JP2000199838A - Signal transmission and reception module for optical parallel transmission - Google Patents
Signal transmission and reception module for optical parallel transmissionInfo
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- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信に用いられ
る光並列伝送用送受信システムに関し、特に、複数の光
素子(受光素子、発光素子)と複数の光ファイバを光学
的に結合する光並列伝送用送受信モジュールに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical parallel transmission / reception system used for optical communication, and more particularly to an optical parallel transmission system for optically coupling a plurality of optical elements (light receiving elements, light emitting elements) and a plurality of optical fibers. The present invention relates to a transmission / reception module.
【0002】[0002]
【従来の技術】必要とされる伝送容量の増大に伴い、光
通信システムにおいて、光並列データ伝送技術への期待
が高まっている。光並列データ伝送技術を用いた光通信
システムは、送信部、光ファイバ伝送路、受信部の3つ
に分けられる。送信部では、ビット列を構成する複数本
の電子信号が入力され、信号処理、波形整形、増幅等を
受けたあと、電流駆動回路、発光素子を経て光信号とな
る。受信部では、受光素子によって光信号から電気信号
に変換され、さらに、増幅、信号処理等を受けて元の電
気信号ビット列に戻る(光通信技術の最新資料集III、
「光並列データ伝送方式とハードウエア構成」、pp.191
-192)。2. Description of the Related Art With the increase in required transmission capacity, expectations for optical parallel data transmission technology in an optical communication system are increasing. An optical communication system using the optical parallel data transmission technology is divided into three parts: a transmission unit, an optical fiber transmission line, and a reception unit. In the transmission unit, a plurality of electronic signals forming a bit string are input, subjected to signal processing, waveform shaping, amplification, and the like, and then converted into an optical signal through a current driving circuit and a light emitting element. In the receiving unit, the light signal is converted from an optical signal into an electric signal by a light receiving element, and further subjected to amplification, signal processing, etc., and returns to the original electric signal bit string (the latest data collection of optical communication technology III,
"Optical parallel data transmission system and hardware configuration", pp.191
-192).
【0003】光並列データ伝送方式で光通信システムを
実現するには、光素子アレイと光ファイバアレイとの
間を高精度かつ容易に光軸調整して固定すること、湿
度や温度変化により劣化しやすい光素子アレイの気密封
止が必要である。そのため、複数の光素子と複数の光フ
ァイバとの間にバンドルファイバを介在させることによ
り光素子と光ファイバとを光学的に結合させる技術が知
られている(特開平5−188250)。In order to realize an optical communication system using the optical parallel data transmission method, the optical axis between the optical element array and the optical fiber array must be easily adjusted with high precision and fixed. It is necessary to seal the optical element array easily. Therefore, there is known a technique of optically coupling an optical element and an optical fiber by interposing a bundle fiber between the plurality of optical elements and the plurality of optical fibers (JP-A-5-188250).
【0004】また、学会誌「1995年電子情報通信学
会総合大会 C−185」に示されているように、シリ
コン基板上にV字形溝を形成すると共に、V字形溝の先
端側の所定位置に発光素子を位置決め固定し、更に、V
字形溝中に光ファイバを配置して固着することによっ
て、光ファイバと発光素子の光軸を合わせる構造が知ら
れている。[0004] Further, as shown in the academic journal "1995 IEICE General Conference C-185", a V-shaped groove is formed on a silicon substrate, and a V-shaped groove is formed at a predetermined position on the tip side of the V-shaped groove. The light emitting element is positioned and fixed.
2. Description of the Related Art There is known a structure in which an optical fiber is arranged and fixed in a U-shaped groove so that an optical axis of the optical fiber is aligned with an optical axis of a light emitting element.
【0005】さらに、製造工程の容易化及び自動化を行
う観点から、光ファイバ素線を挿入固定したフェルール
を用いて発光素子または受光素子との光結合を行う構造
が提案されている(特願平9−83004)。Further, from the viewpoint of facilitating and automating the manufacturing process, there has been proposed a structure in which optical coupling with a light emitting element or a light receiving element is performed by using a ferrule into which an optical fiber is inserted and fixed (Japanese Patent Application No. Hei 10-26139). 9-83004).
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかし、複数の光ファ
イバと複数の光素子(受光素子、発光素子)に光結合さ
せる場合、従来のシステムを適用すると、作業が困難で
ある。例えば、単心の光ファイバを光素子に接続する場
合と異なり、12心のファイバアレイでは回転によるズ
レを加味しなければ、極めて複雑な作業になるという欠
点があった。However, in the case of optically coupling a plurality of optical fibers and a plurality of optical elements (light receiving elements, light emitting elements), it is difficult to apply the conventional system. For example, unlike the case where a single-core optical fiber is connected to an optical element, a 12-core fiber array has a drawback that the operation becomes extremely complicated unless a displacement due to rotation is taken into account.
【0007】本発明は、複数の光ファイバと複数の光素
子とを光結合させる作業を簡単に実現できる構造を提供
することを目的とする。An object of the present invention is to provide a structure which can easily realize the operation of optically coupling a plurality of optical fibers and a plurality of optical elements.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、複数の光素子と複数本の光ファイバとを
光学的に結合させる光並列伝送用送受信モジュールであ
って、上記複数の光素子は、アレイ状に配列された状態
で、樹脂成型された光素子保持手段に保持され、上記複
数本の光ファイバは、アレイ状に配列された状態で、樹
脂成型されたファイバ保持手段に保持され、上記光素子
保持手段と上記ファイバ保持手段は、それぞれ一対のガ
イドピンを保持するガイドピン保持部を備え、上記一対
のガイドピンに上記光素子保持手段と上記ファイバ保持
手段を挿入することにより、上記複数の光素子と上記複
数本の光ファイバとが位置決めされることを特徴とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention relates to an optical parallel transmission / reception module for optically coupling a plurality of optical elements and a plurality of optical fibers, The optical elements are held by resin-molded optical element holding means in a state of being arranged in an array, and the plurality of optical fibers are arranged by resin-molded fiber holding means in a state of being arranged in an array. The optical element holding means and the fiber holding means are provided with guide pin holding portions for holding a pair of guide pins, respectively, and the optical element holding means and the fiber holding means are inserted into the pair of guide pins. Thus, the plurality of optical elements and the plurality of optical fibers are positioned.
【0009】また、上記光素子保持手段は、上記ガイド
ピン及び上記複数の光ファイバの配列面と実質的に直交
する方向に並置されるプリアンプICと、上記プリアン
プICとボンディングワイヤを介して接続される受光素
子アレイとを備え、上記ファイバ保持手段のファイバ端
面と上記ボンディングワイヤとの干渉を避けるため、上
記ファイバ保持手段に凹部が形成されてもよい。The optical element holding means is connected to a preamplifier IC arranged in a direction substantially orthogonal to an arrangement surface of the guide pins and the plurality of optical fibers, and is connected to the preamplifier IC via a bonding wire. In order to avoid interference between the fiber end face of the fiber holding means and the bonding wire, a concave portion may be formed in the fiber holding means.
【0010】さらに、上記ファイバ保持手段のファイバ
端面は、上記光ファイバのコア軸に対し斜めに研磨され
てもよい。Furthermore, the fiber end face of the fiber holding means may be polished obliquely with respect to the core axis of the optical fiber.
【0011】また、上記光素子保持手段は、上記ガイド
ピンを保持するガイドピン保持部と、上記受光素子アレ
イを保持する第1保持部と、上記プリアンプICを保持
する第2保持部とを備え、上記第1保持部は上記ガイド
ピン保持部を基準に位置決めされ、上記第1保持部に上
記受光素子アレイを保持することにより、上記ガイドピ
ン保持部に挿入されるガイドピンに対し上記受光素子ア
レイが位置決めされてもよい。Further, the optical element holding means includes a guide pin holding portion for holding the guide pin, a first holding portion for holding the light receiving element array, and a second holding portion for holding the preamplifier IC. The first holding portion is positioned with reference to the guide pin holding portion, and holds the light receiving element array in the first holding portion, so that the light receiving element is moved relative to the guide pin inserted into the guide pin holding portion. The array may be positioned.
【0012】さらに、上記受光素子アレイは、上記プリ
アンプICに接続される電極が形成される面の反対側に
受光面を有する裏面入射型受光素子で構成され、上記第
1保持部は、上記受光素子保持手段の裏側まで貫通する
開口を含んで構成され、上記裏面入射型受光素子は、受
光面が上記開口から上記受光素子保持手段の裏側に露出
するように配置され、上記一対のガイドピンを介して、
上記裏面型受光素子の受光面に対し、複数本の光ファイ
バが上記受光素子保持手段の裏側で光学的に結合されて
もよい。Further, the light receiving element array is composed of a back illuminated light receiving element having a light receiving surface on a side opposite to a surface on which an electrode to be connected to the preamplifier IC is formed. The back-illuminated light-receiving element is configured to include an opening that penetrates to the back side of the element holding means, and the back-illuminated light-receiving element is arranged so that a light-receiving surface is exposed from the opening to the back side of the light-receiving element holding means. Through,
A plurality of optical fibers may be optically coupled to the light receiving surface of the back type light receiving element on the back side of the light receiving element holding means.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を添付図
面に基づき説明する。なお、説明において、同一要素に
は同一符号を用い、重複する説明は省略する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the description, the same elements will be denoted by the same reference symbols, without redundant description.
【0014】図1は、本発明の一実施例に係る、樹脂成
型直後の光並列伝送用受信器を示す斜視図である。本実
施例に係る光並列伝送用受信器は、一対のガイドピン
1,多心光ファイバを保持するMTフェルール2、受光
素子を保持するPDサブキャリア3をリードフレーム4
と共に樹脂成型し、モールドパッケージ5を構成する。FIG. 1 is a perspective view showing an optical parallel transmission receiver immediately after resin molding according to an embodiment of the present invention. The optical parallel transmission receiver according to the present embodiment includes a pair of guide pins 1, an MT ferrule 2 for holding a multi-core optical fiber, and a PD subcarrier 3 for holding a light receiving element in a lead frame 4.
Together with resin molding, a mold package 5 is formed.
【0015】その後、モールドパッケージ5の側方及び
後方から伸びたリードがサポートリード手前から切断さ
れると共に、リード間のタイバーが切断される。Thereafter, the leads extending from the sides and the rear of the mold package 5 are cut from just before the support leads, and the tie bars between the leads are cut.
【0016】なお、固定する方法として本実施例ではモ
ールドパッケージ5を用いているが、メタルパッケージ
やプラスチックパッケージで固定してもよい。In this embodiment, the mold package 5 is used as a fixing method, but it may be fixed by a metal package or a plastic package.
【0017】図2及び図3は、樹脂成型前の本実施例に
係る光並列伝送用受信器を示す斜視図である。図2は、
PDサブキャリア3をMTフェルール2の側から見た斜
視図であり、図3は、PDサブキャリア3の後方から見
た斜視図である。これらは、いずれも明瞭性を重視した
簡略図であるため、例えば、PDサブキャリア3とセラ
ミック基板6とを接続するワイヤは、一部だけが図示さ
れている。FIGS. 2 and 3 are perspective views showing the optical parallel transmission receiver according to this embodiment before resin molding. FIG.
FIG. 3 is a perspective view of the PD subcarrier 3 as seen from the MT ferrule 2 side, and FIG. 3 is a perspective view of the PD subcarrier 3 as seen from behind. Since these are all simplified diagrams emphasizing clarity, for example, only a part of the wires connecting the PD subcarrier 3 and the ceramic substrate 6 is illustrated.
【0018】ガイドピン1及びリードフレーム4は樹脂
成型用金型で保持され、これにより、モールドパッケー
ジ5で固定されるガイドピン1,MTフェルール2,P
Dサブキャリア3、リードフレーム4,セラミック基板
6との間の相対位置が精度良く実現される。この段階
で、ガイドピン1,MTフェルール2,PDサブキャリ
ア3はガイドピン1を基準に精度良く組み立てられる。The guide pins 1 and the lead frame 4 are held by a resin molding die, whereby the guide pins 1, MT ferrules 2, P
The relative position between the D subcarrier 3, the lead frame 4, and the ceramic substrate 6 is realized with high accuracy. At this stage, the guide pin 1, the MT ferrule 2, and the PD subcarrier 3 are assembled with high accuracy based on the guide pin 1.
【0019】ガイドピン1は、通常、金属で形成され、
少なくともMTフェルール2とPDサブキャリア3を重
ねた全長より長く構成されている。MTフェルール2か
ら突出しているガイドピン1には、他のMTフェルール
(図示せず)が挿入される。そのため、ガイドピン1の
先端には、挿入を容易にする為、テーパが形成されてい
る。ガイドピン1は、MTフェルール2に挿入され、固
着されているわけではない。しかし、他方のMTフェル
ールを外すとき、他方のMTフェルールがガイドピン1
を抜き取らないように、ある程度の堅さでガイドピン1
はMTフェルール2に保持されている。ガイドピン1の
間には、複数のV字状の溝がガイドピン1の長手方向と
平行に一定間隔で形成され、そこに複数の光ファイバが
固定されている。したがって、複数の光ファイバの配列
ピッチは、一定間隔になっており、これは、通常、他方
のMTフェルールの規格と合致する。The guide pin 1 is usually formed of metal,
It is configured to be longer than at least the total length of the MT ferrule 2 and the PD subcarrier 3 overlapped. Another MT ferrule (not shown) is inserted into the guide pin 1 protruding from the MT ferrule 2. Therefore, a taper is formed at the tip of the guide pin 1 to facilitate insertion. The guide pin 1 is inserted into the MT ferrule 2 and is not fixed. However, when the other MT ferrule is removed, the other MT ferrule is guided by the guide pin 1.
Guide pin 1 with a certain degree of rigidity so that
Are held in the MT ferrule 2. A plurality of V-shaped grooves are formed between the guide pins 1 at regular intervals in parallel with the longitudinal direction of the guide pins 1, and a plurality of optical fibers are fixed therein. Therefore, the arrangement pitch of the plurality of optical fibers is constant, and this usually matches the standard of the other MT ferrule.
【0020】MTフェルール2は、少なくとも複数の光
ファイバ及びガイドピンを保持する機能を有する。その
ため、保持すべき光ファイバの本数に対応するファイバ
保持部と、保持すべきガイドピンの本数に対応するピン
保持部を有する。その詳細な構造は、図16を参照して
後述する。The MT ferrule 2 has a function of holding at least a plurality of optical fibers and guide pins. Therefore, it has a fiber holding portion corresponding to the number of optical fibers to be held and a pin holding portion corresponding to the number of guide pins to be held. The detailed structure will be described later with reference to FIG.
【0021】PDサブキャリア3は、一対の貫通孔3a
を形成する2枚のプラスチック製第1平板3b及び第2
平板3cと、放熱用リードピン3d及び接続用リードピ
ン3eを一部に構成し第1平板3b、第2平板3cの間
に挟持される金属製リードフレームとから構成され、ガ
イドピン1を基準に、MTフェルール2とセラミック基
板16との間に取り付けられている。高精度にPDサブ
キャリア3をMTフェルール2に位置決めするため、P
Dサブキャリア3にはガイドピン1の一端を受容する貫
通孔3aが、MTフェルール2に面するPDサブキャリ
ア3の面からその反対面に貫通して形成されている(図
3参照)。PDサブキャリア3には、貫通孔3aを基準
に受光素子アレイ3f及びプリアンプIC3gが精度良
く搭載されているので、PDサブキャリア3をガイドピ
ン1に挿入するだけで、MTフェルール2に取り付けら
れた複数の光ファイバとPDサブキャリア3に搭載され
た複数の受光素子アレイ3fとを簡単に精度良く光結合
することができる。PDサブキャリア3の両側方から伸
びた放熱用リードピン3dは、金属製リードフレームを
通じて伝導されるプリアンプからの熱を逃がす為に有効
であるが、この放熱用リードピン3dを利用して、グラ
ンド接地も可能である。接続用リードピン3eは、PD
サブキャリア3をパッケージ化した後、略S字状に折り
曲げられ(図3参照)、セラミック基板6とのワイヤボ
ンディングが容易になっている。本実施例では、ワイヤ
でPDサブキャリア3とセラミック基板6とが接続され
るように構成されているが、接続用リードピン3eとセ
ラミック基板6上の電極端子とを直接、接続してもよ
い。The PD subcarrier 3 has a pair of through holes 3a.
And two plastic first flat plates 3b and second
It is composed of a flat plate 3c and a metal lead frame which partially includes the heat radiation lead pin 3d and the connection lead pin 3e and is sandwiched between the first flat plate 3b and the second flat plate 3c. It is mounted between the MT ferrule 2 and the ceramic substrate 16. In order to accurately position the PD subcarrier 3 on the MT ferrule 2, P
In the D subcarrier 3, a through hole 3a for receiving one end of the guide pin 1 is formed penetrating from the surface of the PD subcarrier 3 facing the MT ferrule 2 to the opposite surface (see FIG. 3). Since the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g are accurately mounted on the PD subcarrier 3 with reference to the through hole 3a, the PD subcarrier 3 is mounted on the MT ferrule 2 simply by inserting the PD subcarrier 3 into the guide pin 1. A plurality of optical fibers and a plurality of light receiving element arrays 3f mounted on the PD subcarrier 3 can be optically coupled easily and accurately. The heat dissipation lead pins 3d extending from both sides of the PD subcarrier 3 are effective for dissipating heat from the preamplifier conducted through the metal lead frame. It is possible. The connection lead pin 3e is PD
After the subcarrier 3 is packaged, it is bent into a substantially S-shape (see FIG. 3), so that wire bonding with the ceramic substrate 6 is facilitated. In the present embodiment, the PD subcarrier 3 and the ceramic substrate 6 are connected by wires, but the connection lead pins 3e and the electrode terminals on the ceramic substrate 6 may be directly connected.
【0022】リードフレーム4は、矩形状枠を形作るサ
ポートリード4a、セラミック基板6が搭載されるアイ
ランド4b、アイランド4bとサポートリード4aを接
続するリードピン4cを含んで構成される。The lead frame 4 includes support leads 4a forming a rectangular frame, islands 4b on which the ceramic substrate 6 is mounted, and lead pins 4c connecting the islands 4b and the support leads 4a.
【0023】セラミック基板6は、リードフレーム4の
アイランド4b上に載置されるが、ワイヤでPDサブキ
ャリア3と接続される限り、厳密な位置決めは不要であ
る。セラミック基板6の上面には、受光素子を駆動する
のに必要な電子回路(信号処理回路、波形整形回路、増
幅回路など)が形成されている。The ceramic substrate 6 is mounted on the island 4b of the lead frame 4, but strict positioning is not required as long as the substrate is connected to the PD subcarrier 3 by wires. On the upper surface of the ceramic substrate 6, electronic circuits (such as a signal processing circuit, a waveform shaping circuit, and an amplifier circuit) necessary for driving the light receiving element are formed.
【0024】図4は、本実施例に使用可能なガイドピン
1,MTフェルール2,PDサブキャリア3を組み合わ
せたサブアセンブリをMTフェルール2側から見た斜視
図であり、図5は、図4のサブアセンブリを裏返し、当
該サブアセンブリをPDサブキャリア3側から見た斜視
図、図6は、図4のサブアセンブリからMTフェルール
2を外した斜視図、図7は、光ファイバと受光素子との
接続状態を示す為にMTフェルール2のリッド2cの半
分を省略し、接続用リード3eを略S字状に曲げる前の
状態を便宜的に示す斜視図である。なお、細部を明瞭に
示すため、接続用リードフレーム3eとプリアンプ3f
とを接続するワイヤ、受光素子アレイ3fとプリアンプ
IC3gとを接続するワイヤは省略されている。FIG. 4 is a perspective view of a sub-assembly combining a guide pin 1, an MT ferrule 2, and a PD subcarrier 3 which can be used in the present embodiment, as viewed from the MT ferrule 2 side. Is turned over and the subassembly is viewed from the PD subcarrier 3 side, FIG. 6 is a perspective view of the subassembly of FIG. 4 with the MT ferrule 2 removed, and FIG. 7 is an optical fiber and a light receiving element. 5 is a perspective view showing a state before the connection lead 3e is bent into a substantially S shape by omitting a half of the lid 2c of the MT ferrule 2 to show the connection state of FIG. In order to clearly show the details, the connection lead frame 3e and the preamplifier 3f are shown.
And the wire connecting the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g are omitted.
【0025】ここで重要なことは、光ファイバと受光素
子の受光面が直交(光結合)するように、ガイドピンを
機械的基準として、複数の光ファイバ(例えば、ファイ
バアレイ)と複数の受光素子(例えば、受光素子アレ
イ)が高精度に位置決めされている点である。別部材で
保持された光ファイバと受光素子をμmのオーダーで高
精度に位置決めするのは困難であったが、両部材にガイ
ドピンを固定する孔を精度良く設けることにより、ガイ
ドピンを介して高精度の位置決めを実現している。What is important here is that a plurality of optical fibers (for example, a fiber array) and a plurality of light receiving elements are used with a guide pin as a mechanical reference so that the optical fiber and the light receiving surface of the light receiving element are orthogonal (optical coupling). An element (for example, a light receiving element array) is positioned with high accuracy. Although it was difficult to position the optical fiber and the light receiving element held by separate members with high precision in the order of μm, the holes for fixing the guide pins were provided on both members with high precision, so that the guide pins could be inserted through the guide pins. High precision positioning has been achieved.
