JP2000303186A - Electroless plating method, electrode structural body and conductive paste used therefor - Google Patents

Electroless plating method, electrode structural body and conductive paste used therefor

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JP2000303186A
JP2000303186A JP11108942A JP10894299A JP2000303186A JP 2000303186 A JP2000303186 A JP 2000303186A JP 11108942 A JP11108942 A JP 11108942A JP 10894299 A JP10894299 A JP 10894299A JP 2000303186 A JP2000303186 A JP 2000303186A
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JP
Japan
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electroless plating
electrode
catalyst
plating
conductive paste
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JP11108942A
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Japanese (ja)
Inventor
Giichi Kodo
義一 児堂
Kenji Kawakami
健司 河上
Toshiro Adachi
登志郎 足立
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To securely and efficiently execute plating on desired electrodes by forming electrodes contg. a metallic component to be formed into a catalyst and applying electroless plating on the electrodes. SOLUTION: Ag powder as conductive component, Pd powder to be formed into a catalyst, an organic solvent and a resin are blended and kneaded to prepare conductive paste 1. This conductive paste 1 is applied to a prescribed position on a substrate 2 so as to form into a prescribed electrode pattern. The conductive paste 1 is heat-treated and baked to form plural thick film electrodes 3. If required, the surfaces of the thick film electrodes 3 are degreased or subjected to etching for improving their adhesion with plating films. Then, the substrate 2 is dipped into an electroless plating bath contg. Ni as plating metal to form Ni plating films 4 on he surfaces of the thick film electrodes 3. Moreover, this substrate 2 is dipped into an electroless plating bath contg. Au as plating metal, and Au plating films 5 are formed on the Ni plating films 4 formed on the surfaces of the thick film electrodes 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本願発明は、セラミック層と
内部電極が積層された構造を有する積層セラミック電子
部品に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component having a structure in which ceramic layers and internal electrodes are stacked.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
基板や電子部品素子などに電極を形成する方法として、
導電ペーストをスクリーン印刷などの方法により、基板
や電子部品素子の所定の位置に塗布(印刷)した後、焼
成することにより電極を形成する方法が広く用いられて
いる。
2. Description of the Related Art
As a method of forming electrodes on substrates and electronic component elements,
A method is widely used in which an electrode is formed by applying (printing) a conductive paste to a predetermined position on a substrate or an electronic component element by screen printing or the like, and then firing the applied paste.

【0003】ところで、上述のようにして形成される電
極のはんだ付け性やはんだ耐熱性などの特性を向上させ
るために、電極の表面に、Niめっきを施した後、Ni
めっき膜上にさらにAuめっきを施したり、あるいは、
Niめっき膜上にさらにSnめっきやはんだめっきなど
を施したりすることが行われている。
In order to improve the solderability and solder heat resistance of the electrode formed as described above, the surface of the electrode is plated with Ni, and then the Ni is plated.
Au plating is further applied on the plating film, or
Sn plating, solder plating, and the like are further performed on the Ni plating film.

【0004】また、めっきを施すにあたって、小領域の
電極にめっきを施すような場合、電極に通電して電解め
っきを行うことが困難であることから、化学的な置換・
還元反応を利用してめっきを行う無電解めっき方法が広
く用いられている。
[0004] Further, when plating is performed on an electrode in a small area, it is difficult to perform electroplating by energizing the electrode.
An electroless plating method of performing plating using a reduction reaction is widely used.

【0005】そして、従来の無電解めっき方法では、電
極が形成された基板や電子部品素子を、化学的な置換・
還元反応を促進するために、無電解めっき用の触媒を含
有する液(触媒付与液)に浸漬して、電極に触媒を付与
した後、基板や電子部品素子などを、無電解めっき液に
浸漬することにより、触媒とめっき液中の主金属イオン
との置換・還元反応を生ぜしめ、電極の表面に無電解め
っき膜を形成するようにしている。
[0005] In the conventional electroless plating method, a substrate or an electronic component element on which an electrode is formed is chemically replaced.
To promote the reduction reaction, immerse in a solution containing a catalyst for electroless plating (catalyst applying solution) to apply the catalyst to the electrodes, and then immerse the substrate and electronic component elements in the electroless plating solution. By doing so, a substitution / reduction reaction between the catalyst and the main metal ion in the plating solution is caused to form an electroless plating film on the surface of the electrode.

