JP2000260140A - Magnetic head positioning mechanism and its driving system - Google Patents

Magnetic head positioning mechanism and its driving system

Info

Publication number
JP2000260140A
JP2000260140A JP11061606A JP6160699A JP2000260140A JP 2000260140 A JP2000260140 A JP 2000260140A JP 11061606 A JP11061606 A JP 11061606A JP 6160699 A JP6160699 A JP 6160699A JP 2000260140 A JP2000260140 A JP 2000260140A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
supporting mechanism
actuator
support mechanism
driving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11061606A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3771076B2 (en
Inventor
Motoyasu Utsunomiya
基恭 宇都宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP06160699A priority Critical patent/JP3771076B2/en
Publication of JP2000260140A publication Critical patent/JP2000260140A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3771076B2 publication Critical patent/JP3771076B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-speed and highly accurate magnetic head positioning mechanism and its driving method. SOLUTION: This magnetic head positioning mechanism is provided with a fine actuator section 6 having a magnetic head supporting mechanism 5 for supporting a slider 2 having a magnetic head 1 loaded therein and a magnetic head supporting mechanism holding part 30 for holding the magnetic head supporting mechanism 5, and a coarse actuator section 7 joined to the fine actuator section 6 and having a holder arm 11 supported so as to be swung. The coarse actuator section 7 is provided with a first driving means 12 for swinging the holder arm 11 in a seeking direction, and the fine actuator section 6 is provided with a second driving means 16 for swinging a magnetic head 1 in the seeking direction by a very small amount independently of the swinging motion of the holder arm 11. The finer actuator section 6 is also provided with a vibration suppressing means 32 for suppressing vibration generated in the holder arm 11 of the coarse actuator 7 following the swinging motion of the magnetic head supporting mechanism 5 in the fine actuator section 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
あるいは光ディスク装置等のディスク装置における磁気
ヘッド位置決め機構及びその駆動方法に関する。
The present invention relates to a magnetic head positioning mechanism in a disk device such as a magnetic disk device or an optical disk device, and a driving method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置の記録密度は、高BP
I(Bit Per Inch)化と高TPI(Track Per Inch)化に
より年率60%以上のペースで増加している。高BPI
化のためには、ヘッド浮上量の低減やMR(Magneto Re
sistive)ヘッドのようなセンシティビティの高い磁気
ヘッドの採用、あるいは高効率な信号処理技術などが求
められるが、高TPI化実現のためには加えて磁気ヘッ
ドの位置決め精度の改善が重要な技術課題となる。
2. Description of the Related Art The recording density of a magnetic disk drive is high BP.
Due to the introduction of I (Bit Per Inch) and high TPI (Track Per Inch), it is increasing at an annual rate of 60% or more. High BPI
To reduce the head flying height and reduce the MR (Magneto Re
Highly sensitive magnetic heads such as sistive) heads or highly efficient signal processing technology are required. However, in order to achieve high TPI, it is important to improve the positioning accuracy of the magnetic heads. Becomes

【0003】例えば1 Gb/in2 の記録密度の場合、
トラック方向密度は8kTPI以下、トラックピッチに
して3〜4μm程度であるが、10Gb/in2 以上の
記録密度を達成するためにはトラック密度は25kTP
I以上、トラックピッチにして1μm以下となるため、
磁気ヘッドの位置決め精度は(トラックピッチの10%
である)0.1μm以下が要求されるようになる。
For example, when the recording density is 1 Gb / in 2 ,
The track direction density is 8 kTPI or less, and the track pitch is about 3 to 4 μm. To achieve a recording density of 10 Gb / in 2 or more, the track density is 25 kTP.
Since the track pitch is 1 μm or less,
The positioning accuracy of the magnetic head is 10% of the track pitch.
0.1 μm or less is required.

【0004】図9及び図10に磁気ディスク装置に用い
られる磁気ヘッド位置決め機構(ポジショナ)の従来例
を示す。この磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘッドを
円弧形に回転駆動するロータリーアクチュエータ方式と
呼ばれるもので、複数のホルダアーム11と、可動コイ
ル12を備えたアームブロック(キャリッジ)13とが
回転軸受け部14を中心に矢印A(図9(b)参照)の
方向に回転可能となるように構成されている。
FIGS. 9 and 10 show a conventional example of a magnetic head positioning mechanism (positioner) used in a magnetic disk drive. This magnetic head positioning mechanism is called a rotary actuator system that drives the magnetic head to rotate in an arc shape, and includes a plurality of holder arms 11 and an arm block (carriage) 13 having a movable coil 12. Is rotatable in the direction of arrow A (see FIG. 9B).

【0005】当該アームブロック13のホルダアーム先
端部には、磁気ヘッド1を搭載したスライダ2を支持す
る磁気ヘッド支持機構5(サスペンションまたはHG
A:Head Gimbal Assembly)が接続されている(図10
(a)乃至(c)参照)。また、当該アームブロック1
3の他端に設置された可動コイル12は、外部固定磁気
回路15と組み合わされてVCM(Voice Coil Motor)
を構成し、当該可動コイル12に所定の駆動電流を印加
することにより駆動力を発生して、当該磁気ヘッド支持
機構5をシーク方向(図9(b)の矢印A)へ円弧軌道
で回転駆動し、磁気ヘッド1を媒体上の目標トラックへ
位置決めさせる。
A magnetic head supporting mechanism 5 (suspension or HG) for supporting the slider 2 on which the magnetic head 1 is mounted is provided at the tip of the holder arm of the arm block 13.
A: Head Gimbal Assembly) is connected (Fig. 10).
(See (a) to (c)). In addition, the arm block 1
The movable coil 12 installed at the other end of the third coil 3 is combined with an external fixed magnetic circuit 15 to form a VCM (Voice Coil Motor).
And a driving force is generated by applying a predetermined driving current to the movable coil 12 to drive the magnetic head support mechanism 5 to rotate in a seek direction (arrow A in FIG. 9B) along an arc orbit. Then, the magnetic head 1 is positioned at a target track on the medium.

【0006】ここでいう位置決め動作とは、磁気ヘッド
を任意のトラック位置から目標のトラック位置へと移動
させるシーク動作(トラッキング)と、磁気ヘッドを目
標のトラック上に追従させておくフォロー動作(フォロ
ーイング)とに分けられる。従来の磁気ヘッド位置決め
機構は1つのVCMで複数の磁気ヘッドを同時に駆動す
るため、位置決め精度とりわけフォローイングにおける
トラック追従精度が十分ではなく、前述のように1μm
以下の狭トラックピッチが要求される高TPIの装置に
は対応できなくなりつつある。
The positioning operation referred to here is a seek operation (tracking) for moving the magnetic head from an arbitrary track position to a target track position, and a follow operation (following operation) for keeping the magnetic head following the target track. Ing). Since the conventional magnetic head positioning mechanism drives a plurality of magnetic heads simultaneously with one VCM, the positioning accuracy, especially the track following accuracy in following, is not sufficient.
It is becoming impossible to cope with a high TPI device requiring the following narrow track pitch.

【0007】そこで、VCMによるキャリッジ駆動とは
独立して、各々の磁気ヘッドを個別に駆動させる2ステ
ージアクチュエータの研究が進められている。この2ス
テージアクチュエータは個別に駆動させる部位によって
大きく3種類に大別できる。すなわち磁気ヘッド部を個
別駆動させるヘッド素子駆動方式(図11(a))、ス
ライダ部を個別駆動させるスライダ駆動方式(図11
(b))、および磁気ヘッド支持機構(HGA)部を個
別駆動させるHGA駆動方式(図12乃至図12)であ
る。
[0007] Therefore, research on a two-stage actuator for individually driving each magnetic head independently of the carriage drive by the VCM has been conducted. These two-stage actuators can be roughly classified into three types depending on the parts to be individually driven. That is, a head element driving system for individually driving the magnetic head unit (FIG. 11A) and a slider driving system for individually driving the slider unit (FIG. 11A).
(B)) and an HGA drive system (FIGS. 12 to 12) for individually driving the magnetic head support mechanism (HGA).

【0008】図11(a)に示すヘッド素子駆動方式
は、マイクロマシーン技術を応用してスライダA1内に
櫛歯構造を有する静電駆動型のリニアアクチュエータA
2を埋め込んで磁気ヘッドA3を直接微小駆動するもの
であるが、加工難度が高いため歩留まりが悪く、また可
動方向に衝撃が加わると容易に変位あるいは破壊してし
まう欠点があり未だ実用化に至っていない。なお、図1
1(a)においてA4は磁気ヘッド支持機構(サスペン
ション)である。
The head element driving method shown in FIG. 11A employs a micro-machine technology to apply an electrostatically driven linear actuator A having a comb-tooth structure in a slider A1.
Although the magnetic head A3 is directly micro-driven by embedding 2, the yield is poor due to the high processing difficulty, and there is a drawback that it is easily displaced or destroyed when an impact is applied in the movable direction, and it has yet to be put to practical use. Not in. FIG.
In FIG. 1A, A4 is a magnetic head support mechanism (suspension).

【0009】図11(b)に示すスライダ駆動方式は、
シリコンマイクロジンバルB1とプレーナ型電磁駆動方
式のピギーバック・マイクロアクチュエータB2を組み
合わせた構造であるが、誘導磁界を発生させるコイルパ
ターン層を厚く加工できないため十分な駆動力が得られ
ないといった課題を抱えている。最後に図12乃至図1
4に示すHGA駆動方式であるが、これはHGA駆動用
アクチュエータの発生力が磁気ヘッドの加速度に比例す
るか変位に比例するかによって、力−加速度型(高コン
プライアンス型:図12及び図13)と力−変位型(高
スティッフネス型:図14)の2種類に分けられる。
The slider driving method shown in FIG.
Although it has a structure in which a silicon micro-gimbal B1 and a planar type electromagnetically driven piggyback microactuator B2 are combined, there is a problem that a sufficient driving force cannot be obtained because a coil pattern layer for generating an induced magnetic field cannot be processed to be thick. ing. Finally, FIGS. 12 to 1
The HGA driving method shown in FIG. 4 is a force-acceleration type (high compliance type: FIGS. 12 and 13) depending on whether the generated force of the HGA driving actuator is proportional to the acceleration or displacement of the magnetic head. And a force-displacement type (high stiffness type: FIG. 14).

【0010】図12及び図13に示す力−加速度型(高
コンプライアンス型)の2ステージアクチュエータは、
本願出願人が既に出願している特願平9−260680
号の明細書中に於て開示されている磁気ヘッド位置決め
機構に関するものであって、当該磁気ヘッド位置決め機
構に於いては、磁気ヘッド支持機構(サスペンション:
以下、HGAと称する)5をアクチュエータスプリング
8に接続し、アクチュエータスプリング8はホルダアー
ム11に軸固定されている。
The force-acceleration type (high compliance type) two-stage actuator shown in FIGS.
Japanese Patent Application No. 9-260680 filed by the present applicant.
And a magnetic head positioning mechanism disclosed in the specification of Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-157, in which a magnetic head supporting mechanism (suspension:
The actuator spring 8 is connected to the holder arm 11 by a shaft.

【0011】そして、このときホルダアーム11とアク
チュエータスプリング8との間には永久磁石17と小形
コイル19およびヨーク18とからなる小形VCM20
が構築されており、トラック追従時には小形コイル19
に所定の電流を印加して電磁力を発生させてホルダアー
ムに軸固定されたアクチュエータ・スプリング8を撓ま
せて磁気ヘッド支持機構5を微小回転駆動される様に構
成されている。
At this time, a small VCM 20 composed of a permanent magnet 17, a small coil 19 and a yoke 18 is provided between the holder arm 11 and the actuator spring 8.
And a small coil 19 when following the track
The magnetic head support mechanism 5 is configured to be minutely rotated by applying a predetermined current to the actuator to generate an electromagnetic force to bend the actuator spring 8 fixed to the holder arm.

【0012】一方、図14に示す力−変位型(高スティ
ッフネス型)の2ステージアクチュエータは、同じく、
本願出願人が既に出願している特願平10−35569
7号の明細書中に於て開示されている磁気ヘッド位置決
め機構に関するものであって、当該磁気ヘッド位置決め
機構に於いては、磁気ヘッド支持機構5をアクチュエー
タスプリング8に接続し、アクチュエータスプリング8
はホルダアーム11に完全固定されており、このとき図
15及び図16に示す様に、アクチュエータスプリング
8には一対の圧電素子16が磁気ヘッド支持機構の長手
中心軸に沿って平行に配置されており、トラック追従時
には一対の圧電素子に所定の電圧を交互に印加して駆動
力を発生させてホルダアームに固定されたアクチュエー
タスプリング8を撓ませて磁気ヘッド支持機構5を微小
回転駆動させている。
On the other hand, the force-displacement type (high stiffness type) two-stage actuator shown in FIG.
Japanese Patent Application No. 10-35569 filed by the present applicant.
No. 7 relates to a magnetic head positioning mechanism disclosed in the specification, in which the magnetic head support mechanism 5 is connected to an actuator spring 8, and the actuator spring 8
Is completely fixed to the holder arm 11. At this time, as shown in FIGS. 15 and 16, a pair of piezoelectric elements 16 are arranged in the actuator spring 8 in parallel along the longitudinal center axis of the magnetic head support mechanism. At the time of track following, a predetermined voltage is alternately applied to a pair of piezoelectric elements to generate a driving force to bend the actuator spring 8 fixed to the holder arm, thereby driving the magnetic head supporting mechanism 5 to rotate minutely. .

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】HGA駆動方式の2ス
テージアクチュエータは、従来のHGAに大きな変更を
加えることなく容易に構築することが可能であるため、
現在のところ最も実用化が近い高精度ヘッド位置決め機
構として期待されている。処で、図17(a)は図14
で示した力−変位型(高スティッフネス型)の2ステー
ジアクチュエータの解析モデルを示す。磁気ヘッド支持
機構を接続したアクチュエータスプリングを1枚のみ単
板のホルダアームに接続している。このモデルの周波数
特性を図17(b)に示す。
Since the two-stage actuator of the HGA drive system can be easily constructed without making a significant change to the conventional HGA,
At present, it is expected as a high-precision head positioning mechanism that is the most practically available. FIG. 17A shows FIG.
4 shows an analysis model of the force-displacement type (high stiffness type) two-stage actuator indicated by. Only one actuator spring connected to the magnetic head support mechanism is connected to the single-plate holder arm. FIG. 17B shows the frequency characteristics of this model.

【0014】図17(b)中の破線は上記2ステージア
クチュエータを回転軸受け部においてVCM加振したと
きの周波数特性でありシーク動作中(トラッキング:コ
ースアクチュエータ駆動時)の振動特性を示している。
また、図17(b)中の太線は、上記2ステージアクチ
ュエータのファインアクチュエータ部(アクチュエータ
スプリング部)に設けた圧電素子(PZT)のみを駆動
させたときの周波数特性であり追従動作中(フォローイ
ング:ファインアクチュエータ駆動時)の振動特性を示
している。
The broken line in FIG. 17B shows the frequency characteristics when the two-stage actuator is vibrated by the VCM in the rotary bearing, and shows the vibration characteristics during the seek operation (tracking: when the coarse actuator is driven).
The bold line in FIG. 17B shows the frequency characteristics when only the piezoelectric element (PZT) provided in the fine actuator section (actuator spring section) of the two-stage actuator is driven. : When the fine actuator is driven).

【0015】一方、同図中の細線はファインアクチュエ
ータ部のみのモデルを用いて、アクチュエータスプリン
グをホルダアーム接続位置において完全固定し圧電素子
(PZT)を駆動させたときの周波数特性であり、ファ
インアクチュエータ部単体の振動特性を示している。フ
ァインアクチュエータ部単体では8.2kHzに1つの
共振ピークしか持たなかったモデル(図17(b)の細
線)でも、ホルダアームに接続すると同じPZT駆動条
件(トラック追従動作条件)でありながらVCM駆動時
(シーク動作時:図17(b)の破線)と同様に5.
8kHzと9.5kHzに2つの共振ピークを持つよ
うになっているのがわかる(図17(b)の太線)。
On the other hand, the thin line in the figure shows the frequency characteristic when the actuator spring is completely fixed at the position where the holder arm is connected and the piezoelectric element (PZT) is driven, using the model of the fine actuator only. 6 shows the vibration characteristics of the unit alone. Even in the model in which the fine actuator unit alone had only one resonance peak at 8.2 kHz (the thin line in FIG. 17B), when connected to the holder arm, the same PZT drive condition (track following operation condition) was applied but VCM drive was performed. (During seek operation: broken line in FIG. 17B).
It can be seen that there are two resonance peaks at 8 kHz and 9.5 kHz (thick line in FIG. 17B).

【0016】これら2つの共振は、図17(c)に示す
モードシェイプを見てもわかるように、5.8kHz
の共振がホルダアームの振動と連成したファインアクチ
ュエータのスウェイ(Sway)モード(以下、アーム
連成スウェイモード)であり、9.5kHzの共振が
サスペンションの2次捻れ振動によるオフトラック・モ
ードである。
As can be seen from the mode shape shown in FIG.
Is a sway mode (hereinafter, arm-coupled sway mode) of the fine actuator coupled with the vibration of the holder arm, and the resonance of 9.5 kHz is an off-track mode due to the secondary torsional vibration of the suspension. .

【0017】キャリッジ・ブロック最上位および最下位
のようにホルダアームにファインアクチュエータが1枚
しか接続されていないモデルでは上記のような特性を示
すが、キャリッジ・ブロック中位のようにホルダアーム
に上下2枚のファインアクチュエータが接続されるよう
なモデル(図18(a)参照)ではさらに複雑な振動特
性を示すようになる。
In the model in which only one fine actuator is connected to the holder arm such as the uppermost and lowermost parts of the carriage block, the above characteristics are exhibited. A model in which two fine actuators are connected (see FIG. 18A) shows more complicated vibration characteristics.

【0018】このときの周波数特性を図18(b)に示
す。破線は同じくホルダアームの回転軸受け部において
VCM加振したときの周波数特性でありシーク動作中
(トラッキング:コースアクチュエータ駆動時)の振動
特性を示し、太線は上記2枚のファインアクチュエータ
のうち片方をPZT駆動させたときの周波数特性であり
(任意の磁気ヘッドによる)追従動作中(フォローイン
グ:ファインアクチュエータ駆動時)の振動特性を示し
ている。
FIG. 18B shows the frequency characteristics at this time. The broken line shows the frequency characteristic when the VCM is applied to the rotary bearing of the holder arm, and shows the vibration characteristic during the seek operation (tracking: when the coarse actuator is driven). The thick line shows one of the two fine actuators of PZT. This is a frequency characteristic when driven, and shows a vibration characteristic during a following operation (by an arbitrary magnetic head) (following: when driving a fine actuator).

