JP2000242955A - Optical head and its production - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ光発光器
から出射された光が記録媒体で反射した反射光の光学的
性質の変化を検出して同記録媒体に記録された信号を再
生する再生装置に用いられる光ヘッドおよびその製造方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reproducing apparatus for reproducing a signal recorded on a recording medium by detecting a change in the optical property of light reflected from the recording medium. The present invention relates to an optical head used for an apparatus and a method for manufacturing the same.
【０００２】光記録媒体に記録された情報を再生する再
生装置は、通常、レンズ、発光素子、受光素子などを組
み合わせて作られている。このため、このような再生装
置に用いられる光ヘッドは、全体が大型でかつ質量も大
きくなり、場合によっては、発光部、受光部なども一体
化されているので、光記録媒体上をシークする時間がか
かり、応答が遅いとともに、レンズと光記録媒体（以
下、単に記録媒体という）との間の距離が長くなって、
光のスポット径が大きくなった。[0002] A reproducing apparatus for reproducing information recorded on an optical recording medium is usually made by combining a lens, a light emitting element, a light receiving element and the like. For this reason, the optical head used in such a reproducing apparatus has a large size and a large mass as a whole, and in some cases, a light-emitting portion, a light-receiving portion, and the like are also integrated, and seeks on the optical recording medium. It takes time, response is slow, and the distance between the lens and the optical recording medium (hereinafter simply referred to as the recording medium) increases,
The spot diameter of the light has increased.
【０００３】そこで、図７（なお、図７は従来の光ヘッ
ドを示しており、図８はその製造工程の一例を示してい
る）に示されるような光ヘッドが提案された。この光ヘ
ッドは、浮上型スライダ５０を備えており、記録媒体に
対して浮上する浮上面（空気ベアリング面（ＡＢＳ（Ai
r Bearing Surface））、以下、ＡＢＳという）となる
正圧あるいは負圧レールパターン５１がその下面に設け
られた浮上型スライダ５０の内部に、浮上面からその対
向面に向けて貫通する貫通孔５２が設けられており、こ
の貫通孔５２内に固体イマージョンレンズ５３が埋め込
まれている。An optical head as shown in FIG. 7 (FIG. 7 shows a conventional optical head, and FIG. 8 shows an example of the manufacturing process) has been proposed. This optical head includes a flying slider 50, and a flying surface (air bearing surface (ABS (Ai
r Bearing Surface), a through hole 52 penetrating from the air bearing surface to the opposing surface in the floating slider 50 provided on its lower surface with a positive or negative pressure rail pattern 51 serving as an ABS. Is provided, and a solid immersion lens 53 is embedded in the through hole 52.
【０００４】この固体イマージョンレンズ５３のＡＢＳ
側（記録媒体との対向面側）には、ＡＢＳ側に突出する
断面形状が略台形状のメサ部（平頂丘）５３ａが固体イ
マージョンレンズ５３と一体的に形成されており、メサ
部５３ａの中心軸が光軸と一致するように形成されてい
る。[0004] The ABS of the solid immersion lens 53
On the side (surface facing the recording medium), a mesa portion (flat top) 53a having a substantially trapezoidal cross section protruding toward the ABS is formed integrally with the solid immersion lens 53, and the mesa portion 53a is formed. Are formed so that the central axis of the optical axis coincides with the optical axis.
【０００５】ここで、上述したメサ部５３ａは以下のよ
うにして形成される。即ち、スライダ５０となる硬質の
セラミックス基板（厚み数１００μｍ程度）に貫通孔５
２を形成した後、球状のレンズ部材（後にその球の一部
が切断されて固体イマージョンレンズ（ＳＩＬ）５３と
なる）５３を貫通孔５２に挿入する。Here, the above-mentioned mesa portion 53a is formed as follows. That is, a through hole 5 is formed in a hard ceramic substrate (thickness of about 100 μm) serving as the slider 50.
After forming 2, a spherical lens member 53 (a part of the sphere is cut later to become a solid immersion lens (SIL) 53) 53 is inserted into the through hole 52.
