JP2000198195A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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JP2000198195A
JP2000198195A JP2000017619A JP2000017619A JP2000198195A JP 2000198195 A JP2000198195 A JP 2000198195A JP 2000017619 A JP2000017619 A JP 2000017619A JP 2000017619 A JP2000017619 A JP 2000017619A JP 2000198195 A JP2000198195 A JP 2000198195A
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generating element
elastic material
insulating elastic
insulating
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聡 細野
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To cope with high densification and an increase in the number of nozzles and to simply assemble in a high density by covering a plurality of regions sandwiched between positive electrodes and negative electrodes of a plurality of pressure generating elements with insulating elastic materials. SOLUTION: A plurality of pressure generating elements 11 are provided on a board 12. Negative electrodes 17 and positive electrodes 18 are constituted on sides and bottoms of the elements 11 to apply a voltage to intersected electrodes of the elements 11 by fixing the elements 11 by an adhesive layer 19. The sides of the elements 11 perpendicular to its pressure generating surfaces 11a are covered with insulating low elastic materials 13 having low elastic modulus. An insulating high elastic material 14 having a high elastic modulus is formed in a protruding state on the surfaces 11a, and spacers 20 are constituted at a suitable interval between the board 12 and a nozzle forming board 15 having a plurality of nozzle openings 16.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を飛翔さ
せ、記録紙等の記録媒体上にインク像を形成するプリン
タ等のインクジェット記録装置に関し、さらに詳細に
は、インクジェットヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus such as a printer which forms an ink image on a recording medium such as recording paper by flying ink droplets, and more particularly to an ink jet head.

【0002】[0002]

【従来の技術】複数のノズルを有するノズル形成基板
と、ノズルに対向して配置される圧電材料と導電材料か
らなる圧力発生素子と、前記圧力発生素子と前記ノズル
形成基板との間隙、及び前記圧力発生素子の周辺を充た
すインクとを備え、印加電圧により前記圧力発生素子を
変位させてインクをノズルから吐出させるオンデマンド
型インクジェットヘッドは、特公昭60−8953号公
報に開示されている。
2. Description of the Related Art A nozzle forming substrate having a plurality of nozzles, a pressure generating element made of a piezoelectric material and a conductive material disposed opposite to the nozzle, a gap between the pressure generating element and the nozzle forming substrate, Japanese Patent Publication No. Sho 60-8953 discloses an on-demand type ink jet head which includes an ink which fills the periphery of a pressure generating element and which displaces the pressure generating element by an applied voltage to discharge ink from a nozzle.

【0003】さらに従来の技術として、ガラス基板とガ
ラス薄板との間に複数のインクキャビティを形成し、電
極を両面に形成した圧力発生素子の板をインクキャビテ
ィの面積程度に切断加工した後、各インクキャビティの
上にガラス薄板をはさんで接着したインクジェットヘッ
ドがある。
Further, as a conventional technique, a plurality of ink cavities are formed between a glass substrate and a glass thin plate, and a plate of a pressure generating element having electrodes formed on both sides is cut into a size of about the area of the ink cavities. There is an ink jet head in which a thin glass plate is sandwiched over the ink cavity.

【0004】この様な形式の印字ヘッドに於いては、液
滴の形成効率、及び飛翔力が大きいことが望ましい。し
かしながら、圧力発生素子の単位長さ、及び単位電圧当
たりの伸縮率は極めて小さいため、印字に要求される飛
翔力を得るためには、高印字電圧が必要となり駆動回路
や絶縁対策が複雑化するという問題を有している。
In such a print head, it is desirable that the droplet formation efficiency and the flying force be large. However, since the unit length of the pressure generating element and the expansion / contraction ratio per unit voltage are extremely small, a high printing voltage is required in order to obtain the flying force required for printing, and the driving circuit and insulation measures are complicated. There is a problem that.

