JP2000292173A - Angular speed sensor - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、角速度センサに係
り、特に、振動型の角速度センサに関する。The present invention relates to an angular velocity sensor, and more particularly to a vibration type angular velocity sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】振動型の角速度センサは、近年車両安全
装置などへ適用され、活発に開発されている。ところ
で、振動型の角速度センサの弱点は、耐衝撃性等の機械
的強度が弱いことである。そこで、車載用としての振動
ジャイロに対して、性能の向上はもとより外部振動に対
する防振機能及び衝撃による振動子の損傷を防止する緩
衝機能を両立させることが求められ、数々の工夫が成さ
れている。2. Description of the Related Art In recent years, vibration type angular velocity sensors have been applied to vehicle safety devices and the like and are being actively developed. The weak point of the vibration type angular velocity sensor is that mechanical strength such as impact resistance is weak. Therefore, it is required for a vibration gyro for use in vehicles to have both a vibration proof function against external vibrations and a buffer function to prevent damage to the vibrator due to impact, as well as improved performance. I have.
【０００３】図１は、防振機能及び緩衝機能を有する従
来の音叉型振動ジャイロの構造体の分解図である。音叉
型振動ジャイロは、キャップ１、ストッパ２、振動体
３、回路基板４、ステム５から構成される。音叉振動体
３は、二つのアーム１１、１２、これらのアームを支持
するベース９及びセラミック基板８から構成される。二
つのアーム１１、１２には、駆動電極及び検出電極が張
り付けられている。FIG. 1 is an exploded view of a structure of a conventional tuning-fork type vibrating gyroscope having an anti-vibration function and a buffer function. The tuning fork type vibrating gyroscope includes a cap 1, a stopper 2, a vibrating body 3, a circuit board 4, and a stem 5. The tuning fork vibrator 3 includes two arms 11 and 12, a base 9 that supports these arms, and a ceramic substrate 8. A drive electrode and a detection electrode are attached to the two arms 11 and 12.
【０００４】また、セラミック基板８は、駆動電極へ振
動を与えるための信号を回路基板４から受け、検出電極
からの角速度に比例した信号を回路基板４に送出する。
回路基板４は、駆動電極を励振する駆動回路及び検出電
極で検出した検出信号を処理する検出回路を有する。ま
た、回路基板４は、複数の端子１４を有し、複数のリー
ド線１３でセラミック基板８と接続される。また、端子
１４は、ステム５に設けられた端子ピン６を介し、外部
装置（図示せず）と接続されている。ステム５には、支
持アーム７が設けられており、音叉振動体３を支持す
る。セラミック基板８の断面が略Ｕ字状をしており、支
持アーム７の水平部を挟むように組み合わせられる。組
み合わせられたセラミック基板８と支持アーム７の水平
部には、セラミック基板８のＵ字状全体を満たし、水平
部を包むようにゴム状弾性体からなる接着層を設ける。
これにより、セラミック基板８は支持アーム７にフレキ
シブルに取り付けられる。支持アーム７の両端部には、
突起が設けられ、これらの突起がステム５に形成された
ホール内に挿入されている。The ceramic substrate 8 receives a signal for giving vibration to the drive electrodes from the circuit board 4 and sends out a signal proportional to the angular velocity from the detection electrodes to the circuit board 4.
The circuit board 4 has a drive circuit for exciting the drive electrodes and a detection circuit for processing a detection signal detected by the detection electrodes. The circuit board 4 has a plurality of terminals 14 and is connected to the ceramic substrate 8 by a plurality of leads 13. The terminal 14 is connected to an external device (not shown) via a terminal pin 6 provided on the stem 5. The stem 5 is provided with a support arm 7 for supporting the tuning fork vibrator 3. The cross-section of the ceramic substrate 8 is substantially U-shaped, and is combined so as to sandwich the horizontal portion of the support arm 7. At the horizontal portion of the combined ceramic substrate 8 and support arm 7, an adhesive layer made of a rubber-like elastic material is provided so as to fill the entire U-shape of the ceramic substrate 8 and surround the horizontal portion.
