JP2000294706A - Method for cooling electronic system and electronic module - Google Patents

Method for cooling electronic system and electronic module

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a cooling device which can prevent cooling substance in a liquid state from returning to a compressor. SOLUTION: An auxiliary heat mechanism 20 functions to return a refrigerant in an evaporation type cooling plate 10 for an electronic module 40 to a compressor in a vapor state. Based on measured values of pressure and temperature of the refrigerant exiting from the cooling plate 10, a control unit controls ON and OFF operation of an electric-resistive auxiliary heating element 21 in order to compensate for a variation in heat dissipation caused in the module 40. Additional heat can be supplied by a single planar element or inline heating element. The auxiliary heating mechanism 20 prevents the refrigerant substance from returning to the compressor which adversely affects the life or operating efficiency of the compressor.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一般に冷媒によっ
て冷却される電子モジュールにおける、可変熱負荷状態
に関する問題を解決するシステム及び方法に関する。よ
り詳細には、本発明は、冷媒に追加の熱を供給すること
により、可変熱負荷レベルの冷却機能を有する電子シス
テム及び冷却方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a system and method for solving the problem of variable heat load conditions in electronic modules that are generally cooled by refrigerant. More particularly, the present invention relates to an electronic system and method of cooling with variable heat load levels by providing additional heat to the refrigerant.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハイエンドコンピュータ処理システムの
最近のモデルでは、コンピュータ・システムを構成する
チップ及びモジュール内部で起こる熱エネルギーの放散
に関連する諸問題を解決するために、冷却ユニットが組
み込まれている。このような冷却システムは、例えば、
米国特許5954127号等に記載されている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Recent models of high-end computer processing systems incorporate cooling units to solve the problems associated with dissipating thermal energy within the chips and modules that make up the computer system. Such a cooling system, for example,
It is described in U.S. Pat. No. 5,954,127.

【0003】通常の冷却システムは、比較的固定した熱
負荷を扱うように設計されている。しかし、冷却要件の
変動は、様々な方法である程度対処することができる。
具体的には、コンプレッサを駆動するモータの速度を変
化させることができる。加えて、熱負荷の変動に対応す
るために、温度自動膨張弁や熱ガス・バイパス弁を使用
することもできる。しかし、これらすべての方法の問題
点は、その制御機能に関連する時定数が、本発明の目的
とする、冷却されるモジュール内で比較的に速い電力変
動が生じ得る、コンピュータのプロセッサ・モジュール
の適切な冷却のためには長すぎることである。加えて、
このような様々な熱負荷を処理する機構に使われる制御
システムは、非常に複雑である。こうした条件の結果と
して、熱負荷調整機構と回路モジュール内で発生する熱
エネルギーの間の時定数の不一致により、回路温度が所
望の温度より高くなり、あるいは最低温度レベルより低
下することがある。さらに、プロセッサ・モジュール内
の電力放散レベルがある低レベルまで低下すると重大な
問題が生じる。その場合、冷却システムの容量を超える
と、コンプレッサが蒸気ではなく液状の媒体を吸い込む
ことがある。こうなるとコンプレッサの寿命は大幅に減
少する。
[0003] Conventional cooling systems are designed to handle relatively fixed heat loads. However, variations in cooling requirements can be addressed to some extent in a variety of ways.
Specifically, the speed of the motor that drives the compressor can be changed. In addition, an automatic temperature expansion valve or a hot gas bypass valve can be used to cope with fluctuations in heat load. However, the problem with all of these methods is that the time constant associated with their control function is such that, for the purposes of the present invention, relatively fast power fluctuations can occur in the module being cooled. Too long for proper cooling. in addition,
The control systems used for mechanisms that handle these various thermal loads are very complex. As a result of these conditions, a mismatch in the time constant between the thermal load adjustment mechanism and the thermal energy generated within the circuit module can cause the circuit temperature to rise above the desired temperature or fall below the minimum temperature level. In addition, significant problems arise when the power dissipation level in the processor module drops to a certain low level. In that case, beyond the capacity of the cooling system, the compressor may draw in liquid medium instead of steam. This greatly reduces the life of the compressor.

【0004】例えば、1キロワットの熱出力向けに設計
され、1キロワットの熱出力を放散するコンピュータ・
プロセッサ・モジュールを使用する場合、及び電力変動
により放散電力レベルが800ワットに下がる場合、こ
のモジュールを冷却するために設計された冷却システム
内に200ワット分の余剰容量がある。このため、冷却
ループ中の冷媒は蒸発器/冷却板中で完全に蒸発しきら
ないことがある。その結果、液状の冷媒がコンプレッサ
に戻り、コンプレッサの寿命が短縮する可能性がある。
というのは、このようなコンプレッサは気体で最も良く
動作するように設計されているからである。
For example, a computer designed for 1 kilowatt heat output and dissipating 1 kilowatt heat output
When using a processor module, and when power fluctuations reduce the dissipated power level to 800 watts, there is 200 watts of excess capacity in a cooling system designed to cool this module. Thus, the refrigerant in the cooling loop may not completely evaporate in the evaporator / cooling plate. As a result, the liquid refrigerant returns to the compressor, and the life of the compressor may be shortened.
This is because such compressors are designed to work best with gases.