【0019】キャリッジ・ブロック中位のようにホルダ
アームに上下2枚のファインアクチュエータが接続され
ているような場合、トラック追従時の振動特性(PZT
駆動)は共振ピークが1つ増えて3つ( 5.1kHz,
8.1kHz, 9.6kHz)現れるようになる。これ
ら3つの共振は、図15(c)に示すモードシェイプを
見てもわかるように、5.8kHzの共振と9.6
kHzの共振は各々アーム連成スウェイモードとサスペ
ンション2次捻れであるが、8.1kHzの共振は上
下2枚のサスペンションが交差するようなファインアク
チュエータスウェイモードである。
When two fine actuators are connected to the holder arm, such as the middle position of the carriage block, the vibration characteristics (PZT
Drive), the resonance peak increases by one and three (5.1 kHz,
8.1 kHz, 9.6 kHz). As can be seen from the mode shape shown in FIG. 15C, the three resonances are 5.8 kHz resonance and 9.6 kHz.
The resonance at kHz is the arm-coupled sway mode and the suspension secondary twist, while the resonance at 8.1 kHz is a fine actuator sway mode in which the upper and lower suspensions intersect.

【0020】アームアッセー・モデルにおいてPZT駆
動時に現れるこれら2つもしくは3つの共振は、PZT
によるHGA駆動力がホルダアーム先端部(ファインア
クチュエータとの接続位置)において反力(以下、PZ
T駆動反力)として作用し、これが加振源となってホル
ダアーム振動を励起するために引き起こされるものと考
えられる(図19及び図20参照)。
These two or three resonances appearing when the PZT is driven in the arm-assay model are represented by PZT
HGA driving force at the tip of the holder arm (connection position with the fine actuator) (hereinafter referred to as PZ)
It is considered that this acts as a source of vibration to excite the holder arm vibration (see FIGS. 19 and 20).

【0021】トラック追従時(PZT駆動時)におい
て、ヘッド位置決め機構系の共振ピークが高周波(10
kHz)と低周波(5kHz)の2つに分かれて現れて
くると、サーボの制御帯域を広く取れなくなるために位
置決め精度は著しく悪化する。また、キャリッジ・アー
ム中位の振動特性のように共振ピークが3つになってく
るとノッチ・フィルターを3つ直列に配置する必要があ
り、これらの共振に近接した周波数に制御帯域を設定す
る場合にはその周波数帯域で著しく位相を遅らせること
になるため、安定余裕が減少し実用的なコントローラの
実装が困難になってくる。
During track following (during PZT driving), the resonance peak of the head positioning mechanism system has a high frequency (10 Hz).
kHz) and a low frequency (5 kHz), the servo control band cannot be widened, so that the positioning accuracy is remarkably deteriorated. Also, when the resonance peak becomes three as in the case of the middle vibration characteristic of the carriage arm, it is necessary to arrange three notch filters in series, and the control band is set to a frequency close to these resonances. In such a case, since the phase is significantly delayed in the frequency band, the stability margin is reduced, and it becomes difficult to mount a practical controller.

【0022】その他、磁気ヘッド位置決め機構に関する
公知例として特開平5−341787号公報、特許第2
529380号明細書及び特許第2712599号明細
書等が見られるが、係る公報には、2ステージアクチュ
エータを備えた磁気ヘッド位置決め機構に関して開示さ
れているが、当該ファインアクチュエータ部のシーク動
作に起因する当該コースアクチュエータ部に於ける加振
現象を抑制する技術に関しては記載が見られない。
Other known examples of a magnetic head positioning mechanism are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-341787,
Japanese Patent No. 529,380 and Japanese Patent No. 271,599 describe a magnetic head positioning mechanism provided with a two-stage actuator. However, such a magnetic head positioning mechanism includes a two-stage actuator. There is no description about a technique for suppressing the vibration phenomenon in the course actuator portion.

【0023】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点
を改良すべく構成されたものであり、その目的は、例え
ば、10Gb/in2 を越える高記録密度の磁気ディス
ク装置において、トラック密度25kTPI以上の狭ト
ラックピッチ(トラックピッチ1μm以下)においても
トラック追従可能で、かつサーボ帯域3kHz以上を確
保できるような、高速・高精度な磁気ヘッド位置決め機
構およびその駆動方式を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages of the prior art, and an object of the present invention is to provide a magnetic disk drive having a high recording density exceeding 10 Gb / in 2 and a track density of 25 kTPI. It is an object of the present invention to provide a high-speed and high-precision magnetic head positioning mechanism capable of following a track even at the above narrow track pitch (track pitch of 1 μm or less) and securing a servo band of 3 kHz or more, and a driving method thereof.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明の磁気ヘッド位置決め機構
に係る第1の態様としては、磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と
当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構
保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該フ
ァインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の回
転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを有
するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘッ
ド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ部
は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシー
ク方向に揺動させる為の第1の駆動手段を有しており、
一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コース
アクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動
とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動
させる為の第2の駆動手段が設けられており、更には、
当該ファインアクチュエータ部には、当該ファインアク
チュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺
動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホ
ルダーアームに発生する振動を抑制する振動抑制手段が
設けられている磁気ヘッド位置決め機構であり、又本発
明に係る第2の態様としては、磁気ヘッドを搭載したス
ライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構
と当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機
構保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該
ファインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の
回転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを
有するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘ
ッド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ
部は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシ
ーク方向に揺動させる為の第1の駆動手段を有してお
り、一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コ
ースアクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動
運動とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量
揺動させる為の第2の駆動手段が設けられている磁気ヘ
ッド位置決め機構に於いて、当該ファインアクチュエー
タ部に振動抑制手段を設け、当該ファインアクチュエー
タ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に
伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーア
ームに発生する振動を抑制する様に構成されてた磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法である。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention employs the following basic technical structure. That is, as a first aspect of the magnetic head positioning mechanism of the present invention, a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted and a magnetic head supporting mechanism holding the magnetic head supporting mechanism A magnetic actuator positioning mechanism comprising a fine actuator section having a section, and a course actuator section having a holder arm joined to the fine actuator section and pivotally supported around a predetermined rotation axis. The course actuator unit has a first drive unit for swinging the holder arm in the seek direction around the rotation axis,
On the other hand, the fine actuator section is provided with a second drive means for swinging the magnetic head by a very small amount in the seek direction independently of the swing movement of the holder arm in the course actuator section. And furthermore,
The fine actuator section is provided with vibration suppressing means for suppressing vibration generated in the holder arm of the course actuator section in accordance with the swinging movement of the magnetic head support mechanism in the fine actuator section. According to a second aspect of the present invention, there is provided a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted, and a magnetic head supporting mechanism for holding the magnetic head supporting mechanism. A magnetic head positioning system comprising: a fine actuator unit having a mechanism holding unit; and a course actuator unit joined to the fine actuator unit and having a holder arm pivotally supported around a predetermined rotation axis. A mechanism, wherein the course actuator section includes the holder The fine actuator has a first driving means for swinging the arm in the seek direction about the rotation axis, while the fine actuator has a swinging motion of the holder arm in the course actuator. In a magnetic head positioning mechanism provided with a second driving means for swinging the magnetic head in the seek direction by a small amount independently of the fine actuator, a vibration suppressing means is provided in the fine actuator section, This is a method for driving a magnetic head positioning mechanism configured to suppress vibration generated in the holder arm of the course actuator unit in accordance with the swinging movement of the magnetic head support mechanism in the actuator unit.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】本発明に係る当該磁気ヘッド位置
決め機構及び磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法は、上
記した様な技術構成を採用しているものであって、より
具体的には、当該磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘッ
ド支持機構と2ステージアクチュエータを備え、当該磁
気ヘッド支持機構は、磁気ヘッドを搭載したスライダを
支持するように構成され、当該2ステージアクチュエー
タは、当該磁気ヘッド支持機構を磁気ヘッドのシーク方
向に微小量変位させるファインアクチュエータ部と、当
該複数のファインアクチュエータ部をVCMにより当該
磁気ヘッドのシーク方向に一括して変位させるコースア
クチュエータ部とから構成され、当該ファインアクチュ
エータ部は、当該磁気ヘッド支持機構を支持する薄板状
のアクチュエータ・スプリングと2つの圧電素子を有し
てなり、当該2つの圧電素子に交互に電圧を印加するこ
とで当該2つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該アク
チュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませることによ
って磁気ヘッドのシーク方向への微小駆動が行われる高
スティッフネス型のHGA駆動方式、もしくは当該磁気
ヘッド支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・ス
プリングと小形コイルおよびヨークを有してなり、ホル
ダアームに埋め込まれた永久磁石とで小形のVCMを形
成し、当該小形コイルに電流を印加することで当該小形
VCMに電磁力を発生させ、当該アクチュエータ・スプ
リング部を弾性的に撓ませることによって磁気ヘッドの
シーク方向への微小駆動が行われる高コンプライアンス
型のHGA駆動方式で構成されており、またキャリッジ
・ブロックの最上位と最下位においてはホルダアームを
挟んで当該HGA駆動方式のファインアクチュエータ部
と対向する側に、当該磁気ヘッド支持機構の等価質量相
当のダミー・マスを搭載したファインアクチュエータ部
(ダミー・アクチュエータ)が接続されていることを特
徴とするものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The magnetic head positioning mechanism and the method of driving the magnetic head positioning mechanism according to the present invention employ the above-described technical configuration. The head positioning mechanism includes a magnetic head support mechanism and a two-stage actuator. The magnetic head support mechanism is configured to support a slider on which a magnetic head is mounted, and the two-stage actuator magnetically controls the magnetic head support mechanism. A fine actuator section for displacing a minute amount in the seek direction of the head; and a course actuator section for displacing the plurality of fine actuator sections in the seek direction of the magnetic head at a time by VCM. Thin-plate actuator supporting magnetic head support mechanism Comprising a spring and two piezoelectric elements, and applying a voltage alternately to the two piezoelectric elements to generate a driving force on the two piezoelectric elements, thereby elastically bending the actuator spring portion. A high-stiffness HGA drive system in which the magnetic head is minutely driven in a seek direction, or a thin plate-shaped actuator spring supporting the magnetic head support mechanism, a small coil and a yoke, and a holder arm A magnetic head is formed by forming a small VCM with a permanent magnet embedded in the actuator, generating an electromagnetic force in the small VCM by applying a current to the small coil, and elastically bending the actuator spring portion. It is configured with a high-compliance HGA drive system that performs minute drive in the seek direction A fine actuator having a dummy mass equivalent to the equivalent mass of the magnetic head support mechanism mounted on the side of the carriage block opposite the HGA drive type fine actuator section with the holder arm interposed therebetween. (Dummy actuator) is connected.

【0026】加えて、本発明に於ける当該磁気ヘッド位
置決め機構の駆動方法としてのより詳細な具体例として
は、トラック追従時において、例えば当該コースアクチ
ュエータ部とファインアクチュエータ部とから構成され
る磁気ヘッド位置決め機構ユニットが複数個並列的に且
つ各磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホルダー
アームに設けられた、所定の回転軸に嵌合する開口部を
形成するアームブロック部に於て互いに同心的に集積さ
れ且つ一体的に集合せしめられた磁気ヘッド位置決め機
構を使用して、任意の磁気ヘッド位置決め機構ユニット
に於けるファインアクチュエータ部の設けられた磁気ヘ
ッド支持機構保持部を用いてHGAを駆動させる場合、
当該アームブロックの中位に於ける当該磁気ヘッド位置
決め機構ユニットにおいては、当該ホルダアームを挟ん
で反対側に接続されたもう1枚の振動抑制手段として機
能するが、実際に情報を当該記録媒体に書き込んだり、
当該記録媒体から情報を読み出したりする事が可能な他
の磁気ヘッド支持機構保持部を、当該任意のファインア
クチュエータとは逆方向へ常時同じ力で(圧電素子(P
ZT)駆動によるファインアクチュエータの場合には逆
位相の電圧を、小形VCM駆動によるファインアクチュ
エータの場合には逆方向の電流を印加して)駆動させ、
同じく当該アームブロックに於ける両端部に配置された
当該磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホルダア
ームに接続された磁気ヘッド支持機構保持部を用いてH
GAを駆動させる場合には、ホルダアームを挟んで反対
側に接続された当該ダミーマス搭載のダミー部材に於け
る駆動手段をやはり当該磁気ヘッド支持機構保持部とは
逆方向へ常時同じ力で(圧電素子(PZT)駆動による
ファインアクチュエータの場合には逆位相の電圧を、小
形VCM駆動によるファインアクチュエータの場合には
逆方向の電流を印加して)駆動させることを特徴として
いるものである。
In addition, as a more specific example of a method of driving the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, a magnetic head constituted by, for example, the coarse actuator and the fine actuator during track following. A plurality of positioning mechanism units are integrated in parallel with each other and concentrically with each other in an arm block portion provided in a holder arm of each magnetic head positioning mechanism unit and forming an opening to be fitted to a predetermined rotation axis. When the HGA is driven using a magnetic head supporting mechanism holding part provided with a fine actuator part in an arbitrary magnetic head positioning mechanism unit using a magnetic head positioning mechanism that is integrated and integrally assembled,
In the magnetic head positioning mechanism unit in the middle of the arm block, the magnetic head positioning mechanism unit functions as another vibration suppressing unit connected to the opposite side with the holder arm interposed therebetween, but actually stores information on the recording medium. Write,
The other magnetic head support mechanism holding portion, which can read information from the recording medium, is always moved with the same force in the direction opposite to that of the fine actuator (piezoelectric element (P
In the case of a fine actuator driven by ZT) drive, an opposite-phase voltage is applied, and in the case of a fine actuator driven by a small VCM drive, an opposite current is applied.
Similarly, using a magnetic head supporting mechanism holding portion connected to a holder arm of the magnetic head positioning mechanism unit disposed at both ends of the arm block,
When the GA is driven, the driving means of the dummy member mounted on the dummy mass connected to the opposite side with the holder arm interposed therebetween is always the same force in the direction opposite to the magnetic head support mechanism holding portion (piezoelectric). In the case of a fine actuator driven by an element (PZT), it is characterized in that it is driven by applying an opposite-phase voltage in the case of a fine actuator driven by a small VCM, and in the opposite direction in the case of a fine actuator driven by a small VCM.

【0027】これにより、トラック追従時において任意
のファインアクチュエータを駆動させたときにアクチュ
エータ・スプリングとホルダアームとの接続部に作用す
るHGA駆動反力は、上下2枚のファインアクチュエー
タ(キャリッジ中位)もしくは1枚のファインアクチュ
エータと1枚のダミー・アクチュエータ(キャリッジの
両端部)の対向するHGA駆動反力によって互いに相殺
され、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセ
ルすることができるため、HGA駆動時にホルダアーム
振動に起因した共振を抑制することができ、高周波数帯
域まで共振ピークのない良好な振動特性を得ることがで
きるため、磁気ヘッドの高速・高精度なトラック追従動
作(フォローイング)を行うことが可能になる。
Thus, when an arbitrary fine actuator is driven during track following, the HGA driving reaction force acting on the connection between the actuator spring and the holder arm is reduced by two fine actuators (middle carriage). Alternatively, the excitation force acting on the tip end of the holder arm can be canceled out by the opposing HGA driving reaction forces of one fine actuator and one dummy actuator (both ends of the carriage), and the HGA can be canceled. High-speed, high-precision track following operation (following) of the magnetic head because resonance due to holder arm vibration during driving can be suppressed and good vibration characteristics without resonance peaks up to a high frequency band can be obtained. Can be performed.

【0028】[0028]

【実施例】以下に、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機
構及び磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法の一具体例の
構成を図面を参照しながら詳細に説明する。即ち、図1
は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の一具体例の
構成を説明する断面図及び平面図であり、図中、磁気ヘ
ッド1を搭載したスライダ2を支持するように構成され
た磁気ヘッド支持機構5と当該磁気ヘッド支持機構5を
保持する磁気ヘッド支持機構保持部30を有するファイ
ンアクチュエータ部6、及び当該ファインアクチュエー
タ部6と接合されると共に、所定の回転軸31の回りに
揺動可能に軸支されたホルダーアーム11を有するコー
スアクチュエータ部7とから構成された磁気ヘッド位置
決め機構100であって、当該コースアクチュエータ部
7は、当該ホルダーアーム11を当該回転軸31を中心
としてシーク方向に揺動させる為の第1の駆動手段12
を有しており、一方、当該ファインアクチュエータ部6
には、当該コースアクチュエータ部7に於ける該ホルダ
ーアーム11の揺動運動とは独立的に当該磁気ヘッド1
をシーク方向に微小量揺動させる為の第2の駆動手段1
6が設けられており、更には、当該ファインアクチュエ
ータ部6には、当該ファインアクチュエータ部6に於け
る当該磁気ヘッド支持機構5の当該揺動運動に伴って、
当該コースアクチュエータ部7の当該ホルダーアーム1
1に発生する振動を抑制する振動抑制手段32が設けら
れている磁気ヘッド位置決め機構100が示されてい
る。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a magnetic head positioning mechanism according to an embodiment of the present invention; That is, FIG.
1A and 1B are a cross-sectional view and a plan view illustrating the configuration of a specific example of a magnetic head positioning mechanism according to the present invention. In the drawing, a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider 2 on which a magnetic head 1 is mounted. 5, a fine actuator unit 6 having a magnetic head support mechanism holding unit 30 for holding the magnetic head support mechanism 5, and a shaft that is joined to the fine actuator unit 6 and that can swing around a predetermined rotation axis 31. A magnetic head positioning mechanism 100 comprising a course actuator unit 7 having a supported holder arm 11, wherein the course actuator unit 7 swings the holder arm 11 in the seek direction around the rotation shaft 31. First driving means 12 for causing
And the fine actuator section 6
The magnetic head 1 is independent of the swinging motion of the holder arm 11 in the course actuator section 7.
Drive means 1 for oscillating a small amount in the seek direction
6 is further provided in the fine actuator section 6 in accordance with the swinging movement of the magnetic head support mechanism 5 in the fine actuator section 6.
The holder arm 1 of the course actuator unit 7
1 shows a magnetic head positioning mechanism 100 provided with a vibration suppressing means 32 for suppressing vibration generated in the magnetic head positioning mechanism 100.

