JP2000277041A - Analytical x-ray tube - Google Patents
Analytical x-ray tubeInfo
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- JP2000277041A JP2000277041A JP11079601A JP7960199A JP2000277041A JP 2000277041 A JP2000277041 A JP 2000277041A JP 11079601 A JP11079601 A JP 11079601A JP 7960199 A JP7960199 A JP 7960199A JP 2000277041 A JP2000277041 A JP 2000277041A
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- anode target
- support
- ray tube
- output window
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、分析の高精度化
を実現する分析用Ｘ線管に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray tube for analysis which realizes high-precision analysis.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の分析用Ｘ線管について、蛍光Ｘ線
分析に使用される分析用Ｘ線管を例にとり図７を参照し
て説明する。図７は、分析用Ｘ線管の先端部分を横方向
から見た断面図である。なお符号ｍは管軸を示してい
る。2. Description of the Related Art A conventional analytical X-ray tube will be described with reference to FIG. 7 taking an analytical X-ray tube used for X-ray fluorescence analysis as an example. FIG. 7 is a cross-sectional view of the tip portion of the X-ray tube for analysis as viewed from the lateral direction. The symbol m indicates the tube axis.
【０００３】分析用Ｘ線管を構成する真空外囲器７１
は、先端部分の外径が徐々に細くなり、前面は平坦にな
っている。そして、その平坦な部分にＸ線を透過する出
力窓７２が設けられている。出力窓７２は、Ｘ線の減衰
が少ない材料、たとえばＢｅで形成され、また、厚さは
数１０〜数１００μｍと薄く形成されている。A vacuum envelope 71 constituting an X-ray tube for analysis
The outer diameter of the tip portion gradually becomes smaller, and the front surface becomes flat. An output window 72 for transmitting X-rays is provided in the flat portion. The output window 72 is made of a material with little X-ray attenuation, for example, Be, and is formed as thin as several tens to several hundreds of μm.
【０００４】真空外囲器７１の内部には、出力窓７２に
対向して陽極ターゲット７３が配置されている。なお、
陽極ターゲット７３は支持体７４で支持されている。陽
極ターゲット７３の外側には収束電極７５が配置され、
収束電極７５の外側には陰極フィラメント７６が配置さ
れている。陰極フィラメント７６は、収束電極７５の外
周部に固定された環状の支持部材７７によって支持され
ている。陽極ターゲット７３を支える支持体７４の内部
空間７８は、陽極部分を冷却するための冷却水路となっ
ている。また、真空外囲器７１の一部には、真空外囲器
７１部分を冷却するための冷却水路７９が設けられてい
る。An anode target 73 is disposed inside a vacuum envelope 71 so as to face an output window 72. In addition,
The anode target 73 is supported by a support 74. A focusing electrode 75 is arranged outside the anode target 73,
A cathode filament 76 is arranged outside the focusing electrode 75. The cathode filament 76 is supported by an annular support member 77 fixed to the outer periphery of the focusing electrode 75. The internal space 78 of the support 74 that supports the anode target 73 is a cooling water passage for cooling the anode portion. Further, a cooling water passage 79 for cooling the vacuum envelope 71 is provided in a part of the vacuum envelope 71.
【０００５】分析用Ｘ線管が動作状態に入ると、陰極フ
ィラメント７６から電子Ｅが発生する。電子Ｅは陰極と
陽極間の電圧で加速され、また、真空外囲器７１と収束
電極７５によって収束され、陽極ターゲット７３に衝突
しＸ線８０を発生する。発生したＸ線８０は出力窓７２
を通して測定試料８１に照射される。Ｘ線８０が照射さ
れると測定試料８１は蛍光Ｘ線８２を励起し、励起され
た蛍光Ｘ線８２は、スリットや分光結晶などの機構（図
示せず）を通して検出器８３に入力する。そして、検出
器８３では、励起された蛍光Ｘ線８２を検出し、測定試
料８１を構成する物質が分析される。When the analytical X-ray tube enters an operating state, electrons E are generated from the cathode filament 76. The electrons E are accelerated by the voltage between the cathode and the anode, are focused by the vacuum envelope 71 and the focusing electrode 75, collide with the anode target 73, and generate X-rays 80. The generated X-ray 80 is output from an output window 72.
