JP2000283935A - Sample analyzer - Google Patents

Sample analyzer

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JP2000283935A
JP2000283935A JP11087652A JP8765299A JP2000283935A JP 2000283935 A JP2000283935 A JP 2000283935A JP 11087652 A JP11087652 A JP 11087652A JP 8765299 A JP8765299 A JP 8765299A JP 2000283935 A JP2000283935 A JP 2000283935A
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JP
Japan
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state
server
file
html
epma
Prior art date
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Pending
Application number
JP11087652A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Yamada
田 浩 之 山
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample analyzer capable of notifying the device state to a place other than a room where the analyzer is installed, without preparing exclusive hardware or software for a computer network. SOLUTION: When an EPMA body is started, an analysis control means 3 recognizes the state of the EPMA body in every fixed time, and sends data showing the state to a device state Html-forming means 4. The Html-forming means 4 makes a file of the data in the Html form. The file in the Html form is memorized in a memory part 5. A Web browser is integrated in a personal computer 10, and an operator uses the Web browser and designates an address (URL) given to a server 6, and thereby accesses the server 6 and designates a required file, to be able to read a device state file memorized in the memory part 5 through the server 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】 本発明は、電子プローブマ
イクロアナライザ(EPMA)等の試料分析装置に関す
る。
The present invention relates to a sample analyzer such as an electron probe microanalyzer (EPMA).

【0002】[0002]

【従来の技術】 EPMAは、試料に電子線を照射し、
その照射により試料から発生した特性X線を検出して、
試料の定性および定量分析を行う装置である。
2. Description of the Related Art EPMA irradiates a sample with an electron beam,
By detecting characteristic X-rays generated from the sample by the irradiation,
It is a device that performs qualitative and quantitative analysis of a sample.

【0003】このようなEPMAの装置状態(電子線設
定状態、分光器設定状態、排気系状態、試料ステージ位
置等)を確認するときには、オペレータが装置の前に行
くのが基本である。
When confirming the state of the EPMA apparatus (electron beam setting state, spectroscope setting state, exhaust system state, sample stage position, etc.), it is fundamental that an operator goes to the front of the apparatus.

【0004】ところが近年、コンピュータネットワーク
が普及し、そのための専用のハードウエアやソフトウエ
アを用意すれば、オペレータは、装置が設置されている
部屋以外からでも装置の状態を知ることができるように
なった。
However, in recent years, computer networks have become widespread, and if dedicated hardware and software are prepared for the purpose, an operator can know the state of the apparatus from a room other than the room where the apparatus is installed. Was.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、この
ような専用のハードウエアやソフトウエアを用意するに
はコストがかかり、また、オペレータは、あらかじめそ
れらが整備されている場所でないと装置の状態を知るこ
とができなかった。
However, it is costly to prepare such dedicated hardware and software, and the operator knows the state of the apparatus unless it is in a place where they are already prepared. I couldn't do that.

【0006】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、コンピュータネットワークのための
専用のハードウエアやソフトウエアを用意しなくても、
装置が設置されている部屋以外からでも装置状態を知る
ことができる試料分析装置を提供することにある。
[0006] The present invention has been made in view of such a point, and its object is to provide a computer network without preparing dedicated hardware and software.
An object of the present invention is to provide a sample analyzer capable of knowing the state of an apparatus even from a room other than the room where the apparatus is installed.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の試料分析装置は、装置状態を表すデータを所定の
形式にファイル化する手段と、該ファイル化されたデー
タを記憶する記憶手段と、ネットワーク接続される他の
コンピュータとのデータのやりとりを行うサーバ手段と
を有し、ネットワーク接続されるコンピュータからの要
求に対して、前記サーバ手段を介して前記記憶手段に記
憶されたデータを送信するように構成されている。
Means for Solving the Problems A sample analyzer according to the present invention for achieving the above object has a means for filing data representing the state of the apparatus in a predetermined format, and a storage means for storing the filed data. Server means for exchanging data with another computer connected to the network, and transmitting data stored in the storage means via the server means in response to a request from the computer connected to the network. It is configured to be.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】図1は、本発明の試料分析装置の一例を示
した図であり、本発明をEPMAに適用した例を示した
図である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of the sample analyzer of the present invention, and is a diagram showing an example in which the present invention is applied to EPMA.

