JP2000297983A - Steam drying device - Google Patents

Steam drying device

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JP2000297983A
JP2000297983A JP11104406A JP10440699A JP2000297983A JP 2000297983 A JP2000297983 A JP 2000297983A JP 11104406 A JP11104406 A JP 11104406A JP 10440699 A JP10440699 A JP 10440699A JP 2000297983 A JP2000297983 A JP 2000297983A
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drying tank
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Kiyoshi Kurosawa
清 黒澤
Tatsuro Owada
達郎 大和田
Kazumasa Sugimoto
和正 杉本
Etsuro Kitagawa
悦郎 北川
Koji Yokotagawa
晃次 横田川
Kazuhiro Takishita
和弘 滝下
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a steam drying device, capable of drying a matter to be dried in a short period of time without any mottle and capable of contracting the size of the device while economical and capable of contriving the improvement of safety of the device as well as the reduction of the cost of the device. SOLUTION: After evaporating vapor solvent by heating and evacuating, the inside of a drying tank is evacuated to increase the degree of vacuum further in order to remove the vapor solvent, adhered to the matter to be dried 18. The vapor solvent supplying tank 13 is equipped with a condensing coil 13a to serve both for the recovery tank of the vapor solvent. The noncombustible vapor solvent, having no flash point, is employed as the vapor solvent.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、溶剤蒸気を用いて
金属、プラスチック、ガラス部品等の被乾燥物を乾燥さ
せる蒸気乾燥装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a steam drying apparatus for drying an object to be dried, such as metal, plastic, and glass parts, using a solvent vapor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、金属、プラスチック、ガラス部品
等の被乾燥物を乾燥させる装置としては、被乾燥物を高
速回転させて遠心力で表面の水分を吹き飛ばして被乾燥
物を乾燥させる装置、あるいは熱風を被乾燥物に吹き付
けて被乾燥物を乾燥させる装置などが知られているが、
他に、溶剤蒸気で被乾燥物を加熱して被乾燥物を乾燥さ
せる蒸気乾燥装置があり、これによれば非常に清浄な乾
燥面が得られる。この蒸気乾燥装置においては、溶剤の
気化温度を下げて、気化用熱源の小型化および被乾燥物
の高温化防止を図るために、乾燥時、乾燥槽内を減圧状
態に設定している。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an apparatus for drying an object to be dried such as metal, plastic, glass parts, etc., an apparatus for rotating an object to be dried at a high speed and blowing off moisture on the surface by centrifugal force to dry the object to be dried. Alternatively, a device for drying the object to be dried by blowing hot air onto the object to be dried is known,
In addition, there is a steam drying apparatus for drying an object to be dried by heating the object to be dried with a solvent vapor, whereby a very clean dry surface can be obtained. In this steam drying apparatus, the inside of the drying tank is set to a reduced pressure during drying in order to reduce the vaporization temperature of the solvent, reduce the size of the heat source for vaporization, and prevent the material to be dried from raising the temperature.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
上記蒸気乾燥装置では、溶剤蒸気で被乾燥物を加熱した
際に被乾燥物によって熱が奪われて溶剤蒸気が液化し被
乾燥物に付着し、これを完全に除去するために自然放置
などの手段をとっているので、乾燥時間が長くなる欠点
があった。また、蒸気溶剤を供給するタンクと、溶剤蒸
気を凝縮し蒸気溶剤を回収するタンクが別々であったた
め、装置の寸法が大きくなるという欠点があった。さら
に、可燃性の溶剤を使用する場合は、装置の安全対策の
ために防爆対策を施した部品あるいは材料を使用する必
要があり、加えて乾燥後の被乾燥物を取り出す際に、可
燃性の蒸気を外部に出さないようにするために、不活性
ガスを乾燥槽に導入して復圧させる構造をとる必要があ
り、装置の価格が高くなるという欠点があった。
However, in the conventional steam drying apparatus, when the object to be dried is heated by the solvent vapor, the heat is taken away by the object to be dried and the solvent vapor liquefies and adheres to the object to be dried. However, since a means such as natural leaving is used to completely remove this, there is a drawback that the drying time is prolonged. In addition, since the tank for supplying the vapor solvent and the tank for condensing the solvent vapor and recovering the vapor solvent were separate, there was a drawback that the size of the apparatus became large. Furthermore, when using flammable solvents, it is necessary to use explosion-proof parts or materials for the safety of the equipment.In addition, when removing the dried material after drying, In order to prevent the vapor from being emitted to the outside, it is necessary to adopt a structure in which an inert gas is introduced into the drying tank to recover the pressure, and there is a disadvantage that the cost of the apparatus is increased.

