JP2000231901A - Mass spectrometer by image analizing method or mass spectrometry using it - Google Patents

Mass spectrometer by image analizing method or mass spectrometry using it

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JP2000231901A
JP2000231901A JP11033799A JP3379999A JP2000231901A JP 2000231901 A JP2000231901 A JP 2000231901A JP 11033799 A JP11033799 A JP 11033799A JP 3379999 A JP3379999 A JP 3379999A JP 2000231901 A JP2000231901 A JP 2000231901A
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Japan
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mcp
mass
time
electrode
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JP11033799A
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Atsushi Katayama
淳 片山
Katsutoshi Furukawa
勝敏 古川
Kazuo Watabe
和男 渡部
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Japan Atomic Energy Agency
Original Assignee
Japan Atomic Energy Research Institute
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    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61HPHYSICAL THERAPY APPARATUS, e.g. DEVICES FOR LOCATING OR STIMULATING REFLEX POINTS IN THE BODY; ARTIFICIAL RESPIRATION; MASSAGE; BATHING DEVICES FOR SPECIAL THERAPEUTIC OR HYGIENIC PURPOSES OR SPECIFIC PARTS OF THE BODY
    • A61H15/00Massage by means of rollers, balls, e.g. inflatable, chains, or roller chains
    • A61H15/0078Massage by means of rollers, balls, e.g. inflatable, chains, or roller chains power-driven

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  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To widen the dynamic range of a measurement strength to shorten the measuring time, by transforming the output from an ion detector to a two dimensional light signal by using a flying time spectrometer, by inputting it into a personal computer and applying an image analysis to it to measure its mass spectrum, and by applying a mass analysis to an isotope. SOLUTION: A specimen cell to atomize a specimen, a laser system to ionize the specimen and an accelerating electrode to accelerate the ionized atom are individually disposed at one end in a flight tube(FT). A time-of-flight mass spectrometer in which a micro channel plate(MCP) individually provided with a sweep electrode on its front surface and a fluorescent screen on its rear surface is disposed at other end in the FT is used. An output electron produced by colliding an ion mass-segregated by its flying speed in the FT onto the MCP by the sweep electrode is transformed to a light signal on the fluorescent screen, and a picture processing is applied to it after catching it by a CCD camera. Thereby, isotope compositions of specimen elements can be simultaneously measured even if their abundance differs by five figures or more.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、画像解析法を用い
て、長半減期を有する核種であるカルシウム−41、ニ
ッケル−59、塩素−36等の微量同位体の質量分析を
行う方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for performing mass spectrometry of trace isotopes such as calcium-41, nickel-59, and chlorine-36, which are nuclides having a long half-life, using an image analysis method. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カルシウム−41等の長い半減期
を有する核種を高感度に測定するためには、その崩壊に
伴う放射線を計測するよりも、その核種の原子を測定す
る方が有利であった。
2. Description of the Related Art Conventionally, in order to measure a nuclide having a long half-life such as calcium-41 with high sensitivity, it is more advantageous to measure atoms of the nuclide than to measure radiation accompanying its decay. there were.

【0003】そこで、この核種の原子を測定する方法と
して、今まではレーザー共鳴イオン化質量分析法(RI
MS)を用いることにより、同重体や分子イオンの干渉
を受けない、核種原子に関する微量の同位体の高感度分
析法についての基礎的な検討が行われてきた。
[0003] Therefore, as a method of measuring atoms of this nuclide, a laser resonance ionization mass spectrometry (RI) has been used until now.
Basic studies have been conducted on high-sensitivity analysis of trace isotopes of nuclide atoms that are not affected by isobaric or molecular ions by using MS).

