JP2000192036A - Etching agent and method for forming pattern film using the same - Google Patents

Etching agent and method for forming pattern film using the same

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JP2000192036A
JP2000192036A JP36836098A JP36836098A JP2000192036A JP 2000192036 A JP2000192036 A JP 2000192036A JP 36836098 A JP36836098 A JP 36836098A JP 36836098 A JP36836098 A JP 36836098A JP 2000192036 A JP2000192036 A JP 2000192036A
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JP
Japan
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etching agent
film
metal oxide
glass
paste
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JP36836098A
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Japanese (ja)
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Katsuto Tanaka
勝人 田中
Hiroaki Arai
宏明 荒井
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Central Glass Co Ltd
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Central Glass Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a pattern with a distinct border to be formed on the surface of a metal oxide coating film mainly comprising silica by using an etching agent comprising a paste or a water solution containing a specified amount of an alkaline compound. SOLUTION: This etching agent contains 3-60 wt.% at least one alkaline compound selected from among sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, barium hydroxide, etc., together with glycerin and at least one inorganic powder selected from among cerium oxide, lanthanum oxide, aluminum oxide, etc., having a particle size of 1 μm or lower and is a paste or a water solution adjusted to a viscosity of 0.01-4 P. The etching agent is applied to a metal oxide coating film which mainly comprises silica and contains a colorant dispersed therein and comprising an oxide of a transition metal such as Co, Mn, or Cr; then, the substrate coated with the film is heated at 60-300 deg.C for 30-120 sec or is left standing at room temperature for at least 2 hr to etch the coating film; and the substrate is washed with water to remove the film, thus forming a patterning.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、建築用、産業用な
らびに自動車用等に用いられるガラス板等の透明基板上
に被覆された金属酸化物被膜を、パターニングするに有
用なエッチング剤およびエッチング剤を用いたパターン
膜の形成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an etching agent and an etching agent useful for patterning a metal oxide film coated on a transparent substrate such as a glass plate used for architectural, industrial and automotive uses. The present invention relates to a method for forming a pattern film using the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、例えば建築用或いは自動車用のガ
ラスにおいて、紫外線遮蔽、赤外線遮断、可視光反射、
電磁波遮蔽、装飾、プライバシー保護等を目的として、
該ガラス表面に着色を有する各種の金属酸化物等よりな
る被膜を形成した高機能の着色金属酸化物被膜ガラスが
広く採用されるようになっている。これらの着色金属酸
化物被膜ガラスは、該着色膜に他の機能を付加させるた
め、該着色膜の一部を異なる色調にしたり、或いは非着
色にしたりするパターニング部を形成することが行われ
るようになってきている。
2. Description of the Related Art In recent years, for example, in glass for architectural or automobile use, ultraviolet shielding, infrared shielding, visible light reflection,
For the purpose of electromagnetic wave shielding, decoration, privacy protection, etc.
High-performance colored metal oxide-coated glass in which a coating made of various colored metal oxides or the like is formed on the glass surface has been widely used. In order to add another function to the colored film, the colored metal oxide-coated glass may be provided with a patterning portion for giving a part of the colored film a different color tone or making it non-colored. It is becoming.

【0003】例えば、最近の自動車用のリヤーガラスの
場合、車内のプライバシーを守るために後部のリヤーガ
ラスに濃色を有する金属酸化物被膜を被覆したガラスを
用いた車両において、運転者がブレーキを踏んだことを
後部車両に知らせるために、該リヤーガラスの車内側に
ストップランプ警告灯が装着されている車両が良く見受
けられる。しかし、上記の濃色ガラスがリヤーガラスに
用いられている場合には、ストップランプが点灯しても
後部車両から該ストップランプの視認性が悪くなるため
に、後方車両からの該ストップランプの視認性を高める
ために、該濃色金属酸化物被膜ガラスの一部に非膜付け
部をパターニングし、それにより該ストップランプ点灯
時の透過率を増大させ、後方からの視認性を向上するこ
とが行われている。
For example, in the case of a recent automobile rear glass, in a vehicle using a glass in which a rear metal rear glass is coated with a metal oxide film having a deep color in order to protect privacy inside the vehicle, a driver applies a brake. In order to notify the rear vehicle of the step, a stop lamp warning lamp is often installed inside the rear glass. However, when the above-described dark glass is used for the rear glass, even if the stop lamp is turned on, the visibility of the stop lamp from the rear vehicle deteriorates. In order to enhance the performance, it is possible to pattern a non-film-coated portion on a part of the dark-colored metal oxide-coated glass, thereby increasing the transmittance when the stop lamp is turned on, and improving the visibility from behind. Is being done.