【0004】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
乾燥時間を短縮できる蒸気乾燥装置を提供することを第
1の目的とする。また、本発明は、装置の寸法を縮小で
きる蒸気乾燥装置を提供することを第2の目的とする。
さらに、本発明は、装置の安全性向上と装置価格を安く
できる蒸気乾燥装置を提供することを第3の目的とす
る。
[0004] The present invention has been made in view of the above points,
A first object is to provide a steam drying apparatus capable of shortening the drying time. A second object of the present invention is to provide a steam drying apparatus capable of reducing the size of the apparatus.
Further, a third object of the present invention is to provide a steam drying apparatus capable of improving the safety of the apparatus and reducing the price of the apparatus.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の蒸気乾燥装置
は、被乾燥物を乾燥槽内に搬入した後、蒸気溶剤供給タ
ンクより前記乾燥槽内に注入された蒸気溶剤を加熱し、
かつ真空ポンプにより乾燥槽内を減圧することにより前
記蒸気溶剤を蒸気化せしめ、一定減圧下において一定時
間経過後、前記真空ポンプにより更に1回あるいは複数
回、真空度が増すように前記乾燥槽内を減圧することを
特徴とする。この蒸気乾燥装置において、前記乾燥槽と
前記真空ポンプの配管途中に、溶剤蒸気を蒸気溶剤に戻
す凝縮コイルをタンク内に配置した前記蒸気溶剤供給タ
ンクを備えるようにする。また、引火点をもたない不燃
性の蒸気溶剤を使用するようにする。
According to the steam drying apparatus of the present invention, after the object to be dried is carried into the drying tank, the steam solvent injected into the drying tank from the steam solvent supply tank is heated.
The vapor solvent is vaporized by depressurizing the inside of the drying tank with a vacuum pump, and after a certain period of time under a certain reduced pressure, the inside of the drying tank is increased once or more times by the vacuum pump so that the degree of vacuum is increased. Is reduced in pressure. In this steam drying apparatus, the steam solvent supply tank in which a condensation coil for returning the solvent vapor to the vapor solvent is disposed in the tank between the drying tank and the vacuum pump is provided. Also, a nonflammable vapor solvent having no flash point is used.

