JP2000205952A - Sensitivity correcting method of spectroscope and device using this - Google Patents
Sensitivity correcting method of spectroscope and device using thisInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、アレイ素子を用い
た分光装置の感度補正方法に関し、特に高精度で短時間
に感度補正を行うことが可能な感度補正方法及びこれを
用いた装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensitivity correction method for a spectral device using an array element, and more particularly to a sensitivity correction method capable of performing sensitivity correction with high accuracy in a short time and an apparatus using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】アレイ素子を用いた分光装置の従来の感
度補正方法としてはアレイ素子自体の感度と、分光装置
自体の波長依存性等を独立して評価して補正係数を求め
る方法や、アレイ素子を分光装置に組み込んだ後に可変
波長レーザ等の単色光のスペクトルを掃引してアレイ素
子の個々の素子の感度を補正する方法があった。2. Description of the Related Art A conventional sensitivity correction method for a spectrometer using an array element includes a method of independently evaluating the sensitivity of the array element itself and the wavelength dependence of the spectrometer itself to obtain a correction coefficient, There has been a method of correcting the sensitivity of each element of an array element by sweeping the spectrum of monochromatic light such as a tunable laser after the element is incorporated in a spectroscopic device.
【０００３】図１１はこのようなアレイ素子自体の感度
を測定する従来の感度測定装置の一例を示す構成ブロッ
ク図である。図１１において１はレーザ光源等の光源、
２は光ファイバ、３はアレイ素子、４は移動ステージ、
５は制御回路、６は演算回路である。FIG. 11 is a configuration block diagram showing an example of a conventional sensitivity measuring device for measuring the sensitivity of such an array element itself. In FIG. 11, 1 is a light source such as a laser light source,
2 is an optical fiber, 3 is an array element, 4 is a moving stage,
5 is a control circuit, and 6 is an arithmetic circuit.
【０００４】光源１の出力光は光ファイバ２を介してア
レイ素子３に照射され、アレイ素子３の出力は移動ステ
ージ４に接続され、移動ステージ４からの出力は制御回
路５に接続される。また、制御回路５からの制御信号が
移動ステージ４に接続される。そして、制御回路５から
のデータや制御信号は演算回路６に接続される。The output light of the light source 1 irradiates the array element 3 via the optical fiber 2, the output of the array element 3 is connected to the moving stage 4, and the output from the moving stage 4 is connected to the control circuit 5. Further, a control signal from the control circuit 5 is connected to the moving stage 4. Then, data and control signals from the control circuit 5 are connected to the arithmetic circuit 6.
【０００５】ここで、図１１に示す従来例の動作を説明
する。光源１からの出力光は光ファイバ２を伝播してア
レイ素子３の特定の素子に照射される。この特定の素子
の出力は移動ステージ４により選択されて制御回路５に
出力される。一方、制御回路５は移動ステージ４を制御
して出力光が照射される素子を順次選択してアレイ素子
３の全ての素子の出力を収集する。そして、制御回路５
は収集したデータを演算回路６で処理させることにより
アレイ素子３自体の感度を得ることができる。Here, the operation of the conventional example shown in FIG. 11 will be described. Output light from the light source 1 propagates through the optical fiber 2 and irradiates a specific element of the array element 3. The output of this specific element is selected by the moving stage 4 and output to the control circuit 5. On the other hand, the control circuit 5 controls the moving stage 4 to sequentially select the elements to be irradiated with the output light, and collects the outputs of all the elements of the array element 3. And the control circuit 5
The sensitivity of the array element 3 itself can be obtained by causing the arithmetic circuit 6 to process the collected data.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、図１１に示す
ような従来例ではアレイ素子等の個別の測定自体の誤差
が大きくなり易く分光装置全体としての補正になり得な
い場合があった。また、図１１に示す装置は大掛かりで
あり測定時間も長くなってしまうと言った問題点があっ
た。さらに、相対パワー差（測定感度の波長域での平坦
度）の特性に関しては改善されないと言った問題点があ
った。However, in the conventional example as shown in FIG. 11, there is a case where an error of individual measurement itself of an array element or the like is apt to be large and cannot be corrected as the whole spectroscopic device. Further, there is a problem that the apparatus shown in FIG. 11 is large and the measurement time is long. Further, there is a problem that the characteristics of the relative power difference (flatness in the wavelength range of the measurement sensitivity) are not improved.
【０００７】また、アレイ素子を分光装置に組み込んだ
後に可変波長レーザ等の単色光のスペクトルを掃引して
アレイ素子の個々の素子の感度を補正する方法では、個
々の素子のデータを独立して求めることが困難であり、
処理時間もかかってしまうと言った問題点があった。従
って本発明が解決しようとする課題は、高精度で短時間
に感度補正を行うことが可能な感度補正方法及びこれを
用いた装置を実現することにある。Further, in a method of correcting the sensitivity of each element of the array element by sweeping the spectrum of monochromatic light such as a tunable laser after the array element is incorporated in a spectroscopic device, the data of each element is independently obtained. Is difficult to find,
There was a problem that it took time to process. Accordingly, an object of the present invention is to realize a sensitivity correction method capable of performing sensitivity correction with high accuracy in a short time and an apparatus using the same.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、アレイ
素子を用いた分光装置の感度補正方法において、白色光
源の光源測定データを測定しておき、前記分光装置に設
定されている感度データ及び測定した前記光源測定デー
タを取り込み、取り込んだ前記光源測定データをスムー
ジングし、スムージングされた前記光源測定データに基
づき前記感度データを補正して新しい感度データを計算
し、この新しい感度データを前記分光装置に書き込むこ
とにより、局所的な感度のバラツキを低減させることが
可能になる。In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a method for correcting a sensitivity of a spectrometer using an array element, comprising the steps of: Is measured, and the sensitivity data set in the spectrometer and the measured light source measurement data are captured, the captured light source measurement data is smoothed, and the sensitivity data is corrected based on the smoothed light source measurement data. Then, by calculating new sensitivity data and writing the new sensitivity data to the spectroscopic device, local sensitivity variations can be reduced.
