JP2000169766A - Coating solution for formation of transparent ion getter film, film-attached substrate, and liquid crystal display cell - Google Patents

Coating solution for formation of transparent ion getter film, film-attached substrate, and liquid crystal display cell

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JP2000169766A
JP2000169766A JP34580498A JP34580498A JP2000169766A JP 2000169766 A JP2000169766 A JP 2000169766A JP 34580498 A JP34580498 A JP 34580498A JP 34580498 A JP34580498 A JP 34580498A JP 2000169766 A JP2000169766 A JP 2000169766A
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島 昭 中
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating solution for transparent film formation, which is capable of forming a film that is excellent in scratch resistance, acid resistance, alkali resistance, water resistance and insulating property, is excellent in adhesion to an electrode film or an aligned film made of a highly hydrophobic resins such as a polyimide resin, and is able to reduce an impurity ion component in a liquid crystal, and a film-attached substrate and a liquid crystal display cell, both having such a film as mentioned above. SOLUTION: The coating solution for the formation of a transparent ion getter film comprises (A) a matrix-forming component, and (B) ion-adsorbing inorganic fine particles, each dispersed in a mixed solvent of water and an organic solvent, wherein the ion-adsorbing inorganic fine particles (B) have an average particle size ranging from 1 nm to 10 μm, and the ion-adsorbing inorganic fine particles have an ion adsorption capacity ranging from 0.1 to 3.0 mmols/g.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の技術分野】本発明は、透明イオンゲッター膜形
成用塗布液および透明イオンゲッター膜付基材、液晶表
示セルに関する。さらに詳しくは、本発明は、耐擦傷
性、耐酸性、耐アルカリ性、耐水性、配向膜との密着性
などに優れ、数μm程度の微細な凹凸を有する基板を平
坦化することができるとともに、液晶表示パネル中のイ
オン量を低減できる被膜を形成することが可能な透明被
膜形成用塗布液、該被膜形成用塗布液から形成された被
膜を有する被膜付基材、および該被膜付基材を有する液
晶表示セルに関する。
The present invention relates to a coating solution for forming a transparent ion getter film, a substrate having a transparent ion getter film, and a liquid crystal display cell. More specifically, the present invention is excellent in abrasion resistance, acid resistance, alkali resistance, water resistance, adhesion to an alignment film and the like, and can flatten a substrate having fine irregularities of about several μm, A coating liquid for forming a transparent coating capable of forming a coating capable of reducing the amount of ions in a liquid crystal display panel, a coated substrate having a coating formed from the coating liquid for forming a coating, and the coated substrate The present invention relates to a liquid crystal display cell having the same.

【0002】[0002]

【発明の技術的背景】従来より、ガラス基板の表面にI
TOなどの透明電極膜、ポリイミドなどの高分子からな
る配向膜が順次積層されている一対の透明電極付基板
を、それぞれの透明電極膜同士が対向するようにスペー
サを介して対向させ、このスペーサによって所定の間隔
に開けられた隙間に液晶を封入した液晶表示セルが知ら
れている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Conventionally, I
A pair of substrates with transparent electrodes, on which a transparent electrode film such as TO and an alignment film made of a polymer such as polyimide are sequentially laminated, face each other via a spacer such that the respective transparent electrode films face each other. There is known a liquid crystal display cell in which liquid crystal is sealed in gaps formed at predetermined intervals.

【0003】このタイプの液晶表示セルは、製造工程で
液晶セル内部に混入した異物やスペーサによって配向膜
が傷つけられ、その結果、上下の電極間に導通が生じ、
この導通に起因する表示不良が発生することがあった。
In this type of liquid crystal display cell, the alignment film is damaged by foreign substances and spacers mixed in the liquid crystal cell during the manufacturing process, and as a result, conduction occurs between the upper and lower electrodes.
In some cases, display defects caused by this conduction occur.

【0004】このため、上記のような液晶表示セルで
は、透明電極付基板の透明電極膜と配向膜との間に絶縁
膜が形成されている(特開昭60−260021号公
報、特開平1−150116号公報、特開平2−221
923号公報など参照)。
For this reason, in the above-mentioned liquid crystal display cell, an insulating film is formed between the transparent electrode film and the alignment film of the substrate with a transparent electrode (Japanese Patent Laid-Open No. 60-260021, Japanese Patent Laid-Open No. -150116, JP-A-2-221
923).

【0005】ところで、上記配向膜としてはポリイミド
樹脂などの疎水性の強い樹脂が多く用いられている。こ
のような疎水性の強い樹脂からなる配向膜を絶縁膜上に
形成すると、絶縁膜と配向膜との密着性が不充分とな
り、液晶表示セルにラビング傷などによる表示むらが生
じることがあった。このため、本願出願人は特開平4−
247427号において、配向膜との密着性に優れた絶
縁膜を形成可能な塗布液として、特定の粒子径を有する
無機化合物を含むものを提案している。
By the way, a resin having a strong hydrophobicity such as a polyimide resin is often used as the alignment film. When an alignment film made of such a highly hydrophobic resin is formed on an insulating film, the adhesion between the insulating film and the alignment film becomes insufficient, and display unevenness such as rubbing scratches may occur on the liquid crystal display cell. . For this reason, the applicant of the present application has disclosed in
No. 247427 proposes a coating liquid containing an inorganic compound having a specific particle diameter as a coating liquid capable of forming an insulating film having excellent adhesion to an alignment film.

【0006】また、透明電極と配向膜との間にこのよう
な絶縁膜を形成すると、配向膜のラビング時に発生する
静電気などによって配向膜に傷や配向不良などが生じる
こともあった。このため本願出願人は、特開平5−23
2459号公報において、導電性微粒子とマトリックス
とからなり、かつ表面抵抗が109〜1013Ω/□であ
る保護膜を透明電極表面に形成することを提案してい
る。
In addition, when such an insulating film is formed between the transparent electrode and the alignment film, the alignment film may be damaged or defective in alignment due to static electricity generated when the alignment film is rubbed. For this reason, the applicant of the present application has disclosed in
No. 2459 proposes forming a protective film on the transparent electrode surface, which is made of conductive fine particles and a matrix and has a surface resistance of 10 9 to 10 13 Ω / □.

【0007】このような液晶表示セルを用いた液晶表示
装置として、TFT型液晶表示装置およびSTN型液晶
表示装置が知られている。TFT型液晶表示装置は、透
明基板上にTFT(薄膜トランジスタ)素子、データ電
極などのTFTアレイが設けられている。このTFTア
レイによる凹凸を平坦化膜により平坦化した後、その上
にITOなどの表示電極を取り付ける構成にすることに
より、開口率の向上とTFTアレイの凹凸による液晶の
配向乱れをなくすようにしている。さらにカラーフィル
ターを有する液晶表示装置においても、カラーフィルタ
ー画素の平坦化あるいは信頼性向上のために絶縁性保護
被膜が設けられている。
As a liquid crystal display using such a liquid crystal display cell, a TFT type liquid crystal display and an STN type liquid crystal display are known. In a TFT type liquid crystal display device, a TFT array such as a TFT (thin film transistor) element and a data electrode is provided on a transparent substrate. After the unevenness due to the TFT array is flattened by the flattening film, a display electrode such as ITO is mounted thereon, so that the aperture ratio is improved and the alignment disorder of the liquid crystal due to the unevenness of the TFT array is eliminated. I have. Further, also in a liquid crystal display device having a color filter, an insulating protective film is provided for flattening the color filter pixels or improving the reliability.

【0008】このような電子材料分野における平坦化被
膜、絶縁性保護被膜の形成材料として、アクリル系樹
脂、ポリエステル樹脂などの有機樹脂、SiO2、Si3
4などの無機物、有機・無機複合系のアルキルトリヒド
ロキシシランの重合物などが用いられている。しかしな
がらこれらの被膜形成材では、耐熱性、クラックの発
生、被膜の強度、該被膜上へのレジスト膜の形成性など
に問題があった。このため、本出願人はWO97/49
775号において、無機化合物粒子と特定の有機ケイ素
化合物の加水分解物を含む透明被膜形成用塗布液を提案
している。
As a material for forming a flattening film and an insulating protective film in the field of electronic materials, organic resins such as acrylic resins and polyester resins, SiO 2 and Si 3 N are used.
Inorganic substances such as 4, and a polymer of an organic / inorganic hybrid alkyltrihydroxysilane are used. However, these film-forming materials have problems in heat resistance, crack generation, film strength, formation of a resist film on the film, and the like. For this reason, the present applicant has filed WO 97/49
No. 775 proposes a coating liquid for forming a transparent film containing a hydrolyzate of inorganic compound particles and a specific organosilicon compound.

【0009】ところで、上記した各種の液晶表示装置の
うち、TFT型液晶表示装置においては高電圧保持率特
性を持たせるために、セルを構成する材料に起因するイ
オンおよびセル製造プロセスで混入するイオンを低減さ
せるなどの対策がとられているが、信頼性を高めるため
にさらに液晶中の不純分を低減することが要求されてい
る。
[0009] Among the various liquid crystal display devices described above, in order to provide a high voltage holding ratio characteristic in a TFT type liquid crystal display device, ions originating in the material constituting the cell and ions entering in the cell manufacturing process are used. Although measures have been taken to reduce the amount of impurities, it has been required to further reduce impurities in the liquid crystal in order to increase reliability.

【0010】また、STN型液晶表示装置においては、
消費電力の低減を図るべく液晶材料の改良が進められて
いる。この消費電力の低減のために液晶材料として、低
い閥値電圧を示す極性の強い官能基を持つ液晶が用いら
れるようになってきているが、このような液晶を用いた
パネルは、従来の液晶表示装置用パネルよりも液晶中の
可動イオンによる表示不良を生じることがある。このた
め、液晶中の可動イオン(イオン性不純分)を低減する
ことが行われているが、高度に、かつ効果的に除去する
ことが困難であり、表示不良の課題は解決に至っていな
い。さらに、このようなイオン性不純分は経時的にセル
構成材料から溶出することがあり、長期信頼性に欠ける
ことから、長期にわたってイオン性不純分濃度を低く保
つことが要求されている。
[0010] In the STN type liquid crystal display device,
Liquid crystal materials are being improved to reduce power consumption. In order to reduce the power consumption, a liquid crystal having a strong polar functional group exhibiting a low threshold voltage has been used as a liquid crystal material, but a panel using such a liquid crystal is a conventional liquid crystal. Display defects may be caused by movable ions in the liquid crystal as compared with the display panel. For this reason, mobile ions (ionic impurities) in the liquid crystal have been reduced, but it is difficult to remove the ions highly and effectively, and the problem of display failure has not been solved. Further, such ionic impurities may be eluted from the cell constituent material with time, and lack long-term reliability. Therefore, it is required to keep the ionic impurity concentration low for a long time.

【0011】このような情況のもと、本発明者らは、液
晶中の不純物イオン成分を低減化する方法について、鋭
意検討したところ、液晶表示セルの透明電極と配向膜と
の間にイオン吸着能を有する無機の超微粒子を含む透明
イオンゲッター膜を設けることによって、液晶中のイオ
ン分を低減させ、液晶表示装置の表示品位を改善できる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。
Under these circumstances, the present inventors have conducted intensive studies on a method for reducing the impurity ion component in the liquid crystal, and found that ion adsorption between the transparent electrode of the liquid crystal display cell and the alignment film was performed. It has been found that by providing a transparent ion getter film containing inorganic ultrafine particles having a function, ions in the liquid crystal can be reduced and the display quality of the liquid crystal display device can be improved, and the present invention has been completed.

【0012】[0012]

【発明の目的】本発明は、前記のような従来技術におけ
る問題点を解決すべくなされたものであり、すなわち耐
擦傷性、耐酸性、耐アルカリ性、耐水性、絶縁性に優
れ、電極膜あるいはポリイミド樹脂などの疎水性の強い
樹脂からなる配向膜などとの密着性にも優れ、さらに液
晶中の不純物イオン成分を低減化する被膜を形成可能な
透明被膜形成用塗布液、このような被膜を有する被膜付
基材および液晶表示セルを提供することを目的としてい
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the prior art, that is, it has excellent scratch resistance, acid resistance, alkali resistance, water resistance, and insulating properties, and has an electrode film or It has excellent adhesion to alignment films made of highly hydrophobic resin such as polyimide resin, and is capable of forming a coating that reduces impurity ion components in liquid crystal. It is an object of the present invention to provide a coated substrate and a liquid crystal display cell having the same.