【0029】本発明に於いては、当該振動抑制手段32
は、当該磁気ヘッド支持機構5の当該揺動運動に伴っ
て、当該コースアクチュエータ部7の当該ホルダーアー
ム11に発生する複数個の共振周波数を一つに制限し、
且つ当該共振周波数をより高周波帯域側に移動させる機
能を有するものである事が望ましい。又、本発明に於け
る当該コースアクチュエータ部7に設けられている当該
第1の駆動手段12は、ボイスコイルモータである事が
望ましく、又当該ファインアクチュエータ部6に設けら
れている当該第2の駆動手段16は、ボイスコイルモー
タ或いは圧電素子から選択された一つで構成されている
事が望ましい。
In the present invention, the vibration suppressing means 32
Restricts a plurality of resonance frequencies generated in the holder arm 11 of the course actuator unit 7 to one with the swinging movement of the magnetic head support mechanism 5,
In addition, it is desirable that the device has a function of moving the resonance frequency to a higher frequency band side. Further, the first driving means 12 provided in the course actuator section 7 according to the present invention is preferably a voice coil motor, and the second driving means 12 provided in the fine actuator section 6 is preferably used. It is desirable that the driving means 16 is constituted by one selected from a voice coil motor or a piezoelectric element.

【0030】次に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構の構成をより詳細に説明するならば、図1におい
て、磁気ヘッド位置決め機構100は、磁気ヘッド支持
機構5と、ファインアクチュエータ部6およびコースア
クチュエータ部7からなる2ステージアクチュエータと
から構成されており、当該ファインアクチュエータ部6
に於ては、当該磁気ヘッド支持機構5は、少なくとも当
該磁気ヘッド支持機構保持部30に形成されたアクチュ
エータスプリング部8との間に設けられた細幅状バネ部
材27を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部30に接
合されており、当該細幅状バネ部材27を第2の駆動手
段16である例えば圧電素子160によって変形させる
様に構成されている事が好ましい。
Next, the configuration of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention will be described in more detail. In FIG. 1, the magnetic head positioning mechanism 100 includes a magnetic head support mechanism 5, a fine actuator section 6, and a course. And a two-stage actuator composed of an actuator unit 7.
In this case, the magnetic head supporting mechanism 5 is connected to the magnetic head supporting mechanism via a narrow spring member 27 provided at least between the magnetic head supporting mechanism 5 and the actuator spring section 8 formed in the magnetic head supporting mechanism holding section 30. It is preferable that the narrow-width spring member 27 is bonded to the mechanism holding unit 30 and is configured to be deformed by the second driving unit 16, for example, the piezoelectric element 160.

【0031】又、本具体例に於いては、当該磁気ヘッド
支持機構保持部30は、図中のホルダアームかしめ位置
10においてコースアクチュエータ部7を構成するホル
ダアーム11に接続される。また、複数のホルダアーム
11からなるアームブロック13は、その一端に第1の
駆動手段12を構成する可動コイルを有し、図示せぬ外
部固定磁気回路と組み合わされてボイスコイルモータV
CMを構築しコースアクチュエータ部7を形成してい
る。
Further, in this embodiment, the magnetic head supporting mechanism holding section 30 is connected to the holder arm 11 constituting the course actuator section 7 at the holder arm swaging position 10 in the figure. Further, the arm block 13 including the plurality of holder arms 11 has a movable coil at one end thereof constituting the first driving means 12, and is combined with an external fixed magnetic circuit (not shown) so that the voice coil motor V
The CM is constructed to form the course actuator section 7.

【0032】一方、当該磁気ヘッド支持機構5は、磁気
ヘッド1を搭載した浮上型もしくは接触型のスライダ2
と、それを支持するジンバルスプリング3ならびにスラ
イダ2に押圧力を付与するためのロードビーム4から構
成されている。そして、スライダ2を図示せぬ記録媒体
に対向する向きにして当該ファイアクチュエータ部6に
サスペンションかしめ位置9において接続されている。
On the other hand, the magnetic head supporting mechanism 5 is a floating or contact type slider 2 on which the magnetic head 1 is mounted.
And a load beam 4 for applying a pressing force to the slider 2 and a gimbal spring 3 supporting the same. The slider 2 is connected to the phi actuator 6 at a suspension caulking position 9 with the slider 2 facing the recording medium (not shown).

【0033】また当該ファインアクチュエータ部6に於
ける当該磁気ヘッド支持機構保持部30に設けられてい
るアクチュエータ・スプリング8は、サスペンションか
しめ位置9とホルダアームかしめ位置10との間におい
て第2の駆動手段である一対の圧電素子160が当該ア
クチュエータ・スプリング8の長手方向の中心軸を挟ん
でその長手軸に沿う方向に平行に配置されている。
The actuator spring 8 provided on the magnetic head supporting mechanism holding section 30 of the fine actuator section 6 is provided between the suspension caulking position 9 and the holder arm caulking position 10 by a second driving means. Are arranged in parallel with a direction along the longitudinal axis of the actuator spring 8 with the central axis in the longitudinal direction of the actuator spring 8 interposed therebetween.

【0034】当該アクチュエータ・スプリング8にはS
US304などの靱性を有する材料を用い、当該サスペ
ンションかしめ位置9と圧電素子160との間に細幅状
のバネ部27を有しており、当該一対の圧電素子160
に交互に電圧を印加することにより、左右の圧電素子を
交互に歪ませて当該バネ部27を撓ませて磁気ヘッド支
持機構5をシーク方向へ微小駆動させる。
The actuator spring 8 has S
A material having toughness such as US 304 is used, and a narrow spring portion 27 is provided between the suspension caulking position 9 and the piezoelectric element 160.
By alternately applying a voltage to the magnetic head support mechanism 5, the left and right piezoelectric elements are alternately distorted to deflect the spring portion 27, and the magnetic head support mechanism 5 is minutely driven in the seek direction.

【0035】本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構
100に於いては、当該磁気ヘッド位置決め機構ユニッ
ト一つで構成されていても良く、又図1(a)に示す様
に、複数個の当該磁気ヘッド位置決め機構ユニットを当
該アームブロック部に於て同心的に多層化、集合化して
使用するもので有っても良い。このとき、アームブロッ
ク13を構成する複数個の磁気ヘッド位置決め機構ユニ
ットに於ける両端部の磁気ヘッド位置決め機構ユニット
を除いた、磁気ヘッド位置決め機構ユニットの少なくと
も一部の磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホル
ダアーム11には、図1(a)に示すように、ホルダア
ーム11を間に挟んで一つの磁気ヘッド位置決め機構ユ
ニットH2ともう1枚の磁気ヘッド位置決め機構ユニッ
トH3とを上下に対向する形で同じように接続されてい
る(図1(a)の中位アーム・アッセー25参照)。
The magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention may be constituted by one magnetic head positioning mechanism unit, and as shown in FIG. The head positioning mechanism unit may be concentrically multi-layered and assembled in the arm block portion. At this time, at least a part of the magnetic head positioning mechanism units excluding the magnetic head positioning mechanism units at both ends of the plurality of magnetic head positioning mechanism units constituting the arm block 13. As shown in FIG. 1A, one magnetic head positioning mechanism unit H2 and another magnetic head positioning mechanism unit H3 are vertically opposed to each other with the holder arm 11 interposed therebetween. (See the middle arm assay 25 in FIG. 1A).

【0036】上述のように、図1に於ける任意の磁気ヘ
ッド支持機構H2をシーク方向へ微小駆動させるときに
は、ホルダアーム11を挟んで対向する側に接続したも
う1枚の磁気ヘッド支持機構H3を上記一方の磁気ヘッ
ド位置決め機構H2とは逆方向へ同じ加速度で駆動する
ように、当該アクチュエータスプリング8に取り付けた
他の第2の駆動手段16’を構成する一対の圧電素子1
60’に印加する電圧を、当該圧電素子160に対して
互いに逆位相になるように制御する。
As described above, when an arbitrary magnetic head support mechanism H2 in FIG. 1 is minutely driven in the seek direction, another magnetic head support mechanism H3 connected to the opposite side with the holder arm 11 interposed therebetween. And a pair of piezoelectric elements 1 constituting another second driving means 16 ′ attached to the actuator spring 8 so as to be driven at the same acceleration in the direction opposite to the one magnetic head positioning mechanism H 2.
The voltage applied to 60 ′ is controlled so that the piezoelectric element 160 has the opposite phases.

【0037】例えば、上部磁気ヘッド支持機構H2を保
持するファインアクチュエータの一対の圧電素子160
の右側の圧電素子に300V、左側の圧電素子に0Vの
電圧を印加したときには、対向する下部磁気ヘッド支持
機構H3を保持するファインアクチュエータの同じく一
対の圧電素子160’の右側の圧電素子に0V、左側の
圧電素子に300Vの電圧を印加するようにしておく。
For example, a pair of piezoelectric elements 160 of a fine actuator holding the upper magnetic head support mechanism H2
When a voltage of 300 V is applied to the right piezoelectric element and a voltage of 0 V is applied to the left piezoelectric element, 0 V is applied to the right piezoelectric element of the same pair of piezoelectric elements 160 ′ of the fine actuator that holds the lower magnetic head support mechanism H 3 opposed thereto. A voltage of 300 V is applied to the left piezoelectric element.

【0038】これにより、トラック追従動作を行う任意
の磁気ヘッド1をファインアクチュエータにより微小駆
動させるときには、ホルダアーム11を挟んで反対側に
接続されたもう1枚のファインアクチュエータも常時逆
方向へ同じ加速度(HGA駆動力)で磁気ヘッドを駆動
させることになる(図1(c)および図1(d)並びに
図2(b)および図2(c)参照)。
Accordingly, when any magnetic head 1 that performs the track following operation is finely driven by the fine actuator, the other fine actuator connected on the opposite side across the holder arm 11 always has the same acceleration in the opposite direction. (HGA driving force) drives the magnetic head (see FIGS. 1 (c) and 1 (d) and FIGS. 2 (b) and 2 (c)).

【0039】このときファインアクチュエータ部のHG
A(磁気ヘッド支持機構)駆動によってホルダアーム先
端部のアクチュエータスプリング接続位置に作用するH
GA駆動反力は、上下2枚のファインアクチュエータH
2、H3(図1(a)の中位アーム・アッセー25)を
常時逆向きに等しい加速度(HGA駆動力)で駆動させ
ている場合には、互いのHGA駆動反力が相殺されるた
め、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセル
することができる。
At this time, the HG of the fine actuator
A (H) acting on the actuator spring connection position at the tip of the holder arm by driving the magnetic head supporting mechanism (A).
The GA drive reaction force is the upper and lower two fine actuators H
2. When H3 (the middle arm assay 25 in FIG. 1A) is constantly driven in the opposite direction and with the same acceleration (HGA driving force), the mutual HGA driving reaction force is canceled out. The exciting force acting on the holder arm tip can be canceled.

【0040】したがって、図17、図18で説明したよ
うなファインアクチュエータ部のHGA駆動反力が励起
するホルダアーム振動を抑制することができるため、ト
ラック追従時(ここではPZT駆動時)において現れて
いた3つの共振ピーク(図3(a)太線)を1つに抑え
ることができる(図3(b)太線)。上記具体例の説明
から明らかな様に、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置
決め機構100に於いては、当該振動抑制手段32は、
当該磁気ヘッド支持機構5による当該磁気ヘッド1の揺
動に起因して当該コースアクチュエータ部7のホルダア
ーム11に発生する反力を相殺する様な力を発生させる
機能を有するものであれば、如何なる構成を有するもの
で有っても良い。
Therefore, since the holder arm vibration excited by the HGA driving reaction force of the fine actuator section as described with reference to FIGS. 17 and 18 can be suppressed, it appears at the time of track following (here, at the time of PZT driving). The three resonance peaks (thick line in FIG. 3A) can be reduced to one (thick line in FIG. 3B). As is clear from the above description of the specific example, in the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention, the vibration suppressing means 32
Any device having a function of generating a force that cancels a reaction force generated in the holder arm 11 of the course actuator unit 7 due to the swing of the magnetic head 1 by the magnetic head support mechanism 5 can be used. It may have a configuration.

【0041】その具体例として、上記具体例では、当該
振動抑制手段32は、当該ファインアクチュエータ部6
に、当該ファインアクチュエータ部6に於ける当該磁気
ヘッド支持機構保持部30に設けられている当該磁気ヘ
ッド支持機構5の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支
持機構5の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的に
行う揺動補償部材33を設けるものであり、当該揺動補
償部材33として、実際に情報の読み書きに使用される
当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構
成された磁気ヘッド支持機構或いは、当該磁気ヘッド支
持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部、例
えばH2に隣接して対向配置するものである。
As a specific example, in the above specific example, the vibration suppressing means 32 is provided in the fine actuator section 6.
The swing operation of the magnetic head support mechanism 5 provided in the magnetic head support mechanism holding section 30 in the fine actuator section 6 is opposite to the swing operation of the magnetic head support mechanism 5. A swing compensating member 33 for independently performing a swinging operation in the direction is provided. As the swing compensating member 33, a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information is supported. The magnetic head support mechanism or the magnetic head support mechanism holding part connected to the magnetic head support mechanism, for example, the magnetic head support mechanism is disposed adjacent to and opposed to H2.

【0042】当該揺動補償部材33は、当該磁気ヘッド
支持機構5或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部30と
等価の質量を有している事が望ましい。更に、本発明に
於いては、当該揺動補償部材33は、実際に情報の読み
書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを
支持するように構成された揺動可能な磁気ヘッド支持機
構、或いは当該磁気ヘッド支持機構と接合された磁気ヘ
ッド支持機構保持部で構成されているもので有っても良
く、当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁気ヘッド支
持機構保持部と等価の質量を持ったダミー部材で構成さ
れるもので有っても良い。
The swing compensating member 33 preferably has a mass equivalent to that of the magnetic head supporting mechanism 5 or the magnetic head supporting mechanism holding section 30. Further, in the present invention, the swing compensating member 33 includes a swingable magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information. Alternatively, the magnetic head supporting mechanism may be constituted by a magnetic head supporting mechanism holding portion joined to the magnetic head supporting mechanism, and a dummy having a mass equivalent to the magnetic head supporting mechanism or the magnetic head supporting mechanism holding portion. It may be composed of members.

【0043】次に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構100の他の具体例を図4を参照しながら詳細に
説明する。つまり、本具体例に於いては、当該ファイン
アクチュエータ部6に設けられる当該振動抑制手段32
を構成する揺動補償部材33としてダミー部材22を使
用するものである。
Next, another specific example of the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. That is, in this specific example, the vibration suppressing means 32 provided in the fine actuator unit 6 is used.
The dummy member 22 is used as the swing compensating member 33 constituting the above.

【0044】本具体例に於ける基本的な構成は、第1の
具体例と同様であるので詳細な構成についての説明は省
略し、当該第1の具体例の構成と異なる部分に付いて説
明する。即ち、図4(a)乃至図4(d)は、本発明に
係る当該第2の具体例の構成を説明する側面図および平
面図である。
The basic configuration of this embodiment is the same as that of the first embodiment, so that the detailed explanation of the structure is omitted, and the parts different from those of the first embodiment are explained. I do. That is, FIGS. 4A to 4D are a side view and a plan view illustrating the configuration of the second specific example according to the present invention.

【0045】図4において、アームブロック13の両端
部にある磁気ヘッド位置決め機構ユニット23と24、
つまり図中、最上位もしくは最下位のホルダアーム11
には、前記した第1の具体例で示したように磁気ヘッド
支持機構5に含まれる磁気ヘッド支持機構H1又はH4
を保持したファインアクチュエータ部6が図示せぬ記録
媒体に対向する側に接続されており、一方前記ホルダア
ーム11を挟んで反対側には、図4(a)に示す様に、
前記磁気ヘッド支持機構H1又はH4の等価質量に相当
する質量を備えたダミー部材22(特にはH0またはH
5)を搭載したもう1枚のファインアクチュエータであ
るダミー・アクチュエータ21が接続され、最上位アー
ム・アッセー23または最下位アーム・アッセー24を
形成している。
In FIG. 4, the magnetic head positioning mechanism units 23 and 24 at both ends of the arm block 13
That is, in the drawing, the uppermost or lowermost holder arm 11
The magnetic head supporting mechanism H1 or H4 included in the magnetic head supporting mechanism 5 as shown in the first specific example described above.
Is connected to the side facing the recording medium (not shown), and on the other side across the holder arm 11, as shown in FIG.
The dummy member 22 (particularly H0 or H0) having a mass corresponding to the equivalent mass of the magnetic head support mechanism H1 or H4.
Dummy actuator 21, which is another fine actuator mounted with 5), is connected to form uppermost arm assay 23 or lowermost arm assay 24.

【0046】このとき前記ダミーマス22は、前記磁気
ヘッド支持機構の等価質量に等しくなるように設計され
ていれば材質や形状は特に規定されないが、キャリッジ
実装を阻害しない程度の大きさ及び厚みであり、かつ余
分な振動モードを励起しないような剛体であることが望
ましい。また前記ダミーマス22を搭載する前記ダミー
・アクチュエータ21は、基本的に前記最上位もしくは
最下位のホルダアームに接続される磁気ヘッド支持機構
(H1もしくはH4)を保持するファインアクチュエー
タ部と同一にアクチュエータスプリング8および他の第
2の駆動手段16’としての一対の圧電素子160’か
ら構成されるものである。
At this time, the material and shape of the dummy mass 22 are not particularly limited as long as the dummy mass 22 is designed to be equivalent to the equivalent mass of the magnetic head support mechanism. It is desirable that the material be rigid so as not to excite an extra vibration mode. The dummy actuator 21 on which the dummy mass 22 is mounted basically has the same actuator spring as the fine actuator unit holding the magnetic head support mechanism (H1 or H4) connected to the uppermost or lowermost holder arm. 8 and a pair of piezoelectric elements 160 'as other second driving means 16'.

【0047】前記最上位もしくは最下位のホルダアーム
に接続された磁気ヘッド支持機構H1もしくはH4をシ
ーク方向へ微小駆動させるときには、ホルダアームを挟
んで対向する側に接続した前記ダミーマス22、つまり
H0もしくはH5を、上記磁気ヘッド支持機構H1もし
くはH4とは逆方向へ同じ加速度で駆動するように、前
記ダミー・アクチュエータ21に取り付けた一対の圧電
素子160’に印加する電圧を、当該磁気ヘッド支持機
構H1もしくはH4を保持する各々のファインアクチュ
エータ部6における第2の駆動手段16を構成する圧電
素子160の駆動電圧とは逆位相になるように制御す
る。
When the magnetic head supporting mechanism H1 or H4 connected to the uppermost or lowermost holder arm is minutely driven in the seek direction, the dummy mass 22 connected to the opposite side with the holder arm interposed therebetween, that is, H0 or H0. A voltage applied to a pair of piezoelectric elements 160 'attached to the dummy actuator 21 is applied to the magnetic head support mechanism H1 so that H5 is driven at the same acceleration in a direction opposite to that of the magnetic head support mechanism H1 or H4. Alternatively, control is performed so that the driving voltage of the piezoelectric element 160 constituting the second driving means 16 in each fine actuator unit 6 holding H4 has an opposite phase to the driving voltage.

