JP2000181078A - 現像液管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 現像装置に安定して現像液を供給することが
可能な技術を提供すること。 【解決手段】 所定濃度の現像液を貯蔵し現像装置に該
現像液を供給する第一の貯蔵手段と、該第一の貯蔵手段
に貯蔵される現像液量が所定量以下に低下した時に、前
記現像装置から排出された現像液に原液を補充し現像液
濃度を所定濃度に戻す第二の貯蔵手段と、前記現像装置
から排出される現像液を貯蔵する第三の貯蔵手段とを具
備する現像液管理装置において、前記第三の貯蔵手段に
前記原液を補充する手段と、前記第三の貯蔵手段に貯蔵
する現像液の濃度を監視する監視手段とを設け、該監視
出力に基づいて、前記第三の貯蔵手段に原液を補充す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、現像液管理装置に
関し、特に、現像装置から回収される現像回収液を再び
現像液として再利用する技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の現像液管理装置は、各現像装置に
供給する現像液を一時的に貯蔵しておくサービスタンク
と、各現像装置から排出された使用済みの現像液（回収
液）を回収し貯蔵しておくレシーブタンクと、該レシー
ブタンクに貯蔵される原液（現像液の原液）を補充した
後調合攪拌し、回収液の濃度を使用前の濃度に戻すミキ
シングタンクとから構成されていた。

【０００３】サービスタンクには、貯蔵する現像液を各
現像装置に供給するための配管が備えられており、この
配管を通じて各現像装置に必要量の現像液を供給してい
た。サービスタンクに貯蔵される現像液の消費量は、サ
ービスタンクに設けられた液量計によって監視されてい
た。また、サービスタンクには、ミキシングタンクから
現像液の供給を受けるための配管が設けられており、液
量計が予め設定された現像液レベル以下となったことを
検出した場合には、まず、ミキシングタンクで現像液を
調合した後に、配管途中に設けられたバルブを制御しミ
キシングタンクからサービスタンクに現像液を供給（補
給）していた。

【０００４】ミキシングタンクには、レシーブタンクに
貯蔵される回収液の供給を受けるための配管と、現像液
の原液である高濃度のアルカリ溶液の供給を受けるため
の配管とが備えられていた。サービスタンクに設けられ
た液量計の検出出力に基づいて、レシーブタンクからミ
キシングタンクへ回収液を供給する配管に設けられたバ
ルブが制御され、回収液がミキシングタンクに供給され
ていた。レシーブタンクから供給される回収液には、現
像工程でのガラス基板洗浄に伴う純水等が混入している
ので、回収液の濃度は、現像液として必要とされるアル
カリ濃度よりも低くなっていた。

【０００５】従って、ミキシングタンクでは、薄くなっ
た回収液のアルカリ濃度を現像液として必要とされるア
ルカリ濃度に戻すために、原液がミキシングタンクに供
給されていた。原液のミキシングタンクへの供給は、ミ
キシングタンクに設けられた濃度測定器（アルカリ濃度
測定器）によって監視されていた。具体的には、ミキシ
ングタンクへの回収液及び原液の供給は、現像液管理装
置の設計時に想定された現像装置での現像液の使用量及
び回収液の濃度に基づいて、１回の回収液及び原液の供
給量が設定されていた。ミキシングタンクに回収液及び
原液が供給されると、ミキシングタンクに設けられた攪
拌機が動作し、注入された回収液と原液との調合攪拌を
行っていた。調合攪拌に要する時間は、２０〜３０分程
度であった。

【０００６】濃度測定装置は、調合攪拌後の現像液の濃
度を監視し、現像液の濃度が予め設定された管理値に収
まっている場合には、ミキシングタンクからサービスタ
ンクへ現像液を供給する配管に設けられたバルブが制御
され、現像液がサービスタンクに供給されていた。一
方、調合攪拌後の現像液の濃度が予め設定された管理値
に収まっていない場合には、計測された濃度に基づい
て、原液あるいは純水が補給された後に、再度、調合攪
拌が行われていた。