【0004】そのRIMSに用いる質量分析計で代表的
なものが飛行時間型質量分析計(TOFMS:Time
−of−F1ight Mass Spectromet
er)であるが、それは、図1及び図2に示されるよう
に、原子化された試料を電場中(加速電極間)でイオン
化用レーザーによりイオン化し、得られたイオンをドリ
フト空間(電場等がない空間)において自由飛行させ、
この空間で軽いイオンから重いイオンの順番で飛行速度
によるイオンの質量弁別を行うものである。即ち、この
システムでは、ドリフト空間を経てマイクロチャンネル
プレート(MCP)に到達したイオンがぶつかってでき
た電子をMCPによって増倍し、その出力電子をアノー
ドに集めて検出し、図3に示されるように、その出力を
デジタルオシロスコープ等を用いて測定した。
A typical mass spectrometer used in the RIMS is a time-of-flight mass spectrometer (TOFMS: Time).
-Of-F1right Mass Spectrometer
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, it is that the atomized sample is ionized by an ionization laser in an electric field (between the accelerating electrodes), and the obtained ions are drifted into a drift space (electric field or the like). Free space)
In this space, mass discrimination of ions based on flight speed is performed in order of light ions to heavy ions. That is, in this system, the electrons that arrive at the microchannel plate (MCP) via the drift space and collide are multiplied by the MCP, and the output electrons are collected at the anode and detected, as shown in FIG. The output was measured using a digital oscilloscope or the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記レーザー共鳴イオ
ン化質量分析法(RIMS)においては、目的とする微
量の同位体の定量のためには、目的とする同位体と他の
同位体との存在比率を求めることが必要であった。しか
し、その存在比率を、レーザー共鳴イオン化質量分析計
のイオン検出器から得られる電流値に基づいて測定する
際には、その検出器のダイナミックレンジに限界がある
こと、又存在比率の高い同位体によって強電流が発生し
た直後の存在比率の低い同位体の電流測定における精度
が低いこと等の問題があって、RIMSの性能が生かし
きれない場合が多かった。
In the above-mentioned laser resonance ionization mass spectrometry (RIMS), the ratio of the target isotope to the other isotope is determined in order to quantify the target trace amount of isotope. It was necessary to ask for. However, when measuring the abundance ratio based on the current value obtained from the ion detector of the laser resonance ionization mass spectrometer, the dynamic range of the detector is limited, and isotopes with a high abundance ratio Therefore, the accuracy of current measurement of isotopes having a low abundance ratio immediately after generation of a strong current is low, and the performance of RIMS cannot be fully utilized in many cases.

【0006】又、上記従来の飛行時間型の質量分析計に
おいては、レーザーによるイオン化に同期して各同位体
のイオンが検出される。例えば、カルシウムであれば4
0から48の同位体が時間差をもって検出器に到達し、
その時最も大きな存在度のイオンと最も小さな存在度の
イオンの比が8ビット以上(256:1以上)である
と、測定レンジの中に入り切らないためにその両方を測
定することが不可能になる。即ち、大きい方を見ようと
すると小さな信号は測定できないし、又小さい方を見よ
うとすれば大さな方はオーバースケールで一定の値にな
ってしまうという問題があった。更に、この従来の分析
計では、数マイクロ秒の時間内にイオンが質量弁別され
て飛んでくるので、ナノ秒レベルの時間分解能がないと
正確な測定が不可能である。現在のデジタル信号処理で
は0.1ナノ秒の時間分解能を持つ製品が使用できる
が、信号強度の分解能については、高速のアナログ/デ
ジタル変換に限界があることから、8ビットが最高水準
になるという問題もある。
In the conventional time-of-flight mass spectrometer, ions of each isotope are detected in synchronization with ionization by a laser. For example, calcium is 4
0 to 48 isotopes arrive at the detector with a time lag,
If the ratio of the ion with the highest abundance to the ion with the lowest abundance is 8 bits or more (256: 1 or more), it is impossible to measure both ions because they do not fall within the measurement range. Become. That is, there is a problem that a small signal cannot be measured when trying to see a large one, and a large value becomes a constant value over scale when trying to see a small one. Further, in this conventional analyzer, ions are mass discriminated and fly within a time period of several microseconds, so that accurate measurement is impossible without a nanosecond-level time resolution. With current digital signal processing, products with a time resolution of 0.1 nanosecond can be used, but the resolution of signal strength is said to be the highest at 8 bits due to the limitation of high-speed analog / digital conversion. There are also problems.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、これらの問題
を解決する方法として、飛行時間型の質量分析計を使用
し、そのイオン検出器からの出力を2次元の光信号に変
換し、それをパソコンに取り込み画像解析することによ
り質量スペクトルを測定して目的とする同位体の質量分
析を行うものである。即ち、飛行時間型の質量分析計に
用いられるマイクロチャンネルプレート(MCP)に蛍
光物質が塗布されたアノード面を用いることにより、M
CPに到達した同位体イオンを2次元情報(位置情報及
び強度)を待った像に変換することが可能になる。
The present invention solves these problems by using a time-of-flight mass spectrometer and converting the output from the ion detector into a two-dimensional optical signal. The target isotope is taken into a personal computer and subjected to image analysis to measure a mass spectrum to perform mass analysis of a target isotope. That is, by using an anode surface coated with a fluorescent substance on a microchannel plate (MCP) used in a time-of-flight mass spectrometer,
It is possible to convert the isotope ion that has reached the CP into an image waiting for two-dimensional information (positional information and intensity).

