JP2000290072A - Brazing jig - Google Patents

Brazing jig

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JP2000290072A
JP2000290072A JP11101257A JP10125799A JP2000290072A JP 2000290072 A JP2000290072 A JP 2000290072A JP 11101257 A JP11101257 A JP 11101257A JP 10125799 A JP10125799 A JP 10125799A JP 2000290072 A JP2000290072 A JP 2000290072A
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JP
Japan
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carbon
silicon carbide
yarn
composite material
matrix
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP11101257A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Hanzawa
茂 半澤
Kenji Nakano
健治 中野
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NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a brazing jig which is not strained by thermal deformation in spite of being incessantly and repetitively subjected to a history accompanied by a rapid temperature change from temperature in excess of 600 deg.C up to room temperature (about 22 deg.C) and in spite of continuous use for at least >=1 year, is easy to handle, is light in weight and has a high thermal conductivity. SOLUTION: This brazing jig consists of a composite material composed of carbon and silicon carbide and metal silicon or the carbon and the silicon carbide obtained by impregnating the carbon fibers which have a specific gravity of about 2 g/cc and a coefficient of thermal expansion of <=2.0×10-6/ deg.C and are substantially not strained in spite of such a heat history by which the carbon fibers are exposed repetitively to a high temperature exceeding 600 deg.C and carbon exclusive of the carbon fibers with metal silicon.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】 本発明は、アルミ製等の各
種自動車用部品の製造の際に、ロウ付け工程に使用され
るロウ付け用治具に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a brazing jig used in a brazing step when manufacturing various automotive parts made of aluminum or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】 燃費向上等の要求がより一層厳しくな
るに伴い、自動車の軽量化のために、自動車部品の可成
りの部分がアルミ製の部品に置き換えられるのに伴い、
各種部品がアルミ材から製造されるようになっている。
当然のことながら、形状も複雑化するために、これらの
部品の製造には、ロウ付け加工工程が必須としてなって
いる。現在は、アルミ製部品のロウ付けには、SUS3
04等のステンレス製のロウ付け用治具が使用されてい
るが、ロウ付けの温度が600℃を超える温度であるこ
とから、これらの治具は、600℃を超える温度から室
温(22℃程度)までの急激な温度変化を伴う遍歴を絶
えず繰り返し受けることとなるために、熱変形を受け、
歪みが生じ、約45日位で、ロウ付け用治具として要求
される、平坦度を保持できなくなり、頻繁に交換しなけ
ればならないという問題がある。
2. Description of the Related Art As demands for improving fuel efficiency and the like become more severe, a substantial portion of automobile parts are replaced with aluminum parts in order to reduce the weight of automobiles.
Various parts are manufactured from aluminum.
As a matter of course, the brazing process is indispensable for the production of these parts due to the complicated shape. Currently, SUS3 is used for brazing aluminum parts.
Stainless steel brazing jigs such as 04 are used. However, since the brazing temperature is higher than 600 ° C., these jigs are used at temperatures higher than 600 ° C. to room temperature (about 22 ° C.). ) Due to the thermal deformation,
Distortion occurs, and about 45 days later, there is a problem that the flatness required for the brazing jig cannot be maintained, and the brazing jig needs to be frequently replaced.

【0003】 さらに、SUS304等のステンレス製
のロウ付け用治具の場合には、比重が8.0g/ccと
大きく、また、熱膨張係数も18.5×10-6/℃と高
い。そのために、治具の取扱に、多大なエネルギーを要
すると共に、高温加熱−冷却という変動幅の大きい熱遍
歴を繰り返すために、治具が比較的短期間の内に変形し
まうという欠点がある。
Further, in the case of a brazing jig made of stainless steel such as SUS304, the specific gravity is as large as 8.0 g / cc, and the coefficient of thermal expansion is as high as 18.5 × 10 −6 / ° C. For this reason, there is a disadvantage that the jig requires a large amount of energy for handling, and the jig is deformed within a relatively short period of time due to a repetition of a heating cycle with a large fluctuation range of high-temperature heating and cooling.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】 600℃を超える温
度から室温(22℃程度)までの急激な温度変化を伴う
遍歴を絶えず繰り返し受けても、少なくとも1年以上連
続して使用しても、熱変形による歪みを生ぜず、かつ取
扱も容易な軽量な、ロウ付け用治具を提供せんとするも
のである。
SUMMARY OF THE INVENTION Even if iteratively repeats a itinerary accompanied by a rapid temperature change from a temperature exceeding 600 ° C. to room temperature (about 22 ° C.), or if it is used continuously for at least one year or more, An object of the present invention is to provide a light-weight brazing jig which does not generate distortion due to deformation and is easy to handle.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】 本発明者等は、上記の
様な現状に鑑みて種々検討した結果、本発明を完成させ
たものである。すなわち、本発明によれば、比重が約2
g/cc、熱伝導度が50W/m・K以上、熱膨張係数
が2.0×10-6/℃以下であり、600℃を超える高
温に長時間繰り返し暴露されるような熱遍歴によっても
実質的に歪みを起こさない、炭素繊維と炭素繊維以外の
炭素に、金属珪素を含浸して得られる、炭素と炭化珪素
と金属珪素、または炭素と炭化珪素とから構成される複
合材料からなるロウ付け用治具が提供される。本発明に
係るロウ付け用治具の場合には、比重が約2g/ccと
軽いので、取扱が容易であり、また、熱伝導度が50W
/m・K以上と高いので、ロウ付けの際に必要とする加
熱エネルギーを節約することができる。また、熱膨張係
数が2.0×10-6/℃またはそれ以下であり、600
℃を超える高温に長時間繰り返し暴露されるような熱遍
歴によっても実質的に歪みを起こさないので、長期間、
例えば、1年以上連続して使用しても、交換する必要が
生じない。
Means for Solving the Problems The present inventors have made various studies in view of the above-mentioned current situation, and as a result, completed the present invention. That is, according to the present invention, the specific gravity is about 2
g / cc, a thermal conductivity of 50 W / m · K or more, a thermal expansion coefficient of 2.0 × 10 −6 / ° C. or less, and even a thermal history that is repeatedly exposed to a high temperature exceeding 600 ° C. for a long time. A brazing material that does not substantially cause distortion and is obtained by impregnating carbon fibers and carbon other than carbon fibers with metallic silicon, and that is made of a composite material composed of carbon and silicon carbide and metallic silicon or carbon and silicon carbide. An attachment jig is provided. In the case of the brazing jig according to the present invention, since the specific gravity is as light as about 2 g / cc, it is easy to handle, and the thermal conductivity is 50 W.
/ M · K or more, so that the heating energy required for brazing can be saved. Further, the thermal expansion coefficient is 2.0 × 10 −6 / ° C. or less,
Since it does not substantially cause distortion even by thermal itinerary such as repeated exposure to high temperatures exceeding ℃,
For example, even if it is used continuously for one year or more, there is no need to replace it.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】 本発明に係る、比重が約2g/
cc、熱膨張係数が2.0×10-6/℃以下であり、6
00℃を超える高温に長時間繰り返し暴露されるような
熱遍歴によっても実質的に歪みを起こさない、炭素繊維
と炭素繊維以外の炭素に、金属珪素を含浸して得られ
る、炭素と炭化珪素と金属珪素、または炭素と炭化珪素
とから構成される複合材料からなるロウ付け用治具は、
以下に詳述する複合材料から製造する。この複合材料と
しては、C/Cコンポジットを基本骨格とし、その基本
骨格を取り巻く状態で、Si−SiC系材料からなるマ
トリックスが形成されているSi−SiC系複合材料
と、SiC系材料からなるマトリックスが形成されてい
るSiC系複合材料が挙げられる。ここで、600℃を
超える高温に長時間繰り返し暴露されるような熱遍歴に
よっても実質的に歪みを起こさないとは、45日以上、
繰り返し、ロウ付け用の窯に出し入れを繰り返しても、
プレート表面の平坦度が±0.1mmを超える変動を示
すことのないことをいう。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION According to the present invention, specific gravity is about 2 g /
cc, the coefficient of thermal expansion is 2.0 × 10 −6 / ° C. or less;
Carbon fiber and carbon other than carbon fiber, which do not substantially cause distortion even by thermal itinerary repeatedly exposed to high temperatures exceeding 00 ° C. for a long time, are obtained by impregnating metallic silicon with carbon and silicon carbide. A brazing jig made of metal silicon, or a composite material composed of carbon and silicon carbide,
It is manufactured from the composite material described in detail below. As this composite material, a C / C composite is used as a basic skeleton, and in a state surrounding the basic skeleton, a Si-SiC-based composite material in which a matrix made of a Si-SiC-based material is formed, and a matrix made of a SiC-based material Is formed on the SiC-based composite material. Here, it is said that the material does not substantially cause distortion even by thermal itinerary such as repeatedly exposed to a high temperature exceeding 600 ° C. for 45 days or more.
Even if you repeatedly put it in and out of the brazing kiln,
It means that the flatness of the plate surface does not show a fluctuation exceeding ± 0.1 mm.