【０００７】このように、従来の現像液管理装置は、サ
ービスタンクに貯蔵される現像液の減少すなわち使用量
に基づいて、ミキシングタンクによる現像液の調合、及
び、調合後の現像液のサービスタンクへの補給が行われ
る、いわゆる連続調合システムとなっていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。

【０００９】近年、液晶表示装置の低価格化が急激に進
行しており、製造コストの低減が要望されている。

【００１０】一方、液晶表示基板の製造は、半導体素子
と同様に、薄膜形成装置によってガラス基板表面に電極
配線および絶縁膜部分等となる薄膜を形成した後、塗布
装置によってこの薄膜上にレジストを塗布し、ベーキン
グ装置でこのレジストを乾燥させてレジスト膜を形成
し、露光装置によってこのレジスト膜に所定のパターン
を露光し、エッチング装置の一種である現像装置によっ
てこのパターン部分を残して他の個所のレジスト膜を除
去（現像）し、この残したレジスト膜をエッチングマス
クとして薄膜部分をエッチングした後、このレジスト除
去装置で残りのレジスト膜を除去するという、以上に説
明した工程を順次繰り返し実行することによって、ガラ
ス基板表面に所望のパターンを形成していた。次に、Ｔ
ＦＴを駆動するための信号線等を形成したいわゆるＴＦ
Ｔ基板と、カラーフィルタおよび配向膜等を形成したい
わゆるカラーフィルタ基板とに配向処理を施した後、貼
り合わせて、液晶を封入することによって、液晶表示基
板を製造していた。ただし、以降の説明では、ＴＦＴ基
板及びカラーフィルタ基板の区別を特に明示する必要が
ない場合には、液晶ガラス基板と称する。

【００１１】このように、従来の液晶表示基板の製造過
程では、その処理に長い時間を要する工程を繰り返す必
要があったので、１枚のガラス基板上に複数枚分のパタ
ーンを形成し、パターン形成後に分離するいわゆる複数
枚取りを行うことによって、１枚の液晶ガラス基板の製
造に要する時間を低減させていた。このために、１枚の
ガラス基板上により多くの液晶ガラス基板を形成する必
要が生じ、ガラス基板の大型化が急速に進行している。
さらには、液晶表示装置の低価格化と共に大画面化も同
時に進行しており、ガラス基板の大型化はさらに進行し
ている。

【００１２】ガラス基板の大型化に伴って、液晶表示装
置の表示むらに重大な影響を与えることとなる、ガラス
基板表面に形成した薄膜パターンの品質すなわち現像装
置における露光部分のレジスト膜の除去品質（現像む
ら）を向上させることが重要となっている。このため、
１回の現像に使用する現像液の量が増えると共に、従来
よりも広くなった面積に噴射した現像液を速やかに除去
するために、現像液の使用量の増加よりも現像液を除去
する純水の使用量の増加の方が大きくなっていた。その
結果、レシーブタンクに回収される回収液の濃度が低下
していた。

【００１３】一方、従来の現像液管理装置では、前述す
るように、サービスタンクに設けられた液量計の検出出
力に基づいて、ミキシングタンクに一度に供給される回
収液及び原液の量は一定となっていたので、原液の供給
を複数回行う必要が生じてしまい、ミキシングタンクで
の現像液の生成が現像装置での消費量に間に合わないと
いう問題があった。すなわち、従来の現像液管理装置で
は、現像液の安定のために２０〜３０分という攪拌が必
要となっていたので、原液を２回あるいは３回と供給し
所望の濃度の現像液を生成するためには、４０〜９０分
もの時間が必要となり、供給よりも現像装置での消費量
が大きくなってしまい、現像液を供給できなくなってし
まうという問題があった。