【0008】そこで、飛行速度によって質量弁別された
イオンを、掃引電極を使用してMCPに到達する位置を
振り分けることによって、蛍光面上の光信号の強度から
同位体のイオン量を、そしてその位置情報から時間、即
ち質量の情報を得ることができる。更に、冷却型のCC
Dカメラを用いることにより、画像を解析する手法にお
いては、光強度については16ビット以上のダイナミッ
クレンジが使用可能であり、又正確な位置情報も同時に
扱うことが可能である。
[0008] In view of this, the ions that have been mass-discriminated according to their flight speeds are sorted to the position where they reach the MCP by using a sweep electrode, so that the ion amount of the isotope is determined from the intensity of the optical signal on the phosphor screen, and the position is determined. Time, that is, mass information can be obtained from the information. Furthermore, cooling type CC
By using a D camera, in a method of analyzing an image, a dynamic range of 16 bits or more can be used for light intensity, and accurate position information can be handled at the same time.

【0009】本発明においては、速度による質量弁別が
行われた段階で、イオンの通過にタイミングを合わせて
掃引電極にパルス三角波を印加し、進行方向とは垂直方
向の電場変化を与え、それぞれの同位体の到達位置が掃
引され、MCPに到達してぶつかったイオンにより出力
電子を発生させ、この出力電子をMCP後方に配置され
た蛍光面に衝突させて蛍光面上の光点に変換し、その光
点をCCDカメラで観測し、パソコンに転送して画像解
析が行われる。
In the present invention, a pulse triangular wave is applied to the sweep electrode in synchronization with the passage of ions at the stage when mass discrimination based on the velocity is performed, and an electric field change in a direction perpendicular to the traveling direction is given to each of them. The arrival position of the isotope is swept, the output electrons are generated by the ions that have reached the MCP and collided, and the output electrons collide with a phosphor screen arranged behind the MCP to be converted into light spots on the phosphor screen, The light spot is observed with a CCD camera and transferred to a personal computer for image analysis.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の分析方法の原理を図4に
基づいて説明する。飛行時間型の質量分析計に多く用い
られているマイクロチャンネルプレート(MCP)に蛍
光面を読み出し系にしたものを用い、そのMCPの前方
に正負に帯電させることのできる掃引電極を配置し、そ
の後方にCCDカメラを配置する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The principle of the analysis method of the present invention will be described with reference to FIG. A microchannel plate (MCP), which is often used in a time-of-flight mass spectrometer, uses a readout system with a fluorescent screen, and a positive / negatively charged sweeping electrode is placed in front of the MCP. A CCD camera.

【0011】図5に示されるように、レーザーによりイ
オン化された同位体(n+n+1+n+2+)がMCP
に向けて導入され、その質量の違いにより速度的に質量
弁別され、MCPの前に置かれた掃引電極により到達順
に電場を用いて分離され、その分離された同位体イオン
がMCPに倍増されて蛍光面で光点となる。その光点を
CCDカメラにより記録する。その結果、蛍光面上の光
点の強度から同位体のイオン量を、そしてその位置情報
から質量の情報を得ることができる。
As shown in FIG. 5, isotopes ( nM + , n + 1 M + , n + 2 M + ) ionized by a laser are
, Is mass-discriminated speedily by its difference in mass, and is separated by an electric field in the order of arrival by a sweeping electrode placed in front of the MCP, and the separated isotope ions are doubled by the MCP. It becomes a light spot on the phosphor screen. The light spot is recorded by a CCD camera. As a result, the ion amount of the isotope can be obtained from the intensity of the light spot on the phosphor screen, and the mass information can be obtained from the position information.

