JP2000193846A - Connection method of optical waveguide to optical fiber, and optical waveguide module to be formed using thereof - Google Patents
Connection method of optical waveguide to optical fiber, and optical waveguide module to be formed using thereofInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信などに用い
られる光導波路と光ファイバとの接続方法およびその接
続方法を用いて形成される光導波路モジュールに関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for connecting an optical fiber and an optical fiber used for optical communication and the like, and an optical waveguide module formed by using the method.
【0002】[0002]
【従来の技術】現在、光通信の分野では、低価格化、高
集積化の観点から、複数の光導波路をシリコンおよび石
英ウエハ上に並設した平型光導波路回路(PLC;Pl
anere Light−wave Circuit)
の実用化が進んでいる。PLCのような光導波路部品
(導波路チップ)を光通信用として用いる場合、複数の光
ファイバを精度良く並設した光ファイバアレイを光導波
路部品に接続して光導波路モジュールとして用いること
が行なわれる。2. Description of the Related Art At present, in the field of optical communication, a flat optical waveguide circuit (PLC; Pl) in which a plurality of optical waveguides are juxtaposed on silicon and quartz wafers from the viewpoint of cost reduction and high integration.
anere Light-wave Circuit)
Is being put to practical use. Optical waveguide components such as PLC
When the (waveguide chip) is used for optical communication, an optical fiber array in which a plurality of optical fibers are accurately arranged in parallel is connected to an optical waveguide component and used as an optical waveguide module.
【0003】図6には、光導波路部品に形成される光導
波路回路の一例として、16分岐光スプリッタの構成が
示されており、同図に示すものは、1本の光入力導波路
2を有し、この光入力導波路2の出射側にスラブ導波路
13が接続され、スラブ導波路13の出射側に16本の
光出力導波路6が接続されている。FIG. 6 shows a configuration of a 16-branch optical splitter as an example of an optical waveguide circuit formed on an optical waveguide component. The slab waveguide 13 is connected to the output side of the optical input waveguide 2, and 16 optical output waveguides 6 are connected to the output side of the slab waveguide 13.
【0004】この分岐光スプリッタにおいては、光入力
導波路2から入射した光は、スラブ導波路13で広がっ
て、各光出力導波路6に入射するが、スラブ導波路13
を通る光は強度分布を持っており、それにより、光出力
導波路6に入射して伝播する光強度は、その並設中央側
から並設端部側にいくにつれて弱まる傾向がある。言い
換えれば、同図に示す光導波路回路を有する光導波路部
品は、光導波路部品の並設中央側の光出力導波路6に対
して並設位置が両端側に向かうにつれて、光出力導波路
6の光透過損失が大きくなる光透過特性を有することに
なり、各光出力導波路6を図の左側から、aポート、b
ポート、といったように、順に、aポートからpポート
と表現すると、各ポートa〜pの光透過損失は、例えば
図7に示すようになる。In this split optical splitter, the light incident from the optical input waveguide 2 spreads in the slab waveguide 13 and enters each optical output waveguide 6.
Has a light intensity distribution, whereby the light intensity incident on the light output waveguide 6 and propagating therefrom tends to decrease from the juxtaposed center to the juxtaposed end. In other words, the optical waveguide component having the optical waveguide circuit shown in the drawing has the optical output waveguide 6 with the position parallel to the central side of the optical output waveguide 6 toward the both ends. Each of the optical output waveguides 6 has a port a, a port b
When the port a is expressed in order from the port a to the port p such as a port, the light transmission loss of each of the ports a to p is as shown in FIG. 7, for example.
【0005】すなわち、同図から明らかなように、この
16分岐光スプリッタにおいては、並設中央側の(8〜
9ポート目の)hポートやiポートの光透過損失に比
べ、並設両端側のaポートやpポートの光透過損失は、
3dB程度大きくなっている。That is, as is apparent from FIG. 1, in this 16-branch optical splitter, (8 to
Compared to the light transmission loss of the h port and the i port (9th port), the light transmission loss of the a port and the p port at
It is about 3 dB larger.
【0006】また、図8には、光導波路部品に形成され
る光導波路回路の別の例として、32分岐アレイ導波路
型回折格子の構成が示されており、同図に示すものは、
32本の並設された光入力導波路2の出射側に、入力側
スラブ導波路3が接続され、入力側スラブ導波路3の出
射側には、複数の並設されたアレイ導波路4が接続さ
れ、複数のアレイ導波路4の出射側には出力側スラブ導
波路5が接続され、出力側スラブ導波路5の出射側には
32本の並設された光出力導波路6が接続されて形成さ
れている。FIG. 8 shows a configuration of a 32-branch array waveguide type diffraction grating as another example of an optical waveguide circuit formed on an optical waveguide component.
The input side slab waveguide 3 is connected to the output side of the 32 parallel optical input waveguides 2, and a plurality of side by side arrayed waveguides 4 are connected to the output side of the input side slab waveguide 3. The output side slab waveguide 5 is connected to the output side of the plurality of arrayed waveguides 4, and 32 parallel output optical waveguides 6 are connected to the output side of the output side slab waveguide 5. It is formed.
【0007】前記アレイ導波路4は、入力側スラブ導波
路3から導出された光を伝播するものであり、互いに異
なる長さに形成されている。なお、アレイ導波路4は、
通常、例えば100本といったように多数設けられる
が、同図においては、図の簡略化のために、アレイ導波
路4の本数を簡略的に示してある。[0007] The arrayed waveguide 4 propagates light derived from the input side slab waveguide 3 and has different lengths from each other. The array waveguide 4 is
Usually, a large number of such waveguides are provided, for example, 100. In FIG. 1, the number of arrayed waveguides 4 is simply shown for simplification of the figure.
【0008】光入力導波路2には、送信側の光ファイバ
が接続されて、波長多重光が導入されるようになってお
り、光入力導波路2を通って入力側スラブ導波路3に導
入された光は、その回折効果によって広がって複数の各
アレイ導波路4に入射し、各アレイ導波路4を伝播す
る。この各アレイ導波路4を伝播した光は、出力側スラ
ブ導波路5に達し、さらに、光出力導波路6に集光され
て出力されるが、各アレイ導波路4の長さが互いに異な
ることから、各アレイ型導波路4を伝播した後に個々の
光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波
面が傾き、この傾き角度により集光する位置が決まるた
め、波長の異なる光は互いに集光する位置が異なり、そ
の位置に光出力導波路6を形成することによって、波長
の異なった光を各波長ごとに異なる光出力導波路6から
出力できる。A transmission-side optical fiber is connected to the optical input waveguide 2 so that wavelength-division multiplexed light is introduced into the optical input waveguide 2, and is introduced into the input-side slab waveguide 3 through the optical input waveguide 2. The emitted light is spread by the diffraction effect, enters each of the plurality of arrayed waveguides 4, and propagates through each of the arrayed waveguides 4. The light propagating through each array waveguide 4 reaches the output side slab waveguide 5 and is further condensed and output to the optical output waveguide 6, but the lengths of the array waveguides 4 are different from each other. Therefore, after the light propagates through each of the arrayed waveguides 4, the phase of each light is shifted, and the wavefront of the converged light is tilted in accordance with the amount of the shift, and the angle of inclination is determined by the tilt angle. The light converging positions are different from each other, and by forming the light output waveguide 6 at that position, light with different wavelengths can be output from different light output waveguides 6 for each wavelength.
【0009】また、アレイ導波路4から出力側スラブ導
波路5に光が入射する際に、光の回折する方向により回
折効果が異なり、光の強度が異なるため、アレイ導波路
型回折格子においても、分岐光スプリッタと同様に、各
光出力導波路6から出力される光強度は、並設中央側か
ら並設端部側にいくにつれて弱まる傾向がある。Further, when light is incident on the output side slab waveguide 5 from the array waveguide 4, the diffraction effect differs depending on the direction in which the light is diffracted, and the intensity of the light differs. Similarly to the branch optical splitter, the intensity of light output from each optical output waveguide 6 tends to decrease from the central side of the juxtaposition to the end side of the juxtaposition.