【0004】また、建築用ガラスにおいては、建物の開
口部或いは店舗等の間仕切り等の装飾用等のために着色
膜付きガラスをパターニングし、より装飾効果を醸し出
すようなことが行なわれている。
Further, in the case of architectural glass, it has been practiced to pattern a glass with a colored film for decoration such as an opening of a building or a partition of a store or the like, and to bring out a more decorative effect.

【0005】従来の金属酸化物膜のパターニングの方法
としては、エッチング除去によるパターン膜形成に関す
るものが多く、例えばレジストパターンを形成した錫酸
化物薄膜を塩酸−硝酸の混合水溶液を用いてエッチング
する方法として特開平8−81787号公報、ガラス基
板上にスパッタリングにより成膜されたITO薄膜を臭
化水素酸と燐酸との混酸を用いて微細パターン状の透明
電極を形成する方法としての特開平7−153332号
公報、ガラス表面上に形成したシリカ、チタニア等の無
機酸化物薄膜表面を弗化水素酸でエッチングして微細な
凹凸を形成する方法としての特開昭61−91042号
公報、基板に付着させた金属酸化物被膜の所望箇所を硫
酸、硝酸、塩酸、燐酸の中の1種以上を4重量%以上含
む水溶液により被膜を除去し導電性、色彩性、装飾性鏡
面効果等を付与する方法としての特開昭57−1403
39号公報、板ガラス基板上にチタンアルコキシドとシ
リコンアルコキシドの混合物から得られる乾燥ゲル膜を
形成させ、その膜上に水系ペーストをスクリーン印刷
し、低温加熱後の洗浄により不要部を溶出させる方法と
しての特公平1−151238号公報等が知られてい
る。
Many conventional methods for patterning a metal oxide film relate to the formation of a pattern film by etching removal. For example, a method of etching a tin oxide thin film having a resist pattern formed thereon using a mixed aqueous solution of hydrochloric acid and nitric acid. JP-A-8-81787 discloses a method of forming a transparent electrode having a fine pattern from an ITO thin film formed on a glass substrate by sputtering using a mixed acid of hydrobromic acid and phosphoric acid. JP-A-153332, JP-A-61-91042 as a method of forming fine irregularities by etching the surface of an inorganic oxide thin film such as silica or titania formed on a glass surface with hydrofluoric acid, and adhering to a substrate. A desired portion of the metal oxide film is coated with an aqueous solution containing at least one of sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid and phosphoric acid in an amount of 4% by weight or more. Removed conductivity, color properties, JP as a method for imparting decorative mirror effect, etc. 57-1403
No. 39, as a method of forming a dry gel film obtained from a mixture of titanium alkoxide and silicon alkoxide on a plate glass substrate, screen printing an aqueous paste on the film, and eluting unnecessary portions by washing after heating at low temperature. Japanese Patent Publication No. 1-151238 is known.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
特開平8−81787号公報、特開平7−153332
号公報、特開昭61−91042号公報、特開昭57−
140339号公報等による酸によるエッチングは装置
の腐食が激しく、さらにエッチング剤をペースト状にし
難く等の問題があり好ましいものではなかった。なお、
前記の酸の内、弗化水素酸の場合に基板としてガラスを
用いた場合にはガラスが侵食される恐れがある。また、
特公平1−151238号公報の方法は、チタンアルコ
キシドに対するシリコンアルコキシドの比率が高くなる
とエッチングされ難くなるなどの問題がある。
However, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 8-81787 and 7-153332 disclose the above problems.
JP, JP-A-61-91042, JP-A-57-91042
The etching with an acid described in Japanese Patent No. 140339 or the like is not preferable because it causes severe corrosion of the apparatus and makes it difficult to form an etching agent into a paste. In addition,
When glass is used as the substrate in the case of hydrofluoric acid, the glass may be eroded. Also,
The method disclosed in Japanese Patent Publication No. 1-151238 has a problem that etching becomes difficult when the ratio of silicon alkoxide to titanium alkoxide is increased.