Irradiates the measurement sample 81 through the When irradiated with the X-rays 80, the measurement sample 81 excites the fluorescent X-rays 82, and the excited fluorescent X-rays 82 are input to the detector 83 through a mechanism (not shown) such as a slit or a spectral crystal. Then, the detector 83 detects the excited fluorescent X-rays 82 and analyzes a substance constituting the measurement sample 81.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】蛍光分析用Ｘ線管は分
析精度の向上が求められている。分析精度の向上には高
強度のＸ線出力が必要とされ、また、分析用Ｘ線管内か
ら発生する不純線（たとえば蛍光Ｘ線）の低減が要求さ
れている。An X-ray tube for fluorescence analysis is required to have higher analysis accuracy. In order to improve the analysis accuracy, high-intensity X-ray output is required, and reduction of impurity lines (for example, fluorescent X-rays) generated from inside the analysis X-ray tube is required.
【０００７】ところで、従来の分析用Ｘ線管の場合、陽
極ターゲットから発生したＸ線はほとんどが出力窓の方
向に照射される。このとき、図７に示すように電子の衝
突によって、陽極ターゲット７３からＸ線８０と同時に
２次電子８４も発生する。２次電子８４は、陽極ターゲ
ット７３の全周方向へ散乱し、真空外囲器７１の内面や
管内部品に衝突し不純線８５を励起する。励起した不純
線はスリットや分光結晶などの機構を通して検出器８３
に入力する。このため、測定試料８１が構成する物質以
外の蛍光Ｘ線が検出され、分析精度を悪化させる。In the case of a conventional analytical X-ray tube, most of the X-rays generated from the anode target are irradiated in the direction of the output window. At this time, as shown in FIG. 7, secondary electrons 84 are generated simultaneously with the X-rays 80 from the anode target 73 due to the collision of the electrons. The secondary electrons 84 scatter in the entire circumferential direction of the anode target 73, collide with the inner surface of the vacuum envelope 71 and components inside the tube, and excite the impurity wire 85. The excited impurity line is detected by a detector 83 through a mechanism such as a slit or a spectral crystal.
To enter. For this reason, fluorescent X-rays other than the substances included in the measurement sample 81 are detected, which deteriorates the analysis accuracy.
【０００８】本発明は、上記の不都合を解決するもの
で、２次電子の衝突などで発生する不純線を低減し、分
析の高精度化を実現した分析用Ｘ線管を提供することを
目的とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages and to provide an X-ray tube for analysis which can reduce impurity lines generated due to collision of secondary electrons or the like and realize high-precision analysis. And
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線を透過す
る出力窓が一部に形成された真空外囲器と、この真空外
囲器内で前記出力窓に対向して設けられた陽極ターゲッ
トと、この陽極ターゲットを支持する支持体と、前記陽
極ターゲットの外側に位置する収束電極と、この収束電
極の外側に位置し、前記陽極ターゲットに照射する電子
を放出する陰極フィラメントとを具備した分析用Ｘ線管
において、前記支持体の少なくとも一部の外表面が前記
陽極ターゲットの外周部よりも管軸よりの内側に位置し
ていることを特徴としている。According to the present invention, there is provided a vacuum envelope in which an output window for transmitting X-rays is partially formed, and provided inside the vacuum envelope so as to face the output window. An anode target, a support for supporting the anode target, a focusing electrode located outside the anode target, and a cathode filament located outside the focusing electrode and emitting electrons for irradiating the anode target. In the analytical X-ray tube described above, at least a part of the outer surface of the support is located inside the tube axis with respect to the outer peripheral portion of the anode target.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、分
析用Ｘ線管の先端部分を横方向から見た断面図である図
１を参照して説明する。なお符号ｍは管軸を示してい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1 which is a cross-sectional view of a tip portion of an X-ray tube for analysis as viewed from a lateral direction. The symbol m indicates the tube axis.