【０００６】ついで、ガラス封着剤によりレンズ部材５
３を貫通孔５２に封着した後、この表面を平滑に研磨
（なお、この研磨においてレンズ部材は半球あるいは３
／４球となる）した表面に感光性レジストを塗布あるい
はドライフィルム５８をラミネートする。ついで、図８
（ａ）に示すように、所定の形状のレールパターン５８
ａ１およびレンズ面のメサパターン５８ｂ１に露光した
後、現像して、図８（ｂ）に示すように、スライダ５０
上にミリング用マスク５８ａ２および５８ｂ２を形成す
る。ついで、この全面にアルゴンイオン（Ａｒ+）を照
射して、イオンエッチングを行い、図８（ｃ）に示すよ
うに、レールの凸部５１およびレンズのメサの凸部５３
ａを形成して、光ヘッドを備えた浮上型スライダ５０が
得られる。する。Then, a lens member 5 is formed using a glass sealing agent.
3 is sealed in the through-hole 52, and the surface is polished smoothly.
A photosensitive resist is applied or the dry film 58 is laminated on the surface having the shape of (球). Next, FIG.
As shown in (a), the rail pattern 58 having a predetermined shape is used.
a1 and the mesa pattern 58b1 on the lens surface are exposed and developed, and as shown in FIG.
Milling masks 58a2 and 58b2 are formed thereon. Then, ion etching is performed by irradiating the entire surface with argon ions (Ar + ), and as shown in FIG. 8C, the convex portion 51 of the rail and the convex portion 53 of the mesa of the lens are formed.
By forming a, a flying type slider 50 having an optical head is obtained. I do.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うなスライダにあっては、個体イマージョンレンズのス
ライダ表面に占める面積はスライダの記録媒体の対向面
のかなりの部分を占めるとともに、このスライダが一定
の浮上量を確保するためには、一定のレールの表面積を
確保する必要がある。この結果、個体イマージョンレン
ズの表面を避けてレールを形成しようとした場合、スラ
イダ全体を大型化しなければならないという問題を生じ
た。例えば、厚みｔが０．５５ｍｍのスライダを作製す
る場合、図９に示すように、個体イマージョンレンズの
直径Ｒを１．０ｍｍとし、レールの幅Ｗｔを０．５ｍｍ
とし、レールの長さＬｌを２．２ｍｍとすると、スライ
ダの幅Ｗは２．０ｍｍとなり、スライダの長さＬは４．
０ｍｍとなる。In the above-described slider, the area of the solid immersion lens occupying the slider surface occupies a considerable portion of the surface of the slider facing the recording medium, and the slider is fixed. In order to secure the flying height of the rail, it is necessary to secure a constant rail surface area. As a result, when trying to form the rail avoiding the surface of the solid immersion lens, there is a problem that the entire slider must be enlarged. For example, when manufacturing a slider having a thickness t of 0.55 mm, as shown in FIG. 9, the diameter R of the solid immersion lens is set to 1.0 mm, and the width Wt of the rail is set to 0.5 mm.
Assuming that the length Ll of the rail is 2.2 mm, the width W of the slider is 2.0 mm, and the length L of the slider is 4.
0 mm.
【０００８】このようにスライダが大型になると、スラ
イダの慣性モーメントが大きくなるため、ヘッドシーク
の時間が長くなって応答性が悪くなるという問題を生じ
る。また、スライダの質量が増大することで、慣性力に
基づく記録媒体へのヘッドの追従性が悪くなり、特に、
記録媒体に対するスライダの浮上量が小さくなるに伴っ
て記録媒体に接触するという問題を生じ、高速アクセス
タイムで、低浮上量で、高容量の光ドライブを製作する
上での障害となる。As described above, when the size of the slider is increased, the moment of inertia of the slider is increased, which causes a problem that the head seek time is increased and the response is deteriorated. In addition, the increase in the mass of the slider deteriorates the ability of the head to follow the recording medium based on the inertial force.
As the flying height of the slider with respect to the recording medium is reduced, the slider comes into contact with the recording medium, which is an obstacle in manufacturing a high-capacity optical drive with a high-speed access time, a low flying height, and a low flying height.