【0007】[0007]

【問題点を解決するための手段】本発明は、以上の点に
鑑みてなされたものであり、シリカ膜が熱アルカリに溶
ける性質を利用して、特定濃度の水酸化ナトリウムや水
酸化カリウムなどのアルカリ性塩類を含むペースト状ま
たは水溶液からなるエッチング剤と該エッチング剤を塗
布して、所望のパターン膜を得るものであり、ガラス板
等の透明基板表面に形成された金属酸化物被膜に、透過
率、反射率、色調等の各種機能の差をコントロールした
パターニングを、簡単な方法で安価に、且つパターニン
グ部と金属酸化物被膜部との境界を鮮明にさせることが
可能なパターン膜の形成方法を提供することを目的とす
るものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and utilizes a property in which a silica film is soluble in a hot alkali to obtain a specific concentration of sodium hydroxide or potassium hydroxide. An etching agent consisting of a paste or an aqueous solution containing an alkaline salt of the above, and the etching agent is applied to obtain a desired pattern film, which is transmitted through a metal oxide film formed on the surface of a transparent substrate such as a glass plate. Patterning method capable of patterning with control of differences in various functions such as reflectance, reflectance, and color tone by a simple method at a low cost and capable of sharpening the boundary between a patterning portion and a metal oxide film portion. The purpose is to provide.

【0008】すなわち、本発明は、アルカリ性塩類を3
〜60重量%含むペースト状または水溶液組成物からな
ることを特徴とするシリカを主成分とする金属酸化物被
膜面のエッチング剤に関する。
[0008] That is, the present invention provides an alkaline salt
The present invention relates to an etching agent for a metal oxide film surface containing silica as a main component, comprising a paste-like or aqueous solution composition containing from 60 to 60% by weight.

【0009】また、本発明は、基板上に成膜されたシリ
カを主成分とする金属酸化物被膜面の一部に、アルカリ
性塩類を3〜60重量%含むペースト状または水溶液か
らなるエッチング剤を塗布した後、加熱または室温で放
置して水洗することにより、該エッチング剤を塗布した
部分の被膜を除去しパターン部を形成してなることを特
徴とするパターン膜の形成方法に関する。
Further, the present invention provides an etching agent comprising a paste or an aqueous solution containing 3 to 60% by weight of an alkaline salt on a part of a surface of a metal oxide film mainly composed of silica formed on a substrate. The present invention relates to a method for forming a pattern film, characterized by forming a pattern portion by removing the coating at a portion where the etching agent is applied by heating or leaving at room temperature to wash with water after application.

【0010】本発明のエッチング剤は、グリセリン、無
機質微粉の少なくとも1種が混入されていることが好ま
しく、さらに該エッチング剤に含まれるアルカリ性塩類
は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシ
ウム、水酸化リチウム、水酸化バリウム、水酸化ランタ
ン、水酸化マグネシウムのうちの少なくとも1種のアル
カリ性塩類であることが好ましい。
The etching agent of the present invention preferably contains at least one of glycerin and inorganic fine powder, and the alkaline salts contained in the etching agent include sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, It is preferably at least one alkaline salt of lithium hydroxide, barium hydroxide, lanthanum hydroxide, and magnesium hydroxide.

【0011】また、シリカを主成分とする金属酸化物被
膜は、該被膜中にCo、Mn、Cu、Cr、Fe、Ni
の遷移金属の少なくとも1種の遷移金属酸化物からなる
着色剤が分散されてなることが好ましく、該被膜は、シ
リコンアルコキシドまたはシリカゾルを出発原料とする
ことがより好ましい。
The metal oxide film containing silica as a main component contains Co, Mn, Cu, Cr, Fe, Ni
It is preferable that a colorant composed of at least one transition metal oxide of a transition metal is dispersed, and the coating is more preferably made of silicon alkoxide or silica sol as a starting material.