【0006】しかし、上記従来の方法では、電極が形成
された基板を触媒付与液に浸漬して電極に触媒を付与し
た後、無電解めっきを施すようにしているので、無電解
めっきを施すべき電極以外の部分にも触媒が付着してし
まうことになる。そこで、無電解めっきを行う前に、不
要部分に付着した触媒を除去する目的で、洗浄を行うよ
うにしている。そのため、無電解めっき工程全体に要す
る時間が長くなり、生産性の向上が妨げられるという問
題点がある。
However, in the above-mentioned conventional method, the substrate on which the electrodes are formed is immersed in a catalyst application liquid to apply a catalyst to the electrodes, and then electroless plating is performed. The catalyst will adhere to portions other than the electrodes. Therefore, before performing the electroless plating, cleaning is performed in order to remove a catalyst attached to an unnecessary portion. For this reason, there is a problem that the time required for the entire electroless plating process becomes longer, and improvement in productivity is hindered.

【0007】また、洗浄工程を設けて洗浄を行っても、
吸着された微量の触媒が残留し、その部分にめっき金属
が付着して、場合によっては、独立した電極どうしの短
絡を引き起こすという問題点がある。
Further, even if a cleaning step is provided to perform the cleaning,
There is a problem that a small amount of the adsorbed catalyst remains and the plating metal adheres to the portion, which may cause a short circuit between independent electrodes in some cases.

【0008】さらに、前記従来の無電解めっき方法で
は、基板や電子部品素子全体を触媒付与液に浸漬するよ
うにしているので、複数の電極のうちの所望の電極にの
み選択的に無電解めっきを施すことが困難であるという
問題点がある。
Further, in the conventional electroless plating method, the entire substrate or electronic component element is immersed in the catalyst-imparting liquid, so that the electroless plating is selectively performed only on a desired electrode among a plurality of electrodes. Is difficult to perform.

【0009】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、電極形成後に触媒付与工程及び洗浄工程を設ける
ことが不要で、所望の電極に確実に、しかも効率よく無
電解めっきを施すことが可能な無電解めっき方法、信頼
性の高い電極構造体、及び本願発明の無電解めっき方法
において用いるのに適した電極形成用の導電ペーストを
提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems, and does not require a step of applying a catalyst and a step of washing after the formation of an electrode, and can reliably and efficiently apply electroless plating to a desired electrode. An object of the present invention is to provide a possible electroless plating method, a highly reliable electrode structure, and a conductive paste for forming an electrode suitable for use in the electroless plating method of the present invention.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明(請求項1)の無電解めっき方法は、電極
の表面にめっき膜を形成するための無電解めっき方法に
おいて、無電解めっきを施す際に触媒となる金属成分を
含有する電極を形成し、該電極上に無電解めっきを施す
ことを特徴としている。
In order to achieve the above object, an electroless plating method according to the present invention (claim 1) is an electroless plating method for forming a plating film on the surface of an electrode. It is characterized in that an electrode containing a metal component serving as a catalyst when plating is formed, and electroless plating is performed on the electrode.

【0011】本願発明の無電解めっき方法においては、
無電解めっきを施す際に触媒となる金属成分を含有する
電極を形成した後、該電極上に無電解めっきを施すよう
にしているので、形成された電極がすでに触媒金属を含
んでおり、前述の従来の無電解めっき方法の場合のよう
に、無電解めっきを行う前に電極に触媒(触媒金属)を
付与する工程及び電極の周辺に付着した触媒を除去する
ための洗浄工程が不要になるため、生産効率を向上させ
ることが可能になる。また、不要部分にめっき金属が付
着することがないため、独立した電極どうしが短絡した
りすることを阻止して信頼性を向上させることが可能に
なる。
In the electroless plating method of the present invention,
After forming an electrode containing a metal component serving as a catalyst when performing electroless plating, since the electroless plating is performed on the electrode, the formed electrode already contains a catalyst metal, As in the case of the conventional electroless plating method, a step of applying a catalyst (catalyst metal) to the electrode before performing the electroless plating and a washing step for removing the catalyst attached to the periphery of the electrode are not required. Therefore, production efficiency can be improved. In addition, since the plating metal does not adhere to unnecessary portions, short-circuiting between independent electrodes can be prevented, and reliability can be improved.