【００１４】この問題を解決する方法として、ミキシン
グタンクでの１回当たりの原液供給量を増加させること
が考えられるが、従来の製造ラインでは、複数枚取りの
大型ガラス基板から比較的小さい小型のガラス基板まで
他品種のガラス基板が使用されている。このために、小
型のガラス基板の製造が多い期間では、レシーブタンク
に回収される回収液の濃度は、比較的高濃度となってい
るので、大型のガラス基板に適した原液の供給量では、
１回の供給によって現像液の濃度が高くなり過ぎてしま
い、純水の供給を行う必要が生じてしまい、前述と同様
に、所定濃度の現像液を生成するための４０〜９０分も
の時間が必要となる問題があった。また、純水を補給す
ることによって、回収液及び現像液を合わせた溶液量が
増加してしまうので、廃棄する回収液量が増大してしま
うという問題があった。

【００１５】また、回収液の濃度が極端に低くなった場
合には、回収液を供給した時のミキシングタンク内の濃
度が極端に低下し、正常動作を監視するために設定され
たアルカリ濃度範囲からでてしまうという問題があっ
た。

【００１６】本発明の目的は、現像装置に安定して現像
液を供給することが可能な技術を提供することにある。

【００１７】本発明の他の目的は、小型のガラス基板か
ら大型のガラス基板を混在して現像することが可能な技
術を提供することにある。

【００１８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００２０】所定濃度の現像液を貯蔵し現像装置に該現
像液を供給する第一の貯蔵手段と、該第一の貯蔵手段に
貯蔵される現像液量が所定量以下に低下した時に、前記
現像装置から排出された現像液に原液を補充し現像液濃
度を所定濃度に戻す第二の貯蔵手段と、前記現像装置か
ら排出される現像液を貯蔵する第三の貯蔵手段とを具備
する現像液管理装置において、前記第三の貯蔵手段に前
記原液を補充する手段と、前記第三の貯蔵手段に貯蔵す
る現像液の濃度を監視する監視手段とを設け、該監視出
力に基づいて、前記第三の貯蔵手段に原液を補充する。

【００２１】前述した手段によれば、現像装置から排出
される現像液（回収液）の濃度に係わらず、第三の貯蔵
手段に貯蔵される現像液濃度の変動を小さくし、所定の
濃度範囲内に保持することができる。従って、第二の貯
蔵手段での原液の補充量をほぼ一定に保持することがで
きる、すなわち、１回に２０〜３０分を要する調合攪拌
をほぼ１回行うのみで所望の濃度の現像液を得ることが
できるので、現像装置に安定して現像液を供給すること
ができる。その結果、現像装置から排出される現像液の
濃度が変動する小型のガラス基板から大型のガラス基板
までを混在して処理する場合であっても、現像装置に安
定して現像液を供給することができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明について、発明の実
施の形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明
する。

【００２３】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。

【００２４】（実施の形態１）図１は実施の形態１の現
像液管理装置の概略構成を説明するための図である。

【００２５】図１において、１０１はミキシングタンク
（第二の貯蔵手段）、１０２はサービスタンク（第一の
貯蔵手段）、１０３はレシーブタンク（第三の貯蔵手
段）、１０４は攪拌機、１０５，１１４，１２７はアル
カリ濃度測定器（監視手段）、１０６，１０８，１１
２，１１７，１２１，１２２，１２４，１２６は配管、
１０７，１１０，１１１，１１３，１１９，１２０，１
２３，１２５はバルブ、１０９，１１６，１１８はポン
プ、１１５，１２８，１２９は液量計を示す。

【００２６】図１に基づいて、実施の形態１の現像液管
理装置の構成を説明する。なお、以下に説明するミキシ
ングタンク１０１及びサービスタンク１０３の構成は、
従来の現像液管理装置と同じ構成となるので、その構成
及び機能が異なるレシーブタンク１０３について、詳細
に説明する。

【００２７】図１から明らかなように、実施の形態１の
現像液管理装置は、図示しない現像装置に供給する現像
液を一時的に貯蔵しておくサービスタンク１０２と、現
像装置から回収された使用済みの現像液である回収液を
貯蔵しておくレシーブタンク１０３と、該レシーブタン
クの回収液と現像液の原液とを調合し、回収液の濃度を
上げるミキシングタンク１０１とから構成される。