【0012】さらに、エッチング剤の塗布された基板
を、該基板の温度を60〜300℃で30〜120秒間
加熱するか室温で2時間以上放置することにより鮮明な
エッチングをすることが出来る。
Further, the substrate coated with the etching agent can be etched sharply by heating the substrate at a temperature of 60 to 300 ° C. for 30 to 120 seconds or by leaving it at room temperature for 2 hours or more.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様について
説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

【0014】本発明のシリカを主成分とする金属酸化物
被膜は、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法等の
乾式法やゾルゲル法、スプレー熱分解法等の湿式法で成
膜され、特にその成膜方法については限定されるもので
はない。例えばゾルゲル法の場合には、シリコンアルコ
キシド又はシリカゾル等のシリカ原料中に、Co、M
n、Cu、Cr、Fe、Niの遷移金属の少なくとも1
種よりなる遷移金属酸化物等からなる着色剤を混合分散
させた着色金属酸化物被膜は、車両用ガラスのプライバ
シー保護用等として、また建築用ガラスの装飾用等に用
いられることが出来る。なお、シリカを主成分とする金
属酸化物被膜は、シリカ単独或いはシリカにチタニア、
アルミナ、ジルコニア等の金属酸化物を添加して、シリ
カとの複合酸化物膜とすることも出来る。
The metal oxide film containing silica as a main component of the present invention is formed by a dry method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, a CVD method, or a wet method such as a sol-gel method or a spray pyrolysis method. The method for forming the film is not limited. For example, in the case of the sol-gel method, Co, M is contained in a silica raw material such as silicon alkoxide or silica sol.
n, at least one of transition metals of Cu, Cr, Fe, Ni
A colored metal oxide film in which a coloring agent composed of a seed transition metal oxide or the like is mixed and dispersed can be used for protecting privacy of glass for vehicles and for decoration of architectural glass. In addition, the metal oxide film containing silica as a main component, silica alone or silica to titania,
A composite oxide film with silica can be formed by adding a metal oxide such as alumina and zirconia.

【0015】本発明に用いられるエッチング剤は、水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水
酸化リチウム、水酸化バリウム、水酸化ランタン、水酸
化マグネシウムのうちの少なくとも1種よりなるアルカ
リ性塩類を主成分として含んでおり、該エッチング剤中
に含まれるアルカリ性塩類の濃度は、3〜60重量%の
範囲に限定され、その濃度が3wt%未満では所望のエ
ッチング性能が得られず、60wt%を越えるとグリセ
リンを加えた際にゲル化、あるいは発泡が起こる。
[0015] The etchant used in the present invention is an alkaline salt comprising at least one of sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide, lithium hydroxide, barium hydroxide, lanthanum hydroxide and magnesium hydroxide. The concentration of alkaline salts contained as a main component and contained in the etching agent is limited to the range of 3 to 60% by weight, and if the concentration is less than 3% by weight, desired etching performance cannot be obtained. If it exceeds, gelation or foaming occurs when glycerin is added.

【0016】なお、エッチング剤に含まれるグリセリン
は、水酸化ナトリウム等がエッチング剤中に溶けやす
く、塗布作業中におけるエッチング剤の乾燥を防ぐ保湿
効果と、エッチング剤の塗布に適した流動性を得るため
であり、スクリーン印刷にて成膜する場合には用いる方
が好ましいが、他の成膜法の場合には必ずしも用いなく
とも構わない。
The glycerin contained in the etching agent has a moisturizing effect of preventing sodium hydroxide and the like from being easily dissolved in the etching agent and preventing the etching agent from drying during the coating operation, and a fluidity suitable for applying the etching agent. For this reason, it is preferable to use it when forming a film by screen printing, but it is not always necessary to use it when using another film forming method.

【0017】本発明において使用するアルカリ性塩類
は、水溶液でアルカリ性を示すものであれば、何れのも
のを用いてもよいが、特に水酸化ナトリウムが安価で入
手しやすく、少量で強いアルカリ性を示し、鮮明なエッ
チングがされるので好適に用いられる。
As the alkaline salt used in the present invention, any alkaline salt may be used as long as it shows alkaline in an aqueous solution. In particular, sodium hydroxide is inexpensive and easily available, and a small amount exhibits strong alkaline. It is preferably used because it is sharply etched.