【0007】 本明細書において、C/Cコンポジット
とは、炭素繊維の束のマトリックスとして作用する粉末
状のバインダーであって、焼成後には炭素繊維の束に対
して遊離炭素となるピッチ、コークス類を包含させ、さ
らに必要に応じてフェノール樹脂粉末等を含有させるこ
とによって、炭素繊維束を調製し、この炭素繊維束の周
囲に、熱可塑性樹脂等のプラスチックからなる柔軟な被
膜を形成し、柔軟性中間材としてのプレフォームドヤー
ンを得る。このプレフォームドヤーンを、特開平2−8
0639号公報に記載されている方法によりシート状ま
たは織布状にし、必要量を積層した後、ホットプレスで
成形し得られた成形体、または、この成形体を焼成して
得られる焼成体をいう。
[0007] In the present specification, the C / C composite is a powdery binder that acts as a matrix of a bundle of carbon fibers, and pitch and coke that become free carbon to the bundle of carbon fibers after firing. And further, if necessary, by containing a phenol resin powder or the like, thereby preparing a carbon fiber bundle, forming a flexible film made of a plastic such as a thermoplastic resin around the carbon fiber bundle, To obtain a preformed yarn as a functional intermediate material. This preformed yarn is disclosed in
After forming a sheet or a woven fabric by the method described in JP-A-0639, laminating a required amount, and then molding by hot pressing, or a fired body obtained by firing this molded body, Say.

【0008】 基本素材として使用するC/Cコンポジ
ットとしては、直径が10μm前後の炭素繊維を、通
常、数百本〜数万本束ねて繊維束(ヤーン)を形成し、
この繊維束を熱可塑性樹脂で被覆して調製した柔軟性糸
状中間材を得、これを特開平2−80639号公報に記
載されている方法によりシート状にし、このシート状と
したものを二次元または三次元方向に配列して一方向シ
ート(UDシート)や各種クロスとしたり、また上記シ
ートやクロスを積層したりすることにより、所定形状の
予備成形体(繊維プリフォーム)を形成し、該予備成形
体の繊維束の外周に形成されている有機物からなる熱可
塑性樹脂等の被膜を焼成し、上記の同皮膜を炭化除去し
たものを使用すればよい。なお、本明細書に於いて、参
考のために特開平2−80639号公報の記載を引用す
る。本発明に於いて使用するC/Cコンポジットは、上
記のヤーン中の炭素繊維以外の炭素成分は、好ましくは
炭素粉末であり、特に好ましくは黒鉛化した炭素粉末で
ある。
As a C / C composite used as a basic material, carbon fibers having a diameter of about 10 μm are usually bundled to form a fiber bundle (yarn) by bundling hundreds to tens of thousands of carbon fibers.
This fiber bundle is coated with a thermoplastic resin to obtain a flexible thread-like intermediate material, which is formed into a sheet by the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-80639. Alternatively, a preformed body (fiber preform) having a predetermined shape is formed by arranging in a three-dimensional direction to form a unidirectional sheet (UD sheet) or various cloths, or by laminating the sheets or cloths. It is only necessary to use a material obtained by baking a film of a thermoplastic resin or the like made of an organic substance formed on the outer periphery of the fiber bundle of the preform and removing the film by carbonization. In this specification, the description of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-80639 is cited for reference. In the C / C composite used in the present invention, the carbon component other than the carbon fiber in the yarn is preferably a carbon powder, particularly preferably a graphitized carbon powder.