【０００９】一方、上述したようなスライダにあって
は、スライダの材質と個体イマージョンレンズの材質が
相違するため、スライダ上にレールパターンおよびメサ
パターンのミリング用マスクを形成した後、この全面に
アルゴンイオン（Ａｒ+）を照射してイオンミリングを
行うと、これらの材質の相違に起因してミリングレート
が変化する。このことにより、スライダと個体イマージ
ョンレンズとの間で研磨段差を生じて、浮上特性が安定
しないという問題も生じた。On the other hand, in the above-described slider, since the material of the slider and the material of the solid immersion lens are different, after forming a milling mask of a rail pattern and a mesa pattern on the slider, argon is applied to the entire surface. When ion milling is performed by irradiating ions (Ar + ), the milling rate changes due to the difference in these materials. As a result, a polishing step is generated between the slider and the solid immersion lens, and there is a problem that the flying characteristics are not stable.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】そ
こで、本発明は上記課題を解決するためになされたもの
であって、個体イマージョンレンズが埋め込まれたスラ
イダであっても、小型化が可能で、かつ浮上姿勢が安定
して浮上量が一定なスライダを容易に製造できるように
することを目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and can be downsized even with a slider in which a solid immersion lens is embedded. It is another object of the present invention to easily manufacture a slider having a stable flying height and a constant flying height.
【００１１】このため、本発明の光ヘッドは、固体イマ
ージョンレンズの表面にもレールパターンを備えるよう
にしている。レールパターンを個体イマージョンレンズ
の表面にも備えるようにすると、小型のスライダであっ
ても、レールパターンとしての必要な長さを確保するこ
とができるようになるので、スライダの小型化が可能と
なる。そして、スライダの小型化に伴って質量も低下す
るので、スライダの慣性力が減り、サーボ応答性が向上
する。また、質量が低下することにより、記録媒体への
追従性が向上し、安定した低浮上が実現でき、小スポッ
ト径が可能な光ヘッドが得られる。For this reason, the optical head of the present invention has a rail pattern on the surface of the solid immersion lens. When the rail pattern is provided also on the surface of the solid immersion lens, the required length of the rail pattern can be ensured even with a small slider, so that the slider can be downsized. . Then, since the mass is reduced as the slider is reduced in size, the inertial force of the slider is reduced, and the servo response is improved. Further, since the mass is reduced, the followability to the recording medium is improved, stable low flying is realized, and an optical head capable of a small spot diameter is obtained.
【００１２】そして、レールパターンが固体イマージョ
ンレンズが埋め込まれたスライダの平滑面にオーバーコ
ートされた硬質材料により形成されていると、レールパ
ターン形成時のイオンミリングによりスライダと固体イ
マージョンレンズの材質差に基づく研磨段差が生じない
ので、このスライダの浮上特性が安定するようになる。If the rail pattern is formed of a hard material overcoated on the smooth surface of the slider in which the solid immersion lens is embedded, the material difference between the slider and the solid immersion lens is reduced by ion milling when forming the rail pattern. Since the polishing step is not generated, the flying characteristics of the slider are stabilized.
【００１３】一方、本発明の光ヘッドの製造方法にあっ
ては、スライダ内に球状のレンズ部材を埋め込み、この
レンズ部材の一部を研磨して固体イマージョンレンズを
形成する固体イマージョンレンズ形成工程と、研磨され
たレンズ部材の表面に同表面から突出する断面形状が略
台形状のメサ部をその中心軸が光軸と一致するように形
成するメサ部形成工程と、固体イマージョンレンズが形
成された側のスライダの全面に透明な硬質材料の被覆層
を形成する被覆層形成工程と、被覆層に固体イマージョ
ンレンズの上部まで延出する所定形状のレールパターン
を形成するレールパターン形成工程とを備えるようにし
ている。On the other hand, in the method of manufacturing an optical head according to the present invention, there is provided a solid immersion lens forming step of embedding a spherical lens member in a slider and polishing a part of the lens member to form a solid immersion lens. A mesa portion forming step of forming a mesa portion having a substantially trapezoidal cross section projecting from the polished surface of the lens member so that the center axis thereof coincides with the optical axis, and a solid immersion lens is formed. Forming a coating layer of a transparent hard material over the entire surface of the slider on the side, and a rail pattern forming step of forming a rail pattern of a predetermined shape extending to the upper portion of the solid immersion lens on the coating layer. I have to.