【0048】例えば、上部磁気ヘッド支持機構H1を保
持するファインアクチュエータの一対の圧電素子160
の右側の圧電素子に300V、左側の圧電素子に0Vの
電圧を印加したときには、対向する側のダミー部材22
を保持するファインアクチュエータの同じく一対の圧電
素子160’の右側の圧電素子に0V、左側の圧電素子
に300Vの電圧を印加するようにしておく。
For example, a pair of piezoelectric elements 160 of a fine actuator holding the upper magnetic head support mechanism H1
When a voltage of 300 V is applied to the right piezoelectric element and a voltage of 0 V is applied to the left piezoelectric element, the dummy member 22 on the opposite side
In the fine actuator holding the above, a voltage of 0 V is applied to the piezoelectric element on the right side of the pair of piezoelectric elements 160 ′, and a voltage of 300 V is applied to the piezoelectric element on the left side.

【0049】これにより、図4(b)乃至図4(d)お
よび図5(b)乃至図5(c)に示す様に、キャリッジ
最上位もしくは最下位に接続された磁気ヘッドをファイ
ンアクチュエータにより微小駆動させてトラック追従動
作を行うときには、ホルダアーム11を挟んで反対側に
接続されたダミー・アクチュエータ21も常時逆方向へ
同じ加速度(駆動力)でダミーマス22を駆動させるこ
とになる。
Thus, as shown in FIGS. 4 (b) to 4 (d) and FIGS. 5 (b) to 5 (c), the magnetic head connected to the top or bottom of the carriage is moved by the fine actuator. When the track following operation is performed by minute driving, the dummy actuator 21 connected to the opposite side of the holder arm 11 always drives the dummy mass 22 in the opposite direction with the same acceleration (driving force).

【0050】このときキャリッジ最上位もしくは最下位
のファインアクチュエータ部によるHGA(磁気ヘッド
支持機構)駆動によって、当該アームブロック13に積
層された磁気ヘッド位置決め機構ユニットの内で両端部
に配置されている磁気ヘッド位置決め機構ユニットのホ
ルダアーム先端部のアクチュエータスプリング接続位置
において作用するHGA駆動反力は、上下2枚のファイ
ンアクチュエータ(うち1枚はダミー・アクチュエー
タ)を互いに常時逆向きに等しい加速度(HGA駆動力
=ダミーマス駆動力)で駆動させているため互いに相殺
され、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセ
ルすることができる。
At this time, by the HGA (magnetic head support mechanism) driven by the fine actuator section at the top or bottom of the carriage, the magnetic elements disposed at both ends in the magnetic head positioning mechanism unit stacked on the arm block 13. The HGA driving reaction force acting at the actuator spring connection position at the end of the holder arm of the head positioning mechanism unit is obtained by accelerating the two upper and lower fine actuators (one of which is a dummy actuator) at equal accelerations (HGA driving force). (Dummy mass driving force), the vibrations cancel each other, and the vibration force acting on the tip end of the holder arm can be canceled.

【0051】したがって、図17、図18で説明したよ
うなファインアクチュエータのHGA駆動反力が励起す
るホルダアーム振動を抑制することができるため、トラ
ック追従時(PZT駆動時)において現れていた図6
(a)で示される2つの共振ピークを図6(b)に示す
様に、1つに抑えることができる。次に、本発明に係る
磁気ヘッド位置決め機構100に付いての別の具体例に
付いて図7を参照して詳細に説明する。
Therefore, since the holder arm vibration excited by the HGA driving reaction force of the fine actuator as described with reference to FIGS. 17 and 18 can be suppressed, FIG. 6 that appears during track following (PZT driving).
The two resonance peaks shown in FIG. 6A can be reduced to one as shown in FIG. Next, another specific example of the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention will be described in detail with reference to FIG.

【0052】図7(a)乃至図7(d)は、本発明に係
る第3の具体例の構成を示す側面図および平面図であ
る。図7において、磁気ヘッド位置決め機構100は、
磁気ヘッド支持機構5と、ファインアクチュエータ部6
およびコースアクチュエータ部7からなる2ステージア
クチュエータとから構成されている。
FIGS. 7 (a) to 7 (d) are a side view and a plan view showing the configuration of the third embodiment according to the present invention. 7, the magnetic head positioning mechanism 100 includes:
Magnetic head support mechanism 5 and fine actuator section 6
And a two-stage actuator composed of a course actuator section 7.

【0053】ファインアクチュエータ部6は、アクチュ
エータ・スプリング8と小形VCM20から構成され、
図中ホルダアームかしめ位置10においてコースアクチ
ュエータ部7を構成するホルダアーム11に設けられた
所定の回転軸に、回転揺動自在に嵌合し接続される。ま
た、複数のホルダアーム11からなるアームブロック1
3は、その一端に可動コイル12を有し、図示せぬ外部
固定磁気回路と組み合わされてVCMを構築しコースア
クチュエータ部7を形成している。
The fine actuator section 6 comprises an actuator spring 8 and a small VCM 20.
In the figure, at a holder arm swaging position 10, it is fitted and connected to a predetermined rotation shaft provided on a holder arm 11 constituting the course actuator section 7 so as to be swingable. Also, an arm block 1 composed of a plurality of holder arms 11
Reference numeral 3 has a movable coil 12 at one end, and forms a VCM in combination with an externally fixed magnetic circuit (not shown) to form a course actuator section 7.

【0054】一方、前記したそれぞれの磁気ヘッド位置
決め機構ユニットに於ける磁気ヘッド支持機構5は、磁
気ヘッド1を搭載した浮上型もしくは接触型のスライダ
2と、それを支持するジンバルスプリング3ならびにス
ライダ2に押圧力を付与するためのロードビーム4から
構成されており、前記スライダ2を図示せぬ記録媒体に
対向する向きにして、前記ファイアクチュエータ部6に
サスペンションかしめ位置9において接続されている。
On the other hand, the magnetic head support mechanism 5 in each of the above-described magnetic head positioning mechanism units includes a floating or contact type slider 2 on which the magnetic head 1 is mounted, a gimbal spring 3 and a slider 2 for supporting the slider. The slider 2 is connected to the phi actuator section 6 at a suspension crimping position 9 with the slider 2 facing the recording medium (not shown).

【0055】また前記ファインアクチュエータ部6のア
クチュエータ・スプリング8には、前記磁気ヘッド支持
機構5とは反対側の端部において小形VCM20が配置
され、さらに前記サスペンションかしめ位置9と前記小
形VCM20との間にはバネ部27を有しており、前記
小形VCMに任意の電流を印加することにより電磁力を
発生させて前記バネ部を撓ませることにより磁気ヘッド
支持機構をシーク方向へ微小駆動させている。
The actuator spring 8 of the fine actuator section 6 is provided with a small VCM 20 at the end opposite to the magnetic head support mechanism 5, and further, between the suspension swaging position 9 and the small VCM 20. Has a spring portion 27, generates an electromagnetic force by applying an arbitrary current to the small VCM, and flexes the spring portion to minutely drive the magnetic head support mechanism in the seek direction. .

【0056】このとき、アームブロック13の中位のホ
ルダアーム11の何れにも、図7(a)に示すように、
もう1枚のファインアクチュエータ部がホルダアームを
間に挟んで上下に対向する形で同じように接続されてい
る(図7(a):中位アーム・アッセー25)。つま
り、本具体例に於いては、当該中位アーム・アッセー2
5を構成するそれぞれの磁気ヘッド位置決め機構ユニッ
トに於ける当該ホルダーアーム11の一方側には、実際
に所定の記録媒体に対する、所定の情報の読み書きに使
用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
ように構成された磁気ヘッド支持機構と接続される当該
磁気ヘッド支持機構保持部H2、H4に設けると共に、
当該ホルダーアーム11の他方の側には、当該振動抑制
手段32の一例として実際に所定の記録媒体に対する、
所定の情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭
載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド
支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部H
2、H4と同一の構成と等価の質量を有する部材を揺動
補償部材33として、隣接状に対向配置し且つ揺動自在
に設けるものである。
At this time, as shown in FIG. 7A, any of the middle holder arms 11 of the arm block 13
Another fine actuator section is similarly connected so as to face up and down with the holder arm interposed therebetween (FIG. 7A: middle arm assay 25). That is, in this specific example, the middle arm assay 2
On one side of the holder arm 11 in each of the magnetic head positioning mechanism units constituting the magnetic head 5, a slider mounted with the magnetic head used for reading and writing predetermined information on a predetermined recording medium is supported. To the magnetic head supporting mechanism holding portions H2 and H4 connected to the magnetic head supporting mechanism configured to perform
On the other side of the holder arm 11, as an example of the vibration suppressing unit 32,
The magnetic head supporting mechanism holding section H connected to a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is used for reading and writing predetermined information.
2, a member having the same configuration and the same mass as H4 is provided as a swing compensating member 33 so as to be adjacently opposed to each other and to be swingable.

【0057】上述のように任意の磁気ヘッド支持機構保
持部30、例えばH2をシーク方向へ 微小駆動させる
ときには、ホルダアーム11を挟んで対向する側に接続
したもう1枚の磁気ヘッド支持機構保持部30、例えば
H3を上記磁気ヘッド支持機構保持部H2とは逆方向へ
同じ加速度で駆動するように、前記アクチュエータスプ
リング8に取り付けた小形ボイスコイルモータVCM2
0に印加する電流を、磁気ヘッド支持機構保持部H2を
駆動させる小形ボイスコイルモータVCMの電流とは逆
方向になるように制御する。
As described above, when an arbitrary magnetic head supporting mechanism holding unit 30, for example, H2 is minutely driven in the seek direction, another magnetic head supporting mechanism holding unit connected to the opposite side with the holder arm 11 interposed therebetween. 30, a small voice coil motor VCM2 attached to the actuator spring 8 so as to drive H3 in the opposite direction to the magnetic head supporting mechanism holding portion H2 at the same acceleration.
The current applied to 0 is controlled to be in the opposite direction to the current of the small voice coil motor VCM that drives the magnetic head support mechanism holding unit H2.

【0058】これにより、図7(b)乃至図7(d)に
示す様に、トラック追従動作を行う任意の磁気ヘッド支
持機構保持部H2に於ける磁気ヘッド1をファインアク
チュエータにより微小駆動させるときには、ホルダアー
ム11を挟んで反対側に隣接して対向接続されたもう1
枚の磁気ヘッド支持機構保持部H3も常時逆方向へ同じ
加速度(HGA駆動力)で磁気ヘッド1を駆動させるこ
とになる。
As a result, as shown in FIGS. 7B to 7D, when the magnetic head 1 in an arbitrary magnetic head supporting mechanism holding portion H2 performing a track following operation is minutely driven by a fine actuator. And the other is connected adjacently on the opposite side with the holder arm 11 therebetween.
The magnetic head supporting mechanism holding portion H3 always drives the magnetic head 1 in the opposite direction with the same acceleration (HGA driving force).

【0059】このときファインアクチュエータ部のHG
A(磁気ヘッド支持機構)駆動によってホルダアーム先
端部のアクチュエータスプリング接続位置において作用
するHGA駆動反力は、ホルダアームを挟んで対向する
側のHGA駆動反力によって互いに相殺されるため、ホ
ルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルするこ
とができ、HGA駆動反力に起因したホルダアーム振動
を抑制することができるため、トラック追従時(小形V
CM駆動時)における振動特性を改善することができ
る。
At this time, the HG of the fine actuator
The HGA driving reaction forces acting at the actuator spring connection position at the distal end of the holder arm driven by A (magnetic head support mechanism) are canceled out by the HGA driving reaction forces on the opposite side with the holder arm interposed therebetween. The vibration force acting on the section can be canceled, and the holder arm vibration caused by the HGA driving reaction force can be suppressed.
The vibration characteristics at the time of CM driving) can be improved.

【0060】又、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
100について、更に別の具体例を図8を参照しながら
詳細に説明する。図8(a)および(d)は、本発明に
係磁気ヘッド位置決め機構100の第4の具体例の構成
を示す側面図および平面図である。図8において、アー
ムブロック13の両端部、つまり最上位もしくは最下位
のホルダアーム11には、前記第1の具体例で示したよ
うに磁気ヘッド支持機構H1またはH6を保持したファ
インアクチュエータ6が図示されていない記録媒体に対
向する側に接続されており、一方、当該ホルダアーム1
1を挟んで反対側には、前記磁気ヘッド支持機構H1ま
たはH6の等価質量に相当する質量を備えたダミーマス
22を搭載したもう1枚の磁気ヘッド支持機構保持部H
0またはH7が接続されている(図8(a)の最上位ア
ーム・アッセー23または最下位アーム・アッセー24
参照)。
Further, another specific example of the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. FIGS. 8A and 8D are a side view and a plan view showing the configuration of a fourth specific example of the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention. 8, the fine actuator 6 holding the magnetic head support mechanism H1 or H6 as shown in the first specific example is shown at both ends of the arm block 13, that is, at the uppermost or lowermost holder arm 11. Connected to the side facing the unrecorded recording medium.
On the other side of the magnetic head supporting mechanism H1 or H6, another magnetic head supporting mechanism holding section H on which a dummy mass 22 having a mass corresponding to the equivalent mass of the magnetic head supporting mechanism H1 or H6 is mounted.
0 or H7 (the uppermost arm assay 23 or the lowermost arm assay 24 in FIG. 8A).
reference).

【0061】前記最上位もしくは最下位のホルダアーム
11に接続された磁気ヘッド支持機構H1もしくはH6
をシーク方向へ微小駆動させるときには、ホルダアーム
11を挟んで対向する側に接続した前記ダミーマス22
を保持する磁気ヘッド支持機構保持部H0もしくはH7
を上記磁気ヘッド支持機構保持部H1もしくはH6とは
逆方向へ同じ加速度で駆動するように、当該磁気ヘッド
支持機構保持部H0もしくはH7に設けられたダミーア
クチュエータ21に取り付けた他の第2の駆動手段1
6’を構成する第2の小形ボイスコイルモータVCM2
0’に印加する電流を、当該磁気ヘッド支持機構保持部
H1もしくはH6のファインアクチュエータ部を構成す
る第2の駆動手段20に想到する小形ボイスコイルモー
タVCM20に印加する電流とは逆方向になるように制
御する。
The magnetic head supporting mechanism H1 or H6 connected to the uppermost or lowermost holder arm 11
Is slightly driven in the seek direction, the dummy mass 22 connected to the opposite side with the holder arm 11 interposed therebetween.
Magnetic head supporting mechanism holding unit H0 or H7
The other second drive attached to the dummy actuator 21 provided in the magnetic head support mechanism holding unit H0 or H7 so as to drive the magnetic head support mechanism holding unit H1 or H6 in the opposite direction with the same acceleration. Means 1
6 ', the second small voice coil motor VCM2
The current applied to 0 ′ is in the opposite direction to the current applied to the small voice coil motor VCM 20 supposed to the second drive means 20 constituting the fine actuator section of the magnetic head support mechanism holding section H1 or H6. To control.

【0062】これにより、アームブロック最上位もしく
は最下位の磁気ヘッドをファインアクチュエータ6によ
り微小駆動させてトラック追従動作を行うときには、ホ
ルダアーム11を挟んで反対側に接続されたダミー・ア
クチュエータ21も常時逆方向へ同じ加速度(駆動力)
でダミーマスを駆動させることになり、図8(b)及び
図8(c)に示すように、互いの駆動反力が相殺されて
ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルする
ことができる。
Accordingly, when the magnetic head at the uppermost or lowermost position of the arm block is finely driven by the fine actuator 6 to perform the track following operation, the dummy actuator 21 connected to the opposite side with the holder arm 11 interposed therebetween is also constantly operated. Same acceleration (driving force) in opposite direction
The dummy mass is driven, and as shown in FIG. 8 (b) and FIG. 8 (c), the mutual driving reaction force is cancelled, and the exciting force acting on the tip end of the holder arm can be canceled. .

【0063】したがって、HGA駆動反力に起因するホ
ルダアーム振動を抑制することができるため、高周波数
帯域まで共振ピークのない良好な振動特性を有する磁気
ヘッド位置決め機構を提供することができる。上記した
各具体例から明らかな様に、本発明に於ける当該磁気ヘ
ッド位置決め機構100の好ましい具体例としては、当
該多層化された磁気ヘッド位置決め機構に於いて、当該
多層化された当該個々のコースアクチュエータ部に於け
る両端部に位置する当該コースアクチュエータ部を構成
するホルダアームの一面にはダミー部材が配置され、当
該他面には、実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは
記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有
する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持
機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部が配置されて
いる磁気ヘッド位置決め機構であり、又他の好ましい具
体例としては、当該多層化された磁気ヘッド位置決め機
構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアクチ
ュエータ部に於ける両端部を除く部位に配置されたホル
ダアームの両側面には、それぞれ実際に情報を記録媒体
に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を
行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは
当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構
保持部が配置されている磁気ヘッド位置決め機構であ
る。
Therefore, since the holder arm vibration caused by the HGA driving reaction force can be suppressed, it is possible to provide a magnetic head positioning mechanism having good vibration characteristics without a resonance peak up to a high frequency band. As is apparent from the specific examples described above, a preferred specific example of the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention is the multi-layered magnetic head positioning mechanism according to the present invention. A dummy member is arranged on one surface of a holder arm which constitutes the course actuator portion located at both ends of the course actuator portion, and on the other surface, information is actually written on a recording medium or information is recorded from the recording medium. The magnetic head support mechanism having a magnetic head that performs the operation of reading the magnetic head support mechanism or a magnetic head positioning mechanism in which a magnetic head support mechanism holding unit that holds the magnetic head support mechanism is disposed, and as another preferred specific example, In the multilayered magnetic head positioning mechanism, the multilayered individual course actuators The magnetic head supporting mechanism having a magnetic head that actually performs an operation of writing information to a recording medium or reading information from a recording medium is provided on both side surfaces of a holder arm disposed at a portion except for both end portions in the above. This is a magnetic head positioning mechanism in which a magnetic head support mechanism holding section for holding the magnetic head support mechanism is arranged.