【0013】[0013]

【発明の概要】本発明に係る透明イオンゲッター膜形成
用塗布液は、(A)マトリックス形成成分および(B)
イオン吸着性無機微粒子が、水と有機溶媒とからなる混
合溶媒中に分散されてなり、該(B)イオン吸着性無機
微粒子の平均粒子径が1nm〜10μmの範囲にあり、
かつイオン吸着性無機微粒子のイオン吸着容量が0.1
〜3.0mmol/gの範囲にあることを特徴としている。
The coating solution for forming a transparent ion getter film according to the present invention comprises (A) a matrix-forming component and (B)
The ion-adsorbing inorganic fine particles are dispersed in a mixed solvent of water and an organic solvent, and the average particle diameter of the (B) ion-adsorbing inorganic fine particles is in a range of 1 nm to 10 μm,
And the ion adsorption capacity of the ion-adsorbing inorganic fine particles is 0.1
Mmol3.0 mmol / g.

【0014】前記(A)マトリックス形成成分が、アセ
チルアセトナトキレート化合物、有機ケイ素化合物、金
属アルコキシドおよびポリシラザンから選ばれる1種ま
たは2種以上の混合物からなることが好ましい。
It is preferable that the (A) matrix-forming component comprises one or a mixture of two or more selected from an acetylacetonato chelate compound, an organosilicon compound, a metal alkoxide and polysilazane.

【0015】本発明に係る透明イオンゲッター膜付基材
は、基材表面に前記透明イオンゲッター膜形成用塗布液
を塗布してなる透明イオンゲッター膜が形成されている
ことを特徴としている。
The substrate with a transparent ion getter film according to the present invention is characterized in that a transparent ion getter film is formed by applying the coating solution for forming a transparent ion getter film on the surface of the substrate.

【0016】本発明に係る第1の液晶表示セルは、基板
の表面に透明電極膜、透明イオンゲッター膜および配向
膜が順次積層されてなる一対の透明電極付基板が、それ
ぞれの透明電極同士が対向するように所定の間隔をあけ
て配置され、この一対の透明電極付基板の間に設けられ
た間隙に液晶が封入されている液晶表示セルにおいて、
透明イオンゲッター膜が、前記透明イオンゲッター膜形
成用塗布液を塗布して形成された膜であることを特徴と
している。
In the first liquid crystal display cell according to the present invention, a pair of substrates with a transparent electrode in which a transparent electrode film, a transparent ion getter film and an alignment film are sequentially laminated on the surface of the substrate are provided. In a liquid crystal display cell, which is disposed at a predetermined interval so as to face each other, and in which liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of transparent electrode-attached substrates,
The transparent ion getter film is a film formed by applying the coating solution for forming a transparent ion getter film.

【0017】本発明に係る第2の液晶表示セルは、基板
の表面にカラーフィルター、透明イオンゲッター膜、透
明電極膜および配向膜が順次積層されてなる一対の透明
電極付基板が、それぞれの透明電極同士が対向するよう
に所定の間隔をあけて配置され、この一対の透明電極付
基板の間にあけられた間隙に液晶が封入されている液晶
表示セルにおいて、透明イオンゲッター膜が、前記透明
イオンゲッター膜形成用塗布液を塗布して形成された膜
であることを特徴としている。
In the second liquid crystal display cell according to the present invention, a pair of transparent electrode substrates each having a color filter, a transparent ion getter film, a transparent electrode film, and an alignment film sequentially laminated on the surface of the substrate are provided. In a liquid crystal display cell in which electrodes are arranged at predetermined intervals so as to face each other and liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of transparent electrode-attached substrates, the transparent ion getter film is formed of the transparent ion getter film. The film is characterized by being a film formed by applying a coating liquid for forming an ion getter film.

【0018】本発明に係る第3の液晶表示セルは、基板
の表面にはTFTアレイ、透明イオンゲッター膜、透明
電極膜および配向膜が順次積層されてなる一対の透明電
極付基板が、それぞれの透明電極同士が対向するように
所定の間隔をあけて配置され、この一対の透明電極付基
板の間にあけられた間隙に液晶が封入されている液晶表
示セルにおいて、透明イオンゲッター膜が、前記透明イ
オンゲッター膜形成用塗布液を塗布して形成された膜で
あることを特徴としている。
In the third liquid crystal display cell according to the present invention, a pair of transparent electrode substrates each having a TFT array, a transparent ion getter film, a transparent electrode film, and an alignment film sequentially laminated on the surface of the substrate are provided. In a liquid crystal display cell in which the transparent electrodes are arranged at predetermined intervals so as to face each other and the liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of transparent electrode-attached substrates, the transparent ion getter film is It is a film formed by applying a coating solution for forming a transparent ion getter film.

【0019】[0019]

【発明の具体的説明】以下本発明に係る透明イオンゲッ
ター膜形成用塗布液、該膜付基材および液晶表示セルに
ついて具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Hereinafter, the coating liquid for forming a transparent ion getter film, the substrate with the film and the liquid crystal display cell according to the present invention will be described in detail.

【0020】[透明イオンゲッター膜形成用塗布液]ま
ず本発明に係る透明イオンゲッター膜形成用塗布液につ
いて説明する。本発明に係る透明イオンゲッター膜形成
用塗布液は、(A)マトリックス形成成分および(B)
イオン吸着性無機微粒子が、水と有機溶媒とからなる混
合溶媒に分散されている (A)マトリックス形成成分 本発明の透明イオンゲッター膜形成用塗布液に用いられ
る(A)マトリックス形成成分は、(a)アセチルアセト
ナトキレート化合物、(b)有機ケイ素化合物、(c)ポリシ
ラザンおよび(d)金属アルコキシドから選ばれる1種ま
たは2種以上の混合物からなることが好ましい。なお、
このようなマトリックス形成成分は、マトリックスの前
駆体である。
[Transparent Ion Getter Film Forming Coating Solution] First, the transparent ion getter film forming coating solution according to the present invention will be described. The coating solution for forming a transparent ion getter film according to the present invention comprises (A) a matrix-forming component and (B)
( A) Matrix-forming component The ( A) matrix-forming component used in the coating solution for forming a transparent ion getter film of the present invention is ( A) a matrix-forming component in which the ion-adsorbing inorganic fine particles are dispersed in a mixed solvent composed of water and an organic solvent. It is preferably composed of one or a mixture of two or more selected from a) an acetylacetonato chelate compound, (b) an organosilicon compound, (c) a polysilazane, and (d) a metal alkoxide. In addition,
Such a matrix forming component is a precursor of the matrix.

【0021】(a)アセチルアセトナトキレート化合物 本発明に用いられるアセチルアセトナトキレート化合物
はアセチルアセトンを配位子とするキレート化合物で、
下記化学式(1)で表される化合物またはその縮合体で
ある。
(A) Acetylacetonate chelate compound The acetylacetonate chelate compound used in the present invention is a chelate compound having acetylacetone as a ligand,
It is a compound represented by the following chemical formula (1) or a condensate thereof.

【0022】[0022]

【化1】 Embedded image

【0023】〔ただし、式中、a+bは2〜4であり、
aは0〜3であり、bは1〜4であり、Rは−Cn
2n+1(n=3または4)であり、Xは−CH3、−OC
3、−C25 または−OC25 である。M1は周期率
表第IB族、第IIA、B族、第IIIA、B族、第IVA、
B族、第VA、B族、第VIA族、第VII A族、第VIII族
から選ばれる元素またはバナジル(VO)である。この
内、これらの元素などとa、bの好ましい組み合わせ
は、次表の通りである。〕
(Where a + b is 2 to 4;
a is 0 to 3, b is 1 to 4, R is -C n H
2n + 1 is (n = 3 or 4), X is -CH 3, -OC
H 3, a -C 2 H 5 or -OC 2 H 5. M 1 is a periodic table of groups IB, IIA, B, IIIA, B, IVA,
An element selected from Group B, VA, Group B, Group VIA, Group VIIA and Group VIII, or vanadyl (VO). Of these, preferred combinations of these elements and a and b are as shown in the following table. ]

【0024】[0024]

【表1】 [Table 1]

【0025】このような化合物の具体例としては、たと
えばジブトキシ−ビスアセチルアセトナトジルコニウ
ム、トリブトキシ−モノアセチルアセトナトジルコニウ
ム、ビスアセチルアセトナト鉛、トリスアセチルアセト
ナト鉄、ジブトキシ−ビスアセチルアセトナトハフニウ
ム、モノアセチルアセトナト−トリブトキシハフニウム
などが挙げられる。
Specific examples of such a compound include, for example, dibutoxy-bisacetylacetonatozirconium, tributoxy-monoacetylacetonatozirconium, lead bisacetylacetonato, iron trisacetylacetonato, dibutoxy-bisacetylacetonatohafnium, Monoacetylacetonato-tributoxyhafnium and the like.

【0026】(b)ケイ素化合物 本発明に用いられる有機ケイ素化合物としては、 一般式 Ra −Si(OR’)4-a (2) (ただし、式中、Rは−Cn 2n+1またはC65であ
り、R’は−Cn 2n+1または−C2 4 OCn 2n+1
であり、aは0ないし3の整数であり、nは1ないし4
の整数である。)で示される有機ケイ素化合物が用いら
れる。
(B) Silicon Compound The organosilicon compound used in the present invention includes a compound represented by the general formula: R a —Si (OR ′) 4-a (2) (where R is —C n H 2n + 1) or a C 6 H 5, R 'is -C n H 2n + 1 or -C 2 H 4 OC n H 2n + 1
Wherein a is an integer of 0 to 3, and n is 1 to 4
Is an integer. The organic silicon compound represented by the formula (1) is used.

【0027】このような有機ケイ素化合物としては、具
体的には、たとえばテトラメトキシシラン、テトラエト
キシシラン、モノメチルトリメトキシシラン、モノエチ
ルトリエトキシシラン、モノエチルトリメトキシシラ
ン、モノメチルトリエトキシシランなどが好ましく用い
られる。
Specific examples of such an organosilicon compound include, for example, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, monomethyltrimethoxysilane, monoethyltriethoxysilane, monoethyltrimethoxysilane, and monomethyltriethoxysilane. Used.

【0028】これらの有機ケイ素化合物は、そのままの
状態でも、あるいは部分加水分解して用いてもよい。こ
のような部分加水分解は、従来から行われている通常の
方法、たとえばメタノールまたはエタノールなどのアル
コールに有機ケイ素化合物を混合し、水と酸とを加えて
部分加水分解する方法に従って得ることができる。
These organosilicon compounds may be used as they are or after partial hydrolysis. Such partial hydrolysis can be obtained according to a conventional method, for example, a method in which an organosilicon compound is mixed with an alcohol such as methanol or ethanol, and water and an acid are added to perform partial hydrolysis. .

【0029】上記有機ケイ素化合物が添加された本発明
に係る透明被膜形成用塗布液を基材上に塗布し、得られ
た被膜を乾燥・焼成すると、耐擦傷性、耐酸性、耐アル
カリ性、耐水性および絶縁性に優れた被膜が形成され
る。
The coating liquid for forming a transparent film according to the present invention, to which the above-mentioned organosilicon compound is added, is applied on a substrate, and the obtained film is dried and fired to obtain scratch resistance, acid resistance, alkali resistance, water resistance. A film having excellent properties and insulating properties is formed.

【0030】(c)金属アルコキシド またマトリックス形成成分として使用される金属アルコ
キシドとしては、M2(OR)n (式中、M2は金属原子で
あり、Rはアルキル基または−Cm 2m2(m=3〜
10)であり、nはM2の原子価と同じ整数である。)
で表される化合物またはそれらの縮合体が好ましく、こ
れらの化合物またはその縮合体から選ばれる1種または
2種以上を組み合わせて用いることができる。上記式中
のM2は、金属であれば特に限定されることはないが、
好ましいM2は、Be、Al、Sc、Ti、V、Cr、
Fe、Ni,Zn、Ga、Ge、As、Se、Y、Z
r、Nb、In、Sn、Sb、Te、Hf、Ta、W、
Pb、Bi、CeまたはCuである。
(C) M 2 (OR) n (where M 2 is a metal atom, and R is an alkyl group or —C m H 2m O 2) 2 (m = 3 ~
10), and n is the same integer as the valence of M 2 . )
Or a condensate thereof is preferred, and one or more of these compounds or condensates thereof can be used in combination. M 2 in the above formula is not particularly limited as long as it is a metal,
Preferred M 2 is Be, Al, Sc, Ti, V, Cr,
Fe, Ni, Zn, Ga, Ge, As, Se, Y, Z
r, Nb, In, Sn, Sb, Te, Hf, Ta, W,
Pb, Bi, Ce or Cu.

【0031】このような金属アルコキシドとしては、具
体的には、テトラブトキシジルコニウム、ジイソプロポ
キシ−ジオクチルオキシチタニウム、ジエトキシ鉛など
が好ましく用いられる。
As such a metal alkoxide, specifically, tetrabutoxyzirconium, diisopropoxy-dioctyloxytitanium, diethoxylead and the like are preferably used.