【００２８】サービスタンク１０２には、貯蔵する現像
液を各現像装置に供給するための配管１１７が備えられ
ており、この配管１１７を通して各現像装置に必要量の
現像液を供給する。配管１１７には電磁式のバルブ１１
９が設けられており、このバルブ１１９とサービスタン
ク１０２との間に設けられたポンプ１１８によって加圧
し、バルブ１１９の開閉を制御することにより、各現像
装置に現像液を供給する。バルブ１１９の開閉制御は、
図示しない制御装置からの開閉信号による。サービスタ
ンク１０２には、貯蔵する現像液のアルカリ濃度を監視
するアルカリ濃度測定器１２７が配置され、その計測値
は図示しない制御装置に出力される。さらには、貯蔵す
る現像液の減少度合いを監視するために、周知の液面レ
ベルセンサである液量計１２８，１２９がそれぞれ異な
る高さに配置されている。サービスタンク１０２への現
像液の供給は、一端がミキシングタンク１０１の底部に
接続され、他端がサービスタンク１０２の側面下部に接
続された配管１０６の途中に配置したバルブ１０７によ
って行う。ただし、実施の形態１では、サービスタンク
１０２とミキシングタンク１０１との設置高さがほぼ同
じに設定されている。

【００２９】ミキシングタンク１０１には、現像液の原
液となる高濃度のアルカリ溶液を貯蔵する図示しない原
液タンクから原液の供給を受けるための配管１２２と、
レシーブタンク１０３から回収液の供給を受けるための
配管１０８が備えられる。配管１０８，１２２には、そ
れぞれ電磁式のバルブ１１１，１２３が設けられる。バ
ルブ１１１，１２３の開閉制御は、図示しない制御装置
からの開閉信号による。ミキシングタンク１０２には、
図示しない純水タンクから純水を補給するための配管１
２４も設けられており、配管１２４の途中に設けられた
電磁式のバルブ１２５を制御することによって、ミキシ
ングタンク１０２への純水供給を制御する。アルカリ濃
度測定器１０５は、ミキシングタンク１０１内のアルカ
リ濃度を計測し、計測値を図示しない制御装置に出力す
る。ミキシングタンク１０１における現像液の濃度（ア
ルカリ濃度）の範囲は、従来の現像液管理装置と同様
に、濃度が高い側（濃度の上限値）が２．３９％であ
り、低い側（濃度の下限値）が２．３７％である。従っ
て、配管１０８を介して供給される回収液のアルカリ濃
度が約２．１％以下になると、ミキシングタンク１０１
でのアルカリ濃度が下限値である２．３７％を下回るこ
ととなり、制御装置が濃度異常を発する。攪拌機１０４
は、ミキシングタンク１０１に供給（補給）された回収
液と原液とを攪拌させ、調合に要する時間を２０〜３０
分程度に促進させる。

【００３０】レシーブタンク１０３には、図示しない現
像装置から排出される回収液を回収する配管１２６と、
貯蔵する回収液をミキシングタンク１０１に供給するた
めの配管１０８が備えられる。配管１２６には、経路中
に電磁バルブ等は設けられておらず、現像装置から排出
された現像液である回収液が逐次回収される。電磁式の
バルブ１１１とレシーブタンク１０３との間に設けたポ
ンプ１０９によって回収液を加圧し、バルブ１１１の開
閉を制御することにより、レシーブタンク１０３からミ
キシングタンク１０１へ回収液を供給する。ただし、ポ
ンプ１０９による加圧は、ポンプ１０９からバルブ１１
１に至る経路である。配管１０８はレシーブタンク１０
３とポンプ１０９との間で分岐しており、分岐した配管
１１２はバルブ１１３を介して図示しない原液タンクか
ら原液の供給を受けるための配管１２２に接続される。
さらには、配管１０８はバルブ１１１とポンプ１０９と
の間で分岐しており、この分岐先は電磁式のバルブ１１
０を介してレシーブタンク１０３に至る。すなわち、配
管１０８は、レシーブタンク１０３の底部からポンプ１
０９を介した後に分岐され、分岐された配管１０８の一
方はバルブ１１９を介してミキシングタンク１０１に配
管され、他方はバルブ１１０を介してレシーブタンク１
０３の上部に配管される。従って、バルブ１１０を開け
ることによって、レシーブタンク１０３の底部から上部
へ回収液を循環させることができ、攪拌機を設置するこ
となく、レシーブタンク１０３内の回収液と配管１１２
を介して供給される原液との攪拌ができる。