【００１４】固体イマージョンレンズが形成された側の
スライダの全面に透明な硬質材料の被覆層を形成し、こ
の被覆層に固体イマージョンレンズの上部まで延出する
所定形状のレールパターンを形成すると、小型のスライ
ダであってもレールパターンとしての必要な長さを確保
することができるようになるので、スライダの小型化が
可能となる。そして、スライダの小型化に伴って質量も
低下するので、スライダの慣性力が減り、サーボ応答性
が向上する。また、質量が低下することにより、記録媒
体への追従性が向上し、安定した低浮上が実現可能な光
ヘッドが得られるようになる。When a transparent hard material coating layer is formed on the entire surface of the slider on which the solid immersion lens is formed, and a rail pattern of a predetermined shape extending to the upper portion of the solid immersion lens is formed on the coating layer, the size of the slider can be reduced. The required length of the rail pattern can be secured even with the above slider, so that the slider can be downsized. Then, since the mass is reduced as the slider is reduced in size, the inertial force of the slider is reduced, and the servo response is improved. In addition, since the mass is reduced, followability to a recording medium is improved, and an optical head capable of realizing stable low flying can be obtained.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、この発明の光ヘッドの好適
な実施の形態を図１〜図６に基づいて説明する。なお、
図１は本発明の光ヘッドを備えた浮上型スライダを模式
的に示す斜視図であり、図２は図１の正面図および断面
図あり、図２（ａ）は正面図を示し、図２（ｂ）はその
Ａ−Ａ断面を示し、図２（ｃ）はそのＢ−Ｂ断面を示す
図である。また、図３〜図６は図１の浮上型スライダの
製造工程を示す図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the optical head according to the present invention will be described below with reference to FIGS. In addition,
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a flying type slider provided with an optical head of the present invention, FIG. 2 is a front view and a sectional view of FIG. 1, FIG. 2 (a) is a front view, and FIG. FIG. 2B is a diagram showing the AA cross section, and FIG. 2C is a diagram showing the BB cross section. FIGS. 3 to 6 are views showing the steps of manufacturing the flying slider of FIG.
【００１６】本発明の光ヘッドを備えた浮上型スライダ
１０は、光記録媒体（以下、記録媒体という）が回転す
ることによりに、記録媒体に対して浮上する浮上面（空
気ベアリング面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））、
以下、ＡＢＳという）となる正圧あるいは負圧レールパ
ターン１１がその下面に設けられている。浮上型スライ
ダ１０の内部には、浮上面からその対向面に向けて貫通
する第１の貫通孔１２が設けられており、この貫通孔１
２内に固体イマージョンレンズ１３が埋め込まれてい
る。そして、上記正圧あるいは負圧レールパターン１１
は固体イマージョンレンズ１３の下面まで延出して形成
されている。The flying type slider 10 provided with the optical head of the present invention has a floating surface (air bearing surface (ABS)) which floats on the recording medium by rotating the optical recording medium (hereinafter referred to as a recording medium). Air Bearing Surface)),
A positive or negative pressure rail pattern 11 which will be referred to as an ABS hereinafter is provided on the lower surface thereof. A first through hole 12 penetrating from the flying surface to the opposing surface is provided inside the flying type slider 10.
2 has a solid immersion lens 13 embedded therein. Then, the positive or negative pressure rail pattern 11
Is formed to extend to the lower surface of the solid immersion lens 13.
【００１７】ここで、固体イマージョンレンズ１３は屈
折率が１より大きな材料、例えば、ガラス、酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ2）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、タンタル
酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）から選択され、球の一部を
切断して半球あるいは３／４球とし、切断面が記録媒体
と平行になるように、即ち、この固体イマージョンレン
ズ１３の出射面が光軸に対して垂直になるように配置し
たレンズであり、光学系のＮＡを大きくすることで回析
限界を小さくすることを可能にする。Here, the solid immersion lens 13 is selected from a material having a refractive index larger than 1, for example, glass, zirconium oxide (ZrO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), and lithium tantalate (LiTaO 3 ). A lens in which a part is cut into a hemisphere or a ３ sphere, and the cut surface is arranged parallel to the recording medium, that is, the solid immersion lens 13 is arranged so that the exit surface is perpendicular to the optical axis. It is possible to reduce the diffraction limit by increasing the NA of the optical system.