【0005】冷却ユニットは固定した熱負荷を扱うよう
に設計されているため、それはここで考察しているシス
テムでは問題である。さらに、本発明の冷却システム
は、連続的に動作するように設計されている点で特に独
特である。これは、冷却システムで通常見られる動作方
式とは異なる。さらに、本発明の様々な実施形態におけ
る好ましい蒸発式冷却板は、分離した別々の複数の冷媒
通路を含む点で、さらに複雑になっている。これらの複
数の通路は、冗長通路及び冗長冷却ループを有する結
果、連続的な動作を保証するために設けられた別々の冷
却ループの一部をなす。
[0005] Since the cooling unit is designed to handle a fixed heat load, it is a problem in the system considered here. Further, the cooling system of the present invention is particularly unique in that it is designed to operate continuously. This is different from the mode of operation normally found in cooling systems. Further, the preferred evaporative cooling plates in various embodiments of the present invention are further complicated in that they include separate and separate refrigerant passages. These multiple passages have redundant passages and redundant cooling loops and as a result are part of separate cooling loops provided to ensure continuous operation.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
一目的は、放散電力が変動する電子モジュールを冷却す
るための冷却システムを提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is, therefore, one object of the present invention to provide a cooling system for cooling electronic modules with varying dissipated power.

【0007】本発明の他の目的は、冷却ループ内のコン
プレッサに液状の冷媒が戻るのを防止することである。
Another object of the present invention is to prevent liquid refrigerant from returning to the compressor in the cooling loop.

【0008】本発明の他の目的は、冷却される電子シス
テムの熱負荷変動の問題に対処するための複雑な制御シ
ステムを回避することである。
Another object of the present invention is to avoid complex control systems for addressing the problem of thermal load fluctuations in cooled electronic systems.

【0009】本発明の他の目的は、冷媒で冷却される電
子システムから放散される電力の変動を補償するため
に、システムに追加の熱を提供することである。
It is another object of the present invention to provide additional heat to the system to compensate for fluctuations in power dissipated from the refrigerant cooled electronic system.

【0010】本発明の他の目的は、熱負荷変動に対し
て、他の熱補償方法によるよりも有効な時定数で速く補
償を行うことである。
It is another object of the present invention to provide faster compensation for thermal load variations with a more effective time constant than with other thermal compensation methods.

【0011】本発明の他の目的は、冗長構成用の複式冷
却ループを使用して、蒸発式冷却板システムにおける熱
変動のバランスをとることである。
It is another object of the present invention to balance thermal fluctuations in an evaporative cold plate system using redundant cooling loops for redundant configurations.

【0012】本発明の他の目的は、回路チップ接合温度
が最高信頼性温度条件より高くなり、または所望の最低
温度より低下するのを防止することである。
Another object of the present invention is to prevent the circuit chip junction temperature from becoming higher than the maximum reliability temperature condition or lower than a desired minimum temperature.

【0013】本発明の他の目的は、指定の冷却システム
内のコンプレッサの寿命を延長することである。
Another object of the present invention is to extend the life of a compressor in a specified cooling system.

【0014】最後に、それだけに限定されるのではない
が、本発明の一目的は、冷媒で冷却される電子システム
で生じる熱変動を制御することである。
Finally, but not exclusively, it is an object of the present invention to control thermal fluctuations that occur in electronic systems that are cooled by refrigerant.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明の一実施形態によ
れば、可変熱負荷レベルの冷却能力を有する電子システ
ムは、電子回路モジュールと、そのモジュールに熱接触
する冷却板とを備える。冷却板は冷媒を搬送するための
少くとも1本の通路をその内部に備える。モジュールに
供給される電力レベルを感知する手段が設けられてい
る。加えて、本発明にとって最も重要なことであるが、
冷媒及び冷却システムが受ける冷却負荷を比較的一定に
維持するように、冷媒を加熱する手段とその加熱を制御
する手段とが設けられている。本発明の一実施形態で
は、加熱手段は、冷却板の上部に取り付けられた平坦な
電気抵抗ヒータを備える。本発明の他の実施形態によれ
ば、本明細書で提供される追加の冷媒加熱は、冷媒を蒸
発器/冷却板からそれぞれのコンプレッサに戻すための
一方または両方の管路の周りに露出しているヒータによ
って行われる。冷媒の追加加熱は、蒸発器/冷却板の上
流でも行うことができる。しかし、下流の位置の方が好
ましい。
In accordance with one embodiment of the present invention, an electronic system having a variable thermal load level cooling capability includes an electronic circuit module and a cooling plate in thermal contact with the module. The cooling plate has at least one passage therein for carrying the refrigerant. Means are provided for sensing the level of power supplied to the module. In addition, and most important to the invention,
Means for heating the refrigerant and means for controlling the heating are provided such that the cooling load experienced by the refrigerant and the cooling system is maintained relatively constant. In one embodiment of the invention, the heating means comprises a flat electric resistance heater mounted on top of the cooling plate. According to another embodiment of the present invention, the additional refrigerant heating provided herein exposes refrigerant around one or both lines for returning refrigerant from the evaporator / cold plate to the respective compressor. This is done by a heater. Additional heating of the refrigerant can also occur upstream of the evaporator / cooling plate. However, a downstream position is preferred.