【0010】そのため、上記アレイ導波路型回折格子に
おいて、各光出力導波路6のポートナンバーを図8の上
側から順に、(1)〜(32)とすると、各ポート(1)〜
(32)の光透過損失の波長依存性は、図9に示すように
なり、アレイ導波路型回折格子においても、光透過損失
は、光出力導波路6の並設中央側から並設端部側にいく
につれて大きくなる。なお、光透過損失の最小ピーク値
の最大値((16),(17)ポートにおける光透過損失ピ
ーク値)と最小値((1),(32)ポートにおける光透過損
失ピーク値)との差は、例えば3dB〜4dBにもなる
ことがある。Therefore, in the above-mentioned arrayed waveguide type diffraction grating, if the port numbers of the respective optical output waveguides 6 are (1) to (32) in order from the upper side in FIG.
The wavelength dependence of the light transmission loss of (32) is as shown in FIG. 9, and also in the arrayed waveguide type diffraction grating, the light transmission loss is changed from the central side of the optical output waveguide 6 to the parallel end. It gets bigger toward the side. The difference between the maximum value of the minimum peak value of the light transmission loss (the peak value of the light transmission loss at the ports (16) and (17)) and the minimum value (the peak value of the light transmission loss at the ports (1) and (32)). May be, for example, 3 dB to 4 dB.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な複数の光導波路を備えた光導波路モジュールを光通信
用として用いる場合には、例えば、複数の各光出力導波
路6に接続された光ファイバから出力される光強度が均
一であること、言い換えれば、光導波路モジュールを構
成するポート間の光透過損失の差がないことが求められ
る。In the case where an optical waveguide module having a plurality of optical waveguides as described above is used for optical communication, for example, the optical waveguide module connected to each of the plurality of optical output waveguides 6 may be used. It is required that the intensity of the light output from the fiber be uniform, in other words, that there be no difference in light transmission loss between ports constituting the optical waveguide module.
【0012】しかしながら、上記のように、分岐光スプ
リッタやアレイ導波路型回折格子等の光導波路部品は、
並設された光出力導波路6から出力される光強度が、並
設中央側から並設端部側にいくにつれて小さくなり、光
導波路部品におけるポート間の光透過損失の差が、その
並設中央側と並設端部側とで3dB〜4dBにもなるこ
とがあるため、単純に光導波路部品と光ファイバとを接
続して光導波路モジュールを形成した場合は、上記の要
求に答えることができない。However, as described above, optical waveguide components such as a branch optical splitter and an arrayed waveguide type diffraction grating are:
The light intensity output from the juxtaposed optical output waveguides 6 decreases from the juxtaposed center to the juxtaposed end, and the difference in light transmission loss between the ports in the optical waveguide component is reduced. Since the center side and the side of the juxtaposed end may be as high as 3 dB to 4 dB, if the optical waveguide component is simply connected to the optical fiber to form the optical waveguide module, the above requirement can be met. Can not.
【0013】そこで、従来は、アッテネータ等を用い
て、並設中央側の光出力導波路6から出力される光の通
過特性を抑制することにより、光導波路モジュールにお
ける光導波路と光ファイバとのトータル損失(光導波路
の光透過損失に該光導波路と光ファイバとの接続損失を
あわせた損失)の最大値と最小値との差を小さくしてい
たが、このように、アッテネータなどを用いると、光導
波路モジュールの大型化や高コスト化を招くことにな
り、問題であった。Therefore, conventionally, by using an attenuator or the like to suppress the transmission characteristic of the light output from the optical output waveguide 6 on the central side, the total of the optical waveguide and the optical fiber in the optical waveguide module is reduced. Although the difference between the maximum value and the minimum value of the loss (loss of the light transmission loss of the optical waveguide plus the connection loss between the optical waveguide and the optical fiber) was reduced, as described above, when an attenuator or the like is used, This leads to an increase in the size and cost of the optical waveguide module, which is a problem.
【0014】本発明は、上記従来の課題を解決するため
になされたものであり、その第1の目的は、光導波路部
品に並設された3本以上の光導波路と光ファイバアレイ
に並設された3本以上の光ファイバとを一括して光接続
するときに、光導波路と光ファイバとのトータル損失を
できるだけ均一にすることができる光導波路と光ファイ
バとの接続方法を提供することであり、本発明の第2の
目的は、このような光導波路と光ファイバとの接続方法
を用いることにより、前記接続組のトータル損失差が小
さく、かつ、小型でコストが安い光導波路モジュールを
提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. A first object of the present invention is to provide three or more optical waveguides juxtaposed to an optical waveguide component and an optical fiber array. By providing a method for connecting an optical waveguide and an optical fiber, the total loss between the optical waveguide and the optical fiber can be made as uniform as possible when the three or more optical fibers are collectively optically connected. A second object of the present invention is to provide an optical waveguide module in which the total loss difference of the connection group is small, and which is small and inexpensive by using such a method for connecting an optical waveguide and an optical fiber. Is to do.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、光導波路と光ファイバ
との接続方法の第1の発明は、光導波路部品に並設され
た3本以上の光導波路と光ファイバアレイに並設された
3本以上の光ファイバとを一括して光接続する光導波路
と光ファイバとの接続方法であって、並設光導波路と並
設光ファイバの少なくとも一方側を並設両端に対する並
設直交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大き
くなるように並設し、然る後に前記光導波路と対応する
前記光ファイバとの接続端面同士を並設中央側に向かう
につれて前記並設直交方向の軸ずれが大きくなるように
対向させて光導波路と対応する光ファイバとを一括して
光接続する構成をもって課題を解決する手段としてい
る。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention has the following structure to solve the problem. That is, the first invention of a method for connecting an optical waveguide and an optical fiber includes a method in which three or more optical waveguides juxtaposed in an optical waveguide component and three or more optical fibers juxtaposed in an optical fiber array are packaged together. A method of connecting an optical waveguide and an optical fiber for optical connection, wherein at least one side of the side-by-side optical waveguide and the side-by-side optical fiber is axially shifted in a direction perpendicular to the side of the side-by-side direction toward the center of the side-by-side direction. The connection ends of the optical waveguides and the corresponding optical fibers are opposed to each other so that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction increases toward the center of the juxtaposition. This is a means for solving the problem with a configuration in which the optical waveguide and the corresponding optical fiber are collectively optically connected.
【0016】また、光導波路と光ファイバとの接続方法
の第2の発明は、前記第1の発明の構成に加え、前記光
導波路部品と光ファイバアレイの少なくとも一方を光導
波路または光ファイバの配列方向に直交する方向に湾曲
させることにより、並設光導波路と並設光ファイバの少
なくとも一方側を並設両端に対する並設直交方向の軸ず
れが並設中央側に向かうにつれて大きくなるように並設
する構成をもって課題を解決する手段としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for connecting an optical waveguide and an optical fiber, wherein at least one of the optical waveguide component and the optical fiber array includes an optical waveguide or an optical fiber array. By bending in a direction perpendicular to the direction, at least one side of the juxtaposed optical waveguide and the juxtaposed optical fiber is juxtaposed so that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction to the juxtaposed ends increases toward the juxtaposed center. This configuration is a means of solving the problem.
【0017】さらに、光導波路と光ファイバとの接続方
法の第3の発明は、光導波路部品に並設された3本以上
の光導波路と光ファイバアレイに並設された3本以上の
光ファイバとを一括して光接続する光導波路と光ファイ
バとの接続方法であって、光導波路同士の接続端面並設
間隔と光ファイバ同士の接続端面並設間隔の少なくとも
一方の並設間隔を不均一に形成し、然る後に光導波路の
接続端面の位置と対応する光ファイバの接続端面の位置
とのずれ量が光導波路および光ファイバの並設中央側に
向かうにつれて大きくなるように対向させて光導波路と
対応する光ファイバとを一括して光接続する構成をもっ
て課題を解決する手段としている。Further, a third invention of a method for connecting an optical waveguide to an optical fiber is a method for connecting three or more optical waveguides juxtaposed to an optical waveguide component and three or more optical fibers juxtaposed to an optical fiber array. The optical waveguide and the optical fiber are connected collectively, and at least one of the parallel spacing of the connection end faces of the optical waveguides and the parallel spacing of the connection end faces of the optical fibers is not uniform. Then, the optical waveguides are opposed to each other so that the amount of deviation between the position of the connection end surface of the optical waveguide and the position of the corresponding connection end surface of the optical fiber becomes larger toward the center of the juxtaposition of the optical waveguide and the optical fiber. This is a means for solving the problem with a configuration in which the optical path and the corresponding optical fiber are collectively optically connected.
