JP2000210527A - Mixed gas separated and separating system - Google Patents

Mixed gas separated and separating system

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JP2000210527A
JP2000210527A JP11014009A JP1400999A JP2000210527A JP 2000210527 A JP2000210527 A JP 2000210527A JP 11014009 A JP11014009 A JP 11014009A JP 1400999 A JP1400999 A JP 1400999A JP 2000210527 A JP2000210527 A JP 2000210527A
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JP
Japan
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gas
mixed gas
container
mixed
outlet
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JP11014009A
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Japanese (ja)
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Takeshi Aida
剛 合田
Yoshihiko Hirano
嘉彦 平野
Hiroshi Murase
洋 村瀬
Kazuyuki Suzuki
和之 鈴木
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • Y02CCAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To put a mixed gas apparatus to practical use by realizing a safety disposal of recycling, disposal or the like of sulfur hexafluoride gas by a method wherein a container in which an inlet of a mixed gas and a supply opening of a heavy gas are formed downward, and a container to which a supply opening of the light gas is formed and a continuous porous body filled in the container are provided upward. SOLUTION: A continuous porous body 1 comprises a porous material such as active carbon, spongy body or the like including, for example, those in a gas chromatograph, and is filled inside a container 2. To this container 2, upper and lower both outlet openings 3, 4 are formed, and an inlet 5 is formed downward. Then, a mixed gas is sucked from the inlet 5, and sulfur hexafluoride gas (SF6 gas) being a heavy gas in the mixed gas blows out often from the lower outlet opening 4. Nitrogen gas being a light gas blows out often from the upper outlet opening 3 contrary thereto. That is, a mass difference or the like of both gases is used, and both gases are efficiently separated. Thereby a safety disposal such as recycling, decomposition or the like of the SF6 gas being an artificial gas which is excellent in an electric insulation property can be realized, and a mixed gas apparatus is put to practical use.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、六弗化硫黄ガスと
窒素ガスとの混合ガスを回収するための、分離装置及び
分離システムに関する。
The present invention relates to a separation apparatus and a separation system for recovering a mixed gas of sulfur hexafluoride gas and nitrogen gas.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の電力輸送の長距離化に伴い、電力
系統が益々高電圧化されつつあるにも関らず、送変電機
器の一層の小型化が市場的に常に要請されている。従っ
て機器内部に充填する媒体としては、優れた電気絶縁特
性を有することが絶対条件となり、かかる条件を満たす
ガス媒体として、電気絶縁特性に優れた人工ガスである
六弗化硫黄ガス(以下「SF6 ガス」とする)が一般に用
いられる。
2. Description of the Related Art In recent years, power transmission systems have become longer and longer distances, and the power system has been increasingly increased in voltage. Therefore, it is an absolute condition that the medium to be filled into the device has excellent electric insulation properties. As a gas medium satisfying such conditions, sulfur hexafluoride gas (hereinafter referred to as “SF6”) which is an artificial gas having excellent electric insulation properties is used. Gas)) is generally used.

【0003】しかしながら、SF6 ガスは炭酸ガスに比し
使用する絶対量は少ないものの、温暖化係数が炭酸ガス
の2 万倍以上もあることから、1997年12月の地球温暖化
防止京都会議にて、炭酸ガスとともに排出が規制される
6 種のガスの一つに指定されるに至った。
[0003] However, although SF6 gas uses a smaller amount of carbon dioxide than carbon dioxide gas, it has a global warming coefficient of 20,000 or more times that of carbon dioxide gas. Emissions are regulated together with carbon dioxide
It has been designated as one of the six gases.

【0004】かかる規制に対し開発すべき方向性は種々
考えられる。その一つとして、少しでもSF6 ガスの使用
量を低減する観点から、SF6 ガスに窒素ガスを混ぜた混
合ガス(以下「混合ガス」とする)を絶縁媒体として用
いる技術が開発されている(特願平10-49156等)。
There are various possible directions for developing such regulations. As one of them, from the viewpoint of reducing the amount of SF6 gas used even a little, a technology using a mixed gas of SF6 gas and nitrogen gas (hereinafter referred to as “mixed gas”) as an insulating medium has been developed. No. 10-49156).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ここで、混合ガスを絶
縁媒体として用いる技術では、事故その他の不測の事態
の際に、環境中に放出するSF6 ガスの絶対量が少ない点
は長所である。しかし一方で、物性の全く異なる2 種の
ガスから構成されているため、メンテナンス等の際にガ
ス回収した後、これをリサイクル処分するにも混合状態
のままでは不利不便をきたし、また環境中に廃棄処分し
てしまっては本末転倒でSF6 ガス排出規制の流れに反す
ることとなる。
Here, the technique using the mixed gas as the insulating medium has an advantage that the absolute amount of SF6 gas released into the environment in the event of an accident or other unexpected situation is small. However, on the other hand, since it is composed of two types of gases with completely different physical properties, it is inconvenient for the gas to be recovered during maintenance, etc., even if it is disposed of in a mixed state for recycling. If it is disposed of, it will fall down at the end of the course and will be against the flow of SF6 gas emission regulations.