Thereby, the ceramic substrate 8 is flexibly attached to the support arm 7. At both ends of the support arm 7,
Projections are provided, and these projections are inserted into holes formed in the stem 5.
【０００５】ストッパ２は、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、シリコンゴム等の弾性体の材料で形成され、振動体
３を挿入した状態で使用する。ストッパ２は、回路基板
４を挟むことによって、音叉型振動体３のベース９近辺
で固定される。また、これらの部材を覆って保護するた
めにキャップ１が設けられている。このキャップ１とス
テム５とにより、ケースが構成される。The stopper 2 is made of an elastic material such as epoxy resin, urethane resin, silicon rubber or the like, and is used with the vibrator 3 inserted. The stopper 2 is fixed near the base 9 of the tuning-fork type vibrator 3 by sandwiching the circuit board 4. A cap 1 is provided to cover and protect these members. The cap 1 and the stem 5 form a case.
【０００６】図２は、図１の要素を組み立てた音叉型振
動ジャイロの全体図である。このように構成することに
より、外部からの振動又は衝撃によって引き起こされる
音叉型振動子の破壊を、小型な構成によって、防止する
ことができる。FIG. 2 is an overall view of a tuning fork type vibration gyro in which the elements of FIG. 1 are assembled. With such a configuration, the destruction of the tuning fork vibrator caused by external vibration or impact can be prevented with a small configuration.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動体
３の損傷防止として、図２に示すように、所定の位置に
緩衝部材（ストッパ２）を設けた場合でも、図３に示す
ように、耐衝撃性が悪化する場合がある。つまり、振動
体３とストッパ２の取り付け位置ズレによって、大きな
空隙が存在すると、振動体３の一部が、回路基板４に接
触し、耐衝撃性が悪化する。However, in order to prevent damage to the vibrating body 3, even if a buffer member (stopper 2) is provided at a predetermined position as shown in FIG. In some cases, the impact properties are deteriorated. That is, if there is a large gap due to a displacement of the mounting position of the vibrating body 3 and the stopper 2, a part of the vibrating body 3 comes into contact with the circuit board 4 and the shock resistance is deteriorated.
【０００８】また、角速度センサを小型化した場合、振
動体３とストッパ２のギャップが小さくなり、高い組み
立て精度が必要となり、コストアップの要因となる。ま
た、外部から衝撃及び振動が発生した場合、振動体は支
持アーム７で回転することになるが、この支持アーム７
における回転を抑えるために、強固に支持すると、振動
の共振先鋭度（以下、「Ｑ値」という。 ）が低下し、感
度特性が悪化する。また、Ｑ値を高めるために、支持を
弱くすると、衝撃及び振動によって、振動体３がケース
等に衝突損傷するという問題がある。When the angular velocity sensor is miniaturized, the gap between the vibrating body 3 and the stopper 2 becomes small, so that a high assembling accuracy is required, which causes an increase in cost. Further, when shock and vibration are generated from the outside, the vibrating body is rotated by the support arm 7.
If the support is firmly supported to suppress the rotation in, the resonance sharpness of vibration (hereinafter, referred to as “Q value”) is reduced, and the sensitivity characteristics are deteriorated. In addition, if the support is weakened to increase the Q value, there is a problem that the vibrating body 3 may be impact-damage to a case or the like due to impact and vibration.
【０００９】本発明は、上記問題に鑑みなされたもので
あり、ストッパ部材を付加することなく、簡単に耐衝撃
性を高め、振動子の振動は抑圧しないで、不要な外部か
らの衝撃や振動を抑圧する。すなわち、本発明は、性能
を落とさず、低コストの角速度センサを提供することを
目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to easily increase the shock resistance without adding a stopper member, to suppress the vibration of the vibrator, and to prevent unnecessary external shock or vibration. To suppress. That is, an object of the present invention is to provide a low-cost angular velocity sensor without deteriorating its performance.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された発
明は、振動体を保持する保持部材を具備する角速度セン
サにおいて、前記保持部材は、前記振動体の振幅を規制
する揺動規制機構を兼ね備えることを特徴とする角速度
センサである。請求項１記載の発明によれば、保持部材
は、前記振動体の振幅を規制する揺動規制機構を兼ね備
えることにより、ストッパ部材を付加することなく、簡
単に耐衝撃性を高め、性能を落とさず、低コストの角速
度センサを提供することができる。According to a first aspect of the present invention, there is provided an angular velocity sensor having a holding member for holding a vibrating body, wherein the holding member has a swing regulating mechanism for regulating the amplitude of the vibrating body. Is an angular velocity sensor characterized by having the following. According to the first aspect of the present invention, the holding member also has a swing regulating mechanism that regulates the amplitude of the vibrating body, thereby easily increasing the shock resistance without adding a stopper member and deteriorating the performance. Thus, a low-cost angular velocity sensor can be provided.