【0026】以下、このサブアセンブリを構成するガイ
ドピン1,MTフェルール2,PDサブキャリア3を、
図4乃至図7に基づき、図8乃至図11を参考にしなが
ら順番に説明する。Hereinafter, the guide pin 1, the MT ferrule 2, and the PD subcarrier 3 constituting this subassembly are
The description will be made sequentially with reference to FIGS. 8 to 11 based on FIGS. 4 to 7.
【0027】ガイドピン1は、それが挿入される複数の
部材(本実施例では、MTフェルール2,PDサブキャ
リア3)間の位置決め機能を与えるため、通常は、細長
い円柱状に形成される(図7,図8参照)。材料として
は、受信器が使用される環境下で、変形したり、湾曲し
たりすることがない材料、例えば、ステンレス鋼で形成
されている。ガイドピン1がMTフェルール2から突出
する量は、そこに挿入される相手側のMTコネクタ又は
MTフェルールとの接続、光軸合わせを考慮して計算さ
れており、この計算値に基づき、ガイドピン1の全長が
決められる。The guide pin 1 is usually formed in an elongated cylindrical shape in order to provide a positioning function between a plurality of members (MT ferrule 2 and PD subcarrier 3 in this embodiment) into which the guide pin 1 is inserted. 7 and 8). The material is formed of a material that does not deform or bend under the environment in which the receiver is used, for example, stainless steel. The amount by which the guide pin 1 protrudes from the MT ferrule 2 is calculated in consideration of the connection with the mating MT connector or the MT ferrule inserted therein and the alignment of the optical axis. 1 is determined.
【0028】MTフェルール2は、リッド2c、ファイ
バ保持部材2dを備えて構成されている(図6,図8参
照)。2枚の板部材、すなわち、リッド2cとファイバ
保持部材2dは互いに合わされ、その合わせ面に、一対
のガイドピン1と複数の光ファイバが保持される。その
ため、リッド2c及びファイバ保持部材2dには一対の
ガイドピン1が挿入される一対の貫通孔2aを形成する
一対の台形状の溝が形成され、ファイバ保持部材2dに
は複数の光ファイバが保持されるV字形溝2bが形成さ
れている(図6,図8参照)。これらの溝は、互いに平
行に形成されているので、MTフェルール2に挿入され
たガイドピン1と、MTフェルール2に保持された全て
の光ファイバは平行に保持される。MTフェルール2が
PDサブキャリア3と面する側には、受光素子アレイ3
fとプリアンプIC3gを接続するワイヤとの干渉を防
止するため、窪み2eが形成されている。The MT ferrule 2 includes a lid 2c and a fiber holding member 2d (see FIGS. 6 and 8). The two plate members, that is, the lid 2c and the fiber holding member 2d are fitted together, and a pair of guide pins 1 and a plurality of optical fibers are held on the mating surfaces. Therefore, a pair of trapezoidal grooves forming a pair of through holes 2a into which the pair of guide pins 1 are inserted are formed in the lid 2c and the fiber holding member 2d, and a plurality of optical fibers are held in the fiber holding member 2d. A V-shaped groove 2b is formed (see FIGS. 6 and 8). Since these grooves are formed in parallel with each other, the guide pin 1 inserted into the MT ferrule 2 and all the optical fibers held by the MT ferrule 2 are held in parallel. On the side where the MT ferrule 2 faces the PD subcarrier 3, the light receiving element array 3
A recess 2e is formed to prevent interference between f and the wire connecting the preamplifier IC 3g.
【0029】PDサブキャリア3は、第1平板3b、第
2平板3c、リードフレームから構成されている(図
6,図11参照)。第1平板3bは外部輪郭が矩形にな
るようにプラスチック材で形成され、その中央部の上方
(又は下方)にはプリアンプIC3gを搭載する為の第
1開口部3hが形成され、その下方(又は上方)には複
数の上面入射型受光素子を保持する受光素子アレイ3f
を搭載する為の第2開口部3iが形成されている。第1
開口部3hは、プリアンプIC3gを収容するのに十分
な広さで形成されているが、第2開口部3iは、MTフ
ェルール2に保持された光ファイバと受光素子アレイ3
fが、ガイドピン1に対し高精度に位置決めされるよう
に、受光素子アレイ3fの形状に合致した開口形状にな
っている。そのため、第2開口部3iの両側には、ガイ
ドピン1を位置決めするために挿入させる孔3aが形成
された六角状の隆起部が形成されている。リードフレー
ムは、一方向(例えば、下方向)に伸びる多数の接続用
ピン3e及び他方向(例えば、側方)に伸びる少数の放
熱用ピン3d、受光素子アレイ3f及びプリアンプ3g
が置かれるアイランド部3j1,3j2を含み、2枚の第
1平板3b、第2平板3cで挟まれている(図6,図1
1参照)。接続用リードピン3eは、信号源、グラン
ド、VDD又はVGC等に接続されるため一端が略S字
状に曲げられてセラミック基板6に向けられるが、他端
は第1開口部3hまで伸びている(図4、図11参
照)。プリアンプIC3gは、ほぼ直方体のチップ状に
形成され(図4,図9参照)、上面には電極(図示せ
ず)が形成されている。そのため、簡単に接続用リード
ピン3eの他端とワイヤボンディングで接続することが
可能である。第2平板3cは、リードフレームを第1平
板3bとの間で挟んで固定する機能を有し、開口部とし
ては、ガイドピン1を挿入する為の貫通孔3aのみが形
成されている(図5参照)。ガイドピン1は、第1平板
3bのみならず第2平板3cをも貫通するため、その間
に挟持される金属製リードフレームには、ガイドピン1
を逃がす為に逃がし部が設けられている(図12参
照)。プリアンプIC3gと受光素子アレイ3fは、第
2平板3cとは接触しないが、金属製リードフレーム上
に面接触するように置かれるので(図9参照)、例えば
プリアンプIC3gからの熱を、リードピン3dを介し
て効率良く放熱することができる。The PD subcarrier 3 includes a first flat plate 3b, a second flat plate 3c, and a lead frame (see FIGS. 6 and 11). The first flat plate 3b is formed of a plastic material so that the outer contour becomes rectangular, and a first opening 3h for mounting the preamplifier IC 3g is formed above (or below) the center portion thereof, and below (or below). Above) a light receiving element array 3f holding a plurality of top-incident light receiving elements
Is formed in the second opening 3i. First
The opening 3h is formed wide enough to accommodate the preamplifier IC 3g, while the second opening 3i is formed with the optical fiber held by the MT ferrule 2 and the light receiving element array 3
The opening f matches the shape of the light receiving element array 3f so that f is positioned with high precision with respect to the guide pin 1. Therefore, on both sides of the second opening 3i, a hexagonal ridge having a hole 3a to be inserted for positioning the guide pin 1 is formed. The lead frame includes a large number of connection pins 3e extending in one direction (for example, downward), a small number of heat radiation pins 3d extending in the other direction (for example, sideways), a light receiving element array 3f, and a preamplifier 3g.
Is sandwiched between two first flat plates 3b and second flat plates 3c, including island portions 3j1 and 3j2 where
1). The connection lead pin 3e is connected to a signal source, ground, VDD, VGC, or the like, so that one end is bent in a substantially S shape and directed to the ceramic substrate 6, but the other end extends to the first opening 3h. (See FIGS. 4 and 11). The preamplifier IC 3g is formed in a substantially rectangular parallelepiped chip shape (see FIGS. 4 and 9), and an electrode (not shown) is formed on the upper surface. Therefore, it is possible to easily connect to the other end of the connection lead pin 3e by wire bonding. The second flat plate 3c has a function of sandwiching and fixing the lead frame between the first flat plate 3b and the through hole 3a for inserting the guide pin 1 only as an opening. 5). The guide pin 1 penetrates not only the first flat plate 3b but also the second flat plate 3c.
An escape portion is provided to escape (see FIG. 12). The preamplifier IC 3g and the light receiving element array 3f do not come into contact with the second flat plate 3c, but are placed on a metal lead frame so as to make surface contact (see FIG. 9). The heat can be efficiently dissipated through.
【0030】次に、図8乃至図11に基づき、サブアセ
ンブリを構成するMTフェルール2,PDサブキャリア
3の構造を更に詳細に説明する。Next, the structure of the MT ferrule 2 and the PD subcarrier 3 constituting the subassembly will be described in more detail with reference to FIGS.
【0031】図8は、ガイドピンと共にMTフェルール
を示す分解斜視図である。MTフェルール2を構成する
リッド2cの裏面、すなわち、ファイバ保持部材2dと
対面する面には、一対の台形溝が側部に近い領域に平行
に形成されている。溝の深さは、ファイバ保持部材2d
と組み合わされたときに形成される貫通孔2a内でガイ
ドピン1が浮動しないように計算されて決定される。こ
れらの台形溝の間は、平面になっており、この面でファ
イバ保持部材2dに保持された光ファイバの上面を押さ
える。一方、ファイバ保持部材2dは、リッド2cに形
成された台形溝に対応する位置に、同様の形状の台形溝
が形成されている。したがって、これら二つの部材を重
ねれば、ガイドピン1に適合する貫通孔2aが形成され
る。ファイバ保持部材2dの上面に形成された2つの台
形溝の間には、保持される光ファイバの本数だけのV字
形溝2bが平行に形成されている(図8参照)。V字形
溝2bは、台形溝を機械的基準として形成されている。
これらのV字形溝2bには、そのV字形溝2bの全長よ
り長めの光ファイバが並べられている。リッド2cは、
ガイドピン1が置かれていない状態でファイバ保持部材
2dと接着剤で固定され、その後、ガイドピン1が挿入
される。リッド2cとファイバ保持部材2dにより光フ
ァイバが保持された後、V字形溝2bを越えて突出して
いる光ファイバは、端面研磨により長さが揃えられる。FIG. 8 is an exploded perspective view showing the MT ferrule together with the guide pin. A pair of trapezoidal grooves are formed on the back surface of the lid 2c constituting the MT ferrule 2, that is, on the surface facing the fiber holding member 2d, in parallel with a region near the side. The depth of the groove is the fiber holding member 2d
The guide pin 1 is calculated and determined so as not to float in the through hole 2a formed when the combination is performed. A plane is formed between these trapezoidal grooves, and this surface presses the upper surface of the optical fiber held by the fiber holding member 2d. On the other hand, in the fiber holding member 2d, a trapezoidal groove having a similar shape is formed at a position corresponding to the trapezoidal groove formed in the lid 2c. Therefore, when these two members are overlapped, a through-hole 2a that fits the guide pin 1 is formed. V-shaped grooves 2b are formed in parallel between the two trapezoidal grooves formed on the upper surface of the fiber holding member 2d by the number of optical fibers to be held (see FIG. 8). The V-shaped groove 2b is formed using the trapezoidal groove as a mechanical reference.
In these V-shaped grooves 2b, optical fibers longer than the entire length of the V-shaped grooves 2b are arranged. The lid 2c is
In a state where the guide pin 1 is not placed, it is fixed to the fiber holding member 2d with an adhesive, and then the guide pin 1 is inserted. After the optical fiber is held by the lid 2c and the fiber holding member 2d, the length of the optical fiber protruding beyond the V-shaped groove 2b is made uniform by end face polishing.
【0032】図9は、PDサブキャリア3の一構成要素
である金属製リードフレームを示す斜視図である。二点
鎖線で示された受光素子アレイ3fとプリアンプIC3
gは、リードフレームと、受光素子アレイ3f及びプリ
アンプIC3gが置かれるアイランド部3j1,3j2と
の位置関係を示すために表示したものである。図示のよ
うに、二つのアイランド部3j1,3j2は隣接して形成
され、接続用リードピン3eはプリアンプIC3gが置
かれるアイランド部3j2の近傍まで伸びている。その
ため、受光素子アレイ3fとプリアンプIC3g、プリ
アンプIC3gと接続用リードピン3eに要するワイヤ
は少なく、ワイヤボンディングを容易に行うことができ
る。ワイヤボンディングは、リードフレームを介する熱
伝導効果を利用して、受光素子アレイ3f及びプリアン
プIC3g上の電極パッドを所定温度、例えば170℃
に加熱してもよい。接続用リードピン3eの長手方向に
対し直交する側方に伸びた4本のリードピン3dは、主
として、放熱用に設けられているが、これらの端子を利
用して、グランド機能をもたせることが可能である。側
方に伸びる一対のリードピン3dの間には、ガイドピン
1が通るための逃がし部3kが形成されている。FIG. 9 is a perspective view showing a metal lead frame which is a component of the PD subcarrier 3. As shown in FIG. Light receiving element array 3f and preamplifier IC3 indicated by a two-dot chain line
g is displayed to indicate the positional relationship between the lead frame and the island portions 3j1 and 3j2 where the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g are placed. As shown, the two island portions 3j1 and 3j2 are formed adjacent to each other, and the connection lead pin 3e extends to the vicinity of the island portion 3j2 where the preamplifier IC 3g is placed. Therefore, the wires required for the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g, and the preamplifier IC 3g and the connection lead pins 3e are small, and the wire bonding can be easily performed. In the wire bonding, the electrode pads on the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g are heated to a predetermined temperature, for example, 170.degree.
May be heated. The four lead pins 3d extending to the side orthogonal to the longitudinal direction of the connection lead pin 3e are mainly provided for heat dissipation, but these terminals can be used to provide a ground function. is there. An escape portion 3k through which the guide pin 1 passes is formed between the pair of lead pins 3d extending laterally.
【0033】本実施例では、単体のリードフレームを用
いているが、これを受光素子アレイ用とプリアンプIC
用に分離してもよい。分離することにより、発熱量が多
いプリアンプIC3gからの、受光素子アレイ3fに対
する熱的影響を遮断することができる。In this embodiment, a single lead frame is used.
May be separated. By separating, the thermal influence from the preamplifier IC 3g, which generates a large amount of heat, on the light receiving element array 3f can be cut off.
【0034】図10は、前述した金属製リードフレーム
を第1平板3bと第2平板3cで挟持、固定した状態を
示す斜視図、図11は、図10の接続用リードピン3e
を折り曲げた状態を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the above-described metal lead frame is sandwiched and fixed between the first flat plate 3b and the second flat plate 3c, and FIG. 11 is a connecting lead pin 3e shown in FIG.
It is a perspective view which shows the state which bent.
【0035】ここで重要なことは、受光素子アレイ3f
が挿入される第2開口部3iは、ガイドピン1が挿入さ
れる位置決め穴3aを基準に、受光素子アレイ3fの外
形寸法を考慮して、高精度(1μm以下の精度)に位置
決め、形成されている点である。ここで要求される精度
は、樹脂成型(プラスチックインサート成型、トランス
ファーモールドなど)により可能である。そのため、第
1平板3b、第2平板3cの材料として、プラスチック
を使用することは、高精度を実現するのに有意義であ
る。さらに、高精度に微細加工された従来のシリコン基
板と比べると、寄生容量の問題がなく、性能が改善され
る。さらに、安価な材料のため、製品の低コスト化が期
待できる。What is important here is that the light receiving element array 3f
Is positioned and formed with high accuracy (accuracy of 1 μm or less) in consideration of the outer dimensions of the light receiving element array 3f with reference to the positioning hole 3a into which the guide pin 1 is inserted. That is the point. The precision required here can be achieved by resin molding (plastic insert molding, transfer molding, etc.). Therefore, using plastic as the material of the first flat plate 3b and the second flat plate 3c is meaningful for realizing high accuracy. Furthermore, compared to a conventional silicon substrate that has been finely processed with high precision, there is no problem of parasitic capacitance, and the performance is improved. Furthermore, since the material is inexpensive, cost reduction of the product can be expected.
【0036】一方、第1開口部3hは、光ファイバとの
光結合という制約がなく、ワイヤボンディングを介して
プリアンプIC3gが受光素子アレイ3fと接続用リー
ドピン3eに接続されるので、その位置精度は第1開口
部3iより低くてもよい。そのため、第1開口部3i
は、ワイヤボンディングに用いる治具(例えば、コレッ
ト)を支障無く使用できるように、ある程度、広めに
(プリアンプIC実装面の幅が約1mmであるのに対
し、約2mm幅で)形成されている。第1開口部3hと
第2開口部3iとの間隔は、短いワイヤで接続するとい
う要求から狭くするのが好ましいが、樹脂成型に耐えう
るだけの強度が維持される程度の幅(例えば、約0.5
mm)をもたせている。すなわち、第2開口部3iが精
度良く形成されることが最重視されている。そのため、
第2開口部3iの四隅は、受光素子アレイ3fの角部に
相当するが、この開口部3iに収まる受光素子アレイ3
fの角部の異形状の影響を除外するため、角部に相当す
る箇所を大きくくり貫いている。アレイ(通常は、半導
体チップ)の角には容易にカケ、バリ等が発生し、異形
状になり易いことが知られている。第2開口部3iの両
側には、ガイドピン1を位置決めすると共にボンディン
グワイヤの干渉を防止するための、六角形隆起部が形成
され、そこに、ガイドピン1が挿入される貫通孔3aが
形成されている。ガイドピン位置決め用隆起部を六角形
に形成することにより、ワイヤボンディング用治具がア
クセスできるスペースを確保し、受光素子アレイ3fと
プリアンプIC3gとのワイヤボンディングを容易にし
ている。ガイドピン1の挿入を容易にするため、貫通孔
3aの入口にはテーパが設けられている。On the other hand, since the first opening 3h is not restricted by optical coupling with an optical fiber, and the preamplifier IC 3g is connected to the light receiving element array 3f and the connection lead pins 3e via wire bonding, the positional accuracy is high. It may be lower than the first opening 3i. Therefore, the first opening 3i
Is formed to be somewhat wider (about 2 mm wide while the width of the preamplifier IC mounting surface is about 1 mm) so that a jig (for example, a collet) used for wire bonding can be used without any trouble. . The distance between the first opening 3h and the second opening 3i is preferably narrowed in view of the requirement for connection with a short wire, but a width (for example, about 0.5
mm). That is, it is of the utmost importance that the second opening 3i is formed with high accuracy. for that reason,
The four corners of the second opening 3i correspond to the corners of the light receiving element array 3f.
In order to exclude the influence of the irregular shape of the corner of f, a portion corresponding to the corner is largely pierced. It is known that chips, burrs, and the like are easily generated at the corners of an array (usually a semiconductor chip) and are likely to be irregularly shaped. Hexagonal ridges are formed on both sides of the second opening 3i for positioning the guide pins 1 and preventing interference of bonding wires, and through holes 3a into which the guide pins 1 are inserted are formed therein. Have been. By forming the guide pin positioning raised portion in a hexagonal shape, a space accessible by a wire bonding jig is secured, and wire bonding between the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g is facilitated. The entrance of the through hole 3a is tapered to facilitate insertion of the guide pin 1.
【0037】図12は、図11に示されたアイランド部
3j1,3j2に受光素子アレイ3f及びプリアンプIC
3gが搭載され、これらをワイヤボンディングした状態
を、ガイドピン1、MTフェルール2と共に示す斜視図
である。FIG. 12 shows a light receiving element array 3f and a preamplifier IC in the island portions 3j1 and 3j2 shown in FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing a state where 3g is mounted and these are wire-bonded together with a guide pin 1 and an MT ferrule 2.
【0038】MTフェルール2は、ガイドピン1が挿入
されて固定される貫通孔2aを基準に全ての光ファイバ
が精度良く位置決めされており、PDサブキャリア3
は、同様に、ガイドピン1が挿入されて固定される貫通
孔3aを基準に受光素子アレイ3fの全ての受光素子が
精度良く位置決めされている。したがって、ガイドピン
1を貫通孔1a,3aに挿入するだけで、複数の光ファ
イバと複数の受光素子の光結合が高精度に達成される。In the MT ferrule 2, all the optical fibers are accurately positioned with reference to the through hole 2a in which the guide pin 1 is inserted and fixed.
Similarly, all the light receiving elements of the light receiving element array 3f are accurately positioned with reference to the through hole 3a into which the guide pin 1 is inserted and fixed. Therefore, the optical coupling between the plurality of optical fibers and the plurality of light receiving elements can be achieved with high accuracy only by inserting the guide pins 1 into the through holes 1a and 3a.
【0039】なお、本発明に係る光並列伝送用受信器の
一実施例を図1乃至図12を参考に説明したが、本発明
は、上記実施例に限定されるものではなく、多種多様の
変形が可能である。Although one embodiment of the optical parallel transmission receiver according to the present invention has been described with reference to FIG. 1 to FIG. 12, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and a wide variety of embodiments are possible. Deformation is possible.
【0040】例えば、本実施例では受光素子アレイ3f
において、上面入射型受光素子を用いた受光素子アレイ
構造を使用しているが(図12参照)、いわゆる裏面入
射型受光素子を採用してもよい。For example, in the present embodiment, the light receiving element array 3f
In the above, a light receiving element array structure using a top illuminated light receiving element is used (see FIG. 12), but a so-called back illuminated light receiving element may be employed.
【0041】図13は、裏面入射型受光素子を用いたP
Dサブキャリア3をMTフェルール2と共に示す斜視
図、図14は、図13に示されたPDサブキャリア3を
裏側から見た斜視図である。前述した実施例との違い
は、第1に、ワイヤボンディングの干渉を防ぐ必要がな
いため、MTフェルール2と第1平板3bに六角形隆起
部が形成されていない。第2に、電極用パッドが形成さ
れた表面の反対面(裏面)で光ファイバからの出射光を
受光するため、第2平板3cにも開口部が形成されてい
る。FIG. 13 shows a P-type photodetector using a back illuminated light receiving element.