【0016】本発明の他の実施形態では、液状の冷媒が
コンプレッサに戻るのを防止する方法が提供される。こ
れは、冷媒が冷却板を出る時の状態を決定し、次にその
状態が液状かそれに近い状態にある条件で、冷媒に熱を
加えることによって達成される。本発明の好ましい実施
形態によれば、冷媒の状態はその圧力と温度を測定する
ことによって決定される。本発明のさらに他の実施形態
では、冷媒の状態がある時間にわたって監視され、シス
テムが冷却している電子モジュール中で生じる予想され
る温度低下の条件に応じて追加の熱が加えられる。
In another embodiment of the present invention, a method is provided for preventing liquid refrigerant from returning to a compressor. This is accomplished by determining the state of the refrigerant as it exits the cold plate, and then applying heat to the refrigerant under conditions that are liquid or near liquid. According to a preferred embodiment of the present invention, the state of the refrigerant is determined by measuring its pressure and temperature. In yet another embodiment of the present invention, the state of the refrigerant is monitored over a period of time and additional heat is applied depending on the conditions of anticipated temperature drop that occurs in the electronic module the system is cooling.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】図1に、本発明の一実施形態を示
す。この実施形態では、電気ヒータ20が冷却板10の
上面に配置されている。冷却板10の底部は冷却される
モジュールに熱接触している(図4参照)。具体的に
は、蒸発式冷却板10は冷媒ループ1の入口ポート13
と、同じく冷媒ループ1の出口ポート11を備える。ル
ープ2中の冷媒は、入口ポート12からプレート10を
通って出口ポート14へ逆方向に流れることが好まし
い。こうしたループの実施形態の隠れた部分は、図3に
破線でより詳細に示されている。ここに掲げた例は特
に、冷却板が2つの独立した冷却流体通路を含む場合を
対象とするものであるが、本発明は2つの通路に限定さ
れるものではない。冷却板は単一または複数の通路を含
むことが可能である。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In this embodiment, the electric heater 20 is arranged on the upper surface of the cooling plate 10. The bottom of the cooling plate 10 is in thermal contact with the module to be cooled (see FIG. 4). Specifically, the evaporative cooling plate 10 is connected to the inlet port 13 of the refrigerant loop 1.
And an outlet port 11 of the refrigerant loop 1. The refrigerant in loop 2 preferably flows in the opposite direction from inlet port 12 through plate 10 to outlet port 14. The hidden parts of such a loop embodiment are shown in more detail in FIG. Although the examples provided herein are particularly directed to the case where the cooling plate includes two independent cooling fluid passages, the invention is not limited to two passages. The cold plate can include single or multiple passages.

【0018】図1に示す本発明の実施形態では、補助ヒ
ータ20は電気絶縁性基板材料24上に配置された抵抗
加熱素子21を備える。追加加熱用の電力は、接触パッ
ド22及び23によって供給される。ヒータ20と冷却
板10の相対的な高さを図2に示す。加熱素子21は、
好都合などんなパターンで配置することもできる。図の
パターンは特に、接触パッドの端部22及び23が隣接
した位置にあり、接続しやすいという利点がある。
In the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the auxiliary heater 20 includes a resistance heating element 21 disposed on an electrically insulating substrate material 24. Power for additional heating is provided by contact pads 22 and 23. FIG. 2 shows the relative height between the heater 20 and the cooling plate 10. The heating element 21
They can be arranged in any convenient pattern. The pattern shown has the advantage, in particular, that the ends 22 and 23 of the contact pads are in adjacent positions and are easy to connect.

【0019】図3は本発明の代替実施形態を示し、それ
ぞれコンプレッサ91及び92への帰還管路15及び1
6がそれぞれインライン・ヒータ30及び31を備え
る。これらのヒータは冷却されるモジュール内(図4の
40番参照)での電力放散が低下した時に始動する。図
3はまた、冷却板10中に複式通路セット18及び19
があることを破線で示す。この複式通路セットは、入口
ポート13から出口ポート11へ延びる通路19と、入
口ポート12から出口ポート14へ延びる通路18を含
む。
FIG. 3 shows an alternative embodiment of the invention, in which return lines 15 and 1 to compressors 91 and 92, respectively.
6 comprises in-line heaters 30 and 31, respectively. These heaters start when the power dissipation in the module to be cooled (see No. 40 in FIG. 4) is reduced. FIG. 3 also shows multiple passage sets 18 and 19 in cooling plate 10.
Is indicated by a broken line. The duplex set includes a passage 19 extending from the inlet port 13 to the outlet port 11 and a passage 18 extending from the inlet port 12 to the outlet port 14.

【0020】図4に、それぞれのコンプレッサに戻る帰
還経路中の冷媒の状態を監視するために使用される制御
変数を示す。図4はまた、本発明を使用する環境の側面
図を示している。詳細には、電子(回路チップ)モジュ
ール40上に位置するトランジスタ及びその他のデバイ
スの接合部の温度を維持するために冷却板10が使用さ
れ、モジュール40は、その中の回路が動作するための
接続配線(見えない)を含む下の基板50上に配設され
ていることに留意されたい。
FIG. 4 illustrates the control variables used to monitor the condition of the refrigerant in the return path back to each compressor. FIG. 4 also shows a side view of an environment using the present invention. In particular, the cooling plate 10 is used to maintain the temperature of the junction of the transistors and other devices located on the electronic (circuit chip) module 40, and the module 40 is used to operate the circuits therein. Note that it is arranged on the lower substrate 50 including the connection wiring (not visible).