【0018】また、該エッチング剤は、その中に酸化セ
リウム、酸化ランタン、酸化アルミニウム、硫酸バリウ
ムのうちの1種もしくは2種以上を組み合わせたもの等
の無機質微粉を特に粘度調整のため含有させることが好
ましい。なお、該エッチング剤の粘度は、0.01〜4
00p(ポアズ)の範囲であると成膜がし易い。
The etching agent contains inorganic fine powder such as cerium oxide, lanthanum oxide, aluminum oxide, or a combination of two or more of barium sulfate, particularly for adjusting viscosity. Is preferred. The viscosity of the etching agent is 0.01 to 4
When it is in the range of 00p (poise), film formation is easy.

【0019】また、エッチング剤に含まれる無機質微粉
は、塗布方法に応じた粘度調整や塗布後の固定剤として
有効なものであり、エッチング剤除去の際ガラス基板な
どに傷をつけにくい1μm以下の微粒子を用いることが
出来る。特にスクリーン印刷で塗布する場合には、研磨
剤として市販されている酸化セリウムと酸化ランタンの
混合物であるミレークAを使うことで、優れたペースト
のレオロジー性を得ることができる。
The inorganic fine powder contained in the etching agent is effective for adjusting the viscosity in accordance with the application method and as a fixing agent after application, and has a particle size of 1 μm or less, which does not easily damage the glass substrate when removing the etching agent. Fine particles can be used. In particular, when applying by screen printing, excellent paste rheological properties can be obtained by using a commercially available mixture of cerium oxide and lanthanum oxide as a polishing agent, MIRAKE A.

【0020】エッチング剤をシリカを主成分とする金属
酸化物被膜面に塗布する方法としては、スクリーン印刷
法、刷毛塗り法、スプレー法、ロールコート法、スピン
コート法、フレキソ印刷法等、特に限定されるものでは
ない。エッチング剤を塗布した後、エッチング剤の塗布
された基板の温度を60〜300℃で30〜120秒間
加熱するか室温で2時間以上放置することにより被膜の
エッチング(溶出)がなされ、次いで水洗することによ
りエッチング剤塗布部の被膜が完全且つ簡単に除去で
き、金属酸化物の被膜面に膜が除去されたパターニング
部が形成される。
The method of applying the etching agent to the surface of the metal oxide film containing silica as a main component includes, for example, a screen printing method, a brush coating method, a spray method, a roll coating method, a spin coating method, and a flexographic printing method. It is not something to be done. After applying the etching agent, the coating is etched (eluted) by heating the substrate coated with the etching agent at a temperature of 60 to 300 ° C. for 30 to 120 seconds or by leaving it at room temperature for 2 hours or more, and then washing with water. This makes it possible to completely and easily remove the coating on the etching agent-applied portion, and to form a patterned portion from which the film has been removed on the metal oxide coating surface.

【0021】エッチング剤の塗布された基板の温度を6
0〜300℃で30〜120秒間加熱、または室温で2
時間以上放置することとしたのは、60℃−30秒間未
満、室温で2時間未満では所望のエッチング性能が得ら
れず、300℃−120秒間を越えるとエッチング剤が
ガラス基板に強固に付着し、取れにくくなるためであ
る。
The temperature of the substrate on which the etching agent is applied is 6
Heat at 0-300 ° C for 30-120 seconds or at room temperature for 2
The reason for leaving for more than 60 hours is that the desired etching performance cannot be obtained if the temperature is less than 60 ° C. for 30 seconds or less than 2 hours at room temperature, and if the temperature exceeds 300 ° C. for more than 120 seconds, the etching agent adheres strongly to the glass substrate. This is because it is difficult to remove.