【0005】この様な問題を解決するため、特開昭63
−295269号公報に示されている様に圧電材料と導
電材料とを交互に積層したインクジェット印字ヘッド用
の圧力発生素子が提案されている。この圧力発生素子に
よれば電極間距離を非常に小さくすることができるの
で、駆動信号の電圧を下げることができるという効果を
有している。
In order to solve such a problem, Japanese Patent Application Laid-Open
As described in Japanese Patent Publication No. 295269, a pressure generating element for an ink jet print head in which a piezoelectric material and a conductive material are alternately laminated has been proposed. According to this pressure generating element, the distance between the electrodes can be made extremely small, so that the voltage of the drive signal can be reduced.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電材
料と導電材料を積層して焼成した圧力発生素子を用い
て、ノズル開口と前記圧力発生素子の自由端の間にイン
クを貯める間隔を形成してなるオンデマンド型インクジ
ェットヘッドに於いては、上記圧電材料が極めて薄く形
成されている為、電界強度が極めて大きく、電極間、ま
たは、インクの絶縁破壊が心配される。
However, by using a pressure generating element obtained by laminating and firing a piezoelectric material and a conductive material, an interval for storing ink is formed between a nozzle opening and a free end of the pressure generating element. In the on-demand type ink jet head, since the piezoelectric material is formed to be extremely thin, the electric field intensity is extremely large, and there is a concern that the dielectric breakdown between the electrodes or the ink may occur.

【0007】また、前記の従来技術では、インクキャビ
ティの広さは、一辺が数百μm程度である為、圧力発生
素子をインクキャビティ程度の大きさに切断加工した複
数の板を各インクキャビティごとに接着しなければなら
ない。このため接着の不均一さによる特性のばらつきが
大きい、接着部の剥離が起こり易い、インクキャビティ
と圧電体の板との位置合わせ精度が高くできない、圧電
体の切削加工時に内部歪が発生し、特性のばらつきを生
じ易い、構成部材の数が多くなり生産性が悪いという問
題があった。
In the prior art, since the width of the ink cavity is about several hundred μm on one side, a plurality of plates obtained by cutting the pressure generating element into the size of the ink cavity are used for each ink cavity. Must be adhered to. For this reason, the variation in characteristics due to the non-uniformity of the adhesion is large, peeling of the bonded portion is likely to occur, the alignment accuracy between the ink cavity and the plate of the piezoelectric body cannot be increased, internal distortion occurs during cutting of the piezoelectric body, There has been a problem that characteristics are likely to vary, and the number of constituent members is increased, resulting in poor productivity.

【0008】これらの問題点は、ノズルの数を多くする
ほど、あるいは、ノズルの密度を高くするほど顕著にな
る。
[0008] These problems become more pronounced as the number of nozzles is increased or as the density of the nozzles is increased.

【0009】そこで、本発明は、こうした問題を解決す
るもので、その目的は、高密度化、高ノズル数に対応す
ると共に、高密度で簡易組立が可能であり、さらには、
動作効率が高く、耐久性に優れたインクジェットヘッド
を提供することにある。
Therefore, the present invention solves such a problem, and its object is to cope with high density and a high number of nozzles and to enable high-density and simple assembly.
An object of the present invention is to provide an inkjet head having high operation efficiency and excellent durability.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、インクを吐出する複数のノズルを備えたノズ
ル形成基板と、前記インクに圧力を加えるための、一端
近傍が前記基板に固定され、他端は圧力発生面として作
用する積層型縦型振動子である複数の圧力発生素子と、
該圧力発生素子に圧力を発生させるための電圧を印加す
る電圧印加手段と、前記圧力発生素子を固定する基板
と、前記圧力発生素子の振動を受ける部材とを有し、前
記圧力発生素子の正電極と負電極の両方で挟まれる複数
の領域が絶縁弾性材料により被覆されていることを特徴
とする。
According to the present invention, there is provided an ink jet head comprising: a nozzle forming substrate provided with a plurality of nozzles for discharging ink; and one end near one end for applying pressure to the ink, the substrate being fixed to the substrate. The ends are a plurality of pressure generating elements which are stacked vertical vibrators acting as pressure generating surfaces,
A voltage applying means for applying a voltage for generating pressure to the pressure generating element, a substrate for fixing the pressure generating element, and a member for receiving vibration of the pressure generating element; A plurality of regions sandwiched by both the electrode and the negative electrode are covered with an insulating elastic material.

【0011】また、前記圧力発生素子の振動を受ける部
材から、前記基板に設けられた圧力発生素子を固定する
ための接着層まで前記絶縁弾性材料で覆われていること
を特徴とする。
[0011] Further, the invention is characterized in that the insulating elastic material covers from a member receiving the vibration of the pressure generating element to an adhesive layer provided on the substrate for fixing the pressure generating element.