【0032】上記金属アルコキシドを添加した本発明に
係る透明被膜形成用塗布液を塗布・乾燥・焼成すると、
この金属アルコキシドの重合硬化により、耐擦傷性、耐
酸性、耐アルカリ性、耐水性および絶縁性に優れた被膜
が形成される。
When the coating liquid for forming a transparent film according to the present invention to which the above-mentioned metal alkoxide is added is applied, dried and fired,
By the polymerization and curing of the metal alkoxide, a film having excellent scratch resistance, acid resistance, alkali resistance, water resistance and insulation properties is formed.

【0033】(d)ポリシラザン またマトリックス形成成分として用いられるポリシラザ
ンは、下記式(3)で表される繰り返し単位を有するも
のである。
(D) Polysilazane or polysilazane used as a matrix-forming component has a repeating unit represented by the following formula (3).

【0034】[0034]

【化2】 Embedded image

【0035】〔ただし、式中、R1、R2およびR3は、
それぞれ水素原子または炭素原子数1〜8のアルキル基
である。〕 マトリクス形成成分として、前記式(3)で表されるポ
リシラザンを用いる場合、アルキル基がメチル基、エチ
ル基、またはプロピル基であるポリシラザンが好まし
い。この場合には、加熱時に分解するアルキル基がな
く、加熱時に膜の収縮が少なく、このため収縮ストレス
時にクラックが生じることが少なくなり、クラックのほ
とんどない透明イオンゲッター膜が得られる。
Wherein R 1 , R 2 and R 3 are
Each is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms. When a polysilazane represented by the formula (3) is used as a matrix-forming component, a polysilazane in which the alkyl group is a methyl group, an ethyl group, or a propyl group is preferable. In this case, there is no alkyl group that decomposes when heated, and the film shrinks less during heating, and therefore, cracks are less likely to occur during shrinkage stress, and a transparent ion getter film with almost no cracks is obtained.

【0036】また、上記式(3)で表される繰り返し単
位を有するポリシラザンは、直鎖状であっても、環状で
あってもよく、直鎖状のポリシラザンと環状のポリシラ
ザンとが混合して含まれていてもよい。
The polysilazane having a repeating unit represented by the above formula (3) may be linear or cyclic, and is obtained by mixing linear polysilazane and cyclic polysilazane. May be included.

【0037】さらに、このようなポリシラザンの数平均
分子量は、500〜10,000、好ましくは1,00
0〜4,000の範囲にあることが望ましい。数平均分
子量が500未満では、加熱硬化時に低分子量のポリシ
ラザンが揮発し、得られた透明イオンゲッター膜が多孔
質になりやすく、また、分子量が10,000を越える
と、塗布液の流動性が低下する傾向がある。
Further, the number average molecular weight of such a polysilazane is 500 to 10,000, preferably 1,000.
It is desirable to be in the range of 0 to 4,000. When the number average molecular weight is less than 500, the low molecular weight polysilazane volatilizes during heating and curing, and the obtained transparent ion getter film tends to be porous. When the molecular weight exceeds 10,000, the fluidity of the coating solution becomes poor. Tends to decrease.

【0038】本発明では、このような(A)マトリック
ス形成成分を、単独で使用しても、あるいは2種以上混
合して使用してもよい。 (A)マトリックス形成成分として2種以上併用する場
合、(a)アセチルアセトナトキレート化合物、(b)有機ケ
イ素化合物、(c)ポリシラザン、(d)金属アルコキシドを
それぞれ、酸化物、窒化物に換算したとき、すなわち
(a)アセチルアセトナトキレート化合物を(M1x)で
表し、(b)有機ケイ素化合物を(SiO2)で表し、(c)ポ
リシラザンを(SiN)で表し、(d)金属アルコキシドを
(M2 x)で表したとき、各成分の重量比が、以下のよ
うな関係を満たしていることが望ましい。
In the present invention, such a (A) matrix
Components may be used alone or in combination of two or more.
They may be used in combination. (A) When two or more types are used in combination as matrix forming components
(A) acetylacetonato chelate compound, (b) organic ketone
Iodine compound, (c) polysilazane, (d) metal alkoxide
When converted to oxides and nitrides, respectively,
(a) An acetylacetonato chelate compound (M1Ox)so
And (b) an organosilicon compound represented by (SiO 2)Two) And (c)
Lysilazane is represented by (SiN), and (d) metal alkoxide is
(MTwoO x), The weight ratio of each component is
It is desirable to satisfy such a relationship.

【0039】 0≦M1x/(SiO2+SiN+M2x)≦10 アセチルアセトナトキレート化合物を使用する場合、こ
の値が0.001以上であると、耐アルカリ性、耐酸
性、耐塩水性、耐水性、耐溶剤性に優れた被膜を得るこ
とができる。
0 ≦ M 1 O x / (SiO 2 + SiN + M 2 O x ) ≦ 10 When an acetylacetonato chelate compound is used, if this value is 0.001 or more, alkali resistance, acid resistance, salt water resistance, A film having excellent water resistance and solvent resistance can be obtained.

【0040】また、有機ケイ素化合物およびポリシラザ
ンと金属アルコキシドとの配合割合は、0≦M2x
(SiO2+SiN+M2x)≦1.0であることが好ま
しい。(B)イオン吸着性無機微粒子 本発明の透明イオンゲッター膜形成用塗布液に用いられ
る(B)イオン吸着性無機微粒子は、無機イオン、特に
液晶中に存在する無機イオンを吸着しうる微粒子であっ
て、平均粒子径が1nm〜10μmの範囲にあることが
好ましく、さらに好ましい範囲は10nm〜5μmであ
る。また、イオン吸着容量は0.1〜3.0mmol/
g、好ましくは0.2〜3.0mmol/gの範囲にあ
ることが好ましい。なお、(B)イオン吸着性無機微粒
子が吸着しうるイオンとしては、たとえば、Na+
+、Rb+、Cs+、Li+、Ag+、Mg+、Ca+、S
+、Ba+、NH4 +などが挙げられる。
The mixing ratio of the organosilicon compound and the polysilazane to the metal alkoxide is 0 ≦ M 2 O x /
It is preferable that (SiO 2 + SiN + M 2 O x ) ≦ 1.0. (B) Ion-adsorbing inorganic fine particles The (B) ion-adsorbing inorganic fine particles used in the coating solution for forming a transparent ion getter film of the present invention are fine particles capable of adsorbing inorganic ions, particularly inorganic ions present in the liquid crystal. The average particle diameter is preferably in the range of 1 nm to 10 μm, and more preferably 10 nm to 5 μm. The ion adsorption capacity is 0.1 to 3.0 mmol /
g, preferably in the range of 0.2 to 3.0 mmol / g. In addition, (B) ions that can be adsorbed by the ion-adsorbing inorganic fine particles include, for example, Na + ,
K + , Rb + , Cs + , Li + , Ag + , Mg + , Ca + , S
r + , Ba + , NH 4 + and the like.

【0041】イオン吸着性無機微粒子は、平均粒子径が
小さくなるとイオン吸着容量は高くなり、イオン吸着速
度は早くなる傾向があるものの、平均粒径が1nm未満
になると、さらにイオン吸着容量が高くなることもイオ
ン吸着速度が早くなることもなく、さらにまた透明イオ
ンゲッター膜の表面にポリイミド樹脂などの疎水性の強
い樹脂からなる別の膜を密着性よく形成することができ
ないことがある。また、平均粒子径が10μmを超える
とイオン吸着容量およびイオン吸着速度が低下するとと
もにイオンゲッター膜の透明性が低下することがある。
The ion-adsorbing inorganic fine particles tend to have a higher ion-adsorbing capacity and a higher ion-adsorbing speed when the average particle diameter is smaller, but have a higher ion-adsorbing capacity when the average particle diameter is smaller than 1 nm. In addition, the ion adsorption speed does not increase, and another film made of a highly hydrophobic resin such as a polyimide resin cannot be formed on the surface of the transparent ion getter film with good adhesion. On the other hand, if the average particle size exceeds 10 μm, the ion adsorption capacity and the ion adsorption rate may be reduced, and the transparency of the ion getter film may be reduced.

【0042】特に、平均粒子径が50nm以下、好まし
くは10〜40nmのイオン吸着性無機微粒子を含む塗
布液を用いて、30nm〜100μmの厚さで電極膜と
配向膜の間に形成されたイオンゲッター膜は、表面に1
〜10nmの均一な表面荒さを有するので、疎水性の配
向膜との密着性に優れている。
In particular, using a coating solution containing ion-adsorbing inorganic fine particles having an average particle diameter of 50 nm or less, preferably 10 to 40 nm, the ions formed between the electrode film and the alignment film with a thickness of 30 nm to 100 μm. The getter film has 1
Since it has a uniform surface roughness of 10 to 10 nm, it has excellent adhesion to a hydrophobic alignment film.

【0043】また、イオン吸着容量が0.1mmol/
gより少ないと、イオンを充分に吸着することができな
いので、可動イオンによる表示不良を起こしたり、長期
信頼性に欠けることがあり、3.0mmol/gより大
きいイオン吸着量を有するイオン吸着性無機微粒子は得
ることが困難である。
The ion adsorption capacity is 0.1 mmol /
If the amount is less than 0.1 g, ions cannot be sufficiently adsorbed, so that display defects due to mobile ions may occur or long-term reliability may be lacking. Fine particles are difficult to obtain.

【0044】このようなイオン吸着性無機微粒子の平均
粒子径はレーザードップラー法またはTEM観察によっ
て求めることができる。また、イオン吸着性無機微粒子
のイオン吸着容量は以下のような方法で測定される。
The average particle diameter of such ion-adsorbing inorganic fine particles can be determined by a laser Doppler method or TEM observation. The ion adsorption capacity of the ion-adsorbing inorganic fine particles is measured by the following method.

【0045】濃度1重量%のNaCl水溶液100g
に、120℃で乾燥して恒量化した無機イオン吸着体
1.5gを加え、室温(25℃)で15時間攪拌した
後、濾過して濾液を採取し、濾液中のNaイオン濃度を
原子吸光法により分析し、元のNaCl水溶液のNaイ
オン濃度との濃度差から、無機イオン吸着体のイオン吸
着量(mmol/g)を求める。
100 g of a 1% by weight aqueous NaCl solution
Was added at room temperature (25 ° C.) for 15 hours, and then filtered to collect the filtrate. The Na ion concentration in the filtrate was measured by atomic absorption. The amount of ion adsorption (mmol / g) of the inorganic ion adsorbent is determined from the concentration difference from the original Na ion concentration of the aqueous NaCl solution.

【0046】本発明の透明イオンゲッター膜形成用塗布
液に用いるイオン吸着性無機微粒子としては、イオン吸
着容量および平均粒子径が前記範囲にあれば特に制限は
ないが、MOX・nH2Oで表され、付着水以外の結晶
水、構造水酸基、表面水酸基のいずれかを金属酸化物
(MOX)1モル当たり水(H2O)をモル数nが0.0
2〜5の範囲で有している金属酸化物が好ましい。さら
に好ましい範囲は0.1〜3である。
[0046] The ion-adsorbing inorganic fine particles used in the transparent ion getter film-forming coating solution of the present invention is not particularly limited if the ion adsorption capacity and average particle diameter of above range, with MO X · nH 2 O In the formula, any one of crystal water, structural hydroxyl group, and surface hydroxyl group other than the adhered water is converted into water (H 2 O) per mole of metal oxide (MO X ) by mole number n of 0.0.
Metal oxides having from 2 to 5 are preferred. A more preferred range is from 0.1 to 3.

【0047】このようなイオン吸着性無機微粒子を構成
する金属酸化物としては、SiO2、Al23、ZrO2
TiO2、SnO2、In23、Sb25などの金属酸化物、
SiO 2・Al23、SiO2・TiO2、In23・SnO2
Sb25・SnO2、SnO2・In23・Sb25などの複
合金属酸化物あるいは固溶体、ゼオライト(結晶性アル
ミノシリケート)などが挙げられる。さらに、これらの
2種以上の混合物も好ましく用いられる。
Constituting such ion-adsorbing inorganic fine particles
The metal oxide to be used is SiO.Two, AlTwoOThree, ZrOTwo,
TiOTwo, SnOTwo, InTwoOThree, SbTwoOFiveMetal oxides, such as
SiO Two・ AlTwoOThree, SiOTwo・ TiOTwo, InTwoOThree・ SnOTwo,
SbTwoOFive・ SnOTwo, SnOTwo・ InTwoOThree・ SbTwoOFiveAnd so on
Mixed metal oxide or solid solution, zeolite (crystalline
Minosilicate) and the like. In addition, these
Mixtures of two or more are also preferably used.

