JP2000241673A - Optically coupling device and its assembling method - Google Patents
Optically coupling device and its assembling methodInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信の光源に用
いられる光半導体素子に係り、特に、半導体素子と光フ
ァイバとを光学的に結合させる光結合を改良した光結合
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical semiconductor device used as a light source for optical communication, and more particularly to an optical coupling device having improved optical coupling for optically coupling a semiconductor device and an optical fiber.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、光モジュールとして、特開平9−
61674号公報には、光素子と、細長い光導波路体
(光ファイバ)とを基板上に搭載した光モジュールにお
いて、基板側と光モジュール側の接合部にそれぞれ金属
被膜を形成し、この金属被膜の金属原子同士が相互に拡
散して接合することにより、光導波路体を基板に固定し
たものが開示されている。2. Description of the Related Art Conventionally, an optical module is disclosed in
No. 61,674 discloses that in an optical module in which an optical element and an elongated optical waveguide (optical fiber) are mounted on a substrate, a metal coating is formed on each of the joints between the substrate and the optical module. There is disclosed an optical waveguide body fixed to a substrate by mutually diffusing and joining metal atoms.
【0003】また、特開平10−268168号公報の
光結合装置の光ファイバ搭載構造は、光ファイバをシリ
コン基板上のV溝に、仮固定部と本固定部の2個所で固
定を行うものである。The optical fiber mounting structure of the optical coupling device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-268168 is to fix an optical fiber in a V-groove on a silicon substrate at two places, a temporary fixing portion and a main fixing portion. is there.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】特開平9−61674
号公報に記載の光結合装置の光ファイバ搭載構造は、メ
タライズ膜を施した光ファイバとV溝を接合させる構造
であるため、メタライズ膜の厚さのばらつきや押圧条件
によって、半導体レーザのレーザ出射部と光ファイバの
コアの中心部が一致しない場合がある。その結果、半導
体レーザと光ファイバの結合効率が低くなり、光ファイ
バからの出力光のレベルが低くなる。また、光ファイバ
を包むように充填剤を塗布して光ファイバの接合補強を
行っている。このため、硬化収縮率が高い充填剤の場合
には光ファイバを持上げる力が働く。それにより、光フ
ァイバがV溝から剥離し、半導体レーザと光ファイバの
光結合の位置ずれが生じる場合がある。Problems to be Solved by the Invention Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-61674
The optical fiber mounting structure of the optical coupling device described in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H11-129572 is a structure in which an optical fiber provided with a metallized film is bonded to a V-groove. In some cases, the center of the optical fiber does not coincide with the center of the optical fiber. As a result, the coupling efficiency between the semiconductor laser and the optical fiber decreases, and the level of output light from the optical fiber decreases. In addition, a filler is applied so as to surround the optical fiber, thereby reinforcing the bonding of the optical fiber. Therefore, in the case of a filler having a high curing shrinkage, a force for lifting the optical fiber acts. As a result, the optical fiber may be separated from the V-groove, resulting in a displacement of optical coupling between the semiconductor laser and the optical fiber.
【0005】また、特開平10−268168号公報に
記載の光結合装置の光ファイバ搭載構造は、仮固定部と
本固定部の2個所で光ファイバをシリコン基板のV溝に
確実に固定している。そのシリコン基板をセラミックス
からなるパッケージケース本体の内部に設置して高い信
頼性を得るための構造としている。この場合、セラミッ
クスの熱膨張率とシリコン基板の熱膨張率とで大きな差
はない。このため、光結合装置の長期間の信頼性を確認
するための温度サイクル試験を行っても、シリコン基板
は熱変形を起こし難く、半導体レーザと光ファイバの光
結合の位置ずれが生じることはない。しかしながら、プ
ラスチックでパッケージケース本体を構成した場合、セ
ラミックスに比べて熱膨張率が大きくなるため、シリコ
ン基板は熱変形を起こしやすくなる。この結果、光ファ
イバがV溝から剥離し、半導体レーザと光ファイバの光
結合の位置ずれが生じる場合がある。In the optical fiber mounting structure of the optical coupling device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-268168, the optical fiber is securely fixed to the V-groove of the silicon substrate at two places, the temporary fixing part and the main fixing part. I have. The silicon substrate is installed inside a package case body made of ceramics to obtain a high reliability. In this case, there is no significant difference between the coefficient of thermal expansion of the ceramic and the coefficient of thermal expansion of the silicon substrate. Therefore, even if a temperature cycle test is performed to confirm the long-term reliability of the optical coupling device, the silicon substrate is unlikely to undergo thermal deformation, and there is no displacement of the optical coupling between the semiconductor laser and the optical fiber. . However, when the package case body is made of plastic, since the coefficient of thermal expansion is larger than that of ceramics, the silicon substrate is easily deformed by heat. As a result, the optical fiber may be separated from the V-groove, resulting in a displacement of optical coupling between the semiconductor laser and the optical fiber.
【0006】本発明の目的は、光結合装置を構成するパ
ッケージケース材料としてプラスチックを用いた場合で
も、長期に渡って安定な接着固定、及び半導体素子と光
ファイバの光結合を実現することができる光ファイバの
搭載構造及びその搭載構造を適用した光結合装置を提供
することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to realize stable bonding and fixing and optical coupling between a semiconductor element and an optical fiber for a long period of time even when plastic is used as a material of a package case constituting an optical coupling device. An object of the present invention is to provide an optical fiber mounting structure and an optical coupling device to which the mounting structure is applied.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、基板部材に設けられたV溝の途中にV溝
と直交する方向に矩形溝を形成し、光ファイバを前記矩
形溝を挟んでV溝中に第1の接着剤で接着固定し、前記
半導体素子設置側と反対側で、前記矩形溝よりも離れた
位置で前記光ファイバの表面を第2の接着剤で接着固定
したことを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, according to the present invention, a rectangular groove is formed in the middle of a V-groove provided in a substrate member in a direction perpendicular to the V-groove, and the optical fiber is formed in the rectangular shape. A first adhesive is fixed in the V-groove with the groove interposed therebetween, and the surface of the optical fiber is adhered with a second adhesive at a position opposite to the rectangular groove on the side opposite to the semiconductor element installation side. It is characterized by being fixed.