【0010】図1において、1はEPMA本体であり、
EPMA本体1は、電子銃や電子レンズや光学顕微鏡や
X線検出装置等を備えている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an EPMA main body;
The EPMA main body 1 includes an electron gun, an electron lens, an optical microscope, an X-ray detector, and the like.

【0011】2はCPUで、CPU2はEPMA本体1
に接続されている。このCPU2は、EPMA本体1を
制御する分析制御手段3と、装置状態Html化手段4
と、記憶部5と、サーバ6を備えている。
Reference numeral 2 denotes a CPU.
It is connected to the. The CPU 2 includes an analysis control unit 3 for controlling the EPMA main body 1 and a device state Html conversion unit 4.
, A storage unit 5 and a server 6.

【0012】また、CPU2は、入力手段7、分析結果
等を表示する表示装置8に接続され、さらにLAN9を
介してパーソナルコンピュータ10、11にネットワー
ク接続されている。このパーソナルコンピュータ10や
11は、EPMA本体1が設置されている部屋とは別の
部屋に設置されている。
The CPU 2 is connected to input means 7 and a display device 8 for displaying analysis results and the like, and is further connected to personal computers 10 and 11 via a LAN 9 via a network. The personal computers 10 and 11 are installed in a room different from the room where the EPMA body 1 is installed.

【0013】このような構成において、オペレータが入
力手段7により装置の起動を指示すると、分析制御手段
3は、EPMA本体1を起動させる。
In such a configuration, when the operator instructs the activation of the apparatus by the input means 7, the analysis control means 3 activates the EPMA main body 1.

【0014】EPMA本体1が起動すると、分析制御手
段3は、ある一定時間毎にEPMA本体1の状態(電子
線設定状態、分光器設定状態、排気系状態、試料ステー
ジ位置など)を認識し、その状態を表すデータを装置状
態Html化手段4に送る。
When the EPMA main body 1 is started, the analysis control means 3 recognizes the state of the EPMA main body 1 (electron beam setting state, spectroscope setting state, exhaust system state, sample stage position, etc.) at regular intervals. The data representing the state is sent to the apparatus state Html conversion means 4.

【0015】Html化手段4は、分析制御手段3から
送られてくる装置状態を表すデータをHtmlの形式に
ファイル化する。このHtml形式のファイルは記憶部
5に記憶され、その内容は、分析制御手段3による装置
状態認識毎に上書きされる。なお、分析制御手段3によ
る装置状態認識は、EPMA本体1における試料分析の
間行われる。
The Html conversion unit 4 converts the data indicating the device status transmitted from the analysis control unit 3 into a file in the Html format. The HTML format file is stored in the storage unit 5 and its contents are overwritten each time the analysis control unit 3 recognizes the device state. The apparatus state recognition by the analysis control means 3 is performed during the sample analysis in the EPMA main body 1.

【0016】図2は、図1の装置の動作を示したフロー
チャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the apparatus shown in FIG.

【0017】さて、最近のコンピュータ、特にパーソナ
ルコンピュータには、インターネットを利用する際に必
要な閲覧ソフトウエア(Webブラウザ)が殆ど標準で
組み込まれている。このため、オペレータは、パーソナ
ルコンピュータ10や11のWebブラウザを用い、サ
ーバ6に付与されているアドレス(URL)を指定する
ことによりこのサーバ6にアクセスして必要なファイル
を指定すれば、記憶部5に記憶された装置状態ファイル
をサーバ6を介して閲覧することができる。
By the way, in recent computers, especially personal computers, browsing software (Web browser) necessary for using the Internet is almost standard incorporated. For this reason, if the operator accesses the server 6 by specifying the address (URL) assigned to the server 6 using the Web browser of the personal computer 10 or 11, and specifies a necessary file, the storage unit 5 can be browsed via the server 6.