【００３１】アルカリ濃度測定器１１４は、レシーブタ
ンク１０３内のアルカリ濃度を計測しており、その計測
値を図示しない制御装置に出力する。制御装置は、アル
カリ濃度測定器１１４からの計測値に基づいて、バルブ
１１３の開閉すなわちレシーブタンク１０３への原液の
供給を制御する。レシーブタンク１０３におけるアルカ
リ濃度の下限値は、たとえば、回収液をミキシングタン
ク１０１に供給した場合でもミキシングタンク１０１内
のアルカリ濃度が下限の管理値である２．３７％以下と
ならない濃度である２．１％以上とする。

【００３２】液量計１１５は、レシーブタンク１０３に
貯蔵される回収液量を監視するために設けられており、
その監視出力は制御装置に出力される。回収液の貯蔵量
がレシーブタンク１０３の許容量以上となった場合に
は、制御装置がポンプ１１６を駆動し、回収液を回収液
を適宜廃棄する。現像装置では現像液の洗浄に純水を使
用すると共に、除去したレジスト等が回収液中に混入さ
れることとなるので、回収液量はサービスタンク１０２
から供給した現像液量よりも多くなる。

【００３３】次に、図１に基づいて、実施の形態１の現
像液管理装置の動作を説明する。

【００３４】まず、レシーブタンク１０３に貯蔵される
回収液を所定のアルカリ濃度範囲に保持するための動作
を説明する。

【００３５】図示しない現像装置の動作中では、図示し
ない制御装置はポンプ１１８を駆動すると共にバルブ１
１９を開放し、サービスタンク１０２に貯蔵される現像
液を現像装置に供給する。

【００３６】一方、レシーブタンク１０３には、現像装
置から排出された回収液が配管１２６を介して回収され
る。レシーブタンク１０３に貯蔵される回収液の濃度分
布を均一に保持するために、制御装置はポンプ１０９を
駆動すると共にバルブ１１０を開放し、レシーブタンク
１０３の下部から吸い出した回収液を上部から供給す
る。これによって、レシーブタンク１０３内では上部か
ら下部へ至る回収液の循環が起こるので、貯蔵される回
収液の濃度分布が均一化される。

【００３７】大型のガラス基板が現像装置で処理されて
いる場合には、ガラス基板での現像むらを防止するため
に純水の使用量が増大し、現像装置から配管１２６を介
して回収される回収液のアルカリ濃度は、下限の管理値
以下となる。従って、レシーブタンク１０３内のアルカ
リ濃度は徐々に低下する。レシーブタンク１０３内のア
ルカリ濃度は制御装置が常時監視しており、計測値が下
限の管理値以下となった場合、制御装置はバルブ１１３
を開放し、配管１０８を介してレシーブタンク１０３に
原液を供給する。原液の供給経路は、配管１０８からポ
ンプ１０９及びバルブ１１０を介しレシーブタンク１０
３に至る経路である。このとき、レシーブタンク１０３
に供給された原液は、タンク下部から配管１０８を経て
タンク上部に至る回収液の循環によって、レシーブタン
ク１０３内に攪拌されるので、アルカリ濃度計測器１１
４で計測される回収液の濃度は上昇する。レシーブタン
ク１０３のアルカリ濃度がレシーブタンク１０３におけ
るアルカリ濃度の上限値に達した場合には、制御装置は
バルブ１１３を閉じ、レシーブタンク１０３への原液の
供給を停止させる。