【0048】上記したイオン吸着性無機微粒子中の水の
モル数nの値が0.02モル未満ではイオン吸着容量が
小さすぎて液晶中のイオンを効果的に吸着することがで
きず、5モルを越えて高い場合はイオンゲッター膜上
に、スパッタリング法でITO膜を形成する際などに、
水分子として脱離するためにスパッタリング装置内の真
空到達時間が長くなる傾向があるので好ましくない。
If the value of the number of moles n of water in the above-mentioned ion-adsorbing inorganic fine particles is less than 0.02 mol, the ion adsorption capacity is too small to effectively adsorb the ions in the liquid crystal. If it is too high, when forming an ITO film on the ion getter film by sputtering,
It is not preferable because the desorption as water molecules tends to increase the time to reach vacuum in the sputtering apparatus.

【0049】このようなイオン吸着性無機微粒子に含ま
れる水のモル数nの値は、120℃で乾燥して恒量化し
たイオン吸着性無機微粒子の示差熱分析により、500
℃までに減少した水の量を、金属酸化物1モルあたりの
水のモル数として計算することによって求めることがで
きる。
The value of the number of moles n of water contained in such ion-adsorbing inorganic fine particles was determined by differential thermal analysis of the ion-adsorbing inorganic fine particles dried at 120.degree.
It can be determined by calculating the amount of water reduced to ° C. as moles of water per mole of metal oxide.

【0050】さらに、必要に応じて上記イオン吸着性無
機微粒子以外の絶縁性または導電性の無機化合物微粒子
を用いてもよい。このようなイオン吸着性無機微粒子
は、水または有機溶媒に分散したゾルの状態で用いるこ
とが好ましいが、イオン吸着性無機微粒子を透明イオン
ゲッター膜形成用塗布液中に単分散または単分散に近い
状態で分散できればゾル以外の状態にあるイオン吸着性
無機微粒子を用いてもよい。
Further, if necessary, insulating or conductive inorganic compound fine particles other than the above-mentioned ion-adsorbing inorganic fine particles may be used. Such ion-adsorbing inorganic fine particles are preferably used in the form of a sol dispersed in water or an organic solvent, but the ion-adsorbing inorganic fine particles are monodispersed or nearly monodispersed in a coating solution for forming a transparent ion getter film. As long as the particles can be dispersed in the state, the ion-adsorbing inorganic fine particles in a state other than the sol may be used.

【0051】透明被膜形成用塗布液組成 本発明に係る透明被膜形成用塗布液は、(A)マトリッ
クス形成成分と(B)イオン吸着性無機微粒子とが水と
有機溶媒とからなる混合溶媒に均一に溶解または分散さ
れている。
Composition of the Coating Solution for Forming a Transparent Film The coating solution for forming a transparent film according to the present invention is prepared by uniformly dissolving (A) the matrix-forming component and (B) the ion-adsorbing inorganic fine particles in a mixed solvent comprising water and an organic solvent. Dissolved or dispersed in

【0052】このような透明被膜形成用塗布液に使用さ
れる有機溶媒としては、アルコール類、エーテル類、グ
リコール類、ケトン類などから選ばれる公知の有機溶媒
が使用される。このような有機溶媒は、単独で、または
2種以上を混合して使用してもよい。
As the organic solvent used in such a coating liquid for forming a transparent film, a known organic solvent selected from alcohols, ethers, glycols, ketones and the like is used. Such organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

【0053】本発明に係る塗布液中の固形分濃度は、
(A)マトリックス形成成分および(B)イオン吸着性
無機微粒子を酸化物、窒化物に換算した合計値で、15
重量%以下であることが好ましい。この値が15重量%
を越えると、塗布液の保存安定性が低下する傾向が生
じ、一方、この固形分濃度が極端に低いと、目的の膜厚
を得るのに多数回の塗布操作を繰り返すことが必要とな
るので、固形分濃度は0.1重量%以上が実用的であ
る。
The solid content concentration in the coating solution according to the present invention is:
The total value of (A) the matrix-forming component and (B) the ion-adsorbing inorganic fine particles as oxides and nitrides is 15
It is preferable that the content be not more than weight%. This value is 15% by weight
If the solids concentration is extremely low, on the other hand, if the solid content concentration is extremely low, it will be necessary to repeat the coating operation many times to obtain the desired film thickness. The solid content concentration is practically 0.1% by weight or more.

【0054】マトリックス形成成分(A)は、酸化物、
窒化物換算で、形成したイオンゲッター膜中に、30〜
95重量%となるような量で塗布液中に、含まれている
ことが望ましい。
The matrix-forming component (A) is an oxide,
In terms of nitride, 30 to
It is desirable that it be contained in the coating liquid in an amount of 95% by weight.

【0055】また(B)イオン吸着性無機微粒子は、塗
布液中に、酸化物換算で、形成したイオンゲッター膜中
に5〜70重量%の範囲となるような量で存在している
ことが好ましい。このような範囲で、イオン吸着性無機
微粒子がイオンゲッター膜中に存在していると、この塗
布液から得られたイオンゲッター膜の表面に、さらにポ
リイミド樹脂などの疎水性の強い樹脂からなる別の被膜
が密着性よく形成できるとともに、液晶パネル中のイオ
ンを効果的に低減できる透明イオンゲッター膜が形成で
きる。なお、濃度が70重量%を越えると、この塗布液
から形成されるイオンゲッター膜と下部基板、TFTア
レイ、カラーフィルターなどとの密着性が低下すること
がある。
Further, (B) the ion-adsorbing inorganic fine particles may be present in the coating solution in such an amount as to be in the range of 5 to 70% by weight in the formed ion getter film in terms of oxide. preferable. In such a range, when the ion-adsorbing inorganic fine particles are present in the ion getter film, the surface of the ion getter film obtained from this coating solution is further coated with another highly hydrophobic resin such as a polyimide resin. Can be formed with good adhesion and a transparent ion getter film capable of effectively reducing ions in the liquid crystal panel can be formed. If the concentration exceeds 70% by weight, the adhesion between the ion getter film formed from this coating solution and the lower substrate, the TFT array, the color filter, etc. may be reduced.

【0056】さらに、必要に応じてこれらのイオン吸着
性無機微粒子以外の絶縁性または導電性の無機化合物微
粒子が含まれている場合も、塗布液には、イオン吸着性
無機微粒子とイオン吸着性無機微粒子以外の微粒子は、
形成したイオンゲッター膜中に酸化物、窒化物の合計と
して5〜70重量%の範囲の量で存在していることが好
ましい。
Further, if necessary, even when insulating or conductive inorganic compound fine particles other than these ion-adsorbing inorganic fine particles are contained, the coating solution contains the ion-adsorbing inorganic fine particles and the ion-adsorbing inorganic fine particles. Fine particles other than fine particles
It is preferable that the total amount of oxides and nitrides is present in the formed ion getter film in the range of 5 to 70% by weight.

【0057】本発明に係る透明被膜形成用塗布液塗布液
中の水分濃度は、0.1〜50重量%の範囲であること
が好ましい。水分濃度が0.1重量%未満であると、ア
セチルアセトナトキレート化合物、有機ケイ素化合物、
ポリシラザンおよび金属アルコキシドの加水分解、縮重
合および複合化などが充分になされず、得られる被膜の
耐擦傷性、耐久性が低下する傾向にあり、また、50重
量%を越えると、塗布の際、塗布液が基材からはじかれ
やすくなり、被膜を形成しにくくなることがある。
The coating solution for forming a transparent film according to the present invention preferably has a water concentration in the range of 0.1 to 50% by weight. When the water concentration is less than 0.1% by weight, an acetylacetonato chelate compound, an organosilicon compound,
Hydrolysis, polycondensation, and complexation of polysilazane and metal alkoxide are not sufficiently performed, and the resulting coating tends to have reduced scratch resistance and durability. The coating liquid may be easily repelled from the base material, making it difficult to form a film.

【0058】本発明に係る透明被膜形成用塗布液では、
塗布液中に含まれる(A)マトリックス形成成分と
(B)イオン吸着性無機微粒子との混合割合、(A)マ
トリックス形成成分に含まれる金属種、(B)イオン吸
着性無機微粒子の種類などによって、得られる被膜の屈
折率および誘電率が自由にコントロールすることができ
る。
In the coating liquid for forming a transparent film according to the present invention,
The mixing ratio of (A) the matrix-forming component and (B) the ion-adsorbing inorganic fine particles contained in the coating liquid, (A) the metal species contained in the matrix-forming component, (B) the type of the ion-adsorbing inorganic fine particles, etc. The refractive index and the dielectric constant of the obtained film can be freely controlled.

【0059】このようにして透明電極付基板の透明電極
上に屈折率がコントロールされたイオンゲッター膜を形
成することにより、たとえばこの上に形成される配向膜
の屈折率より高くして電極などが透けて見えるのを防止
することができる。
By forming an ion getter film having a controlled refractive index on the transparent electrode of the substrate with a transparent electrode in this manner, for example, the electrode or the like is made higher than the refractive index of the alignment film formed thereon. It can prevent seeing through.

【0060】本発明の透明イオンゲッター膜形成用塗布
液を用いて形成された透明イオンゲッター膜は、細孔容
積が0.01〜0.3ml/gの範囲にあり、平均細孔径
が1〜20nmの範囲にある細孔を有していることが好
ましい。
The transparent ion getter film formed using the coating solution for forming a transparent ion getter film of the present invention has a pore volume in the range of 0.01 to 0.3 ml / g and an average pore diameter of 1 to 0.3 ml / g. It preferably has pores in the range of 20 nm.

【0061】細孔容積が0.01ml/g未満では、細
孔が少ないためにイオン吸着性無機微粒子のイオン吸着
能を充分発現することができず、0.3ml/gを超え
ると膜の強度が不十分となることがある。
If the pore volume is less than 0.01 ml / g, the pores are so small that the ion-adsorbing inorganic fine particles cannot sufficiently exhibit the ion-adsorbing ability. May be insufficient.

【0062】また、平均細孔径が1nm未満では、電圧
を印加した際のイオンの拡散速度が遅く、イオン吸着性
無機微粒子のイオン吸着能を充分発現することができな
いことがある。また、平均細孔径が20nmを超えると
膜の強度が不十分となることがある。
When the average pore diameter is less than 1 nm, the diffusion rate of ions when a voltage is applied is low, and the ion-adsorbing inorganic fine particles may not be able to sufficiently exhibit the ion-adsorbing ability. If the average pore diameter exceeds 20 nm, the strength of the membrane may be insufficient.

【0063】このような透明イオンゲッター膜の細孔容
積および平均細孔径は、基板上に形成した透明イオンゲ
ッター膜を剥離し、剥離した透明イオンゲッター膜につ
いてN2吸着法によって測定される。
The pore volume and the average pore diameter of such a transparent ion getter film are measured by peeling the transparent ion getter film formed on the substrate, and using the peeled transparent ion getter film by the N 2 adsorption method.

【0064】[被膜付基材]次に、本発明に係る被膜付
基材について具体的に説明する。本発明に係る被膜付基
材は、基材表面に上記透明イオンゲッター膜形成用塗布
液を塗布してなる透明イオンゲッター膜が形成されてい
ることを特徴としている。
[Coated Substrate] Next, the coated substrate according to the present invention will be specifically described. The substrate with a film according to the present invention is characterized in that a transparent ion getter film formed by applying the above-mentioned coating solution for forming a transparent ion getter film is formed on the surface of the substrate.

【0065】透明イオンゲッター膜の細孔容積は、0.
01〜0.3ml/g、好ましくは0.05〜0.2ml/gの
範囲にあることが好ましい。また、透明イオンゲッター
膜の平均細孔径は、1〜20nm、好ましくは2〜8nmの
範囲にあることが好ましい。
[0065] The pore volume of the transparent ion getter membrane is 0.1 mm.
It is preferably in the range of from 01 to 0.3 ml / g, preferably from 0.05 to 0.2 ml / g. Further, the average pore diameter of the transparent ion getter membrane is preferably in the range of 1 to 20 nm, preferably 2 to 8 nm.

【0066】本発明に係る透明イオンゲッター膜付基材
は、ガラス、プラスチックなどの基材表面に上記のよう
な透明膜形成用塗布液をディッピング法、スピナー法、
スプレー法、ロールコーター法、フレキソ印刷などの方
法で塗布し、次いでこのようにして基材表面に形成され
た被膜を常温〜90℃で乾燥し、さらに200℃以上、
場合によっては300℃以上に加熱して硬化するなどの
方法により形成される。
The substrate with a transparent ion getter film according to the present invention may be prepared by dipping the above-mentioned coating solution for forming a transparent film on a surface of a substrate such as glass or plastic by a dipping method, a spinner method, or the like.
Spray method, roll coater method, applied by a method such as flexographic printing, and then the coating thus formed on the substrate surface is dried at room temperature to 90 ° C., and further dried at 200 ° C. or more.
In some cases, it is formed by a method such as heating to 300 ° C. or more to cure.

【0067】さらにこの基材に形成されている被膜は、
次のような方法で硬化促進処理が施されていてもよい。
硬化促進処理として具体的には、記塗布工程または乾燥
工程の後に、あるいは乾燥工程中に、未硬化段階の被膜
に可視光線よりも波長の短い電磁波を照射したり、未硬
化段階の被膜を硬化反応を促進するガス雰囲気中に晒し
たりする処理が挙げられる。
Further, the coating formed on the substrate is
The curing acceleration treatment may be performed by the following method.
Specifically, as the curing acceleration treatment, after the coating step or the drying step, or during the drying step, the coating at the uncured stage is irradiated with electromagnetic waves having a wavelength shorter than visible light, or the coating at the uncured stage is cured. For example, a treatment of exposing in a gas atmosphere that promotes the reaction may be mentioned.

【0068】このような加熱前の未硬化段階の被膜に照
射する電磁波としては、具体的には紫外線、電子線、X
線、γ線などが例示され、特に紫外線が好ましい。紫外
線を照射処理を行う際には、たとえば、発光強度が約2
50nmと360nmとにおいて極大となり、光強度が
10mW/cm2 以上である高圧水銀ランプを紫外線源
として使用し、100mJ/cm2 以上、好ましくは1
000mJ/cm2 以上のエネルギー量の紫外線を照射
することが望ましい。
The electromagnetic wave applied to the uncured coating before heating is, for example, an ultraviolet ray, an electron beam, or an X-ray.
Rays, γ rays and the like are exemplified, and ultraviolet rays are particularly preferable. When performing the ultraviolet irradiation treatment, for example, the emission intensity is about 2
A high-pressure mercury lamp having a maximum at 50 nm and 360 nm and a light intensity of 10 mW / cm 2 or more is used as an ultraviolet light source, and has a light intensity of 100 mJ / cm 2 or more, preferably 1 mW / cm 2 or more.
It is desirable to irradiate an ultraviolet ray having an energy amount of 000 mJ / cm 2 or more.

【0069】また、加熱前の未硬化段階の被膜の硬化反
応を促進するガスとしては、たとえばアンモニア、オゾ
ンなどが例示される。またこのようなガス処理を行う場
合、未硬化段階の被膜を、ガス濃度が100〜100,
000ppm、好ましくは1000〜10,000pp
mである上記活性ガス雰囲気下に、1〜60分曝すこと
が望ましい。
Examples of the gas for promoting the curing reaction of the uncured film before heating include ammonia and ozone. When such a gas treatment is performed, the uncured film is treated with a gas concentration of 100 to 100,
000 ppm, preferably 1000 to 10,000 pp
Exposure to the above active gas atmosphere of 1 to 60 minutes is desirable.

【0070】なお、このガス処理は、加熱硬化後に行っ
ても同様の効果が得られる。上述したような硬化促進処
理を行うと、透明イオンゲッター膜中に含まれるアセチ
ルアセトナトキレート化合物、有機ケイ素化合物、ポリ
シラザン、金属アルコキシドなどの(A)マトリックス
形成成分の縮重合、複合化が促進されると同時に、膜中
に残存する水および溶媒の蒸発も促進される。このた
め、次の加熱工程において必要とされる加熱温度、加熱
時間などの加熱硬化条件が緩和され、本発明に係るイオ
ンゲッター膜付基材の製造を効率よく進めることができ
る。
The same effect can be obtained even if this gas treatment is performed after heat curing. When the above-mentioned curing acceleration treatment is performed, polycondensation and complexation of the (A) matrix-forming component such as an acetylacetonate chelate compound, an organosilicon compound, polysilazane, and a metal alkoxide contained in the transparent ion getter film are promoted. At the same time, evaporation of water and solvent remaining in the film is promoted. For this reason, the heat curing conditions such as the heating temperature and the heating time required in the next heating step are relaxed, and the production of the substrate with an ion getter film according to the present invention can be efficiently advanced.

【0071】以上のような工程によって本発明に係る透
明イオンゲッター膜付基材が得られる。この基材上に形
成され透明イオンゲッター膜は、表面硬度が高く、密着
性、透明性に優れるとともに、耐擦傷性、耐水性、耐ア
ルカリ性などの耐久性にも優れている上、液晶パネル中
の可動イオンを効果的に低減でき、絶縁抵抗が高く、絶
縁性の膜としても好適である。
The substrate with the transparent ion getter film according to the present invention is obtained by the above steps. The transparent ion getter film formed on this substrate has high surface hardness, excellent adhesiveness and transparency, and also has excellent durability such as scratch resistance, water resistance, alkali resistance, and the like. Can be effectively reduced, the insulation resistance is high, and it is also suitable as an insulating film.

【0072】[液晶表示セル]次に、本発明に係る液晶
表示セルについて、具体的に説明する。本発明に係る液
晶表示セルは、いずれも上記透明イオンゲッター膜形成
用塗布液を使用して形成された透明イオンゲッター膜を
有する透明電極付基板を用いたものである。
[Liquid Crystal Display Cell] Next, the liquid crystal display cell according to the present invention will be specifically described. Each of the liquid crystal display cells according to the present invention uses a substrate with a transparent electrode having a transparent ion getter film formed using the above-mentioned coating solution for forming a transparent ion getter film.

【0073】本発明に係る第1の液晶表示セルは、少な
くとも一方の基板の表面に透明電極膜、透明イオンゲッ
ター膜および配向膜が順次積層されてなる一対の透明電
極付基板が、それぞれの透明電極同士が対向するように
所定の間隔をあけて配置され、この一対の透明電極付基
板の間に設けられた間隙に液晶が封入されている液晶表
示セルである。
In the first liquid crystal display cell according to the present invention, a pair of transparent electrode-containing substrates, each having a transparent electrode film, a transparent ion getter film and an alignment film sequentially laminated on at least one of the surfaces of the substrate, is provided with a transparent electrode film. This is a liquid crystal display cell in which electrodes are arranged at predetermined intervals so as to face each other, and liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of transparent electrode-attached substrates.

【0074】図1は、本発明に係る第1の液晶表示セル
の一態様例を模式的に表す断面図である。この液晶表示
セル1は、ガラス基板11の表面に透明電極膜12、透
明イオンゲッター膜13および配向膜14が順次積層さ
れてなる一対の透明電極付基板2が、それぞれの透明電
極膜12、12同士が対向するように複数のスペーサ粒
子5により所定の間隔dを開けて配置され、この所定間
隔dに開けられた透明電極膜12、12間の隙間に液晶
4が封入されて形成されている。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing one embodiment of the first liquid crystal display cell according to the present invention. In this liquid crystal display cell 1, a pair of substrates 2 with a transparent electrode, in which a transparent electrode film 12, a transparent ion getter film 13 and an alignment film 14 are sequentially laminated on a surface of a glass substrate 11, are formed of transparent electrode films 12, 12 respectively. A plurality of spacer particles 5 are arranged so as to face each other at a predetermined interval d, and the liquid crystal 4 is sealed in the gap between the transparent electrode films 12 and 12 at the predetermined interval d. .

【0075】透明イオンゲッター膜13は、上記透明イ
オンゲッター膜形成用塗布液を透明電極膜12上に塗布
することにより形成した膜であり、この膜は、表面硬度
が高く、透明性および耐擦傷性に優れ、絶縁抵抗が高
く、透明イオンゲッター膜13と配向膜14との密着性
が良好である上に、液晶パネル中の(可動)イオンを効
果的に低減することができる。
The transparent ion getter film 13 is a film formed by applying the above-mentioned coating solution for forming a transparent ion getter film on the transparent electrode film 12. This film has a high surface hardness, transparency and scratch resistance. In addition to having excellent properties, high insulation resistance, good adhesion between the transparent ion getter film 13 and the alignment film 14, (movable) ions in the liquid crystal panel can be effectively reduced.

【0076】なお、本発明に係る第1の液晶表示セルで
は、ガラス基板11と透明電極膜12との間にさらにS
iO2 膜などのアルカリパッシベーション膜を形成した
透明電極付基板を用いてもよいなど、さまざまな変形が
可能である。
In the first liquid crystal display cell according to the present invention, an additional S is provided between the glass substrate 11 and the transparent electrode film 12.
Various modifications are possible, such as using a substrate with a transparent electrode on which an alkali passivation film such as an iO 2 film is formed.

【0077】本発明に係る第2の液晶表示セルは、少な
くとも一方の基板の表面にカラーフィルター、透明イオ
ンゲッター膜、透明電極膜および配向膜が順次積層され
てなる一対の透明電極付基板が、それぞれの透明電極同
士が対向するように所定の間隔をあけて配置され、この
一対の透明電極付基板の間にあけられた間隙に液晶が封
入されている液晶表示セルである。
The second liquid crystal display cell according to the present invention comprises a pair of transparent electrode substrates each having a color filter, a transparent ion getter film, a transparent electrode film, and an alignment film sequentially laminated on at least one substrate surface. This is a liquid crystal display cell in which transparent electrodes are arranged at predetermined intervals so as to face each other, and liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of transparent electrode-attached substrates.

【0078】図2は、本発明に係る第2の液晶表示セル
の一態様例を模式的に表す概略図である。この図2にそ
の特徴的部分が示されているカラー液晶表示装置1'
は、ガラス基板21a上にアルカリパッシベーション膜
21b、複数の画素電極21c、透明イオンゲッター膜
21dおよび配向膜21eが順次積層された電極板21
と、ガラス基板22a上にアルカリパッシベーション膜
22b、カラーフィルター22c、透明イオンゲッター
膜22d、透明電極22eおよび配向膜22fが順次積
層された対向電極板22を有する液晶表示セル2'と、
この液晶表示セルの両側に一対の偏光板3'、4'とを備
えている。このうち、透明イオンゲッター膜21dおよ
び22dは、前記透明イオンゲッター膜形成用塗布液を
塗布して形成された膜である。
FIG. 2 is a schematic diagram schematically showing one embodiment of the second liquid crystal display cell according to the present invention. A color liquid crystal display device 1 'whose characteristic part is shown in FIG.
Is an electrode plate 21 in which an alkali passivation film 21b, a plurality of pixel electrodes 21c, a transparent ion getter film 21d, and an alignment film 21e are sequentially laminated on a glass substrate 21a.
A liquid crystal display cell 2 ′ having a counter electrode plate 22 in which an alkali passivation film 22b, a color filter 22c, a transparent ion getter film 22d, a transparent electrode 22e, and an alignment film 22f are sequentially stacked on a glass substrate 22a;
A pair of polarizing plates 3 ', 4' is provided on both sides of the liquid crystal display cell. Among these, the transparent ion getter films 21d and 22d are films formed by applying the coating liquid for forming a transparent ion getter film.

【0079】前記液晶表示セル2の電極板21と対向電
極板22とは、それぞれのガラス基板21aおよび22
aを外側にして、複数の画素電極21cのそれぞれと複
数のカラーフィルターR、G、Bのそれぞれが対向する
ように配置されている。また、この電極板21と対向電
極板22との間の隙間には液晶23が封入されている。
The electrode plate 21 and the counter electrode plate 22 of the liquid crystal display cell 2 are
With a being outside, each of the plurality of pixel electrodes 21c and each of the plurality of color filters R, G, B are arranged so as to face each other. A liquid crystal 23 is sealed in a gap between the electrode plate 21 and the counter electrode plate 22.

【0080】さらに複数の画素電極21cのそれぞれと
透明電極22eとの間には不図示の回路が形成され、こ
の回路はカラー液晶表示装置1本体に接続されている。
また、対向電極板22のパッシベーション膜22b上に
形成されたカラーフィルター22cは、R(レッドフィ
ルター)、G(グリーンフィルター)、B(ブルーフィ
ルター)の複数のカラー要素からなり、各カラー要素が
互いに隣接するように規則正しく配列され、これにより
液晶表示装置1'本体から送られてくる表示信号により
特定の画素電極21cと透明電極22eとの間に形成さ
れた回路が作動し、表示信号に対応したカラー画像が対
向電極板22の外側に配置された偏光板4を通して観察
できるようになっている。
Further, a circuit (not shown) is formed between each of the plurality of pixel electrodes 21c and the transparent electrode 22e, and this circuit is connected to the main body of the color liquid crystal display device 1.
The color filter 22c formed on the passivation film 22b of the counter electrode plate 22 includes a plurality of R (red filter), G (green filter), and B (blue filter) color elements. The circuits are regularly arranged so as to be adjacent to each other, whereby a circuit formed between a specific pixel electrode 21c and a transparent electrode 22e is operated by a display signal sent from the main body of the liquid crystal display device 1 ', and the circuit responds to the display signal. A color image can be observed through the polarizing plate 4 disposed outside the counter electrode plate 22.