【0006】上記本発明の蒸気乾燥装置によれば、初め
の減圧において被乾燥物は蒸気溶剤の蒸気により加熱さ
れ、被乾燥物に衝突した蒸気は被乾燥物により熱が奪わ
れて液化し被乾燥物に付着する。その後、更に減圧を行
い真空度を増すと、蒸気溶剤の気化温度が下がるので、
被乾燥物に付着した蒸気溶剤は再び蒸気化され、被乾燥
物は斑なく短時間で乾燥される。また、蒸気を蒸気溶剤
に戻す凝縮コイルをタンク内に有する蒸気溶剤供給タン
クとすることにより、蒸気溶剤供給タンクが蒸気溶剤の
回収タンクを兼ねるようになるので、装置の寸法を縮小
することができ、かつ凝縮回収した蒸気溶剤を繰り返し
使用することができる。さらに、引火点をもたない不燃
性の蒸気溶剤を使用することにより、万一蒸気が装置外
部に漏れたとしても、外部の火や熱により引火すること
がないので、装置の安全性を向上させることができると
ともに、部品あるいは材料に防爆対策を施したものを使
用する必要がないので装置の価格を安くすることができ
る。
According to the steam drying apparatus of the present invention, the object to be dried is heated by the vapor of the vapor solvent at the initial pressure reduction, and the vapor colliding with the object to be dried is deprived of heat by the object to be liquefied to be liquefied. Attaches to dry matter. After that, if the pressure is further reduced and the degree of vacuum is increased, the vaporization temperature of the vapor solvent decreases,
The vapor solvent adhering to the object to be dried is vaporized again, and the object to be dried is dried in a short time without unevenness. Further, by using a vapor solvent supply tank having a condensing coil for returning the vapor to the vapor solvent in the tank, the vapor solvent supply tank also serves as a vapor solvent recovery tank, so that the size of the apparatus can be reduced. The condensed and recovered vapor solvent can be used repeatedly. Furthermore, by using a nonflammable vapor solvent without a flash point, even if steam leaks to the outside of the device, it will not be ignited by external fire or heat, thus improving the safety of the device. In addition, since it is not necessary to use explosion-proof parts or materials, the price of the apparatus can be reduced.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明に
よる蒸気乾燥装置の実施の形態を詳細に説明する。図1
は本発明の蒸気乾燥装置の実施の形態を示す構成図であ
る。この蒸気乾燥装置は、乾燥槽11、パイプヒータ1
2、蒸気溶剤供給タンク13、エアー制御の第1の制御
弁14、真空ポンプ15、オイルミストトラップ16、
第2の制御弁17からなる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment of a steam drying apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG.
1 is a configuration diagram showing an embodiment of a steam drying device of the present invention. This steam drying device includes a drying tank 11, a pipe heater 1
2, a vapor solvent supply tank 13, an air control first control valve 14, a vacuum pump 15, an oil mist trap 16,
It comprises a second control valve 17.

【0008】乾燥槽11は、上面に蓋11aを有し、こ
の蓋部から被乾燥物18が搬入されかつ取り出される。
また、乾燥槽11は、下部に油間接加熱器11bを有
し、この油間接加熱器11bにより、槽内に供給された
蒸気溶剤を加熱する。油間接加熱器11bは、パイプヒ
ータ12により加熱される。
[0008] The drying tank 11 has a lid 11a on the upper surface, from which the material to be dried 18 is carried in and taken out.
Further, the drying tank 11 has an oil indirect heater 11b at a lower portion, and heats the vapor solvent supplied into the tank by the oil indirect heater 11b. The oil indirect heater 11b is heated by the pipe heater 12.

【0009】蒸気溶剤供給タンク13は、配管19によ
り乾燥槽11と接続され、収容している蒸気溶剤22を
前記乾燥槽11に供給する。配管19上には、乾燥槽1
1に供給される蒸気溶剤の量を一定に保つためにエアー
制御の第1の制御弁14が設けられる。また、蒸気溶剤
供給タンク13は、乾燥槽11内の上部と配管20で接
続されており、乾燥槽11内の溶剤蒸気が供給される。
蒸気溶剤供給タンク13内には、冷却水が循環する凝縮
コイル13aが設けられており、乾燥槽11から供給さ
れた溶剤蒸気は凝縮コイル13aによって冷却されて蒸
気溶剤に戻される。ここで、蒸気溶剤としては、引火点
をもたない不燃性の蒸気溶剤が使用されており、具体的
には、ハイドロフロロカーボンまたはハイドロフルオロ
エーテルである。
The vapor solvent supply tank 13 is connected to the drying tank 11 by a pipe 19 and supplies the contained vapor solvent 22 to the drying tank 11. On the pipe 19, the drying tank 1
A first control valve 14 for air control is provided to keep the amount of vapor solvent supplied to 1 constant. The vapor solvent supply tank 13 is connected to an upper part in the drying tank 11 by a pipe 20, and the solvent vapor in the drying tank 11 is supplied.
A condensation coil 13a for circulating cooling water is provided in the vapor solvent supply tank 13, and the solvent vapor supplied from the drying tank 11 is cooled by the condensation coil 13a and returned to the vapor solvent. Here, a nonflammable vapor solvent having no flash point is used as the vapor solvent, and specifically, hydrofluorocarbon or hydrofluoroether.