【0008】また、基板部材に接着固定される光ファイ
バの接着長さは、前記ケースの箱型部分の長さの10分
の1から10分の2の範囲とする。The length of the optical fiber bonded and fixed to the substrate member is in the range of 1/10 to 2/10 of the length of the box-shaped portion of the case.
【0009】さらに、第1の接着剤は紫外線硬化接着剤
であり、第2の接着剤は熱硬化接着剤とする。Further, the first adhesive is an ultraviolet curing adhesive, and the second adhesive is a thermosetting adhesive.
【0010】また、まず紫外線硬化接着剤を、矩形溝を
挟んで前記半導体素子が搭載される側と反対側のV溝に
塗布し、光ファイバを紫外線硬化接着剤を塗布したV溝
に設置して、矩形溝を挟んで前記半導体素子が搭載され
る側と反対側の矩形溝付近のV溝部分に接触するよう
に、光ファイバを上部から押し付け、その状態で紫外線
を照射して紫外線硬化接着剤を硬化させて光ファイバを
接着固定し、次に熱硬化接着剤を、前記矩形溝よりも離
れ、かつ前記紫外線硬化接着剤で接着された前記光ファ
イバの上面に塗布し、加熱炉でベーキングして接着剤を
硬化させて光ファイバを接着固定して形成すること。[0010] First, an ultraviolet curing adhesive is applied to the V groove opposite to the side on which the semiconductor element is mounted with the rectangular groove interposed therebetween, and an optical fiber is placed in the V groove to which the ultraviolet curing adhesive is applied. Then, the optical fiber is pressed from above so as to contact the V groove near the rectangular groove opposite to the side on which the semiconductor element is mounted with the rectangular groove interposed therebetween. The optical fiber is adhered and fixed by curing the agent, and then a thermosetting adhesive is applied to the upper surface of the optical fiber separated from the rectangular groove and bonded with the ultraviolet curing adhesive, and baked in a heating furnace. To cure the adhesive and bond and fix the optical fiber.
【0011】光結合装置を構成するパッケージケース材
料としてプラスチック材料を用いた場合でも、光ファイ
バの接着固定を紫外線硬化接着剤と熱硬化接着剤の2種
類の接着剤で行い、かつ基板部材の長さや光ファイバの
接着長さを最適にすることで、ケースの熱変形にともな
うV溝部分からの光ファイバの剥離を防ぐことができ
る。2種類の接着剤を使うことについては、光ファイバ
をV溝に押付けながら紫外線硬化接着剤で接着固定する
ことで、熱を加えずに短時間で光ファイバを接着固定で
きる。このため、光ファイバをV溝に接触させた状態で
確実に接着できる。さらに、光ファイバの上面から熱硬
化接着剤を塗布して光ファイバを基板部材に接着固定す
ることで、光ファイバの接着固定強度を高めることがで
きる。[0011] Even when a plastic material is used as a package case material constituting the optical coupling device, the optical fiber is bonded and fixed with two types of adhesives, an ultraviolet curing adhesive and a thermosetting adhesive, and the length of the substrate member is reduced. By optimizing the bonding length of the sheath, it is possible to prevent peeling of the optical fiber from the V-groove portion due to thermal deformation of the case. Regarding the use of two types of adhesives, the optical fiber can be bonded and fixed in a short time without applying heat by pressing and fixing the optical fiber with a V-groove with an ultraviolet curing adhesive. For this reason, it is possible to reliably bond the optical fiber in a state where the optical fiber is in contact with the V groove. Furthermore, by applying a thermosetting adhesive from the upper surface of the optical fiber and bonding and fixing the optical fiber to the substrate member, the bonding strength of the optical fiber can be increased.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図1〜図
5により説明する。なお、各図においては、煩雑を避け
るために一部のメタライズ配線やワイヤボンディング及
び接着剤等の図示を適宜省略している。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In each of the drawings, some of the metallized wiring, wire bonding, adhesives, and the like are omitted as appropriate to avoid complication.
【0013】図5に本発明を適用した一実施例の光結合
装置の全体構造を示す。FIG. 5 shows the overall structure of an optical coupling device according to an embodiment to which the present invention is applied.
【0014】図5において、光結合装置は、半導体発光
素子としてのレ−ザダイオ−ド1と、半導体受光素子と
してのフォトダイオード2と、これら半導体受発光素子
を搭載する基板部材3と、レーザダイオード1とフォト
ダイオード2と光学的に結合されレーザ光を内部伝送す
る光ファイバ5とからなる。なお、基板部材3には、光
ファイバ5を設置するV溝4と、このV溝4に光ファイ
バ5を接着固定する接着剤8、9と、レ−ザダイオ−ド
1及びフォトダイオ−ド2を装置外部に電気的に接続す
るためのメタライズパターン膜(図示せず)が形成され
ており、メタライズパターン膜の端子には外部接続用の
電極端子15が接続されている。また、基板部材3を実
装し収納するフレーム11を備えたケース12と、ケー
ス12内部を外部から保護するキャップ14とを有して
おり、レ−ザダイオ−ド1及びフォトダイオ−ド2と光
ファイバ5との光結合を直接的に行う。In FIG. 5, an optical coupling device comprises a laser diode 1 as a semiconductor light emitting element, a photodiode 2 as a semiconductor light receiving element, a substrate member 3 on which these semiconductor light receiving and emitting elements are mounted, and a laser diode. 1 and an optical fiber 5 which is optically coupled to the photodiode 2 and internally transmits laser light. The substrate member 3 has a V-groove 4 for installing an optical fiber 5, adhesives 8 and 9 for bonding and fixing the optical fiber 5 to the V-groove 4, a laser diode 1 and a photo diode 2. A metallized pattern film (not shown) for electrically connecting the external device to the outside of the device is formed, and an electrode terminal 15 for external connection is connected to a terminal of the metallized pattern film. Further, it has a case 12 provided with a frame 11 for mounting and housing the substrate member 3, and a cap 14 for protecting the inside of the case 12 from the outside, so that the laser diode 1, the photo diode 2 and the light Optical coupling with the fiber 5 is performed directly.