【００１１】請求項２に記載された発明は、請求項１記
載の角速度センサにおいて、前記保持部材は、振動の共
振先鋭度を落とさないための空間を有することを特徴と
する。請求項２記載の発明によれば、保持部材は、振動
の共振先鋭度を落とさないための空間を有することによ
り、支持アームに音叉振動体を強固に結合しても、所定
のＱ値を保つことができる。According to a second aspect of the present invention, in the angular velocity sensor according to the first aspect, the holding member has a space for preventing the sharpness of resonance of vibration from being lowered. According to the second aspect of the present invention, the holding member has a space for preventing the sharpness of vibration resonance from dropping, so that a predetermined Q value is maintained even when the tuning fork vibrator is firmly connected to the support arm. be able to.
【００１２】請求項３に記載された発明は、請求項１又
は２記載の角速度センサにおいて、前記角速度センサ
は、音叉型角速度センサであることを特徴とする。請求
項３記載の発明によれば、角速度センサは、音叉型角速
度センサであることにより、より強固な支持が可能にな
る。いうまでもなく、本発明は、各種音叉型角速度セン
サを本発明に適用することができる。According to a third aspect of the present invention, in the angular velocity sensor according to the first or second aspect, the angular velocity sensor is a tuning fork type angular velocity sensor. According to the third aspect of the present invention, since the angular velocity sensor is a tuning fork type angular velocity sensor, it is possible to more firmly support the angular velocity sensor. Needless to say, the present invention can apply various tuning fork type angular velocity sensors to the present invention.
【００１３】請求項４に記載された発明は、請求項１な
いし３いずれか一項記載の角速度センサにおいて、前記
保持部材による前記振動体の保持は、弾性材料を含む材
料及び防振機能を有する材料により接合して行うことを
特徴とする。請求項４記載の発明によれば、保持部材に
よる前記振動体の保持は、弾性材料を含む材料及び防振
機能を有する材料により接合して行うことにより、外部
振動から振動体を防振する防振機能及び外部衝撃による
振動体の損傷を防止する緩衝機能を有する角速度センサ
を提供することができる。According to a fourth aspect of the present invention, in the angular velocity sensor according to any one of the first to third aspects, the holding of the vibrating body by the holding member has a material containing an elastic material and a vibration damping function. It is characterized by being joined by a material. According to the fourth aspect of the present invention, the holding of the vibrating body by the holding member is performed by joining with a material including an elastic material and a material having an anti-vibration function. It is possible to provide an angular velocity sensor having a vibration function and a shock-absorbing function of preventing the vibration body from being damaged by an external impact.
【００１４】請求項５に記載された発明は、請求項４記
載の角速度センサにおいて、前記保持部材は、前記弾性
材料を含む材料及び防振機能を有する材料が、フィレッ
トをひくような形状に形成されるように所定形状の突起
を有することを特徴とする。請求項５記載の発明によれ
ば、突起により、弾性材料を含む材料及び防振機能を有
する材料が、セルフアライメント効果によって、フィレ
ットをひくような形状に形成されることにより、引っ張
り強度を高めることができる。According to a fifth aspect of the present invention, in the angular velocity sensor according to the fourth aspect, the holding member is formed of a material including the elastic material and a material having an anti-vibration function in a shape like a fillet. It is characterized by having a projection of a predetermined shape so that According to the fifth aspect of the present invention, a material including an elastic material and a material having an anti-vibration function are formed in a shape like a fillet by a self-alignment effect by the protrusion, thereby increasing tensile strength. Can be.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図４に本発明で用いるストッパ
付き支持アームの例を示す。ストッパ付き支持アーム１
７は、振動体を保持する保持部材であって、振動体の振
幅を規制する揺動規制機構を兼ね備えている。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 4 shows an example of a support arm with a stopper used in the present invention. Support arm with stopper 1
Reference numeral 7 denotes a holding member for holding the vibrating body, which also has a swing regulating mechanism for regulating the amplitude of the vibrating body.