【0006】そこで本発明は、SF6 ガスと窒素ガスとの
混合ガスの簡易な分離装置を提供するとともに、当該装
置を利用した分離システムをも提供することで、SF6 ガ
スのリサイクル、あるいは廃棄等の安全処分を現実化
し、ひいては混合ガス機器の実適用に供することを目的
とする。
Accordingly, the present invention provides a simple apparatus for separating a mixed gas of SF6 gas and nitrogen gas, and also provides a separation system using the apparatus so as to recycle or discard SF6 gas. The purpose is to realize safe disposal and to use the mixed gas equipment for practical application.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明では、以上の目的
を達成するために、請求項1 の発明として、下方に混合
ガスを引込むためのガス引込口及び混合ガス中のより重
いガスを吹出すためのガス吹出口を形成するとともに上
方には混合ガス中のより軽いガスを吹出すためのガス吹
出口を形成する容器と、前記容器内に充填されてなる連
続多孔質体とを有することを特徴とする混合ガス分離装
置を提供する。かかる構成においては、ガスの質量差及
び径の大きさの差を利用しての混合ガス分離が可能とな
る。
In order to achieve the above object, according to the present invention, as a first aspect of the present invention, a gas inlet port for drawing a mixed gas downward and a heavier gas in the mixed gas are blown. A container forming a gas outlet for discharging the gas and forming a gas outlet for discharging a lighter gas in the mixed gas above, and a continuous porous body filled in the container. The present invention provides a mixed gas separation device characterized by the following. In such a configuration, it is possible to separate the mixed gas by utilizing the difference between the mass and the diameter of the gas.

【0008】また、本発明においては、請求項2 の発明
として、混合ガスを引込むためのガス引込口を形成する
とともに混合ガス中のより重いガスを吹出すためのガス
吹出口及び混合ガス中のより軽いガスを吹出すためのガ
ス吹出口を形成する容器と、前記混合ガス中のより重い
ガスを吹出すためのガス吹出口と前記混合ガス中のより
軽いガスを吹出すためのガス吹出口とが、前記容器内に
て拡散膜で区分されてなることを特徴とする混合ガス分
離装置を提供する。かかる構成においては、ガスの分子
径の大きさの差等を利用しての混合ガス分離が可能とな
る。
Further, in the present invention, as a second aspect of the present invention, a gas inlet for introducing the mixed gas is formed, a gas outlet for blowing out a heavier gas in the mixed gas, and a gas outlet for discharging the mixed gas. A container forming a gas outlet for blowing a lighter gas, a gas outlet for blowing a heavier gas in the mixed gas, and a gas outlet for blowing a lighter gas in the mixed gas Are separated by a diffusion membrane in the container. In such a configuration, it is possible to separate the mixed gas by utilizing the difference between the molecular diameters of the gases.

【0009】また、本発明においては、請求項3 の発明
として、前記容器には容器内の上方部を加熱するための
手段が設置されてなることを特徴とする請求項2 記載の
混合ガス分離装置を提供する。かかる構成においては、
混合ガスに温度勾配を設けることにより効率的な混合ガ
ス分離が可能となる。
Further, in the present invention, according to a third aspect of the present invention, the container is provided with a means for heating an upper portion of the container. Provide equipment. In such a configuration,
Providing a temperature gradient in the mixed gas enables efficient mixed gas separation.

【0010】また、本発明においては、請求項4 の発明
として、内部に回転体を有する容器と、前記容器外部か
ら混合ガスを引込むためのガス引込口、回転軸心近傍に
形成された容器外部へのガス引出口、回転体内周壁近傍
に形成された容器外部へのガス引出口、をそれぞれ形成
してなる回転体と、この回転体を回転せしめる駆動部
と、を有する混合ガス分離装置を提供する。かかる構成
においては、ガスの質量差を利用しての混合ガス分離が
可能となる。
Further, in the present invention, as a fourth aspect of the present invention, there is provided a container having a rotating body therein, a gas inlet for drawing a mixed gas from the outside of the container, and an outside of the container formed near the rotation axis. A mixed gas separation device having a rotating body formed with a gas outlet to the outside and a gas outlet to the outside of the container formed in the vicinity of the peripheral wall of the rotating body, and a drive unit for rotating the rotating body. I do. In such a configuration, it is possible to separate the mixed gas using the difference in the mass of the gas.

【0011】また、本発明においては、請求項5 の発明
として、前記ガス分離装置は複数段に多段連結され、混
合ガスは複数回の分離工程にかけられるとともに、複数
回のフィードバック工程にかけられることを特徴とす
る、請求項1 乃至4 までのいずれか1 に記載の混合ガス
分離システムを提供する。かかる構成においては、単機
当たりの分離効率如何に関らず、実際の濃度条件を満た
し得る高精度の分離が可能となる。
[0011] In the present invention, as the invention of claim 5, the gas separation device is connected in multiple stages in a plurality of stages, and the mixed gas is subjected to a plurality of separation processes and a plurality of feedback processes. A mixed gas separation system according to any one of claims 1 to 4, characterized by: In such a configuration, high-precision separation that can satisfy the actual concentration condition can be performed regardless of the separation efficiency per unit.

【0012】また、本発明においては、請求項6 の発明
として、両端に混合ガスを引込むためのガス引込口及び
ガス吹出口とを備えた複数の中空糸を束ねた中空糸束
と、これを密閉収納するとともに中空糸膜から透過した
ガスを吹出すための吹出口と前記中空糸の両端を構成す
るガス引込口及びガス吹出口とを形成した容器と、を有
することを特徴とするガス分離装置を提供する。かかる
構成においては、中空糸膜による混合ガスの透過率等の
相違を利用しての効率的な混合ガス分離が可能となる。
Further, in the present invention, as a sixth aspect of the present invention, there is provided a hollow fiber bundle comprising a plurality of hollow fibers provided with a gas inlet and a gas outlet at both ends for introducing a mixed gas, and Gas separation characterized by having a container housed in a sealed manner and having an outlet for blowing out gas permeated from the hollow fiber membrane and a gas inlet and a gas outlet forming both ends of the hollow fiber. Provide equipment. In such a configuration, it is possible to efficiently separate the mixed gas by utilizing the difference in the transmittance of the mixed gas between the hollow fiber membranes.