【0009】 本発明において、炭素と炭化珪素と金属
珪素とから構成される複合材料とは、Si−SiC系複
合材料の名称で呼ばれることもある、55重量%〜75
重量%の炭素と、1重量%〜10重量%の珪素と、10
重量%〜50重量%の炭化珪素とから構成され、少なく
とも炭素繊維の束と炭素繊維以外の炭素成分とを含有す
るヤーンが層方向に配向しつつ三次元的に組み合わさ
れ、互いに分離しないように一体化されているヤーン集
合体と、このヤーン集合体中で隣り合う前記ヤーンの間
に充填されているSi−SiC系材料からなるマトリッ
クスとを備え、0.05〜0.6の動摩擦係数と、0.
5%〜10%に制御された気孔率とを有する複合材料を
いう。この材料は、平成10年9月4日付の出願に係る
特願平10−267402号に開示された方法により製
造することができる。従って、特願平10−26740
2号の内容をここに引用する。
In the present invention, the composite material composed of carbon, silicon carbide, and metallic silicon is sometimes referred to by the name of a Si—SiC-based composite material.
Wt% carbon, 1 wt% to 10 wt% silicon, 10 wt%
And 50% by weight of silicon carbide, and at least yarns containing at least a bundle of carbon fibers and a carbon component other than carbon fibers are three-dimensionally combined while being oriented in the layer direction so as not to be separated from each other. An integrated yarn assembly, comprising a matrix made of a Si-SiC-based material filled between the adjacent yarns in the yarn assembly, and having a dynamic friction coefficient of 0.05 to 0.6. , 0.
A composite material having a controlled porosity of 5% to 10%. This material can be manufactured by the method disclosed in Japanese Patent Application No. 10-267402 filed on Sep. 4, 1998. Therefore, Japanese Patent Application No. 10-26740.
The contents of Issue 2 are quoted here.

【0010】 なお、ここで、Si−SiC系材料と
は、未反応の状態で残存する珪素からなる珪素相からほ
ぼ純粋な炭化珪素に至るまでの、いくつかの相異なる相
を含む、典型的には珪素相と炭化珪素相からなるが、炭
化珪素相には、珪素の含有量が傾斜的に変化しているS
iC共存相を含みうるものをいう。従って、Si−Si
C系材料とは、このようにSi−SiC系列において、
炭素の濃度として、0mol%から50mol%までの
範囲以内で含まれてる材料の総称である。本発明に係る
Si−SiC系複合材料においては、マトリックス部が
Si−SiC系材料により形成されていることとなる。
[0010] Here, the Si-SiC-based material is a typical material including several different phases from a silicon phase composed of silicon remaining in an unreacted state to almost pure silicon carbide. Is composed of a silicon phase and a silicon carbide phase.
It refers to one that can include an iC coexisting phase. Therefore, Si-Si
The C-based material is, as described above, in the Si-SiC series,
It is a general term for materials contained in the range of 0 mol% to 50 mol% as the concentration of carbon. In the Si-SiC-based composite material according to the present invention, the matrix portion is formed of the Si-SiC-based material.

【0011】 また、このSi−SiC系複合材料は、
好ましくは、ヤーンの表面から離れるのに従って珪素の
含有比率が上昇する傾斜組成を有するマトリックスを有
している。また、このSi−SiC系複合材料において
は、好ましくは、炭素繊維からなるヤーン集合体は、複
数のヤーン配列体から構成されており、各ヤーン配列体
はそれぞれ特定本数の炭素繊維を束ねて構成したヤーン
をほぼ平行に二次元的に配列することによって形成され
ており、各ヤーン配列体が積層されることによってヤー
ン集合体が構成されている。これによって、Si−Si
C系複合材料は、複数層のヤーン配列体を特定方向に積
層した積層構造を有することになる。
Further, this Si—SiC-based composite material
Preferably, the matrix has a gradient composition in which the silicon content increases as the distance from the yarn surface increases. In the Si-SiC-based composite material, preferably, the yarn aggregate made of carbon fibers is composed of a plurality of yarn arrays, and each yarn array is formed by bundling a specific number of carbon fibers. The yarns are formed by two-dimensionally arranging the obtained yarns substantially in parallel, and a yarn aggregate is formed by stacking the respective yarn arrays. Thereby, Si-Si
The C-based composite material has a laminated structure in which a plurality of yarn arrays are laminated in a specific direction.

【0012】 図1は、ヤーン集合体の概念を説明する
ための概略斜視図であり、図2(a)は図1のIIa−
IIa線断面図であり、図2(b)は図1のIIb−I
Ib線断面図である。Si−SiC系複合材料7の骨格
は、ヤーン集合体6によって構成されている。ヤーン集
合体6は、ヤーン配列体1A、1B、1C、1D、1
E、1Fを上下方向に積層してなる。各ヤーン配列体に
おいては、各ヤーン3が二次元的に配列されており、各
ヤーンの長手方向がほぼ平行である。上下方向に隣り合
う各ヤーン配列体における各ヤーンの長手方向は、直交
している。すなわち、各ヤーン配列体1A、1C、1E
の各ヤーン2Aの長手方向は、互いに平行であり、かつ
各ヤーン配列体1B、1D、1Fの各ヤーン2Bの長手
方向に対して直交している。各ヤーンは、炭素繊維と、
炭素繊維以外の炭素成分とからなる繊維束3からなる。
ヤーン配列体が積層されることによって、三次元格子形
状のヤーン集合体6が構成される。各ヤーンは、後述す
るような加圧成形工程の間に押しつぶされ、略楕円形に
なっている。
FIG. 1 is a schematic perspective view for explaining the concept of the yarn aggregate, and FIG.
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line IIa, and FIG.
It is Ib line sectional drawing. The skeleton of the Si—SiC-based composite material 7 is constituted by the yarn aggregate 6. The yarn aggregate 6 includes the yarn arrays 1A, 1B, 1C, 1D, 1
E and 1F are vertically stacked. In each yarn array, the yarns 3 are two-dimensionally arranged, and the longitudinal directions of the yarns are substantially parallel. The longitudinal direction of each yarn in each vertically arranged yarn array is orthogonal. That is, each yarn array 1A, 1C, 1E
The longitudinal direction of each yarn 2A is parallel to each other and orthogonal to the longitudinal direction of each yarn 2B of each yarn array 1B, 1D, and 1F. Each yarn is made of carbon fiber,
The fiber bundle 3 is made of a carbon component other than carbon fibers.
The yarn assembly 6 having a three-dimensional lattice shape is formed by stacking the yarn arrays. Each yarn is crushed during a pressure forming process as described below, and has a substantially elliptical shape.

