JP2000242988A - Method for alignment of magnetic head and optical head and apparatus for alignment - Google Patents

Method for alignment of magnetic head and optical head and apparatus for alignment

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JP2000242988A
JP2000242988A JP11037551A JP3755199A JP2000242988A JP 2000242988 A JP2000242988 A JP 2000242988A JP 11037551 A JP11037551 A JP 11037551A JP 3755199 A JP3755199 A JP 3755199A JP 2000242988 A JP2000242988 A JP 2000242988A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for alignment which is capable of exactly and stably aligning a magnetic head for generating magnetic fields and an optical head for irradiation with a light beam and an apparatus for alignment. SOLUTION: While an objective lens 4 of an optical pickup 3 is moved back and forth so as to move the focusing position of the light beam back and forth in a direction perpendicular to the surface of the magnetic head 2 near the surface of the magnetic head 2, the magnetic head 2 is irradiated with the light beam from the optical pickup 3 and the intensity of the reflected light from the magnetic head 2 is measured by the optical pickup 3. The positional relation between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 is then regulated in accordance with the result of the measurement. The magnetic field by the magnetic head 3 and the photoirradiation by the optical pickup 3 are otherwise acted on the disk 1 having a magnetic film in order to record a magnetic signal and thereafter, the magnetic signal on the disk 1 is measured by the magnetic head 2 and the positional relation between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 is regulated in accordance with the result of the measurement.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光記録技術と磁気
記録技術とを融合した磁気記録装置などのメモリ装置に
備えられる磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせ方法お
よび位置合わせ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for aligning a magnetic head and an optical head provided in a memory device such as a magnetic recording device in which optical recording technology and magnetic recording technology are integrated. .

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、DVD(Digital Versatile Disk)
や光磁気記録に代表される光メモリ、および、ハードデ
ィスク(以下、HDDと略する)に代表される磁気メモ
リにおける記録密度の向上は著しく、製品レベルでは2
〜6Gbit/in2 、研究レベルでは10Gbit/
in2 以上(HDDの場合)という記録容量が報告され
ている。
2. Description of the Related Art In recent years, DVD (Digital Versatile Disk)
The recording density of optical memories typified by optical disks and magneto-optical recordings and magnetic memories typified by hard disks (hereinafter abbreviated as HDDs) has been remarkably improved.
~ 6 Gbit / in 2 , 10 Gbit / in at the research level
A recording capacity of in 2 or more (in the case of an HDD) has been reported.

【0003】その一方で、更なる記録密度の向上を目指
し、光メモリの技術と磁気メモリの技術とを融合した新
しい高密度メモリ装置が提案されている。例えば、特許
公報第2617025号や特表平6−500194号公
報には、磁気記録において、室温に補償点を有するフェ
リ磁性体を磁気記録媒体の記録層として用い、記録時お
よび再生時に光ビームを照射し昇温する技術が開示され
ている。
On the other hand, there has been proposed a new high-density memory device which combines optical memory technology and magnetic memory technology in order to further improve the recording density. For example, in Japanese Patent Publication No. 2617025 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-500194, in magnetic recording, a ferrimagnetic material having a compensation point at room temperature is used as a recording layer of a magnetic recording medium, and a light beam is applied during recording and reproduction. A technique of irradiating and raising the temperature is disclosed.

【0004】上記技術によれば、記録時には、従来の磁
気記録と同様の数μm〜数十μm幅の磁気ヘッドを用い
て光ビーム径(サブμm〜1μm)と同等の狭いトラッ
クピッチでトラックの記録を行うことができ、再生時に
は、磁気ヘッド幅よりも狭いトラックピッチで記録され
たトラックをクロストークなく再生することができる。
それゆえ、従来の磁気記録と同等の線密度を保ち、なお
かつ光メモリと同レベルにまでトラック密度を向上でき
るため、面密度については、従来の磁気記録の数倍の高
密度化が可能になると考えられている。
According to the above technique, at the time of recording, a magnetic head having a width of several .mu.m to several tens .mu.m is used at the same track pitch as a light beam diameter (sub .mu.m to 1 .mu.m). Recording can be performed, and at the time of reproduction, a track recorded at a track pitch smaller than the magnetic head width can be reproduced without crosstalk.
Therefore, since it is possible to maintain the same linear density as that of the conventional magnetic recording and to increase the track density to the same level as that of the optical memory, it is thought that the area density can be several times higher than that of the conventional magnetic recording. Have been.

【0005】この技術に限らず、光記録技術と磁気記録
技術とを融合した高密度メモリを実現するには、同一の
領域に対して光ヘッドにより光ビームを照射するととも
に磁気ヘッドにより磁場を印加する技術が不可欠であ
る。そのため、簡便に、かつサブμm〜数μmのレベル
の精密さで磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせ(アラ
イメント)を行う方法および装置が必要とされていた。
In order to realize a high-density memory in which optical recording technology and magnetic recording technology are combined, not only this technology but also a light beam is applied to the same area by an optical head and a magnetic field is applied by a magnetic head. Technology is essential. Therefore, there has been a need for a method and an apparatus for easily aligning (aligning) a magnetic head and an optical head with a precision of the order of sub μm to several μm.

【0006】従来の光ヘッドと磁気ヘッドとの位置合わ
せ方法としては、例えば、特開平8−7379号公報に
開示されている方法がある。この従来の方法を、図8を
用いて説明する。
As a conventional alignment method between an optical head and a magnetic head, there is a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-7379. This conventional method will be described with reference to FIG.

【0007】この方法では、透明基板24上に半透明膜
25および保護膜26を形成したディスク34を調整用
ディスクとして用い、ディスク34をターンテーブル3
3に装着し、ディスク34の上方にスライダ27および
磁気コア28を備える磁気ヘッド35を配置する一方、
ディスク34の下方に光検出器を備える光ヘッド(図示
しない)を配置する。
In this method, a disk 34 having a translucent film 25 and a protective film 26 formed on a transparent substrate 24 is used as an adjustment disk, and the disk 34 is
3, a magnetic head 35 having a slider 27 and a magnetic core 28 is arranged above the disk 34,
An optical head (not shown) having a photodetector is arranged below the disk 34.

【0008】次いで、光ヘッドから磁気ヘッド35に向
かって光ビームを照射し、半透明膜25からの反射光3
0を用いて光ビームを半透明膜25に合焦させるフォー
カス制御を行った後、磁気ヘッド35をディスク34の
表面に沿って移動させながら、磁気ヘッド35で反射さ
れディスク34を通過した反射光31の強度を光ヘッド
の光検出器によって測定する。
Next, a light beam is emitted from the optical head toward the magnetic head 35, and the reflected light 3 from the translucent film 25 is irradiated.
After performing focus control for focusing the light beam on the translucent film 25 using 0, the reflected light reflected by the magnetic head 35 and passing through the disk 34 while moving the magnetic head 35 along the surface of the disk 34. The intensity of 31 is measured by the photodetector of the optical head.

【0009】そして、磁気ヘッド35のスライダ27と
磁気コア28との間で反射率が異なることを利用して、
反射光31の強度を表す光検出器の出力を検知し、その
出力が磁気コア28に応じた出力となるように光ヘッド
と磁気ヘッド35との位置を調整する。
Then, by utilizing the fact that the reflectivity differs between the slider 27 of the magnetic head 35 and the magnetic core 28,
The output of the photodetector indicating the intensity of the reflected light 31 is detected, and the positions of the optical head and the magnetic head 35 are adjusted so that the output becomes an output corresponding to the magnetic core 28.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本願発
明者の検討によれば、特開平8−7379号公報に開示
されている上記従来の方法は、以下の問題点を有してい
ることが分かった。
However, according to the study of the present inventor, it has been found that the conventional method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-7379 has the following problems. Was.

【0011】すなわち、光ヘッドから出射された入射光
29は、大部分は半透明膜25を透過するものの、一部
が半透明膜25で反射される。また、磁気ヘッド35で
反射された反射光の一部は、半透明膜25で反射されて
反射光32として磁気ヘッド35に戻り、磁気ヘッド3
5の下面と半透明膜25との間で反射を繰り返し減衰し
ていく。
That is, most of the incident light 29 emitted from the optical head passes through the translucent film 25, but a part is reflected by the translucent film 25. Part of the light reflected by the magnetic head 35 is reflected by the translucent film 25 and returns to the magnetic head 35 as reflected light 32, and the magnetic head 3
The reflection is repeatedly attenuated between the lower surface of 5 and the translucent film 25.

【0012】例えば、半透明膜25の透過率を60%、
半透明膜25の反射率を20%、半透明膜25の吸収等
による減衰率を20%とした場合、磁気ヘッド35表面
に到達する光の強度は、入射光29の強度の60%に低
下する。さらに、磁気ヘッド35から光ヘッドに戻る光
強度は、半透明膜25の吸収等によりさらに減衰する。
For example, the transmittance of the translucent film 25 is 60%,
When the reflectance of the translucent film 25 is 20% and the attenuation factor due to absorption of the translucent film 25 is 20%, the intensity of light reaching the surface of the magnetic head 35 is reduced to 60% of the intensity of the incident light 29. I do. Further, the light intensity returning from the magnetic head 35 to the optical head is further attenuated by absorption of the translucent film 25 or the like.

【0013】このように、上記従来の方法では、フォー
カス制御のために半透明膜25を形成したディスク34
を用いているために、磁気ヘッド35表面からの反射光
が減衰する。
As described above, in the above-described conventional method, the disk 34 on which the translucent film 25 is formed for focus control is used.
Is used, the reflected light from the surface of the magnetic head 35 is attenuated.

【0014】それゆえ、スライダ27と磁気コア28と
の反射率の差によって得られる磁気ヘッド35面からの
反射光の強度の変化が小さくなる。反射光の強度の変化
が小さいと、光ビーム径(約1μm)よりも狭小な磁気
ヘッド35のギャップ(例えば、ギャップ長は0.2〜
0.35μm)の位置を検出することが困難になる。こ
の結果、上記従来の方法は、高密度メモリにおいて要求
されるサブμmレベルでの精密な位置合わせが達成でき
ないという問題を生じている。
Therefore, the change in the intensity of the reflected light from the surface of the magnetic head 35 obtained by the difference in the reflectance between the slider 27 and the magnetic core 28 is reduced. If the change in the intensity of the reflected light is small, the gap (for example, the gap length of the magnetic head 35 is smaller than the light beam diameter (about 1 μm)) of the magnetic head 35 is set to 0.2 to
It becomes difficult to detect the position (0.35 μm). As a result, the above-mentioned conventional method has a problem that precise alignment at the sub-μm level required in a high-density memory cannot be achieved.

【0015】また、徒に位置合わせ用の光ビームの出射
光強度を増加すると、様々な問題を生じる。例えば、特
許公報第2617025号や特表平6−500194号
公報に開示されている高密度メモリ用磁気ヘッドでは、
MR(磁気抵抗)素子やGMR(巨大磁気抵抗)素子か
らなる磁気コアが使用されることが想定されるが、位置
合わせ時に磁気ヘッドに強度の強い光ビームを照射する
と、これらMR素子やGMR素子の特性が劣化するとい
う新たな問題を引き起こす。
Further, if the intensity of the emitted light of the alignment light beam is increased, various problems occur. For example, in the magnetic head for high-density memory disclosed in Japanese Patent Publication No. 2617025 and Japanese Patent Publication No. 6-500194,
It is assumed that a magnetic core composed of an MR (magnetoresistive) element or a GMR (giant magnetoresistance) element is used. However, when a magnetic head is irradiated with a strong light beam during alignment, the MR element or GMR element is used. Causes a new problem that the characteristics of the device deteriorate.

【0016】さらに、特開平8−7379号公報におい
ても指摘されているように、半透明膜25を形成した調
整用のディスク34を用いずに、光ビームを磁気ヘッド
35表面に合焦するようにフォーカス制御した場合、磁
気ギヤップで反射光が戻らずフォーカスが外れてしまう
ために、磁気ヘッドからの反射光を安定に検出できない
という問題を生じる。
Further, as pointed out in JP-A-8-7379, the light beam is focused on the surface of the magnetic head 35 without using the adjusting disk 34 on which the translucent film 25 is formed. When focus control is performed at a time, the reflected light from the magnetic head is not returned because the reflected light does not return due to the magnetic gap, so that there is a problem that the reflected light from the magnetic head cannot be detected stably.

【0017】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的は、正確な位置合わせを安定し
て行うことができる磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わ
せ方法および位置合わせ装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has as its object to provide a method and a device for aligning a magnetic head and an optical head which can stably perform accurate alignment. Is to provide.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】請求項1、2、および5
に記載の発明は、本願発明者等が、光ビームの合焦位置
がほぼ磁気ヘッド面となるように磁気ヘッドに光ビーム
を照射することで得られる磁気コアとスライダとの反射
光強度差に着目し、熱磁気記録において熱源として用い
られる光ヘッド自体で反射光強度を測定することにより
磁気ヘッドの位置を同定することを検討した結果、見出
したものである。
Means for Solving the Problems Claims 1, 2, and 5
The invention described in (1) describes the difference in reflected light intensity between the magnetic core and the slider obtained by irradiating the magnetic head with the light beam so that the focus position of the light beam is substantially on the magnetic head surface. Focusing on the fact that the optical head itself used as a heat source in thermomagnetic recording measures the reflected light intensity to identify the position of the magnetic head, and as a result, it has been found.

【0019】本発明の請求項1記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ方法は、上記の課題を解決するため
に、磁場を発生させるための磁気ヘッドと、移動可能な
対物レンズを通して光ビームを照射するための光ヘッド
とを互いに対向するように配置して位置合わせする位置
合わせ方法であって、上記光ヘッドに、反射光の強度を
測定するための光検出部を設け、光ビームの合焦位置が
磁気ヘッド表面付近を磁気ヘッド表面に対して垂直方向
に往復運動するように対物レンズを往復運動させなが
ら、光ヘッドから磁気ヘッドに光ビームを照射して磁気
ヘッドからの反射光の強度を光ヘッドにより測定し、測
定された反射光の強度に基づいて磁気ヘッドと光ヘッド
との位置関係を調整することを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for aligning a magnetic head and an optical head, wherein a magnetic head for generating a magnetic field and a light beam passing through a movable objective lens are provided. An optical head for irradiating the optical head is arranged so as to face each other and aligned, wherein the optical head is provided with a light detection unit for measuring the intensity of reflected light, The optical head irradiates the magnetic head with a light beam while reciprocating the objective lens so that the focus position reciprocates in the direction perpendicular to the magnetic head surface in the vicinity of the magnetic head surface. The intensity is measured by an optical head, and the positional relationship between the magnetic head and the optical head is adjusted based on the measured intensity of the reflected light.

【0020】上記方法によれば、対物レンズを往復運動
させながら光ビームの合焦位置が磁気ヘッド面付近を往
復運動するように磁気ヘッドに光ビームを照射する。こ
れにより、磁気ヘッドの磁気ギャップにおいても、ま
た、記録媒体の線速度の違い、面振れ、外乱等により磁
気ヘッドの浮上量が変化した場合においても、対物レン
ズの移動範囲内で光ビームが磁気ヘッド表面に合焦す
る。
According to the above method, the magnetic head is irradiated with the light beam such that the focus position of the light beam reciprocates near the surface of the magnetic head while reciprocating the objective lens. As a result, even when the flying height of the magnetic head changes due to a difference in the linear velocity of the recording medium, surface run-out, disturbance, etc., the light beam is kept within the moving range of the objective lens even in the magnetic gap of the magnetic head. Focus on the head surface.