【００３８】このように、レシーブタンク１０３では、
アルカリ濃度計測器１１４の計測値に基づいて、制御装
置が原液の供給及び停止を制御し、タンク内のアルカリ
濃度を上限値から下限値の範囲内に保持する。ただし、
ミキシングタンク１０１での純水の補給を防止するため
に、レシーブタンク１０３でのアルカリ濃度範囲は、ミ
キシングタンク１０１でのアルカリ濃度範囲すなわち現
像液のアルカリ濃度範囲よりも低い濃度に設定する。

【００３９】次に、現像装置に所定のアルカリ濃度範囲
の現像液を供給するための動作を説明する。

【００４０】サービスタンク１０２に貯蔵される現像液
が、液量計１２８の取り付けられた位置にまで減少する
と、液量計１２８から制御装置に現像液量が低下したこ
とを示す信号（第一の低下信号）が出力される。第一の
低下信号を検出した制御装置は、予め設定された時間を
おいた後に、以下に説明する現像液の補給動作を開始す
る。ただし、予め設定された時間内であっても、液量計
１２８よりもサービスタンク１０２の底部に近い位置に
設置された液量計１２９からの信号（第二の低下信号）
が検出された場合には、制御装置は直ちに現像液の補給
動作を開始する。

【００４１】制御装置は、バルブ１１１を開放しレシー
ブタンク１０３から回収液をミキシングタンク１０１に
供給すると共に、バルブ１２３を開放し原液をミキシン
グタンク１０３に供給する。ただし、このときのバルブ
１１１，１２３の開放時間、すなわち回収液及び原液の
供給量は、予め設定されている。

【００４２】回収液及び原液の供給が終了すると、制御
装置は攪拌機１０４を動作し、ミキシングタンク１０１
内の回収液と原液との調合攪拌を行う。調合攪拌に要す
る時間は、２０〜３０分程度である。調合攪拌が終了し
たならば、制御装置はアルカリ濃度計測器１０５で計測
される濃度が予め設定されたアルカリ濃度範囲に収まっ
ているかを確認する。このとき、レシーブタンク１０３
から供給される回収液の濃度は、予め設定された濃度範
囲に保持されているので、ミキシングタンク１０１での
現像液の調合攪拌は、１回で終了する。

【００４３】ミキシングタンク１０１内の濃度が予め設
定されたアルカリ濃度範囲に収まっていることが確認で
きると、制御装置はバルブ１０７を開放する。このと
き、実施の形態１では、サービスタンク１０２とミキシ
ングタンク１０１とがほぼ同じ高さに設置されているの
で、バルブ１０７の開放により、ミキシングタンク１０
１からサービスタンク１０１に現像液が高低差分移送さ
れ、サービスタンク１０２への現像液の供給が終了す
る。なお、制御手段はサービスタンク１０２への現像液
の供給が終了すると、バルブ１０７を閉じる。

【００４４】以上に説明した動作を繰り返すことによっ
て、サービスタンクには常に現像液が補充されることと
なる。

【００４５】液量計１２８による現像液の減少検知後
に、所定の時間が経過し制御装置がバルブ１１１を開放
してレシーブタンク１０３から回収液をミキシングタン
ク１０１に供給させようとしたときに、レシーブタンク
１０３への原液の供給がされている場合には、制御手段
はレシーブタンク１０３への原液の供給を待ち、バルブ
１１３が閉じられた後に、バルブ１１１を開放しレシー
ブタンク１０３からミキシングタンク１０１への回収液
の供給を行う。ただし、液量計１２９からの検出出力
（第二の低下信号）が制御装置に入力された場合には、
制御装置は直ちにバルブ１１３を閉じ、その後直ちにバ
ルブ１１１を開放しミキシングタンク１０１への回収液
の供給を行う。