【0012】本発明の場合、図6に示されるように、時
間即ち質量の情報を検出器の位置情報に変換し、飛んで
きたイオンの数、即ち同位体の存在度の情報を光の強度
(明暗)に変換することができ、これらの情報を画像上
に固定することができる。そして、この画像上に固定さ
れている情報を後から処理することにより、高速変換処
理が不要となり、したがって、ダイナミックレンジを広
げることができることになる。
In the case of the present invention, as shown in FIG. 6, information of time, that is, mass is converted into position information of a detector, and information of the number of flying ions, that is, information of the abundance of isotopes, is used as the light intensity. (Bright and dark), and these pieces of information can be fixed on the image. Then, by processing the information fixed on the image later, high-speed conversion processing becomes unnecessary, and therefore, the dynamic range can be expanded.

【0013】上記画像処理においては、測定する質量が
決まれば、任意波形装置の条件が決まる。そこで、画像
から質量を調べるよりも測定対象の質量が画像内にうま
く展開するようにしておく。即ち、例えば、カルシウム
−40から48の質量について調べられるようにしてお
くと、画像のこの部分がカルシウム−40、この部分が
カルシウム−42というように予め決まることになる。
又、試料元素の存在量は、発光の強度(実際は積算値)
を画像解析で計算して求めることができ、実際の操作と
しては、どの部分がどれだけ光っているかを解析するこ
とによって行われる。
In the above image processing, once the mass to be measured is determined, the conditions of the arbitrary waveform device are determined. Therefore, the mass of the object to be measured is developed better in the image than the mass is examined from the image. That is, for example, if the mass of calcium-40 to 48 is checked, this part of the image is determined in advance as calcium-40, and this part is determined as calcium-42.
In addition, the abundance of sample elements is determined by the intensity of light emission (actually, integrated value).
Can be calculated by image analysis, and the actual operation is performed by analyzing which part shines and how much.

【0014】本発明における掃引電極の役割は、飛んで
きたイオンの飛跡を到達順に変えることであり、イオン
は掃引電極の位置に来るまでには質量弁別が完全に行わ
れている。したがって、本発明においては、信号処理上
で生ずる分解能の低下を防ぎ、より忠実な飛行時間型の
質量分析を行うことができる。
The role of the sweep electrode in the present invention is to change the trajectory of the flying ions in the order of arrival, and the mass discrimination is completely performed on the ions before they reach the position of the sweep electrode. Therefore, in the present invention, it is possible to prevent a decrease in resolution that occurs in signal processing, and to perform more accurate time-of-flight mass spectrometry.

【0015】本発明において、測定に使用されるCCD
カメラは、光の強度を16ビット、65536段階で測
定できるものであり、画像解析による処理を経ることに
よりその強度の分解能は16ビット以上のレベルであ
る。
In the present invention, a CCD used for measurement
The camera is capable of measuring the light intensity in 16 bits in 65536 steps, and the resolution of the intensity is at a level of 16 bits or more through processing by image analysis.

【0016】本発明において使用されるMCPは、図7
a、bに示されるように、従来使用されている直径12
マイクロメートルのガラス管を束ねて板状に形成したも
のであり、その読み出し面に蛍光面を用いたものであ
る。
The MCP used in the present invention is shown in FIG.
a, b, as shown in FIG.
This is a plate formed by bundling micrometer glass tubes, and using a fluorescent screen as its readout surface.

【0017】本発明の飛行時間型の質量分析計の構造
は、掃引電極に到達する前までの構造は従来の飛行時間
型の質量分析計と同じであるが、本発明においては、掃
引電極と読み出し系に蛍光面を用いたMCPを使用する
点に特徴を有するものである。
The structure of the time-of-flight mass spectrometer of the present invention is the same as that of the conventional time-of-flight mass spectrometer before reaching the sweep electrode. It is characterized in that an MCP using a phosphor screen is used for the readout system.