【0064】一方、上記各具体例に於ける当該磁気ヘッ
ド位置決め機構100の操作方法の説明より明らかな通
り、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方
法としては、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
ように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッド
支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有する
ファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチュ
エータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに揺
動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースアク
チュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機構
であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホルダ
ーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動さ
せる為の第1の駆動手段を有しており、一方、当該ファ
インアクチュエータ部には、当該コースアクチュエータ
部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に当
該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第2
の駆動手段が設けられている磁気ヘッド位置決め機構に
於いて、当該ファインアクチュエータ部に振動抑制手段
を設け、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁
気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コース
アクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する振動
を抑制する様に構成されているものである。
On the other hand, as is apparent from the description of the operation method of the magnetic head positioning mechanism 100 in each of the above-described specific examples, the driving method of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention employs a slider on which a magnetic head is mounted. A fine actuator section having a magnetic head support mechanism configured to support and a magnetic head support mechanism holding section for holding the magnetic head support mechanism, and being joined to the fine actuator section and around a predetermined rotation axis. A magnetic actuator positioning mechanism comprising a swing actuator that has a holder arm pivotally supported, wherein the coarse actuator swings the holder arm in a seek direction around the rotation axis. For driving the fine actuator. The part, a second order to a small amount swing independently the magnetic head in the seek direction and the swinging motion of the in the holder arm to the coarse actuator portion
In the magnetic head positioning mechanism provided with the driving means, the fine actuator section is provided with vibration suppressing means, and the fine actuator section is provided with the swinging motion of the magnetic head supporting mechanism. It is configured to suppress vibration generated in the holder arm of the actuator section.

【0065】上記した本発明に係る当該磁気ヘッド位置
決め機構の駆動方法に於いては、当該振動抑制手段を介
して、当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴っ
て、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアーム
に発生する複数個の共振周波数を一つに制限し、且つ当
該共振周波数をより高周波帯域側に移動する様に制御す
る様に制御が実行される事が望ましい。
In the driving method of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention described above, the coarse actuator of the coarse actuator is moved by the swinging movement of the magnetic head supporting mechanism via the vibration suppressing means. It is desirable that the control is performed such that a plurality of resonance frequencies generated in the holder arm are limited to one and the resonance frequency is controlled to move to a higher frequency band side.

【0066】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構の駆動方法に於いては、当該コースアクチュエータ
部7に設けられている当該第1の駆動手段12としてボ
イスコイルモータを使用する事が望ましく、又、当該フ
ァインアクチュエータ部6に設けられている当該第2の
駆動手段16としては、ボイスコイルモータ或いは圧電
素子の何れかを使用する事が望ましい。
In the method of driving the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, it is desirable to use a voice coil motor as the first driving means 12 provided in the course actuator section 7. Further, it is desirable to use either a voice coil motor or a piezoelectric element as the second driving means 16 provided in the fine actuator section 6.

【0067】更に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構の駆動方法に於いては、当該ファインアクチュエ
ータ部6に於て、当該磁気ヘッド支持機構5は、少なく
とも当該磁気ヘッド支持機構保持部30に形成されたア
クチュエータスプリング部8に設けられた細幅状バネ部
材27を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部30に接
合されており、当該細幅状バネ部材27を圧電素子16
0に印加される電圧を制御することによって変形させ、
当該磁気ヘッド1をシーク方向に揺動させる様に制御す
るものである。
Further, in the driving method of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, in the fine actuator section 6, the magnetic head supporting mechanism 5 is formed at least on the magnetic head supporting mechanism holding section 30. The narrow-width spring member 27 is connected to the magnetic head support mechanism holding portion 30 via a narrow-width spring member 27 provided on the actuator spring portion 8.
Deformed by controlling the voltage applied to 0,
The magnetic head 1 is controlled to swing in the seek direction.

【0068】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構の駆動方法に於いては、当該ファインアクチュエー
タ部6に於て、当該磁気ヘッド支持機構5を有する当該
磁気ヘッド支持機構保持部30が、コースアクチュエー
タ部7のホルダアーム11の一部に旋回可能に保持され
ると共に当該磁気ヘッド支持機構保持部30の端部にボ
イスコイルモータ20を当該コースアクチュエータ部7
の当該ホルダーアーム11に設けた磁石手段35と対向
して設け、当該ボイスコイルモータ20に印加される電
流を制御する事によって当該磁気ヘッド1をシーク方向
に揺動させる様に制御するものである。
In the method of driving the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, in the fine actuator section 6, the magnetic head supporting mechanism holding section 30 having the magnetic head supporting mechanism 5 is provided with a course. The voice coil motor 20 is rotatably held by a part of the holder arm 11 of the actuator unit 7 and is attached to the end of the magnetic head support mechanism holding unit 30 by the course actuator unit 7.
The magnetic head 1 is provided so as to face the magnet means 35 provided on the holder arm 11 and controls the current applied to the voice coil motor 20 so as to swing the magnetic head 1 in the seek direction. .

【0069】より具体的には、本発明に係る当該磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法に於て、当該振動抑制手段
32によって、当該磁気ヘッド支持機構5による揺動に
起因して当該コースアクチュエータ部7のホルダアーム
11に発生する反力を相殺する様な力を当該コースアク
チュエータ部7に発生させる様に構成するものであり、
特には、当該ファインアクチュエータ部6に設けられる
当該振動抑制手段32を、当該ファインアクチュエータ
部6に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部30に対向
して設けられ、且つ当該磁気ヘッド支持機構5若しくは
当該磁気ヘッド支持機構保持部30と等価の質量を有し
ている揺動補償部材33で構成し、当該揺動補償部材3
3を当該磁気ヘッド支持機構5の揺動動作に同期して当
該磁気ヘッド支持機構5の揺動動作とは反対方向に揺動
動作を独立的に行わせるものである。
More specifically, in the method of driving the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, the vibration suppressing means 32 causes the course actuator section 7 to move due to the swing of the magnetic head supporting mechanism 5. The course actuator section 7 generates a force that offsets the reaction force generated in the holder arm 11
In particular, the vibration suppressing means 32 provided in the fine actuator unit 6 is provided so as to face the magnetic head supporting mechanism holding unit 30 in the fine actuator unit 6, and the magnetic head supporting mechanism 5 or the The vibration compensating member 33 having a mass equivalent to that of the magnetic head supporting mechanism holding portion 30 is provided.
3 allows the swing operation of the magnetic head support mechanism 5 to be independently performed in synchronization with the swing operation of the magnetic head support mechanism 5 in a direction opposite to the swing operation of the magnetic head support mechanism 5.

【0070】かかる構造に於て、当該揺動補償部材33
と当該実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッ
ドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構5或いは、実際に情報の読み書きに使用
される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するよ
うに構成された磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッ
ド支持機構保持部30とを、当該コースアクチュエータ
部7を構成する当該ホルダアーム11の互いに対向する
平面にそれぞれ個別に設ける事が望ましい。
In such a structure, the swing compensation member 33
And a magnetic head support mechanism 5 configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, or a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information. It is preferable that the magnetic head supporting mechanism holding section 30 that holds the magnetic head supporting mechanism configured to support the magnetic head supporting mechanism and the magnetic head supporting mechanism holding section 30 be individually provided on mutually opposing flat surfaces of the holder arm 11 that forms the course actuator section 7.

【0071】又、当該ホルダアーム11を挟んで上下両
面に接続された、当該実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッド1を搭載したスライダを支持するよう
に構成された磁気ヘッド支持機構5、或いは実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を
含む磁気ヘッド支持機構保持部5と当該揺動補償部材の
内、当該磁気ヘッド支持機構5、或いは当該磁気ヘッド
支持機構保持部30を当該ファインアクチュエータ部6
に設けられている第2の駆動手段16を駆動して、当該
磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該
ホルダアーム11を挟んで反対側に接続された当該揺動
補償部材33を、当該第2の駆動手段16と同一の構成
を有する他の第2の駆動手段16’を駆動させて、当該
磁気ヘッド支持機構5、或いは当該磁気ヘッド支持機構
保持部30の駆動方向とは逆向きに常時同じ力で駆動さ
せる様に構成する事が望ましい。
Further, a magnetic head supporting mechanism 5 connected to the upper and lower surfaces of the holder arm 11 and having the magnetic head 1 used for reading and writing information actually mounted thereon is supported. Alternatively, the magnetic head support mechanism holding unit 5 including a magnetic head support mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing of information and the swing compensating member, The head support mechanism 5 or the magnetic head support mechanism holding section 30 is connected to the fine actuator section 6
When the second driving means 16 provided in the above is driven to displace the magnetic head by a small amount in the seek direction, the swing compensation member 33 connected to the opposite side with the holder arm 11 interposed therebetween is By driving another second driving means 16 ′ having the same configuration as the second driving means 16, the driving direction of the magnetic head supporting mechanism 5 or the driving direction of the magnetic head supporting mechanism holding section 30 is opposite to the driving direction. It is desirable to always drive the motor with the same force.

【0072】本発明に於いては、当該揺動補償部材33
は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッド
1を搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構5で構成されるか、或いは、実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と
接続された磁気ヘッド支持機構保持部30で構成し、当
該揺動補償部材33に於いても実際の情報の読み書きを
実行出来る様にする事も望ましい。
In the present invention, the swing compensating member 33
Is composed of a magnetic head supporting mechanism 5 configured to support a slider on which the magnetic head 1 actually used for reading and writing information is used, or the magnetic head supporting mechanism 5 actually used for reading and writing information. A magnetic head supporting mechanism holding section 30 connected to a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted is mounted. The swing compensating member 33 also executes actual reading and writing of information. It is also desirable to be able to do so.

【0073】一方、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構100に於て、当該多層状に積層された複数個の
コースアクチュエータ部7の内、両端部に配置されてい
る当該コースアクチュエータ部に於ける当該振動抑制手
段32の該揺動補償部材33は、当該磁気ヘッド支持機
構5若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部30と等価
の質量を有しているダミー部材22で構成する事が望ま
しい。
On the other hand, in the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention, among the plurality of course actuators 7 stacked in a multilayer shape, the course actuators arranged at both ends are used. It is desirable that the swing compensation member 33 of the vibration suppressing means 32 be constituted by the dummy member 22 having a mass equivalent to that of the magnetic head support mechanism 5 or the magnetic head support mechanism holding section 30.

【0074】更に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構100は、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該磁気ヘッド支持機構保持部は、当該磁気ヘッド支
持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリング
と当該アクチュエータ・スプリングを駆動する第2の駆
動手段としての2つの圧電素子を有してなり、当該磁気
ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小
量変位は、当該2つの圧電素子に交互に電圧を印加する
ことで当該2つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆
動力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性
的に撓ませることによって実行される様に構成されてい
る気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
Further, in the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention, in the fine actuator section, the magnetic head supporting mechanism holding section includes a thin plate-shaped actuator spring supporting the magnetic head supporting mechanism and the actuator. The piezoelectric element has two piezoelectric elements as second driving means for driving the spring, and the minute displacement of the magnetic head supporting mechanism in the seek direction of the magnetic head causes a voltage to be alternately applied to the two piezoelectric elements; , A driving force is generated in the two piezoelectric elements, and the actuator spring portion is elastically bent by the driving force. It is.

【0075】又、本発明に係る当該、磁気ヘッド位置決
め機構100は、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該振動抑制手段を構成する当該揺動補償部材は、当
該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有する保持
部材で構成すると共に、当該磁気ヘッド支持機構と等価
の質量を有するダミー部材を支持する薄板状のアクチュ
エータ・スプリングと当該アクチュエータ・スプリング
を駆動する他の第2の駆動手段としての2つの圧電素子
を有してなり、当該ダミー部材のシーク方向への微小量
変位は、当該2つの圧電素子に交互に電圧を印加するこ
とで当該2つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆動
力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的
に撓ませることによって実行される様に構成されている
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
Further, in the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention, the oscillation compensating member constituting the vibration suppressing means in the fine actuator section has a mass equivalent to that of the magnetic head supporting mechanism holding section. And a thin plate-shaped actuator spring for supporting a dummy member having a mass equivalent to that of the magnetic head support mechanism, and two other driving means for driving the actuator spring. A small amount of displacement of the dummy member in the seek direction causes a driving force to be generated in the two piezoelectric elements by alternately applying a voltage to the two piezoelectric elements. Magnetic head positioning configured to be performed by elastically deflecting the actuator spring section by means of Mechanism is a driving method.

【0076】一方、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決
め機構100は、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書き
に使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された
第1の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段
として機能する、第1の磁気ヘッド支持機構保持部と等
価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第2の磁気
ヘッド支持機構保持部とを設け、更に当該第1と第2の
磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気
ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構
保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設け
られた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構
保持部に接合せしめ、当該第1と第2の磁気ヘッド支持
機構保持部に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第
2の駆動手段及び他の第2の駆動手段を構成する圧電素
子に印加される電圧を制御することによって変形させ、
当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構
成しておき、一方の第2の駆動手段を構成する当該圧電
素子に電圧を印加して当該第1の磁気ヘッド支持機構保
持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該
磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該
ホルダアームを挟んで反対側に接続された第2の磁気ヘ
ッド支持機構保持部に設けられた当該他の第2の駆動手
段を構成する当該圧電素子には、当該第2の駆動手段の
圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加し
て、当該第1の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該
磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動
力を発生させる様に制御する磁気ヘッド位置決め機構の
駆動方法である。
On the other hand, the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention supports a slider on which the magnetic head actually used for reading and writing information is mounted, with the holder arm in the fine actuator portion interposed therebetween. A first magnetic head support mechanism holding portion connected to the magnetic head support mechanism configured as described above, and having a mass equivalent to the first magnetic head support mechanism holding portion, which functions as the vibration suppressing means, and A second magnetic head support mechanism holding section connected to a magnetic head support mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information; In any of the second magnetic head supporting mechanism holding sections, the magnetic head supporting mechanism is formed at least in the magnetic head supporting mechanism holding section. The magnetic head supporting mechanism holder is joined to the magnetic head supporting mechanism holder via a narrow spring member provided in the actuator spring section, and the respective narrow spring members in the first and second magnetic head supporting mechanism holders are connected to each other. Deforming by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements constituting the second driving means and the other second driving means,
The magnetic head is configured to swing by a minute amount in the seek direction, and a voltage is applied to the piezoelectric element forming one of the second driving means to form the first magnetic head support mechanism holding portion. When the magnetic head supporting mechanism is driven to displace the magnetic head by a small amount in the seek direction, the magnetic head supporting mechanism is provided in a second magnetic head supporting mechanism holding unit connected to the opposite side across the holder arm. A voltage having an opposite phase to the voltage applied to the piezoelectric element of the second drive means is applied to the piezoelectric element constituting the second drive means, and the first magnetic head support mechanism holding unit is applied. The swing direction of the magnetic head support mechanism in the above is a driving method of the magnetic head positioning mechanism that controls to generate the same driving force in the opposite direction.

【0077】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構100としては、当該ファインアクチュエータ部に
於ける当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み
書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを
支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続さ
れた第1の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制
手段として機能する、磁気ヘッド支持機構を含む第1の
磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー
部材とを設け、更に当該第1の磁気ヘッド支持機構保持
部と当該ダミー部材に於ける磁気ヘッド支持機構保持部
におては、何れも当該磁気ヘッド支持機構及び当該磁気
ヘッド支持機構と等価の質量を有するダミーマスは、少
なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたア
クチュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材
を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、
当該第1の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材
に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第2の駆動手
段及び他の第2の駆動手段を構成する圧電素子に印加さ
れる電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘ
ッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成してお
き、一方の第2の駆動手段を構成する当該圧電素子に電
圧を印加して当該第1の磁気ヘッド支持機構保持部を構
成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッ
ドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダア
ームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設け
られた当該他の第2の駆動手段を構成する当該圧電素子
には、当該第2の駆動手段の圧電素子に印加された電圧
とは逆位相の電圧を印加して、当該第1の磁気ヘッド支
持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方
向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する
様に構成された磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法であ
る。
The magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention supports a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, with the holder arm in the fine actuator section interposed therebetween. A first magnetic head supporting mechanism holding portion connected to a magnetic head supporting mechanism configured to perform the above operation, and a first magnetic head supporting mechanism holding portion including a magnetic head supporting mechanism, which functions as the vibration suppressing means, is equivalent to the first magnetic head supporting mechanism holding portion. The first magnetic head supporting mechanism holding portion and the magnetic head supporting mechanism holding portion of the dummy member are provided with a dummy member having a mass of The dummy mass having a mass equivalent to that of the support mechanism is provided at least by the actuator spur formed on the magnetic head support mechanism holding portion. Allowed joined to the magnetic head supporting mechanism retaining unit via a slender spring member provided in the ring portion,
Each of the narrow-width spring members in the first magnetic head support mechanism holding portion and the dummy member is connected to a piezoelectric element constituting a second driving unit and another second driving unit. By controlling the magnetic head, the magnetic head is made to oscillate by a minute amount in the seek direction, and a voltage is applied to the piezoelectric element constituting one of the second driving means to apply the voltage to the first magnetic element. When the magnetic head support mechanism constituting the head support mechanism holding unit is driven and the magnetic head is displaced by a small amount in the seek direction, the magnetic head support mechanism is provided on the dummy member connected to the opposite side across the holder arm. A voltage having a phase opposite to that of the voltage applied to the piezoelectric element of the second driving means is applied to the piezoelectric element constituting another second driving means, and the first magnetic head support mechanism holding mechanism is held. In the department The swing direction of the magnetic head support mechanism, a configured driving method of a magnetic head positioning mechanism so as to control so as to generate the same driving force in the opposite direction.

【0078】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構100の他の具体例としては、当該ファインアクチ
ュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その
一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッ
ドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構を有する第1の磁気ヘッド支持機構保持
部であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアー
ムの一部に旋回可能に保持されると共に当該第1の磁気
ヘッド支持機構保持部の端部に第2の駆動手段を構成す
る第1のボイスコイルモータを有する第1の磁気ヘッド
支持機構保持部を設け、かつその他面には、当該振動抑
制手段として機能する、第1の磁気ヘッド支持機構保持
部と等価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使
用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する
ように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第2
の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該コースアク
チュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持さ
れると共に当該第2の磁気ヘッド支持機構保持部の端部
に他の第2の駆動手段を構成する第2のボイスコイルモ
ータを有する第2の磁気ヘッド支持機構保持部を設け、
更に当該第1と第2の磁気ヘッド支持機構保持部に於い
ては、何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッド
のシーク方向への微小量変位は、当該ボイスコイルモー
タのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイスコ
イルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当
該それぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様
に構成しておき、一方の第2の駆動手段を構成する当該
ボイスコイルモータに所定の電流を印加して当該第1の
磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドを
シーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアーム
を挟んで反対側に接続された第2の磁気ヘッド支持機構
保持部に設けられた当該他の第2の駆動手段を構成する
当該ボイスコイルモータには、当該第2の駆動手段に印
加された電流とは逆向きの電流を印加して、当該第1の
磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持
機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる
様に制御する磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法であ
る。
Further, as another specific example of the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention, the magnetic head positioning mechanism 100 used for reading and writing information on one surface thereof with the holder arm in the fine actuator portion interposed therebetween. A first magnetic head support mechanism holding unit having a magnetic head support mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted, and is rotatably held by a part of a holder arm of the course actuator unit. At the same time, a first magnetic head support mechanism holding section having a first voice coil motor constituting a second driving means is provided at an end of the first magnetic head support mechanism holding section, and the other surface is provided with the first magnetic head support mechanism holding section. The magnetic member having a mass equivalent to that of the first magnetic head support mechanism holding portion, which functions as vibration suppression means, and is actually used for reading and writing information. The connected and configured magnetic head supporting mechanism to support the mounted slider to head 2
A magnetic head supporting mechanism holding portion, wherein the second magnetic head supporting mechanism holding portion is rotatably held by a part of a holder arm of the course actuator portion, and another second driving means is provided at an end of the second magnetic head supporting mechanism holding portion. A second magnetic head supporting mechanism holding portion having a second voice coil motor constituting
Further, in each of the first and second magnetic head supporting mechanism holding portions, the minute displacement of the magnetic head supporting mechanism in the seek direction of the magnetic head causes an arbitrary current to flow through the coil of the voice coil motor. Is applied to generate an electromagnetic force in the voice coil motor, and the electromagnetic force causes the respective magnetic head supporting mechanism holding portions to swing, thereby constituting one second driving unit. When a predetermined current is applied to the voice coil motor to drive the first magnetic head support mechanism holding unit and displace the magnetic head by a small amount in the seek direction, the magnetic head is connected to the opposite side across the holder arm. The voice coil motor that constitutes the other second driving means provided in the second magnetic head support mechanism holding part has the current applied to the second driving means. A magnetic head positioning mechanism for applying a current in a direction to control the magnetic head supporting mechanism in the first magnetic head supporting mechanism holding unit to generate the same driving force in a direction opposite to a swing direction of the magnetic head supporting mechanism. Is the driving method.