【0018】さらに、光導波路モジュールの第1の発明
は、上記光導波路と光ファイバとの接続方法の第1乃至
第3のいずれか一つの発明を用いて形成される光導波路
モジュールであって、光導波路部品の並設中央側の光導
波路に対して並設位置が両端側に向かうにつれて光導波
路の光透過損失が大きくなるように形成されており、該
光導波路の光透過損失に該光導波路と対応する光ファイ
バとの接続損失をあわせた値を光導波路と光ファイバと
の接続組のトータル損失としたとき、該接続組のトータ
ル損失の最大値と最小値との差が、前記光導波路の光透
過損失の最大値と最小値との差よりも小さく形成されて
いる構成をもって課題を解決する手段としている。Further, a first invention of the optical waveguide module is an optical waveguide module formed by using any one of the first to third inventions of the method for connecting the optical waveguide and the optical fiber, The optical waveguide components are formed so that the optical transmission loss of the optical waveguide increases as the juxtaposition position with respect to the optical waveguide on the central side toward the both ends increases. When the total value of the connection loss between the optical fiber and the corresponding optical fiber is defined as the total loss of the connection pair of the optical waveguide and the optical fiber, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection pair is the optical waveguide. The structure is formed to be smaller than the difference between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the present invention.
【0019】さらに、光導波路モジュールの第2の発明
は、上記第1の発明の構成に加え、前記光導波路と光フ
ァイバとの接続組のトータル損失の最大値と最小値との
差がほぼ零と成している構成をもって課題を解決する手
段としている。Further, in the second invention of the optical waveguide module, in addition to the configuration of the first invention, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set of the optical waveguide and the optical fiber is substantially zero. With this configuration, the means to solve the problem is used.
【0020】上記構成の本発明の光導波路と光ファイバ
との接続方法においては、まず、並設光導波路と並設光
ファイバの少なくとも一方側を並設両端に対する並設直
交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大きくな
るように並設したり、光導波路同士の接続端面並設間隔
と光ファイバ同士の接続端面並設間隔の少なくとも一方
の並設間隔を不均一に形成したりする。そして、然る後
に前記光導波路と対応する前記光ファイバとの接続端面
同士を並設中央側に向かうにつれてずれが大きくなるよ
うに対向させて光導波路と対応する光ファイバとを一括
して光接続する。In the method for connecting an optical waveguide and an optical fiber according to the present invention having the above-described structure, first, at least one side of the side-by-side optical waveguide and the side-by-side optical fiber has a parallel axis shift in a direction perpendicular to the both ends. The juxtaposition may be such that the juxtaposition increases as it approaches the installation center side, or at least one of the juxtaposition intervals of the connection end faces between the optical waveguides and the juxtaposition intervals of the connection end faces between the optical fibers may be formed non-uniformly. Thereafter, the connection end faces of the optical waveguide and the corresponding optical fiber are arranged side by side and face each other so that the displacement becomes larger toward the center side, and the optical waveguide and the corresponding optical fiber are collectively optically connected. I do.
【0021】ところで、3本以上の光導波路を並設して
なる光導波路部品として、例えば、分岐光スプリッタや
アレイ導波路型回折格子が挙げられるが、これらの光導
波路部品においては、光導波路部品の並設中央側の光導
波路に対して並設位置が両端側に向かうにつれて光導波
路の光透過損失が大きくなるように形成されている。Incidentally, examples of the optical waveguide component having three or more optical waveguides arranged side by side include a branch optical splitter and an arrayed waveguide type diffraction grating. In these optical waveguide components, the optical waveguide component is used. The optical transmission loss of the optical waveguide is increased as the juxtaposed position approaches the both end sides with respect to the optical waveguide on the central side of the juxtaposition.
【0022】したがって、これらの光導波路部品と光フ
ァイバアレイとを接続するにあたり、上記のように、光
導波路と該光導波路に対応する光ファイバとのずれが光
導波路と光ファイバとの並設中央側に向かうにつれて大
きくなるように対向させて、光導波路と光ファイバとを
一括接続する本発明においては、光導波路の光透過損失
に該光導波路と対応する光ファイバとの接続損失をあわ
せた値を光導波路と光ファイバとの接続組のトータル損
失としたとき、該接続組のトータル損失の最大値と最小
値との差を、光導波路の光透過損失の最大値と最小値と
の差よりも小さくすることが可能となる。Therefore, in connecting these optical waveguide components and the optical fiber array, as described above, the displacement between the optical waveguide and the optical fiber corresponding to the optical waveguide is caused by the central difference between the optical waveguide and the optical fiber. In the present invention, in which the optical waveguide and the optical fiber are collectively connected by facing each other so as to become larger toward the side, the value obtained by adding the connection loss between the optical waveguide and the corresponding optical fiber to the light transmission loss of the optical waveguide. Is the total loss of the connection set of the optical waveguide and the optical fiber, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set is the difference between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the optical waveguide. Can also be reduced.
【0023】そして、光ファイバと光導波路とを対向さ
せたときに互いに接続相手となる光導波路と光ファイバ
との相対位置が、前記光導波路の並設位置の違いによる
光透過損失の違いを相殺するような適切な値となるよう
に、光導波路部品に並設する光導波路並設位置と光ファ
イバアレイに並設する光ファイバ並設位置を形成して、
前記接続を行なうことにより、光導波路と光ファイバと
の接続組のトータル損失の最大値と最小値との差をほぼ
零とすることが可能となる。When the optical fiber and the optical waveguide face each other, the relative position between the optical waveguide and the optical fiber to be connected to each other cancels out the difference in light transmission loss due to the difference in the juxtaposed position of the optical waveguide. In order to obtain an appropriate value, an optical waveguide juxtaposition position juxtaposed to the optical waveguide component and an optical fiber juxtaposition position juxtaposed to the optical fiber array are formed.
By performing the above connection, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set of the optical waveguide and the optical fiber can be made substantially zero.
【0024】したがって、従来のように、アッテネータ
等を介設する必要はなく、光導波路部品と光ファイバア
レイとを接続して形成される光導波路モジュールの小型
化や低コスト化を達成することが可能となり、上記課題
が解決される。Therefore, unlike the related art, there is no need to interpose an attenuator or the like, and it is possible to reduce the size and cost of an optical waveguide module formed by connecting an optical waveguide component and an optical fiber array. It becomes possible and the above-mentioned problem is solved.
【0025】[0025]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図1には、本発明に係る光導波路と
光ファイバとの接続方法を用いて形成した光導波路モジ
ュールの一実施形態例が斜視図により示されている。同
図に示す光導波路モジュールは、導波路チップ11の一
端側に光ファイバアレイ12を接続し、他端側に光ファ
イバ固定部品18を接続して形成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the description of the present embodiment, the same reference numerals are given to the same parts as those in the conventional example, and the duplicate description thereof will be omitted. FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an optical waveguide module formed by using the method for connecting an optical waveguide and an optical fiber according to the present invention. The optical waveguide module shown in FIG. 1 is formed by connecting an optical fiber array 12 to one end of a waveguide chip 11 and connecting an optical fiber fixing component 18 to the other end.
【0026】導波路チップ11は、基板1上に、図6に
示した16分岐光スプリッタの導波路パタンを形成し、
16分岐光スプリッタの光入力導波路2と光出力導波路
6の上部側に、それぞれ、ガラス板15を設けて形成さ
れている。The waveguide chip 11 forms the waveguide pattern of the 16-branch optical splitter shown in FIG.