【0013】 各ヤーン配列体1A、1C、1Eにおい
ては、隣り合う各ヤーンの間隙には、マトリックス8A
が充填されており、各マトリックス8Aはヤーン2Aの
表面に沿ってそれと平行に延びている。各ヤーン配列体
1B、1D、1Fにおいては、隣り合う各ヤーンの間隙
には、マトリックス8Bが充填されており、各マトリッ
クス8Bは、ヤーン2Bの表面に沿ってそれと平行に延
びている。本例では、マトリックス8A、8Bは、それ
ぞれ、各ヤーンの表面を被覆する炭化珪素相4A、4B
と、炭化珪素相4A、4Bよりも炭素の含有割合が少な
いSi−SiC系材料相5A、5Bからなっている。炭
化珪素相中にも珪素を一部含有していてよい。また、本
例では、上下方向に隣接するヤーン2Aと2Bとの間に
も、炭化珪素相4A、4Bが生成している。
In each of the yarn arrays 1A, 1C, and 1E, a matrix 8A is provided between adjacent yarns.
And each matrix 8A extends along and parallel to the surface of the yarn 2A. In each of the yarn arrays 1B, 1D, and 1F, the gap between adjacent yarns is filled with a matrix 8B, and each matrix 8B extends along the surface of the yarn 2B and parallel thereto. In this example, the matrices 8A and 8B are respectively composed of silicon carbide phases 4A and 4B covering the surface of each yarn.
And Si-SiC-based material phases 5A and 5B having a lower carbon content than silicon carbide phases 4A and 4B. Silicon may be partially contained in the silicon carbide phase. In this example, silicon carbide phases 4A and 4B are also generated between yarns 2A and 2B that are vertically adjacent to each other.

【0014】 各マトリックス8Aと8Bとは、それぞ
れヤーンの表面に沿って細長く、好ましくは直線状に延
びており、各マトリックス8Aと8Bとは互いに直交し
ている。そして、ヤーン配列体1A、1C、1Eにおけ
るマトリックス8Aと、これに直交するヤーン配列体1
B、1D、1Fにおけるマトリックス8Bとは、それぞ
れヤーン2Aと2Bとの間隙部分で連続している。この
結果、マトリックス8A、8Bは、全体として、三次元
格子を形成している。
Each of the matrices 8A and 8B is elongated, preferably linear, along the surface of the yarn, respectively, and each of the matrices 8A and 8B is orthogonal to one another. Then, the matrix 8A in the yarn arrays 1A, 1C, and 1E and the yarn array 1 orthogonal to the matrix 8A
The matrix 8B in B, 1D, and 1F is continuous at the gap between the yarns 2A and 2B, respectively. As a result, the matrices 8A and 8B form a three-dimensional lattice as a whole.

【0015】 本発明において、炭素と炭化珪素とから
構成される複合材料とは、SiC系複合材料の名称で呼
ばれることもある、炭化珪素と炭素繊維と炭素繊維以外
の炭素成分とから構成され、骨格部と骨格部の周囲に形
成されマトリックスとからなる構造を有するSiC−C
/Cコンポジット複合材料であって、炭化珪素の少なく
とも50%はβ型で、骨格部は、炭素繊維と炭素繊維以
外の炭素成分により形成されており、その骨格部の一部
分には炭化珪素が存在していてもよく、マトリックス
は、炭化珪素により形成され、前記マトリックスと前記
骨格部とは一体的に形成されており、かつ、前記複合材
料は0.5%〜5%の気孔率と二山型の平均気孔径の分
布を有する複合材料をいう。
In the present invention, the composite material composed of carbon and silicon carbide is composed of silicon carbide, carbon fiber, and a carbon component other than carbon fiber, sometimes referred to as a SiC-based composite material. SiC-C having a structure composed of a skeleton and a matrix formed around the skeleton
/ C composite composite material, wherein at least 50% of silicon carbide is β-type, the skeleton is formed of carbon fiber and carbon components other than carbon fiber, and silicon carbide is present in a part of the skeleton. The matrix may be formed of silicon carbide, the matrix and the skeleton may be integrally formed, and the composite material may have a porosity of 0.5% to 5% and a double porosity. A composite material having a distribution of the average pore diameter of the mold.

【0016】 従って、このSiC系複合材料は、骨格
部として、各炭素繊維が炭素繊維束から構成されている
C/Cコンポジットを用いており、そのため、その一部
にSiCが形成されていても、各炭素繊維としては炭素
繊維としての構造が、破壊されることなく保持されてい
るために炭素繊維が炭化珪素化により短繊維化すること
がないので、原料であるC/Cコンポジットの有する機
械的強度がほぼ保持されるか、炭化珪素化により増大す
るという大きな特徴を有している。しかも、ヤーン集合
体中で隣り合うヤーンの間に、SiC系材料からなるマ
トリックスが形成された複合構造を有している。この点
で、上記のSi−SiC系複合材料とは異なる。なお、
この材料は、平成11年2月9日付の出願に係る特願平
11−31979号に開示された方法により製造するこ
とができる。従って、特願平11−31979号の内容
をここに引用する。
Therefore, this SiC-based composite material uses, as a skeleton, a C / C composite in which each carbon fiber is composed of a carbon fiber bundle. Therefore, even if SiC is partially formed, Since each carbon fiber has a structure as a carbon fiber, which is maintained without being broken, the carbon fiber does not become short due to silicon carbide. Therefore, a machine having a C / C composite as a raw material is used. The main feature is that the mechanical strength is almost maintained or increases due to silicon carbide. Moreover, the yarn assembly has a composite structure in which a matrix made of a SiC-based material is formed between adjacent yarns. In this respect, it is different from the above-described Si-SiC-based composite material. In addition,
This material can be manufactured by the method disclosed in Japanese Patent Application No. 11-31979 filed on Feb. 9, 1999. Therefore, the contents of Japanese Patent Application No. 11-31979 are cited here.