【００１８】この固体イマージョンレンズ１３のＡＢＳ
側（記録媒体との対向面側）には、ＡＢＳ側に突出する
断面形状が略台形状のメサ部（平頂丘）１３ａが固体イ
マージョンレンズ１３と一体的に形成されており、メサ
部１３ａの中心軸が光軸と一致するように形成されてい
る。図２は具体的なスライダのサイズの一例を示してお
り、厚み０．５５ｍｍのスライダ１０を作製する場合、
個体イマージョンレンズの直径Ｒを１．０ｍｍとする
と、空気流出側のレールの幅Ｗｔは０．３３ｍｍとな
り、レールの長さＬｌを２．１ｍｍとなり、スライダの
幅Ｗは１．６ｍｍとなり、スライダの長さＬは２．５ｍ
ｍとなる。The ABS of the solid immersion lens 13
On the side (the surface facing the recording medium), a mesa portion (flat top) 13a having a substantially trapezoidal cross section protruding toward the ABS is formed integrally with the solid immersion lens 13, and the mesa portion 13a is formed. Are formed so that the central axis of the optical axis coincides with the optical axis. FIG. 2 shows an example of a specific size of the slider. When a slider 10 having a thickness of 0.55 mm is manufactured, FIG.
Assuming that the diameter R of the solid immersion lens is 1.0 mm, the width Wt of the rail on the air outflow side is 0.33 mm, the length Ll of the rail is 2.1 mm, the width W of the slider is 1.6 mm, and the width of the slider is 1.6 mm. Length L is 2.5m
m.
【００１９】ついで、この種の光ヘッドを備えた浮上型
スライダ１０の製造方法を図３〜図６の製造工程を示す
図に基づいて説明する。まず、図３（ａ）に示すよう
に、スライダとなる硬質のセラミックス基板（厚み数１
００μｍ程度）１０ａを用意し、この基板１０ａにレー
ザ光を照射して、図３（ｂ）に示すように、基板１０ａ
に第１の貫通孔１２を配設する。ついで、図３（ｃ）に
示すように、球状のレンズ部材（後にその球の一部が切
断されて固体イマージョンレンズ（ＳＩＬ）１３とな
る）１３ｂを用意し、このレンズ部材１３ｂを第１の貫
通孔１２に挿入する。なお、レンズ部材１３ｂは、屈折
率が１より大きな材料、例えば、ガラス、酸化ジルコニ
ウム（ＺｒＯ2）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、タンタル酸
リチウム（ＬｉＴａＯ3）から選択して用いており、半
球あるいは３／４球だけ第１の貫通孔１２内に埋設す
る。Next, a method of manufacturing a flying type slider 10 having this type of optical head will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 3A, a hard ceramic substrate (with a thickness of 1) serving as a slider
A laser beam is irradiated on the substrate 10a, and as shown in FIG.
The first through-hole 12 is provided at the first position. Next, as shown in FIG. 3C, a spherical lens member 13b (a part of the sphere is later cut to become a solid immersion lens (SIL) 13) 13b is prepared, and the lens member 13b is attached to the first lens member 13b. It is inserted into the through hole 12. The lens member 13b is made of a material having a refractive index larger than 1, for example, glass, zirconium oxide (ZrO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), or lithium tantalate (LiTaO 3 ). Only 3/4 balls are embedded in the first through hole 12.
【００２０】この後、図４（ｄ）に示すように、接着剤
によりレンズ部材１３ｂを第１の貫通孔１２に封着す
る。ついで、図４（ｅ）に示すように、この表面を平滑
に研磨した後、図４（ｆ）に示すように、平滑に研磨さ
れた表面に感光性レジストを塗布あるいはドライフィル
ム２０をラミネートする。なお、この研磨において、レ
ンズ部材１３ｂは半球あるいは３／４球となり、固体イ
マージョンレンズ１３となる。なお、接着剤はエポキシ
樹脂、ガラス、コバール等から選択して用いる。Thereafter, as shown in FIG. 4D, the lens member 13b is sealed in the first through hole 12 with an adhesive. Then, as shown in FIG. 4E, the surface is polished smoothly, and then, as shown in FIG. 4F, a photosensitive resist is applied to the polished surface or the dry film 20 is laminated. . In this polishing, the lens member 13b becomes a hemisphere or a ／ sphere, and becomes the solid immersion lens 13. The adhesive is selected from epoxy resin, glass, Kovar and the like.