A glass plate 15 is provided on the upper side of the optical input waveguide 2 and the optical output waveguide 6 of the 16-branch optical splitter.
【0027】光ファイバ固定部品18は、光ファイバ配
列具24に形成した1本のV溝(図示せず)に1本の光入
力用の光ファイバ17を挿入固定し、光ファイバ配列具
24の表面側に、光ファイバ17を押える光ファイバ押
え部材26を設けて形成されており、光ファイバ17
は、導波路チップ11に形成された光入力導波路2に光
接続されている。The optical fiber fixing component 18 inserts and fixes one optical fiber 17 for inputting light into one V-groove (not shown) formed in the optical fiber aligner 24. An optical fiber holding member 26 for holding the optical fiber 17 is provided on the front surface side.
Are optically connected to the optical input waveguide 2 formed on the waveguide chip 11.
【0028】光ファイバアレイ12は、光ファイバ配列
具14に形成した16本のV溝(同図には図示せず)に、
それぞれ1本ずつ、光出力用の光ファイバ7を挿入固定
し、光ファイバ配列具14の表面側に、光ファイバ7を
押える光ファイバ押え部材16を設けて形成されてお
り、各光ファイバ7は、導波路チップ11に形成された
各光出力導波路6に光接続されている。The optical fiber array 12 has sixteen V-grooves (not shown in FIG. 1) formed in the optical fiber arrangement tool 14.
Each optical fiber 7 for optical output is inserted and fixed one by one, and an optical fiber holding member 16 for holding the optical fiber 7 is provided on the surface side of the optical fiber arrangement tool 14, and each optical fiber 7 is formed. Are optically connected to the respective optical output waveguides 6 formed on the waveguide chip 11.
【0029】なお、光ファイバ17の接続端面は、光フ
ァイバ固定部品18の接続端面31と共に研磨されてお
り、同様に、光ファイバ7の接続端面は、光ファイバア
レイ12の接続端面29と共に研磨されており、光入力
導波路2および光出力導波路6の接続端面は、導波路チ
ップ11の接続端面30,28と共に研磨されている。
そして、光ファイバ固定部品18の接続端面31と導波
路チップ11の接続端面30とが接着剤により固定さ
れ、導波路チップ11の接続端面28と光ファイバアレ
イ12の接続端面29とが接着剤により固定されてい
る。The connection end face of the optical fiber 17 is polished together with the connection end face 31 of the optical fiber fixing part 18, and similarly, the connection end face of the optical fiber 7 is polished together with the connection end face 29 of the optical fiber array 12. The connection end faces of the optical input waveguide 2 and the optical output waveguide 6 are polished together with the connection end faces 30 and 28 of the waveguide chip 11.
Then, the connection end face 31 of the optical fiber fixing component 18 and the connection end face 30 of the waveguide chip 11 are fixed with an adhesive, and the connection end face 28 of the waveguide chip 11 and the connection end face 29 of the optical fiber array 12 are fixed with an adhesive. Fixed.
【0030】本実施形態例の特徴的なことは、導波路チ
ップ11に並設された16本の光出力導波路6と光ファ
イバアレイ12に並設された16本の光ファイバ7との
接続方法を、以下に示す特有な接続方法により接続し
て、導波路チップ11を形成したことである。A feature of this embodiment is that 16 optical output waveguides 6 arranged in parallel with the waveguide chip 11 and 16 optical fibers 7 arranged in parallel with the optical fiber array 12 are connected. The method is that the waveguide chip 11 is formed by connecting by the following specific connection method.
【0031】すなわち、並設光出力導波路6と並設光フ
ァイバ7の両方を、それぞれの並設両端に対する並設直
交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大きくな
るように並設し、然る後に光出力導波路6と対応する光
ファイバ7との接続端面8,9同士を、並設中央側に向
かうにつれて前記並設直交方向の軸ずれが大きくなるよ
うに対向させて光出力導波路6と対応する光ファイバ7
とを一括して光接続するようにしたことである。That is, both the juxtaposed optical output waveguide 6 and the juxtaposed optical fiber 7 are juxtaposed such that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction with respect to the juxtaposed ends increases toward the juxtaposed center. Thereafter, the connection ends 8 and 9 of the optical output waveguides 6 and the corresponding optical fibers 7 are opposed to each other so that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction increases toward the center of the juxtaposition. Optical fiber 7 corresponding to waveguide 6
And are collectively optically connected.
【0032】本実施形態例では、図2に示すように、導
波路チップ11と光ファイバアレイ12を、光出力導波
路6または光ファイバ7の配列方向(図のX方向)に直交
するY方向に、円弧状に湾曲させており、それにより、
並設光出力導波路6と並設光ファイバ7の両方を並設両
端に対する並設直交方向の軸ずれが並設中央側に向かう
につれて大きくなるように並設している。なお、導波路
チップ11は図の上側に凸形状になるように湾曲させ、
光ファイバアレイ12は図の下側に凸形状となるように
湾曲させている。In this embodiment, as shown in FIG. 2, the waveguide chip 11 and the optical fiber array 12 are connected to the optical output waveguide 6 or the optical fiber 7 in the Y direction orthogonal to the arrangement direction (X direction in the figure). In addition, it is curved in an arc shape,
Both the juxtaposed optical output waveguides 6 and juxtaposed optical fibers 7 are juxtaposed so that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction with respect to the juxtaposed ends increases toward the juxtaposed center. The waveguide chip 11 is curved so as to have a convex shape on the upper side of the figure,
The optical fiber array 12 is curved so as to have a downwardly convex shape.
【0033】導波路チップ11と光ファイバアレイ12
をこのように形成した後、本実施形態例では、前記の如
く、光出力導波路6と対応する光ファイバ7との接続端
面8,9同士を、並設中央側に向かうにつれて前記並設
直交方向の軸ずれが大きくなるように対向させて光出力
導波路6と対応する光ファイバ7とを一括して光接続し
ている。Waveguide chip 11 and optical fiber array 12
Is formed in this manner, in the present embodiment, as described above, the connection end faces 8, 9 between the optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7 are arranged side by side toward the central side. The optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7 are collectively optically connected so as to face each other so as to increase the axial deviation.
【0034】このような接続方法によって導波路チップ
11と光ファイバアレイ12とを接続して光導波路モジ
ュールを形成することにより、本実施形態例の光導波路
モジュールは、以下の特性を有している。すなわち、光
導波路モジュールの光出力導波路6の光透過損失に該光
出力導波路6と対応する光ファイバ7との接続損失をあ
わせた値を、光出力導波路6と光ファイバ7との接続組
のトータル損失としたとき、該接続組のトータル損失の
最大値と最小値との差が前記光出力導波路6の光透過損
失の最大値と最小値との差(3dB)よりも小さく形成
されている。By connecting the waveguide chip 11 and the optical fiber array 12 by such a connection method to form an optical waveguide module, the optical waveguide module of the present embodiment has the following characteristics. . That is, the value obtained by adding the light transmission loss of the optical output waveguide 6 of the optical waveguide module to the connection loss between the optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7 is determined as the connection between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7. When the total loss of the pair is set, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set is smaller than the difference (3 dB) between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the optical output waveguide 6. Have been.
【0035】具体的には、導波路チップ11の16分岐
光スプリッタの光出力導波路6を、前記の如く、図1の
左側(奥側)から、aポート、bポート、といったよう
に、順に、aポートからpポートと表現すると、各ポー
トa〜pの各光出力導波路6の接続端面8と対応する光
ファイバ7の接続端面9との軸ずれ量は、図3の特性線
Bに示すようになっており、中央ポートh、j付近で
は、前記軸ずれ量が約4.25μmになる。More specifically, as described above, the light output waveguides 6 of the 16-branch optical splitter of the waveguide chip 11 are sequentially arranged from the left side (rear side) of FIG. , A port to p port, the amount of axial deviation between the connection end face 8 of each optical output waveguide 6 of each of the ports a to p and the connection end face 9 of the corresponding optical fiber 7 is represented by a characteristic line B in FIG. In the vicinity of the center ports h and j, the amount of the axial deviation is about 4.25 μm.