【0017】 本発明において、SiC系材料とは、炭
素との結合度を異にする炭化珪素を含有する材料をい
い、このSiC系材料は以下のようにして製造されるも
のをいう。本発明では、C/Cコンポジットに対して、
金属珪素を含浸させるが、その際、金属珪素はコンポジ
ット内の炭素繊維を構成する炭素原子および/または炭
素繊維の表面に残存している遊離炭素原子と反応し、一
部が炭化されるために、C/Cコンポジットの最表面や
炭素繊維からなるヤーンとヤーンとの間には、一部炭化
された珪素が生成し、かくして上記のヤーンとヤーンと
の間には炭化珪素からなるマトリックスが形成される。
In the present invention, the SiC-based material refers to a material containing silicon carbide having a different degree of bonding with carbon, and the SiC-based material is manufactured as follows. In the present invention, for C / C composite,
The metal silicon is impregnated. At this time, the metal silicon reacts with carbon atoms constituting carbon fibers in the composite and / or free carbon atoms remaining on the surface of the carbon fibers, and is partially carbonized. A partially carbonized silicon is formed between the yarns composed of the outermost surface of the C / C composite and the carbon fibers, and thus a matrix composed of silicon carbide is formed between the yarns. Is done.

【0018】 このマトリックスにおいては、極微量の
珪素と炭素とが結合したが炭化珪素質の相から、純粋な
炭化珪素結晶相に至るまで、いくつかの相異なる相を含
みうる。しかし、このマトリックスには、X線による検
出限界(0.3重量%)以下の金属珪素しか含まれな
い。つまり、このマトリックスは、典型的には炭化珪素
相からなるが、炭化珪素相には、珪素の含有量が傾斜的
に変化しているSiC質相を含みうる。従って、SiC
系材料とは、このようなSiC系列において、炭素の濃
度として、少なくとも0.01mol%以上から50m
ol%までの範囲以内で含まれてる材料の総称である。
なお、炭素濃度が、0.01mol%未満に制御するに
は、C/Cコンポジット中の遊離炭素の量とに関係で、
添加する金属珪素の量の厳密な計量が要求されること
と、最終工程での温度管理が複雑になるので実質的でな
い。従って、理論的には、炭素濃度を0.001mol
%程度まで制御することは可能である。
In this matrix, a very small amount of silicon and carbon are bonded but may contain several different phases from a silicon carbide phase to a pure silicon carbide crystal phase. However, this matrix contains only metallic silicon below the X-ray detection limit (0.3% by weight). That is, although this matrix is typically made of a silicon carbide phase, the silicon carbide phase may include a SiC-based phase in which the content of silicon is inclined. Therefore, SiC
The term “based material” refers to a concentration of carbon of at least 0.01 mol% or more and 50 m in such SiC series.
It is a generic term for materials contained within the range up to ol%.
In order to control the carbon concentration to less than 0.01 mol%, the amount of free carbon in the C / C composite is controlled as follows:
It is not practical because strict measurement of the amount of metallic silicon to be added is required and temperature control in the final step is complicated. Therefore, theoretically, the carbon concentration is 0.001 mol
% Can be controlled.

【0019】 このSi系複合材料について、図面を使
用してさらに説明することとする。このSiC系複合材
料の骨格部も、基本的には図1に示したものと同じであ
る。本発明に係るSiC系複合材料を、図1においての
IIa−IIa線で切断した場合の断面図は、図3
(a)、同じく図1においてのIIb−IIb線で切断
した場合の断面図は、図3(b)として示す。SiC系
複合材料17の骨格は、Si−SiC系複合材料7の骨
格と同様に、ヤーン集合体16によって構成されてい
る。ヤーン集合体16は、ヤーン配列体11A、11
B、11C、11D、11E、11Fを上下方向に積層
してなる。各ヤーン配列体においては、各ヤーン13が
二次元的に配列されており、各ヤーンの長手方向がほぼ
平行である。上下方向に隣り合う各ヤーン配列体におけ
る各ヤーンの長手方向は、直交している。すなわち、各
ヤーン配列体11A、11C、11Eの各ヤーン12A
の長手方向は、互いに平行であり、かつ各ヤーン配列体
11B、11D、11Fの各ヤーン12Bの長手方向に
対して直交している。各ヤーンは、炭素繊維と、炭素繊
維以外の炭素成分とからなる繊維束13からなる。ヤー
ン配列体が積層されることによって、三次元格子形状の
ヤーン集合体16が構成される。各ヤーンは、後述する
ような加圧成形工程の間に押しつぶされ、やや楕円形に
なっている。
The Si-based composite material will be further described with reference to the drawings. The skeleton of this SiC-based composite material is basically the same as that shown in FIG. FIG. 3 is a sectional view when the SiC-based composite material according to the present invention is cut along the line IIa-IIa in FIG.
FIG. 3A is a cross-sectional view taken along line IIb-IIb in FIG. The skeleton of the SiC-based composite material 17 is constituted by the yarn aggregate 16, similarly to the skeleton of the Si—SiC-based composite material 7. The yarn aggregate 16 includes the yarn arrays 11A and 11A.
B, 11C, 11D, 11E, and 11F are vertically stacked. In each yarn array, the yarns 13 are two-dimensionally arranged, and the longitudinal directions of the yarns are substantially parallel. The longitudinal direction of each yarn in each vertically arranged yarn array is orthogonal. That is, each yarn 12A of each yarn array 11A, 11C, 11E
Are parallel to each other and perpendicular to the longitudinal direction of each yarn 12B of each yarn array 11B, 11D, 11F. Each yarn is composed of a fiber bundle 13 composed of carbon fibers and carbon components other than carbon fibers. The yarn assembly 16 having a three-dimensional lattice shape is formed by stacking the yarn arrays. Each yarn is crushed during a pressing step, as described below, and is slightly oval.