【0012】なお、電極は、無電解めっきを施す際に触
媒となる金属成分(触媒金属)を含有する導電ペースト
を塗布して焼き付けることにより厚膜電極を形成する方
法や、触媒金属を含む原料を用いて乾式薄膜形成方法に
より薄膜電極を形成する方法などの種々の方法を用いて
形成することが可能であり、電極の形成方法に特別の制
約はない。
The electrode may be formed by applying a conductive paste containing a metal component (catalyst metal) serving as a catalyst when applying electroless plating and baking the same to form a thick-film electrode. It can be formed by various methods such as a method of forming a thin film electrode by a dry thin film forming method using the method, and there is no particular limitation on a method of forming the electrode.

【0013】また、無電解めっきを施したい電極のみを
触媒金属を含む電極とすることにより、所望の電極のみ
に選択的に無電解めっきを施すことが可能になる。
[0013] Further, by making only the electrode to be subjected to electroless plating an electrode containing a catalytic metal, it becomes possible to selectively perform electroless plating only on a desired electrode.

【0014】また、本願発明において用いることが可能
な触媒金属としては、パラジウム(Pd)、金(A
u)、白金(Pt)、これらの合金などが例示される。
なお、還元反応による自己触媒として機能する金属をめ
っきする場合には、無電解めっきによりめっきしようと
する金属と同じ金属を触媒金属として用いることができ
る。
The catalyst metals usable in the present invention include palladium (Pd) and gold (A
u), platinum (Pt), and alloys thereof.
When plating a metal that functions as a self-catalyst by a reduction reaction, the same metal as the metal to be plated by electroless plating can be used as the catalyst metal.

【0015】また、請求項2の無電解めっき方法は、前
記電極として、無電解めっきを施す際に触媒となる金属
成分を含有する導電ペーストを塗布して焼き付けること
により厚膜電極を形成することを特徴としている。
In the electroless plating method according to a second aspect of the present invention, a thick-film electrode is formed by applying and baking a conductive paste containing a metal component serving as a catalyst when performing electroless plating. It is characterized by.

【0016】電極として、触媒金属を含む導電性ペース
トを塗布して焼き付けることにより厚膜電極を形成し、
この厚膜電極上に無電解めっきを施すことにより、触媒
金属を含む電極を容易に形成することが可能になるとと
もに、その表面に効率よく無電解めっきを施すことが可
能になり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。
A thick-film electrode is formed by applying and baking a conductive paste containing a catalyst metal as an electrode,
By performing electroless plating on this thick film electrode, it becomes possible to easily form an electrode containing a catalytic metal, and it is possible to efficiently perform electroless plating on the surface thereof. It can be more effective.

【0017】また、無電解めっきを施したい電極のみを
触媒金属を含む導電ペーストを用いて形成することによ
り、所望の電極のみに選択的に無電解めっきを施すこと
が可能になる。
Further, by forming only the electrode to be subjected to electroless plating using a conductive paste containing a catalytic metal, it is possible to selectively perform electroless plating only on a desired electrode.

【0018】また、本願発明(請求項3)の電極構造体
は、無電解めっき用の触媒となる金属成分を含有する電
極と、前記電極の表面に形成された無電解めっき膜とを
具備することを特徴としている。
The electrode structure of the present invention (claim 3) includes an electrode containing a metal component serving as a catalyst for electroless plating, and an electroless plating film formed on the surface of the electrode. It is characterized by:

【0019】本願発明の電極構造体は、無電解めっきを
施す際に触媒となる金属成分を含有する電極と、その表
面に形成された無電解めっき膜を備えており、はんだ付
け性や耐食性、耐候性などに優れており、高い信頼性を
有している。また、かかる構成を有する電極構造体は、
請求項1に記載の本願発明の無電解めっき方法により確
実にしかも効率よく製造することができる。
The electrode structure of the present invention comprises an electrode containing a metal component which serves as a catalyst when performing electroless plating, and an electroless plating film formed on the surface thereof. It has excellent weather resistance and high reliability. Further, the electrode structure having such a configuration,
According to the electroless plating method of the present invention described in the first aspect, it is possible to surely and efficiently manufacture.