【0022】本発明の透明基板としては、ガラスが耐熱
性、光透過性等の点より好ましく、透明ガラスであれば
無色あるいは有色のどちらでもよい。すなわち、例えば
ブルー、ブロンズ、グレーあるいはグリーンガラス等で
もよく、特に自動車用窓材ではブルー色系あるいはゴー
ルド色系、グリーン色系、なかでもグリーン色系、ゴー
ルド色系色調で熱線・紫外線吸収性能を得やすいもので
あればより好ましいものである。また単板で使用できる
ことはもとより、紫外線遮断ガラスや熱線反射ガラス等
機能性膜付きガラス、また複層あるいは合せガラスある
いは強化ガラスまたは強度アップガラス、曲げガラス、
ガラスアンテナ付きガラス等としても使用できることは
言うまでもない。さらに、透明基板としては、ガラス基
板、プラスチック基板等特に限定するものではない。
As the transparent substrate of the present invention, glass is preferable in terms of heat resistance, light transmittance and the like. If it is a transparent glass, it may be colorless or colored. That is, for example, blue, bronze, gray or green glass may be used, and especially for automotive window materials, the heat ray / ultraviolet absorption performance is improved in blue or gold color, green color, especially green or gold color tone. It is more preferable if it is easy to obtain. In addition to being able to be used as a single plate, glass with a functional film such as ultraviolet blocking glass or heat ray reflective glass, double or laminated glass or tempered glass or strengthened glass, bent glass,
It goes without saying that it can also be used as glass with a glass antenna. Further, the transparent substrate is not particularly limited, such as a glass substrate and a plastic substrate.

【0023】なお、用途としては、車両用のフロント、
サイド、リヤー、サンルーフ等の各種ガラスに、建築用
としては、外層用、内装用等の各種ガラスに、その他、
鏡或いは産業用等、特に限定されるものではない。以下
に、本発明の実施の一例を説明する。
In addition, applications include fronts for vehicles,
Various types of glass for side, rear, sunroof etc.
There is no particular limitation on mirrors or industrial use. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.

【0024】[0024]

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
The present invention will be described below in detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to such an embodiment.

【0025】[0025]

【実施例1】着色金属酸化物被膜の被覆 CuO−Fe23−Mn23系無機顔料が18.5%の
濃度でエタノールに分散されている無機顔料分散溶液
と、SiO2換算量16.0wt%でメタノールとエタ
ノールに分散されたシリカゾル溶液とを混合し、CuO
-Fe23-Mn23系無機顔料の重量とシリカゾルのS
iO2換算量の比が1.00で且つ固形分トータル量が
17.3wt%の溶液を調製した。(粘度:5mPa・
s)次に、デイッピング法により成膜速度を1.00m
m/秒として100mm×100mm×100mmサイ
ズのガラス基板片面全面に塗膜し(該基板の非塗布面は
マスキングフィルムによりマスキング)、620℃の温
度で5分間焼成し、ガラス基板表面にグレー色の着色金
属酸化物よりなる着色被膜部を被覆した。
Example 1 Coating of a Colored Metal Oxide Film An inorganic pigment dispersion in which a CuO—Fe 2 O 3 —Mn 2 O 3 type inorganic pigment was dispersed in ethanol at a concentration of 18.5%, and a SiO 2 equivalent amount A mixture of methanol and silica sol solution dispersed in ethanol at 16.0 wt% was mixed with CuO.
-Fe 2 O 3 -Mn 2 O 3 -based inorganic pigment weight and silica sol S
A solution having a ratio of iO 2 conversion amount of 1.00 and a total solid content of 17.3 wt% was prepared. (Viscosity: 5mPa.
s) Next, the film forming speed was set to 1.00 m by the dipping method.
A glass substrate having a size of 100 mm x 100 mm x 100 mm was coated on the entire surface of one side of the glass substrate at a rate of m / sec (the non-coated side of the substrate was masked with a masking film). A colored coating made of a colored metal oxide was covered.

【0026】得られた着色被膜部付きガラスについて、
その膜厚を測定した。膜厚の測定は、表面形状測定機
(スローン社製、Dektak3030)を用い、被覆
直後にカッターで膜の一部を削り取り、その段差部分を
針が接触走査することで測定した結果、膜厚は330n
mであった。
With respect to the obtained glass with a colored coating portion,
The film thickness was measured. The thickness of the film was measured by using a surface shape measuring device (Dektak 3030, manufactured by Sloan Co.), and a part of the film was scraped off immediately after coating with a cutter, and the step was measured by contact scanning with a needle. 330n
m.