【0015】ケース12は、箱型形状を備えたプラスチ
ック材料で構成されており、電極端子15を両側に4本
づつ計8本備えている(但し端子の数は本実施例に限ら
れるものではない)。ケース12には、基板部材3を実
装する金属材料で構成されたフレーム11を内設してい
る。上面にはケース12内部を外部と遮断するためのキ
ャップ14が接合されている。ケース12の箱型部分か
らは、光ファイバ保持部13となる突出部(図5中紙面
の右側)が設けられており、この光ファイバ保持部13
に光ファイバ5と光ファイバ被覆16が設置され接着剤
(図示せず)で保持固定されている。The case 12 is made of a box-shaped plastic material, and has eight electrode terminals 15 on each side, eight in total (however, the number of terminals is not limited to this embodiment). Absent). The frame 12 made of a metal material for mounting the board member 3 is provided inside the case 12. A cap 14 for shielding the inside of the case 12 from the outside is joined to the upper surface. From the box-shaped portion of the case 12, a projection (right side of the paper surface in FIG. 5) serving as an optical fiber holding portion 13 is provided.
The optical fiber 5 and the optical fiber coating 16 are installed on the substrate and held and fixed with an adhesive (not shown).
【0016】なお、本実施例では箱型ケース12の寸法
は、例えば、高さ(図5中紙面に上下方向)が2.6m
m、横幅(図5中紙面に垂直方向)が7.6mm、長さ
(図5中紙面に横方向)が21.0mmとなっており、
電極端子15が2.54mm間隔で設けられている。In this embodiment, the size of the box-shaped case 12 is, for example, 2.6 m in height (vertical direction on the paper of FIG. 5).
m, the width (vertical direction to the paper surface in FIG. 5) is 7.6 mm, and the length (horizontal direction to the paper surface in FIG. 5) is 21.0 mm.
The electrode terminals 15 are provided at intervals of 2.54 mm.
【0017】光ファイバ5は、基板部材3に形成したV
溝4に接着剤8、9で接着固定されており、ケース12
から突出した光ファイバ保持部13にも接着剤(図示せ
ず)で接着固定されている。基板部材3に取付けられる
光ファイバ5の高さ位置と、ケース12の光ファイバ保
持部13に取付けられる光ファイバ5の高さ位置とは異
なっており、光ファイバ5をたわませた状態で取り付け
ている。つまり、基板部材3に取付けられた光ファイバ
5は、曲線を描くように基板部材3から徐々に離れて、
光ファイバ保持部13に設置される。The optical fiber 5 has a V
The case 12 is bonded and fixed to the groove 4 with adhesives 8 and 9.
The optical fiber holding part 13 protruding from the optical fiber is also fixed by an adhesive (not shown). The height position of the optical fiber 5 attached to the substrate member 3 is different from the height position of the optical fiber 5 attached to the optical fiber holding portion 13 of the case 12, and the optical fiber 5 is attached in a bent state. ing. That is, the optical fiber 5 attached to the substrate member 3 gradually separates from the substrate member 3 so as to draw a curve,
It is installed on the optical fiber holding unit 13.
【0018】高さ位置の差は0.1〜0.2mmの範囲
で、この範囲内で光ファイバ5にたわみを持たせてい
る。光ファイバ5にたわみを持たせることで、ケース1
2及びフレーム11の熱変形にともなう光ファイバ5の
引張り及び圧縮変形による軸力を吸収し、基板部材3の
光ファイバ5接着部に外力を与えない構造としている。The difference between the height positions is in the range of 0.1 to 0.2 mm, and the optical fiber 5 is deflected within this range. By making the optical fiber 5 bend, the case 1
The structure absorbs the axial force due to the tensile and compressive deformation of the optical fiber 5 accompanying the thermal deformation of the frame 2 and the frame 11 and does not apply an external force to the bonding portion of the substrate member 3 to the optical fiber 5.
【0019】図1に、光ファイバの搭載構造の一実施例
の示す。図2に図1の水平断面図を示す。図3に、図2
のA−A’からD−D’部の縦断面図をそれぞれ示す。
図4に、基板部材の長さに対する反り量の関係をグラフ
に示す。FIG. 1 shows an embodiment of an optical fiber mounting structure. FIG. 2 shows a horizontal sectional view of FIG. FIG.
Are longitudinal sectional views taken along the line AA ′ to DD ′.
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the length of the substrate member and the amount of warpage.
【0020】図1及び図2において、レーザダイオード
1とフォトダイオード2は、シリコン基板3の上面に形
成したメタライズパターン膜7上のマーカ(図示せず)
を目印に、それぞれ所定位置に位置決めして搭載され
る。また、レーザダイオード1及びフォトダイオード2
は、ワイヤーボンディング(図示せず)を介して、シリ
コン基板3上面のメタライズパターン膜7にそれぞれ電
気的に接続される。1 and 2, laser diode 1 and photodiode 2 are markers (not shown) on metallized pattern film 7 formed on the upper surface of silicon substrate 3.
Are positioned at predetermined positions and mounted. Further, a laser diode 1 and a photodiode 2
Are electrically connected to the metallized pattern film 7 on the upper surface of the silicon substrate 3 via wire bonding (not shown).
【0021】シリコン基板3には、横断面形状が有底の
略V字形状であるV溝4が異方性エッチングによって形
成され、このV溝4は両側の斜面と底面とから構成され
ている。また、V溝4はその軸線がレーザダイオード1
及びフォトダイオード2と光ファイバ5との間のレーザ
光の光軸方向と略平行な方向となっている。さらに、V
溝4は図2に示されるように、底面の鉛直方向高さは軸
方向に一定(すなわち底面は水平面)となっている。In the silicon substrate 3, a V-shaped groove 4 having a substantially V-shaped cross section with a bottom is formed by anisotropic etching, and the V-shaped groove 4 is constituted by slopes on both sides and a bottom surface. . The V-groove 4 has its axis aligned with the laser diode 1.