【0020】また、請求項4の電極構造体は、前記電極
が、無電解めっきを施す際に触媒となる金属成分を含有
する導電ペーストを塗布して焼き付けることにより形成
された厚膜電極であることを特徴としている。
The electrode structure according to a fourth aspect of the present invention is a thick-film electrode formed by applying and baking a conductive paste containing a metal component that becomes a catalyst when performing electroless plating. It is characterized by:

【0021】導電ペーストを塗布して電極(厚膜電極)
を形成する場合、あらかじめ導電ペーストに触媒金属を
配合しておくだけで、特別な工程や特殊な条件を必要と
することなく、触媒金属を含有する電極を容易に形成す
ることが可能になり、本願発明をより実効あらしめるこ
とができる。
Applying a conductive paste to form electrodes (thick film electrodes)
In the case of forming an electrode, it is possible to easily form an electrode containing a catalyst metal without needing a special process or special conditions only by blending the catalyst metal into the conductive paste in advance. The present invention can be made more effective.

【0022】また、本願発明(請求項5)の導電ペース
トは、無電解めっきを施す対象となる厚膜電極を形成す
るための導電ペーストであって、無電解めっき用の触媒
となる金属成分を含有していることを特徴としている。
The conductive paste of the present invention (claim 5) is a conductive paste for forming a thick-film electrode to be subjected to electroless plating, and contains a metal component serving as a catalyst for electroless plating. It is characterized by containing.

【0023】導電ペーストに無電解めっき用の触媒とな
る金属成分が含有されているので、これを塗布して焼き
付けるだけで、触媒を付与するための特別な工程を特に
必要とすることなく、触媒金属を含有する厚膜電極を容
易かつ確実に形成することが可能になる。したがって、
この導電ペーストを用いることにより、本願発明の無電
解めっき方法を効率よく実施することが可能になる。
Since the conductive paste contains a metal component serving as a catalyst for electroless plating, it is coated and baked, and no special process for applying the catalyst is required. It is possible to easily and reliably form a thick film electrode containing a metal. Therefore,
By using this conductive paste, the electroless plating method of the present invention can be efficiently performed.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be shown and the features thereof will be described in more detail.

【0025】なお、この実施形態では、基板上に複数の
電極を形成するとともに、その表面に無電解めっきを施
して、電極と、その表面に形成された無電解めっき膜と
を備えてなる電極構造体を形成する場合を例にとって説
明する。 まず、導電成分である銀(Ag)粉末、無電解めっき
を行う場合の触媒となる金属粉末(この実施形態ではP
d粉末)、有機溶剤、及び樹脂を配合し、混練して導電
ペーストを調製する。 そして、図1(a)に示すように、この導電ペースト1
を基板2上の所定の位置に、所定の電極パターンとなる
ように塗布する。 そして、導電ペースト1を熱処理して焼き付けること
により、図1(b)に示すように、複数の電極(厚膜電
極)3を形成する。 それから、必要に応じて、厚膜電極3の表面の汚れや
油分の除去のための脱脂を行うとともに、厚膜電極3と
めっき膜との密着性を向上させるために、厚膜電極3の
表面をエッチングする。 そして、厚膜電極3が形成された基板2を、めっき金
属としてニッケル(Ni)を含む無電解めっき用のめっ
き浴に浸漬して無電解めっきを行い、図1(c)に示すよ
うに、厚膜電極3の表面にNiめっき膜4を形成する。 さらに、この基板2を、めっき金属としてAuを含む
無電解めっき用のめっき浴に浸漬して無電解めっきを行
い、図1(d)に示すように、厚膜電極3の表面に形成さ
れたNiめっき膜4の上にさらにAuめっき膜5を形成
する。
In this embodiment, a plurality of electrodes are formed on a substrate, and the surface thereof is subjected to electroless plating, and the electrode includes an electrode and an electroless plating film formed on the surface. The case where a structure is formed will be described as an example. First, silver (Ag) powder, which is a conductive component, and metal powder, which serves as a catalyst when performing electroless plating (in this embodiment, P
d powder), an organic solvent, and a resin are blended and kneaded to prepare a conductive paste. Then, as shown in FIG.
Is applied to a predetermined position on the substrate 2 so as to form a predetermined electrode pattern. Then, a plurality of electrodes (thick film electrodes) 3 are formed as shown in FIG. Then, if necessary, the surface of the thick film electrode 3 is degreased to remove dirt and oil, and the surface of the thick film electrode 3 is improved to improve the adhesion between the thick film electrode 3 and the plating film. Is etched. Then, the substrate 2 on which the thick film electrode 3 is formed is immersed in a plating bath for electroless plating containing nickel (Ni) as a plating metal to perform electroless plating, and as shown in FIG. A Ni plating film 4 is formed on the surface of the thick film electrode 3. Further, the substrate 2 was immersed in a plating bath for electroless plating containing Au as a plating metal to perform electroless plating, and formed on the surface of the thick film electrode 3 as shown in FIG. An Au plating film 5 is further formed on the Ni plating film 4.