【0021】上記の反射光の強度は、磁気ヘッド表面に
合焦したときにピークを示すので、このピークの値を読
み取れば、磁気ヘッド表面に合焦したときの反射光の強
度が確実に測定できる。そして、磁気ヘッド表面に合焦
したときの反射光の強度は、磁気ヘッド表面の反射率を
正確に反映するので、この磁気ヘッド表面に合焦したと
きの反射光の強度に基づいて磁気ヘッドと光ヘッドとの
位置関係を調整すれば、正確な位置合わせを安定して行
うことができる。
Since the intensity of the above reflected light shows a peak when focused on the surface of the magnetic head, by reading the value of this peak, the intensity of the reflected light when focused on the surface of the magnetic head can be measured reliably. it can. The intensity of the reflected light when focused on the surface of the magnetic head accurately reflects the reflectivity of the surface of the magnetic head. By adjusting the positional relationship with the optical head, accurate positioning can be stably performed.

【0022】また、特開平8−7379号公報に記載さ
れている従来の方法では、磁気ヘッド表面に合焦したと
きの反射光の強度を測定するために、フォーカス制御を
行う必要があるとともに、合焦用の半透明膜を形成した
調整用ディスクを磁気ヘッドと光ヘッドとの間に介在さ
せる必要があった。
Further, in the conventional method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-7379, it is necessary to perform focus control in order to measure the intensity of the reflected light when focused on the surface of the magnetic head. It was necessary to interpose an adjustment disk having a translucent film for focusing between the magnetic head and the optical head.

【0023】これに対し、上記請求項1記載の方法によ
れば、フォーカス制御を行う必要がなく、また、合焦用
の半透明膜を形成した調整用ディスクを磁気ヘッドと光
ヘッドとの間に介在させる必要もない。それゆえ、磁気
ヘッド表面に合焦したときの磁気ヘッドの反射光を減衰
させることなく光ヘッドに到達させることができる。こ
のため、上記従来の方法と比較して、磁気ヘッド表面に
合焦したときの反射光の強度をより広いダイナミックレ
ンジで測定することができるので、より正確な位置合わ
せが行える。
On the other hand, according to the method of the first aspect, it is not necessary to perform focus control, and the adjustment disk having the translucent film for focusing is provided between the magnetic head and the optical head. It is not necessary to intervene. Therefore, the reflected light of the magnetic head when focused on the surface of the magnetic head can reach the optical head without being attenuated. Therefore, the intensity of the reflected light when focused on the surface of the magnetic head can be measured in a wider dynamic range as compared with the above-described conventional method, so that more accurate positioning can be performed.

【0024】本発明の請求項2記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ方法は、上記の課題を解決するため
に、請求項1記載の磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わ
せ方法において、上記反射光の強度の測定を、上記光ビ
ームに対して透明なディスクを磁気ヘッドと光ヘッドと
の間に配置して回転させるとともに、磁気ヘッドをディ
スクから離れるように浮上させた状態で行うことを特徴
としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for aligning a magnetic head and an optical head, the method comprising the steps of: The measurement of the intensity of the reflected light is performed while a disk transparent to the light beam is arranged between the magnetic head and the optical head and rotated, and the magnetic head is floated away from the disk. Features.

【0025】上記方法によれば、ディスクを回転し磁気
ヘッドをディスクから離れるように浮上させることで、
実デバイスと同様の条件にて位置合わせが行えるだけで
なく、位置合わせ時にディスクと磁気ヘッドとが摺れ合
うことを回避できる。このため、特に、静電気による破
壊が起きやすいMRヘッドやGMRヘッドを磁気ヘッド
として使用した場合に、位置合わせ中に磁気ヘッドがダ
メージを被ることを防止できる。
According to the above method, by rotating the disk and floating the magnetic head away from the disk,
Not only can the positioning be performed under the same conditions as in the actual device, but also the disk and the magnetic head can be prevented from sliding during the positioning. For this reason, it is possible to prevent the magnetic head from being damaged during the positioning, particularly when an MR head or a GMR head, which is easily damaged by static electricity, is used as the magnetic head.

【0026】また、上記方法によれば、ディスクが光ビ
ームに対して透明であることにより、光ビームが磁気ヘ
ッドまで減衰することなく到達する。このため、反射光
強度の変化をそのダイナミックレンジを損なうことなく
測定することができ、磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合
わせが容易となる。
According to the above method, since the disk is transparent to the light beam, the light beam reaches the magnetic head without attenuating. For this reason, the change in the reflected light intensity can be measured without impairing the dynamic range, and the alignment between the magnetic head and the optical head is facilitated.

【0027】請求項3、4、および6に記載の発明は、
本願発明者等が、磁気ヘッド自体で光ビームによる昇温
領域を測定することを検討した結果、見出したものであ
る。
[0027] The invention according to claims 3, 4 and 6 provides:
The inventors of the present application have found the result of studying measurement of a temperature rising region by a light beam using a magnetic head itself.

【0028】本発明の請求項3記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ方法は、上記の課題を解決するため
に、磁場を発生させるとともに磁気信号を測定するため
の磁気ヘッドと、光ビームを照射するための光ヘッドと
を互いに対向するように配置して位置合わせする位置合
わせ方法であって、磁性膜を有する記録媒体を磁気ヘッ
ドと光ヘッドとの間に配置した後、記録媒体上に磁気信
号を記録するために、磁気ヘッドから磁性膜に磁場を印
加しながら、光ヘッドからの光ビーム照射により磁性膜
の保磁力が磁気ヘッドによって印加された磁場以下とな
る温度まで磁性膜を加熱し、次いで、磁気ヘッドにより
記録媒体上の磁気信号を測定し、得られた測定結果に基
づいて磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関係を調整するこ
とを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for aligning a magnetic head and an optical head, comprising: a magnetic head for generating a magnetic field and measuring a magnetic signal; An alignment method for arranging and aligning optical heads for irradiating the recording medium with each other so as to face each other, wherein the recording medium having a magnetic film is disposed between the magnetic head and the optical head, In order to record a magnetic signal on the magnetic film, while applying a magnetic field from the magnetic head to the magnetic film, the magnetic film is irradiated with a light beam from the optical head until the coercive force of the magnetic film becomes lower than the magnetic field applied by the magnetic head. Heating, then measuring the magnetic signal on the recording medium with the magnetic head, and adjusting the positional relationship between the magnetic head and the optical head based on the obtained measurement result. .

【0029】上記方法によれば、記録媒体上の磁気信号
の測定結果に基づいて磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関
係を調整することにより、磁気ヘッドと光ヘッドとを磁
気信号の記録に最適な位置関係に位置合わせすることが
できる。
According to the above method, by adjusting the positional relationship between the magnetic head and the optical head based on the measurement result of the magnetic signal on the recording medium, the magnetic head and the optical head can be optimally used for recording the magnetic signal. Positioning can be performed in a positional relationship.

【0030】例えば、記録媒体では、磁場が印加され、
かつ、光照射により昇温された領域のみ、記録媒体の保
磁力が磁気ヘッドによって発生された磁場以下となり、
磁気信号が記録される。そこで、記録媒体上に磁気信号
が記録されているかどうかを磁気ヘッドの測定結果から
判別すれば、同一領域に光照射および磁場の両方が作用
しているかどうか、すなわち、光ヘッドからの光ビーム
の中心線上に磁気ヘッドの磁場発生部(磁気コア)が存
在するかどうかを判定することができる。
For example, in a recording medium, a magnetic field is applied,
And, only in the region heated by the light irradiation, the coercive force of the recording medium becomes equal to or less than the magnetic field generated by the magnetic head,
A magnetic signal is recorded. Therefore, if it is determined from the measurement result of the magnetic head whether a magnetic signal is recorded on the recording medium, whether or not both the light irradiation and the magnetic field are acting on the same area, that is, the light beam from the optical head It is possible to determine whether or not the magnetic field generating portion (magnetic core) of the magnetic head exists on the center line.

【0031】それゆえ、記録媒体上に磁気信号が記録さ
れているか否かに基づいて磁気ヘッドと光ヘッドとの位
置関係を調整すれば、磁気ヘッドと光ヘッドとを磁気信
号の記録に最適な位置関係に位置合わせすることができ
る。
Therefore, if the positional relationship between the magnetic head and the optical head is adjusted based on whether or not the magnetic signal is recorded on the recording medium, the magnetic head and the optical head can be optimally used for recording the magnetic signal. Positioning can be performed in a positional relationship.

【0032】また、記録媒体上に記録される磁気信号の
量は、昇温される記録領域の温度に応じて変化する。そ
こで、記録した磁気信号を光ビームを照射しながら磁気
ヘッドにより測定(再生)すれば、記録領域の温度分布
に応じた磁気信号量の変化が得られるため、オシロスコ
ープやスペクトラムアナライザ等の信号測定器を用いて
磁気信号量の変化を測定することができる。そして、測
定結果に基づき、磁気信号量が最も大きくなる位置を検
出すれば、磁気ヘッドの磁場発生部(磁気コア)の中心
位置を精密に同定することができる。
The amount of the magnetic signal recorded on the recording medium changes according to the temperature of the recording area whose temperature is raised. Therefore, if the recorded magnetic signal is measured (reproduced) by a magnetic head while irradiating a light beam, a change in the amount of the magnetic signal according to the temperature distribution in the recording area can be obtained. Can be used to measure the change in the amount of magnetic signal. Then, if the position where the amount of the magnetic signal is maximized is detected based on the measurement result, the center position of the magnetic field generating portion (magnetic core) of the magnetic head can be accurately identified.

【0033】それゆえ、磁気信号量の変化に基づいて磁
気ヘッドと光ヘッドとの位置関係を調整すれば、磁気ヘ
ッドと光ヘッドとを磁気信号の記録に最適な位置関係に
正確に位置合わせすることができる。
Therefore, if the positional relationship between the magnetic head and the optical head is adjusted based on the change in the amount of the magnetic signal, the magnetic head and the optical head are accurately aligned to the optimal positional relationship for recording the magnetic signal. be able to.

【0034】本発明の請求項4記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ方法は、上記の課題を解決するため
に、請求項3記載の磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わ
せ方法において、上記磁性膜としてフェリ磁性膜を用い
ることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of aligning a magnetic head and an optical head, the method comprising the steps of: It is characterized in that a ferrimagnetic film is used as the magnetic film.

【0035】上記方法によれば、磁性膜としてフェリ磁
性膜を用いることで、磁性膜の保磁力および磁化の温度
変化が大きくなり、磁気信号量の変化を大きくすること
ができる。それゆえ、ディスク上における磁気信号の有
無や磁気信号量の変化などの磁気信号の測定結果に基づ
く磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関係の調整をより正確
に行うことができる。
According to the above-described method, by using a ferrimagnetic film as the magnetic film, the coercive force of the magnetic film and the temperature change of the magnetization are increased, and the change of the magnetic signal amount can be increased. Therefore, it is possible to more accurately adjust the positional relationship between the magnetic head and the optical head based on the measurement result of the magnetic signal such as the presence or absence of the magnetic signal on the disk and the change in the amount of the magnetic signal.

【0036】本発明の請求項5記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ装置は、上記の課題を解決するため
に、記録媒体に磁場を印加するための磁気ヘッドと、移
動可能な対物レンズを通して磁気ヘッドに光ビームを照
射するとともに反射光の強度を測定するための光ヘッド
とを互いに対向するように配置して位置合わせを行う位
置合わせ装置であって、光ビームの合焦位置が磁気ヘッ
ド表面付近を磁気ヘッド表面に対して垂直方向に往復運
動するように対物レンズを往復運動させる駆動手段と、
磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関係が変化するように磁
気ヘッドおよび光ヘッドの少なくとも一方を移動させる
移動手段と、光ヘッドと駆動手段とを同時に動作させる
とともに、光ヘッドにより測定された反射光の強度の変
化に基づいて移動手段を制御する制御手段とを備えるこ
とを特徴としている。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for aligning a magnetic head and an optical head, comprising: a magnetic head for applying a magnetic field to a recording medium; and a movable objective lens. A magnetic head for irradiating a magnetic head with a light beam and arranging an optical head for measuring the intensity of reflected light so as to face each other to perform alignment, wherein a focus position of the light beam is magnetic. Driving means for reciprocating the objective lens so as to reciprocate in the direction perpendicular to the magnetic head surface in the vicinity of the head surface,
A moving unit for moving at least one of the magnetic head and the optical head so that a positional relationship between the magnetic head and the optical head changes, and simultaneously operating the optical head and the driving unit, and a method of measuring reflected light measured by the optical head. Control means for controlling the moving means based on the change in intensity.

【0037】上記構成によれば、請求項1記載の方法を
自動的に実行可能な磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わ
せ装置を提供できる。したがって、正確な位置合わせを
安定して自動的に実行可能な磁気ヘッドと光ヘッドとの
位置合わせ装置を提供できる。
According to the above configuration, it is possible to provide an apparatus for aligning a magnetic head and an optical head which can automatically execute the method of the first aspect. Therefore, it is possible to provide a magnetic head and optical head positioning apparatus capable of stably and automatically executing accurate positioning.

【0038】本発明の請求項6記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ装置は、上記の課題を解決するため
に、磁場を発生させるとともに磁気信号を測定するため
の磁気ヘッドと、光ビームを照射するための光ヘッドと
を互いに対向するように配置して位置合わせする位置合
わせ装置であって、磁気ヘッドと光ヘッドとの間に配置
された磁性膜を有する記録媒体と、磁気ヘッドと光ヘッ
ドとの位置関係が変化するように磁気ヘッドおよび光ヘ
ッドの少なくとも一方を移動させる移動手段と、記録媒
体上に磁気信号を記録するために、磁気ヘッドから磁性
膜に磁場を印加させながら、磁性膜の保磁力が磁気ヘッ
ドによって発生された磁場以下となる温度まで磁性膜が
加熱されるように光ヘッドから光ビームを照射させると
ともに、磁気ヘッドによる磁気信号の測定の結果に基づ
いて移動手段を制御する制御手段とを備えることを特徴
としている。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for aligning a magnetic head and an optical head, comprising: a magnetic head for generating a magnetic field and measuring a magnetic signal; A positioning medium for arranging and aligning optical heads for irradiating the magnetic head and a recording medium having a magnetic film disposed between the magnetic head and the optical head; and Moving means for moving at least one of the magnetic head and the optical head so that the positional relationship with the optical head changes, and while applying a magnetic field to the magnetic film from the magnetic head to record a magnetic signal on a recording medium, The optical head emits a light beam so that the magnetic film is heated to a temperature at which the coercive force of the magnetic film becomes equal to or lower than the magnetic field generated by the magnetic head. It is characterized in that a control means for controlling the moving means based on the results of the measurement of the magnetic signal due to.

【0039】上記構成によれば、請求項3記載の方法を
自動的に実行可能な磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わ
せ装置を提供できる。したがって、磁気ヘッドと光ヘッ
ドとを磁気信号の記録に最適な位置関係に位置合わせす
ることができる磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせ装
置を提供できる。
According to the above arrangement, it is possible to provide a magnetic head and optical head positioning apparatus capable of automatically executing the method according to the third aspect. Therefore, it is possible to provide a magnetic head / optical head alignment apparatus capable of positioning the magnetic head and the optical head in an optimal positional relationship for recording a magnetic signal.

【0040】以上のような本発明の作用により、簡易か
つサブμm〜μmレベルで精密に光ビームよりも狭小な
ギャップ長を検出しうる磁気ヘッドと光ヘッドの位置合
わせ方法および位置合わせ装置が提供され、光技術と磁
気技術とを融合した高密度メモリデバイスの開発が可能
となる。
By the operation of the present invention as described above, a magnetic head and optical head positioning method and apparatus capable of easily detecting a gap length narrower than a light beam at a sub-μm to μm level are provided. Thus, it becomes possible to develop a high-density memory device that combines optical technology and magnetic technology.