The direction is substantially parallel to the optical axis direction of the laser light between the photodiode 2 and the optical fiber 5. Furthermore, V
As shown in FIG. 2, the vertical height of the bottom surface of the groove 4 is constant in the axial direction (that is, the bottom surface is a horizontal plane).
【0022】一方、この基板部材3には、側断面形状が
有底の凹字形状である矩形溝6が切削によって形成され
ている。矩形溝6はその軸線がレーザダイオード1及び
フォトダイオード2と光ファイバ5との間のレーザ光の
光軸方向と略垂直な方向となっている。矩形溝6が形成
される位置は、異方性エッチングによって形成されたV
溝4端部の斜面(光ファイバ先端10が正対する面)に
対してレーザダイオード1が実装される側と反対側であ
り、V溝4端部の斜面から例えば0.3±0.1mm離
れた位置である。この矩形溝6は、V溝4に光ファイバ
5を接着固定するときに塗布する接着剤8が、V溝4に
沿って光ファイバ先端10やレーザダイオード1にまで
流れ込まないように、ダムの役割を持っている。なお、
この基板部材3は、例えば厚さ(図2中上下方向)が
0.4mm、幅(図1中上下方向)が1.5mm、長さ
(図1中横方向)が4.5mmとなっている。On the other hand, the substrate member 3 is formed by cutting a rectangular groove 6 having a concave sectional shape with a bottom cross section. The axis of the rectangular groove 6 is substantially perpendicular to the optical axis direction of the laser light between the laser diode 1 and the photodiode 2 and the optical fiber 5. The position where the rectangular groove 6 is formed depends on the V formed by anisotropic etching.
The side opposite to the side on which the laser diode 1 is mounted with respect to the slope at the end of the groove 4 (the surface facing the optical fiber tip 10), for example, 0.3 ± 0.1 mm away from the slope at the end of the V-groove 4 Position. The rectangular groove 6 serves as a dam so that the adhesive 8 applied when the optical fiber 5 is bonded and fixed to the V groove 4 does not flow along the V groove 4 to the optical fiber tip 10 or the laser diode 1. have. In addition,
The substrate member 3 has a thickness (vertical direction in FIG. 2) of 0.4 mm, a width (vertical direction in FIG. 1) of 1.5 mm, and a length (horizontal direction in FIG. 1) of 4.5 mm. I have.
【0023】光ファイバ5は、光伝送領域であるコア径
が10μm、外径がφ0.125mmの単一モード光フ
ァイバを使用している。この光ファイバ5を、異方性エ
ッチングで基板部材3に形成したV溝4に、接着剤8、
9で直接接着固定することにより、V溝4を所定の位置
に所定の深さと幅で精度良く形成すれば、レーザダイオ
ード1のレーザ出射部及びフォトダイオード2のレーザ
入射部と、光ファイバ5の光軸(中心軸)の高さ合せを
無調整で行うことができる。The optical fiber 5 is a single mode optical fiber having a core diameter of 10 μm, which is an optical transmission region, and an outer diameter of φ0.125 mm. The optical fiber 5 is attached to the V-groove 4 formed in the substrate member 3 by anisotropic etching,
If the V-groove 4 is accurately formed at a predetermined position with a predetermined depth and width by directly bonding and fixing at 9, the laser emitting part of the laser diode 1 and the laser incident part of the photodiode 2 and the optical fiber 5 The height of the optical axis (center axis) can be adjusted without adjustment.
【0024】光ファイバ5とV溝4の固定は2種類の接
着剤で行っている。1つは紫外線硬化接着剤8で、もう
1つは熱硬化接着剤9である。紫外線硬化接着剤8は、
予めV溝4に塗布され、そのV溝4に光ファイバ5を設
置して紫外線を照射して硬化させている。熱硬化接着剤
9は、紫外線硬化接着剤8で接着固定された光ファイバ
5の上部に塗布し、加熱炉でベーキングを行って硬化さ
せる。紫外線硬化接着剤8で光ファイバ5を接着固定す
る長さは、V溝4の長さの半分程度としている。例え
ば、基板部材3の長さが例えば4.5mmの場合、V溝
4が形成される長さは3.0mm程度(レーザダイオー
ド1やフォトダイオード2が基板部材3に搭載されるた
め)である。The optical fiber 5 and the V-groove 4 are fixed with two kinds of adhesives. One is an ultraviolet curing adhesive 8 and the other is a thermosetting adhesive 9. UV curing adhesive 8
It is applied in advance to the V-groove 4, and the optical fiber 5 is set in the V-groove 4 and irradiated with ultraviolet rays to be cured. The thermosetting adhesive 9 is applied to the upper part of the optical fiber 5 bonded and fixed with the ultraviolet curing adhesive 8, and is baked and cured in a heating furnace. The length of adhesively fixing the optical fiber 5 with the ultraviolet curing adhesive 8 is about half the length of the V groove 4. For example, when the length of the substrate member 3 is, for example, 4.5 mm, the length at which the V groove 4 is formed is about 3.0 mm (because the laser diode 1 and the photodiode 2 are mounted on the substrate member 3). .
【0025】熱硬化接着剤9で光ファイバ5を固定する
位置は、紫外線硬化接着剤8がV溝4部に充填されてい
る部分と未充填の部分との間に接着剤9を塗布して行わ
れている。The position where the optical fiber 5 is fixed by the thermosetting adhesive 9 is determined by applying the adhesive 9 between a portion where the ultraviolet curing adhesive 8 is filled in the V-groove 4 and a portion where the ultraviolet curing adhesive 8 is not filled. Is being done.