【0013】また、本発明においては、請求項7 の発明
として、混合ガスのSF6 濃度を所定値まで高める混合ガ
ス分離装置と、この装置から出力された高SF6 濃度の混
合ガスを低温あるいは高圧加工することで液化する液化
装置と、を有する混合ガス分離システムを提供する。か
かるシステムにおいては、一旦分離装置でSF6 濃度を濃
縮したガスを液化装置で加工し得るため、コンプレッサ
ー等の設備の小型化及び省エネが可能となる。
In the present invention, a mixed gas separator for increasing the SF6 concentration of the mixed gas to a predetermined value, and a mixed gas having a high SF6 concentration outputted from this device are processed at a low temperature or a high pressure. And a liquefaction device for liquefying the mixed gas. In such a system, the gas once concentrated in the SF6 concentration can be processed in the liquefaction device by the separation device, so that the equipment such as the compressor can be reduced in size and energy can be saved.

【0014】また、本発明においては、請求項8 の発明
として、混合ガスのSF6 濃度を所定値まで高める混合ガ
ス分離装置と、この装置から出力された高SF6 濃度の混
合ガスを低温あるいは高圧加工することで液化する液化
装置と、を有し、前記混合ガス分離装置が、請求項1 乃
至6 までのいずれか1 に記載の分離装置あるいは分離シ
ステムであることを特徴とする混合ガス分離システムを
提供する。かかるシステムにおいても、一旦分離装置で
SF6 濃度を濃縮したガスを液化装置で加工し得るため、
コンプレッサー等の設備の小型化及び省エネが可能とな
る。
In the present invention, a mixed gas separating apparatus for increasing the SF6 concentration of the mixed gas to a predetermined value, and a mixed gas having a high SF6 concentration outputted from this apparatus are processed at a low temperature or a high pressure. And a liquefier that liquefies the mixture gas, wherein the mixed gas separation device is the separation device or the separation system according to any one of claims 1 to 6, provide. Even in such a system, once the separation device
Since the gas enriched in SF6 concentration can be processed by the liquefaction equipment,
Equipment such as a compressor can be reduced in size and energy can be saved.

【0015】また、本発明においては、請求項9 の発明
として、システムから放出される低SF6 濃度の混合ガス
については一酸化カルシウム等との化学反応工程に送る
ことを特徴とする請求項7 あるいは請求項8 記載の混合
ガス分離システムを提供する。かかるシステムにおいて
は、液化装置はもちろん分離装置までもその扱いが困難
である低SF6 濃度の混合ガスの、簡易且つ安全なSF6 処
分が可能となる。
According to the present invention, a mixed gas having a low SF6 concentration discharged from the system is sent to a chemical reaction step with calcium monoxide or the like. A mixed gas separation system according to claim 8 is provided. In such a system, simple and safe SF6 disposal of a mixed gas having a low SF6 concentration, which is difficult to treat not only a liquefier but also a separator, becomes possible.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の第1 の実施の形態
を図1 を参照して説明する。連続多孔質体1は例えばガ
スクロマトグラフをはじめとして活性炭、海綿体その他
のポーラスな材料から成り、容器2 内部に充填され
る。また容器2 には上方吹出口3 及び下方吹出口4 をそ
れぞれ形成するとともに、引込口5 を下方に形成する。
かかる構成からなる装置に、引込口5 から混合ガスを吸
入すると、混合ガス中の、より重いガスであるSF6 ガス
が下方吹出口4 から多く吹出されるのに対し、混合ガス
中のより軽いガスである窒素ガスが上方吹出口3 から多
く吹出される。これは、両ガスに認められる質量、分子
径及び吸着力の差によるものと思われる(窒素ガスとSF
6 ガスの分子量はそれぞれ28と146 であり、分子径はそ
れぞれ4 オングストローム、6 オングストロームであ
る)。従って、本実施形態によれば、両ガスの質量差等
を利用して効率よく分離することが可能となる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The continuous porous body 1 is made of, for example, a gas chromatograph, activated carbon, a spongy body, or another porous material, and is filled in the container 2. An upper outlet 3 and a lower outlet 4 are respectively formed in the container 2, and an inlet 5 is formed below.
When the mixed gas is sucked into the apparatus having such a configuration through the inlet 5, a larger amount of SF6 gas, which is the heavier gas in the mixed gas, is blown out from the lower outlet 4, whereas the lighter gas in the mixed gas is blown out. Is blown out from the upper outlet 3 in large quantities. This is thought to be due to differences in the mass, molecular diameter and adsorption power observed in both gases (nitrogen gas and SF).
The molecular weights of the six gases are 28 and 146, respectively, and the molecular diameters are 4 Å and 6 Å, respectively). Therefore, according to the present embodiment, it is possible to efficiently separate the two gases by utilizing the difference in mass and the like.