【0041】[0041]

【発明の実施の形態】〔実施の形態1〕本発明に係る磁
気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせ方法および位置合わ
せ装置の実施の一形態について図1ないし図5に基づい
て説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態
では、磁気ヘッドと光ヘッドとの間に調整用ディスクを
配置した位置合わせ方法を説明するが、調整用ディスク
を配置しなくとも、治具を用いて磁気ヘッドをディスク
の表面に対して平行に配置すれば、調整用ディスクを配
置した場合と同様にして位置合わせを行うことができ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [Embodiment 1] An embodiment of a method and an apparatus for aligning a magnetic head and an optical head according to the present invention will be described with reference to FIGS. It is as follows. In this embodiment, an alignment method in which an adjustment disk is arranged between a magnetic head and an optical head will be described. However, the magnetic head can be attached to the disk by using a jig without disposing the adjustment disk. If it is arranged parallel to the surface, positioning can be performed in the same manner as when the adjustment disk is arranged.

【0042】本実施の形態に係る位置合わせ装置では、
図1に示すように、図示しない磁気ディスク(記録媒
体)に磁場を印加するための磁気ヘッド2と、移動可能
な対物レンズ4を通して磁気ディスクに光ビームを照射
するための光ヘッドとしての光ピックアップ3とが、互
いに対向するように配置されている。上記磁気ディスク
は、記録・再生時に、磁気ヘッド2と光ピックアップ3
との間に配され、駆動装置(図示しない)によって回転
駆動されるスピンドル8に対して装着される。
In the positioning device according to the present embodiment,
As shown in FIG. 1, a magnetic head 2 for applying a magnetic field to a magnetic disk (recording medium), not shown, and an optical pickup as an optical head for irradiating the magnetic disk with a light beam through a movable objective lens 4 3 are arranged so as to face each other. The magnetic disk has a magnetic head 2 and an optical pickup 3 during recording / reproduction.
And mounted on a spindle 8 that is rotated by a driving device (not shown).

【0043】本実施の形態に係る磁気ヘッド2と光ピッ
クアップ3との位置合わせ方法においては、磁気ディス
クに代えて調整用のディスク1を磁気ヘッド2と光ピッ
クアップ3との間に配し、スピンドル8に装着してい
る。
In the method of aligning the magnetic head 2 and the optical pickup 3 according to the present embodiment, an adjustment disk 1 is provided between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 instead of the magnetic disk, and 8 is attached.

【0044】磁気ヘッド2は、記録時に、磁気信号Re
ad/Writeドライバ10から送られた情報信号に
基づいて磁気ディスクに磁気信号を書き込むようになっ
ている。また、磁気ヘッド2は、再生時に、磁気ディス
ク上の磁気信号の読み取り(測定)を行い、磁気信号R
ead/Writeドライバ10から再生磁気信号を出
力させるようになっている。なお、本実施の形態におい
ては、磁気信号の書き込みおよび読み取りが可能な磁気
ヘッド2の代わりに、磁気信号の書き込みのみが可能な
磁気ヘッドを用いてもよい。
The magnetic head 2 generates a magnetic signal Re during recording.
A magnetic signal is written on the magnetic disk based on the information signal sent from the ad / write driver 10. The magnetic head 2 reads (measures) a magnetic signal on the magnetic disk during reproduction, and
The read / write driver 10 outputs a reproduced magnetic signal. In the present embodiment, a magnetic head capable of only writing magnetic signals may be used instead of the magnetic head 2 capable of writing and reading magnetic signals.

【0045】光ピックアップ3は、記録時および再生時
に、磁気ディスクの記録層を昇温させるために、光ビー
ムの合焦位置が磁気ディスクの記録層と一致するように
光ビームを磁気ディスクに照射するものである。ここで
は、光ピックアップ3として、光ビームの波長780n
m、光ビーム径1.27μm、焦点深度が約1μmのも
のを用いた。
The optical pickup 3 irradiates the magnetic disk with a light beam so that the focus position of the light beam coincides with the recording layer of the magnetic disk in order to raise the temperature of the recording layer of the magnetic disk during recording and reproduction. Is what you do. Here, as the optical pickup 3, the wavelength of the light beam is 780n.
m, a light beam diameter of 1.27 μm, and a depth of focus of about 1 μm.

【0046】また、光ピックアップ3は、ディスク1の
面と垂直な方向に数十μmの範囲で微細な往復運動(揺
動)が可能な対物レンズ4を有している。そして、光ピ
ックアップ3は、位置合わせ時には、対物レンズ4をデ
ィスク1の面と垂直な方向に一定周期で往復運動させな
がら光ビームを磁気ヘッド2に照射する。これにより、
光ビームの合焦位置が磁気ヘッド2の表面付近を磁気ヘ
ッド2の表面に対して垂直方向に一定周期で往復運動す
る。
The optical pickup 3 has an objective lens 4 which can make a fine reciprocating movement (oscillation) within a range of several tens of μm in a direction perpendicular to the surface of the disk 1. Then, at the time of positioning, the optical pickup 3 irradiates the magnetic head 2 with a light beam while reciprocating the objective lens 4 in a direction perpendicular to the surface of the disk 1 at a constant period. This allows
The focus position of the light beam reciprocates around the surface of the magnetic head 2 in a direction perpendicular to the surface of the magnetic head 2 at a constant period.

【0047】さらに、光ピックアップ3には、このよう
にして対物レンズ4を往復運動させながら光ビームを照
射することによって得られた磁気ヘッド2からの反射光
を測定するための光検出部(図示しない)が設けられて
いる。上記光検出部は、光ピックアップ3からの光ビー
ムの照射方向の逆方向に入射される磁気ヘッド2からの
反射光の強度を測定し、反射光の強度を表す反射光信号
を光ピックアップドライバ11から出力させるようにな
っている。
Further, the optical pickup 3 is provided with a light detecting section (illustrated in the drawing) for measuring reflected light from the magnetic head 2 obtained by irradiating a light beam while reciprocating the objective lens 4 in this manner. No) is provided. The light detection unit measures the intensity of reflected light from the magnetic head 2 that is incident in a direction opposite to the direction of irradiation of the light beam from the optical pickup 3, and outputs a reflected light signal representing the intensity of the reflected light to the optical pickup driver 11. Output.

【0048】磁気ヘッド2は、磁気ヘッド2をディスク
1に垂直な方向(高さ方向)に移動させるための磁気ヘ
ッド用Zステージ(図示しない)と、磁気ヘッド2と光
ピックアップ3との位置合わせを行うべくディスク1に
平行なXY平面に沿って磁気ヘッド2を移動させるため
の磁気ヘッド用XYステージ(移動手段)5および磁気
ヘッド用XYピエゾステージ(移動手段)6とに治具を
介して装着されている。なお、磁気ヘッド用XYステー
ジ5は粗い移動を行うものであり、磁気ヘッド用XYピ
エゾステージ6は精密な移動を行うものである。
The magnetic head 2 includes a magnetic head Z stage (not shown) for moving the magnetic head 2 in a direction perpendicular to the disk 1 (height direction), and alignment between the magnetic head 2 and the optical pickup 3. And a magnetic head XY stage (moving means) 5 and a magnetic head XY piezo stage (moving means) 6 for moving the magnetic head 2 along an XY plane parallel to the disk 1 through a jig. It is installed. The XY stage 5 for magnetic head performs coarse movement, and the XY piezo stage 6 for magnetic head performs precise movement.

【0049】一方、光ピックアップ3は、光ピックアッ
プ3の焦点を調整すべく磁気ヘッド2をディスク1に垂
直なZ軸方向に移動させるための焦点調整用Zステージ
(図示しない)と、ディスク1の回転中心に光ピックア
ップ3の中心(回転中心)を合わせるべくディスク1に
平行な面に沿って光ピックアップ3を移動させるための
光ピックアップ用XYステージ7とに治具を介して装着
されている。
On the other hand, the optical pickup 3 has a focus adjustment Z stage (not shown) for moving the magnetic head 2 in the Z-axis direction perpendicular to the disk 1 to adjust the focus of the optical pickup 3, and The optical pickup 3 is mounted via a jig to an optical pickup XY stage 7 for moving the optical pickup 3 along a plane parallel to the disc 1 so that the center (rotation center) of the optical pickup 3 is aligned with the rotation center.

【0050】これらのステージ(磁気ヘッド用Zステー
ジ、磁気ヘッド用XYステージ5、磁気ヘッド用XYピ
エゾステージ6、焦点調整用Zステージ、および光ピッ
クアップ用XYステージ7)は、ディスク1の外径から
ディスク1の中心に向かうX軸方向に移動可能なXスラ
イドステージ9に取り付けられている。これにより、こ
れらのステージは、ディスク1の外径からディスク1の
中心に向かってその半径上の任意の位置まで移動するこ
とが可能となっている。
These stages (Z stage for magnetic head, XY stage 5 for magnetic head, XY piezo stage 6 for magnetic head, Z stage for focus adjustment, and XY stage 7 for optical pickup) It is attached to an X slide stage 9 that can move in the X-axis direction toward the center of the disk 1. Thus, these stages can be moved from the outer diameter of the disk 1 toward the center of the disk 1 to an arbitrary position on the radius.

【0051】ここでは、磁気ヘッド用XYステージ5お
よび磁気ヘッド用XYピエゾステージ6を用いて磁気ヘ
ッド2を光ピックアップ3に対して移動させることによ
り、磁気ヘッド2と光ピックアップ3との位置合わせを
行うようにした。その理由は、光ピックアップ3は、一
般に、磁気ヘッド2よりも交換することが少ないこと、
一度ディスク1の中心に光ピックアップ3の中心を合わ
せた後には再調整をする必要がないこと、磁気ヘッド2
は重量が軽くステージヘの負荷が小さいこと等である。
しかしながら、光ピックアップ3を磁気ヘッド2に対し
て移動させることにより、磁気ヘッド2と光ピックアッ
プ3との位置合わせを行ってもよい。
Here, the magnetic head 2 is moved with respect to the optical pickup 3 by using the XY stage 5 for magnetic head and the XY piezo stage 6 for magnetic head, thereby aligning the position of the magnetic head 2 with the optical pickup 3. I did it. The reason is that the optical pickup 3 generally requires less replacement than the magnetic head 2;
Once the center of the optical pickup 3 is centered on the center of the disk 1, there is no need for readjustment.
Is that the weight is light and the load on the stage is small.
However, the positioning of the magnetic head 2 and the optical pickup 3 may be performed by moving the optical pickup 3 with respect to the magnetic head 2.

【0052】磁気ヘッド2と光ピックアップ3との位置
合わせを精密に行うためには、磁気ヘッド2の移動を精
密に行う必要がある。したがって、磁気ヘッド用XYス
テージ5および磁気ヘッド用XYピエゾステージ6に
は、精密な位置決めが可能な精度(分解能)および最小
移動量が確保されているものを選択する必要がある。
In order to precisely align the magnetic head 2 with the optical pickup 3, it is necessary to precisely move the magnetic head 2. Therefore, it is necessary to select the XY stage 5 for the magnetic head and the XY piezo stage 6 for the magnetic head that ensure the precision (resolution) and the minimum moving amount that enable precise positioning.

【0053】また、磁気ヘッド用XYステージ5および
磁気ヘッド用XYピエゾステージ6には、磁気ヘッド2
の交換、磁気ヘッド2の仕様の変更、磁気ヘッド2の寸
法のばらつきなどに対応できるよう、十分なストローク
を有するものを選ぶ必要がある。
The XY stage 5 for the magnetic head and the XY piezo stage 6 for the magnetic head
It is necessary to select a magnetic head having a sufficient stroke so as to cope with the replacement of the magnetic head 2, a change in the specifications of the magnetic head 2, a variation in the dimensions of the magnetic head 2, and the like.

【0054】ここでは、微動用の磁気ヘッド用XYピエ
ゾステージ6として、位置決め精度10nm(再現性4
0nm)、ストローク100μmのXYピエゾステージ
を用い、粗動用の磁気ヘッド用XYステージ5として、
最小目盛(最小移動量)1μm、ストローク12mmの
XYステージを用い、これらを重ねて配置した。また、
磁気ヘッド用Zステージとしては、最小目盛10μm、
ストローク6mmのZステージを使用した。
Here, as the XY piezo stage 6 for the magnetic head for fine movement, the positioning accuracy is 10 nm (the reproducibility is 4 nm).
0 nm), using an XY piezo stage with a stroke of 100 μm, as an XY stage 5 for a coarse magnetic head.
An XY stage having a minimum scale (minimum moving amount) of 1 μm and a stroke of 12 mm was used, and these were arranged in an overlapping manner. Also,
For the Z stage for the magnetic head, the minimum scale is 10 μm,
A Z stage with a stroke of 6 mm was used.

【0055】磁気ヘッド用XYステージ5および磁気ヘ
ッド用XYピエゾステージ6はXYステージ・XYピエ
ゾステージ13を介して、スピンドル8およびXスライ
ドステージ9はスピンドル・Xスライドステージドライ
バ14を介して、それぞれ制御用コンピュータ(制御手
段)15に接続され、制御用コンピュータ15によって
制御されている。
The XY stage 5 for magnetic head and the XY piezo stage 6 for magnetic head are controlled via an XY stage / XY piezo stage 13, and the spindle 8 and X slide stage 9 are controlled via a spindle / X slide stage driver 14, respectively. Computer (control means) 15 and is controlled by the control computer 15.

【0056】制御用コンピュータ15は、光ピックアッ
プドライバ11を介して光ピックアップ3を制御すると
ともに、磁気信号Read/Writeドライバ(磁気
信号読み取り/書き込みドライバ)10を介して磁気ヘ
ッド2を制御する。また、制御用コンピュータ15は、
光ピックアップドライバ11から出力された反射光信号
をオシロスコープなどの信号測定器12を介して取り込
む。さらに、制御用コンピュータ15は、磁気信号Re
ad/Writeドライバ10から出力された磁気信号
を信号測定器12を介して取り込む。
The control computer 15 controls the optical pickup 3 via the optical pickup driver 11 and controls the magnetic head 2 via the magnetic signal read / write driver (magnetic signal read / write driver) 10. In addition, the control computer 15
The reflected light signal output from the optical pickup driver 11 is captured via a signal measuring device 12 such as an oscilloscope. Further, the control computer 15 outputs the magnetic signal Re.
The magnetic signal output from the ad / Write driver 10 is taken in via the signal measuring device 12.

【0057】そして、制御用コンピュータ15は、反射
光信号に基づいて磁気ヘッド2の位置を制御するように
なっている。すなわち、制御用コンピュータ15は、ま
ず、光ピックアップドライバ11を介して光ピックアッ
プ3を光ビームを照射するように制御し、磁気ヘッド用
XYステージ5および磁気ヘッド用XYピエゾステージ
6によって磁気ヘッド2を光ピックアップ3に対して相
対的に移動させながら、反射光信号の変化の測定結果を
表す反射光信号を信号測定器12から取り込む。次い
で、制御用コンピュータ15は、反射光信号の変化の測
定結果に基づいて光ピックアップ3に対する磁気ヘッド
2の相対位置を同定し、同定した相対位置に基づいて磁
気ヘッド用XYステージ5および磁気ヘッド用XYピエ
ゾステージ6により光ピックアップ3に対する磁気ヘッ
ド2の位置合わせを行う。
The control computer 15 controls the position of the magnetic head 2 based on the reflected light signal. That is, the control computer 15 first controls the optical pickup 3 to emit a light beam via the optical pickup driver 11, and controls the magnetic head 2 by the XY stage 5 for magnetic head and the XY piezo stage 6 for magnetic head. The reflected light signal representing the measurement result of the change in the reflected light signal is taken in from the signal measuring device 12 while being relatively moved with respect to the optical pickup 3. Next, the control computer 15 identifies the relative position of the magnetic head 2 with respect to the optical pickup 3 based on the measurement result of the change of the reflected light signal, and based on the identified relative position, the magnetic head XY stage 5 and the magnetic head XY stage 5. The XY piezo stage 6 positions the magnetic head 2 with respect to the optical pickup 3.