【0026】光ファイバ5とV溝4の接着状態を、図3
(1)から(4)に示している。図3(1)は、レーザ
ダイオード1と矩形溝6の間の縦断面図であり、この部
分には接着剤8はなく、光ファイバ5がV溝4の両斜面
に接触した状態で設置されている。図3(2)は、紫外
線硬化接着剤8をV溝4に塗布し光ファイバ5を設置し
た部分であり、この部分で光ファイバ5が押付けられて
V溝4に接触させられる。これによって、光ファイバ5
はV溝4の両斜面に接触しており、紫外線硬化接着剤8
もV溝4と光ファイバ5の間に充填され、光ファイバ5
の両側に余分な接着剤がはみ出して光ファイバ5が接着
固定されている。図3(3)は、熱硬化接着剤9を塗布
した部分であり、紫外線硬化接着剤8と光ファイバ5の
上部を覆うように光ファイバ5を接着固定している。こ
の部分から光ファイバ5のたわみによるV溝4からの離
れが徐々に始まる。図3(4)は、接着剤が塗布されて
いない部分であり、光ファイバ5のたわみも生じている
ので、光ファイバ5はV溝4に接触せずに離れた状態で
設置されている。FIG. 3 shows the state of adhesion between the optical fiber 5 and the V-groove 4.
(1) to (4) are shown. FIG. 3A is a vertical cross-sectional view between the laser diode 1 and the rectangular groove 6, where no adhesive 8 is provided, and the optical fiber 5 is installed in contact with both slopes of the V groove 4. ing. FIG. 3 (2) shows a portion where the ultraviolet curing adhesive 8 is applied to the V-groove 4 and the optical fiber 5 is installed. At this portion, the optical fiber 5 is pressed and brought into contact with the V-groove 4. Thereby, the optical fiber 5
Are in contact with both slopes of the V-groove 4, and the ultraviolet-curing adhesive 8
Is filled between the V-groove 4 and the optical fiber 5, and the optical fiber 5
The extra adhesive protrudes on both sides of the optical fiber 5 and the optical fiber 5 is bonded and fixed. FIG. 3 (3) shows a portion to which the thermosetting adhesive 9 is applied, and the optical fiber 5 is bonded and fixed so as to cover the ultraviolet curing adhesive 8 and the upper part of the optical fiber 5. From this portion, the separation of the optical fiber 5 from the V-groove 4 due to the deflection starts gradually. FIG. 3D shows a portion where the adhesive is not applied, and the optical fiber 5 is bent without being in contact with the V-groove 4 because the optical fiber 5 is bent.
【0027】次に、光ファイバ5を基板部材3に接着固
定する方法について説明する。まず、レーザダイオード
1及びフォトダイオード2が搭載された基板部材3のV
溝4に紫外線硬化接着剤8を塗布する。塗布する位置は
矩形溝6を挟んでレーザダイオード1が搭載される側と
反対側の矩形溝6付近である。Next, a method for bonding and fixing the optical fiber 5 to the substrate member 3 will be described. First, the V of the substrate member 3 on which the laser diode 1 and the photodiode 2 are mounted
An ultraviolet curing adhesive 8 is applied to the groove 4. The application position is near the rectangular groove 6 opposite to the side on which the laser diode 1 is mounted with the rectangular groove 6 interposed therebetween.
【0028】紫外線硬化接着剤8を塗布したV溝4に光
ファイバ5を設置し、光ファイバ5を上部から押し付け
て、光ファイバ5をV溝4に接触させる。押し付ける位
置は、紫外線硬化接着剤8を塗布した矩形溝6付近であ
る。光ファイバ5を押し付けたままの状態で紫外線を照
射し、接着剤8を硬化させる。紫外線で接着剤8を硬化
させた後、加熱炉に放置して接着剤8のベーキングを行
う。ベーキングで接着剤8を完全に硬化反応させた後、
熱硬化接着剤9を光ファイバ5の上部に塗布する。塗布
する位置は、紫外線硬化接着剤8がV溝4部に充填され
ている部分と未充填部分の間である。The optical fiber 5 is placed in the V-groove 4 to which the ultraviolet curing adhesive 8 has been applied, and the optical fiber 5 is pressed from above to bring the optical fiber 5 into contact with the V-groove 4. The pressing position is near the rectangular groove 6 to which the ultraviolet curing adhesive 8 is applied. Ultraviolet rays are irradiated while the optical fiber 5 is kept pressed to cure the adhesive 8. After curing the adhesive 8 with ultraviolet rays, the adhesive 8 is baked by being left in a heating furnace. After the adhesive 8 is completely cured by baking,
A thermosetting adhesive 9 is applied on the optical fiber 5. The application position is between a portion where the ultraviolet curing adhesive 8 is filled in the V groove 4 and an unfilled portion.
【0029】光ファイバ5の上部に塗布する接着剤9
は、V溝4内及び紫外線硬化接着剤8で接着固定した光
ファイバ5上部に流れ込まないように塗布される。接着
剤9を塗布した後、加熱炉でベーキングを行い、接着剤
9を完全に硬化反応させて基板部材3のV溝4に光ファ
イバ5を接着固定する。Adhesive 9 applied on top of optical fiber 5
Is applied so as not to flow into the V-groove 4 and the upper part of the optical fiber 5 bonded and fixed with the ultraviolet curing adhesive 8. After the adhesive 9 is applied, baking is performed in a heating furnace, and the adhesive 9 is completely cured, whereby the optical fiber 5 is bonded and fixed to the V groove 4 of the substrate member 3.
【0030】次に、前述の構成による作用効果を説明す
る。Next, the operation and effect of the above configuration will be described.
【0031】光結合装置を構成するケース12材料とし
てプラスチック材料を用いた場合でも、光ファイバ5の
接着固定を紫外線硬化接着剤8と熱硬化接着剤9の2種
類の接着剤用いて、基板部材3の長さや光ファイバ5の
接着長さを最適にすることで、ケース12の熱変形にと
もなうV溝4部分からの光ファイバ5の剥離を防ぐこと
ができる。まず、紫外線硬化接着剤8を用いて接着固定
する、熱を加えずに短時間で光ファイバ5を接着固定で
きる。このため、光ファイバ5をV溝4に接触させた状
態で確実に接着できる。次に、光ファイバ5の上面から
熱硬化接着剤9を塗布して光ファイバ5を基板部材3に
接着固定することで光ファイバ5の接着固定強度を高め
ることができる。Even when a plastic material is used as the material of the case 12 of the optical coupling device, the optical fiber 5 is bonded and fixed by using two types of adhesives, namely, an ultraviolet curing adhesive 8 and a thermosetting adhesive 9. By optimizing the length of the optical fiber 5 and the bonding length of the optical fiber 5, it is possible to prevent the optical fiber 5 from peeling from the V-groove 4 due to the thermal deformation of the case 12. First, the optical fiber 5 can be bonded and fixed using an ultraviolet curing adhesive 8 without applying heat. For this reason, it is possible to reliably bond the optical fiber 5 in a state where the optical fiber 5 is in contact with the V groove 4. Next, a thermosetting adhesive 9 is applied from the upper surface of the optical fiber 5 and the optical fiber 5 is adhered and fixed to the substrate member 3 so that the adhesive fixing strength of the optical fiber 5 can be increased.