【０００９】請求項２記載の発明は、アレイ素子を用い
た分光装置の感度補正方法において、相対パワー誤差及
び波長を測定しておき、前記分光装置に設定されている
感度データ及びアレイ素子の個々の素子に割り付けられ
た割付波長を取り込み、測定した前記相対パワー誤差を
移動平均し、前記割付波長に移動平均処理された相対パ
ワー誤差を内挿近似し、内挿近似された値に基づき前記
感度データを補正して新たな感度データ求め、求められ
た新たな感度データを正規化し、正規化された新たな感
度データを前記分光装置に書き込むことにより、相対パ
ワー誤差を低減することが可能になる。According to a second aspect of the present invention, in the method of correcting sensitivity of a spectroscopic device using an array element, a relative power error and a wavelength are measured beforehand, and the sensitivity data set in the spectroscopic device and each of the array elements are individually measured. The allocated wavelength allocated to the element is taken in, the measured relative power error is moving averaged, the relative power error subjected to the moving average processing to the allocated wavelength is interpolated and approximated, and the sensitivity is determined based on the interpolated value. Correcting the data to obtain new sensitivity data, normalizing the obtained new sensitivity data, and writing the new normalized sensitivity data to the spectroscopic device can reduce the relative power error. .
【００１０】請求項３記載の発明は、アレイ素子を用い
た分光装置の感度補正方法において、感度補正済みの基
準器である第１の分光装置で白色光源の光源測定及び波
長を測定しておき、前記第１の分光装置の測定した光源
測定データ及び波長を取り込み、被校正器である第２の
分光装置で白色光源の光源測定データを測定しておき、
前記第２の分光装置に設定されている感度データ及び測
定した光源測定データを取り込み、測定した前記波長に
第１の分光装置の光源測定データを内挿近似し、内挿近
似された値に基づき前記第２の分光装置の前記感度デー
タを補正して新たな感度データを求め、求められた新た
な感度データを正規化し、正規化された新たな感度デー
タを前記第２の分光装置に書き込むことにより、被校正
器である第２の分光装置の感度補正を容易に行うことが
可能である。According to a third aspect of the present invention, in the method for correcting the sensitivity of a spectrometer using an array element, the light source measurement and the wavelength of a white light source are measured by a first spectrometer which is a reference device whose sensitivity has been corrected. Taking in the light source measurement data and the wavelength measured by the first spectrometer, and measuring the light source measurement data of the white light source in the second spectrometer, which is the device to be calibrated,
The sensitivity data set in the second spectrometer and the measured light source measurement data are taken in, the light source measurement data of the first spectrometer is interpolated to the measured wavelength, and based on the interpolated value. Correcting the sensitivity data of the second spectral device to obtain new sensitivity data, normalizing the obtained new sensitivity data, and writing the normalized new sensitivity data to the second spectral device; Accordingly, it is possible to easily perform sensitivity correction of the second spectroscopic device that is the device to be calibrated.
【００１１】請求項４記載の発明は、アレイ素子を用い
た分光装置の感度補正方法を用いた装置において、白色
光源と、この白色光源の出力光が入射される分光装置
と、前記分光装置を制御して前記白色光源の光源測定デ
ータを測定し、前記分光装置に設定されている感度デー
タ及び測定した前記光源測定データを取り込み、取り込
んだ前記光源測定データをスムージングし、スムージン
グされた前記光源測定データに基づき前記感度データを
補正して新しい感度データを計算し、この新しい感度デ
ータを前記分光装置に書き込む制御装置とを備えたこと
により、局所的な感度のバラツキを低減させることが可
能になる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an apparatus using a sensitivity correction method for a spectral device using an array element, comprising: a white light source; a spectral device to which the output light of the white light source is incident; Controlling the light source measurement data of the white light source, capturing the sensitivity data set in the spectrometer and the measured light source measurement data, smoothing the captured light source measurement data, and performing the smoothed light source measurement. By providing a controller that corrects the sensitivity data based on the data, calculates new sensitivity data, and writes the new sensitivity data to the spectrometer, local sensitivity variations can be reduced. .
【００１２】請求項５記載の発明は、アレイ素子を用い
た分光装置の感度補正方法を用いた装置において、可変
波長光源と、この可変波長光源の出力光の波長を測定す
る波長計と、前記可変波長光源の出力光のパワーを測定
する光パワーメータと、前記可変波長光源の出力光が入
射される分光装置と、前記分光装置、前記光パワーメー
タ及び前記波長計を制御して相対パワー誤差及び波長を
測定し、前記分光装置に設定されている感度データ及び
アレイ素子の個々の素子に割り付けられた割付波長を取
り込み、測定した前記相対パワー誤差を移動平均し、前
記割付波長に移動平均処理された相対パワー誤差を内挿
近似し、内挿近似された値に基づき前記感度データを補
正して新たな感度データ求め、求められた新たな感度デ
ータを正規化し、正規化された新たな感度データを前記
分光装置に書き込む制御装置とを備えたことにより、相
対パワー誤差を低減することが可能になる。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an apparatus using a sensitivity correction method for a spectrometer using an array element, comprising: a variable wavelength light source; a wavelength meter for measuring a wavelength of output light of the variable wavelength light source; An optical power meter for measuring the power of the output light of the variable wavelength light source, a spectrometer to which the output light of the variable wavelength light source is incident, and a relative power error by controlling the spectrometer, the optical power meter and the wavelength meter. And measuring the wavelength, taking in the sensitivity data set in the spectroscopic device and the allocated wavelengths allocated to the individual elements of the array element, moving average the measured relative power error, and moving average processing the allocated wavelengths. Interpolated approximation of the relative power error, the new sensitivity data is obtained by correcting the sensitivity data based on the interpolated value, normalizing the obtained new sensitivity data, By the-normalized new sensitivity data was equipped with a control device for writing to the spectroscopic apparatus, it is possible to reduce the relative power error.