【0026】上記実施形態の無電解めっき方法によれ
ば、無電解めっきを施す際に触媒となる金属成分(P
d)を含む導電ペーストを用いて厚膜電極を形成した
後、この厚膜電極上にNiの無電解めっきを施すように
しているので、形成された厚膜電極がすでに触媒金属を
含んでおり、前述の従来の無電解めっき方法の場合のよ
うに、無電解めっきを行う前に厚膜電極に触媒を付与す
る工程が不要になるばかりでなく、厚膜電極の周辺に触
媒金属が付着することがないため、無電解めっきを行う
前に、付着した触媒金属を除去するための洗浄工程が不
要になり、生産効率を向上させることが可能になる。ま
た、不要部分にめっき金属が付着することを確実に防止
することが可能になり、独立した厚膜電極どうしが短絡
したりすることを阻止して信頼性を向上させることがで
きる。
According to the electroless plating method of the above embodiment, the metal component (P
After the thick-film electrode is formed using the conductive paste containing d), the electroless plating of Ni is performed on the thick-film electrode, so that the formed thick-film electrode already contains the catalytic metal. As in the case of the above-mentioned conventional electroless plating method, a step of applying a catalyst to a thick film electrode before performing electroless plating is not only unnecessary, but also a catalyst metal adheres around the thick film electrode. This eliminates the need for a washing step for removing the attached catalyst metal before the electroless plating is performed, thereby improving production efficiency. In addition, it is possible to reliably prevent the plating metal from adhering to unnecessary portions, to prevent short-circuiting between independent thick film electrodes, and to improve reliability.

【0027】また、上述のように、Ag厚膜電極上にN
iめっき膜及びAuめっき膜を設けることにより形成さ
れる電極構造体は、はんだ付け性や耐食性、耐候性など
に優れており、高い信頼性を有している。
Further, as described above, N on the Ag thick film electrode
The electrode structure formed by providing the i-plated film and the Au-plated film is excellent in solderability, corrosion resistance, weather resistance, and the like, and has high reliability.

【0028】なお、この実施形態では、上記の工程に
おいて、厚膜電極3の表面に形成されたNiめっき膜4
の上にさらにAuめっき膜5を無電解めっきするように
しているが、Niめっき膜4上にAuを無電解めっきす
る場合、Niめっき膜4に触媒金属を付与しなくても、
Auの無電解めっきを施すことができるため、特に触媒
金属を付与するような処理は不要である。ただし、Ni
めっき膜4上に他の金属を無電解めっきする場合におい
て、必要がある場合には、触媒金属を付与した後に無電
解めっきを施すようにすることも可能である。
In this embodiment, in the above process, the Ni plating film 4 formed on the surface of the thick film electrode 3 is formed.
Is further electrolessly plated on the Ni plating film 4. When Au is electrolessly plated on the Ni plating film 4, even if the Ni plating film 4 is not provided with a catalyst metal,
Since the electroless plating of Au can be performed, a treatment for imparting a catalytic metal is not particularly required. However, Ni
In the case where another metal is electrolessly plated on the plating film 4, if necessary, the electroless plating may be performed after the catalyst metal is applied.

【0029】また、上記実施形態では、Ag厚膜電極上
にNi無電解めっき膜及びAu無電解めっき膜を形成す
る場合を例にとって説明したが、本願発明は、厚膜電極
の種類や、その表面に形成すべき無電解めっき膜の種類
には特別の制約はなく、種々の電極材料からなる厚膜電
極上に、種々の金属からなる無電解めっき膜を形成する
場合に広く適用することが可能である。
Further, in the above embodiment, the case where the Ni electroless plating film and the Au electroless plating film are formed on the Ag thick film electrode has been described as an example. There is no special restriction on the type of electroless plating film to be formed on the surface, and it can be widely applied to the case where electroless plating films made of various metals are formed on thick film electrodes made of various electrode materials. It is possible.