【0036】そして、各ポートa〜pの各光出力導波路
6と対応する光ファイバ7との接続損失は、同図の特性
線Cに示すようになる。なお、特性線Cは、光出力導波
路6と光ファイバ7との軸ずれ係数を一般的な値である
0.17として、特性線Bに基づいてシミュレーション
した結果であり、前記中央ポートh、j付近の光出力導
波路6と光ファイバ7との接続損失は、約3dBにな
る。The connection loss between each optical output waveguide 6 of each of the ports a to p and the corresponding optical fiber 7 is as shown by a characteristic line C in FIG. Note that the characteristic line C is a result of a simulation based on the characteristic line B, with the axis deviation coefficient between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 being 0.17 which is a general value. The connection loss between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 near j is about 3 dB.
【0037】一方、前記の如く、各ポートa〜pの各光
出力導波路6の光透過損失は、同図の特性線Aに示すよ
うに、並設中央側の光出力導波路6に対して並設位置が
両端側に向かうにつれて、光出力導波路6の光透過損失
が大きくなる光透過特性を有し、光透過損失の最大値と
最小値との差は約3dBであることから、前記光出力導
波路6と光ファイバ7との接続組のトータル損失は同図
の特性線Dに示すようになる。On the other hand, as described above, the light transmission loss of each optical output waveguide 6 of each of the ports a to p is, as shown by the characteristic line A in FIG. Since the light transmission loss of the light output waveguide 6 increases as the juxtaposed position moves toward both ends, the difference between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss is about 3 dB. The total loss of the connection set between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 is as shown by a characteristic line D in FIG.
【0038】すなわち、同図の特性線Dに示すように、
各接続組のトータル損失の最大値と最小値との差が、
0.1dB以下になり(ほぼ零になり)、光出力導波路6
の光透過損失の最大値と最小値との差である3dBより
も遥かに小さくなる。That is, as shown by a characteristic line D in FIG.
The difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of each connection group is
0.1 dB or less (almost zero), and the optical output waveguide 6
Is much smaller than 3 dB which is the difference between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the optical transmission loss.
【0039】本実施形態例によれば、上記の如く、並設
中央側の光出力導波路6に対して、並設位置が両端側に
向かうにつれて光出力導波路6の光透過損失が大きくな
る16分岐光スプリッタを備えた導波路チップ11と、
光ファイバアレイ12とを接続する際に、並設光出力導
波路6と並設光ファイバ7の両方を並設両端に対する並
設直交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大き
くなるように並設し、互いに接続相手となる光出力導波
路6と光ファイバ7との前記並設直交方向の軸ずれが光
出力導波路6と光ファイバ7との並設中央側に向かうに
つれて大きくなるように光出力導波路6と光ファイバ7
とを対向させて接続したため、光出力導波路6と光ファ
イバ7との接続組のトータル損失の最大値と最小値との
差を、光出力導波路6の光透過損失の最大値と最小値と
の差よりも小さい値とすることができる。According to the present embodiment, as described above, the light transmission loss of the light output waveguide 6 becomes larger as the juxtaposition position becomes closer to both ends with respect to the light output waveguides 6 arranged side by side. A waveguide chip 11 having a 16-branch optical splitter;
When the optical fiber array 12 is connected, both the juxtaposed optical output waveguide 6 and the juxtaposed optical fiber 7 are arranged such that the axial displacement in the juxtaposed orthogonal direction with respect to the juxtaposed ends increases toward the juxtaposed center. The axial displacement between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 that are arranged side by side and connected to each other in the direction perpendicular to the juxtaposition becomes larger toward the center of the juxtaposition of the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7. Optical output waveguide 6 and optical fiber 7
Are connected to face each other, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set of the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 is determined by the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the optical output waveguide 6. Can be set to a value smaller than the difference.
【0040】特に、本実施形態例では、光ファイバ7と
光出力導波路6とを対向させたときに互いに接続相手と
なる光出力導波路6と光ファイバ7との相対位置が、前
記光導波路の並設位置の違いによる光透過損失の違いを
相殺するような適切な値となるように、導波路チップ1
1に並設する光出力導波路6の並設位置と光ファイバア
レイ12に並設する光ファイバ7の並設位置を形成し
て、前記接続を行なうことにより、光出力導波路6と光
ファイバ7との接続組のトータル損失の最大値と最小値
との差をほぼ零とすることができる。In particular, in this embodiment, when the optical fiber 7 and the optical output waveguide 6 are opposed to each other, the relative position between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 that are to be connected to each other is determined by the optical waveguide. The waveguide chip 1 has an appropriate value so as to offset the difference in light transmission loss due to the difference in the juxtaposed positions.
The optical output waveguide 6 and the optical fiber are formed by forming the juxtaposed position of the optical output waveguide 6 juxtaposed to the optical fiber array 1 and the juxtaposition position of the optical fiber 7 juxtaposed to the optical fiber array 12. The difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set with No. 7 can be made substantially zero.
【0041】したがって、本実施形態例によれば、光導
波路モジュールは、従来のように、アッテネータ等を介
設することなく形成できるために、小型で低コストの光
導波路モジュールとすることができる。Therefore, according to the present embodiment, the optical waveguide module can be formed without an intervening attenuator or the like as in the prior art, so that a small-sized and low-cost optical waveguide module can be obtained.
【0042】また、本実施形態例によれば、導波路チッ
プ11と光ファイバアレイ12を、光出力導波路6また
は光ファイバ7の配列方向に直交する方向に、円弧状に
湾曲させることにより、並設光出力導波路6の接続端面
8と並設光ファイバ7の接続端面9の両方を並設両端に
対する並設直交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつ
れて大きくなるようにしているために、並設光出力導波
路6の接続端面8と並設光ファイバ7の接続端面9の両
方を並設両端に対する並設直交方向の軸ずれ量を非常に
容易に調整することができ、上記のような優れた光導波
路モジュールを非常に容易に作製することができる。According to this embodiment, the waveguide chip 11 and the optical fiber array 12 are curved in an arc shape in a direction perpendicular to the direction in which the optical output waveguides 6 or the optical fibers 7 are arranged. Both the connection end face 8 of the side-by-side optical output waveguide 6 and the connection end face 9 of the side-by-side optical fiber 7 are designed so that the axial deviation in the side-by-side orthogonal direction with respect to the side-by-side ends increases toward the center of the side-by-side arrangement. In addition, both the connection end face 8 of the side-by-side optical output waveguide 6 and the connection end face 9 of the side-by-side optical fiber 7 can very easily adjust the amount of axial misalignment with respect to both side-by-side directions. Such an excellent optical waveguide module can be manufactured very easily.
【0043】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
ることはなく様々な実施の態様を採り得る。例えば、上
記実施形態例では、並設光出力導波路6と並設光ファイ
バ7の両方を、それぞれの並設両端に対する並設直交方
向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大きくなるよ
うに並設したが、並設光出力導波路6と並設光ファイバ
7のいずれか一方を、並設両端に対する並設直交方向の
軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大きくなるように
並設してもよい。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can adopt various embodiments. For example, in the above-described embodiment, both the juxtaposed optical output waveguides 6 and the juxtaposed optical fibers 7 are so arranged that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction with respect to the respective juxtaposed ends increases toward the juxtaposed center. Although one of the juxtaposed optical output waveguide 6 and the juxtaposed optical fiber 7 is juxtaposed, the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction with respect to the juxtaposed ends increases toward the center of the juxtaposition. You may.
【0044】この場合も、光出力導波路6と対応する光
ファイバ7との接続端面8,9同士を、並設中央側に向
かうにつれて前記並設直交方向の軸ずれが大きくなるよ
うに対向させて光出力導波路6と対応する光ファイバ7
とを一括して光接続することにより、上記実施形態例と
同様の効果を奏することができる。Also in this case, the connection end faces 8, 9 of the optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7 are opposed to each other so that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction becomes larger toward the juxtaposition center. Optical output waveguide 6 and corresponding optical fiber 7
Are collectively optically connected, the same effect as in the above embodiment can be obtained.