【００１３】請求項６記載の発明は、アレイ素子を用い
た分光装置の感度補正方法を用いた装置において、白色
光源と、この白色光源の出力光が入射される感度補正済
みの基準器である第１の分光装置若しくは被校正器であ
る第２の分光装置と、前記第１の分光装置を制御して前
記白色光源の光源測定データを測定しておき、前記第１
の分光装置の測定した前記光源測定データを取り込み、
前記第２の分光装置を制御して前記白色光源の前記光源
測定データを測定しておき、前記第２の分光装置に設定
されている感度データ及び測定した前記光源測定データ
を取り込み、測定した前記波長に第１の分光装置の光源
測定データを内挿近似し、内挿近似された値に基づき前
記第２の分光装置の前記感度データを補正して新たな感
度データを求め、求められた新たな感度データを正規化
し、正規化された新たな感度データを前記第２の分光装
置に書き込む制御装置とを備えたことにより、被校正器
である第２の分光装置の感度補正を容易に行うことが可
能である。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an apparatus using a sensitivity correction method for a spectral device using an array element, wherein the white light source and a sensitivity-corrected reference device into which output light from the white light source is incident. Controlling the first spectroscopic device or the second spectroscopic device, which is a device to be calibrated, and the first spectroscopic device to measure light source measurement data of the white light source;
Capturing the light source measurement data measured by the spectrometer of
The second spectroscope is controlled to measure the light source measurement data of the white light source, and the sensitivity data set to the second spectroscope and the measured light source measurement data are taken in, and the measured light source measurement data is measured. The light source measurement data of the first spectroscope is interpolated to the wavelength, and the sensitivity data of the second spectrometer is corrected based on the interpolated value to obtain new sensitivity data. And a control device for normalizing the new sensitivity data and writing the new normalized sensitivity data to the second spectrometer, thereby easily correcting the sensitivity of the second spectrometer which is the device to be calibrated. It is possible.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係る分光装置の感度補正方法
を用いた装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
図１において７はＥＤＦＡ（Erbium Doped Fiber Ampli
fier）の自然放出光等の白色光源、８は光アイソレー
タ、９は補正対象である分光装置、１０はコンピュータ
等の制御装置である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of an apparatus using the method for correcting sensitivity of a spectroscopic apparatus according to the present invention.
In FIG. 1, reference numeral 7 denotes an EDFA (Erbium Doped Fiber Ampli).
fier), 8 is an optical isolator, 9 is a spectroscopic device to be corrected, and 10 is a control device such as a computer.
【００１５】白色光源７の出力光は光アイソレータ８を
介して分光装置９に入射され、分光装置９の入出力が制
御装置１０に接続される。The output light of the white light source 7 enters the spectrometer 9 via the optical isolator 8, and the input and output of the spectrometer 9 are connected to the controller 10.
【００１６】ここで、図１に示す実施例の動作を図２を
用いて説明する。図２は制御装置１０の動作を説明する
フロー図である。図２中”Ｓ００１”において制御装置
１０は分光装置９を制御して白色光源７の光源測定デー
タを測定させる。そして、図２中”Ｓ００２”において
制御装置１０は分光装置９に設定されている感度データ
及び測定した光源測定データをアップロードする。The operation of the embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a flowchart illustrating the operation of the control device 10. In “S001” in FIG. 2, the control device 10 controls the spectroscopic device 9 to measure the light source measurement data of the white light source 7. Then, in “S002” in FIG. 2, the control device 10 uploads the sensitivity data set in the spectroscopic device 9 and the measured light source measurement data.
【００１７】図２中”Ｓ００３”において制御装置１０
は取り込んだ光源測定データのスムージングを行う。例
えば、分光装置９に組み込まれたアレイ素子の個々の素
子の素子番号を”ｉ”とし、各素子には波長が順番に割
り付けられた場合、光源測定データを”Ｄ（ｉ）”、感
度データを”Ｐ0（ｉ）”、光電流データを”Ｉ
（ｉ）”とすると、 Ｄ（ｉ）＝Ｉ（ｉ）／Ｐ0（ｉ） （１） と言う関係を有する。In "S003" in FIG. 2, the control device 10
Performs smoothing of the acquired light source measurement data. For example, when the element number of each of the array elements incorporated in the spectroscopic device 9 is “i”, and the wavelengths are sequentially assigned to the respective elements, the light source measurement data is “D (i)” and the sensitivity data is To “P 0 (i)” and the photocurrent data to “I
When (i) ", has a relationship called D (i) = I (i ) / P 0 (i) (1).
【００１８】そして、光源測定データを以下の式により
スムージングする。 但し、”ｎ”は奇数であり、例えば、３，５若しくは７
等である。Then, the light source measurement data is smoothed by the following equation. Here, “n” is an odd number, for example, 3, 5, or 7.
And so on.
【００１９】また、図２中”Ｓ００４”において制御装
置１０は先にスムージングしたデータに基づき古い感度
データ”Ｐ0（ｉ）”を補正して新しい感度データ”Ｐ1
（ｉ）”を、 Ｐ1（ｉ）＝Ｐ0（ｉ）・Ｄ（ｉ）／Ｄave（ｉ） （３） と計算し、図２中”Ｓ００５”において制御装置１０は
新たな感度データ”Ｐ1（ｉ）”を分光装置９にダウン
ロードする。In addition, in "S004" in FIG. 2, the control device 10 corrects the old sensitivity data "P 0 (i)" based on the previously smoothed data and corrects the new sensitivity data "P 1 ".
(I) ”is calculated as P 1 (i) = P 0 (i) · D (i) / D ave (i) (3), and in“ S005 ”in FIG. “P 1 (i)” is downloaded to the spectroscopic device 9.
【００２０】図３はこのように感度データを補正した前
後の分光装置９の測定結果を示す特性曲線図であり、図
３中”Ｐ００１”が感度データの補正前の特性曲線であ
り、図３中”Ｐ００２”が補正した感度データを用いた
場合の特性曲線である。また、図３中”Ｐ００３”は両
者の偏差を示している。FIG. 3 is a characteristic curve diagram showing the measurement results of the spectrometer 9 before and after the sensitivity data is corrected in this way. In FIG. 3, "P001" is a characteristic curve before the sensitivity data is corrected. The middle “P002” is a characteristic curve when the corrected sensitivity data is used. “P003” in FIG. 3 indicates a deviation between the two.
【００２１】図３から分かるように”Ｐ００２”に示す
特性曲線は”Ｐ００１”に示す特性曲線と比較して、局
所的な感度のバラツキが少なくなる。As can be seen from FIG. 3, the characteristic curve indicated by "P002" has less local variation in sensitivity than the characteristic curve indicated by "P001".
