JP2000241517A - Removal system for noise in dc-squid for nondestructive inspection - Google Patents

Removal system for noise in dc-squid for nondestructive inspection

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JP2000241517A
JP2000241517A JP11041926A JP4192699A JP2000241517A JP 2000241517 A JP2000241517 A JP 2000241517A JP 11041926 A JP11041926 A JP 11041926A JP 4192699 A JP4192699 A JP 4192699A JP 2000241517 A JP2000241517 A JP 2000241517A
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JP
Japan
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filter
squid
output
magnetic field
voltage
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JP11041926A
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Japanese (ja)
Inventor
Shunichi Tanaka
俊一 田中
Satoru Nakayama
哲 中山
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a removal system, for a noise in a DC-SQUID for nondestructive inspection, by which a magnetic field, from a magnetic-field application coil, detected by the DC-SQUID is removed in an eddy-current nondestructive inspection using the DC-SQUID. SOLUTION: A DC-SQUID 1, a DC-SQUID drive circuit 2 which is used to drive the DC-SQUID 1, a filter 7, a filter-factor renewal means 6, a magnetic- field application coil 12, a first voltage/current conversion means 10, an oscillator 9, a signal addition means 4 and a lock-in amplifier 20 constitute this removal system for a noise in the DC-SQUID for nondestructive inspection. In this manner, when the filter 7, the filter-factor renewal means 6 and the addition means 4 are used, a signal, from the magnetic-field application coil 12, which is mixed with a desired signal is removed, and only the desired signal from a sample to be measured can be detected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はDC−SQUIDを
用いた非破壊検査のノイズ除去システムに関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a non-destructive inspection noise elimination system using a DC-SQUID.

【0002】[0002]

【従来の技術】DC−SQUIDとは、超伝導ループに
2個のジョセフソン接合を挿入することにより構成され
たデバイスである。DC−SQUIDを用いた磁束計
は、非常に感度が高く、地磁気(約0.5ガウス)の1
0億分の1程度の微小な磁気の測定が可能である。その
為、生体磁気計測、産業用計測などの分野において、微
小な磁場計測手段として活用されている。しかし感度が
高い分、ノイズ対策に関しては十分な考慮が必要とされ
ている。
2. Description of the Related Art A DC-SQUID is a device formed by inserting two Josephson junctions into a superconducting loop. A magnetometer using a DC-SQUID is very sensitive and has a geomagnetic (about 0.5 Gauss)
It is possible to measure a minute magnetism of about one hundred million. Therefore, it is used as a minute magnetic field measuring means in fields such as biomagnetic measurement and industrial measurement. However, due to the high sensitivity, sufficient consideration is required for noise countermeasures.

【0003】DC−SQUIDの産業測定分野への応用
例の一つとして、渦電流を用いた非破壊検査がある。以
下にDC−SQUIDを用いた渦電流非破壊検査につい
て説明する。磁場印加コイルに交流電流を流して磁場を
発生させる。この磁界内に金属の測定対象物があると、
電磁誘導作用により測定対象物表面に磁束の通過と垂直
方向の渦電流が流れる。測定対象物に割れのような傷が
ある場合、この渦電流に変化が生ずる。その変化をDC
−SQUIDで観察することにより測定対象物の傷の状
態が測定できる。また表面傷の深さを推定することも可
能である。
[0003] One of the applications of DC-SQUID to the field of industrial measurement is non-destructive inspection using eddy current. Hereinafter, the eddy current non-destructive inspection using the DC-SQUID will be described. An alternating current is passed through the magnetic field applying coil to generate a magnetic field. If there is a metal measurement object in this magnetic field,
Due to the electromagnetic induction, a magnetic flux passes and a vertical eddy current flows on the surface of the measurement object. If the measurement object has a flaw such as a crack, the eddy current changes. The change is DC
By observing with SQUID, the state of the scratch on the measurement object can be measured. It is also possible to estimate the depth of the surface flaw.

【0004】しかし、磁場印加コイルからの磁場をDC
−SQUIDが検出してしまい、ノイズの原因となって
いた。
However, when the magnetic field from the magnetic field applying coil is changed to DC
-SQUID detected, causing noise.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来のDC−SQUID渦電
流非破壊検査装置(システム)にあっては、磁場印加コ
イルからの磁場を直接DC−SQUIDが検出してしまう為、
磁場印加コイルからの信号と測定試料からの所望信号を
区別できず、測定試料にある傷を検出できないという問
題点があった。
In a conventional DC-SQUID eddy current non-destructive inspection device (system), a DC-SQUID directly detects a magnetic field from a magnetic field applying coil.
There has been a problem that the signal from the magnetic field application coil and the desired signal from the measurement sample cannot be distinguished, and a flaw in the measurement sample cannot be detected.

【0006】そこで、本発明は、DC−SQUIDを用いた渦
電流非破壊検査において、DC−SQUIDが検知する磁場印
加コイルからの磁場を除去することを課題とする。
Accordingly, an object of the present invention is to remove a magnetic field from a magnetic field applying coil detected by a DC-SQUID in an eddy current nondestructive inspection using the DC-SQUID.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決する為に、フィルターとフィルターの係数を更新する
手段をDC−SQUIDを用いた渦流探傷試験に取り入
れている。くわしくは、 DC−SQUIDと、前記D
C−SQUIDを駆動する為の駆動回路と、測定試料と
磁気的に結合している磁場印加コイルと、出力が前記磁
場印加コイルに接続している第一の電圧/電流変換手段
と、フィルターと、出力が前記フィルターと前記第一の
電圧/電流変換手段に接続している発振器と、入力が前
記駆動回路の出力と前期フィルターの出力に接続してい
る加算手段と、 前記加算手段の出力により前記フィル
ターの係数を更新するフィルター係数更新手段を有する
構成としている。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention incorporates a filter and a means for updating the coefficient of the filter into an eddy current flaw detection test using a DC-SQUID. More specifically, DC-SQUID and D
A drive circuit for driving the C-SQUID, a magnetic field applying coil magnetically coupled to the measurement sample, first voltage / current converting means having an output connected to the magnetic field applying coil, and a filter. An oscillator having an output connected to the filter and the first voltage / current conversion means, an addition means having an input connected to the output of the drive circuit and the output of the filter, and an output of the addition means. The apparatus has a filter coefficient updating means for updating the coefficient of the filter.