FIG. 14 is a perspective view showing the D subcarrier 3 together with the MT ferrule 2 and FIG. 14 is a perspective view of the PD subcarrier 3 shown in FIG. The difference from the above-described embodiment is that firstly, since it is not necessary to prevent interference of wire bonding, hexagonal ridges are not formed on the MT ferrule 2 and the first flat plate 3b. Second, an opening is also formed in the second flat plate 3c in order to receive the light emitted from the optical fiber on the opposite surface (back surface) of the surface on which the electrode pads are formed.
【0042】光ファイバからの出射光は、第2平板3c
の開口部を通り、裏面入射型受光素子アレイ3fの受光
面に入射する。受光素子アレイ3fで光電変換された電
気信号は、プリアンプIC3gにワイヤを介して送信さ
れる。プリアンプIC3gに送信された信号は、ワイヤ
接続により、接続用リードピン3eに送られる。 この
ように、裏面入射型受光素子アレイ3fを使用すること
により、MTフェルール2及びPDサブキャリア3の形
状をシンプルにできる。The light emitted from the optical fiber is transmitted to the second flat plate 3c.
And enters the light receiving surface of the back illuminated light receiving element array 3f. The electric signal photoelectrically converted by the light receiving element array 3f is transmitted to the preamplifier IC 3g via a wire. The signal transmitted to the preamplifier IC 3g is sent to the connection lead pin 3e by wire connection. As described above, by using the back illuminated light receiving element array 3f, the shapes of the MT ferrule 2 and the PD subcarrier 3 can be simplified.
【0043】また、上記実施例では、受光素子とプリア
ンプをワイヤで接続していたが、一方(例えば、受光素
子アレイ)を他方(例えば、プリアンプIC)にフリッ
プチップ実装してもよい。In the above embodiment, the light receiving element and the preamplifier are connected by wires, but one (for example, a light receiving element array) may be flip-chip mounted on the other (for example, a preamplifier IC).
【0044】図15は、前述した実施例で用いた受光素
子アレイ3fとプリアンプIC3gの接続状態を示す斜
視図、図16は、他の実施例に係る接続方法を示す斜視
図である。FIG. 15 is a perspective view showing a connection state between the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g used in the above-described embodiment, and FIG. 16 is a perspective view showing a connection method according to another embodiment.
【0045】両者の違いは、前述した実施例では、受光
素子アレイ3fとプリアンプIC3gを同一平面上に並
置し、それぞれの電極パッド間をワイヤボンディングで
接続していたのに対し(図15参照)、他の実施例に係
る接続構造では、裏面入射型受光素子アレイを用いるこ
とにより、受光素子アレイ3fとプリアンプIC3g間
のワイヤボンディングが不要になった点である(図16
参照)。The difference between the two is that, in the above-described embodiment, the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g are juxtaposed on the same plane, and the respective electrode pads are connected by wire bonding (see FIG. 15). In the connection structure according to the other embodiment, the use of the back illuminated light receiving element array eliminates the need for wire bonding between the light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3g (FIG. 16).
reference).
【0046】この他の実施例に係る接続方法によると、
実装面積が減少する他、隣接チャンネル間のクロストー
クが減少する。例えば、図15に係るワイヤボンド接続
法によると、実装面積は3.5mmX3mmとなるとこ
ろ、図16に係るフリップチップ接続法によると、実装
面積は3.5mmX1.5mmになる。According to the connection method according to the other embodiment,
In addition to reducing the mounting area, crosstalk between adjacent channels is reduced. For example, according to the wire bond connection method shown in FIG. 15, the mounting area is 3.5 mm × 3 mm, but according to the flip chip connection method shown in FIG. 16, the mounting area is 3.5 mm × 1.5 mm.
【0047】クロストークについては、図15による以
下のような条件の下で、実験を行った。すなわち、各チ
ャネルの入力インピーダンスが100オーム、各チャネ
ルの入力容量が0.5pF、ワイヤ配線以外による隣接
チャネル間の容量が10pFであるとき、周波数が10
MHzの場合、ワイヤボンド接続法によるクロストーク
量は−66.7dBであるのに対し、フリップチップ接
続法によるクロストーク量は−84.0dBであった。
また、周波数が100MHzの場合、ワイヤボンド接続
法によるクロストーク量は−46.7dBであるのに対
し、フリップチップ接続法によるクロストーク量は−6
4.0dBであった。さらに、周波数が1GHzの場
合、ワイヤボンド接続法によるクロストーク量は−2
7.4dBであるのに対し、フリップチップ接続法によ
るクロストーク量は−44.0dBであった。なお、ワ
イヤボンド間の結合容量:Cは、充填する樹脂の比誘電
率εrが3.69,ワイヤ長:Lが2×10-3[m]、
ワイヤ半径rが1×10-5[m]、ワイヤ間の距離:d
が2.5×10-4[m]と仮定すると、 C=(27.8×εr×L)×10-12/ln(d/r)
[F] で計算できる。Regarding the crosstalk, an experiment was conducted under the following conditions shown in FIG. That is, when the input impedance of each channel is 100 ohms, the input capacitance of each channel is 0.5 pF, and the capacitance between adjacent channels other than wire wiring is 10 pF, the frequency is 10 ohms.
In the case of MHz, the crosstalk amount by the wire bond connection method was -66.7 dB, whereas the crosstalk amount by the flip chip connection method was -84.0 dB.
When the frequency is 100 MHz, the crosstalk amount by the wire bond connection method is -46.7 dB, whereas the crosstalk amount by the flip chip connection method is -6.
It was 4.0 dB. Further, when the frequency is 1 GHz, the crosstalk amount by the wire bond connection method is -2.
In contrast to 7.4 dB, the amount of crosstalk by the flip-chip connection method was -44.0 dB. The coupling capacity between wire bonds: C is such that the relative permittivity εr of the resin to be filled is 3.69, the wire length: L is 2 × 10 −3 [m],
Wire radius r is 1 × 10 -5 [m], distance between wires: d
Is assumed to be 2.5 × 10 −4 [m], C = (27.8 × εr × L) × 10 −12 / ln (d / r)
[F] can be calculated.
【0048】次に、本発明に係る光並列伝送用送信器の
第1実施例を図17乃至図26、第2実施例を図27乃
至図38、第3実施例を図39乃至49を参照して、そ
れぞれ説明する。Next, a first embodiment of an optical parallel transmission transmitter according to the present invention is shown in FIGS. 17 to 26, a second embodiment is shown in FIGS. 27 to 38, and a third embodiment is shown in FIGS. 39 to 49. Then, each will be described.
【0049】光並列伝送用送信器と光並列伝送用受信器
との基本的な違いは、以下の通りである。第1に、後者
は光ファイバと受光素子の受光面が直交させる構造であ
るのに対し、前者は光ファイバと発光素子の出射方向が
実質的に同一である。第2に、後者は光ファイバのコア
径(シングルモード光ファイバの場合、約9μm)と受
光面(約100μm2)との光軸が問題であったが、前
者は発光素子と光ファイバのコア径との光軸合わせが必
要であり、精度の高い位置決めが要求される。The basic differences between the optical parallel transmission transmitter and the optical parallel transmission receiver are as follows. First, the latter has a structure in which the optical fiber and the light receiving surface of the light receiving element are orthogonal to each other, whereas the former has an optical fiber and the light emitting element whose emission directions are substantially the same. Second, the latter has a problem with the optical fiber core diameter (about 9 μm in the case of a single mode optical fiber) and the optical axis of the light receiving surface (about 100 μm 2 ). Optical axis alignment with the diameter is required, and highly accurate positioning is required.
【0050】以下、第1実施例に係る光並列伝送用送信
器を説明する。説明において、同一機能を有する部品に
は同一符号を用い、重複する説明は省略する。Hereinafter, a transmitter for optical parallel transmission according to the first embodiment will be described. In the description, the same reference numerals are used for components having the same function, and duplicate description is omitted.
【0051】図17は、樹脂成型直後の光並列伝送用送
信器を示す斜視図である。この光並列伝送用送信器は、
一対のガイドピン11,多心光ファイバを保持するMT
フェルール12,発光素子を保持するLDサブキャリア
13をリードフレーム14と共に樹脂成型し、モールド
パッケージ15を構成する。FIG. 17 is a perspective view showing the optical parallel transmission transmitter immediately after resin molding. This transmitter for optical parallel transmission,
MT holding a pair of guide pins 11 and a multi-core optical fiber
A ferrule 12 and an LD subcarrier 13 holding a light emitting element are resin-molded together with a lead frame 14 to form a mold package 15.
【0052】その後、モールドパッケージ15の側方及
び後方から伸びたリードがサポートリード手前から切断
されると共に、リード間のタイバーが切断される。Thereafter, the leads extending from the sides and the rear of the mold package 15 are cut from the front of the support leads, and the tie bars between the leads are cut.
【0053】なお、固定する方法として本実施例ではモ
ールドパッケージ15を用いているが、メタルパッケー
ジやプラスチックパッケージで固定してもよい。In this embodiment, the mold package 15 is used as a fixing method, but it may be fixed by a metal package or a plastic package.
【0054】図18及び図19は、樹脂成型前の本実施
例に係る光並列伝送用送信器を示す。図18はMTフェ
ルール12及びLDサブキャリア13の内部を示す分解
斜視図、図19はLDサブキャリア13のリッドを省略
した状態を示す斜視図である。図18及び図19は、明
瞭性を重視した簡略図であるため、例えば、LDサブキ
ャリア13とセラミック基板16とを接続するワイヤな
どは省略されている。FIGS. 18 and 19 show an optical parallel transmission transmitter according to this embodiment before resin molding. FIG. 18 is an exploded perspective view showing the inside of the MT ferrule 12 and the LD subcarrier 13, and FIG. 19 is a perspective view showing a state where the lid of the LD subcarrier 13 is omitted. Since FIGS. 18 and 19 are simplified diagrams emphasizing clarity, for example, wires connecting the LD subcarrier 13 and the ceramic substrate 16 are omitted.
【0055】ガイドピン11及びリードフレーム14は
樹脂成型用金型で保持され、これにより、モールドパッ
ケージ15で固定されるガイドピン11、MTフェルー
ル12,LDサブキャリア13,リードフレーム14,
セラミック基板16との間の相対位置が精度良く実現さ
れる。この段階で、ガイドピン11,MTフェルール1
2,LDサブキャリア13はガイドピン11を基準に精
度良く組み立てられる。The guide pin 11 and the lead frame 14 are held by a resin molding die, whereby the guide pin 11, the MT ferrule 12, the LD subcarrier 13, the lead frame 14,
The relative position with respect to the ceramic substrate 16 is realized with high accuracy. At this stage, the guide pin 11 and the MT ferrule 1
2. The LD subcarrier 13 is assembled with high accuracy based on the guide pins 11.
【0056】ガイドピン11は、通常、金属で形成さ
れ、少なくともMTフェルール12とLDサブキャリア
13を並置させた全長より長く構成されている。MTフ
ェルール12から突出しているガイドピン11には、他
のMTコネクタ(図示せず)が挿入される。そのため、
ガイドピン11の先端には、挿入を容易にする為、テー
パが形成されている。ガイドピン11は、MTフェルー
ル12に挿入され、固着されているわけではない。しか
し、他方のMTコネクタを外すとき、他方のMTコネク
タがガイドピン11を抜き取らないように、ある程度の
堅さでガイドピン11はMTフェルール12に保持され
ている。ガイドピン11の間には、複数のV字状の溝が
ガイドピン11の長手方向と平行に一定間隔で形成さ
れ、そこに複数の光ファイバが固定されている。したが
って、複数の光ファイバの配列ピッチは、一定間隔にな
っており、これは、通常、他方のMTコネクタの規格と
合致する。The guide pin 11 is usually made of metal, and is configured to be longer than at least the entire length of the MT ferrule 12 and the LD subcarrier 13 juxtaposed. Another MT connector (not shown) is inserted into the guide pin 11 protruding from the MT ferrule 12. for that reason,
The tip of the guide pin 11 is tapered to facilitate insertion. The guide pin 11 is inserted into the MT ferrule 12 and is not fixed. However, when the other MT connector is disconnected, the guide pin 11 is held to the MT ferrule 12 with a certain degree of rigidity so that the other MT connector does not pull out the guide pin 11. Between the guide pins 11, a plurality of V-shaped grooves are formed at regular intervals in parallel with the longitudinal direction of the guide pins 11, and a plurality of optical fibers are fixed therein. Therefore, the arrangement pitch of the plurality of optical fibers is constant, and this usually matches the standard of the other MT connector.
【0057】MTフェルール12は、少なくとも複数の
光ファイバ及びガイドピン11を保持する機能を有す
る。そのため、保持すべき光ファイバの本数に対応する
ファイバ保持部と、保持すべきガイドピン11の本数に
対応するピン保持部を有する。その詳細な構造は、図2
1,図22を参照して後述する。The MT ferrule 12 has a function of holding at least a plurality of optical fibers and the guide pins 11. Therefore, it has a fiber holding portion corresponding to the number of optical fibers to be held and a pin holding portion corresponding to the number of guide pins 11 to be held. The detailed structure is shown in FIG.
1, will be described later with reference to FIG.
【0058】LDサブキャリア13は、一対の貫通孔1
3aを形成する2枚のプラスチック製の第1平板及び第
2平板13b、13cと、放熱用リードピン13dを一
部に構成し第1平板13b、第2平板13cの間に挟持
される金属製リードフレームと、リッド13eとから構
成され、ガイドピン11を基準に、MTフェルール12
とセラミック基板16との間に取り付けられている。高
精度にLDサブキャリア13をMTフェルール12に位
置決めするため、LDサブキャリア13にはガイドピン
11の一端を受容する貫通孔13aが形成されている。
LDサブキャリア13には、貫通孔13aを基準に発光
素子アレイ13f及びドライバICアレイ13gが精度
良く搭載されているので、LDサブキャリア13をガイ
ドピン11に挿入するだけで、MTフェルール12に取
り付けられた複数の光ファイバとLDサブキャリア13
に搭載された複数の発光素子アレイ13fとを簡単に精
度良く光結合することができる。LDサブキャリア13
の両側方から伸びた放熱用リードピン3dは、金属製リ
ードフレームを通じて伝導されるドライバからの熱を逃
がす為に有効であるが、この放熱用リードピン13dを
利用して、グランド接地も可能である。本実施例では、
ワイヤでLDサブキャリア13とセラミック基板16と
が接続されるように構成されている。リッド13eは、
プラスチック材で形成され、第1平板13bに接着固定
される。その後、ガイドピン11は、貫通孔13aに挿
入される。ガイドピン11は、貫通孔13a内で固定さ
れなくてもよい。The LD subcarrier 13 has a pair of through holes 1.
The first and second flat plates 13b and 13c made of plastic forming the 3a and the lead pin 13d for heat radiation are partially formed and a metal lead sandwiched between the first and second flat plates 13b and 13c. The MT ferrule 12 is composed of a frame and a lid 13 e,
And the ceramic substrate 16. In order to accurately position the LD subcarrier 13 on the MT ferrule 12, a through hole 13a for receiving one end of the guide pin 11 is formed in the LD subcarrier 13.
Since the light emitting element array 13f and the driver IC array 13g are accurately mounted on the LD subcarrier 13 with reference to the through hole 13a, the LD subcarrier 13 is attached to the MT ferrule 12 simply by inserting the LD subcarrier 13 into the guide pin 11. A plurality of optical fibers and LD subcarrier 13
Can be easily and accurately optically coupled to the plurality of light emitting element arrays 13f mounted on the optical disk. LD subcarrier 13
The heat radiation lead pins 3d extending from both sides are effective for releasing the heat from the driver conducted through the metal lead frame, but grounding is possible using the heat radiation lead pins 13d. In this embodiment,
The configuration is such that the LD subcarrier 13 and the ceramic substrate 16 are connected by wires. The lid 13e is
It is formed of a plastic material and is adhesively fixed to the first flat plate 13b. Thereafter, the guide pins 11 are inserted into the through holes 13a. The guide pin 11 may not be fixed in the through hole 13a.
【0059】リードフレーム14は、矩形状枠を形作る
サポートリード14a、セラミック基板16が搭載され
るアイランド14b、アイランド14bとサポートリー
ド14aを接続するリードピン14cを含んで構成され
る。The lead frame 14 includes support leads 14a forming a rectangular frame, islands 14b on which the ceramic substrate 16 is mounted, and lead pins 14c connecting the islands 14b and the support leads 14a.
【0060】セラミック基板16は、リードフレーム1
4のアイランド14b上に載置されるが、ワイヤでLD
サブキャリア13と接続される限り、厳密な位置決めは
不要である。セラミック基板16の上面には、発光素子
を駆動するのに必要な電子回路(信号処理回路、波形整
形回路、増幅回路など)が形成されている。The ceramic substrate 16 is formed of the lead frame 1
4 is mounted on the island 14b.
Strict positioning is not required as long as it is connected to the subcarrier 13. On the upper surface of the ceramic substrate 16, an electronic circuit (a signal processing circuit, a waveform shaping circuit, an amplification circuit, and the like) necessary for driving the light emitting element is formed.
【0061】図20は、本実施例に使用可能なLDサブ
キャリア13をリードフレーム14及びセラミック基板
16と共に示す斜視図であり、図19の光並列伝送用送
信器からMTフェルール12を省略したものに相当す
る。なお、細部を明瞭に示すため、セラミック基板16
とドライバICアレイ13gとを接続するワイヤ、発光
素子アレイ13fとドライバICアレイ13gとを接続
するワイヤは省略されている。FIG. 20 is a perspective view showing an LD subcarrier 13 which can be used in this embodiment together with a lead frame 14 and a ceramic substrate 16, wherein the MT ferrule 12 is omitted from the optical parallel transmission transmitter of FIG. Is equivalent to In order to clearly show the details, the ceramic substrate 16
A wire connecting the light emitting element array 13f to the driver IC array 13g and a wire connecting the light emitting element array 13f to the driver IC array 13g are omitted.
【0062】ここで重要なことは、光ファイバの光軸と
発光素子の光軸が合致するように、ガイドピンを機械的
基準として、複数の光ファイバ(例えば、ファイバアレ
イ)と複数の発光素子(例えば、発光素子アレイ)がよ
り高精度に位置決めされている点である。別部材で保持
された光ファイバと発光素子をμmのオーダーで高精度
に位置決めするのは困難であったが、両部材にガイドピ
ンを固定する孔を精度良く設けることにより、ガイドピ
ンを介して高精度の位置決めを実現している。What is important here is that a plurality of optical fibers (for example, a fiber array) and a plurality of light emitting elements are used with a guide pin as a mechanical reference so that the optical axis of the optical fiber coincides with the optical axis of the light emitting element. (For example, a light emitting element array) is positioned with higher precision. It was difficult to position the optical fiber and the light emitting element held by separate members with high precision in the order of μm, but by providing the holes for fixing the guide pins in both members with high precision, the High precision positioning has been achieved.
【0063】以下、このサブアセンブリを構成するガイ
ドピン11,MTフェルール12,LDサブキャリア1
3を、図20に基づき、図21乃至図26を参考にしな
がら順番に説明する。Hereinafter, the guide pin 11, the MT ferrule 12, the LD subcarrier 1 constituting this subassembly will be described.
3 will be described in order based on FIG. 20 with reference to FIGS. 21 to 26.
【0064】ガイドピン11は、それが挿入される複数
の部材(本実施例では、MTフェルール12,LDサブ
キャリア13)間の位置決め機能を与えるため、通常
は、細長い円柱状に形成される(図20,図26参
照)。材料としては、送信器が使用される環境下で、変
形したり、湾曲したりすることがない材料、例えば、ス
テンレス鋼で形成されている。ガイドピン11がMTフ
ェルール12から突出する量は、そこに挿入される相手
側のMTコネクタ又はMTフェルールとの接続、光軸合
わせを考慮して計算されており、この計算値に基づき、
ガイドピン11の全長が決められる。The guide pin 11 is usually formed in an elongated cylindrical shape in order to provide a positioning function between a plurality of members (in this embodiment, the MT ferrule 12 and the LD subcarrier 13) into which the guide pin 11 is inserted. 20 and 26). The material is formed of a material that does not deform or bend under the environment where the transmitter is used, for example, stainless steel. The amount by which the guide pins 11 protrude from the MT ferrule 12 is calculated in consideration of the connection with the mating MT connector or MT ferrule inserted therein and the alignment of the optical axis, and based on this calculated value,
The total length of the guide pin 11 is determined.
【0065】MTフェルール12は、リッド12c、フ
ァイバ保持部材12dを備えて構成されている(図2
1,図22参照)。2枚の板部材、すなわち、リッド1
2cとファイバ保持部材12dは互いに合わされ、その
合わせ面に、一対のガイドピン11と複数の光ファイバ
12eが保持される。そのため、リッド12c及びファ
イバ保持部材12dには一対のガイドピン11が挿入さ
れる一対の貫通孔12aを形成する一対の台形状の溝が
形成され、ファイバ保持部材12dには複数の光ファイ
バ12eが保持されるV字形溝12bが形成されている
(図21,図22参照)。これらの溝は、互いに平行に
形成されているので、MTフェルール12に挿入された
ガイドピン11と、MTフェルール12に保持された全
ての光ファイバ12eは平行に保持される。受信器の場
合、光ファイバの光軸と受光素子の受光面を直交させる
ため、受光素子アレイとプリアンプICを相互に接続す
るワイヤの逃げが必要であったが、この場合、LDサブ
キャリア13とMTフェルール12を並置するので、ワ
イヤ接続は邪魔にならず、このような配慮は不要であ
る。The MT ferrule 12 includes a lid 12c and a fiber holding member 12d (FIG. 2).