【0020】 各ヤーン配列体11A、11C、11E
においては、隣り合う各ヤーンの間隙には、マトリック
ス18Aが充填されており、各マトリックス18Aはヤ
ーン12Aの表面に沿ってそれと平行に延びている。各
ヤーン配列体11B、11D、11Fにおいては、隣り
合う各ヤーンの間隙には、マトリックス18Bが充填さ
れており、各マトリックス18Bは、ヤーン12Bの表
面に沿ってそれと平行に延びている。図3(a)および
図3(b)に示したように、マトリックス18A、18
Bは、それぞれ、各ヤーンの表面を被覆する炭化珪素相
14からなっている。炭化珪素相の一部は、小突起部1
9として表面に突出するか、あるいは、複合部材の内部
においては、炭素繊維層に突出していてもよい。この様
な小突起部の内部には、中央値が約100μmの孔径を
有する気孔(空隙:15)が形成されている。なお、こ
の小突起部19は、殆どが原料のC/Cコンポジットの
炭素繊維以外の炭素成分からなるマトリックスの跡に沿
って形成されるので、ヤーンとヤーンとの間隔および/
またはヤーン配列体とヤーン配列体との間隔を適宜選択
することにより、単位面積当たりの小突起部19の密度
を調整することが可能である。隣接するヤーン12Aと
12Bとの間にも、炭化珪素相14が形成されていても
よい。
Each yarn array 11A, 11C, 11E
In, the gap between adjacent yarns is filled with a matrix 18A, and each matrix 18A extends along and parallel to the surface of the yarn 12A. In each of the yarn arrangements 11B, 11D, 11F, the gap between adjacent yarns is filled with a matrix 18B, and each matrix 18B extends along the surface of the yarn 12B and parallel thereto. As shown in FIGS. 3A and 3B, the matrices 18A and 18A
B consists of a silicon carbide phase 14 covering the surface of each yarn. Part of the silicon carbide phase is the small protrusion 1
It may project to the surface as 9 or to the carbon fiber layer inside the composite member. Inside such small projections, pores (voids: 15) having a median diameter of about 100 μm are formed. In addition, since the small protrusions 19 are formed along the traces of the matrix composed of carbon components other than the carbon fibers of the raw material C / C composite, the distance between the yarns and / or
Alternatively, the density of the small projections 19 per unit area can be adjusted by appropriately selecting the interval between the yarn arrays. Silicon carbide phase 14 may be formed between adjacent yarns 12A and 12B.

【0021】 各マトリックス18Aと18Bとは、そ
れぞれヤーンの表面に沿って細長く、好ましくは直線状
に延びており、各マトリックス18Aと18Bとは互い
に直交している。そして、ヤーン配列体11A、11
C、11Eにおけるマトリックス18Aと、これに直交
するヤーン配列体11B、11D、11Fにおけるマト
リックス18Bとは、それぞれヤーン12Aと12Bと
の間隙部分で連続している。この結果、マトリックス1
8A、18Bは、全体として、三次元格子を形成してい
る。
Each matrix 18A and 18B is elongated, preferably linear, along the surface of the yarn, respectively, and each matrix 18A and 18B is orthogonal to one another. Then, the yarn arrays 11A, 11
The matrix 18A in C and 11E and the matrix 18B in the yarn arrays 11B, 11D and 11F orthogonal thereto are continuous at the gap between the yarns 12A and 12B, respectively. As a result, matrix 1
8A and 18B form a three-dimensional lattice as a whole.

【0022】 なお、上記両材ともに、C/Cコンポジ
ットを骨格部とすることから、比重は約2g/ccと軽
く、取扱が容易である。また、熱膨張係数も2.0×1
-6/℃またはそれ以下であることから、低熱膨張材で
あり、熱遍歴を繰り返しても熱膨張により破損を生じる
ことはない。さらに、両材共に、熱伝導度が50W/m
・K以上と、良熱伝導体であるので、加熱の際に、急速
に所定温度まで昇温できる。
Since both of the above materials have a C / C composite as a skeleton, their specific gravity is as light as about 2 g / cc and handling is easy. The thermal expansion coefficient is 2.0 × 1
Since it is 0 −6 / ° C. or less, it is a low thermal expansion material, and does not suffer damage due to thermal expansion even if thermal cycling is repeated. Further, both materials have a thermal conductivity of 50 W / m.
-Since it is a good thermal conductor of K or more, the temperature can be rapidly raised to a predetermined temperature during heating.

【0023】 本発明に係るロウ付け用治具は、図4と
して示したプレート(21)と同プレートを図5に模式
的に示した様に、プレートの特定箇所、通常は、少なく
とも4箇所に設けられた切り欠き部(24)に支柱(2
2)を嵌合させて組み立てる。最下部のプレート(2
1)は、支柱(22)とボルトとナット等で直接結合さ
せる。その他のプレートは、スペーサー(23)を介し
て搭載すればよい。支柱としては、ステンレス製でも、
あるいは、プレート(21)と同じ材料で製造してもよ
い。スペーサーも同様である。切り欠き部の形状は、支
柱に使用する材料によっても異なるが、ステンレス製の
場合には、プレートと支柱との熱膨張率が異なるので、
若干の遊びができるように切り欠き部を設けることが必
要となる。同一部材の場合には、緊密に嵌合させること
ができるように同一形状として設ければよい。スペーサ
ーの支柱への取付には、機械構造的に固定できる方法で
あれば、特に制限はなく、任意の方法により行えばよ
い。
The brazing jig according to the present invention has a plate (21) shown in FIG. 4 and a plate, as schematically shown in FIG. 5, at specific positions on the plate, usually at least four positions. The support (2) is provided in the cutout (24) provided.
2) is fitted and assembled. Bottom plate (2
1) is directly connected to the column (22) with bolts and nuts. Other plates may be mounted via the spacer (23). Even if it is made of stainless steel,
Alternatively, it may be made of the same material as the plate (21). The same applies to the spacer. The shape of the notch varies depending on the material used for the support, but in the case of stainless steel, the coefficient of thermal expansion between the plate and the support differs,
It is necessary to provide a notch so as to allow some play. In the case of the same member, they may be provided in the same shape so that they can be tightly fitted. There is no particular limitation on the attachment of the spacer to the column as long as it can be mechanically fixed, and any method may be used.