【0008】このように、フィルターとフィルター係数
更新手段と加算手段を用いることにより、所望信号に混
入する磁場印加コイルからの信号が除去され、測定試料
からの所望信号だけを検出できるようになる。また、
DC−SQUIDと、前記DC−SQUIDを駆動する
為の駆動回路及び、測定試料と磁気的に結合している磁
場印加コイルと、測定試料と磁気的に結合し、且つ前記
DC−SQUIDに接続している検出コイルと、前記検
出コイルと磁気的に結合している補償コイルと、出力が
前記磁場印加コイルに接続している第一の電圧/電流変
換手段と、フィルターと、出力が前記補償用コイルに接
続して、且つ入力が前記フィルターの出力に接続してい
る第二の電圧/電流変換手段と、出力が前記フィルター
の入力と前記第一の電圧/電流変換手段の入力に接続し
ている発振器と、前記駆動回路の出力により前記フィル
ターの係数を更新するフィルター係数更新手段を有する
構成としている。
As described above, by using the filter, the filter coefficient updating means, and the adding means, the signal from the magnetic field application coil mixed into the desired signal is removed, and only the desired signal from the measurement sample can be detected. Also,
A DC-SQUID, a driving circuit for driving the DC-SQUID, a magnetic field applying coil magnetically coupled to the measurement sample, a magnetic coupling to the measurement sample, and connection to the DC-SQUID. A detecting coil, a compensating coil magnetically coupled to the detecting coil, a first voltage / current converting means having an output connected to the magnetic field applying coil, a filter, and an output for the compensation. A second voltage / current conversion means connected to the coil and having an input connected to the output of the filter; and an output connected to the input of the filter and the input of the first voltage / current conversion means. And a filter coefficient updating means for updating the coefficient of the filter by the output of the driving circuit.

【0009】このように、フィルターとフィルター係数
更新手段と補償コイルを用いることにより、所望信号に
混入する磁場印加コイルからの信号が除去され、測定試
料からの所望信号だけを検出できるようになる。また、
DC−SQUIDと前記DC−SQUIDを駆動する
為の駆動回路と、測定試料と磁気的に結合している磁場
印加コイルと、前記DC−SQUIDと磁気的に結合し
ているコイルと、出力が前記磁場印加コイルに接続して
いる第一の電圧/電流変換手段と、フィルターと、出力
が前記コイルに接続して、且つ入力が前記フィルターの
出力に接続している第二の電圧/電流変換手段と、出力
が前記フィルターの入力と前記第一の電圧/電流変換手
段の入力に接続している発振器と、前記駆動回路の出力
により前期フィルターの係数を更新するフィルター係数
更新手段を有する構成とした。
As described above, by using the filter, the filter coefficient updating means, and the compensation coil, the signal from the magnetic field application coil mixed into the desired signal is removed, and only the desired signal from the measurement sample can be detected. Also,
A driving circuit for driving the DC-SQUID and the DC-SQUID, a magnetic field applying coil magnetically coupled to the measurement sample, a coil magnetically coupled to the DC-SQUID, First voltage / current converting means connected to the magnetic field applying coil, a filter, and second voltage / current converting means having an output connected to the coil and an input connected to the output of the filter. An oscillator having an output connected to the input of the filter and the input of the first voltage / current conversion means, and a filter coefficient updating means for updating the coefficient of the filter by the output of the driving circuit. .

【0010】このように、フィルターとフィルター係数
更新手段とコイルを用いることにより、所望信号に混入
する磁場印加コイルからの信号が除去され、測定試料か
らの所望信号だけを検出できるようになる。また、 D
C−SQUIDと、前記DC−SQUIDを駆動する為
の駆動回路と、測定試料と磁気的に結合している磁場印
加コイルと、出力が前記磁場印加コイルに接続している
第一の電圧/電流変換手段と、出力が前記駆動回路に接
続しているフィルターと、出力が前記フィルターと前記
第一の電圧/電流変換手段に接続している発振器と、
前記駆動回路の出力により前記フィルターの係数を更新
するフィルター係数更新手段を有する構成とした。
As described above, by using the filter, the filter coefficient updating means, and the coil, the signal from the magnetic field applying coil mixed into the desired signal is removed, and only the desired signal from the measurement sample can be detected. Also, D
A C-SQUID, a drive circuit for driving the DC-SQUID, a magnetic field applying coil magnetically coupled to the measurement sample, and a first voltage / current whose output is connected to the magnetic field applying coil Converting means, a filter having an output connected to the drive circuit, and an oscillator having an output connected to the filter and the first voltage / current converting means;
A configuration is provided that includes a filter coefficient updating unit that updates the coefficient of the filter with the output of the driving circuit.

【0011】このように、フィルターとフィルター係数
更新手段と駆動回路を用いることにより、所望信号に混
入する磁場印加コイルからの信号が除去され、測定試料
からの所望信号だけを検出できるようになる。以上、述
べたような構成にすることによって、DC−SQUID
が検知する磁場印加コイルからの磁束信号を除去でき
る。
As described above, by using the filter, the filter coefficient updating means, and the driving circuit, the signal from the magnetic field applying coil mixed into the desired signal is removed, and only the desired signal from the measurement sample can be detected. With the above-described configuration, the DC-SQUID
Can remove the magnetic flux signal from the magnetic field applying coil detected by the magnetic field applying coil.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て図面を参照にして説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の実施の形態1にかかわる
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システムを示
す構成図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 is a block diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to Embodiment 1 of the present invention.

【0013】図1の非破壊検査用DC−SQUIDノイ
ズ除去システムはDC−SQUID1と、DC−SQU
ID1を駆動させる為のDC−SQUID駆動回路2
と、フィルター7と、フィルター係数更新手段6と、磁
場印加コイル12と、第一の電圧/電流変換手段10と
発振器9と信号加算手段4とロックイン・アンプ20か
ら構成されている。
The DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection shown in FIG. 1 includes a DC-SQUID1 and a DC-SQUID.
DC-SQUID drive circuit 2 for driving ID1
, Filter 7, filter coefficient updating means 6, magnetic field applying coil 12, first voltage / current converting means 10, oscillator 9, signal adding means 4, and lock-in amplifier 20.

【0014】発振器9からの電圧出力は第一の電圧/電
流変換手段10により電流に変換され、磁場印加コイル
12に交流電流を流す。交流電流が流れた磁場印加コイ
ル12は測定対象物11に磁場を印加する。磁場が印加
された測定対象物11表面には電磁誘導作用により、磁
束の通過と垂直方向の渦電流が流れる。次にDC−SQ
UID1は磁場印加コイル12からの磁束φeと渦電流
からの磁束φsの和の磁束信号φs+φeを検出する。
続いて、DC−SQUID駆動回路2は磁束φsに相当
する電圧信号Vsと磁束φeに相当する電圧信号Veの和の
電圧信号Vs+Veを出力する。次にDC−SQUID駆動
回路2からの電圧出力Vs+Veは信号加算手段4に入力す
る。
The voltage output from the oscillator 9 is converted into a current by the first voltage / current conversion means 10, and an alternating current flows through the magnetic field applying coil 12. The magnetic field applying coil 12 through which the alternating current flows applies a magnetic field to the measurement target 11. An eddy current flows in a direction perpendicular to the passage of the magnetic flux on the surface of the measurement target 11 to which the magnetic field is applied due to electromagnetic induction. Next, DC-SQ
The UID 1 detects a magnetic flux signal φs + φe which is the sum of the magnetic flux φe from the magnetic field applying coil 12 and the magnetic flux φs from the eddy current.
Subsequently, the DC-SQUID drive circuit 2 outputs a voltage signal Vs + Ve, which is the sum of the voltage signal Vs corresponding to the magnetic flux φs and the voltage signal Ve corresponding to the magnetic flux φe. Next, the voltage output Vs + Ve from the DC-SQUID drive circuit 2 is input to the signal adding means 4.