1, see FIG. 22). Two plate members, namely lid 1
The 2c and the fiber holding member 12d are fitted together, and a pair of guide pins 11 and a plurality of optical fibers 12e are held on the mating surfaces. Therefore, a pair of trapezoidal grooves forming a pair of through holes 12a into which the pair of guide pins 11 are inserted are formed in the lid 12c and the fiber holding member 12d, and a plurality of optical fibers 12e are formed in the fiber holding member 12d. A V-shaped groove 12b to be held is formed (see FIGS. 21 and 22). Since these grooves are formed in parallel with each other, the guide pin 11 inserted into the MT ferrule 12 and all the optical fibers 12e held by the MT ferrule 12 are held in parallel. In the case of the receiver, in order to make the optical axis of the optical fiber orthogonal to the light receiving surface of the light receiving element, it is necessary to escape a wire connecting the light receiving element array and the preamplifier IC. Since the MT ferrules 12 are juxtaposed, the wire connection does not become an obstacle, and such consideration is not required.
【0066】LDサブキャリア13は、第1平板13
b、第2平板13c、リードフレームから構成されてい
る(図23,図24参照)。第1平板13bは外部輪郭
が矩形になるようにプラスチック材で形成され、その中
央部の上方(又は下方)にはドライバICアレイ13g
を搭載する為の第1開口部13hが形成され、その下方
(又は上方)には発光素子アレイ13fを搭載する為の
第2開口部13iが形成されている。第1開口部13h
は、ドライバICアレイ13gを収容するのに十分な広
さで形成されているが、第2開口部13iは、MTフェ
ルール12に保持された光ファイバと発光素子アレイ1
3fが高精度に位置決めされるように、発光素子アレイ
13fの形状に合致した開口形状になっている。第1開
口部13hと第2開口部13iの両側には、ガイドピン
11を挿入させる貫通孔13aを画成する為に台形状の
溝が形成されている。受信器用のリードフレーム(図9
参照)と異なり、本実施例のリードフレーム(図23参
照)には、一方向(例えば、下方向)に伸びる多数の接
続用ピン3eは設けられていない。しかし、他方向(例
えば、側方)に伸びる少数の放熱用ピン13d、発光素
子アレイ13f及びドライバICアレイ13gが置かれ
るアイランド部13j1,13j2を含み、2枚の第1平
板13b、第2平板13cで挟まれている(図26参
照)。接続用リードピン3eが無いのは、ドライバIC
アレイ13gとセラミック基板16がワイヤで直接接続
されるからである。ドライバICアレイ13gは、ほぼ
直方体のチップ状に形成され(図20,図26参照)、
上面には電極(図示せず)が形成されている。そのた
め、簡単にセラミック基板16上の電極とワイヤボンデ
ィングで接続することが可能である。第2平板13c
は、リードフレームを第1平板13bとの間で挟んで固
定する機能を有し、特に開口部は形成されていない。受
信器用のリードフレーム(図12)と異なり、ガイドピ
ン11が第1平板13b及び第2平板13cを貫通しな
い構造であるため、金属製リードフレームにガイドピン
11を逃がす為の逃がし部は設けられていない(図23
参照)。ドライバICアレイ13gと発光素子アレイ1
3fは、第2平板13cとは接触しないが、金属製リー
ドフレーム上に面接触するように置かれるので(図23
参照)、例えばドライバICアレイ13gからの熱を、
リードピン13dを介して効率良く放熱することができ
る。The LD subcarrier 13 includes a first flat plate 13
b, the second flat plate 13c, and a lead frame (see FIGS. 23 and 24). The first flat plate 13b is formed of a plastic material so that the outer contour thereof is rectangular, and a driver IC array 13g is provided above (or below) the central portion thereof.
Is formed, and a second opening 13i for mounting the light emitting element array 13f is formed below (or above) the first opening 13h. First opening 13h
Is formed large enough to accommodate the driver IC array 13g, but the second opening 13i is formed with the optical fiber held by the MT ferrule 12 and the light emitting element array 1
The opening shape matches the shape of the light emitting element array 13f so that 3f is positioned with high accuracy. On both sides of the first opening 13h and the second opening 13i, trapezoidal grooves are formed to define through holes 13a into which the guide pins 11 are inserted. Lead frame for receiver (Fig. 9
Unlike the lead frame of this embodiment (see FIG. 23), a large number of connection pins 3e extending in one direction (for example, downward) are not provided. However, the first plate 13b and the second plate 13 include a small number of heat radiation pins 13d extending in the other direction (for example, sideways), island portions 13j1 and 13j2 on which the light emitting element array 13f and the driver IC array 13g are placed. 13c (see FIG. 26). The absence of the connection lead pin 3e is due to the driver IC
This is because the array 13g and the ceramic substrate 16 are directly connected by wires. The driver IC array 13g is formed in a substantially rectangular parallelepiped chip shape (see FIGS. 20 and 26).
An electrode (not shown) is formed on the upper surface. Therefore, it is possible to easily connect to the electrodes on the ceramic substrate 16 by wire bonding. Second flat plate 13c
Has a function of sandwiching and fixing the lead frame between the first flat plate 13b, and no opening is particularly formed. Unlike the lead frame for the receiver (FIG. 12), the guide pin 11 does not penetrate the first flat plate 13b and the second flat plate 13c, so that a relief portion for releasing the guide pin 11 is provided in the metal lead frame. Not (Fig. 23
reference). Driver IC array 13g and light emitting element array 1
23f does not contact the second flat plate 13c, but is placed on the metal lead frame so as to make surface contact (FIG. 23).
See, for example, the heat from the driver IC array 13g.
Heat can be efficiently radiated through the lead pins 13d.
【0067】次に、図21乃至図26に基づき、サブア
センブリを構成するMTフェルール12,LDサブキャ
リア13の構造を更に詳細に説明する。Next, the structures of the MT ferrule 12 and the LD subcarrier 13 constituting the subassembly will be described in more detail with reference to FIGS.
【0068】図21は、ガイドピンと共にMTフェルー
ルを示す分解斜視図、図22は、図21のガイドピン及
びMTフェルールを下方から見た斜視図である。MTフ
ェルール12を構成するリッド12cの裏面、すなわ
ち、ファイバ保持部材12dと対面する面には、一対の
台形溝が側部に近い領域に平行に形成されている。溝の
深さは、ファイバ保持部材12dと組み合わされたとき
に形成される貫通孔12a内でガイドピン11が浮動し
ないように計算されて決定される。これらの台形溝の間
は、平面になっており、この面でファイバ保持部材12
dに保持された光ファイバの上面を押さえる。一方、フ
ァイバ保持部材12dは、リッド12cに形成された台
形溝に対応する位置に、同様の形状の台形溝が形成され
ている。したがって、これら二つの部材を重ねれば、ガ
イドピン11に適合する貫通孔12aが形成される。フ
ァイバ保持部材12dの上面に形成された2つの台形溝
の間には、保持される光ファイバの本数だけのV字形溝
12bが平行に形成されている(図22参照)。V字形
溝12bは、台形溝を機械的基準として形成されてい
る。これらのV字形溝12bには、そのV字形溝12b
の全長より長めの光ファイバが並べられている。リッド
12cは、ガイドピン11が置かれていない状態でファ
イバ保持部材12dと接着剤で固定され、その後、ガイ
ドピン11が挿入される。リッド12cとファイバ保持
部材12dにより光ファイバが保持された後、V字形溝
12bを越えて突出している光ファイバ12eは、端面
研磨により長さが揃えられる。FIG. 21 is an exploded perspective view showing the MT ferrule together with the guide pin, and FIG. 22 is a perspective view of the guide pin and the MT ferrule of FIG. 21 viewed from below. A pair of trapezoidal grooves are formed on the back surface of the lid 12c constituting the MT ferrule 12, that is, on the surface facing the fiber holding member 12d, in parallel with a region near the side. The depth of the groove is calculated and determined so that the guide pin 11 does not float in the through hole 12a formed when the groove is combined with the fiber holding member 12d. The space between these trapezoidal grooves is flat, and the fiber holding member 12
The upper surface of the optical fiber held by d is pressed. On the other hand, a trapezoidal groove having a similar shape is formed on the fiber holding member 12d at a position corresponding to the trapezoidal groove formed on the lid 12c. Therefore, when these two members are overlapped, a through-hole 12a that fits the guide pin 11 is formed. Between the two trapezoidal grooves formed on the upper surface of the fiber holding member 12d, V-shaped grooves 12b are formed in parallel with the number of optical fibers to be held (see FIG. 22). The V-shaped groove 12b is formed using the trapezoidal groove as a mechanical reference. These V-shaped grooves 12b are provided with the V-shaped grooves 12b.
The optical fibers longer than the total length are arranged. The lid 12c is fixed to the fiber holding member 12d with an adhesive in a state where the guide pin 11 is not placed, and then the guide pin 11 is inserted. After the optical fiber is held by the lid 12c and the fiber holding member 12d, the length of the optical fiber 12e protruding beyond the V-shaped groove 12b is made uniform by end face polishing.
【0069】図23は、LDサブキャリア13の一構成
要素である金属製リードフレームを示す斜視図である。
二点鎖線で示された発光素子アレイ13fとドライバI
Cアレイ13gは、リードフレームと、発光素子アレイ
13f及びドライバICアレイ13gが置かれるアイラ
ンド部13j1,13j2との位置関係を示すために表示
したものである。図示のように、二つのアイランド部1
3j1,13j2は隣接して形成されている。そのため、
発光素子アレイ13fとドライバICアレイ13gに要
するワイヤは少なく、ワイヤボンディングを容易に行う
ことができる。ワイヤボンディングは、リードフレーム
を介する熱伝導効果を利用して、発光素子アレイ13f
及びドライバICアレイ13g上の電極パッドを所定温
度、例えば170℃に加熱してもよい。側方に伸びた4
本のリードピン13dは、主として、放熱用に設けられ
ているが、これらの端子を利用して、グランド機能をも
たせることが可能である。FIG. 23 is a perspective view showing a metal lead frame which is a component of the LD subcarrier 13.
Light emitting element array 13f and driver I indicated by a two-dot chain line
The C array 13g is displayed to show the positional relationship between the lead frame and the island portions 13j1 and 13j2 where the light emitting element array 13f and the driver IC array 13g are placed. As shown, two islands 1
3j1 and 13j2 are formed adjacent to each other. for that reason,
The number of wires required for the light emitting element array 13f and the driver IC array 13g is small, and wire bonding can be easily performed. The wire bonding utilizes the heat conduction effect via the lead frame to form the light emitting element array 13f.
Alternatively, the electrode pads on the driver IC array 13g may be heated to a predetermined temperature, for example, 170 ° C. 4 stretched to the side
Although the lead pins 13d are mainly provided for heat dissipation, these terminals can be used to provide a ground function.
【0070】本実施例では、単体のリードフレームを用
いているが、これを発光素子アレイ用とドライバICア
レイ用に分離してもよい。分離することにより、発熱量
が多いドライバICアレイ13gからの、発光素子アレ
イ13fに対する熱的影響を遮断することができる。In this embodiment, a single lead frame is used, but it may be separated into a light emitting element array and a driver IC array. By separating, the thermal influence from the driver IC array 13g, which generates a large amount of heat, on the light emitting element array 13f can be cut off.
【0071】図24は、前述した金属製リードフレーム
を第1平板13bと第2平板13cで挟持、固定した状
態を示す斜視図、図25は、図24をドライバICアレ
イ搭載部13j1側から見た状態を示す斜視図である。FIG. 24 is a perspective view showing a state in which the above-described metal lead frame is sandwiched and fixed between the first flat plate 13b and the second flat plate 13c. FIG. 25 is a view showing FIG. 24 as viewed from the driver IC array mounting portion 13j1. FIG.
【0072】ここで重要なことは、発光素子アレイ13
fが挿入される第2開口部13iは、ガイドピン11が
挿入される位置決め穴13aを画成する台形溝を基準
に、発光素子アレイ13fの外形寸法を考慮して、高精
度(1μm以下の精度)に位置決め、形成されている点
である。ここで要求される精度は、樹脂成型(プラスチ
ックインサート成型、トランスファーモールドなど)に
より達成される。そのため、第1平板13b、第2平板
13cの材料として、プラスチックを使用することは、
高精度を実現するのに有意義である。さらに、高精度に
微細加工された従来のシリコン基板と比べると、寄生容
量の問題がなく、性能が改善される。さらに、安価な材
料のため、製品の低コスト化が期待できる。It is important that the light emitting element array 13
The second opening 13i, into which the guide pin 11 is inserted, is highly accurate (1 μm or less) with reference to the trapezoidal groove defining the positioning hole 13a into which the guide pin 11 is inserted, in consideration of the outer dimensions of the light emitting element array 13f. (Accuracy). The precision required here is achieved by resin molding (plastic insert molding, transfer molding, etc.). Therefore, using plastic as the material of the first flat plate 13b and the second flat plate 13c
It is meaningful to achieve high accuracy. Furthermore, compared to a conventional silicon substrate that has been finely processed with high precision, there is no problem of parasitic capacitance, and the performance is improved. Furthermore, since the material is inexpensive, cost reduction of the product can be expected.
【0073】一方、第1開口部13hは、光ファイバと
の光結合という制約がなく、ワイヤボンディングを介し
てドライバICアレイ13gが発光素子アレイ13fと
セラミック基板16に接続されるので、その位置精度は
第1開口部13iより低くてもよい。そのため、第1開
口部13iは、ワイヤボンディングに用いる治具(例え
ば、コレット)を支障無く使用できるように、ある程
度、広めに形成されている。第1開口部13hと第2開
口部13iとの間にはモニタ用受光素子搭載部13mが
設けられている。ここで重要なことは、そこに搭載され
たモニタ用受光素子13pが発光素子の出射光を斜めに
受けるように、モニタ用受光素子搭載部13mは発光素
子の出射部を含む面に対して斜めになるように形成され
ている点である。そのため、モニタ用受光素子13pの
受光面からの反射光は、どの発光素子にも入らず、発光
素子の性能を高めている。モニタ受光素子13pにその
ような機能を持たせるため、そのモニタ用受光素子搭載
部13mは発光素子アレイの出射面に対し傾斜してお
り、モニタ用受光素子13pの両側には、メタライズ配
線13n1、13n2が伸びている。モニタ用受光素子1
3pは、受光面が上面、電極は上面に一つ、裏面に一つ
形成されている。そのため、一方のメタライズ配線13
n1は、モニタ用受光面の裏面に接触しているが、他方
のメタライズ配線13n2は間隔が開いており、例え
ば、ワイヤボンディングで接続される。On the other hand, since the first opening 13h is not restricted by optical coupling with an optical fiber and the driver IC array 13g is connected to the light emitting element array 13f and the ceramic substrate 16 via wire bonding, the positional accuracy of the first opening 13h can be improved. May be lower than the first opening 13i. Therefore, the first opening 13i is formed to be somewhat wider so that a jig (for example, a collet) used for wire bonding can be used without any trouble. A monitor light receiving element mounting portion 13m is provided between the first opening 13h and the second opening 13i. What is important here is that the monitor light-receiving element mounting portion 13m is inclined with respect to the surface including the light-emitting element emission portion so that the monitor light-receiving device 13p mounted thereon receives the light emitted from the light-emitting device obliquely. This is the point that is formed. Therefore, the reflected light from the light receiving surface of the monitoring light receiving element 13p does not enter any of the light emitting elements, thereby enhancing the performance of the light emitting elements. In order to provide the monitor light receiving element 13p with such a function, the monitor light receiving element mounting portion 13m is inclined with respect to the emission surface of the light emitting element array, and metallized wirings 13n1 are provided on both sides of the monitor light receiving element 13p. 13n2 is growing. Monitor light receiving element 1
3p has a light receiving surface formed on the upper surface, one electrode formed on the upper surface, and one electrode formed on the back surface. Therefore, one metallized wiring 13
While n1 is in contact with the back surface of the monitor light receiving surface, the other metallized wiring 13n2 is spaced apart and connected by, for example, wire bonding.
【0074】図26は、図24に示されたアイランド部
13j1,13j2及びモニタ用受光素子13mに、発光
素子アレイ13f、ドライバICアレイ13g及びモニ
タ用受光素子13pが搭載された状態を、ガイドピン1
1と共に示す斜視図である。図26では、明瞭性を重視
するため、ワイヤなどは省略している。FIG. 26 shows a state where the light emitting element array 13f, the driver IC array 13g, and the monitoring light receiving element 13p are mounted on the island portions 13j1, 13j2 and the monitoring light receiving element 13m shown in FIG. 1
1 is a perspective view shown together with FIG. In FIG. 26, wires and the like are omitted to emphasize clarity.
【0075】MTフェルール12は図示されていない
が、ガイドピン11が挿入されて固定される貫通孔12
aを基準に全ての光ファイバが精度良く位置決めされて
おり、LDサブキャリア13は、ガイドピン11が挿入
されて固定される貫通孔13aを基準に発光素子アレイ
13fの全ての発光素子が精度良く位置決めされてい
る。したがって、ガイドピン11を貫通孔11a,13
aに挿入するだけで、複数の光ファイバと複数の発光素
子の光結合が高精度に達成される。Although the MT ferrule 12 is not shown, a through hole 12 into which the guide pin 11 is inserted and fixed is provided.
All the optical fibers are accurately positioned based on a, and all the light emitting elements of the light emitting element array 13f of the LD subcarrier 13 are accurately positioned based on the through hole 13a into which the guide pin 11 is inserted and fixed. Positioned. Therefore, the guide pin 11 is connected to the through holes 11a and 13a.
The optical coupling between the plurality of optical fibers and the plurality of light emitting elements can be achieved with high accuracy only by inserting the optical fiber into the optical fiber.
【0076】次に、図17,図27乃至図38を参照し
て、第2実施例に係る光並列伝送用送信器を説明する。Next, an optical parallel transmission transmitter according to a second embodiment will be described with reference to FIG. 17, FIG. 27 to FIG.
【0077】第1実施例に係る光並列伝送用送信器と第
2実施例に係る光並列伝送用送信器との基本的な違い
は、受光素子アレイを位置決めする方法が開口ではなく
溝である点、LDサブキャリア23を構成する第1平板
にLDサブキャリア23を構成するリードフレームが2
つに分離している点である。発光素子と光ファイバのコ
ア径との光軸合わせが必要であり、より精度の高い位置
決めが要求される点は変わらない。The basic difference between the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment and the optical parallel transmission transmitter according to the second embodiment is that the method of positioning the light receiving element array is not an opening but a groove. The lead frame forming the LD subcarrier 23 is formed on the first flat plate forming the LD subcarrier 23.
That is, they are separated into two. It is necessary to align the optical axis of the light emitting element and the core diameter of the optical fiber, and there is no change in the need for more accurate positioning.
【0078】以下、第2実施例に係る光並列伝送用送信
器を説明する。説明において、同一機能を有する部品に
は同一符号を用い、重複する説明は省略する。Hereinafter, a transmitter for optical parallel transmission according to the second embodiment will be described. In the description, the same reference numerals are used for components having the same function, and duplicate description is omitted.
【0079】樹脂成型後の第2実施例に係る光並列伝送
用送信器は、図17に示す形状になる。その機能、構成
は同一なので、説明は省略する。The transmitter for optical parallel transmission according to the second embodiment after resin molding has the shape shown in FIG. Since the functions and configurations are the same, the description is omitted.
【0080】図27乃至図29は、樹脂成型前の本実施
例に係る光並列伝送用送信器を示す。図27はリッド2
3eを外した状態をセラミック基板26側から示す斜視
図、図28は図27の光並列伝送用送信器から更にMT
フェルール22のリッド22cを外した状態を示す斜視
図、図29はリッド22cとリッド23eを外した状態
をMTフェルール22側から示す斜視図である。図27
乃至図29は、明瞭性を重視した簡略図であるため、例
えば、LDサブキャリア23とセラミック基板26とを
接続するワイヤなどは省略されている。FIGS. 27 to 29 show an optical parallel transmission transmitter according to this embodiment before resin molding. FIG. 27 shows lid 2
FIG. 28 is a perspective view showing a state in which 3e is removed from the ceramic substrate 26 side. FIG.
FIG. 29 is a perspective view of the ferrule 22 with the lid 22c removed, and FIG. 29 is a perspective view of the ferrule 22 with the lid 22c and lid 23e removed from the MT ferrule 22 side. FIG.
29 are simple diagrams emphasizing clarity, and for example, wires connecting the LD subcarrier 23 and the ceramic substrate 26 are omitted.
【0081】本実施例では、LDサブキャリア23にプ
ラスチック材を使用しトランスファーモールドを用いて
いるため、1μm以下の加工精度が実現可能となってい
る。よって、シングルモード光ファイバのコア径(約9
μm)と発光素子との無調心組立に有効である。In this embodiment, since a plastic material is used for the LD subcarrier 23 and a transfer mold is used, a processing accuracy of 1 μm or less can be realized. Therefore, the core diameter of the single mode optical fiber (about 9
μm) and a light-emitting element.
【0082】ガイドピン21及びリードフレーム24は
樹脂成型用金型で保持され、これにより、モールドパッ
ケージ(図17参照)で固定されるガイドピン21、M
Tフェルール22,LDサブキャリア23,リードフレ
ーム24,セラミック基板26との間の相対位置が精度
良く実現される。この段階で、ガイドピン21,MTフ
ェルール22,LDサブキャリア23はガイドピン21
を基準に精度良く組み立てられる。The guide pins 21 and the lead frame 24 are held by a resin molding die, thereby fixing the guide pins 21 and M fixed by a mold package (see FIG. 17).