【0079】又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め
機構100の別の具体例としては、当該ファインアクチ
ュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その
一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッ
ドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気
ヘッド支持機構を有する第1の磁気ヘッド支持機構保持
部であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアー
ムの一部に旋回可能に保持されると共に当該第1の磁気
ヘッド支持機構保持部の端部に第2の駆動手段を構成す
る第1のボイスコイルモータを有する第1の磁気ヘッド
支持機構保持部を設け、かつその他面には、当該振動抑
制手段として機能する、当該磁気ヘッド支持機構を含む
第1の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有する
ダミー部材であって、当該コースアクチュエータ部のホ
ルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該ダ
ミー部材の端部他の第2の駆動手段を構成する第2のボ
イスコイルモータを有するダミー部材とを設け、更に当
該第1の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に
於いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘ
ッドのシーク方向への微小量変位は、当該ボイスコイル
モータのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイ
スコイルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によっ
て当該それぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させ
る様に構成しておき、一方の第2の駆動手段を構成する
当該第1のボイスコイルモータに所定の電流を印加して
当該第1の磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁
気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホ
ルダアームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材
に設けられた当該他の第2の駆動手段を構成する当該ボ
イスコイルモータには、当該第2の駆動手段に印加され
た電流とは逆向きの電流を印加して、当該第1の磁気ヘ
ッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の
揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制
御する磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
Further, as another specific example of the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention, the magnetic head positioning mechanism 100 is used for reading and writing information on one surface with the holder arm in the fine actuator section interposed therebetween. A first magnetic head support mechanism holding unit having a magnetic head support mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted, and is rotatably held by a part of a holder arm of the course actuator unit. At the same time, a first magnetic head support mechanism holding section having a first voice coil motor constituting a second driving means is provided at an end of the first magnetic head support mechanism holding section, and the other surface is provided with the first magnetic head support mechanism holding section. A dummy member that functions as vibration suppression means and has a mass equivalent to that of the first magnetic head support mechanism holding portion including the magnetic head support mechanism. A dummy member having a second voice coil motor that is rotatably held by a part of the holder arm of the course actuator unit and that constitutes second driving means other than the end of the dummy member; In both the first magnetic head support mechanism holding portion and the dummy member, the minute displacement of the magnetic head support mechanism in the seek direction of the magnetic head causes an arbitrary current to flow through the coil of the voice coil motor. Is applied to generate an electromagnetic force in the voice coil motor, and the electromagnetic force causes the respective magnetic head supporting mechanism holding portions to swing, thereby constituting one second driving unit. A predetermined current is applied to the first voice coil motor to drive the first magnetic head support mechanism holding unit, and the magnetic head is displaced by a small amount in the seek direction. In this case, the voice coil motor constituting the other second driving means provided on the dummy member connected to the opposite side of the holder arm is applied to the second driving means. A current in a direction opposite to the current is applied, and control is performed such that the same driving force is generated in a direction opposite to the swing direction of the magnetic head support mechanism in the first magnetic head support mechanism holding unit. This is a method for driving the magnetic head positioning mechanism.

【0080】又、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置決
め機構100に於いては、当該コースアクチュエータ部
は、当該ファインアクチュエータ部を複数個支持し、当
該コースアクチュエータ部による当該ファインアクチュ
エータ部の当該シーク方向への変位は、複数個の当該フ
ァインアクチュエータ部を一括して行うように構成され
ていることが望ましい。
Further, in the magnetic head positioning mechanism 100 according to the present invention, the coarse actuator supports a plurality of the fine actuators, and the coarse actuator supports the seek direction of the fine actuator by the coarse actuator. It is preferable that the displacement to be performed so that a plurality of the fine actuator units are collectively performed.

【0081】[0081]

【発明の効果】本発明の磁気ヘッド位置決め機構および
その駆動方法は、上記した様な技術構成を採用している
ので、これにより、トラック追従時においてファインア
クチュエータ部を駆動させたときにホルダアームとの接
続部に作用するHGA駆動反力は、ホルダアームを挟ん
で対向する側に取り付けられたもう1枚のファインアク
チュエータもしくはダミー・アクチュエータのHGA駆
動反力によって相殺され、ホルダアーム先端部に作用す
る加振力をキャンセルすることができるため、ホルダア
ーム振動に起因した共振を抑制することができ、高周波
数帯域まで共振ピークのない良好な振動特性を得ること
ができるため、磁気ヘッドの高速・高精度なトラック追
従動作(フォローイング)を行うことが可能になる。
The magnetic head positioning mechanism and the method of driving the same according to the present invention employ the above-described technical configuration, so that when the fine actuator is driven during track following, the holder arm and the holder arm can be moved. HGA driving reaction force acting on the connecting portion of the above is offset by the HGA driving reaction force of another fine actuator or dummy actuator mounted on the opposite side across the holder arm, and acts on the tip end of the holder arm. Since the excitation force can be canceled, resonance due to holder arm vibration can be suppressed, and good vibration characteristics with no resonance peak up to a high frequency band can be obtained. An accurate track following operation (following) can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第1の具体例の構成を示す図であり、図1(a)は側
面図、図1(b)〜図1(d)は平面図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a first specific example of a magnetic head positioning mechanism according to the present invention, FIG. 1 (a) is a side view, and FIGS. 1 (b) to 1 (d). Is a plan view.

【図2】図2(a)〜図2(c)は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第1の具体例の構成を示す斜視図
である。
FIGS. 2A to 2C are perspective views showing the configuration of a first specific example of a magnetic head positioning mechanism according to the present invention.

【図3】図3(a)〜図3(b)は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第1の具体例における2ステージ
アクチュエータの周波数特性を示す特性線図である。
FIGS. 3A and 3B are characteristic diagrams showing frequency characteristics of a two-stage actuator in a first specific example of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention.

【図4】図4は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第2の具体例の構成を示す図であり、図4(a)は側
面図、図4(b)〜図4(d)は平面図である。
FIG. 4 is a view showing a configuration of a second specific example of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, where FIG. 4 (a) is a side view, and FIGS. 4 (b) to 4 (d). Is a plan view.

【図5】図5(a)〜図5(c)は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第2の具体例の構成を示す斜視図
である。
5 (a) to 5 (c) are perspective views showing the configuration of a second specific example of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention.

【図6】図6(a)〜図6(b)は、本発明に係る磁気
ヘッド位置決め機構の第2の具体例における2ステージ
アクチュエータの周波数特性を示す特性線図である。
FIGS. 6A and 6B are characteristic diagrams illustrating frequency characteristics of a two-stage actuator in a second specific example of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention.

【図7】図7は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第3の具体例の構成を示す図であり、図7(a)は側
面図、図7(b)〜図7(d)は平面図である。
FIG. 7 is a view showing a configuration of a third specific example of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, where FIG. 7 (a) is a side view, and FIGS. 7 (b) to 7 (d). Is a plan view.

【図8】図8は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構
の第4の具体例の構成を示す図であり、図8(a)は側
面図、図8(b)〜図8(d)は平面図である。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a fourth specific example of the magnetic head positioning mechanism according to the present invention, FIG. 8 (a) is a side view, and FIGS. 8 (b) to 8 (d). Is a plan view.

【図9】図9は、従来に於ける磁気ヘッド位置決め機構
の構成例を示す平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing a configuration example of a conventional magnetic head positioning mechanism.

【図10】図10は、従来に於ける磁気ヘッド位置決め
機構の構成例を示す側面図及び斜視図である。
FIG. 10 is a side view and a perspective view showing a configuration example of a conventional magnetic head positioning mechanism.

【図11】図11は、2ステージアクチュエータに関す
る従来例(ヘッド素子駆動方式およびスライダ駆動方
式)を示す斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view showing a conventional example (a head element driving system and a slider driving system) relating to a two-stage actuator.

【図12】図12は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−加速度型HGA駆動方式)を示す平面図であ
る。
FIG. 12 is a plan view showing a conventional example (force-acceleration type HGA drive system) of a two-stage actuator.

【図13】図13は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−加速度型HGA駆動方式)を示すものであり、
図13(a)はその側面図であり、又図13(b)は図
13(a)の拡大側面図である。
FIG. 13 shows a conventional example of a two-stage actuator (force-acceleration type HGA drive system).
FIG. 13 (a) is a side view thereof, and FIG. 13 (b) is an enlarged side view of FIG. 13 (a).

【図14】図14は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−変位型HGA駆動方式)を示す図であり、図1
4(a)は平面図、図14(b)は側面図および図14
(c)はその拡大側面図である。
FIG. 14 is a diagram showing a conventional example of a two-stage actuator (force-displacement type HGA driving method);
4 (a) is a plan view, FIG. 14 (b) is a side view and FIG.
(C) is an enlarged side view thereof.

【図15】図15は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−変位型HGA駆動方式)の動作を示す説明図で
ある。
FIG. 15 is an explanatory diagram showing an operation of a conventional example of a two-stage actuator (force-displacement type HGA driving method).

【図16】図16は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−変位型HGA駆動方式)の動作を示す説明図で
ある。
FIG. 16 is an explanatory diagram showing an operation of a conventional example of a two-stage actuator (force-displacement type HGA driving method).

【図17】図17(a)は、2ステージアクチュエータ
の従来例(力−変位型HGA駆動方式)の構成を示すア
ーム・アッセーモデル図であり、図17(b)は、2ス
テージアクチュエータの従来例に於ける振動特性を示す
図であり、図17(c)は、モード・シェイプである。
FIG. 17A is an arm assay model diagram showing a configuration of a conventional example of a two-stage actuator (force-displacement type HGA driving method), and FIG. 17B is a conventional example of a two-stage actuator. FIG. 17C is a diagram showing vibration characteristics in FIG. 17C, and FIG. 17C shows a mode shape.

【図18】図18は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−変位型HGA駆動方式)に於ける振動特性と構
成を示す図であり、図18(a)はアーム・アッセーモ
デル、図18(b)はその特性線図であり、又図18
(c)はモード・シェイプである。
18A and 18B are diagrams showing a vibration characteristic and a configuration of a conventional example of a two-stage actuator (force-displacement type HGA driving system), where FIG. 18A is an arm assay model, and FIG. ) Is a characteristic diagram thereof, and FIG.
(C) is a mode shape.

【図19】図19は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−変位型HGA駆動方式)のアーム・アッセー時
の振動要因を示した平面図である。
FIG. 19 is a plan view showing vibration factors at the time of arm assembling of a conventional example (force-displacement type HGA drive system) of a two-stage actuator.

【図20】図20は、2ステージアクチュエータの従来
例(力−変位型HGA駆動方式)のアーム・アッセー時
の振動要因を示した斜視図である。
FIG. 20 is a perspective view showing a vibration factor at the time of an arm assay of a conventional example (force-displacement type HGA drive system) of a two-stage actuator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……磁気ヘッド、2……スライダ、3……ジンバルス
プリング、4……ロードビーム、5……磁気ヘッド支持
機構(サスペンション)、6……ファインアクチュエー
タ部、7……コースアクチュエータ部、8……アクチュ
エータスプリング、9……サスペンションかしめ位置、
10……ホルダアームかしめ位置、11……ホルダアー
ム、12……第1の駆動手段、可動コイル、13……ア
ームブロック、14……回転軸受け部、15……外部固
定磁気回路、16……第2の駆動手段、16’……他の
第2の駆動手段、160、160’……圧電素子、1
7、35……永久磁石、18……ヨーク、19……小形
コイル、20、20’……小形ボイスコイルモータ(V
CM)、21……ダミー・アクチュエータ、22……ダ
ミーマス、23……最上位アーム・アッセー、24……
最下位アーム・アッセー、25……中位アーム・アッセ
ー、26……記録媒体、27……バネ部、30……磁気
ヘッド支持機構保持部、31……回転軸、32……振動
抑制手段、33……揺動補償部材、100……磁気ヘッ
ド位置決め機構。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic head, 2 ... Slider, 3 ... Gimbal spring, 4 ... Load beam, 5 ... Magnetic head support mechanism (suspension), 6 ... Fine actuator part, 7 ... Course actuator part, 8 ... ... actuator spring, 9 ... suspension caulking position,
Reference numeral 10: Holder arm swaging position, 11: Holder arm, 12: First driving means, movable coil, 13: Arm block, 14: Rotating bearing part, 15: External fixed magnetic circuit, 16: Second driving means, 16 '... Other second driving means, 160, 160' ... Piezoelectric element, 1
7, 35: permanent magnet, 18: yoke, 19: small coil, 20, 20 ': small voice coil motor (V
CM), 21 ... dummy actuator, 22 ... dummy mass, 23 ... top-most arm assay, 24 ...
Lowermost arm assay, 25 Middle arm assay, 26 Recording medium, 27 Spring section, 30 Magnetic head support mechanism holding section, 31 Rotation axis, 32 Vibration suppression means, 33: swing compensation member, 100: magnetic head positioning mechanism.