【0027】エッチング剤の調整及びエッチング 水酸化ナトリウム21.0wt%、水13.0wt%、グリセ
リン7.0wt%、ミレークA(三井金属鉱業(株)製)5
9.0wt%を十分に混合・攪拌し、粘度200pのペー
スト状のエッチング剤を調整した。このペーストを18
0メッシュのテトロン製スクリーン版で、ショアー硬度
Hs60のスキージブレードを用いて、着色膜上に約2
0μmの厚みで印刷した。印刷した後、ガラス基板の温
度が30秒間で100℃に到達するように乾燥させ、そ
の後水洗してエッチング剤を洗い落とした。結果、エッ
チング剤を塗布したした部分のみ着色シリカ被膜が溶出
しており、鮮明にパターニング部が形成された着色シリ
カ被膜が得られた。
Preparation of Etching Agent and Etching 21.0 wt% of sodium hydroxide, 13.0 wt% of water, 7.0 wt% of glycerin, MIRAKE A (manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) 5
9.0 wt% was sufficiently mixed and stirred to prepare a paste-like etching agent having a viscosity of 200 p. Paste 18
Using a 0-mesh screen made of Tetron, a squeegee blade with a Shore hardness of Hs60 is used to apply about 2 mm on the colored film.
Printing was performed at a thickness of 0 μm. After printing, the glass substrate was dried so that the temperature reached 100 ° C. in 30 seconds, and then washed with water to remove the etching agent. As a result, the colored silica coating was eluted only in the portion where the etching agent was applied, and a colored silica coating in which a patterned portion was clearly formed was obtained.

【0028】[0028]

【実施例2】実施例1と同様に、着色シリカ被膜上にペ
ースト状エッチング剤をスクリーン印刷した後、室温
(25℃)で2時間放置して乾燥させたものを、水洗し
てエッチング剤を洗い落とした。結果、実施例1と同様
にエッチング剤を塗布した部分のみ着色シリカ被膜が溶
出しており、鮮明なパターニング部が形成された着色シ
リカ被膜が得られた。
Example 2 In the same manner as in Example 1, a paste-like etching agent was screen-printed on the colored silica coating, and then left standing at room temperature (25 ° C.) for 2 hours. I washed it off. As a result, the colored silica coating was eluted only in the portion where the etching agent was applied in the same manner as in Example 1, and a colored silica coating on which a clear patterned portion was formed was obtained.

【0029】[0029]

【実施例3】実施例1と同様に、着色膜上に水酸化ナト
リウム10.0wt%、水80.0wt%、グリセリン10.
0wt%で十分に混合・攪拌したものを、エアースプレー
で塗布した。塗布した後、ガラス基板の温度が30秒間
で100℃に到達するように乾燥させた。乾燥させた
後、水洗してエッチング剤を洗い落とすと、実施例1と
同様にエッチング剤を塗布した部分のみ着色シリカ被膜
が溶出しており、鮮明パターンニングされた着色膜が得
られた。
Example 3 As in Example 1, 10.0% by weight of sodium hydroxide, 80.0% by weight of water and 10.1% of glycerin were formed on the colored film.
A mixture sufficiently mixed and stirred at 0 wt% was applied by air spray. After the application, the glass substrate was dried such that the temperature of the glass substrate reached 100 ° C. in 30 seconds. After drying, the substrate was washed with water to remove the etching agent. As in Example 1, the colored silica film was eluted only at the portion where the etching agent was applied, and a colored film with clear patterning was obtained.

【0030】[0030]

【比較例1】実施例1と比較して、エッチング剤の組成
を水酸化ナトリウム2.5wt%、水23.5wt%、
グリセリン16.2wt%、ミレークA(三井金属鉱
業)57.8wt%に変更したものを用いて、実施例1
と同様に十分に混合・攪拌し、粘度180Pのペースト
状エッチング剤を得た。実施例1と同様にエッチング性
能を調べたところ、着色シリカ被膜は完全に除去されて
おらず、ムラ状に残っていた。
Comparative Example 1 Compared with Example 1, the composition of the etching agent was 2.5 wt% of sodium hydroxide, 23.5 wt% of water,
Example 1 was prepared by changing the glycerin to 16.2 wt% and the mille A (Mitsui Metal Mining Co., Ltd.) to 57.8 wt%.
The mixture was sufficiently mixed and stirred in the same manner as described above to obtain a paste-like etching agent having a viscosity of 180P. When the etching performance was examined in the same manner as in Example 1, the colored silica film was not completely removed but remained in an uneven state.