【0017】次に、本発明の第2 の実施の形態を図2 を
参照して説明する。ここで、図2 は、拡散膜11に対する
両ガスの透過率等の差を利用した装置を示し、容器12の
一方面に、上方吹出口13及び下方吹出口14をそれぞれ形
成するとともに、他方面に引込口15を形成する。また、
容器12内で、上方吹出口13の属する上方室と、下方吹出
口14の属する下方室との間に拡散膜11を設置する。かか
る拡散膜11を設置することにより、両ガスの分子径の大
きさの相違あるいは膜への浸透率の相違等によって両ガ
スの分離が可能となる。例えば、上方吹出口13と下方吹
出口14との間に微細な網目構造の拡散膜11を設置した場
合、より径の小さい窒素分子は、その径の小ささによっ
て、SF6 ガスとの分離が可能となる。また、拡散膜の素
材としてはセロファン等の半透膜材でも分離効率の向上
が確認されたが、分子径の大小によって、あるいは浸透
率の相違等にとって、混合ガスの透過率に変化をきたす
ものであればいかなるものであっても良い。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 2 shows an apparatus utilizing a difference in the transmittance of both gases to the diffusion film 11 and the like, in which an upper outlet 13 and a lower outlet 14 are respectively formed on one surface of a container 12 and the other surface. An inlet 15 is formed at the bottom. Also,
In the container 12, the diffusion film 11 is provided between the upper chamber to which the upper outlet 13 belongs and the lower chamber to which the lower outlet 14 belongs. By providing such a diffusion membrane 11, separation of the two gases becomes possible due to a difference in the molecular diameter of the two gases or a difference in the permeability into the membrane. For example, when a diffusion film 11 having a fine network structure is installed between the upper outlet 13 and the lower outlet 14, nitrogen molecules having a smaller diameter can be separated from SF6 gas by the small diameter. Becomes Also, as a material for the diffusion membrane, improvement of the separation efficiency was confirmed with a semipermeable membrane material such as cellophane, but the permeability of the mixed gas changes depending on the molecular diameter or the difference in the permeability. Any object may be used.

【0018】また、容器12内には、更に上方室にヒータ
ー16等の加熱手段を設置しても良い。かかるヒーター16
等を設置した場合、容器12内の上方と下方とで温度勾配
が出来るため、より軽いガスである窒素ガスがより効率
的に上方室へ拡散し、上方吹出口13への分離効率が一層
向上する。
Further, in the container 12, a heating means such as a heater 16 may be provided in the upper chamber. Such heater 16
In the case of installation, etc., a temperature gradient can be created between the upper part and the lower part in the container 12, so that the lighter nitrogen gas diffuses more efficiently into the upper chamber, and the separation efficiency to the upper outlet 13 is further improved I do.

【0019】次に、本発明の第3 の実施の形態を図3 を
参照して説明する。ここで、図3 は、両ガスの質量差を
利用した遠心分離装置を示し、円筒状の容器22内に、モ
ーター及びベルト伝導機構等から成る駆動部26、及びこ
れにより回転運動がなされる円筒状の回転体21が設置さ
れている。この回転体21内には、外部から混合ガスを供
給する引込口25と、回転軸心近傍から外部へ連通する窒
素引出口23と、円筒内周壁近傍から外部へ連通するSF6
引出口24とが設置されている。もっとも、回転軸近傍は
低圧状態となっているため、窒素引出口23には図示せぬ
真空ポンプが取り付けられている。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 3 shows a centrifugal separator utilizing the mass difference between the two gases, and a driving unit 26 including a motor and a belt transmission mechanism and the like, and a cylinder which is rotated by the rotation in a cylindrical container 22. A rotating body 21 is provided. Inside the rotating body 21, an inlet 25 for supplying a mixed gas from the outside, a nitrogen outlet 23 communicating from the vicinity of the rotation axis to the outside, and an SF6 communicating from the vicinity of the cylindrical inner peripheral wall to the outside.
An outlet 24 is provided. However, since the vicinity of the rotating shaft is in a low pressure state, a vacuum pump (not shown) is attached to the nitrogen outlet 23.

【0020】かかる構成を有する遠心分離装置の引込口
25に混合ガスを供給すると、高速で回転している回転体
21内にて、強力な遠心力による重力場の影響を受け、よ
り重いガスであるSF6 ガスが円筒内周壁近傍に、より軽
いガスである窒素ガスが軸心近傍の真空に近い部分に、
それぞれ効率よく分離される。従ってこれらのガスを円
筒内周壁近傍から、あるいは軸心近傍からそれぞれ引出
すことで、かなり分離されたSF6 ガス、窒素ガスをそれ
ぞれ得ることが出来る。なお、本実施形態の分離装置に
よれば、回転体21の回転速度の調整次第で相当強力な重
力場を作ることが出来るため、分離係数が気体拡散法等
に比しても大きい。故に分離工程に要する電力消費量が
少ないことが特徴である。
The inlet of the centrifugal separator having the above configuration
When the mixed gas is supplied to 25, the rotating body rotating at high speed
In the area 21, under the influence of the gravitational field due to the strong centrifugal force, the heavier gas SF6 gas is located near the inner peripheral wall of the cylinder, and the lighter nitrogen gas is located near the axis near the vacuum.
Each is efficiently separated. Therefore, by extracting these gases from the vicinity of the inner peripheral wall of the cylinder or from the vicinity of the axis, respectively, it is possible to obtain SF6 gas and nitrogen gas which are considerably separated from each other. According to the separation device of the present embodiment, since a considerably strong gravitational field can be created depending on the adjustment of the rotation speed of the rotating body 21, the separation coefficient is larger than that of the gas diffusion method or the like. Therefore, the power consumption required for the separation step is small.

【0021】次に本発明の第4 の実施形態を図4 を参照
して説明する。すなわち、第1 から第3 までの実施形態
は、いずれもSF6 ガスと窒素ガスとの明瞭な質量差等を
利用して、効率的に混合ガスの分離を可能とするもので
あるが、それぞれ単機のみでは完全な分離作業は不可能
である。そこで、図4 に示すように、これらの単機を複
数台多段連結してプラント(カスケード)を形成し、ガ
スを何度も分離工程あるいはフィードバック工程にかけ
てゆくことで、単機当たりの分離効率如何に関らず、実
際の濃度条件を満たし得る高精度の分離が可能となる。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In other words, all of the first to third embodiments make it possible to efficiently separate a mixed gas by utilizing a clear mass difference between SF6 gas and nitrogen gas. A complete separation operation is not possible only by itself. Therefore, as shown in Fig. 4, a plurality of these single units are connected in multiple stages to form a plant (cascade), and the gas is subjected to the separation process or the feedback process many times, thereby affecting the separation efficiency per single unit. Therefore, high-precision separation that can satisfy the actual concentration condition can be performed.