【0012】また、前記圧力発生素子の振動を受ける部
材が絶縁弾性材料であり、前記圧力発生素子を被覆する
絶縁弾性材料と弾性率が異なることを特徴とする。
Further, the member receiving vibration of the pressure generating element is an insulating elastic material, and has a different elastic modulus from that of the insulating elastic material covering the pressure generating element.

【0013】また、前記圧力発生素子の振動を受ける部
材の絶縁弾性材料の弾性率が前記圧力発生素子を被覆す
る絶縁弾性材料の弾性率より高いことを特徴とする。
Further, the elastic modulus of the insulating elastic material of the member receiving the vibration of the pressure generating element is higher than the elastic modulus of the insulating elastic material covering the pressure generating element.

【0014】また、前記圧力発生素子の圧力発生面側に
絶縁弾性材料で構成された部材が設けられ、該圧力発生
素子の圧力発生面側に絶縁弾性材料で構成された部材
が、ノズル開口面に対して凸状に形成されていることを
特徴とする。
A member made of an insulating elastic material is provided on the pressure generating surface side of the pressure generating element, and a member made of the insulating elastic material is provided on the pressure generating surface side of the pressure generating element. Is formed in a convex shape with respect to.

【0015】また、前記圧力発生素子の圧力発生面側に
絶縁弾性材料で構成された部材がノズル開口に対向する
面に凹部を有することを特徴とする。
Further, a member made of an insulating elastic material has a concave portion on a surface facing the nozzle opening on the pressure generating surface side of the pressure generating element.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下に本発明による実施例の詳細
を図面を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0017】図1は、本発明による第1の実施例を示す
インクジェットヘッド主要部の斜視図、図2は、同イン
クジェットヘッド主要部の上面図(a)、及びA−A断
面図(b)である。
FIG. 1 is a perspective view of a main part of an ink jet head showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a top view (a) of the main part of the ink jet head and a sectional view (A) of FIG. It is.

【0018】これらの図に示すように、基板12に備わ
る圧力発生素子11は接着層19にて固定されている。
上記圧力発生素子11の圧力発生面11aと直角な側面
には、弾性率の低い絶縁低弾性材料13が、厚さ100
〜200μm程度に被覆されている。
As shown in these figures, the pressure generating element 11 provided on the substrate 12 is fixed by an adhesive layer 19.
On the side surface perpendicular to the pressure generating surface 11a of the pressure generating element 11, an insulating and low elastic material 13 having a low elastic modulus has a thickness of 100 mm.
It is coated to about 200 μm.

【0019】また、圧力発生面11a上には弾性率の比
較的高い絶縁高弾性材料14が凸状に形成されている。
On the pressure generating surface 11a, a high elastic insulating material 14 having a relatively high elastic modulus is formed in a convex shape.

【0020】基板12と複数のノズル開口16を有する
ノズル形成基板15との間には、スペーサ20が、両者
の間の適切な間隔を保つ為に構成されている。
A spacer 20 is provided between the substrate 12 and the nozzle forming substrate 15 having a plurality of nozzle openings 16 so as to maintain an appropriate space therebetween.

【0021】また、圧力発生素子11の交差指状電極に
電圧を印加するために、負電極17と正電極18が上記
圧力発生素子11の側面と底面に構成されている。
Further, in order to apply a voltage to the interdigital electrodes of the pressure generating element 11, a negative electrode 17 and a positive electrode 18 are formed on the side and bottom of the pressure generating element 11.

【0022】図3は、本発明による第2の実施例を示す
インクジェットヘッド主要部の斜視図、図4は、同イン
クジェットヘッド主要部の上面図(a)、及びA−A断
面図(b)である。
FIG. 3 is a perspective view of a main part of an ink jet head showing a second embodiment according to the present invention, and FIG. 4 is a top view (a) of the main part of the ink jet head and a sectional view (A) of FIG. It is.

【0023】これらの図に示すように、基板12に備わ
る圧力発生素子11は接着層19にて固定されている。
上記圧力発生素子の圧力発生面と直角な側面には、弾性
率の低い絶縁低弾性材料13が、厚さ100〜200μ
m程度に被覆されている。
As shown in these figures, the pressure generating element 11 provided on the substrate 12 is fixed by an adhesive layer 19.
On the side surface perpendicular to the pressure generating surface of the pressure generating element, an insulating low-elastic material 13 having a low elastic modulus has a thickness of 100 to 200 μm.
m.