【0045】また、並設光出力導波路6の接続端面8と
並設光ファイバ7の接続端面9を並設両端に対する並設
直交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大きく
なるように並設したが、例えば、図4に示すように、光
出力導波路6同士の接続端面8の並設間隔と光ファイバ
7同士の接続端面9の並設間隔の少なくとも一方の並設
間隔を不均一に形成し、然る後に光出力導波路6の接続
端面8の位置と対応する光ファイバ7の接続端面9の位
置とのずれ量が、光出力導波路6および光ファイバ7の
並設中央側に向かうにつれて大きくなるように対向させ
て光出力導波路6と対応する光ファイバ7とを一括して
光接続するようにしてもよい。The connection end face 8 of the side-by-side optical output waveguide 6 and the connection end face 9 of the side-by-side optical fiber 7 are arranged such that the axial deviation in the side-by-side orthogonal direction with respect to the side-by-side ends increases toward the center side. For example, as shown in FIG. 4, at least one of the juxtaposed intervals of the juxtaposed intervals of the connecting end faces 8 of the optical output waveguides 6 and the juxtaposed intervals of the connecting end faces 9 of the optical fibers 7 is improper. The optical output waveguide 6 and the position of the connection end face 9 of the optical fiber 7 corresponding to the position of the connection end face 9 of the optical fiber 7 are later shifted by the center of juxtaposition of the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7. The optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7 may be collectively optically connected so as to face each other so as to become larger toward the side.
【0046】なお、図4においては、光出力導波路と光
ファイバの各軸心の位置を、光出力導波路6および光フ
ァイバ7と図示しており、同図では、光出力導波路6の
接続端面8側の並設間隔を不均一に形成している。In FIG. 4, the positions of the axes of the optical output waveguide and the optical fiber are shown as an optical output waveguide 6 and an optical fiber 7, respectively. The juxtaposed intervals on the connection end face 8 side are formed non-uniformly.
【0047】さらに、上記実施形態例では、導波路チッ
プ11と光ファイバアレイ12を、光出力導波路6また
は光ファイバ7の配列方向に直交する方向に、互いに反
対側に湾曲させたが、導波路チップ11と光ファイバア
レイ12の湾曲させる方向は互いに同じ方向にし、その
曲げ量を互いに異なる量としてもよい。このようにした
場合も、光出力導波路6と対応する光ファイバ7との接
続端面8,9同士を、並設中央側に向かうにつれて並設
直交方向の軸ずれが大きくなるように対向させて光出力
導波路6と対応する光ファイバ7とを一括して光接続す
れば、上記実施形態例と同様の効果を奏することができ
る。Further, in the above embodiment, the waveguide chip 11 and the optical fiber array 12 are curved to be opposite to each other in a direction orthogonal to the direction in which the optical output waveguides 6 or the optical fibers 7 are arranged. The bending directions of the waveguide chip 11 and the optical fiber array 12 may be the same, and the bending amounts may be different from each other. Also in this case, the connection end faces 8, 9 of the optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7 are opposed to each other so that the axial displacement in the juxtaposed orthogonal direction increases toward the juxtaposed center. If the optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7 are collectively optically connected, the same effect as in the above embodiment can be obtained.
【0048】さらに、導波路チップ11や光ファイバア
レイ12を湾曲させずに、図5に示すように、導波路チ
ップ11の基板1の表面を曲面として、光出力導波路6
を曲線状に配列したり、光ファイバアレイ12の光ファ
イバ配列具14の表面を曲面として、光ファイバ7を曲
線状に配列したりして、並設光出力導波路6と並設光フ
ァイバ7の少なくとも一方側を並設両端に対する並設直
交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大きくな
るように並設し、然る後に光出力導波路6と対応する光
ファイバ7との接続端面8,9同士を、並設中央側に向
かうにつれて前記並設直交方向の軸ずれが大きくなるよ
うに対向させて光出力導波路6と対応する光ファイバ7
とを一括して光接続するようにしてもよい。Further, without bending the waveguide chip 11 or the optical fiber array 12, as shown in FIG. 5, the surface of the substrate 1 of the waveguide chip 11 is curved and the light output waveguide 6 is formed.
Are arranged in a curved line, or the optical fibers 7 are arranged in a curved line with the surface of the optical fiber arraying device 14 of the optical fiber array 12 being a curved surface. At least one side is arranged in such a manner that the axial misalignment with respect to the juxtaposed both ends becomes larger toward the center of the juxtaposition, and thereafter the connection end face between the optical output waveguide 6 and the corresponding optical fiber 7. The optical fibers 7 corresponding to the optical output waveguides 6 are opposed to each other so that the axial deviation in the direction perpendicular to the juxtaposition becomes larger toward the center of the juxtaposition.
May be collectively optically connected.
【0049】さらに、導波路チップ11の接続端面28
を光出力導波路6の並設中央側が凹となる曲面とした
り、光ファイバアレイ12の接続端面29を光ファイバ
7の並設中央側が凹となる曲面としたりすることによ
り、光出力導波路6の並設中央側の接続端面8と光ファ
イバ7の並設中央側の接続端面9との間に間隙を設ける
ようにして、光出力導波路6の接続端面8の位置と対応
する光ファイバ7の接続端面9の位置とのずれ量を、前
記並設中央側に向かうにつれて大きく形成してもよい。Further, the connection end surface 28 of the waveguide chip 11
Is a curved surface in which the central side of the optical output waveguide 6 is concave, or the connecting end surface 29 of the optical fiber array 12 is a curved surface in which the central side of the optical fiber 7 is concave. A gap is provided between the connection end face 8 on the central side of the optical fiber 7 and the connection end face 9 on the central side of the optical fiber 7 so as to correspond to the position of the connection end face 8 of the optical output waveguide 6. May be formed such that the amount of deviation from the position of the connection end face 9 increases toward the central side of the juxtaposition.
【0050】さらに、以上のような方法を2つ以上あわ
せて、互いに接続相手となる光出力導波路6と光ファイ
バ7との接続端面8,9の相対位置を並設中央側に向か
うにつれて大きくずらすようにしてもよい。Further, by combining two or more of the above methods, the relative positions of the connection end faces 8 and 9 of the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 to be connected to each other become larger toward the center side. It may be shifted.
【0051】そして、いずれの方法をとった場合にも、
光出力導波路6と光ファイバ7とを対向したときの前記
接続端面8,9のずれ量を予め定めて、光出力導波路6
と光出力導波路6に対応する光ファイバ7との接続損失
を、光出力導波路6と光ファイバ7の並設中央側に向か
うにつれて大きくすることにより、上記実施形態例のよ
うに、並設中央側の光出力導波路6に対して、並設位置
が両端側に向かうにつれて光出力導波路6の光透過損失
が大きくなる16分岐光スプリッタ等を備えた導波路チ
ップ11と、光ファイバアレイ12とを接続し、光出力
導波路6と光ファイバ7との接続組のトータル損失の最
大値と最小値との差を、光出力導波路6の光透過損失の
最大値と最小値との差よりも小さい値とした光導波路モ
ジュールを形成することができる。Then, in either case,
The amount of displacement of the connection end faces 8 and 9 when the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 face each other is determined in advance, and the optical output waveguide 6
By increasing the connection loss between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 corresponding to the optical output waveguide 6 toward the central side of the juxtaposition of the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7, the connection loss is increased as in the above embodiment. A waveguide chip 11 including a 16-branch optical splitter or the like in which the light transmission loss of the optical output waveguide 6 increases as the juxtaposed position moves toward both ends with respect to the central optical output waveguide 6, and an optical fiber array 12 and the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set of the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 is determined by calculating the difference between the maximum value and the minimum value of the optical transmission loss of the optical output waveguide 6. An optical waveguide module having a value smaller than the difference can be formed.