【0018】このように図1の装置においては、従来の
ように専用のハードウエアやソフトウエアを用意しなく
ても、装置が設置されている部屋以外から装置状態を知
ることができる。
As described above, in the apparatus shown in FIG. 1, the state of the apparatus can be known from a room other than the room where the apparatus is installed, without preparing dedicated hardware and software as in the related art.

【0019】以上、図1の装置を用いて本発明の一例を
説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
As described above, an example of the present invention has been described using the apparatus of FIG. 1, but the present invention is not limited to this.

【0020】例えば、上記例では、一定時間毎に装置状
態を表すデータが上書きされるが、その一定時間の間に
変化したデータだけをHtmlファイル化して書き替え
るようにしても良い。その場合、前記分析制御手段3
が、新しく認識した装置状態と記憶部5に記憶されてい
る装置状態とを比較し、一致しない内容だけをHtml
化手段4に送るように動作すれば良い。
For example, in the above example, the data indicating the device status is overwritten at regular intervals, but only the data that has changed during the constant time may be rewritten by converting the data into an HTML file. In that case, the analysis control means 3
Compares the newly recognized device status with the device status stored in the storage unit 5 and determines only the content that does not match is the Html
What is necessary is just to operate so that it may send to the conversion means 4.

【0021】また、一定時間毎ではなく、装置状態が変
化した時だけ、分析制御手段3が装置状態を表すデータ
をHtml化手段4に送るようにしても良い。
Alternatively, the analysis control means 3 may send data indicating the apparatus state to the Html-forming means 4 only when the state of the apparatus changes, not at regular intervals.

【0022】また、装置の状態でけでなく、使用時間
や、入力手段7から入力される使用者名等のさまざまな
データをHtmlファイル化するようにしても良い。
Various data such as the usage time and the user name input from the input means 7 as well as the state of the apparatus may be converted into an HTML file.

【0023】また、Htmlファイルに限定されるもの
ではなく、Webブラウザで表示できるファイルならど
のようなファイルでも良い。
The file is not limited to the HTML file, and may be any file that can be displayed by a Web browser.

【0024】また、前記記憶部5にHtml化された試
料分析プログラムを予め記憶しておき、パーソナルコン
ピュータのWebブラウザを用いてサーバ6にアクセス
し、その試料分析プログラムをスタートさせる指示をサ
ーバ6を介して与えるようにしても良い。
Further, the sample analysis program converted into HTML is stored in the storage unit 5 in advance, and the server 6 is accessed using a Web browser of a personal computer, and an instruction to start the sample analysis program is sent to the server 6. You may give it through.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の試料分析装置の一例を示した図であ
る。
FIG. 1 is a diagram showing an example of a sample analyzer of the present invention.

【図2】 図1の装置の動作を示したフローチャートで
ある。
FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the apparatus of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…EPMA本体、2…CPU、3…分析制御手段、4
…装置状態Html化手段、5…記憶部、6…サーバ、
7…入力手段、8…表示装置、9…LAN、10、11
…パーソナルコンピュータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... EPMA main body, 2 ... CPU, 3 ... Analysis control means, 4
... Device status Html conversion means, 5... Storage unit, 6.
7 input means, 8 display device, 9 LAN, 10, 11
…Personal computer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 装置状態を表すデータを所定の形式にフ
ァイル化する手段と、該ファイル化されたデータを記憶
する記憶手段と、ネットワーク接続される他のコンピュ
ータとのデータのやりとりを行うサーバ手段とを有し、
ネットワーク接続されるコンピュータからの要求に対し
て、前記サーバ手段を介して前記記憶手段に記憶された
データを送信するように構成された試料分析装置。
1. A means for filing data representing an apparatus state in a predetermined format, a storage means for storing the filed data, and a server means for exchanging data with another computer connected to a network. And
A sample analyzer configured to transmit data stored in the storage unit via the server unit in response to a request from a computer connected to a network.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006023223A (en) * 2004-07-09 2006-01-26 Shimadzu Corp Analyzer
US7146229B2 (en) 2004-02-13 2006-12-05 Shimadzu Corporation Controller for an analyzer

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