【0030】また、上記実施形態では、基板上に形成さ
れた電極の表面に無電解めっき膜を形成する場合を例に
とって説明したが、本願発明は、例えばセラミックコン
デンサや圧電部品などを構成する電子部品素子に形成さ
れた電極上に無電解めっきを施す場合にも適用すること
が可能である。
Further, in the above embodiment, the case where the electroless plating film is formed on the surface of the electrode formed on the substrate has been described as an example. The present invention is also applicable to a case where electroless plating is performed on an electrode formed on a component element.

【0031】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の
範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能
である。
The present invention is not limited to the above embodiment in other respects, and various applications and modifications can be made within the scope of the invention.

【0032】[0032]

【発明の効果】上述のように、本願発明(請求項1)の
無電解めっき方法は、無電解めっきを施す際に触媒とな
る金属成分を含有する電極を形成した後、該電極上に無
電解めっきを施すようにしているので、形成された電極
がすでに触媒金属を含んでおり、前述の従来の無電解め
っき方法の場合のように、無電解めっきを行う前に電極
に触媒(触媒金属)を付与する工程及び電極の周辺に付
着した触媒を除去するための洗浄工程が不要になるた
め、生産効率を向上させることが可能になる。また、不
要部分にめっき金属が付着することがないため、独立し
た電極どうしが短絡したりすることを阻止して信頼性を
向上させることが可能になる。
As described above, according to the electroless plating method of the present invention (claim 1), after forming an electrode containing a metal component serving as a catalyst when performing electroless plating, the electroless plating method is performed on the electrode. Since the electroplating is performed, the formed electrode already contains the catalyst metal, and the catalyst (catalyst metal) is applied to the electrode before performing the electroless plating as in the case of the conventional electroless plating method described above. ) Is unnecessary, and the washing step for removing the catalyst attached to the periphery of the electrode is not required, so that the production efficiency can be improved. In addition, since the plating metal does not adhere to unnecessary portions, short-circuiting between independent electrodes can be prevented, and reliability can be improved.

【0033】また、無電解めっきを施したい電極のみ
を、触媒金属を含む電極とすることにより、所望の電極
のみに選択的に無電解めっきを施すことが可能になる。
Further, by making only the electrode to be subjected to electroless plating an electrode containing a catalyst metal, it becomes possible to selectively apply electroless plating only to a desired electrode.

【0034】また、請求項2の無電解めっき方法のよう
に、電極として、触媒金属を含む導電性ペーストを塗布
して焼き付けることにより厚膜電極を形成し、この厚膜
電極上に無電解めっきを施すことにより、触媒金属を含
む電極を容易に形成することが可能になるとともに、そ
の表面に効率よく無電解めっきを施すことが可能にな
り、本願発明をより実効あらしめることができる。
Further, as in the electroless plating method of the present invention, a thick-film electrode is formed as an electrode by applying and baking a conductive paste containing a catalyst metal, and the electroless plating is performed on the thick-film electrode. Thus, the electrode containing the catalyst metal can be easily formed, and the surface thereof can be efficiently subjected to the electroless plating, so that the present invention can be made more effective.

【0035】また、無電解めっきを施したい電極のみ
を、触媒金属を含む導電ペーストを用いて形成すること
により、所望の電極のみに選択的に無電解めっきを施す
ことができるようになる。
Further, by forming only the electrodes to be subjected to electroless plating using a conductive paste containing a catalyst metal, it becomes possible to selectively perform electroless plating only on desired electrodes.

【0036】また、本願発明(請求項3)の電極構造体
は、無電解めっきを施す際に触媒となる金属成分を含有
する電極と、その表面に形成された無電解めっき膜を備
えており、はんだ付け性や耐食性、耐候性などに優れて
おり、高い信頼性を有している。また、かかる構成を有
する電極構造体は、請求項1に記載の本願発明の無電解
めっき方法により確実にしかも効率よく製造することが
できる。
Further, the electrode structure of the present invention (claim 3) includes an electrode containing a metal component serving as a catalyst when performing electroless plating, and an electroless plating film formed on the surface thereof. It is excellent in solderability, corrosion resistance, weather resistance, etc., and has high reliability. Further, the electrode structure having such a configuration can be reliably and efficiently manufactured by the electroless plating method according to the present invention.

【0037】また、請求項4の電極構造体のように、導
電ペーストを用いて電極(厚膜電極)を形成するように
した場合、あらかじめ導電ペーストに触媒金属を配合し
ておくだけで、特別な工程や特殊な条件を必要とするこ
となく、触媒金属を含有する電極を容易に形成すること
が可能になり、本願発明をより実効あらしめることがで
きる。
In the case where an electrode (thick film electrode) is formed using a conductive paste as in the electrode structure of the fourth aspect, a special effect is obtained only by blending a catalyst metal in the conductive paste in advance. The electrode containing the catalyst metal can be easily formed without requiring any special steps or special conditions, and the present invention can be made more effective.