【００１６】ストッパ付き支持アーム１７は、両端に鍔
を有し台状の形状をしている。その水平部には、そのほ
ぼ中心位置に穴３１を有し、また、水平部は二つの突起
３０を有している。水平部に穴３１を設けることによ
り、ストッパ付き支持アーム１７に音叉振動体３を強固
に結合しても、所定のＱ値を保つことができる。The support arm 17 with the stopper has a trapezoidal shape having flanges at both ends. The horizontal portion has a hole 31 substantially at the center thereof, and the horizontal portion has two projections 30. By providing the hole 31 in the horizontal portion, a predetermined Q value can be maintained even when the tuning fork vibrator 3 is firmly connected to the support arm 17 with the stopper.
【００１７】ストッパ付き支持アームは、従来の支持ア
ーム７に対応するもので、ストッパ付き支持アーム１７
を取り付けた状態を図５に示す。キャップ１、音叉振動
体３、回路基板４、ステム５、端子ピン６、セラミック
基板８は図２と同じである。ストッパが存在しない。な
お、図５においては、ストッパ付き支持アーム１７と音
叉振動体３との取り付けの関係を分かり易くするため
に、図６に示すシリコンゴムが記載されていない。The support arm with stopper corresponds to the conventional support arm 7, and the support arm with stopper 17
FIG. 5 shows a state in which is attached. The cap 1, the tuning fork vibrator 3, the circuit board 4, the stem 5, the terminal pins 6, and the ceramic substrate 8 are the same as those in FIG. Stopper does not exist. In FIG. 5, the silicone rubber shown in FIG. 6 is not shown for easy understanding of the mounting relationship between the stopper-supporting arm 17 and the tuning fork vibrator 3.
【００１８】図６に、ストッパ付き支持アーム１７に音
叉振動体３を装着・保持する状態を示す。図６（Ａ）
は、ストッパ付き支持アーム１７と音叉振動体３との取
り付けの位置関係を示す。図６（Ｂ）は、シリコンゴム
によるストッパ付き支持アーム１７に音叉振動体３を装
着・保持する状態を示す。セラミック基板８の断面が略
Ｕ字状をしており、支持アーム７の水平部の穴３１を挟
むように組み合わせられる。セラミック基板８と支持ア
ーム７の水平部の穴３１を含むストッパ付き支持アーム
１７全体にシリコンゴムを満たす。これにより、セラミ
ック基板８は支持アーム７にフレキシブルに取り付けら
れる。FIG. 6 shows a state in which the tuning fork vibrator 3 is mounted and held on the support arm 17 with the stopper. FIG. 6 (A)
Indicates the positional relationship between the mounting of the support arm with stopper 17 and the tuning fork vibrator 3. FIG. 6B shows a state where the tuning fork vibrator 3 is mounted and held on the support arm 17 having a stopper made of silicone rubber. The cross section of the ceramic substrate 8 is substantially U-shaped, and the ceramic substrates 8 are combined so as to sandwich the hole 31 in the horizontal portion of the support arm 7. The entirety of the support arm with stopper 17 including the hole 31 in the horizontal portion of the ceramic substrate 8 and the support arm 7 is filled with silicon rubber. Thereby, the ceramic substrate 8 is flexibly attached to the support arm 7.
【００１９】シリコンゴムは、弾性材料を含む材料及び
防振機能を有する材料であり、これにより接合（装着・
保持）することにより、外部振動から振動体を防振する
防振機能及び外部衝撃による振動体の損傷を防止する緩
衝機能を有することができる。シリコンゴムに代えて、
任意の弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材料を
用いることができる。Silicon rubber is a material containing an elastic material and a material having an anti-vibration function.