【0015】一方、発振器9の電圧出力は、フィルター
7に入力する。フィルター7の電圧出力Vcは信号加算手
段4にてDC−SQUID駆動回路2の電圧出力Vs+Ve
から減算される。よって信号加算手段4の出力はVs+Ve
−Vcとなる。ここで発振器9からの電圧出力が電圧/電
流変換手段10、磁場印加コイル12、DC−SQUI
D1、DC−SQUID駆動回路2を介して、信号加算
手段4まで伝達される伝達関数をWaする。同じように発
振器9からの電圧出力がフィルター7を介して、信号加
算手段4まで伝達される伝達関数をWbとする。フィルタ
ー係数更新手段6はフィルター7の係数を随時最適化し
て伝達関数WbをWaと等しくなるように調整する。その結
果、WaとWbは等しくなる。
On the other hand, the voltage output of the oscillator 9 is input to the filter 7. The voltage output Vc of the filter 7 is output by the signal adding means 4 to the voltage output Vs + Ve of the DC-SQUID drive circuit 2.
Is subtracted from Therefore, the output of the signal adding means 4 is Vs + Ve
−Vc. Here, the voltage output from the oscillator 9 is output from the voltage / current converter 10, the magnetic field applying coil 12, the DC-SQUI.
D1, the transfer function transmitted to the signal adding means 4 via the DC-SQUID drive circuit 2 is Wa. Similarly, a transfer function in which the voltage output from the oscillator 9 is transmitted to the signal adding means 4 via the filter 7 is represented by Wb. The filter coefficient updating means 6 optimizes the coefficient of the filter 7 as needed to adjust the transfer function Wb to be equal to Wa. As a result, Wa and Wb become equal.

【0016】フィルター7の係数が最適化して、WaとWb
が等しくなることによって、磁場印加コイル12からの
磁束φeに相当する電圧信号Veとフィルター7の電圧出
力Vcは等しくなる。従って、信号加算手段4の電圧出力
はVs+Ve−Vc=Vsとなる。このようにしてノイズ除去さ
れて、測定対象物11からの磁束信号φsに相当する電
圧信号Vsを得ることが出来る。
When the coefficients of the filter 7 are optimized, Wa and Wb
Are equal, the voltage signal Ve corresponding to the magnetic flux φe from the magnetic field applying coil 12 and the voltage output Vc of the filter 7 become equal. Therefore, the voltage output of the signal adding means 4 is Vs + Ve-Vc = Vs. In this manner, noise is removed, and a voltage signal Vs corresponding to the magnetic flux signal φs from the measuring object 11 can be obtained.

【0017】続いて、ロックイン・アンプ20は発振器
9の出力を参照信号に取り、電圧信号Vsをロックイン検
波する。ロックイン検波された信号により、測定対象物
11に生じた渦電流の変化、すなわち測定対象物11の
傷を読み取ることが出来る。本実施の形態ではフィルタ
ー係数更新手段6のアルゴリズムとしてLMS(最小二乗
平均)やそれ以外のLSL(最小二乗ラチス)も使うこと
が出来る。例えばLMS法によるとフィルター係数更新手
段6は信号加算手段4の出力の二乗平均誤差をとる。こ
の二乗平均誤差はフィルター係数の二次関数の形を取っ
ている。未知のフィルター係数に対して二乗平均誤差は
単一の底すなわち最小点有する多次元放物線の形状で変
化する。フィルター係数更新手段6はこの曲面の底を連
続して捜し求めて、フィルター係数を随時更新してい
る。すなわちフィルター係数更新手段6は最適なフィル
ター係数を求めて、随時更新している。
Subsequently, the lock-in amplifier 20 takes the output of the oscillator 9 as a reference signal and performs lock-in detection of the voltage signal Vs. The change in the eddy current generated in the measurement target 11, that is, the scratch on the measurement target 11 can be read by the lock-in detected signal. In the present embodiment, LMS (Least Square Mean) or other LSL (Least Square Lattice) can be used as the algorithm of the filter coefficient updating means 6. For example, according to the LMS method, the filter coefficient updating means 6 calculates a root mean square error of the output of the signal adding means 4. This mean square error takes the form of a quadratic function of the filter coefficients. For unknown filter coefficients, the root-mean-square error varies in the shape of a multidimensional parabola with a single base or minimum. The filter coefficient updating means 6 continuously searches for the bottom of the curved surface and updates the filter coefficient as needed. That is, the filter coefficient updating means 6 obtains an optimum filter coefficient and updates it as needed.

【0018】なお、DC−SQUID駆動回路2は変調
型FLL方式、無変調型FLL方式(DOIT方式)でも構わな
い。また、検出コイルを接続したDC−SQUIDでも
構わない。 (実施の形態2)図2は本発明の実施の形態2にかかわる
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システムを示
す構成図である。
The DC-SQUID drive circuit 2 may be a modulation type FLL system or a non-modulation type FLL system (DOIT system). Alternatively, a DC-SQUID to which a detection coil is connected may be used. (Embodiment 2) FIG. 2 is a configuration diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to Embodiment 2 of the present invention.

【0019】図2の非破壊検査用DC−SQUIDノイ
ズ除去システムはDC−SQUID1と、DC−SQU
ID1を駆動させる為のDC−SQUID駆動回路2
と、フィルター7と、フィルター係数更新手段6と、磁
場印加コイル12と、第一の電圧/電流変換手段10と
発振器9と信号加算手段4とロックイン・アンプ20か
ら構成されている。
The DC-SQUID noise elimination system for nondestructive inspection shown in FIG. 2 includes a DC-SQUID1 and a DC-SQUID.
DC-SQUID drive circuit 2 for driving ID1
, Filter 7, filter coefficient updating means 6, magnetic field applying coil 12, first voltage / current converting means 10, oscillator 9, signal adding means 4, and lock-in amplifier 20.

