JP2000231061A - Motor-driven xy table - Google Patents

Motor-driven xy table

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JP2000231061A
JP2000231061A JP11067247A JP6724799A JP2000231061A JP 2000231061 A JP2000231061 A JP 2000231061A JP 11067247 A JP11067247 A JP 11067247A JP 6724799 A JP6724799 A JP 6724799A JP 2000231061 A JP2000231061 A JP 2000231061A
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JP
Japan
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detection sensor
fixed
wire
position detection
shaft
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JP11067247A
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Japanese (ja)
Inventor
Seiji Ishikawa
清二 石川
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Individual
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize remote control by driving a top board table only by a wire and a spring without using precision mechanism such as a rack and a pinion and using a servo motor for taking up the wire. SOLUTION: The wire 6 is wound round a pulley 11 attached to the rotary shaft of the servo motor 9 capable of normally and reversely rotating and both ends of the wire 6 are pulled and fixed on two side plates 3 fixed at both ends of the lower part of the top board table through the spring 5. Two side plates 3 are coupled through two shaft bars 4, and the shaft bars 4 penetrate a shaft bar receiving base 7 fixed on a bottom board so as to move, then the top board table is moved by the frictional tension of the wire 6 wound round the pulley 11 by the rotation of the motor 9. Two plates constituted so that the motor 9 may be controlled by the remote control of a position sensor detecting the moving amount of the top board table and a display unit displaying the moving position thereof and a potentiometer setting the moving position are piled up in XY directions.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する利用分野】本発明は、ビテオマイクロス
コープや顕微鏡などの観察において、観察物を広範囲に
見るために必要な、観察物を載せて前後左右に動かす
台、即ちXYテーブルの改良に関し、さらに詳しくは、
ボールネジやラック・ピニオン機構などの機械部品を一
切使わず、しかもモーター駆動によりリモコン操作が可
能で、かつ簡易機構により安価で耐久性の良い電動式X
Yテーブルの提供に係るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of an XY table which is necessary for observing an observation object in a wide range in observation with a video microscope, a microscope, or the like, and which moves the observation object back and forth, right and left, that is, an XY table. For more information,
Uses no mechanical parts such as a ball screw or rack and pinion mechanism, allows remote control operation by motor drive, and has a simple mechanism that is inexpensive and durable.
It concerns the provision of a Y table.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来例によるこの種のXYテーブルの移
動機構にはラック・ピニオンやボールネジを使ったもの
が一般的で、歯車の軸にツマミをつけ、これを手で廻し
てテーブルを移動させるものが普通である。また、移動
量は単なる物差し目盛りが付いているだけである。この
種の従来例の欠点は、歯車のバックラッシにより移動量
に遊びが生じたり、メカの磨耗による耐久性などに問題
がある。更には細かい移動量を知ることができない上、
操作も面倒である。
2. Description of the Related Art A conventional XY table moving mechanism using a rack and pinion or a ball screw is generally used. A knob is attached to a gear shaft, and the table is moved by turning the knob by hand. Things are normal. In addition, the movement amount is merely a ruler scale. Disadvantages of this type of conventional example are that there is play in the amount of movement due to backlash of the gears, and there is a problem in durability due to mechanical wear. Furthermore, it is not possible to know the amount of fine movement,
Operation is also troublesome.

【0003】また、パルスモーターを使って歯車の軸を
廻し、パルス数から細かい移動量を知ることの出来るも
のもあるが、メカの精度が要求され高価で、大型のもの
しか一般に知られていない。
[0003] In addition, there is a type in which a small amount of movement can be known from the number of pulses by rotating the shaft of a gear using a pulse motor, but the precision of the mechanism is required, and only a large type is generally known. .

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な従来の問題点を解消するためになされたもので、その
目的とするところは、ラック・ピニオンなどのメカは一
切使用せずに、かつサーボモーターを使って遠隔操作を
可能にした、簡易メカによる安価でバックラッシのない
耐久性に優れたこの種の電動式XYテーブルを提供する
ものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and its purpose is to use a mechanism such as a rack and pinion without using any mechanism. Another object of the present invention is to provide an electric XY table of this kind which is inexpensive and has excellent durability without backlash by a simple mechanism, which enables remote operation using a servomotor.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明に係る電動式XYテーブルは、正逆回転可
能なサーボモーターの回転軸に取り付けたプーリーに、
ワイヤーを巻き付けて、ワイヤーの両端を天板テーブル
の下部両端に固定されている2つの側板に、それぞれス
プリングを介し張力をかけて固定しておき、該2つの側
板は2本の軸棒で連結し、底板に固定されたサーボモー
ター固定用軸棒受け台と、天板テーブルの位置検知セン
サー固定用軸棒受け台とに、それぞれ2本の軸棒が自由
にスライドできるように貫通された形で左右に移動でき
るようにしておき、サーボモーター固定用軸棒受け台に
内蔵固定されているサーボモーターの回転によって、プ
ーリーに巻き付けられたワイヤーの摩擦引っ張りによ
り、天板テーブルが移動するようにしたものである。ま
た、位置検知センサー固定用軸棒受け台に固定されてい
る天板テーブルの位置検知センサーの位置信号を受け
て、天板テーブルの移動量に換算表示する移動量表示器
を別に設け、更に別に設けた位置設定用ポテンショメー
ターと、前記正逆回転可能なサーボモーターを制御する
サーボ制御装置とによって、該位置設定用ポテンショメ
ーターの遠隔操作によって天板テーブルを自由に動かせ
て、移動量表示器により細かい移動変化量も見ることが
できるようにしたものである。そしてこれを2台使って
直交方向に重ねることにより、XYテーブルとしての機
能を果たすものである。
In order to achieve the above object, an electric XY table according to the present invention comprises a pulley attached to a rotating shaft of a servomotor capable of rotating forward and reverse.
Wind the wire and fix both ends of the wire to the two side plates fixed to both lower ends of the top plate table by applying tension through springs, respectively, and connect the two side plates with two shaft rods Then, two shafts are penetrated so that they can slide freely on the shaft holder for fixing the servomotor fixed to the bottom plate and the shaft holder for fixing the position detection sensor on the top plate table. The top plate table is moved by the friction of the wire wrapped around the pulley by the rotation of the servo motor built into the servo motor fixing axle support base. Things. In addition, a separate movement amount indicator is provided to receive the position signal of the position detection sensor of the top plate table fixed to the position detection sensor fixing shaft support and convert it to the movement amount of the top plate table. With the provided position setting potentiometer and the servo control device for controlling the servo motor capable of rotating in the forward and reverse directions, the top table can be freely moved by remote control of the position setting potentiometer, and fine movement can be performed by the movement amount display. The amount of change can also be seen. By using two of them and overlapping them in the orthogonal direction, they function as an XY table.

【0006】すなわち、この発明は、従来品のようなメ
カ機構は使わず、ワイヤーとスプリングの引っ張り移動
によってのみ動かすもので、同時に天板テーブルの位置
検知センサーを設けて細かい移動量の表示をし、かつ正
逆回転可能なサーボモーターの位置制御により遠隔操作
を可能にした移動テーブル2台を、直交方向に重ねて使
用することを特長とする電動式XYテーブルである。
That is, the present invention does not use a mechanical mechanism as in the conventional product, but moves only by pulling movement of a wire and a spring. At the same time, a position detecting sensor of a top plate table is provided to display a fine moving amount. An electric XY table characterized by using two moving tables, which can be remotely controlled by position control of a servomotor capable of rotating forward and backward, and which are overlapped in an orthogonal direction.

【0007】[0007]

【作用】従って、この発明においては、ワイヤーとスプ
リングの巻き取り引っ張りによって移動する天板テーブ
ルを、正逆回転可能なサーボモーターの位置制御により
遠隔操作し、天板テーブルの位置検知センサーによって
細かい移動量も連続的に表示することができ、構造が簡
単で安価で、かつバックラッシのない耐久性の良い電動
式XYテーブルを提供し得るものである。
Therefore, according to the present invention, the top plate table, which is moved by winding and pulling the wire and the spring, is remotely controlled by the position control of the servo motor capable of rotating forward and backward, and is finely moved by the position detection sensor of the top plate table. It is possible to provide a durable electric XY table with a simple structure, low cost, and no backlash, which can also continuously display the amount.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、この発明に係る電動式XY
テーブルの実施例につき、図1ないし図5を参照して詳
細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an electric XY according to the present invention will be described.
An embodiment of the table will be described in detail with reference to FIGS.

【0009】図1および図2は、この発明の一実施例を
適用した電動式XYテーブルのXテーブルのみについて
の外観形態内部機構配置を示す正面および側面の各図、
図3は、図2のA−A線部における内部機構を示す透視
平面図、図4は、図1と図2を上下に重ねて、電動式X
Yテーブルとしたときの外観形態内部機構配置を示す正
面図である。
FIGS. 1 and 2 are a front view and a side view, respectively, showing the internal structure of an electric XY table according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a perspective plan view showing the internal mechanism taken along the line AA in FIG. 2, and FIG.
It is a front view which shows the external structure internal mechanism arrangement | positioning when it is set as a Y table.

【0010】これらの図1ないし図3の各図において、
符号1は、下部両端に2つの側板3を固定した天板テー
ブルである。また2つの側板3は2本の軸棒4によって
連結固定されている。2本の軸棒4は底板2に固定され
たサーボモーター固定用軸棒受け台7および位置検知セ
ンサー固定用軸棒受け台10をそれぞれ貫通していて、
自由にスライドする。9は正逆回転可能なサーボモータ
ーで、サーボモーター固定用軸棒受け台7に内蔵固定さ
れており、8は天板テーブルの位置を検知する位置検出
センサーで、位置検知センサー固定用軸棒受け台10に
固定されている。11はサーボモーター9の軸に取付ら
れたプーリーで、両端にスプリング5を取り付けたワイ
ヤー6が数回巻き付けてある。またスプリング5の他端
は2つの即板3に対して垂直な位置に張力をかけた状態
で取付られている。これによってプーリー11の回転で
天板テーブル1を左右に移動させることができる。天板
の位置検知センサー8の位置指標ノブ12は天板テーブ
ル1に固定されていて、天板1の動きに応じて位置検知
信号が、連続的に出力されている。
In each of FIGS. 1 to 3,
Reference numeral 1 denotes a top plate table in which two side plates 3 are fixed to both lower ends. The two side plates 3 are connected and fixed by two shaft rods 4. The two shafts 4 pass through the servo motor fixing shaft support 7 fixed to the bottom plate 2 and the position detection sensor fixing shaft support 10 respectively.
Slide freely. Reference numeral 9 denotes a forward / reverse rotatable servomotor, which is built in and fixed to a bearing base 7 for fixing the servomotor. Reference numeral 8 denotes a position detection sensor for detecting the position of the top table, and a bearing for fixing the position detection sensor. It is fixed to the table 10. Reference numeral 11 denotes a pulley attached to a shaft of the servomotor 9 and a wire 6 to which springs 5 are attached at both ends is wound several times. The other end of the spring 5 is attached in a state where tension is applied to a position perpendicular to the two immediate plates 3. Thus, the top table 1 can be moved right and left by the rotation of the pulley 11. The position index knob 12 of the top plate position detection sensor 8 is fixed to the top plate table 1, and a position detection signal is continuously output according to the movement of the top plate 1.

【0011】前記サーボモーター9は、直流の正逆回転
可能なもので、天板テーブル1を、より低速で動かすた
めに減速機構を内蔵したものが望ましい。
The servomotor 9 is capable of rotating forward and reverse with a direct current, and preferably has a built-in speed reduction mechanism for moving the top table 1 at a lower speed.

【0012】図5は、この発明における天板テーブルの
位置検知センサー8として、スライド型可変抵抗器21
を使った、アナログサーボ制御による回路の一例であ
る。22は位置設定用ポテンショメーター、9は天板テ
ーブルを駆動するサーボモーターである。
FIG. 5 shows a slide type variable resistor 21 as the position detecting sensor 8 of the top table according to the present invention.
5 is an example of a circuit based on analog servo control using the above. Reference numeral 22 denotes a position setting potentiometer, and reference numeral 9 denotes a servomotor that drives the top table.

【0013】図5では、アナログサーボ制御の一例で示
したが、位置検知センサー8として、ディジタルエンコ
ーダーを使って、ディジタル演算制御により、サーボモ
ーター9にパルスモーターを使うことも出来る。
FIG. 5 shows an example of the analog servo control. However, a pulse motor can be used as the servo motor 9 by digital operation control using a digital encoder as the position detection sensor 8.

【0014】また、本発明では電動式XYテーブルとし
たが、同じXテーブル2台を立てて背中合わせに組ん
で、縦方向に動くようにしたものを、XYテーブルの下
に組めば、Z方向(垂直方向)の機能も簡単に追加でき
るので、電動式XYZテーブルとしても提供し得るもの
である。
In the present invention, the motorized XY table is used. However, if the same two X tables are set up and back-to-back and move vertically, the lower X-table can be moved in the Z direction ( Since the function of (vertical direction) can be easily added, it can also be provided as an electric XYZ table.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上、各実施例において詳述したよう
に、この発明によれば、天板の移動は、サーボモーター
の回転で、プーリーがワイヤーを巻取ることによって生
ずる摩擦引っ張り力によっており、かつ位置検知センサ
ーによるサーボモーター制御になっているので、従来例
のようなバックラッシの要因がなく、位置再現性が抜群
であり、位置検知センサーからの信号で、移動量も高精
度に表示できる。加えて精密メカがなく、構造が簡単で
耐久性に優れ、安価で汎用性に富んだ優れた特長を有し
ている。また、パネルの遠隔操作で動かせるので、非常
に使い勝手が良い。
As described above in detail in each embodiment, according to the present invention, the top plate is moved by the frictional pulling force generated by the pulley winding the wire by the rotation of the servomotor. In addition, since the servo motor is controlled by the position detection sensor, there is no cause of the backlash unlike the conventional example, the position reproducibility is excellent, and the movement amount can be displayed with high accuracy by the signal from the position detection sensor. In addition, there are no precision mechanisms, the structure is simple, the durability is excellent, and it has excellent features that are inexpensive and versatile. Also, since it can be moved by remote control of the panel, it is very convenient to use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を適用した電動式XYテーブ
ルのXテーブル部の正面図。
FIG. 1 is a front view of an X table section of an electric XY table to which an embodiment of the present invention is applied.

【図2】同上電動式XYテーブルのXテーブル部の側面
図。
FIG. 2 is a side view of an X table section of the electric XY table.

【図3】図2のA−A線から見た透視平面図。FIG. 3 is a perspective plan view taken along line AA of FIG. 2;

【図4】図1と図2とを重ね合わせて電動式XYテーブ
ルの形にした正面図
FIG. 4 is a front view in which FIGS. 1 and 2 are overlapped to form an electric XY table.

【図5】本発明の一実施例を適用した電動式XYテーブ
ルのサーボモーターアナログ制御の一例を示した回路
図。
FIG. 5 is a circuit diagram showing an example of servo motor analog control of an electric XY table to which an embodiment of the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 天板テーブル 2 底板 3 側板 4 軸棒 5 スプリング 6 ワイヤー 7 サーボモーター固定用軸棒受け台 8 テーブル位置検出器 9 サーボモーター 10 位置検出センサー固定用軸棒受け台 11 ワイヤー巻取りプーリー 12 テーブル位置検出器位置指標ノブ 21 スライド型可変抵抗器 22 位置設定用ポテンショメーター DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Top plate table 2 Bottom plate 3 Side plate 4 Shaft 5 Spring 6 Wire 7 Servo motor fixing shaft holder 8 Table position detector 9 Servo motor 10 Position detection sensor fixing shaft holder 11 Wire take-up pulley 12 Table position Detector position index knob 21 Slide type variable resistor 22 Potentiometer for position setting

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】正逆回転可能なサーボモーターの回転軸に
取り付けたプーリーに、ワイヤーを巻き付けて、該ワイ
ヤーの両端をそれぞれ天板テーブルの下部両端に固定さ
れている2つの側板に、それぞれスプリングを介し張力
をかけて固定しておき、該2つの側板は2本の軸棒で連
結し、底板に固定されたサーボモーター固定用軸棒受け
台と、天板テーブルの位置検知センサー固定用軸棒受け
台とに、それぞれ該2本の軸棒が自由にスライドできる
ように貫通された形で左右に移動できるようにしてお
き、該サーボモーター固定用軸棒受け台には前記正逆回
転可能なサーボモーターが内蔵固定され、該天板テーブ
ルの位置検知センサー固定用軸棒受け台には前記天板テ
ーブルの移動位置を検知するための位置検知センサーが
固定されており、該位置検知センサーの位置指標ノブは
前記天板テーブルに連結されていて、別途外部に設けた
位置設定用ポテンショメーターと、前記位置検知センサ
ーの位置信号を受けて移動量に換算表示する移動量換算
表示器と、前記正逆回転可能なサーボモーターを制御す
るサーボ制御装置とを、前記天板テーブルの前記位置検
知センサーとの組み合わせによって、前記天板テーブル
を前記位置設定用ポテンショメーターの操作によって自
由に左右に移動できるようにした電動式の天板テーブル
移動装置を、X方向(左右方向)とY方向(前後方向)
に移動するように直交方向に2段に重ねて配し構成した
ことを特長とする電動式XYテーブル。
1. A wire is wound around a pulley attached to a rotating shaft of a servomotor capable of rotating forward and backward, and both ends of the wire are respectively attached to two side plates fixed to lower ends of a top plate table, respectively. The two side plates are connected by two shaft rods, and a servo motor fixing shaft fixing base fixed to the bottom plate and a position detection sensor fixing shaft of the top plate table are fixed. The two shafts are allowed to move to the left and right in a penetrated form so that they can slide freely, and the servo motor fixing shaft can be rotated forward and reverse. A servomotor is built-in and fixed, and a position detection sensor for detecting the moving position of the top plate table is fixed to a shaft support for fixing the position detection sensor of the top table. The position index knob of the position detection sensor is connected to the top plate table, and a position setting potentiometer separately provided outside, and a movement amount conversion display that receives the position signal of the position detection sensor and converts it into a movement amount and displays the movement amount. And a servo control device that controls the servo motor that can rotate forward and reverse, by combining the position detection sensor of the top table with the top table, the top table can be freely moved left and right by operating the position setting potentiometer. An electric top table moving device that can be moved is moved in X direction (left and right direction) and Y direction (front and rear direction).
A motorized XY table characterized in that the XY table is arranged so as to be arranged in two stages in the orthogonal direction so as to be moved in a vertical direction.
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