【００２１】ついで、所定の形状のレンズ面のメサパタ
ーンに露光した後、現像することにより、図５（ｇ）に
示すように、基板１０ａ上にメサパターンのミリング用
マスク２２を形成する。ついで、この全面にアルゴンイ
オン（Ａｒ+）を照射して、イオンエッチングを行うこ
とにより、図５（ｈ）に示すように、レンズのメサ部１
３ａを形成する。Next, by exposing the mesa pattern on the lens surface of a predetermined shape to light and developing, a milling mask 22 of the mesa pattern is formed on the substrate 10a as shown in FIG. 5 (g). Then, the entire surface is irradiated with argon ions (Ar + ) to perform ion etching, thereby forming the mesa portion 1 of the lens as shown in FIG.
3a is formed.
【００２２】ついで、図５（ｉ）に示すように、この全
面にアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）膜１４をスパッタにより被着
させた後、図６（ｊ）に示すように、アルミナ（Ａｌ2
Ｏ3）膜１４の表面を平滑に研磨する。この研磨によ
り、基板１０ａの表面に被着されたアルミナ（Ａｌ
2Ｏ3）膜１４は平滑になる。この後、図６（ｋ）に示す
ように、平滑にされたアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）膜１４の上
に感光性レジストを塗布あるいはドライフィルム２４を
ラミネートする。[0022] Then, as shown in FIG. 5 (i), after the entire surface of alumina (Al 2 O 3) film 14 is deposited by sputtering, as shown in FIG. 6 (j), alumina (Al 2
O 3 ) The surface of the film 14 is polished smoothly. By this polishing, alumina (Al) adhered to the surface of the substrate 10a was
The 2 O 3 ) film 14 becomes smooth. Thereafter, as shown in FIG. 6K, a photosensitive resist is applied or a dry film 24 is laminated on the smoothed alumina (Al 2 O 3 ) film 14.
【００２３】ついで、感光性レジストあるいはドライフ
ィルム２４を所定の形状のレールパターンおよびメサパ
ターンに露光した後、現像することにより、図６（ｌ）
に示すように、基板１０ａ上にレールパターンのミリン
グ用マスク２４ａおよびメサパターンのミリング用マス
ク２４ｂを形成する。ついで、この全面にアルゴンイオ
ン（Ａｒ+）を照射して、イオンエッチングを行うこと
により、図１に示すように、所定形状のレール１１およ
びレンズのメサ部１３ａが形成されたスライダ１０が得
られる。Next, the photosensitive resist or the dry film 24 is exposed to a rail pattern and a mesa pattern of a predetermined shape, and then developed to obtain a pattern shown in FIG.
As shown in FIG. 7, a rail pattern milling mask 24a and a mesa pattern milling mask 24b are formed on a substrate 10a. Next, by irradiating the entire surface with argon ions (Ar + ) and performing ion etching, a slider 10 having a rail 11 of a predetermined shape and a mesa portion 13a of a lens is obtained as shown in FIG. .
【００２４】上述したように、本発明の光ヘッドは、固
体イマージョンレンズ１３の表面にもレールパターン１
１を備えるようにしているので、小型のスライダ（例え
ば、長さが２．５ｍｍ（上述した従来例の６２．５％）
で、幅が１．６ｍｍ（上述した従来例の８０％）で、厚
みが０．５５ｍｍで、個体イマージョンレンズの表面の
直径が１．０ｍｍ）１０であっても、レールパターン１
１としての必要な長さを確保することができるようにな
るので、スライダ１０の小型化が可能となる。そして、
スライダ１０の小型化に伴って質量も低下するので、ス
ライダの慣性力が減り、サーボ応答性が向上する。ま
た、質量が低下することにより、記録媒体への追従性が
向上し、安定した低浮上が実現でき、小スポット径の光
ヘッドが得られる。As described above, the optical head according to the present invention has the rail pattern 1 on the surface of the solid immersion lens 13 as well.
