
WO2012037540A2 (en) | 2010-09-18 | 2012-03-22 | Fairchild Semiconductor Corporation | Micromachined monolithic 3-axis gyroscope with single drive |
WO2012037536A2 (en) | 2010-09-18 | 2012-03-22 | Fairchild Semiconductor Corporation | Packaging to reduce stress on microelectromechanical systems |
EP2616771B8 (en) | 2010-09-18 | 2018-12-19 | Fairchild Semiconductor Corporation | Micromachined monolithic 6-axis inertial sensor |
KR101443730B1 (ko) | 2010-09-18 | 2014-09-23 | 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 | 미세기계화 다이, 및 직교 오차가 작은 서스펜션을 제조하는 방법 |
CN103221795B (zh) | 2010-09-20 | 2015-03-11 | 快捷半导体公司 | 包括参考电容器的微机电压力传感器 |
US20130247668A1 (en) * | 2010-09-20 | 2013-09-26 | Fairchild Semiconductor Corporation | Inertial sensor mode tuning circuit |
EP2466257A1 (en) * | 2010-12-15 | 2012-06-20 | SensoNor Technologies AS | Method for matching the natural frequencies of the drive and sense oscillators in a vibrating coriolis gyroscope |
US8978475B2 (en) | 2012-02-01 | 2015-03-17 | Fairchild Semiconductor Corporation | MEMS proof mass with split z-axis portions |
US9488693B2 (en) | 2012-04-04 | 2016-11-08 | Fairchild Semiconductor Corporation | Self test of MEMS accelerometer with ASICS integrated capacitors |
EP2648334B1 (en) | 2012-04-05 | 2020-06-10 | Fairchild Semiconductor Corporation | Mems device front-end charge amplifier |
EP2647955B8 (en) | 2012-04-05 | 2018-12-19 | Fairchild Semiconductor Corporation | MEMS device quadrature phase shift cancellation |
EP2647952B1 (en) | 2012-04-05 | 2017-11-15 | Fairchild Semiconductor Corporation | Mems device automatic-gain control loop for mechanical amplitude drive |
US9625272B2 (en) | 2012-04-12 | 2017-04-18 | Fairchild Semiconductor Corporation | MEMS quadrature cancellation and signal demodulation |
US9212908B2 (en) | 2012-04-26 | 2015-12-15 | Analog Devices, Inc. | MEMS gyroscopes with reduced errors |
DE102013014881B4 (de) | 2012-09-12 | 2023-05-04 | Fairchild Semiconductor Corporation | Verbesserte Silizium-Durchkontaktierung mit einer Füllung aus mehreren Materialien |
US9869552B2 (en) * | 2015-03-20 | 2018-01-16 | Analog Devices, Inc. | Gyroscope that compensates for fluctuations in sensitivity |
DE102016204683B3 (de) * | 2016-03-22 | 2017-07-13 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Verfahren zur automatischen frequenzanpassung von filtern während des betriebs in geschlossenen regelschleifen |
DE102018219333B3 (de) | 2018-11-13 | 2020-03-26 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Verfahren zur automatischen frequenzanpassung eines filters in einer geschlossenen regelschleife |
DE102019215889A1 (de) * | 2019-10-16 | 2021-04-22 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Betreiben eines Inertialsensors |
DE102021201595A1 (de) | 2021-02-19 | 2022-08-25 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Bauelements und mikroelektromechanisches Bauelement |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4027265A (en) * | 1976-06-03 | 1977-05-31 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Unbalanced quadriphase demodulator |
US4868514A (en) * | 1987-11-17 | 1989-09-19 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for digital compensation of oscillator drift |
US4910467A (en) * | 1988-11-02 | 1990-03-20 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for decoding a quadrature modulated signal |
JPH06300567A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-10-28 | Murata Mfg Co Ltd | ジャイロ出力検出方法 |
US5426970A (en) * | 1993-08-02 | 1995-06-27 | New Sd, Inc. | Rotation rate sensor with built in test circuit |
US5491725A (en) * | 1993-09-07 | 1996-02-13 | Rockwell International Corporation | Tracking filter and quadrature-phase reference generator |
US5400269A (en) * | 1993-09-20 | 1995-03-21 | Rockwell International Corporation | Closed-loop baseband controller for a rebalance loop of a quartz angular rate sensor |
DE4447005A1 (de) * | 1994-12-29 | 1996-07-04 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate |
DE19521908B4 (de) * | 1995-06-16 | 2005-11-10 | Atmel Germany Gmbh | Überlagerungsempfänger mit Synchrondemodulation für den Zeitzeichenempfang |
US5992233A (en) * | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
DE19653020A1 (de) * | 1996-12-19 | 1998-06-25 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate |
US6157037A (en) * | 1998-12-04 | 2000-12-05 | Photosense, Llc | Sensing device and method for measuring emission time delay during irradiation of targeted samples |
-
1999
- 1999-03-10 DE DE19910415A patent/DE19910415B4/de not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-03-07 US US09/520,250 patent/US6654424B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-03-08 JP JP2000063778A patent/JP2000304550A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005345476A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Robert Bosch Gmbh | 周波数トラッキングによる回転レートセンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19910415A1 (de) | 2000-09-14 |
US6654424B1 (en) | 2003-11-25 |
DE19910415B4 (de) | 2010-12-09 |
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