【0010】真空ポンプ15は、配管21によって蒸発
溶剤供給タンク13に接続されており、この蒸発溶剤供
給タンク13を通して乾燥槽11内を減圧する。配管2
1上には、真空ポンプ15による乾燥槽11内の減圧を
制御する第2の制御弁(リーク弁)17が設けられる。
また、蒸気溶剤供給タンク13の凝縮コイル13aで回
収されなくて配管21側に流れてきた溶剤蒸気を回収す
るために、真空ポンプ15に付属してオイルミストトラ
ップ16が設けられる。
The vacuum pump 15 is connected to the evaporation solvent supply tank 13 by a pipe 21, and depressurizes the inside of the drying tank 11 through the evaporation solvent supply tank 13. Piping 2
On 1, a second control valve (leak valve) 17 for controlling the pressure reduction in the drying tank 11 by the vacuum pump 15 is provided.
Further, an oil mist trap 16 is provided with the vacuum pump 15 in order to collect the solvent vapor that has not been collected by the condenser coil 13a of the vapor solvent supply tank 13 and has flowed to the pipe 21 side.

【0011】このように構成された上記蒸気乾燥装置に
おいては、図2のフローチャートに示すようにして被乾
燥物18の乾燥工程が実施される。すなわち、まず、蓋
11aを開けて乾燥槽11に被乾燥物18を搬入し(ス
テップS1)、乾燥槽11の蓋11aを閉める(ステッ
プS2)。次に、蒸気溶剤供給タンク13より第1の制
御弁14を通して一定量の引火点をもたない不燃性の蒸
気溶剤を乾燥槽11に注入する(ステップS3)。その
後、真空ポンプ15を運転させ(ステップS4)、乾燥
槽11内を蒸気溶剤供給タンク13を通して減圧する。
このとき、第2の制御弁(リーク弁)17を開くことに
より、乾燥槽11は一定減圧下(20〜100Tor
r)に減圧される。この減圧と同時にパイプヒータ12
で間接加熱器11bを加熱し、この間接加熱器11bで
乾燥槽11内の蒸気溶剤を加熱する。その結果、乾燥槽
11内の蒸気溶剤は、間接加熱器11bによる加熱と、
真空ポンプ15による減圧により気化し蒸気となる(ス
テップS5)。
In the above-described steam drying apparatus, the drying step of the object to be dried 18 is performed as shown in the flowchart of FIG. That is, first, the lid 11a is opened and the object 18 to be dried is carried into the drying tank 11 (step S1), and the lid 11a of the drying tank 11 is closed (step S2). Next, a certain amount of nonflammable vapor solvent having no flash point is injected into the drying tank 11 from the vapor solvent supply tank 13 through the first control valve 14 (step S3). Thereafter, the vacuum pump 15 is operated (step S4), and the pressure in the drying tank 11 is reduced through the vapor solvent supply tank 13.
At this time, by opening the second control valve (leak valve) 17, the drying tank 11 is kept under a constant reduced pressure (20 to 100 Torr).
The pressure is reduced to r). Simultaneously with this pressure reduction, the pipe heater 12
Heats the indirect heater 11b, and heats the vapor solvent in the drying tank 11 by the indirect heater 11b. As a result, the vapor solvent in the drying tank 11 is heated by the indirect heater 11b,
It is vaporized by the reduced pressure by the vacuum pump 15 and becomes steam (step S5).