【0021】さらに、それぞれのコンプレッサに戻る帰
還経路中の冷媒の圧力を測定するための、圧力センサ6
3及び64が配設されている。同様に、図の2本のルー
プを通る冷媒の温度を測定するための、温度センサ61
及び62も配設されている。これらの測定値は補助ヒー
タ20への電力を制御する制御ユニット60に供給され
る。図3のようにインライン・ヒータを使用する場合、
制御ユニット60は、例えば温度センサ65によって感
知されたモジュール40内の電力レベルの低下を補償す
るために追加の熱入力を与えるように、これらの加熱ユ
ニットに供給される電力を制御する。尚、温度センサ6
5によって、モジュール40内の電力レベルを測定せず
モジュールの素子に供給される。電力を電気的に測定す
ることも可能である。
Further, a pressure sensor 6 for measuring the pressure of the refrigerant in the return path returning to each compressor.
3 and 64 are provided. Similarly, a temperature sensor 61 for measuring the temperature of the refrigerant passing through the two loops in FIG.
And 62 are also provided. These measurements are supplied to a control unit 60 that controls the power to the auxiliary heater 20. When using an inline heater as shown in FIG.
The control unit 60 controls the power supplied to these heating units, for example, to provide additional heat input to compensate for the reduced power level in the module 40 sensed by the temperature sensor 65. The temperature sensor 6
5 provides power to the elements of the module without measuring the power level within the module 40. It is also possible to measure power electrically.

【0022】本発明の代替実施形態では、図3に示すよ
うに別々の2つのインライン・ヒータを使用するのでは
なく、図5の示すように単一のインライン・ヒータ32
を使用することも可能である。ただし、それぞれのコン
プレッサに戻る帰還管路15及び16が単一のインライ
ン・ヒータ・ユニット32を通る間、この2本の管路中
の冷媒の間で液体の交換がないことに留意されたい。信
頼性を保つために2本の冷媒ループは常に独立して維持
され、両者の間に液体の交換はない。また、図の実施形
態は2本の独立した冷媒ループしか含まないが、このよ
うなループは何本でも使用可能であることにも留意され
たい。ループの本数は冷却板内にある管路のサイズの実
質的な制限によってのみ制約される。
In an alternative embodiment of the present invention, rather than using two separate in-line heaters as shown in FIG. 3, a single in-line heater 32 as shown in FIG.
It is also possible to use Note, however, that while the return lines 15 and 16 returning to the respective compressors pass through a single in-line heater unit 32, there is no liquid exchange between the refrigerant in the two lines. For reliability, the two refrigerant loops are always maintained independently and there is no liquid exchange between the two. Also note that although the illustrated embodiment includes only two independent refrigerant loops, any number of such loops can be used. The number of loops is limited only by substantial limitations on the size of the lines in the cold plate.

【0023】図6に、本発明で適用できる制御方法の原
理を示す。詳細には、制御ユニット60は、圧力、温
度、及び測定値によって、それぞれのコンプレッサに戻
る冷媒の相を決定する。液相の冷媒が戻りつつあると判
定された場合、またはコンプレッサに戻っている冷媒の
相が図6に示すようなガード帯相の範囲内にあると判定
された場合、制御ユニット60は補助ヒータ20、30
または30'に電力を供給して追加の熱を加える。図6
に示されるガード帯は、プラス/マイナス約1.7℃
(華氏3度)の温度範囲に相当する。
FIG. 6 shows the principle of a control method applicable to the present invention. In particular, the control unit 60 determines the phase of the refrigerant returning to each compressor according to the pressure, temperature, and measurement. If it is determined that the liquid-phase refrigerant is returning, or if the phase of the refrigerant returning to the compressor is within the range of the guard band phase as shown in FIG. 20, 30
Or supply power to 30 'to add additional heat. FIG.
The guard zone shown at +/- about 1.7 ° C
(3 degrees Fahrenheit).

【0024】使用するそれぞれの補助ヒータの容量を確
定するには、2つのオプションがある。一実施形態で
は、補助ヒータは、冷却される電子モジュール内で発生
する全電力を提供するのに十分なサイズとする。この場
合、モジュールの電源が切断されても、冷却ユニットは
そのまま稼働することができ、補助ヒータが本質的に全
熱負荷を構成する。例えば、電子モジュールが1キロワ
ットの電力を発生するように設計されている場合、補助
ヒータもまた、1キロワットの電力を発生させるサイズ
となる。しかし、もう1つのより望ましいオプション
は、補助ヒータをモジュール内で生じる通常の電力変動
に対応するサイズにするというものである。このオプシ
ョンは、ヒータがより小さく、より扱いやすくなる。例
えば、この場合にモジュールがやはり1キロワットの電
力を発生するように設計され、通常のシステム使用にお
ける変動が200ワットであるとすると、補助ヒータは
丸々1キロワットではなく200ワットの変動に応じた
サイズで済む。ただし、補助ヒータが電子モジュール内
で発生する全熱負荷を補償するように設計されている場
合、このインライン・ヒータのオプションは望ましくな
いことに留意されたい。というのは、このようなインラ
イン・ヒータは通常こうした電力レベルでは使用できな
いからである。ただし、インライン補助ヒータに関して
は、それらは蒸発板の上流に配設することが可能である
ことにも留意されたい。
To determine the capacity of each auxiliary heater to be used, there are two options. In one embodiment, the auxiliary heater is sized to provide the full power generated within the electronic module to be cooled. In this case, even if the power supply of the module is cut off, the cooling unit can be operated as it is, and the auxiliary heater essentially constitutes the total heat load. For example, if the electronic module is designed to generate one kilowatt of power, the auxiliary heater will also be sized to generate one kilowatt of power. However, another more desirable option is to size the auxiliary heater to accommodate normal power fluctuations that occur within the module. This option makes the heater smaller and more manageable. For example, if in this case the module is also designed to generate 1 kilowatt of power and the variation in normal system use is 200 watts, then the auxiliary heater will be sized for 200 watt variation instead of a full 1 kilowatt. Only needs to be done. However, it should be noted that this inline heater option is not desirable if the auxiliary heater is designed to compensate for the total heat load generated within the electronic module. This is because such in-line heaters typically cannot be used at such power levels. However, it should also be noted that for inline auxiliary heaters, they can be located upstream of the evaporator plate.