Holding) can have a vibration damping function for damping the vibrating body from external vibration and a buffering function for preventing the vibrating body from being damaged by external impact. Instead of silicone rubber,
A material including any elastic material and a material having an anti-vibration function can be used.
【００２０】また、支持アームの穴にシリコンゴムを充
填した構造であるので、よじりに対する抵抗は小さい。
水平部に設けられた突起３０は、振動体の振動を規制
（振動体の振動を面４１で止める）すると共に、シリコ
ンゴムが、フィレットをひくように所定形状の突起を有
している。弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材
料が、フィレットをひくような形状に形成されることに
より、引っ張り強度を高めることができる。また、この
突起としては、四角、三角、円形等何でもそれなりの効
果を有するが、三角状のものが好ましい。Further, since the hole of the support arm is filled with silicon rubber, the resistance to kinking is small.
The protrusion 30 provided on the horizontal portion regulates the vibration of the vibrating body (stops the vibration of the vibrating body at the surface 41), and has a protrusion of a predetermined shape such that the silicon rubber draws a fillet. By forming a material including an elastic material and a material having an anti-vibration function into a shape that pulls a fillet, the tensile strength can be increased. Also, any projection such as a square, a triangle, and a circle has a suitable effect, but a triangle is preferred.
【００２１】図７に他のストッパ付き支持アーム１
７1 、１７2 の例を示す。ストッパ付き支持アーム１７
1 は、支持アームを側面から見て逆コ字状としたもの
で、ストッパ付き支持アーム１７2 は、支持アームを側
面から見て逆Ｌ字状としたものである。ストッパ付き支
持アーム１７2 は、振動体３のアーム１１、１２を横に
したとき用いる。FIG. 7 shows another supporting arm 1 with a stopper.
Examples of 7 1 and 17 2 are shown below. Support arm with stopper 17
1, a support arm which was a when viewed from the side opposite the U-shaped stopper with the support arm 17 2 is obtained by the inverted L-shape when viewed the support arm from the side. Stoppered support arm 17 2 is used when the arms 11 and 12 of the vibrating body 3 laterally.
【００２２】なお、ストッパ付き支持アームは、これに
限定されることなく、任意のものを用いることができ
る。図８及び図９に他のジャイロの場合の実施例を示
す。図８は、釣り鐘型ジャイロの場合である。４６が釣
り鐘状振動体であり、その側面に駆動電極及び検出電極
４７を設ける。４８が、回転軸で４５がストッパであ
る。ストッパ４５と釣り鐘状振動体４６との間に、反響
のための空間を有する。The support arm with stopper is not limited to this, and any one can be used. 8 and 9 show another embodiment of the gyro. FIG. 8 shows a case of a bell-shaped gyro. Reference numeral 46 denotes a bell-shaped vibrator, on which a drive electrode and a detection electrode 47 are provided. 48 is a rotating shaft and 45 is a stopper. A space for reverberation is provided between the stopper 45 and the bell-shaped vibrator 46.
【００２３】図９は、断面三角状の音片型ジャイロであ
る。支持アームは、Ｈ型をしている。Ｈの下の空間は、
Ｑ値維持のための空間であり、Ｈの上の凹部の底で振動
体を一点で支えている。５１は振動体、５２は駆動電極
及び検出電極である。図１０は、図２と図５の構造で振
動体が損傷限界まで外部振動及び衝撃を与えたときを比
較したものである。ストッパと振動体の先端からの距離
（Ｘ）に対する衝撃の臨界Ｇで示す。従来のゴムダンパ
の場合を◆、本発明のストッパ付き支持アームの場合を
■で示す。本発明のストッパ付き支持アームの場合は、
従来のゴムダンパの場合に対して、約３から６倍だけ限
界Ｇが向上している。FIG. 9 shows a resonating gyro having a triangular cross section. The support arm is H-shaped. The space under H is
This is a space for maintaining the Q value, and supports the vibrator at one point at the bottom of the concave portion above H. 51 is a vibrating body, 52 is a drive electrode and a detection electrode. FIG. 10 shows a comparison between the structures shown in FIGS. 2 and 5 when the vibrating body is subjected to external vibration and impact up to the damage limit. It is indicated by the criticality G of the impact with respect to the distance (X) from the stopper and the tip of the vibrating body. The case of the conventional rubber damper is indicated by ◆, and the case of the support arm with the stopper of the present invention is indicated by ■. In the case of the support arm with the stopper of the present invention,
The limit G is improved by about 3 to 6 times as compared with the conventional rubber damper.