【0024】[0024]

【実施例】 以下、実施例を挙げて本発明をさらに説明
するが、本発明はこれら実施例により何ら限定されるも
のではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be further described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0025】(プレートの製造例)炭素繊維を一方向に
引き揃えたものにフェノール樹脂を含浸させ、直径10
μmの炭素長繊維を約1万本束ね、繊維束(ヤーン)を
得、このヤーンを簾状にしたヤーン配列体(プレプリグ
シート)を作り、これを図1のように配列し、プリプレ
グシート積層体を得た。かくして得たプリプレグシート
積層体を直径が18mmの円柱状の型に巻き付け、この
上から炭素系接着剤を塗布し、ヤーン同士を固着した。
固着後、型から固着体を離型し、離型した円柱状のプリ
プレグシート積層体をオーブン中に入れ、含浸させたフ
ェノール樹脂を180℃、常圧で硬化させた後、窒素雰
囲気中で2000℃で焼成した。得られた焼成体を切
断、外周加工して、外周部の直径が540mmで、中心
部に設けた孔の直径が18mm、厚さが4mmのプレー
ト板を3枚製造した。このものに、純度99.9%、平
均粒径1mmのSi粉末を添加し、このものを炉内温度
1300℃、炉内圧1hPaの焼成炉内に入れ、炉内に
毎分アルゴンガスを20NLの割合で流しながら、4時
間保持した。次いで、炉内圧はそのままとし、炉内温度
を1600℃に昇温させて、Siを含浸させた。かくし
て、Si、Si−C、炭素繊維からなるSi−SiC系
複合材料をよりなる本発明に係るプレート板を得た。な
お、4箇所に設けた切り欠き部の大きさは、ステンレス
製の支柱に合わせて、若干のゆとりを持たせて設けた。
このものとステンレス製の支柱とスペーサーとを使用し
て、図5に示すようなロウ付け用治具を製造した。
(Production Example of Plate) A carbon fiber which is aligned in one direction is impregnated with a phenol resin and has a diameter of 10%.
Approximately 10,000 carbon long fibers of μm are bundled to obtain a fiber bundle (yarn), and a yarn array (prepreg sheet) in which the yarn is shaped like a cord is arranged as shown in FIG. A laminate was obtained. The thus-obtained prepreg sheet laminate was wound around a cylindrical mold having a diameter of 18 mm, and a carbon-based adhesive was applied thereon to fix the yarns together.
After the fixation, the fixed body was released from the mold, the released columnar prepreg sheet laminate was placed in an oven, and the impregnated phenol resin was cured at 180 ° C. and normal pressure. Fired at ℃. The obtained fired body was cut and processed into an outer periphery to produce three plate plates each having an outer peripheral portion having a diameter of 540 mm, a central hole having a diameter of 18 mm, and a thickness of 4 mm. To this, Si powder having a purity of 99.9% and an average particle diameter of 1 mm was added. This was placed in a firing furnace having a furnace temperature of 1300 ° C. and a furnace pressure of 1 hPa, and argon gas of 20 NL / min was introduced into the furnace. It was held for 4 hours while flowing at a ratio. Next, the furnace pressure was raised to 1600 ° C. while the furnace pressure was maintained, and Si was impregnated. Thus, a plate plate according to the present invention comprising a Si-SiC-based composite material comprising Si, Si-C, and carbon fibers was obtained. In addition, the size of the notch provided in four places was provided with some clearance in accordance with the stainless steel column.
Using this, a stainless steel column, and a spacer, a brazing jig as shown in FIG. 5 was manufactured.

【0026】 この治具を使用して、アルミ製製品のロ
ウ付けを行ったが、45日後にも、全く歪みの発生は、
認められなかった。
Using this jig, the aluminum product was brazed. Even after 45 days, no distortion occurred.
I was not able to admit.

【0027】[0027]

【発明の効果】 本発明に係るロウ付け用治具は、比重
が約2g/ccと軽いので、ロウ付け工程の準備の際の
持ち運び等の取扱作業が容易であり、また、熱伝導度が
50W/m・Kまたはそれ以上と高いので、ロウ付けの
際に必要とする加熱エネルギーがロウ付け用治具そのも
のの加熱に無駄に使用される度合いが少ないので、結果
としてエネルギーを節約することができる。また、熱膨
張係数も2.0×10-6/℃またはそれ以下であり、そ
の為、600℃を超える高温に長時間繰り返し暴露され
るような熱遍歴によっても実質的に歪みを起こさないの
で、長期間、例えば、1年以上の連続使用も可能であ
る。
EFFECT OF THE INVENTION The brazing jig according to the present invention has a light specific gravity of about 2 g / cc, so that it is easy to carry it around in preparation for the brazing process and to carry it out. Since it is as high as 50 W / m · K or more, the heating energy required for brazing is little wasted in heating the brazing jig itself, so that energy can be saved as a result. it can. In addition, the thermal expansion coefficient is 2.0 × 10 −6 / ° C. or less, and therefore, substantially no distortion is caused by thermal itinerary such as repeated exposure to a high temperature exceeding 600 ° C. for a long time. It can be used continuously for a long time, for example, one year or more.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のロウ付け用治具に使用する複合材料
の基本構造をなすヤーン集合体の構造を模式的に示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a structure of a yarn assembly which is a basic structure of a composite material used for a brazing jig of the present invention.

【図2】 (a)は、Si−SiC系複合材料を図1の
IIa−IIa線で切断した場合の断面図であり、
(b)は、同材料を図1のIIb−IIb線で切断した
場合の断面図である。
FIG. 2A is a cross-sectional view of a Si—SiC-based composite material cut along a line IIa-IIa in FIG. 1;
FIG. 2B is a cross-sectional view of the same material taken along line IIb-IIb in FIG. 1.

【図3】 (a)は、SiC系複合材料を図1のIIa
−IIa線で切断した場合の断面図であり、(b)は、
同材料を図1のIIb−IIb線で切断した場合の断面
図である。
FIG. 3A shows a SiC-based composite material IIa in FIG.
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line IIa, and FIG.
It is sectional drawing at the time of cutting | disconnecting the same material along the IIb-IIb line of FIG.

【図4】 本発明に係るロウ付け用治具の部品であるプ
レートの平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a plate which is a part of the brazing jig according to the present invention.