【0058】次に、本実施の形態の位置合わせ方法に用
いるディスク1、および位置合わせを行う磁気ヘッド2
について詳述する。本実施の形態の位置合わせ方法に用
いるディスク1としては、光ピックアップ3から出射さ
れる光ビームに対して透明なディスクを用いることが好
ましい。これにより、光ビームが磁気ヘッド2まで減衰
することなく到達する。このため、反射光強度の変化を
そのダイナミックレンジを損なうことなく測定すること
ができ、磁気ヘッド2と光ピックアップ3との位置合わ
せが容易となる。
Next, the disk 1 used in the positioning method of the present embodiment and the magnetic head 2 for positioning
Will be described in detail. As the disk 1 used in the positioning method of the present embodiment, it is preferable to use a disk transparent to the light beam emitted from the optical pickup 3. Thereby, the light beam reaches the magnetic head 2 without being attenuated. Therefore, the change in the intensity of the reflected light can be measured without impairing the dynamic range, and the alignment between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 becomes easy.

【0059】なお、本明細書において、「光ビームに対
して透明なディスク」とは、通常、使用される厚み(本
実施の形態では0.6mm程度を意図している)におい
て、400nm以上の波長の光に対して少なくとも80
%以上の透過率を示すディスクを指すものとする。
In the present specification, the term “disc transparent to a light beam” generally refers to a disk having a thickness of 400 nm or more at a thickness used (about 0.6 mm in the present embodiment). At least 80 for light of wavelength
% Means a disc showing a transmittance of not less than%.

【0060】ここでは、ディスク1として、光ピックア
ップ3から出射される波長780nmの光ビームに対し
て約90%の透過率を示す2.5インチ径の透明ガラス
ディスク(外径65mm、内径20mm、厚さ0.63
5mm)を使用した。光ピックアップ3から出射される
波長780nmの光ビームに対して約90%の透過率を
示す透明ガラスディスクを用いたので、光ピックアップ
3から出射された光ビームは、減衰することなく磁気ヘ
ッド2上に照射される。
Here, a 2.5 inch diameter transparent glass disk (outer diameter 65 mm, inner diameter 20 mm, inner diameter 20 mm) showing about 90% transmittance for a light beam of wavelength 780 nm emitted from the optical pickup 3 is used as the disk 1. 0.63 thickness
5 mm). Since a transparent glass disk showing a transmittance of about 90% with respect to a light beam having a wavelength of 780 nm emitted from the optical pickup 3 is used, the light beam emitted from the optical pickup 3 is not attenuated on the magnetic head 2. Is irradiated.

【0061】なお、ディスク1における磁気ヘッド2側
の面に、通常HDD用磁気記録媒体の最表面に用いられ
る保護膜、例えば、アモルファスカーボン膜やダイヤモ
ンドライクカーボン膜等を8〜20nm程度形成しても
よい。これにより、ディスク1表面を保護しながら、十
分な反射光強度を得ることができる。
On the surface of the disk 1 on the side of the magnetic head 2, a protective film, for example, an amorphous carbon film or a diamond-like carbon film, which is usually used on the outermost surface of the HDD magnetic recording medium, is formed to a thickness of about 8 to 20 nm. Is also good. As a result, a sufficient reflected light intensity can be obtained while protecting the surface of the disk 1.

【0062】また、同様に、ディスク1における磁気ヘ
ッド2側の面に、通常HDD用磁気媒体の最表面に用い
られる潤滑剤、例えば、パーフルオロポリエーテルやZ
−DOL(商品名)等を2nm程度の膜厚となるように
塗布してもよい。潤滑剤は、ほぼガラスと同程度の屈折
率であり、膜厚も薄いことから、反射光強度を低下させ
る要因とはならない。
Similarly, the surface of the disk 1 on the side of the magnetic head 2 is coated with a lubricant, such as perfluoropolyether or Z, usually used on the outermost surface of the HDD magnetic medium.
-DOL (trade name) or the like may be applied to a thickness of about 2 nm. Since the lubricant has a refractive index substantially equal to that of glass and a small thickness, it does not cause a reduction in the intensity of reflected light.

【0063】これら保護膜および潤滑剤の膜は、反射光
強度を低下させないので、保護膜および/または潤滑剤
を形成したディスク1を用いて磁気ヘッド2を浮上させ
ながら位置合わせを行うことが可能である。
Since the protective film and the lubricant film do not reduce the intensity of reflected light, it is possible to perform alignment while floating the magnetic head 2 using the disk 1 on which the protective film and / or the lubricant is formed. It is.

【0064】本実施の形態の磁気ヘッド2としては、図
2に示すように、記録素子としての薄膜ヘッドと再生素
子としてのMR素子(MRヘッド)とからなる記録/再
生素子部40が形成された複合MRヘッドを用いた。ス
ライダ16としては、長さ(Y軸方向の長さ)2.0m
m×幅(X軸方向の長さ)1.6mm×厚さ0.43m
mの50%スライダを用いた。また、スライダ16にお
けるディスク1に対向する面であるスライダABS(Air
-Bearing Surface)17は、ディスク1に平行である。
なお、X軸方向は、ディスク1の径方向であり、Y軸方
向は、ディスク1の接線方向である。
As shown in FIG. 2, a recording / reproducing element section 40 including a thin film head as a recording element and an MR element (MR head) as a reproducing element is formed as the magnetic head 2 of the present embodiment. A composite MR head was used. The length of the slider 16 (the length in the Y-axis direction) is 2.0 m.
mx width (length in X-axis direction) 1.6mm x thickness 0.43m
A 50% m slider was used. A slider ABS (Air) which is a surface of the slider 16 facing the disk 1
-Bearing Surface) 17 is parallel to the disc 1.
Note that the X-axis direction is the radial direction of the disk 1, and the Y-axis direction is the tangential direction of the disk 1.

【0065】スライダ16のスライダABS17での記
録/再生素子部40の位置を顕微鏡により測定すると、
図2に示すように、スライダ16の角Aから記録/再生
素子部40の中心までのX軸方向の距離(X座標の差)
が約215μm、スライダ16の側端面AからWrit
eポール18までのY軸方向の距離(Y座標の差)が約
26.5μmであった。なお、磁気ヘッド2において、
スライダ16のサイズおよび記録/再生素子部40の位
置は、一般的に、製品毎に±数十μm程度のばらつきが
ある。
When the position of the recording / reproducing element section 40 at the slider ABS 17 of the slider 16 is measured with a microscope,
As shown in FIG. 2, the distance in the X-axis direction from the angle A of the slider 16 to the center of the recording / reproducing element section 40 (difference in X coordinate).
Is about 215 μm, and Writ
The distance in the Y-axis direction (difference in Y coordinate) to the e-pole 18 was about 26.5 μm. In the magnetic head 2,
In general, the size of the slider 16 and the position of the recording / reproducing element unit 40 have a variation of about ± several tens μm for each product.

【0066】記録/再生素子部40として、薄膜ヘッド
(記録素子)の一部であるWriteポール18と、M
R素子(再生素子)の一部であり薄膜ヘッド(記録素
子)のシールドを兼ねるReadポール19と、ボトム
シールド20とが、この順で上から配置された様子を、
図3に示す。また、Writeポール18とReadポ
ール19との間には、Writeギャップ21が形成さ
れている。一方、Readポール19とボトムシールド
20との間、すなわち、Readポール19とボトムシ
ールド20とに挟まれたReadギャップ22内には、
MR素子(図示しない)が形成されている。
As the recording / reproducing element section 40, a write pole 18 which is a part of a thin film head (recording element),
A read pole 19, which is a part of the R element (reproducing element) and also serves as a shield for the thin film head (recording element), and a bottom shield 20, which is arranged from above in this order,
As shown in FIG. A write gap 21 is formed between the write pole 18 and the read pole 19. On the other hand, between the read pole 19 and the bottom shield 20, that is, in the read gap 22 sandwiched between the read pole 19 and the bottom shield 20,
An MR element (not shown) is formed.

【0067】記録/再生素子部40の寸法は、Writ
eポール18の高さ(Y軸方向の長さ)が3.5μm、
Writeギャップ21の長さ(Writeポール18
とReadポール19との間の隔たり)が0.35μ
m、Readポール19の高さ(Y軸方向の長さ)が
3.5μm、Readギャップ22の長さ(Readポ
ール19とボトムシールド20との間の隔たり)が0.
22μm、ボトムシールド20の高さ(Y軸方向の長
さ)が2.5μm、Writeポール18の幅(X軸方
向の長さ)が5μm、Readポール19の幅(X軸方
向の長さ)が104μm、ボトムシールド20の幅(X
軸方向の長さ)が120μmである。
The dimensions of the recording / reproducing element section 40 are Writ
The height (length in the Y-axis direction) of the e-pole 18 is 3.5 μm,
Length of Write gap 21 (Write pole 18
Distance between the head and the read pole 19) is 0.35μ
m, the height of the read pole 19 (length in the Y-axis direction) is 3.5 μm, and the length of the read gap 22 (the distance between the read pole 19 and the bottom shield 20) is 0.
22 μm, height of bottom shield 20 (length in Y-axis direction) 2.5 μm, width of write pole 18 (length in X-axis direction) 5 μm, width of read pole 19 (length in X-axis direction) Is 104 μm and the width of the bottom shield 20 (X
(Length in the axial direction) is 120 μm.

【0068】本実施形態の磁気ヘッド2では、記録/再
生素子部40のWriteポール18、Readポール
19、およびボトムシールド20は主にNiFe合金等
の金属膜からなる一方、スライダABS17はAl2
3 −TiC(アルチック)基板からなり、その他の部分
は主にAl2 3 膜からなっている。このため、本実施
形態の磁気ヘッド2では、記録/再生素子部40のWr
iteポール18、Readポール19、およびボトム
シールド20の反射率が高く、他の部分の反射率が低く
なっている。
In the magnetic head 2 of the present embodiment, the write pole 18, the read pole 19, and the bottom shield 20 of the recording / reproducing element section 40 are mainly made of a metal film such as a NiFe alloy, while the slider ABS 17 is made of Al 2 O.
It is made of a 3- TiC (Altic) substrate, and the other parts are mainly made of an Al 2 O 3 film. Therefore, in the magnetic head 2 of the present embodiment, the Wr of the recording / reproducing element unit 40
The reflectivity of the item pole 18, the read pole 19, and the bottom shield 20 is high, and the reflectivity of other portions is low.

【0069】次に、本実施形態の磁気ヘッド2と光ピッ
クアップ3との位置合わせ方法について説明する。ま
ず、位置合わせを行うに際し、光ピックアップ3からデ
ィスク1上に照射される光ビームの中心がディスク1の
中心から約29mm離れた箇所に来るように、光ピック
アップ3を配置する。また、磁気ヘッド2と光ピックア
ップ3との間に配置したディスク1を回転速度3600
rpmで回転させ、磁気ヘッド2をディスク1から離れ
るように浮上させる。ここでは、ディスク1の線速度を
約10.93m/s、磁気ヘッド2の浮上量(ディスク
1からの距離)を約50nmとした。
Next, a method for aligning the magnetic head 2 and the optical pickup 3 according to the present embodiment will be described. First, at the time of positioning, the optical pickup 3 is arranged such that the center of the light beam emitted from the optical pickup 3 onto the disk 1 is located at a position about 29 mm away from the center of the disk 1. The disk 1 disposed between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 is rotated at a rotation speed of 3600.
By rotating the magnetic head 2 at rpm, the magnetic head 2 is levitated away from the disk 1. Here, the linear velocity of the disk 1 was about 10.93 m / s, and the flying height of the magnetic head 2 (the distance from the disk 1) was about 50 nm.

【0070】このようにディスク1を回転させるととも
に磁気ヘッド2をディスク1から離れるように浮上させ
ることで、実デバイスと同様の条件にて位置合わせが行
えるだけでなく、位置合わせ中にディスク1と磁気ヘッ
ド2とが摺動することがないため、磁気ヘッド2のMR
素子が静電気による破壊等のダメージを受けることを防
止できる。
By rotating the disk 1 and floating the magnetic head 2 away from the disk 1 in this manner, not only can the positioning be performed under the same conditions as in the actual device, but also the disk 1 can be aligned during the positioning. Since the magnetic head 2 does not slide, the MR of the magnetic head 2
The element can be prevented from being damaged by static electricity or the like.

【0071】次に、ディスク1の回転および磁気ヘッド
2の浮上を継続しながら、磁気ヘッド2と光ピックアッ
プ3との磁気ヘッド2表面に対して平行な方向の位置関
係が変化するように磁気ヘッド2を移動させながら光ピ
ックアップ3から磁気ヘッド2に光ビームを照射する。
そして、磁気ヘッド2からの反射光の強度の変化を光ピ
ックアップドライバ11を通して信号測定器12により
測定し、測定された反射光の強度の変化を表す反射光信
号を得る。このとき、光ビームの照射は、光ビームの合
焦位置が磁気ヘッド2の表面付近となるように行う。こ
れにより、磁気ヘッド2を浮上させていても、磁気ヘッ
ド2からの反射光が効率よく得られる。
Next, while continuing the rotation of the disk 1 and the floating of the magnetic head 2, the magnetic head 2 and the optical pickup 3 are changed so that the positional relationship in the direction parallel to the surface of the magnetic head 2 changes. The optical head 3 emits a light beam to the magnetic head 2 while moving the magnetic head 2.
Then, a change in the intensity of the reflected light from the magnetic head 2 is measured by the signal measuring device 12 through the optical pickup driver 11, and a reflected light signal representing the measured change in the intensity of the reflected light is obtained. At this time, the light beam is irradiated such that the focus position of the light beam is near the surface of the magnetic head 2. Thereby, even if the magnetic head 2 is levitated, reflected light from the magnetic head 2 can be obtained efficiently.

【0072】光ビームのパワーは、十分な強度の反射光
が得られ、かつ、磁気ヘッド2のMR素子が劣化するこ
とのないように、できるだけ低い値としなければならな
いが、本実施の形態では、磁気ヘッド2のMR素子が劣
化することのない1mWで、十分な強度の反射光が得ら
れる。
The power of the light beam must be as low as possible so that reflected light of sufficient intensity is obtained and the MR element of the magnetic head 2 is not deteriorated. In addition, reflected light of sufficient intensity can be obtained at 1 mW without deteriorating the MR element of the magnetic head 2.