【0020】発振器9からの電圧出力は第一の電圧/電
流変換手段10により電流に変換され、磁場印加コイル
12に交流電流を流す。交流電流が流れた磁場印加コイ
ル12は測定対象物11に磁場を印加する。磁場が印加
された測定対象物11表面には電磁誘導作用により、磁
束の通過と垂直方向の渦電流が流れる。次にDC−SQ
UID1は磁場印加コイル12からの磁束φeと渦電流
からの磁束φsの和の磁束信号φs+φeを検出する。
続いて、DC−SQUID駆動回路2は磁束φsに相当
する電圧信号Vsと磁束φeに相当する電圧信号Veの和の
電圧信号Vs+Veを出力する。次にDC−SQUID駆動
回路2からの電圧出力Vs+Veは信号加算手段4に入力し
てA/D変換され処理される。
The voltage output from the oscillator 9 is converted into a current by the first voltage / current conversion means 10, and an alternating current flows through the magnetic field applying coil 12. The magnetic field applying coil 12 through which the alternating current flows applies a magnetic field to the measurement target 11. An eddy current flows in a direction perpendicular to the passage of the magnetic flux on the surface of the measurement target 11 to which the magnetic field is applied due to electromagnetic induction. Next, DC-SQ
The UID 1 detects a magnetic flux signal φs + φe which is the sum of the magnetic flux φe from the magnetic field applying coil 12 and the magnetic flux φs from the eddy current.
Subsequently, the DC-SQUID drive circuit 2 outputs a voltage signal Vs + Ve, which is the sum of the voltage signal Vs corresponding to the magnetic flux φs and the voltage signal Ve corresponding to the magnetic flux φe. Next, the voltage output Vs + Ve from the DC-SQUID drive circuit 2 is input to the signal adding means 4 and A / D converted and processed.

【0021】一方、発振器9の電圧出力は、フィルター
7に入力する。フィルター7の電圧出力Vcは信号加算手
段4にてDC−SQUID駆動回路2の電圧出力Vs+Ve
から減算される。よって信号加算手段4の出力はVs+Ve
−Vcとなる。実施の形態1ではアナログ信号で加算処理
していたが、実施の形態2ではデジタル信号で加算処理
される。
On the other hand, the voltage output of the oscillator 9 is input to the filter 7. The voltage output Vc of the filter 7 is output by the signal adding means 4 to the voltage output Vs + Ve of the DC-SQUID drive circuit 2.
Is subtracted from Therefore, the output of the signal adding means 4 is Vs + Ve
−Vc. In the first embodiment, the addition process is performed using an analog signal. In the second embodiment, the addition process is performed using a digital signal.

【0022】ここで発振器9からの電圧出力が電圧/電
流変換手段10、磁場印加コイル12、DC−SQUI
D1、DC−SQUID駆動回路2を介して、信号加算
手段4まで伝達される伝達関数をWaする。同じように発
振器9からの電圧出力がフィルター7を介して、信号加
算手段4まで伝達される伝達関数をWbとする。フィルタ
ー係数更新手段6はフィルター7の係数を随時最適化し
て伝達関数WbをWaと等しくなるように調整する。その結
果、WaとWbは等しくなる。
Here, the voltage output from the oscillator 9 is supplied to the voltage / current conversion means 10, the magnetic field applying coil 12, the DC-SQUI.
D1, the transfer function transmitted to the signal adding means 4 via the DC-SQUID drive circuit 2 is Wa. Similarly, a transfer function in which the voltage output from the oscillator 9 is transmitted to the signal adding means 4 via the filter 7 is represented by Wb. The filter coefficient updating means 6 optimizes the coefficient of the filter 7 as needed to adjust the transfer function Wb to be equal to Wa. As a result, Wa and Wb become equal.

【0023】フィルター7の係数が最適化して、WaとWb
が等しくなることによって、磁場印加コイル12からの
磁束φeに相当する電圧信号Veとフィルター7の電圧出
力Vcは等しくなる。従って、信号加算手段4の電圧出力
はVs+Ve−Vc=Vsとなる。このようにしてノイズ除去さ
れて、測定対象物11からの磁束信号φsに相当する電
圧信号Vsを得ることが出来る。
When the coefficient of the filter 7 is optimized, Wa and Wb
Are equal, the voltage signal Ve corresponding to the magnetic flux φe from the magnetic field applying coil 12 and the voltage output Vc of the filter 7 become equal. Therefore, the voltage output of the signal adding means 4 is Vs + Ve-Vc = Vs. In this manner, noise is removed, and a voltage signal Vs corresponding to the magnetic flux signal φs from the measuring object 11 can be obtained.

【0024】続いて、ロックイン・アンプ20は発振器
9の出力を参照信号に取り、電圧信号Vsをロックイン検
波する。ロックイン検波された信号により、測定対象物
11に生じた渦電流の変化、すなわち測定対象物11の
傷を読み取ることが出来る。なお、DC−SQUID駆
動回路2は変調型FLL方式、無変調型FLL方式(DOIT方
式)でも構わない。また、検出コイルを接続したDC−
SQUIDでも構わない。
Subsequently, the lock-in amplifier 20 takes the output of the oscillator 9 as a reference signal and performs lock-in detection of the voltage signal Vs. The change in the eddy current generated in the measurement target 11, that is, the scratch on the measurement target 11 can be read by the lock-in detected signal. Note that the DC-SQUID drive circuit 2 may be a modulation type FLL system or a non-modulation type FLL system (DOIT system). In addition, DC-
SQUID may be used.

【0025】(実施の形態3)図3は本発明の実施の形態
3にかかわる非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去
システムを示す構成図である。図3の非破壊検査用DC
−SQUIDノイズ除去システムはDC−SQUID1
と、DC−SQUID1を駆動させる為のDC−SQU
ID駆動回路2と、フィルター7と、フィルター係数更
新手段6と、磁場印加コイル12と、第一の電圧/電流
変換手段10と発振器9と補償コイル13と第二の電圧
/電流変換手段15と検出コイル16とロックイン・ア
ンプ20から構成されている。
(Embodiment 3) FIG. 3 is a block diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to Embodiment 3 of the present invention. DC for non-destructive inspection of FIG.
-SQUID noise removal system is DC-SQUID1
And a DC-SQU for driving the DC-SQUID1
ID drive circuit 2, filter 7, filter coefficient updating means 6, magnetic field applying coil 12, first voltage / current converting means 10, oscillator 9, compensation coil 13, second voltage / current converting means 15, It comprises a detection coil 16 and a lock-in amplifier 20.