1 so that a small slider (for example, 2.5 mm in length (62.5% of the conventional example described above))
Even if the width is 1.6 mm (80% of the conventional example described above), the thickness is 0.55 mm, and the diameter of the surface of the solid immersion lens is 1.0 mm, the rail pattern 1
Since the required length as 1 can be secured, the size of the slider 10 can be reduced. And
Since the mass decreases with the size reduction of the slider 10, the inertia force of the slider decreases, and the servo responsiveness improves. In addition, since the mass is reduced, followability to the recording medium is improved, stable low flying is realized, and an optical head with a small spot diameter is obtained.
【００２５】そして、レールパターン１１が固体イマー
ジョンレンズ１３が埋め込まれたスライダの平滑面にオ
ーバーコートされたアルミナ膜（硬質材料）１４により
形成されているので、レールパターン形成時のイオンミ
リングによりスライダ１０と固体イマージョンレンズ１
３の材質差に基づく研磨段差が生じなく、このスライダ
１０の浮上特性が安定するようになる。Since the rail pattern 11 is formed of the alumina film (hard material) 14 overcoated on the smooth surface of the slider in which the solid immersion lens 13 is embedded, the slider 10 is formed by ion milling when forming the rail pattern. And solid immersion lens 1
There is no polishing step due to the difference in material of No. 3, and the flying characteristics of the slider 10 are stabilized.
【図１】 本発明の光ヘッドを備えた浮上型スライダを
模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing a flying slider provided with an optical head of the present invention.
【図２】 図１の正面図および断面図あり、図２（ａ）
は正面図を示し、図２（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示し、
図２（ｃ）はそのＢ−Ｂ断面を示す図である。FIG. 2 is a front view and a cross-sectional view of FIG. 1, and FIG.
Shows a front view, FIG. 2 (b) shows its AA cross section,
FIG. 2C is a diagram showing a BB cross section thereof.
【図３】 図１の浮上型スライダの製造工程の一部を示
す図である。FIG. 3 is a diagram showing a part of a manufacturing process of the flying slider of FIG. 1;
【図４】 図１の浮上型スライダの製造工程の一部を示
す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a part of a manufacturing process of the flying slider of FIG. 1;
【図５】 図１の浮上型スライダの製造工程の一部を示
す図である。FIG. 5 is a view showing a part of a manufacturing process of the flying slider of FIG. 1;
【図６】 図１の浮上型スライダの製造工程の一部を示
す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a part of a manufacturing process of the flying slider of FIG. 1;
【図７】 従来の光ヘッドを模式的に示す斜視図であ
る。FIG. 7 is a perspective view schematically showing a conventional optical head.
【図８】 図７の光ヘッドの製造工程の一例を模式的に
示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view schematically showing an example of a manufacturing process of the optical head of FIG.
【図９】 図７の光ヘッドのサイズの一例を示す図であ
る。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of the size of the optical head of FIG. 7;
１０…光ヘッドを備えた浮上型スライダ、１１…レール
パターン、１２…第１の貫通孔、１３…固体イマージョ
ンレンズ（レンズ部材）、１３ａ…メサ部、１４…アル
ミナ膜（オーバーコート）、１５…第２の貫通孔、１６
…リード（導電性物質）、２０，２４…感光性レジスト
（ドライフィルム）、２４ａ…レールパターンのミリン
グ用マスク、２４ｂ…メサパターンのミリング用マスクReference Signs List 10: flying slider with optical head, 11: rail pattern, 12: first through hole, 13: solid immersion lens (lens member), 13a: mesa section, 14: alumina film (overcoat), 15 ... Second through hole, 16
... Lead (conductive material), 20, 24 ... Photosensitive resist (dry film), 24a ... Rail pattern milling mask, 24b ... Mesa pattern milling mask
Claims (7)
する浮上面となる所定形状のレールパターンを備えた浮
上型スライダ内に固体イマージョンレンズが埋め込まれ
た光ヘッドであって、 前記固体イマージョンレンズの表面にも前記レールパタ
ーンを備えるようにしたことを特徴とする光ヘッド。1. An optical head in which a solid immersion lens is embedded in a floating slider having a rail pattern of a predetermined shape on a surface facing a recording medium and serving as a floating surface for the recording medium, wherein the solid immersion lens is provided. An optical head characterized in that the rail pattern is also provided on the surface of the optical head.