【0022】次に、本発明の第5 の実施の形態を図5 を
参照して説明する。ここで、図5 は、中空糸膜材を用い
た場合の混合ガスの透過率の相違を利用してガス分離を
行う装置を示しており、円筒状の容器32内に中空糸を束
ねた中空糸束31を密閉配置し、この中空糸束31の両端に
は容器32外から混合ガスを引込む引込口35と、SF6 ガス
を容器32外へ吹出す吹出口34とを形成するとともに、容
器32には窒素ガスを吹出す窒素吹出口33を形成したもの
を示している。
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 5 shows an apparatus for performing gas separation by utilizing a difference in the permeability of a mixed gas when a hollow fiber membrane material is used, and a hollow fiber bundled with hollow fibers in a cylindrical container 32. A yarn bundle 31 is hermetically arranged, and at both ends of the hollow fiber bundle 31, a suction port 35 for drawing a mixed gas from outside the container 32 and an outlet 34 for blowing SF6 gas out of the container 32 are formed. FIG. 1 shows a structure in which a nitrogen outlet 33 for blowing nitrogen gas is formed.

【0023】ここで、分離効率を高めるべく中空糸束31
はなるべく距離をかせぎつつもコンパクトに配置するこ
とが望ましいが、これを無秩序に配置した場合は後の保
守点検が不可能となってしまう。そこで、中空糸束31は
きちんとまとめるように配置するべく、本実施形態では
図に示すように螺旋形状の配置を採用した。
Here, in order to increase the separation efficiency, the hollow fiber bundle 31
Although it is desirable to arrange the devices compactly while keeping the distance as much as possible, if they are arranged randomly, it will be impossible to perform later maintenance and inspection. Therefore, in order to arrange the hollow fiber bundles 31 neatly, in this embodiment, a spiral arrangement is adopted as shown in the figure.

【0024】また、この中空糸束31を拡大した状態を図
6 に示す。ここで、単位当たりの中空糸36内部では、混
合ガスが高圧で吹き込まれ、糸皮の表面から窒素ガスを
吹出し続ける。また、分離効率を高めるためには単位中
空糸が多ければ多いほど良い。また、止め具37は、中空
糸束31の保守点検の便宜のために用いる。
FIG. 3 is an enlarged view of the hollow fiber bundle 31.
Figure 6 shows. Here, inside the hollow fiber 36 per unit, the mixed gas is blown in at a high pressure, and nitrogen gas is continuously blown out from the surface of the skin. In order to increase the separation efficiency, the more unit hollow fibers, the better. The stopper 37 is used for the maintenance and inspection of the hollow fiber bundle 31.

【0025】また、図7 は、中空糸36の糸皮38における
窒素ガス39の透過メカニズムを現した概念図である。こ
こで、(a) は、表皮38に形成された、SF6 ガス40の分子
径よりも小さい微小孔を、分子径のより小さい窒素ガス
39のみが透過する状態を示し、(b) は、糸皮38への窒素
ガス39の溶け込み易さを利用した透過状態を示したもの
である。なお、かかる透過原理は前述した第2 実施形態
の拡散膜11のものと同様である。
FIG. 7 is a conceptual diagram showing the mechanism of permeation of nitrogen gas 39 through the thread 38 of the hollow fiber 36. Here, (a) shows micropores formed in the epidermis 38 that are smaller than the molecular diameter of SF6 gas 40,
FIG. 3B shows a state where only nitrogen 39 permeates, and FIG. 4B shows a state where nitrogen gas 39 easily dissolves into the thread 38. The transmission principle is the same as that of the diffusion film 11 of the second embodiment described above.

【0026】本実施形態では、中空糸の最適設計、本数
及び全体の長さ調整により、第4 実施形態に示すような
カスケードを構成せずとも単機あたりの分離効率を向上
せしめることが可能となる。
In the present embodiment, the optimum design of the hollow fibers, the number of the hollow fibers, and the adjustment of the overall length make it possible to improve the separation efficiency per unit without forming a cascade as shown in the fourth embodiment. .

【0027】なお、以上第1 から第5 までの実施形態
は、いずれもSF6 ガスと窒素ガスとの特性の相違に着目
した分離技術であるが、任意のガスから成る混合ガスに
ついて、その分離対象ガスの特性相違に類似の関係があ
れば本発明を適用可能なことは言うまでもない次に、本
発明の更に他の実施形態を説明する。混合ガスを分離す
る技術については、両ガスの凝縮点の相違に着目し、混
合ガスを冷却かつ( あるいは) 加圧することで、凝縮点
のより高いSF6 ガスのみを液化して除去するものが従来
から提案されている。しかし、ここで問題となるのは、
図8 に示すように、SF6 の液化に要する圧力が、混合ガ
ス中のSF6 ガス濃度にほぼ反比例する形で必要となるこ
とである。すなわち、SF6 ガス濃度が低い混合ガスを分
離するためには、コンプレッサーの出力が過大となるた
め、設備が大型化するとともに膨大なエネルギーを費や
すこととなる。
The above first to fifth embodiments are all separation techniques focusing on the difference in characteristics between SF6 gas and nitrogen gas. Needless to say, the present invention can be applied if there is a similar relationship between the gas characteristic differences. Next, still another embodiment of the present invention will be described. With regard to technology for separating mixed gases, focusing on the difference between the condensation points of the two gases, cooling and / or pressurization of the mixed gas removes only the SF6 gas with a higher condensation point by liquefaction and removal. Has been proposed. But the problem here is that
As shown in FIG. 8, the pressure required for liquefaction of SF6 is required in a form that is almost inversely proportional to the concentration of SF6 gas in the mixed gas. That is, in order to separate the mixed gas having a low SF6 gas concentration, the output of the compressor becomes excessive, so that the equipment becomes large and enormous energy is consumed.