【0026】発振器9からの電圧出力は第一の電圧/電
流変換手段10により電流に変換され、磁場印加コイル
12に交流電流を流す。交流電流が流れた磁場印加コイ
ル12は測定対象物11に磁場を印加する。磁場が印加
された測定対象物11表面には電磁誘導作用により、磁
束の通過と垂直方向の渦電流が流れる。また、発振器9
の電圧出力は、フィルター7に入力する。フィルター7
の電圧出力は第二の電圧/電流変換手段15にて電流変
換されて、補償コイル13に流れる。電流が流れた補償
コイル13は検出コイル16に磁場φcを鎖交させる。
The voltage output from the oscillator 9 is converted into a current by the first voltage / current conversion means 10, and an alternating current flows through the magnetic field applying coil 12. The magnetic field applying coil 12 through which the alternating current flows applies a magnetic field to the measurement target 11. An eddy current flows in a direction perpendicular to the passage of the magnetic flux on the surface of the measurement target 11 to which the magnetic field is applied due to electromagnetic induction. Also, the oscillator 9
Is input to the filter 7. Filter 7
Is converted into a current by the second voltage / current conversion means 15 and flows to the compensation coil 13. The current flowing through the compensation coil 13 causes the detection coil 16 to link the magnetic field φc.

【0027】次に、検出コイル16は磁場印加コイル1
2からの磁束φeと渦電流からの磁束φsと補償コイル
13からの磁束φcの磁束信号φs+φe+φcを検出
する。ここで発振器9からの電圧出力が電圧/電流変換
手段10、磁場印加コイル12を介して、検出コイル1
6まで伝達される伝達関数をWaする。同じように発振器
9からフィルター7、第二の電圧/電流変換手段15、
補償コイル13を介して検出コイル16までに伝わる伝
達関数をWbする。フィルター係数更新手段6はフィルタ
ー7の係数を随時最適化して伝達関数Wbを調整する。そ
の結果、伝達関数Waと伝達関数Wbは等しくなる。
Next, the detection coil 16 is the magnetic field application coil 1
2, a magnetic flux signal φs + φe + φc of a magnetic flux φs from the eddy current and a magnetic flux φc from the compensation coil 13. Here, the voltage output from the oscillator 9 is applied to the detection coil 1 via the voltage / current conversion means 10 and the magnetic field application coil 12.
The transfer function transmitted to 6 is Wa. Similarly, the oscillator 9, the filter 7, the second voltage / current converting means 15,
The transfer function transmitted to the detection coil 16 via the compensation coil 13 is Wb. The filter coefficient updating means 6 adjusts the transfer function Wb by optimizing the coefficient of the filter 7 as needed. As a result, the transfer function Wa and the transfer function Wb become equal.

【0028】フィルター7の係数が最適化して、伝達関
数Waと伝達関数Wbが等しくなることによって、検出コイ
ル16に鎖交する補償コイル13からの磁束信号φcと
磁場印加コイル12からの磁束信号φeとの和φc+φ
eは0になる。よって検出コイル16に鎖交する全磁束
信号はφs+φe+φc=φsとなる。このようにして
ノイズ除去されて、測定対象物11からの磁束信号φs
を得ることが出来る。
When the coefficient of the filter 7 is optimized and the transfer function Wa and the transfer function Wb become equal, the magnetic flux signal φc from the compensating coil 13 linked to the detection coil 16 and the magnetic flux signal φe from the magnetic field applying coil 12 are obtained. Φc + φ
e becomes 0. Therefore, the total magnetic flux signal linked to the detection coil 16 is φs + φe + φc = φs. In this manner, noise is removed, and the magnetic flux signal φs from the measuring object 11 is removed.
Can be obtained.

【0029】次に磁束信号φsはDC−SQUID1を
介し、DC−SQUID駆動回路2に伝えられ、DC−
SQUID駆動回路2は磁束φsに相当する電圧信号Vs
を出力する。続いて、ロックイン・アンプ20は発振器
9の出力を参照信号に取り、電圧信号Vsをロックイン検
波する。ロックイン検波された信号により、測定対象物
11に生じた渦電流の変化、すなわち測定対象物11の
傷を読み取ることが出来る。
Next, the magnetic flux signal φs is transmitted to the DC-SQUID drive circuit 2 via the DC-SQUID1,
The SQUID drive circuit 2 generates a voltage signal Vs corresponding to the magnetic flux φs.
Is output. Subsequently, the lock-in amplifier 20 takes the output of the oscillator 9 as a reference signal and performs lock-in detection of the voltage signal Vs. The change in the eddy current generated in the measurement target 11, that is, the scratch on the measurement target 11 can be read by the lock-in detected signal.

【0030】本実施の形態ではフィルター係数更新手段
6のアルゴリズムとしてLMS(最小二乗平均)やそれ以
外のLSL(最小二乗ラチス)も使うことが出来る。なお
DC−SQUID駆動回路2は変調型FLL方式、無変調
型FLL方式(DOIT方式)でも構わない。また、検出コイ
ルはどのようなタイプでも構わない。 (実施の形態4)図4は本発明の実施の形態4にかかわる
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システムを示
す構成図である。
In this embodiment, LMS (Least Square Mean) or other LSL (Least Square Lattice) can be used as the algorithm of the filter coefficient updating means 6. Note that the DC-SQUID drive circuit 2 may be a modulation type FLL system or a non-modulation type FLL system (DOIT system). Further, the detection coil may be of any type. (Embodiment 4) FIG. 4 is a configuration diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to Embodiment 4 of the present invention.

【0031】図4の非破壊検査用DC−SQUIDノイ
ズ除去システムはDC−SQUID1と、DC−SQU
ID1を駆動させる為のDC−SQUID駆動回路2
と、フィルター7と、フィルター係数更新手段6と、磁
場印加コイル12と、第一の電圧/電流変換手段10と
発振器9とDC−SQUID1と磁気的に結合したコイ
ル14と、第三の電圧/電流変換手段17とロックイン
・アンプ20から構成されている。
The DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection shown in FIG. 4 includes a DC-SQUID1 and a DC-SQUID.
DC-SQUID drive circuit 2 for driving ID1
A filter 7, a filter coefficient updating unit 6, a magnetic field applying coil 12, a first voltage / current converting unit 10, an oscillator 9, a coil 14 magnetically coupled to the DC-SQUID1, and a third voltage / current converting unit. It comprises a current conversion means 17 and a lock-in amplifier 20.