【0031】[0031]

【比較例2】実施例1と比較して、エッチング剤の組成
を水酸化ナトリウム61.0wt%、水30.0wt
%、グリセリン9.0wt%に変更したものを用いて、
実施例1と同様に十分に、混合・攪拌した。結果、エッ
チング剤がゲル化して着色膜に塗布できる流動性が得ら
れなかった。
Comparative Example 2 Compared with Example 1, the composition of the etching agent was 61.0% by weight of sodium hydroxide and 30.0% by weight of water.
% And glycerin 9.0 wt%,
The mixture was sufficiently mixed and stirred in the same manner as in Example 1. As a result, the etching agent gelled and fluidity that could be applied to the colored film was not obtained.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明によれば、建築用、車両用窓ガラ
スなどに好適に使用できる鮮明なパターンニング部を有
する金属酸化物被膜が、スクリーン印刷などの比較的簡
単な方法で容易に安定して形成出来ると共に、パターニ
ング部と金属酸化物被膜部との境界を鮮明にさせること
が可能なパターン膜が得られる等の利点を有する。
According to the present invention, a metal oxide film having a sharp patterning portion which can be suitably used for architectural and vehicle window glass can be easily stabilized by a relatively simple method such as screen printing. In addition, there is an advantage that a pattern film capable of sharpening the boundary between the patterning portion and the metal oxide film portion can be obtained.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】アルカリ性塩類を3〜60重量%含むペー
スト状または水溶液組成物からなることを特徴とするシ
リカを主成分とする金属酸化物被膜面のエッチング剤。
1. An etching agent for a metal oxide coating surface containing silica as a main component, comprising a paste or aqueous composition containing 3 to 60% by weight of an alkaline salt.
【請求項2】基板上に成膜されたシリカを主成分とする
金属酸化物被膜面の一部に、アルカリ性塩類を3〜60
重量%含むペースト状または水溶液からなるエッチング
剤を塗布した後、加熱または室温で放置して水洗するこ
とにより、該エッチング剤を塗布した部分の被膜を除去
しパターン部を形成してなることを特徴とするパターン
膜の形成方法。
2. A method according to claim 1, wherein the surface of the metal oxide film containing silica as a main component formed on the substrate is partially coated with an alkaline salt in an amount of 3 to 60 parts.
After applying an etching agent consisting of a paste or an aqueous solution containing by weight, the film is heated or allowed to stand at room temperature and washed with water to remove the coating on the portion where the etching agent is applied and form a pattern portion. Method for forming a patterned film.
【請求項3】エッチング剤は、グリセリン、無機質微粉
の少なくとも1種が混入されていることを特徴とする請
求項2記載のパターン膜の形成方法。
3. The method according to claim 2, wherein the etching agent contains at least one of glycerin and inorganic fine powder.
【請求項4】シリカを主成分とする金属酸化物被膜は、
該被膜中にCo、Mn、Cu、Cr、Fe、Niの遷移
金属の少なくとも1種の遷移金属酸化物からなる着色剤
が分散されてなることを特徴とする請求項2または3記
載のパターン膜の形成方法。
4. A metal oxide film containing silica as a main component,
4. The pattern film according to claim 2, wherein a colorant comprising at least one transition metal oxide of transition metals of Co, Mn, Cu, Cr, Fe and Ni is dispersed in the coating. Formation method.
【請求項5】エッチング剤の塗布された基板を、該基板
の温度を60〜300℃で30〜120秒間加熱するか
室温で2時間以上放置することを特徴とする請求項2乃
至4記載のパターン膜の形成方法。
5. The method according to claim 2, wherein the substrate coated with the etching agent is heated at a temperature of 60 to 300 ° C. for 30 to 120 seconds or left at room temperature for 2 hours or more. Method for forming a pattern film.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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