【0012】気化し蒸気となった溶剤(溶剤蒸気)は、
真空ポンプ15により乾燥槽11の上部から蒸気溶剤供
給タンク13に引き寄せられる(ステップS6)。その
途中において、乾燥槽11内で、溶剤蒸気は被乾燥物1
8を加熱し、被乾燥物18上の水分を蒸発させる。ま
た、被乾燥物18に衝突した蒸気は該被乾燥物18によ
り熱を奪われ液化し被乾燥物18に付着する。また、前
記蒸気溶剤供給タンク13に引き寄せられた蒸気も凝縮
コイル13aにより冷やされ液化し、再び蒸気溶剤供給
タンク13に回収される。さらに、凝縮コイル13aで
液化されなかった蒸気は真空ポンプ15を通り、オイル
ミストトラップ16で液化回収される。
The vaporized solvent (solvent vapor) is
It is drawn from the upper part of the drying tank 11 to the vapor solvent supply tank 13 by the vacuum pump 15 (step S6). On the way, in the drying tank 11, the solvent vapor
8 is heated to evaporate the water on the object 18 to be dried. In addition, the steam that has collided with the object to be dried 18 is deprived of heat by the object to be dried 18 and liquefied and adheres to the object to be dried 18. Further, the vapor drawn into the vapor solvent supply tank 13 is cooled and liquefied by the condensing coil 13a, and is collected again in the vapor solvent supply tank 13. Further, the vapor not liquefied by the condensing coil 13a passes through the vacuum pump 15 and is liquefied and collected by the oil mist trap 16.

【0013】このような状態で一定時間(例えば3分)
動作した後、被乾燥物18に付着した蒸気溶剤を除去す
るために第2の制御弁(リーク弁)17を閉じる(ステ
ップS7)。すると、真空ポンプ15により乾燥槽11
内が更に減圧され、3〜5Torrになる。すると、蒸
気溶剤の気化温度が下がるので、被乾燥物18に付着し
た蒸気溶剤は再び蒸気化して被乾燥物18から除去され
る(ステップS8)。その結果、被乾燥物18は斑なく
短時間で乾燥する。なお、再び蒸気となった蒸気溶剤も
蒸気溶剤供給タンク13およびオイルミストトラップ1
6で液化回収される(ステップS9)。
In such a state, for a certain period of time (for example, 3 minutes)
After the operation, the second control valve (leak valve) 17 is closed to remove the vapor solvent adhering to the object to be dried 18 (step S7). Then, the drying tank 11 is moved by the vacuum pump 15.
The pressure inside is further reduced to 3 to 5 Torr. Then, since the vaporization temperature of the vapor solvent is lowered, the vapor solvent attached to the object to be dried 18 is vaporized again and removed from the object to be dried 18 (step S8). As a result, the article to be dried 18 dries in a short time without unevenness. In addition, the vapor solvent which has become the vapor again is also supplied to the vapor solvent supply tank 13 and the oil mist trap 1.
The liquefied liquid is collected in step 6 (step S9).

【0014】上述のように、上記蒸気乾燥装置によれ
ば、被乾燥物を斑なく短時間で乾燥できる。また、蒸気
を蒸気溶剤に戻す凝縮コイル13aをタンク内に有する
蒸気溶剤供給タンク13とすることにより、蒸気溶剤供
給タンク13が蒸気溶剤の回収タンクを兼ねるようにな
るので、装置の寸法を縮小することができ、かつ凝縮回
収した蒸気溶剤を繰り返し使用することができ経済的と
なる。さらに、引火点をもたない不燃性の蒸気溶剤を使
用することにより、万一蒸気が装置外部に漏れたとして
も、外部の火や熱により引火することがないので、装置
の安全性を向上させることができるとともに、部品ある
いは材料に防爆対策を施したものを使用する必要がない
ので装置の価格を安くすることができる。
As described above, according to the above-mentioned steam drying apparatus, an object to be dried can be dried without unevenness in a short time. Further, since the vapor solvent supply tank 13 having the condenser coil 13a for returning the vapor to the vapor solvent is provided in the tank, the vapor solvent supply tank 13 also serves as a recovery tank for the vapor solvent, so that the size of the apparatus is reduced. In addition, the vapor solvent condensed and recovered can be used repeatedly, which is economical. Furthermore, by using a nonflammable vapor solvent without a flash point, even if steam leaks to the outside of the device, it will not be ignited by external fire or heat, thus improving the safety of the device. In addition, since it is not necessary to use explosion-proof parts or materials, the price of the apparatus can be reduced.