【0018】[0018]

【実施例】質量分析計としては、図4に示されるよう
に、飛行時間型の質量分析計を使用し、そのフライトチ
ューブ(ドリフト空間)が2.5mの直線型のものが使
用された。その分析計には、そのフライトチユーブ内に
加速電極が設けられ、その直後とそれからlmの位置に
それぞれアインツェルレンズが配置され、そこで同位体
のイオン流が順次細く絞られる。又、フライトチユーブ
内のMCPの50cm前には、3mmのスリットが設け
られた掃引電極が配置され、その電極は導入端子を経て
掃引回路に接続されている。
EXAMPLE As shown in FIG. 4, a time-of-flight type mass spectrometer was used as the mass spectrometer, and a linear type with a flight tube (drift space) of 2.5 m was used. The analyzer is provided with an accelerating electrode in the flight tube, and an Einzel lens is disposed immediately after and at a position of 1 m from the accelerating electrode, where the ion flow of the isotope is narrowed down sequentially. In addition, a sweep electrode provided with a 3 mm slit is arranged 50 cm before the MCP in the flight tube, and the electrode is connected to a sweep circuit via an introduction terminal.

【0019】その掃引回路は、任意波形発生装置(バイ
オメーション社:2717A)と電圧増幅器(東陽テク
ニカ:HVA400)とから構成されている。イオンの
検出には、有効径20mmの蛍光面付きMCP(浜松ホ
トニクス製)を使用し、得られた光信号をCCDカメラ
で記録した。
The sweep circuit comprises an arbitrary waveform generator (Biomation Corporation: 2717A) and a voltage amplifier (Toyo Technica: HVA400). For the detection of ions, an MCP with a fluorescent screen having an effective diameter of 20 mm (manufactured by Hamamatsu Photonics) was used, and the obtained optical signal was recorded by a CCD camera.

【0020】同位体をイオン化する共鳴イオン化用レー
ザーとしてはエキシマレーザー及び色素レーザー(Lu
monicsEX742及びHD300)が使用され
た。このレーザーによってイオン化される試料には、カ
ルシウム等のアルカリ土類又はアルカリ金属、又はその
化合物が使用され、その金属又は化合物はクヌッセンセ
ル(Khudsen cell(オメガトロン社:OM
K−0102)を使用して加熱され、イオン化された。
Excimer lasers and dye lasers (Lu) are used as resonance ionization lasers for ionizing isotopes.
monicsEX742 and HD300) were used. Alkaline earth or alkali metal such as calcium, or a compound thereof is used for a sample ionized by the laser, and the metal or the compound is used as a Khudsen cell (Omegatron: OM).
K-0102) and heated and ionized.

【0021】本発明によれば、試料の加熱によりカルシ
ウムを原子化し、レーザー光によりイオン化し、その結
果生成した同位体のイオン流をフライトチューブに設け
られたレンズで収束させた後に、掃引電極に導入して掃
引し、その掃引されたイオン流をMCPで倍増させた
後、蛍光面の光点として光信号に変換した。蛍光面上の
光点の光の強さからイオン量を測定でき、又その位置か
らその質量を測定することができた。
According to the present invention, calcium is atomized by heating the sample, ionized by laser light, and the resulting isotope ion current is converged by the lens provided in the flight tube, and then is applied to the sweep electrode. After being introduced and swept, the swept ion flow was doubled by the MCP, and then converted into an optical signal as a light spot on the phosphor screen. The amount of ions could be measured from the intensity of light at the light spot on the phosphor screen, and the mass could be measured from that position.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明は、質量弁別されて飛んでくるイ
オンの測定強度におけるダイナミックレンジが広くなる
という本発明に特有の効果が生ずる。即ち、5桁以上の
存在度が異なる同位体も、同時に測定することが可能で
ある。これは、1個と100000個を同時に見ること
が可能である。従来法では、レンジを切り替えながらそ
れぞれの同位体を測定しなければならなかったので、測
定時間が短縮化されるという効果が生じる。
According to the present invention, an effect unique to the present invention is obtained in that the dynamic range of the measured intensity of ions flying by mass discrimination is widened. That is, isotopes different in abundance by 5 digits or more can be measured simultaneously. This allows one and 100,000 to be viewed simultaneously. In the conventional method, it is necessary to measure each isotope while switching the range, so that there is an effect that the measurement time is shortened.