【0032】電極端子15が2.54mm間隔で箱型部
分の両側に各4本づつ設けたケース12の場合、ケース
12の箱型部分の長さは例えば10mm程度となる。こ
のため、ケース12に収納する基板部材3の長さを電極
端子15の隣合う端子間隔の1倍から1.8倍の範囲内
とし、光ファイバ5の接着長さをケース12の箱型部分
の長さの10分の1から10分の2の範囲内とする。In the case 12 in which four electrode terminals 15 are provided on each side of the box-shaped portion at intervals of 2.54 mm, the length of the box-shaped portion of the case 12 is, for example, about 10 mm. For this reason, the length of the substrate member 3 housed in the case 12 is set in the range of 1 to 1.8 times the distance between adjacent terminals of the electrode terminal 15, and the bonding length of the optical fiber 5 is set to the box-shaped portion of the case 12. Within the range of one tenth to two tenths of the length.
【0033】これにより、ケース12が熱変形して基板
部材3に変形が生じても、基板部材3に接着固定した光
ファイバ5の坐屈変形を防ぐことができる。このため、
光ファイバ5のV溝4からの剥離を防止できる。基板部
材3のV溝4に光ファイバ5を長い距離で接着固定する
と、基板部材3と光ファイバ5の熱膨張率差が大きいた
めに光ファイバ5が坐屈変形し剥離が生じる。Thus, even if the case 12 is thermally deformed and the substrate member 3 is deformed, buckling deformation of the optical fiber 5 bonded and fixed to the substrate member 3 can be prevented. For this reason,
Separation of the optical fiber 5 from the V groove 4 can be prevented. When the optical fiber 5 is bonded and fixed to the V-groove 4 of the substrate member 3 over a long distance, the optical fiber 5 buckles and peels because the difference in thermal expansion coefficient between the substrate member 3 and the optical fiber 5 is large.
【0034】光ファイバ5を基板部材3に3.0mm以
上に渡って接着固定すると光ファイバ5が坐屈変形し剥
離することを筆者らは確認している。その剥離は、基板
部材3の長さと基板部材3表面の反り量に関係してい
る。図4にその関係を示している。The present inventors have confirmed that when the optical fiber 5 is bonded and fixed to the substrate member 3 over 3.0 mm or more, the optical fiber 5 is buckled and peeled. The peeling is related to the length of the substrate member 3 and the amount of warpage of the surface of the substrate member 3. FIG. 4 shows the relationship.
【0035】基板部材3の長さが5.0mmの場合、基
板部材3表面の反り量は約4.0μmとなる。この基板
部材3に光ファイバ5をV溝4全長に渡って接着固定す
ると、光ファイバ5が坐屈変形を起こして基板部材3の
中央付近から剥離が生じる。基板部材3の長さを3.5
mmとすることで、反り量は約1.7μmに低減でき、
この基板3に光ファイバ5をV溝4全長に渡って接着固
定しても光ファイバ5の坐屈変形は起きず剥離は生じな
い。When the length of the substrate member 3 is 5.0 mm, the amount of warpage on the surface of the substrate member 3 is about 4.0 μm. When the optical fiber 5 is bonded and fixed to the substrate member 3 over the entire length of the V-groove 4, the optical fiber 5 undergoes buckling deformation, and peeling occurs near the center of the substrate member 3. The length of the substrate member 3 is 3.5
mm, the amount of warpage can be reduced to about 1.7 μm,
Even if the optical fiber 5 is bonded and fixed to the substrate 3 over the entire length of the V-groove 4, the buckling deformation of the optical fiber 5 does not occur and no separation occurs.
【0036】従って、基板部材3の長さを3.0〜4.
5mmとし、光ファイバ5の接着長さを1.0〜2.5
mmとすることで、基板部材3の反り量を低減でき、光
ファイバ5の坐屈変形も起きない。この結果、光ファイ
バ5がV溝4から剥離することを防ぐことができる。Therefore, the length of the substrate member 3 is set to 3.0 to 4.0.
5 mm, and the bonding length of the optical fiber 5 is 1.0 to 2.5.
By setting mm, the amount of warpage of the substrate member 3 can be reduced, and buckling deformation of the optical fiber 5 does not occur. As a result, it is possible to prevent the optical fiber 5 from separating from the V-groove 4.
【0037】また、光ファイバ5を、異方性エッチング
で基板部材3に形成したV溝4に接着剤8、9で直接接
着固定しているため、予め精度良くV溝4を所定の位置
に所定の深さと幅で形成することで、レーザダイオード
1のレーザ出射部及びフォトダイオード2のレーザ入射
部と、光ファイバ5の光軸(中心軸)の高さ合せを無調
整で行うことができる。Further, since the optical fiber 5 is directly bonded and fixed to the V-groove 4 formed on the substrate member 3 by anisotropic etching with the adhesives 8 and 9, the V-groove 4 is accurately positioned in advance at a predetermined position. By forming the optical fiber 5 at a predetermined depth and width, the height of the laser emission part of the laser diode 1 and the laser incidence part of the photodiode 2 and the optical axis (center axis) of the optical fiber 5 can be adjusted without adjustment. .