【0032】発振器9からの電圧出力は第一の電圧/電
流変換手段10により電流に変換され、磁場印加コイル
12に交流電流を流す。交流電流が流れた磁場印加コイ
ル12は測定対象物11に磁場を印加する。磁場が印加
された測定対象物11表面には電磁誘導作用により、磁
束の通過と垂直方向の渦電流が流れる。また、発振器9
の電圧出力は、フィルター7に入力する。フィルター7
の電圧出力は第三の電圧/電流変換手段17にて電流変
換されて、コイル14に流れる。電流が流れたコイル1
4はDC−SQUID1に磁束φdを鎖交させる。
The voltage output from the oscillator 9 is converted into a current by the first voltage / current converting means 10, and an alternating current flows through the magnetic field applying coil 12. The magnetic field applying coil 12 through which the alternating current flows applies a magnetic field to the measurement target 11. An eddy current flows in a direction perpendicular to the passage of the magnetic flux on the surface of the measurement target 11 to which the magnetic field is applied due to electromagnetic induction. Also, the oscillator 9
Is input to the filter 7. Filter 7
Is converted by the third voltage / current conversion means 17 into a current and flows through the coil 14. Current flowing coil 1
4 links the magnetic flux φd to the DC-SQUID1.

【0033】次に、DC−SQUID1は磁場印加コイ
ル12から磁束φeと渦電流からの磁束φsとコイル1
1からの磁束φdの磁束信号φs+φe+φdを検出す
る。ここで発振器9からの電圧出力が電圧/電流変換手
段10、磁場印加コイル12を介して、DC−SQUI
D1まで伝達される伝達関数をWaする。同じように発振
器9からの電圧出力がフィルター7、第三の電圧/電流
変換手段17、コイル14を介してDC−SQUID1
までに伝わる伝達関数をWbする。フィルター係数更新手
段6はフィルター7の係数を随時最適化して伝達関数Wb
を調整する。
Next, the DC-SQUID 1 receives the magnetic flux φe from the magnetic field applying coil 12, the magnetic flux φs from the eddy current and the coil 1.
The magnetic flux signal φs + φe + φd of the magnetic flux φd from 1 is detected. Here, the voltage output from the oscillator 9 is applied to the DC-SQUI via the voltage / current converting means 10 and the magnetic field applying coil 12.
The transfer function transmitted to D1 is Wa. Similarly, the voltage output from the oscillator 9 is applied to the DC-SQUID 1 through the filter 7, the third voltage / current conversion unit 17, and the coil 14.
Wb the transfer function transmitted to. The filter coefficient updating means 6 optimizes the coefficient of the filter 7 as needed to transfer the transfer function Wb.
To adjust.

【0034】その結果、伝達関数Waと伝達関数Wbは等し
くなる。フィルター7の係数が最適化して、伝達関数Wa
と伝達関数Wbが等しくなることによって、磁場印加コイ
ル12からの磁束φeとコイル14から磁束φdの和は
φe+φd=0になる。よってDC−SQUID1が検
出する磁束信号φs+φe+φd=φsとなり、ノイズ
除去された測定対象物11からの磁束信号φsを得るこ
とが出来る。磁束信号φsはDC−SQUID駆動回路
2に伝えられ、DC−SQUID駆動回路2は磁束φs
に相当する電圧信号Vsを出力する。
As a result, the transfer function Wa and the transfer function Wb become equal. The coefficient of the filter 7 is optimized and the transfer function Wa
And the transfer function Wb become equal, the sum of the magnetic flux φe from the magnetic field applying coil 12 and the magnetic flux φd from the coil 14 becomes φe + φd = 0. Therefore, the magnetic flux signal φs + φe + φd = φs detected by the DC-SQUID 1 is obtained, and the magnetic flux signal φs from the measurement target 11 from which noise has been removed can be obtained. The magnetic flux signal φs is transmitted to the DC-SQUID drive circuit 2, and the DC-SQUID drive circuit 2
Is output as a voltage signal Vs.

【0035】続いて、ロックイン・アンプ20は発振器
9の出力を参照信号に取り、電圧信号Vsをロックイン検
波する。ロックイン検波された信号により、測定対象物
11に生じた渦電流の変化、すなわち測定対象物11の
傷を読み取ることが出来る。本実施の形態ではフィルタ
ー係数更新手段6のアルゴリズムとしてLMS(最小二乗
平均)やそれ以外のLSL(最小二乗ラチス)も使うこと
が出来る。なおDC−SQUID駆動回路2は変調型FL
L方式、無変調型FLL方式(DOIT方式)でも構わない。ま
た、検出コイルを接続したDC−SQUIDでも構わな
い。 (実施の形態5)図5は本発明の実施の形態5にかかわる
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システムを示
す構成図である。
Subsequently, the lock-in amplifier 20 takes the output of the oscillator 9 as a reference signal and performs lock-in detection of the voltage signal Vs. The change in the eddy current generated in the measurement target 11, that is, the scratch on the measurement target 11 can be read by the lock-in detected signal. In the present embodiment, LMS (Least Square Mean) or other LSL (Least Square Lattice) can be used as the algorithm of the filter coefficient updating means 6. The DC-SQUID drive circuit 2 is a modulation type FL
The L method and the non-modulation FLL method (DOIT method) may be used. Alternatively, a DC-SQUID to which a detection coil is connected may be used. (Embodiment 5) FIG. 5 is a block diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to Embodiment 5 of the present invention.

【0036】図5の非破壊検査用DC−SQUIDノイ
ズ除去システムはDC−SQUID1と、DC−SQU
ID1を駆動させる為のDC−SQUID駆動回路2
と、フィルター7と、フィルター係数更新手段6と、磁
場印加コイル12と、第一の電圧/電流変換手段10と
発振器9とロックイン・アンプ20から構成されてい
る。
The DC-SQUID noise elimination system for nondestructive inspection shown in FIG. 5 includes a DC-SQUID1 and a DC-SQUID.
DC-SQUID drive circuit 2 for driving ID1
, Filter 7, filter coefficient updating means 6, magnetic field applying coil 12, first voltage / current converting means 10, oscillator 9, and lock-in amplifier 20.

【0037】発振器9からの電圧出力は第一の電圧/電
流変換手段10により電流に変換され、磁場印加コイル
12に交流電流を流す。交流電流が流れた磁場印加コイ
ル12は測定対象物11に磁場を印加する。磁場が印加
された測定対象物11表面には電磁誘導作用により、磁
束の通過と垂直方向の渦電流が流れる。また、発振器9
の電圧出力は、フィルター7に入力する。続いて、フィ
ルター7の電圧出力VcはDC−SQUID駆動回路2に
入力する。
The voltage output from the oscillator 9 is converted into a current by the first voltage / current converting means 10, and an alternating current flows through the magnetic field applying coil 12. The magnetic field applying coil 12 through which the alternating current flows applies a magnetic field to the measurement target 11. An eddy current flows in a direction perpendicular to the passage of the magnetic flux on the surface of the measurement target 11 to which the magnetic field is applied due to electromagnetic induction. Also, the oscillator 9
Is input to the filter 7. Subsequently, the voltage output Vc of the filter 7 is input to the DC-SQUID drive circuit 2.