Claims (42)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気ヘッドを搭載したスライダを支持す
るように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッ
ド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有す
るファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチ
ュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに
揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースア
クチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機
構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホル
ダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動
させる為の第1の駆動手段を有しており、一方、当該フ
ァインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエー
タ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に
当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第
2の駆動手段が設けられており、更には、当該ファイン
アクチュエータ部には、当該ファインアクチュエータ部
に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴っ
て、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアーム
に発生する振動を抑制する振動抑制手段が設けられてい
る事を特徴とする磁気ヘッド位置決め機構。
A fine actuator section having a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted, a magnetic head supporting mechanism holding section for holding the magnetic head supporting mechanism, and the fine actuator section. And a course actuator unit having a holder arm pivotally supported so as to be able to swing around a predetermined rotation axis, wherein the course actuator unit includes the holder arm. The fine actuator unit has a first driving unit for swinging in the seek direction about the rotation axis. On the other hand, the fine actuator unit has a swinging motion of the holder arm in the course actuator unit. Second drive means for independently swinging the magnetic head in the seek direction by a small amount is provided. Further, the fine actuator unit suppresses vibration generated in the holder arm of the course actuator unit in association with the swinging movement of the magnetic head support mechanism in the fine actuator unit. A magnetic head positioning mechanism provided with vibration suppression means.
【請求項2】 当該振動抑制手段は、当該磁気ヘッド支
持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエ
ータ部の当該ホルダーアームに発生する複数個の共振周
波数を一つに制限し、且つ当該共振周波数をより高周波
帯域側に移動させる機能を有するものである事を特徴と
する請求項1記載の磁気ヘッド位置決め機構。
2. The vibration suppression means limits a plurality of resonance frequencies generated in the holder arm of the course actuator unit to one with the swinging movement of the magnetic head support mechanism, and 2. The magnetic head positioning mechanism according to claim 1, wherein the magnetic head positioning mechanism has a function of moving the resonance frequency to a higher frequency band side.
【請求項3】 当該コースアクチュエータ部に設けられ
ている当該第1の駆動手段は、ボイスコイルモータであ
る事を特徴とする請求項1又は2に記載の磁気ヘッド位
置決め機構。
3. The magnetic head positioning mechanism according to claim 1, wherein the first driving means provided in the course actuator unit is a voice coil motor.
【請求項4】 当該ファインアクチュエータ部に設けら
れている当該第2の駆動手段は、ボイスコイルモータ或
いは圧電素子の何れかで構成されている事を特徴とする
請求項1乃至3の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
4. The apparatus according to claim 1, wherein said second driving means provided in said fine actuator section is constituted by either a voice coil motor or a piezoelectric element. The magnetic head positioning mechanism according to the above.
【請求項5】 当該ファインアクチュエータ部に於て、
当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド
支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング
部との間に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気
ヘッド支持機構保持部に接合されており、当該細幅状バ
ネ部材を圧電素子によって変形させる様に構成されてい
る事を特徴とする請求項4記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
5. In the fine actuator section,
The magnetic head support mechanism is joined to the magnetic head support mechanism holding portion via a narrow spring member provided at least between the actuator spring portion formed on the magnetic head support mechanism holding portion, 5. The magnetic head positioning mechanism according to claim 4, wherein said narrow width spring member is deformed by a piezoelectric element.
【請求項6】 当該ファインアクチュエータ部に於て、
当該磁気ヘッド支持機構を有する当該磁気ヘッド支持機
構保持部が、コースアクチュエータ部のホルダアームの
一部に旋回可能に保持されると共に当該磁気ヘッド支持
機構保持部の端部にボイスコイルモータが設けられてい
る事を特徴とする請求項4記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
6. In the fine actuator section,
The magnetic head supporting mechanism holding section having the magnetic head supporting mechanism is rotatably held by a part of the holder arm of the course actuator section, and a voice coil motor is provided at an end of the magnetic head supporting mechanism holding section. The magnetic head positioning mechanism according to claim 4, wherein:
【請求項7】 当該振動抑制手段は、当該磁気ヘッド支
持機構による揺動に起因して当該コースアクチュエータ
部のホルダアームに発生する反力を相殺する様な力を発
生させる機能を有するものである事を特徴とする請求項
1乃至6の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
7. The vibration suppressing means has a function of generating a force that cancels a reaction force generated in the holder arm of the course actuator portion due to the swing by the magnetic head support mechanism. 7. The magnetic head positioning mechanism according to claim 1, wherein:
【請求項8】 当該振動抑制手段は、当該ファインアク
チュエータ部に、当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該磁気ヘッド支持機構保持部に設けられている当該
磁気ヘッド支持機構の揺動動作に同期して当該磁気ヘッ
ド支持機構の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的
に行う揺動補償部材を付加した事を特徴とする請求項1
乃至7の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
8. The vibration suppressing means according to claim 1, wherein said fine actuator section includes a magnetic actuator supporting mechanism provided on said magnetic head supporting mechanism holding section of said fine actuator section. 2. A swing compensating member for independently performing a swing operation in a direction opposite to the swing operation of the magnetic head support mechanism is added.
8. A magnetic head positioning mechanism according to any one of claims 1 to 7.
【請求項9】 当該揺動補償部材は、当該磁気ヘッド支
持機構と等価の質量を有している事を特徴とする請求項
8記載の磁気ヘッド位置決め機構。
9. The magnetic head positioning mechanism according to claim 8, wherein said swing compensating member has a mass equivalent to that of said magnetic head supporting mechanism.
【請求項10】 当該揺動補償部材は、磁気ヘッドを搭
載したスライダを支持するように構成された揺動可能な
磁気ヘッド支持機構で構成されている事を特徴とする請
求項8記載の磁気ヘッド位置決め機構。
10. The magnetic device according to claim 8, wherein the swing compensating member is constituted by a swingable magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted. Head positioning mechanism.
【請求項11】 当該揺動補償部材は、磁気ヘッドを搭
載したスライダを支持する磁気ヘッド支持機構を含む磁
気ヘッド支持機構保持部で構成されている事を特徴とす
る請求項8記載の磁気ヘッド位置決め機構。
11. The magnetic head according to claim 8, wherein said swing compensating member comprises a magnetic head supporting mechanism holding portion including a magnetic head supporting mechanism for supporting a slider on which the magnetic head is mounted. Positioning mechanism.
【請求項12】 当該揺動補償部材は、実際に情報の読
み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダ
を支持するように構成された磁気ヘッド支持機構或い
は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッド
を搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘ
ッド支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持
部に隣接して対向配置されるものである事を特徴とする
請求項9乃至11の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め
機構。
12. The swing compensating member is a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, or is used for actually reading and writing information. 10. The magnetic head supporting mechanism according to claim 9, wherein said magnetic head supporting mechanism is configured to support a slider on which said magnetic head is mounted. 12. A magnetic head positioning mechanism according to any one of claims 11 to 11.
【請求項13】 当該揺動補償部材は、実際に情報の読
み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダ
を支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成
されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される
当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構
成された磁気ヘッド支持機構と接続された磁気ヘッド支
持機構保持部である事を特徴とする請求項8乃至12の
何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
13. The swing compensating member is constituted by a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, or 13. A magnetic head supporting mechanism holding section connected to a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is used for reading and writing information. A magnetic head positioning mechanism according to any one of the above.
【請求項14】 当該揺動補償部材はダミー部材で構成
されている事を特徴とする請求項8乃至13の何れかに
記載の磁気ヘッド位置決め機構。
14. The magnetic head positioning mechanism according to claim 8, wherein said swing compensating member is constituted by a dummy member.
【請求項15】 当該揺動補償部材と、実際に情報を記
録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す
操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構
或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部とは、互いに反対
の方向に同じ力で揺動する様に構成されている事を特徴
とする請求項8乃至14の何れかに記載の磁気ヘッド位
置決め機構。
15. The swing compensating member and the magnetic head support mechanism or the magnetic head support mechanism holding unit having a magnetic head that actually performs an operation of writing information to a recording medium or reading information from the recording medium. 15. The magnetic head positioning mechanism according to claim 8, wherein the magnetic head is configured to swing in opposite directions with the same force.
【請求項16】 当該揺動補償部材が、実際に情報を記
録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す
操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構
或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部である事を特徴と
する請求項15記載の磁気ヘッド位置決め機構。
16. The swing compensating member is the magnetic head supporting mechanism or the magnetic head supporting mechanism holding section having a magnetic head that actually performs an operation of writing information on a recording medium or reading information from the recording medium. 16. The magnetic head positioning mechanism according to claim 15, wherein:
【請求項17】 当該揺動補償部材と当該実際に情報の
読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライ
ダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構
成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構保持部とは、当該コース
アクチュエータ部を構成する当該ホルダアームの互いに
対向する平面にそれぞれ設けられている事を特徴とする
請求項8乃至16の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め
機構。
17. A magnetic head supporting mechanism configured to support the swing compensating member and a slider on which the magnetic head used for actually reading and writing information is mounted, or A magnetic head supporting mechanism holding portion configured to support a slider on which the magnetic head used for reading and writing of information is mounted is provided on each of opposing flat surfaces of the holder arm constituting the course actuator portion. 17. The magnetic head positioning mechanism according to claim 8, wherein:
【請求項18】 当該ファインアクチュエータ部を保持
する当該コースアクチュエータ部が複数個、多層状に積
層されて構成されている事を特徴とする請求項1乃至1
7の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
18. The method according to claim 1, wherein a plurality of said coarse actuator portions for holding said fine actuator portion are laminated in a multilayer shape.
7. The magnetic head positioning mechanism according to any one of 7.
【請求項19】 当該複数個のコースアクチュエータ部
は、当該それぞれのコースアクチュエータ部に於けるホ
ルダアームに設けられている当該回転軸を受け入れるア
ームブロックに於いて同芯状に多層化積層されている事
を特徴とする請求項18記載の磁気ヘッド位置決め機
構。
19. The plurality of course actuator sections are concentrically multilayered in an arm block provided on a holder arm of each of the course actuator sections for receiving the rotation shaft. 19. The magnetic head positioning mechanism according to claim 18, wherein:
【請求項20】 当該多層化された磁気ヘッド位置決め
機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアク
チュエータ部に於ける両端部に位置する当該コースアク
チュエータ部を構成するホルダアームの一面にはダミー
部材が配置され、当該他面には、実際に情報を記録媒体
に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を
行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは
当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構
保持部が配置されている事を特徴とする請求項1乃至1
9の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
20. In the multilayered magnetic head positioning mechanism, one surface of a holder arm constituting each of the coarse actuators located at both ends of each of the multilayer coarse actuators is provided. A dummy member is disposed, and on the other surface, a magnetic head supporting mechanism having a magnetic head for actually performing an operation of writing information to a recording medium or reading information from the recording medium, or a magnetic holding the magnetic head supporting mechanism. 2. A head support mechanism holding portion is arranged.
9. The magnetic head positioning mechanism according to any one of items 9.
【請求項21】 当該多層化された磁気ヘッド位置決め
機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアク
チュエータ部に於ける両端部を除く部位に配置されたホ
ルダアームの両側面には、それぞれ実際に情報を記録媒
体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作
を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或い
は当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機
構保持部が配置されている事を特徴とする請求項1乃至
19の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
21. In the multi-layered magnetic head positioning mechanism, both side surfaces of a holder arm arranged at a portion excluding both ends of the multi-layered individual course actuator portions are respectively provided. It is assumed that the magnetic head support mechanism having the magnetic head for actually performing the operation of writing information to the recording medium or reading the information from the recording medium or the magnetic head support mechanism holding section for holding the magnetic head support mechanism is disposed. 20. The magnetic head positioning mechanism according to claim 1, wherein:
【請求項22】 磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘ
ッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有
するファインアクチュエータ部、及び当該ファインアク
チュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回り
に揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコース
アクチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め
機構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホ
ルダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺
動させる為の第1の駆動手段を有しており、一方、当該
ファインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエ
ータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的
に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の
第2の駆動手段が設けられている磁気ヘッド位置決め機
構に於いて、当該ファインアクチュエータ部に振動抑制
手段を設け、当該ファインアクチュエータ部に於ける当
該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コ
ースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する
振動を抑制する事を特徴とする磁気ヘッド位置決め機構
の駆動方法。
22. A fine actuator section having a magnetic head support mechanism configured to support a slider on which a magnetic head is mounted, a magnetic head support mechanism holding section for holding the magnetic head support mechanism, and the fine actuator section. And a course actuator unit having a holder arm pivotally supported so as to be able to swing around a predetermined rotation axis, wherein the course actuator unit includes the holder arm. The fine actuator unit has a first driving unit for swinging in the seek direction about the rotation axis. On the other hand, the fine actuator unit has a swinging motion of the holder arm in the course actuator unit. Second drive means for independently swinging the magnetic head by a small amount in the seek direction is provided. In the magnetic head positioning mechanism, the fine actuator section is provided with a vibration suppressing means, and the rocking movement of the magnetic actuator supporting mechanism in the fine actuator section causes the vibration of the coarse actuator section. A method for driving a magnetic head positioning mechanism, characterized by suppressing vibrations generated in a holder arm.
【請求項23】 当該振動抑制手段を介して、当該磁気
ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースア
クチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する複数個
の共振周波数を一つに制限し、且つ当該共振周波数をよ
り高周波帯域側に移動する様に制御する事を特徴とする
請求項22記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
23. A plurality of resonance frequencies generated in said holder arm of said course actuator section with said swinging movement of said magnetic head support mechanism through said vibration suppressing means, and 23. The driving method of a magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein the resonance frequency is controlled to move to a higher frequency band side.
【請求項24】 当該コースアクチュエータ部に設けら
れている当該第1の駆動手段としてボイスコイルモータ
を使用する事を特徴とする請求項22又は23に記載の
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
24. The driving method of a magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein a voice coil motor is used as said first driving means provided in said course actuator section.
【請求項25】 当該ファインアクチュエータ部に設け
られている当該第2の駆動手段としてボイスコイルモー
タ或いは圧電素子の何れかを使用する事を特徴とする請
求項22又は23に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆
動方法。
25. The magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein one of a voice coil motor and a piezoelectric element is used as the second driving means provided in the fine actuator section. Drive method.
【請求項26】 当該ファインアクチュエータ部に於
て、当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘ
ッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリ
ング部に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘ
ッド支持機構保持部に接合されており、当該細幅状バネ
部材を圧電素子に印加される電圧を制御することによっ
て変形させ、当該磁気ヘッドをシーク方向に揺動させる
事を特徴とする請求項22乃至25の何れかに記載の磁
気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
26. In the fine actuator section, the magnetic head support mechanism is connected to the magnetic head via a narrow spring member provided at least in an actuator spring section formed in the magnetic head support mechanism holding section. 23. The magnetic head, which is joined to a support mechanism holding portion, deforms the narrow width spring member by controlling a voltage applied to the piezoelectric element, and swings the magnetic head in a seek direction. 26. A method of driving a magnetic head positioning mechanism according to any one of claims 25 to 25.
【請求項27】 当該ファインアクチュエータ部に於
て、当該磁気ヘッド支持機構を有する当該磁気ヘッド支
持機構保持部が、コースアクチュエータ部のホルダアー
ムの一部に旋回可能に保持されると共に当該磁気ヘッド
支持機構保持部の端部にボイスコイルモータを当該コー
スアクチュエータ部の当該ホルダーアームに設けた磁石
手段と対向して設け、当該ボイスコイルモータに印加さ
れる電流を制御する事によって当該磁気ヘッドをシーク
方向に揺動させる事を特徴とする請求項22乃至25の
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
27. In the fine actuator section, the magnetic head supporting mechanism holding section having the magnetic head supporting mechanism is rotatably held by a part of a holder arm of the course actuator section, and the magnetic head supporting section is supported. A voice coil motor is provided at an end of the mechanism holding unit so as to face magnet means provided on the holder arm of the course actuator unit, and the magnetic head is moved in a seek direction by controlling a current applied to the voice coil motor. 26. The method of driving a magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein the magnetic head is swung.
【請求項28】 当該振動抑制手段によって、当該磁気
ヘッド支持機構による揺動に起因して当該コースアクチ
ュエータ部のホルダアームに発生する反力を相殺する様
な力を当該コースアクチュエータ部に発生させる事を特
徴とする請求項22乃至27の何れかに記載の磁気ヘッ
ド位置決め機構の駆動方法。
28. A force which cancels a reaction force generated in a holder arm of the course actuator due to the swing by the magnetic head support mechanism, is generated in the course actuator by the vibration suppressing means. The method for driving a magnetic head positioning mechanism according to any one of claims 22 to 27, wherein:
【請求項29】 当該ファインアクチュエータ部に設け
られる当該振動抑制手段を、当該ファインアクチュエー
タ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部に対向して
設けられ、且つ当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁
気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有している揺動
補償部材で構成し、当該揺動補償部材を当該磁気ヘッド
支持機構の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支持機構
の揺動動作とは反対方向に揺動動作を独立的に行わせる
事を特徴とする請求項22乃至28の何れかに記載の磁
気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
29. The vibration suppressing means provided in the fine actuator section is provided to face the magnetic head supporting mechanism holding section in the fine actuator section, and the magnetic head supporting mechanism or the magnetic head supporting section is provided. A swing compensating member having a mass equivalent to that of the mechanism holding portion, wherein the swing compensating member is synchronized with the swing operation of the magnetic head supporting mechanism. 29. The driving method of a magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein the swing operation is performed independently in the opposite direction.
【請求項30】 当該揺動補償部材と当該実際に情報の
読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライ
ダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構
成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構保持部とを、当該コース
アクチュエータ部を構成する当該ホルダアームの互いに
対向する平面にそれぞれ設ける事を特徴とする請求項2
9に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
30. A magnetic head supporting mechanism configured to support the swing compensating member and a slider on which the magnetic head used for actually reading and writing information is mounted, or A magnetic head supporting mechanism holding portion configured to support a slider on which the magnetic head used for reading and writing of information is mounted is provided on each of opposing flat surfaces of the holder arm constituting the course actuator portion. 3. The method according to claim 2, wherein
10. The driving method of the magnetic head positioning mechanism according to item 9.
【請求項31】 当該ホルダアームを挟んで上下両面に
接続された当該実際に情報の読み書きに使用される当該
磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成さ
れた磁気ヘッド支持機構で構成されるか、或いは、実際
に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載し
たスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持
機構保持部と当該揺動補償部材の内、当該磁気ヘッド支
持機構、或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部を当該フ
ァインアクチュエータ部に設けられている第2の駆動手
段を駆動して、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変
位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続
された当該揺動補償部材を、当該第2の駆動手段と同一
の構成を有する他の第2の駆動手段を駆動させて、当該
磁気ヘッド支持機構、或いは当該磁気ヘッド支持機構保
持部の駆動方向とは逆向きに常時同じ力で駆動させる事
を特徴とする磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
31. A magnetic head supporting mechanism connected to the upper and lower surfaces of the holder arm, the magnetic head supporting mechanism being configured to support the slider on which the magnetic head actually used for reading and writing information is mounted. Or, of the magnetic head supporting mechanism holding portion and the swing compensation member configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, the magnetic head supporting mechanism, or When the magnetic head support mechanism holding unit is driven by the second driving means provided in the fine actuator unit to displace the magnetic head by a small amount in the seek direction, the magnetic head supporting mechanism holding unit is connected to the opposite side across the holder arm. The swing compensating member is driven by another second driving means having the same configuration as the second driving means, and the magnetic head supporting mechanism is driven. Alternatively, a driving method of a magnetic head positioning mechanism is characterized in that the magnetic head supporting mechanism is always driven in the opposite direction to the driving direction of the magnetic head supporting mechanism holding unit with the same force.
【請求項32】 当該揺動補償部材は、実際に情報の読
み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダ
を支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成
されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される
当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構
成された磁気ヘッド支持機構と接続された磁気ヘッド支
持機構保持部で構成する事を特徴とする請求項31に記
載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
32. The swing compensating member is constituted by a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, or 32. A magnetic head supporting mechanism holding unit connected to a magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head used for reading and writing of information is mounted, according to claim 31, characterized in that: Driving method of the magnetic head positioning mechanism.
【請求項33】 当該揺動補償部材は当該磁気ヘッド支
持機構若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の
質量を有しているダミー部材で構成する事を特徴とする
請求項31に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方
法。
33. The magnetic device according to claim 31, wherein the swing compensating member is constituted by the magnetic head supporting mechanism or a dummy member having a mass equivalent to the magnetic head supporting mechanism holding portion. Driving method of the head positioning mechanism.
【請求項34】 当該ファインアクチュエータ部を保持
する当該コースアクチュエータ部を複数個、当該それぞ
れのコースアクチュエータ部に於けるホルダアームに設
けられている所定の回転軸を受け入れるアームブロック
に於いて同芯状となる様に多層状に積層されて、且つ当
該複数個のコースアクチュエータ部が一体的に揺動する
様に構成する事を特徴とする請求項22乃至33の何れ
かに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
34. A plurality of coarse actuators for holding the fine actuator, and concentric in an arm block for receiving a predetermined rotation axis provided on a holder arm in each of the coarse actuators. The magnetic head positioning mechanism according to any one of claims 22 to 33, wherein the magnetic head positioning mechanism according to any one of claims 22 to 33, wherein the magnetic head positioning mechanism is configured to be laminated in a multilayer shape so that the plurality of course actuator portions swing integrally. Drive method.
【請求項35】 当該多層状に積層された複数個のコー
スアクチュエータ部の内、両端部に配置されている当該
コースアクチュエータ部に於ける当該振動抑制手段の該
揺動補償部材は、当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該
磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有しているダ
ミー部材で構成する事を特徴とする請求項34に記載の
磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
35. The swing compensating member of the vibration suppressing means in the course actuators disposed at both ends of the plurality of course actuators stacked in a multilayer shape, the swing compensating member being the magnetic head. 35. The driving method of a magnetic head positioning mechanism according to claim 34, comprising a dummy member having a mass equivalent to the supporting mechanism or the magnetic head supporting mechanism holding portion.
【請求項36】 当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該磁気ヘッド支持機構保持部は、当該磁気ヘッド支
持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリング
と当該アクチュエータ・スプリングを駆動する第2の駆
動手段としての2つの圧電素子を有してなり、当該磁気
ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小
量変位は、当該2つの圧電素子に交互に電圧を印加する
ことで当該2つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆
動力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性
的に撓ませることによって実行されることを特徴とする
請求項22乃至35の何れかに記載の磁気ヘッド位置決
め機構の駆動方法。
36. The magnetic head support mechanism holding section of the fine actuator section includes a thin plate-shaped actuator spring for supporting the magnetic head support mechanism and a second drive unit for driving the actuator spring. The piezoelectric element has two piezoelectric elements, and the minute displacement of the magnetic head support mechanism in the seek direction of the magnetic head is driven by the two piezoelectric elements by alternately applying a voltage to the two piezoelectric elements. 36. The driving method of a magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein the driving is performed by generating a force and elastically bending the actuator spring portion by the driving force.
【請求項37】 当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該振動抑制手段を構成する当該揺動補償部材は、当
該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有する保持
部材で構成すると共に、当該磁気ヘッド支持機構と等価
の質量を有するダミー部材を支持する薄板状のアクチュ
エータ・スプリングと当該アクチュエータ・スプリング
を駆動する他の第2の駆動手段としての2つの圧電素子
を有してなり、当該ダミー部材のシーク方向への微小量
変位は、当該2つの圧電素子に交互に電圧を印加するこ
とで当該2つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆動
力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的
に撓ませることによって実行されることを特徴とする請
求項22乃至36の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め
機構の駆動方法。
37. The swing compensating member constituting the vibration suppressing means in the fine actuator section is constituted by a holding member having a mass equivalent to the magnetic head supporting mechanism holding section, A thin plate-shaped actuator spring supporting a dummy member having a mass equivalent to that of the mechanism; and two piezoelectric elements as another second driving means for driving the actuator spring. A small amount of displacement in the direction causes a drive force to be generated in the two piezoelectric elements by alternately applying a voltage to the two piezoelectric elements, and the actuator spring portion is elastically bent by the drive force. The method according to any one of claims 22 to 36, wherein the method is executed by:
【請求項38】 当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書き
に使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された
第1の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段
として機能する、第1の磁気ヘッド支持機構保持部と等
価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用され
る当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように
構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第2の磁気
ヘッド支持機構保持部とを設け、更に当該第1と第2の
磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気
ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構
保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設け
られた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構
保持部に接合せしめ、当該第1と第2の磁気ヘッド支持
機構保持部に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第
2の駆動手段及び他の第2の駆動手段を構成する圧電素
子に印加される電圧を制御することによって変形させ、
当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構
成しておき、一方の第2の駆動手段を構成する当該圧電
素子に電圧を印加して当該第1の磁気ヘッド支持機構保
持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該
磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該
ホルダアームを挟んで反対側に接続された第2の磁気ヘ
ッド支持機構保持部に設けられた当該他の第2の駆動手
段を構成する当該圧電素子には、当該第2の駆動手段の
圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加し
て、当該第1の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該
磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動
力を発生させる様に制御する事を特徴とする請求項22
乃至37の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆
動方法。
38. A magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, with the holder arm in the fine actuator section interposed therebetween. A first magnetic head support mechanism holding portion, and the magnetic head having a mass equivalent to the first magnetic head support mechanism holding portion, which functions as the vibration suppressing means, and which is actually used for reading and writing information. And a second magnetic head support mechanism holding portion connected to a magnetic head support mechanism configured to support a slider having the first and second magnetic head support mechanisms mounted thereon. Further, in the first and second magnetic head support mechanism holding portions, In any case, the magnetic head supporting mechanism is a narrow spring part provided at least in an actuator spring part formed in the magnetic head supporting mechanism holding part. The narrow spring members in the first and second magnetic head supporting mechanism holding parts are respectively joined to the second driving means and the other second driving means. Deformed by controlling the voltage applied to the piezoelectric element constituting the driving means,
The magnetic head is configured to swing by a minute amount in the seek direction, and a voltage is applied to the piezoelectric element forming one of the second driving means to form the first magnetic head support mechanism holding portion. When the magnetic head supporting mechanism is driven to displace the magnetic head by a small amount in the seek direction, the magnetic head supporting mechanism is provided in a second magnetic head supporting mechanism holding unit connected to the opposite side across the holder arm. A voltage having an opposite phase to the voltage applied to the piezoelectric element of the second drive means is applied to the piezoelectric element constituting the second drive means, and the first magnetic head support mechanism holding unit is applied. 23. The apparatus according to claim 22, wherein the driving direction is controlled so as to generate the same driving force in a direction opposite to the swing direction of the magnetic head supporting mechanism.
38. The driving method of the magnetic head positioning mechanism according to any one of claims to 37.
【請求項39】 当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書き
に使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持
するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された
第1の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段
として機能する、磁気ヘッド支持機構を含む第1の磁気
ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材
とを設け、更に当該第1の磁気ヘッド支持機構保持部と
当該ダミー部材に於ける磁気ヘッド支持機構保持部にお
いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構及び当該磁気ヘ
ッド支持機構と等価の質量を有するダミーマスは、少な
くとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアク
チュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材を
介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、当
該第1の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に
於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第2の駆動手段
及び他の第2の駆動手段を構成する圧電素子に印加され
る電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッ
ドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成しておき、
一方の第2の駆動手段を構成する当該圧電素子に電圧を
印加して当該第1の磁気ヘッド支持機構保持部を構成す
る当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッドを
シーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアーム
を挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられ
た当該他の第2の駆動手段を構成する当該圧電素子に
は、当該第2の駆動手段の圧電素子に印加された電圧と
は逆位相の電圧を印加して、当該第1の磁気ヘッド支持
機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向
とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する事
を特徴とする請求項22乃至37の何れかに記載の磁気
ヘッド位置決め機構の駆動方法。
39. A magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head is actually used for reading and writing information, with the holder arm in the fine actuator section interposed therebetween. A first magnetic head support mechanism holding portion, and a dummy member having a mass equivalent to that of the first magnetic head support mechanism holding portion including the magnetic head support mechanism, the dummy member functioning as the vibration suppressing means. In the magnetic head supporting mechanism holding section and the magnetic head supporting mechanism holding section in the dummy member, the magnetic head supporting mechanism and the dummy mass having a mass equivalent to the magnetic head supporting mechanism are at least provided by the magnetic head. The magnetic head is provided via a narrow spring member provided on an actuator spring section formed on the support mechanism holding section. The first magnetic head support mechanism holding portion and each of the narrow spring members of the dummy member constitute a second driving means and another second driving means, respectively. By controlling the voltage applied to the piezoelectric element to be deformed, the magnetic head is configured to swing slightly in the seek direction,
A voltage is applied to the piezoelectric element constituting one of the second driving means to drive the magnetic head supporting mechanism constituting the first magnetic head supporting mechanism holding unit, and the magnetic head is moved in a seek direction by a small amount. When displacing, the piezoelectric element constituting the other second driving means provided on the dummy member connected to the opposite side with the holder arm interposed therebetween includes the piezoelectric element of the second driving means. A voltage having a phase opposite to that of the applied voltage is applied to generate the same driving force in the direction opposite to the swing direction of the magnetic head support mechanism in the first magnetic head support mechanism holding section. 38. The method of driving a magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein the control is performed in the following manner.
【請求項40】 当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を
有する第1の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該
コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可
能に保持されると共に当該第1の磁気ヘッド支持機構保
持部の端部に第2の駆動手段を構成する第1のボイスコ
イルモータを有する第1の磁気ヘッド支持機構保持部を
設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能
する、第1の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を
有し、且つ実際に情報の読み書きに使用される当該磁気
ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された
磁気ヘッド支持機構と接続された第2の磁気ヘッド支持
機構保持部であって、当該コースアクチュエータ部のホ
ルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該第
2の磁気ヘッド支持機構保持部の端部に他の第2の駆動
手段を構成する第2のボイスコイルモータを有する第2
の磁気ヘッド支持機構保持部を設け、更に当該第1と第
2の磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該
磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への
微小量変位は、当該ボイスコイルモータのコイルに任意
の電流を印加することで当該ボイスコイルモータに電磁
力を発生させ、当該電磁力によって当該それぞれの磁気
ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成しておき、
一方の第1の駆動手段を構成する当該ボイスコイルモー
タに所定の電流を印加して当該第1の磁気ヘッド支持機
構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小
量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に
接続された第2の磁気ヘッド支持機構保持部に設けられ
た当該他の第2の駆動手段を構成する当該ボイスコイル
モータには、当該第2の駆動手段に印加された電流とは
逆向きの電流を印加して、当該第1の磁気ヘッド支持機
構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向と
は、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する事を
特徴とする請求項22乃至37の何れかに記載の磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法。
40. A magnetic head supporting mechanism configured to support a slider on which the magnetic head used for actually reading and writing information is supported on one surface with the holder arm in the fine actuator portion interposed therebetween. A first magnetic head support mechanism holding portion having a pivot arm, which is rotatably held by a part of a holder arm of the course actuator portion, and a second magnetic head support mechanism holding portion provided at an end of the first magnetic head support mechanism holding portion. A first magnetic head supporting mechanism holding portion having a first voice coil motor constituting a driving means is provided, and the other surface is equivalent to the first magnetic head supporting mechanism holding portion functioning as the vibration suppressing means. Magnetic head support mechanism configured to support a slider having the mass of the magnetic head and having the magnetic head actually used for reading and writing information A second magnetic head support mechanism holding portion connected to the second magnetic head support mechanism holding portion rotatably held by a part of the holder arm of the course actuator portion, and another end portion of the second magnetic head support mechanism holding portion. Having a second voice coil motor constituting a second driving means
In the first and second magnetic head support mechanism holding portions, the minute displacement of the magnetic head support mechanism in the seek direction of the magnetic head in both cases is: By applying an arbitrary current to the coil of the voice coil motor, an electromagnetic force is generated in the voice coil motor, and the respective magnetic head support mechanism holding units are configured to swing by the electromagnetic force,
When a predetermined current is applied to the voice coil motor constituting one of the first driving means to drive the first magnetic head support mechanism holding unit and displace the magnetic head by a small amount in the seek direction, The voice coil motor constituting the other second driving means provided on the second magnetic head support mechanism holding portion connected to the opposite side with the holder arm interposed therebetween is applied to the second driving means. A current in the opposite direction to the applied current is applied to generate the same driving force in the direction opposite to the swing direction of the magnetic head support mechanism in the first magnetic head support mechanism holding section. 38. The method of driving a magnetic head positioning mechanism according to claim 22, wherein the driving is controlled.
【請求項41】 当該ファインアクチュエータ部に於け
る当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報
の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスラ
イダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を
有する第1の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該
コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可
能に保持されると共に当該第1の磁気ヘッド支持機構保
持部の端部に第2の駆動手段を構成する第1のボイスコ
イルモータを有する第1の磁気ヘッド支持機構保持部を
設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能
する、当該磁気ヘッド支持機構を含む第1の磁気ヘッド
支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材であっ
て、当該コースアクチュエータ部のホルダアームの一部
に旋回可能に保持されると共に当該ダミー部材の端部
に、他の第2の駆動手段を構成する第2のボイスコイル
モータを有するダミー部材とを設け、更に当該第1の磁
気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に於いては、
何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシー
ク方向への微小量変位は、当該ボイスコイルモータのコ
イルに任意の電流を印加することで当該ボイスコイルモ
ータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当該それ
ぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成
しておき、一方の第2の駆動手段を構成する当該第1の
ボイスコイルモータに所定の電流を印加して当該第1の
磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドを
シーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアーム
を挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられ
た当該他の第2の駆動手段を構成する当該ボイスコイル
モータには、当該第2の駆動手段に印加された電流とは
逆向きの電流を印加して、当該第1の磁気ヘッド支持機
構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向と
は、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する事を
特徴とする請求項22乃至37の何れかに記載の磁気ヘ
ッド位置決め機構の駆動方法。
41. A magnetic head support mechanism configured to support a slider on which one side of the holder arm in the fine actuator section is mounted, the slider being used for actually reading and writing information. A first magnetic head support mechanism holding portion having a pivot arm, which is rotatably held by a part of a holder arm of the course actuator portion, and a second magnetic head support mechanism holding portion provided at an end of the first magnetic head support mechanism holding portion. A first magnetic head supporting mechanism holding portion having a first voice coil motor constituting a driving means is provided, and a first magnetic field including the magnetic head supporting mechanism functioning as the vibration suppressing means is provided on the other surface. A dummy member having a mass equivalent to that of the head support mechanism holding portion, and is rotatably held by a part of the holder arm of the course actuator portion. And a dummy member having a second voice coil motor constituting another second driving means is provided at an end of the dummy member, and further provided on the first magnetic head support mechanism holding portion and the dummy member. In
In any case, the minute displacement of the magnetic head supporting mechanism in the seek direction of the magnetic head is caused by applying an arbitrary current to the coil of the voice coil motor to generate an electromagnetic force in the voice coil motor, The respective magnetic head supporting mechanism holding portions are configured to swing, and a predetermined current is applied to the first voice coil motor that constitutes one of the second driving means to apply the first current to the first voice coil motor. When the magnetic head support mechanism holding unit is driven to displace the magnetic head by a small amount in the seek direction, the other second driving means provided on the dummy member connected to the opposite side across the holder arm Is applied to the voice coil motor in a direction opposite to the direction of the current applied to the second driving means, so that the first magnetic head support mechanism holding section is connected to the voice coil motor. The swing direction of the magnetic head support mechanism, a driving method of a magnetic head positioning mechanism according to any one of claims 22 to 37, characterized in that the control so as to generate the same driving force in the opposite direction.
【請求項42】 当該コースアクチュエータ部は、当該
ファインアクチュエータ部を複数個支持し、当該コース
アクチュエータ部による当該ファインアクチュエータ部
の当該シーク方向への変位は、複数個の当該ファインア
クチュエータ部を一括して行うように構成されているこ
とを特徴とする請求項40又は41に記載の磁気ヘッド
位置決め機構の駆動方法。
42. The coarse actuator section supports a plurality of the fine actuator sections, and displacement of the fine actuator section in the seek direction by the coarse actuator section collectively includes the plurality of fine actuator sections. 42. The driving method of a magnetic head positioning mechanism according to claim 40, wherein the driving method is configured to perform the operation.
JP06160699A 1999-03-09 1999-03-09 Magnetic head positioning mechanism and driving method thereof Expired - Fee Related JP3771076B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06160699A JP3771076B2 (en) 1999-03-09 1999-03-09 Magnetic head positioning mechanism and driving method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06160699A JP3771076B2 (en) 1999-03-09 1999-03-09 Magnetic head positioning mechanism and driving method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000260140A true JP2000260140A (en) 2000-09-22
JP3771076B2 JP3771076B2 (en) 2006-04-26