【0028】そこで、かかる液化による分離技術を効率
的に実用化するにあたって、第1 から第5 までの実施形
態による分離装置等を融合せしめるシステムを図9 に示
す。すなわち、絶縁機器41から回収した混合ガスを、水
分及び分解ガスを除去するための吸着槽42、及び炭素粉
末等の粉塵を除去するためのフィルター43を通過させる
ことによりクリーンなものとする。ここで、吸着槽42及
びフィルター43は粉塵等の性質次第でフィルター43を先
に配置しても良いし、あるいは多段に配置しても良い。
その後、混合ガスは分離装置44に入力され、ここでSF6
濃度が所定値まで上げられる( 当該所定値は後述する液
化装置45の出力規模により異なった値となる) 。その
後、濃縮された混合ガスは、冷凍機46あるいは図示せぬ
液体窒素ボンベを併設した液化装置45に入力され、ここ
で冷却加圧加工がなされることにより、SF6 のみが液化
される。ここで、液化されたSF6 はSF6 タンク47に充填
されることによりその後の再利用の工程がなされる。一
方、液化装置45にて残さとして残留したガスは、大部分
が窒素であるが、微量にSF6 蒸気が残っている。このSF
6 蒸気を除去すべく再び分離装置44にガスを送り込むフ
ィードバック工程に戻せば良い。また、このSF6 濃度は
微量であるため( 通常は飽和蒸気圧との関係で定まって
くる) 、このフィードバックが却ってコスト高になる場
合は、混合ガスは化学処理装置48に送られる。ここで
は、一酸化カルシウム(CaO) 等との化学反応がなされ、
微量のSF6 は固体である弗化カルシウム(CaF2)等に分解
される。具体的な反応温度は、特定の触媒を用いた場合
は300 ℃でも反応が確認されたが、触媒を用いずとも50
0 ℃の高温雰囲気下で反応の促進が確認された。さて、
化学処理装置48を出たガスはもはや純粋な窒素ガスとし
て環境中に放出される。
FIG. 9 shows a system in which the separation apparatuses and the like according to the first to fifth embodiments are combined in order to efficiently use such a liquefaction separation technique. That is, the mixed gas recovered from the insulating device 41 is made clean by passing it through an adsorption tank 42 for removing moisture and decomposition gas and a filter 43 for removing dust such as carbon powder. In this case, the adsorption tank 42 and the filter 43 may be arranged first, or may be arranged in multiple stages, depending on the properties of dust and the like.
Thereafter, the mixed gas is input to the separator 44, where the SF6
The concentration is increased to a predetermined value (the predetermined value varies depending on the output scale of the liquefaction device 45 described later). After that, the concentrated mixed gas is input to a refrigerator 46 or a liquefaction device 45 provided with a liquid nitrogen cylinder (not shown), and is cooled and pressurized here to liquefy only SF6. Here, the liquefied SF6 is filled in the SF6 tank 47 to perform a subsequent reuse process. On the other hand, most of the gas remaining as residue in the liquefaction apparatus 45 is nitrogen, but a trace amount of SF6 vapor remains. This SF
6 It is sufficient to return to the feedback step of sending gas to the separation device 44 again to remove the vapor. Further, since the SF6 concentration is very small (usually determined in relation to the saturated vapor pressure), if this feedback increases the cost instead, the mixed gas is sent to the chemical treatment device 48. Here, a chemical reaction with calcium monoxide (CaO) etc. is made,
A trace amount of SF6 is decomposed into solid calcium fluoride (CaF2) and the like. Although the reaction was confirmed at a specific reaction temperature of 300 ° C when a specific catalyst was used, 50
It was confirmed that the reaction was promoted in a high-temperature atmosphere at 0 ° C. Now,
The gas leaving the chemical treatment unit 48 is no longer released into the environment as pure nitrogen gas.

【0029】ここで、分離装置44として第1 から第5 ま
での実施形態に述べた分離装置( 多段構成した第4 実施
形態については分離システム) を用いれば、混合ガスに
対してある程度のSF6 濃縮が可能となるため、その後液
化装置45に送った混合ガスの液化工程が前述したように
容易となる。すなわち、コンプレッサー等を含めたシス
テムの小型化及び、分離に際しての省エネ化が可能とな
る。
Here, if the separation apparatus described in the first to fifth embodiments (separation system in the multi-staged fourth embodiment) is used as the separation apparatus 44, a certain amount of SF6 enrichment can be performed on the mixed gas. Therefore, the liquefaction step of the mixed gas sent to the liquefaction apparatus 45 after that becomes easy as described above. That is, it is possible to reduce the size of the system including the compressor and the like, and to save energy at the time of separation.