【0073】さらに、光ピックアップ3から光ビームを
照射する際に、光ビームの合焦位置が磁気ヘッド2の表
面付近を磁気ヘッド2の表面に対して垂直方向に往復運
動するように、光ピックアップ3の対物レンズ4をディ
スク1の面に対して垂直方向に所定周期で往復運動させ
る。これにより、磁気ヘッド2の磁気ギャップ部(Wr
iteギャップ21およびReadギャップ22)にお
いても、また、ディスク1の線速度の違い、面振れ、外
乱等により磁気ヘッド2の浮上量が変化した場合におい
ても、常に、対物レンズ4の移動範囲内で光ビームが磁
気ヘッド2の表面に合焦する。このため、フォーカス制
御を行うことなく、反射光強度が反射率変化以外の要因
によって変動することを回避できる。この結果、正確な
位置合わせを安定して行うことが可能となる。
Further, when irradiating a light beam from the optical pickup 3, the optical pickup is so moved that the focused position of the light beam reciprocates in the vicinity of the surface of the magnetic head 2 in a direction perpendicular to the surface of the magnetic head 2. The objective lens 4 is reciprocated at a predetermined cycle in a direction perpendicular to the surface of the disk 1. As a result, the magnetic gap portion (Wr
In the case of the item gap 21 and the read gap 22), and even when the flying height of the magnetic head 2 changes due to a difference in linear velocity of the disk 1, surface runout, disturbance, or the like, the moving range of the objective lens 4 is always maintained. The light beam is focused on the surface of the magnetic head 2. For this reason, it is possible to prevent the reflected light intensity from fluctuating due to factors other than a change in reflectance without performing focus control. As a result, accurate positioning can be stably performed.

【0074】対物レンズ4を往復運動させながら光ピッ
クアップ3から光ビームを照射することにより、図4
(b)に示すように、所定の周期でピークを示す反射光
信号が得られる。この反射光信号のピークは、図4
(a)に示すフォーカス誤差信号が負から正または正か
ら負へと変化する時、すなわち光ビームが磁気ヘッド表
面に合焦した時に検出される。したがって、この反射光
信号のピーク値は、磁気ヘッド表面に合焦したときの反
射光信号を表し、磁気ヘッド2の反射率を正確に反映す
る。
By irradiating a light beam from the optical pickup 3 while reciprocating the objective lens 4, FIG.
As shown in (b), a reflected light signal showing a peak at a predetermined cycle is obtained. The peak of the reflected light signal is shown in FIG.
It is detected when the focus error signal shown in (a) changes from negative to positive or from positive to negative, that is, when the light beam is focused on the surface of the magnetic head. Accordingly, the peak value of the reflected light signal represents the reflected light signal when the magnetic head surface is focused, and accurately reflects the reflectivity of the magnetic head 2.

【0075】このとき、光ビームが高反射率である記録
/再生素子部40のWriteポール18、Readポ
ール19、およびボトムシールド20で反射された場合
には、図5(a)に示すように、より高いピーク値を有
する反射光信号が得られる一方、光ビームが低反射率で
あるスライダABS17で反射された場合には、図5
(b)に示すように、より低いピーク値を有する反射光
信号が得られる。ここでは、記録/再生素子部40のW
riteポール18、Readポール19、およびボト
ムシールド20からの反射光信号のピーク値とスライダ
ABS17からの反射光信号のピーク値との間に約1V
の信号差が得られている。したがって、磁気ヘッド2に
おける記録/再生素子部40の位置とスライダABS1
7との位置とを明確に区別することができることが分か
る。
At this time, when the light beam is reflected by the write pole 18, the read pole 19, and the bottom shield 20 of the recording / reproducing element section 40 having high reflectivity, as shown in FIG. When a reflected light signal having a higher peak value is obtained, while the light beam is reflected by the slider ABS 17 having a low reflectance, FIG.
As shown in (b), a reflected light signal having a lower peak value is obtained. Here, W of the recording / reproducing element unit 40
between the peak value of the reflected light signal from the write pole 18, the read pole 19, and the bottom shield 20 and the peak value of the reflected light signal from the slider ABS 17.
Is obtained. Therefore, the position of the recording / reproducing element section 40 in the magnetic head 2 and the slider ABS1
It can be seen that the position 7 can be clearly distinguished from the position 7.

【0076】その後、反射光信号のピーク値の変化に基
づいて磁気ヘッド2と光ピックアップ3との磁気ヘッド
2表面に対して平行な方向の位置関係を制御用コンピュ
ータ15にて同定する。最後に、この同定結果に基づい
て、磁気ヘッド2表面に対して平行な方向の位置関係を
磁気ヘッド用XYステージ5および磁気ヘッド用XYピ
エゾステージ6により調整する。
Thereafter, the control computer 15 identifies the positional relationship between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 in the direction parallel to the surface of the magnetic head 2 based on the change in the peak value of the reflected light signal. Finally, based on the identification result, the positional relationship in the direction parallel to the surface of the magnetic head 2 is adjusted by the XY stage 5 for magnetic head and the XY piezo stage 6 for magnetic head.

【0077】以上のように、本実施の形態の位置合わせ
方法では、磁気ヘッド2の表面に合焦したときの反射光
の強度を表す反射光信号のピーク値に基づいて磁気ヘッ
ド2と光ピックアップ3との磁気ヘッド2表面に対して
平行な方向の位置関係を調整するので、正確な位置合わ
せを安定して行うことができる。
As described above, in the positioning method of the present embodiment, the magnetic head 2 and the optical pickup are determined based on the peak value of the reflected light signal representing the intensity of the reflected light when the surface of the magnetic head 2 is focused. Since the positional relationship between the magnetic head 3 and the magnetic head 2 in the direction parallel to the surface of the magnetic head 3 is adjusted, accurate positioning can be stably performed.

【0078】また、上記方法によれば、フォーカス制御
を行う必要がなく、また、合焦用の半透明膜を形成した
調整用ディスクを磁気ヘッド2と光ピックアップ3との
間に介在させる必要もない。それゆえ、磁気ヘッド2の
表面に合焦したときの磁気ヘッド2の反射光を減衰させ
ることなく光ピックアップ3に到達させることができ
る。
Further, according to the above method, it is not necessary to perform focus control, and it is also necessary to interpose an adjusting disk having a translucent film for focusing between the magnetic head 2 and the optical pickup 3. Absent. Therefore, the reflected light of the magnetic head 2 when focused on the surface of the magnetic head 2 can reach the optical pickup 3 without being attenuated.

【0079】このため、磁気ヘッド2の表面に合焦した
ときの反射光の強度をより広いダイナミックレンジで測
定することができる。それゆえ、磁気ヘッド2の表面の
反射率の変化に基づく磁気ヘッド2の位置の同定、特
に、記録/再生素子部40のWriteポール18、R
eadポール19、およびボトムシールド20とスライ
ダABS17との反射率差に基づく記録/再生素子部4
0とスライダABS17との判別を正確に行うことがで
きる。この結果、光ビーム径よりも微小な磁気ヘッド2
の磁気ギャップ(Writeギャップ21およびRea
dギャップ22)の位置までも同定することができ、正
確な位置合わせが行える。
Therefore, the intensity of the reflected light when focused on the surface of the magnetic head 2 can be measured in a wider dynamic range. Therefore, the position of the magnetic head 2 is identified based on the change in the reflectivity of the surface of the magnetic head 2, and in particular, the write poles 18, R
The recording / reproducing element unit 4 based on the difference between the reflectivity of the head pole 20 and the bottom shield 20 and the slider ABS 17.
0 and the slider ABS 17 can be accurately determined. As a result, the magnetic head 2 smaller than the light beam diameter
Magnetic gaps (Write gap 21 and Rea
The position of the d gap 22) can be identified, and accurate positioning can be performed.

【0080】次に、このようにして得られた磁気ヘッド
2のMR素子部40のWriteポール18、Read
ポール19、およびボトムシールド20とスライダAB
S17との反射光信号差を利用して位置合わせを行う手
順を詳細に説明する。
Next, the write pole 18 and the read pole of the MR element 40 of the magnetic head 2 obtained in this manner are read.
Pole 19, bottom shield 20 and slider AB
The procedure for performing the alignment using the reflected light signal difference from S17 will be described in detail.

【0081】(1)まず、磁気ヘッド2を反射光信号が
検出されない位置から図2に示すX軸方向およびY軸方
向へ移動しながら、反射光信号を測定する。このとき、
光ビームが最初にスライダ16にかかったところで、ス
ライダABS17の反射率に応じた反射光信号が測定さ
れる。そこで、磁気ヘッド2をX軸方向に移動したとき
にスライダABS17の反射率に応じた反射光信号が最
初に測定されるX座標と、磁気ヘッド2をX軸方向に移
動したときにスライダABS17の反射率に応じた反射
光信号が最初に測定されるY座標とを求め、これらのX
座標およびY座標によりスライダ16の最も近い角であ
る角Aの位置を同定する。
(1) First, the reflected light signal is measured while moving the magnetic head 2 from the position where the reflected light signal is not detected in the X-axis direction and the Y-axis direction shown in FIG. At this time,
When the light beam first strikes the slider 16, a reflected light signal corresponding to the reflectance of the slider ABS 17 is measured. Therefore, when the magnetic head 2 is moved in the X-axis direction, an X coordinate at which a reflected light signal corresponding to the reflectance of the slider ABS 17 is measured first, and when the magnetic head 2 is moved in the X-axis direction, the slider ABS 17 The Y coordinate at which the reflected light signal corresponding to the reflectance is measured first is obtained, and these X coordinates are obtained.
The position of the corner A which is the closest corner of the slider 16 is identified by the coordinates and the Y coordinate.

【0082】(2)次に、予め顕微鏡等により測定した
スライダ16の角Aから記録/再生素子部40の中心ま
でのX軸方向の距離(ここでは、215μm)に応じて
磁気ヘッド2をX軸方向へ移動させ、次いで、スライダ
16の角AからWriteポール18までのY軸方向の
距離(ここでは、26.5μm)に応じて磁気ヘッド2
をY軸方向へ移動させる。これにより、磁気ヘッド2の
中心と光ピックアップ3中心とが、数十μm範囲内の誤
差で位置合わせされる。なお、手順(1)および(2)
における磁気ヘッド2の移動および走査は、磁気ヘッド
用XYステージ5によって大まかに行う。一方、以下の
手順における磁気ヘッド2の移動および走査は、磁気ヘ
ッド用XYピエゾステージ6によって精密に行う。
(2) Next, the magnetic head 2 is moved in accordance with the distance (here, 215 μm) in the X-axis direction from the angle A of the slider 16 to the center of the recording / reproducing element section 40 measured in advance by a microscope or the like. Then, the magnetic head 2 is moved in accordance with the distance (here, 26.5 μm) in the Y-axis direction from the angle A of the slider 16 to the Write pole 18.
Is moved in the Y-axis direction. As a result, the center of the magnetic head 2 and the center of the optical pickup 3 are aligned with an error within a range of several tens of μm. The procedures (1) and (2)
The movement and scanning of the magnetic head 2 are roughly performed by the XY stage 5 for the magnetic head. On the other hand, the movement and scanning of the magnetic head 2 in the following procedure are precisely performed by the XY piezo stage 6 for the magnetic head.

【0083】(3)さらに、磁気ヘッド2を図2または
図3に示すY軸方向(トラック方向)に走査し、Rea
dポール19およびボトムシールド20のY軸方向の位
置(Y座標)を同定する。
(3) Further, the magnetic head 2 is scanned in the Y-axis direction (track direction) shown in FIG. 2 or FIG.
The position (Y coordinate) of the d-pole 19 and the bottom shield 20 in the Y-axis direction is identified.

【0084】(4)磁気ヘッド2上に投影された光ビー
ム23(図3参照)がReadポール19上に位置する
ように磁気ヘッド2を移動した後、磁気ヘッド2をX軸
方向(トラック幅方向)に走査しながらReadポール
19からの反射光信号を測定し、スライダ16の角Aに
近い方のReadポール19の端の位置を同定する。
(4) After moving the magnetic head 2 so that the light beam 23 (see FIG. 3) projected on the magnetic head 2 is positioned on the read pole 19, the magnetic head 2 is moved in the X-axis direction (track width). While scanning in the direction, the reflected light signal from the read pole 19 is measured, and the position of the end of the read pole 19 closer to the corner A of the slider 16 is identified.

【0085】(5)同定されたスライダ16の角Aに近
い方のReadポール19の端から予め測定したRea
dポール19の幅の1/2の距離だけX軸方向に進んだ
位置、すなわちY軸方向に沿った磁気ヘッド2の中心線
上であると予測される位置まで磁気ヘッド2をX軸方向
に移動する。
(5) Rea measured in advance from the end of the read pole 19 closer to the corner A of the identified slider 16
The magnetic head 2 is moved in the X-axis direction to a position advanced in the X-axis direction by a distance of 1/2 of the width of the d-pole 19, that is, a position predicted to be on the center line of the magnetic head 2 along the Y-axis direction. I do.

【0086】(6)予測されるWriteポール18の
位置に光ビーム23が位置するように磁気ヘッド2をY
軸方向に移動する。
(6) The magnetic head 2 is moved so that the light beam 23 is positioned at the predicted write pole 18 position.
Move in the axial direction.

【0087】(7)X軸方向に磁気ヘッド2を走査しな
がら反射光信号を測定し、Writeポール18の両端
のX軸方向の位置を同定する。
(7) The reflected light signal is measured while scanning the magnetic head 2 in the X-axis direction, and the positions of both ends of the write pole 18 in the X-axis direction are identified.

【0088】(8)図3に示すように、同定されたWr
iteポール18の両端の位置の中間に光ビーム23が
位置するように、すなわちY軸方向に沿った磁気ヘッド
2の中心線上に光ビーム23が位置するように、磁気ヘ
ッド2をX軸方向に移動する。
(8) As shown in FIG. 3, the identified Wr
The magnetic head 2 is moved in the X-axis direction so that the light beam 23 is located at an intermediate position between both ends of the item pole 18, that is, on the center line of the magnetic head 2 along the Y-axis direction. Moving.

【0089】(9)同定したY軸方向に沿った磁気ヘッ
ド2の中心線に沿って、磁気ヘッド2をY軸方向に走査
し、Writeポール18、Readポール19、およ
びボトムシールド20のY軸方向の位置を同定するとと
もに、これらの同定結果からWriteギャップ21お
よびReadギャップ22のY軸方向の位置を同定す
る。
(9) The magnetic head 2 is scanned in the Y-axis direction along the center line of the magnetic head 2 along the identified Y-axis direction, and the write pole 18, the read pole 19, and the Y axis of the bottom shield 20 are scanned. In addition to identifying the position in the direction, the positions of the write gap 21 and the read gap 22 in the Y-axis direction are identified from these identification results.

【0090】(10)(7)〜(9)の手順により得ら
れた磁気ヘッド2の各部(Writeポール18、Re
adポール19、ボトムシールド20、Writeギャ
ップ21、およびReadギャップ22)のX軸方向の
位置およびY軸方向の位置に基づいて、磁気ヘッド2の
所望の位置、例えば、Readギャップ22に光ビーム
23が位置するように、磁気ヘッド2を移動させる。
(10) Each part (Write pole 18, Re pole) of the magnetic head 2 obtained by the procedures of (7) to (9)
Based on the positions of the ad pole 19, the bottom shield 20, the write gap 21, and the read gap 22) in the X-axis direction and the Y-axis direction, the light beam 23 is transmitted to a desired position of the magnetic head 2, for example, the read gap 22. The magnetic head 2 is moved so that is positioned.

【0091】上記の位置合わせ手順(1)〜(10)に
基づき、前述した仕様の磁気ヘッド2について、Wri
teポール18の幅、Writeポール18の高さ、R
eadポール19の高さ、およびボトムシールド20の
高さを同定した。
Based on the above alignment procedures (1) to (10), the magnetic head 2 having the above-described specification is
Te pole 18 width, Write pole 18 height, R
The height of the ead pole 19 and the height of the bottom shield 20 were identified.

【0092】その結果、Writeポール18の幅が
4.72μm(5.0μm)、Writeポール18の
高さが3.55μm(3.5μm)、Readポール1
9の高さが3.49μm(3.5μm)、ボトムシール
ド20の高さが2.32μm(2.5μm)と同定され
た。なお、括弧内の数値は、顕微鏡による測定値、ある
いはヘッドメーカの仕様値である。
As a result, the width of the write pole 18 was 4.72 μm (5.0 μm), the height of the write pole 18 was 3.55 μm (3.5 μm), and the read pole 1 was
9 was identified as 3.49 μm (3.5 μm), and the height of the bottom shield 20 was identified as 2.32 μm (2.5 μm). The numerical values in parentheses are measured values by a microscope or specification values of a head maker.