【0038】また、本願発明(請求項5)の導電ペース
トは、導電ペーストに無電解めっき用の触媒となる金属
成分が含有されているので、これを塗布して焼き付ける
だけで、触媒を付与するための特別な工程を特に必要と
することなく、触媒金属を含有する厚膜電極を容易かつ
確実に形成することが可能になる。したがって、この導
電ペーストを用いることにより、本願発明の無電解めっ
き方法を効率よく実施することが可能になる。
In the conductive paste of the present invention (claim 5), since the conductive paste contains a metal component serving as a catalyst for electroless plating, the catalyst is applied only by coating and baking. It is possible to easily and surely form a thick-film electrode containing a catalytic metal without specially requiring a special step for forming the thick-film electrode. Therefore, by using this conductive paste, the electroless plating method of the present invention can be efficiently performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)〜(d)は、本願発明の一実施形態(実施形
態1)にかかる無電解めっき方法の各工程を示す図であ
る。
FIGS. 1A to 1D are views showing each step of an electroless plating method according to an embodiment (Embodiment 1) of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 導電ペースト 2 基板 3 電極(厚膜電極) 4 Niめっき膜 5 Auめっき膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conductive paste 2 Substrate 3 Electrode (thick film electrode) 4 Ni plating film 5 Au plating film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 足立 登志郎 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 4K022 AA02 AA41 BA03 BA14 CA06 CA20 CA21 CA22 CA29 DA01 5E001 AF06 AH07 AJ03 5E082 AB03 BC36 FG26 GG10 GG26 GG28 JJ03 JJ21 JJ23 5E343 AA23 BB23 BB25 BB44 BB48 BB72 CC71 DD33 ER32 GG11 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Toshiro Adachi 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto F-term in Murata Manufacturing Co., Ltd. (reference) 4K022 AA02 AA41 BA03 BA14 CA06 CA20 CA21 CA22 CA29 DA01 5E001 AF06 AH07 AJ03 5E082 AB03 BC36 FG26 GG10 GG26 GG28 JJ03 JJ21 JJ23 5E343 AA23 BB23 BB25 BB44 BB48 BB72 CC71 DD33 ER32 GG11

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】電極の表面にめっき膜を形成するための無
電解めっき方法において、 無電解めっきを施す際に触媒となる金属成分を含有する
電極を形成し、該電極上に無電解めっきを施すことを特
徴とする無電解めっき方法。
1. An electroless plating method for forming a plating film on a surface of an electrode, comprising: forming an electrode containing a metal component serving as a catalyst when performing electroless plating; An electroless plating method characterized by applying.
【請求項2】前記電極として、無電解めっきを施す際に
触媒となる金属成分を含有する導電ペーストを塗布して
焼き付けることにより厚膜電極を形成することを特徴と
する請求項1記載の無電解めっき方法。
2. A thick-film electrode according to claim 1, wherein said electrode is formed by applying and baking a conductive paste containing a metal component to be a catalyst when performing electroless plating. Electroplating method.
【請求項3】無電解めっき用の触媒となる金属成分を含
有する電極と、 前記電極の表面に形成された無電解めっき膜とを具備す
ることを特徴とする電極構造体。
3. An electrode structure comprising: an electrode containing a metal component serving as a catalyst for electroless plating; and an electroless plating film formed on a surface of the electrode.
【請求項4】前記電極が、無電解めっきを施す際に触媒
となる金属成分を含有する導電ペーストを塗布して焼き
付けることにより形成された厚膜電極であることを特徴
とする請求項3記載の電極構造体。
4. The electrode according to claim 3, wherein said electrode is a thick-film electrode formed by applying and baking a conductive paste containing a metal component which becomes a catalyst when performing electroless plating. Electrode structure.
【請求項5】無電解めっきを施す対象となる厚膜電極を
形成するための導電ペーストであって、無電解めっき用
の触媒となる金属成分を含有していることを特徴とする
導電ペースト。
5. A conductive paste for forming a thick film electrode to be subjected to electroless plating, wherein the conductive paste contains a metal component serving as a catalyst for electroless plating.
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