【0030】また、SF6 が低濃度の混合ガスについて
は、液化装置45はもちろん分離装置44を用いても分離が
困難であった( カスケードを構成しても大規模プラント
となってしまう) 。ここで、かかる混合ガスを効率的に
除去するべく、化学処理装置48による固化処分をシステ
ムに適宜組込むことで、本システム全体が環境に対して
より一層安全なものとなる。従って分離装置44から窒素
ガスを放出する工程に化学処理装置48を組込んでも良
い。
Further, it was difficult to separate a mixed gas having a low concentration of SF6 using not only the liquefaction unit 45 but also the separation unit 44 (even if a cascade is formed, the plant becomes a large-scale plant). Here, in order to efficiently remove such a mixed gas, the solidification disposal by the chemical treatment device 48 is appropriately incorporated into the system, so that the entire system becomes more environmentally safe. Therefore, the chemical treatment device 48 may be incorporated in the step of releasing nitrogen gas from the separation device 44.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上本発明の分離装置においては、SF6
ガスと窒素ガスとの質量差等の特性相違を利用して、効
率よく両ガスから成る混合ガスの分離を行うことが可能
となるとともに、当該装置と組み合せて一定値まで濃縮
した混合ガスを効率的に液化し得る分離システムをも提
案できるため、SF6 ガスのリサイクル、あるいは分解等
の安全処分をも現実化し、ひいては混合ガス機器の実適
用が可能となる。
As described above, in the separation apparatus of the present invention, SF6
By utilizing the characteristic difference such as the mass difference between the gas and the nitrogen gas, it is possible to efficiently separate the mixed gas composed of both gases, and to reduce the mixed gas concentrated to a certain value in combination with the apparatus. Since it is possible to propose a separation system that can be liquefied, it is also possible to realize safe disposal such as recycling or decomposition of SF6 gas.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】質量差等を利用した、本発明の第1 の実施形態
の混合ガス分離装置を示す図。
FIG. 1 is a view showing a mixed gas separation device according to a first embodiment of the present invention utilizing a mass difference or the like.

【図2】平均速度差等を利用した、本発明の第2 の実施
形態の混合ガス分離装置を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing a mixed gas separation device according to a second embodiment of the present invention using an average speed difference and the like.

【図3】質量差を利用した、本発明の第3 の実施形態の
混合ガス分離装置を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a mixed gas separation device according to a third embodiment of the present invention using a mass difference.

【図4】混合ガス分離装置を多段構成した、本発明の第
4 の実施形態を示す状態図。
FIG. 4 shows a multi-stage mixed gas separation apparatus according to the present invention.
FIG. 9 is a state diagram showing the fourth embodiment.

【図5】中空糸膜材に対する混合ガスの透過率の差を利
用した、本発明の第5 の実施形態の混合ガス分離装置を
示す図。
FIG. 5 is a view showing a mixed gas separation device according to a fifth embodiment of the present invention, utilizing a difference in the transmittance of a mixed gas to a hollow fiber membrane material.

【図6】中空糸を束ねた中空糸束の拡大図。FIG. 6 is an enlarged view of a hollow fiber bundle in which hollow fibers are bundled.

【図7】中空糸の糸皮における窒素ガスの透過メカニズ
ムを現した概念図。
FIG. 7 is a conceptual diagram showing a mechanism of nitrogen gas permeation through the hollow fiber thread.

【図8】等温時における窒素とSF6 とから成る混合ガス
の、液化に要する混合比と液化圧力との相関関係を示す
図。
FIG. 8 is a diagram showing a correlation between a mixing ratio required for liquefaction and a liquefaction pressure of a mixed gas composed of nitrogen and SF6 at an isothermal time.

【図9】本発明の液化による分離システムを示す概念
図。
FIG. 9 is a conceptual diagram showing a liquefaction separation system of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ・・・ 連続多孔質体、11・・・ 拡散膜、21・・・ 回転体、31
・・・ ガス分離部、2 、12、22、32・・・ 容器、3 、13、2
3、33・・・ 窒素引出口、4 、14、24、34・・・ SF6引出口、
5 、15、25、35・・・ 引込口、44・・・ 分離装置、45・・・ 液
化装置、48・・・化学処理装置。
1 ... continuous porous body, 11 ... diffusion film, 21 ... rotating body, 31
・ ・ ・ Gas separation unit, 2, 12, 22, 32 ・ ・ ・ Container, 3, 13, 2
3, 33 ・ ・ ・ Nitrogen outlet, 4, 14, 24, 34 ・ ・ ・ SF6 outlet
5, 15, 25, 35 ... Inlet, 44 ... Separation device, 45 ... Liquefaction device, 48 ... Chemical treatment device.

フロントページの続き (72)発明者 村瀬 洋 神奈川県川崎市川崎区浮島町2番1号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 鈴木 和之 東京都港区芝浦一丁目1番1号 株式会社 東芝本社事務所内 Fターム(参考) 4D002 AA01 AA22 AC10 BA04 BA14 CA07 DA05 DA11 EA01 FA02 GA02 GA03 GB02 GB03 GB04 4D006 GA41 GA48 HA08 HA18 HA41 KA53 KA55 KA56 MA01 MA03 MC14X PA04 PB19 PB63 PB70 4D047 AA07 BA02 BB03 BB09 CA06 CA09 DA01 Continued on the front page (72) Inventor Hiroshi Murase 2-1 Ukishima-cho, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Toshiba Hamakawasaki Plant (72) Inventor Kazuyuki Suzuki 1-1-1, Shibaura, Minato-ku, Tokyo Stock Company Toshiba head office F-term (reference) 4D002 AA01 AA22 AC10 BA04 BA14 CA07 DA05 DA11 EA01 FA02 GA02 GA03 GB02 GB03 GB04 4D006 GA41 GA48 HA08 HA18 HA41 KA53 KA55 KA56 MA01 MA03 MC14X PA04 PB19 PB63 PB70 4D047 A0309