【００１１】分析用Ｘ線管を構成する真空外囲器１１
は、先端外径が徐々に細くなり、前面は平坦になってい
る。そして、その平坦な部分にＸ線を透過する出力窓１
２が設けられている。真空外囲器１１の内部には、出力
窓１２に対向して円板状の陽極ターゲット１３が配置さ
れている。陽極ターゲット１３は、陽極ターゲット１３
と軸を共通にする、たとえば円柱状の支持体１４で支持
されている。Vacuum envelope 11 constituting X-ray tube for analysis
The outer diameter of the tip gradually becomes thinner, and the front face becomes flat. An output window 1 that transmits X-rays on the flat portion
2 are provided. A disk-shaped anode target 13 is arranged inside the vacuum envelope 11 so as to face the output window 12. The anode target 13 is an anode target 13.
The shaft is supported by a columnar support 14 having a common axis.
【００１２】支持体１４は、陽極ターゲット１３と同じ
直径をもつフランジ状の第１支持部分１４ａ、および、
第１支持部分１４ａよりも直径が小さく、第１支持部分
１４ａと一体の第２支持部分１４ｂなどから構成されて
いる。そして、第１支持部分１４ａの端面が陽極ターゲ
ット１３と接合されている。The support 14 has a first support portion 14 a in the form of a flange having the same diameter as the anode target 13, and
The first support portion 14a is smaller in diameter than the first support portion 14a, and includes a second support portion 14b integrated with the first support portion 14a. The end face of the first support portion 14a is joined to the anode target 13.
【００１３】また、陽極ターゲット１３の外側に収束電
極１５が配置され、収束電極１５の外側に陰極フィラメ
ント１６が配置されている。陰極フィラメント１６は、
収束電極１５の外周部に固定された環状の支持部材１７
によって支持されている。また、陽極ターゲット１３を
支持する支持体１４の内部空間、たとえば第２支持部分
１４ｂの内側に位置する内部空間１８は、陽極部分を冷
却するための冷却水路になっている。また、真空外囲器
１１の一部に、真空外囲器１１を冷却するための冷却水
路１９が設けられている。A focusing electrode 15 is arranged outside the anode target 13, and a cathode filament 16 is arranged outside the focusing electrode 15. The cathode filament 16 is
An annular support member 17 fixed to the outer peripheral portion of the focusing electrode 15
Supported by Further, an internal space of the support 14 supporting the anode target 13, for example, an internal space 18 located inside the second support portion 14b is a cooling water passage for cooling the anode portion. Further, a cooling water passage 19 for cooling the vacuum envelope 11 is provided in a part of the vacuum envelope 11.
【００１４】上記した構成において、分析用Ｘ線管が動
作状態に入ると、陰極フィラメント１６から電子Ｅが発
生する。電子Ｅは陰極と陽極間の電圧で加速され、ま
た、真空外囲器１１と収束電極１５で収束され、陽極タ
ーゲット１３の表面に衝突し、Ｘ線２０を発生する。発
生したＸ線２０は、図６の従来技術で説明したように、
出力窓１２を通して測定試料に照射され、測定試料を構
成する物質の分析などに利用される。In the above configuration, when the analysis X-ray tube enters the operating state, electrons E are generated from the cathode filament 16. The electrons E are accelerated by the voltage between the cathode and the anode, are focused by the vacuum envelope 11 and the focusing electrode 15, collide with the surface of the anode target 13, and generate X-rays 20. The generated X-ray 20 is, as described in the prior art of FIG.
The measurement sample is irradiated through the output window 12, and is used for analysis of a substance constituting the measurement sample.
【００１５】ところで、電子Ｅが陽極ターゲット１３の
表面に衝突してＸ線２０を発生する際、符号２１で示す
ように２次電子も同時に発生し散乱する。２次電子２１
は、たとえば支持体１４に衝突し、符号２２で示すよう
に不純線（たとえば蛍光Ｘ線）を励起する。When the electron E collides with the surface of the anode target 13 to generate X-rays 20, secondary electrons are simultaneously generated and scattered as indicated by reference numeral 21. Secondary electrons 21
Collides with, for example, the support 14 and excites an impurity line (for example, fluorescent X-ray) as indicated by reference numeral 22.