The relative positions among the T ferrule 22, the LD subcarrier 23, the lead frame 24, and the ceramic substrate 26 are realized with high accuracy. At this stage, the guide pin 21, the MT ferrule 22, and the LD subcarrier 23 are
Can be assembled with high accuracy based on
【0083】ガイドピン21は、通常、金属で形成さ
れ、少なくともMTフェルール22とLDサブキャリア
23を並置させた全長より長く構成されている。MTフ
ェルール22から突出しているガイドピン21には、他
のMTフェルール(図示せず)が挿入される。そのた
め、ガイドピン21の先端には、挿入を容易にする為、
テーパが形成されている。ガイドピン21は、MTフェ
ルール22に挿入され、固着されているわけではない。
しかし、他方のMTフェルールを外すとき、他方のMT
フェルールがガイドピン21を抜き取らないように、あ
る程度の堅さでガイドピン21はMTフェルール22に
保持されている。ガイドピン21の間には、複数のV字
状の溝がガイドピン21の長手方向と平行に一定間隔で
形成され、そこに複数の光ファイバが固定されている。
したがって、複数の光ファイバの配列ピッチは、一定間
隔になっており、これは、通常、他方のMTフェルール
の規格と合致する。The guide pin 21 is usually formed of a metal, and is longer than at least the entire length of the MT ferrule 22 and the LD subcarrier 23 juxtaposed. Another MT ferrule (not shown) is inserted into the guide pin 21 protruding from the MT ferrule 22. Therefore, at the tip of the guide pin 21, in order to facilitate insertion,
A taper is formed. The guide pin 21 is not inserted and fixed to the MT ferrule 22.
However, when removing the other MT ferrule, the other MT ferrule is removed.
The guide pin 21 is held by the MT ferrule 22 with a certain degree of rigidity so that the ferrule does not pull out the guide pin 21. A plurality of V-shaped grooves are formed between the guide pins 21 at regular intervals in parallel with the longitudinal direction of the guide pins 21, and a plurality of optical fibers are fixed therein.
Therefore, the arrangement pitch of the plurality of optical fibers is constant, and this usually matches the standard of the other MT ferrule.
【0084】MTフェルール22は、少なくとも複数の
光ファイバ及びガイドピン21を保持する機能を有す
る。そのため、保持すべき光ファイバの本数に対応する
ファイバ保持部と、保持すべきガイドピン21の本数に
対応するピン保持部を有する。その詳細な構造は、第1
実施例に係る光並列伝送用送信器と実質的に変わらない
ので、説明を省略する(図21,図22参照)。The MT ferrule 22 has a function of holding at least a plurality of optical fibers and the guide pins 21. Therefore, it has a fiber holding portion corresponding to the number of optical fibers to be held and a pin holding portion corresponding to the number of guide pins 21 to be held. Its detailed structure is
The description is omitted because it is not substantially different from the optical parallel transmission transmitter according to the embodiment (see FIGS. 21 and 22).
【0085】LDサブキャリア23は、一対の貫通孔2
3aの一部を形成する2枚のプラスチック製の第1平板
23b及び第2平板23cと、放熱用リードピン23d
を一部に構成し第1平板23b、第2平板23cの間に
挟持される金属製リードフレームと、リッド23eとか
ら構成され、ガイドピン21を基準に、MTフェルール
22とセラミック基板26との間に配置されている。高
精度にLDサブキャリア23をMTフェルール22に位
置決めするため、LDサブキャリア23にはガイドピン
21の一端を受容する貫通孔23aが形成されている
(図30参照)。LDサブキャリア23には、貫通孔2
3aを基準に発光素子アレイ23f及びドライバICア
レイ23gが精度良く搭載されているので、LDサブキ
ャリア23をガイドピン21に挿入するだけで、MTフ
ェルール22に取り付けられた複数の光ファイバとLD
サブキャリア23に搭載された複数の発光素子アレイ2
3fとを簡単に精度良く光結合することができる。LD
サブキャリア23の両側方から伸びた放熱用リードピン
23dは、金属製リードフレームを通じて伝導されるド
ライバからの熱を逃がす為に有効であるが、この放熱用
リードピン23dを利用して、グランド接地も可能であ
る。本実施例では、ワイヤでLDサブキャリア23とセ
ラミック基板26とが接続されるように構成されてい
る。リッド23eは、プラスチック材で形成され、透明
樹脂などで第1平板23bに接着固定される。その後、
ガイドピン21は、貫通孔23aに挿入される。ガイド
ピン21は、貫通孔23a内で固定されなくてもよい。The LD subcarrier 23 has a pair of through holes 2.
3a, two first and second flat plates 23b and 23c made of plastic, and a lead pin 23d for heat radiation.
And a lid 23e formed between the first flat plate 23b and the second flat plate 23c, and the MT ferrule 22 and the ceramic substrate 26 with the guide pin 21 as a reference. It is located between them. In order to accurately position the LD subcarrier 23 on the MT ferrule 22, a through hole 23a for receiving one end of the guide pin 21 is formed in the LD subcarrier 23 (see FIG. 30). The LD subcarrier 23 has a through hole 2
Since the light emitting element array 23f and the driver IC array 23g are mounted with high accuracy on the basis of the reference 3a, only by inserting the LD subcarrier 23 into the guide pin 21, the plurality of optical fibers attached to the MT ferrule 22 and the LD
Plural light emitting element arrays 2 mounted on subcarrier 23
3f can be easily and accurately optically coupled. LD
The heat dissipation lead pins 23d extending from both sides of the subcarrier 23 are effective for dissipating heat from the driver conducted through the metal lead frame, but grounding is also possible using the heat dissipation lead pins 23d. It is. In this embodiment, the configuration is such that the LD subcarrier 23 and the ceramic substrate 26 are connected by wires. The lid 23e is formed of a plastic material, and is adhered and fixed to the first flat plate 23b with a transparent resin or the like. afterwards,
The guide pin 21 is inserted into the through hole 23a. The guide pin 21 does not need to be fixed in the through hole 23a.
【0086】リードフレーム24は、矩形状枠を形作る
サポートリード24a、セラミック基板26が搭載され
るアイランド24b、アイランド24bとサポートリー
ド24aを接続するリードピン24cを含んで構成され
る。The lead frame 24 includes support leads 24a forming a rectangular frame, islands 24b on which the ceramic substrate 26 is mounted, and lead pins 24c connecting the islands 24b and the support leads 24a.
【0087】セラミック基板26は、リードフレーム2
4のアイランド24b上に載置されるが、ワイヤでLD
サブキャリア23と接続される限り、厳密な位置決めは
不要である。セラミック基板26の上面には、発光素子
を駆動するのに必要な電子回路(信号処理回路、波形整
形回路、増幅回路、APC回路など)が形成されてい
る。The ceramic substrate 26 is a lead frame 2
4 is placed on the island 24b, and the LD
Strict positioning is not required as long as it is connected to the subcarrier 23. On the upper surface of the ceramic substrate 26, an electronic circuit (a signal processing circuit, a waveform shaping circuit, an amplifier circuit, an APC circuit, and the like) necessary for driving the light emitting element is formed.
【0088】図30及び図31は、本実施例に使用可能
なLDサブキャリア23をリードフレーム24及びセラ
ミック基板26と共に示す斜視図である。なお、細部を
明瞭に示すため、セラミック基板26とドライバICア
レイ23gとを接続するワイヤ、発光素子アレイ23f
とドライバICアレイ23gとを接続するワイヤは省略
されている。FIGS. 30 and 31 are perspective views showing the LD subcarrier 23 usable in this embodiment together with the lead frame 24 and the ceramic substrate 26. FIG. In order to clearly show the details, the wires connecting the ceramic substrate 26 and the driver IC array 23g, the light emitting element array 23f
The wire connecting the driver IC array 23g and the driver IC array 23g is omitted.
【0089】ここで重要なことは、光ファイバの光軸と
発光素子の光軸が合致するように、ガイドピンを機械的
基準として、複数の光ファイバ(例えば、ファイバアレ
イ)と複数の発光素子(例えば、発光素子アレイ)がよ
り高精度に位置決めされている点である。別部材で保持
された光ファイバと発光素子をμmのオーダーで高精度
に位置決めするのは困難であったが、両部材にガイドピ
ンを固定する孔を精度良く設けることにより、ガイドピ
ンを介して高精度の位置決めを実現している。What is important here is that a plurality of optical fibers (for example, a fiber array) and a plurality of light emitting elements are used with the guide pin as a mechanical reference so that the optical axis of the optical fiber matches the optical axis of the light emitting element. (For example, a light emitting element array) is positioned with higher precision. It was difficult to position the optical fiber and the light emitting element held by separate members with high precision in the order of μm, but by providing the holes for fixing the guide pins in both members with high precision, the High precision positioning has been achieved.
【0090】以下、このサブアセンブリを構成するガイ
ドピン21,MTフェルール22,LDサブキャリア2
3を、図32乃至図36に基づき、順番に説明する。Hereinafter, the guide pin 21, the MT ferrule 22, the LD subcarrier 2
3 will be described in order based on FIGS.
【0091】図32はリッド23eを省略したLDサブ
キャリア23をMTフェルール22と共に示す斜視図、
図33はリッド23eを省略したLDサブキャリア23
をガイドピン21と共に示す斜視図、図34はLDサブ
キャリア23を構成する第1平板23b、第2平板23
c、それらに保持される2つのリードフレームを示す斜
視図、図35は図34に示される第1平板23bから発
光素子アレイ23f、ドライバICアレイ23g、モニ
タ用受光素子23pを取り除いた状態を示す斜視図、図
36は第2実施例に係るLDサブキャリア23の一構成
要素である金属製リードフレームを示す斜視図である。FIG. 32 is a perspective view showing the LD subcarrier 23 omitting the lid 23e together with the MT ferrule 22.
FIG. 33 shows an LD subcarrier 23 in which the lid 23e is omitted.
FIG. 34 is a perspective view showing the first flat plate 23b and the second flat plate 23 constituting the LD subcarrier 23.
c, a perspective view showing two lead frames held by them, and FIG. 35 shows a state where the light emitting element array 23f, the driver IC array 23g, and the monitor light receiving element 23p are removed from the first flat plate 23b shown in FIG. FIG. 36 is a perspective view showing a metal lead frame which is one component of the LD subcarrier 23 according to the second embodiment.
【0092】ガイドピン21は、それが挿入される複数
の部材(本実施例では、MTフェルール22,LDサブ
キャリア23)間の位置決め機能を与えるため、通常
は、細長い円柱状に形成される(図33参照)。材料と
しては、送信器が使用される環境下で、変形したり、湾
曲したりすることがない材料、例えば、ステンレス鋼で
形成されている。ガイドピン21がMTフェルール22
から突出する量は、そこに挿入される相手側のMTコネ
クタ又はMTフェルールとの接続、光軸合わせを考慮し
て計算されており、この計算値に基づき、ガイドピン2
1の全長が決められる。The guide pin 21 is usually formed in an elongated cylindrical shape to provide a positioning function between a plurality of members (in this embodiment, the MT ferrule 22 and the LD subcarrier 23) into which the guide pin 21 is inserted. See FIG. 33). The material is formed of a material that does not deform or bend under the environment where the transmitter is used, for example, stainless steel. Guide pin 21 is MT ferrule 22
Is calculated in consideration of the connection with the mating MT connector or MT ferrule inserted therein and the alignment of the optical axis, and based on this calculated value, the guide pin 2
1 is determined.
【0093】MTフェルール22は、リッド22c、フ
ァイバ保持部材22dを備えて構成されている(図32
参照)。2枚の板部材、すなわち、リッド22cとファ
イバ保持部材22dは互いに合わされ、その合わせ面
に、一対のガイドピン21と複数の光ファイバ22eが
保持される。そのため、リッド22c及びファイバ保持
部材22dには一対のガイドピン21が挿入される一対
の貫通孔22aを形成する一対の台形状の溝が形成さ
れ、ファイバ保持部材22dには複数の光ファイバ22
eが保持されるV字形溝22bが形成されている(図2
1,図22参照)。これらの溝は、互いに平行に形成さ
れているので、MTフェルール22に挿入されたガイド
ピン21と、MTフェルール22に保持された全ての光
ファイバ22eは平行に保持される。受信器の場合、光
ファイバの光軸と受光素子の受光面を直交させるため、
受光素子アレイとプリアンプICを相互に接続するワイ
ヤの逃げが必要であったが、この場合、LDサブキャリ
ア23とMTフェルール22を並置するので、ワイヤ接
続は邪魔にならず、このような配慮は不要である。The MT ferrule 22 includes a lid 22c and a fiber holding member 22d (FIG. 32).
reference). The two plate members, namely, the lid 22c and the fiber holding member 22d are fitted together, and a pair of guide pins 21 and a plurality of optical fibers 22e are held on the mating surfaces. Therefore, a pair of trapezoidal grooves forming a pair of through holes 22a into which the pair of guide pins 21 are inserted are formed in the lid 22c and the fiber holding member 22d, and a plurality of optical fibers 22 are formed in the fiber holding member 22d.
e is formed with a V-shaped groove 22b in which e is held.
1, see FIG. 22). Since these grooves are formed in parallel with each other, the guide pin 21 inserted into the MT ferrule 22 and all the optical fibers 22e held by the MT ferrule 22 are held in parallel. In the case of a receiver, to make the optical axis of the optical fiber orthogonal to the light receiving surface of the light receiving element,
It was necessary to escape the wire connecting the light receiving element array and the preamplifier IC to each other. In this case, since the LD subcarrier 23 and the MT ferrule 22 were juxtaposed, the wire connection did not hinder. Not required.
【0094】MTフェルール22を構成するリッド22
cの裏面、すなわち、ファイバ保持部材12dと対面す
る面には、一対の台形溝が側部に近い領域に平行に形成
されている。溝の深さは、ファイバ保持部材22dと組
み合わされたときに形成される貫通孔22a内でガイド
ピン21が浮動しないように計算されて決定される。こ
れらの台形溝の間は、平面になっており、この面でファ
イバ保持部材22dに保持された光ファイバの上面を押
さえる。一方、ファイバ保持部材22dは、リッド22
cに形成された台形溝に対応する位置に、同様の形状の
台形溝が形成されている。したがって、これら二つの部
材を重ねれば、ガイドピン21に適合する貫通孔22a
が形成される。ファイバ保持部材22dの上面に形成さ
れた2つの台形溝の間には、保持される光ファイバの本
数だけのV字形溝22bが平行に形成されている(図2
1参照)。V字形溝22bは、台形溝を機械的基準とし
て形成されている。これらのV字形溝22bには、その
V字形溝22bの全長より長めの光ファイバが並べられ
ている。リッド22cは、ガイドピン21が置かれてい
ない状態でファイバ保持部材22dと接着剤で固定さ
れ、その後、ガイドピン21が挿入される。リッド22
cとファイバ保持部材22dにより光ファイバが保持さ
れた後、V字形溝22bを越えて突出している光ファイ
バ22eは、端面研磨により長さが揃えられる。Lid 22 constituting MT ferrule 22
A pair of trapezoidal grooves are formed on the back surface of c, that is, on the surface facing the fiber holding member 12d, in parallel with a region near the side. The depth of the groove is calculated and determined so that the guide pin 21 does not float in the through hole 22a formed when the groove is combined with the fiber holding member 22d. A plane is formed between these trapezoidal grooves, and this surface presses the upper surface of the optical fiber held by the fiber holding member 22d. On the other hand, the fiber holding member 22d is
A trapezoidal groove having a similar shape is formed at a position corresponding to the trapezoidal groove formed in c. Therefore, if these two members are overlapped, the through-hole 22a that fits the guide pin 21
Is formed. V-shaped grooves 22b are formed in parallel between the two trapezoidal grooves formed on the upper surface of the fiber holding member 22d by the number of optical fibers to be held (FIG. 2).
1). The V-shaped groove 22b is formed using the trapezoidal groove as a mechanical reference. In the V-shaped grooves 22b, optical fibers longer than the entire length of the V-shaped grooves 22b are arranged. The lid 22c is fixed to the fiber holding member 22d with an adhesive in a state where the guide pin 21 is not placed, and then the guide pin 21 is inserted. Lid 22
After the optical fiber is held by c and the fiber holding member 22d, the length of the optical fiber 22e projecting beyond the V-shaped groove 22b is made uniform by end face polishing.
【0095】LDサブキャリア23は、第1平板23
b、第2平板23c、リードフレーム、リッド23eか
ら構成されている(図29,図32参照)。第1平板2
3bは外部輪郭が矩形になるようにプラスチック材で形
成され、その中央部の上方(又は下方)にはドライバI
Cアレイ23gを搭載する為の第1溝部23hが形成さ
れ、その下方(又は上方)には発光素子アレイ23fを
搭載する為の第2溝部23iが形成されている。第1溝
部23hは、ドライバICアレイ23gを収容するのに
十分な広さで形成されているが、第2溝部23iは、M
Tフェルール22に保持された光ファイバと発光素子ア
レイ23fが高精度に位置決めされるように、発光素子
アレイ23fの形状に合致した開口形状になっている。
第1溝部23hと第2溝部23iの両側には、ガイドピ
ン21を挿入させる孔23aを画成する為に台形状の溝
が形成されている。受信器用のリードフレーム(図9参
照)と異なり、本実施例のリードフレーム(図36参
照)には、一方向(例えば、下方向)に伸びる多数の接
続用ピン3eは設けられていない。しかし、他方向(例
えば、側方)に伸びる少数の放熱用ピン23d、発光素
子アレイ23f及びドライバICアレイ23gが置かれ
るアイランド部23j1,23j2を含み、2枚の第1平
板23b、第2平板23cで挟まれている(図26参
照)。接続用リードピン3eが無いのは、ドライバIC
アレイ23gとセラミック基板26がワイヤで直接接続
されるからである。ドライバICアレイ23gは、ほぼ
直方体のチップ状に形成され(図32,図36参照)、
上面には電極(図示せず)が形成されている。そのた
め、簡単にセラミック基板26上の電極とワイヤボンデ
ィングで接続することが可能である。第2平板23c
は、リードフレームを第1平板23bとの間で挟んで固
定する機能を有し、特に開口部は形成されていない。受
信器用のリードフレーム(図12)と異なり、ガイドピ
ン21が第1平板23b及び第2平板23cを貫通しな
い構造であるため、金属製リードフレームにガイドピン
21を逃がす為の逃がし部は設けられていない(図36
参照)。ドライバICアレイ23gは、第2平板23c
とは接触しないが、金属製リードフレーム上に面接触す
るように置かれるので(図36参照)、例えばドライバ
ICアレイ23gからの熱を、リードピン23dを介し
て効率良く放熱することができる。The LD subcarrier 23 has a first flat plate 23
b, a second flat plate 23c, a lead frame, and a lid 23e (see FIGS. 29 and 32). First flat plate 2
3b is formed of a plastic material so that the outer contour is rectangular, and a driver I is provided above (or below) the central portion thereof.
A first groove 23h for mounting the C array 23g is formed, and a second groove 23i for mounting the light emitting element array 23f is formed below (or above) the first groove 23h. The first groove 23h is formed wide enough to accommodate the driver IC array 23g.
The opening shape matches the shape of the light emitting element array 23f so that the optical fiber held by the T ferrule 22 and the light emitting element array 23f are positioned with high accuracy.
On both sides of the first groove 23h and the second groove 23i, trapezoidal grooves are formed to define holes 23a into which the guide pins 21 are inserted. Unlike the lead frame for the receiver (see FIG. 9), the lead frame of this embodiment (see FIG. 36) is not provided with a large number of connection pins 3e extending in one direction (for example, downward). However, the two first flat plates 23b and the second flat plate 23 include a small number of heat radiation pins 23d extending in the other direction (for example, sideways), island portions 23j1 and 23j2 on which the light emitting element array 23f and the driver IC array 23g are placed. 23c (see FIG. 26). The absence of the connection lead pin 3e is due to the driver IC
This is because the array 23g and the ceramic substrate 26 are directly connected by wires. The driver IC array 23g is formed in a substantially rectangular parallelepiped chip shape (see FIGS. 32 and 36).
An electrode (not shown) is formed on the upper surface. Therefore, it is possible to easily connect the electrodes on the ceramic substrate 26 by wire bonding. 2nd flat plate 23c
Has a function of sandwiching and fixing the lead frame between the first flat plate 23b, and no opening is particularly formed. Unlike the lead frame for the receiver (FIG. 12), the guide pin 21 does not penetrate through the first flat plate 23b and the second flat plate 23c. Not (Fig. 36
reference). The driver IC array 23g includes a second flat plate 23c.
However, since it is placed in surface contact with the metal lead frame (see FIG. 36), for example, heat from the driver IC array 23g can be efficiently dissipated through the lead pins 23d.
【0096】また、発光素子アレイ23fは、ドライバ
ICアレイ23gと空間的に分離されたリードフレーム
の発光素子搭載面23j2上に、サブマウント23qを
介して搭載されている(図35,図36参照)。サブマ
ウント23qは、発光素子アレイ23fの発光位置を光
ファイバの光軸に調整する機能を少なくとも有する。従
って、発光素子の高さが十分に高い発光素子アレイ23
fを使用する場合、サブマウント23qは不要になる。The light emitting element array 23f is mounted via a submount 23q on the light emitting element mounting surface 23j2 of the lead frame spatially separated from the driver IC array 23g (see FIGS. 35 and 36). ). The submount 23q has at least a function of adjusting the light emitting position of the light emitting element array 23f to the optical axis of the optical fiber. Therefore, the light emitting element array 23 whose light emitting element height is sufficiently high
When f is used, the submount 23q becomes unnecessary.