【0025】しかし、本発明の好ましい実施形態では、
補助ヒータの設計は図1及び図2に示すとおりである。
この補助ヒータの形態では、この装置は蒸発式冷却板の
上面に取り付けた箔、フィルム、またはマット製のヒー
タである。この構成を図1及び図2に示す。ヒータは電
源に接続され、図4に示すようにセンサによって制御さ
れる。こうした補助ヒータ設計の利点の一つは、冷却板
に複式ループ冷媒通路がある場合でも、ヒータは1つし
か必要でないことである。また、これに関して、本発明
の使用は複式冷媒ループを備える冷却板だけに限定され
るものではないことにも留意されたい。
However, in a preferred embodiment of the present invention,
The design of the auxiliary heater is as shown in FIGS.
In this form of auxiliary heater, the device is a foil, film, or mat heater mounted on the top of the evaporative cooling plate. This configuration is shown in FIGS. The heater is connected to a power supply and is controlled by a sensor as shown in FIG. One advantage of such an auxiliary heater design is that only one heater is required, even if there are multiple loop refrigerant passages in the cold plate. In this regard, it should also be noted that the use of the present invention is not limited to cold plates with dual refrigerant loops.

【0026】補助ヒータの制御は、図6に示す状態図を
検討することにより最もよく理解される。補助ヒータの
制御は、蒸発式冷却板のすぐ下流の温度と圧力を監視す
ることにより最も容易かつ正確に行われる。しかし、他
のセンサや他の感知位置も使用できる。温度特性と圧力
特性が分かれば、コンプレッサに戻る帰還経路中の冷媒
の流れの中に、液体が存在する可能性があるか否かに関
する、ほぼ即時的なリアルタイムの判定が可能となる。
さらに、実際の制御方式には、追加電力の増減が必要か
どうかを判定するために、これらの特性の変化率を監視
することを含むことが好ましい。これにより、まもなく
生じる熱負荷と冷媒の相状態を予期して制御することが
できるシステムが得られる。
The control of the auxiliary heater is best understood by considering the state diagram shown in FIG. Control of the auxiliary heater is easiest and most accurate by monitoring the temperature and pressure immediately downstream of the evaporative cooling plate. However, other sensors and other sensing locations can be used. Knowing the temperature and pressure characteristics allows a near-immediate, real-time determination as to whether liquid may be present in the refrigerant flow in the return path back to the compressor.
Further, the actual control scheme preferably includes monitoring the rate of change of these characteristics to determine whether additional power needs to be increased or decreased. This results in a system that can anticipate and control the upcoming heat load and refrigerant phase state.

【0027】インライン・ヒータを使用した実施形態を
図3に示す。この図では、図1及び図2の単一の補助ヒ
ータ20が、各冷媒帰還管路ごとのインライン・ヒータ
30、31で置き換えられている。したがって、複式通
路蒸発式冷却板では2つのインライン・ヒータが必要と
なる。実際のヒータは、カートリッジ・ヒータや、1本
または複数の帰還管路を含むフォイル・ヒータなど、適
切などんな設計を備えることもできる。この第2の手段
は通常、十分な表面積がないため、モジュール設計の負
荷に匹敵する追加の熱負荷を供給できるとは考えられに
くい。しかし、この方法を使用してモジュール内の通常
の変動を緩和することができ、したがって冷却システム
の全熱負荷が比較的一定になり、コンプレッサが液状の
冷媒を吸い込むことがなくなる。図3の実施形態はま
た、蒸発式冷却板を出てコンプレッサに入る冷媒が必ず
完全に蒸気となるようにするためにも補充的な目的で使
用される。しかし、電子モジュールの電力レベルは変動
するため、この下流位置には実際の回路温度を調整する
効果はない。しかし、先に指摘したように、蒸発式冷却
板の上流に位置するインライン補助ヒータを使用すると
いうもう1つのオプションがある。この位置では、それ
らのヒータを使用してモジュールの電力が低下した時に
冷媒を予熱することができ、それによって、回路の温度
安定性を高めることができる。
An embodiment using an in-line heater is shown in FIG. In this figure, the single auxiliary heater 20 of FIGS. 1 and 2 has been replaced by in-line heaters 30, 31 for each refrigerant return line. Therefore, two in-line heaters are required for a dual passage evaporative cooling plate. The actual heater can have any suitable design, such as a cartridge heater or a foil heater that includes one or more return lines. This second means typically does not have sufficient surface area and is unlikely to be able to provide an additional thermal load comparable to that of the modular design. However, this method can be used to mitigate normal fluctuations within the module, so that the overall heat load of the cooling system is relatively constant and the compressor does not draw in liquid refrigerant. The embodiment of FIG. 3 is also used for supplementary purposes to ensure that the refrigerant leaving the evaporative cooling plate and entering the compressor is completely vapor. However, because the power level of the electronic module fluctuates, there is no effect of adjusting the actual circuit temperature at this downstream location. However, as noted above, there is another option of using an in-line auxiliary heater located upstream of the evaporative cold plate. In this position, the heaters can be used to preheat the refrigerant when the module power is reduced, thereby increasing the temperature stability of the circuit.