【００１６】しかし、上記した構成の場合、支持体１４
のほとんどの部分を占める第２支持部分１４ｂの直径が
陽極ターゲット１３よりも小さくなっている。したがっ
て、陽極ターゲット１３よりも直径が小さい領域では、
支持体１４の外表面が陽極ターゲット１３の外周部より
も管軸ｍよりの内側に位置している。そのため、支持体
１４から発生した不純線２２は、第１支持部分１４ａや
陽極ターゲット１３によって遮蔽される。この場合、出
力窓１２の部分と陽極ターゲット１３の外周部分との隙
間が実質的に狭くなり、出力窓１２を透過する不純線２
２が減少する。その結果、測定試料の物質を分析する際
に、スリットや分光結晶などの機構を通して検出器に入
力する不純線が減少し、分析精度が向上する。However, in the case of the above structure, the support 14
Is smaller than the anode target 13 in diameter. Therefore, in a region having a smaller diameter than the anode target 13,
The outer surface of the support 14 is located inside the tube axis m with respect to the outer peripheral portion of the anode target 13. Therefore, the impurity wire 22 generated from the support 14 is shielded by the first support portion 14 a and the anode target 13. In this case, the gap between the portion of the output window 12 and the outer peripheral portion of the anode target 13 is substantially narrowed, and the impurity line 2 transmitted through the output window 12 is
2 decreases. As a result, when analyzing the substance of the measurement sample, impure lines input to the detector through a mechanism such as a slit or a spectral crystal are reduced, and the analysis accuracy is improved.
【００１７】なお、この場合、不純線２２の遮蔽効果を
大きくするために、支持体１４は、陽極ターゲット１３
よりも外径が小さい第２支持部分１４ｂの方を、陽極タ
ーゲット１３と外径が同じ第１支持部分１４ａよりも、
管軸方向の長さが長くなるようにしている 次に、本発明の他の実施形態について、分析用Ｘ線管の
先端部分を横方向から断面にした図２の断面図を参照し
て説明する。図２では、図１に対応する部分には同一の
符号を付し、重複する説明を省略する。In this case, in order to increase the effect of shielding the impure wires 22, the support 14 is provided with the anode target 13
The second support portion 14b having a smaller outer diameter than the first support portion 14a having the same outer diameter as the anode target 13 has a smaller diameter.
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the cross-sectional view of FIG. 2 in which the tip portion of the X-ray tube for analysis is sectioned in the lateral direction. I do. In FIG. 2, parts corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.
【００１８】この実施形態では、陽極ターゲット１３の
出力窓１２側表面の環状の縁３１がある狭い幅で高く構
成されている。そして、縁３１の部分を除いた表面３２
は、たとえばその中央３２ａが底になるような凹面に構
成されている。In this embodiment, the annular edge 31 on the surface of the anode target 13 on the side of the output window 12 has a narrow width and a high height. The surface 32 excluding the edge 31
Is formed in a concave surface such that its center 32a becomes the bottom.
【００１９】上記した構成において、分析用Ｘ線管が動
作状態に入ると、陰極フィラメント１６から電子Ｅが発
生する。電子Ｅは陰極と陽極間の電圧で加速され、ま
た、真空外囲器１１と収束電極１５で収束され、陽極タ
ーゲット表面３２の凹面に衝突しＸ線２０を発生する。
また、２次電子２１も同時に発生する。In the above configuration, when the analysis X-ray tube enters the operating state, electrons E are generated from the cathode filament 16. The electrons E are accelerated by the voltage between the cathode and the anode, are focused by the vacuum envelope 11 and the focusing electrode 15, collide with the concave surface of the anode target surface 32, and generate X-rays 20.
Secondary electrons 21 are also generated at the same time.
【００２０】このとき、横方向に進むＸ線や２次電子２
１は、凹面周辺の浅い部分や縁３１の部分で遮蔽され、
側面方向への照射や散乱が抑えられる。そのため、真空
外囲器１１内面や管内部品へのＸ線や２次電子２１の衝
突が少なくなり、不純線の励起が減少する。At this time, X-rays and secondary electrons 2
1 is shielded by a shallow portion around the concave surface and a portion of the rim 31,
Irradiation and scattering in the side direction are suppressed. Therefore, the collision of the X-rays and the secondary electrons 21 on the inner surface of the vacuum envelope 11 and the parts in the tube is reduced, and the excitation of the impure wires is reduced.