Family

ID=13176006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP06160699A Expired - Fee Related JP3771076B2 (en) 1999-03-09 1999-03-09 Magnetic head positioning mechanism and driving method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3771076B2 (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003513394A (en) * 1999-10-28 2003-04-08 シーゲイト テクノロジー エルエルシー Micro-actuator-induced reaction force for precise positioning of sensors
US6618220B2 (en) 2000-07-04 2003-09-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head actuator and hard disc drive including the same
US6711229B1 (en) 1999-12-01 2004-03-23 Nec Electronics Corporation Method of synchronizing phase-locked loop, phase-locked loop and semiconductor provided with same
US7417830B1 (en) * 2005-08-31 2008-08-26 Magnecomp Corporation Head gimbal assembly with dual-mode piezo microactuator
JP2011060361A (en) * 2009-09-08 2011-03-24 Nhk Spring Co Ltd Disk drive suspension
JP2011253603A (en) * 2010-06-04 2011-12-15 Hitachi Ltd Magnetic disk device
US8699166B2 (en) 2009-12-11 2014-04-15 HGST Netherlands B.V. Magnetic head drive device with micro-actuators of end arms rotating in a direction opposite micro-actuators of intermediate arms
JP2018148788A (en) * 2018-04-09 2018-09-20 キヤノン株式会社 motor

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106033675B9 (en) 2014-12-24 2019-04-26 株式会社东芝 Disk set and the control method executed in disk set

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003513394A (en) * 1999-10-28 2003-04-08 シーゲイト テクノロジー エルエルシー Micro-actuator-induced reaction force for precise positioning of sensors
US6711229B1 (en) 1999-12-01 2004-03-23 Nec Electronics Corporation Method of synchronizing phase-locked loop, phase-locked loop and semiconductor provided with same
US6618220B2 (en) 2000-07-04 2003-09-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head actuator and hard disc drive including the same
US7417830B1 (en) * 2005-08-31 2008-08-26 Magnecomp Corporation Head gimbal assembly with dual-mode piezo microactuator
JP2011060361A (en) * 2009-09-08 2011-03-24 Nhk Spring Co Ltd Disk drive suspension
US8699166B2 (en) 2009-12-11 2014-04-15 HGST Netherlands B.V. Magnetic head drive device with micro-actuators of end arms rotating in a direction opposite micro-actuators of intermediate arms
JP2011253603A (en) * 2010-06-04 2011-12-15 Hitachi Ltd Magnetic disk device
JP2018148788A (en) * 2018-04-09 2018-09-20 キヤノン株式会社 motor

Also Published As

Publication number Publication date
JP3771076B2 (en) 2006-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7508634B2 (en) Micro-actuator, vibration canceller, head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US7379274B2 (en) Rotational PZT micro-actuator, head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US7719798B2 (en) Rotational micro-actuator integrated with suspension of head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US8630066B2 (en) Hard disk drive including a micromotion actuator and a damping unit
JP3771122B2 (en) Head moving device and storage disk drive device
US7768746B2 (en) Rotational micro-actuator with a rotatable plate, head gimbal assembly and disk drive device with the same
US7345851B2 (en) Disk drive with rotary piezoelectric microactuator
US7382583B2 (en) Rotary piezoelectric microactuator and disk drive head-suspension assembly
US8130469B2 (en) Suspension, head gimbal assembly and/or disk drive unit including outrigger with spring beams, and/or manufacturing method thereof
US7474512B2 (en) Miro-actuator, head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US7417831B2 (en) Micro-actuator and head gimbal assembly for a disk drive device
US20080144225A1 (en) Techniques for reducing flexure distortion and gimbal separation for thin-film PZT micro-actuators of head gimbal assemblies
US7468869B2 (en) Micro-actuator, micro-actuator suspension, and head gimbal assembly with the same
US20070139824A1 (en) Rotational PZT micro-actuator and manufacturing method thereof
US20060285256A1 (en) Dual-stage actuator disk drive with optimal location of the movable portion of the secondary actuator
US20070115591A1 (en) Suspension, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
JP2000260140A (en) Magnetic head positioning mechanism and its driving system
JP2003228928A (en) Mechanism finely moving head which perform recording and reproducing disk and disk device having the same
US20070070552A1 (en) Micro-actuator and head gimbal assembly for a disk drive device
US7006332B2 (en) Disk drive comprising suspension for magnetic head with positioning of slider to predetermined track through oscillation of voice coil motor
US7265945B2 (en) Head drive device including head support mechanism having support arm rotatable relative to base arm via rotation support part, and disk apparatus including the head drive device
JP5473126B2 (en) Magnetic head driving device and magnetic disk device using the same
Arya et al. Piezo-based milliactuator on a partially etched suspension
US7643253B2 (en) HGA rotational micro-actuator including an s-shaped frame and method of making thereof
CN101290776B (en) Cantilever part, combination of tabs of magnetic head, manufacturing method thereof, and hard disk driving unit

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20030506

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051227

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060208

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100217

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110217

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110217

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120217

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120217

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130217

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140217

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees