JP2000173950A - イメージスキャナ方式ペレットカウンタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで簡単な構成により高精度でペレッ
トをカウントできるぺレットカウンタを提供すること。 【解決手段】 ダイシングテープ４上に貼着されたウエ
ハ３に対面配置されるイメージスキャナー２と、ウエハ
３の表面と反対のリング５側に配置されるバックライト
用照明装置８とから構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウエハ上に格子状に
配列されたペレットの数を数えるためのペレットカウン
タに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置では撮像管を用いて
ウエハ画像の取り込みを行っている為、分解能は撮像管
のそれに左右されて２００μｍ程度しかなく、従って、
１００μｍ以下の小サイズのペレットは、解像度の不足
からカウント出来ない欠点があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】そこで、解像度を上げ
るため、ラインセンサーカメラ若しくは非常に高解像度
なカメラを用ることによって、解像度面では問題のない
画像が得られるが、この場合、カメラの他に画像取り込
みボードも必要となって、コスト的にはかなり高くな
り、経済的に極めて不利であった。

【０００４】また、ラインセンサーカメラを用いる場合
には、カメラの仕様に応じた速度でカメラ若しくはウエ
ハを移動させる機構が必要となり、その結果、複雑な構
成となって、装置としても大きくなってしまう。

【０００５】さらに、照明の面でも、ウエハ表面へ光を
当てる反射方式であるため、ウエハの輝度むらや、ウエ
ハを貼るテープであるダイシングテープの種類、即ち、
白色か透明か等に左右され、安定した画像が得られず、
その結果、カウント精度が悪くなり、また、品種によっ
てはカウント出来ないものもある。

【０００６】そこで、本発明の目的は、低コストで簡単
な構成を有し、さらにペレットのカウント精度のよいイ
メージスキャナ方式ペレットカウンタを提供することに
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のイメージスキャ
ナ方式ペレットカウンタは、ダイシングテープ上に複数
のペレットに分割貼着されたウェハが原稿載置面上に配
置されるイメージスキャナーと、前記ウエハが貼着され
たダイシングテープの裏面側に配置されたバックライト
用照明装置とを備えたことを特徴とするものである。

【０００８】また、本発明のイメージスキャナ方式ペレ
ットカウンタにおいては、前記ダイシングテープ上に複
数のペレットに分割貼着されたウェハはその表面が上方
を向くようにして前記バックライト用照明装置上に載置
され、前記ウエハ表面の上方に前記イメージスキャナー
がその原稿載置面が下方を向くように配置されることを
特徴とするものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図５に基づいて説明する。

【００１０】図１は、本発明によるイメージスキャナ方
式ペレットカウンタの一実施形態をを示す斜視図、図２
は図１に示したイメージスキャナ方式ペレットカウンタ
の前面から見た正面図、図３はリングに載せられたウエ
ハ部分を示した図で、（Ａ）はウエハ表面を上に向けた
状態を示した斜視図、（Ｂ）はウエハ表面を下に向けた
状態を示した斜視図である。

【００１１】まず、図１及び図２において、ガラスから
なる原稿載置面１を有するイメージスキャナー２上にウ
エハ３が置かれており、このウエハ３はダイシングテー
プ４が貼られているリング５の上に載置されている。図
３はウエハ３の部分を示す斜視図で、ウエハ３はダイシ
ングライン６によってダイシングされ、格子状に配列さ
れた多数のペレット７が形成されている。これらのペレ
ット７は円筒形のリング５上に張り付けられたダイシン
グテープ４上に貼着されている。そしてリング５の上部
には、図１および図２に示すように、バックライト用の
照明装置８が配置されている。

【００１２】イメージスキャナー２は、図示されていな
いスカジイ（ＳＣＳＩ）カード若しくはボードが挿入さ
れたパソコンに接続されていて、パソコン上のイメージ
スキャナーのソフトにより、適切な条件下で高解像度な
画像がパソコン上のメモリーに取り込まれる。