【００２２】この結果、光源測定データをスムージング
したデータで感度データを補正することにより、局所的
な感度のバラツキを低減させることが可能になる。As a result, by correcting the sensitivity data with the data obtained by smoothing the light source measurement data, it is possible to reduce local sensitivity variations.
【００２３】また、図４は本発明に係る分光装置の全測
定波長域における波長依存性等の感度の傾斜を補正する
感度補正方法を用いた装置の他の実施例を示す構成ブロ
ック図である。図４において１１は可変波長レーザ等の
波長可変光源、１２は偏波スクランブラ、１３は可変減
衰器、１４は補正対象である分光装置、１５は波長計、
１６は光パワーメータ、１７はコンピュータ等の制御装
置である。FIG. 4 is a block diagram showing another embodiment of the apparatus using a sensitivity correction method for correcting a sensitivity inclination such as wavelength dependency in the entire measurement wavelength range of the spectrometer according to the present invention. . In FIG. 4, reference numeral 11 denotes a variable wavelength light source such as a variable wavelength laser, 12 denotes a polarization scrambler, 13 denotes a variable attenuator, 14 denotes a spectroscopic device to be corrected, 15 denotes a wavelength meter,
Reference numeral 16 denotes an optical power meter, and 17 denotes a control device such as a computer.
【００２４】可変波長光源１１の出力光は偏波スクラン
ブラ１２及び波長計１５にそれぞれ入射され、偏波スク
ランブラ１２を透過した光は可変減衰器１３に入射され
る。可変減衰器１３の一方の出力は分光装置１４に入射
され、可変減衰器１３の他方の出力は光パワーメータ１
６に入射される。The output light of the variable wavelength light source 11 is incident on the polarization scrambler 12 and the wavelength meter 15, respectively, and the light transmitted through the polarization scrambler 12 is incident on the variable attenuator 13. One output of the variable attenuator 13 is incident on the spectroscope 14, and the other output of the variable attenuator 13 is the optical power meter 1.
6 is incident.
【００２５】また、分光装置１４の入出力は制御装置１
７に接続され、波長計１５及び光パワーメータ１６の出
力はそれぞれ制御装置１７に接続される。The input / output of the spectrometer 14 is controlled by the controller 1
7 and the outputs of the wavelength meter 15 and the optical power meter 16 are connected to the control device 17 respectively.
【００２６】ここで、図４に示す実施例の動作を図５を
用いて説明する。図５は制御装置１７の動作を説明する
フロー図である。図５中”Ｓ１０１”において制御装置
１７は分光装置１４、波長計１５及び光パワーメータ１
６を制御して相対パワー誤差及び波長を測定させる。The operation of the embodiment shown in FIG. 4 will now be described with reference to FIG. FIG. 5 is a flowchart illustrating the operation of the control device 17. In "S101" in FIG. 5, the control device 17 includes the spectrometer 14, the wavelength meter 15, and the optical power meter 1.
6 to measure the relative power error and wavelength.
【００２７】相対パワー誤差は、具体的には、可変波長
光源１１の出力光の波長を掃引して波長計１５でその掃
引波長を検出すると共に分光装置１４及び光パワーメー
タ１６のそれぞれで受光した光のパワーを測定し、これ
らのデータに基づき制御装置１７で偏差を求めて相対パ
ワー誤差を得る。Specifically, the relative power error is determined by sweeping the wavelength of the output light from the variable wavelength light source 11, detecting the sweep wavelength with the wavelength meter 15, and receiving the light with the spectroscope 14 and the optical power meter 16, respectively. The power of the light is measured, and a deviation is obtained by the controller 17 based on the data to obtain a relative power error.
【００２８】また、偏波スクランブラ１２は光ファイバ
を伝播することで生じる偏波状態により損失等が影響を
受けるため、この偏波状態を疑似ランダムにしてこの変
動分を低減するために設けられている。The polarization scrambler 12 is provided to reduce the fluctuation by making the polarization state pseudo-random because losses and the like are affected by the polarization state generated by propagating through the optical fiber. ing.
【００２９】図５中”Ｓ１０２”において制御装置１７
は分光装置１４に設定されている感度データ及びアレイ
素子の個々の素子に割り付けられた割付波長をアップロ
ードすると共に波長計１５から測定波長データをアップ
ロードする。In "S102" in FIG. 5, the controller 17
Uploads the sensitivity data set in the spectrometer 14 and the assigned wavelengths assigned to the individual elements of the array element, and uploads the measured wavelength data from the wavelength meter 15.
【００３０】図５中”Ｓ１０３”において制御装置１７
は先に取り込んだ相対パワー誤差の移動平均を行う。例
えば、波長計１５で測定された波長をλ１（ｊ）、相対
パワー誤差を”Ｐdev（ｊ）とすれば、相対パワー誤差
の移動平均は、 で求まる。但し、”ｎ”は奇数であり、例えば、１５等
である。In "S103" in FIG. 5, the controller 17
Performs a moving average of the previously acquired relative power error. For example, if the wavelength measured by the wavelength meter 15 is λ1 (j) and the relative power error is “P dev (j), the moving average of the relative power error is Is determined by Here, “n” is an odd number, for example, 15 or the like.