【0038】次に、DC−SQUID1は磁場印加コイ
ル12から磁束φeと渦電流からの磁束φsの磁束信号
φs+φeを検出する。同時に、DC−SQUID駆動
回路2に入力したフィルター7の電圧出力Vcは磁束信号
φcに変換され、DC−SQUID1に印加される。よ
ってDC−SQUID1が検出する全磁束信号はφs+
φe+φcとなる。
Next, the DC-SQUID 1 detects the magnetic flux φe from the magnetic field applying coil 12 and the magnetic flux signal φs + φe of the magnetic flux φs from the eddy current. At the same time, the voltage output Vc of the filter 7 input to the DC-SQUID drive circuit 2 is converted into a magnetic flux signal φc and applied to the DC-SQUID1. Therefore, the total magnetic flux signal detected by DC-SQUID1 is φs +
φe + φc.

【0039】ここで発振器9からの電圧出力が電圧/電
流変換手段10、磁場印加コイル12を介してDC−S
QUID1まで伝達される伝達関数をWaする。同じよう
に発振器9からの電圧出力がフィルター7、DC−SQ
UID駆動回路2を介してDC−SQUID1までに伝
わる伝達関数をWbする。フィルター係数更新手段6はフ
ィルター7の係数を随時最適化して伝達関数Wbを調整す
る。その結果、伝達関数Waと伝達関数Wbは等しくなる。
Here, the voltage output from the oscillator 9 is supplied to the DC-S
The transfer function transmitted to QUID1 is Wa. Similarly, the voltage output from the oscillator 9 is applied to the filter 7, the DC-SQ
The transfer function transmitted to DC-SQUID1 via the UID drive circuit 2 is Wb. The filter coefficient updating means 6 adjusts the transfer function Wb by optimizing the coefficient of the filter 7 as needed. As a result, the transfer function Wa and the transfer function Wb become equal.

【0040】フィルター7の係数が最適化して、伝達関
数Waと伝達関数Wbが等しくなることによって、フィルタ
ーの電圧出力Vcに相当する磁束信号φcと磁場印加コイ
ルからの磁束信号φeとの和は0になる。よってDC−
SQUID1の検出する磁束信号はφs+φe+φc=
φsとなる。このようにしてノイズ除去されて、測定対
象物11からの磁束信号φsを得ることが出来る。
When the coefficient of the filter 7 is optimized and the transfer function Wa and the transfer function Wb become equal, the sum of the magnetic flux signal φc corresponding to the voltage output Vc of the filter and the magnetic flux signal φe from the magnetic field applying coil becomes 0. become. Therefore DC-
The magnetic flux signal detected by SQUID1 is φs + φe + φc =
φs. In this manner, the noise is removed, and the magnetic flux signal φs from the measuring object 11 can be obtained.

【0041】続いて、DC−SQUID駆動回路2は磁
束φsに相当する電圧信号Vsを出力する。ロックイン・
アンプ20は発振器9の出力を参照信号に取り、電圧信
号Vsをロックイン検波する。ロックイン検波された信号
により、測定対象物11に生じた渦電流の変化、すなわ
ち測定対象物11の傷を読み取ることが出来る。本実施
の形態ではフィルター係数更新手段6のアルゴリズムと
してLMS(最小二乗平均)やそれ以外のLSL(最小二乗ラ
チス)も使うことが出来る。なおDC−SQUID駆動
回路2は変調型FLL方式、無変調型FLL方式(DOIT方式)
でも構わない。また、検出コイルを接続したDC−SQ
UIDでも構わない。
Subsequently, the DC-SQUID drive circuit 2 outputs a voltage signal Vs corresponding to the magnetic flux φs. Lock-in
The amplifier 20 takes the output of the oscillator 9 as a reference signal and performs lock-in detection of the voltage signal Vs. The change in the eddy current generated in the measurement target 11, that is, the scratch on the measurement target 11 can be read by the lock-in detected signal. In the present embodiment, LMS (Least Square Mean) or other LSL (Least Square Lattice) can be used as the algorithm of the filter coefficient updating means 6. Note that the DC-SQUID drive circuit 2 uses a modulation type FLL method and a non-modulation type FLL method (DOIT method).
But it doesn't matter. In addition, DC-SQ with connecting detection coil
UID may be used.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、渦電流非破壊検査において、フィルターとフィ
ルター係数更新手段を用いることで、DC−SQUID
が検知する磁場印加コイルからの磁束信号を除去できる
という効果を奏する。くわしくは、加算手段により、D
C−SQUID1が検出する磁場印加コイル12からの
信号が除去でき、測定対象物11からの所望信号を検出
できるので、測定対象物11の傷を検出できる。
The present invention is embodied in the form as described above. In the eddy current non-destructive inspection, a DC-SQUID is obtained by using a filter and a filter coefficient updating means.
This has the effect that the magnetic flux signal from the magnetic field application coil detected by the magnetic field can be removed. More specifically, D
Since the signal from the magnetic field applying coil 12 detected by the C-SQUID 1 can be removed and a desired signal from the measurement target 11 can be detected, a flaw on the measurement target 11 can be detected.

【0043】また、補償コイル13により、検出コイル
16が検出する磁場印加コイル12からの信号が除去で
き、測定対象物11からの所望信号を検出できるので、
測定対象物11の傷を検出できる。また、コイル14に
より、DC−SQUID1が検出する磁場印加コイル1
2からの磁場信号を除去でき、測定対象物11からの所
望信号を検出できるので、測定対象物11の傷を検出で
きる。
Further, since the signal from the magnetic field applying coil 12 detected by the detection coil 16 can be removed by the compensation coil 13, a desired signal from the measurement object 11 can be detected.
A scratch on the measurement target 11 can be detected. Further, the magnetic field applying coil 1 detected by the DC-SQUID 1 by the coil 14
2 can be removed and a desired signal from the measurement target 11 can be detected, so that a scratch on the measurement target 11 can be detected.