【0097】二点鎖線で示された発光素子アレイ23f
とドライバICアレイ23g(図36参照)は、リード
フレームと、発光素子アレイ23f及びドライバICア
レイ23gが置かれるアイランド部23j1,23j2と
の位置関係を示すために表示したものである。二つのア
イランド部23j1,23j2の間には、間隙(空間)が
設けられているが、十分に接近して配置されている。そ
のため、発光素子アレイ23fとドライバICアレイ2
3gに要するワイヤは短く、ワイヤボンディングを容易
に行うことができるとともに、互いに熱的干渉が防止さ
れる。ワイヤボンディングは、リードフレームを介する
熱伝導効果を利用して、発光素子アレイ23f及びドラ
イバICアレイ23g上の電極パッドを所定温度、例え
ば170℃に加熱して行う。側方に伸びた4本のリード
ピン23dは、主として、放熱用に設けられているが、
これらの端子を利用して、グランド機能をもたせること
が可能である。Light emitting element array 23f indicated by a two-dot chain line
And the driver IC array 23g (see FIG. 36) are displayed to show the positional relationship between the lead frame and the island portions 23j1 and 23j2 where the light emitting element array 23f and the driver IC array 23g are placed. Although a gap (space) is provided between the two island portions 23j1 and 23j2, they are arranged sufficiently close. Therefore, the light emitting element array 23f and the driver IC array 2
The wire required for 3 g is short, wire bonding can be easily performed, and thermal interference with each other is prevented. The wire bonding is performed by heating the electrode pads on the light emitting element array 23f and the driver IC array 23g to a predetermined temperature, for example, 170 ° C. by utilizing the heat conduction effect via the lead frame. The four lead pins 23d extending to the side are mainly provided for heat dissipation,
These terminals can be used to provide a ground function.
【0098】ここで重要なことは、発光素子アレイ23
fが挿入される第2溝部23i(図35参照)は、ガイ
ドピン21が挿入される位置決め穴23aを画成する台
形溝を基準に、発光素子アレイ23fの外形寸法を考慮
して、高精度(1μm以下の精度)に位置決め、形成さ
れている点である。ここで要求される精度は、樹脂成型
(プラスチックインサート成型、トランスファーモール
ドなど)により可能である。そのため、第1平板23
b、第2平板23cの材料として、プラスチックを使用
することは、高精度を実現するのに有意義である。さら
に、高精度に微細加工された従来のシリコン基板と比べ
ると、寄生容量の問題がなく、性能が改善される。さら
に、安価な材料のため、製品の低コスト化が期待でき
る。It is important that the light emitting element array 23
The second groove 23i into which the f is inserted (see FIG. 35) is highly accurate with reference to the trapezoidal groove defining the positioning hole 23a into which the guide pin 21 is inserted, in consideration of the outer dimensions of the light emitting element array 23f. (Accuracy of 1 μm or less). The precision required here can be achieved by resin molding (plastic insert molding, transfer molding, etc.). Therefore, the first flat plate 23
b, The use of plastic as the material of the second flat plate 23c is meaningful for achieving high accuracy. Furthermore, compared to a conventional silicon substrate that has been finely processed with high precision, there is no problem of parasitic capacitance, and the performance is improved. Furthermore, since the material is inexpensive, cost reduction of the product can be expected.
【0099】一方、第1溝部23hは、光ファイバとの
光結合という制約がなく、ワイヤボンディングを介して
ドライバICアレイ23gが発光素子アレイ23fとセ
ラミック基板26に接続されるので、その位置精度は第
1開口部23iより低くてもよい。そのため、第1開口
部23iは、ワイヤボンディングに用いる治具(例え
ば、コレット)を支障無く使用できるように、ある程
度、広めに形成されている。第1溝部23hと第2溝部
23iとの間にはモニタ用受光素子搭載部23mが設け
られている(図35参照)。On the other hand, the first groove 23h has no restriction on optical coupling with an optical fiber, and the driver IC array 23g is connected to the light emitting element array 23f and the ceramic substrate 26 via wire bonding. It may be lower than the first opening 23i. Therefore, the first opening 23i is formed to a certain extent so that a jig (for example, a collet) used for wire bonding can be used without any trouble. A monitor light receiving element mounting portion 23m is provided between the first groove portion 23h and the second groove portion 23i (see FIG. 35).
【0100】ここで重要なことは、そこに搭載されたモ
ニタ用受光素子23pが発光素子の出射光を斜めに受け
るように、モニタ用受光素子搭載部23mは発光素子の
出射部を含む面に対して斜めになるように形成されてい
る点である。そのため、モニタ用受光素子23pの受光
面からの反射光は、どの発光素子にも入らず、発光素子
の性能を高めている。モニタ受光素子23pにそのよう
な機能を持たせるため、そのモニタ用受光素子搭載部2
3mは発光素子アレイの出射面に対し傾斜しており、モ
ニタ用受光素子23pの両側には、メタライズ配線23
n1、23n2が伸びている。モニタ用受光素子23p
は、受光面が上面、電極は上面に一つ、裏面に一つ形成
されている。そのため、一方のメタライズ配線23n1
は、モニタ用受光面の裏面に接触しているが、他方のメ
タライズ配線23n2は間隔が開いており、例えば、ワ
イヤボンディングで接続される。第1実施例と異なり、
本実施例では開口部の代わりに溝が設けられているが、
発光素子アレイ23fやドライバICアレイ23gは、
例えば溝をマーカーとして自動認識位置決めにより高精
度に実装することができる。What is important here is that the monitor light receiving element mounting portion 23m is mounted on the surface including the light emitting element emission portion so that the monitor light receiving element 23p mounted thereon receives the light emitted from the light emitting element obliquely. This is a point that is formed so as to be oblique to it. Therefore, the reflected light from the light receiving surface of the monitoring light receiving element 23p does not enter any of the light emitting elements, thereby enhancing the performance of the light emitting elements. In order to provide the monitor light receiving element 23p with such a function, the monitor light receiving element mounting portion 2 is provided.
3m is inclined with respect to the emission surface of the light emitting element array, and metallized wirings 23 are provided on both sides of the monitoring light receiving element 23p.
n1 and 23n2 are extended. Monitor light receiving element 23p
Has a light receiving surface on the upper surface, one electrode on the upper surface, and one electrode on the back surface. Therefore, one metallization wiring 23n1
Is in contact with the back surface of the light receiving surface for monitoring, but the other metallized wiring 23n2 is spaced apart, and is connected by, for example, wire bonding. Unlike the first embodiment,
Although a groove is provided instead of the opening in the present embodiment,
The light emitting element array 23f and the driver IC array 23g
For example, mounting can be performed with high accuracy by automatic recognition and positioning using the groove as a marker.
【0101】第2実施例に係る光並列伝送光受信器によ
ると、組立性の向上、しいては低コスト化、部品削減に
よるコストダウンが可能である。また、元来、MTフェ
ルールの精度、発光素子の精度及びそれらの配列精度は
高精度化が可能であるので、MTフェルールのガイドピ
ンを機械的基準とし、これに対し、発光素子を配置する
ことにより、無調心組立が可能になる。さらに、バッド
ジョイントによりレンズ調心作業も排除できる。According to the optical parallel transmission optical receiver according to the second embodiment, the assemblability can be improved, the cost can be reduced, and the cost can be reduced by reducing the number of parts. Also, since the precision of the MT ferrule, the precision of the light emitting element, and the precision of their arrangement can be improved from the beginning, the guide pin of the MT ferrule is used as a mechanical reference, and the light emitting element is arranged on the guide pin. As a result, it is possible to perform an alignmentless assembly. Furthermore, the lens alignment work can be eliminated by the bad joint.
【0102】次に、図37及び図38に基づき、図27
乃至図36を参考にして、第2実施例の変形例に係る光
並列伝送用光送信器のサブアセンブリを構成するMTフ
ェルール22,LDサブキャリア23の構造を説明す
る。Next, based on FIGS. 37 and 38, FIG.
With reference to FIG. 36 to FIG. 36, the structures of the MT ferrule 22 and the LD subcarrier 23 constituting the subassembly of the optical transmitter for optical parallel transmission according to the modification of the second embodiment will be described.
【0103】図37は、ガイドピン21及びMTフェル
ール22と共に、リッド23eを省略したLDサブキャ
リア23を示す斜視図、図38は、MTフェルール22
及びLDサブキャリア23を光ファイバの配列面に対し
直交する面で切断した断面図である。FIG. 37 is a perspective view showing the LD subcarrier 23 from which the lid 23e is omitted, together with the guide pin 21 and the MT ferrule 22, and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the LD subcarrier 23 cut along a plane orthogonal to the arrangement plane of the optical fibers.
【0104】第2実施例に係る光並列伝送用送信器との
差異は、ガイドピンを光軸に対し、一定の角度で配置し
ている点である(図38参照)。このような構造を採用
することにより、光ファイバに入射光による発光素子へ
の反射を防止できる。The difference from the transmitter for optical parallel transmission according to the second embodiment is that the guide pins are arranged at a fixed angle with respect to the optical axis (see FIG. 38). By adopting such a structure, it is possible to prevent reflection of light incident on the optical fiber to the light emitting element.
【0105】以下、この変形例に係る光並列伝送用光送
信器を構成するガイドピン21,MTフェルール22,
LDサブキャリア23を順番に説明する。Hereinafter, the guide pin 21, the MT ferrule 22, and the guide pin 21 constituting the optical transmitter for optical parallel transmission according to this modification are described.
The LD subcarrier 23 will be described in order.
【0106】ガイドピン21とMTフェルール22は、
基本的に第2実施例で使用するものと変わらないので、
説明を省略する。The guide pin 21 and the MT ferrule 22
Since it is basically the same as that used in the second embodiment,
Description is omitted.
【0107】LDサブキャリア23は、第1平板23
b、第2平板23c、リードフレーム、リッド23eか
ら構成されている点で第2実施例と変わらないが、ガイ
ドピン21が挿入される貫通孔23aがリードフレーム
に対し傾けて形成されている点で異なる。そのため、そ
の貫通孔23aを画成する溝は、リードフレームのアイ
ランド部を含む平面に対し、一定の傾斜を有する。この
傾斜の程度は、発光素子からの出射光が光ファイバのコ
アに入射するように計算されて決められるが、一般的に
は8度前後傾けられる。このような構成をとることによ
り、MTフェルール22から突出したガイドピン21を
貫通孔23aに挿入するだけで、複数の発光素子の出射
光が対応する複数の光ファイバのコアに入射するように
位置決めされ、簡単に精度良く自動的に二つの光素子を
光結合させることができる。The LD subcarrier 23 is formed by a first flat plate 23
b, a second flat plate 23c, a lead frame, and a lid 23e, which are the same as the second embodiment, except that the through-hole 23a into which the guide pin 21 is inserted is formed to be inclined with respect to the lead frame. Different. Therefore, the groove defining the through hole 23a has a certain inclination with respect to the plane including the island portion of the lead frame. The degree of the inclination is calculated and determined so that the light emitted from the light emitting element enters the core of the optical fiber, but is generally inclined about 8 degrees. By adopting such a configuration, the guide pins 21 protruding from the MT ferrule 22 are simply inserted into the through holes 23a, and the light emitted from the plurality of light emitting elements is positioned so as to enter the cores of the corresponding plurality of optical fibers. Thus, the two optical elements can be optically coupled easily and accurately.
【0108】その傾斜溝が形成されている第1平板23
bは外部輪郭が矩形になるようにプラスチック材で形成
され、その中央部の上方(又は下方)にはドライバIC
アレイ23gを搭載する為の第1溝部23hが形成さ
れ、その下方(又は上方)には発光素子アレイ23fを
搭載する為の第2溝部23iが形成されている。第1溝
部23hは、ドライバICアレイ23gを収容するのに
十分な広さで形成されているが、第2溝部23iは、M
Tフェルール22に保持された光ファイバと発光素子ア
レイ23fが高精度に位置決めされるように、発光素子
アレイ23fの形状に合致した開口形状になっている。
第1溝部23hと第2溝部23iの両側には、ガイドピ
ン21を挿入させる孔23aを画成する為に台形状の溝
が形成されている。受信器用のリードフレーム(図9参
照)と異なり、本実施例のリードフレーム(図36参
照)には、一方向(例えば、下方向)に伸びる多数の接
続用ピン3eは設けられていない。しかし、他方向(例
えば、側方)に伸びる少数の放熱用ピン23d、発光素
子アレイ23f及びドライバICアレイ23gが置かれ
るアイランド部23j1,23j2を含み、2枚の第1平
板23b、第2平板23cで挟まれている(図26参
照)。接続用リードピン3eが無いのは、ドライバIC
アレイ23gとセラミック基板26がワイヤで直接接続
されるからである。ドライバICアレイ23gは、ほぼ
直方体のチップ状に形成され(図32,図36参照)、
上面には電極(図示せず)が形成されている。そのた
め、簡単にセラミック基板26上の電極とワイヤボンデ
ィングで接続することが可能である。第2平板23c
は、リードフレームを第1平板23bとの間で挟んで固
定する機能を有し、特に開口部は形成されていない。受
信器用のリードフレーム(図12)と異なり、ガイドピ
ン21が第1平板23b及び第2平板23cを貫通しな
い構造であるため、金属製リードフレームにガイドピン
21を逃がす為の逃がし部は設けられていない(図36
参照)。ドライバICアレイ23gは、第2平板23c
とは接触しないが、金属製リードフレーム上に面接触す
るように置かれるので(図36参照)、例えばドライバ
ICアレイ23gからの熱を、リードピン23dを介し
て効率良く放熱することができる。The first flat plate 23 on which the inclined groove is formed
b is formed of a plastic material so that the outer contour becomes rectangular, and a driver IC is provided above (or below) a central portion thereof.
A first groove 23h for mounting the array 23g is formed, and a second groove 23i for mounting the light emitting element array 23f is formed below (or above) the first groove 23h. The first groove 23h is formed wide enough to accommodate the driver IC array 23g.
The opening shape matches the shape of the light emitting element array 23f so that the optical fiber held by the T ferrule 22 and the light emitting element array 23f are positioned with high accuracy.
On both sides of the first groove 23h and the second groove 23i, trapezoidal grooves are formed to define holes 23a into which the guide pins 21 are inserted. Unlike the lead frame for the receiver (see FIG. 9), the lead frame of this embodiment (see FIG. 36) is not provided with a large number of connection pins 3e extending in one direction (for example, downward). However, the two first flat plates 23b and the second flat plate 23 include a small number of heat radiation pins 23d extending in the other direction (for example, sideways), island portions 23j1 and 23j2 on which the light emitting element array 23f and the driver IC array 23g are placed. 23c (see FIG. 26). The absence of the connection lead pin 3e is due to the driver IC
This is because the array 23g and the ceramic substrate 26 are directly connected by wires. The driver IC array 23g is formed in a substantially rectangular parallelepiped chip shape (see FIGS. 32 and 36).
An electrode (not shown) is formed on the upper surface. Therefore, it is possible to easily connect the electrodes on the ceramic substrate 26 by wire bonding. 2nd flat plate 23c
Has a function of sandwiching and fixing the lead frame between the first flat plate 23b, and no opening is particularly formed. Unlike the lead frame for the receiver (FIG. 12), the guide pin 21 does not penetrate through the first flat plate 23b and the second flat plate 23c. Not (Fig. 36
reference). The driver IC array 23g includes a second flat plate 23c.
However, since it is placed in surface contact with the metal lead frame (see FIG. 36), for example, heat from the driver IC array 23g can be efficiently dissipated through the lead pins 23d.
【0109】また、発光素子アレイ23fは、ドライバ
ICアレイ23gと空間的に分離されたリードフレーム
の発光素子搭載面23j2上に、サブマウント23qを
介して搭載されている(図35,図36参照)。サブマ
ウント23qは、発光素子アレイ23fの発光位置を光
ファイバの光軸に調整する機能を少なくとも有する。従
って、発光素子の高さが十分に高い発光素子アレイ23
fを使用する場合、サブマウント23qは不要になる。The light emitting element array 23f is mounted on the light emitting element mounting surface 23j2 of the lead frame spatially separated from the driver IC array 23g via a submount 23q (see FIGS. 35 and 36). ). The submount 23q has at least a function of adjusting the light emitting position of the light emitting element array 23f to the optical axis of the optical fiber. Therefore, the light emitting element array 23 whose light emitting element height is sufficiently high
When f is used, the submount 23q becomes unnecessary.
【0110】二点鎖線で示された発光素子アレイ23f
とドライバICアレイ23g(図36参照)は、リード
フレームと、発光素子アレイ23f及びドライバICア
レイ23gが置かれるアイランド部23j1,23j2と
の位置関係を示すために表示したものである。二つのア
イランド部23j1,23j2の間には、間隙(空間)が
設けられているが、十分に接近して配置されている。そ
のため、発光素子アレイ23fとドライバICアレイ2
3gに要するワイヤは少なく、ワイヤボンディングを容
易に行うことができるとともに、互いに熱的干渉が防止
される。ワイヤボンディングは、リードフレームを介す
る熱伝導効果を利用して、発光素子アレイ23f及びド
ライバICアレイ23g上の電極パッドを所定温度、例
えば170℃に加熱してもよい。側方に伸びた4本のリ
ードピン23dは、主として、放熱用に設けられている
が、これらの端子を利用して、グランド機能をもたせる
ことが可能である。Light emitting element array 23f indicated by a two-dot chain line
And the driver IC array 23g (see FIG. 36) are displayed to show the positional relationship between the lead frame and the island portions 23j1 and 23j2 where the light emitting element array 23f and the driver IC array 23g are placed. Although a gap (space) is provided between the two island portions 23j1 and 23j2, they are arranged sufficiently close. Therefore, the light emitting element array 23f and the driver IC array 2
The wire required for 3 g is small, wire bonding can be easily performed, and thermal interference with each other is prevented. In the wire bonding, the electrode pads on the light emitting element array 23f and the driver IC array 23g may be heated to a predetermined temperature, for example, 170 ° C., by using a heat conduction effect via a lead frame. The four lead pins 23d extending to the side are mainly provided for heat dissipation, but these terminals can be used to provide a ground function.
【0111】ここで重要なことは、発光素子アレイ23
fが挿入される第2溝部23i(図35参照)は、ガイ
ドピン21が挿入される位置決め穴23aを画成する台
形溝を基準に、発光素子アレイ23fの外形寸法を考慮
して、高精度(1μm以下の精度)に位置決め、形成さ
れている点である。ここで要求される精度は、樹脂成型
(プラスチックインサート成型、トランスファーモール
ドなど)により可能である。そのため、第1平板23
b、第2平板23cの材料として、プラスチックを使用
することは、高精度を実現するのに有意義である。さら
に、高精度に微細加工された従来のシリコン基板と比べ
ると、寄生容量の問題がなく、性能が改善される。さら
に、安価な材料のため、製品の低コスト化が期待でき
る。It is important that the light emitting element array 23
The second groove 23i into which the f is inserted (see FIG. 35) is highly accurate with reference to the trapezoidal groove defining the positioning hole 23a into which the guide pin 21 is inserted, in consideration of the outer dimensions of the light emitting element array 23f. (Accuracy of 1 μm or less). The precision required here can be achieved by resin molding (plastic insert molding, transfer molding, etc.). Therefore, the first flat plate 23
b, The use of plastic as the material of the second flat plate 23c is meaningful for achieving high accuracy. Furthermore, compared to a conventional silicon substrate that has been finely processed with high precision, there is no problem of parasitic capacitance, and the performance is improved. Furthermore, since the material is inexpensive, cost reduction of the product can be expected.
【0112】一方、第1溝部23hは、光ファイバとの
光結合という制約がなく、ワイヤボンディングを介して
ドライバICアレイ23gが発光素子アレイ23fとセ
ラミック基板26に接続されるので、その位置精度は第
1開口部23iより低くてもよい。そのため、第1開口
部23iは、ワイヤボンディングに用いる治具(例え
ば、コレット)を支障無く使用できるように、ある程
度、広めに形成されている。第1溝部23hと第2溝部
23iとの間にはモニタ用受光素子搭載部23mが設け
られている(図35参照)。ここで重要なことは、そこ
に搭載されたモニタ用受光素子23pが発光素子の出射
光を斜めに受けるように、モニタ用受光素子搭載部23
mは発光素子の出射部を含む面に対して斜めになるよう
に形成されている点である。そのため、モニタ用受光素
子23pの受光面からの反射光は、どの発光素子にも入
らず、発光素子の性能を高めている。モニタ受光素子2
3pにそのような機能を持たせるため、そのモニタ用受
光素子搭載部23mは発光素子アレイの出射面に対し傾
斜しており、モニタ用受光素子23pの両側には、メタ
ライズ配線23n1、23n2が伸びている。モニタ用受
光素子23pは、受光面が上面、電極は上面に一つ、裏
面に一つ形成されている。そのため、一方のメタライズ
配線23n1は、モニタ用受光面の裏面に接触している
が、他方のメタライズ配線23n2は間隔が開いてお
り、例えば、ワイヤボンディングで接続される。On the other hand, the first groove 23h is not restricted by optical coupling with an optical fiber, and the driver IC array 23g is connected to the light emitting element array 23f and the ceramic substrate 26 via wire bonding. It may be lower than the first opening 23i. Therefore, the first opening 23i is formed to be somewhat wider so that a jig (for example, a collet) used for wire bonding can be used without any trouble. A monitor light receiving element mounting portion 23m is provided between the first groove portion 23h and the second groove portion 23i (see FIG. 35). What is important here is that the monitor light receiving element mounting section 23p is mounted so that the monitor light receiving element 23p mounted thereon receives the light emitted from the light emitting element obliquely.
m is a point formed so as to be oblique with respect to the plane including the light emitting portion of the light emitting element. Therefore, the reflected light from the light receiving surface of the monitoring light receiving element 23p does not enter any of the light emitting elements, thereby enhancing the performance of the light emitting elements. Monitor light receiving element 2
In order to provide the 3p with such a function, the monitor light receiving element mounting portion 23m is inclined with respect to the emission surface of the light emitting element array, and metallized wirings 23n1, 23n2 extend on both sides of the monitor light receiving element 23p. ing. The monitoring light receiving element 23p has a light receiving surface on the upper surface, one electrode on the upper surface, and one electrode on the rear surface. Therefore, one metallized wiring 23n1 is in contact with the back surface of the light receiving surface for monitoring, while the other metallized wiring 23n2 is spaced apart and connected by, for example, wire bonding.