【００３１】さらに、図５中”Ｓ１０４”において制御
装置１７は分光装置１４のアレイ素子の個々の素子に割
り付けられている割付波長に移動平均処理された相対パ
ワー誤差を内挿近似する。内挿近似された値”Ｄev_
Ｃ”は、例えば、割付波長を”λ２（ｉ）”とし、 λ２（ｉ−１）≦λ１（ｊ）＜λ２（ｉ） の場合、 δＤev＝(Ｄev(ｊ))−Ｄev(ｊ−１))／(λ１(ｊ)−λ１
(ｊ−１)) （５） δλ＝λ２(ｉ)−λ１(ｊ−１) （６） Ｄev_Ｃ＝Ｄev（ｊ−１）＋δＤev・δλ （７） となる。Further, in "S104" in FIG. 5, the control device 17 interpolates and approximates the relative power error subjected to the moving average processing to the assigned wavelength assigned to each of the array elements of the spectroscopic device 14. The interpolated value "Dev_
C ”is, for example, the assigned wavelength is“ λ2 (i) ”, and when λ2 (i−1) ≦ λ1 (j) <λ2 (i), δDev = (Dev (j)) − Dev (j−1) )) / (Λ1 (j) −λ1)
(j−1)) (5) δλ = λ2 (i) −λ1 (j−1) (6) Dev_C = Dev (j−1) + δDev · δλ (7)
【００３２】また、図５中”Ｓ１０５”において制御装
置１７は内挿近似された値に基づき分光装置１４に設定
されている感度データ”Ｐcal（ｉ）”を補正して、新
たな感度データ”Ｐcalnew（ｉ）”を、 Ｐcalnew（ｉ）＝Ｐcal（ｉ）・Ｄev_Ｃ （８） と求められる。In step S105 in FIG. 5, the control device 17 corrects the sensitivity data "Pcal (i)" set in the spectroscopic device 14 based on the interpolated and approximated values, and adds new sensitivity data " Pcalnew (i) "is obtained as Pcalnew (i) = Pcal (i) .Dev_C (8).
【００３３】図５中”Ｓ１０６”において制御装置１７
は求められた新たな感度データ”Ｐcalnew（ｉ）”を正
規化する。例えば、”Ｐcal（ｉ）”の平均値を”Ｐcal
ave（ｉ）”とすれば、正規化された感度データ”Ｐcal
newstd（ｉ）”は、 Ｐcalnewstd（ｉ）＝Ｐcalnew（ｉ）／Ｐcalave（ｉ） （９） と求められる。In "S106" in FIG. 5, the controller 17
Normalizes the obtained new sensitivity data “Pcalnew (i)”. For example, the average value of “Pcal (i)” is
ave (i) ”, the normalized sensitivity data“ Pcal
newstd (i) "is obtained as Pcalnewstd (i) = Pcalnew (i) / Pcalave (i) (9).
【００３４】最後に、図５中”Ｓ１０７”において制御
装置１７は新たな感度データ”Ｐcalnewstd（ｉ）”を
分光装置９にダウンロードする。Finally, in “S107” in FIG. 5, the control device 17 downloads new sensitivity data “Pcalnewstd (i)” to the spectroscopic device 9.
【００３５】図６はこのように感度データを補正した前
後の相対パワー誤差の測定結果を示す特性曲線図であ
り、図６中”Ｐ１０１”が感度データの補正前の特性曲
線であり、図６中”Ｐ１０２”が相対パワー誤差５点移
動平均した場合の特性曲線、図６中”Ｐ１０３”は補正
した感度データを用いた場合の特性曲線である。FIG. 6 is a characteristic curve diagram showing the measurement results of the relative power error before and after correcting the sensitivity data as described above. In FIG. 6, "P101" is a characteristic curve before the sensitivity data is corrected. The middle “P102” is a characteristic curve when the relative power error is five-point moving average, and “P103” in FIG. 6 is a characteristic curve when the corrected sensitivity data is used.
【００３６】図６から分かるように”Ｐ１０３”に示す
特性曲線は”Ｐ１０１”若しくは”Ｐ１０２”に示す特
性曲線と比較して、相対パワー誤差が改善されている。As can be seen from FIG. 6, the characteristic curve indicated by "P103" has an improved relative power error as compared with the characteristic curve indicated by "P101" or "P102".
【００３７】この結果、相対パワー誤差を移動平均した
値に基づき感度データを補正することにより、相対パワ
ー誤差を低減することが可能になる。As a result, it is possible to reduce the relative power error by correcting the sensitivity data based on the moving average of the relative power error.
【００３８】なお、前述の感度補正方法で感度データが
補正された分光装置の基準器として他の分光装置の感度
補正を容易に行うことが可能である。図７はこのような
本発明に係る分光装置の感度補正方法を用いた装置の他
の実施例を示す構成ブロック図である。The sensitivity of another spectral device can be easily corrected as a reference device of the spectral device whose sensitivity data has been corrected by the above-described sensitivity correcting method. FIG. 7 is a block diagram showing another embodiment of the apparatus using the method for correcting the sensitivity of the spectral device according to the present invention.
【００３９】図７において７，８及び１０は図１と同一
符号を付してあり、９ａ及び９ｂは分光装置である。但
し、分光装置９ａは既に感度データが補正された「基準
器」、分光装置９ｂはこれから感度データを補正する
「被校正器」である。In FIG. 7, 7, 8, and 10 are denoted by the same reference numerals as in FIG. 1, and 9a and 9b are spectroscopic devices. However, the spectroscopic device 9a is a “reference device” whose sensitivity data has already been corrected, and the spectroscopic device 9b is a “device to be calibrated” whose sensitivity data is to be corrected.
【００４０】白色光源７の出力光は光アイソレータ８を
介して分光装置９ａ若しくは分光装置９ｂに入射され、
分光装置９ａ若しくは分光装置９ｂの入出力が制御装置
１０に接続される。The output light of the white light source 7 enters the spectroscope 9a or 9b via the optical isolator 8,
The input / output of the spectroscopic device 9a or 9b is connected to the control device 10.
【００４１】ここで、図７に示す実施例の動作を図８を
用いて説明する。図８は制御装置１０の動作を説明する
フロー図である。図８中”Ｓ２０１”において制御装置
１０は「基準器」である分光装置９ａを制御して白色光
源７の光源測定データを測定させる。そして、図８中”
Ｓ２０２”において制御装置１０は「基準器」である分
光装置９ａの測定した光源測定データをアップロードす
る。The operation of the embodiment shown in FIG. 7 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a flowchart illustrating the operation of the control device 10. In “S201” in FIG. 8, the control device 10 controls the spectroscopic device 9a, which is the “reference device”, to measure the light source measurement data of the white light source 7. And in FIG.
In S202 ″, the control device 10 uploads the light source measurement data measured by the spectroscopic device 9a that is the “reference device”.
【００４２】次に、図８中”Ｓ２０３”において制御装
置１０は「被校正器」である分光装置９ｂを制御して白
色光源７の光源測定データを測定させる。そして、図８
中”Ｓ２０４”において制御装置１０は「被校正器」で
ある分光装置９ｂに設定されている感度データ及び測定
した光源測定データをアップロードする。Next, in "S203" in FIG. 8, the control device 10 controls the spectroscopic device 9b, which is a "device to be calibrated," to cause the light source measurement data of the white light source 7 to be measured. And FIG.