【0052】さらに、上記実施形態例では、光出力導波
路6と光ファイバ7との接続組のトータル損失の最大値
と最小値との差を0.1dB以下として、ほぼ零に近い
値としたが、本発明の光導波路モジュールは、光導波路
と光ファイバとの接続組のトータル損失の最大値と最小
値との差が、光導波路の光透過損失の最大値と最小値と
の差よりも小さい値となっていればよく、前記接続組の
トータル損失の最大値と最小値との差は、例えば1.5
dB程度でもよい。Further, in the above embodiment, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set between the optical output waveguide 6 and the optical fiber 7 is set to 0.1 dB or less, and is set to a value close to zero. However, in the optical waveguide module of the present invention, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set of the optical waveguide and the optical fiber is larger than the difference between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the optical waveguide. The difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set is, for example, 1.5.
It may be about dB.
【0053】さらに、上記実施形態例では、16分岐光
スプリッタを備えた導波路チップ11と光ファイバアレ
イ12とを接続して光導波路モジュールとしたが、導波
路チップ11は、必ずしも16分岐光スプリッタを備え
たものとするとは限らず、16分岐以外の光スプリッタ
を備えたものとしてもよいし、光スプリッタ以外の、例
えばアレイ導波路型回折格子などを備えたものとしても
よい。Further, in the above embodiment, the waveguide chip 11 having the 16-branch optical splitter and the optical fiber array 12 are connected to form an optical waveguide module, but the waveguide chip 11 is not necessarily a 16-branch optical splitter. Is not necessarily provided, and may be provided with an optical splitter other than the 16-branch, or may be provided with, for example, an arrayed waveguide type diffraction grating other than the optical splitter.
【0054】[0054]
【発明の効果】本発明の接続方法によれば、まず、並設
光導波路と並設光ファイバの少なくとも一方側を並設両
端に対する並設直交方向の軸ずれが並設中央側に向かう
につれて大きくなるように並設したり、光導波路同士の
接続端面並設間隔と光ファイバ同士の接続端面並設間隔
の少なくとも一方の並設間隔を不均一に形成したりする
ため、前記光導波路と対応する前記光ファイバとの接続
端面同士を並設中央側に向かうにつれてずれが大きくな
るように対向させて光導波路と対応する光ファイバとを
一括して光接続することができる。According to the connection method of the present invention, first, at least one side of the side-by-side optical waveguide and the side-by-side optical fiber has a larger axial deviation with respect to the side-by-side ends in the direction perpendicular to the side-by-side direction. In order to form a non-uniform arrangement of at least one of the juxtaposed interval between the connection end faces of the optical waveguides and the juxtaposed interval of the connection end faces between the optical fibers, it corresponds to the optical waveguide. The optical waveguides and the corresponding optical fibers can be collectively optically connected such that the connection end faces of the optical fibers are opposed to each other so that the displacement becomes larger as approaching the center side.
【0055】そして、このように光接続を行なえば、光
導波路や光ファイバの並設中央側に向かうにつれて光導
波路と対応する光ファイバとの接続損失を大きくするこ
とができる。When such optical connection is made, the connection loss between the optical waveguide and the corresponding optical fiber can be increased toward the central side of the juxtaposition of the optical waveguide and the optical fiber.
【0056】そのため、例えば、分岐光スプリッタやア
レイ導波路型回折格子のように、光導波路部品の並設中
央側の光導波路に対して並設位置が両端側に向かうにつ
れて光導波路の光透過損失が大きくなるように形成され
ている光導波路部品に、上記接続方法を用いて光ファイ
バアレイを接続することにより、光導波路の光透過損失
に該光導波路と対応する光ファイバとの接続損失をあわ
せた値(接続組のトータル損失)の最大値と最小値との
差を、光導波路の光透過損失の最大値と最小値との差よ
りも小さくすることできる。For this reason, for example, as in the case of a branching optical splitter or an arrayed waveguide type diffraction grating, the light transmission loss of the optical waveguide increases as the juxtaposed position approaches the optical waveguide on the juxtaposed central side of the optical waveguide components. By connecting an optical fiber array using the above connection method to an optical waveguide component formed so as to increase the connection loss between the optical waveguide and the corresponding optical fiber to the optical transmission loss of the optical waveguide. The difference between the maximum value and the minimum value of the sum (the total loss of the connection set) can be made smaller than the difference between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the optical waveguide.
【0057】また、本発明の接続方法において、光ファ
イバと光導波路とを対向させたときに互いに接続相手と
なる光導波路と光ファイバとの相対位置が、前記光導波
路の並設位置の違いによる光透過損失の違いを相殺する
ような適切な値となるように、光導波路部品に並設する
光導波路並設位置と光ファイバアレイに並設する光ファ
イバ並設位置を形成して、前記接続を行なうことによ
り、光導波路と光ファイバとの接続組のトータル損失の
最大値と最小値との差をほぼ零とすることができる。In the connection method of the present invention, when the optical fiber and the optical waveguide face each other, the relative position between the optical waveguide and the optical fiber to be connected to each other depends on the difference in the juxtaposed positions of the optical waveguide. An optical waveguide juxtaposition position juxtaposed to the optical waveguide component and an optical fiber juxtaposition position juxtaposed to the optical fiber array are formed so as to have an appropriate value to offset the difference in light transmission loss. Is performed, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set between the optical waveguide and the optical fiber can be made substantially zero.
【0058】したがって、本発明の接続方法を適用する
ことにより、従来のように、アッテネータ等を介設する
必要はなく、光導波路部品と光ファイバアレイとを接続
して形成される光導波路モジュールの小型化や低コスト
化を達成することができる。Therefore, by applying the connection method of the present invention, it is not necessary to interpose an attenuator or the like as in the prior art, and an optical waveguide module formed by connecting an optical waveguide component and an optical fiber array is formed. A reduction in size and cost can be achieved.
【0059】また、光導波路と光ファイバとの接続方法
の第2の発明のように、光導波路部品と光ファイバアレ
イの少なくとも一方を光導波路または光ファイバの配列
方向に直交する方向に湾曲させることにより、並設光導
波路と並設光ファイバの少なくとも一方側を並設両端に
対する並設直交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつ
れて大きくなるように並設すれば、非常に容易に光導波
路と光ファイバを上記態様に並設することができる。Further, as in the second invention of the method for connecting the optical waveguide and the optical fiber, at least one of the optical waveguide component and the optical fiber array is curved in a direction orthogonal to the arrangement direction of the optical waveguide or the optical fiber. Accordingly, if at least one side of the juxtaposed optical waveguide and the juxtaposed optical fiber is juxtaposed so that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction with respect to the juxtaposed ends increases toward the juxtaposed center, the optical waveguide can be very easily formed. And the optical fiber can be juxtaposed in the above embodiment.
【0060】さらに、本発明の光導波路モジュールによ
れば、上記接続方法を用いて光導波路モジュールを形成
するために、上記のように、光導波路と光ファイバの接
続組のトータル損失の最大値と最小値との差を例えば零
にし、光導波路の光透過損失の最大値と最小値との差よ
りも小さくすることできるために、アッテネータ等を設
けなくとも複数の各出力端から出力する光強度がほぼ等
しい、小型で低コストの光導波路モジュールとすること
ができる。Further, according to the optical waveguide module of the present invention, since the optical waveguide module is formed by using the above connection method, the maximum value of the total loss of the connection set of the optical waveguide and the optical fiber is reduced as described above. The difference between the minimum value and the minimum value can be made zero, for example, and the difference between the maximum value and the minimum value of the light transmission loss of the optical waveguide can be made smaller. Are approximately equal, and a compact and low-cost optical waveguide module can be obtained.
【図1】本発明に係る光導波路と光ファイバとの接続方
法を用いて形成される光導波路モジュールの一実施形態
例を示す斜視構成図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an optical waveguide module formed by using a method for connecting an optical waveguide and an optical fiber according to the present invention.