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】下方に混合ガスを引込むためのガス引込口
及び混合ガス中のより重いガスを吹出すためのガス吹出
口を形成するとともに上方には混合ガス中のより軽いガ
スを吹出すためのガス吹出口を形成する容器と、前記容
器内に充填されてなる連続多孔質体とを有することを特
徴とする混合ガス分離装置。
1. A gas inlet for drawing a mixed gas downward and a gas outlet for blowing a heavier gas in the mixed gas are formed, and a lighter gas in the mixed gas is blown upward. A mixed gas separation device, comprising: a container forming the gas outlet of (1); and a continuous porous body filled in the container.
【請求項2】 混合ガスを引込むためのガス引込口を形
成するとともに混合ガス中のより重いガスを吹出すため
のガス吹出口及び混合ガス中のより軽いガスを吹出すた
めのガス吹出口を形成する容器と、前記混合ガス中のよ
り重いガスを吹出すためのガス吹出口と前記混合ガス中
のより軽いガスを吹出すためのガス吹出口とが、前記容
器内にて拡散膜で区分されてなることを特徴とする混合
ガス分離装置。
2. A gas inlet for drawing a mixed gas and a gas outlet for blowing a heavier gas in the mixed gas and a gas outlet for blowing a lighter gas in the mixed gas. A container to be formed, a gas outlet for blowing out a heavier gas in the mixed gas, and a gas outlet for blowing out a lighter gas in the mixed gas are separated by a diffusion film in the container. A mixed gas separation device, comprising:
【請求項3】前記容器には容器内の上方部を加熱するた
めの手段が設置されてなることを特徴とする請求項2 記
載の混合ガス分離装置。
3. The mixed gas separation apparatus according to claim 2, wherein said container is provided with means for heating an upper portion of said container.
【請求項4】内部に回転体を有する容器と、前記容器外
部から混合ガスを引込むためのガス引込口、回転軸心近
傍に形成された容器外部へのガス引出口、回転体内周壁
近傍に形成された容器外部へのガス引出口、をそれぞれ
形成してなる回転体と、この回転体を回転せしめる駆動
部と、を有する混合ガス分離装置。
4. A container having a rotating body therein, a gas inlet for drawing a mixed gas from outside the container, a gas outlet formed outside the container near the axis of rotation, and formed near a peripheral wall of the rotating body. A mixed gas separation device, comprising: a rotating body formed with a gas outlet to the outside of the container, and a driving unit for rotating the rotating body.
【請求項5】前記ガス分離装置は複数段に多段連結さ
れ、混合ガスは複数回の分離工程にかけられるととも
に、複数回のフィードバック工程にかけられることを特
徴とする、請求項1 乃至4 までのいずれか1 に記載の混
合ガス分離システム。
5. The gas separation apparatus according to claim 1, wherein the gas separation device is connected in a plurality of stages, and the mixed gas is subjected to a plurality of separation steps and a plurality of feedback steps. 2. The mixed gas separation system according to item 1.
【請求項6】両端に混合ガスを引込むためのガス引込口
及びガス吹出口とを備えた複数の中空糸を束ねた中空糸
束と、これを密閉収納するとともに中空糸膜から透過し
たガスを吹出すための吹出口と前記中空糸の両端を構成
するガス引込口及びガス吹出口とを形成した容器と、を
有することを特徴とするガス分離装置。
6. A hollow fiber bundle comprising a plurality of hollow fibers bundled with a gas inlet and a gas outlet for drawing a mixed gas at both ends, and a hollow fiber bundle which is hermetically stored and which is capable of transmitting gas permeated from the hollow fiber membrane. A gas separation device comprising: a container having an air outlet for blowing out and a gas inlet and a gas outlet forming both ends of the hollow fiber.
【請求項7】混合ガスのSF6 濃度を所定値まで高める混
合ガス分離装置と、この装置から出力された高SF6 濃度
の混合ガスを低温あるいは高圧加工することで液化する
液化装置と、を有する混合ガス分離システム。
7. A mixing device comprising: a mixed gas separator for increasing the SF6 concentration of the mixed gas to a predetermined value; and a liquefaction device for liquefying the mixed gas having a high SF6 concentration output from the device by low-temperature or high-pressure processing. Gas separation system.
【請求項8】混合ガスのSF6 濃度を所定値まで高める混
合ガス分離装置と、この装置から出力された高SF6 濃度
の混合ガスを冷却あるいは加圧加工することで液化する
液化装置と、を有し、前記混合ガス分離装置が、請求項
1 乃至6 までのいずれか1 に記載の分離装置あるいは分
離システムであることを特徴とする混合ガス分離システ
ム。
8. A mixed gas separation device for increasing the SF6 concentration of the mixed gas to a predetermined value, and a liquefaction device for liquefying the mixed gas having a high SF6 concentration output from the device by cooling or pressurizing the mixed gas. And the mixed gas separation device,
7. A mixed gas separation system, which is the separation device or the separation system according to any one of 1 to 6.
【請求項9】システムから放出される低SF6 濃度の混合
ガスについては一酸化カルシウム等との化学反応工程に
送ることを特徴とする請求項7 あるいは請求項8 記載の
混合ガス分離システム。
9. The mixed gas separation system according to claim 7, wherein the mixed gas having a low SF6 concentration discharged from the system is sent to a chemical reaction step with calcium monoxide or the like.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007319811A (en) * 2006-06-02 2007-12-13 Hitachi Ltd Perfluorocarbon gas enriching method
JP2008086985A (en) * 2006-09-29 2008-04-17 Samsung Electronics Co Ltd Plasma process equipment and method for processing substrate by using the same
KR20170022880A (en) 2015-08-19 2017-03-02 가부시기가이샤 디스코 Method of recovering plasma etching gas

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