【００２４】また、図１１に、支持アームの穴の径とＱ
値の関係を示す。穴の大きさに応じて、Ｑ値が向上して
いることが分かる。以上説明したように、緩衝部材を付
加しなくても耐衝撃性の改善を図ることができ、振動の
Ｑ値を低下させることなく機械的強度を高めることがで
きる。FIG. 11 shows the diameter of the support arm hole and Q
Indicates the relationship between values. It can be seen that the Q value is improved according to the size of the hole. As described above, the impact resistance can be improved without adding a buffer member, and the mechanical strength can be increased without lowering the Q value of the vibration.
【００２５】[0025]
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を奏することができる。請求項１記載の発明
によれば、保持部材は、前記振動体の振幅を規制する揺
動規制機構を兼ね備えることにより、ストッパ部材を付
加することなく、簡単に耐衝撃性を高め、性能を落とさ
ず、低コストの角速度センサを提供することができる。According to the present invention as described above, the following various effects can be obtained. According to the first aspect of the present invention, the holding member also has a swing regulating mechanism that regulates the amplitude of the vibrating body, thereby easily increasing the shock resistance without adding a stopper member and deteriorating the performance. Thus, a low-cost angular velocity sensor can be provided.
【００２６】請求項２記載の発明によれば、保持部材
は、振動の共振先鋭度を落とさないための空間を有する
ことにより、支持アームに音叉振動体を強固に結合して
も、所定のＱ値を保つことができる。請求項３記載の発
明によれば、角速度センサは、音叉型角速度センサであ
ることにより、より強固な支持が可能になる。いうまで
もなく、本発明は、各種音叉型角速度センサを本発明に
適用することができる。According to the second aspect of the present invention, the holding member has a space for preventing the sharpness of vibration resonance from dropping, so that even if the tuning fork vibrator is firmly connected to the support arm, the predetermined Q value can be obtained. You can keep the value. According to the third aspect of the present invention, since the angular velocity sensor is a tuning fork type angular velocity sensor, it is possible to more firmly support the angular velocity sensor. Needless to say, the present invention can apply various tuning fork type angular velocity sensors to the present invention.
【００２７】請求項４記載の発明によれば、保持部材に
よる前記振動体の保持は、弾性材料を含む材料及び防振
機能を有する材料により接合して行うことにより、外部
振動から振動体を防振する防振機能及び外部衝撃による
振動体の損傷を防止する緩衝機能を有する角速度センサ
を提供することができる。請求項５記載の発明によれ
ば、突起により、弾性材料を含む材料及び防振機能を有
する材料が、セルフアライメント効果によって、フィレ
ットをひくような形状に形成されることにより、引っ張
り強度を高めることができる。According to the fourth aspect of the present invention, the holding of the vibrating body by the holding member is performed by joining the vibrating body with a material containing an elastic material and a material having a vibration-proof function, thereby preventing the vibrating body from external vibration. An angular velocity sensor having an anti-vibration function to vibrate and a buffer function to prevent damage to the vibrating body due to an external impact can be provided. According to the fifth aspect of the present invention, a material including an elastic material and a material having an anti-vibration function are formed in a shape like a fillet by a self-alignment effect by the protrusion, thereby increasing tensile strength. Can be.
【図１】従来の角速度センサの分解図である。FIG. 1 is an exploded view of a conventional angular velocity sensor.
【図２】従来の角速度センサを説明するための図であ
る。FIG. 2 is a diagram for explaining a conventional angular velocity sensor.