【００４６】以上説明したように、実施の形態１の現像
液管理装置では、レシーブタンク１０３にアルカリ濃度
計測器１１４を設けると共に、レシーブタンク１０３へ
原液を直接供給するための配管１１２を設ける。制御手
段がアルカリ濃度計測器１１４の計測値に基づいて、レ
シーブタンク１０３内のアルカリ濃度を所定値に保持す
ることによって、ミキシングタンク１０１に供給する回
収液の濃度をほぼ一定の値に保持できる。従って、ミキ
シングタンク１０１での原液の補充量をほぼ一定に保持
することができる、すなわち、１回に２０〜３０分を要
する調合攪拌をほぼ１回行うのみで所望の濃度の現像液
を得ることができるので、現像装置に安定して現像液を
供給することができる。その結果、現像装置から排出さ
れる現像液の濃度が変動する小型のガラス基板から大型
のガラス基板までを混在して処理する場合であっても、
現像装置に安定して現像液を供給することができる。

【００４７】（実施の形態２）図２は実施の形態２の現
像液管理装置の概略構成を説明するための図である。

【００４８】図２から明らかなように、実施の形態２の
現像液管理装置は、図１に示す実施の形態１の現像液管
理装置からレシーブタンク１０３の現像液濃度を計測す
るアルカリ濃度測定器１１４を除いた構成である。従っ
て、実施の形態２では、実施の形態１の現像液管理装置
と異なる制御装置の構成及び動作について説明する。

【００４９】図３は実施の形態２の制御装置の動作を説
明するためのフローであり、以下、図３に基づいて、実
施の形態２の現像液管理装置の動作を説明する。

【００５０】本フローの開始は、液量計１２８からの信
号を受けた後の制御装置における一定時間の経過後、あ
るいは液量計１２９からの信号の入力である。

【００５１】まず、制御手段は前回の調合攪拌、すなわ
ち、前回のサービスタンク１０２への現像液の供給時に
おけるミキシングタンク１０１内の濃度が予め設定され
た値以上であったか否かを判定する（ステップ３０
１）。

【００５２】判定結果が設定値以上であったならば、レ
シーブタンク１０３内の回収液の濃度は濃いものである
と判定する。次に、レシーブタンク１０３への原液供給
が行われない期間での、レシーブタンク１０３からミキ
シングタンク１０２への回収液の供給回数が予め設定さ
れた回数以上であるかを判定する（ステップ３０２）。
レシーブタンク１０３へは、常時、現像装置から回収液
が供給されているため、大型ガラス基板の現像を連続し
ている場合には、一般的に回収液の濃度も下がるので、
レシーブタンク１０３に貯蔵される回収液の濃度も徐々
に低下することとなる。従って、ミキシングタンク１０
１での現像液の調合攪拌の回数を計測することによっ
て、レシーブタンク１０３内の濃度低下を推定する。そ
の結果、回収液の濃度低下に伴うミキシングタンク１０
１での調合攪拌のやり直しの発生頻度を低下させること
が可能となり、より安定した現像液の供給が可能とな
る。

【００５３】ステップ３０２での判定結果が設定回数以
下であった場合には、制御装置はバルブ１１１，１２３
を開放し、ミキシングタンク１０１に原液及び回収液を
供給する（ステップ３０３）。なお、ステップ３０３〜
３０６で示す処理は、実施の形態１と同様である。

【００５４】原液及び回収液の供給の後に、制御装置は
攪拌機１０４を駆動し、調合攪拌を行う（ステップ３０
４）。

【００５５】調合攪拌が終了すると、制御装置はアルカ
リ濃度計測器１０５によってミキシングタンク内の濃度
を計測する（ステップ３０５）。このとき、実施の形態
２では、このときの計測値を周知のメモリ等に記憶して
おき、ステップ３０１で参照する。