【0024】また、圧力発生面11a上には弾性率の比
較的高い絶縁高弾性材料14が凸状に形成されている。
さらに、ノズル開口16と対向する圧力発生表面14a
は凹状断面形状を有するように形成されている。基板1
2と複数のノズルを有するノズル形成基板15との間に
は、スペーサ20が、両者の間の適切な間隔を保つ為構
成されている。
On the pressure generating surface 11a, an insulating high elasticity material 14 having a relatively high elastic modulus is formed in a convex shape.
Further, the pressure generating surface 14a facing the nozzle opening 16
Is formed to have a concave cross-sectional shape. Substrate 1
A spacer 20 is provided between the nozzle forming substrate 15 having two nozzles and a plurality of nozzles so as to maintain an appropriate space therebetween.

【0025】また、圧力発生素子11の交差指状電極に
電圧を印加するために、負電極17と正電極18が上記
圧力発生素子11の側面と底面に構成されている。
In order to apply a voltage to the interdigital electrodes of the pressure generating element 11, a negative electrode 17 and a positive electrode 18 are formed on the side and bottom of the pressure generating element 11.

【0026】図5は、本発明におけるインクジェットヘ
ッドを搭載したシリアルプリンタの斜視図である。1は
本発明のインクジェットヘッドであり、2はそのキャリ
ッジである。3はキャリッジ駆動軸、4はキャリッジガ
イドである。プラテンに巻取られている記録紙8は、紙
送りローラ7と紙押さえ6によって押さえられている。
紙送りローラ7が回転することによって記録紙8は図中
矢印Aの方向に送られる。この時インクジェットヘッド
1は、図中矢印Bの方向に移動しながら記録紙8の表面
上にインク像を形成していく。
FIG. 5 is a perspective view of a serial printer equipped with an ink jet head according to the present invention. 1 is an ink jet head of the present invention, and 2 is its carriage. 3 is a carriage drive shaft, and 4 is a carriage guide. The recording paper 8 wound on the platen is pressed by a paper feed roller 7 and a paper holder 6.
As the paper feed roller 7 rotates, the recording paper 8 is fed in the direction of arrow A in the figure. At this time, the inkjet head 1 forms an ink image on the surface of the recording paper 8 while moving in the direction of arrow B in the figure.

【0027】一般に圧力発生素子の変位δは(1)式に
示すように、長さLと、電界強度Eに比例する。
Generally, the displacement δ of the pressure generating element is proportional to the length L and the electric field strength E as shown in the equation (1).

【0028】[0028]

【数1】 (Equation 1)

【0029】また、(2)式に示すように、発生力f
も、電界強度Eに比例するという特徴を有している。
Further, as shown in the equation (2), the generated force f
Also has a characteristic that it is proportional to the electric field strength E.

【0030】[0030]

【数2】 (Equation 2)

【0031】図7中(a),(b)に従来の圧力発生素
子11を用いたインクジェットヘッドの構造を示す。
FIGS. 7A and 7B show the structure of an ink jet head using a conventional pressure generating element 11. FIG.

【0032】従来、圧力発生部材23は、厚い単層の圧
電材料21と弾性板22によって構成されていた。こう
した構造では、電界強度Eを上げるために印加電圧を高
くしなければ十分な変位、及び発生力を得ることが出来
ず、駆動回路のコストも高くならざるをえなかった。し
かし、図6に示す圧力発生素子11のような薄い圧電材
料21の層を電極と交差指状に幾つもの層に構成した積
層型の圧力発生素子11を用いることによって、低電圧
駆動と高発生力を実現することが出来る。
Conventionally, the pressure generating member 23 is constituted by a thick single-layer piezoelectric material 21 and an elastic plate 22. In such a structure, unless the applied voltage is increased in order to increase the electric field strength E, sufficient displacement and generated force cannot be obtained, and the cost of the drive circuit has to be increased. However, by using a laminated type pressure generating element 11 in which a thin layer of the piezoelectric material 21 such as the pressure generating element 11 shown in FIG. Power can be realized.