【0081】本発明に係る第3の液晶表示セルは、少な
くとも一方の基板の表面にはTFTアレイ、透明イオン
ゲッター膜、透明電極膜および配向膜が順次積層されて
なる一対の透明電極付基板が、それぞれの透明電極同士
が対向するように所定の間隔をあけて配置され、この一
対の透明電極付基板の間にあけられた間隙に液晶が封入
されている液晶表示セルである。
In the third liquid crystal display cell according to the present invention, a pair of substrates with a transparent electrode in which a TFT array, a transparent ion getter film, a transparent electrode film, and an alignment film are sequentially laminated on at least one substrate surface. This is a liquid crystal display cell in which the transparent electrodes are arranged at predetermined intervals so as to face each other, and a liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of substrates with transparent electrodes.

【0082】図3は、本発明に係る第3の液晶表示セル
の一態様例を模式的に表す概略断面図である。この液晶
表示セル1"は、表面にTFTアレイ32が形成され、
このTFTアレイ32表面に、透明イオンゲッター膜3
3、画素電極34および配向膜35が順次積層された透
明絶縁性基板31と、表面にブラックマトリクス(遮蔽
膜)42、カラーフィルター43、透明イオンゲッター
膜44、対向電極45および配向膜46が順次積層され
た対向基板41とが、液晶層51とを挟んで配向膜35
および46が対峙するように構成される。
FIG. 3 is a schematic sectional view schematically showing one embodiment of the third liquid crystal display cell according to the present invention. This liquid crystal display cell 1 "has a TFT array 32 formed on the surface thereof,
A transparent ion getter film 3 is formed on the surface of the TFT array 32.
3, a transparent insulating substrate 31 on which a pixel electrode 34 and an alignment film 35 are sequentially laminated, and a black matrix (shielding film) 42, a color filter 43, a transparent ion getter film 44, a counter electrode 45, and an alignment film 46 on the surface in this order. The laminated counter substrate 41 and the alignment film 35 sandwich the liquid crystal layer 51 therebetween.
And 46 are configured to face each other.

【0083】なお、図1のように配向膜35および46
の間にはスペーサ粒子が介在していてもよい。TFTア
レイ32は、TFT素子、データ電極などからなるもの
である。
Note that, as shown in FIG.
Spacer particles may be interposed between them. The TFT array 32 includes TFT elements, data electrodes, and the like.

【0084】上記第1〜第3の液晶表示セルでは、透明
イオンゲッター膜の細孔容積が0.01〜0.3ml/gの
範囲にあり、平均細孔径が1〜20nmの範囲にあること
が好ましい。
In the first to third liquid crystal display cells, the pore volume of the transparent ion getter film is in the range of 0.01 to 0.3 ml / g, and the average pore diameter is in the range of 1 to 20 nm. Is preferred.

【0085】以上のような本発明に係る液晶表示セル
は、透明イオンゲッター膜によって液晶中の可動イオン
(イオン性不純分)を低減されている。このため本発明
に係る液晶表示セルは、高電圧保持率特性に優れ、表示
不良が生じることがなく、長期信頼性に優れ、しかも消
費電力が少なく済むため電力効率を高めることができ
る。
In the liquid crystal display cell according to the present invention as described above, mobile ions (ionic impurities) in the liquid crystal are reduced by the transparent ion getter film. Therefore, the liquid crystal display cell according to the present invention is excellent in high voltage holding ratio characteristics, does not cause display failure, is excellent in long-term reliability, and requires less power consumption, so that power efficiency can be improved.

【0086】[0086]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明に係る透
明イオンゲッター膜形成用塗布液は、(A)マトリック
ス形成成分として、アセチルアセトナトキレート化合
物、有機ケイ素化合物、ポリシラザンおよび金属アルコ
キシドから選ばれる1種または2種以上の混合物または
複合物と、(B)特定のイオン吸着容量と粒子径を有す
るイオン吸着性無機微粒子とを含んでいる。
As described above, the coating solution for forming a transparent ion getter film according to the present invention is selected from (A) a matrix-forming component selected from acetylacetonatochelate compounds, organosilicon compounds, polysilazanes and metal alkoxides. Or a mixture or a composite of two or more kinds thereof, and (B) ion-adsorbing inorganic fine particles having a specific ion-adsorbing capacity and particle diameter.

【0087】このため、平均粒子径が50nm以下のイ
オン吸着性無機微粒子を含む塗布液を用いて基材表面に
たとえば平均1〜10nmの表面粗さを有し、その凹凸
の高さがほぼ一定でその分布も均一な被膜を形成するこ
とができ、得られた被膜は、耐擦傷性、耐酸性、耐アル
カリ性、耐水性および絶縁性に優れ、さらには、この上
に形成される膜、たとえばポリイミド樹脂などの疎水性
の強い樹脂からなる膜などとの密着性にも優れている。
また、本発明に係る塗布液を用いて凹凸を有する基板、
例えばTFTアレイ付基板あるいはカラーフィルター付
基板上に形成されたイオンゲッター膜の表面は平坦化さ
れており、このため液晶層と接触する配向膜表面も平坦
化されているので、表面形状に起因する液晶の表示乱れ
の抑制、表示ドメインの発生防止、パネル表示時の光抜
けの低減およびコントラストの向上などに有効である。
For this reason, using a coating liquid containing ion-adsorbing inorganic fine particles having an average particle diameter of 50 nm or less, the surface of the substrate has, for example, an average surface roughness of 1 to 10 nm, and the height of the unevenness is almost constant. The distribution can also form a uniform film, the resulting film is excellent in scratch resistance, acid resistance, alkali resistance, water resistance and insulation, and further, a film formed thereon, for example, It also has excellent adhesion to films made of highly hydrophobic resins such as polyimide resins.
Further, a substrate having irregularities using the coating liquid according to the present invention,
For example, the surface of an ion getter film formed on a substrate with a TFT array or a substrate with a color filter is flattened, and the surface of the alignment film in contact with the liquid crystal layer is also flattened. This is effective for suppressing display disturbance of liquid crystal, preventing generation of display domains, reducing light leakage during panel display, improving contrast, and the like.

【0088】特に、本発明に係るイオンゲッター膜は、
イオン吸着能を有する無機イオン吸着性微粒子を含んで
いるために液晶パネル中の(可動)イオンを効果的に低
減できる。
In particular, the ion getter film according to the present invention
Since it contains inorganic ion-adsorbing fine particles having ion-adsorbing ability, (movable) ions in the liquid crystal panel can be effectively reduced.

【0089】このため、本発明に係る透明イオンゲッタ
ー膜形成用塗布液から形成される被膜は、液晶表示セル
に用いられる透明電極の透明電極膜と配向膜との間に形
成される絶縁膜、あるいはTFTアレイ付基板、カラー
フィルター付基板上に形成される低誘電率平坦化膜とし
て好適であり、得られる液晶表示装置は表示品位、長期
信頼性に優れる。
For this reason, the coating film formed from the coating solution for forming a transparent ion getter film according to the present invention includes an insulating film formed between the transparent electrode film of the transparent electrode used for the liquid crystal display cell and the alignment film, Alternatively, it is suitable as a low-dielectric-constant flattening film formed on a substrate with a TFT array or a substrate with a color filter, and the resulting liquid crystal display device is excellent in display quality and long-term reliability.

【0090】[0090]

【実施例】以下、本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれら実施例に限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0091】[0091]

【実施例1】塗布液の調製 マトリックス形成成分としてエチルシリケート28(多
摩化学工業社製:SiO2濃度28.8重量%)14.6g
を、純水 5gおよびエチルアルコール62.3gとの混
合溶媒に添加し、これに濃度61%の硝酸0.1gを加
えてエチルシリケートの部分加水分解物(オリゴマー)
溶液(分散液)を調製した。
Example 1 Preparation of Coating Solution 14.6 g of ethyl silicate 28 (manufactured by Tama Chemical Industry Co., Ltd., SiO 2 concentration: 28.8% by weight) as a matrix forming component
Was added to a mixed solvent of 5 g of pure water and 62.3 g of ethyl alcohol, and 0.1 g of nitric acid having a concentration of 61% was added thereto, and a partial hydrolyzate (oligomer) of ethyl silicate was added.
A solution (dispersion) was prepared.

【0092】この溶液に、イオン吸着性無機微粒子とし
て平均粒径20nm、イオン吸着容量2.4mmmol/gの
五酸化アンチモン微粒子(Sb25・2.7H2O)をヘ
キシレングリコールに均一分散させた固形分濃度10重
量%のイオン吸着性無機微粒子ゾル18gを加えて24
時間撹拌し、ついで、ヘキシレングリコール70g加え
た後、減圧蒸留を行い固形分濃度6.0重量%の塗布液
(A)を調製した。
In this solution, antimony pentoxide fine particles (Sb 2 O 5 .2.7H 2 O) having an average particle diameter of 20 nm and an ion adsorption capacity of 2.4 mmol / g as ion-adsorbing inorganic fine particles were uniformly dispersed in hexylene glycol. 18 g of an ion-adsorbing inorganic fine particle sol having a solid content
After stirring for an hour and then adding 70 g of hexylene glycol, vacuum distillation was performed to prepare a coating solution (A) having a solid content of 6.0% by weight.

【0093】透明イオンゲッター膜の形成 パターニングされたITO表示電極つきガラス基板(旭
硝子(株)製:30Ω/□以下品)上にフレキソ印刷に
て塗布液(A)を塗布し、得られた塗膜を90℃で5分
間乾燥させた後、高圧水銀ランプで積算光量6,000
mJ/cm2(365nm用センサにて測定)の条件で紫外線
を照射し、次いで300℃で30分間焼成を行いイオン
ゲッター膜(A)を形成した。得られたイオンゲッター
膜(A)の特性を表2に示す。また得られたイオンゲッ
ター膜(A)の膜厚を触針式表面粗さ計で測定したとこ
ろ80nmであった。
Formation of Transparent Ion Getter Film The coating solution (A) was applied by flexographic printing on a patterned glass substrate with an ITO display electrode (product of Asahi Glass Co., Ltd .: 30 Ω / □ or less), and the resulting coating was obtained. After the film was dried at 90 ° C. for 5 minutes, the accumulated light amount was 6,000 with a high-pressure mercury lamp.
Ultraviolet rays were irradiated under the conditions of mJ / cm 2 (measured with a sensor for 365 nm), followed by baking at 300 ° C. for 30 minutes to form an ion getter film (A). Table 2 shows the properties of the obtained ion getter film (A). When the film thickness of the obtained ion getter film (A) was measured by a stylus type surface roughness meter, it was 80 nm.

【0094】液晶表示セルの作成 次に、イオンゲッター膜(A)上にポリイミド膜形成用
塗料(日産化学(株)製:サンエバー)をフレキソ印刷
で塗布し、100℃で5分間乾燥した後、240℃で3
0分間加熱処理してポリイミド膜を形成し、ついでラビ
ング処理を行った。
Preparation of Liquid Crystal Display Cell Next, a paint for forming a polyimide film (Sun Ever, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) was applied on the ion getter film (A) by flexographic printing and dried at 100 ° C. for 5 minutes. 3 at 240 ° C
Heat treatment was performed for 0 minutes to form a polyimide film, and then rubbing treatment was performed.

【0095】このようにして、硝子基板上に透明電極、
イオンゲッター膜(A)およびラビング処理した配向膜
が順次積層した透明電極付き基板を作製した。得られた
透明電極付き基板を2枚使用して、一方の基板には(2
枚の基板間距離に相当する粒子径)のスペーサを散布
し、もう一方の基板にはエポキシ樹脂とシリカ微粒子か
らなるシーリング用のシール材を印刷し、これらの基板
を透明電極同士が互いに対向するように貼り合わせ、S
TN液晶を封入し、ついで封入口を封止材で封止して、
液晶表示セル(A)を作成した。
Thus, the transparent electrode and the glass substrate
A substrate with a transparent electrode was prepared in which the ion getter film (A) and the rubbed alignment film were sequentially laminated. Two substrates obtained with the transparent electrodes were used, and (2
A spacer having a particle diameter corresponding to the distance between two substrates is sprayed, and a sealing material made of epoxy resin and silica fine particles is printed on the other substrate, and the transparent electrodes of these substrates face each other. Stuck together, S
TN liquid crystal is sealed, then the sealing opening is sealed with a sealing material,
A liquid crystal display cell (A) was prepared.

【0096】可動イオン量の測定 得られた液晶表示セル(A)中の可動イオン量をイオン
密度測定機(東陽テクニカ社製:MTR-1)を用い
て、印加電圧10V、三角波周波数0.1Hzの条件で測
定した。液晶中の可動イオンによるピークは検出されな
かった。
Measurement of the amount of mobile ions The obtained amount of mobile ions in the liquid crystal display cell (A) was measured using an ion density measuring device (MTR-1 manufactured by Toyo Technica) at an applied voltage of 10 V and a triangular wave frequency of 0.1 Hz. It measured on condition of. No peak due to mobile ions in the liquid crystal was detected.