In the middle “S204”, the control device 10 uploads the sensitivity data and the measured light source measurement data set in the spectroscopic device 9b that is the “device under calibration”.
【００４３】図８中”Ｓ２０５”において制御装置１０
は取り込んだデータに基づき「被校正器」の感度データ
を補正する。例えば、「基準器」である分光装置９ａの
光源測定データ及び波長を”Ｄref（ｉ）”及び”λref
（ｉ）”、「被校正器」である分光装置９ｂの感度デー
タ、光源測定データ及び波長を”Ｐtrg（ｊ）”、”Ｄt
rg（ｊ）”及び”λtrg（ｊ）”とし、内挿近似された
値”ＤMC”は、 λref（ｉ−１）≦λtrg（ｊ）＜λref（ｉ） の場合、 δＤ’＝(Ｄref(ｉ))−Ｄref(ｉ−１)) ／(λref(ｉ)−λref(ｉ−１)) （１０） δλ’＝λtrg(ｊ)−λref(ｉ−１) （１１） ＤMC＝Ｄref（ｉ−１）＋δＤ’・δλ’ （１２） となる。In "S205" in FIG. 8, the control device 10
Corrects the sensitivity data of the "device under test" based on the acquired data. For example, the light source measurement data and the wavelength of the spectroscopic device 9a, which is a “reference device,” are referred to as “Dref (i)” and “λref.
(I) The sensitivity data, the light source measurement data and the wavelength of the spectrometer 9b, which is the "unit to be calibrated," are represented by "Ptrg (j)" and "Dt."
", and interpolation approximation value" rg (j) "and" λtrg (j) D MC "in the case of λref (i-1) ≦ λtrg (j) <λref (i), δD '= (Dref (i)) - Dref (i -1)) / (λref (i) -λref (i-1)) (10) δλ '= λtrg (j) -λref (i-1) (11) D MC = Dref (I-1) + δD ′ · δλ ′ (12)
【００４４】そして、「被校正器」である分光装置９ｂ
に設定されている感度データ”Ｐtrg（ｊ）”を補正し
て、新たな感度データ”Ｐtrgnew（ｊ）”を、 Ｐtrgnew（ｊ）＝Ｐtrgl（ｊ）・Ｄtrg（ｊ）／ＤMC （１３） と求められる。Then, the spectroscopic device 9b which is the "unit to be calibrated"
By correcting the sensitivity data "Ptrg (j)" which is set to a new sensitivity data "Ptrgnew (j)" a, Ptrgnew (j) = Ptrgl ( j) · Dtrg (j) / D MC (13) Is required.
【００４５】さらに、図８中”Ｓ２０６”において制御
装置１０は求められた新たな感度データ”Ｐtrgnew
（ｊ）”を正規化する。例えば、”Ｐtrg（ｊ）”の平
均値を”Ｐtrgave（ｊ）”とすれば、規格化された感度
データ”Ｐtrgnewstd（ｊ）”は、 Ｐtrgnewstd（ｊ）＝Ｐtrgnew（ｊ）／Ｐtrgave（ｊ） （１４ ） と求められる。Further, in "S206" in FIG. 8, the control device 10 determines the new sensitivity data "Ptrgnew".
(J) ”. For example, if the average value of“ Ptrg (j) ”is“ Ptrgave (j) ”, the normalized sensitivity data“ Ptrgnewstd (j) ”becomes Ptrgnewstd (j) = Ptrgnew (j) / Ptrgave (j) (14)
【００４６】最後に、図８中”Ｓ２０７”において制御
装置１０は新たな感度データ”Ｐtrgnewstd（ｉ）”を
「被校正器」である分光装置９ｂにダウンロードする。Finally, in "S207" in FIG. 8, the control device 10 downloads new sensitivity data "Ptrgnewstd (i)" to the spectroscopic device 9b which is a "device to be calibrated".
【００４７】図９はこのように感度データを補正した前
後の「被校正器」である分光装置９ｂの測定結果を示す
特性曲線図であり、また、図１０はこのように感度デー
タを補正した前後の相対パワー誤差の測定結果を示す特
性曲線図である。FIG. 9 is a characteristic curve diagram showing the measurement results of the spectrometer 9b as the "unit to be calibrated" before and after the sensitivity data is corrected in this way, and FIG. 10 shows the sensitivity data corrected in this manner. It is a characteristic curve figure which shows the measurement result of the relative power error before and after.
【００４８】図９中”Ｐ２０１”が感度データの補正前
の測定結果の特性曲線であり、図９中”Ｐ２０２”が補
正した感度データを用いた場合の測定結果の特性曲線で
ある。同様に、図１０中”Ｐ３０１”が感度データの補
正前の相対パワー誤差の特性曲線であり、図１０中”Ｐ
３０２”が補正した感度データを用いた場合の相対パワ
ー誤差の特性曲線である。"P201" in FIG. 9 is a characteristic curve of the measurement result before the sensitivity data is corrected, and "P202" in FIG. 9 is a characteristic curve of the measurement result when the corrected sensitivity data is used. Similarly, “P301” in FIG. 10 is a characteristic curve of the relative power error before the correction of the sensitivity data, and “P301” in FIG.
Reference numeral 302 "denotes a characteristic curve of a relative power error when the corrected sensitivity data is used.
【００４９】図９から分かるように”Ｐ２０２”に示す
特性曲線は”Ｐ２０１”に示す特性曲線と比較して、局
所的な感度のバラツキが少なくなり、また、図１０から
分かるように”Ｐ３０２”に示す特性曲線は”Ｐ３０
１”に示す特性曲線と比較して、相対パワー誤差が改善
されている。As can be seen from FIG. 9, the characteristic curve indicated by "P202" has less local variation in sensitivity than the characteristic curve indicated by "P201", and "P302" as can be seen from FIG. The characteristic curve shown in FIG.
The relative power error is improved as compared with the characteristic curve 1 ".