【図2】上記実施形態例の光導波路モジュールにおける
導波路チップの接続端面(a)と光ファイバアレイの接
続端面(b)をそれぞれ示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing a connection end face (a) of a waveguide chip and a connection end face (b) of an optical fiber array in the optical waveguide module of the embodiment.
【図3】上記実施形態例の光導波路モジュールにおける
各光導波路の光透過損失と、光導波路と光ファイバとの
接続端面軸ずれ量と、光導波路と光ファイバとの接続損
失値と、光導波路の透過損失に該光導波路と対応する光
ファイバとの接続損失をあわせた損失値をそれぞれ示す
グラフである。FIG. 3 is a diagram showing the optical transmission loss of each optical waveguide in the optical waveguide module of the embodiment, the amount of axial displacement of the connection end face between the optical waveguide and the optical fiber, the connection loss value between the optical waveguide and the optical fiber, and the optical waveguide. 6 is a graph showing a loss value obtained by adding a connection loss between the optical waveguide and a corresponding optical fiber to a transmission loss of the optical waveguide.
【図4】本発明に係る光導波路と光ファイバとの接続方
法の他の実施形態例を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing another embodiment of a method for connecting an optical waveguide and an optical fiber according to the present invention.
【図5】本発明に係る光導波路と光ファイバとの接続方
法の他の実施形態例における導波路チップ接続端面
(a)と光ファイバアレイ接続端面(b)を示す説明図で
ある。FIG. 5 is a waveguide chip connection end face in another embodiment of the method for connecting an optical waveguide and an optical fiber according to the present invention.
It is an explanatory view showing (a) and an optical fiber array connection end face (b).
【図6】16分岐光スプリッタを示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a 16-branch optical splitter.
【図7】16分岐光スプリッタにおける各ポートの光透
過損失の例を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing an example of light transmission loss of each port in a 16-branch optical splitter.
【図8】アレイ導波路型回折格子を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing an arrayed waveguide grating.
【図9】アレイ導波路型回折格子の各光出力導波路から
出力される光の透過損失特性の例を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing an example of transmission loss characteristics of light output from each light output waveguide of the arrayed waveguide grating.
1 基板 2 光入力導波路 3 入力側スラブ導波路 4 アレイ導波路 5 出力側スラブ導波路 6 光出力導波路 7 光ファイバ 8,9,28,29,30 接続端面 11 導波路チップ 12 光ファイバアレイ 13 スラブ導波路 14,24 光ファイバ配列具 15 ガラス板 16,26 光ファイバ押え部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Optical input waveguide 3 Input side slab waveguide 4 Array waveguide 5 Output side slab waveguide 6 Optical output waveguide 7 Optical fiber 8, 9, 28, 29, 30 Connection end face 11 Waveguide chip 12 Optical fiber array 13 Slab waveguide 14, 24 Optical fiber arrangement device 15 Glass plate 16, 26 Optical fiber pressing member
Claims (5)
導波路と光ファイバアレイに並設された3本以上の光フ
ァイバとを一括して光接続する光導波路と光ファイバと
の接続方法であって、並設光導波路と並設光ファイバの
少なくとも一方側を並設両端に対する並設直交方向の軸
ずれが並設中央側に向かうにつれて大きくなるように並
設し、然る後に前記光導波路と対応する前記光ファイバ
との接続端面同士を並設中央側に向かうにつれて前記並
設直交方向の軸ずれが大きくなるように対向させて光導
波路と対応する光ファイバとを一括して光接続すること
を特徴とする光導波路と光ファイバとの接続方法。A connection between an optical waveguide and an optical fiber for optically connecting three or more optical waveguides arranged in parallel to an optical waveguide component and three or more optical fibers arranged in parallel in an optical fiber array. A method, wherein at least one side of the juxtaposed optical waveguide and the juxtaposed optical fiber is juxtaposed so that the axial deviation in the juxtaposed orthogonal direction with respect to the juxtaposed ends increases toward the juxtaposed center side, and thereafter, The connection ends of the optical fiber and the corresponding optical fiber are opposed to each other so that the axial deviation in the orthogonal direction becomes larger toward the center toward the central portion. A connection method between an optical waveguide and an optical fiber, wherein the connection is performed.
くとも一方を光導波路または光ファイバの配列方向に直
交する方向に湾曲させることにより、並設光導波路と並
設光ファイバの少なくとも一方側を並設両端に対する並
設直交方向の軸ずれが並設中央側に向かうにつれて大き
くなるように並設することを特徴とする請求項1記載の
光導波路と光ファイバとの接続方法。2. A side-by-side optical waveguide and at least one side of a side-by-side optical fiber are juxtaposed by curving at least one of the optical waveguide component and the optical fiber array in a direction orthogonal to the arrangement direction of the optical waveguide or the optical fiber. 2. The method for connecting an optical waveguide and an optical fiber according to claim 1, wherein the optical waveguide and the optical fiber are arranged side by side so that the axial deviation in the direction perpendicular to the both ends increases toward the center of the side.
導波路と光ファイバアレイに並設された3本以上の光フ
ァイバとを一括して光接続する光導波路と光ファイバと
の接続方法であって、光導波路同士の接続端面並設間隔
と光ファイバ同士の接続端面並設間隔の少なくとも一方
の並設間隔を不均一に形成し、然る後に光導波路の接続
端面の位置と対応する光ファイバの接続端面の位置との
ずれ量が光導波路および光ファイバの並設中央側に向か
うにつれて大きくなるように対向させて光導波路と対応
する光ファイバとを一括して光接続することを特徴とす
る光導波路と光ファイバとの接続方法。3. An optical waveguide and optical fiber connection, which collectively optically connect three or more optical waveguides juxtaposed in an optical waveguide component and three or more optical fibers juxtaposed in an optical fiber array. A method, wherein at least one of the juxtaposed spacing of the connection end faces of the optical waveguides and the juxtaposed spacing of the connection end faces of the optical fibers are formed unevenly, and then correspond to the position of the connection end face of the optical waveguide. The optical waveguide and the corresponding optical fiber are collectively optically connected by facing each other so that the amount of deviation from the position of the connection end face of the optical fiber becomes larger toward the central side of the juxtaposition of the optical waveguide and the optical fiber. Characteristic connection method between optical waveguide and optical fiber.
記載の光導波路と光ファイバとの接続方法を用いて形成
される光導波路モジュールであって、光導波路部品の並
設中央側の光導波路に対して並設位置が両端側に向かう
につれて光導波路の光透過損失が大きくなるように形成
されており、該光導波路の光透過損失に該光導波路と対
応する光ファイバとの接続損失をあわせた値を光導波路
と光ファイバとの接続組のトータル損失としたとき、該
接続組のトータル損失の最大値と最小値との差が、前記
光導波路の光透過損失の最大値と最小値との差よりも小
さく形成されていることを特徴とする光導波路モジュー
ル。4. An optical waveguide module formed by using the method for connecting an optical waveguide to an optical fiber according to claim 1, wherein the optical waveguide component is arranged side by side. The light transmission loss of the optical waveguide is increased as the juxtaposed position with respect to the optical waveguide toward both ends, and the light transmission loss of the optical waveguide is connected to the optical fiber and the corresponding optical fiber. When the value obtained by adding the losses is the total loss of the connection set of the optical waveguide and the optical fiber, the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set is the maximum value of the light transmission loss of the optical waveguide. An optical waveguide module formed to be smaller than a difference from a minimum value.
タル損失の最大値と最小値との差がほぼ零と成している
ことを特徴とする請求項4記載の光導波路モジュール。5. The optical waveguide module according to claim 4, wherein the difference between the maximum value and the minimum value of the total loss of the connection set of the optical waveguide and the optical fiber is substantially zero.
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---|---|---|---|
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US09/612,417 US6529670B1 (en) | 1999-07-08 | 2000-07-07 | Optical fiber array and optical light-wave device, and connecting the same |
US10/292,488 US6748156B2 (en) | 1999-07-08 | 2002-11-13 | Optical fiber array and optical light-wave device, and connecting the same |
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JP4128704B2 JP4128704B2 (en) | 2008-07-30 |
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