【0015】なお、上記の実施の形態では、最初の減圧
後、より真空度が増すように1回減圧したが、この減圧
を次第に真空度を高めて複数回実施することもできる。
In the above embodiment, the pressure is reduced once after the initial pressure reduction so as to increase the degree of vacuum. However, the pressure reduction may be performed a plurality of times by gradually increasing the degree of vacuum.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明の蒸気
乾燥装置によれば、被乾燥物を斑なく短時間で乾燥させ
ることができるとともに、装置の寸法を縮小することが
でき、かつ凝縮回収した蒸気溶剤を繰り返し使用するこ
とができて経済的であり、さらには装置の安全性向上と
装置の価格の低減を図ることができる。
As described above in detail, according to the steam drying apparatus of the present invention, the object to be dried can be dried in a short time without unevenness, the size of the apparatus can be reduced, and the condensation can be performed. The recovered vapor solvent can be used repeatedly, which is economical. Further, the safety of the apparatus can be improved and the price of the apparatus can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による蒸気乾燥装置の実施の形態を示す
構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a steam drying device according to the present invention.

【図2】本発明の実施の形態の動作を示すフローチャー
ト。
FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 乾燥槽 11a 蓋 11b 間接加熱器 12 パイプヒータ 13 蒸気溶剤供給タンク 13a 凝縮コイル 14 第1の制御弁 15 真空ポンプ 16 オイルミストトラップ 17 第2の制御弁 18 被乾燥物 19〜21 配管 22 蒸気溶剤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Drying tank 11a Lid 11b Indirect heater 12 Pipe heater 13 Vapor solvent supply tank 13a Condensing coil 14 First control valve 15 Vacuum pump 16 Oil mist trap 17 Second control valve 18 Dry matter 19-21 Pipe 22 Vapor solvent

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉本 和正 東京都調布市柴崎2丁目1番地3 島田理 化工業株式会社内 (72)発明者 北川 悦郎 東京都調布市柴崎2丁目1番地3 島田理 化工業株式会社内 (72)発明者 横田川 晃次 東京都調布市柴崎2丁目1番地3 島田理 化工業株式会社内 (72)発明者 滝下 和弘 東京都調布市柴崎2丁目1番地3 島田理 化工業株式会社内 Fターム(参考) 3L113 AA01 AB02 AC01 AC24 AC45 AC46 AC50 AC63 AC67 AC75 AC78 AC79 AC86 AC90 BA04 CA16 CB16 CB23 CB34 CB35 DA06 DA10 DA14 DA21 DA24 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Kazumasa Sugimoto, 2-3-1, Shibasaki, Chofu-shi, Tokyo Inside Shimada Chemical Industry Co., Ltd. (72) Etsuro Kitagawa 2-3-1, Shibasaki, Chofu-shi, Tokyo Tokyo Shimada (72) Koji Yokotagawa, Inventor Koji Yokotagawa, 2-3-1, Shibasaki, Chofu-shi, Tokyo Tokyo, Japan Shikada Chemical Co., Ltd. (72) Kazuhiro Takishita 2-1-1, Shibasaki, Chofu-shi, Tokyo Rika Shimada 3L113 AA01 AB02 AC01 AC24 AC45 AC46 AC50 AC63 AC67 AC75 AC78 AC79 AC86 AC90 BA04 CA16 CB16 CB23 CB34 CB35 DA06 DA10 DA14 DA21 DA24