【図5】 本発明に係るロウ付け用治具の斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view of a brazing jig according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1A、1B、1C、1D、1Eおよび1F…ヤーン配列
体、2A…ヤーン、2B…ヤーン、3…繊維束(ヤー
ン)、4A…炭化珪素相、4B…炭化珪素相、4C…炭
化珪素相、5A…Si−SiC系材料相、5B…Si−
SiC系材料相、5C…Si−SiC系材料相、6…ヤ
ーン集合体、7…繊維複合材料、8A…マトリックス、
8B…マトリックス、11A、11B、11C、11
D、11Eおよび11F…ヤーン配列体、12A…ヤー
ン、12B…ヤーン、13…繊維束(ヤーン)、14…
炭化珪素相、15…空隙、16…ヤーン集合体、17…
繊維複合材料、18A…マトリックス、18B…マトリ
ックス、19…小突起部、21…プレート、22…支
柱、23…スペーサー、24…切り欠き部。
1A, 1B, 1C, 1D, 1E and 1F ... yarn arrangement, 2A ... yarn, 2B ... yarn, 3 ... fiber bundle (yarn), 4A ... silicon carbide phase, 4B ... silicon carbide phase, 4C ... silicon carbide phase, 5A ... Si-SiC material phase, 5B ... Si-
SiC-based material phase, 5C: Si-SiC-based material phase, 6: Yarn aggregate, 7: Fiber composite material, 8A: Matrix,
8B ... matrix, 11A, 11B, 11C, 11
D, 11E and 11F ... yarn arrangement, 12A ... yarn, 12B ... yarn, 13 ... fiber bundle (yarn), 14 ...
Silicon carbide phase, 15 ... voids, 16 ... yarn aggregate, 17 ...
Fiber composite material, 18A matrix, 18B matrix, 19 small projection, 21 plate, 22 support, 23 spacer, 24 cutout.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G001 BA60 BA62 BA76 BA86 BB22 BB60 BB62 BB86 BC17 BC22 BC33 BC47 BC56 BD03 BD04 BD07 BE15 BE32 4G032 AA33 AA42 AA52 BA01 GA06 GA11  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4G001 BA60 BA62 BA76 BA86 BB22 BB60 BB62 BB86 BC17 BC22 BC33 BC47 BC56 BD03 BD04 BD07 BE15 BE32 4G032 AA33 AA42 AA52 BA01 GA06 GA11

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 比重が約2g/cc、熱伝導度が50W
/m・K以上、熱膨張係数が2.0×10-6/℃または
それ以下であり、600℃を超える高温に長時間繰り返
し暴露されるような熱遍歴によっても実質的に歪みを起
こさない、炭素繊維と炭素繊維以外の炭素に、金属珪素
を含浸して得られる、炭素と炭化珪素と金属珪素、また
は炭素と炭化珪素とから構成される複合材料からなるロ
ウ付け用治具。
1. A specific gravity of about 2 g / cc and a thermal conductivity of 50 W
/ M · K or more, the coefficient of thermal expansion is 2.0 × 10 −6 / ° C. or less, and does not substantially cause distortion even when subjected to repeated thermal exposure to a high temperature exceeding 600 ° C. for a long time. A brazing jig made of a composite material composed of carbon, silicon carbide, and metal silicon, or carbon and silicon carbide, obtained by impregnating carbon fibers and carbon other than carbon fibers with carbon.
【請求項2】 該複合材料が、55重量%〜75重量%
の炭素と、1重量%〜10重量%の珪素と、10重量%
〜50重量%の炭化珪素とから構成され、少なくとも炭
素繊維の束と炭素繊維以外の炭素成分とを含有するヤー
ンが層方向に配向しつつ三次元的に組み合わされ、互い
に分離しないように一体化されているヤーン集合体と、
このヤーン集合体中で隣り合う前記ヤーンの間に充填さ
れているSi−SiC系材料からなるマトリックスとを
備え、0.05〜0.6の動摩擦係数と、0.5%〜1
0%に制御された気孔率とを有する複合材料、または炭
化珪素と炭素繊維と炭素繊維以外の炭素成分とから構成
され、骨格部と骨格部の周囲に形成されマトリックスと
からなる構造を有するSiC−C/Cコンポジット複合
材料であって、炭化珪素の少なくとも50%はβ型で、
骨格部は、炭素繊維と炭素繊維以外の炭素成分により形
成されており、その骨格部の一部分には炭化珪素が存在
していてもよく、マトリックスは、炭化珪素により形成
され、前記マトリックスと前記骨格部とは一体的に形成
されており、かつ、前記複合材料は0.5%〜5%の気
孔率と二山型の平均気孔径の分布を有する複合材料であ
る請求項1に記載のロウ付け用治具。
2. The method according to claim 1, wherein the composite material comprises 55% to 75% by weight.
Carbon, 1% to 10% silicon, 10% by weight
5050% by weight of silicon carbide, yarns containing at least a bundle of carbon fibers and a carbon component other than carbon fibers are three-dimensionally combined while being oriented in the layer direction, and integrated so as not to be separated from each other. Yarn assembly that is
A matrix made of a Si-SiC-based material filled between the yarns adjacent to each other in the yarn aggregate; a dynamic friction coefficient of 0.05 to 0.6;
A composite material having a porosity controlled to 0%, or SiC comprising silicon carbide, carbon fiber, and a carbon component other than carbon fiber, having a structure formed of a skeleton and a matrix formed around the skeleton. A C / C composite composite, wherein at least 50% of the silicon carbide is of the β type;
The skeleton is formed of carbon fiber and a carbon component other than the carbon fiber, and silicon carbide may be present in a part of the skeleton, and the matrix is formed of silicon carbide, and the matrix and the skeleton are formed. The wax according to claim 1, wherein the wax is integrally formed with the portion, and the composite material is a composite material having a porosity of 0.5% to 5% and a distribution of two-peaked average pore diameter. Fixture jig.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010539699A (en) * 2007-09-14 2010-12-16 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. Lithographic apparatus having a rotating filter device
JP2011190169A (en) * 2010-02-18 2011-09-29 Hitachi Chem Co Ltd Carbon fiber composite material, and break member, structural member for semiconductors, heat-resistant panel and heat sink using the carbon fiber composite material
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