【００５０】この結果、既に感度データが補正されてい
る「基準器」を用いて「被校正器」である分光装置の感
度データを補正することにより、「被校正器」である分
光装置の感度補正を容易に行うことが可能である。As a result, by correcting the sensitivity data of the spectroscopic device that is the “device under test” by using the “reference device” whose sensitivity data has already been corrected, the sensitivity of the spectroscopic device that is the “device under test” is corrected. Correction can be easily performed.
【００５１】[0051]
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１及び請
求項４の発明によれば、光源測定データをスムージング
したデータで感度データを補正することにより、局所的
な感度のバラツキを低減させることが可能になる。As is apparent from the above description,
According to the present invention, the following effects can be obtained. According to the first and fourth aspects of the present invention, it is possible to reduce local sensitivity variations by correcting sensitivity data with data obtained by smoothing light source measurement data.
【００５２】また、請求項２及び請求項５の発明によれ
ば、相対パワー誤差を移動平均した値に基づき感度デー
タを補正することにより、相対パワー誤差を低減するこ
とが可能になる。According to the second and fifth aspects of the present invention, the relative power error can be reduced by correcting the sensitivity data based on the value obtained by moving average of the relative power error.
【００５３】また、請求項３及び請求項６の発明によれ
ば、既に感度データが補正されている「基準器」を用い
て「被校正器」である分光装置の感度データを補正する
ことにより、「被校正器」である分光装置の感度補正を
容易に行うことが可能である。According to the third and sixth aspects of the present invention, the sensitivity data of the spectrometer which is the "unit to be calibrated" is corrected by using the "reference device" whose sensitivity data has already been corrected. , The sensitivity of the spectrometer that is the “unit to be calibrated” can be easily corrected.
【図１】本発明に係る分光装置の感度補正方法を用いた
装置の一実施例を示す構成ブロック図である。FIG. 1 is a configuration block diagram showing an embodiment of an apparatus using a sensitivity correction method for a spectrometer according to the present invention.
【図２】制御装置の動作を説明するフロー図である。FIG. 2 is a flowchart illustrating the operation of the control device.
【図３】感度データを補正した前後の分光装置の測定結
果を示す特性曲線図である。FIG. 3 is a characteristic curve diagram showing measurement results of a spectrometer before and after correcting sensitivity data.
【図４】本発明に係る分光装置の全測定波長域における
波長依存性等の感度の傾斜を補正する感度補正方法を用
いた装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。FIG. 4 is a configuration block diagram showing another embodiment of a spectroscopic device according to the present invention using a sensitivity correction method for correcting a sensitivity gradient such as wavelength dependency in the entire measurement wavelength range.
【図５】制御装置の動作を説明するフロー図である。FIG. 5 is a flowchart illustrating the operation of the control device.
【図６】感度データを補正した前後の相対パワー誤差の
測定結果を示す特性曲線図である。FIG. 6 is a characteristic curve diagram showing measurement results of relative power errors before and after correcting sensitivity data.
【図７】本発明に係る分光装置の感度補正方法を用いた
装置の他の実施例を示す構成ブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of another embodiment of the apparatus using the sensitivity correction method of the spectroscopic apparatus according to the present invention.
【図８】制御装置の動作を説明するフロー図である。FIG. 8 is a flowchart illustrating the operation of the control device.
【図９】感度データを補正した前後の測定結果を示す特
性曲線図である。FIG. 9 is a characteristic curve diagram showing measurement results before and after the sensitivity data is corrected.
【図１０】感度データを補正した前後の相対パワー誤差
の測定結果を示す特性曲線図である。FIG. 10 is a characteristic curve diagram showing a measurement result of a relative power error before and after correcting sensitivity data.
【図１１】素子自体の感度を測定する従来の感度測定装
置の一例を示す構成ブロック図である。FIG. 11 is a configuration block diagram showing an example of a conventional sensitivity measuring device for measuring the sensitivity of an element itself.
１ 光源 ２ 光ファイバ ３ アレイ素子 ４ 移動ステージ ５ 制御回路 ６ 演算回路 ７ 白色光源 ８ 光アイソレータ ９，９ａ，９ｂ，１４ 分光装置 １０，１７ 制御装置 １１ 波長可変光源 １２ 偏波スクランブラ １３ 可変減衰器 １５ 波長計 １６ 光パワーメータ Reference Signs List 1 light source 2 optical fiber 3 array element 4 moving stage 5 control circuit 6 arithmetic circuit 7 white light source 8 optical isolator 9, 9a, 9b, 14 spectral device 10, 17 control device 11 variable wavelength light source 12 polarization scrambler 13 variable attenuator 15 Wavelength meter 16 Optical power meter
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 皆川 恭之 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G020 AA04 CB23 CB24 CB43 CD04 CD06 CD11 CD24 CD33 CD36 CD38 CD59 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Yasuyuki Minagawa 2-9-32 Nakamachi, Musashino-shi, Tokyo F-term in Yokogawa Electric Corporation (reference) 2G020 AA04 CB23 CB24 CB43 CD04 CD06 CD11 CD24 CD33 CD36 CD38 CD59
Claims (6)
法において、 白色光源の光源測定データを測定しておき、 前記分光装置に設定されている感度データ及び測定した
前記光源測定データを取り込み、 取り込んだ前記光源測定データをスムージングし、 スムージングされた前記光源測定データに基づき前記感
度データを補正して新しい感度データを計算し、 この新しい感度データを前記分光装置に書き込むことを
特徴とする感度補正方法。In a method for correcting sensitivity of a spectrometer using an array element, light source measurement data of a white light source is measured, and sensitivity data set in the spectrometer and the measured light source measurement data are taken in. Smoothing the captured light source measurement data, correcting the sensitivity data based on the smoothed light source measurement data, calculating new sensitivity data, and writing the new sensitivity data to the spectrometer. Method.
法において、 相対パワー誤差及び波長を測定しておき、 前記分光装置に設定されている感度データ及びアレイ素
子の個々の素子に割り付けられた割付波長を取り込み、 測定した前記相対パワー誤差を移動平均し、 前記割付波長に移動平均処理された相対パワー誤差を内
挿近似し、 内挿近似された値に基づき前記感度データを補正して新
たな感度データ求め、求められた新たな感度データを正
規化し、 正規化された新たな感度データを前記分光装置に書き込
むことを特徴とする感度補正方法。2. A method of correcting sensitivity of a spectrometer using an array element, wherein a relative power error and a wavelength are measured, and the sensitivity data set in the spectrometer and assigned to individual elements of the array element. The allocated wavelength is taken in, the measured relative power error is moving averaged, the relative power error subjected to the moving average processing to the allocated wavelength is interpolated and approximated, and the sensitivity data is corrected based on the interpolated and approximated value. A new sensitivity data obtained by normalizing the obtained new sensitivity data, and writing the new normalized sensitivity data into the spectroscopic device.