【0093】本実施の形態の位置合わせ方法により同定
したWriteポール18の幅、Writeポール18
の高さ、Readポール19の高さ、およびボトムシー
ルド20の高さの各数値の誤差はそれぞれ、0.28μ
m、0.05μm、0.01μm、および0.18μm
と十分小さいことが分かる。
The width of the write pole 18 identified by the alignment method of the present embodiment, the write pole 18
, The height of the read pole 19, and the error of the height of the bottom shield 20 are each 0.28 μm.
m, 0.05 μm, 0.01 μm, and 0.18 μm
Is small enough.

【0094】さらに、他の仕様の磁気ヘッド2につい
て、同様の手順で位置合わせを行い、上記の各数値を同
定した。その結果、Writeポール18の幅が1.8
6μm(1.8μm)、Writeポール18の高さが
3.62μm(3.5μm)、Readポール19の高
さが2.47μm(2.5μm)、ボトムシールド20
の高さが2.69μm(2.5μm)と同定された。な
お、括弧内の数値は、顕微鏡による測定値、あるいはヘ
ッドメーカの仕様値である。
Further, the magnetic heads 2 of other specifications were aligned in the same procedure, and the above numerical values were identified. As a result, the width of the write pole 18 is 1.8.
6 μm (1.8 μm), the height of the write pole 18 is 3.62 μm (3.5 μm), the height of the read pole 19 is 2.47 μm (2.5 μm), and the bottom shield 20
Was identified as 2.69 μm (2.5 μm) in height. The numerical values in parentheses are measured values by a microscope or specification values of a head maker.

【0095】同様に、同定した各数値の誤差はそれぞ
れ、0.06μm、0.12μm、0.03μm、およ
び0.19μmと十分小さいことが分かる。したがっ
て、様々な仕様の磁気ヘッド2にも対応して位置合わせ
を行うことが可能であることが分かる。
Similarly, it can be seen that the errors of the identified numerical values are sufficiently small as 0.06 μm, 0.12 μm, 0.03 μm, and 0.19 μm, respectively. Therefore, it can be seen that the positioning can be performed in correspondence with the magnetic heads 2 having various specifications.

【0096】上記位置合わせ装置では、上記手順による
位置合わせを行った後には、Xスライドステージ9によ
り磁気ヘッド2および光ピックアップ3を移動させて
も、位置ずれが生じないことが確認された。
In the above positioning apparatus, it was confirmed that no displacement occurred even when the magnetic head 2 and the optical pickup 3 were moved by the X slide stage 9 after performing the positioning according to the above procedure.

【0097】また、磁気ヘッド2や光ピックアップ3を
交換しない限り、位置合わせ装置の起動、各XYステー
ジ(磁気ヘッド用XYステージ5および磁気ヘッド用X
Yピエゾステージ6)の駆動部の初期化に伴う位置ずれ
は1〜2μm程度と小さい。そのため、位置合わせ装置
の起動時には、前回の使用時に位置合わせした位置に磁
気ヘッド2を移動した後、上記に示した(6)〜(1
0)の手順を行うだけで、位置合わせが完了する。
As long as the magnetic head 2 and the optical pickup 3 are not replaced, the start of the positioning device, the XY stages (the XY stage 5 for the magnetic head and the X
The displacement caused by the initialization of the drive unit of the Y piezo stage 6) is as small as about 1 to 2 μm. Therefore, when the positioning device is started, the magnetic head 2 is moved to the position where the positioning was performed at the time of the previous use, and then the above-described (6) to (1) are performed.
The alignment is completed only by performing the procedure 0).

【0098】以上のように、本実施の形態の位置合わせ
方法は、再現性良く、かつ、簡便に、サブμmレベルで
光ビームよりも狭小な磁気ヘッド2の磁気ギャップ(W
riteギャップ21およびReadギャップ22)を
検出して寸法および位置を同定することができるため、
精密な位置合わせが可能である。
As described above, the alignment method according to the present embodiment has good reproducibility and is simple, and the magnetic gap (W) of the magnetic head 2 smaller than the light beam at the sub-μm level can be easily obtained.
write gap 21 and read gap 22) to identify the size and position.
Precise positioning is possible.

【0099】なお、本実施形態では、磁気ヘッド2とし
て複合MRヘッドを用いたが、磁気ヘッドとして、GM
Rヘッド、MIG(Metal-In-Gap)ヘッド、薄膜ヘッド等
の他の磁気ヘッドを用いることもできる。また、本実施
形態では、光ピックアップ3として、波長780nmの
光ビームを照射するものを用いたが、波長が410nm
程度の青色レーザ光を照射するものを用いることもでき
る。
In this embodiment, a composite MR head is used as the magnetic head 2.
Other magnetic heads such as an R head, a MIG (Metal-In-Gap) head, and a thin film head can also be used. Further, in the present embodiment, the optical pickup 3 that irradiates a light beam with a wavelength of 780 nm is used, but the optical pickup 3 has a wavelength of 410 nm.
It is also possible to use a device that emits blue laser light of a certain degree.

【0100】〔実施の形態2〕本発明に係る磁気ヘッド
と光ヘッドとの位置合わせ方法および位置合わせ装置の
実施の一形態について図6および図7に基づいて説明す
れば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実
施の形態1にて示した各部材と同一の機能を有する部材
には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
[Embodiment 2] An embodiment of a method and an apparatus for aligning a magnetic head and an optical head according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 6 and 7. . For the sake of convenience, members having the same functions as those described in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0101】本実施の形態の位置合わせ方法では、ディ
スク1として、実施の形態1で使用したガラスディスク
に代えて、実施の形態1で使用したガラスディスク上に
磁性膜を形成した磁気ディスク(記録媒体)を用いる。
磁性膜は、少なくとも片面に形成すればよい。
In the positioning method of the present embodiment, a magnetic disk (recording) in which a magnetic film is formed on the glass disk used in the first embodiment instead of the glass disk used in the first embodiment is used as the disk 1. Medium).
The magnetic film may be formed on at least one side.

【0102】ディスク1の磁性膜としては、保磁力およ
び磁化の温度変化が大きいフェリ磁性膜を用いることが
好ましい。これにより、磁気信号の量の変化が大きくな
るため、記録の可否の判断が容易になり、最適なRea
dギャップ22の位置の補正を精密に行うことが可能に
なる。
As the magnetic film of the disk 1, it is preferable to use a ferrimagnetic film having a large temperature change in coercive force and magnetization. As a result, the change in the amount of the magnetic signal becomes large, so that it is easy to determine whether or not the recording is possible, and the optimum Real
The position of the d gap 22 can be accurately corrected.

【0103】ディスク1の磁性膜として、ここでは、R
F(高周波)マグネトロンスパッタリング法によりアモ
ルファスのフェリ磁性体であるTbFeCoを100n
mの膜厚となるようにガラスディスク上に形成したTb
FeCo膜を用いた。また、上記磁性膜上には、保護膜
としてカーボン膜を20nmの膜厚となるように形成
し、さらに、カーボン膜上に潤滑剤を塗布した。
As the magnetic film of the disk 1, here, R
An amorphous ferrimagnetic material, TbFeCo, is 100 n in thickness by F (high frequency) magnetron sputtering.
Tb formed on a glass disk to have a thickness of m
An FeCo film was used. On the magnetic film, a carbon film was formed as a protective film so as to have a thickness of 20 nm, and a lubricant was applied on the carbon film.

【0104】上記磁性膜の組成は、蛍光X線により分析
した結果、Tb:Fe:Co=24:27:49であっ
た。また、上記磁性膜の残留磁化(残留磁気)Mr及び
保磁力Hcを、媒体温度(ディスク1の温度)を変えな
がらVSM(Vibrating-Sample-Magnetometer:振動試料
型磁力計)により測定した。得られた結果を図6に示
す。図6では、横軸に媒体温度をとり、左側の縦軸に残
留磁化Mrを、右側の縦軸に保磁力Hcをとっている。
The composition of the magnetic film was analyzed by X-ray fluorescence and found to be Tb: Fe: Co = 24: 27: 49. The residual magnetization (remanence) Mr and the coercive force Hc of the magnetic film were measured by a VSM (Vibrating-Sample-Magnetometer) while changing the medium temperature (the temperature of the disk 1). FIG. 6 shows the obtained results. In FIG. 6, the horizontal axis indicates the medium temperature, the left vertical axis indicates the residual magnetization Mr, and the right vertical axis indicates the coercive force Hc.

【0105】上記磁性膜では、残留磁化Mrは、室温2
5℃で11[emu/cc]、100℃で97[emu
/cc]、150℃で125[emu/cc]、200
℃で148[emu/cc]、250℃で165[em
u/cc]と温度依存性が大きい。また、保磁力Hc
も、室温25℃で10×103 [Oe](800kA/
m)以上、100℃で6.3×103 [Oe](504
kA/m)、150℃で3.6×103 [Oe](28
8kA/m)、200℃で1.8×103 [Oe](1
44kA/m)、250℃で550[Oe](44kA
/m)と温度依存性が大きい。
In the above magnetic film, the remanent magnetization Mr is 2 at room temperature.
11 [emu / cc] at 5 ° C, 97 [emu] at 100 ° C
/ Cc], 125 [emu / cc] at 150 ° C, 200
148 [emu / cc] at 250 ° C, 165 [em] at 250 ° C
u / cc] and the temperature dependency is large. Also, the coercive force Hc
Also, at room temperature 25 ° C., 10 × 10 3 [Oe] (800 kA /
m) and 6.3 × 10 3 [Oe] (504) at 100 ° C.
kA / m), 3.6 × 10 3 [Oe] at 150 ° C. (28
8 kA / m) and 1.8 × 10 3 [Oe] (1
550 [Oe] (44 kA / m) at 250 ° C.
/ M) and the temperature dependency is large.

【0106】本実施の形態の位置合わせ装置は、制御用
コンピュータ15の制御のみを変更したものである。本
実施の形態の制御用コンピュータ15は、記録媒体であ
るディスク1上に磁気信号を記録するために、磁気ヘッ
ド2から磁性膜に磁場を印加させながら、磁性膜の保磁
力が磁気ヘッド2によって発生された磁場以下となる温
度まで磁性膜が加熱されるように光ピックアップ3から
光ビームを照射させるとともに、磁気ヘッド2による磁
気信号の測定の結果に基づいて磁気ヘッド用XYステー
ジ5および磁気ヘッド用XYピエゾステージ6を制御す
るようにしたものである。なお、本実施の形態では、光
ピックアップ3の代わりに、光検出部を備えない光ヘッ
ドを用いてもよい。また、本実施の形態では、対物レン
ズ4が固定されていてもよい。
The positioning apparatus of the present embodiment is obtained by changing only the control of the control computer 15. In order to record a magnetic signal on the disk 1, which is a recording medium, the control computer 15 according to the present embodiment applies a magnetic field to the magnetic film from the magnetic head 2 while controlling the coercive force of the magnetic film by the magnetic head 2. The optical pickup 3 irradiates a light beam so that the magnetic film is heated to a temperature below the generated magnetic field, and based on the result of the measurement of the magnetic signal by the magnetic head 2, the XY stage 5 for the magnetic head and the magnetic head XY piezo stage 6 is controlled. In the present embodiment, instead of the optical pickup 3, an optical head without a light detection unit may be used. Further, in the present embodiment, the objective lens 4 may be fixed.

【0107】本実施の形態の磁気ヘッド2と光ピックア
ップ3との位置合わせ方法では、まず、上記の磁性膜を
有するディスク1を磁気ヘッド2と光ピックアップ3と
の間に配置し、ディスク1を回転させるとともに磁気ヘ
ッド2をディスク1から浮上させる。
In the method of aligning the magnetic head 2 and the optical pickup 3 according to the present embodiment, first, the disk 1 having the above-described magnetic film is disposed between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 and the disk 1 is mounted. The magnetic head 2 is lifted from the disk 1 while rotating.

【0108】次いで、ディスク1上に磁気信号を記録す
るために、磁気ヘッド2から磁性膜に磁場を印加しなが
ら、光ピックアップ3からの光ビーム照射により磁性膜
の保磁力が磁気ヘッド2によって印加された磁場以下と
なる温度まで磁性膜を加熱する。その後、磁気ヘッド2
によりディスク1上の磁気信号を測定する。
Next, in order to record a magnetic signal on the disk 1, while applying a magnetic field to the magnetic film from the magnetic head 2, the coercive force of the magnetic film is applied by the magnetic head 2 by irradiating a light beam from the optical pickup 3. The magnetic film is heated to a temperature below the applied magnetic field. Then, the magnetic head 2
To measure the magnetic signal on the disk 1.

【0109】上記の磁気信号の記録および測定は、磁気
ヘッド2を磁気ヘッド2の表面に平行な面に沿って移動
させながら繰り返し行う。
The recording and measurement of the magnetic signal are repeated while moving the magnetic head 2 along a plane parallel to the surface of the magnetic head 2.

【0110】そして、得られた測定結果に基づいて光ピ
ックアップ3に対する磁気ヘッド2の相対位置を制御用
コンピュータ15にて同定し、同定結果に基づいて磁気
ヘッド2と光ピックアップ3との位置関係を調整する。
The relative position of the magnetic head 2 with respect to the optical pickup 3 is identified by the control computer 15 based on the obtained measurement result, and the positional relationship between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 is determined based on the identification result. adjust.

【0111】具体的には、例えば、ディスク1上に磁気
信号が記録されているか否かを磁気ヘッド2によって測
定した結果に基づいて、光ピックアップ3に対する磁気
ヘッド2の相対位置に関する記録が可能な範囲を同定
し、磁気ヘッド用XYステージ5および磁気ヘッド用X
Yピエゾステージ6により、磁気ヘッド2をディスク1
に平行な面に沿って同定された範囲の中心まで移動す
る。
More specifically, for example, based on the result of measuring whether or not a magnetic signal is recorded on the disk 1 by using the magnetic head 2, it is possible to record the relative position of the magnetic head 2 with respect to the optical pickup 3. The range is identified, and the XY stage 5 for magnetic head and the X for magnetic head
The magnetic head 2 is moved to the disk 1 by the Y piezo stage 6.
To the center of the identified range along a plane parallel to.

【0112】あるいは、光ビームを照射しながら磁気ヘ
ッド2により再生(測定)した磁気信号の量の変化をオ
シロスコープやスペクトラムアナライザ等の信号測定器
12によって測定した結果に基づき、磁気信号量が最大
となる光ピックアップ3に対する磁気ヘッド2の相対位
置を同定し、磁気ヘッド用XYステージ5および磁気ヘ
ッド用XYピエゾステージ6により、磁気ヘッド2をデ
ィスク1に平行な面に沿って同定された位置まで移動す
る。
Alternatively, based on the result of measuring a change in the amount of the magnetic signal reproduced (measured) by the magnetic head 2 while irradiating the light beam with the signal measuring device 12 such as an oscilloscope or a spectrum analyzer, the amount of the magnetic signal is determined to be maximum. The relative position of the magnetic head 2 with respect to the optical pickup 3 is identified, and the magnetic head 2 is moved by the magnetic head XY stage 5 and the magnetic head XY piezo stage 6 along the plane parallel to the disk 1 to the identified position. I do.