【0033】ちなみに、本実施例のように、圧電材料2
1の厚さを数十μm程度にすることによって、24V程
度の低電圧で駆動させることが可能となり、生産コスト
及び、ランニングコストを非常に安くすることが出来
る。
Incidentally, as in the present embodiment, the piezoelectric material 2
By setting the thickness of the first layer to about several tens of μm, it is possible to drive at a low voltage of about 24 V, and the production cost and running cost can be extremely reduced.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明によれば、電界強度が極めて高い
積層型圧力発生素子を有効に利用するために、圧力発生
素子の正電極と負電極の両方で挟まれる複数の領域が絶
縁弾性材料により被覆されていることを特徴としてい
る。こうした処理を施すことによって、上記圧力発生素
子の絶縁破壊を抑制すると共に、圧力発生素子の駆動時
に発生する駆動音の消音効果、および残留振動の抑制効
果を有するインクジェットヘッドを実現できる。
According to the present invention, in order to effectively use a laminated pressure generating element having an extremely high electric field strength, a plurality of regions sandwiched by both the positive electrode and the negative electrode of the pressure generating element are made of an insulating elastic material. Characterized by being coated with By performing such a process, it is possible to realize an ink jet head that suppresses dielectric breakdown of the pressure generating element, suppresses driving noise generated when the pressure generating element is driven, and suppresses residual vibration.

【0035】また、圧力発生素子の変位方向とその面積
に対応して絶縁弾性材料の弾性率をかえることを特徴と
している。このことにより、変位効率を犠牲にしない効
果的な上記処理を施すことができる。
Further, the elastic modulus of the insulating elastic material is changed according to the displacement direction and the area of the pressure generating element. This makes it possible to perform the above-described processing effectively without sacrificing the displacement efficiency.

【0036】さらに、前記圧力発生素子の圧力発生面側
に絶縁弾性材料で構成された部材が設けられ、該圧力発
生素子の圧力発生面側に絶縁弾性材料で構成された部材
が、ノズル開口面に対して凸状に形成されていること、
および前記圧力発生素子の圧力発生面側に絶縁弾性材料
で構成された部材がノズル開口に対向する面に凹部を有
することによりインクの安定供給、安定吐出を実現する
ことができる。
Further, a member made of an insulating elastic material is provided on the pressure generating surface side of the pressure generating element, and a member made of the insulating elastic material is provided on the pressure generating surface side of the pressure generating element. Is formed in a convex shape with respect to
In addition, since the member made of an insulating elastic material has a concave portion on the surface facing the nozzle opening on the pressure generating surface side of the pressure generating element, stable supply and stable ejection of ink can be realized.

【0037】[0037]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による第1実施例を示すインクジェット
ヘッド主要部の斜視図。
FIG. 1 is a perspective view of a main part of an inkjet head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】(a)、(b)は本発明による第1実施例を示
すインクジェットヘッド主要部の上面図、及びA−A断
面図。
FIGS. 2A and 2B are a top view and a cross-sectional view taken along the line AA of a main part of an inkjet head according to a first embodiment of the present invention.

【図3】本発明による第2実施例を示すインクジェット
ヘッド主要部の斜視図。
FIG. 3 is a perspective view of a main part of an inkjet head according to a second embodiment of the present invention.

【図4】(a)、(b)は本発明による第2実施例を示
すインクジェットヘッド主要部の上面図、及びA−A断
面図。
FIGS. 4A and 4B are a top view and a cross-sectional view taken along line AA of a main part of an inkjet head according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明によるインクジェットヘッドを搭載した
シリアルプリンタの斜視図。
FIG. 5 is a perspective view of a serial printer equipped with an inkjet head according to the present invention.

【図6】本発明による積層型圧力発生素子を用いたイン
クジェットヘッドの構造図。
FIG. 6 is a structural view of an ink jet head using a stacked pressure generating element according to the present invention.