【００２１】また、Ｘ線や２次電子２１が陽極ターゲッ
ト１３の縁３１を越えて、支持体１４などに衝突し、不
純線２２を励起しても、これらの不純線２２は、第１支
持部分１４ａや陽極ターゲット１３によって遮蔽され
る。Further, even if the X-rays or secondary electrons 21 cross the edge 31 of the anode target 13 and collide with the support 14 to excite the impurity lines 22, the impurity lines 22 are It is shielded by the portion 14a and the anode target 13.
【００２２】したがって、測定試料の物質を分析する際
に、スリットや分光結晶などの機構を通して検出器に入
力する不純線が減少し、分析精度が向上する。Therefore, when analyzing the substance of the measurement sample, the number of impure lines input to the detector through a mechanism such as a slit or a spectral crystal is reduced, and the analysis accuracy is improved.
【００２３】なお、図２の場合、陽極ターゲット１３の
出力窓１２側表面の環状の縁３１がある幅で高く構成さ
れている。しかし、陽極ターゲット１３の出力窓１２側
の表面全体を凹面に構成することもできる。In the case of FIG. 2, the annular edge 31 on the surface of the anode target 13 on the side of the output window 12 is configured to have a certain width. However, the entire surface of the anode target 13 on the side of the output window 12 may be configured to be concave.
【００２４】次に本発明のもう１つの他の実施形態につ
いて、分析用Ｘ線管の先端部分を横方向から断面にした
図３の断面図を参照して説明する。図３では、図１に対
応する部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略
する。Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to a cross-sectional view of FIG. 3 in which a tip portion of an X-ray tube for analysis is cross-sectionally viewed from a lateral direction. 3, parts corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.
【００２５】この実施形態では、陽極ターゲット１３の
環状の縁にある高さの壁４１が構成されている。そし
て、壁４１の部分を除いた表面は、ほぼ平坦な面に構成
されている。In this embodiment, a wall 41 having a height at the annular edge of the anode target 13 is formed. The surface excluding the wall 41 is formed as a substantially flat surface.
【００２６】この構成の場合、陽極ターゲット１３から
発生して横方向に向うＸ線や２次電子２１は環状の壁４
１で遮蔽され、側面方向への照射や散乱が抑えられる。
そのため、真空外囲器１１内面や管内部品へのＸ線や２
次電子２１の衝突が少なくなり、不純線の励起が減少す
る。また、Ｘ線や２次電子２１が陽極ターゲット１３の
壁４１を越えて、支持体１４などに衝突し、不純線２２
を励起しても、これらの不純線２２は、第１支持部分１
４ａや陽極ターゲット１３によって遮蔽される。In the case of this configuration, the X-rays and secondary electrons 21 generated from the anode target 13 and directed in the horizontal direction are applied to the annular wall 4.
1, so that irradiation and scattering in the side direction can be suppressed.
For this reason, X-rays or 2
Collision of secondary electrons 21 is reduced, and excitation of impure wires is reduced. Further, X-rays and secondary electrons 21 cross the wall 41 of the anode target 13 and collide with the support 14 and the like, and the
Are excited, these impurity lines 22
4a and the anode target 13.
【００２７】したがって、測定試料の物質を分析する際
に、スリットや分光結晶などの機構を通して検出器に入
力する不純線が減少し、分析精度が向上する。Therefore, when analyzing the substance of the measurement sample, the number of impurity lines input to the detector through a mechanism such as a slit or a spectral crystal is reduced, and the analysis accuracy is improved.
【００２８】次に、陽極ターゲット１３を支持する支持
体１４の他の構造例について図４〜図６を参照して説明
する。図４の例では、陽極ターゲット１３と接合される
第１支持部分１４ａの陽極ターゲット１３側の面が陽極
ターゲット１３と同じ面積に形成されている。そして、
径の小さい第２支持部分１４ｂ方向に向って徐々に直径
が小さくなるテーパ状に形成されている。Next, another example of the structure of the support 14 for supporting the anode target 13 will be described with reference to FIGS. In the example of FIG. 4, the surface on the anode target 13 side of the first support portion 14 a joined to the anode target 13 is formed in the same area as the anode target 13. And
It is formed in a tapered shape whose diameter gradually decreases in the direction of the second support portion 14b having a smaller diameter.