【0113】なお、第2実施例に係る光並列伝送用送信
器及びその変形例を図17及び図27乃至図38を参考
に説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるもの
ではなく、多種多様の変形が可能である。The transmitter for optical parallel transmission according to the second embodiment and its modification have been described with reference to FIGS. 17 and 27 to 38. However, the present invention is not limited to the above embodiment. Instead, a wide variety of variations are possible.
【0114】次に、図17及び図39乃至図49を参照
して、第3実施例に係る光並列伝送用送信器を説明す
る。Next, an optical parallel transmission transmitter according to a third embodiment will be described with reference to FIG. 17 and FIGS.
【0115】第1実施例に係る光並列伝送用送信器と第
3実施例に係る光並列伝送用送信器との基本的な違い
は、LDサブキャリア23を構成する第1平板33b及
びリッド33eがセラミック基板で形成され、リッド3
3eにモニタ用受光素子33pが配置されている点であ
る。第2実施例との違いは、第3実施例では発光素子と
モニタ用受光素子を分離して個別に別部品に実装してい
る点である。なお、発光素子と光ファイバのコア径との
光軸合わせが必要であり、より精度の高い位置決めが要
求される点は、第1実施例、第2実施例、第3実施例の
共通の課題である。The basic difference between the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment and the optical parallel transmission transmitter according to the third embodiment is that the first flat plate 33b and the lid 33e constituting the LD subcarrier 23 are different. Is formed of a ceramic substrate and the lid 3
3e is that the monitoring light receiving element 33p is arranged. The difference from the second embodiment is that, in the third embodiment, the light emitting element and the monitoring light receiving element are separated and individually mounted on separate components. In addition, it is necessary to align the optical axis of the light emitting element and the core diameter of the optical fiber, and a more precise positioning is required. It is.
【0116】以下、第3実施例に係る光並列伝送用送信
器を説明する。説明において、同一機能を有する部品に
は同一符号を用い、重複する説明は省略する。Hereinafter, a transmitter for optical parallel transmission according to the third embodiment will be described. In the description, the same reference numerals are used for components having the same function, and duplicate description is omitted.
【0117】樹脂成型後の第3実施例に係る光並列伝送
用送信器は、図17に示す形状になる。その機能、構成
は同一なので、説明は省略する。The optical parallel transmission transmitter according to the third embodiment after resin molding has the shape shown in FIG. Since the functions and configurations are the same, the description is omitted.
【0118】図39及び図40は、樹脂成型前の本実施
例に係る光並列伝送用送信器を示す。図39は、樹脂成
型前の光並列伝送用送信器からMTフェルール32を省
略し、セラミック基板26側から示す斜視図であり、図
40は、図39の光並列伝送用送信器のリッド33eを
外した状態を示す斜視図である。図39及び図40は、
明瞭性を重視した簡略図であるため、例えば、LDサブ
キャリア33とセラミック基板36とを接続するワイヤ
などは省略されている。FIGS. 39 and 40 show an optical parallel transmission transmitter according to this embodiment before resin molding. FIG. 39 is a perspective view showing the optical parallel transmission transmitter from the ceramic substrate 26 side, omitting the MT ferrule 32 from the optical parallel transmission transmitter before resin molding. FIG. It is a perspective view showing the state where it was removed. FIG. 39 and FIG.
Since this is a simplified diagram emphasizing clarity, for example, wires connecting the LD subcarrier 33 and the ceramic substrate 36 are omitted.
【0119】ガイドピン31及びリードフレーム34は
樹脂成型用金型で保持され、これにより、モールドパッ
ケージ(図17参照)で固定されるガイドピン31、M
Tフェルール32,LDサブキャリア33,リードフレ
ーム34,セラミック基板36との間の相対位置が精度
良く実現される。この段階で、ガイドピン31,MTフ
ェルール32,LDサブキャリア33はガイドピン31
を基準に精度良く組み立てられる。The guide pins 31 and the lead frame 34 are held by a resin molding die, thereby fixing the guide pins 31 and M fixed by a mold package (see FIG. 17).
The relative positions among the T ferrule 32, the LD subcarrier 33, the lead frame 34, and the ceramic substrate 36 are realized with high accuracy. At this stage, the guide pin 31, the MT ferrule 32, and the LD subcarrier 33 are connected to the guide pin 31.
Can be assembled with high accuracy based on
【0120】ガイドピン31は、通常、金属で形成さ
れ、少なくともMTフェルール32とLDサブキャリア
33を並置させた全長より長く構成されている。MTフ
ェルール32から突出しているガイドピン31には、他
のMTコネクタ(図示せず)が挿入される。そのため、
ガイドピン31の先端には、挿入を容易にする為、テー
パが形成されている。ガイドピン31は、MTフェルー
ル32に挿入され、固着されているわけではない。しか
し、他方のMTコネクタを外すとき、他方のMTコネク
タがガイドピン31を抜き取らないように、ある程度の
堅さでガイドピン31はMTフェルール32に保持され
ている。ガイドピン31の間には、複数のV字状の溝が
ガイドピン31の長手方向と平行に一定間隔で形成さ
れ、そこに複数の光ファイバが固定されている。したが
って、複数の光ファイバの配列ピッチは、一定間隔にな
っており、これは、通常、他方のMTコネクタの規格と
合致する。The guide pin 31 is usually made of metal, and is longer than at least the entire length of the MT ferrule 32 and the LD subcarrier 33 juxtaposed. Another MT connector (not shown) is inserted into the guide pin 31 projecting from the MT ferrule 32. for that reason,
The tip of the guide pin 31 is tapered to facilitate insertion. The guide pin 31 is not inserted into and fixed to the MT ferrule 32. However, when the other MT connector is disconnected, the guide pin 31 is held by the MT ferrule 32 with a certain degree of rigidity so that the other MT connector does not pull out the guide pin 31. Between the guide pins 31, a plurality of V-shaped grooves are formed at regular intervals in parallel with the longitudinal direction of the guide pins 31, and a plurality of optical fibers are fixed therein. Therefore, the arrangement pitch of the plurality of optical fibers is constant, and this usually matches the standard of the other MT connector.
【0121】MTフェルール32は、図39では省略さ
れているが、その機能は第1実施例に係る光並列伝送用
受信器と同一であり、少なくとも複数の光ファイバ及び
ガイドピン21を保持する機能を有する。そのため、保
持すべき光ファイバの本数に対応するファイバ保持部
と、保持すべきガイドピン31の本数に対応するピン保
持部を有する。その詳細な構造は、第1実施例に係る光
並列伝送用送信器と実質的に変わらないので、説明を省
略する(図21,図22参照)。Although the MT ferrule 32 is omitted in FIG. 39, its function is the same as that of the receiver for optical parallel transmission according to the first embodiment, and a function of holding at least a plurality of optical fibers and the guide pins 21. Having. Therefore, it has a fiber holding portion corresponding to the number of optical fibers to be held and a pin holding portion corresponding to the number of guide pins 31 to be held. The detailed structure is substantially the same as that of the transmitter for optical parallel transmission according to the first embodiment, and a description thereof will be omitted (see FIGS. 21 and 22).
【0122】第3実施例に係るLDサブキャリア33
は、第1実施例及び第2実施例のLDサブキャリア1
3,23と比べると、より部品点数が少なく、構造が簡
単になる点でメリットがあり、LDサブキャリア33用
のリードフレームは不要になっている。よって、LDサ
ブキャリア33は、第1平板33bと、リッド33eと
から構成され、ガイドピン31を基準に、MTフェルー
ル32とセラミック基板36との間に取り付けられてい
る。高精度にLDサブキャリア33をMTフェルール3
2に位置決めするため、LDサブキャリア33にはガイ
ドピン31の一端を受容する貫通孔33aが形成されて
いる。LDサブキャリア33には、貫通孔33aを基準
に発光素子アレイ33f(図40参照)及びドライバI
Cアレイ33gが精度良く搭載されているので、MTフ
ェルール32に取り付けられた複数の光ファイバとLD
サブキャリア33に搭載された複数の発光素子アレイ3
3fとを簡単に精度良く光結合することができる。本実
施例では、ワイヤでLDサブキャリア33とセラミック
基板36とが接続されるように構成されている。リッド
33eは、セラミック材で形成され、第1平板33bに
接着固定される。その後、ガイドピン31は、貫通孔3
3aに挿入固定される。The LD subcarrier 33 according to the third embodiment
Is the LD subcarrier 1 of the first embodiment and the second embodiment.
Compared with 3, 23, there is an advantage in that the number of parts is smaller and the structure is simplified, and a lead frame for the LD subcarrier 33 is not required. Therefore, the LD subcarrier 33 is composed of the first flat plate 33b and the lid 33e, and is mounted between the MT ferrule 32 and the ceramic substrate 36 with the guide pin 31 as a reference. High-precision LD subcarrier 33 MT ferrule 3
In order to position the LD subcarrier 33 in the second position, a through hole 33a for receiving one end of the guide pin 31 is formed in the LD subcarrier 33. The LD subcarrier 33 has a light emitting element array 33f (see FIG. 40) and a driver I based on the through hole 33a.
Since the C array 33g is mounted with high precision, the plurality of optical fibers attached to the MT ferrule 32 and the LD
Plural light emitting element arrays 3 mounted on subcarrier 33
3f can be easily and accurately optically coupled. In this embodiment, the configuration is such that the LD subcarrier 33 and the ceramic substrate 36 are connected by wires. The lid 33e is formed of a ceramic material, and is adhered and fixed to the first flat plate 33b. After that, the guide pin 31 is
3a.
【0123】リードフレーム34は、矩形状枠を形作る
サポートリード34a、セラミック基板36が搭載され
るアイランド34b、アイランド34bとサポートリー
ド34aを接続するリードピン34cを含んで構成され
る。The lead frame 34 includes support leads 34a forming a rectangular frame, islands 34b on which the ceramic substrate 36 is mounted, and lead pins 34c connecting the islands 34b and the support leads 34a.
【0124】セラミック基板36は、リードフレーム3
4のアイランド34b上に載置されるが、ワイヤでLD
サブキャリア33と接続される限り、厳密な位置決めは
不要である。セラミック基板36の上面には、発光素子
を駆動するのに必要な電子回路(信号処理回路、波形整
形回路、増幅回路、APC回路など)が形成されてい
る。The ceramic substrate 36 is a lead frame 3
4 is placed on the island 34b.
Strict positioning is not required as long as it is connected to the subcarrier 33. On the upper surface of the ceramic substrate 36, electronic circuits (such as a signal processing circuit, a waveform shaping circuit, an amplifier circuit, and an APC circuit) necessary for driving the light emitting element are formed.
【0125】図41乃至図44は、本実施例に使用可能
なLDサブキャリア33を示す斜視図、図45乃至図4
9は、本実施例に使用可能なLDサブキャリア33のリ
ッド33eを示す斜視図である。なお、図41乃至図4
4では、細部を明瞭に示すため、発光素子アレイ33f
とドライバICアレイ33gとを接続するワイヤは省略
されている。FIGS. 41 to 44 are perspective views showing an LD subcarrier 33 usable in this embodiment, and FIGS.
9 is a perspective view showing a lid 33e of the LD subcarrier 33 that can be used in this embodiment. 41 to FIG.
4, in order to clearly show the details, the light emitting element array 33f
The wires connecting the driver IC array 33g and the driver IC array 33g are omitted.
【0126】ここで重要なことは、光ファイバの光軸と
発光素子の光軸が合致するように、ガイドピンを機械的
基準として、複数の光ファイバ(例えば、ファイバアレ
イ)と複数の発光素子(例えば、発光素子アレイ)がよ
り高精度に位置決めされている点である。別部材で保持
された光ファイバと発光素子をμmのオーダーで高精度
に位置決めするのは困難であったが、両部材にガイドピ
ンを固定する孔を精度良く設けることにより、ガイドピ
ンを介して高精度の位置決めを実現している。What is important here is that a plurality of optical fibers (for example, a fiber array) and a plurality of light emitting elements are used with the guide pin as a mechanical reference so that the optical axis of the optical fiber matches the optical axis of the light emitting element. (For example, a light emitting element array) is positioned with higher precision. It was difficult to position the optical fiber and the light emitting element held by separate members with high precision in the order of μm, but by providing the holes for fixing the guide pins in both members with high precision, the High precision positioning has been achieved.
【0127】以下、第3実施例に使用可能なLDサブキ
ャリア33をより詳細に説明する。ここで重要なこと
は、LDサブキャリアの材料としてセラミック材を使用
し、リッドの裏面にモニタ用受光素子を取り付けた点で
ある。Hereinafter, the LD subcarrier 33 usable in the third embodiment will be described in more detail. What is important here is that a ceramic material is used as the material of the LD subcarrier, and a monitor light receiving element is attached to the back surface of the lid.
【0128】LDサブキャリア33は、第1平板33b
とリッド33eから構成され、第1平板33bは外部輪
郭が矩形のセラミック材で形成されている。第1実施例
及び第2実施例に係るLDサブキャリア13,23(図
24,図35参照)と異なり、開口部は設けられていな
い。平坦な基板に一対の台形溝が形成されている。その
中央部の上方(又は下方)には発光素子アレイ33fを
搭載する第1領域33iが形成され、その下方(又は上
方)にはドライバICアレイ33gを搭載する為の第2
領域33h(図示せず)が形成されている。第2領域3
3hは、ドライバICアレイ33gを搭載するのに十分
な広さで形成されている。受信器及び第1実施例及び第
2実施例に係るLDサブキャリアと異なり、本実施例に
係るLDサブキャリアには、リードフレームがない。ド
ライバICアレイ33gは、ほぼ直方体のチップ状に形
成され(図41乃至図44参照)、上面には電極(図示
せず)が形成されている。そのため、簡単にセラミック
基板36上の電極とワイヤボンディングで接続すること
が可能である。リッド33eには所定のメタライズパタ
ーン33n1、33n2が表面に形成され、発光素子アレ
イ33fの発光素子に対面する位置に搭載部33q(図
49)が設けられている。The LD subcarrier 33 has a first flat plate 33b.
And the lid 33e, and the first flat plate 33b is formed of a ceramic material having a rectangular outer contour. Unlike the LD subcarriers 13 and 23 (see FIGS. 24 and 35) according to the first and second embodiments, no openings are provided. A pair of trapezoidal grooves are formed in a flat substrate. A first region 33i for mounting the light emitting element array 33f is formed above (or below) the central portion thereof, and a second region for mounting the driver IC array 33g is formed below (or above) the lower region (or above).
A region 33h (not shown) is formed. Second area 3
3h is formed wide enough to mount the driver IC array 33g. Unlike the receiver and the LD subcarrier according to the first and second embodiments, the LD subcarrier according to the present embodiment has no lead frame. The driver IC array 33g is formed in a substantially rectangular parallelepiped chip shape (see FIGS. 41 to 44), and has electrodes (not shown) formed on the upper surface. Therefore, it is possible to easily connect the electrodes on the ceramic substrate 36 by wire bonding. Predetermined metallization patterns 33n1 and 33n2 are formed on the surface of the lid 33e, and a mounting portion 33q (FIG. 49) is provided at a position facing the light emitting element of the light emitting element array 33f.
【0129】第1平板33b、リッド33eの材料とし
てセラミックを使用することにより、高精度に微細加工
された従来のシリコン基板と比べると、寄生容量の問題
が少なく、性能が改善される。さらに、セラミックはシ
リコンより安価な材料のため、製品の低コスト化が期待
できる。By using ceramic as the material of the first flat plate 33b and the lid 33e, the problem of the parasitic capacitance is reduced and the performance is improved as compared with a conventional silicon substrate which is finely processed with high precision. Furthermore, since ceramic is a cheaper material than silicon, cost reduction of products can be expected.
【0130】一方、第1領域33hは、光ファイバとの
光結合という制約がなく、ワイヤボンディングを介して
ドライバICアレイ33gが発光素子アレイ33fとセ
ラミック基板36に接続されるので、その位置精度は第
1領域33iより低くてもよい。そのため、第1領域3
3iは、ワイヤボンディングに用いる治具(例えば、コ
レット)を支障無く使用できるように、ある程度、広め
に形成されている。第1領域33hと第2領域33iと
の間に配置されるリッド33eの対応部にはモニタ用受
光素子33pが設けられている(図41参照)。On the other hand, the first region 33h is not restricted by optical coupling with an optical fiber, and the driver IC array 33g is connected to the light emitting element array 33f and the ceramic substrate 36 via wire bonding. It may be lower than the first area 33i. Therefore, the first area 3
3i is formed somewhat wide so that a jig (for example, a collet) used for wire bonding can be used without any trouble. A monitor light receiving element 33p is provided at a portion corresponding to the lid 33e disposed between the first area 33h and the second area 33i (see FIG. 41).
【0131】ここで重要なことは、搭載部33qに搭載
されたモニタ用受光素子33pが発光素子の出射光を斜
めに受けるように、モニタ用受光素子搭載部33qは発
光素子の出射部を含む面に対して斜めになるように形成
されている点である(図41,図47参照)。そのた
め、モニタ用受光素子33pの受光面からの反射光は、
どの発光素子にも入らず、発光素子の性能を高めてい
る。モニタ受光素子33pにそのような機能を持たせる
ため、そのモニタ用受光素子搭載部33qは発光素子ア
レイ33fの出射面に対し傾斜しており、モニタ用受光
素子33pの両側には、メタライズ配線33n1、33
n2が伸びている(図47、図49参照)。モニタ用受
光素子33pは、受光面が上面、電極は上面に一つ、裏
面に一つ形成されている。そのため、一方のメタライズ
配線33n1は、モニタ用受光面の裏面に接触している
が、他方のメタライズ配線33n2は間隔が開いてお
り、例えば、ワイヤボンディングで接続される。What is important here is that the monitor light receiving element mounting section 33q includes the light emitting element emitting section so that the monitoring light receiving element 33p mounted on the mounting section 33q receives the emitted light of the light emitting element obliquely. This is a point formed so as to be oblique to the plane (see FIGS. 41 and 47). Therefore, the reflected light from the light receiving surface of the monitor light receiving element 33p is
The performance of the light emitting element is enhanced without entering any light emitting element. In order to provide the monitor light receiving element 33p with such a function, the monitor light receiving element mounting portion 33q is inclined with respect to the emission surface of the light emitting element array 33f, and metallized wirings 33n1 are provided on both sides of the monitor light receiving element 33p. , 33
n2 is extended (see FIGS. 47 and 49). The monitor light receiving element 33p has a light receiving surface formed on the upper surface, one electrode formed on the upper surface, and one electrode formed on the rear surface. Therefore, one metallized wiring 33n1 is in contact with the back surface of the light receiving surface for monitoring, while the other metallized wiring 33n2 is spaced apart and connected by, for example, wire bonding.
【0132】第3実施例に係る光並列伝送送信器による
と、要求される機能を損なうことなく、第2実施例でモ
ニタ用受光素子に割り当てられていた実装面積23m
(図35参照)を有効に利用できる。また、より高機能
なパターン設計をセラミック基板上で実現できる。よっ
て、設計上の自由度を拡大できる。さらに、リッド33
eにガイドピン保持機能に加えて、その裏面にモニタ用
受光素子を実装可能な領域33qを設けることにより、
発光素子に実装された基板レイアウトに余裕が生まれ
る。According to the optical parallel transmission transmitter according to the third embodiment, the mounting area of 23 m allocated to the monitor light receiving element in the second embodiment is maintained without impairing the required functions.
(See FIG. 35) can be used effectively. Further, a more sophisticated pattern design can be realized on a ceramic substrate. Therefore, the degree of freedom in design can be increased. In addition, lid 33
e, by providing a region 33q on the back surface thereof in which a monitor light receiving element can be mounted, in addition to the guide pin holding function,
The board layout mounted on the light emitting element has a margin.
【0133】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、多種多様の変形例が可能である。Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made.
【0134】[0134]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、複数の光ファイバと複数の光素子(受光素
子、発光素子)とを光結合させる作業を簡単に実現でき
る構造を提供することができる。As described above, the present invention provides a structure which can easily realize an operation of optically coupling a plurality of optical fibers with a plurality of optical elements (light receiving elements, light emitting elements). can do.
【図1】図1は、本発明の一実施例に係る、樹脂成型直
後の光並列伝送用受信器を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an optical parallel transmission receiver immediately after resin molding according to an embodiment of the present invention.