【0023】又、飛行時間型の質量分析計の質量分析能
を忠実に処理することができるという本発明に特有の効
果が生じる。即ち、信号処理で生じるベースラインの乱
れ等がほとんどなく、具体的には、大量に存在する同位
体と接近した質量の同位体も精度よく測定できるという
効果が生じる。
Further, there is an effect unique to the present invention that the mass spectrometry capability of the time-of-flight mass spectrometer can be faithfully processed. In other words, there is almost no disturbance of the baseline caused by signal processing, and more specifically, an effect is obtained in which an isotope having a mass close to a large amount of isotope can be accurately measured.

【0024】更に又、本発明は、測定感度が高いという
効果も生じる。即ち、MCPの信号検出においては、光
に変換するほうが感度が高いので、1個のイオンがMC
Pに入射すれば、1個の光スポットになる。これは、原
子個数計測が可能であることを意味している。
Further, the present invention has an effect that measurement sensitivity is high. That is, in the signal detection of the MCP, it is more sensitive to convert to light, so that one ion
When incident on P, it becomes one light spot. This means that the number of atoms can be measured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 従来の飛行時間型の質量分析計の構成を示す
図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional time-of-flight mass spectrometer.

【図2】 従来の飛行時間型質量分析計の一般的な信号
処理システムを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a general signal processing system of a conventional time-of-flight mass spectrometer.

【図3】 従来の飛行時間型の質量分析計の基本原理を
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing the basic principle of a conventional time-of-flight mass spectrometer.

【図4】 本発明の飛行時間型の分析計の構成を示す図
である。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a time-of-flight type analyzer of the present invention.

【図5】 本発明の飛行時間型の分析計の掃引電極、M
CP及びCCDカメラの配置構造を示す図である。
FIG. 5 shows the sweep electrode, M, of the time-of-flight analyzer of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating an arrangement structure of a CP and a CCD camera.

【図6】 本発明の飛行時間型の質量分析計の信号シス
テムを示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a signal system of the time-of-flight mass spectrometer of the present invention.

【図7】 マイクロチャネルプレートの構造を示す図で
ある。
FIG. 7 is a diagram showing a structure of a microchannel plate.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フライトチューブ内の一端に、試料を原
子化するための試料セル、試料をイオン化するレーザー
システム、及びイオン化された原子を加速するための加
速電極を配置し、そのフライトチューブの他端にマイク
ロチャネルプレート(MCP)を配置した飛行時間型の
質量分析計において、そのマイクロチャネルプレートの
前面に掃引電極を配置し、その後面に蛍光面を設け、フ
ライトチューブ内で飛行速度によって質量弁別されたイ
オンを掃引電極により電場変化を付与してMCPに衝突
させ、その際に発生する出力電子を蛍光面で光変換し、
その光点をカメラで捕らえた後に画像処理することを特
徴とする試料元素の同位体組成を測定する分析計。
At least one end of a flight tube is provided with a sample cell for atomizing a sample, a laser system for ionizing the sample, and an acceleration electrode for accelerating the ionized atoms. In a time-of-flight mass spectrometer in which a microchannel plate (MCP) is arranged at the end, a sweep electrode is arranged in front of the microchannel plate, a fluorescent screen is provided in the rear surface, and mass discrimination is performed in a flight tube by a flight speed in a flight tube. The changed ions are given an electric field change by the sweeping electrode and collide with the MCP, and the output electrons generated at that time are optically converted by the phosphor screen,
An analyzer for measuring the isotope composition of a sample element, wherein the light spot is captured by a camera and then image-processed.
【請求項2】 飛行時間型質量分析計のフライトチュー
ブ内に、掃引電極及び蛍光面を備えたマイクロチャンネ
ルプレート(MCP)を設け、測定すべき物質を加熱し
て原子化するとともにレーザーでイオン化し、そのイオ
ンをチューブ内で飛行速度により弁別し、そのイオンを
掃引電極を通すことにより電場を付与した後にMCPに
衝突させて光変換し、その光点の画像解析を行って試料
元素の同位体組成を測定する分析方法。
2. A microchannel plate (MCP) having a sweep electrode and a fluorescent screen is provided in a flight tube of a time-of-flight mass spectrometer, and a substance to be measured is heated to be atomized and ionized by a laser. , The ions are discriminated by the flight speed in the tube, the ions are passed through a sweeping electrode to give an electric field, and then collide with the MCP to convert the light. An analytical method for measuring composition.
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