【図7】(a)、(b)は、方持ち梁構造を有するイン
クジェットヘッドの構造図、ガラス薄板上に圧力発生部
材を張り付けたインクジェットヘッドの構造図。
FIGS. 7A and 7B are structural diagrams of an inkjet head having a cantilever structure, and an inkjet head in which a pressure generating member is attached to a thin glass plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インクジェットヘッド 2 キャリッジ 3 キャリッジ駆動軸 4 キャリッジガイド 5 プラテン 6 紙押え軸 7 紙送り軸 8 記録紙 11 圧力発生素子 11a 圧力発生面 12 基板 13 絶縁低弾性材料 14 絶縁高弾性材料 14a 圧力発生表面 15 ノズル形成基板 16 ノズル開口 17 負電極 18 正電極 19 接着層 20 スペーサ Reference Signs List 1 inkjet head 2 carriage 3 carriage drive shaft 4 carriage guide 5 platen 6 paper press shaft 7 paper feed shaft 8 recording paper 11 pressure generating element 11a pressure generating surface 12 substrate 13 insulating low elastic material 14 insulating high elastic material 14a pressure generating surface 15 Nozzle forming substrate 16 Nozzle opening 17 Negative electrode 18 Positive electrode 19 Adhesive layer 20 Spacer

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクを吐出する複数のノズルを備えた
ノズル形成基板と、前記インクに圧力を加えるための、
一端近傍が前記基板に固定され、他端は圧力発生面とし
て作用する積層型縦型振動子である複数の圧力発生素子
と、該圧力発生素子に圧力を発生させるための電圧を印
加する電圧印加手段と、前記圧力発生素子を固定する基
板と、前記圧力発生素子の振動を受ける部材とを有し、
前記圧力発生素子の正電極と負電極の両方で挟まれる複
数の領域が絶縁弾性材料により被覆されていることを特
徴とするインクジェットヘッド。
1. A nozzle forming substrate having a plurality of nozzles for discharging ink, and a nozzle for applying pressure to the ink.
A plurality of pressure generating elements, each of which is a stacked vertical vibrator, having one end near the substrate and the other end acting as a pressure generating surface, and a voltage application for applying a voltage for generating a pressure to the pressure generating element. Means, a substrate for fixing the pressure generating element, and a member that receives vibration of the pressure generating element,
An ink jet head, wherein a plurality of regions sandwiched by both a positive electrode and a negative electrode of the pressure generating element are covered with an insulating elastic material.
【請求項2】 前記圧力発生素子の振動を受ける部材か
ら、前記基板に設けられた圧力発生素子を固定するため
の接着層まで前記絶縁弾性材料で覆われていることを特
徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein a portion from a member receiving the vibration of the pressure generating element to an adhesive layer for fixing the pressure generating element provided on the substrate is covered with the insulating elastic material. 2. The inkjet head according to item 1.
【請求項3】 前記圧力発生素子の振動を受ける部材が
絶縁弾性材料であり、前記圧力発生素子を被覆する絶縁
弾性材料と弾性率が異なることを特徴とする請求項1又
は請求項2に記載のインクジェットヘッド。
3. The pressure receiving element according to claim 1, wherein the member receiving the vibration is an insulating elastic material, and has a different elastic modulus from the insulating elastic material covering the pressure generating element. Inkjet head.
【請求項4】 前記圧力発生素子の振動を受ける部材の
絶縁弾性材料の弾性率が前記圧力発生素子を被覆する絶
縁弾性材料の弾性率より高いことを特徴とする請求項1
から請求項3いずれか一項に記載のインクジェットヘッ
ド。
4. The elastic modulus of the insulating elastic material of the member receiving vibration of the pressure generating element is higher than the elastic modulus of the insulating elastic material covering the pressure generating element.
The inkjet head according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】 前記圧力発生素子の圧力発生面側に絶縁
弾性材料で構成された部材が設けられ、該圧力発生素子
の圧力発生面側に絶縁弾性材料で構成された部材が、ノ
ズル開口面に対して凸状に形成されていることを特徴と
する請求項1から請求項4いずれか一項に記載のインク
ジェットヘッド。
5. A member made of an insulating elastic material is provided on the pressure generating surface side of the pressure generating element, and a member made of the insulating elastic material is provided on the pressure generating surface side of the pressure generating element. The inkjet head according to any one of claims 1 to 4, wherein the inkjet head is formed to have a convex shape.
【請求項6】 前記圧力発生素子の圧力発生面側に絶縁
弾性材料で構成された部材がノズル開口に対向する面に
凹部を有することを特徴とする請求項1から請求項5に
いずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
6. The pressure generating element according to claim 1, wherein a member made of an insulating elastic material has a concave portion on a surface facing the nozzle opening on a pressure generating surface side of the pressure generating element. Item 7. The inkjet head according to item 1.
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