【0097】液晶表示セルの表示ムラの観察 また、上記方法にて10枚の液晶表示セル(A)を作製
し、点灯表示テストを実施し、表示ムラの有無について
黙視観察を行った。このとき、表示ムラの発生しなかっ
たパネルの枚数を調べた。
Observation of Display Unevenness of Liquid Crystal Display Cell Further, ten liquid crystal display cells (A) were prepared by the above-mentioned method, a lighting display test was performed, and the presence or absence of display unevenness was observed by visual observation. At this time, the number of panels in which display unevenness did not occur was examined.

【0098】結果を表2に示す。長期信頼性の評価 上記方法にて作製した10枚の液晶表示セル(A)を、
高温高湿の環境(相対湿度95%、温度80℃)に50
0時間曝したのち、液晶表示セルの点灯表示テストを実
施し、表示ムラの有無について目視観察を行った。この
とき、表示ムラの発生しなかったパネルの枚数を調べ
た。
Table 2 shows the results. Evaluation of long-term reliability Ten liquid crystal display cells (A) produced by the above method were
50 in high temperature and high humidity environment (relative humidity 95%, temperature 80 ° C)
After the exposure for 0 hour, a lighting display test of the liquid crystal display cell was performed, and visual observation was made for the presence or absence of display unevenness. At this time, the number of panels in which display unevenness did not occur was examined.

【0099】結果を表2に示す。Table 2 shows the results.

【0100】[0100]

【実施例2】塗布液の調製 イオン吸着性無機微粒子としてシリカゾルを乾燥して得
られた平均粒径25nm、イオン吸着容量0.2mmol/g
のシリカ微粒子(SiO2・0.1H2O)を用いた以外は
実施例1と同様にして固形分濃度6.0重量%の塗布液
(B)を調製した。
Example 2 Preparation of Coating Solution The average particle size obtained by drying silica sol as the ion-adsorbing inorganic fine particles was 25 nm, and the ion adsorption capacity was 0.2 mmol / g.
A coating solution (B) having a solid content of 6.0% by weight was prepared in the same manner as in Example 1 except that the silica fine particles (SiO 2 · 0.1H 2 O) were used.

【0101】透明イオンゲッター膜の形成および液晶表
示セルの作成 実施例1と同様にして、イオンゲッター膜(B)を形成
し、液晶セル(B)の作成をした。得られたイオンゲッ
ター膜(B)の特性を表2に示す。
Formation of Transparent Ion Getter Film and Liquid Crystal Display
In the same manner as created in Example 1 shows the cell, to form an ion getter film (B), and the creation of a liquid crystal cell (B). Table 2 shows the properties of the obtained ion getter film (B).

【0102】可動イオン量の測定 得られた液晶表示セル(B)中の可動イオン量を測定し
たところ、印加電圧が1Vの付近に可動イオンによるピ
ークが検出され、可動イオン量は6.0nC/cm2であっ
た。
Measurement of the amount of mobile ions When the amount of mobile ions in the obtained liquid crystal display cell (B) was measured, a peak due to mobile ions was detected near an applied voltage of 1 V, and the amount of mobile ions was 6.0 nC / It was cm 2.

【0103】液晶表示セルの表示ムラの観察 また、液晶表示セル(B)について実施例1と同様に表
示ムラの有無について目視観察を行った。結果を表2に
示す。
Observation of display unevenness of the liquid crystal display cell Further, the liquid crystal display cell (B) was visually observed for display unevenness in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0104】長期信頼性の評価 また、液晶表示セル(B)について実施例1と同様に長
期信頼性の評価を行った。結果を表2に示す。
Evaluation of Long-Term Reliability The long-term reliability of the liquid crystal display cell (B) was evaluated in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0105】[0105]

【実施例3】塗布液の調製 イオン吸着性無機微粒子としてシリカアルミナゾル(触
媒化成工業(株)製:USBゾル)を乾燥して得た平均
粒径25nm、吸着容量のシリカ・アルミナ微粒子0.
25SiO2・0.75Al23・0.3H2O)を用いた
以外は実施例1と同様にして固形分濃度6.0重量%の
塗布液(C)を調製した。
Example 3 Preparation of Coating Solution Silica-alumina fine particles having an average particle size of 25 nm and an adsorption capacity obtained by drying silica-alumina sol (USB sol, manufactured by Catalysis Chemical Industry Co., Ltd.) as ion-adsorbing inorganic fine particles.
25SiO 2 · 0.75Al the 2 O 3 · 0.3H 2 O) except for using to prepare Example 1 in the same manner as in solids concentration 6.0% by weight of the coating solution (C).

【0106】透明イオンゲッター膜の形成および液晶表
示セルの作成 実施例1と同様にしてイオンゲッター膜(C)の形成お
よび液晶セル(C)の作成をした。得られたイオンゲッ
ター膜(C)の特性を表2に示す。
Formation of Transparent Ion Getter Film and Liquid Crystal Display
Preparation of a Cell In the same manner as in Example 1, an ion getter film (C) was formed and a liquid crystal cell (C) was prepared. Table 2 shows the properties of the obtained ion getter film (C).

【0107】可動イオン量の測定 得られた液晶表示セル(C)中の可動イオン量を測定し
たところ、印加電圧が1Vの付近に可動イオンによるピ
ークが検出され、可動イオン量は2.5nC/cm2であっ
た。
Measurement of the amount of mobile ions When the amount of mobile ions in the obtained liquid crystal display cell (C) was measured, a peak due to mobile ions was detected near an applied voltage of 1 V, and the amount of mobile ions was 2.5 nC / It was cm 2.

【0108】液晶表示セルの表示ムラの観察 また、液晶表示セル(C)について実施例1と同様に表
示ムラの有無について目視観察を行った。結果を表2に
示す。
Observation of Display Unevenness of Liquid Crystal Display Cell Further, the liquid crystal display cell (C) was visually observed for display unevenness in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0109】長期信頼性の評価 また、液晶表示セル(C)について実施例1と同様に長
期信頼性の評価を行った。結果を表2に示す。
Evaluation of Long-Term Reliability The liquid crystal display cell (C) was evaluated for long-term reliability in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0110】[0110]

【実施例4】塗布液の調製 マトリックス形成成分としてメチルトリメトキシシラン
(信越化学工業(株)製:SiO2濃度44.1重量%)
100gとトリブトキシジルコニウムアセチルアセトナ
ート(松本製薬工業(株)製:ZrO2濃度13.5重量
%)17gをイソプロピルアルコール200gとブタノ
ール60gの混合溶媒に添加し、これを撹拌しながら、
純水114gと濃度61%の硝酸を1.0g添加し、6
0℃で15時間かけてメチルトリメトキシシランとトリ
ブトキシジルコニウムアセチルアセトナートの加水分解
および重縮合物の分散液を調製した。この分散液を30
℃以下に冷却し、陰イオン交換樹脂を添加して陰イオン
を除去し、ついで陰イオン交換樹脂を分離してpH5.
5の分散液を得た。
Example 4 Preparation of Coating Solution Methyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: SiO 2 concentration: 44.1% by weight) as a matrix-forming component
100 g and 17 g of tributoxyzirconium acetylacetonate (manufactured by Matsumoto Pharmaceutical Co., Ltd .: ZrO 2 concentration 13.5% by weight) were added to a mixed solvent of 200 g of isopropyl alcohol and 60 g of butanol, and the mixture was stirred.
Add 114 g of pure water and 1.0 g of nitric acid having a concentration of 61%, and add
A dispersion of the hydrolysis and polycondensate of methyltrimethoxysilane and tributoxyzirconium acetylacetonate was prepared at 0 ° C. for 15 hours. This dispersion is added to 30
The solution was cooled to a temperature of not more than ℃, an anion exchange resin was added to remove anions, and then the anion exchange resin was separated to obtain a pH of 5.
5 was obtained.

【0111】次いで、この分散液に、実施例1で用いた
同じ五酸化アンチモン微粒子分散ゾル211g、エチル
セロソルブ100g、ジエチレングリコール90gを加
えた後、減圧蒸留を行い固形分濃度20重量%の塗布液
(D)を調製した。
Next, after adding 211 g of the same antimony pentoxide fine particle dispersion sol used in Example 1, 100 g of ethyl cellosolve and 90 g of diethylene glycol to this dispersion, vacuum distillation was carried out to obtain a coating solution having a solids concentration of 20% by weight. D) was prepared.

【0112】イオンゲッター膜の形成 カラーフィルターが形成されたガラス基板上に、塗布液
(D)をスピンコーティング法により回転数800rpm
で塗布し、次いで50℃で120分間乾燥した後220
℃で60分間熱処理を行い、膜厚1.6μmのイオンゲ
ッター膜(D)を形成することによってカラーフィルタ
ー画素のオーバーコートを行った。得られたイオンゲッ
ター膜(D)の特性を表2に示す。
Formation of Ion Getter Film A coating solution (D) was applied on a glass substrate on which a color filter was formed by spin coating at a rotational speed of 800 rpm.
After drying at 50 ° C. for 120 minutes.
Heat treatment was performed at 60 ° C. for 60 minutes to form a 1.6 μm-thick ion getter film (D), thereby overcoating the color filter pixels. Table 2 shows the properties of the obtained ion getter film (D).

【0113】さらに、上記イオンゲッター膜(D)上に
スパッタリング法によりITO膜を形成した。液晶表示セルの作成 このITO膜を常法によりパターニングして表示電極を
形成し、その上に実施例1と同様にしてポリイミド配向
膜を形成し、ついでラビング処理を行った。このように
して、硝子基板上にカラーフィルター、イオンゲッター
膜(D)、透明電極およびラビング処理した配向膜が順
次積層した一対の透明電極付き基板を得た。
Further, an ITO film was formed on the ion getter film (D) by a sputtering method. Preparation of Liquid Crystal Display Cell The ITO film was patterned by a conventional method to form a display electrode, and a polyimide alignment film was formed thereon in the same manner as in Example 1, followed by rubbing. In this manner, a pair of substrates with a transparent electrode, in which a color filter, an ion getter film (D), a transparent electrode, and a rubbed alignment film were sequentially laminated on a glass substrate, was obtained.

【0114】つぎに、対向する共通電極付き基板とスペ
ーサを介してシール材で貼りあわせ、基板間のギャップ
にSTN液晶を注入して注入口を封止材で封入し、液晶
セル(D)を作成した。
Next, the substrate with the common electrode is bonded to the opposing substrate with a sealing material via a spacer, STN liquid crystal is injected into the gap between the substrates, the injection port is sealed with a sealing material, and the liquid crystal cell (D) is formed. Created.

【0115】可動イオン量の測定 得られた液晶表示セル(D)中の可動イオン量を測定し
たが、可動イオンによるピークは検出されなかった。
Measurement of the amount of mobile ions The amount of mobile ions in the obtained liquid crystal display cell (D) was measured, but no peak due to mobile ions was detected.

【0116】液晶表示セルの表示ムラの観察 また、液晶表示セル(D)について実施例1と同様に表
示ムラの有無について目視観察を行った。結果を表2に
示す。
Observation of Display Unevenness of Liquid Crystal Display Cell Further, the liquid crystal display cell (D) was visually observed for display unevenness in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0117】長期信頼性の評価 また、液晶表示セル(D)について実施例1と同様に長
期信頼性の評価を行った。結果を表2に示す。
Evaluation of Long-Term Reliability The liquid crystal display cell (D) was evaluated for long-term reliability in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0118】[0118]

【比較例1】塗布液の調製 五酸化アンチモン微粒子分散ゾルを使用しなかった以外
は実施例1と同様にして固形分濃度6.0重量%の塗布
液(E)を調製した。
Comparative Example 1 Preparation of Coating Solution A coating solution (E) having a solid content of 6.0% by weight was prepared in the same manner as in Example 1 except that the sol in which antimony pentoxide fine particles were dispersed was not used.

【0119】イオンゲッター膜の形成および液晶表示セ
ルの作成 実施例1と同様にしてイオンゲッター膜(E)の形成お
よび液晶セル(E)の作成をした。なお、得られたイオ
ンゲッター膜(E)の特性を表2に示す。
Formation of ion getter film and liquid crystal display cell
In the same manner as in Example 1, an ion getter film (E) was formed and a liquid crystal cell (E) was formed. Table 2 shows the properties of the obtained ion getter film (E).

【0120】可動イオン量の測定 得られた液晶表示セル(E)中の可動イオン量を測定し
たところ、印加電圧が1Vの付近に可動イオンによるピ
ークが検出され、可動イオン量は19.6nC/cm 2であっ
た。
[0120]Measuring the amount of mobile ions The amount of mobile ions in the obtained liquid crystal display cell (E) was measured.
When the applied voltage was around 1 V,
Is detected, and the amount of mobile ions is 19.6 nC / cm. TwoSo
Was.