【0113】このようにして、磁気信号の有無や磁気信
号量の変化などの磁気信号の測定結果に基づいて磁気ヘ
ッド2と光ピックアップ3との位置関係を調整すること
により、磁気ヘッド2と光ピックアップ3とを磁気信号
の記録に最適な位置関係に位置合わせすることができ
る。
As described above, by adjusting the positional relationship between the magnetic head 2 and the optical pickup 3 based on the measurement result of the magnetic signal such as the presence or absence of the magnetic signal and a change in the amount of the magnetic signal, the optical head 2 The position of the pickup 3 can be adjusted to an optimum position for recording a magnetic signal.

【0114】以下に、上記方法の有用性を確かめる実験
を行った結果を示す。上記構成のディスク1を用い、実
施の形態1の位置合わせ装置を使用して実施の形態1で
説明した方法でWriteギャップ21の位置に光ビー
ムが照射されるように磁気ヘッド2と光ピックアップ3
との位置合わせを行った後、光ビームを照射しながら磁
気信号の記録を行った。このときの条件は、ディスク1
の回転数を3600rpm、ディスク1の線速度を約1
0.93m/s、磁気ヘッド2の浮上量を約50nmと
した。
The results of an experiment conducted to confirm the usefulness of the above method are shown below. Using the disk 1 having the above configuration, the magnetic head 2 and the optical pickup 3 are so arranged that the position of the write gap 21 is irradiated with a light beam by the method described in the first embodiment using the positioning device of the first embodiment.
After that, the magnetic signal was recorded while irradiating a light beam. The condition at this time is as follows.
Rotation speed of 3600 rpm and linear velocity of disk 1
0.93 m / s, and the flying height of the magnetic head 2 was about 50 nm.

【0115】まず、光照射を行わずに磁気信号の書き込
みを試みたところ、磁気信号が測定されなかった。すな
わち、記録が行えなかった。これは、上述のように、室
温では、ディスク1の磁性膜の保磁力Hcが、6.3×
103 [Oe](504kA/m)と磁気ヘッド2の書
き込み磁場よりも大きいためである。
First, an attempt was made to write a magnetic signal without performing light irradiation, but no magnetic signal was measured. That is, recording could not be performed. This is because, as described above, at room temperature, the coercive force Hc of the magnetic film of the disk 1 is 6.3 ×
This is because 10 3 [Oe] (504 kA / m) is larger than the write magnetic field of the magnetic head 2.

【0116】次に、光ピックアップ3からパワー6mW
の光ビームを照射しながら磁気信号の書き込みを行った
ところ、記録された磁気信号が測定された。これは、6
mWの光ビーム照射により、照射された領域の温度が上
昇し、ディスク1の磁性膜の保磁力Hcが磁気ヘッド2
の書き込み磁場以下に低下したため、記録が可能になっ
たことを示している。このことは、同時に、実施の形態
1で述べた位置合わせ方法が有用であることを裏付ける
ものである。
Next, a power of 6 mW from the optical pickup 3
When a magnetic signal was written while irradiating the light beam, the recorded magnetic signal was measured. This is 6
Due to the irradiation of the light beam of mW, the temperature of the irradiated area rises, and the coercive force Hc of the magnetic film of the disk 1 is reduced by the magnetic head 2.
This indicates that recording has become possible because the recording magnetic field has dropped below the write magnetic field. This at the same time supports that the alignment method described in Embodiment 1 is useful.

【0117】さらに、光ピックアップ3に対して磁気ヘ
ッド2をトラック幅方向(X軸方向)に移動させていく
と、±2.3μm移動したところで、記録が行えなくな
り、磁気信号が測定されなくなった。これは、光ピック
アップ3からの光ビームにより昇温された領域が磁気ヘ
ッド2の磁場が作用する領域から外れたために、その領
域の温度が低下し、磁性膜の保磁力が磁気ヘッド2の記
録磁場よりも大きくなったためと考えられる。
Further, when the magnetic head 2 was moved in the track width direction (X-axis direction) with respect to the optical pickup 3, recording could not be performed when the magnetic head 2 was moved ± 2.3 μm, and the magnetic signal could not be measured. . This is because the region heated by the light beam from the optical pickup 3 deviates from the region of the magnetic head 2 where the magnetic field acts, so that the temperature of the region decreases and the coercive force of the magnetic film is reduced by the recording of the magnetic head 2. It is considered that it became larger than the magnetic field.

【0118】これらから、磁気ヘッド2が、初期の光ビ
ーム照射位置の±2.3μmの範囲内にあると同定する
ことができる。それゆえ、磁気ヘッド2の幅(X軸方向
の長さ)は、4.6μmと同定することができる。な
お、磁気ヘッド2の幅の仕様値は5.0μmである。
From these, it can be identified that the magnetic head 2 is within the range of ± 2.3 μm of the initial light beam irradiation position. Therefore, the width (length in the X-axis direction) of the magnetic head 2 can be identified as 4.6 μm. The specification value of the width of the magnetic head 2 is 5.0 μm.

【0119】このように、実施の形態1の位置合わせ方
法にて位置合わせを行った磁気ヘッド2と光ピックアッ
プ3とを用いて、記録が可能か否か、すなわち磁気信号
が測定されるか否かにより、ディスク1の同一領域に光
照射及び記録磁場が作用しているかどうかを判定し、磁
気ヘッド2の位置を同定することが可能であることが分
かる。
As described above, whether or not recording is possible, that is, whether or not a magnetic signal is measured by using the magnetic head 2 and the optical pickup 3 that have been aligned by the alignment method of the first embodiment. This indicates that it is possible to determine whether the light irradiation and the recording magnetic field are acting on the same area of the disk 1 and to identify the position of the magnetic head 2.

【0120】次に、磁気信号を光ビームを照射しながら
記録した後に、実施例1の位置合わせ方法により同定し
たReadギャップ22の位置に光ビームが照射される
ように磁気ヘッド2を移動させ、光ビームを照射しなが
ら磁気信号を再生した。光ビームのパワーを1mWから
6mWまで増加させると、それに応じて再生磁気信号の
量が増大することが確認された。なお、再生磁気信号
は、スペクトラムアナライザなどの信号測定器12によ
りキャリアレベルを測定することにより得たものであ
る。
Next, after recording the magnetic signal while irradiating the light beam, the magnetic head 2 is moved so that the light beam is irradiated to the position of the read gap 22 identified by the positioning method of the first embodiment. The magnetic signal was reproduced while irradiating the light beam. It was confirmed that when the power of the light beam was increased from 1 mW to 6 mW, the amount of the reproduced magnetic signal was correspondingly increased. Note that the reproduced magnetic signal is obtained by measuring the carrier level with a signal measuring device 12 such as a spectrum analyzer.

【0121】さらに、光ビームを6mWで照射しながら
磁気ヘッド2をトラック方向(Y軸方向)に走査させ、
各位置での再生磁気信号の量の変化を測定した。測定結
果を図7に示す。図7では、トラック方向(Y軸方向)
における光ピックアップ3に対する磁気ヘッド2の相対
位置を横軸に、再生された磁気信号を縦軸にとってい
る。
Further, the magnetic head 2 is caused to scan in the track direction (Y-axis direction) while irradiating a light beam at 6 mW,
The change in the amount of the reproduced magnetic signal at each position was measured. FIG. 7 shows the measurement results. In FIG. 7, the track direction (Y-axis direction)
, The horizontal axis represents the relative position of the magnetic head 2 with respect to the optical pickup 3, and the vertical axis represents the reproduced magnetic signal.

【0122】図7において、横軸の原点Oは、Read
ギャップ22の位置に光ビームが照射されるよう位置合
わせした磁気ヘッド2の初期位置であり、+方向はディ
スク1の走行方向にとっている。即ち、横軸が+の領域
は、再生領域がReadギャップ22の位置に来るより
前に光ビーム照射を受けるような位置に磁気ヘッド2が
あることを表す。一方、横軸が−の領域は、再生傾城が
Readギャップ22の位置を過ぎてから光ビーム照射
を受けるような位置に磁気ヘッド2があることを表す。
In FIG. 7, the origin O on the horizontal axis is
The initial position of the magnetic head 2 is adjusted so that the position of the gap 22 is irradiated with the light beam. In other words, the region with the + axis on the horizontal axis indicates that the magnetic head 2 is located at a position where the light beam is irradiated before the reproduction region reaches the position of the read gap 22. On the other hand, the region where the abscissa represents-indicates that the magnetic head 2 is located at a position where the reproducing tilt is irradiated with the light beam after passing the position of the read gap 22.

【0123】再生磁気信号がその最大値に対して半減す
る磁気ヘッド2の移動距離は、+方向で1.12μm、
−方向で−0.62μmであった。+方向と−方向で半
減する移動距離が異なるのは、再生領域はあらかじめ昇
温されていなければならないこと、温度分布はディスク
1の走行方向に伸長した形となり最高到達温度を示す位
置もずれること、光ビーム径が1.27μmであるこ
と、を反映しているものと考えられる。この温度分布
は、光ビームのパワー、ディスク1の線速度、ディスク
1の反射率等によって変化する。
The moving distance of the magnetic head 2 at which the reproduced magnetic signal is halved from its maximum value is 1.12 μm in the + direction,
-0.62 μm in the − direction. The difference in the moving distance halved in the + direction and the − direction is that the reproducing area must be heated in advance, and the temperature distribution is elongated in the running direction of the disc 1 and the position showing the highest attained temperature is also shifted. , And the light beam diameter is 1.27 μm. This temperature distribution changes depending on the power of the light beam, the linear velocity of the disk 1, the reflectance of the disk 1, and the like.

【0124】また、Readギャップ22の位置により
再生磁気信号レベルが変化することから、実際のデバイ
ス動作において問題となる温度分布による最適なRea
dギャップ22の位置からのReadギャップ22の位
置の微妙なずれを、再生磁気信号が最も大きく得られる
位置に移動することにより補正することができることが
分かる。
Since the read magnetic signal level changes depending on the position of the read gap 22, the optimum read due to the temperature distribution which becomes a problem in the actual device operation.
It can be seen that a slight deviation of the position of the read gap 22 from the position of the d gap 22 can be corrected by moving to the position where the reproduced magnetic signal is obtained most.

【0125】なお、本実施形態では、ディスク1の磁性
膜としてTbFeCoからなるフェリ磁性膜を用いた
が、ディスク1の磁性膜として他の組成の磁性膜を用い
てもよい。TbFeCo膜以外のフェリ磁性膜として
は、特に限定されるものではないが、TbCo膜、Dy
Co膜などが使用しやすい。
In the present embodiment, a ferrimagnetic film made of TbFeCo is used as the magnetic film of the disk 1, but a magnetic film of another composition may be used as the magnetic film of the disk 1. The ferrimagnetic film other than the TbFeCo film is not particularly limited, but may be a TbCo film, Dy
A Co film or the like is easy to use.

【0126】また、本発明の位置合わせ装置は、評価装
置としても、磁気ディスク装置や光磁気ディスク装置な
どの実デバイスとしても有用な装置であり、光技術と磁
気技術とを融合した高密度メモリデバイスの開発が可能
となる。
The positioning device of the present invention is useful as an evaluation device and also as a real device such as a magnetic disk device or a magneto-optical disk device, and is a high-density memory combining optical technology and magnetic technology. Device development becomes possible.

【0127】さらに、以上の説明では、Readギャッ
プ22の位置の精密な位置合わせについて述べたが、再
生信号が得られるWriteギャップ21の位置の精密
な位置合わせについても、同様の手法によって行うこと
ができる。
Further, in the above description, the precise positioning of the position of the read gap 22 has been described. However, the precise positioning of the position of the write gap 21 from which a reproduction signal is obtained can be performed in the same manner. it can.

【0128】また、本実施形態では、磁気ヘッド2とし
て複合MRヘッドを用いたが、磁気ヘッド2として、G
MRヘッド、MIG(Metal-In-Gap)ヘッド、薄膜ヘッド
等の他の磁気ヘッドを用いることも可能である。また、
本実施形態では、光ピックアップ3として、波長780
nmの光ビームを照射するものを用いたが、波長が41
0nm程度の青色レーザ光を照射するものを用いること
もできる。
In this embodiment, a composite MR head is used as the magnetic head 2.
Other magnetic heads such as an MR head, a MIG (Metal-In-Gap) head, and a thin film head can be used. Also,
In the present embodiment, the wavelength 780 is used as the optical pickup 3.
A light beam with a wavelength of 41 nm was used.
A device that emits blue laser light of about 0 nm can also be used.

【0129】[0129]

【発明の効果】本発明の請求項1記載の磁気ヘッドと光
ヘッドとの位置合わせ方法は、以上のように、光ヘッド
に、反射光の強度を測定するための光検出部を設け、光
ビームの合焦位置が磁気ヘッド表面付近を磁気ヘッド表
面に対して垂直方向に往復運動するように対物レンズを
往復運動させながら、光ヘッドから磁気ヘッドに光ビー
ムを照射して磁気ヘッドからの反射光の強度を光ヘッド
により測定し、測定された反射光の強度に基づいて磁気
ヘッドと光ヘッドとの位置関係を調整する方法である。
According to the method for aligning a magnetic head and an optical head according to the first aspect of the present invention, as described above, an optical head is provided with a photodetector for measuring the intensity of reflected light. The optical head irradiates the magnetic head with a light beam while reciprocating the objective lens so that the focused position of the beam reciprocates near the magnetic head surface in the direction perpendicular to the magnetic head surface, and reflects from the magnetic head. This is a method of measuring the intensity of light with an optical head and adjusting the positional relationship between the magnetic head and the optical head based on the measured intensity of the reflected light.

【0130】それゆえ、上記方法は、正確な位置合わせ
を安定して行うことができる位置合わせ方法を提供でき
るという効果を奏する。
Therefore, the above method has an effect that a positioning method capable of stably performing accurate positioning can be provided.

【0131】本発明の請求項2記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ方法は、以上のように、上記反射光
の強度の測定を、上記光ビームに対して透明なディスク
を磁気ヘッドと光ヘッドとの間に配置して回転させると
ともに、磁気ヘッドをディスクから離れるように浮上さ
せた状態で行う方法である。
According to the method for positioning a magnetic head and an optical head according to a second aspect of the present invention, as described above, the intensity of the reflected light is measured by using a disk transparent to the light beam as a magnetic head. In this method, the magnetic head is placed between the optical head and rotated, and the magnetic head is floated away from the disk.

【0132】それゆえ、上記方法は、実デバイスと同様
の条件にて位置合わせが行えるとともに位置合わせ中に
磁気ヘッドがダメージを被ることを防止でき、さらに、
磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせを容易にすること
ができるという効果を奏する。
Therefore, according to the above method, the alignment can be performed under the same conditions as the actual device, and the magnetic head can be prevented from being damaged during the alignment.
There is an effect that the alignment between the magnetic head and the optical head can be facilitated.

【0133】本発明の請求項3記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ方法は、以上のように、磁性膜を有
する記録媒体を磁気ヘッドと光ヘッドとの間に配置した
後、記録媒体上に磁気信号を記録するために、磁気ヘッ
ドから磁性膜に磁場を印加しながら、光ヘッドからの光
ビーム照射により磁性膜の保磁力が磁気ヘッドによって
印加された磁場以下となる温度まで磁性膜を加熱し、次
いで、磁気ヘッドにより記録媒体上の磁気信号を測定
し、得られた測定結果に基づいて磁気ヘッドと光ヘッド
との位置関係を調整する方法である。
According to the method for positioning a magnetic head and an optical head according to claim 3 of the present invention, as described above, after the recording medium having the magnetic film is disposed between the magnetic head and the optical head, In order to record a magnetic signal on the magnetic film, a magnetic field is applied from the magnetic head to the magnetic film, and the magnetic film is irradiated with a light beam from the optical head until the coercive force of the magnetic film becomes lower than the magnetic field applied by the magnetic head. Is heated, then the magnetic signal on the recording medium is measured by the magnetic head, and the positional relationship between the magnetic head and the optical head is adjusted based on the obtained measurement result.