【００２９】図５の例は、支持体１４全体が、陽極ター
ゲット１３の直径よりも小さい一様な直径で構成されて
いる。そして、支持体１４の端面が陽極ターゲット１３
と接合されている。図６の例は、陽極ターゲット１３の
裏側に凹部１３ａが形成されている。そして、陽極ター
ゲット１３よりも小さな直径の支持体１４が、陽極ター
ゲット１３の凹部１３ａに嵌め込まれ、陽極ターゲット
１３と支持体１４が接合されている。In the example shown in FIG. 5, the entire support 14 has a uniform diameter smaller than the diameter of the anode target 13. Then, the end face of the support 14 is
And are joined. In the example of FIG. 6, a concave portion 13a is formed on the back side of the anode target 13. Then, a support 14 having a smaller diameter than the anode target 13 is fitted into the concave portion 13a of the anode target 13, and the anode target 13 and the support 14 are joined.
【００３０】なお、図４〜図６で示された陽極ターゲッ
トと支持体との支持構造の例は、陽極ターゲットの表面
が凹面に形成されている場合で説明している。しかし、
これらの支持構造は、図１のように陽極ターゲットが平
坦の場合、あるいは、図３の実施形態のように陽極ター
ゲットの縁に壁が設けられた場合に対しても適用でき
る。The examples of the support structure between the anode target and the support shown in FIGS. 4 to 6 have been described for the case where the surface of the anode target is formed in a concave surface. But,
These support structures can be applied to the case where the anode target is flat as shown in FIG. 1 or the case where a wall is provided at the edge of the anode target as in the embodiment of FIG.
【００３１】[0031]
【発明の効果】この発明によれば、分析の高精度化が図
れる分析用Ｘ線管を実現できる。According to the present invention, it is possible to realize an X-ray tube for analysis capable of improving the accuracy of analysis.
【図１】本発明の実施形態を説明するための断面図であ
る。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の他の実施形態を説明するための断面図
である。FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining another embodiment of the present invention.
【図３】本発明の他の実施形態を説明するための断面図
である。FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining another embodiment of the present invention.
【図４】陽極ターゲットを支持体で支持する構造の例を
説明するための断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an example of a structure in which an anode target is supported by a support.
【図５】陽極ターゲットを支持体で支持する構造の他の
例を説明するための断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining another example of a structure in which an anode target is supported by a support.
【図６】陽極ターゲットを支持体で支持する構造の他の
例を説明するための断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating another example of a structure in which an anode target is supported by a support.
【図７】従来例を説明するための断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a conventional example.
１１…真空外囲器 １２…出力窓 １３…陽極ターゲット １４…支持体 １４ａ…第１支持部分 １４ｂ…第２支持部分 １５…収束電極 １６…陰極フィラメント １７…支持部材 １８…支持体の内部空間 １９…冷却水路 ２０…Ｘ線 ２１…２次電子 ２２…不純線 Ｅ…電子 ｍ…管軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Vacuum envelope 12 ... Output window 13 ... Anode target 14 ... Support 14a ... 1st support part 14b ... 2nd support part 15 ... Focusing electrode 16 ... Cathode filament 17 ... Support member 18 ... Inner space of support 19 ... cooling water passage 20 ... X-rays 21 ... secondary electrons 22 ... impure wires E ... electrons m ... tube axis
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下野 隆 神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１ 東 芝電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 沓澤 宏樹 神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１ 東 芝電子エンジニアリング株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Takashi Shimono 7-1-1 Nisshin-cho, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside Toshiba Electronic Engineering Co., Ltd. 1. Toshiba Electronic Engineering Corporation
Claims (7)
た真空外囲器と、この真空外囲器内で前記出力窓に対向
して設けられた陽極ターゲットと、この陽極ターゲット
を支持する支持体と、前記陽極ターゲットの外側に位置
する収束電極と、この収束電極の外側に位置し、前記陽
極ターゲットに照射する電子を放出する陰極フィラメン
トとを具備した分析用Ｘ線管において、前記支持体の少
なくとも一部の外表面が前記陽極ターゲットの外周部よ
りも管軸よりの内側に位置していることを特徴とする分
析用Ｘ線管。1. A vacuum envelope having an output window partially transmitting X-rays, an anode target provided in the vacuum envelope to face the output window, and an anode target provided in the vacuum envelope. In an analytical X-ray tube comprising: a supporting body, a focusing electrode located outside the anode target, and a cathode filament that is located outside the focusing electrode and emits electrons for irradiating the anode target. An X-ray tube for analysis, wherein an outer surface of at least a part of the support is located inside a tube axis with respect to an outer peripheral portion of the anode target.