【0028】以上のことから、本明細書で述べた目的は
すべて上に説明された方法及びシステムによって満たさ
れたことを理解されたい。具体的には、電子モジュール
の電力変動を補償するために、冷媒で冷却される電子モ
ジュールと蒸発式冷却板に追加の熱を供給する方法及び
システムが提供されることがわかる。
From the foregoing, it should be understood that all of the objects set forth herein have been met by the methods and systems described above. In particular, it can be seen that a method and system for providing additional heat to a cooling electronic module and evaporative cooling plate to compensate for power fluctuations in the electronic module is provided.

【0029】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
In summary, the following is disclosed regarding the configuration of the present invention.

【0030】(1)可変熱負荷レベルの冷却機能を有す
る電子システムであって、電子回路モジュールと、前記
モジュールに熱接触し、冷媒を移送するための1本また
は複数の通路を備えた冷却板と、前記モジュールに供給
される電力を感知する手段と、前記冷媒を加熱する手段
と、前記冷媒に対してほぼ一定の冷却負荷を維持するよ
うに前記加熱手段を制御する手段とを含む電子システ
ム。 (2)前記冷却板が別々の冷媒ループ用の2つの通路を
備える、上記(1)に記載のシステム。 (3)前記感知手段が前記モジュールに熱接触して配設
された温度センサを備える、上記(1)に記載のシステ
ム。 (4)前記感知手段が前記冷媒の圧力センサ及び温度セ
ンサを備える、上記(1)に記載のシステム。 (5)前記圧力及び温度感知手段が前記冷却板のほぼす
ぐ下流に位置する、上記(4)に記載のシステム。 (6)前記加熱手段が前記冷却板上に電気抵抗加熱素子
を備える、上記(1)に記載のシステム。 (7)前記加熱手段が、前記冷媒を搬送するための1本
または複数の管路を囲むインライン・ヒータを備える、
上記(1)に記載のシステム。 (8)前記冷却板が複数の冷媒通路を備える、上記
(1)に記載のシステム。 (9)冷媒が通る冷却板に熱接触する電子モジュールを
冷却するための冷却システムのコンプレッサに前記冷媒
が戻るのを防止する方法であって、前記冷媒がコンプレ
ッサに戻る前にその状態を決定するステップと、前記冷
媒が液状またはそれに近い状態にある場合に、前記冷媒
に熱を加えるステップとを含む方法。 (10)前記冷媒の状態が圧力及び温度を測定すること
によって決定される、上記(9)に記載の方法。 (11)一定期間にわたって前記冷媒の状態を監視する
ステップをさらに含み、前記加熱が、予想される相の状
態に応じて行われる、上記(9)に記載の方法。 (12)前記冷媒が前記冷却板から出る時に前記冷媒状
態の決定が行われる、上記(9)に記載の方法。
(1) An electronic system having a cooling function with a variable heat load level, comprising: an electronic circuit module; and a cooling plate having one or a plurality of passages for making thermal contact with the module and transferring refrigerant. An electronic system comprising: means for sensing power supplied to the module; means for heating the refrigerant; and means for controlling the heating means to maintain a substantially constant cooling load on the refrigerant. . (2) The system of (1) above, wherein the cooling plate comprises two passages for separate refrigerant loops. (3) The system according to (1), wherein the sensing means comprises a temperature sensor disposed in thermal contact with the module. (4) The system according to (1), wherein the sensing means comprises a pressure sensor and a temperature sensor for the refrigerant. (5) The system according to (4), wherein said pressure and temperature sensing means is located substantially immediately downstream of said cold plate. (6) The system according to (1), wherein the heating means comprises an electric resistance heating element on the cooling plate. (7) the heating means includes an in-line heater surrounding one or a plurality of conduits for conveying the refrigerant;
The system according to (1). (8) The system according to (1), wherein the cooling plate includes a plurality of refrigerant passages. (9) A method of preventing the refrigerant from returning to a compressor of a cooling system for cooling an electronic module that is in thermal contact with a cooling plate through which the refrigerant passes, wherein the state is determined before the refrigerant returns to the compressor. Applying heat to the refrigerant when the refrigerant is in or near a liquid state. (10) The method according to (9), wherein the state of the refrigerant is determined by measuring pressure and temperature. (11) The method according to (9), further comprising monitoring a state of the refrigerant over a period of time, wherein the heating is performed in accordance with an expected phase state. (12) The method according to (9), wherein the determination of the refrigerant state is performed when the refrigerant exits the cooling plate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に基づく蒸発式冷却板と電
気抵抗加熱素子を表す上面図である。
FIG. 1 is a top view illustrating an evaporative cooling plate and an electric resistance heating element according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の冷却板の側面図である。FIG. 2 is a side view of the cooling plate of FIG. 1;

【図3】コンプレッサに戻る別々の帰還経路にそれぞれ
インライン・ヒータが使用されている、本発明の代替実
施形態を示す上面図である。
FIG. 3 is a top view illustrating an alternative embodiment of the present invention, wherein in-line heaters are each used in a separate return path back to the compressor.