【0038】さらに、光ファイバ5上部を矩形溝6付近
の位置で押し付けて、矩形溝6を挟んでレーザダイオー
ド1が搭載される側のV溝4には光ファイバ5を確実に
接触させ、一方、押し付け位置を挟んでレーザダイオー
ド1が搭載される側と反対側のV溝4からは光ファイバ
5が徐々に離れるように設置している。これにより、押
し付け位置を挟んでレーザダイオード1が搭載される側
と反対側の光ファイバ5を自然にたわませた状態で接着
固定でき、光ファイバ5及び接着部8、9に残留ひずみ
や剥離を生じさせずに接着固定することができる。Further, the upper part of the optical fiber 5 is pressed at a position near the rectangular groove 6 so that the optical fiber 5 is securely brought into contact with the V groove 4 on the side where the laser diode 1 is mounted with the rectangular groove 6 interposed therebetween. The optical fiber 5 is installed so as to gradually separate from the V-groove 4 on the side opposite to the side on which the laser diode 1 is mounted with the pressing position interposed therebetween. Thereby, the optical fiber 5 on the side opposite to the side where the laser diode 1 is mounted with the pressing position interposed therebetween can be bonded and fixed in a state where the optical fiber 5 is naturally bent, and the optical fiber 5 and the bonded portions 8 and 9 have residual strain or peeling. Can be adhered and fixed without causing the problem.
【0039】これらの結果、光ファイバ5の接着固定に
おいては、光ファイバ5の接着部分に剥離を生じさせる
ようなケース12の変形にともなう基板部材3の変形や
光ファイバ5の坐屈変形などの問題を排除でき、光ファ
イバ5がV溝4から剥離するのを防ぐことができる。従
って、光結合装置を構成するパッケージケース12材料
として熱膨張率が高くて熱変形が大きく生じるプラスチ
ック材料を用いても、光ファイバ5が剥離することはな
く、長期に渡って安定な接着固定、及びレーザダイオー
ド1と光ファイバ5の光結合を実現させることができ
る。また、従来構造のように基板部材3のV溝4表面や
光ファイバ5の表面にメタライズ膜を施さずに光ファイ
バ5をV溝4に接着剤8、9で直接接着固定するので、
部品コストの減少や作業工程低減の効果を図ることがで
きる。As a result, when the optical fiber 5 is bonded and fixed, the deformation of the substrate member 3 due to the deformation of the case 12 that causes the bonded portion of the optical fiber 5 to peel off, the buckling deformation of the optical fiber 5, and the like. The problem can be eliminated, and the separation of the optical fiber 5 from the V groove 4 can be prevented. Therefore, even if a plastic material having a high coefficient of thermal expansion and undergoing large thermal deformation is used as the material of the package case 12 constituting the optical coupling device, the optical fiber 5 does not peel off, and is stably bonded and fixed for a long time. Further, optical coupling between the laser diode 1 and the optical fiber 5 can be realized. Further, the optical fiber 5 is directly bonded and fixed to the V groove 4 with the adhesives 8 and 9 without applying a metallized film to the surface of the V groove 4 of the substrate member 3 or the surface of the optical fiber 5 as in the conventional structure.
The effect of reducing the cost of parts and the number of working steps can be achieved.
【0040】なお、上記実施例においては、半導体素子
としてレーザダイオード1とフォトダイオード2との両
方を備えている光結合装置を例にとって説明してきた
が、これに限られず、いずれか一方のみを備えている光
結合装置にも適用でき、同様の効果を得る。In the above embodiment, an optical coupling device having both a laser diode 1 and a photodiode 2 as semiconductor elements has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and only one of them is provided. The same effect can be obtained by applying the present invention to an optical coupling device.
【0041】[0041]
【発明の効果】本発明によれば、光ファイバの接着固定
においては、光ファイバの接着部分に剥離を生じさせる
ようなケースの変形にともなう基板部材の変形や光ファ
イバの坐屈変形などの問題を排除でき、光ファイバがV
溝から剥離するのを防ぐことができる。従って、光結合
装置を構成するパッケージケース材料として熱膨張率が
高くて熱変形が大きく生じるプラスチック材料を用いた
場合でも、長期に渡って安定な接着固定及び半導体素子
と光ファイバの光結合を実現することができる。According to the present invention, in bonding and fixing an optical fiber, problems such as deformation of a substrate member and deformation of a buckling of the optical fiber due to deformation of a case that causes peeling of the bonded portion of the optical fiber. And the optical fiber is V
Separation from the groove can be prevented. Therefore, even if a plastic material that has a high coefficient of thermal expansion and undergoes large thermal deformation is used as the package case material that composes the optical coupling device, stable adhesive fixation and optical coupling between the semiconductor element and the optical fiber are realized over a long period of time. can do.
【図1】 本発明の実施形態による光ファイバの搭載構
造を表す上面図である。FIG. 1 is a top view illustrating an optical fiber mounting structure according to an embodiment of the present invention.
【図2】 図1に示した光ファイバ搭載構造図の水平断
面図である。FIG. 2 is a horizontal sectional view of the optical fiber mounting structure diagram shown in FIG.
【図3】 図2に示した光ファイバ搭載構造図のA−A
‘からD−D’部の縦断面図である。FIG. 3 is a sectional view of the optical fiber mounting structure shown in FIG.
It is a longitudinal cross-sectional view of the part from 'to DD'.
【図4】 基板部材長さと基板部材表面の反り量を表し
たグラフである。FIG. 4 is a graph showing the length of the substrate member and the amount of warpage of the surface of the substrate member.
【図5】 本発明の実施形態による光結合装置の全体構
造を表す水平断面図である。FIG. 5 is a horizontal sectional view illustrating the entire structure of the optical coupling device according to the embodiment of the present invention.
1…レーザダイオード、2…フォトダイオード、3…基
板部材、4…V溝、5…光ファイバ、6…矩形溝、7…
メタライズパターン膜、8…紫外線硬化接着剤、9…熱
硬化接着剤、10…光ファイバ端面、11…金属フレー
ム、12…パッケージケース、13…光ファイバ保持
部、14…キャップ、15…電極端子、16…光ファイ
バ被覆。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser diode, 2 ... Photodiode, 3 ... Substrate member, 4 ... V groove, 5 ... Optical fiber, 6 ... Rectangular groove, 7 ...