【図2】図2は、本発明の一実施例に係る光並列伝送用
受信器に使用できるPDサブキャリア3をMTフェルー
ル2の側から見た斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a PD subcarrier 3 that can be used in a receiver for optical parallel transmission according to an embodiment of the present invention, as viewed from an MT ferrule 2 side.
【図3】図3は、本発明の一実施例に係る光並列伝送用
受信器に使用できるPDサブキャリア3の後方から見た
斜視図である。FIG. 3 is a rear perspective view of a PD subcarrier 3 that can be used in the optical parallel transmission receiver according to one embodiment of the present invention.
【図4】図4は、本発明の一実施例に係る光並列伝送用
受信器に使用できるガイドピン1,MTフェルール2,
PDサブキャリア3を組み合わせたサブアセンブリをM
Tフェルール2側から見た斜視図である。FIG. 4 is a view showing a guide pin 1, an MT ferrule 2, and a guide pin which can be used in a receiver for optical parallel transmission according to an embodiment of the present invention.
Subassembly combining PD subcarrier 3 is denoted by M
It is the perspective view seen from T ferrule 2 side.
【図5】図5は、図4のサブアセンブリを裏返し、当該
サブアセンブリをPDサブキャリア3側から見た斜視図
である。FIG. 5 is a perspective view of the subassembly of FIG. 4 turned upside down and the subassembly viewed from the PD subcarrier 3 side.
【図6】図6は、図4のサブアセンブリからMTフェル
ール2を外した斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the subassembly of FIG. 4 with the MT ferrule 2 removed.
【図7】図7は、本発明の一実施例に係る光並列伝送用
受信器に使用できる光ファイバと受光素子との接続状態
を示す為にMTフェルール2のリッド2cの半分を省略
し、接続用リード3eを略S字状に曲げる前の状態を便
宜的に示す斜視図である。FIG. 7 omits a half of a lid 2c of an MT ferrule 2 to show a connection state between an optical fiber and a light receiving element that can be used in a receiver for optical parallel transmission according to one embodiment of the present invention; It is a perspective view which shows the state before bending the connection lead 3e in a substantially S shape for convenience.
【図8】図8は、本発明の一実施例に係る光並列伝送用
受信器に使用できるガイドピンと共にMTフェルールを
示す分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view showing an MT ferrule together with a guide pin that can be used in the optical parallel transmission receiver according to one embodiment of the present invention.
【図9】図9は、本発明の一実施例に係る光並列伝送用
受信器に使用できるPDサブキャリア3の一構成要素で
ある金属製リードフレームを示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a metal lead frame as one component of the PD subcarrier 3 that can be used in the optical parallel transmission receiver according to one embodiment of the present invention.
【図10】図10は、本発明の一実施例に係る光並列伝
送用受信器に使用できる金属製リードフレームを第1平
板3bと第2平板3cで挟持、固定した状態を示す斜視
図である。FIG. 10 is a perspective view showing a state where a metal lead frame that can be used in the optical parallel transmission receiver according to one embodiment of the present invention is sandwiched and fixed between a first flat plate 3b and a second flat plate 3c. is there.
【図11】図11は、図10の接続用リードピン3eを
折り曲げた状態を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a state where the connection lead pin 3e of FIG. 10 is bent.
【図12】図12は、図11に示されたアイランド部3
j1,3j2に受光素子アレイ3f及びプリアンプIC3
gが搭載され、これらをワイヤボンディングした状態
を、ガイドピン1、MTフェルール2と共に示す斜視図
である。FIG. 12 is a sectional view of the island portion 3 shown in FIG. 11;
The light receiving element array 3f and the preamplifier IC 3 are provided for j1 and 3j2.
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which g is mounted and these are wire-bonded together with a guide pin 1 and an MT ferrule 2.
【図13】図13は、本発明の一実施例に係る光並列伝
送用受信器に使用できる、裏面入射型受光素子を用いた
PDサブキャリア3をMTフェルール2と共に示す斜視
図である。FIG. 13 is a perspective view showing a PD subcarrier 3 using a back-illuminated light-receiving element, together with an MT ferrule 2, which can be used in a receiver for optical parallel transmission according to one embodiment of the present invention.
【図14】図14は、図13に示されたPDサブキャリ
ア3を裏側から見た斜視図である。FIG. 14 is a perspective view of the PD subcarrier 3 shown in FIG. 13 as viewed from the back side.
【図15】図15は、本発明の一実施例に係る光並列伝
送用受信器に使用できる受光素子アレイ3fとプリアン
プIC3gの接続状態を示す斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing a connection state between a light receiving element array 3f and a preamplifier IC 3g that can be used in the optical parallel transmission receiver according to one embodiment of the present invention.
【図16】図16は、本発明の一実施例に係る光並列伝
送用受信器に使用できる、他の実施例に係る接続方法を
示す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing a connection method according to another embodiment, which can be used for the optical parallel transmission receiver according to one embodiment of the present invention.
【図17】図17は、本発明の第1実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用できる、樹脂成型直後の光並列伝送
用送信器を示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing an optical parallel transmission transmitter immediately after resin molding, which can be used for the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment of the present invention.
【図18】図18は、本発明の第1実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用できる、樹脂成型前のMTフェルー
ル12及びLDサブキャリア13の内部を示す分解斜視
図である。FIG. 18 is an exploded perspective view showing the inside of the MT ferrule 12 and the LD subcarrier 13 before resin molding, which can be used for the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment of the present invention.
【図19】図19は、本発明の第1実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用できる、LDサブキャリア13のリ
ッドを省略した状態を示す斜視図である。FIG. 19 is a perspective view showing a state where the lid of the LD subcarrier 13 is omitted, which can be used for the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment of the present invention.
【図20】図20は、本発明の第1実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア13をリー
ドフレーム14及びセラミック基板16と共に示す斜視
図であり、図19の光並列伝送用送信器からMTフェル
ール12を省略したものに相当する。FIG. 20 is a perspective view showing an LD subcarrier 13 that can be used in the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment of the present invention, together with a lead frame 14 and a ceramic substrate 16, and FIG. This corresponds to a transmitter in which the MT ferrule 12 is omitted from the transmitter for parallel transmission.
【図21】図21は、本発明の第1実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なガイドピンと共にMTフェル
ールを示す分解斜視図である。FIG. 21 is an exploded perspective view showing an MT ferrule together with a guide pin that can be used in the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment of the present invention.
【図22】図22は、図21のガイドピン及びMTフェ
ルールを下方から見た斜視図である。FIG. 22 is a perspective view of the guide pin and the MT ferrule of FIG. 21 as viewed from below.
【図23】図23は、本発明の第1実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア13の一構
成要素である金属製リードフレームを示す斜視図であ
る。FIG. 23 is a perspective view showing a metal lead frame as one component of the LD subcarrier 13 that can be used for the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment of the present invention.
【図24】図24は、本発明の第1実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能な金属製リードフレームを第1
平板13bと第2平板13cで挟持、固定した状態を示
す斜視図である。FIG. 24 shows a first metal lead frame usable for the optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment of the present invention.
It is a perspective view showing the state where it was pinched and fixed between flat plate 13b and 2nd flat plate 13c.
【図25】、図25は、図24をドライバICアレイ搭
載部13j1側から見た状態を示す斜視図である。25 and FIG. 25 are perspective views showing FIG. 24 as viewed from the driver IC array mounting portion 13j1 side.
【図26】図26は、図24に示されたアイランド部1
3j1,13j2及びモニタ用受光素子13mに、発光素
子アレイ13f、ドライバICアレイ13g及びモニタ
用受光素子13pが搭載された状態を、ガイドピン11
と共に示す斜視図である。FIG. 26 is an island portion 1 shown in FIG. 24;
The state in which the light emitting element array 13f, the driver IC array 13g, and the monitoring light receiving element 13p are mounted on the 3j1, 13j2 and the monitoring light receiving element 13m is referred to as a guide pin 11.
It is a perspective view shown with it.
【図27】図27は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能な、樹脂成型前の第1実施例に
係る光並列伝送用送信器を、LDサブキャリアのリッド
23eを外し、セラミック基板26側から示す斜視図で
ある。FIG. 27 shows an optical parallel transmission transmitter according to the first embodiment before resin molding, which can be used for the optical parallel transmission transmitter according to the second embodiment of the present invention. FIG. 13 is a perspective view showing the ceramic substrate 26 with a lid 23e removed.
【図28】図28は図27の光並列伝送用送信器から更
にMTフェルール22のリッド22cを外した状態を示
す斜視図である。FIG. 28 is a perspective view showing a state in which a lid 22c of the MT ferrule 22 has been further removed from the optical parallel transmission transmitter of FIG. 27;
【図29】図29はリッド22cとリッド23eを外し
た状態をMTフェルール22側から示す斜視図である。FIG. 29 is a perspective view showing a state in which a lid 22c and a lid 23e are removed from the MT ferrule 22 side.
【図30】図30は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア23をリー
ドフレーム24及びセラミック基板26と共に示す斜視
図である。FIG. 30 is a perspective view showing an LD subcarrier 23 which can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a second embodiment of the present invention, together with a lead frame 24 and a ceramic substrate 26.
【図31】図31は、図30に示された第2実施例に係
る光並列伝送用送信器のLDサブキャリア23のリッド
23eを外した状態を示す斜視図である。FIG. 31 is a perspective view of the transmitter for optical parallel transmission according to the second embodiment shown in FIG. 30, with a lid 23e of an LD subcarrier 23 removed.
【図32】図32は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なリッド23eを省略したLD
サブキャリア23をMTフェルール22と共に示す斜視
図である。FIG. 32 is an LD in which a lid 23e usable in a transmitter for optical parallel transmission according to a second embodiment of the present invention is omitted.
FIG. 3 is a perspective view showing a subcarrier 23 together with an MT ferrule 22.
【図33】図33は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能な、リッド23eを省略したL
Dサブキャリア23をガイドピン21と共に示す斜視図
である。FIG. 33 is a diagram illustrating an L-type transmitter for use in the optical parallel transmission transmitter according to the second embodiment of the present invention, in which the lid 23e is omitted.
FIG. 3 is a perspective view showing a D subcarrier together with guide pins.
【図34】図34は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能な、LDサブキャリア23を構
成する第1平板23b、第2平板23c、それらに保持
される2つのリードフレームを示す斜視図である。FIG. 34 is a diagram illustrating a first flat plate 23b and a second flat plate 23c constituting an LD subcarrier 23, which can be used in the transmitter for optical parallel transmission according to the second embodiment of the present invention, and are held by these. It is a perspective view which shows two lead frames.
【図35】図35は、図34に示される第1平板23b
から発光素子アレイ23f、ドライバICアレイ23
g、モニタ用受光素子23pを取り除いた状態を示す斜
視図である。FIG. 35 is a first flat plate 23b shown in FIG. 34;
To light emitting element array 23f, driver IC array 23
g is a perspective view showing a state where the monitoring light receiving element 23p is removed.
【図36】図36は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア23の一構
成要素である金属製リードフレームを示す斜視図であ
る。FIG. 36 is a perspective view showing a metal lead frame as one component of the LD subcarrier 23 that can be used in the optical parallel transmission transmitter according to the second embodiment of the present invention.
【図37】図37は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なガイドピン21及びMTフェ
ルール22と共に、リッド23eを省略したLDサブキ
ャリア23を示す斜視図である。FIG. 37 is a perspective view showing a guide pin 21 and an MT ferrule 22 that can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a second embodiment of the present invention, and an LD subcarrier 23 from which a lid 23e is omitted. is there.
【図38】図38は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能な、MTフェルール22及びL
Dサブキャリア23を光ファイバの配列面に対し直交す
る面で切断した断面図である。FIG. 38 shows MT ferrules 22 and L that can be used in the optical parallel transmission transmitter according to the second embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which cut | disconnected D subcarrier 23 in the surface orthogonal to the arrangement surface of an optical fiber.
【図39】図39は、本発明の第2実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能な、樹脂成型前の光並列伝送用
送信器からMTフェルール32を省略し、セラミック基
板26側から示す斜視図である。FIG. 39 is a side view of the transmitter for optical parallel transmission before resin molding, in which the MT ferrule 32 is omitted and which can be used for the transmitter for optical parallel transmission according to the second embodiment of the present invention; FIG.
【図40】図40は、図39の光並列伝送用送信器のリ
ッド33eを外した状態を示す斜視図である。FIG. 40 is a perspective view showing a state where a lid 33e of the transmitter for optical parallel transmission in FIG. 39 is removed.
【図41】図41は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33を示す
斜視図である。FIG. 41 is a perspective view showing an LD subcarrier 33 that can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a third embodiment of the present invention.
【図42】図42は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33を示す
斜視図である。FIG. 42 is a perspective view showing an LD subcarrier 33 that can be used in the optical parallel transmission transmitter according to the third embodiment of the present invention.
【図43】図43は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33を示す
斜視図である。FIG. 43 is a perspective view showing an LD subcarrier 33 that can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a third embodiment of the present invention.
【図44】図44は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33を示す
斜視図である。FIG. 44 is a perspective view showing an LD subcarrier 33 that can be used for the optical parallel transmission transmitter according to the third embodiment of the present invention.
【図45】図45は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33のリッ
ド33eを示す斜視図である。FIG. 45 is a perspective view showing a lid 33e of an LD subcarrier 33 that can be used in the optical parallel transmission transmitter according to the third embodiment of the present invention.
【図46】図46は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33のリッ
ド33eを示す斜視図である。FIG. 46 is a perspective view showing a lid 33e of an LD subcarrier 33 that can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a third embodiment of the present invention.
【図47】図47は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33のリッ
ド33eを示す斜視図である。FIG. 47 is a perspective view showing a lid 33e of an LD subcarrier 33 that can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a third embodiment of the present invention.
【図48】図48は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33のリッ
ド33eを示す斜視図である。FIG. 48 is a perspective view showing a lid 33e of an LD subcarrier 33 that can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a third embodiment of the present invention.
【図49】図49は、本発明の第3実施例に係る光並列
伝送用送信器に使用可能なLDサブキャリア33のリッ
ド33eを示す斜視図である。FIG. 49 is a perspective view showing a lid 33e of an LD subcarrier 33 that can be used in a transmitter for optical parallel transmission according to a third embodiment of the present invention.
1、11,21,31…ガイドピン、2、12、22,
32…MTフェルール、3…PDサブキャリア、13,
23,33…LDサブキャリア、4,14,24,34
…リードフレーム、5…モールドパッケージ、6…セラ
ミック基板。1, 11, 21, 31, ... guide pins, 2, 12, 22,
32 ... MT ferrule, 3 ... PD subcarrier, 13,
23, 33... LD subcarriers, 4, 14, 24, 34
... lead frame, 5 ... mold package, 6 ... ceramic substrate.
フロントページの続き Fターム(参考) 2H036 JA04 LA03 NA01 QA02 QA49 QA56 2H037 AA01 BA04 BA13 BA35 CA10 DA03 DA04 DA06 DA12 DA33 DA35 Continued on the front page F-term (reference) 2H036 JA04 LA03 NA01 QA02 QA49 QA56 2H037 AA01 BA04 BA13 BA35 CA10 DA03 DA04 DA06 DA12 DA33 DA35
Claims (5)
光学的に結合させる光並列伝送用送受信モジュールであ
って、 前記複数の光素子は、アレイ状に配列された状態で、樹
脂成型された光素子保持手段に保持され、 前記複数本の光ファイバは、アレイ状に配列された状態
で、樹脂成型されたファイバ保持手段に保持され、 前記光素子保持手段と前記ファイバ保持手段は、それぞ
れ一対のガイドピンを保持するガイドピン保持部を備
え、 前記一対のガイドピンに前記光素子保持手段と前記ファ
イバ保持手段を挿入することにより、前記複数の光素子
と前記複数本の光ファイバとが位置決めされることを特
徴とする、光並列伝送用送受信モジュール。1. A transmission / reception module for optical parallel transmission for optically coupling a plurality of optical elements and a plurality of optical fibers, wherein the plurality of optical elements are resin-molded while being arranged in an array. The plurality of optical fibers are held in resin-molded fiber holding means in a state of being arranged in an array, and the optical element holding means and the fiber holding means are Each of the plurality of optical elements and the plurality of optical fibers includes a guide pin holding unit that holds a pair of guide pins, and the optical element holding unit and the fiber holding unit are inserted into the pair of guide pins. The transmitting / receiving module for optical parallel transmission, characterized in that:
及び前記複数の光ファイバの配列面と実質的に直交する
方向に並置されるプリアンプICと、前記プリアンプI
Cとボンディングワイヤを介して接続される受光素子ア
レイとを備え、 前記ファイバ保持手段のファイバ端面と前記ボンディン
グワイヤとの干渉を避けるため、前記ファイバ保持手段
に凹部が形成されていることを特徴とする、請求項1記
載の光並列伝送用送受信モジュール。2. The preamplifier IC according to claim 1, wherein said optical element holding means includes a preamplifier IC juxtaposed in a direction substantially orthogonal to an arrangement surface of said guide pins and said plurality of optical fibers.
C and a light receiving element array connected via a bonding wire, wherein a concave portion is formed in the fiber holding means in order to avoid interference between the fiber end face of the fiber holding means and the bonding wire. The transmission / reception module for optical parallel transmission according to claim 1.
は、前記光ファイバのコア軸に対し斜めに研磨されてい
ることを特徴とする、請求項1又は2記載の光並列伝送
用送受信モジュール。3. The transmission / reception module for optical parallel transmission according to claim 1, wherein a fiber end face of said fiber holding means is polished obliquely with respect to a core axis of said optical fiber.
を保持するガイドピン保持部と、前記受光素子アレイを
保持する第1保持部と、前記プリアンプICを保持する
第2保持部とを備え、 前記第1保持部は前記ガイドピン保持部を基準に位置決
めされ、前記第1保持部に前記受光素子アレイを保持す
ることにより、前記ガイドピン保持部に挿入されるガイ
ドピンに対し前記受光素子アレイが位置決めされること
を特徴とする、請求項2又は3記載の光並列伝送用送受
信モジュール。4. The optical element holding means includes a guide pin holding section for holding the guide pins, a first holding section for holding the light receiving element array, and a second holding section for holding the preamplifier IC. The first holding portion is positioned with reference to the guide pin holding portion, and holds the light receiving element array in the first holding portion, so that the light receiving element is positioned relative to a guide pin inserted into the guide pin holding portion. 4. The transceiver module for optical parallel transmission according to claim 2, wherein the array is positioned.
ICに接続される電極が形成される面の反対側に受光面
を有する裏面入射型受光素子で構成され、前記第1保持
部は、前記受光素子保持手段の裏側まで貫通する開口を
含んで構成され、 前記裏面入射型受光素子は、受光面が前記開口から前記
受光素子保持手段の裏側に露出するように配置され、 前記一対のガイドピンを介して、前記裏面型受光素子の
受光面に対し、複数本の光ファイバが前記受光素子保持
手段の裏側で光学的に結合されることを特徴とする、請
求項4記載の光並列伝送用送受信モジュール。5. The light-receiving element array includes a back-illuminated light-receiving element having a light-receiving surface on a side opposite to a surface on which an electrode connected to the preamplifier IC is formed, and the first holding unit includes a light-receiving element. The back-illuminated light receiving element is configured to include an opening that penetrates to the back side of the element holding means, and the back-illuminated light receiving element is arranged so that a light receiving surface is exposed from the opening to the back side of the light receiving element holding means. 5. The transmission / reception for optical parallel transmission according to claim 4, wherein a plurality of optical fibers are optically coupled to a light receiving surface of the back type light receiving element via a back side of the light receiving element holding means. module.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11001207A JP2000199838A (en) | 1999-01-06 | 1999-01-06 | Signal transmission and reception module for optical parallel transmission |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11001207A JP2000199838A (en) | 1999-01-06 | 1999-01-06 | Signal transmission and reception module for optical parallel transmission |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
ID=11495028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP2000199838A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7449674B2 (en) | 2006-05-17 | 2008-11-11 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical transmission module |
JP2011102925A (en) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Photoelectric conversion component, photoelectric conversion module, and method for manufacturing the photoelectric conversion module |
CN102455469A (en) * | 2010-10-27 | 2012-05-16 | 日本航空电子工业株式会社 | Optical module |
KR20180031262A (en) * | 2016-09-19 | 2018-03-28 | 한국전자통신연구원 | Multi-channel optical sub assembly and manufacturing method of the same |
-
1999
- 1999-01-06 JP JP11001207A patent/JP2000199838A/en active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7449674B2 (en) | 2006-05-17 | 2008-11-11 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical transmission module |
JP2011102925A (en) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Photoelectric conversion component, photoelectric conversion module, and method for manufacturing the photoelectric conversion module |
CN102455469A (en) * | 2010-10-27 | 2012-05-16 | 日本航空电子工业株式会社 | Optical module |
US8360660B2 (en) | 2010-10-27 | 2013-01-29 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Optical module |
CN102455469B (en) * | 2010-10-27 | 2014-12-03 | 日本航空电子工业株式会社 | Optical module |
KR20180031262A (en) * | 2016-09-19 | 2018-03-28 | 한국전자통신연구원 | Multi-channel optical sub assembly and manufacturing method of the same |
US10018791B2 (en) | 2016-09-19 | 2018-07-10 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Multi-channel optical subassembly and method of manufacturing the same |
KR102015132B1 (en) * | 2016-09-19 | 2019-08-27 | 한국전자통신연구원 | Multi-channel optical sub assembly and manufacturing method of the same |
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