【００５６】調合攪拌後の濃度が予め設定された現像液
濃度範囲内にはいっている場合には、制御装置はバルブ
１０７を開放し、ミキシングタンク１０１からサービス
タンク１０２に現像液を供給する（ステップ３０６）。

【００５７】以上のステップ３０１〜３０６を、液量計
１２８からの信号を受けた後の制御装置における一定時
間の経過後、あるいは液量計１２９からの信号の入力後
に実行することによって、レシーブタンク１０３内の濃
度変化を安定できる。

【００５８】以上説明したように、実施の形態２の現像
液管理装置では、レシーブタンク１０３へ原液を直接供
給するための配管１１２を設け、制御手段が調合攪拌後
の現像液の計測値に基づいて、レシーブタンク１０３へ
の原液の供給（補給）を制御し、レシーブタンク１０３
内のアルカリ濃度を所定値に保持することで、ミキシン
グタンク１０１に供給する回収液の濃度をほぼ一定の値
に保持することができるので、実施の形態１と同じ効果
を得ることができる。

【００５９】以上の説明では、液晶表示基板の製造工程
に本願発明の現像液管理装置を適用した場合について説
明したが、フォトリソ技術を用いる半導体素子等の製造
工程にも適用可能なことはいうまでもない。

【００６０】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能で
あることは勿論である。

【００６１】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。

【００６２】（１）現像装置に安定して現像液を供給す
るすることができる。

【００６３】（２）小型のガラス基板から大型のガラス
基板を混在して現像できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１の現像液管理装置の概略構成を説
明するための図である。

【図２】実施の形態２の現像液管理装置の概略構成を説
明するための図である。

【図３】実施の形態２の制御装置の動作を説明するため
のフローである。

【符号の説明】

１０１…ミキシングタンク、１０２…サービスタンク、
１０３…レシーブタンク、１０４…攪拌機、１０５，１
１４，１２７…アルカリ濃度測定器、１０６，１０８，
１１２，１１７，１２１，１２２，１２４，１２６…配
管、１０７，１１０，１１１，１１３，１１９，１２
０，１２３，１２５…バルブ、１０９，１１６，１１８
…ポンプ、１１５，１２８，１２９…液量計。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河野 均 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 篠原 正明 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 西邑 雄一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 上原 淳一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 Ｆターム(参考） 2H096 GA08 LA19 LA25 4F042 AA06 AB00 BA09 BA16 CA01 CA06 CB08 CB20 CC30 4G068 AA02 AB15 AC05 AC16 AD21 AE01 AE10 AF01 AF40 5F046 LA14

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定濃度の現像液を貯蔵し現像装置に該
   現像液を供給する第一の貯蔵手段と、該第一の貯蔵手段
   に貯蔵される現像液量が所定量以下に低下した時に、前
   記現像装置から排出された現像液に原液を補充し現像液
   濃度を所定濃度に戻す第二の貯蔵手段と、前記現像装置
   から排出される現像液を貯蔵する第三の貯蔵手段とを具
   備する現像液管理装置において、 前記第三の貯蔵手段に前記原液を補充する手段と、前記
   第三の貯蔵手段に貯蔵する現像液の濃度を監視する監視
   手段とを設け、該監視出力に基づいて、前記第三の貯蔵
   手段に原液を補充することを特徴とする現像液管理装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の現像液管理装置におい
   て、 前記監視手段は、前記第三の貯蔵手段に貯蔵される現像
   液の濃度を直接計測する手段であることを特徴とする現
   像液管理装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の現像液管理装置におい
   て、 前記監視手段は、前記第二の貯蔵手段での原液の補充量
   から前記第三の貯蔵手段に貯蔵される現像液の濃度を推
   定する手段であることを特徴とする現像液管理装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３の内の何れか１項に記載
   の現像液管理装置において、 前記第三の貯蔵手段に貯蔵する現像液の濃度を、前記現
   像装置から排出された現像液と前記現像装置に供給する
   現像液との間の濃度に保持することを特徴とする現像液
   管理装置。