Metallized pattern film, 8: UV curing adhesive, 9: Thermosetting adhesive, 10: Optical fiber end face, 11: Metal frame, 12: Package case, 13: Optical fiber holding part, 14: Cap, 15: Electrode terminal, 16 ... Optical fiber coating.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 正一 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 仲 弘 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 三浦 敏雅 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA02 BA11 DA04 DA12 DA17 5F073 AB21 BA01 EA15 FA02 FA07 FA12 FA22 5F088 BA11 BB01 CB20 EA09 GA07 JA14 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Shoichi Takahashi Inventor Semiconductor Company, Hitachi Ltd. 5-2-1, Kamizuhoncho, Kodaira-shi, Tokyo (72) Inventor Hiroshi Nakami Kamishimihoncho, Kodaira-shi, Tokyo 5-20-1, Hitachi, Ltd. Semiconductor Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Toshimasa Miura 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture F-term in Hitachi, Ltd. Production Technology Research Laboratory F-term (reference) 2H037 AA01 BA02 BA11 DA04 DA12 DA17 5F073 AB21 BA01 EA15 FA02 FA07 FA12 FA22 5F088 BA11 BB01 CB20 EA09 GA07 JA14
Claims (4)
導体発光素子及び半導体受光素子のうち少なくとも一方
からなる半導体素子と、前記基板部材に設けられたV溝
に固定され、前記半導体素子と光学的に結合されレーザ
光を内部伝送する光ファイバと、前記基板部材を収納す
る箱型のケースとからなる光結合装置において、 前記基板部材に設けられたV溝の途中にV溝と直交する
方向に矩形溝を形成し、前記光ファイバを前記矩形溝を
挟んでV溝中に第1の接着剤で接着固定し、前記半導体
素子設置側と反対側で、前記矩形溝よりも離れた位置で
前記光ファイバの表面を第2の接着剤で接着固定したこ
とを特徴とする光結合装置。1. A semiconductor device comprising: a substrate member; a semiconductor element comprising at least one of a semiconductor light emitting element and a semiconductor light receiving element provided on the substrate member; and a semiconductor element fixed to a V-groove provided on the substrate member. An optical coupling device comprising an optical fiber optically coupled to internally transmit a laser beam and a box-shaped case accommodating the substrate member, wherein the V-groove provided in the substrate member is orthogonal to the V-groove. A rectangular groove is formed in the direction, and the optical fiber is bonded and fixed with a first adhesive in a V-groove with the rectangular groove interposed therebetween, and a position farther than the rectangular groove on a side opposite to the semiconductor element installation side. Wherein the surface of the optical fiber is bonded and fixed with a second adhesive.
基板部材に接着固定される光ファイバの接着長さは、前
記ケースの箱型部分の長さの10分の1から10分の2
の範囲内であることを特徴とする光結合装置。2. The optical coupling device according to claim 1, wherein the length of the optical fiber bonded and fixed to the substrate member is one tenth to two tenths of the length of the box-shaped portion of the case.
The optical coupling device is within the range of.
第1の接着剤は紫外線硬化接着剤で有り、前記第2の接
着剤は熱硬化型接着剤であることを特徴とする光結合装
置。3. An optical coupling device according to claim 1, wherein said first adhesive is an ultraviolet curing adhesive, and said second adhesive is a thermosetting adhesive. apparatus.
の組立方法において、前記光ファイバの接着方法は、ま
ず紫外線硬化接着剤を基板上に形成された矩形溝を挟ん
で前記光素子が搭載される側と反対側のV溝に塗布し、
前記光ファイバを紫外線硬化接着剤を塗布したV溝に設
置し、前記矩形溝を挟んで前記半導体素子が搭載される
側と反対側の矩形溝付近のV溝に接触するように、前記
光ファイバを上部から押し付け、その状態で紫外線を照
射して紫外線硬化接着剤を硬化させて光ファイバを接着
固定し、次に熱硬化接着剤を、前記矩形溝よりも離れ、
かつ前記紫外線硬化接着剤で接着された前記光ファイバ
の上面に塗布し、加熱炉でベーキングして接着剤を硬化
させて光ファイバを接着固定することを特徴とする光結
合装置組立方法。4. An assembling method of an optical coupling device having an optical element and an optical fiber mounted thereon, wherein the method of bonding the optical fiber includes first applying an ultraviolet curing adhesive to the optical element with a rectangular groove formed on a substrate interposed therebetween. Apply to the V groove on the side opposite to the side where it is mounted,
The optical fiber is installed in a V-groove coated with an ultraviolet-curing adhesive, and the optical fiber is contacted with a V-groove near a rectangular groove opposite to the side on which the semiconductor element is mounted with the rectangular groove interposed therebetween. Is pressed from the top, and in this state, the optical fiber is adhesively fixed by irradiating ultraviolet rays to cure the ultraviolet curing adhesive, and then the thermosetting adhesive is separated from the rectangular groove,
An optical coupling device assembling method, wherein the method is applied to an upper surface of the optical fiber bonded with the ultraviolet curing adhesive, baked in a heating furnace, and the adhesive is cured to bond and fix the optical fiber.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11042651A JP2000241673A (en) | 1999-02-22 | 1999-02-22 | Optically coupling device and its assembling method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11042651A JP2000241673A (en) | 1999-02-22 | 1999-02-22 | Optically coupling device and its assembling method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000241673A true JP2000241673A (en) | 2000-09-08 |
Family
ID=12641925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11042651A Pending JP2000241673A (en) | 1999-02-22 | 1999-02-22 | Optically coupling device and its assembling method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000241673A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006233153A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Nec Tokin Corp | Assembly connection method of work |
-
1999
- 1999-02-22 JP JP11042651A patent/JP2000241673A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006233153A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Nec Tokin Corp | Assembly connection method of work |
JP4688523B2 (en) * | 2005-02-28 | 2011-05-25 | Necトーキン株式会社 | Workpiece assembly and joining method |
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