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被乾燥物を乾燥槽内に搬入した後、蒸気
溶剤供給タンクより前記乾燥槽内に注入された蒸気溶剤
を加熱し、かつ真空ポンプにより乾燥槽内を減圧するこ
とにより前記蒸気溶剤を蒸気化せしめ、一定減圧下にお
いて一定時間経過後、前記真空ポンプにより更に1回あ
るいは複数回、真空度が増すように前記乾燥槽内を減圧
することを特徴とする蒸気乾燥装置。
1. After the object to be dried is carried into the drying tank, the vapor solvent injected into the drying tank from the vapor solvent supply tank is heated, and the inside of the drying tank is depressurized by a vacuum pump. A steam drying apparatus comprising: evaporating a solvent; and after elapse of a certain time under a certain reduced pressure, reducing the pressure in the drying tank by the vacuum pump once or more times so as to increase the degree of vacuum.
【請求項2】 最初の減圧は20〜100Torrに設
定され、その後さらに減圧することを特徴とする請求項
1に記載の蒸気乾燥装置。
2. The steam drying apparatus according to claim 1, wherein the initial pressure is set at 20 to 100 Torr, and then the pressure is further reduced.
【請求項3】 前記乾燥槽と前記真空ポンプの配管途中
に、溶剤蒸気を蒸気溶剤に戻す凝縮コイルをタンク内に
配置した前記蒸気溶剤供給タンクを備えたことを特徴と
する請求項1または2に記載の蒸気乾燥装置。
3. The vapor solvent supply tank provided with a condensation coil for returning solvent vapor to a vapor solvent in the tank between the drying tank and the vacuum pump. The steam drying apparatus according to item 1.
【請求項4】 引火点をもたない不燃性の蒸気溶剤を使
用することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに
記載の蒸気乾燥装置。
4. The steam drying apparatus according to claim 1, wherein a nonflammable steam solvent having no flash point is used.
【請求項5】 不燃性の蒸気溶剤は、ハイドロフロロカ
ーボンまたはハイドロフルオロエーテルであることを特
徴とする請求項4に記載の蒸気乾燥装置。
5. The steam drying apparatus according to claim 4, wherein the nonflammable vapor solvent is hydrofluorocarbon or hydrofluoroether.
【請求項6】 供給された蒸気溶剤を加熱する間接加熱
器を備え、被乾燥物が搬入される乾燥槽と、 前記間接加熱器を加熱するヒータと、 前記乾燥槽に供給される引火点をもたない不燃性の蒸気
溶剤を収容する一方、前記乾燥槽から溶剤蒸気が供給さ
れ、この溶剤蒸気を蒸気溶剤に戻す凝縮コイルを内部に
有する蒸気溶剤供給タンクと、 この蒸気溶剤供給タンクから前記乾燥槽に供給される前
記蒸発溶剤を一定に制御する第1の制御弁と、 前記乾燥槽内を前記蒸発溶剤供給タンクを通して減圧す
る真空ポンプと、 この真空ポンプによる前記乾燥槽内の減圧を制御する第
2の制御弁と、 前記凝縮コイルで回収できなかった溶剤蒸気を回収する
トラップとを具備し、前記乾燥槽内は、被乾燥物の搬入
後、前記真空ポンプにより一定減圧状態に減圧され、こ
の一定減圧下において一定時間経過後、更に1回あるい
は複数回、真空度が増すように減圧されることを特徴と
する請求項1に記載の蒸気乾燥装置。
6. A drying tank provided with an indirect heater for heating the supplied vapor solvent, a drying tank into which an object to be dried is carried in, a heater for heating the indirect heater, and a flash point supplied to the drying tank. A vapor solvent supply tank having a condensing coil for supplying a solvent vapor from the drying tank and returning the solvent vapor to the vapor solvent, A first control valve for controlling the evaporation solvent supplied to the drying tank to a constant value, a vacuum pump for reducing the pressure in the drying tank through the evaporation solvent supply tank, and controlling the pressure reduction in the drying tank by the vacuum pump. A second control valve, and a trap for collecting the solvent vapor that could not be recovered by the condensation coil. After the drying object is loaded into the drying tank, the pressure in the drying tank is reduced to a constant pressure by the vacuum pump. 2. The steam drying apparatus according to claim 1, wherein the pressure is reduced so that the degree of vacuum is increased once or more times after a predetermined time has elapsed under the constant pressure reduction.
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