【0134】それゆえ、上記方法は、磁気ヘッドと光ヘ
ッドとを磁気信号の記録に最適な位置関係に位置合わせ
することができるという効果を奏する。
Therefore, the above-described method has an effect that the magnetic head and the optical head can be positioned at an optimal positional relationship for recording a magnetic signal.

【0135】本発明の請求項4記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ方法は、以上のように、上記磁性膜
としてフェリ磁性膜を用いる方法である。
The method for aligning a magnetic head and an optical head according to claim 4 of the present invention is a method using a ferrimagnetic film as the magnetic film as described above.

【0136】それゆえ、上記方法は、磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置関係の調整をより正確に行うことができる
という効果を奏する。
Therefore, the above method has an effect that the positional relationship between the magnetic head and the optical head can be adjusted more accurately.

【0137】本発明の請求項5記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ装置は、以上のように、光ビームの
合焦位置が磁気ヘッド表面付近を磁気ヘッド表面に対し
て垂直方向に往復運動するように対物レンズを往復運動
させる駆動手段と、磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関係
が変化するように磁気ヘッドおよび光ヘッドの少なくと
も一方を移動させる移動手段と、光ヘッドと駆動手段と
を同時に動作させるとともに、光ヘッドにより測定され
た反射光の強度の変化に基づいて移動手段を制御する制
御手段とを備える構成である。
In the apparatus for positioning a magnetic head and an optical head according to a fifth aspect of the present invention, as described above, the focus position of the light beam reciprocates in the vicinity of the surface of the magnetic head in the direction perpendicular to the surface of the magnetic head. Driving means for reciprocating the objective lens so as to move; moving means for moving at least one of the magnetic head and the optical head so that the positional relationship between the magnetic head and the optical head changes; and an optical head and the driving means. And a control means for controlling the moving means based on a change in the intensity of the reflected light measured by the optical head.

【0138】それゆえ、上記構成は、正確な位置合わせ
を安定して自動的に実行可能な磁気ヘッドと光ヘッドと
の位置合わせ装置を提供できるという効果を奏する。
Therefore, the above arrangement has an effect that a magnetic head and optical head alignment apparatus capable of stably and automatically executing accurate alignment can be provided.

【0139】本発明の請求項6記載の磁気ヘッドと光ヘ
ッドとの位置合わせ装置は、以上のように、磁気ヘッド
と光ヘッドとの間に配置された磁性膜を有する記録媒体
と、磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関係が変化するよう
に磁気ヘッドおよび光ヘッドの少なくとも一方を移動さ
せる移動手段と、記録媒体上に磁気信号を記録するため
に、磁気ヘッドから磁性膜に磁場を印加させながら、磁
性膜の保磁力が磁気ヘッドによって発生された磁場以下
となる温度まで磁性膜が加熱されるように光ヘッドから
光ビームを照射させるとともに、磁気ヘッドによる磁気
信号の測定の結果に基づいて移動手段を制御する制御手
段とを備える構成である。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for aligning a magnetic head and an optical head, comprising: a recording medium having a magnetic film disposed between the magnetic head and the optical head; Moving means for moving at least one of the magnetic head and the optical head so that the positional relationship between the magnetic head and the optical head changes, and applying a magnetic field to the magnetic film from the magnetic head to record a magnetic signal on a recording medium. Irradiates a light beam from the optical head so that the magnetic film is heated to a temperature at which the coercive force of the magnetic film becomes equal to or lower than the magnetic field generated by the magnetic head, and moves based on a result of measurement of a magnetic signal by the magnetic head. And control means for controlling the means.

【0140】それゆえ、上記構成は、磁気ヘッドと光ヘ
ッドとを磁気信号の記録に最適な位置関係に位置合わせ
することができる磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせ
装置を提供できるという効果を奏する。
Therefore, the above arrangement has an effect that it is possible to provide a magnetic head / optical head positioning apparatus which can position the magnetic head and the optical head in an optimum positional relationship for recording a magnetic signal. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の位置合わせ装置の実施の一形態を示す
概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of a positioning device of the present invention.

【図2】上記位置合わせ装置の磁気ヘッドを示す図であ
り、(a)は磁気ヘッドにおける記録/再生素子部周辺
を拡大して示す平面図、(b)は磁気ヘッド全体を示す
平面図である。
FIGS. 2A and 2B are diagrams showing a magnetic head of the positioning device, wherein FIG. 2A is an enlarged plan view showing the vicinity of a recording / reproducing element section of the magnetic head, and FIG. 2B is a plan view showing the entire magnetic head; is there.

【図3】上記磁気ヘッドの記録/再生素子部を示す平面
図である。
FIG. 3 is a plan view showing a recording / reproducing element section of the magnetic head.

【図4】本発明の位置合わせ方法の実施の一形態におい
て測定された信号の変化を示すグラフであり、(a)は
フォーカス誤差信号の変化を示すグラフ、(b)は反射
光信号の変化を示すグラフである。
4A and 4B are graphs showing a change in a signal measured in an embodiment of the alignment method of the present invention, wherein FIG. 4A is a graph showing a change in a focus error signal, and FIG. 4B is a graph showing a change in a reflected light signal. FIG.

【図5】本発明の位置合わせ方法の実施の一形態におい
て測定された磁気ヘッドからの反射光信号の変化を示す
グラフであり、(a)は記録/再生素子部のWrite
ポール、Readポール、およびボトムシールドからの
反射光信号を示すグラフ、(b)はスライダABSから
の反射光信号を示すグラフである。
FIGS. 5A and 5B are graphs showing a change in a reflected light signal from a magnetic head measured in an embodiment of the positioning method of the present invention, and FIG.
FIG. 7 is a graph showing a reflected light signal from a pole, a read pole, and a bottom shield, and FIG. 7B is a graph showing a reflected light signal from a slider ABS.

【図6】本発明の位置合わせ方法の他の実施の形態に使
用したTbFeCo膜の残留磁化Mrおよび保磁力Hc
の温度による変化を示すグラフである。
FIG. 6 shows residual magnetization Mr and coercive force Hc of a TbFeCo film used in another embodiment of the alignment method of the present invention.
5 is a graph showing a change in temperature of the hologram.

【図7】本発明の位置合わせ方法の他の実施の形態にお
いて測定された磁気ヘッド位置と再生された磁気信号と
の関係を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing a relationship between a measured magnetic head position and a reproduced magnetic signal in another embodiment of the positioning method of the present invention.

【図8】従来の位置合わせ方法に使用される光磁気ディ
スク装置および調整用ディスクを示す断面図である。
FIG. 8 is a sectional view showing a magneto-optical disk device and an adjustment disk used in a conventional alignment method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスク 2 磁気ヘッド 3 光ピックアップ(光ヘッド) 4 対物レンズ 5 磁気ヘッド用XYステージ(移動手段) 6 磁気ヘッド用XYピエゾステージ(移動手段) 7 光ピックアップ用XYステージ 8 スピンドル 9 Xスライドステージ 10 磁気信号Read/Writeドライバ 11 光ピックアップドライバ 12 信号測定器 13 XYステージ・XYピエゾステージドライバ 14 スピンドル・Xスライドステージドライバ 15 制御用コンピュータ(制御手段) 16 50%スライダ 17 スライダABS 18 Writeポール 19 Readポール 20 ボトムシールド 21 Writeギャップ 22 Readギャップ 23 光ビーム 24 透明基板 25 半透明膜 26 保護膜 27 スライダ 28 磁気コア 29 入射光 30 反射光 31 反射光 32 反射光 33 スピンドルモータ 34 ディスク 35 磁気ヘッド 40 記録/再生素子部 Reference Signs List 1 disk 2 magnetic head 3 optical pickup (optical head) 4 objective lens 5 XY stage for magnetic head (moving means) 6 XY piezo stage for magnetic head (moving means) 7 XY stage for optical pickup 8 spindle 9 X slide stage 10 magnetism Signal Read / Write Driver 11 Optical Pickup Driver 12 Signal Measuring Device 13 XY Stage / XY Piezo Stage Driver 14 Spindle / X Slide Stage Driver 15 Control Computer (Control Means) 16 50% Slider 17 Slider ABS 18 Write Pole 19 Read Pole 20 Bottom shield 21 Write gap 22 Read gap 23 Light beam 24 Transparent substrate 25 Translucent film 26 Protective film 27 Slider 28 Magnetic core 29 Incident light 30 Anti-beam Light 31 reflected light 32 reflected light 33 spindle motor 34 Disk 35 magnetic head 40 recording / reproducing device section

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片山 博之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 5D075 CE12 CE20 CF03  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Hiroyuki Katayama 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka F-term (reference) 5D075 CE12 CE20 CF03

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】磁場を発生させるための磁気ヘッドと、移
動可能な対物レンズを通して光ビームを照射するための
光ヘッドとを互いに対向するように配置して位置合わせ
する位置合わせ方法であって、 上記光ヘッドに、反射光の強度を測定するための光検出
部を設け、 光ビームの合焦位置が磁気ヘッド表面付近を磁気ヘッド
表面に対して垂直方向に往復運動するように対物レンズ
を往復運動させながら、光ヘッドから磁気ヘッドに光ビ
ームを照射して磁気ヘッドからの反射光の強度を光ヘッ
ドにより測定し、 測定された反射光の強度に基づいて磁気ヘッドと光ヘッ
ドとの位置関係を調整することを特徴とする磁気ヘッド
と光ヘッドとの位置合わせ方法。
An alignment method for aligning a magnetic head for generating a magnetic field and an optical head for irradiating a light beam through a movable objective lens so as to face each other, The optical head is provided with a photodetector for measuring the intensity of the reflected light, and the objective lens is reciprocated so that the focus position of the light beam reciprocates near the surface of the magnetic head in a direction perpendicular to the surface of the magnetic head. While moving, the optical head irradiates the magnetic head with a light beam and measures the intensity of the reflected light from the magnetic head with the optical head. Based on the measured intensity of the reflected light, the positional relationship between the magnetic head and the optical head Adjusting the position of the magnetic head and the optical head.
【請求項2】上記反射光の強度の測定を、上記光ビーム
に対して透明なディスクを磁気ヘッドと光ヘッドとの間
に配置して回転させるとともに、磁気ヘッドをディスク
から離れるように浮上させた状態で行うことを特徴とす
る請求項1に記載の磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わ
せ方法。
2. The measurement of the intensity of the reflected light is performed by disposing a disk transparent to the light beam between the magnetic head and the optical head, rotating the disk, and floating the magnetic head away from the disk. 2. The method according to claim 1, wherein the magnetic head and the optical head are aligned.
【請求項3】磁場を発生させるとともに磁気信号を測定
するための磁気ヘッドと、光ビームを照射するための光
ヘッドとを互いに対向するように配置して位置合わせす
る位置合わせ方法であって、 磁性膜を有する記録媒体を磁気ヘッドと光ヘッドとの間
に配置した後、 記録媒体上に磁気信号を記録するために、磁気ヘッドか
ら磁性膜に磁場を印加しながら、光ヘッドからの光ビー
ム照射により磁性膜の保磁力が磁気ヘッドによって印加
された磁場以下となる温度まで磁性膜を加熱し、 次いで、磁気ヘッドにより記録媒体上の磁気信号を測定
し、得られた測定結果に基づいて磁気ヘッドと光ヘッド
との位置関係を調整することを特徴とする磁気ヘッドと
光ヘッドとの位置合わせ方法。
3. A positioning method for arranging and positioning a magnetic head for generating a magnetic field and measuring a magnetic signal and an optical head for irradiating a light beam so as to face each other, After a recording medium having a magnetic film is disposed between the magnetic head and the optical head, a light beam from the optical head is applied while a magnetic field is applied from the magnetic head to the magnetic film in order to record a magnetic signal on the recording medium. The magnetic film is heated by irradiation to a temperature at which the coercive force of the magnetic film becomes equal to or less than the magnetic field applied by the magnetic head, and then the magnetic signal on the recording medium is measured by the magnetic head, and the magnetic signal is measured based on the measurement result. A method for aligning a magnetic head and an optical head, comprising adjusting a positional relationship between the head and the optical head.
【請求項4】上記磁性膜としてフェリ磁性膜を用いるこ
とを特徴とする請求項3記載の磁気ヘッドと光ヘッドと
の位置合わせ方法。
4. The method according to claim 3, wherein a ferrimagnetic film is used as said magnetic film.
【請求項5】記録媒体に磁場を印加するための磁気ヘッ
ドと、移動可能な対物レンズを通して磁気ヘッドに光ビ
ームを照射するとともに反射光の強度を測定するための
光ヘッドとを互いに対向するように配置して位置合わせ
を行う位置合わせ装置であって、 光ビームの合焦位置が磁気ヘッド表面付近を磁気ヘッド
表面に対して垂直方向に往復運動するように対物レンズ
を往復運動させる駆動手段と、 磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関係が変化するように磁
気ヘッドおよび光ヘッドの少なくとも一方を移動させる
移動手段と、 光ヘッドと駆動手段とを同時に動作させるとともに、光
ヘッドにより測定された反射光の強度の変化に基づいて
移動手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とす
る磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせ装置。
5. A magnetic head for applying a magnetic field to a recording medium and an optical head for irradiating the magnetic head with a light beam through a movable objective lens and measuring the intensity of reflected light so as to face each other. Driving means for reciprocating the objective lens such that the in-focus position of the light beam reciprocates in the direction perpendicular to the magnetic head surface in the vicinity of the magnetic head surface. Moving means for moving at least one of the magnetic head and the optical head so that the positional relationship between the magnetic head and the optical head changes; and simultaneously operating the optical head and the driving means, and the reflected light measured by the optical head. And a control means for controlling the moving means based on a change in the intensity of the magnetic head.
【請求項6】磁場を発生させるとともに磁気信号を測定
するための磁気ヘッドと、光ビームを照射するための光
ヘッドとを互いに対向するように配置して位置合わせす
る位置合わせ装置であって、 磁気ヘッドと光ヘッドとの間に配置された磁性膜を有す
る記録媒体と、 磁気ヘッドと光ヘッドとの位置関係が変化するように磁
気ヘッドおよび光ヘッドの少なくとも一方を移動させる
移動手段と、 記録媒体上に磁気信号を記録するために、磁気ヘッドか
ら磁性膜に磁場を印加させながら、磁性膜の保磁力が磁
気ヘッドによって発生された磁場以下となる温度まで磁
性膜が加熱されるように光ヘッドから光ビームを照射さ
せるとともに、磁気ヘッドによる磁気信号の測定の結果
に基づいて移動手段を制御する制御手段とを備えること
を特徴とする磁気ヘッドと光ヘッドとの位置合わせ装
置。
6. A positioning apparatus for positioning a magnetic head for generating a magnetic field and measuring a magnetic signal and an optical head for irradiating a light beam by arranging them so as to face each other. A recording medium having a magnetic film disposed between the magnetic head and the optical head; moving means for moving at least one of the magnetic head and the optical head so as to change a positional relationship between the magnetic head and the optical head; In order to record a magnetic signal on the medium, a magnetic field is applied from the magnetic head to the magnetic film so that the magnetic film is heated to a temperature at which the coercive force of the magnetic film becomes lower than the magnetic field generated by the magnetic head. Control means for irradiating a light beam from the head and controlling the moving means based on the result of the measurement of the magnetic signal by the magnetic head. The alignment device between the gas head and the optical head.
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