た真空外囲器と、この真空外囲器内で前記出力窓に対向
して設けられた陽極ターゲットと、この陽極ターゲット
を支持する支持体と、前記陽極ターゲットの外側に位置
する収束電極と、この収束電極の外側に位置し、前記陽
極ターゲットに照射する電子を放出する陰極フィラメン
トとを具備した分析用Ｘ線管において、前記支持体の少
なくとも一部の外径が前記陽極ターゲットの外径よりも
小さいことを特徴とする分析用Ｘ線管。2. A vacuum envelope having an output window partially transmitting X-rays, an anode target provided in the vacuum envelope so as to face the output window, and an anode target provided in the vacuum envelope. In an analytical X-ray tube comprising: a supporting body, a focusing electrode located outside the anode target, and a cathode filament that is located outside the focusing electrode and emits electrons for irradiating the anode target. An X-ray tube for analysis, wherein an outer diameter of at least a part of the support is smaller than an outer diameter of the anode target.
に形成されている請求項１または請求項２記載の分析用
Ｘ線管。3. The analytical X-ray tube according to claim 1, wherein the surface of the anode target on the output window side is formed in a concave surface.
さの壁が形成されている請求項１または請求項２記載の
分析用Ｘ線管。4. The X-ray tube for analysis according to claim 1, wherein a wall having a predetermined height is formed at an edge of the anode target on the output window side.
面が前記陽極ターゲットと同じ面積をもつ第１支持部分
と、前記陽極ターゲットよりも直径が小さな第２支持部
分とで構成されている請求項１または請求項２記載の分
析用Ｘ線管。5. The support according to claim 1, wherein the end face to be joined to the anode target has a first support portion having the same area as the anode target, and a second support portion having a smaller diameter than the anode target. An X-ray tube for analysis according to claim 1 or 2.
部分と前記陽極ターゲットよりも小さい外径部分とで形
成され、前記陽極ターゲットよりも外径が小さい部分の
方が、前記陽極ターゲットと同じ外径の部分よりも、管
軸方向の長さが長くなっている請求項２記載の分析用Ｘ
線管。6. The support is formed of a portion having the same outer diameter as the anode target and an outer diameter portion smaller than the anode target, and the portion having an outer diameter smaller than the anode target is formed between the anode target and the anode target. 3. The analytical X according to claim 2, wherein the length in the tube axis direction is longer than the portion having the same outer diameter.
Wire tube.
た真空外囲器と、この真空外囲器内で前記出力窓に対向
して設けられた陽極ターゲットと、この陽極ターゲット
を支持する支持体と、前記陽極ターゲットの外側に位置
する収束電極と、この収束電極の外側に位置し、前記陽
極ターゲットに照射する電子を放出する陰極フィラメン
トとを具備した分析用Ｘ線管において、出力窓と反対側
の陽極ターゲットの裏面に凹部が形成され、前記陽極タ
ーゲットの凹部に支持体が嵌め込まれていることを特徴
とする分析用Ｘ線管。7. A vacuum envelope in which an output window that transmits X-rays is partially formed, an anode target provided in the vacuum envelope so as to face the output window, and an anode target provided in the vacuum envelope. In an analytical X-ray tube comprising: a supporting body, a focusing electrode located outside the anode target, and a cathode filament that is located outside the focusing electrode and emits electrons for irradiating the anode target. An X-ray tube for analysis, wherein a concave portion is formed on the back surface of the anode target opposite to the output window, and a support is fitted into the concave portion of the anode target.
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| JP07960199A JP4634550B2 (en) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | X-ray tube for analysis |
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| JP2000277041A true JP2000277041A (en) | 2000-10-06 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011243579A (en) * | 2004-05-27 | 2011-12-01 | Cabot Microelectronics Corp | X-ray source with field of nonparallel geometry |
| WO2021024510A1 (en) * | 2019-08-05 | 2021-02-11 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | X-ray tube for analysis |
-
1999
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