法において、 感度補正済みの基準器である第１の分光装置で白色光源
の光源測定及び波長を測定しておき、 前記第１の分光装置の測定した光源測定データ及び波長
を取り込み、 被校正器である第２の分光装置で白色光源の光源測定デ
ータを測定しておき、 前記第２の分光装置に設定されている感度データ及び測
定した光源測定データを取り込み、 測定した前記波長に第１の分光装置の光源測定データを
内挿近似し、 内挿近似された値に基づき前記第２の分光装置の前記感
度データを補正して新たな感度データを求め、 求められた新たな感度データを正規化し、 正規化された新たな感度データを前記第２の分光装置に
書き込むことを特徴とする感度補正方法。3. A method for correcting sensitivity of a spectrometer using an array element, comprising: measuring a light source and a wavelength of a white light source with a first spectrometer, which is a reference device whose sensitivity has been corrected; The light source measurement data and the wavelength measured by the device are taken in, the light source measurement data of the white light source is measured by the second spectroscope to be calibrated, and the sensitivity data and the measurement set in the second spectrometer are measured. The obtained light source measurement data is taken in, the light source measurement data of the first spectrometer is interpolated and approximated to the measured wavelength, and the sensitivity data of the second spectrometer is corrected based on the interpolated value and newly obtained. A new sensitivity data obtained by normalizing the obtained new sensitivity data, and writing the new normalized sensitivity data to the second spectroscopic device.
法を用いた装置において、 白色光源と、 この白色光源の出力光が入射される分光装置と、 前記分光装置を制御して前記白色光源の光源測定データ
を測定し、前記分光装置に設定されている感度データ及
び測定した前記光源測定データを取り込み、取り込んだ
前記光源測定データをスムージングし、スムージングさ
れた前記光源測定データに基づき前記感度データを補正
して新しい感度データを計算し、この新しい感度データ
を前記分光装置に書き込む制御装置とを備えたことを特
徴とする装置。4. An apparatus using a sensitivity correction method for a spectral device using an array element, comprising: a white light source; a spectral device into which output light from the white light source is incident; and a white light source by controlling the spectral device. The light source measurement data is measured, the sensitivity data set in the spectroscope and the measured light source measurement data are captured, the captured light source measurement data is smoothed, and the sensitivity data is calculated based on the smoothed light source measurement data. And a controller for calculating new sensitivity data by correcting the difference and writing the new sensitivity data to the spectroscopic device.
法を用いた装置において、 可変波長光源と、 この可変波長光源の出力光の波長を測定する波長計と、 前記可変波長光源の出力光のパワーを測定する光パワー
メータと、 前記可変波長光源の出力光が入射される分光装置と、 前記分光装置、前記光パワーメータ及び前記波長計を制
御して相対パワー誤差及び波長を測定し、前記分光装置
に設定されている感度データ及びアレイ素子の個々の素
子に割り付けられた割付波長を取り込み、測定した前記
相対パワー誤差を移動平均し、前記割付波長に移動平均
処理された相対パワー誤差を内挿近似し、内挿近似され
た値に基づき前記感度データを補正して新たな感度デー
タ求め、求められた新たな感度データを正規化し、正規
化された新たな感度データを前記分光装置に書き込む制
御装置とを備えたことを特徴とする装置。5. A variable wavelength light source, a wavelength meter for measuring a wavelength of output light of the variable wavelength light source, and an output light of the variable wavelength light source. An optical power meter for measuring the power of the light, a spectrometer to which the output light of the variable wavelength light source is incident, and measuring the relative power error and the wavelength by controlling the spectrometer, the optical power meter and the wavelength meter, Capture the sensitivity data set in the spectroscopic device and the assigned wavelengths assigned to the individual elements of the array element, perform a moving average of the measured relative power errors, and calculate the moving averaged relative power error to the assigned wavelengths. Interpolated and approximated, the sensitivity data is corrected based on the interpolated value to obtain new sensitivity data, the obtained new sensitivity data is normalized, and the normalized new Apparatus characterized by comprising a control device for writing degree data to the spectrometer.
法を用いた装置において、 白色光源と、 この白色光源の出力光が入射される感度補正済みの基準
器である第１の分光装置若しくは被校正器である第２の
分光装置と、 前記第１の分光装置を制御して前記白色光源の光源測定
データを測定しておき、前記第１の分光装置の測定した
前記光源測定データを取り込み、前記第２の分光装置を
制御して前記白色光源の前記光源測定データを測定して
おき、前記第２の分光装置に設定されている感度データ
及び測定した前記光源測定データを取り込み、測定した
前記波長に第１の分光装置の光源測定データを内挿近似
し、内挿近似された値に基づき前記第２の分光装置の前
記感度データを補正して新たな感度データを求め、求め
られた新たな感度データを正規化し、正規化された新た
な感度データを前記第２の分光装置に書き込む制御装置
とを備えたことを特徴とする装置。6. An apparatus using a sensitivity correction method for a spectrometer using an array element, comprising: a white light source; and a first spectrometer or a sensitivity-corrected reference device into which output light of the white light source is incident. A second spectrometer that is a device to be calibrated; and controlling the first spectrometer to measure light source measurement data of the white light source, and fetching the light source measurement data measured by the first spectrometer. Controlling the second spectroscope to measure the light source measurement data of the white light source, and taking in the sensitivity data set in the second spectroscope and the measured light source measurement data, and measuring. The light source measurement data of the first spectrometer is interpolated and approximated to the wavelength, and the sensitivity data of the second spectrometer is corrected based on the interpolated value to obtain new sensitivity data. New sensitivity The chromatography data was normalized, apparatus characterized by a new sensitivity data normalized and a control device for writing to the second spectrometer.
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