【図３】従来のストッパによる耐衝撃性悪化を説明する
ための図である。FIG. 3 is a view for explaining deterioration of impact resistance due to a conventional stopper.
【図４】本発明の支持アームを説明するための図（その
１）である。FIG. 4 is a diagram (part 1) for explaining a support arm of the present invention.
【図５】本発明における振動体の取り付けを説明するた
めの図である。FIG. 5 is a diagram for explaining attachment of a vibrating body in the present invention.
【図６】振動体の支持アームへの取り付けを説明するた
めの図である。FIG. 6 is a diagram for explaining attachment of a vibrating body to a support arm.
【図７】本発明の支持アームを説明するための図（その
２）である。FIG. 7 is a diagram (part 2) for explaining the support arm of the present invention.
【図８】その他の振動体ジャイロの応用例を説明するた
めの図（その１）である。FIG. 8 is a diagram (part 1) for describing another application example of the vibrating body gyro.
【図９】その他の振動体ジャイロの応用例を説明するた
めの図（その２）である。FIG. 9 is a diagram (part 2) for explaining another application example of the vibrating body gyro.
【図１０】本発明による耐衝撃性の改善を説明するため
の図である。FIG. 10 is a diagram for explaining an improvement in impact resistance according to the present invention.
【図１１】本発明における支持アームの穴径とＱ値の関
係を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a relationship between a hole diameter of a support arm and a Q value according to the present invention.
１ キャップ ２ ストッパ ３、４６、５１ 振動体 ４ 回路基板 ５ ステム ６ 端子ピン ７ 支持アーム ８ セラミック基板 １７、１７1 、１７2 、１７3 ストッパ付き支持ア
ーム ３０ 突起 ３１ 穴 ４３ シリコンゴム1 Cap 2 stopper 3,46,51 vibrator 4 circuit board 5 stem 6 terminal pins 7 supporting arm 8 ceramic substrate 17 1, 17 2, 17 3 stoppered support arm 30 projection 31 hole 43 silicone rubber
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 和弘 長野県須坂市大字小山460番地 富士通メ ディアデバイス株式会社内 (72)発明者 小野 正明 長野県須坂市大字小山460番地 富士通メ ディアデバイス株式会社内 Ｆターム(参考） 2F105 AA02 BB12 CC01 CC05 CC20 CD02 CD06 CD13 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kazuhiro Ota 460 Oyama Oyama, Suzaka City, Nagano Prefecture Inside Fujitsu Media Devices Co., Ltd. (72) Inventor Masaaki Ono 460 Oyama Oyama, Suzaka City, Nagano Prefecture Fujitsu Media Devices Limited F term (reference) 2F105 AA02 BB12 CC01 CC05 CC20 CD02 CD06 CD13
Claims (5)
速度センサにおいて、前記保持部材は、前記振動体の振
幅を規制する揺動規制機構を兼ね備えることを特徴とす
る角速度センサ。1. An angular velocity sensor comprising a holding member for holding a vibrating body, wherein the holding member also has a swing regulating mechanism for regulating the amplitude of the vibrating body.
とさないための空間を有することを特徴とする請求項１
記載の角速度センサ。2. The apparatus according to claim 1, wherein the holding member has a space for preventing the sharpness of vibration resonance from being lowered.
An angular velocity sensor as described.
サであることを特徴とする請求項１又は２記載の角速度
センサ。3. The angular velocity sensor according to claim 1, wherein the angular velocity sensor is a tuning fork type angular velocity sensor.
は、弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材料によ
り接合して行うことを特徴とする請求項１ないし３いず
れか一項記載の角速度センサ。4. The angular velocity according to claim 1, wherein the holding member holds the vibrating body by joining it with a material containing an elastic material and a material having an anti-vibration function. Sensor.
料及び防振機能を有する材料が、フィレットをひくよう
な形状に形成されるように所定形状の突起を有すること
を特徴とする請求項４記載の角速度センサ。5. The holding member has a projection having a predetermined shape such that the material containing the elastic material and the material having a vibration-proof function are formed in a shape that draws a fillet. 4. The angular velocity sensor according to 4.
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