【図4】本発明に使用される制御機構の側面図である。FIG. 4 is a side view of a control mechanism used in the present invention.

【図5】コンプレッサの導入口に接続された2本の管路
の周りに単一のインライン・ヒータが配置されている、
本発明の他の実施形態を表す側面図である。
FIG. 5 shows a single in-line heater placed around two lines connected to the compressor inlet;
It is a side view showing other embodiment of the present invention.

【図6】典型的な冷媒の液相及び気相の領域を追加の熱
レベルを制御するための所望のガード帯と共に示す、圧
力と温度の関係を示したグラフである。
FIG. 6 is a graph showing pressure versus temperature illustrating the liquid and gas phase regions of a typical refrigerant, with the desired guard zones for controlling additional heat levels.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 冷媒ループ 2 ループ 10 冷却板 10 プレート 11 出口ポート 12 入口ポート 13 入口ポート 14 入口ポート 15 帰還管路 16 帰還管路 18 通路 19 通路 20 補助ヒータ 21 抵抗加熱素子 22 接触パッド 23 接触パッド 24 電気絶縁性基板材料 30 補助ヒータ 31 インライン・ヒータ 32 インライン・ヒータ 40 電子(回路チップ)モジュール 60 制御ユニット 61 温度センサ 62 温度センサ 63 圧力センサ 64 圧力センサ 65 温度センサ 91 コンプレッサ 92 コンプレッサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Refrigerant loop 2 Loop 10 Cooling plate 10 Plate 11 Outlet port 12 Inlet port 13 Inlet port 14 Inlet port 15 Return line 16 Return line 18 Passage 19 Passage 20 Auxiliary heater 21 Resistance heating element 22 Contact pad 23 Contact pad 24 Electrical insulation Substrate material 30 Auxiliary heater 31 In-line heater 32 In-line heater 40 Electronic (circuit chip) module 60 Control unit 61 Temperature sensor 62 Temperature sensor 63 Pressure sensor 64 Pressure sensor 65 Temperature sensor 91 Compressor 92 Compressor

フロントページの続き (72)発明者 グレゴリー・エム・クライスラー アメリカ合衆国85226 アリゾナ州チャン ドラー ノース・ダイアン・コート 411Continued on the front page (72) Inventor Gregory M. Chrysler 85226 United States Chandler, Arizona North Diane Court 411

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】可変熱負荷レベルの冷却機能を有する電子
システムであって、 電子回路モジュールと、 前記モジュールに熱接触し、冷媒を移送するための1本
または複数の通路を備えた冷却板と、 前記モジュールに供給される電力を感知する手段と、 前記冷媒を加熱する手段と、 前記冷媒に対してほぼ一定の冷却負荷を維持するように
前記加熱手段を制御する手段とを含む電子システム。
1. An electronic system having a cooling function with a variable heat load level, comprising: an electronic circuit module; and a cooling plate having one or more passages for thermally contacting the module and transferring a coolant. An electronic system comprising: means for sensing power supplied to the module; means for heating the refrigerant; and means for controlling the heating means to maintain a substantially constant cooling load on the refrigerant.
【請求項2】前記冷却板が別々の冷媒ループ用の2つの
通路を備える、請求項1に記載のシステム。
2. The system of claim 1, wherein said cold plate comprises two passages for separate refrigerant loops.
【請求項3】前記感知手段が前記モジュールに熱接触し
て配設された温度センサを備える、請求項1に記載のシ
ステム。
3. The system of claim 1 wherein said sensing means comprises a temperature sensor disposed in thermal contact with said module.
【請求項4】前記感知手段が前記冷媒の圧力センサ及び
温度センサを備える、請求項1に記載のシステム。
4. The system according to claim 1, wherein said sensing means comprises a pressure sensor and a temperature sensor for said refrigerant.
【請求項5】前記圧力及び温度感知手段が前記冷却板の
ほぼすぐ下流に位置する、請求項4に記載のシステム。
5. The system of claim 4, wherein said pressure and temperature sensing means is located substantially immediately downstream of said cold plate.
【請求項6】前記加熱手段が前記冷却板上に電気抵抗加
熱素子を備える、請求項1に記載のシステム。
6. The system of claim 1, wherein said heating means comprises an electrical resistance heating element on said cooling plate.
【請求項7】前記加熱手段が、前記冷媒を搬送するため
の1本または複数の管路を囲むインライン・ヒータを備
える、請求項1に記載のシステム。
7. The system of claim 1, wherein said heating means comprises an in-line heater surrounding one or more conduits for transporting said refrigerant.
【請求項8】前記冷却板が複数の冷媒通路を備える、請
求項1に記載のシステム。
8. The system according to claim 1, wherein said cooling plate comprises a plurality of refrigerant passages.
【請求項9】冷媒が通る冷却板に熱接触する電子モジュ
ールを冷却するための冷却システムのコンプレッサに前
記冷媒が戻るのを防止する方法であって、 前記冷媒がコンプレッサに戻る前にその状態を決定する
ステップと、 前記冷媒が液状またはそれに近い状態にある場合に、前
記冷媒に熱を加えるステップとを含む方法。
9. A method for preventing the refrigerant from returning to a compressor of a cooling system for cooling an electronic module that is in thermal contact with a cooling plate through which the refrigerant passes, wherein the state is changed before the refrigerant returns to the compressor. A method comprising: determining; and applying heat to the refrigerant when the refrigerant is in or near a liquid state.
【請求項10】前記冷媒の状態が圧力及び温度を測定す
ることによって決定される、請求項9に記載の方法。
10. The method of claim 9, wherein the state of the refrigerant is determined by measuring pressure and temperature.
【請求項11】一定期間にわたって前記冷媒の状態を監
視するステップをさらに含み、前記加熱が、予想される
相の状態に応じて行われる、請求項9に記載の方法。
11. The method of claim 9, further comprising monitoring the condition of the refrigerant over a period of time, wherein the heating is performed in response to an expected phase condition.
【請求項12】前記冷媒が前記冷却板から出る時に前記
冷媒状態の決定が行われる、請求項9に記載の方法。
12. The method of claim 9, wherein the determination of the refrigerant state is made as the refrigerant exits the cold plate.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109104840A (en) * 2017-06-20 2018-12-28 昆山研达电脑科技有限公司 Automobile data recorder heat dissipating method