ョンレンズが埋め込まれた前記スライダの平滑面にオー
バーコートされた硬質材料により形成されていることを
特徴とする請求項１に記載の光ヘッド。2. The optical head according to claim 1, wherein the rail pattern is formed of a hard material overcoated on a smooth surface of the slider in which the solid immersion lens is embedded.
に断面形状が略台形状のメサ部を光軸と一致するように
前記記録媒体に対向する面側に突出して同固体イマージ
ョンレンズと一体的に備えるようにしたことを特徴とす
る請求項１または請求項２に記載の光ヘッド。3. A solid-state immersion lens having a substantially trapezoidal mesa section on the central axis of the solid-state immersion lens protruding toward the surface facing the recording medium so as to coincide with the optical axis. The optical head according to claim 1, wherein the optical head is provided.
透明で、かつ屈折率が１以上の材料により形成されてい
ることを特徴とする請求項１から請求項３のいずかに記
載の光ヘッド。4. The optical head according to claim 1, wherein the solid immersion lens is optically transparent and made of a material having a refractive index of 1 or more. .
上の材料はガラス、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、酸
化チタン（ＴｉＯ2）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａ
Ｏ3）から選択されることを特徴とする請求項４に記載
の光ヘッド。5. The material which is optically transparent and has a refractive index of 1 or more is glass, zirconium oxide (ZrO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), lithium tantalate (LiTa).
O 3) The optical head according to claim 4, characterized in that it is chosen from.
する浮上面となる所定形状のレールパターンを備えた浮
上型スライダ内に固体イマージョンレンズを埋め込んで
形成する光ヘッドの製造方法であって、 前記スライダ内に球状のレンズ部材を埋め込み、このレ
ンズ部材の一部を研磨して固体イマージョンレンズを形
成する固体イマージョンレンズ形成工程と、 前記研磨されたレンズ部材の表面に同表面から突出する
断面形状が略台形状のメサ部をその中心軸が光軸と一致
するように形成するメサ部形成工程と、 前記固体イマージョンレンズが形成された側の前記スラ
イダの全面に透明な硬質材料の被覆層を形成する被覆層
形成工程と、 前記被覆層に前記固体イマージョンレンズの上部まで延
出する所定形状のレールパターンを形成するレールパタ
ーン形成工程とを備えたことを特徴とする光ヘッドの製
造方法。6. A method of manufacturing an optical head, wherein a solid immersion lens is formed by embedding a solid immersion lens in a flying type slider having a rail pattern of a predetermined shape on a surface facing a recording medium and serving as a floating surface for the recording medium, A solid immersion lens forming step of embedding a spherical lens member in the slider and polishing a part of the lens member to form a solid immersion lens; and a cross-sectional shape protruding from the polished lens member surface. Forming a substantially trapezoidal mesa portion so that the center axis thereof coincides with the optical axis, and forming a transparent hard material coating layer on the entire surface of the slider on the side where the solid immersion lens is formed. Forming a covering layer to be formed, and forming a rail pattern of a predetermined shape extending to an upper portion of the solid immersion lens on the covering layer. The method of manufacturing an optical head is characterized in that a Rupatan forming step.
とを特徴とする請求項６に記載の光ヘッドの製造方法。7. The method according to claim 6, wherein the transparent hard material is alumina.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11038603A JP2000242955A (en) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | Optical head and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11038603A JP2000242955A (en) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | Optical head and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000242955A true JP2000242955A (en) | 2000-09-08 |
Family
ID=12529863
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11038603A Withdrawn JP2000242955A (en) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | Optical head and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000242955A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003034416A3 (en) * | 2001-10-18 | 2003-06-19 | Koninkl Philips Electronics Nv | Slider for an optical data writing/reading apparatus, and apparatus comprising such a slider |
-
1999
- 1999-02-17 JP JP11038603A patent/JP2000242955A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003034416A3 (en) * | 2001-10-18 | 2003-06-19 | Koninkl Philips Electronics Nv | Slider for an optical data writing/reading apparatus, and apparatus comprising such a slider |
| CN1322501C (en) * | 2001-10-18 | 2007-06-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | Slider for an optical data writing/reading apparatus, and apparatus comprising such a slider |
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| A761 | Written withdrawal of application |
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