【0121】液晶表示セルの表示ムラの観察 また、液晶表示セル(E)について実施例1と同様に表
示ムラの有無について目視観察を行った。結果を表2に
示す。
Observation of display unevenness of the liquid crystal display cell Further, the liquid crystal display cell (E) was visually observed for display unevenness in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0122】長期信頼性の評価 また、液晶表示セル(E)について実施例1と同様に長
期信頼性の評価を行った。結果を表2に示す。
Evaluation of long-term reliability The long-term reliability of the liquid crystal display cell (E) was evaluated in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0123】[0123]

【比較例2】塗布液の調製 五酸化アンチモン微粒子分散ゾルを使用しなかった以外
は実施例4と同様にして固形分濃度20重量%の塗布液
(F)を調製した。
Comparative Example 2 Preparation of Coating Solution A coating solution (F) having a solid content of 20% by weight was prepared in the same manner as in Example 4, except that the sol in which antimony pentoxide fine particles were dispersed was not used.

【0124】イオンゲッター膜の形成および液晶表示セ
ルの作成 実施例2と同様にしてイオンゲッター膜(F)の形成お
よび液晶セル(F)の作成をした。なお、得られたイオ
ンゲッター膜(F)の特性を表2に示す。
The formation of the ion getter film and the liquid crystal display cell
In the same manner as in Example 2, an ion getter film (F) was formed and a liquid crystal cell (F) was formed. Table 2 shows the characteristics of the obtained ion getter film (F).

【0125】可動イオン量の測定 得られた液晶表示セル(F)中の可動イオン量を測定し
たところ、印加電圧が1Vの付近に可動イオンによるピ
ークが検出され、可動イオン量は25nC/cm2であった。
Measurement of the amount of mobile ions When the amount of mobile ions in the obtained liquid crystal display cell (F) was measured, a peak due to mobile ions was detected near an applied voltage of 1 V, and the amount of mobile ions was 25 nC / cm 2. Met.

【0126】液晶表示セルの表示ムラの観察 また、液晶セル(F)について実施例1と同様に表示ム
ラの有無について目視観察を行った。結果を表2に示
す。
Observation of Display Unevenness of Liquid Crystal Display Cell Further , the liquid crystal cell (F) was visually observed for display unevenness in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the results.

【0127】[0127]

【表2】 [Table 2]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る第1の液晶表示セルの一態様例の
概略断面図を示す。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of a first liquid crystal display cell according to the present invention.

【図2】本発明に係る第2の液晶表示セルの一態様例の
概略断面図を示す。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of a second liquid crystal display cell according to the present invention.

【図3】本発明に係る第3の液晶表示セルの一態様例の
概略断面図を示す。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of one embodiment of a third liquid crystal display cell according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1'、1"・・・液晶表示セル 2、2’・・・・・液晶表示セル 3、4・・・・・・偏光板 5・・・・・・・・スペーサ粒子 6・・・・・・・・液晶 11・・・・・・・ガラス基板 12・・・・・・・透明電極膜 13・・・・・・・透明イオンゲッター膜 14・・・・・・・配向膜 21・・・・・・・電極板 21a・・・・・・ガラス基板 21b・・・・・・アルカリパッシベーション膜 21c・・・・・・複数の画素電極 21d・・・・・・透明イオンゲッター膜 21e・・・・・・配向膜 22・・・・・・・対向電極板 22a・・・・・・ガラス基板 22b・・・・・・アルカリパッシベーション膜 22c・・・・・・カラーフィルター 22d・・・・・・透明イオンゲッター膜 22e・・・・・・透明電極 22f・・・・・・配向膜 23・・・・・・・液晶 31・・・・・・・透明絶縁性基板 32・・・・・・・TFTアレイ 33・・・・・・・透明イオンゲッター膜 34・・・・・・・画素電極 35・・・・・・・配向膜 36・・・・・・・絶縁膜 41・・・・・・・対向基板 42・・・・・・・ブラックマトリクス(遮蔽膜) 43・・・・・・・カラーフィルター 44・・・・・・・透明イオンゲッター膜 45・・・・・・・対向電極 46・・・・・・・配向膜 51・・・・・・・液晶層 1, 1 ', 1 "liquid crystal display cell 2, 2' ... liquid crystal display cell 3, 4, ... polarizing plate 5, ..., spacer particles 6, ...・ ・ ・ ・ ・ ・ Liquid crystal 11 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Glass substrate 12 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Transparent electrode film 13 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Transparent ion getter film 14 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Alignment film 21 ... Electrode plate 21a ... Glass substrate 21b ... Alkali passivation film 21c ... Plural pixel electrodes 21d ... Transparent ion getter Film 21e: Alignment film 22: Counter electrode plate 22a: Glass substrate 22b: Alkali passivation film 22c: Color filter 22d ... Transparent ion getter film 22e ... Transparent electrode 22f ··· Alignment film 23 ··· Liquid crystal 31 ··· Transparent insulating substrate 32 ··· TFT array 33 ···· Transparent ion getter film 34 ... Pixel electrode 35... Alignment film 36... Insulating film 41... Opposite substrate 42. Film) 43 Color filter 44 Transparent ion getter film 45 Counter electrode 46 Alignment film 51 ..Liquid crystal layers

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/37 310 G09F 9/37 310B (72)発明者 小 松 通 郎 福岡県北九州市若松区北湊町13番2号 触 媒化成工業株式会社若松工場内 Fターム(参考) 2H090 HA03 HB08Y HB13X HB17X HC05 HC14 HD02 HD03 HD08 JD10 JD13 KA08 LA04 4D006 GA16 MA03 MA06 MA22 MA31 MA40 MB12 MB14 MB17 MB18 MB19 MC03X MC07X MC65X MC66X MC88 NA01 NA10 NA42 NA46 NA54 NA62 NA64 PB20 PC01 PC80 4J038 HA156 HA216 HA436 HA446 JA17 JA20 JA23 JA24 JA32 JC32 JC35 JC38 KA12 KA20 MA06 MA10 MA14 NA04 NA11 NA12 NA21 PB09 5C094 AA02 AA22 AA31 AA42 AA43 AA54 BA03 BA43 CA19 CA23 DA13 EA05 EB01 EB02 ED20 FB01 FB15 GB10 JA01 JA08 JA20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G09F 9/37 310 G09F 9/37 310B (72) Inventor Toshiro Komatsu Kitaminato-cho, Wakamatsu-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka Prefecture No. 13-2 F-term (in reference) at Wakamatsu Plant of Catalysts & Chemicals Co., Ltd. NA10 NA42 NA46 NA54 NA62 NA64 PB20 PC01 PC80 4J038 HA156 HA216 HA436 HA446 JA17 JA20 JA23 JA24 JA32 JC32 JC35 JC38 KA12 KA20 MA06 MA10 MA14 NA04 NA11 NA12 NA21 PB09 5C094 AA02 AA22 AA31 AA42 EB01 BA03 BA01 BA03 BA03 BA03 GB10 JA01 JA08 JA20

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(A)マトリックス形成成分および(B)
イオン吸着性無機微粒子が、水と有機溶媒とからなる混
合溶媒中に分散されてなり、 該(B)イオン吸着性無機微粒子の平均粒子径が1nm
〜10μmの範囲にあり、かつイオン吸着性無機微粒子
のイオン吸着容量が0.1〜3.0mmol/gの範囲にあ
ることを特徴とする透明イオンゲッター膜形成用塗布
液。
(A) a matrix-forming component and (B)
The ion-adsorbing inorganic fine particles are dispersed in a mixed solvent comprising water and an organic solvent, and the (B) ion-adsorbing inorganic fine particles have an average particle diameter of 1 nm.
A coating liquid for forming a transparent ion getter film, wherein the coating liquid has a particle diameter of 0.1 to 3.0 μm and an ion adsorption capacity of the ion-adsorbing inorganic fine particles of 0.1 to 3.0 mmol / g.
【請求項2】マトリックス形成成分が、アセチルアセト
ナトキレート化合物、有機ケイ素化合物、金属アルコキ
シドおよびポリシラザンから選ばれる1種または2種以
上の混合物からなることを特徴とする請求項1に記載の
透明イオンゲッター膜形成用塗布液。
2. The transparent ion according to claim 1, wherein the matrix-forming component comprises one or a mixture of two or more selected from an acetylacetonato chelate compound, an organosilicon compound, a metal alkoxide and polysilazane. Coating solution for getter film formation.
【請求項3】基材表面に請求項1または2に記載の透明
イオンゲッター膜形成用塗布液を塗布してなる透明イオ
ンゲッター膜が形成されていることを特徴とする透明イ
オンゲッター膜付基材。
3. A substrate with a transparent ion getter film, wherein a transparent ion getter film formed by applying the coating solution for forming a transparent ion getter film according to claim 1 or 2 is formed on the surface of a substrate. Wood.
【請求項4】透明イオンゲッター膜の細孔容積が0.0
1〜0.3ml/gの範囲にあり、平均細孔径が1〜20nm
の範囲にあることを特徴とする請求項3に記載の透明イ
オンゲッター膜付基材。
4. The transparent ion getter membrane having a pore volume of 0.0
It is in the range of 1 to 0.3 ml / g, and the average pore diameter is 1 to 20 nm
4. The substrate with a transparent ion getter film according to claim 3, wherein:
【請求項5】少なくとも一方の基板の表面に透明電極
膜、透明イオンゲッター膜および配向膜が順次積層され
てなる一対の透明電極付基板が、それぞれの透明電極同
士が対向するように所定の間隔をあけて配置され、この
一対の透明電極付基板の間に設けられた間隙に液晶が封
入されている液晶表示セルにおいて、 透明イオンゲッター膜が、請求項1または2に記載の透
明イオンゲッター膜形成用塗布液を塗布して形成された
膜であることを特徴とする液晶表示セル。
5. A pair of substrates with transparent electrodes, each having a transparent electrode film, a transparent ion getter film, and an alignment film sequentially laminated on the surface of at least one of the substrates, at a predetermined interval so that the transparent electrodes face each other. 3. A transparent ion getter film according to claim 1 or 2, wherein the liquid crystal display cell is arranged such that liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of substrates with transparent electrodes. A liquid crystal display cell, which is a film formed by applying a forming coating solution.
【請求項6】少なくとも一方の基板の表面にカラーフィ
ルター、透明イオンゲッター膜、透明電極膜および配向
膜が順次積層されてなる一対の透明電極付基板が、それ
ぞれの透明電極同士が対向するように所定の間隔をあけ
て配置され、この一対の透明電極付基板の間にあけられ
た間隙に液晶が封入されている液晶表示セルにおいて、 透明イオンゲッター膜が、請求項1または2に記載の透
明イオンゲッター膜形成用塗布液を塗布して形成された
膜であることを特徴とする液晶表示セル。
6. A pair of substrates provided with a transparent electrode, in which a color filter, a transparent ion getter film, a transparent electrode film and an alignment film are sequentially laminated on at least one substrate surface, so that the transparent electrodes face each other. 3. The liquid crystal display cell, wherein the transparent ion getter film is disposed at a predetermined interval and a liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of transparent electrode-attached substrates, the transparent ion getter film according to claim 1 or 2. A liquid crystal display cell, which is a film formed by applying a coating solution for forming an ion getter film.
【請求項7】少なくとも一方の基板の表面にはTFTア
レイ、透明イオンゲッター膜、透明電極膜および配向膜
が順次積層されてなる一対の透明電極付基板が、それぞ
れの透明電極同士が対向するように所定の間隔をあけて
配置され、この一対の透明電極付基板の間にあけられた
間隙に液晶が封入されている液晶表示セルにおいて、 透明イオンゲッター膜が、請求項1または2に記載の透
明イオンゲッター膜形成用塗布液を塗布して形成された
膜であることを特徴とする液晶表示セル。
7. A pair of substrates with a transparent electrode in which a TFT array, a transparent ion getter film, a transparent electrode film, and an alignment film are sequentially laminated on at least one of the surfaces of the substrate so that the transparent electrodes face each other. 3. A liquid crystal display cell, wherein a liquid crystal is sealed in a gap provided between the pair of transparent electrode-attached substrates and a transparent ion getter film according to claim 1 or 2. A liquid crystal display cell, which is a film formed by applying a coating solution for forming a transparent ion getter film.
【請求項8】透明イオンゲッター膜の細孔容積が0.0
1〜0.3ml/gの範囲にあり、平均細孔径が1〜20nm
の範囲にあることを特徴とする請求項5〜7のいずれか
に記載の液晶表示セル。
8. The transparent ion getter membrane having a pore volume of 0.0
It is in the range of 1 to 0.3 ml / g, and the average pore diameter is 1 to 20 nm
The liquid crystal display cell according to claim 5, wherein:
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