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1663846A4 (en) * 2003-09-11 2007-10-17 Scotsman Ice Systems Beverage dispensing system
US7628028B2 (en) * 2005-08-03 2009-12-08 Bristol Compressors International, Inc. System and method for compressor capacity modulation
US20080041081A1 (en) * 2006-08-15 2008-02-21 Bristol Compressors, Inc. System and method for compressor capacity modulation in a heat pump
EP1994340A4 (en) * 2006-03-10 2012-11-28 Carrier Corp High efficiency hybrid a/c system
US8672642B2 (en) * 2008-06-29 2014-03-18 Bristol Compressors International, Inc. System and method for starting a compressor
US8601828B2 (en) 2009-04-29 2013-12-10 Bristol Compressors International, Inc. Capacity control systems and methods for a compressor
US8955346B2 (en) 2010-11-04 2015-02-17 International Business Machines Corporation Coolant-buffered, vapor-compression refrigeration apparatus and method with controlled coolant heat load
US8813515B2 (en) 2010-11-04 2014-08-26 International Business Machines Corporation Thermoelectric-enhanced, vapor-compression refrigeration apparatus facilitating cooling of an electronic component
US8899052B2 (en) 2010-11-04 2014-12-02 International Business Machines Corporation Thermoelectric-enhanced, refrigeration cooling of an electronic component
US20120111038A1 (en) 2010-11-04 2012-05-10 International Business Machines Corporation Vapor-compression refrigeration apparatus with backup air-cooled heat sink and auxiliary refrigerant heater
US8833096B2 (en) * 2010-11-04 2014-09-16 International Business Machines Corporation Heat exchange assembly with integrated heater
US8783052B2 (en) 2010-11-04 2014-07-22 International Business Machines Corporation Coolant-buffered, vapor-compression refrigeration with thermal storage and compressor cycling
US8493738B2 (en) 2011-05-06 2013-07-23 International Business Machines Corporation Cooled electronic system with thermal spreaders coupling electronics cards to cold rails
US9307674B2 (en) 2011-05-06 2016-04-05 International Business Machines Corporation Cooled electronic system with liquid-cooled cold plate and thermal spreader coupled to electronic component
US9027360B2 (en) 2011-05-06 2015-05-12 International Business Machines Corporation Thermoelectric-enhanced, liquid-based cooling of a multi-component electronic system
US9207002B2 (en) 2011-10-12 2015-12-08 International Business Machines Corporation Contaminant separator for a vapor-compression refrigeration apparatus
US8687364B2 (en) 2011-10-28 2014-04-01 International Business Machines Corporation Directly connected heat exchanger tube section and coolant-cooled structure
US9043035B2 (en) 2011-11-29 2015-05-26 International Business Machines Corporation Dynamically limiting energy consumed by cooling apparatus
US8913384B2 (en) 2012-06-20 2014-12-16 International Business Machines Corporation Thermal transfer structures coupling electronics card(s) to coolant-cooled structure(s)
JP5949924B2 (en) * 2012-08-15 2016-07-13 富士通株式会社 Heat receiving device, cooling device, and electronic device
US10772241B2 (en) 2018-04-23 2020-09-08 Dell Products, L.P. Closed-loop supplemental heater system in an air handler system of outside air cooled data center
CN110763049B (en) * 2018-07-26 2023-08-08 达纳加拿大公司 Heat exchanger with parallel flow features to enhance heat transfer
US10813249B1 (en) * 2019-07-30 2020-10-20 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Tunable cold plates
JP7156706B2 (en) * 2019-11-13 2022-10-19 Necプラットフォームズ株式会社 Cooling system, electronics

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109104840A (en) * 2017-06-20 2018-12-28 昆山研达电脑科技有限公司 Automobile data recorder heat dissipating method

Also Published As

Publication number Publication date
JP3231749B2 (en) 2001-11-26
US20010000880A1 (en) 2001-05-10

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