【００１３】次に、このような構成からなるイメージス
キャナ方式ペレットカウンタの動作を説明する。先ず、
ダイジングテープ上に固着されたウエハ３を、図３
（Ｂ）に示すように、ウエハ３の表面が下向きの状態に
して、図示しない固定手段を用いてウエハ３の表面を原
稿載置面１から少し浮かせた状態でイメージスキャナー
２上に置く。次いで、バックライト用の照明８を点灯し
てイメージスキャナー２を介してウエハ３のペレット７
が読み取られ、パソコン（図示せず）内のメモリーに取
り込まれる。

【００１４】この際、ウエハ３の読取り解像度はパソコ
ン上のイメージスキャナー２のソフトにより、例えば、
現状では４２μｍ／ｐｉｘｅｌ程度の高解像度でメモリ
ー内に取り込まれる。このメモリーに取り込まれた画像
は、さらに或る輝度以下の画素で連結しているものを一
つの塊と認識するソフトによってウエハ３上のペレット
７の数量を数える。

【００１５】次に図４および図５により、本発明のイメ
ージスキャナ方式ペレットカウンタの他の一実施形態を
説明する。図４は本発明によるイメージスキャナ方式ペ
レットカウンタの斜視図、図５はその側面図である。

【００１６】この実施形態においてはイメージスキャナ
の配置が図１および図２に対して上下逆になっている。
すなわち、ウエハ３が載せられているリング５はバック
ライト用照明８上に置かれていて、ウエハ３の上部にイ
メージスキャナー２がウエハ３の表面からわずかに浮い
た状態で配置されている。

【００１７】なお、図４および図５において、図１およ
び図２と同一構成部分は同一符号を記し、詳細な説明は
省略した。

【００１８】このように、本実施形態では、低価格であ
る民生用のイメージスキャナーを用いて、解像度をソフ
トで制御しているため、１００μｍ程度の小さなサイズ
のペレットでもカウントすることが出来る。

【００１９】また、バックライト用の照明装置８を用い
ることによって、ウエハ３の輝度むらやダイシングテー
プ４の種類に左右されない安定したシルエット像が得ら
れる。

【００２０】

【発明の効果】上記した本発明によれば、低価格の民生
用イメージスキャナーを用いているため、コスト的に
は、従来に較べて１／１０乃至１／６０程度の価格です
み、経済的に極めて有利となる。

【００２１】また、イメージスキャナーを用いることに
よって、イメージスキャナー内部にラインセンサーを移
動させる機能が内蔵されているため、この機構を別につ
くる必要もなく、従って、構成上の複雑さを排除でき、
強いては装置の小型化に有利となる。

【００２２】さらに、バックライト方式の採用によっ
て、ウエハの輝度むらやダイシングテープの種類に影響
されない安定したシルエット像が得られるため、多品種
への対応が可能となる等、多くの効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるイメージスキャナ方式ペレットカ
ウンタの一実施形態をを示した斜視図である。

【図２】図１に示したイメージスキャナ方式ペレットカ
ウンタの前面から見た正面図である。

【図３】図３はウエハ部分を示した図で、（Ａ）はウエ
ハ表面を上に向けた状態を示した斜視図、（Ｂ）はウエ
ハ表面を下に向けた状態を示した斜視図である。

【図４】本発明によるイメージスキャナ方式ペレットカ
ウンタの他の一実施形態を示した斜視図である。

【図５】図４に示したイメージスキャナ方式ペレットカ
ウンタの正面から見た正面図である。

【符号の説明】

１ 原稿載置面 ２ イメージスキャナー ３ ウエハ ４ ダイシングテープ ５ リング ６ ダイシングライン ７ ペレット ８ バックライト用照明

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイシングテープ上に複数のペレットに
   分割貼着されたウェハが原稿載置面上に配置されるイメ
   ージスキャナーと、前記ウエハが貼着されたダイシング
   テープの裏面側に配置されたバックライト用照明装置と
   を備えたことを特徴とするイメージスキャナ方式ペレッ
   トカウンタ。
2. 【請求項２】 前記ダイシングテープ上に複数のペレッ
   トに分割貼着されたウェハはその表面が上方を向くよう
   にして前記バックライト用照明装置上に載置され、前記
   ウエハ表面の上方に前記イメージスキャナーがその原稿
   載置面が下方を向くように配置されることを特徴とする
   請求項１記載のイメージスキャナ方式ペレットカウン
   タ。