【0044】そして、DC−SQUID駆動回路2によ
りDC−SQUID1が検出する磁場印加コイル12か
らの磁場信号を除去でき、測定対象物11からの所望信
号を検出できるので、測定対象物11の傷を検出でき
る。
Then, the DC-SQUID driving circuit 2 can remove the magnetic field signal from the magnetic field applying coil 12 detected by the DC-SQUID 1 and detect the desired signal from the measurement target 11, so that the measurement target 11 can be prevented from being damaged. Can be detected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態1にかかわる非破壊検査用
DC−SQUIDノイズ除去システムを示す構成図であ
る。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態2にかかわる非破壊検査用
DC−SQUIDノイズ除去システムを示す構成図であ
る。
FIG. 2 is a configuration diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施の形態3にかかわる非破壊検査用
DC−SQUIDノイズ除去システムを示す構成図であ
る。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施の形態4にかかわる非破壊検査用
DC−SQUIDノイズ除去システムを示す構成図であ
る。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施の形態5にかかわる非破壊検査用
DC−SQUIDノイズ除去システムを示す構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram showing a DC-SQUID noise removal system for nondestructive inspection according to a fifth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 DC−SQUID 2 DC−SQUID駆動回路 3 第一のA/Dコンバータ 4 信号加算手段 5 D/Aコンバータ 6 フィルター係数更新手段 7 フィルター 8 第二のA/Dコンバータ 9 発振器 10 第一の電圧/電流変換手段 11 測定対象物 12 磁場印加コイル 13 補償コイル 14 コイル 15 第二の電圧/電流変換手段 16 検出コイル 17 第三の電圧/電流変換手段 18 デジタル・フィルター 19 デジタル・フィルター係数更新手段 20 ロックイン・アンプ 21 アナログ信号加算手段 22 デジタル信号加算手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 DC-SQUID 2 DC-SQUID drive circuit 3 First A / D converter 4 Signal adding means 5 D / A converter 6 Filter coefficient updating means 7 Filter 8 Second A / D converter 9 Oscillator 10 First voltage / Current conversion means 11 Measurement object 12 Magnetic field application coil 13 Compensation coil 14 Coil 15 Second voltage / current conversion means 16 Detection coil 17 Third voltage / current conversion means 18 Digital filter 19 Digital filter coefficient updating means 20 Lock In-amplifier 21 Analog signal adding means 22 Digital signal adding means

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 DC−SQUIDと、 前記DC−SQUIDを駆動する為の駆動回路と、 測定試料と磁気的に結合している磁場印加コイルと、 出力が前記磁場印加コイルに接続している第一の電圧/
電流変換手段と、フィルターと、 出力が前記フィルターと前記第一の電圧/電流変換手段
に接続している発振器と、 入力が前記駆動回路の出力と前期フィルターの出力に接
続している加算手段と、 前記加算手段の出力により前記フィルターの係数を更新
するフィルター係数更新手段を有することを特徴とする
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システム。
1. A DC-SQUID, a driving circuit for driving the DC-SQUID, a magnetic field applying coil magnetically coupled to a measurement sample, and a second output having an output connected to the magnetic field applying coil. One voltage /
Current converting means, a filter, an oscillator having an output connected to the filter and the first voltage / current converting means, and an adding means having inputs connected to the output of the driving circuit and the output of the filter. A DC-SQUID noise removal system for non-destructive inspection, comprising a filter coefficient updating unit for updating a coefficient of the filter by an output of the adding unit.
【請求項2】 DC−SQUIDと、 前記DC−SQUIDを駆動する為の駆動回路及び、測
定試料と磁気的に結合している磁場印加コイルと、 測定試料と磁気的に結合し、且つ前記DC−SQUID
に接続している検出コイルと、 前記検出コイルと磁気的に結合している補償コイルと、 出力が前記磁場印加コイルに接続している第一の電圧/
電流変換手段と、フィルターと、 出力が前記補償用コイルに接続して、且つ入力が前記フ
ィルターの出力に接続している第二の電圧/電流変換手
段と、 出力が前記フィルターの入力と前記第一の電圧/電流変
換手段の入力に接続している発振器と、 前記駆動回路の出力により前記フィルターの係数を更新
するフィルター係数更新手段を有することを特徴とする
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システム。
2. A DC-SQUID, a drive circuit for driving the DC-SQUID, a magnetic field application coil magnetically coupled to a measurement sample, and a magnetic field coupling coil with the measurement sample, and -SQUID
A compensating coil magnetically coupled to the detecting coil; and a first voltage / output connected to the magnetic field applying coil.
Current conversion means, a filter, second voltage / current conversion means having an output connected to the compensation coil and an input connected to the output of the filter, and an output connected to the input of the filter and the second DC-SQUID noise removal for non-destructive inspection, comprising: an oscillator connected to an input of one voltage / current conversion means; and a filter coefficient updating means for updating a coefficient of the filter by an output of the driving circuit. system.
【請求項3】 DC−SQUIDと前記DC−SQUI
Dを駆動する為の駆動回路と、 測定試料と磁気的に結合している磁場印加コイルと、 前記DC−SQUIDと磁気的に結合しているコイル
と、 出力が前記磁場印加コイルに接続している第一の電圧/
電流変換手段と、フィルターと、 出力が前記コイルに接続して、且つ入力が前記フィルタ
ーの出力に接続している第二の電圧/電流変換手段と、 出力が前記フィルターの入力と前記第一の電圧/電流変
換手段の入力に接続している発振器と、 前記駆動回路の出力により前期フィルターの係数を更新
するフィルター係数更新手段を有することを特徴とする
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システム。
3. The DC-SQUID and the DC-SQUI
A drive circuit for driving D; a magnetic field applying coil magnetically coupled to the measurement sample; a coil magnetically coupled to the DC-SQUID; and an output connected to the magnetic field applying coil. First voltage /
Current conversion means, a filter, second voltage / current conversion means having an output connected to the coil and an input connected to the output of the filter, and an output connected to the input of the filter and the first A DC-SQUID noise removal system for non-destructive inspection, comprising: an oscillator connected to an input of a voltage / current converter; and a filter coefficient updating unit for updating a coefficient of the filter by an output of the driving circuit.
【請求項4】 DC−SQUIDと、 前記DC−SQUIDを駆動する為の駆動回路と、 測定試料と磁気的に結合している磁場印加コイルと、 出力が前記磁場印加コイルに接続している第一の電圧/
電流変換手段と、 出力が前記駆動回路に接続しているフィルターと、 出力が前記フィルターと前記第一の電圧/電流変換手段
に接続している発振器と、 前記駆動回路の出力により前記フィルターの係数を更新
するフィルター係数更新手段を有することを特徴とする
非破壊検査用DC−SQUIDノイズ除去システム。
4. A DC-SQUID, a driving circuit for driving the DC-SQUID, a magnetic field applying coil magnetically coupled to a measurement sample, and a second output having an output connected to the magnetic field applying coil. One voltage /
A current conversion means, a filter having an output connected to the drive circuit, an oscillator having an output connected to the filter and the first voltage / current conversion means, and a coefficient of the filter based on an output of the drive circuit. DC-SQUID noise removal system for non-destructive inspection, comprising: a filter coefficient updating unit for updating the noise reduction coefficient.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112826511A (en) * 2019-11-25 2021-05-25 株式会社理光 Magnetic field measuring device

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